DE10221219B4

DE10221219B4 - pressure sensor

Info

Publication number: DE10221219B4
Application number: DE2002121219
Authority: DE
Inventors: Benno Kathan; Hans-Peter Müller
Original assignee: IFM Electronic GmbH
Current assignee: IFM Electronic GmbH
Priority date: 2002-05-13
Filing date: 2002-05-13
Publication date: 2007-06-28
Anticipated expiration: 2022-05-14
Also published as: DE10221219A1

Abstract

Drucksensor zur statischen und/oder dynamischen Druckmessung, mit einem Gehäuse (2) und mit einer Druckmeßzelle (3), die einen Grundkörper (4) und eine mit dem Grundkörper (4) verbundene Membran (5) aufweist, wobei eine Seite (6) der Membran (5) direkt oder indirekt mit dem zu überwachenden Medium in Berührung steht und die Membran (5) im Betrieb eine dem Druck des Mediums proportionale Durchbiegung erfährt, die mittels eines auf der anderen Seite (7) der Membran (5) angeordneten elektromechanischen Wandlers, insbesondere mittels mindestens eines DMS-Widerstandes (8), erfaßbar ist, wobei auf der dem Medium abgewandten Seite (7) der Membran (5) mindestens ein Abstützelement (10, 10') mit einem Abstand von der Membran (5) angeordnet bzw. so ausgebildet ist, daß die Membran (5) bei Überlast an dem Abstützelement (10, 10') oder an Teilen des Abstützelements (10, 10') zumindest teilweise anliegt,
dadurch gekennzeichnet,
daß die Dicke (9) der Membran (5) derart verringert ist, daß die Membran...Pressure sensor for static and / or dynamic pressure measurement, comprising a housing (2) and a pressure measuring cell (3) having a base body (4) and a membrane (5) connected to the base body (4), one side (6) the membrane (5) is in direct or indirect contact with the medium to be monitored, and the membrane (5) undergoes, during operation, a deflection proportional to the pressure of the medium, which is electromechanical by means of a diaphragm arranged on the other side (7) of the membrane (5) Transducer, in particular by means of at least one strain gauge resistor (8), can be detected, wherein on the side facing away from the medium (7) of the membrane (5) at least one support element (10, 10 ') at a distance from the membrane (5) or is formed so that the membrane (5) at overload on the support element (10, 10 ') or on parts of the support element (10, 10') at least partially abuts,
characterized,
that the thickness (9) of the membrane (5) is reduced such that the membrane ...

Description

Die Erfindung betrifft einen Drucksensor zur statischen und/oder dynamischen Druckmessung, mit einem Gehäuse und mit einer Druckmeßzelle, die einen Grundkörper und eine mit dem Grundkörper verbundene Membran aufweist, wobei eine Seite der Membran direkt oder indirekt mit dem zu überwachenden Medium in Berührung steht und die Membran im Betrieb eine dem Druck des Mediums proportionale Auslenkung erfährt, die mittels eines auf der anderen Seite der Membran angeordneten elektromechanischen Wandlers, insbesondere mittels mindestens eines DMS-Widerstandes, erfaßbar ist, wobei auf der dem Medium abgewandten Seite der Membran mindestens ein Abstützelement mit einem Abstand von der Membran angeordnet bzw. so ausgebildet ist, daß die Membran bei Überlast an dem Abstützelement oder an Teilen des Abstützelements zumindest teilweise anliegt.The The invention relates to a pressure sensor for static and / or dynamic Pressure measurement, with a housing and with a pressure measuring cell, the one basic body and one connected to the main body Membrane, wherein one side of the membrane directly or indirectly with the to be monitored Medium in contact is and the diaphragm in operation a proportional to the pressure of the medium Deflection experiences, arranged by means of one on the other side of the membrane electromechanical transducer, in particular by means of at least one Strain gauge resistance, detectable is, wherein on the side facing away from the medium of the membrane at least a support element arranged at a distance from the membrane or so formed is that the Membrane in case of overload on the support element or at least parts of the support element partially applied.

Drucksensoren werden zur Überwachung und Messung des Systemdrucks in hydraulischen und pneumatischen Applikationen eingesetzt. Ein Einsatzbereich solcher Drucksensoren ist beispielsweise die Lebensmittelindustrie, in der der Druck verschiedener Medien, insbesondere verschiedener Flüssigkeiten überwacht oder gemessen wird. Dabei gibt es je nach Anwendungsgebiet eine Vielzahl unterschiedlicher Ausführungsvarianten, wobei sich der Aufbau und die Auslegung der Drucksensoren in Abhängigkeit des erwarteten maximalen Nenndrucks des zu überwachenden Mediums unterscheiden. Neben der "normalen" Beanspruchung des Drucksensors, insbesondere der Druckmeßzelle, durch den Nenndruck des zu überwachenden Mediums treten in vielen Einsatzbereichen häufig auch kurzzeitige Überdrücke auf, die wesentlich größer als der maximale Nenndruck des Mediums sind. Ein solcher Überdruck kann in der Lebensmittelindustrie beispielsweise dann auftreten, wenn ein Behälter, in dem normalerweise Milch gelagert wird, mit einer Flüssigkeit mit hohem Druck gereinigt wird.pressure sensors be used for monitoring and Measurement of system pressure in hydraulic and pneumatic applications used. A field of application of such pressure sensors is, for example the food industry, where the pressure of various media, especially various liquids monitored or measured. Depending on the field of application, there is one Variety of different design variants, wherein the structure and the design of the pressure sensors depending differ from the expected maximum nominal pressure of the medium to be monitored. In addition to the "normal" stress of the Pressure sensor, in particular the pressure measuring cell, by the nominal pressure to be monitored Medium often occur in many applications, even short-term overpressures, the much larger than the maximum nominal pressure of the medium are. Such overpressure can occur in the food industry for example then if a container, in which milk is normally stored, with a liquid is cleaned with high pressure.

Bekannte Drucksensoren weisen üblicherweise eine kapazitive, zylindrische Druckmeßzelle auf, die aus einem Grundkörper und einer Membran besteht, die durch ein Verbindungsmaterial, z. B. ein Hartlot, in einem definierten Abstand voneinander gehalten und miteinander hermetisch dicht verbunden sind.Known Pressure sensors usually have a capacitive, cylindrical pressure measuring cell, consisting of a base body and a membrane composed of a bonding material, e.g. B. a braze, held at a defined distance from each other and hermetically sealed together.

Die mit Elektroden beschichteten Innenflächen der Membran und des Grundkörpers bilden einen Meßkondensator, dessen Kapazität von der Durchbiegung der Membran abhängt und somit ein Maß für den an der Membran anliegenden Druck ist. In der Praxis werden meist Druckmeßzellen aus Keramik eingesetzt, da keramische Druckmeßzellen eine hohe Meßgenauigkeit aufweisen, die über sehr lange Zeit stabil bleibt. Auf der dem Medium abgewandten Seite weist die Druckmeßzelle eine elektronische Schaltung auf, die die Kapazität des Meßkondensators in ein druckabhängiges elektrisches Signal umwandelt und über elektrische Anschlußleitungen einer weiteren Verarbeitung oder einer Anzeige zugänglich macht.The Formed with electrodes coated inner surfaces of the membrane and the body a measuring capacitor, its capacity depends on the deflection of the membrane and thus a measure of the the membrane is applied pressure. In practice, mostly pressure measuring cells made of ceramic, since ceramic pressure measuring cells a high accuracy have that over remains stable for a very long time. On the side facing away from the medium indicates the pressure measuring cell an electronic circuit on which the capacitance of the measuring capacitor in a pressure-dependent converts electrical signal and via electrical leads of a further processing or an advertisement.

Neben diesen Drucksensoren, die ein kapazitives Meßprinzip aufweisen, bei denen als elektromechanischer Wandler also zwei Elektroden verwendet werden, gibt es auch Drucksensoren, die Dehnmeßstreifen (DMS) oder druckempfindliche Widerstände bzw. DMS-Widerstände aufweisen. Bei diesen Drucksensoren sind die DMS-Widerstände auf der dem Medium abgewandten Seite der Membran aufgebracht, wobei der Widerstandswert der DMS-Widerstände von der Durchbiegung der Membran abhängt und somit ebenfalls ein Maß für den an der Membran anliegenden Druck ist. Bei derartigen Drucksensoren bzw. Druckmeßzellen ist somit ein separater, der Membran gegenüberliegender Grundkörper meßtechnisch nicht erforderlich. Drucksensoren bzw. Druckmeßzellen mit DMS-Widerständen gibt es daher auch in monolithischer Ausführungsform, bei der der Grundkörper und die Membran einstückig ausgeführt sind. Dabei befindet sich dann die Membran in der Regel auf der dem Medium abgewandten Seite des Grundkörpers, der im Bereich der Membran eine sacklochartige Bohrung aufweist. Der Grundkörper hat somit eine topfförmige Gestalt, wobei der Boden des Topfes von der Membran gebildet wird und die offene Seite des Topfes dem Medium zugewandt ist.Next These pressure sensors, which have a capacitive measuring principle, in which as electromechanical transducer so two electrodes are used There are also pressure sensors, the strain gauge (DMS) or pressure-sensitive resistors or strain gauge resistors exhibit. In these pressure sensors, the DMS resistors on the Applied to the medium side facing away from the membrane, wherein the Resistance value of the strain gage resistors of the deflection of the membrane depends and thus also a measure of the at the Diaphragm is applied pressure. In such pressure sensors or pressure sensing elements is thus a separate, the membrane opposite base body metrology not mandatory. Pressure sensors or pressure measuring cells with strain gauge resistors are It therefore also in monolithic embodiment in which the main body and the membrane in one piece accomplished are. The membrane is then usually on the the medium side facing away from the body, in the region of the membrane having a blind hole-like bore. The main body thus has a pot-shaped shape, wherein the bottom of the pot is formed by the membrane and the open side of the pot faces the medium.

Unabhängig von der Art des Meßprinzips des Drucksensors besteht bei den bekannten Drucksensoren das Problem, daß die Membran bei den eingangs beschriebenen Überdrücken mechanisch beschädigt werden kann. Dieses Problem wird in der Praxis bisher dadurch gelöst, daß die Dicke der Membran entsprechend vergrößert wird. Da der Berstdruck, d. h. der Druck, bei dem die Membran mechanisch zerstört wird, u.a. von der Dicke der Membran abhängt, kann durch eine Erhöhung der Dicke der Membran der maximale Berstdruck auf einfache Art und Weise ebenfalls erhöht werden. Nachteilig ist hierbei jedoch, daß mit der Erhöhung der Dicke der Membran gleichzeitig die Auslenkung der Membran bei Nenndruck, d.h. bei dem von dem Drucksensor zu messenden Druck des Mediums, verringert wird. Somit wird im Stand der Technik die Erhöhung des Berstdrucks der Membran bisher durch eine Verringerung der Meßgenauigkeit, d.h. der maximalen Auflösung des Drucksensors, erkauft.Independent of the nature of the measuring principle the pressure sensor is the problem in the known pressure sensors, that the Membrane are mechanically damaged at the above-described pressures can. This problem has been solved in practice hitherto that the thickness the membrane is enlarged accordingly. Since the bursting pressure, i. H. the pressure at which the membrane is mechanical destroyed will, i.a. depends on the thickness of the membrane, can by increasing the Thickness of the membrane the maximum bursting pressure in a simple manner also increased become. The disadvantage here, however, that with the increase of Thickness of the membrane at the same time the deflection of the membrane at nominal pressure, i.e. at the pressure of the medium to be measured by the pressure sensor, is reduced. Thus, in the prior art, the increase in the Bursting pressure of the membrane previously by reducing the accuracy of measurement, i.e. the maximum resolution of the pressure sensor, bought.

Aus der DE 42 05 264 A1 ist ein Druckmeßgerät bekannt, bei dem die Membran innerhalb des Sensorgehäuses axial beweglich angeordnet ist. Das bekannte Druckmeßgerät soll neben der Abgabe eines elektrisch verarbeitbaren Drucksignals auch in der Lage sein, eine Schaltfunktion zu übernehmen, wobei die Druckmessung erst nach Ausführung der Schaltfunktion erfolgt. Die Membran besteht aus einem Einspannrand, einer Membransicke aus Elastomer und der Druckmeßmembran aus Metall oder Keramik. Bei dem bekannten Druckmeßgerät wird die Membran zunächst aufgrund der Elastizität der Membransicke axial verschoben, wobei die axiale Auslenkung der Membran durch ein Auflager begrenzt wird. Erst nach dieser vorgegebenen axialen Auslenkung der Membran kommt es aufgrund des Druckes des Mediums zu einer Durchbiegung der Membran. Die Auflager dienen dabei nicht zur Begrenzung der Durchbiegung der Membran bei Überlast sondern zur Begrenzung der gewollten axialen Verschieblichkeit der Membran.From the DE 42 05 264 A1 a pressure gauge is known in which the membrane is arranged axially movable within the sensor housing. The well-known pressure gauge is in addition to the delivery egg nes electrically processable pressure signal also be able to take over a switching function, the pressure measurement is carried out only after execution of the switching function. The membrane consists of a clamping rim, a diaphragm bead of elastomer and the pressure measuring diaphragm of metal or ceramic. In the known pressure measuring device, the membrane is initially displaced axially due to the elasticity of the membrane bead, wherein the axial deflection of the membrane is limited by a support. Only after this predetermined axial deflection of the membrane occurs due to the pressure of the medium to a deflection of the membrane. The supports do not serve to limit the deflection of the membrane in case of overload but to limit the desired axial mobility of the membrane.

Die DE 26 11 494 OS offenbart einen eingangs beschriebenen Drucksensor, mit einem über ein Gewindeelement einstellbaren Abstützelement. Zur Verbesserung der Betriebssicherheit ist bei dem bekannten Druckwandler eine spezielle Membranausbildung vorgesehen, wobei die Membran einen konzentrischen napfförmigen, steiferen Abschnitt aufweist. Um eine Beschädigung der auf der Membran angeordneten Dehnmeßstreifen zu verhindern, werden dabei die Dehnmeßstreifen auf der äußeren Ringfläche der Membran angeordnet während das eine ebene Fläche aufweisende Abstützelement lediglich mit dem versteiften, napfförmigen mittleren Abschnitt der Membran zusammenwirkt. Bei diesem bekannten Drucksensor wird somit in bekannter Weise der Bereich der größten Auslenkung der Membran durch eine Vergrößerung der Dicke der Membran verstärkt.The DE 26 11 494 OS discloses a pressure sensor described above, with a support element adjustable via a threaded element. To improve the reliability of a special membrane training is provided in the known pressure transducer, wherein the membrane has a concentric bowl-shaped, stiffer portion. In order to prevent damage to the membrane arranged on the strain gauges, while the strain gauges are arranged on the outer annular surface of the membrane while the flat surface having a support member only cooperates with the stiffened, cup-shaped central portion of the membrane. In this known pressure sensor, the region of greatest deflection of the membrane is thus reinforced in a known manner by increasing the thickness of the membrane.

Aus der DE 197 16 521 A1 ist ein eingangs beschriebener Drucksensor bekannt, wobei der Drucksensor entweder als kapazitiver Drucksensor oder als piezoresistiver Drucksensor ausgebildet ist.From the DE 197 16 521 A1 a pressure sensor described above is known, wherein the pressure sensor is designed either as a capacitive pressure sensor or as a piezoresistive pressure sensor.

Auch aus der DE 697 07 386 T2 ist ein Druckwandler mit einer DMS-Widerstände aufweisenden Membran bekannt, bei dem die Unterseite des Trägers als mechanischer Anschlag für die Membran dient.Also from the DE 697 07 386 T2 is a pressure transducer with a strain gauge membrane having known, in which the underside of the carrier serves as a mechanical stop for the membrane.

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, einen eingangs beschriebenen Drucksensor zur Verfügung zu stellen, der einerseits eine große Überlast- bzw. Berstfestigkeit aufweist, andererseits auch ein möglichst großes Meßsignal zur Verfügung stellt und damit eine möglichst große Auflösung ermöglicht.Of the Invention is based on the object, an initially described Pressure sensor available on the one hand has a high overload or bursting strength, on the other hand also a possible great measuring signal to disposal and thus one as possible size resolution allows.

Diese Aufgabe ist bei dem eingangs beschriebenen Drucksensor dadurch gelöst, daß die Dicke der Membran derart verringert ist, daß die Membran bei einem vorgegebenen Überdruck mechanisch beschädigt würde, wenn kein Abstützelement vorhanden wäre, und daß das Abstützelement Aussparungen für den elektromechanischen Wandler aufweist.These Task is solved in the pressure sensor described above in that the thickness the membrane is reduced such that the membrane at a predetermined pressure mechanically damaged would, if no support element available would be, and that this supporting Recesses for having the electromechanical transducer.

Die Erfindung geht somit im Vergleich zum Stand der Technik einen völlig anderen Weg. Anstelle die Dicke der Membran zur Erhöhung der Berstfestigkeit zu vergrößern, wird bei dem erfindungsgemäßen Drucksensor die Dicke der Membran bewußt verringert. Anstelle einer Membrandicke von typischerweise 0,5 mm bei einem Nenndruck von 25 bar wird nun erfindungsgemäß die Dicke der Membran beispielsweise auf 0,3 mm reduziert. Die Reduzierung der Dicke der Membran führt zunächst – gewollt – zu einer größeren Durchbiegung der Membran bei gleichem Druck des Mediums und damit zu einem größeren Meßsignal. Gleichzeitig verringert sich jedoch die Berstfestigkeit der Membran, d.h. der Druck, bei dem die Membran irreparabel beschädigt wird. Dieser eigentliche Nachteil wird jedoch dadurch kompensiert, daß auf der dem Medium abgewandten Seite der Membran ein Abstützelement angeordnet ist. Dabei weist das Abstützelement einen solchen Abstand von der Membran auf bzw. ist so ausgebildet, daß die Membran bei Überlast an dem Abstützelement oder an Teilen des Abstützelements zumindest teilweise anliegt. Es wird also die aufgrund der geringeren Dicke der Membran bei Überlast normalerweise auftretende – zur Zerstörung der Membran führende – Durchbiegung dadurch verhindert, daß sich die Membran vorher an dem Abstützelement abstützt, wodurch die maximale Durchbiegung der Membran auf einen Wert begrenzt wird, bei dem es noch nicht zu einer Zerstörung der Membran kommt. Gleichzeitig wird jedoch dadurch, daß das Abstützelement so angeordnet bzw. ausgebildet ist, daß die Membran erst bei Überlast an dem Abstützelement anliegt verhindert, daß durch das Abstützelement der Meßwert im Nenndruckbereich verfälscht wird.The Invention thus goes in comparison to the prior art a completely different Path. Instead of the thickness of the membrane to increase the bursting strength too enlarge, will in the pressure sensor according to the invention aware of the thickness of the membrane reduced. Instead of a membrane thickness of typically 0.5 mm at a nominal pressure of 25 bar is now according to the invention, the thickness the membrane, for example, reduced to 0.3 mm. The reduction the thickness of the membrane leads initially - intentionally - to a greater deflection the membrane at the same pressure of the medium and thus to a larger measurement signal. At the same time, however, the bursting strength of the membrane decreases, i.e. the pressure at which the membrane is irreparably damaged. However, this actual disadvantage is compensated by the fact that on the the medium side facing away from the membrane, a support element is arranged. In this case, the support element has such a distance from the membrane on or is formed so that the membrane in case of overload on the support element or on parts of the support element at least partially. So it will be due to the lower Thickness of the membrane in case of overload normally occurring - for destruction the membrane leading - deflection thereby preventing that the membrane before on the support element supported, whereby limits the maximum deflection of the membrane to a value becomes, with which it does not come to a destruction of the membrane. At the same time but in that the supporting is arranged or designed so that the membrane only at overload on the support element prevents it from passing through the support element the measured value falsified in the nominal pressure range becomes.

Gemäß der Erfindung weist das Abstützelement dabei Aussparungen für den elektromechanischen Wandler auf und bevorzugt darüber hinaus weitere Aussparungen für auf der dem Medium abgewandten Seite der Membran angeordnete Leiterbahnen auf. Dadurch wird verhindert, daß es zu einer Beschädigung der elektromechanischen Wandler, bei denen es sich insbesondere um DMS-Widerstände handelt, sowie der Leiterbahnen kommt, wenn die Membran bei Überdruck an dem Abstützelement anliegt. Weist das Abstützelement Aussparungen auf, so führt dies dazu, daß nur einzelne Bereiche der Membran – an denen sich keine DMS-Widerstände oder Leiterbahnen befinden – an Teilen des Abstützelements bei Überlast anliegen.According to the invention has the support element while recesses for the electromechanical transducer and further preferred beyond Recesses for arranged on the side facing away from the medium of the membrane interconnects on. This prevents damage to the electromechanical converters, which are in particular DMS resistors, as well as the tracks comes when the diaphragm at overpressure on the support element is applied. Indicates the support element Openings on, so leads this to the fact that only individual areas of the membrane - on which have no strain gage resistors or Tracks are on - Parts of the support element in case of overload issue.

Es gibt nun grundsätzlich verschiedene Möglichkeiten – die für sich im Stand der Technik bereits bekannt sind – die Druckmeßzelle auszubilden. Bei der ersten Alternative sind der Grundkörper und die Membran zwei an sich separate Bauteile, die über ein zwischen dem Grundkörper und der Membran angeordnetes Verbindungsmittel miteinander verbunden sind. Bei der zweiten Alternative ist die Druckmeßzelle monolithisch ausgebildet, d.h. der Grundkörper und die Membran sind einstückig ausgeführt. Dabei befindet sich dann die Membran auf der dem Medium abgewandten Seite des Grundkörpers, wobei der Grundkörper im Bereich der Membran eine sacklochartige Bohrung aufweist, wodurch die Membran direkt oder indirekt mit dem zu überwachenden Medium in Berührung steht.There are now fundamentally different possibilities - which are already known in the art - to form the pressure measuring cell. In the first alternative, the main body and the Membrane two se separate components which are interconnected via a arranged between the base body and the diaphragm connecting means. In the second alternative, the pressure measuring cell is monolithic, ie, the base body and the membrane are made in one piece. In this case, then the membrane is located on the side facing away from the medium of the base body, wherein the base body in the region of the membrane has a blind hole-like bore, whereby the membrane is directly or indirectly in contact with the medium to be monitored.

Bei der ersten Alternative der Ausgestaltung der Druckmeßzelle, bei der also der Grundkörper und die Membran an sich zwei separate Bauteile sind, wird vorteilhafterweise das Abstützelement durch den Grundkörper selber gebildet, nämlich durch die der Membran zugewandten Seite des Grundkörpers. Um nun zu ermöglichen, daß sich die Membran bei Überlast an dem Grundkörper bzw. an Teilen des Grundkörpers abstützt, ist die Dicke des Verbindungsmaterials, bei dem es sich insbesondere um ein Glaslot handelt, verringert. Durch die Verringerung der Dicke des Glaslot wird also dafür gesorgt, daß die zuvor beschriebene Bedingung erfüllt wird, daß sich nämlich die Membran bei einem bestimmten Druck, der größer als der Nenndruck jedoch kleiner als der Berstdruck ist, an der als Abstützelement dienenden Seite des Grundkörpers abstützt.at the first alternative of the design of the pressure measuring cell, in the case of the basic body and the membrane per se are two separate components is advantageously the support element through the main body formed, namely through the membrane facing side of the body. Around now to allow that yourself the membrane in case of overload on the body or on parts of the body supported, is the thickness of the connecting material, which in particular reduced by a glass solder. By reducing the thickness the glass solder is therefore for it taken care that the previously described condition that will happen namely the diaphragm at a certain pressure, which is greater than the nominal pressure however is smaller than the bursting pressure, on the serving as a support element side of the the body supported.

Bei der zweiten Alternative der Ausgestaltung der Druckmeßzelle, bei der es sich also um eine monolithische Druckmeßzelle handelt, ist das Abstützelement als zusätzliches Bauteil ausgebildet, daß auf der dem Medium abgewandten Seite des Grundkörpers bzw. auf der dem Medium abgewandten Seite der Membran angeordnet ist. Bei der Realisierung der Erfindung mit einer monolithischen Druckmeßzelle wird also ein zusätzliches Bauteil als Abstützelement verwendet, wobei das Abstützelement mit dem Medium nicht in Berührung kommt, so daß das Abstützelement aus einem Material hergestellt werden kann, daß zwar eine ausreichende Härte zur Gewährleistung der Funktionen der Abstützung aufweist, jedoch nicht beständig gegenüber aggressiven Medien sein muß, mit denen die Membran in Berührung kommen kann.at the second alternative of the design of the pressure measuring cell, which is therefore a monolithic pressure measuring cell, is the support element as additional Component formed on that the side facing away from the medium of the body or on the medium is arranged opposite side of the membrane. In the realization of Invention with a monolithic pressure measuring cell is thus an additional Component as a support element used, wherein the support element not in contact with the medium comes, so that supporting can be made of a material that, although sufficient hardness for warranty the functions of the support but not resistant across from must be aggressive media, with which the membrane is in contact can come.

Vorteilhafter Weise weist das Abstützelement ein insbesondere kreisringförmige Kontaktfläche auf, an der sich der Rand der Druckmeßzelle bzw. des Grundkörpers abstützt. Dadurch wird auf einfache Art und Weise gewährleistet, daß die Druckmeßzelle zumindest bei Nenndruck nicht vollflächig an dem Abstützelement anliegt, so daß es zu der gewollten Durchbiegung der Membran bei Nenndruck kommen kann.Favorable Way has the support element a particular annular contact area on, on which the edge of the pressure measuring cell or of the base body is supported. Thereby is ensured in a simple manner that the pressure measuring cell at least not fully applied at nominal pressure the support element is present, so that it may come to the intended deflection of the membrane at nominal pressure.

Im einzelnen gibt es nun eine Vielzahl von Möglichkeiten, den erfindungsgemäßen Drucksensor auszugestalten und weiterzubilden. Dazu wird verwiesen einerseits auf die dem Patentanspruch 1 nachgeordneten Patentansprüche, andererseits auf die Beschreibung bevorzugte Ausführungsbeispiele in Verbindung mit der Zeichnung. In der Zeichnung zeigenin the Individual there are now a variety of ways to design the pressure sensor according to the invention and further education. Reference is made on the one hand to the claim 1 subordinate claims, on the other hand, to the description of preferred embodiments in Connection with the drawing. In the drawing show

1 eine vereinfachte Darstellung einer ersten Ausführung des erfindungsgemäßen Drucksensors, im Schnitt, 1 a simplified representation of a first embodiment of the pressure sensor according to the invention, in section,

2 eine perspektivische Darstellung einer Druckmeßzelle gemäß der ersten Ausführung, im noch nicht montierten Zustand, 2 a perspective view of a pressure measuring cell according to the first embodiment, in the unassembled state,

3 eine weitere perspektivische Darstellung einer Druckmeßzelle gemäß der ersten Ausführung, im noch nicht montierten Zustand, 3 1 is a further perspective view of a pressure measuring cell according to the first embodiment, in the not yet assembled state,

4 eine Seitenansicht der Druckmeßzelle gemäß 2, im noch nicht montierten Zustand, 4 a side view of the pressure measuring cell according to 2 , in the unassembled state,

5 eine vereinfachte Darstellung einer zweiten Ausführung des erfindungsgemäßen Drucksensors, im Schnitt, 5 a simplified representation of a second embodiment of the pressure sensor according to the invention, in section,

6 eine perspektivische Darstellung einer Druckmeßzelle gemäß der zweiten Ausführung, im noch nicht montierten Zustand, 6 a perspective view of a pressure measuring cell according to the second embodiment, in the unassembled state,

7 eine andere perspektivische Darstellung einer Druckmeßzelle gemäß der zweiten Ausführung, im noch nicht montierten Zustand und 7 another perspective view of a pressure measuring cell according to the second embodiment, in the not yet assembled state and

8 eine Seitenansicht der Druckmeßzelle gemäß den 6 und 7, im noch nicht montierten Zustand. 8th a side view of the pressure measuring cell according to the 6 and 7 , in the unassembled state.

Die 1 und 5 zeigen zwei verschiedene Ausführungsformen eines Drucksensors 1 mit einem Gehäuse 2 und einer Druckmeßzelle 3, wobei in den 2 bis 4 bzw. 6 bis 8 verschiedene Ausführungsformen der Druckmeßzelle 3 dargestellt sind. Bei der ersten Ausführung der Druckmeßzelle 3, die in den 1 bis 4 dargestellt ist, weist die Druckmeßzelle 3 einen Grundkörper 4 und eine separate Membran 5 auf, die jedoch im montierten Zustand der Druckmeßzelle 3 durch ein Verbindungsmaterial mit dem Grundkörper 4 verbunden ist. Die 5 bis 8 zeigen eine monolithische Druckmeßzelle 3, bei der der Grundkörper 4 und die Membran 5 einstückig ausgeführt sind.The 1 and 5 show two different embodiments of a pressure sensor 1 with a housing 2 and a pressure measuring cell 3 , where in the 2 to 4 respectively. 6 to 8th various embodiments of the pressure measuring cell 3 are shown. At the first execution of the pressure measuring cell 3 that in the 1 to 4 is shown, the pressure measuring cell 3 a basic body 4 and a separate membrane 5 on, but in the mounted state of the pressure measuring cell 3 through a connecting material with the main body 4 connected is. The 5 to 8th show a monolithic pressure measuring cell 3 in which the main body 4 and the membrane 5 are made in one piece.

Allen Ausführungsformen ist jedoch gemeinsam, daß die Membran 5 so in dem Drucksensor 1 angeordnet ist, daß sie mit einer Seite 6 direkt oder indirekt mit dem zu überwachenden – hier nicht dargestellten – Medium in Berüh rung kommt. Dadurch erfährt die Membran 5 eine dem Druck des Mediums proportionale Auslenkung, die mittels auf der anderen – dem Medium abgewandten – Seite 7 der Membran 5 angeordneter DMS-Widerstände 8 erfaßt wird und mit Hilfe einer – hier nicht dargestellten – elektronischen Schaltung in ein proportionales Ausgangsignal umgewandelt wird. Anstelle der hier nur dargestellten DMS-Widerstände 8 können auch andere elektromechanische Wandler eingesetzt werden, insbesondere Dehnmeßstreifen, wobei grundsätzlich auch eine Auswertung der Auslenkung der Membran 5 mit Hilfe eines kapazitiven Meßprinzips erfolgen kann, wobei als elektromechanischer Wandler dann mindestens zwei Elektroden verwendet werden.All embodiments, however, have in common that the membrane 5 so in the pressure sensor 1 it is arranged that they are with one side 6 directly or indirectly comes into contact with the medium to be monitored - not shown here. As a result, the membrane experiences 5 one to the pressure of the medium proportional deflection, by means of on the other - side facing away from the medium 7 the membrane 5 arranged strain gauge resistors 8th is detected and using a - not shown here - electronic circuit is converted into a proportional output signal. Instead of the DMS resistors only shown here 8th It is also possible to use other electromechanical transducers, in particular strain gauges, with basically an evaluation of the deflection of the membrane 5 can be done with the aid of a capacitive measuring principle, wherein at least two electrodes are then used as electromechanical transducer.

Erfindungsgemäß ist nun die Dicke 9 der Membran 5 verringert und auf der dem Medium abgewandten Seite 7 der Membran 5 mindestens ein Abstützelement 10 bzw. 10' angeordnet. Bei der in den 1 bis 4 dargestellten Ausführungsform der Druckmeßzelle 3 wird das Abstützelement 10 durch den Grundkörper 4 gebildet, während bei der in den 5 bis 8 dargestellten Ausführungsform der monolithischen Druckmeßzelle 3 das Abstützelement 10' ein zusätzliches Bauteil ist.According to the invention is now the thickness 9 the membrane 5 reduced and on the side facing away from the medium 7 the membrane 5 at least one support element 10 respectively. 10 ' arranged. In the in the 1 to 4 illustrated embodiment of the pressure measuring cell 3 becomes the support element 10 through the main body 4 formed while in the in the 5 to 8th illustrated embodiment of the monolithic pressure measuring cell 3 the support element 10 ' an additional component is.

Wie in 2 zu erkennen ist, weist das Abstützelement 10 und damit der Grundkörper 4 mehrere Aussparungen 11 auf, die so ausgebildet sind, daß beim Anliegen der Membran 5 an dem Abstützelement 10 bzw. an dem Grundkörper 4 die DMS-Widerstände 8 in die Aussparungen 11 eintauchen, so daß es nicht zu einer Beschädigung der DMS-Widerstände 8 bei Überdruck kommt. Neben diesen Aussparungen 11 können auch weitere – hier nicht dargestellte – Aussparungen für Leiterbahnen 12 vorgesehen sein, die auf der dem Medium abgewandten Seite 7 der Membran 5 aufgebracht sind. Solche weiteren Aussparungen sind insbesondere dann vorteilhaft, wenn die Leiterbahnen 12 als Dickschicht-Leiterbahnen ausgebildet sind, die in der Regel eine Dicke von ca. 10 bis 30 μm aufweisen. Werden dagegen Gold-Resinat-Leiterbahnen verwendet, die nur eine Dicke von ca. 1 μm aufweisen, so sind die zuvor genannten zusätzlichen Aussparungen nicht erforderlich.As in 2 can be seen, has the support element 10 and thus the basic body 4 several recesses 11 on, which are designed so that when applying the membrane 5 on the support element 10 or on the base body 4 the strain gauge resistors 8th in the recesses 11 dive so that it does not damage the strain gage resistors 8th at overpressure comes. In addition to these recesses 11 can also further - not shown here - recesses for tracks 12 be provided on the side facing away from the medium 7 the membrane 5 are applied. Such further recesses are particularly advantageous when the interconnects 12 are formed as thick-film interconnects, which generally have a thickness of about 10 to 30 microns. If, on the other hand, gold-resin traces are used which only have a thickness of approximately 1 μm, the aforementioned additional cut-outs are not required.

Wie den 1 bis 4 zu entnehmen ist, dient als Abstützelement 10 insbesondere die der Membran 5 zugewandte Seite 13 des Grundkörpers 4. Der richtige Abstand zwischen der Membran 5 und dem Abstützelement 10, d.h. der Seite 13 des Grundkörpers 4, wird durch ein Lot 14 realisiert, das darüber hinaus die feste Verbindung von Grundkörper 4 und Membran 5 gewährleistet. Als Lot 14 wird dabei insbesondere ein Glaslot verwendet, wobei das Lot 14 kreisringförmig ausgebildet ist, so daß über das Lot 14 der Rand des Grundkörpers 4 bzw. die äußere Fläche der Seite 13 des Grundkörpers 4 mit dem Rand bzw. der äußeren Fläche der Seite 7 der Membran 5 verbunden wird, während die mittlere Fläche der Membran 5, die als Meßfläche 15 dient, einen definierten Abstand zum Grundkörper 4 aufweist. Dadurch ist eine dem Druck des zu messenden Mediums proportionale Auslenkung der Membran 5 bzw. der Meßfläche 15 der Membran 5 gewährleistet.Like that 1 to 4 can be seen, serves as a support element 10 especially the membrane 5 facing side 13 of the basic body 4 , The right distance between the membrane 5 and the support element 10 ie the page 13 of the basic body 4 , is by a lot 14 In addition, the fixed connection of the basic body is realized 4 and membrane 5 guaranteed. As a lot 14 In particular, a glass solder is used, the solder 14 is annular, so that over the solder 14 the edge of the main body 4 or the outer surface of the page 13 of the basic body 4 with the edge or the outer surface of the page 7 the membrane 5 is connected while the median surface of the membrane 5 as the measuring surface 15 serves, a defined distance to the main body 4 having. As a result, a pressure proportional to the medium to be measured deflection of the membrane 5 or the measuring surface 15 the membrane 5 guaranteed.

Der Abstand zwischen der Membran 5 und dem Grundkörper 4 bzw. der Seite 13 des Grundkörpers 4 und damit dem Abstützelement 10 ist nun so gewählt, daß einerseits bei maximalem Nenndruck eine entsprechende Auslenkung der Membran 5 möglich ist, ohne daß die Membran 5 an dem Abstützelement 10 anlegt, andererseits es bei einem Überdruck, der geringer als der Berstdruck ist, zu einer gewollten Anlage der Membran 5 an dem Abstützelement 10 kommt. Vorteilhafterweise ist der Abstand so gewählt, daß es etwa bei dem 1,2 bis 1,5-fachen des maximalen Nenndrucks zu einem Anliegen der Membran 5 an dem Abstützelement 10 kommt. Dadurch ist gewährleistet, daß es zum einen nicht zu einer Beeinflussung der Auslenkung der Membran 5 und damit des Meßwertes des Drucksensors 1 innerhalb des Nenndruckbereichs kommt, andererseits eine so große Durchbiegung der Membran 5, die zu einer Zerstörung der Membran 5 führen würde, verhindert wird.The distance between the membrane 5 and the body 4 or the page 13 of the basic body 4 and thus the support element 10 is now chosen so that on the one hand at maximum nominal pressure, a corresponding deflection of the membrane 5 is possible without the membrane 5 on the support element 10 on the other hand, it is at a positive pressure, which is lower than the bursting pressure, to a desired investment of the membrane 5 on the support element 10 comes. Advantageously, the distance is chosen so that it is at about 1.2 to 1.5 times the maximum nominal pressure to a concern of the membrane 5 on the support element 10 comes. This ensures that, on the one hand, it does not affect the deflection of the membrane 5 and thus the measured value of the pressure sensor 1 within the nominal pressure range, on the other hand such a large deflection of the membrane 5 leading to destruction of the membrane 5 would be prevented.

Der zuvor ausführlich beschriebene Abstand zwischen der Membran 5 und dem Abstützelement 10 wird bei der Ausführungsform gemäß dem 1 bis 4 durch eine Verringerung der Dicke 16 des Lots 14 realisiert. Bei aus dem Stand der Technik bekannten Drucksensoren 1 weist das Lot 14 eine so große Dicke 16 auf, daß ein Anliegen der Membran 5 an dem Grundkörper 4 bewußt verhindert wird. Während im Stand der Technik das Lot 14 meist eine Dicke von ca. 30 bis 50 μm aufweist wird bei dem erfindungsgemäßen Drucksensor 1 die Dicke 16 des Lots 14 auf ca. 10 bis 20 μm verringert. Dadurch und durch die Verringerung der Dicke 9 der Membran 5 ist gewährleistet, daß es bei Überdruck überhaupt zu einem Anliegen der Membran 5 an dem Abstützelement 10 kommen kann.The previously described in detail the distance between the membrane 5 and the support element 10 is in the embodiment according to the 1 to 4 by reducing the thickness 16 of the lot 14 realized. In known from the prior art pressure sensors 1 points the lot 14 such a big thickness 16 on that a concern of the membrane 5 on the body 4 is deliberately prevented. While in the prior art the solder 14 usually has a thickness of about 30 to 50 microns in the pressure sensor according to the invention 1 the fat 16 of the lot 14 reduced to about 10 to 20 microns. As a result, and by reducing the thickness 9 the membrane 5 ensures that it is at all overpressure to a concern of the membrane 5 on the support element 10 can come.

Bei dem in 4 dargestellten Ausführungsbeispiel des erfindungsgemäßen Drucksensors 1 beträgt die Dicke 17 des Grundkörpers 4 beispielsweise 6 mm, die Dicke 9 der Membran 5 beispielsweise 0,25 mm, die Dicke des Lots 14 ca. 0,01 mm, die Höhe 18 der DMS-Widerstände 8 ca. 0,02 mm und die Tiefe 19 der Aussparungen 11 ca. 0,4 mm.At the in 4 illustrated embodiment of the pressure sensor according to the invention 1 is the thickness 17 of the basic body 4 for example, 6 mm, the thickness 9 the membrane 5 for example, 0.25 mm, the thickness of the solder 14 about 0.01 mm, the height 18 the strain gauge resistors 8th about 0.02 mm and the depth 19 the recesses 11 about 0.4 mm.

Bei dem zweiten Ausführungsbeispiel des erfindungsgemäßen Drucksensors 1 gemäß den 5 bis 8, bei dem die Druckmeßzelle 3 als monolithische Druckmeßzelle 3 ausgebildet ist, der Grundkörper 4 und die Membran 5 also einstückig ausgeführt sind, weist der Grundkörper 4 im Bereich der Membran 5 eine sacklochartige Bohrung 20 auf, durch die die Membran 5, die auf der dem Medium abgewandten Seite 21 des Grundkörpers 4 angeordnet ist, mit dem Medium in Berührung steht. Bei dieser Ausgestaltung der Druckmeßzelle 3 ist nun auf der dem Medium abgewandten Seite 21 des Grundkörpers 4 das Abstützelement 10' angeordnet, das als zusätzliches Bauteil ausgebildet ist. Damit ist gleichzeitig auch das Abstützelement 10' auf der dem Medium abgewandten Seite 7 der Membran 5 angeordnet, so daß sich die Membran 5 bei Überlast an dem Abstützelement 10' abstützen kann.In the second embodiment of the pressure sensor according to the invention 1 according to the 5 to 8th in which the pressure measuring cell 3 as a monolithic pressure measuring cell 3 is formed, the main body 4 and the membrane 5 So are made in one piece, the body 4 in the area of the membrane 5 a blind hole 20 on, through which the membrane 5 on the medium opposite side 21 of the basic body 4 is arranged, is in contact with the medium. In this embodiment of the pressure measuring cell 3 is now on the side facing away from the medium 21 of the basic body 4 the support element 10 ' arranged, which is designed as an additional component. This is at the same time the support element 10 ' on the side facing away from the medium 7 the membrane 5 arranged so that the membrane 5 at overload on the support element 10 ' can support.

Der erforderliche Abstand zwischen der Membran 5 bzw. der Meßfläche 15 der Membran 5 und dem Abstützelement 10' ist hierbei zum einen dadurch realisiert, daß das Abstützelement 10' eine kreisringförmige Kontaktfläche 22 aufweist, an der sich der Rand der Druckmeßzelle 3 bzw. des Grundkörpers 4 abstützt und innerhalb dieser kreisringförmigen Kontaktfläche 22 eine großflächige Aussparung 11 vorgesehen ist, die die gewollte Durchbiegung der Membran 5 ermöglicht. Die Abstützung der Membran 5 bzw. der Meßfläche 15 der Membran 5 bei Überlast erfolgt nun durch Abstützsegmente 23, die innerhalb der Kontaktfläche 22 so angeordnet sind, daß die Abstützsegmente 23 auch bei Überlast nicht mit den DMS-Widerständen 8 oder mit Leiterbahnen 12 in Berührung kommen, so daß es nicht zu einer Zerstörung der DMS-Widerstände 8 bzw. der Leiterbahnen 12 kommen kann.The required distance between the membrane 5 or the measuring surface 15 the membrane 5 and the support element 10 ' This is realized on the one hand by the fact that the support element 10 ' a circular contact surface 22 has, at which the edge of the pressure measuring cell 3 or of the basic body 4 supported and within this annular contact surface 22 a large recess 11 is provided, which is the intended deflection of the membrane 5 allows. The support of the membrane 5 or the measuring surface 15 the membrane 5 in the event of overload, it is now carried out by support segments 23 that are within the contact area 22 are arranged so that the support segments 23 even with overload not with the DMS resistors 8th or with tracks 12 come into contact so that it does not destroy the strain gage resistors 8th or the conductor tracks 12 can come.

Wie in den 6 und 7 zu erkennen ist, sind innerhalb der Kontaktfläche 22 des Abstützelements 10' durchgehende Bohrungen 24 vorgesehen, so daß auch in montiertem Zustand der Druckmeßzelle 3 im Gehäuse 2 des Drucksensors 1 die Seite 7 bzw. einzelne Bereiche der Seite 7 der Membran 5 von der dem Meßmedium abgewandten Seite 25 des Drucksensors 1 zugänglich sind, so daß im eingebauten Zustand der Druckmeßzelle 3 beispielsweise ein Laserabgleich an einem auf der Seite 7 der Membran 5 angebrachten Widerstand möglich ist.As in the 6 and 7 it can be seen, are within the contact surface 22 the support element 10 ' through holes 24 provided so that even in the assembled state of the pressure measuring cell 3 in the case 2 of the pressure sensor 1 the page 7 or individual areas of the page 7 the membrane 5 from the side facing away from the measuring medium 25 of the pressure sensor 1 are accessible, so that in the installed state of the pressure measuring cell 3 For example, a laser balance on one side 7 the membrane 5 attached resistance is possible.

Bei der in 8 dargestellten Ausführungsform der Druckmeßzelle 3 bzw. des Abstützelements 10' beträgt die Dicke 17 des Grundkörpers 4 ebenfalls ca. 6 mm, die Dicke 9 der Membran 5 beispielsweise 0,25 mm, die Höhe 18 der DMS-Widerstände 8 ca. 0,02 mm, die Tiefe 19 der Aussparung 11 ca. 0,2 mm und die Höhe 26 der Abstützsegmente 23 beispielsweise 0,012 mm.At the in 8th illustrated embodiment of the pressure measuring cell 3 or the support element 10 ' is the thickness 17 of the basic body 4 also about 6 mm, the thickness 9 the membrane 5 for example, 0.25 mm, the height 18 the strain gauge resistors 8th about 0.02 mm, the depth 19 the recess 11 about 0.2 mm and the height 26 the support segments 23 for example, 0.012 mm.

Der Grundkörper 4 und die Membran 5 bestehen vorzugsweise aus einer Keramik, insbesondere aus Aluminiumoxid, können jedoch auch aus einem Glas, einem Quarz oder einem Saphir hergestellt werden. Für das Abstützelement 10' wird vorzugsweise ein Kunststoff, insbesondere PES oder PEEK oder eine Keramik verwendet wobei das Abstützelement 10' auch als Isolierung zwischen den elektrischen Anschlüssen der Druckmeßzelle 3, beispielsweise den Leiterbahnen 12, und dem Gehäuse 2 dient.The main body 4 and the membrane 5 are preferably made of a ceramic, in particular of alumina, but can also be made of a glass, a quartz or a sapphire. For the support element 10 ' a plastic, in particular PES or PEEK or a ceramic is preferably used wherein the support element 10 ' also as insulation between the electrical connections of the pressure measuring cell 3 , For example, the tracks 12 , and the case 2 serves.

Claims

Pressure sensor for static and / or dynamic pressure measurement, with a housing ( 2 ) and with a pressure measuring cell ( 3 ), which is a basic body ( 4 ) and one with the main body ( 4 ) connected membrane ( 5 ), wherein one side ( 6 ) of the membrane ( 5 ) is in direct or indirect contact with the medium to be monitored and the membrane ( 5 ) experiences in operation a pressure proportional to the pressure of the medium deflection, which by means of one on the other side ( 7 ) of the membrane ( 5 ) arranged electromechanical transducer, in particular by means of at least one strain gauge resistor ( 8th ), can be detected, wherein on the side facing away from the medium ( 7 ) of the membrane ( 5 ) at least one support element ( 10 . 10 ' ) at a distance from the membrane ( 5 ) is arranged or formed so that the membrane ( 5 ) at overload on the support element ( 10 . 10 ' ) or on parts of the support element ( 10 . 10 ' ) at least partially, characterized in that the thickness ( 9 ) of the membrane ( 5 ) is reduced such that the membrane ( 5 ) would be mechanically damaged at a predetermined pressure, if no support element ( 10 . 10 ' ) would be present, and that the support element ( 10 . 10 ' ) Recesses ( 11 ) has for the electromechanical transducer.

Pressure sensor according to claim 1, characterized in that the supporting element ( 10 . 10 ' ) further recesses for on the side facing away from the medium ( 7 ) of the membrane ( 5 ) arranged conductor tracks ( 12 ) having.

Pressure sensor according to claim 1 or 2, characterized in that the supporting element ( 10 ) through the membrane ( 5 ) facing side ( 13 ) of the basic body ( 4 ) is formed and that between the main body ( 4 ) and the membrane ( 5 ) a connecting material is arranged, which the basic body ( 4 ) and the membrane ( 5 ) in particular at the edge connects.

Pressure sensor according to claim 3, characterized in that the connecting material is a solder ( 14 ), in particular a glass solder, and that the thickness ( 16 ) of the lot ( 14 ) is reduced.

Pressure sensor according to claim 1 or 2, characterized in that the basic body ( 4 ) and the membrane ( 5 ) are made in one piece, wherein the main body ( 4 ) in the region of the membrane ( 5 ) a blind hole ( 20 ) and the membrane ( 5 ) on the side facing away from the medium ( 21 ) of the basic body ( 4 ) is arranged and that the support element ( 10 ' ) as an additional component ausgebil det is that on the side facing away from the medium ( 21 ) of the basic body ( 4 ) or on the side facing away from the medium ( 7 ) of the membrane ( 5 ) is arranged.

Pressure sensor according to claim 5, characterized in that the supporting element ( 10 ' ) a particular annular contact surface ( 22 ), at which the edge of the pressure measuring cell ( 3 ) or the basic body ( 4 ) is supported.

Pressure sensor according to claim 6, characterized in that within the contact surface ( 22 ) of the supporting element ( 10 ' ) at least one support segment ( 23 ) is arranged so that the membrane ( 5 ) at overload on the support segment ( 23 ) or on the support segments ( 23 ) At least partially.

Pressure sensor according to one of claims 5 to 7, characterized in that the support element ( 10 ' ) made of plastic, in particular of PES or of PEEK, or of ceramic and as insulation between electrical connections of the pressure measuring cell ( 3 ), such as the tracks ( 12 ), and the housing ( 2 ) serves.

Pressure sensor according to one of claims 1 to 8, characterized in that the basic body ( 4 ) and the membrane ( 5 ) made of ceramic, in particular of alumina, of glass, of quartz, of sapphire or another crystalline material, wherein the base body ( 4 ) and the membrane ( 5 ) preferably consist of the same material.