DE102010063723A1 - Pressure sensor has measuring diaphragm that rests on front supporting ends of profiled elements which are extended radially inward from outer surface of base, during overload condition - Google Patents

Pressure sensor has measuring diaphragm that rests on front supporting ends of profiled elements which are extended radially inward from outer surface of base, during overload condition Download PDF

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Abstract

The pressure sensor has an alumina ceramic measuring diaphragm (20) which is connected at a front end (16) of base (10) along circumferential joint, and a transducer (22) which is arranged at a facing side of the base. The transducer converts deformation of the measuring diaphragm into electric signal. The base comprises profiled elements (14) extended radially inward from outer surface, which has front supporting ends (18) facing the measuring diaphragm side. The measuring diaphragm rests on the front supporting ends during overload condition.

Description

Die vorliegende Erfindung betrifft einen keramischen Drucksensor mit Überlastschutz. Ein keramischer Drucksensor weist eine keramische Messmembran als druckabhängigen Verformungskörper auf. Keramische Drucksensoren mit einem kapazitiven Wandler werden beispielsweise von der Anmelderin hergestellt und in Drucktransmittern unter der Bezeichnung Cerabar in Verkehr gebracht. Bei diesen Drucksensoren ist eine kreisscheibenförmige Messmembran entlang einer umlaufenden Fügestelle an einer ebenen Stirnfläche eines kreisplattenförmigen Grundkörper in einem definierten Abstand druckdicht befestigt, wobei die Messmembran druckabhängig verformbar und auf ihrer dem Grundkörper abgewandten Oberfläche mit einem Mediendruck beaufschlagbar ist, wobei sich die Messmembran im Falle einer Überlast an der Stirnfläche des Grundkörpers abstützen kann. Derartige Drucksensoren sind beispielsweise in den Offenlegungsschriften DE 39 09 185 A1 , DE 39 10 646 A1 , DE 39 12 217 A1 , EP 1 039 284 A1 und EP 1 061 351 A1 beschrieben.The present invention relates to a ceramic pressure sensor with overload protection. A ceramic pressure sensor has a ceramic measuring membrane as a pressure-dependent deformation body. Ceramic pressure sensors with a capacitive transducer are manufactured for example by the applicant and marketed in pressure transmitters under the name Cerabar. In these pressure sensors, a circular disk-shaped measuring membrane along a circumferential joint on a flat face of a circular plate-shaped base body is pressure-tightly secured at a defined distance, the measuring diaphragm is deformable pressure-dependent and on its surface facing away from the base body with a media pressure can be acted upon, wherein the measuring diaphragm in case of Overload can be supported on the end face of the body. Such pressure sensors are for example in the published patent applications DE 39 09 185 A1 . DE 39 10 646 A1 . DE 39 12 217 A1 . EP 1 039 284 A1 and EP 1 061 351 A1 described.

Weiterhin ist in EP 1 077 368 A1 ein Drucksensor offenbart, bei dem die Stirnfläche des Grundkörpers die Kontur einer Biegelinie der Messmembran aufweist, so dass sich die Messmembran im Falle einer Überlast vollflächig an der Stirnfläche abstützen kann.Furthermore, in EP 1 077 368 A1 discloses a pressure sensor in which the end face of the main body has the contour of a bending line of the measuring membrane, so that the measuring membrane can be supported over its entire surface on the end face in the event of an overload.

Weiterhin sind kostengünstige keramische Drucksensoren bekannt, welche eine kreisscheibenförmige keramische Messmembran aufweisen, welche entlang einer umlaufenden Fügestelle an einer Stirnfläche eines hohlzylinderförmigen Grundkörpers druckdicht befestigt ist, wobei die Messmembran auf ihrer dem Grundkörper abgewandten Oberfläche mit einem Mediendruck beaufschlagbar ist. Die Messmembran insbesondere einen resistiven Wandler aufweisen, welcher auf der dem Grundkörper zugewandten Oberfläche der Messmembran angeordnet ist. Diese Drucksensoren sind allerdings nur geringfügig überlastfest, da die Messmembranen im falle einer Überlast nicht abgestützt sind. Die Offenlegungsschrift DE 102 21 219 A1 offenbart einen Drucksensor, bei dem die Messmembran durch eine Öffnung im Grundkörper mit dem Prozessmedium beaufschlagt wird, wobei auf der dem Messmedium abgewandten Seite ein Stützkörper angeordnet ist, um die Messmembran im Fall von. Überlasten abzustützen. Die Offenlegungsschrift DT 26 11 494 A1 offenbart einen Drucksensor mit einer napfförmigen Messmembran welche durch eine Öffnung im Grundkörper mit dem zu messenden Druck beaufschlagt wird, wobei auf der dem zu messenden Druck abgewandten Seite eine mittels einer Schraube positionierbare Stützplatte angeordnet ist, um das Zentrum der Messmembran im Überlastfall abzustützen.Furthermore, cost-effective ceramic pressure sensors are known, which have a circular disk-shaped ceramic measuring membrane which is pressure-tightly secured along a circumferential joint on an end face of a hollow cylindrical body, wherein the measuring membrane is acted upon on its surface facing away from the base body with a media pressure. The measuring diaphragm in particular have a resistive transducer which is arranged on the surface of the measuring diaphragm facing the base body. However, these pressure sensors are only slightly overload-proof because the measuring diaphragms are not supported in the event of an overload. The publication DE 102 21 219 A1 discloses a pressure sensor in which the measuring membrane is acted upon by an opening in the base body with the process medium, wherein on the side facing away from the measuring medium, a support body is arranged to the measuring membrane in the case of. To support overloads. The publication DT 26 11 494 A1 discloses a pressure sensor with a cup-shaped measuring membrane which is acted upon by an opening in the base body with the pressure to be measured, wherein on the side facing the pressure to be measured side positioned by means of a screw support plate is arranged to support the center of the measuring diaphragm in case of overload.

Die beiden letztgenannten Konstruktionen sind jedoch sehr aufwändig und daher für einen kostengünstigen Drucksensor nicht geeignet.However, the latter two designs are very complex and therefore not suitable for a low-cost pressure sensor.

Es ist daher die Aufgabe der Erfindung, einen Drucksensor bereitzustellen, der die Nachteile des Stands der Technik überwindet.It is therefore the object of the invention to provide a pressure sensor which overcomes the disadvantages of the prior art.

Die Aufgabe wird erfindungsgemäß gelöst durch den Drucksensor gemäß dem unabhängigen Patentanspruch 1.The object is achieved by the pressure sensor according to independent claim 1.

Der erfindungsgemäße keramische Drucksensor umfasst:
eine keramische Messmembran;
einen im wesentlichen hohlprofilförmigen, keramischen Grundkörper; und
einen Wandler zum Wandeln einer Verformung der Messmembran in ein elektrisches Signal,
wobei die Messmembran entlang einer umlaufenden Fügestelle mit einer Stirnseite des Grundkörpers verbunden ist,
wobei der Wandler auf der dem Grundkörper zugewandten Seite der Messmembran angeordnet ist,
wobei der Grundkörper eine umlaufende Mantelfläche aufweist von der sich radial einwärts Profilelemente erstrecken, welche an der messmembranseitigen Stirnseite des Grundkörpers Stützflächen aufweisen, an denen die Messmembran im Falle einer Überlast zur Anlage kommt.The ceramic pressure sensor according to the invention comprises:
a ceramic measuring membrane;
a substantially hollow profile-shaped, ceramic base body; and
a transducer for converting a deformation of the measuring diaphragm into an electrical signal,
wherein the measuring diaphragm is connected to a front side of the main body along a circumferential joint,
wherein the transducer is arranged on the side of the measuring diaphragm facing the main body,
wherein the base body has a peripheral lateral surface from which radially inwardly extending profile elements, which have on the messmembranseitigen side end face of the base support surfaces on which the measuring diaphragm comes in the event of an overload to the plant.

Gemäß einer Weiterbildung der Erfindung weist der Grundkörper auf seiner äußeren Oberfläche zumindest abschnittsweise eine zylindrische Form auf.According to one embodiment of the invention, the main body on its outer surface, at least in sections, a cylindrical shape.

Gemäß einer Weiterbildung der Erfindung weist der Grundkörper eine im wesentlichen zylindrische Hülse mit einem Außenradius ra und einem Innenradius ri auf, von dem sich die Profilelemente bis zu einem minimalen Radius rmin erstrecken.According to one embodiment of the invention, the main body has a substantially cylindrical sleeve with an outer radius r a and an inner radius r i , from which extend the profile elements to a minimum radius r min .

Die Profilelemente können gemäß einer Weiterbildung der Erfindung insbesondere in axialer Richtung des Grundkörpers verlaufen.The profile elements can run according to an embodiment of the invention, in particular in the axial direction of the body.

Gemäß einer Weiterbildung der Erfindung weisen die Profilelemente als Funktion des Radius r jeweils eine Breite b(r) = r·Δφ(r) auf, wobei Δφ(r) der bei einem Radius r von dem Profilelement überdeckte Winkelbereich ist, und wobei für alle r1 < r2 mit rmin ≤ r1 und r2 ≤ ri gilt: b(r1) ≤ b(r2).According to one embodiment of the invention, the profile elements each have a width b (r) = r .DELTA..phi. (R) as a function of the radius r, where .DELTA..phi. (R) is the angular range covered by the profile element at a radius r, and where for all r 1 <r 2 with r min ≤ r 1 and r 2 ≤ r i : b (r 1 ) ≤ b (r 2 ).

Gemäß einer Weiterbildung der Erfindung weist der Grundkörper N Profilelemente auf, wobei gilt N ≤ 12, insbesondere N ≤ 8, beispielsweise N ≤ 6.According to a development of the invention, the main body has N profile elements, where N ≦ 12, in particular N ≦ 8, for example N ≦ 6.

Gemäß eine Weiterbildung der Erfindung gilt außerdem: N ≥ 2, insbesondere N ≥ 3, beispielsweise N ≥ 4 Gemäß einer Weiterbildung der Erfindung gilt: Δφ((rmin + ri)/2)/π ≤ 3/2N, insbesondere Δφ((rmin + ri)/2)/π ≤ 1/N.According to a further development of the invention, the following also applies: N ≥ 2, in particular N ≥ 3, for example N ≥ 4 According to one embodiment of the invention, the following applies: Δφ ((r min + r i ) / 2) / π≤3 / 2N, in particular Δφ ((r min + r i ) / 2) / π≤1 / N.

Gemäß einer Weiterbildung der Erfindung sind die Profilelemente monolithisch mit dem Grundkörper ausgebildet.According to one embodiment of the invention, the profile elements are monolithically formed with the main body.

Gemäß einer Weiterbildung der Erfindung ist die Stirnseite des Grundkörpers mechanisch bearbeitet, insbesondere um die Position der Stützflächen bezüglich der Messmembran festzulegen.According to one embodiment of the invention, the end face of the base body is machined, in particular to set the position of the support surfaces with respect to the measuring diaphragm.

Gemäß einer Weiterbildung der Erfindung approximieren die Stützflächen die Biegelinie der Messmembran bei einem Grenzdruck an, an dem die Messmembran an den Stützflächen zur Anlage kommt, wodurch eine weitere Auslenkung der Messmembran verhindert wird.According to a development of the invention, the supporting surfaces approximate the bending line of the measuring diaphragm at a limiting pressure at which the measuring diaphragm abuts against the supporting surfaces, whereby a further deflection of the measuring diaphragm is prevented.

Gemäß einer Weiterbildung der Erfindung ist die Messmembran mit dem Grundkörper mittels einer Fügestelle verbunden, die Glas oder ein Aktivhartlot aufweist.According to one embodiment of the invention, the measuring diaphragm is connected to the main body by means of a joint which comprises glass or an active brazing material.

Gemäß einer Weiterbildung der Erfindung umfassen bzw. umfasst die Messmembran und/oder der Grundkörper eine Aluminiumoxydkeramik.According to a development of the invention, the measuring membrane and / or the base body comprise or comprise an aluminum oxide ceramic.

Gemäß einer Weiterbildung der Erfindung umfasst der elektromechanische Wandler einen resistiven Wandler, welcher insbesondere in Form einer Brückenschaltung, bevorzugt einer Vollbrückenschaltung auf der dem Grundkörper zugewandten Seite der Messmembran präpariert ist.According to one embodiment of the invention, the electromechanical converter comprises a resistive converter, which is prepared in particular in the form of a bridge circuit, preferably a full bridge circuit on the side facing the base body of the measuring diaphragm.

Gemäß einer Weiterbildung der Erfindung ist der Grundkörper durch ein Verfahren erhältlich, welches Strangpressen oder Spritzgießen umfasst.According to one embodiment of the invention, the base body is obtainable by a method which comprises extrusion molding or injection molding.

Gemäß einer Weiterbildung der Erfindung können die Profilelemente durch Kleben in einem hohlzylinderförmigen Grundkörper eingebracht werden.According to one embodiment of the invention, the profile elements can be introduced by gluing in a hollow cylindrical body.

Gemäß einer Weiterbildung können umfasst der Grundkörper einen Hohlzylinder und eine Einschraubhülse, welche in den Hohlzylinder eingeschraubt ist, wobei die Profilelemente in der Einschraubhülse angeordnet sind und sich von dieser radial einwärts erstrecken.According to a further development, the base body comprises a hollow cylinder and a screw-in sleeve which is screwed into the hollow cylinder, the profile elements being arranged in the screw-in sleeve and extending radially inwards from the latter.

Die Erfindung wird nun anhand der in den Zeichnungen dargestellten Ausführungsbeispiele erläutert.The invention will now be explained with reference to the embodiments illustrated in the drawings.

Es zeigt:It shows:

1: eine Darstellung der Komponenten eines erfindungsgemäßen Drucksensors; und 1 a representation of the components of a pressure sensor according to the invention; and

2a, 2b, 2c: Aufsichten auf Grundkörper von erfindungsgemäßen Drucksensoren. 2a . 2 B . 2c : Top views of base body of pressure sensors according to the invention.

Der in 1 dargestellte Drucksensor umfasst einen hohlzylindrischen Grundkörper 10 der eine Aluminiumoxydkeramik aufweist. Von der Innenwand 12 des Grundkörpers erstrecken sich in axialer Richtung verlaufende Stege bzw. Profilelemente 14 radial einwärts in den Hohlzylinder hinein. Die Profilelemente 14 weisen hier einen im wesentlichen rechteckigen Querschnitt auf.The in 1 illustrated pressure sensor comprises a hollow cylindrical body 10 having an alumina ceramic. From the inner wall 12 of the main body extend in the axial direction extending webs or profile elements 14 radially inward into the hollow cylinder. The profile elements 14 have here a substantially rectangular cross-section.

Auf einer Stirnfläche 16 des Grundkörpers 10 wird eine Messmembran 20, deren Durchmesser mit dem Außendurchmesser des Grundkörpers übereinstimmt, mittels eines Glaslots in einer ringförmig umlaufenden Fügestelle druckdicht befestigt.On a face 16 of the basic body 10 becomes a measuring membrane 20 whose diameter coincides with the outer diameter of the base body, pressure-tightly secured by means of a glass solder in an annular circumferential joint.

Die Stirnseiten 18 der Profilelemente dienen als Stützflächen für die Messmembran, an denen die Messmembran bei einem Grenzdruck oberhalb einer spezifizierten Messbereichsgrenze des Drucksensors zur Anlage kommt, um die Messmembran 20 gegen eine weitere Auslenkung abzustützen. Die Stirnseite 16 und die Stützflächen können beispielsweise durch Schleifen und/oder andere abtragende bzw. abrasive Verfahren sein, um die Stützflächen der Biegelinie beim Grenzdruck anzunähern.The front ends 18 The profile elements serve as support surfaces for the measuring membrane, on which the measuring membrane comes into contact with the boundary layer pressure above a specified measuring range limit of the pressure sensor, around the measuring membrane 20 to support against a further deflection. The front side 16 and the support surfaces may be, for example, by grinding and / or other abrasive processes, to approximate the support surfaces of the bending line at the boundary pressure.

Der Grundkörper 10 einschließlich der Profilelemente 14 kann insbesondere durch ein Verfahren erhalten werden, welches Strangpressen oder Spritzgießen umfasst. Insbesondere Strangpressen ist für eine kostengünstige Fertigung der Grundkörper geeignet.The main body 10 including the profile elements 14 can be obtained in particular by a process which comprises extrusion molding or injection molding. In particular extrusion is suitable for cost-effective production of the body.

Die Messmembran 20 weist eine insbesondere in Dickschichttechnik präparierte Widerstandsbrückenschaltung 22 auf, die nach dem Verbinden der Messmembran 20 mit dem Grundkörper 10 auf der dem Grundkörper 10 zugewandten Seite der Messmembran angeordnet ist. Die hier nicht dargestellte Widerstandsbrückenschaltung kann beispielsweise über Bond-Drähte und/oder Metallisierungen der Messmembran und/oder entlang der inneren Oberflächen des Grundkörpers erfolgen 2a, 2b, 2c zeigen weitere Formen von Grundkörpern 30, 40, 50 im Querschnitt, wobei die Stützflächen 38, 48 und 58 and der Stirnseite der Grundkörper wieder durch Endflächen der Profilelemente gebildet sind. Hinsichtlich der Gestalt und Anzahl der Profilelemente bestehen weitgehende Freiheiten, wobei die Stützflächen tendenziell um so wirksame, je weiter sie sch radial einwärts erstrecken, und je kleiner nicht unterstützte Bereiche der Messmembran sind.The measuring membrane 20 has a resistance bridge circuit prepared in particular in thick-film technology 22 on, after connecting the measuring diaphragm 20 with the main body 10 on the body 10 facing side of the measuring diaphragm is arranged. The resistance bridge circuit, not shown here, can be effected for example via bond wires and / or metallizations of the measuring membrane and / or along the inner surfaces of the base body 2a . 2 B . 2c show other forms of basic bodies 30 . 40 . 50 in cross-section, with the support surfaces 38 . 48 and 58 and the end face of the main body are again formed by end faces of the profile elements. With regard to the shape and number of profile elements are extensive freedom, the support surfaces tend to be effective, the more they extend radially inwardly, and the smaller unsupported areas of the measuring diaphragm.

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Zitierte PatentliteraturCited patent literature

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  • EP 1077368 A1 [0002] EP 1077368 A1 [0002]
  • DE 10221219 A1 [0003] DE 10221219 A1 [0003]
  • DT 2611494 A1 [0003] DT 2611494 A1 [0003]

Claims (15)

Drucksensor, umfassend: eine keramische Messmembran (20); einen im wesentlichen hohlprofilförmigen, keramischen Grundkörper (10); und einen Wandler (22) zum Wandeln einer Verformung der Messmembran (20) in ein elektrisches Signal, wobei die Messmembran (20) entlang einer umlaufenden Fügestelle mit einer Stirnseite (16) des Grundkörpers (10) verbunden ist, wobei der Wandler (22) auf der dem Grundkörper (10) zugewandten Seite der Messmembran (20) angeordnet ist, wobei der Grundkörper (10) eine umlaufende Mantelfläche aufweist von der sich radial einwärts Profilelemente (14) erstrecken, welche an der messmembranseitigen Stirnseite (16) des Grundkörpers Stützflächen (18) aufweisen, an denen die Messmembran (20) im Falle einer Überlast zumindest abschnittsweise zur Anlage kommt.A pressure sensor comprising: a ceramic measuring membrane ( 20 ); a substantially hollow profile-shaped, ceramic base body ( 10 ); and a transducer ( 22 ) for converting a deformation of the measuring diaphragm ( 20 ) into an electrical signal, wherein the measuring membrane ( 20 ) along a circumferential joint with an end face ( 16 ) of the basic body ( 10 ), the converter ( 22 ) on the base body ( 10 ) facing side of the measuring membrane ( 20 ), wherein the base body ( 10 ) has a circumferential lateral surface of the radially inwardly profile elements ( 14 ), which at the messmembranseitigen side ( 16 ) of the main body supporting surfaces ( 18 ), on which the measuring diaphragm ( 20 ) comes in the event of an overload at least partially to the plant. Drucksensor nach Anspruch 1, wobei der Grundkörper auf seiner äußeren Oberfläche zumindest abschnittsweise eine zylindrische Form aufweist.Pressure sensor according to claim 1, wherein the base body has on its outer surface at least partially a cylindrical shape. Drucksensor nach Anspruch 2, wobei der Grundkörper eine im wesentlichen zylindrische Hülse mit einem Außenradius ra und einem Innenradius ri aufweist, von dem sich die Profilelemente bis zu einem minimalen Radius rmin < ri erstrecken.Pressure sensor according to claim 2, wherein the base body has a substantially cylindrical sleeve with an outer radius r a and an inner radius r i , from which the profile elements extend to a minimum radius r min <r i . Drucksensor nach Anspruch 3, wobei die Profilelemente als Funktion des Radius r jeweils eine Breite b(r) = r·Δφ(r) aufweisen, wobei Δφ(r) der bei einem Radius r von dem Profilelement überdeckte Winkelbereich ist, und wobei für alle r1 < r2 mit rmin ≤ r1 und r2 ≤ ri gilt: b(r1) ≤ b(r2). Pressure sensor according to claim 3, wherein the profile elements as a function of the radius r each have a width b (r) = r · Δφ (r), where Δφ (r) is the angle range covered by the profile element at a radius r, and wherein for all r 1 <r 2 with r min ≤ r 1 and r 2 ≤ r i, the following applies: b (r 1 ) ≤ b (r 2 ). Drucksensor nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei der Grundkörper N Profilelemente aufweist, wobei gilt: N ≤ 12, vorzugsweise N ≤ 8, insbesondere N ≤ 6, und wobei gilt: und N ≥ 2, bevorzugt: N ≥ 3, insbesondere N ≥ 4Pressure sensor according to one of the preceding claims, wherein the base body has N profile elements, wherein: N ≤ 12, preferably N ≤ 8, in particular N ≤ 6, and where: and N ≥ 2, preferably: N ≥ 3, in particular N ≥ 4 Drucksensor nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei weist der Grundkörper N Profilelemente aufweist, wobei gilt: Δφ((rmin + ri)/2)/π ≤ 3/2N, insbesondere Δφ((rmin + ri)/2)/π ≤ 1/N.Pressure sensor according to one of the preceding claims, wherein the base body has N profile elements, wherein the following applies: Δφ ((r min + r i ) / 2) / π≤3 / 2N, in particular Δφ ((r min + r i ) / 2) / π ≦ 1 / N. Drucksensor nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei die Profilelemente monolithisch mit dem Grundkörper ausgebildet sind.Pressure sensor according to one of the preceding claims, wherein the profile elements are monolithically formed with the base body. Drucksensor nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei die Stirnseite des Grundkörpers mechanisch bearbeitet ist, um die Position der Stützflächen bezüglich der Messmembran festzulegen.Pressure sensor according to one of the preceding claims, wherein the end face of the base body is machined to determine the position of the support surfaces with respect to the measuring diaphragm. Drucksensor nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei die Stützflächen die Biegelinie der Messmembran bei einem Grenzdruck approximieren, bei dem die Messmembran an den Stützflächen zur Anlage kommt, wodurch eine weitere Auslenkung der Messmembran verhindert wird.Pressure sensor according to one of the preceding claims, wherein the support surfaces approximate the bending line of the measuring diaphragm at a limit pressure at which the measuring diaphragm comes to rest on the support surfaces, whereby a further deflection of the measuring diaphragm is prevented. Drucksensor nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei die Messmembran mit dem Grundkörper mittels einer Fügestelle verbunden ist, die Glas oder ein Aktivhartlot aufweist.Pressure sensor according to one of the preceding claims, wherein the measuring diaphragm is connected to the base body by means of a joint which comprises glass or an active brazing material. Drucksensor nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei die Messmembran und/oder der Grundkörper eine Aluminiumoxydkeramik umfassen bzw. umfasst.Pressure sensor according to one of the preceding claims, wherein the measuring membrane and / or the base body comprise or comprise a Aluminiumoxydkeramik. Drucksensor nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei der elektromechanische Wandler einen resistiven Wandler, welcher auf der dem Grundkörper zugewandten Seite der Messmembran präpariert ist.Pressure sensor according to one of the preceding claims, wherein the electromechanical transducer is a resistive transducer, which is prepared on the side facing the base body of the measuring diaphragm. Drucksensor nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei der Grundkörper durch ein Verfahren erhältlich ist, welches Strangpressen oder Spritzgießen umfasst.Pressure sensor according to one of the preceding claims, wherein the base body is obtainable by a method which comprises extrusion molding or injection molding. Drucksensor nach einem der vorhergehenden Ansprüche 1 bis 6 oder 8 bis 13, soweit sie nicht auf den Anspruch 8 zurück bezogen sind, wobei der Grundkörper einen Hohlzylinder umfasst, in dem die Profilelemente durch Kleben befestigt sind.Pressure sensor according to one of the preceding claims 1 to 6 or 8 to 13, as far as they are not related to the claim 8, wherein the base body comprises a hollow cylinder in which the profile elements are fixed by gluing. Drucksensor nach einem der Ansprüche 1 bis 13, wobei der Grundkörper einen Hohlzylinder und eine Einschraubhülse umfasst, in der die Profilelemente angeordnet sind, und von der sie sich radial einwärts erstrecken, wobei die Einschraubhülse in den Hohlzylinder eingeschraubt ist.Pressure sensor according to one of claims 1 to 13, wherein the base body comprises a hollow cylinder and a screw-in, in which the profile elements are arranged, and from which they extend radially inwardly, wherein the screw-in is screwed into the hollow cylinder.
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