DE10213327C1

DE10213327C1 - Discharge vessel used for dielectric barrier discharge lamps made from silica glass has a protective device consisting of a self-supporting component which is made from a part of a material absorbing ultraviolet radiation

Info

Publication number: DE10213327C1
Application number: DE2002113327
Authority: DE
Inventors: Erich Arnold; Silke Reber; Franz Schilling
Original assignee: Heraeus Noblelight GmbH
Current assignee: Heraeus Noblelight GmbH
Priority date: 2002-03-25
Filing date: 2002-03-25
Publication date: 2003-06-18
Anticipated expiration: 2022-03-26
Also published as: JP2003297296A

Abstract

Discharge vessel (1) made from silica glass has protective device consisting of a self-supporting component which is made from part of a material absorbing UV radiation. The device is either joined to outer surface of inner tube (2a) and arranged at distance A from inner surface of outer tube (3a) or joined with inner surface of tube (3a) and arranged at distance A from outer surface of tube (2a). An Independent claim is also included for a process for the production of the discharge vessel. Preferred Features: The distance A is less than 500 mu m. The self-supporting component absorbs radiation having a wavelength of 172 nm. The outer tube and the inner tube each have a circular cross-section. The self-supporting component is made from silica glass doped with ceria (CeO2) or titania (TiO2).

Description

Die Erfindung betrifft ein langgestrecktes Entladungsgefäß aus Kieselglas für eine dielektrisch behinderte Entladungslampe, wobei das Entladungsgefäß ein Außenrohr und ein beabstandet innerhalb des Außenrohres angeordnetes Innenrohr umfasst, das Außenrohr und das Innenrohr an einem ersten Ende des Entladungsgefäßes durch einen ersten Verbindungsabschnitt aus Kieselglas und an einem zweiten Ende des Entladungsgefäßes durch einen zweiten Verbin dungsabschnitt aus Kieselglas miteinander verbunden sind und zwischen dem Innenrohr und dem Außenrohr ein Entladungsraum ausgebildet ist, der mindestens ein Excimere bildendes Füllgas enthält, wobei der erste und der zweite Verbindungsabschnitt jeweils durch eine im Entladungsraum angeordnete Schutzvorrichtung vor UV-Strahlung aus Richtung des Entla dungsraumes geschützt ist.The invention relates to an elongate discharge vessel made of silica glass for a dielectric disabled discharge lamp, wherein the discharge vessel is an outer tube and a spaced comprises inner tube arranged inside the outer tube, the outer tube and the inner tube at a first end of the discharge vessel through a first connecting section Silica glass and at a second end of the discharge vessel through a second connector section of silica glass are interconnected and between the inner tube and a discharge space is formed in the outer tube which forms at least one excimer Filling gas contains, wherein the first and the second connecting section each by a Protection device arranged against discharge radiation from the direction of the discharge is protected.

Die Erfindung betrifft weiterhin zwei Verfahren zur Herstellung eines solchen Entladungsgefä ßes sowie eine dielektrisch behinderte Entladungslampe.The invention further relates to two methods for producing such a discharge vessel ßes and a dielectric barrier discharge lamp.

Aus der JP 09097597 A ist ein derartiges Entladungsgefäß für eine dielektrisch behinderte Ent ladungslampe bekannt. Die Schutzvorrichtung besteht hier entweder aus einer dünnen Be schichtung des ersten und zweiten Verbindungsabschnittes auf der dem Entladungsraum zu gewandten Seite oder aus Faltungen im Innen- und Außenrohr und soll die Verbindungsab schnitte vor UV-Strahlung schützen. Dadurch soll eine Rissbildung in den Verbindungsab schnitten verhindert und die Lebensdauer der Lampe erhöht werden.JP 09097597 A describes such a discharge vessel for a dielectrically handicapped Ent charge lamp known. The protective device consists here either of a thin loading stratification of the first and second connection section on the discharge space facing side or from folds in the inner and outer tube and should the connection Protect cuts from UV radiation. This is said to cause cracks in the connection prevents cuts and increases the life of the lamp.

Die Verwendung einer Beschichtung erweist sich hier als nachteilig, da eine fehlerfreie und lü ckenlose Beschichtung der Verbindungsbereiche auf der dem Entladungsraum zugewandten Seite verfahrenstechnisch aufwendig und damit teuer ist. Weist die Beschichtung Löcher auf, so ist eine Schutzwirkung nicht mehr gegeben. Durch den Beschichtungsvorgang ist zudem die Gefahr einer Verunreinigung des Entladungsraumes wesentlich erhöht. Durch die Verwendung insbesondere elektrisch leitfähiger, dünner Beschichtungen direkt auf der Innenwandung des Entladungsgefäßes besteht die Gefahr eines Absputterns und damit einer Auflösung der Be schichtung, da die Entladung direkt auf die Beschichtung brennt.The use of a coating proves to be disadvantageous here, since it is error-free and reliable complete coating of the connection areas on the side facing the discharge space Process-technically complex and therefore expensive. If the coating has holes, see above there is no longer a protective effect. The coating process also means that The risk of contamination of the discharge space is significantly increased. By using it in particular electrically conductive, thin coatings directly on the inner wall of the Discharge vessel there is a risk of sputtering and thus a dissolution of the loading layering because the discharge burns directly onto the coating.

Auch im Fall der Verwendung von Faltungen im Innen- und Außenrohr sind Nachteile vorhan den. Wird nämlich ein transparentes Innen- oder Außenrohr verwendet, so wird nur ein Teil der UV-Strahlung an der Oberfläche der Faltung winkelabhängig reflektiert, während der Rest durch die Faltung hindurchgelangt und auf den Verbindungsabschnitt zwischen Innen- und Außenrohr auftrifft. Dort kommt es wiederum zu einer Schädigung.Disadvantages also exist if folds are used in the inner and outer tubes the. If a transparent inner or outer tube is used, only a part of the UV radiation is reflected on the surface of the fold depending on the angle, while the rest is reflected the fold passes through and onto the connecting section between the inner and outer tubes incident. There is again damage.

Die Faltung in einem Rohr aus Kieselglas führt zudem zu einer mechanischen Verspannung des Materials in diesem Bereich, so dass das Rohr getempert werden muss, um eine ausrei chende mechanische Festigkeit und Haltbarkeit zu erreichen. Ein solcher Temperschritt wirkt sich aber kostensteigernd auf die Herstellung des Entladungsgefäßes aus.The folding in a tube made of silica glass also leads to mechanical tension of the material in this area, so that the tube must be annealed in order to be sufficient Achieve appropriate mechanical strength and durability. Such a temp step works but increases the cost of manufacturing the discharge vessel.

Aus der EP 721 204 B1 ist ein Entladungsgefäß bekannt, an dessen einem Ende ein Getter aus Barium zwischen Innen- und Außenrohr im Entladungsraum angeordnet ist.EP 721 204 B1 discloses a discharge vessel with a getter at one end Barium is arranged between the inner and outer tube in the discharge space.

Es stellt sich das Problem, eine Schutzvorrichtung zum Schutz des ersten und des zweiten Verbindungsabschnittes vor UV-Strahlung aus Richtung des Entladungsraumes bereitzustellen, mit welcher die Nachteile der bekannten Lösungen überwunden werden können. Außerdem soll ein geeignetes Verfahren zur Herstellung eines solchen Entladungsgefäßes und eine die lektrisch behinderte Entladungslampe bereitgestellt werden.The problem arises, a protective device to protect the first and the second To provide the connecting section against UV radiation from the direction of the discharge space, with which the disadvantages of the known solutions can be overcome. In addition, should a suitable method for producing such a discharge vessel and a Electrically disabled discharge lamp can be provided.

Das Problem wird gelöst, indem die Schutzvorrichtung jeweils aus mindestens einem selbsttra genden Bauteil besteht, welches aus mindestens einen Teil der UV-Strahlung absorbierendem Material gebildet ist und das entweder
The problem is solved in that the protective device in each case consists of at least one self-supporting component which is formed from at least part of the UV-absorbing material and either

- Connected to the outer surface of the inner tube and from the inner surface of the Au ßenrohres is arranged at a distance A or
- Connected to the inner surface of the outer tube and from the outer surface of the In nenrohres is arranged at a distance A.

Dabei werden unter einem Verbindungsabschnitt der Teil oder die Teile eines Endes des Entla dungsgefäßes verstanden, der/die nicht parallel zu dessen Längsachse ausgerichtet ist/sind. Das selbsttragende Bauteil kann durch Verkleben mit organischen oder anorganischen Kleb stoffen oder Kitten, durch Löten mit Glaslot, durch thermisches Schrumpfen, Kollabieren oder Aufdrücken sowie durch punkt- oder ringförmige Nasen oder Rillen im Innen - und/oder Außen rohr an seinem Einsatzort fixiert sein. Here, the part or parts of an end of the discharge are under a connecting section understood that is / are not aligned parallel to its longitudinal axis. The self-supporting component can be glued with organic or inorganic adhesive fabrics or kittens, by soldering with glass solder, by thermal shrinking, collapsing or Press on as well as through punctiform or ring-shaped lugs or grooves on the inside and / or outside be fixed at its place of use.

Das mindestens eine selbsttragende Bauteil wirkt als eine Art Vorhang vor dem Verbindungs abschnitt, ohne einen vom Entladungsraum vollständig getrennten Gasraum zwischen Bauteil und Verbindungsabschnitt auszubilden. Dadurch findet zwischen Bauteil und dem durch dieses geschützten Verbindungsabschnitt im Betrieb des Entladungsgefäßes keine Entladung statt. Die Verbindungsabschnitte sind durch das Bauteil zuverlässig vor Rissbildung als Folge von UV-Strahlung geschützt.The at least one self-supporting component acts as a kind of curtain in front of the connection section without a gas space between the component that is completely separated from the discharge space and to form the connecting section. This takes place between the component and the one through it protected connection section during operation of the discharge vessel, no discharge takes place. The connection sections are reliable due to the component from cracking as a result of Protected against UV radiation.

Da das Innenrohr bei hochbelasteten Excimer-Entladungslampen (Leistungseintrag < 10 W pro cm Entladungsgefäßlänge) üblicherweise durch durchströmendes Wasser gekühlt wird, wäh rend das Außenrohr nicht oder durch Luft gekühlt wird, bildet sich ein steiler Temperaturgra dient in den Verbindungsabschnitten aus, der zu einer hohen mechanischen Belastung führt. Eine zusätzliche UV-Bestrahlung der Verbindungsabschnitte führt dort zu einer Bildung von Rissen, die die Lebensdauer der Entladungslampe wesentlich verkürzen. Somit führt der Schutz der Verbindungsabschnitte vor UV-Strahlung durch das mindestens eine selbsttragende Bauteil zu einer deutlichen Verlängerung der Lebensdauer des Entladungsgefäßes von über 50%. Au ßerdem können dadurch bei hochbelasteten Excimer-Entladungslampen Baulängen < 50 cm für Entladungsgefäße realisiert werden.Since the inner tube with highly loaded excimer discharge lamps (power input <10 W per cm discharge vessel length) is usually cooled by water flowing through it While the outer tube is not cooled or cooled by air, a steep temperature gradient forms serves in the connecting sections, which leads to a high mechanical load. An additional UV radiation of the connecting sections leads to the formation of Cracks that significantly shorten the life of the discharge lamp. So protection leads the connecting sections against UV radiation through the at least one self-supporting component to a significant extension of the life of the discharge vessel by more than 50%. Au In addition, in the case of highly loaded excimer discharge lamps, lengths of less than 50 cm for Discharge vessels can be realized.

Es hat sich bewährt, wenn der Abstand A < 500 µm beträgt. Damit ist fertigungstechnisch ge währleistet, dass ein mechanischer Kontakt des Bauteils nur zum Innen- oder zum Außenrohr hergestellt wird.It has proven useful if the distance A is <500 µm. This is ge technology ensures that mechanical contact of the component only with the inner or outer tube will be produced.

Besonders haben sich selbsttragende Bauteile bewährt, die UV-Strahlung der Wellenlänge 172 nm absorbieren.Self-supporting components have proven particularly useful, UV radiation with a wavelength of 172 nm absorb.

Bevorzugt ist für das Außenrohr und das Innenrohr jeweils ein kreisförmiger Querschnitt. Zudem wird eine koaxiale Anordnung von Außenrohr und Innenrohr bevorzugt. Durch eine sol che Ausgestaltung kann das mindestens eine selbsttragende Bauteil weitgehend symmetrisch ausgeführt werden.A circular cross section is preferred for the outer tube and the inner tube. In addition, a coaxial arrangement of the outer tube and inner tube is preferred. Through a sol che configuration, the at least one self-supporting component can be largely symmetrical be carried out.

Als mindestens einen Teil der UV-Strahlung absorbierende Materialien haben sich insbesonde re CeO₂-dotiertes oder TiO₂-dotiertes Kieselglas bewährt. Weiterhin ist es von Vorteil, andere VUV-Strahlung (= Vakuum-Ultraviolett-Strahlung) absorbierende Kieselgläser einzusetzen. Auch der Einsatz von elektrisch isolierenden Keramikmaterialien wir beispielsweise Al₂O₃ ist denkbar. CeO ₂ -doped or TiO ₂ -doped silica glass has proven particularly useful as at least a part of the UV radiation-absorbing materials. It is also advantageous to use other VUV radiation (= vacuum ultraviolet radiation) absorbing silica glasses. The use of electrically insulating ceramic materials such as Al ₂ O ₃ is also conceivable.

Dies ist insbesondere dann der Fall, wenn das Füllgas Xenon (Zerfall der Xe-Excimere er zeugt UV-Strahlung von 172 nm) enthält oder gänzlich aus Xenon gebildet ist.This is particularly the case when the filling gas xenon (decay of the Xe excimers generates UV radiation of 172 nm) or is made entirely of xenon.

Als besonders einfach hat sich die Herstellung des Entladungsgefäßes erwiesen, wenn das mindestens eine selbsttragende Bauteil ringförmig ausgebildet ist. Das Bauteil kann dabei aus mehreren Einzelteilen bestehen beziehungsweise zusammengesetzt sein. Aber auch jegliche andere Formen sind denkbar.The production of the discharge vessel has proven to be particularly simple if that at least one self-supporting component is annular. The component can consist of several individual parts or be composed. But also any other shapes are conceivable.

Dabei hat es sich bewährt, wenn das mindestens eine selbsttragende Bauteil eine Breite im Bereich von 1 mm bis 7 mm, insbesondere von 5 mm aufweist.It has proven effective if the at least one self-supporting component has a width in the Has a range from 1 mm to 7 mm, in particular from 5 mm.

Das Problem wird hinsichtlich der Herstellungsverfahren für ein erstes Verfahren gelöst, indem mindestens zwei ringförmige, selbsttragende Bauteile erhitzt und jeweils mindestens eines der erhitzten, selbsttragenden Bauteile über eines der Enden des Innenrohres geschoben werden, dann die mindestens zwei selbsttragenden Bauteile abgekühlt und dabei mit oder ohne Druck einwirkung jeweils auf den Außendurchmesser des Innenrohres aufgebracht werden, das In nenrohr mit den aufgebrachten Bauteilen in das Außenrohr eingeführt wird und dann der erste und der zweite Verbindungsabschnitt durch ein Verschmelzen der Enden des Innenrohres mit dem jeweils zugeordneten Ende des Außenrohres gebildet wird.The problem is solved regarding the manufacturing methods for a first method by heated at least two annular, self-supporting components and at least one of each heated, self-supporting components are pushed over one of the ends of the inner tube, then the at least two self-supporting components are cooled and with or without pressure Action are applied to the outer diameter of the inner tube, the In with the attached components is inserted into the outer tube and then the first and the second connecting section by fusing the ends of the inner tube with the respectively associated end of the outer tube is formed.

Ein solches Verfahren gewährleistet eine sichere Fixierung des selbsttragenden Bauteils im Entladungsraum, so dass die Gefahr eines Verrutschens ausgeschlossen wird. Durch das Auf schrumpfen wird die Verwendung eines Klebers oder einer Nase im Innen- und/oder Außen rohr zur Fixierung vermieden. Außerdem wird eine Verunreinigung des Entladungsraumes weit gehend ausgeschlossen, die beispielsweise bei der Verwendung organischer Kleber durch ein Ausdampfen von Lösungsmittel auftreten kann.Such a method ensures a secure fixation of the self-supporting component in the Discharge space so that the risk of slipping is excluded. By opening the use of an adhesive or a nose inside and / or outside will shrink tube for fixation avoided. In addition, contamination of the discharge space becomes wide excluded, for example when using organic glue through a Evaporation of solvents can occur.

Das Problem wird für ein weiteres Verfahren dadurch gelöst, dass jeweils mindestens ein ring förmiges, selbsttragendes Bauteil in eines der Enden des Außenrohres geschoben wird und das Außenrohr dort lokal mit oder ohne Druckeinwirkung auf das Außenrohr erhitzt wird, so dass das Außenrohr lokal kollabiert und auf das mindestens eine Bauteil auffällt, dass das Innenrohr durch das mindestens eine Bauteil an jeweils einem Ende des Außenrohres hindurch in das Außenrohr eingeführt wird und dass dann der erste und der zweite Verbindungsabschnitt durch ein Verschmelzen der Enden des Innenrohres mit dem jeweils zugeordneten Ende des Außen rohres gebildet wird. Auch hier gelten die bereits oben beim ersten Verfahren aufgeführten Vorteile. Das Außenrohr kann nach dem lokalen Erhitzen zum Beispiel mit einem Kohlenstoff block auf das mindestens eine selbsttragende Bauteil aufgedrückt werden oder aber es kann im Inneren des Außenrohres ein Unterdruck erzeugt werden, der das Kollabieren unterstützt.For another method, the problem is solved in that at least one ring in each case shaped, self-supporting component is pushed into one of the ends of the outer tube and that Outer tube is heated there locally with or without pressure on the outer tube, so that the outer tube collapses locally and the at least one component strikes that the inner tube through the at least one component at one end of the outer tube into the Outer tube is inserted and that then through the first and second connecting sections a fusion of the ends of the inner tube with the respectively assigned end of the outside tube is formed. The ones already listed above for the first procedure also apply here Benefits. After the local heating, the outer tube can be coated with a carbon, for example block can be pressed onto the at least one self-supporting component or it can be A negative pressure is generated inside the outer tube, which supports the collapse.

Das Problem wird hinsichtlich der dielektrisch behinderten Entladungslampe gelöst, indem ein erfindungsgemäßes Entladungsgefäß eingesetzt wird, wobei eine erste Elektrode in Kontakt zur Außenoberfläche des Außenrohres und eine zweite Elektrode in Kontakt zur Innenoberfläche des Innenrohres angeordnet ist, wobei die erste Elektrode zumindest teilweise einen Durchtritt von UV-Strahlung aus Richtung des Entladungsraumes in Richtung eines das Außenrohr um gebenden Außenraumes ermöglicht und/oder die zweite Elektrode zumindest teilweise einen Durchtritt von UV-Strahlung aus Richtung des Entladungsraumes in Richtung eines vom Innen rohr umgebenen Innenraumes ermöglicht.The problem with respect to the dielectric barrier discharge lamp is solved by a Discharge vessel according to the invention is used, with a first electrode in contact with the Outer surface of the outer tube and a second electrode in contact with the inner surface of the inner tube is arranged, wherein the first electrode at least partially a passage of UV radiation from the direction of the discharge space in the direction of the outer tube giving outside space and / or the second electrode at least partially one Passage of UV radiation from the direction of the discharge space towards one from the inside pipe surrounding interior allows.

Solche hochbelasteten Entladungslampen werden üblicherweise mit einer Wasser- Innenkühlung betrieben, die zu einer zusätzlichen Belastung der Verbindungsabschnitte durch die oben bereits erwähnte Ausbildung steiler Temperaturgradienten zwischen Innenrohr und Außenrohr führt.Discharge lamps of this type are usually loaded with a water Internal cooling operated, which leads to an additional load on the connecting sections the formation of steep temperature gradients between the inner tube and Outer tube leads.

Die Figurendarstellungen 1 bis 5 sollen Ausführungsbeispiele für das erfindungsgemäße Entla dungsgefäß sowie eine damit gebildete dielektrisch behinderte Entladungslampe erläutern.The figure representations 1 to 5 are intended to explain exemplary embodiments of the discharge vessel according to the invention and a dielectric barrier discharge lamp formed therewith.

So zeigenSo show

Fig. 1 ein Entladungsgefäß im Längsschnitt, bei dem das selbsttragende Bauteil auf das Innenrohr aufgeschrumpft ist, Fig. 1, a discharge vessel in longitudinal section, wherein the self-supporting part is shrunk on to the inner tube,

Fig. 2 das Entladungsgefäß aus Fig. 1 im Querschnitt B-B' Fig. 2 shows the discharge vessel of Fig. 1 in cross-section B-B '

Fig. 3 ein Entladungsgefäß im Längsschnitt, bei dem das Außenrohr auf das selbst tragende Bauteil aufgeschrumpft ist, Fig. 3 shows a discharge vessel in longitudinal section, wherein the outer tube is shrunk onto the self-supporting component,

Fig. 4 das Entladungsgefäß aus Fig. 3 im Querschnitt C-C' Fig. 4 shows the discharge vessel of Fig. 3 in cross-section C-C '

Fig. 5 eine dielektrisch behinderte Entladungslampe mit einem Entladungsgefäß gemäß Fig. 1. Fig. 5 shows a dielectric barrier discharge lamp having a discharge vessel of FIG. 1.

Fig. 1 zeigt ein Entladungsgefäß 1 aus Kieselglas mit einem Innenrohr 2a und einem Außen rohr 3a, die beide kreisringförmige Querschnitte aufweisen und konzentrisch angeordnet sind. Das Innenrohr 2a weist eine Innenoberfläche 2b und eine Außenoberfläche 2c auf. Das Außen rohr weist eine Innenoberfläche 3b und eine Außenoberfläche 3c auf. An einem ersten Ende 1a des Entladungsgefäßes 1 sind das Innenrohr 2a und das Außenrohr 3a durch einen ersten Ver bindungsabschnitt 4a verbunden. An einem zweiten Ende 1b des Entladungsgefäßes 1 sind das Innenrohr 2a und das Außenrohr 3a durch einen zweiten Verbindungsabschnitt 4b verbun den. Zwischen dem Innenrohr 2a und dem Außenrohr 3a ist ein Entladungsraum 5 gebildet, der mit Xenon gefüllt ist. Zum Schutz der Verbindungsabschnitte 4a, 4b sind im Entladungsgefäß 5 zwei kreisringförmige, selbsttragende Bauteile 6a, 6b angeordnet, die auf das Innenrohr 2a auf geschrumpft sind und aus CeO₂-dotiertem Kieselglas gebildet sind. Vom Außenrohr 3a sind die Bauteile 6a, 6b beabstandet angeordnet. Fig. 1 shows a discharge vessel 1 made of silica glass with an inner tube 2 a and an outer tube 3 a, both of which have annular cross sections and are arranged concentrically. The inner tube 2 a has an inner surface 2 b and an outer surface 2 c. The outer tube has an inner surface 3 b and an outer surface 3 c. At a first end 1 a of the discharge vessel 1, the inner pipe 2 a and the outer tube 3 a by a first Ver connecting portion 4a is connected. At a second end 1 b of the discharge vessel 1 , the inner tube 2 a and the outer tube 3 a are connected by a second connecting section 4 b. A discharge space 5 is formed between the inner tube 2 a and the outer tube 3 a, which is filled with xenon. To protect the connecting sections 4 a, 4 b, two annular, self-supporting components 6 a, 6 b are arranged in the discharge vessel 5 , which are shrunk onto the inner tube 2 a and are formed from CeO ₂ -doped silica glass. The components 6 a, 6 b are arranged at a distance from the outer tube 3 a.

Fig. 2 zeigt das Entladungsgefäß 1 aus Fig. 1 im Querschnitt B-B'. Deutlich ist der Abstand A zwischen Bauteil 6b und Innenoberfläche 3b des Außenrohres 3a zu erkennen. FIG. 2 shows the discharge vessel 1 from FIG. 1 in cross section B-B '. The distance A between component 6 b and inner surface 3 b of the outer tube 3 a can be clearly seen.

Fig. 3 zeigt als ein weiteres Ausführungsbeispiel ein Entladungsgefäß 1 aus Kieselglas mit einem Innenrohr 2a und einem Außenrohr 3a, die beide kreisringförmige Querschnitte aufwei sen und konzentrisch angeordnet sind. Das Innenrohr 2a weist eine Innenoberfläche 2b und eine Außenoberfläche 2c auf. Das Außenrohr weist eine Innenoberfläche 3b und eine Außen oberfläche 3c auf. An einem ersten Ende 1a des Entladungsgefäßes 1 sind das Innenrohr 2a und das Außenrohr 3a durch einen ersten Verbindungsabschnitt 4a verbunden. An einem zweiten Ende 1b des Entladungsgefäßes 1 sind das Innenrohr 2a und das Außenrohr 3a durch einen zweiten Verbindungsabschnitt 4b verbunden. Zwischen dem Innenrohr 2a und dem Au ßenrohr 3a ist ein Entladungsraum 5 gebildet, der mit Xenon gefüllt ist. Zum Schutz der Verbin dungsabschnitte 4a, 4b sind im Entladungsgefäß 5 zwei kreisringförmige, selbsttragende Bau teile 6a, 6b angeordnet, auf die das Außenrohr 3a aufgeschrumpft ist. Die Bauteile 6a, 6b sind aus TiO₂-dotiertem Kieselglas gebildet. Vom Innenrohr 2a sind die Bauteile 6a, 6b beabstandet angeordnet. Fig. 3 shows as a further embodiment, a discharge vessel 1 made of silica glass with an inner tube 2 a and an outer tube 3 a, both of which have annular cross sections and are arranged concentrically. The inner tube 2 a has an inner surface 2 b and an outer surface 2 c. The outer tube has an inner surface 3 b and an outer surface 3 c. At a first end 1 a of the discharge vessel 1 , the inner tube 2 a and the outer tube 3 a are connected by a first connecting section 4 a. At a second end 1 b of the discharge vessel 1 , the inner tube 2 a and the outer tube 3 a are connected by a second connecting section 4 b. Between the inner tube 2a and the Au ßenrohr 3 a is formed a discharge space 5 which is filled with xenon. To protect the connec tion sections 4 a, 4 b, two circular, self-supporting construction parts 6 a, 6 b are arranged in the discharge vessel 5 , onto which the outer tube 3 a is shrunk. The components 6 a, 6 b are formed from TiO ₂ -doped silica glass. The components 6 a, 6 b are arranged at a distance from the inner tube 2 a.

Fig. 4 zeigt das Entladungsgefäß 1 aus Fig. 3 im Querschnitt C-C' Deutlich ist der Abstand A zwischen Bauteil 6b und Außenoberfläche 2c des Innenrohres 2a zu erkennen. Fig. 4 shows the discharge vessel 1 of FIG. 3 in cross section CC 'Significantly, the distance A between component 6 b 2 c and outer surface of the inner tube 2a can be seen.

Fig. 5 zeigt eine dielektrisch behinderte Entladungslampe 7 mit einem Entladungsgefäß ge mäß Fig. 1. Auf der Außenoberfläche 3c des Außenrohres ist eine erste Elektrode 8b in Form eines spiralförmig aufgewickelten Metalldrahtes angeordnet. Es können aber auch andere Elektroden in Form von Drahtnetzen oder -geweben oder in Form von transparenten Schichten verwendet werden, wenn mindestens eine Teil der UV-Strahlung aus dem Entladungsraum durchgelassen wird. Auf der Innenoberfläche 2b des Innenrohres 2a ist eine zweite Elektrode 8a angeordnet. Im Einsatz kann die Entladungslampe 7 innerhalb der zweiten Elektrode 8a bei spielsweise mit durchströmendem Wasser gekühlt werden. Fig. 5 shows a dielectric barrier discharge lamp 7 with a discharge vessel according to FIG. 1. On the outer surface 3 c of the outer tube, a first electrode 8 b is arranged in the form of a spirally wound metal wire. However, other electrodes in the form of wire nets or meshes or in the form of transparent layers can also be used if at least part of the UV radiation is let through from the discharge space. A second electrode 8 a is arranged on the inner surface 2 b of the inner tube 2 a. In use, the discharge lamp 7 can be cooled within the second electrode 8 a with water flowing through it, for example.

Claims

1. Elongated discharge vessel made of silica glass for a dielectric barrier discharge lamp, the discharge vessel comprising an outer tube and an inner tube spaced apart within the outer tube, the outer tube and the inner tube at a first end of the discharge vessel through a first connecting portion made of silica glass and at a second End of the discharge vessel are connected to one another by a second connecting section made of silica glass and a discharge space is formed between the inner tube and the outer tube, which contains at least one filling gas that forms excimers, the first and second connecting portions each being protected from UV by a protective device arranged in the discharge space. Radiation from the direction of the discharge space is protected, characterized in that
the protective device consists of at least one self-supporting component which is formed from at least a part of the UV radiation-absorbing material and which ent
is connected to the outer surface of the inner tube and is arranged at a distance A from the inner surface of the outer tube or
is connected to the inner surface of the outer tube and is arranged at a distance A from the outer surface of the inner tube.

2. Elongated discharge vessel according to claim 1, characterized in that the Distance A is <500 µm.

3. Elongated discharge vessel according to claim 1 or 2, characterized in that the self-supporting component absorbs UV radiation with a wavelength of 172 nm.

4. Elongated discharge vessel according to one of claims 1 to 3, characterized records that the outer tube and the inner tube each have a circular cross section exhibit.

5. Elongated discharge vessel according to one of claims 1 to 4, characterized records that the outer tube and the inner tube are arranged coaxially.

6. Elongated discharge vessel according to one of claims 1 to 5, characterized in that the self-supporting component is formed from silica glass which is doped with CeO ₂ .

7. Elongated discharge vessel according to one of claims 1 to 5, characterized in that the self-supporting component is formed from silica glass which is doped with TiO ₂ .

8. Elongated discharge vessel according to one of claims 1 to 5, characterized indicates that the self-supporting component is made of silica glass, which VUV- Radiation (= vacuum ultraviolet radiation) absorbed.

9. Elongated discharge vessel according to one of claims 1 to 5, characterized in that the self-supporting component is formed from Al ₂ O ₃ .

10. Elongated discharge vessel according to one of claims 1 to 9, characterized records that the fill gas contains xenon.

11. Elongated discharge vessel according to claim 10, characterized in that the Filling gas consists only of xenon.

12. Elongated discharge vessel according to one of claims 1 to 11, characterized records that the self-supporting component is annular.

13. Elongated discharge vessel according to one of claims 1 to 12, characterized records that the self-supporting component has a width in the range of 1 mm to 7 mm has.

14. Elongated discharge vessel according to claim 13, characterized in that the self-supporting component has a width of 5 mm.

15. A method for producing an elongate discharge vessel according to one of the An Proverbs 12 to 14, characterized in that at least two ring-shaped self-tracts components heated and at least one of the heated self-supporting components is pushed over one of the ends of the inner tube that the at least two themselves bearing components cooled and with or without pressure on the Au Outside diameter of the inner tube are applied so that the inner tube with the brought components into the outer tube and that then the first and the second connecting section by fusing the ends of the inner tube with the each associated end of the outer tube is formed.

16. A method for producing an elongated discharge vessel according to one of the An Proverbs 12 to 14, characterized in that at least one ring-shaped self-supporting component is pushed into one of the ends of the outer tube and the Au Outer tube is heated there locally with or without pressure on the outer tube, so that the outer tube collapses locally and the at least one component strikes that the inside through the at least one component at one end of the outer tube the outer tube is inserted and then the first and second connections cut by fusing the ends of the inner tube with the respectively assigned End of the outer tube is formed.

17. Dielectric-barrier discharge lamp with an elongated discharge vessel after one of claims 1 to 14, wherein a first electrode in contact with the outer surface of the outer tube and a second electrode in contact with the inner surface of the inner tube is arranged, wherein the first electrode at least partially a passage of UV Radiation from the direction of the discharge space in the direction of a surrounding the outer tube the outer space and / or the second electrode at least partially one Passage of UV radiation from the direction of the discharge space towards one from the inside inner tube surrounding allows.