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Stand der Technik
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Die Erfindung geht aus von einem System aus einem Inertialsensor und einer Auswerteeinheit und von einem Verfahren zur Bestimmung einer Frequenz und/oder Frequenzänderung einer Antriebsschwingung eines Inertialsensors.
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Inertialsensoren, insbesondere Drehratensensoren, werden häufig durch mikromechanische Oszillatoren realisiert. Bei Drehratensensoren wird dabei eine elastisch gelagerte Masse resonant zu einer Antriebsschwingung angeregt und die durch die äußere Drehung wirkenden Corioliskräfte über senkrecht zur Antriebsschwingung verlaufende Auslenkungen der Masse detektiert. Die Corioliskraft ist gegeben durch die Geschwindigkeit v der Masse und die anliegende äußere Drehrate Ω:
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Da es sich hier zumindest näherungsweise um eine harmonischen Schwingung handelt, kann die Corioliskraft auch durch die Antriebsamplitude xo und die Schwingungsfrequenz ω ausgedrückt werden:
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Anhand dieses Ausdrucks ist unmittelbar ersichtlich, dass bei einer Änderungen der Frequenz ω auch eine veränderte Corioliskraft auftritt, so dass die Frequenz der Schwingung unmittelbare Auswirkungen auf die Amplitude des Messsignals hat. Änderungen der Schwingungsfrequenz treten unter anderem durch den Einfluss der Umgebungsbedingungen auf, wie beispielsweise durch die Umgebungstemperatur oder durch auf das Bauteil wirkende mechanische Spannungen. Ein gängiges Konzept zur Kompensation des Temperatureinflusses besteht darin, die Sensoren mit Hilfe einer Temperaturmessung abzugleichen. Solche Ansätze weisen jedoch verschiedene Nachteile auf. Beispielsweise sind hierzu Systeme bekannt, bei denen die Temperaturmessung mittels eines auf dem ASIC (application-specific integrated circuit) integrierten physikalischen Temperatursensors durchgeführt wird. Der Temperatursensor ist jedoch über ein Klebemittel von dem schwingungsfähigen mikromechanischen System (microelectromechanical system, MEMS) entkoppelt, so dass es bei einer raschen Temperaturänderung oder durch einen Temperaturgradienten im Sensor zu Temperaturunterschieden zwischen ASIC und MEMS kommen kann und die Kompensation von Temperatureffekten entsprechend ungenau wird.
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Es wäre daher erstrebenswert, eine direktere Messung der Schwingfrequenz zu ermöglichen, die gegenüber indirekten Methoden wie Temperaturmessung etc. eine genauere Kompensation der (erwarteten) Abweichungen erlaubt.
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Offenbarung der Erfindung
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Vor diesem Hintergrund ist es eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung, ein System und ein Verfahren zur Verfügung zu stellen, mit denen sich die Schwingungsfrequenz der beweglichen Struktur eines Inertialsensors ermitteln lässt und gegebenenfalls die durch eine Frequenzänderung hervorgerufenen Abweichungen kompensieren lassen.
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Das System gemäß Anspruch 1 beruht auf dem Grundgedanken, die Frequenz des sensorinternen Oszillators mit Hilfe des Referenztaktgebers der Auswerteeinheit zu ermitteln. Die erste Alternative erlaubt es gegenüber dem Stand der Technik, die Frequenz über die an die Schwingungsfrequenz gekoppelte Ausgangsdatenrate zu bestimmen, während es die zweite Alternative erlaubt, dem Sensor das Referenztaktsignal der Auswerteeinheit für die Ermittlung der Schwingungsfrequenz zur Verfügung zu stellen. Die Bereitstellung des Referenztakts erfolgt in beiden Fällen durch die Auswerteeinheit, insbesondere durch einen Prozessor, der beispielsweise die Daten des Sensors verarbeitet oder durch eine weitere elektronische Schaltung. Die Auswerteeinheit vermisst dabei die zeitliche Rate der vom Sensor empfangenen Ausgangsdaten auf Grundlage der durch den Referenztaktgeber bereitgestellten Zeitbasis oder stellt dem Sensor diese Zeitbasis durch Übertragung des Referenztaktsignals zur Verfügung. Dem gegenüber wäre eine verlässliche Messung der Schwingungsfrequenz auf alleiniger Grundlage der im Sensor zur Verfügung stehenden Mittel nur bedingt möglich, insbesondere da bei den aus dem Stand der Technik bekannten Systemen der Systemtakt des Sensors typischerweise von der Eigenfrequenz des mikromechanischen Oszillators abgeleitet wird. Daher referenziert sich eine interne Messung auf sich selbst und die Frequenz kann entsprechend nur über Umwege bestimmt werden. das Mit Hilfe des erfindungsgemäßen Systems hat der Nutzer des Sensors dagegen die Möglichkeit, die sensorinterne Frequenz (oder deren Änderung gegenüber einem Referenzwert) anhand der Ausgangsdatenrate zu bestimmen und basierend auf dieser Information gegebenenfalls eine Kompensation vorzunehmen (oder dem Sensor die ermittelte interne Frequenz übermitteln und eine genauere Kompensation im Sensor selbst ermöglichen). Alternativ kann die Auswerteeinheit dem Sensor den Referenztakt übertragen sodass der Sensor intern eine referenzierte Auswertung der Ausgangsdatenrate durchführen kann.
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Da sich der interne Systemtakt des Sensors von der MEMS-Oszillatorfrequenz ableitet, aber typischerweise die Ausgangsdatenrate durch eine (insbesondere durch die spezifische Nutzung vorgegebene) Spezifikation festgelegt wird, wird die Datenrate üblicherweise durch Einstellung eines festen Frequenzteilers beim Endmessen des Sensors einmalig auf den Zielwert eingestellt. Treten Änderungen der internen Schwingungsfrequenz auf, so wirken sich diese unmittelbar auf die Datenrate aus. Typischerweise liegen diese Schwankungen innerhalb der Spezifikationen der Ausgangsdatenrate, sind aber dennoch messbar (im Bereich von wenigen Promille). Der Prozessor, der die Sensordaten verarbeitet, verfügt typischerweise über eine sehr genaue Frequenzreferenz (üblicherweise in Form eines Quarzoszillators), die eine genaue Vermessung der Datenrate ermöglicht.
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Bei dem Inertialsensor handelt es sich insbesondere um einen Drehratensensor, der dazu konfiguriert ist, die schwingungsfähige Struktur zu der Antriebsschwingung anzuregen und eine zur Antriebsschwingung senkrecht verlaufende Detektionsschwingung zu erfassen. Alternativ kann es sich bei dem Inertialsensor auch um einen Beschleunigungssensor handeln. Insbesondere weist der Inertialsensor eine Kontrolleinheit auf, die beispielsweise dazu konfiguriert ist, eine Amplitude der Antriebsschwingung zu regeln und/oder aus einem Messsignal die Detektionsdaten zu erzeugen. Die Auswerteeinheit kann insbesondere ein Prozessor sein, der die Ausgangsdaten des Sensors über eine Datenverbindung empfängt und weiterverarbeitet. Der Sensor und die Auswerteeinheit können insbesondere räumlich getrennt angeordnet sein (oder räumlich getrennt anordnenbar sein) oder die Auswerteeinheit kann zusammen mit dem Sensor Teil einer Sensorvorrichtung sein.
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Bei der Ausgangsdatenrate handelt es sich um die zeitliche Rate, mit der neue Ausgangsdaten vom Sensor an die Auswerteeinheit übermittelt werden können bzw. zur Verfügung stehen. Erfolgt die Datenübertragung synchronisiert vom Sensor an die Auswerteeinheit, entspricht das Inverse der Zeitdauer zwischen dem Senden aufeinanderfolgender Datenblöcke der Ausgangsdatenrate. Insbesondere ist der Inertialsensor derart konfiguriert, dass die Ausgangsdatenrate durch Frequenzteilung eines sensorinternen Taktsignals festgelegt ist und das sensorinterne Taktsignal wiederum in Abhängigkeit von der Antriebsschwingung erzeugt wird. Insbesondere ist der Inertialsensor dazu konfiguriert, die Antriebsschwingung durch ein Auslenkungssignal zu erfassen und ein sensorinternes Taktsignal in Abhängigkeit von dem Auslenkungssignal zu erzeugen oder das sensorinterne Taktsignal mit dem Auslenkungssignal zu synchronisieren.
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Vorteilhafte Ausgestaltungen und Weiterbildungen der Erfindung sind den Unteransprüchen sowie der Beschreibung unter Bezugnahme auf die Zeichnungen entnehmbar.
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Das erfindungsgemäße System erlaubt insbesondere eine Korrektur der vom Sensor ermittelten Rohdaten, durch die der Einfluss der veränderten Schwingungsfrequenz auf die Detektionsdaten des Sensors kompensiert wird. Die Korrekturwerte können beispielsweise In Abhängigkeit eines Korrekturmodells in der Auswerteeinheit ermittelt werden. Alternativ könnten diese Korrekturmodelle bereits im Sensor abgelegt sein und der Sensor führt anhand der (vom Sensor selbst bestimmten oder vom Prozessor übermittelten) Frequenz diese Kompensation aus.
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Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform ist die Auswerteeinheit dazu konfiguriert, Detektionsdaten des Inertialsensors in Abhängigkeit von der ermittelten Frequenz und/oder Frequenzänderung zu korrigieren. Bei den Detektionsdaten handelt es sich um das Messsignal der vom Sensor erfassten physikalischen Größe, insbesondere der am Sensor anliegenden Drehrate oder Beschleunigung. Beispielsweise kann für die Korrektur eine Differenz zwischen der ermittelten Frequenz und einem in der Auswerteeinheit gespeicherten Referenzwert gebildet werden und die Korrektur in Abhängigkeit von dieser Differenz (d.h. der Frequenzänderung) erfolgen. Alternativ kann die Korrektur auch direkt in Abhängigkeit von der ermittelten Frequenz erfolgen. Beispielsweise kann in einem Speicher der Auswerteeinheit eine Mehrzahl an Frequenzen und/oder Frequenzänderungen (oder auch Ausgangsdatenraten und/oder Änderungen der Ausgangsdatenrate) mit einem oder mehreren zugehörigen Korrekturwerten abgelegt sein, die nach der Ermittlung der Frequenz und/oder Frequenzänderung auf die Detektionsdaten angewendet werden.
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Gemäß einer weiteren bevorzugten Ausführungsform ist der Inertialsensor dazu konfiguriert, Detektionsdaten des Inertialsensors in Abhängigkeit von der Frequenz und/oder Frequenzänderung zu korrigieren. Die Frequenz und/oder Frequenzänderung die zur Korrektur der Sensordaten verwendet wird, kann dabei in Abhängigkeit von dem übertragenen Referenztaktsignal vom Sensor selbst bestimmt werden oder von der Auswerteeinheit übermittelt werden. Insbesondere ist also die Auswerteeinheit dazu konfiguriert, die ermittelte Frequenz und/oder Frequenzänderung an den Inertialsensor zu übertragen. Beiletzterer Ausführungsform besteht die Funktion der Auswerteeinheit also darin, die Frequenz und/oder Frequenzänderung mit dem internen Referenztaktgeber zu ermitteln und das Ergebnis an den Sensor zurückzugeben und die Korrektur selbst wird anschließend sensorintern durchgeführt.
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Vorzugsweise sind die Auswerteeinheit und/oder der Inertialsensor dazu konfiguriert, die Detektionsdaten durch eine Anpassung der Empfindlichkeit, des Offsets oder weiterer Parameter des Inertialsensors zu korrigieren. Die Empfindlichkeit des Sensors entspricht dem Verhältnis aus der vom Sensor gemessenen Größe und dem ausgegebenen Messsignal und stellt üblicherweise einen, im Sensor oder der Auswerteeinheit gespeicherten Wert dar, der für die Berechnung der Detektionsdaten ausgelesen und angewendet wird. Durch eine Anpassung der Empfindlichkeit ist der Sensor bzw. die Auswerteeinheit in der Lage, basierend auf der ermittelten Frequenz(-abweichung) in relativ einfacher Weiser eine Korrektur der Rohdaten vorzunehmen.
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Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform weist das System einen weiteren Inertialsensor auf, wobei die Auswerteeinheit dazu konfiguriert ist, Detektionsdaten des weiteren Inertialsensors in Abhängigkeit von der ermittelten Frequenz und/oder Frequenzänderung zu korrigieren. Insbesondere handelt es sich bei dem Inertialsensor, dessen Ausgangsdatenrate ermittelt wird, um einen Drehratensensor und bei dem weiteren Sensor um einen Beschleunigungssensor. Insbesondere sind der Inertialsensor und der weitere Inertialsensor Teil eines Sensorpakets (Package). Bei dieser Ausführungsform lässt sich die Frequenzänderung im (ersten) Inertialsensor dazu nutzen, Umgebungs- oder sonstige Störeinflüsse auf das Sensorsystem zu erfassen und die Detektionsdaten des weiteren Inertialsensors entsprechend zu korrigieren. Beispielsweise kann die Frequenzänderung des Inertialsensors als Maß für die im Package vorliegenden Verspannungen verwendet werden und die ermittelte Frequenz und/oder Frequenzänderung dazu dienen, bei einem ebenfalls im Package vorhandenen Beschleunigungssensor Korrekturen vorzunehmen.
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Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform weist das System mindestens einen weiteren Sensor, insbesondere einen Temperatursensors, und/oder einen Feuchtesensor und/oder einen Biegesensor auf, wobei die Auswerteeinheit dazu konfiguriert ist, Detektionsdaten des weiteren Sensors zu empfangen und in Abhängigkeit von den Detektionsdaten des weiteren Sensors und der ermittelten Frequenz und/oder Frequenzänderung der Antriebsschwingung eine Konsistenzprüfung durchzuführen, wobei die Auswerteeinheit insbesondere weiterhin dazu konfiguriert ist, durch die Konsistenzprüfung eine Fehlfunktion des Systems zu detektieren. Auf diese Weise wird eine Plausibilisierung der Frequenz mit beispielsweise einer internen Temperaturmessung ermöglicht. Sollten hier Inkonsistenzen auftreten, kann dies als Hinweis auf eine Fehlfunktion dienen, so dass die Ermittlung der Frequenz und/oder Frequenzänderung im Rahmen der funktionalen Sicherheit als zusätzliches Überwachungskriterium genutzt werden kann.
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Ein weiterer Gegenstand der Erfindung ist ein Verfahren gemäß Anspruch 7. Für das erfindungsgemäße Verfahren ergeben sich alle Gestaltungsmöglichkeiten und Vorteile, die vorstehend in Bezug auf das erfindungsgemäße System beschrieben wurden und umgekehrt. Insbesondere ist das System dazu konfiguriert, das erfindungsgemäße Verfahren und/oder Ausführungsformen des erfindungsgemäßen Verfahrens auszuführen.
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Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform des erfindungsgemäßen Verfahrens werden in einem weiteren Schritt Detektionsdaten des Inertialsensors in Abhängigkeit von der ermittelten Frequenz und/oder Frequenzänderung korrigiert, wobei die Korrektur insbesondere in Abhängigkeit eines Korrekturmodells erfolgt. Insbesondere kann anhand des Korrekturmodells eine Anpassung der Empfindlichkeit, des Offsets oder weiterer interner Parameter vorgenommen werden. In das Korrekturmodell können neben der ermittelten Ausgangsdatenrate auch weitere Größen eingehen, die insbesondere durch zusätzliche Sensoren erfasst werden.
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Vorzugsweise wird das Korrekturmodell in Abhängigkeit von Betriebsdaten des Inertialsensors gebildet, insbesondere wobei unter einer Mehrzahl unterschiedlicher Betriebsbedingungen mindestens ein äußerer Stimulus auf den Inertialsensor einwirkt und die Betriebsdaten beim Einwirken des äußeren Stimulus erzeugte Detektionsdaten und zugehörige Ausgangsdatenraten des Inertialsensors umfassen. Der äußere Stimulus wird insbesondere in kontrollierter Weise erzeugt, beispielsweise indem dem Inertialsensor in einer Testvorrichtung Drehungen und/oder Beschleunigungen aufgeprägt werden. Alternativ kann es sich auch um einen in der jeweiligen Anwendung auftretenden oder vorhandenen Stimulus handeln. Anhand eines bekannten äußeren Stimulus und der Detektionsdaten lassen sich die durch die Betriebsbedingungen bewirkten Abweichungen feststellen und die entsprechenden Korrekturwerte ermitteln.
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Besonders bevorzugt werden die unterschiedlichen Betriebsbedingungen durch mindestens einen weiteren Sensor, insbesondere einen Temperatursensor, und/oder einen Feuchtesensor und/oder einen Biegesensor erfasst und die Betriebsdaten zur Bildung des Korrekturmodells umfassen Sensordaten des mindestens einen weiteren Sensors. Bei dieser Ausführungsform wird das Korrekturmodell insbesondere in der Anwendung angelernt, indem beispielsweise ein Datenmodell in Korrelation mit weiteren Sensoren (Temperatur, Feuchte, Biegung, etc.) aufgestellt wird. Die wahren Empfindlichkeitswerte können beispielsweise über geeignete Algorithmen aus den Bewegungsdaten (z.B. Nutzung der 1g-Norm in Verbindung mit einem Beschleunigungssensor) extrahiert werden. So kann während der Nutzung in kontrollierbaren Situationen ein Modell aufgestellt werden, das später in weniger kontrollierbaren Situationen angewendet werden kann. Das Korrekturmodell wird insbesondere automatisiert gebildet, d.h. während des Betriebs werden automatisiert Detektionsdaten des Inertialsensors zusammen mit Sensordaten des weiteren Sensors oder der weiteren Sensoren gesammelt und abgespeichert. Auf Grundlage dieser gespeicherten Betriebsdaten kann dann beispielsweise ein statistisches Modell für den Zusammenhang zwischen der Frequenz (oder Ausgangsdatenrate) und der für die Kompensation der Umgebungseinflüsse notwendigen Korrekturwerte aufgestellt werden. Die Bildung des Korrekturmodells kann beispielsweise durch maschinelles Lernen erfolgen. Vorzugsweise ist die Auswerteeinheit dazu konfiguriert, automatisiert Betriebsdaten zu sammeln und das Korrekturmodell in Abhängigkeit von den gesammelten Betriebsdaten zu bilden und/oder weiter zu verbessern.
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Ausführungsbeispiele der vorliegenden Erfindung sind in den Zeichnungen dargestellt und in der nachfolgenden Beschreibung näher erläutert.
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Kurze Beschreibung der Zeichnungen
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- 1 zeigt eine schematische Darstellung einer Ausführungsform des erfindungsgemäßen Systems.
- 2 illustriert den zeitlichen Ablauf einer Ausführungsform des erfindungsgemäßen Verfahrens.
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Ausführungsformen der Erfindung
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In 1 ist der schematische Aufbau einer Ausführungsform des erfindungsgemäßen Systems 1 dargestellt. Das System 1 setzt sich zusammen aus einem, als Drehratensensor ausgebildeten Inertialsensor 2 und einer Auswerteeinheit 3, die mit dem Sensor 2 über eine Datenverbindung 8 verbunden ist. Der Drehratensensor 2 weist eine bewegliche mikromechanische Struktur 4 auf, die in zwei aufeinander senkrecht stehenden Richtungen (Antriebsrichtung und Detektionsrichtung) ausgelenkt und zur Schwingung angeregt werden kann. Die Antriebsschwingung kann beispielsweise durch elektrostatische Kräfte angetrieben werden, wobei die Amplitude der Antriebsschwingung durch die Kontrolleinheit 5 des Sensors 2 geregelt wird.
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Liegt nun am Sensor 2 eine äußere Drehrate an, erfährt die schwingende Masse der MEMS-Struktur 4 eine Corioliskraft, die senkrecht auf der Drehachse und auf der Richtung der Antriebsschwingung steht. Die Amplitude der Auslenkung in Detektionsrichtung kann durch kapazitive Strukturen erfasst und durch die Kontrolleinheit 5 zu Ausgangsdaten 7 verarbeitet werden, die an die Auswerteeinheit 3 übermittelt (angedeutet durch den Pfeil) und von dieser zur Bestimmung der am Sensor 2 anliegenden Drehrate verwendet werden. Bei einer gegebenen Antriebsfrequenz und -amplitude ist dabei die Amplitude der Detektionsschwingung im einfachsten Fall proportional zur anliegenden Drehrate, wobei das Verhältnis aus Messgröße (Drehrate) und dem Messsignal durch die Empfindlichkeit des Sensors 2 gegeben ist. Tritt jedoch, beispielsweise durch Temperatureinflüsse oder mechanische Spannungen eine Veränderung der Schwingungsfrequenz der Struktur 4 auf, erfährt die schwingende Masse eine entsprechend schwächere oder stärkere Corioliskraft und die damit einhergehende Veränderung des Messsignals führt zu einer verminderten Genauigkeit des Sensors 2.
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Die zeitliche Rate, mit der die Ausgangsdaten 7 des Sensors an die Auswerteeinheit 3 übermittelt werden, beruht auf einem von der Frequenz der Antriebsschwingung abgeleiteten sensorinternen Systemtakt. Ohne einen unabhängigen Zeitgeber ist eine Bestimmung der Schwingungsfrequenz innerhalb des Sensors 2 auf direktem Wege nicht möglich. Bei dem erfindungsgemäßen System 1 wird stattdessen ausgenutzt, dass die Auswerteeinheit 3 über einen Referenztaktgeber 6 verfügt, mit dem sich die Ausgangsdatenrate des Sensors 2 ermitteln lässt, so dass von den Schwankungen der an die Frequenz der Antriebsschwingung gekoppelten Ausgangsdatenrate auf die Schwankung der Schwingungsfrequenz selbst zurückgeschlossen werden kann. Alternativ kann das Referenztaktsignal des Referenztaktgebers von der Auswerteeinheit 3 an den Sensor 2 übertragen werden, so dass diesem eine Zeitbasis zur Bestimmung der Frequenz zur Verfügung steht. Die Auswerteeinheit 3 ist zu diesem Zweck dazu konfiguriert, die in 2 dargestellten Schritte einer Ausführungsform des erfindungsgemäßen Verfahrens auszuführen.
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Die Synchronisation der Auswerteeinheit 3 zur Ermittlung der Ausgangsdatenrate erfolgt beispielsweise dadurch, dass der Sensor 2 - etwa die Kontrolleinheit 5 des Sensors 2 - ein Triggersignal an die Auswerteeinheit 3 sendet, so dass die Ausgangsdatenrate der Auswerteeinheit 3 bekannt ist. Alternativ hierzu ist auch eine Ausführungform der Synchronisation möglich, bei der die Auswerteeinheit 3 quasi kontinuierlich (d.h. mit einer im Vergleich zur Ausgangsdatenrate vergleichsweise hohen Frequenz) anfragt, ob neue Ausgangsdaten beim Sensor 2 vorhanden sind, so dass auch hierdurch die Auswerteeinheit 3 auf die Ausgangsdatenrate schließen kann.
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Das in 2 schematisch dargestellte Verfahren 10 dient zur Bestimmung einer Frequenz und/oder Frequenzänderung der Antriebsschwingung des Drehratensensors 2 und zur anschließenden Korrektur der vom Drehratensensor 2 ermittelten Detektionsdaten. Zu diesem Zweck weist das Verfahren insgesamt vier Schritte 11, 12, 13, 14 auf. Im ersten Schritt 11 wird die Ausgangsdatenrate des Sensors 2 durch Synchronisation des Sensors 2 mit der Auswerteeinheit 3 ermittelt. Mit Hilfe des Frequenztaktgebers 6 überprüft die Auswerteeinheit 3 im zweiten Schritt 12, ob die ermittelte Ausgangsdatenrate bzw. die daraus ermittelte Schwingungsfrequenz mit einem Referenzwert übereinstimmt. Ist die Frequenz der Antriebsschwingung gegenüber dem vorgesehene Sollwert verschoben, ergibt sich eine entsprechende Verschiebung der Ausgangsdatenrate gegenüber dem Referenzwert, so dass die Abweichung der Ausgangsdatenrate ein direktes Maß für die Frequenzverschiebung ist. Auf Grundlage dieses Zusammenhangs wird die Frequenzverschiebung im dritten Schritt 13 durch die Auswerteeinheit bestimmt und im nachfolgenden vierten Schritt 14 wird bspw. die Empfindlichkeit oder der Offset oder weitere interne Parameter des Sensors 2 so angepasst, dass die durch die Frequenzverschiebung bewirkte Abweichung der Messwerte kompensiert wird.
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Alternativ dazu kann die Bestimmung der Frequenz und/oder Frequenzänderung dadurch erfolgen, dass zuerst ein Referenztaktsignal des Referenztaktgebers 6 von der Auswerteeinheit 3 an den Inertialsensor 2 übertragen wird und die Frequenz und/oder Frequenzänderung anschließend mit Hilfe des übertragenen Referenztaktsignals durch den Sensor 2 selbst bestimmt wird.
