DE102022200950A1 - Optikwechsler zum Zustellen einer Anzahl optischer Elemente in einen Strahlengang sowie Mikroskop - Google Patents

Optikwechsler zum Zustellen einer Anzahl optischer Elemente in einen Strahlengang sowie Mikroskop Download PDF

Info

Publication number
DE102022200950A1
DE102022200950A1 DE102022200950.9A DE102022200950A DE102022200950A1 DE 102022200950 A1 DE102022200950 A1 DE 102022200950A1 DE 102022200950 A DE102022200950 A DE 102022200950A DE 102022200950 A1 DE102022200950 A1 DE 102022200950A1
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
optical
beam path
turret
rotation
axis
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
DE102022200950.9A
Other languages
English (en)
Inventor
Christoph Eichhorn
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Carl Zeiss Microscopy GmbH
Original Assignee
Carl Zeiss Microscopy GmbH
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Carl Zeiss Microscopy GmbH filed Critical Carl Zeiss Microscopy GmbH
Priority to DE102022200950.9A priority Critical patent/DE102022200950A1/de
Priority to CN202310037450.7A priority patent/CN116520521A/zh
Priority to JP2023011290A priority patent/JP2023110907A/ja
Publication of DE102022200950A1 publication Critical patent/DE102022200950A1/de
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B7/00Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements
    • G02B7/003Alignment of optical elements
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B21/00Microscopes
    • G02B21/02Objectives
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B21/00Microscopes
    • G02B21/18Arrangements with more than one light path, e.g. for comparing two specimens
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B21/00Microscopes
    • G02B21/24Base structure
    • G02B21/248Base structure objective (or ocular) turrets
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B7/00Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements
    • G02B7/02Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for lenses
    • G02B7/021Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for lenses for more than one lens
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B7/00Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements
    • G02B7/02Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for lenses
    • G02B7/14Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for lenses adapted to interchange lenses
    • G02B7/16Rotatable turrets

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Microscoopes, Condenser (AREA)
  • Mounting And Adjusting Of Optical Elements (AREA)

Abstract

Die Erfindung betrifft einen Optikwechsler (1) zum Zustellen einer Anzahl optischer Elemente (6.1 bis 6.4) in eine optische Achse eines Strahlengangs (2), umfassendeinen in einer Rotationsebene (4) um eine Rotationsachse (5) drehbaren Revolver (3),wobei die optische Achse und die Rotationsebene (4) zueinander parallel verlaufen. Erfindungsgemäß ist der Optikwechsler (1) dadurch gekennzeichnet, dass- die optische Achse des Strahlengangs (2) und die Rotationsachse (5) einander nicht schneiden.Die Erfindung betrifft zudem ein optisches Gerät (9) mit einem Optikwechsler (1).

Description

  • Die Erfindung betrifft einen Optikwechsler zum Zustellen einer Anzahl optischer Elemente, insbesondere in eine optische Achse eines Strahlengangs, gemäß dem Oberbegriff des Hauptanspruchs.
  • In optischen Systemen, die zur Beleuchtung und Darstellung von Bildern (Projektoren) verwendet werden sowie in abbildenden Systemen wie Mikroskopen kann es erforderlich sein, unterschiedliche optische Elemente in den betreffenden Strahlengang einzubringen beziehungsweise aus diesem zu entfernen. Dieses Erfordernis besteht insbesondere dann, wenn das optische System eine Mehrzahl von Verwendungsmöglichkeiten besitzt und/oder unter verschiedenen Bedingungen eingesetzt werden soll.
  • Aus dem Stand der Technik sind Lösungen bekannt, bei denen optische Elemente auf einem drehbaren Revolver angeordnet sind. Die Drehachse (Rotationsachse) des Revolvers ist im Wesentlichen parallel zur optischen Achse des Strahlengangs gerichtet. Die jeweils ausgewählten optischen Elemente werden infolge einer gesteuerten Drehbewegung des Revolvers in den Strahlengang und auf dessen optische Achse gebracht. Die Rotationsebene des Revolvers verläuft orthogonal zur optischen Achse (z. B. DE 197 02 754 A1 ).
  • Aus der DE 1 284 117 A1 und der DE 10 2010 018 498 A1 sind Anordnungen bekannt, bei denen die Rotationsachse des Revolvers senkrecht zur optischen Achse gerichtet ist und sich diese schneiden. Optische Elemente können infolge einer Rotation des Revolvers um einen bestimmten Winkelbereich auf die optische Achse gebracht werden, wobei zum Beispiel zwei optische Elemente aus unterschiedlichen Richtungen durchstrahlt werden können.
  • In den aus dem Stand der Technik bekannten Lösungen befinden sich Teile des Revolvers selbst dann im Bereich des Strahlengangs, wenn kein optisches Element auf die optische Achse gestellt ist. Außerdem benötigen die bekannten Lösungen einen recht großen Bauraum, um den Revolver unterzubringen.
  • Der Erfindung liegt die Aufgabe zu Grunde einen Optikwechsler vorzuschlagen, durch den die Nachteile des Standes der Technik verringert sind.
  • Die Aufgabe wird mit einem Optikwechsler zum Zustellen einer Anzahl optischer Elemente in eine optische Achse eines Strahlengangs gelöst. Der Objektivwechsler umfasst einen in einer Rotationsebene um eine Rotationsachse drehbaren Revolver. Die optische Achse des Strahlengangs und die Rotationsebene verlaufen dabei im Wesentlichen zueinander parallel.
  • Erfindungsgemäß ist der Optikwechsler dadurch gekennzeichnet, dass die optische Achse und die Rotationsachse einander nicht schneiden.
  • Kerngedanke der Erfindung ist, ein jeweils ausgewähltes optisches Element auf einer Kreisbahn auf die optische Achse des Strahlengangs zu stellen, sodass die optische Achse eines zugestellten optischen Elements mit der optischen Achse des Strahlengangs zusammenfällt. Der erfindungsgemäße Optikwechsler kann in einer beliebigen Schwenkstellung um die optische Achse angeordnet sein. Die optische Achse des Strahlengangs verläuft parallel zur Rotationsebene und ist sowohl von der Rotationsachse als auch von dem Revolver vorteilhaft wenigstens um eine Strecke entfernt, die dem Durchmesser des Strahlengangs im Bereich des Passierens des Revolvers entspricht.
  • Ein Revolver kann eine Anzahl optischer Elemente aufnehmen, die fest mit diesem verbunden sein können. Um den Revolver aber flexibel mit optischen Elementen bestücken zu können, kann in einer weiteren Ausführung des erfindungsgemäßen Optikwechslers wenigstens ein Montagesockel vorhanden sein, an dem ein optische Element lösbar befestigt, beispielsweise geschraubt, geklemmt oder formschlüssig gehalten werden kann. Vorteilhaft weist ein Revolver eine Anzahl, beispielsweise zwei, drei oder vier, solcher Montagesockel auf. Sind die Abmessungen der angeordneten optischen Elemente im Verhältnis zum Durchmesser des Revolvers gering, kann auch eine größere Anzahl von Montagesockeln vorhanden und genutzt sein. Hierbei kommt es insbesondere auf eine relativ geringe Abmessung in Richtung der optischen Achse des betreffenden optischen Elements an.
  • In einer weiterführenden Ausbildung der Erfindung ist wenigstens eines der optischen Elemente auf einem an dem Revolver befindlichen und als Justagesockel ausgebildeten Montagesockel befestigt. Dabei ist der Justagesockel so ausgeführt, dass eine Justage des optischen Elements in wenigstens einer Richtung möglich ist, sei es eine Translation oder eine Rotation beziehungsweise ein Kippen. Die Justagesockel können auch eine Justage in mehreren Richtungen erlauben. So können Translationen in unterschiedliche Richtungen und/oder unterschiedliche Rotationen ermöglicht sein.
  • Im Rahmen der Erfindung liegen auch Ausführungen, bei denen die Rotationsebene des Revolvers und die optische Achse des Strahlengangs gegeneinander geneigt sind und damit nicht streng zueinander parallel verlaufen. Eine solche Neigung kann vorteilhaft sein, um neben einem aktuell in den Strahlengang gestellten optischen Element einen möglichst nur geringen Anteil des Revolvers in der Nähe des Strahlengangs zu positionieren. Natürlich müssen bei einer solchen Ausführung die optischen Elemente zusätzlich entsprechend des Neigungswinkels justiert sein. Geeignete Neigungswinkel sind beispielsweise 10°, 15°, 20°, 25°, 30°, 35°, 40° und bis zu 45°.
  • Ein erfindungsgemäßer Optikwechsler kann insbesondere Bestandteil eines Mikroskops; beispielsweise eines Lichtmikroskops, eines Laser(scanning)mikroskops oder eines Elektronenmikroskops sein.
  • Die Erfindung wird nachfolgend anhand von Ausführungsbeispielen und Abbildungen näher erläutert. Es zeigen:
    • 1 eine schematische Darstellung eines ersten Ausführungsbeispiels eines erfindungsgemäßen Optikwechslers;
    • 2 eine schematische Darstellung eines zweiten Ausführungsbeispiels eines erfindungsgemäßen Optikwechslers in einer ersten Betriebsstellung;
    • 3 eine schematische Darstellung des zweiten Ausführungsbeispiels eines erfindungsgemäßen Optikwechslers in einer zweiten Betriebsstellung;
    • 4 eine schematische Darstellung eines dritten Ausführungsbeispiels eines erfindungsgemäßen Optikwechslers in einer ersten Betriebsstellung;
    • 5 eine schematische Darstellung des dritten Ausführungsbeispiels eines erfindungsgemäßen Optikwechslers in einer zweiten Betriebsstellung;
    • 6 eine schematische Darstellung eines vierten Ausführungsbeispiels eines erfindungsgemäßen Optikwechslers; und
    • 7 eine schematische Darstellung eines Mikroskops mit einem erfindungsgemäßen Optikwechslers.
  • In den nachfolgenden Ausführungsbeispielen bezeichnen gleiche Bezugszeichen gleiche technische Elemente.
  • In einem ersten Ausführungsbeispiel eines erfindungsgemäßen Optikwechslers 1 ist parallel zu einem Strahlengang 2 (symbolisch dargestellt durch dessen optische Achse) ein Revolver 3 vorhanden, der in einer Rotationsebene 4 um einer Rotationsachse 5 drehbar ist. Auf einer zum Strahlengang 2 parallelen Seitenfläche des Revolvers sind auf einer Kreisbahn in gleichmäßigen Abständen ein erstes optisches Element 6.1, ein zweites optisches Element 6.2, ein drittes optisches Element 6.3 und ein viertes optisches Element 6.4 angeordnet. Jedes der optischen Elemente 6.1 bis 6.4 ist auf einem Montagesockel 8 befestigt, die optional als Justagesockel ausgebildet sein können. Im Falle der Ausbildung als Justagesockel kann ein montiertes optisches Element 6.1 bis 6.4 in wenigstens einer Richtung, vorteilhaft in mehreren Richtungen (Translationen und/oder Rotationen) justiert werden. Die optischen Elemente 6.1 bis 6.4 sind so angeordnet, dass deren jeweilige optische Achsen 7.1 bis 7.4 dann mit dem Verlauf der Strahlengangs 2 zusammenfallen, wenn das betreffende optische Element 6.1, 6.2, 6.3 beziehungsweise 6.4 dem Strahlengang 2 zugestellt ist.
  • In einem zweiten Ausführungsbeispiel sind auf einer Seitenfläche des Revolvers 3 beispielhaft zwei verschiedene optische Elemente 6.1 und 6.2 angeordnet. In der in 2 dargestellten ersten Betriebsstellung ist das erste optische Element 6.1 dem Strahlengang 2 zugestellt, sodass die optische Achse 7.1 des ersten optischen Elements 6.1 mit dem Strahlengang 2 zusammenfällt.
  • In einer zweiten Betriebsstellung (3) ist der Revolver 3 gegenüber 2 um circa 70° rotiert. Das erste optische Element 6.1 ist aus dem Strahlengang 2 bewegt, sodass dieser weder durch das erste optische Element 6.1 noch durch den Revolver 3 beeinflusst ist. Das zweite optische Element 6.2 würde bei einer weiter erfolgenden Rotation des Revolvers 3 in der angezeigten Rotationsrichtung als nächstes dem Strahlengang 2 zugestellt werden.
  • In einer dritten Ausführungsmöglichkeit des erfindungsgemäßen Optikwechslers 1 sind die optischen Elemente an der Stirnfläche des Revolvers 3 angeordnet. Im Ausführungsbeispiel sind für eine bessere Übersichtlichkeit wieder nur zwei optische Elemente 6.1, 6.2 gezeigt (4). In der gezeigten ersten Betriebsstellung ist das erste optische Element 6.1 dem Strahlengang 2 zugestellt, das heißt in diesen eingeschwenkt.
  • Bei einer Rotation des Revolvers 3 wird das erste optische Element 6.1 aus dem Strahlengang 2 bewegt und dieser verläuft wieder frei von Beeinflussungen durch den Revolver oder durch eines der optischen Elemente (5).
  • In einem vierten Ausführungsbeispiel sind die optischen Elemente 6.1 und 6.2 an der nach unten gerichteten Seitenfläche des Revolvers 3 montiert (6).
  • Ein erfindungsgemäßer Optikwechsler 1 kann Bestandteil eines optischen Geräts 9, beispielsweise eines Mikroskops sein (7). Das Gerät 9 ist hier lediglich angedeutet gezeigt. Um die jeweils gewünschten optischen Elemente 6.1 beziehungsweise 6.2 zur richtigen Zeit und über einen gewünschten Zeitraum dem Strahlengang 2 zuzustellen, ist eine Steuereinheit 10 vorhanden, die zum Generieren von Steuerbefehlen konfiguriert ist. Mittels der Steuerbefehle kann ein Antrieb 11 angesteuert werden, durch dessen Wirkung der Revolver 3 um einen gewünschten Betrag und in einer gewünschten Rotationsrichtung um die Rotationsachse 5 gedreht werden kann.
  • In allen genannten Ausführungsmöglichkeiten können die Rotationsstellungen des Revolvers 3, an denen eines der optischen Elemente 61. bis 6.4 in den Strahlengang 2 gestellt ist beziehungsweise diesen zustellbar wäre, als eine Rastposition ausgebildet sein. An einer solchen Rastposition kann der Revolver 3 beispielsweise mittels eines federbelasteten Elements, wie zum Beispiel eines Stifts, eines Keils, einer (Halb-)Kugel vorübergehend arretiert sein. Dazu kann der Revolver 3 an seiner Oberfläche entsprechend geformte Ausnehmungen oder Senkungen aufweisen, in die das federbelastete Element eingreifen kann (Rastposition).
  • Beispielsweise kann an jeder zur Anordnung eines Montagesockels 8 vorgesehenen Position des Revolvers 3 eine solche Rastposition ausgebildet sein. Das korrekte Eingreifen des federbelasteten Elements in einer gewünschten Rastposition kann überwacht, erfasst und als Eingangssignal für die Steuerung nutzen. Diese Ausführungsmöglichkeit erlaubt es, einen kostengünstigen Antrieb einzusetzen, da die Reproduzierbarkeit des Erreichens und des Beibehaltens der gewünschten Positionierung des ausgewählten optischen Elements 6.1 bis 6.4 von der Fertigungsgenauigkeit dieser Rastpositionen abhängt.
  • Bezugszeichen
  • 1
    Optikwechsler
    2
    optische Achse (des Strahlengangs)
    3
    Revolver
    4
    Rotationsebene
    5
    Rotationsachse
    6.1
    erstes optisches Element
    6.2
    zweites optisches Element
    6.3
    drittes optisches Element
    6.4
    viertes optisches Element
    7.1
    optische Achse (des ersten optischen Elements 6.1)
    7.2
    optische Achse (des zweiten optischen Elements 6.2)
    7.3
    optische Achse (des dritten optischen Elements 6.3)
    7.4
    optische Achse (des vierten optischen Elements 6.4)
    8
    Montagesockel
    9
    Gerät/Mikroskop
    10
    Steuereinheit
    11
    Antrieb
  • ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG
  • Diese Liste der vom Anmelder aufgeführten Dokumente wurde automatisiert erzeugt und ist ausschließlich zur besseren Information des Lesers aufgenommen. Die Liste ist nicht Bestandteil der deutschen Patent- bzw. Gebrauchsmusteranmeldung. Das DPMA übernimmt keinerlei Haftung für etwaige Fehler oder Auslassungen.
  • Zitierte Patentliteratur
    • DE 19702754 A1 [0003]
    • DE 1284117 A1 [0004]
    • DE 102010018498 A1 [0004]

Claims (5)

  1. Optikwechsler (1) zum Zustellen einer Anzahl optischer Elemente (6.1 bis 6,4) in eine optische Achse eines Strahlengangs (2), umfassend einen in einer Rotationsebene (4) um eine Rotationsachse (5) drehbaren Revolver (3), wobei die optische Achse des Strahlengangs (2)und die Rotationsebene (4) zueinander parallel verlaufen; dadurch gekennzeichnet, dass - die optische Achse des Strahlengangs (2) und die Rotationsachse (5) einander nicht schneiden.
  2. Optikwechsler (1) nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass an dem Revolver (3) wenigstens ein Montagesockel (8) vorhanden ist, an dem ein optisches Element (6.1 bis 6.4) lösbar befestigt werden kann.
  3. Optikwechsler (1) nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, dass wenigstens eines der optischen Elemente (6.1 bis 6.4) auf einem an dem Revolver (3) befindlichen und als Justagesockel ausgebildeten Montagesockel (8) befestigt ist, wobei der Justagesockel eine Justage des optischen Elements (6.1 bis 6.4) in wenigstens einer Richtung ermöglicht.
  4. Optikwechsler (1) nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass die Rotationsebene (4) des Revolvers (3) und die optische Achse des Strahlengangs (2) gegeneinander um bis zu 45° geneigt sind.
  5. Optisches Gerät (9), insbesondere Mikroskop, mit einem Optikwechsler (1) nach einem der Ansprüche 1 bis 4.
DE102022200950.9A 2022-01-28 2022-01-28 Optikwechsler zum Zustellen einer Anzahl optischer Elemente in einen Strahlengang sowie Mikroskop Pending DE102022200950A1 (de)

Priority Applications (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE102022200950.9A DE102022200950A1 (de) 2022-01-28 2022-01-28 Optikwechsler zum Zustellen einer Anzahl optischer Elemente in einen Strahlengang sowie Mikroskop
CN202310037450.7A CN116520521A (zh) 2022-01-28 2023-01-10 光学系统转换器以及光学装置
JP2023011290A JP2023110907A (ja) 2022-01-28 2023-01-27 複数の光学要素をビーム経路の光軸に配置するための光学系交換器及び顕微鏡

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE102022200950.9A DE102022200950A1 (de) 2022-01-28 2022-01-28 Optikwechsler zum Zustellen einer Anzahl optischer Elemente in einen Strahlengang sowie Mikroskop

Publications (1)

Publication Number Publication Date
DE102022200950A1 true DE102022200950A1 (de) 2023-08-03

Family

ID=87160872

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE102022200950.9A Pending DE102022200950A1 (de) 2022-01-28 2022-01-28 Optikwechsler zum Zustellen einer Anzahl optischer Elemente in einen Strahlengang sowie Mikroskop

Country Status (3)

Country Link
JP (1) JP2023110907A (de)
CN (1) CN116520521A (de)
DE (1) DE102022200950A1 (de)

Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE1284117B (de) 1966-08-26 1968-11-28 Rodenstock Optik G Vergroesserungswechsler an optischen Geraeten
DE19702754A1 (de) 1997-01-27 1998-07-30 Zeiss Carl Jena Gmbh Filterwechsler für Mikroskope
DE102008064512A1 (de) 2008-12-22 2010-06-24 Maiorova, Tatiana, Dmitrov Optische Anordnung zum Ändern eines Abbildungsverhältnisses oder einer Brechkraft
DE102010018498A1 (de) 2010-04-22 2011-10-27 Andreas Obrebski Optische Anordnung
US9217855B1 (en) 2013-08-30 2015-12-22 Checkpoint Technologies, Llc Multi-magnification high sensitivity optical system for probing electronic devices
US20170102515A1 (en) 2015-02-02 2017-04-13 Xing Du Imaging system with movable tray of selectable optical elements

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE1284117B (de) 1966-08-26 1968-11-28 Rodenstock Optik G Vergroesserungswechsler an optischen Geraeten
DE19702754A1 (de) 1997-01-27 1998-07-30 Zeiss Carl Jena Gmbh Filterwechsler für Mikroskope
DE102008064512A1 (de) 2008-12-22 2010-06-24 Maiorova, Tatiana, Dmitrov Optische Anordnung zum Ändern eines Abbildungsverhältnisses oder einer Brechkraft
DE102010018498A1 (de) 2010-04-22 2011-10-27 Andreas Obrebski Optische Anordnung
US9217855B1 (en) 2013-08-30 2015-12-22 Checkpoint Technologies, Llc Multi-magnification high sensitivity optical system for probing electronic devices
US20170102515A1 (en) 2015-02-02 2017-04-13 Xing Du Imaging system with movable tray of selectable optical elements

Also Published As

Publication number Publication date
JP2023110907A (ja) 2023-08-09
CN116520521A (zh) 2023-08-01

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP2885669A1 (de) Optische anordnung und ein mikroskop
EP2080050B1 (de) Vorrichtung zum einkoppeln von licht in eine lichtleitfaser
DE102010041678B4 (de) Teilchenstrahlgerät mit einem Probenträger
DE202011000688U1 (de) Vorrichtung zur Aufnahme von Filtern für Mikroskope
DE102006039935A1 (de) Drehvorrichtung für einen optischen Tomographen und optischer Tomograph mit einer Drehvorrichtung
DE1052814B (de) Photographische Zeilensetzmaschinen
DE102005040834A1 (de) Einrichtung zum Wechseln von Objektiven an optischen Geräten, insbesondere an Mikroskopen
EP0660945B1 (de) Wechselvorrichtung mit zentrierbaren Aufnahmeringen für optische Bauelemente
WO2019201558A1 (de) Adapter für ein objektiv, vorrichtung zum halten des adapters und stellvorrichtung
DE102022200950A1 (de) Optikwechsler zum Zustellen einer Anzahl optischer Elemente in einen Strahlengang sowie Mikroskop
EP0241589B1 (de) Testglaswechsler zur optischen Messung von Schichteigenschaften in Vakuumbeschichtungsanlagen
DE4237775C1 (de) Optisches System mit einem Linsensystem und einer Lichtquelle
DE19720619C2 (de) Verfahren zum optischen Schalten und Drehschalter
DE102018131889B4 (de) Laserstrahljustiervorrichtung
DE102012003984A1 (de) Wechseleinrichtung für optische Komponenten an einem Mikroskop
DE102021120871A1 (de) Vorrichtung und Verfahren zur Justierung einer Achse
DE2538048C3 (de) Binokulartubus
DE102005036252A1 (de) Haltemodul, das eine Festkörperimmersionslinse trägt
DE69816967T2 (de) Positionnierungsvorrichtung mit h-antrieb
EP3500886B1 (de) Wechselsystem für ein mikroskop
DE102004048302B4 (de) Objektivwechsler für Stereomikroskope und Stereomikroskop
DE102014001151A1 (de) Messung der Positionen von Krümmungsmittelpunkten optischer Flächen eines mehrlinsigen optischen Systems
DE102011004961A1 (de) Anordnung zur Halterung eines optischen Elementes, insbesondere in einer EUV-Projektionsbelichtungsanlage
DE3443847A1 (de) Mikroskop
EP0697795A2 (de) Anordnung zum Einstellen einer Bilddarstellungseinrichtung mit einem Gehäuse

Legal Events

Date Code Title Description
R163 Identified publications notified