DE102022101772A1 - System and method for non-contact determination of an electrical potential of a sample - Google Patents
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Abstract
Die Erfindung betrifft ein System (100) zur berührungslosen Ermittlung eines elektrischen Potentials einer Probe (1), wobei das System (100)- eine Aktuatoreinheit (2) umfasst, die entlang einer ersten Richtung (11) mit einem Biegekörper (3) wirkverbunden ist, wobei der Biegekörper (3) weiterhin mit einer mit dem System (100) federnd oder elastisch aufgehängten Gegenmasse (4) wirkverbunden ist, wobei der Biegekörper (3) sich entlang einer Achse entlang einer zweiten Richtung (12) erstreckt, und eine Elektrode (5) aufweist, die sich zumindest entlang der zweiten Richtung (12) erstreckt,- dazu eingerichtet ist, dass die Elektrode (5) gegenüber einer Probe (1) in einem Abstand entlang der ersten Richtung (11) anordenbar ist, und wobei die Aktuatoreinheit (2) dazu ausgebildet ist, den Biegekörper (3) zu einer Biegeschwingung mit einer einstellbaren Frequenz um die Achse anzuregen, so dass der Abstand zwischen einer angeordneten Probe (1) und der Elektrode (5) durch die Biegeschwingung zeitlich mit der einstellbaren Frequenz variiert, so dass in der Elektrode (5) ein zeitlich variierendes elektrisches Signal erfassbar wird, anhand dessen das elektrische Potential der Probe (1) ermittelbar ist. Weiterhin betrifft die Erfindung ein Verfahren zur berührungslosen Ermittlung des elektrischen Potentials der Probe (1).The invention relates to a system (100) for contactless determination of an electrical potential of a sample (1), the system (100) comprising an actuator unit (2) which is operatively connected to a flexible body (3) along a first direction (11). , wherein the flexible body (3) is also operatively connected to a counterweight (4) suspended resiliently or elastically with the system (100), wherein the flexible body (3) extends along an axis along a second direction (12), and an electrode ( 5) which extends at least along the second direction (12), - is set up such that the electrode (5) can be arranged in relation to a sample (1) at a distance along the first direction (11), and wherein the actuator unit (2) is designed to excite the bending body (3) to flexure with an adjustable frequency around the axis, so that the distance between an arranged sample (1) and the electrode (5) varies over time with the adjustable frequency due to the flexural oscillation , so that a time-varying electrical signal can be detected in the electrode (5), on the basis of which the electrical potential of the sample (1) can be determined. The invention also relates to a method for contactless determination of the electrical potential of the sample (1).
Description
Die Erfindung betrifft ein System und ein Verfahren zur berührungslosen Ermittlung eines elektrischen Potentials einer Probe.The invention relates to a system and a method for contactless determination of an electrical potential of a sample.
Eine solche Probe kann beispielsweise ein halbleitendes Bauteil sein. Für viele moderne halbleitende Bauteile, wie zum Beispiel Photodetektoren oder Feldeffekttransistoren, ist die Diffusionslänge von Minoritätsladungsträgern maßgebend für die Leistung des Bauteils. Um diese Diffusionslänge experimentell zu ermitteln, ohne dabei das Bauteil selbst bzw. das verwendete Halbleitermaterial zu beschädigen, werden in der Regel berührungslose Verfahren verwendet, insbesondere Photolumineszenzmessungen oder Oberflächenphotospannungsmessungen. Bei letzterer wird eine Elektrode in die Nähe des hinsichtlich seiner Diffusionslänge zu untersuchenden Bauteils gebracht, um mit dieser einen elektrischen Plattenkondensator zu bilden. Anschließend wird ein elektrisches Potential in dem Bauteil induziert, beispielsweise durch Bestrahlung mit geeigneter elektromagnetischer Strahlung. Werden dann das Bauteil und die Elektrode, welche jeweils Platten des Plattenkondensators bilden, derart zueinander bewegt, dass sich der Abstand der Platten ändert, wird ein zeitlich veränderter Strom in der Elektrode influenziert. Dieser Strom kann durch Anlegen einer elektrischen Spannung auf null geregelt werden, wobei die elektrische Spannung für das elektrische Potential des Bauteils indikativ ist.Such a sample can be a semiconducting component, for example. For many modern semiconducting components, such as photodetectors or field effect transistors, the diffusion length of minority charge carriers is decisive for the performance of the component. In order to determine this diffusion length experimentally without damaging the component itself or the semiconductor material used, non-contact methods are generally used, in particular photoluminescence measurements or surface photovoltage measurements. In the latter, an electrode is brought close to the component whose diffusion length is to be examined in order to form an electric plate capacitor with it. An electrical potential is then induced in the component, for example by irradiation with suitable electromagnetic radiation. If the component and the electrode, which each form plates of the plate capacitor, are then moved relative to one another in such a way that the distance between the plates changes, a current that changes over time is induced in the electrode. This current can be controlled to zero by applying an electrical voltage, the electrical voltage being indicative of the electrical potential of the component.
Hierzu ist aus der
Durch die in der
Der vorliegenden Erfindung liegt hiervon ausgehend die Aufgabe zugrunde, ein System sowie ein Verfahren zur berührungslosen Ermittlung des elektrischen Potentials einer Probe bereitzustellen, das jeweils im Hinblick auf die oben beschriebene Problematik verbessert ist.Proceeding from this, the present invention is based on the object of providing a system and a method for contactless determination of the electrical potential of a sample, which is improved in each case with regard to the problems described above.
Diese Aufgabe wird durch ein System mit den Merkmalen des Anspruchs 1 sowie ein Verfahren mit den Schritten des Anspruchs 12 gelöst.This object is achieved by a system having the features of
Ein erster Aspekt der Erfindung betrifft ein System zur berührungslosen Ermittlung eines elektrischen Potentials einer Probe, wobei das System eine Aktuatoreinheit umfasst, die entlang einer ersten Richtung mit einem Biegekörper wirkverbunden ist. Der Biegekörper ist weiterhin mit einer, mit dem System federnd oder elastisch aufgehängten Gegenmasse wirkverbunden und erstreckt sich entlang einer Achse entlang einer zweiten Richtung. Außerdem weist der Biegekörper eine Elektrode auf, die sich zumindest entlang der zweiten Richtung erstreckt. Das System ist dazu eingerichtet, dass die Elektrode gegenüber einer Probe in einem Abstand entlang der ersten Richtung anordenbar ist. Die Aktuatoreinheit ist dazu ausgebildet, den Biegekörper zu einer Biegeschwingung mit einer einstellbaren Frequenz um die Achse anzuregen, so dass der Abstand zwischen einer angeordneten Probe und der Elektrode durch die Biegeschwingung zeitlich mit der einstellbaren Frequenz variiert, so dass in der Elektrode ein zeitlich variierendes elektrisches Signal erfassbar wird, anhand dessen das elektrische Potential der Probe ermittelbar ist.A first aspect of the invention relates to a system for contactless determination of an electrical potential of a sample, the system comprising an actuator unit which is operatively connected to a flexible body along a first direction. The flexible body is also operatively connected to a counterweight that is suspended resiliently or elastically with the system and extends along an axis in a second direction. In addition, the bending body has an electrode which extends at least along the second direction. The system is set up so that the electrode can be arranged in relation to a sample at a distance along the first direction. The actuator unit is designed to excite the bending body to perform a bending vibration around the axis with an adjustable frequency, so that the distance between an arranged sample and the electrode varies over time with the adjustable frequency as a result of the bending vibration, so that a time-varying electrical signal can be detected in the electrode, on the basis of which the electrical potential of the sample can be determined.
Das mittels des erfindungsgemäßen Systems ermittelbare elektrische Potential der vom System separaten Probe kann sowohl zeitlich konstante als auch zeitlich veränderliche Komponenten enthalten, wobei beide Komponenten und deren Summe durch das System ermittelbar sind.The electrical potential of the sample separate from the system, which can be determined by means of the system according to the invention, can contain components that are constant over time as well as components that change over time, with both components and their sum being able to be determined by the system.
Die Aktuatoreinheit ist vorzugsweise dazu ausgebildet und eingerichtet, Schwingungsenergie zu erzeugen und insbesondere an den Biegekörper weiterzuleiten, sodass der Biegekörper zu einer Biegeschwingung angeregt werden kann. Weiterhin ist die Aktuatoreinheit vorzugsweise durch eine starre Verbindung, beispielsweise durch einen metallischen Bolzen, mit dem Biegekörper wirkverbunden. Durch eine derartige Verbindung wird vorteilhafterweise eine starke, unmittelbare Kopplung zwischen der Aktuatoreinheit und dem Biegekörper erreicht, sodass der Aktuator bei einer gegebenen Anregungsamplitude die hierbei erzeugte Schwingungsenergie annähernd verlustfrei in den Biegekörper überführt, um diesen zur Biegeschwingung anzuregen. Weiterhin vorteilhaft kann somit die Anregungsamplitude des Aktuators niedrig gehalten werden, sodass entsprechend geringe, gegebenenfalls durch den Aktuator erzeugte elektromagnetische Streufelder, die in den Bereich der Elektrode und der Probe abstrahlen und zu einem Messfehler des zu ermittelnden elektrischen Potentials der Probe beitragen können, vorteilhaft minimiert werden. Die Aktuatoreinheit kann den Biegekörper durch Hin- und Herschieben des Biegekörpers zur Biegeschwingung anregen.The actuator unit is preferably designed and set up to absorb vibrational energy to generate and in particular to forward it to the bending body, so that the bending body can be excited to a bending vibration. Furthermore, the actuator unit is preferably operatively connected to the flexible body by a rigid connection, for example by a metal bolt. Such a connection advantageously achieves a strong, direct coupling between the actuator unit and the flexural body, so that at a given excitation amplitude, the actuator transfers the vibration energy generated in this way into the flexural body with almost no loss in order to excite the latter to flexural vibration. Furthermore, the excitation amplitude of the actuator can advantageously be kept low, so that correspondingly small electromagnetic stray fields, possibly generated by the actuator, which radiate into the area of the electrode and the sample and can contribute to a measurement error of the electrical potential of the sample to be determined, are advantageously minimized. The actuator unit can excite the bending body to flexural vibration by pushing the bending body back and forth.
Der Biegekörper ist ferner mit einer federnd oder elastisch aufgehängten Gegenmasse wirkverbunden. Vorzugsweise sind dabei die Gegenmasse und die Aktuatoreinheit starr, zum Beispiel über einen metallischen Bolzen, oder auch unmittelbar miteinander verbunden. Die Gegenmasse selbst, welche auch ein die Aktuatoreinheit zumindest abschnittsweise umgebendes Gehäuse bzw. einen Sensorkopf umfassen kann, ist jedoch erfindungsgemäß federnd oder elastisch aufgehängt. Die Aufhängung kann über das Gehäuse oder an einem anderen Teil der Gegenmasse am System erfolgen. Diese federnde oder elastische Aufhängung führt zu einer beabsichtigten Impedanzfehlanpassung zwischen der vorzugsweise starr mit der Aktuatoreinheit verbundenen Gegenmasse und einer Umgebung des Biegekörpers, zu der der Biegekörper über Bolzen, Aktuatoreinheit und Gegenmasse federnd bzw. elastisch verbunden ist. Durch die unvermeidbare mechanische Verbindung bzw. Wechselwirkung zwischen dem Biegekörper und seiner Umgebung entzieht letztere dem Biegekörper einen Teil der durch die Aktuatoreinheit generierten Schwingungsenergie, welcher als Energieabfluss in die Umgebung ausgekoppelt wird. Mit der federnden/elastischen Aufhängung wird vorteilhaft erreicht, dass der Energieabfluss insbesondere über eine Elastizität der federnden/elastischen Aufhängung steuerbar wird. Insbesondere kann das System somit durch eine geeignete Wahl von Gegenmasse, Biegekörper und federnder/elastischer Aufhängung derart konfiguriert werden, dass die Biegeschwingung bei minimaler Anregung durch die Aktuatoreinheit sowie vertretbarem Energieabfluss aus dem System eine maximale Auslenkung der Biegeschwingung des Biegekörpers zur Folge hat. Die Aufhängung der Gegenmasse kann über ein Federelement, wie eine zum Beispiel über eine Feder erfolgen.The bending body is also operatively connected to a spring-loaded or elastically suspended counterweight. In this case, the counterweight and the actuator unit are preferably rigid, for example via a metallic bolt, or also directly connected to one another. The counterweight itself, which can also include a housing or a sensor head surrounding the actuator unit at least in sections, is however suspended resiliently or elastically according to the invention. It can be suspended from the housing or from another part of the counterweight on the system. This resilient or elastic suspension leads to an intended impedance mismatch between the counterweight, which is preferably rigidly connected to the actuator unit, and an area surrounding the flexible body, to which the flexible body is connected in a resilient or elastic manner via bolts, actuator unit and counterweight. Due to the unavoidable mechanical connection or interaction between the flexible body and its environment, the latter removes part of the vibrational energy generated by the actuator unit from the flexible body, which is coupled out to the environment as energy dissipation. With the resilient/elastic suspension, it is advantageously achieved that the energy dissipation can be controlled in particular via an elasticity of the resilient/elastic suspension. In particular, the system can thus be configured by a suitable choice of counterweight, bending body and resilient/elastic suspension in such a way that the bending vibration results in a maximum deflection of the bending vibration of the bending body with minimal excitation by the actuator unit and an acceptable energy drain from the system. The counterweight can be suspended via a spring element, such as a spring, for example.
Die Elektrode kann beispielsweise eine im Wesentlichen planare Elektrode sein, wobei eine Oberfläche der Elektrode im Wesentlichen parallel zur Probe und gegenüber dieser orientierbar ist, sodass die Elektrode mit der Probe bzw. einer Oberfläche der Probe einen Plattenkondensator bildet, wobei eine erste Platte des Plattenkondensators durch die Elektrode und eine zweite Platte des Plattenkondensators durch die Probe gegeben ist. Bei Biegeschwingung des Biegekörpers wird ein Abstand der beiden Platten zeitlich moduliert, sodass insbesondere eine Kapazität des Plattenkondensators eine entsprechende zeitliche Modulation erfährt. Dies kann vorteilhaft zur Ermittlung des elektrischen Potentials der Probe genutzt werden.The electrode can be, for example, a substantially planar electrode, with a surface of the electrode being orientable substantially parallel to and relative to the sample, so that the electrode forms a plate capacitor with the sample or a surface of the sample, with a first plate of the plate capacitor being provided by the electrode and a second plate of the plate capacitor being provided by the sample. When the bending body flexes, a distance between the two plates is modulated over time, so that in particular a capacitance of the plate capacitor experiences a corresponding modulation over time. This can be used advantageously to determine the electrical potential of the sample.
Die Probe kann beispielsweise ein Metall oder ein Halbleiter umfassen oder sein.The sample can include or be a metal or a semiconductor, for example.
Es wird angemerkt, dass die Probe kein zwingender Bestandteil des beanspruchten Systems ist, sondern lediglich als Referenz dient, um die Funktionsweise des Systems zu illustrieren.It is noted that the sample is not a mandatory part of the claimed system, but merely serves as a reference to illustrate the operation of the system.
Vorteilhafte Ausgestaltungen dieses ersten Erfindungsaspekts sind in den entsprechenden Unteransprüchen angegeben und werden nachfolgend beschrieben.Advantageous refinements of this first aspect of the invention are specified in the corresponding dependent claims and are described below.
Gemäß einer ersten Ausführungsform der Erfindung ist die Elektrode in einem Bereich eines durch die Biegeschwingung verursachten ersten Schwingungsbauches des Biegekörpers angeordnet. Dieser Bereich kann insbesondere einen Bereich einer während der Biegeschwingung des Biegekörpers entstehenden maximalen Auslenkung des Biegekörpers gegenüber seiner Ruhelage umfassen. In seiner Ruhelage erstreckt sich der Biegekörper im Wesentlichen entlang der besagten Achse entlang der zweiten Richtung. In dieser Ausführungsform ist der Abstand zwischen der Elektrode und der Probe über die gesamte Auslenkung des Biegekörpers veränderlich. Somit wird vorteilhaft eine höhere Genauigkeit der Ermittlung des elektrischen Potentials der Probe erreicht, sofern die Ermittlung auf einer zeitlichen Veränderung der Kapazität des besagten Plattenkondensators basiert.According to a first embodiment of the invention, the electrode is arranged in a region of a first antinode of the flexural body caused by the flexural oscillation. This area can in particular include an area of a maximum deflection of the flexible body relative to its rest position, which occurs during the bending vibration of the flexible body. In its rest position, the bending body extends essentially along said axis along the second direction. In this embodiment, the distance between the electrode and the sample is variable over the entire deflection of the flexure. A higher degree of accuracy in determining the electrical potential of the sample is thus advantageously achieved if the determination is based on a change in the capacitance of said plate capacitor over time.
Gemäß einer weiteren Ausführungsform der Erfindung ist die Aktuatoreinheit in einem Kontaktbereich eines bei Biegeschwingung entstehenden Schwingungsknotens des Biegekörpers mit dem Biegekörper und der Gegenmasse wirkverbunden. Die Gegenmasse kann dabei über die Aktuatoreinheit mit dem Biegebalken verbunden sein. Der Kontaktbereich liegt insbesondere im Bereich einer minimalen Auslenkung des Biegekörpers bei Biegeschwingung um die Achse. Der Kontaktbereich kann einen Schwerpunkt des Biegekörpers umfassen. Der Schwingungsknoten des Biegekörpers verschiebt sich entsprechend der Masseverteilung und der Verteilung der Elastizität des Biegekörpers. Bei einem symmetrischen Biegekörper liegt der Schwingungsknoten zum Beispiel in der Mitte des Biegekörpers. Die Masseverteilung des Biegekörpers kann sich durch auf bzw. an dem Biegekörper angeordnete Komponenten ändern.According to a further embodiment of the invention, the actuator unit is operatively connected to the flexible body and the counterweight in a contact area of a vibration node of the flexible body that occurs during bending vibration. The counterweight can be connected to the bending beam via the actuator unit. The contact area is in particular in the area of a minimum len deflection of the bending body during bending vibration around the axis. The contact area can include a center of gravity of the bending body. The vibration node of the flexure shifts according to the mass distribution and the distribution of the elasticity of the flexure. In the case of a symmetrical bending body, for example, the vibration node lies in the middle of the bending body. The mass distribution of the flexible body can change due to components arranged on or on the flexible body.
In einer vorteilhaften Ausführung enthält die Aktuatoreinheit ein Piezoelement. Dieses ist vorzugsweise dazu vorgesehen und eingerichtet, die Biegeschwingung des Biegekörpers zu erzeugen. Bevorzugterweise wird die Aktuatoreinheit mit dem Piezoelement im Kontaktbereich des bei Biegeschwingung entstehenden Schwingungsknotens des Biegekörpers angeordnet. Da das Piezoelement verglichen insbesondere mit elektromagnetischen Aktuatoren bei relativ kleiner Auslenkung des Aktuators eine verhältnismäßig große Kraft erzeugt, entfaltet das Piezoelement, besonders wenn es im besagten Kontaktbereich angeordnet ist, eine optimale Einkopplung der erzeugten Schwingungsenergie in den Biegekörper, sodass dieser bei geringer Leistung des Piezoelements zur Biegeschwingung mit maximaler Auslenkung des Biegekörpers angeregt wird. Zum Beispiel kann das Piezoelement in der Mitte des Biegekörpers angeordnet sein, sodass bei Anregung der Biegeschwingung durch das Piezoelement der Biegekörper zu einer Biegeschwingung angeregt wird, bei der der Schwingungsknoten im Bereich des Piezoelements liegt und wobei die beiden Enden des Biegekörpers bei Biegeschwingung jeweils einen Schwingungsbauch mit maximaler Auslenkung des Biegekörpers bilden. Die Elektrode kann dann vorteilhaft an einem der beiden Enden des Biegekörpers angebracht werden, sodass diese bei Biegeschwingung die maximale Auslenkung erfährt.In an advantageous embodiment, the actuator unit contains a piezo element. This is preferably provided and set up to generate the bending vibration of the bending body. The actuator unit is preferably arranged with the piezoelectric element in the contact area of the vibration node of the flexible body that occurs during bending vibration. Since the piezo element generates a relatively large force compared in particular to electromagnetic actuators with a relatively small deflection of the actuator, the piezo element develops an optimal coupling of the generated vibration energy into the bending body, especially when it is arranged in the said contact area, so that this is excited to bending vibration with maximum deflection of the bending body at low power of the piezo element. For example, the piezoelectric element can be arranged in the middle of the flexural body, so that when the flexural vibration is excited by the piezoelectric element, the flexural body is excited to perform a flexural vibration in which the node of vibration is in the area of the piezoelectric element, and the two ends of the flexural body each form an antinode with flexural vibration with maximum deflection of the flexural body. The electrode can then advantageously be attached to one of the two ends of the bending body, so that it experiences the maximum deflection during bending vibration.
In einer weiteren vorteilhaften Ausführung enthält die Aktuatoreinheit einen Elektromagneten, der dazu vorgesehen und eingerichtet ist, die Biegeschwingung des Biegekörpers zu erzeugen. Vorteilhafterweise ist der Elektromagnet bzw. die Aktuatoreinheit mit dem Elektromagneten dabei im Bereich des bei Biegeschwingung entstehenden zweiten Schwingungsbauch des Biegekörpers angeordnet. Hier entfaltet der Elektromagnet mit seiner insbesondere gegenüber einem Piezoelement hohen Auslenkung bei verhältnismäßig kleiner Kraft vorteilhaft die optimale Übertragung der durch den Aktuator erzeugten Schwingungsenergie in die Biegeschwingung. Zur Anregung des Biegekörpers mittels des Elektromagneten weist der Biegekörper vorzugsweise zumindest abschnittsweise, idealerweise im Bereich des zweiten Schwingungsbauches, ein magnetisches Material auf. Die Elektrode wird dann vorzugsweise am ersten, vom zweiten Schwingungsbauch entfernten Schwingungsbauch angeordnet, sodass durch den Elektromagneten generierte elektromagnetische Felder möglichst schwach in den Bereich zwischen Probe und Elektrode abstrahlen, welche ansonsten signifikant zum Messfehler des elektrischen Potentials der Probe beitragen könnten.In a further advantageous embodiment, the actuator unit contains an electromagnet which is provided and set up to generate the bending vibration of the bending body. Advantageously, the electromagnet or the actuator unit with the electromagnet is arranged in the area of the second antinode of the flexural body that occurs during flexural oscillation. Here, the electromagnet with its high deflection, in particular compared to a piezo element, advantageously develops the optimal transmission of the vibration energy generated by the actuator into the bending vibration with a relatively small force. To excite the flexible body by means of the electromagnet, the flexible body preferably has a magnetic material at least in sections, ideally in the area of the second antinode. The electrode is then preferably arranged on the first anti-node remote from the second anti-node, so that electromagnetic fields generated by the electromagnet radiate as weakly as possible into the area between the sample and the electrode, which could otherwise significantly contribute to the measurement error of the electrical potential of the sample.
Gemäß einer weiteren Ausführungsform der Erfindung ist die Aktuatoreinheit im Bereich eines bei Biegeschwingung entstehenden, von der Elektrode entfernten zweiten Schwingungsbauches des Biegekörpers angeordnet. Der zweite Schwingungsbauch kann, analog zum ersten Schwingungsbauch, einen weiteren Bereich mit maximaler Auslenkung des Biegekörpers gegenüber seiner Ruhelage beschreiben.According to a further embodiment of the invention, the actuator unit is arranged in the area of a second antinode of the flexural body, which occurs during flexural oscillation and is remote from the electrode. Analogously to the first antinode, the second antinode can describe a further area with maximum deflection of the bending body in relation to its rest position.
In einer vorteilhaften Ausführung weist die Gegenmasse eine 3 bis 10-fache Masse des Biegekörpers auf. Um die durch die Aktuatoreinheit erzeugte Schwingungsenergie möglichst vollständig im Biegekörper zu halten, muss die Gegenmasse idealerweise möglichst groß gewählt werden. Gleichzeitig soll das System im Sinne einer leichten Handhabung idealerweise nicht zu schwer und kompakt gestaltet sein. Wird die Gegenmasse als 3- bis 10-fach so schwer wie der Biegekörper gewählt, stellt sich eine zur Ermittlung des elektrischen Potentials der Probe hinreichende Schwingungsgüte des Systems ein, wobei der Energieabfluss aus dem System zur Umgebung vertretbar bleibt.In an advantageous embodiment, the counterweight has a mass that is 3 to 10 times that of the bending body. In order to keep the vibration energy generated by the actuator unit as completely as possible in the bending body, the counterweight must ideally be selected to be as large as possible. At the same time, the system should ideally not be too heavy and compact in terms of easy handling. If the counterweight is chosen to be 3 to 10 times as heavy as the bending body, the vibration quality of the system is sufficient to determine the electrical potential of the sample, while the energy dissipation from the system to the environment remains acceptable.
Gemäß einer weiteren vorteilhaften Ausführung ist der Biegekörper metallisch leitend ausgebildet und elektrisch auf ein vordefiniertes Massepotential gelegt. Dies kann zum Beispiel über einen an den Biegekörper angeschlossenen Leiter vorgenommen werden. Durch diese Maßnahme wird vermieden, dass sich der Biegekörper elektrostatisch auflädt, wobei entsprechende Störfelder zum Messfehler des elektrischen Potentials der Probe beitragen können, sofern diese in den Bereich zwischen der Elektrode und der Probe einwirken.According to a further advantageous embodiment, the bending body is designed to be metallically conductive and is electrically connected to a predefined ground potential. This can be done, for example, via a conductor connected to the bending body. This measure prevents the bending body from becoming electrostatically charged, with corresponding interference fields contributing to the measurement error of the electrical potential of the sample if they act in the area between the electrode and the sample.
Gemäß einer weiteren Ausführungsform ist die Elektrode vom Biegekörper elektrisch isoliert. Die Elektrode kann dabei von einem von der Elektrode elektrisch isolierten, leitfähigen und umlaufenden Leiterelement umgeben sein, wobei das Leiterelement insbesondere elektrisch auf dem Massepotential liegt, wie es einer nächsten Ausführungsform entspricht. Zum Beispiel kann, wenn es sich um eine planare Elektrode handelt, diese lateral, d.h. innerhalb einer Erstreckungsebene der Elektrode, von einem umlaufenden Leiterelement, das hier als ring-ähnlich ausgebildet sein kann, umgeben sein.According to a further embodiment, the electrode is electrically insulated from the bending body. In this case, the electrode can be surrounded by a conductor element which is electrically insulated from the electrode, is conductive and runs all the way around, the conductor element in particular being electrically at ground potential, as corresponds to a next embodiment. For example, if the electrode is planar, it can be surrounded laterally, i.e. within a plane of extension of the electrode, by a circumferential conductor element, which can be ring-like in this case.
Beispielsweise kann der Biegekörper 8 mm breit sein und die Elektrode einen Durchmesser von 5 mm haben. Eine entsprechende Öffnung oder Bohrung im Biegekörper kann dann im Bereich von beispielsweise 6 mm bis 6,5 mm liegen. In diese Öffnung kann die Elektrode elektrisch isoliert von dem Biegekörper und dem Leiterelement eingefasst sein. Eine ringförmige Abschirmung der Elektrode über das Leiterelement wird dann von dem Rand des Biegekörpers gebildet. So liegen das Leiterelement und der Biegekörper beide auf Massepotenzial und bilden eine entsprechende Abschirmung gegen äußere Störpotenziale.For example, the bending body can be 8 mm wide and the electrode can have a diameter of 5 mm. A corresponding opening or bore in the bending body can then be in the range of, for example, 6 mm to 6.5 mm. The electrode can be enclosed in this opening so that it is electrically isolated from the bending body and the conductor element. An annular shield of the electrode over the conductor element is then formed by the edge of the flexure. The conductor element and the bending body are both at ground potential and form a corresponding shield against external interference potentials.
In einer Ausführungsform der Erfindung weist das System eine elektronische Schaltung auf, die dazu ausgebildet und eingerichtet ist, ein elektrisches Signal der Elektrode zu verarbeiten, und das elektrische Potential der Probe zu ermitteln.In one embodiment of the invention, the system has an electronic circuit that is designed and set up to process an electrical signal from the electrode and to determine the electrical potential of the sample.
Insbesondere kann die elektronische Schaltung einen am Biegekörper angeordneten und elektrisch eingangsseitig mit der Elektrode und ausgangsseitig mit einem nachgeschalteten Teil der elektronischen Schaltung verbundenen Vorverstärker der elektronischen Schaltung aufweisen. Dieser Vorverstärker ist vorzugsweise dazu ausgebildet, wenn die Probe gegenüber der Elektrode angeordnet ist, eine durch die Probe zwischen dieser und der Elektrode induzierte insbesondere zeitabhängige Spannung aufzunehmen, vorzuverstärken, und als eine insbesondere zeitabhängige Verstärkerspannung ausgangsseitig am nachgeschalteten Teil der elektronischen Schaltung bereitzustellen.In particular, the electronic circuit can have a preamplifier of the electronic circuit which is arranged on the bending body and is electrically connected to the electrode on the input side and to a downstream part of the electronic circuit on the output side. This preamplifier is preferably designed, when the sample is arranged opposite the electrode, to pick up a particularly time-dependent voltage induced by the sample between the latter and the electrode, to preamplify it, and to provide it as a particularly time-dependent amplifier voltage on the output side at the downstream part of the electronic circuit.
Weiterhin kann der nachgeschaltete Teil der elektronischen Schaltung einen eingangsseitig elektrisch mit einem Ausgang des Vorverstärkers verbundenen Gleichrichter aufweisen. Dieser ist vorzugsweise dazu ausgebildet, insbesondere unter Zuhilfenahme der einstellbaren Frequenz der Biegeschwingung die zeitabhängige Verstärkerspannung gleichzurichten und ausgangsseitig am Gleichrichter als eine für die zeitlich konstante Komponente des elektrischen Potentials indikative Gleichspannung an einem Ausgang des Gleichrichters bereitzustellen.Furthermore, the downstream part of the electronic circuit can have a rectifier which is electrically connected on the input side to an output of the preamplifier. This is preferably designed to rectify the time-dependent amplifier voltage, in particular with the aid of the adjustable frequency of the bending vibration, and to provide the output side of the rectifier as a DC voltage indicative of the time-constant component of the electrical potential at an output of the rectifier.
Ferner kann der nachgeschaltete Teil der elektronischen Schaltung einen eingangsseitig mit dem Ausgang des Gleichrichters und ausgangsseitig mit der Probe elektrisch verbindbaren Regler aufweisen. Der Regler ist dabei vorzugsweise dazu ausgebildet, die eingangsseitig am Regler anliegende Gleichspannung durch eine ebenfalls für die zeitlich konstante Komponente des elektrischen Potentials der Probe indikative Gegengleichspannung zu kompensieren und an einem Ausgang des Reglers bereitzustellen.Furthermore, the downstream part of the electronic circuit can have a regulator that can be electrically connected to the output of the rectifier on the input side and to the sample on the output side. The regulator is preferably designed to compensate for the DC voltage present on the input side of the regulator with an inverse DC voltage, which is also indicative of the component of the electrical potential of the sample that is constant over time, and to provide it at an output of the regulator.
Der nachgeschaltete Teil der elektronischen Schaltung kann auch einen eingangsseitig mit dem Ausgang des Vorverstärkers sowie mit dem Ausgang des Reglers elektrisch verbundenen Summierer aufweisen. Der Summierer ist vorzugsweise dazu ausgebildet, die zeitabhängige Vorverstärkerspannung und die Gegengleichspannung zu einer Summenspannung zu summieren und diese an einem Summiererausgang bereitzustellen.The downstream part of the electronic circuit can also have an adder electrically connected on the input side to the output of the preamplifier and to the output of the regulator. The adder is preferably designed to add the time-dependent preamplifier voltage and the inverse DC voltage to form a total voltage and to make this available at a adder output.
Insbesondere ist die Elektrode elektrisch vom Biegekörper isoliert an diesem befestigt, wobei ein Abstand zwischen der Elektrode und dem auf Massepotential liegenden Biegekörper möglichst gering sein soll. Der Abstand zwischen der Elektrode und der Probe ist vorzugsweise bereits in der Ruhelage des Biegekörpers wesentlich kleiner als eine laterale Ausdehnung der Elektrode. Um beispielsweise mögliche Höhenunterschiede verschiedenartiger Proben ausgleichen zu können oder um eine durch den Abstand zwischen der Probe und der Elektrode in der Ruhelage des Biegekörpers gegebene Messempfindlichkeit zu regulieren ist der Abstand zwischen der Probe und der Elektrode vorzugsweise mittels der Verschiebeeinheit einstellbar. Der Abstand zwischen der Elektrode und der Probe liegt insbesondere zwischen 0,05 mm und 0,5 mm. Weiterhin kann die laterale Ausdehnung im Bereich einigen Millimetern, wie beispielsweise 2 mm bis 50 mm liegen.In particular, the electrode is electrically insulated from the flexible body and attached to it, with the distance between the electrode and the flexible body, which is at ground potential, being as small as possible. The distance between the electrode and the sample is preferably significantly smaller than a lateral extension of the electrode even when the flexible body is in the rest position. For example, to be able to compensate for possible height differences of different types of samples or to regulate a measurement sensitivity given by the distance between the sample and the electrode in the rest position of the flexible body, the distance between the sample and the electrode is preferably adjustable by means of the displacement unit. The distance between the electrode and the sample is in particular between 0.05 mm and 0.5 mm. Furthermore, the lateral extent can be in the range of a few millimeters, such as 2 mm to 50 mm.
Weiterhin kann das System eine optionale elektrisch leitende Probenhalterung aufweisen, welche dazu ausgebildet ist, die Probe aufzunehmen und an der Probenhalterung zu fixieren. Die Probenhalterung ist vorzugweise mit der elektronischen Schaltung elektrisch verbindbar. Beispielsweise kann die Probenhalterung elektrisch auf dem Massepotential liegen, damit mittels des Systems ein zeitabhängiges Potential der Probe ermittelt werden kann. Es ist weiterhin vorgesehen, dass die Probenhalterung zu einer Kalibrierung des zeitabhängigen Potentials der Probe mit einem Testsignalgenerator und/oder zur Ermittlung eines zeitlich konstanten elektrischen Potentials der Probe und insbesondere zeitlich konstanten sowie zeitlich veränderlichen Potentials der Probe mit einer Spannungsquelle elektrisch verbindbar ist. Insbesondere können insbesondere für die Untersuchung von großen Proben mit einer Probenoberfläche, die größer ist als die Oberfläche der Elektrode, die Probe und die Elektrode mittels einer optionalen Verschiebeeinheit des Systems gegeneinander verschoben werden.Furthermore, the system can have an optional electrically conductive sample holder, which is designed to receive the sample and to fix it to the sample holder. The sample holder can preferably be electrically connected to the electronic circuit. For example, the sample holder can be electrically at ground potential so that a time-dependent potential of the sample can be determined by means of the system. It is also provided that the sample holder can be electrically connected to a test signal generator to calibrate the time-dependent potential of the sample and/or to determine an electrical potential of the sample that is constant over time and in particular a potential of the sample that is constant over time and variable over time to a voltage source. In particular, for examining large samples with a sample surface that is larger than the surface of the electrode, the sample and the electrode can be shifted relative to one another by means of an optional shifting unit of the system.
In einer vorteilhaften Ausführung ist, wenn eine Probe gegenüber der Elektrode angeordnet ist, ein elektrisch isolierender Film zwischen der Elektrode und der Probe angeordnet. Damit wird insbesondere ermöglicht, dass die Elektrode derart an die Probe angenähert werden kann, bis beide nur noch über den isolierenden Film voneinander getrennt sind. Somit werden, wenn der Film geeignet dünn gewählt wird, entsprechend geringe Abstände von Probe und Elektrode ermöglicht, ohne einen Kurzschluss zwischen Probe und Elektrode zu bewirken, was die Kapazität des Plattenkondensators aus Elektrode und Probe für die Ermittlung des elektrischen Potentials der Probe vorteilhaft erhöht. Durch die Wahl des isolierenden Films kann weiterhin vorteilhaft eine Dielektrizitätszahl des Plattenkondensators angepasst werden, welche wiederum ebenfalls für die Kapazität des Plattenkondensators maßgeblich ist.In an advantageous embodiment, when a sample is placed opposite the electrode, an electrically insulating film is placed between the electrode and the sample. This makes it possible, in particular, for the electrode to be brought closer to the sample in such a way that both only are still separated from each other by the insulating film. Thus, if the film is chosen to be suitably thin, correspondingly small distances between sample and electrode are made possible without causing a short circuit between sample and electrode, which advantageously increases the capacitance of the plate capacitor made up of electrode and sample for determining the electrical potential of the sample. A dielectric constant of the plate capacitor can also advantageously be adjusted by the selection of the insulating film, which in turn is also decisive for the capacitance of the plate capacitor.
In einer weiteren Ausführungsform der Erfindung weist der Biegekörper entlang der zweiten Richtung eine Öffnung auf, sodass, wenn eine Probe gegenüber der Elektrode angeordnet ist, die Probe über die Öffnung mit elektromagnetischer Strahlung bestrahlbar ist. Somit kann durch die elektromagnetische Strahlung ein in der Probe stattfindender Wechselwirkungsprozess zwischen der Strahlung und der Probe induziert werden, welcher wiederum ein elektrisches Potential in der Probe hervorruft, sodass dieses mittels des Systems ermittelbar wird.In a further embodiment of the invention, the bending body has an opening along the second direction, so that when a sample is arranged opposite the electrode, the sample can be irradiated with electromagnetic radiation via the opening. Thus, an interaction process taking place in the sample between the radiation and the sample can be induced by the electromagnetic radiation, which in turn causes an electrical potential in the sample, so that this can be determined by the system.
Gemäß einer Ausführungsform ist die Elektrode für die elektromagnetische Strahlung zumindest teilweise transparent, sodass, wenn die Elektrode entlang einer optischen Achse zwischen Öffnung und der Probe positioniert ist, die Probe weiterhin mit elektromagnetischer Strahlung bestrahlbar ist. Somit kann die Probe vorteilhaft durch die Elektrode hindurch mit elektromagnetischer Strahlung bestrahlt werden, was die Justage und Handhabung des Systems weiter vereinfacht.According to one embodiment, the electrode is at least partially transparent to the electromagnetic radiation, so that when the electrode is positioned along an optical axis between the opening and the sample, the sample can continue to be irradiated with electromagnetic radiation. The sample can thus advantageously be irradiated with electromagnetic radiation through the electrode, which further simplifies the adjustment and handling of the system.
In einer Ausführung entspricht die Biegeschwingung des Biegekörpers einer Resonanzfrequenz des Biegekörpers, wobei die Resonanzfrequenz insbesondere im Bereich von 500 Hz bis 1000 Hz liegt. Die Resonanzfrequenz wird dabei durch die Geometrie und die Materialien des Biegekörpers bestimmt. Wird die Biegeschwingung bei der Resonanzfrequenz des Biegekörpers betrieben, werden vorteilhaft maximale Auslenkungen des Biegekörpers bei minimaler durch die Aktuatoreinheit erzeugter Schwingungsenergie erreicht.In one embodiment, the bending vibration of the bending body corresponds to a resonant frequency of the bending body, the resonant frequency being in the range from 500 Hz to 1000 Hz in particular. The resonant frequency is determined by the geometry and the materials of the bending body. If the bending vibration is operated at the resonant frequency of the bending body, maximum deflections of the bending body are advantageously achieved with minimal vibration energy generated by the actuator unit.
Durch Anregung mit der Resonanzfrequenz des Biegekörpers wird eine hohe Schwingungsgüte erreicht. So lässt sich eine gewünschte Schwingungsamplitude des Biegekörpers bereits mit sehr geringer Anregungsamplitude erzielen.A high vibration quality is achieved by excitation with the resonance frequency of the bending body. A desired vibration amplitude of the bending body can thus be achieved with a very low excitation amplitude.
In einer Ausführungsform der Erfindung sind, wenn eine Probe gegenüber der Elektrode angeordnet ist, die Elektrode und die Probe relativ zueinander mittels einer Verschiebeeinheit des Systems verschiebbar. Dies ist insbesondere dann von Vorteil, wenn verhältnismäßig große, insbesondere planare Proben mittels des Systems vermessen werden sollen, sodass durch entsprechendes Verschieben der Elektrode und der Probe mittels der Verschiebeeinheit verschiedene Bereiche der Probe vermessbar sind. Die Probe bzw. die Elektrode können dabei so zueinander verschoben werden, dass ein entsprechender Bereich der Probe gegenüber der Elektrode angeordnet ist, sodass der Bereich der Probe mit der Elektrode des Systems einen Plattenkondensator bildet. Weiterhin vorteilhaft kann mittels der Verschiebeeinheit insbesondere der Abstand zwischen der Probe und der Elektrode entlang der ersten Richtung eingestellt werden. Dieser Abstand ist dabei maßgeblich für die Kapazität des Plattenkondensators aus Probe und Elektrode, sodass hiermit die Kapazität des Plattenkondensators, insbesondere eine Kapazität bei Ruhelage des Biegekörpers, einstellbar wird. Die Verschiebeeinheit kann wahlweise dazu eingerichtet sein, Probe und Elektrode relativ zueinander in einer, zwei und/oder drei Raumrichtungen zu verschieben. Insbesondere können Probe und Elektrode so zueinander verschiebbar sein, dass die Probe ortsfest bleibt, während die Elektrode mittels der Verschiebeeinheit relativ zur Probe verschoben wird.In one embodiment of the invention, when a sample is arranged opposite the electrode, the electrode and the sample are displaceable relative to one another by means of a displacement unit of the system. This is particularly advantageous when relatively large, in particular planar, samples are to be measured using the system, so that different areas of the sample can be measured by correspondingly displacing the electrode and the sample using the displacement unit. The sample or the electrode can be shifted relative to one another in such a way that a corresponding area of the sample is arranged opposite the electrode, so that the area of the sample forms a plate capacitor with the electrode of the system. Furthermore, the distance between the sample and the electrode in particular can advantageously be adjusted along the first direction by means of the displacement unit. This distance is decisive for the capacitance of the plate capacitor made up of sample and electrode, so that the capacitance of the plate capacitor, in particular a capacitance when the bending body is at rest, can be adjusted. The displacement unit can optionally be set up to displace the sample and electrode relative to one another in one, two and/or three spatial directions. In particular, the sample and the electrode can be displaced relative to one another in such a way that the sample remains stationary while the electrode is displaced relative to the sample by means of the displacement unit.
In einer weiteren Ausführungsform des erfindungsgemäßen Systems weist dieses eine Vakuumkammer, insbesondere eine Hochvakuumkammer oder eine Ultrahochvakuumkammer auf. Eine Vakuumkammer ist insbesondere dazu ausgebildet, Drücke von weniger als 300 hPa zu unterstützen. Im Gegensatz zur Vakuumkammer ist eine Hochvakuumkammer dazu eingerichtet und ausgebildet, Drücke zwischen 10-8 bis 10-3 hPa zu unterstützen. Eine Ultrahochvakuumkammer wiederum ist dazu ausgebildet und eingerichtet Drücke, zwischen 10-11 hPa und 10-8 hPa zu unterstützen. Im Folgenden wird zur besseren Lesbarkeit lediglich auf die Vakuumkammer referenziert. Es wird jedoch angemerkt, dass sich der Ausdruck „Vakuumkammer‟ jeweils auch auf die Hochvakuumkammer oder die Ultrahochvakuumkammer beziehen kann. Die Vakuumkammer ist vorzugsweise ausgebildet, zumindest die Elektrode und die gegenüber der Elektrode anordenbare Probe innerhalb der Vakuumkammer aufzunehmen, wobei, wenn die Probe gegenüber der Elektrode in der Vakuumkammer angeordnet ist, die Vakuumkammer zumindest teilweise evakuierbar ist. Somit kann das System bei einem einstellbaren Systemdruck betrieben werden. Insbesondere kann durch teilweises Evakuieren der Systemdruck zum Beispiel gegenüber dem Atmosphärendruck von 1000 hPa herabgesetzt werden, sodass die Biegeschwingung einem entsprechend verringerten Luftwiderstand ausgesetzt ist, was sich vorteilhaft in einer höheren Schwingungsgüte des Systems widerspiegelt. Dabei gilt: Je höher das Vakuum desto besser die Schwingungsgüte.In a further embodiment of the system according to the invention, this has a vacuum chamber, in particular a high vacuum chamber or an ultra-high vacuum chamber. A vacuum chamber is designed in particular to support pressures of less than 300 hPa. In contrast to the vacuum chamber, a high-vacuum chamber is set up and designed to support pressures between 10 -8 to 10 -3 hPa. An ultra-high vacuum chamber, in turn, is designed and configured to support pressures between 10 -11 hPa and 10 -8 hPa. In the following, only the vacuum chamber is referred to for better legibility. However, it is noted that the term "vacuum chamber" can also refer to the high vacuum chamber or the ultra-high vacuum chamber, respectively. The vacuum chamber is preferably designed to accommodate at least the electrode and the sample that can be arranged opposite the electrode within the vacuum chamber, it being possible for the vacuum chamber to be at least partially evacuated when the sample is arranged opposite the electrode in the vacuum chamber. The system can thus be operated at an adjustable system pressure. In particular, by partially evacuating the system pressure, for example, compared to the atmospheric pressure of 1000 hPa, so that the bending vibration is exposed to a correspondingly reduced air resistance, which is advantageous in a higher vibration quality of the system reflects. The following applies: the higher the vacuum, the better the vibration quality.
Ein zweiter Aspekt der Erfindung betrifft ein Verfahren zur berührungslosen Ermittlung eines elektrischen Potentials, insbesondere zeitabhängigen elektrischen Potentials einer Probe mittels des erfindungsgemäßen Systems oder einer seiner Ausführungsformen, aufweisend zumindest die folgenden Schritte:
- i) Positionieren der Probe gegenüber der Elektrode,
- ii) mittels der Aktuatoreinheit, Anregen des Biegekörpers zur Biegeschwingung mit der einstellbaren Frequenz um die Achse, sodass der Abstand der Probe und der Elektrode durch die Biegeschwingung mit der einstellbaren Frequenz verändert wird,
- iii) insbesondere mit der einstellbaren Frequenz der Biegeschwingung, getaktetes Bestrahlen der Probe mit elektromagnetischer Strahlung, insbesondere über die Öffnung, sodass durch einen in der Probe stattfindenden Wechselwirkungsprozess zwischen der Probe und der elektromagnetischen Strahlung eine insbesondere mit der einstellbaren Frequenz der Biegeschwingung modulierte, für das insbesondere zeitabhängige elektrische Potential der Probe indikative elektrische Spannung zwischen Probe und Elektrode induziert wird,
- iv) mittels der elektronischen Schaltung, Verarbeiten des elektrischen Signals der Elektrode und Ermitteln des elektrischen Potentials der Probe.
- i) positioning the sample opposite the electrode,
- ii) by means of the actuator unit, excitation of the bending body to flexural vibration with the adjustable frequency around the axis, so that the distance between the sample and the electrode is changed by the flexural vibration with the adjustable frequency,
- iii) in particular with the adjustable frequency of the bending vibration, clocked irradiation of the sample with electromagnetic radiation, in particular via the opening, so that an interaction process taking place in the sample between the sample and the electromagnetic radiation in particular modulates with the adjustable frequency of the bending vibration and is indicative of the time-dependent electrical potential of the sample in particular electrical voltage between the sample and the electrode is induced,
- iv) by means of the electronic circuit, processing the electrical signal of the electrode and determining the electrical potential of the sample.
In einer vorteilhaften Ausführung weist das Verarbeiten des elektrischen Signals der Elektrode und das Erfassen des elektrischen Potentials der Probe weiterhin die folgenden Schritte auf:
- i) mittels des Vorverstärkers, Vorverstärken der Spannung und Bereitstellen der entsprechenden Verstärkerspannung am Ausgang des Vorverstärkers,
- ii) mittels des Gleichrichters, insbesondere unter Zuhilfenahme der einstellbaren Frequenz der Biegeschwingung, Gleichrichten der Verstärkerspannung und Bereitstellen der für die zeitlich konstante Komponente des elektrischen Potentials indikativen Gleichspannung am Ausgang des Gleichrichters,
- iii) mittels des Reglers, Regeln und Kompensieren der eingangsseitig am Regler anliegenden Gleichspannung durch Erzeugung einer die Gleichspannung kompensierenden Gegengleichspannung, sowie Bereitstellen der Gegengleichspannung am Ausgang des Reglers,
- iv) mittels des Summierers, Summieren der für die periodische und die zeitlich konstante Komponente des elektrischen Potentials indikativen Verstärkerspannung und der Gegengleichspannung, sowie Bereitstellung der resultierenden Summenspannung am Summiererausgang.
- i) by means of the preamplifier, preamplifying the voltage and providing the corresponding amplifier voltage at the output of the preamplifier,
- ii) by means of the rectifier, in particular with the aid of the adjustable frequency of the flexural oscillation, rectification of the amplifier voltage and provision of the DC voltage, which is indicative of the component of the electrical potential which is constant over time, at the output of the rectifier,
- iii) by means of the controller, controlling and compensating for the DC voltage present on the input side of the controller by generating a counter-DC voltage that compensates for the DC voltage, and providing the counter-DC voltage at the output of the controller,
- iv) by means of the adder, summing of the amplifier voltage indicative of the periodic and the time-constant component of the electrical potential and the counter-DC voltage, and providing the resulting sum voltage at the adder output.
Im Folgenden sollen Ausführungsbeispiele sowie weitere Merkmale und Vorteile der Erfindung anhand der Figuren erläutert werden. Es zeigen:
-
1 ein erstes Ausführungsbeispiel des erfindungsgemäßen Systems zur Ermittlung des elektrischen Potentials einer Probe; -
2 ein zweites Ausführungsbeispiel mit einer Draufsicht auf die Elektrode des Systems, wobei die Elektrode elektrisch von einem umlaufenden Leiterelement isoliert ist; -
3a-d weitere Ausführungsbeispiele des Systems, mit einem symmetrischen Biegekörper mit mittigem Schwingungsknoten sowie einem Piezoelement (3a , drittes Ausführungsbeispiel) und einem zusätzlichen Elektromagneten (3b , viertes Ausführungsbeispiel) als Aktuatoreinheit, einen wegen einer Öffnung des Biegekörpers asymmetrischen Biegekörper mit entsprechend der Änderung des Massenschwerpunktes und der Verteilung der Elastizität verschobenem Schwingungsknoten (3c , fünftes Ausführungsbeispiel) sowie einen einseitig an einer Verankerung fixierten Biegekörper mit nur einem Schwingungsbauch (3d , sechstes Ausführungsbeispiel); -
4 ein siebtes Ausführungsbeispiel des Systems, wobei ein Vorverstärker der elektronischen Schaltung auf den Biegekörper befestigt ist und -
5 ein Schaltbild des erfindungsgemäßen Systems und der mit dem System elektrisch verbindbaren elektronischen Schaltung.
-
1 a first embodiment of the system according to the invention for determining the electrical potential of a sample; -
2 a second exemplary embodiment with a plan view of the electrode of the system, the electrode being electrically insulated from a peripheral conductor element; -
3a-d further exemplary embodiments of the system, with a symmetrical bending body with a central vibration node and a piezo element (3a , third embodiment) and an additional electromagnet (3b , fourth exemplary embodiment) as an actuator unit, a flexible body that is asymmetrical because of an opening in the flexible body with a vibration node (3c , fifth embodiment) as well as a bending body fixed on one side to an anchorage with only one antinode (3d , sixth embodiment); -
4 a seventh embodiment of the system, wherein a preamplifier of the electronic circuit is mounted on the bending body and -
5 a circuit diagram of the system according to the invention and the electronic circuit that can be electrically connected to the system.
Das hier gezeigte System 100 umfasst einen länglichen Biegekörper 3, der sich im Wesentlichen entlang einer Achse entlang einer zweiten Richtung 12 erstreckt. Der Biegekörper 3 ist entlang einer ersten Richtung 11 über einen Bolzen 14 mit einer Aktuatoreinheit 2 wirkverbunden. Die Aktuatoreinheit 2 ist hier weiterhin mit einer Gegenmasse 4 wirkverbunden. Der Biegekörper 3 kann zum Beispiel aus Metall gefertigt sein, vorzugsweise Stahl oder Edelstahl. Das System 100 ist hier in einem Schnitt innerhalb einer durch die erste und die zweite Richtung 11,12 aufgespannten Ebene dargestellt. In diesem Schnitt ist eine Öffnung 8 des Biegekörpers 3 entlang seiner Achse sichtbar. Innerhalb dieser Öffnung 8 ist eine Elektrode 5 des Systems 100 angeordnet und elektrisch vom Biegekörper 3 isoliert aber mechanisch mit diesem verbunden, wobei die mechanische Verbindung in diesem Schnitt nicht dargestellt ist. Eine Wandung der Öffnung 8 bildet dabei ein umlaufendes Leiterelement 7, auf welches im Kontext von
Gegenüber der Elektrode 5 und insbesondere nicht zwingend ein Teil des Systems 100 ist, wie in
Bei der elektromagnetischen Strahlung kann es sich zum Beispiel um elektromagnetische Wellen handeln, insbesondere um elektromagnetische Wellen mit Frequenzen im Bereich von 1 THz bis 30 PHz.The electromagnetic radiation can be, for example, electromagnetic waves, in particular electromagnetic waves with frequencies in the range from 1 THz to 30 PHz.
In
Durch die Trägheit des Biegekörpers 3 bildet sich, wenn die Aktuatoreinheit 2 Schwingungsenergie generiert und diese mittels des Bolzens 14 auf den Biegekörper 3 überträgt, eine Biegeschwingung um die Achse des Biegekörpers 3 aus. Durch die Ankopplung des Biegekörpers 3 an die Aktuatoreinheit 2 im Kontaktbereich 6, der seinen Schwerpunkt umfasst, bildet sich dort ein Schwingungsknoten 33 mit minimaler Auslenkung des Biegekörpers 3 gegenüber seiner Ruhelage. Dagegen bildet sich an den freischwingenden beiden Enden des Biegekörpers 3 ein erster und ein zweiter Schwingungsbauch 31,32 mit minimaler mechanischer Impedanz sowie maximaler Auslenkung des Biegekörpers 3 gegenüber seiner Ruhelage aus.Due to the inertia of the
Vorteilhafterweise wird, wie in
Andererseits ist die Aktuatoreinheit 2 hier mit einer Gegenmasse 4 wirkverbunden. Erfindungsgemäß ist die Gegenmasse 4 federnd aufgehängt, im hier dargestellten ersten Ausführungsbeispiel mittels elastischer Aufhängungen 10. Über die elastischen Aufhängungen 10, welche beispielsweise ein Elastomer enthalten können, kann die mittels der Aktuatoreinheit 2 erzeugte Schwingungsenergie teilweise abfließen, sodass nur ein Teil der Schwingungsenergie in die Biegeschwingung des Biegekörpers übergeht. Dieser Energieabfluss ist wegen der Verbindung und Wechselwirkung des Biegekörpers 3 mit seiner Umgebung unvermeidbar. In
Die federnde Aufhängung über die Gegenmasse 4 sorgt vorteilhaft dafür, dass der Energieabfluss der Schwingungsenergie und eine Schwingungsgüte der Biegeschwingung über einen Grad der Elastizität der elastischen Aufhängung 10 einstellbar wird. Insbesondere kann so durch eine geeignete Wahl insbesondere der Massen von Biegekörper 3 und Gegenmasse 4 sowie der Verbindungen zwischen Aktuatoreinheit 2 und Biegekörper 3 sowie zwischen Aktuatoreinheit 2 und Gegenmasse 4 eine maximale Auslenkung der Schwingungsbäuche 31,32 bei minimaler durch die Aktuatoreinheit 2 erzeugter Schwingungsenergie und vertretbarem Energieabfluss aus dem System 100 erreicht werden. Hierfür wird die Masse der Gegenmasse 4 vorzugsweise als 3- bis 10-mal so schwer wie eine Gesamtmasse des Biegekörpers 3 und des Bolzens 14 gewählt.The resilient suspension via the
Gemäß Impulserhaltungssatz vollzieht die Gegenmasse 4 dann mechanische Schwingungen derselben Frequenz wie der Bolzen 14 und der Biegekörper 3, jedoch in jeweils entgegengesetzter Richtung und mit einer Auslenkung, die entsprechend den Masseverhältnissen um 3- bis 10-mal geringer als die Auslenkung des Bolzens 14 ist. Die Kräfte, die die Gegenmasse 4 durch ihre mechanischen Schwingungen ausübt, sind dieselben wie jene, die der Bolzen 14 auf den Biegekörper 3 ausübt. Somit ist die mechanische Impedanz der Gegenmasse 4 ebenfalls entsprechend den Masseverhältnissen um 3- bis 10-mal größer als die des Bolzens 14. Die elastische Aufhängung 10, ist vorzugsweise derart ausgebildet, dass die Gegenmasse 4, die Aktuatoreinheit 2, der Bolzen 14 und der Schwingungsknoten 33 des Biegekörpers 3 entlang der ersten Richtung 11 hinreichend ortsfest verbleiben, sodass lediglich die Schwingungsbäuche 31,32 eine möglichst große Auslenkung entlang der ersten Richtung 11 erfahren. Durch die gemäß den Massenverhältnissen große Impedanz der nur mit minimaler Auslenkung, aber großer Kraft bewegten Gegenmasse 4 wird der Gegenmasse 4, der Aktuatoreinheit 2, dem Bolzen und dem Biegekörper 3 entsprechend wenig Schwingungsenergie entzogen. Die Schwingungsgüte bleibt daher bei großen Auslenkungen der Schwingungsbäuche 31,32 vorteilhaft hoch, sodass nur geringe Ansteuerungsleistungen der Aktuatoreinheit 2 benötigt werden. So kann das System 100 beispielsweise mit einem Piezoelement bei wenigen Volt, statt bei sonst üblichen Ansteuerungsspannungen in der Größenordnung von 100 Volt, betrieben werden. Die entsprechend niedrige Ansteuerungsleistung sorgt damit vorteilhaft für schwächere Störfelder, die, wenn sie in den Bereich zwischen Probe 1 und Elektrode 5 einkoppeln, zum Messfehler des elektrischen Potentials der Probe 1 beitragen können. Weiterhin vorteilhaft bleibt durch die niedrige Ansteuerungsleistung die thermische Verlustleistung des Piezoelements, welche quadratisch mit seiner Ansteuerungsspannung und linear mit einer Ansteuerungsfrequenz zusammenhängt, vorteilhaft gering, sodass auch bei hohen Ansteuerungsfrequenzen bis in den kHz-Bereich gearbeitet werden kann.According to the law of conservation of momentum, the
Wie weiterhin
Zur Ermittlung des elektrischen Potentials der Probe 1 umfasst das System 100 insbesondere eine elektronische Schaltung 20, auf die gesondert in
Das Gehäuse 15 kann insbesondere zumindest teilweise gasdicht ausgebildet sein, sodass die Aktuatoreinheit 2 innerhalb des Gehäuses 15 bei einem vorgegebenen Gehäusedruck arbeiten kann. Dieser Gehäusedruck kann dann unabhängig von einem Druck außerhalb des Gehäuses 15 sein, beispielsweise wenn die schwere Wandung 13 Teil einer teilweise evakuierbaren Vakuumkammer ist, sodass der Bereich außerhalb des Gehäuses 15 aber innerhalb der schweren Wandung 13 teilweise evakuierbar ist. Dies ist insbesondere von Vorteil, wenn die Aktuatoreinheit 2 ein Piezoelement umfasst, da Piezoelemente bevorzugt bei einem hinreichenden Umgebungsdruck (z.B. bei Normaldruck, 1015 hPa) eingesetzt werden, um ein Ausgasen der am Piezo-Aktuator üblicher Weise verwendeten Kunststoffbestandteile (wie einer Umhüllung des Piezoelements) und eine damit verbundene Verschlechterung des Vakuums zu verhindern. Weiterhin vorteilhaft verhindert ein derartig gasdicht ausgebildetes Gehäuse 15 ein Ausgasen von Komponenten des Systems 100, insbesondere der elastischen Aufhängung 10 und der Aktuatoreinheit 2 in den evakuierbaren Bereich außerhalb des Gehäuses 15. Insbesondere kann die Verbindung zwischen dem Bolzen 14 und dem Gehäuse 15 gasdicht ausgebildet sein und gleichzeitig eine durch die Aktuatoreinheit 2 verursachte Bewegung des Bolzens 14 relativ zum Gehäuse 15 entlang der ersten Richtung 11 erlauben. Dies kann zum Beispiel durch eine zwischen dem Bolzen 14 und dem Gehäuse 15 angeordnete Membran oder einen Faltenbalg realisiert werden.The
In
Im in
In dem fünften Ausführungsbeispiel des Systems 100 aus
Ein weiteres, siebtes Ausführungsbeispiel des Systems 100 ist in
Der Biegekörper 3 weist auch hier eine Öffnung 8 für Lichteintritt auf, um über die Elektrode 5 das elektrische Potential der Probe 1 mit und ohne Licht durchführen zu können. Zudem ist in diesem Fall die Elektrode 5 über einen Draht 9 mit dem Eingang eines hier auf dem Biegekörper 3 befestigten Vorverstärkers 22 verbunden. Dies hat den Vorteil, dass der Draht 9 zwischen der Elektrode 5 und dem Eingang des Vorverstärkers 22 in diesem Ausführungsbeispiel entsprechend kurz gewählt werden kann, sodass die durch den Draht 9 bedingte, unvermeidbare parasitäre Kapazität des Drahtes 9 entsprechend verringert wird. Dies wirkt sich positiv auf den Verstärkungsfaktor des Vorverstärkers 22 und damit die Genauigkeit der Ermittlung des elektrischen Potentials der Probe 1 aus. Der Vorverstärker 22 bildet eine Komponente der elektronischen Schaltung 20, welche hier nicht weiter dargestellt ist. Auf die elektronische Schaltung 20 zur Ermittlung des elektrischen Potentials der Probe 1 soll in
Für das hier in
Für eine Auslenkung der Schwingungsbäuche 31,32 von 50 µm wird in diesem Ausführungsbeispiel bei Verwendung eines Piezoelements als Aktuatoreinheit 2 lediglich eine Spannung von etwa 1 V benötigt, was einer Auslenkung des Piezoelements entlang der ersten Richtung 11 von nur einigen hundert Nanometern entspricht. Die Resonanz des Biegekörpers 3 ist derart stabil, dass die Anregung der Biegeschwingung beispielsweise durch einen mit dem Piezoelement verbundenen Signalgenerator mit einstellbarer Anregungsfrequenz erfolgen kann.For a deflection of the
Die hier dargestellte elektronische Schaltung 20 kann insbesondere in zwei Varianten verwendet werden, welche mittels eines Schalters 28 eingestellt werden können. Die Probe 1 ist dafür über eine Leiterverbindung elektrisch mit dem Schalter 28 verbunden. Die Leiterverbindung kann ferner einen Kondensator 26 aufweisen, über welchen die Probe 1 für Hochfrequenz geerdet ist.The
Wird der Schalter 28 auf die erste Schalterposition 28a gestellt, liegt die Probe auf dem vordefinierten Massepotential. In dieser ersten Variante kann dann ein durch das System 100 bzw. die elektronische Schaltung 20 ermittelbares elektrisches Potential der Probe 1 zunächst in der Probe 1 induziert werden, insbesondere durch Bestrahlen der Probe 1 mit elektromagnetischer Strahlung. Die elektromagnetische Strahlung kann zeitlich moduliert, insbesondere gepulst sein. Die elektromagnetische Strahlung kann auch mit der Frequenz der Biegeschwingung, insbesondere der Resonanzfrequenz des Biegekörpers 3, moduliert sein. Durch die dadurch entstehende zumindest teilweise Synchronisation zwischen Biegeschwingung und Bestrahlung kann insbesondere die Abhängigkeit der zeitabhängigen elektrischen Spannung vom Abstand zwischen der Probe 1 und der Elektrode 5 zumindest teilweise eliminiert werden, was vorteilhaft zu einem verminderten Messfehler des elektrischen Potentials der Probe 1 führt.If the
Durch einen Wechselwirkungsprozess zwischen der elektromagnetischen Strahlung und der Probe 1 wird eine elektrische Spannung zwischen der Probe 1 und der Elektrode 5 induziert. Diese elektrische Spannung kann sowohl zeitlich konstante als auch zeitlich veränderliche Komponenten der elektrischen Spannung enthalten, welche jeweils für ein zeitlich konstantes bzw. ein zeitlich veränderliches Potential der Probe 1 indikativ sind. Die elektrische Spannung bezieht sich hierbei auf das vordefinierte Massepotential.An electrical voltage is induced between the
Die Elektrode 5 ist elektrisch mit einem Vorverstärker 22 verbunden, welcher dazu ausgebildet ist, die elektrische Spannung vorzuverstärken und vorverstärkt als Verstärkerspannung ausgangsseitig an einem nachgeschalteten Teil 21 der elektronischen Schaltung 20 bereitzustellen. Vorzugsweise enthält der Vorverstärker 22 einen Operationsverstärker und ein RC-Glied, wobei der ohmsche Widerstand des RC-Glieds vorzugsweise ausreichend hoch gewählt wird, zum Beispiel 1 TΩ. Die Kapazität des RC-Glieds kann beispielsweise im Bereich von 0.1 pF bis 1 pF liegen. Somit ergeben sich aus dem Produkt des Widerstands und der Kapazität des RC-Glieds charakteristische Zeitkonstanten des Vorverstärkers 22 im Bereich von T = 0.1 s bis 1 s. Da insbesondere die Kapazität des RC-Glieds im Sinne einer ausreichenden Verstärkung der elektrischen Spannung nicht beliebig hoch gewählt werden kann, werden durch den Vorverstärker 22 lediglich zeitlich veränderliche elektrische Spannungen oberhalb einer Grenzfrequenz f = 1/T verstärkt. Diese liegt mit den beispielhaften Werten des RC-Glieds bei f = 1 Hz bis 10 Hz. Tieferfrequentere Komponenten der elektrischen Spannung, insbesondere deren zeitlich konstante Komponente, werden durch den Vorverstärker 22 nicht vorverstärkt bzw. unterdrückt, sodass dieser Teil der elektronischen Schaltung 20 nicht zum Erfassen der zeitlich konstanten Komponente der elektrischen Spannung bzw. des zeitlich konstanten elektrischen Potentials der Probe 1 ausgebildet ist.The
Die zeitlich veränderlichen Komponenten der elektrischen Spannung bzw. des elektrischen Potentials der Probe 1 werden dagegen durch den Vorverstärker 22 vorverstärkt und ausgangsseitig dem nachgeschalteten Teil 21 als zeitabhängige Vorverstärkerspannung bereitgestellt. Hier kann weiterhin ein Entzerrer 29 vorhanden sein. Der Entzerrer 29 ist dabei vorzugweise dazu ausgebildet, die zeitabhängige Verstärkerspannung durch einen Korrekturfaktor dahingehend zu korrigieren, dass ein zwischen der Probe 1 und der Elektrode 5 angeordnetes Medium berücksichtigt wird. Dieses Medium, beispielsweise Luft, wirkt sich auf die korrigierte zeitabhängige Verstärkerspannung aus. Diese korrigierte zeitabhängige Verstärkerspannung, welche die besagten zeitlich veränderlichen Komponenten der elektrischen Spannung bzw. des elektrischen Potentials der Probe 1 enthält, wird schließlich an einen Summierer 25 weitergegeben.The time-varying components of the electrical voltage or the electrical potential of the
Um auch die zeitlich veränderlichen Komponenten der elektrischen Spannung bzw. des elektrischen Potentials der Probe 1 unterhalb der Grenzfrequenz des Vorverstärkers 22, insbesondere deren zeitlich konstante Komponenten ermitteln zu können, weist der nachgeschaltete Teil 21 weiterhin einen Gleichrichter 23 auf. Hierbei wird sich zunutze gemacht, dass die Biegeschwingung durch die Modulierung des Abstands zwischen Elektrode 5 und Probe 1 zu einer zeitlichen Änderung der an sich konstanten Komponente des elektrischen Potentials der Probe 1 führt. Diese zeitliche Änderung ist als zeitlich mit der Frequenz der Biegeschwingung modulierte Kapazität zwischen Probe 1 und Elektrode 5 insbesondere mithilfe des Gleichrichters 23 ermittelbar. Der Gleichrichter 23 ist hierbei dazu ausgebildet, unter Zuhilfenahme der Frequenz der Biegeschwingung, insbesondere der Resonanzfrequenz des Biegebalkens 3, durch Synchrongleichrichtung der Frequenz der Biegeschwingung und der durch die Biegeschwingung bedingten zeitlichen Änderung der Kapazität die zeitlich konstante Komponente der elektrischen Spannung gleichzurichten und als Gleichspannung am Ausgang des Gleichrichters 23 bereitzustellen. An seinem Ausgang ist der Gleichrichter 23 mit einem Regler 24 elektrisch verbunden. Der Regler 24 kann dabei als integrierender Regler 24 ausgebildet sein und die am Eingang des Reglers 24 anliegende Gleichspannung durch Erzeugung und Regeln einer Gegengleichspannung kompensieren. Die Gegengleichspannung ist folglich ebenfalls für die zeitliche konstante Komponente der elektrischen Spannung bzw. des elektrischen Potentials der Probe 1 indikativ. Die Gegengleichspannung kann weiterhin an einen Summierer 25 weitergegeben werden.In order to also be able to determine the time-varying components of the electrical voltage or the electric potential of the
Der Summierer 25 kann schließlich durch Summieren der zeitlich veränderlichen und zeitlich konstanten Komponenten der elektrischen Spannung bzw. des elektrischen Potentials der Probe 1 die Summe aus beiden Komponenten bilden und als entsprechende Summenspannung an einem Ausgang des Summierers 25 bereitstellen. Diese Summenspannung ist für die Summe der zeitlich konstanten und der zeitlich veränderlichen Komponenten des elektrischen Signals der Probe 1 indikativ.Finally, the
In der zweiten Variante befindet sich der Schalter 28 in der zweiten Schalterstellung 28b. Hier liegt die Probe 1 nicht auf dem vordefinierten Massepotential, sondern ist mit einem Testsignalgenerator 27 verbunden. Mittels des Testsignalgenerators 27 kann ein Testsignal, beispielsweise eine zeitlich konstante Testspannung oder eine zeitlich veränderliche, insbesondere periodische Testspannung generiert und an die Probe 1 weitergegeben werden. Diese Testspannung kann dann, wie im Kontext der ersten Variante beschrieben, durch das System 100 bzw. die elektronische Schaltung 20 ermittelt werden. Dies ermöglicht insbesondere eine Kalibrierung von separat ausführbaren Ermittlungen von beispielsweise mittels elektromagnetischer Strahlung in der Probe induzierten elektrischen Potentialen der Probe 1.In the second variant, the
BezugszeichenlisteReference List
- 11
- Probesample
- 22
- Aktuatoreinheitactuator unit
- 33
- Biegekörperbending body
- 44
- Gegenmassecounterweight
- 55
- Elektrodeelectrode
- 66
- Kontaktbereichcontact area
- 77
- Leiterelementladder element
- 88th
- Öffnungopening
- 1111
- Erste RichtungFirst direction
- 1212
- Zweite Richtungsecond direction
- 1313
- Schwere Wandungheavy wall
- 1414
- Bolzenbolt
- 1515
- GehäuseHousing
- 1616
- Durchführungexecution
- 2020
- Schaltungcircuit
- 2121
- Nachgeschalteter Teil der SchaltungDownstream part of the circuit
- 2222
- Vorverstärkerpreamp
- 2323
- Gleichrichterrectifier
- 2424
- Reglercontroller
- 2525
- Summierertotalizer
- 2626
- Kondensatorcapacitor
- 2727
- Testsignalgeneratortest signal generator
- 2828
- SchalterSwitch
- 28a28a
- Erste SchalterstellungFirst switch position
- 28b28b
- Zweite SchalterstellungSecond switch position
- 2929
- Entzerrerequalizer
- 3131
- Erster SchwingungsbauchFirst antinode
- 3232
- Zweiter SchwingungsbauchSecond antinode
- 3333
- Schwingungsknotenvibration nodes
- 100100
- Systemsystem
ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNGQUOTES INCLUDED IN DESCRIPTION
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