DE102020209897A1 - Verfahren zum Herstellen von Wälzkörpern, Wälzlager und Drehanode für eine Röntgenröhre - Google Patents

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Abstract

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Herstellen von Wälzkörpern für ein elektrisch leitfähiges Wälzlager, insbesondere Röntgenröhrendrehanodenwälzlager, mit den folgenden Schritten:
- Herstellen eines Grundkörpers des Wälzkörpers aus Keramik;
- Beschichten des Grundkörpers mit einer elektrisch leitfähigen Schicht.
Das erfindungsgemäße Verfahren ist dadurch gekennzeichnet, dass vor der Beschichtung des Grundkörpers, während der Beschichtung des Grundkörpers und/oder nach der Beschichtung des Grundkörpers Ionen eines elektrisch leitfähigen Werkstoffs in eine Oberfläche des Grundkörpers mittels Ionenimplantation eingebracht werden.

Description

  • Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren zum Herstellen von Wälzkörpern für ein elektrisch leitfähiges Lager, insbesondere Röntgenröhrendrehanodenwälzlager, sowie ein Wälzlager und eine Drehanode für eine Röntgenröhre.
  • Bei Röntgenröhren mit Drehanode ist es üblich, die Drehanode in Wälzlagern zu lagern. Aufgrund der Anordnung in einem Hochvakuum und aufgrund der hohen Umgebungstemperatur der Lager werden die Lager häufig mit einem Feststoff geschmiert. Der Feststoff kann zum Beispiel als Beschichtung durch Sputtern auf die Wälzkörper aufgebracht werden. Auch eine Beschichtung der Laufbahnen ist möglich.
  • Die Wälzlager müssen elektrisch leitend sein, damit ein elektrischer Strom durch die Wälzlager zur Drehanode geführt werden kann, um die notwendige Beschleunigungsspannung für die von der Kathode emittierten Elektronen zwischen Anode und Kathode aufzubauen. Daher werden die Laufbahnen, die Wälzkörper und die gegebenenfalls vorgesehene Festschmierstoffschicht elektrisch leitend ausgeführt. Als Werkstoff für die Wälzkörper wird üblicherweise ein hochtemperaturbeständiger Stahl, wie T15, verwendet, der in Kombination mit dem genannten Festschmierstoff eine ausreichende elektrische Leitfähigkeit aufweist. Auch die Laufbahnen werden aus Stahl hergestellt.
  • EP 1 975 428 A1 schlägt ferner ein Wälzlager für eine Drehanode einer Röntgenröhre vor, bei welcher die Wälzkörper gemäß einer Ausführungsform aus elektrisch nicht leitender Keramik hergestellt und mit einer elektrisch leitenden Silberschicht beschichtet werden, um die elektrische Leitfähigkeit zu erreichen. Statt einer Silberschicht kann auch eine Kupferschicht oder Bleischicht verwendet werden. Ferner kann eine lonennitrierschicht auf den metallischen Laufbahnen vorgesehen sein. Eine solche lonennitrierschicht kann auch auf Wälzkörpern aus Metall vorgesehen werden.
  • Nachteilig bei der Ausgestaltung mit keramischen Wälzkörpern ist, dass die Haftung der Silberschicht auf dem keramischen Grundkörper der Wälzkörper beschränkt ist, sodass die Silberschicht einem Verschleiß unterliegt. Dies wirkt zwar wie eine Feststoffschmierung, was günstig für die Lebensdauer des Lagers ist. Sobald die Silberschicht jedoch über ein vorbestimmtes Maß hinaus verschlissen ist, wird die elektrische Leitfähigkeit des Lagers beeinträchtigt und damit die Funktion der Röntgenröhre, wenn nämlich zunehmend die blanke Keramikoberfläche auf den Laufbahnen abwälzt. Da durch die Schmierwirkung kein Lagerschaden im eigentlichen Sinn auftritt, der sich durch Geräusche und Schwingungen bemerkbar macht, erfolgt die Funktionsbeeinträchtigung der Röntgenröhre schleichend und die Ursache für die Beeinträchtigung war im Stand der Technik unklar.
  • Der vorliegenden Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ein Verfahren zum Herstellen von Wälzkörpern für ein elektrisch leitfähiges Wälzlager, insbesondere Röntgenröhrendrehanodenwälzlager, anzugeben, das die Vorteile von keramischen Wälzkörpern mit einer elektrisch leitfähigen Beschichtung nutzt und zugleich die genannten Nachteile vermeidet. Insbesondere soll eine besonders gute Haftung der elektrisch leitfähigen Schicht auf dem Keramikgrundkörper des Wälzkörpers erzielt werden und die elektrische Leitfähigkeit auch bei einem bevorzugt reduziert einsetzenden Verschleiß gewährleistet werden.
  • Die erfindungsgemäße Aufgabe wird durch ein Verfahren zum Herstellen von Wälzkörpern sowie ein Wälzlager gemäß den selbstständigen Ansprüchen gelöst. Die abhängigen Ansprüche beschreiben vorteilhafte und besonders zweckmäßige Ausgestaltungen der Erfindung. Ferner wird eine Drehanode für eine Röntgenröhre mit einem erfindungsgemäßen Wälzlager angegeben.
  • Gemäß dem erfindungsgemäßen Verfahren zum Herstellen von Wälzkörpern für ein elektrisch leitfähiges Wälzlager, insbesondere Röntgenröhrendrehanodenwälzlager, wird zunächst ein Grundkörper aus Keramik hergestellt. Der Grundkörper wird mit einer elektrisch leitfähigen Schicht beschichtet.
  • Erfindungsgemäß werden vor der Beschichtung des Grundkörpers, während der Beschichtung des Grundkörpers und/oder nach der Beschichtung des Grundkörpers mit der elektrisch leitfähigen Schicht Ionen eines elektrisch leitfähigen Werkstoffs in eine Oberfläche des Grundkörpers mittels Ionenimplantation eingebracht.
  • Die Ionenimplantation führt zu einem besonders guten Haften der elektrisch leitfähigen Schicht auf der Oberfläche des Grundkörpers. Da Ionen eines elektrisch leitfähigen Werkstoffs, insbesondere Silber, durch Ionenimplantation in die Oberfläche des Grundkörpers eingebracht werden, bleibt der Grundkörper an seiner Oberfläche sogar dann elektrisch leitfähig, wenn die elektrisch leitfähige Schicht auf seiner Oberfläche weitgehend verschlissen ist.
  • Die Ionenimplantation kann als eine Art Armierung gegen Abtrag der elektrisch leitfähigen Schicht angesehen werden und reduziert damit den Abtrag der elektrisch leitfähigen Schicht.
  • Durch die verbesserte Anhaftung der elektrisch leitfähigen Schicht am Grundkörper der Wälzkörper kann die elektrisch leitfähige Schicht nur noch bedingt als Festschmierstoffschicht wirken. Um nun trotzdem dem Wälzkörper gute Schmiereigenschaften zu verleihen, kann auf die elektrisch leitfähige Schicht gemäß einer vorzuziehenden Ausführungsform der Erfindung eine Festschmierstoffschicht aufgetragen werden, die sogar aus demselben Werkstoff wie die elektrisch leitfähige Schicht und/oder wie die Ionen bestehen kann. Damit wird eine überlegene Schmierfähigkeit mit einer überlegenen elektrischen Leitfähigkeit kombiniert.
  • Besonders bevorzugt werden die Ionen während der Beschichtung des Grundkörpers und/oder nach der Beschichtung des Grundkörpers mit der elektrisch leitfähigen Schicht mittels Ionenimplantation eingebracht.
  • Besonders bevorzugt werden Silberionen mittels der Ionenimplantation eingebracht. Zusätzlich oder alternativ können auch Chromionen mit der Ionenimplantation eingebracht werden.
  • Bei der elektrisch leitfähigen Schicht handelt es sich bevorzugt um eine metallische Schicht, insbesondere um eine Silberschicht oder um eine Silber umfassende Schicht.
  • Vor dem Beschichten wird die Oberfläche des Grundkörpers bevorzugt gereinigt, insbesondere mit einem Plasma. Jedoch kann auch eine lonenstrahlreinigung auch Ionenstrahlätzen (IBE, Ion Beam Etching) genannt, zum Reinigen verwendet werden, wobei hierbei insbesondere Edelgasionen auf die Oberfläche des Grundkörpers geschossen werden. Dies befreit die Oberfläche des Grundkörpers von Unreinheiten und verbessert die Haftfähigkeit der Oberfläche des Grundkörpers. Wenn eine lonenstrahlreinigung verwendet wird, kann dieselbe lonenstrahlquelle herangezogen werden, die nachfolgend für die Ionenimplantation verwendet wird.
  • Die Beschichtung des Grundkörpers mit der elektrisch leitfähigen Schicht kann insbesondere durch PVD (physikalische Gasphasenabscheidung/Physical Vapour Deposition) aufgebracht werden. Auch die Festschmierstoffschicht kann mittels PVD aufgetragen werden.
  • Andere Herstellungsverfahren für die elektrisch leitfähige Schicht und/oder die Festschmierstoffschicht sind möglich, nur beispielhaft wird auf CVD (chemische Gasphasenabscheidung/Chemical Vapour Deposition), Sputtern oder Plattieren verwiesen.
  • Wenn eine Festschmierstoffschicht auf der elektrisch leitenden Beschichtung, vorteilhaft ionenimplantierten elektrisch leitenden Beschichtung, aufgebracht ist, aus demselben Werkstoff oder einem anderen Werkstoff als die elektrisch leitende Beschichtung, beispielsweise aus Silber, so wird diese Festschmierstoffschicht bevorzugt frei von Ionenimplantation aufgetragen, damit sich beim Betrieb des Wälzlagers Material aus der Festschmierstoffschicht lösen kann und das Lager schmieren kann.
  • Besonders bevorzugt wird das Aufbringen der elektrisch leitenden Beschichtung, die Ionenimplantation, das Auftragen der Festschmierstoffschicht und gegebenenfalls die Reinigung der Grundkörperoberfläche in einer einzigen Bearbeitungskammer, insbesondere Vakuumkammer, durchgeführt, ohne dass zwischenzeitlich der Wälzkörper beziehungsweise Grundkörper aus der Vakuumkammer entfernt wird. Beispielsweise wird zunächst, insbesondere nach einer Reinigung der Grundkörperoberfläche, beispielsweise mit Plasma und/oder lonenstrahlbeschuss, die elektrisch leitende Beschichtung aufgebracht, beispielsweise mittels PVD, und gleichzeitig und/oder anschließend wird in derselben Kammer die Ionenimplantation mit dem elektrisch leitfähigen Werkstoff durchgeführt. Anschließend kann die Ionenimplantation beendet werden und die Festschmierstoffschicht aufgetragen werden, insbesondere unter Fortsetzung des PVD-Verfahrens. Somit muss für die Aufbringung der Festschmierstoffschicht lediglich die lonenkanone beziehungsweise die lonenimplantationseinrichtung in der Kammer abgestellt werden. Bevorzugt wird, wie dargelegt, dabei die elektrisch leitende Beschichtung und die Festschmierstoffschicht aus demselben Werkstoff hergestellt, und insbesondere werden auch bei der Ionenimplantation Ionen desselben Werkstoffs implantiert.
  • Die Ionenimplantation erfolgt vorzugsweise durch sogenanntes dynamisches lonenstrahlmischen (IBM: Ion Beam Mixing) mit Ionen aus wenigstens zwei Ionenquellen. Vorzugsweise werden Ionen eines Edelgases in den Ionenquellen verwendet. Als Edelgas für die eine oder mehreren Ionenquellen kommt beispielsweise Argon oder Helium in Betracht. Andere Edelgase sind möglich. Die Ionen aus einer ersten lonenquelle können auf ein Target aus dem elektrisch leitfähigen Werkstoff geschossen werden, sodass sich Ionen des elektrisch leitenden Werkstoffs aus dem Target lösen und mit diesen gelösten Ionen der Wälzkörper beziehungsweise der Grundkörper des Wälzkörpers beschossen wird. Die Ionen, insbesondere Edelgasionen, der zweiten lonenquelle können direkt auf den Wälzkörper beziehungsweise den Grundkörper des Wälzkörpers geschossen werden, um eine besonders tiefe Eindringtiefe der Ionen des elektrisch leitenden Werkstoffs zu erzielen.
  • Für den Beschuss mit Ionen werden bevorzugt hohe elektrische lonenbeschleunigungsspannungen zwischen der lonenquelle und dem Target beziehungsweise zwischen der lonenquelle und dem Grundkörper beziehungsweise zwischen dem Target und dem Grundkörper angelegt. Die Ionen der ersten lonenquelle können mit einer Spannung von einigen Kilovolt, beispielsweise von 5 kV, 6 kV oder mehr, beschleunigt werden und die Ionen der zweite lonenquelle können mit einer noch größeren Spannung beschleunigt werden, die beispielsweise das Fünffache bis Achtfache der Spannung der ersten lonenquelle oder mehr beträgt, zum Beispiel zwischen 50 und 100 kV. Die Ionen aus der zweiten lonenquelle und die Ionen des elektrisch leitenden Werkstoffs treffen bevorzugt gleichzeitig auf der Oberfläche des Grundkörpers beziehungsweise auf der Beschichtung des Grundkörpers auf.
  • Die Ionen des elektrisch leitfähigen Werkstoffs können mehrere Mikrometer tief, beispielsweise bis zu 10 µm tief, in die Oberfläche des Grundkörpers eindringen. Eine Auswirkung der Ionenimplantation kann vorteilhaft sogar noch 1 mm unter der Oberfläche gemessen werden.
  • Grundsätzlich können statt der oder zusätzlich zu der Ionenimplantation mit Silberionen und/oder Chromionen auch andere metallische Ionen zur Implantation verwendet werden, beispielsweise Nickelionen oder Kupferionen. Entsprechende Werkstoffe eignen sich auch für die Beschichtung und/oder die Festschmierstoffschicht.
  • Die Verwendung von Keramik als Werkstoff des Grundkörpers hat den Vorteil eines geringeren Gewichts und somit einer geringeren Massenträgheit. Durch die Erfindung weisen die Wälzkörper ein besonders leises Abwälzverhalten mit geringem Verschleiß und geringer Reibung auf.
  • Die Erfindung ist für alle Arten von Wälzkörpern geeignet, ungeachtet von deren Form. Beispielsweise kommen kugelförmige oder walzenförmige oder nadelförmige oder ballige Wälzkörper in Betracht. Die Wälzkörper können in einer beliebigen Anordnung, beispielsweise X-Anordnung oder O-Anordnung, verwendet werden, in einreihigen oder mehrreihigen Lagern.
  • Ein erfindungsgemäßes Wälzlager, insbesondere für eine Röntgenröhrendrehanode, weist zwei einander entgegengesetzte Laufbahnen und eine Vielzahl von auf den Laufbahnen abwälzenden, erfindungsgemäß hergestellten Wälzkörpern auf. Die Laufbahnen können durch separate Lagerringe gebildet werden. Alternativ wird eine Laufbahn oder beide Laufbahnen werden aus dem lagernden oder gelagerten Bauteil gebildet, beispielsweise der Oberfläche einer Welle oder eines Gehäuses, bei einer sogenannten Integrallagerung.
  • Eine erfindungsgemäße Drehanode für eine Röntgenröhre weist einen Rotor und einen den Rotor mit Abstand in Umfangsrichtung umschließenden Stator auf, wobei der Rotor und der Stator in elektromagnetischer Wechselwirkung miteinander stehen, derart, dass der Rotor durch Anlegen eines elektromagnetischen Feldes durch den Stator in Umlauf versetzbar ist, wobei der Rotor topfförmig ausgeführt ist, eine wälzgelagerte Rotorwelle in Umfangsrichtung umschließt und an einem ersten axialen Ende der Rotorwelle fliegend gelagert angeschlossen ist.
  • Die Drehanode umfasst einen Anodenteller, der an einem Axialende des Rotors angeschlossen ist und mit Anodenmaterial versehen ist, wobei der Anodenteller im Bereich des ersten axialen Endes an der Rotorwelle und/oder dem Rotor fliegend gelagert angeschlossen ist.
  • Die Rotorwelle ist mit einem erfindungsgemäß hergestellten Wälzlager in einem stationären Gehäuse, welches von dem Stator umschlossen wird, gelagert.
  • Die Erfindung soll nachfolgend anhand eines Ausführungsbeispiels und den Figuren exemplarisch beschrieben werden.
  • Es zeigen:
    • 1 eine erfindungsgemäße Drehanode, deren Wälzlager gemäß dem erfindungsgemäßen Verfahren hergestellt werden können;
    • 2 eine exemplarische Darstellung einer Bearbeitungskammer zur Durchführung des erfindungsgemäßen Verfahrens.
  • In der 1 ist ein Ausführungsbeispiel einer erfindungsgemäßen Drehanode gezeigt, umfassend einer Rotorwelle 15, die ein erstes axiales Ende 16 und zweites axiales Ende 20 aufweist. Die Rotorwelle 15 ist um ihre Längsachse 21 drehbar innerhalb eines stationären Gehäuses 19 gelagert. Das stationäre Gehäuse 19 wiederum trägt einen Vakuumbehälter 22 oder ist an diesem druckdicht angeschlossen, der neben der Drehanode auch eine hier nicht näher dargestellte Kathode einschließt.
  • Außerhalb des Vakuumbehälters 22 ist ein Stator 14 vorgesehen, mittels welchem der Rotor 13, der am ersten axialen Ende 16 fliegend auf der Rotorwelle 15 gelagert ist, berührungslos durch die Wand des Vakuumbehälters 22 hindurch antreibbar ist, sodass er um die Längsachse 21 umläuft. An ihrem ersten axialen Ende 16 trägt die Rotorwelle 15 ferner den Anodenteller 17, der mit einem Anodenmaterial 18 versehen ist und mit dem Rotor 13 beziehungsweise der Rotorwelle 15 umläuft. Das Anodenmaterial 18 wird von der hier nicht dargestellten Kathode mit einem Elektronenstrahl beschossen, sodass die Röntgenstrahlung erzeugt wird und aus dem Vakuumbehälter 22 austritt.
  • Die Anodenaufnahme 23 zur Aufnahme des Anodentellers 17 beziehungsweise hier auch des Rotors 13 ist nur schematisch als Axialflansch gezeigt und könnte natürlich auch anders gestaltet sein.
  • Der Rotor 13 ist durch eine Vielzahl von Wälzlagern 10 mit jeweils in Umfangsrichtung um die Längsachse 21 hintereinander angeordneten Wälzkörpern 9 im stationären Gehäuse 19 gelagert. Die Wälzkörper 9 wälzen auf zwei einander entgegengesetzten Laufbahnen 11, 12 des Rotors 13 und des Gehäuses 19 beziehungsweise eines im Gehäuse 19 eingesetzten Lageraußenrings ab. Um den Anodenteller 17 eine elektrische Spannung aufprägen zu können, ist es notwendig, dass die Wälzlager 10 elektrisch leitend ausgeführt sind. Hierfür weisen die Wälzkörper 9 eine elektrisch leitfähige Schicht auf ihrer Oberfläche auf, die erfindungsgemäß hergestellt ist und nachfolgend exemplarisch anhand der 2 beschrieben wird.
  • In der 2 ist eine Bearbeitungskammer 24 exemplarisch gezeigt, in welcher ein Wälzkörper 9 angeordnet ist. Es könnte eine Vielzahl von entsprechenden Wälzkörpern 9 vorgesehen sein, die gleichzeitig bearbeitet werden.
  • Zunächst wird auf einen Grundkörper 1 des Wälzkörpers 9 eine elektrisch leitfähige Schicht 2 aufgebracht, insbesondere mittels PVD-Beschichtung. Jedoch kommen auch andere Aufbringungsverfahren in Betracht. Gegebenenfalls wird der Grundkörper 1 vorher innerhalb oder außerhalb der Bearbeitungskammer 24 gereinigt, beispielsweise durch ein Plasma und/oder durch lonenstrahlreinigung.
  • Anschließend oder, gemäß einer Ausführungsform bereits gleichzeitig, wird die aufgebrachte beziehungsweise sich im Aufbau befindliche elektrisch leitfähige Schicht mit Ionen 3 aus einem elektrisch leitfähigen Werkstoff beschossen, sodass die Ionen 3 in die Schicht 2 und die Oberfläche des Grundkörpers 1 eindringen. Dies wird als Ionenimplantation bezeichnet.
  • Bei dem hier dargestellten bevorzugten Verfahren wird die erzeugte oder sich im Aufbau befindliche Schicht 2 ferner mit Edelgasionen 6 beschossen, was dazu führt, dass die Ionen 3 des elektrisch leitfähigen Werkstoffs tiefer in die Oberfläche des Grundkörpers 1 eindringen.
  • Es ist eine erste lonenquelle 7 vorgesehen, die Edelgasionen 6 erzeugt. Ferner ist eine zweite lonenquelle 8 vorgesehen, die ebenfalls Edelgasionen erzeugt. Die beiden Ionenquellen 7 und 8 können dieselben Edelgasionen erzeugen. Bevorzugt werden die Edelgasionen 6 der zweiten lonenquelle 8 jedoch mit einer größeren Spannung beschleunigt als die Edelgasionen 6 der ersten lonenquelle 7. Eine oder beide Ionenquellen 7,8 können auch für die genannte lonenstrahlreinigung verwendet werden, insbesondere die zweite lonenquelle 8.
  • Die Edelgasionen 6 der zweiten lonenquelle 8 werden, wie dargelegt, auf die sich im Aufbau befindliche oder bereits fertiggestellte elektrisch leitfähige Schicht 2 geschossen. Die Edelgasionen 6 der ersten lonenquelle 7 werden auf ein Target 5 geschossen, das teilweise oder bevorzugt vollständig aus dem elektrisch leitfähigen Werkstoff besteht. Durch diesen Beschuss lösen sich die Ionen 3 des elektrisch leitfähigen Werkstoffs aus dem Target 5, mit welchen dann der Wälzkörper 9 beziehungsweise der Grundkörper 1 beschossen wird.
  • Nachdem der lonenbeschuss beendet wurde, kann optional in derselben Bearbeitungskammer 24 eine Festschmierstoffschicht 4 auf die Wälzkörper 9 beziehungsweise auf die fertiggestellte elektrisch leitfähige Schicht 2 aufgetragen werden. Dies erfolgt ohne lonenbeschuss, insbesondere ebenfalls mittels PVD-Beschichtung.
  • Als Werkstoff für die elektrisch leitfähige Schicht 2, für die Ionen 3 und für die Festschmierstoffschicht 4 kommt derselbe Werkstoff in Betracht, beispielsweise Silber. Es können jedoch auch verschiedene und/oder andere Werkstoffe verwendet werden.
  • Während sich die Festschmierstoffschicht 4 durch Abwälzen der Wälzkörper 9 auf entsprechenden Laufbahnen löst und das entsprechende Lager schmiert, ist die elektrisch leitfähige Schicht 2 durch die Ionenimplantation besonders verschleißbeständig sowie gut auf dem Wälzkörper 9 verankert und stellt die elektrische Leitfähigkeit des Wälzkörpers 9 sicher.
  • Bezugszeichenliste
    • 1
    Grundkörper
    2
    elektrisch leitfähige Schicht
    3
    Ionen eines elektrisch leitfähigen Materials
    4
    Festschmierstoffschicht
    5
    Target
    6
    Edelgasionen
    7
    erste lonenquelle
    8
    zweite lonenquelle
    9
    Wälzkörper
    10
    Wälzlager
    11
    Laufbahn
    12
    Laufbahn
    13
    Rotor
    14
    Stator
    15
    Rotorwelle
    16
    erstes axiales Ende
    17
    Anodenteller
    18
    Anodenmaterial
    19
    Gehäuse
    20
    zweites axiales Ende
    21
    Längsachse
    22
    Vakuumbehälter
    23
    Anodenaufnahme
    24
    Bearbeitungskammer
  • ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG
  • Diese Liste der vom Anmelder aufgeführten Dokumente wurde automatisiert erzeugt und ist ausschließlich zur besseren Information des Lesers aufgenommen. Die Liste ist nicht Bestandteil der deutschen Patent- bzw. Gebrauchsmusteranmeldung. Das DPMA übernimmt keinerlei Haftung für etwaige Fehler oder Auslassungen.
  • Zitierte Patentliteratur
    • EP 1975428 A1 [0004]

Claims (15)

  1. Verfahren zum Herstellen von Wälzkörpern (9) für ein elektrisch leitfähiges Wälzlager (10), insbesondere Röntgenröhrendrehanodenwälzlager, mit den folgenden Schritten: 1.1 Herstellen eines Grundkörpers (1) des Wälzkörpers (9) aus Keramik; 1.2 Beschichten des Grundkörpers (1) mit einer elektrisch leitfähigen Schicht (2); dadurch gekennzeichnet, dass 1.3 vor der Beschichtung des Grundkörpers (1), während der Beschichtung des Grundkörpers (1) und/oder nach der Beschichtung des Grundkörpers (1) Ionen (3) eines elektrisch leitfähigen Werkstoffs in eine Oberfläche des Grundkörpers (1) mittels Ionenimplantation eingebracht werden.
  2. Verfahren gemäß Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Ionen (3) während der Beschichtung des Grundkörpers (1) und/oder nach der Beschichtung des Grundkörpers (1) mit der elektrisch leitfähigen Schicht (2) mittels Ionenimplantation eingebracht werden.
  3. Verfahren gemäß einem der Ansprüche 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass Silberionen (3) mittels der Ionenimplantation eingebracht werden.
  4. Verfahren gemäß einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, dass Chromionen (3) mittels der Ionenimplantation eingebracht werden.
  5. Verfahren gemäß einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, dass vor dem Beschichten die Oberfläche des Grundkörpers (1) mit einem Plasma und/oder durch lonenbeschuss gereinigt wird.
  6. Verfahren gemäß einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, dass die elektrisch leitfähige Schicht (2) mit PVD aufgebracht wird.
  7. Verfahren gemäß einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, dass nach der Beschichtung und der Ionenimplantation eine Festschmierstoffschicht (4) auf die elektrisch leitfähige Schicht (2) aufgetragen wird.
  8. Verfahren gemäß Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, dass die Festschmierstoffschicht (4) mit PVD aufgetragen wird.
  9. Verfahren gemäß einem der Ansprüche 7 oder 8, dadurch gekennzeichnet, dass die Festschmierstoffschicht (4) Silber umfasst oder durch Silber gebildet wird.
  10. Verfahren gemäß einem der Ansprüche 7 bis 9, dadurch gekennzeichnet, dass die Festschmierstoffschicht (4) frei von Ionenimplantation aufgetragen wird.
  11. Verfahren gemäß einem der Ansprüche 1 bis 10, dadurch gekennzeichnet, dass die Ionenimplantation durch dynamisches lonenstrahlmischen mit Ionen (6) aus wenigstens zwei Ionenquellen (7, 8) ausgeführt wird.
  12. Verfahren gemäß einem der Ansprüche 1 bis 11, dadurch gekennzeichnet, dass die Ionen (3) des elektrisch leitfähigen Werkstoffes durch Beschuss eines Targets (5) aus dem elektrisch leitfähigen Werkstoff mit Edelgasionen (6) erzeugt werden.
  13. Verfahren gemäß einem der Ansprüche 1 bis 12, dadurch gekennzeichnet, dass die elektrisch leitfähige Schicht (2) Silber umfasst oder durch Silber gebildet wird.
  14. Wälzlager (10) mit zwei einander entgegengesetzten Laufbahnen (11, 12) und einer Vielzahl auf den Laufbahnen (11, 12) abwälzenden Wälzkörpern (9), dadurch gekennzeichnet, dass die Wälzkörper (9) gemäß dem Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 13 hergestellt sind.
  15. Drehanode für eine Röntgenröhre 15.1 mit einem Rotor (13) und einem den Rotor (13) mit Abstand in Umfangsrichtung umschließenden Stator (14), wobei der Rotor (13) und der Stator (14) in elektromagnetischer Wechselwirkung miteinander stehen, derart, dass der Rotor (13) durch Anlegen eines elektromagnetischen Feldes mittels des Stators (14) in Umlauf versetzbar ist, wobei der Rotor (13) topfförmig ausgeführt ist, eine wälzgelagerte Rotorwelle (15) in Umfangsrichtung umschließt und an einem ersten axialen Ende (16) der Rotorwelle (15) fliegend gelagert angeschlossen ist; 15.2 mit einem Anodenteller (17), der an einem Axialende des Rotors (13) angeschlossen ist und mit Anodenmaterial (18) versehen ist, wobei der Anodenteller (17) im Bereich des ersten axialen Endes (16) an der Rotorwelle (15) und/oder dem Rotor (13) fliegend gelagert angeschlossen ist; dadurch gekennzeichnet, dass 15.3 die Rotorwelle (15) mit wenigstens einem Wälzlager gemäß Anspruch 14 in einem stationären Gehäuse (19), welches von dem Stator (14) umschlossen wird, gelagert ist.
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