DE102020110173B4 - Diffraction grating and method of using the diffraction grating - Google Patents
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Abstract
Die Erfindung betrifft ein Beugungsgitter und seine Verwendung, wie es z.B. in Monochromatoren für Röntgenstrahlen Verwendung findet. Das erfindungsgemäße Beugungsgitter umfasst mindestens ein Substrat (S) mit einer Oberfläche die Gitterlinien aufweist und ist dadurch gekennzeichnet, dass die Gitterlinien einen regelmäßigen Abstand aufweisen und ein, und einen trapezoidalen Winkel y im Bereich von 5° bis 90° im Profil, mit einem Linienabstand (p) im Bereich von 6,1 µm bis 7,1 µm, einer obere Rillenbreite (G) im Bereich von 3,66 µm bis 4,97 µm und einer Linientiefe (GD) im Bereich von 55 nm bis 65 nm. Das Verhältnis der oberen Rillenbreite (G) zum Linienabstand (p) liegt dabei im Bereich von 0,6 bis 0,7. Das erfindungsgemäße Beugungsgitter und seine Verwendung bewirken eine effiziente Unterdrückung von Beugung höherer Ordnung bei gleichzeitiger guter Effizienz der Beugung 1. Ordnung.The invention relates to a diffraction grating and its use, such as is used, for example, in monochromators for X-rays. The diffraction grating according to the invention comprises at least one substrate (S) with a surface which has grating lines and is characterized in that the grating lines have a regular spacing and a, and a trapezoidal angle y in the range from 5 ° to 90 ° in profile, with a line spacing (p) in the range from 6.1 µm to 7.1 µm, an upper groove width (G) in the range from 3.66 µm to 4.97 µm and a line depth (GD) in the range from 55 nm to 65 nm The ratio of the upper groove width (G) to the line spacing (p) is in the range from 0.6 to 0.7. The diffraction grating according to the invention and its use bring about an efficient suppression of diffraction of higher order while at the same time good efficiency of the first order diffraction.
Description
Die Erfindung bezieht sich auf ein Beugungsgitter, wie es zur Beugung von Röntgenstrahlung, zum Beispiel in einem Monochromator, verwendet wird und ein dazugehöriges Verfahren.The invention relates to a diffraction grating of the type used for diffraction of X-rays, for example in a monochromator, and an associated method.
Stand der TechnikState of the art
Bei einem Beugungsgitter der erfindungsgemäßen Art, handelt es sich um ein sogenanntes Plangitter (engl. plane grating). Plangitter der erfindungsgemäßen Art sind z.B. in dem Aufsatz 1 von
ergibt, engl. Als „constant or fix focal distance“ (konstanter Abstand von der Fokalebene) oder „Plangitter-Fokus Bedingung“ bezeichnet, wird meistens bei der Verwendung eines Plangitter in einem Monochromator betrachtet. Er beeinflusst insbesondere die Fokussierungseigenschaften des Plangitters und ist eine Funktion der Wellenlänge (Energie), der Beugungsordnung und der Gitterperiode. Bei der Verwendung eines Plangitters im Monochromator, insbesondere solche, die auch mit Spiegeln ausgestattet sind, wird cff durch die Orientierung des Plangitters, in Bezug auf den einfallenden Röntgenstrahl eingestellt und nach Bedarf optimiert. Ebenso von cff beeinflusst, sind z.B. Parameter des Monochromators wie die Auflösung und die Transmission.A diffraction grating of the type according to the invention is a so-called plane grating. Plane grids of the type according to the invention are for example in the article 1 of
results, engl. As "constant or fix focal distance" (constant distance from the focal plane) or "plan grating-focus condition" is usually considered when using a plan grating in a monochromator. In particular, it influences the focusing properties of the plane grating and is a function of the wavelength (energy), the diffraction order and the grating period. When using a plane grating in the monochromator, in particular those that are also equipped with mirrors, cff is adjusted by the orientation of the plane grating in relation to the incident X-ray beam and optimized as required. Also influenced by c ff are, for example, parameters of the monochromator such as resolution and transmission.
Das Substrat bei den erfindungsgemäß zu betrachtenden Plangittern ist flach. Die Oberfläche kann zur Verbesserung der Beugungseigenschaften behandelt sein z.B. durch Politur oder Beschichtung. Die Gitterlinien können von Plangitter zu Plangitter, je nach Bedarf, durch Rillen unterschiedlicher Profile ausgestaltet sein, wobei im Hinblick auf das erfindungsgemäße Gitter lediglich Rillen mit rechteckigem Profil zu betrachten sind. Die Abstände der Gitterlinien auf einem gegebenen Substrat können sich auch in einer Richtung kontinuierlich ändern, wobei es sich dann um eine sogenanntes engl. „variable line spacing“ (VSL, variabler Linienabstand) Gitter handelt.The substrate in the plane grids to be considered according to the invention is flat. The surface can be treated to improve the diffraction properties, e.g. by polishing or coating. The grid lines can be designed from plane grid to plane grid, as required, by grooves of different profiles, with only grooves with a rectangular profile to be considered with regard to the grid according to the invention. The spacing of the grid lines on a given substrate can also change continuously in one direction. "Variable line spacing" (VSL, variable line spacing) grid acts.
Beugungsgitter werden aufgrund der Eigenschaft der selektiven Beugung vielfach verwendet um Strahlung zu monochromatisieren und kommen in Spektrometern, Röntgenstrahloptiken und anderen Vorrichtungen zum Einsatz. Diffraction gratings are often used due to the property of selective diffraction to monochromatize radiation and are used in spectrometers, X-ray optics and other devices.
Eine Übersicht über Beugungsgitter für die Monochromatisierung von weichen Röntgenstrahlen ist in dem Aufsatz
Mit Monochromatisierung ist hier gemeint, eine, auf ein Gitter einfallende elektromagnetische Strahlung mit einer spektralen Breite, im ausfallenden, d.h. gebeugten Strahl, in der spektralen Breite zu reduzieren. Dabei ist die im gebeugten Strahl zu erreichende spektrale Breite ein Charakteristikum eines gegebenen Plangitters. Im Allgemeinen wird eine möglichst schmale spektrale Breite im ausfallenden (monochromatisierten) Strahl angestrebt, was auch als gute Eigenschaft eines Monochromators gewertet wird.With monochromatization it is meant here to reduce the spectral width of electromagnetic radiation incident on a grating with a spectral width, in the emerging, i.e. diffracted beam. The spectral width to be achieved in the diffracted beam is a characteristic of a given plane grating. In general, the narrowest possible spectral width is aimed for in the emerging (monochromatized) beam, which is also rated as a good property of a monochromator.
Neben der ersten Beugungsordnung, n = ±1, ist theoretisch immer auch die Beugung höherer Ordnung, n > |±1|, möglich. Insbesondere bei Anwendungen im Röntgenstrahlbereich mit Wellenlängen im sogenannten Bereich weicher Röntgenstrahlung (soft X-rays), im Wesentlichen gegeben durch den Wellenlängenbereich von 10 eV bis 200 eV, kann dies dazu führen, dass die zu den höheren Ordnungen gehörigen Wellenlängen, bzw. Energien, in dem gebeugten Strahl mit nicht zu vernachlässigender Intensität vorliegen und Spektralanalysen stören.In addition to the first order of diffraction, n = ± 1, higher order diffraction, n> | ± 1 |, is theoretically always possible. Particularly in the case of applications in the X-ray range with wavelengths in the so-called range of soft X-rays (soft X-rays), essentially given by the wavelength range from 10 eV to 200 eV, this can lead to the wavelengths or energies belonging to the higher orders are present in the diffracted beam with a not insignificant intensity and interfere with spectral analyzes.
Zur Unterdrückung höhere Ordnungen sind im Stand der Technik verschiedene Ansätze beschrieben. In dem Aufsatz
Im Stand der Technik beschrieben sind auch die sogenannten Blazegitter (von englisch funkeln, blaze). Blazegitter zeichnen sich durch die Optimierung der Beugungseffizienz einer Beugungsordnung, entgegen der Unterdrückung unerwünschter Beugungsordnungen, aus und bestehen aus äquidistanten, geneigten Flächen. Diese Gitter sind in der Fertigung sehr aufwendig, wie es z.B. dem Aufsatz
In der
In der
Alle aus dem Stand der Technik bekannten Vorrichtungen zur Unterdrückung der höheren Ordnungen bei der Beugung sind mit Nachteilen behaftet. Sie bedeuten einen größeren instrumentellen Aufwand oder/und gehen auf Kosten der Auflösung und/oder Intensität.All devices known from the prior art for suppressing the higher orders during diffraction have disadvantages. They mean greater instrumental effort and / or at the expense of resolution and / or intensity.
AufgabenstellungTask
Die Aufgabe für die vorliegende Erfindung ist es daher, eine Vorrichtung anzugeben, die eine Unterdrückung höherer Ordnungen der Beugung bewirkt, bei gleichzeitig minimiertem instrumentellem Aufwand und guter Auflösung und eine Verwendung derselben.The object for the present invention is therefore to provide a device which causes a suppression of higher orders of diffraction while at the same time minimizing the instrumental complexity and good resolution and using the same.
Die Aufgabe wird durch die Merkmale des Gegenstands des Anspruchs 1 und Anspruchs 4 gelöst. Vorteilhafte Ausgestaltungen sind Gegenstände der abhängigen Ansprüche.The object is achieved by the features of the subject matter of claim 1 and claim 4. Advantageous configurations are the subject matter of the dependent claims.
Die Vorrichtung ist durch das as erfindungsgemäße Beugungsgitter gegeben, welches mindestens ein Substrat mit einer Oberfläche die Gitterlinien aufweist umfasst. Die Gitterlinien sind parallel und regelmäßig. Als Substrat kommen dabei alle Materialien mit hoher Reflexivität im weichen Röntgenstrahlbereich, insbesondere Silizium, insbesondere beschichtet mit Gold, Platin oder Tantal, wie es auch Ausführungsformen entspricht, in Betracht. Die Substratnormale des Siliciums entspricht in vorteilhafter Weise <100>, wie es einer Ausführungsform entspricht. Die Anzahl der Gitterlinien ist dabei groß genug, um Beugung zu gewährleisten, was theoretisch ab einer Anzahl von zwei Gitterlinien der Fall ist. Die gesamte Anzahl ist hier insbesondere größer als 50 und in besonders vorteilhafter Weise größer als insgesamt 500.The device is given by the diffraction grating according to the invention, which comprises at least one substrate with a surface having the grating lines. The grid lines are parallel and regular. All materials with high reflectivity in the soft X-ray region, in particular silicon, in particular coated with gold, platinum or tantalum, as also corresponds to embodiments, come into consideration as the substrate. The substrate normal of the silicon advantageously corresponds to <100>, as it corresponds to an embodiment. The number of grid lines is large enough to ensure diffraction, which is theoretically the case from a number of two grid lines. The total number here is in particular greater than 50 and, in a particularly advantageous manner, greater than a total of 500.
Die Oberfläche des Substrat weist vorzugsweise eine Rauheit auf die geringer ist als sq < 0,9 nm und insbesondere kleiner als sq < 0,6 nm (sq = mittlere quadratische Höhe).The surface of the substrate preferably has a roughness which is less than sq <0.9 nm and in particular less than sq <0.6 nm (sq = mean square height).
Das Profil der Gitterlinien des Beugungsgitters ist in idealer Weise rechteckig. Dies ist aber Fertigungstechnisch nicht bzw. nur erschwert zu erreichen. Die Winkel, durch die das Profil charakterisiert ist, sind gebildet durch den spitzen Winkel (γ, trapezoidaler Winkel), der durch die Wände des Profils und die Basislinie im Profil (parallel der Grundfläche/Oberfläche des Substrats) aufgespannt ist. Der tolerierbare Winkelbereich für das erfindungsgemäße Gitter ist 5° bis, als Grenzfall des spitzen Winkels, 90°. Der angesprochene Winkel wird hier mit y bezeichnet und in der Literatur ansonsten auch als trapezoidaler oder „slope“ Winkel. Mögliche Unebenheiten, die eventuell fertigungsbedingt auftreten, sind bei der Betrachtung der Winkel auszumitteln.The profile of the grating lines of the diffraction grating is ideally rectangular. However, from a manufacturing point of view, this cannot be achieved or can only be achieved with difficulty. The angles that characterize the profile are formed by the acute angle (γ, trapezoidal angle) that is spanned by the walls of the profile and the base line in the profile (parallel to the base / surface of the substrate). The tolerable angular range for the grating according to the invention is 5 ° to, as a limit case of the acute angle, 90 °. The angle mentioned is referred to here with y and otherwise also as a trapezoidal or “slope” angle in the literature. Any unevenness that may occur due to production needs to be averaged out when looking at the angles.
Der Linienabstand der Gitterlinien (p), der der Gitterperiode entspricht des Beugungsgitters entspricht, liegt im Bereich von 6,1 µm bis 7,1 µm. Das entspricht einer Liniendichte im Bereich von 164 Linien/mm und 141 Linien/mm. Die obere Rillenbreite (G), d.h. der Abstand der Profile der Gitterlinien zueinander, liegt im Bereich von 3,66 µm bis 4,97 µm und die Linientiefe der Gitterlinien (GD) liegt im Bereich von 55 nm bis 65 nm. Die Werte für die obere Rillenbreite G und den Linienabstand der Gitterlinien p sind dabei so ausgebildet, dass sie ein Verhältnis der oberen Rillenbreite G zu dem Linienabstand p, G:p, bilden, das , zwischen 0,6 bis 0,7 liegt. Die Werte für G und p sind bei der Fertigung des Beugungsgitters unter Beachtung der Randbedingung entsprechend zu wählenThe line spacing of the grating lines (p), which corresponds to the grating period of the diffraction grating, is in the range from 6.1 µm to 7.1 µm. This corresponds to a line density in the range of 164 lines / mm and 141 lines / mm. The upper groove width (G), ie the distance between the profiles of the grid lines, is in the range from 3.66 µm to 4.97 µm and the line depth of the grid lines (GD) is in the range from 55 nm to 65 nm. The values for The upper groove width G and the line spacing of the grid lines p are designed in such a way that they form a ratio of the upper groove width G to the line spacing p, G: p, which is between 0.6 and 0.7. The values for G and p are to be selected accordingly when manufacturing the diffraction grating, taking the boundary conditions into account
Das erfindungsgemäße Beugungsgitters kommt zur Verwendung in der Unterdrückung von Beugung höherer Ordnung, >|±1|, bei der Beugung von Röntgenstrahlen im Energiebereich von 10 eV bis 200 eV.The diffraction grating according to the invention is used in the suppression of diffraction of higher order,> | ± 1 |, in the diffraction of X-rays in the energy range from 10 eV to 200 eV.
Das erfindungsgemäße Beugungsgitter der Verwendung umfasst mindestens ein Substrat mit einer Oberfläche die Gitterlinien aufweist. Die Gitterlinien sind parallel und regelmäßig. Als Substrat kommen dabei alle Materialien mit hoher Reflexivität im weichen Röntgenstrahlbereich, insbesondere Silizium, insbesondere beschichtet mit Gold, wie es auch Ausführungsformen entspricht, in Betracht. Die Substratnormale des Siliciums entspricht in vorteilhafter Weise <100>, wie es einer Ausführungsform entspricht. Die Anzahl der Gitterlinien ist dabei groß genug, um Beugung zu gewährleisten, was theoretisch ab einer Anzahl von zwei Gitterlinien der Fall ist. Die gesamte Anzahl ist hier insbesondere größer als 50 und in besonders vorteilhafter Weise größer als insgesamt 500.The diffraction grating according to the invention of use comprises at least one substrate with a surface which has grating lines. The grid lines are parallel and regular. All materials with high reflectivity in the soft X-ray region, in particular silicon, in particular coated with gold, as also corresponds to embodiments, come into consideration as the substrate. The substrate normal of the silicon advantageously corresponds to <100>, as it corresponds to an embodiment. The number of grid lines is large enough to ensure diffraction, which is theoretically the case from a number of two grid lines. The total number here is in particular greater than 50 and, in a particularly advantageous manner, greater than a total of 500.
Das Profil der Gitterlinien im Beugungsgitter ist in idealer Weise rechteckig. Dies ist aber Fertigungstechnisch nicht bzw. nur erschwert zu erreichen. Die Winkel, durch die das Profil der Gitterlinien charakterisiert ist, sind gebildet durch den spitzen Winkel (γ, trapezoidaler Winkel), der durch die Wände des Profils und die Basislinie im Profil (parallel der Grundfläche/Oberfläche des Substrats) aufgespannt ist. Der tolerierbare Winkelbereich für das erfindungsgemäße Gitter ist 5° bis, als Grenzfall des spitzen Winkels, 90°. Der angesprochene Winkel wird hier mit y bezeichnet und in der Literatur ansonsten auch als trapezoidaler oder „slope“ Winkel angesprochen. Mögliche Unebenheiten, die eventuell fertigungsbedingt auftreten, sind bei der Betrachtung der Winkel auszumitteln.The profile of the grating lines in the diffraction grating is ideally rectangular. However, from a manufacturing point of view, this cannot be achieved or can only be achieved with difficulty. The angles that characterize the profile of the grid lines are formed by the acute angle (γ, trapezoidal angle) that is spanned by the walls of the profile and the base line in the profile (parallel to the base / surface of the substrate). The tolerable angular range for the grating according to the invention is 5 ° to, as a limit case of the acute angle, 90 °. The angle mentioned is referred to here with y and otherwise also referred to in the literature as a trapezoidal or “slope” angle. Any unevenness that may occur due to production needs to be averaged out when looking at the angles.
Der Linienabstand der Gitterlinien (p), der der Gitterperiode entspricht, liegt im Bereich von 6,1 µm bis 7,1 µm. Das entspricht einer Liniendichte im Bereich von 164 Linien/mm und 141 Linien/mm. Die obere Rillenbreite (G), d.h. der Abstand der Profile der Gitterlinien zueinander, liegt im Bereich von 3,66 µm bis 4,97 µm und die Linientiefe der Gitterlinien (GD) liegt im Bereich von 55 nm bis 65 nm. Die Werte für die obere Rillenbreite G und den Linienabstand der Gitterlinien p sind dabei so ausgebildet, dass sie ein Verhältnis der oberen Rillenbreite G zu dem Linienabstand p, G:p, bilden, das zwischen 0,6 bis 0,7 liegt. Die Werte für G und p sind bei der Fertigung des Beugungsgitters unter Beachtung der Randbedingung entsprechend so zu wählen, dass ein entsprechendes Verhältnis eingestellt ist. Bei der Verwendung des Beugungsgitters, wird dieses in Hinblick auf die Richtung eines einfallenden Röntgenstrahls so orientiert, dass die Plangitter-Fokus Bedingung cff im Bereich zwischen 1,2 bis 1,7 liegt und insbesondere im Bereich von 1,4 bis 1,5. Der ideale Wert für cff, für den Energiebereich des Röntgenstrahls im Bereich von 10 eV bis 200 eV, liegt bei 1.45, das Maximum der Effizienz liegt dann bei 60 eV. Die Wahl des Wertes für cff hängt von der Wahl der zu nutzenden Energie ab und kann auch durch die Optimierung des Fluss der Röntgenstrahlen (Flux) bestimmt sein.The line spacing of the grating lines (p), which corresponds to the grating period, is in the range from 6.1 µm to 7.1 µm. This corresponds to a line density in the range of 164 lines / mm and 141 lines / mm. The upper groove width (G), ie the distance between the profiles of the grid lines, is in the range from 3.66 µm to 4.97 µm and the line depth of the grid lines (GD) is in the range from 55 nm to 65 nm. The values for The upper groove width G and the line spacing of the grid lines p are designed in such a way that they form a ratio of the upper groove width G to the line spacing p, G: p, which is between 0.6 and 0.7. The values for G and p are to be selected when manufacturing the diffraction grating, taking the boundary conditions into account, so that a corresponding ratio is set. When using the diffraction grating, it is oriented with regard to the direction of an incident X-ray beam so that the plane grating condition c ff is in the range between 1.2 to 1.7 and in particular in the range from 1.4 to 1.5 . The ideal value for c ff , for the energy range of the X-ray beam in the range from 10 eV to 200 eV, is 1.45, the maximum efficiency is then 60 eV. The choice of the value for c ff depends on the choice of energy to be used and can also be determined by optimizing the flow of the X-rays (flux).
Überraschend konnte am Helmholtz-Zentrum Berlin festgestellt werden, dass ein erfindungsgemäßes Gitter, mit den spezifizierten Parametern und unter einer geeigneten Plangitter-Fokus Bedingung, cff, ohne den Einsatz weiterer Hilfsmittel, insbesondere Optiken, entgegen dem Vorurteil, dass ein großer Linienabstand sich sehr nachteilig auf die Gittereigenschaften auswirkt, eine Unterdrückung der Beugung höherer Ordnung (> |±1|) von bis zu einer Effizienz von < 0,025 für den Energiebereich 10 eV bis 200 eV, bei einer Effizienz für die Beugung erster Ordnung von bis zu > 0,32, bei einer Energie von 60 eV (cff = 1,45), bewirkt. Die Plangitter-Fokus Bedingung cff liegt dabei im Bereich zwischen 1.2 bis 1.7.Surprisingly, it was found at the Helmholtz Center Berlin that a grating according to the invention, with the specified parameters and under a suitable plan grating condition, c ff , without the use of further aids, in particular optics, contrary to the prejudice that a large line spacing is very has a disadvantageous effect on the grating properties, a suppression of the higher order diffraction (> | ± 1 |) of up to an efficiency of <0.025 for the energy range 10 eV to 200 eV, with an efficiency for the first order diffraction of up to> 0, 32, at an energy of 60 eV (cff = 1.45). The plan grid focus condition c ff is in the range between 1.2 and 1.7.
Das erfindungsgemäße Beugungsgitter und das zugehörige Verfahren ermöglichen eine sehr effiziente Unterdrückung der Beugung höherer Ordnung, bei gleichzeitiger guten Beugungseigenschaften und unter minimiertem instrumentellem Aufwand. Es ist lediglich das Beugungsgitter einzusetzen.The diffraction grating according to the invention and the associated method enable a very efficient suppression of the higher order diffraction, while at the same time having good diffraction properties and with minimal instrumental expenditure. It is only necessary to use the diffraction grating.
FigurenlisteFigure list
Die Erfindung soll in einem Ausführungsbeispiel und anhand von 3 Figuren näher erläutert werden.The invention is to be explained in more detail in an exemplary embodiment and with the aid of 3 figures.
Die Figuren zeigen:
-
1 : Schematische Darstellung eines Schnitts senkrecht zu den Gitterlinien eines Beugungsgitter (StdT); -
2 : Beugungseffizienz von Beugungen verschiedener Ordnung an einem erfindungsgemäßen Beugungsgitter unter erfindungsgemäßer Verwendung in Abhängigkeit von der Energie; -
3 : Gütefaktor der Transmission in Abhängigkeit von der Energie eines erfindungsgemäßen Beugungsgitter.
-
1 : Schematic representation of a section perpendicular to the grating lines of a diffraction grating (StdT); -
2 : Diffraction efficiency of diffractions of different orders at a diffraction grating according to the invention when used according to the invention as a function of the energy; -
3 : Quality factor of the transmission as a function of the energy of a diffraction grating according to the invention.
Die
In dem Ausführungsbeispiel ist das Substrat aus Silizium <100> gefertigt und die Gitterlinien sind mit einer Gitterteilmaschine auf die Oberfläche des Substrats eingebracht. Der Linienabstand der Gitterlininen p beträgt 6,7 µm, was einer Liniendichte von 150 Linien/mm entspricht. Die Linientiefe GD beträgt 60 nm und die obere Rillenbreite G beträgt 4.36 µm und das Verhältnis von G zu p entspricht demnach 0,65. Der trapezoidale Winkel y, beträgt 10°. Die Oberfläche des Beugungsgitters ist vergoldet.In the exemplary embodiment, the substrate is made from silicon <100> and the grid lines are applied to the surface of the substrate using a grid dividing machine. The line spacing of the grid lines p is 6.7 µm, which corresponds to a line density of 150 lines / mm. The line depth GD is 60 nm and the upper groove width G is 4.36 µm and the ratio of G to p accordingly corresponds to 0.65. The trapezoidal angle y is 10 °. The surface of the diffraction grating is gold-plated.
In der
Ein Gütefaktor (Figure of Merit, FOM) für die Transmission, auszudrücken auch als Güte der Unterdrückung höherer Ordnung (d.h. geringe Transmission (Effizienz) der Beugungen höherer Ordnung), bei gleichzeitige optimierter Effizienz der Beugung 1. Ordnung, in Abhängigkeit von der Energie und für mehrere Werte von cff ist in der
Im gezeigten Ausführungsbeispiel zeigen sich die Vorzüge des erfindungsgemäßen Beugungsgitter und der zugehörigen Verwendung. Das Beugungsgitter und seine Verwendung ermöglichen eine sehr effiziente Unterdrückung der Beugung höherer Ordnung, bei gleichzeitiger guter Beugungseigenschaft für die Beugung ±1. Ordnung und unter minimiertem instrumentellem Aufwand. Es ist lediglich das Beugungsgitter eingesetzt.The illustrated embodiment shows the advantages of the diffraction grating according to the invention and the associated use. The diffraction grating and its use enable a very efficient suppression of the higher order diffraction while at the same time having good diffraction properties for the diffraction ± 1. Order and with minimal instrumental effort. Only the diffraction grating is used.
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Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
WO2021209083A1 (en) | 2021-10-21 |
DE102020110173A1 (en) | 2021-10-14 |
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