DE102020002752A1 - Device for irradiating a substrate - Google Patents

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    • B41F23/0406—Drying webs by radiation

Abstract

Vorrichtung (1) zur Bestrahlung eines Substrates (2), welche eine - in Bezug auf die Längsachse (3) der Plattform (4) gerade oder gekrümmte - Plattform (4) umfasst, wobei ein, zwei, drei, vier, fünf, sechs, sieben, acht, neun, zehn oder mehrere Bestrahlungs-Module (6) und/oder Substrat-Zuluft-Module (36) und/oder Substrat-Abluft-Module (37) mittelbar oder unmittelbar an der Unterseite (8) der Plattform (4) durch Einschieben oder Einstecken oder Einhängen in eine oder mehrere an der Unterseite (8) der Plattform (4) vorgesehene, feststehende oder teleskopierbare Modul-Anbringungs-Einrichtungen (10) - jeweils von der Vorderseite (5) der Vorrichtung (1) ausgehend und in Richtung der Rückseite (9) der Vorrichtung (1) verlaufend - reversibel anbringbar sind.Device (1) for irradiating a substrate (2) which comprises a platform (4) - straight or curved with respect to the longitudinal axis (3) of the platform (4) - comprising one, two, three, four, five, six , seven, eight, nine, ten or more irradiation modules (6) and / or substrate supply air modules (36) and / or substrate exhaust air modules (37) directly or indirectly on the underside (8) of the platform ( 4) by pushing in or plugging in or hanging in one or more fixed or telescopic module attachment devices (10) provided on the underside (8) of the platform (4) - each starting from the front (5) of the device (1) and running in the direction of the rear side (9) of the device (1) - can be attached reversibly.

Description

Die vorliegende Erfindung betrifft eine Vorrichtung zur Bestrahlung eines Substrates, mit den in dem Patentanspruch 1 angegebenen Merkmalen.The present invention relates to a device for irradiating a substrate, having the features specified in claim 1.

Aus der DE 102 34 076 A1 geht eine Flachdruckmaschine für den 4-Farben-Offset-Druck hervor, bei der Strahlungsenergie des nahen Infrarot-Wellenlängenbereiches einem Bedruckstoff zugeführt wird, wobei der Druckfarbe ein Infrarot-Absorberstoff zugesetzt wird. Die Strahlung wird dort von nebeneinander und hintereinander reihenweise angeordneten Einzel-Strahlern erzeugt.From the DE 102 34 076 A1 a planographic printing machine for 4-color offset printing emerges, in which radiation energy of the near infrared wavelength range is fed to a printing material, with an infrared absorber being added to the printing ink. The radiation is generated there by individual radiators arranged next to one another and one behind the other in rows.

Diese aus der DE 102 34 076 A1 bekannte Bestrahlungsvorrichtung ist insbesondere deswegen nachteilig, weil in dem Falle einer Störung der - von der Rückseite her nicht erkennbare - defekte Strahler zunächst mühsam ermittelt, zeitintensiv ausgebaut, repariert, wieder eingesetzt und in Bezug auf seine Ausrichtung dann - Fehlermöglichkeiten einschließend - justiert werden muss.This from the DE 102 34 076 A1 Known irradiation device is particularly disadvantageous because in the event of a malfunction, the defective radiator - which cannot be seen from the rear - must first be laboriously identified, time-consuming removed, repaired, reinserted and then adjusted with regard to its alignment - including possible errors.

Die Aufgabe der vorliegenden Erfindung besteht daher in der Bereitstellung einer Vorrichtung zur Bestrahlung von Substraten, welche - in dem Falle einer Störung einer oder von mehreren Bestrahlungseinrichtungen - eine besonders einfache, schnelle, mühelose und Fehlermöglichkeiten ausschließende Reparatur gestattet.The object of the present invention is therefore to provide a device for irradiating substrates which - in the event of a malfunction of one or more irradiation devices - allows a particularly simple, quick, effortless repair that eliminates the possibility of errors.

Erfindungsgemäß wird diese Aufgabe durch eine gattungsgemäße Vorrichtung zur Bestrahlung von Substraten, mit den in dem Patentanspruch 1 angegebenen Merkmalen gelöst. Besonders bevorzugte Ausführungsformen der erfindungsgemäßen Vorrichtung sind Gegenstand der Unteransprüche.According to the invention, this object is achieved by a generic device for irradiating substrates with the features specified in claim 1. Particularly preferred embodiments of the device according to the invention are the subject of the subclaims.

Besonders bevorzugte Ausführungsformen der erfindungsgemäßen Vorrichtung werden anhand der Zeichnungen näher beschrieben. Es zeigen:

  • 1 eine schematische Vorderansicht (5) einer erfindungsgemäßen Vorrichtung (1) zur Bestrahlung eines Substrates (2), welche eine oben-(25)-liegende, - in Bezug auf die Längsachse (3) der Plattform (4) gerade - Plattform (4) umfasst, wobei an der Unterseite (8) der Plattform (4) drei Modul-Anbringungs-Einrichtungen (10) für ein - von der Vorderseite (5) der Vorrichtung (1) ausgehendes und sich in Richtung der Rückseite (9) der Vorrichtung (1) erstreckendes - frontales Einschieben von drei Bestrahlungsmodulen (6) vorgesehen sind, wobei einerseits der drei Bestrahlungsmodule (6) ein Substrat-Zuluft-Modul (36) und andererseits der drei Bestrahlungsmodule (6) ein Substrat-Abluft-Modul (37) vorgesehen ist, um eine das zu bestrahlende Substrat (2) überstreichende Luft-Strömung zu generieren, wobei in jedes Bestrahlungsmodul (6) noch nicht erwärmtes, frisches, gasförmiges oder flüssiges Bestrahlungsmodul-Kühlmedium (21) zur Kühlung des Leuchtmittels (17) des Bestrahlungsmodules (6) und dessen Reflektors (18) mit seinen Kühlrippen (7) zuführbar ist, wobei das - erst in den 3 und 4 dargestellte - von dem Leuchtmittel (17) erwärmte Bestrahlungsmodul-Kühlmedium (22) über eine - ebenfalls erst in den 3 und 4 dargestellte - Führung (24) aus dem Bestrahlungsmodul (6) - mittelbar über die mittige Führung (28) der Plattform (4) in Richtung der obenliegenden (25) Plattform (4) - und nach außen abführbar ist;
Particularly preferred embodiments of the device according to the invention are described in more detail with reference to the drawings. Show it:
  • 1 a schematic front view ( 5 ) a device according to the invention ( 1 ) for irradiating a substrate ( 2 ), which has an above- ( 25th ) - lying, - in relation to the longitudinal axis ( 3 ) the platform ( 4th ) straight - platform ( 4th ), with ( 8th ) the platform ( 4th ) three module attachment devices ( 10 ) for one - from the front ( 5 ) of the device ( 1 ) outgoing and moving towards the rear ( 9 ) of the device ( 1 ) extending - frontal insertion of three irradiation modules ( 6th ) are provided, whereby on the one hand the three irradiation modules ( 6th ) a substrate supply air module ( 36 ) and on the other hand the three irradiation modules ( 6th ) a substrate exhaust air module ( 37 ) is provided in order to create a substrate to be irradiated ( 2 ) to generate sweeping air flow, whereby in each irradiation module ( 6th ) not yet heated, fresh, gaseous or liquid radiation module cooling medium ( 21 ) to cool the lamp ( 17th ) of the irradiation module ( 6th ) and its reflector ( 18th ) with its cooling fins ( 7th ) can be supplied, whereby the - only in the 3 and 4th shown - from the lamp ( 17th ) heated radiation module cooling medium ( 22nd ) over one - also only in the 3 and 4th illustrated - leadership ( 24 ) from the irradiation module ( 6th ) - indirectly via the central guide ( 28 ) the platform ( 4th ) in the direction of the overhead ( 25th ) Platform ( 4th ) - and can be discharged to the outside;

2 eine schematische Vorderansicht (5) einer erfindungsgemäßen Vorrichtung (1) zur Bestrahlung eines Substrates (2), welche eine oben (25)-liegende, um die Längsachse (3) der Plattform (4) gekrümmte Plattform (4) umfasst, wobei an der Unterseite der gekrümmten Plattform (4) drei Modul-Anbringungs-Einrichtungen (10) für ein - von der Vorderseite (5) der Vorrichtung (1) ausgehendes und sich in Richtung der Rückseite (9) der Vorrichtung (1) erstreckendes - frontales Einschieben von drei Bestrahlungsmodulen (6) vorgesehen sind, wobei einerseits der drei Bestrahlungsmodule (6) ein Substrat-Zuluft-Modul (36) und andererseits der drei Bestrahlungsmodule (6) ein Substrat-Abluft-Modul (37) vorgesehen ist, um eine das zu bestrahlende Substrat (2) überstreichende Luftströmung (35) zu generieren, wobei in jedes Bestrahlungsmodul (6) noch nicht erwärmtes, frisches, gasförmiges oder flüssiges Bestrahlungsmodul-Kühlmedium (21) zur Kühlung des Leuchtmittels (17) des Bestrahlungsmodules (6) und dessen Reflektors (18) mit seinen Kühlrippen (7) zuführbar ist, wobei das - erst in den 3 und 4 dargestellte - von dem Leuchtmittel (17) erwärmte Bestrahlungsmodul-Kühlmedium (22) über eine - ebenfalls erst in den 3 und 4 dargestellte - Führung (24) aus dem Bestrahlungsmodul (6) - mittelbar über die mittige Führung (28) der Plattform (4) in Richtung der obenliegenden (25) Plattform (4) - und nach außen abführbar ist; 2 a schematic front view ( 5 ) a device according to the invention ( 1 ) for irradiating a substrate ( 2 ) which one above ( 25th ) - lying around the longitudinal axis ( 3 ) the platform ( 4th ) curved platform ( 4th ), where on the underside of the curved platform ( 4th ) three module attachment devices ( 10 ) for one - from the front ( 5 ) of the device ( 1 ) outgoing and moving towards the rear ( 9 ) of the device ( 1 ) extending - frontal insertion of three irradiation modules ( 6th ) are provided, whereby on the one hand the three irradiation modules ( 6th ) a substrate supply air module ( 36 ) and on the other hand the three irradiation modules ( 6th ) a substrate exhaust air module ( 37 ) is provided in order to create a substrate to be irradiated ( 2 ) sweeping air flow ( 35 ), whereby in each irradiation module ( 6th ) not yet heated, fresh, gaseous or liquid radiation module cooling medium ( 21 ) to cool the lamp ( 17th ) of the irradiation module ( 6th ) and its reflector ( 18th ) with its cooling fins ( 7th ) can be supplied, whereby the - only in the 3 and 4th shown - from the lamp ( 17th ) heated radiation module cooling medium ( 22nd ) over one - also only in the 3 and 4th illustrated - leadership ( 24 ) from the irradiation module ( 6th ) - indirectly via the central guide ( 28 ) the platform ( 4th ) in the direction of the overhead ( 25th ) Platform ( 4th ) - and can be discharged to the outside;

3 einen schematischen Schnitt entlang der in 1 dargestellten Linie A-A, welcher eine obenliegende (25) Plattform (4) und ein - zu der Unterseite (8) der Plattform (4) korrespondierend ausgebildetes - Bestrahlungsmodul (6) zeigt, wobei in die Plattform (4) zwei Leitungen (29) für das noch nicht erwärmte, frische gasförmige oder flüssige Bestrahlungsmodul-Kühlmedium (21) von außen her einmünden, wobei in diese Leitungen (29) - innerhalb der Plattform (4) - jeweils ein Gebläse (30) oder eine Pumpe integrierbar ist, welches das Bestrahlungsmodul-Kühlmedium (21) in Richtung von zwei Bestrahlungsmodul-Kühlmedium-Austrittsöffnungen (31) der Plattform (4) beschleunigt oder komprimiert, wobei die beiden Bestrahlungsmodul-Kühlmedium-Austrittsöffnungen (31) jeweils auf der Unterseite (8) der Plattform (4) - und zum einen in dem Bereich der Rückseite (9) der Vorrichtung (1) und zum anderen in dem Bereich der Vorderseite (5) der Vorrichtung (1) - vorgesehen sind, wobei auf der Oberseite (19) des Bestrahlungsmodules (6) zwei Bestrahlungsmodul-Kühlmedium-Eintrittsöffnungen (20) für die Zufuhr von Bestrahlungsmodul-Kühlmedium (21) aus der Plattform (4) vorgesehen sind, wobei diese Bestrahlungsmodul-Kühlmedium-Eintrittsöffnungen (20) des Bestrahlungsmodules (6) funktionell zusammenwirkbar mit den Bestrahlungsmodul-Kühlmedium-Austrittsöffnungen (31) der Plattform (4) angeordnet und ausgebildet sind, wobei die Bestrahlungsmodul-Kühlmedium-Eintrittsöffnungen (20) mit den in dem Bereich der Vorderseite (5) und der Rückseite (9) der Vorrichtung (1) befindlichen Endbereichen (32) des Leuchtmittels (17) kühlmedium (21)-führend in Verbindung stehen, wobei knapp unterhalb (26) des Leuchtmittels (17) - zu dem Zwecke eines gasdichten Verschlusses der Strahlungs-Austrittsöffnung (16) des Bestrahlungsmodules (6) - eine für die von dem Leuchtmittel (17) emittierte Strahlung vollständig oder teilweise transparente Scheibe (15) und knapp oberhalb (25) des Leuchtmittels (17) ein Reflektor (18) vorgesehen ist, wobei das aus der Plattform (4) zugeführte, noch nicht erwärmte, frische, gasförmige oder flüssige Bestrahlungsmodul-Kühlmedium (21) den in Richtung der Rückseite (9) der Vorrichtung (1) und den in Richtung der Vorderseite (5) der Vorrichtung (1) gelegenen, jeweils offenen Endbereichen (32) eines Spaltes zwischen der unten liegenden (26) Glasscheibe (15) und dem oben liegenden (25) Bereich des Reflektors (18) zuführbar ist, wobei in dem - bei einer Seitenbetrachtung des Bestrahlungsmodules (6) - Mittenbereich (23) des Bestrahlungsmodules (6) eine Führung (24) oberhalb des Leuchtmittels (17) für das nach dem vollständigen oder teilweisen Entlangstreichen des Leuchtmittels (17) entlang der Unterseite und/oder der Oberseite des Leuchtmittels (17) in Richtung der Mitte (23) erwärmte Bestrahlungsmodul-Kühlmedium (22) nach oben (25) in Richtung der Plattform (4) vorgesehen ist, wobei eine zwischen den Vorderseiten (5) der Plattform (4) und der Bestrahlungsmodule (6) wirkende Verriegelungseinrichtung (38) in verriegelnder Position gezeigt ist, wobei diese Verriegelungseinrichtung (38) erst nach dem vollständigen Einschieben des Bestrahlungsmodules (6) in seine jeweilige Modul-Anbringungs-Einrichtung (10) in ihre geschlossene Verriegelungsposition bringbar ist und erst dann die Versorgung des Leuchtmittels (17) mit elektrischer Energie gewährleistet und wobei eine elektrisch leitende Kupplung (40) zwischen der Unterseite (8) der Plattform (4) und der Oberseite (19) des vollständig eingeschobenen Bestrahlungsmodules (6) dargestellt ist, welche lediglich dann die Abgabe von Strom an das Bestrahlungsmodul (6) gestattet, wenn das Bestrahlungsmodul (6) vollständig in die zugehörige Modul-Anbringungs-Einrichtung (10) eingeschobenen ist; 3 a schematic section along the in 1 shown line AA, which has an overhead ( 25th ) Platform ( 4th ) and one - to the bottom ( 8th ) the platform ( 4th ) correspondingly designed - irradiation module ( 6th ) shows, where in the platform ( 4th ) two lines ( 29 ) for the not yet heated, fresh gaseous or liquid radiation module cooling medium ( 21 ) open from the outside, whereby in these lines ( 29 ) - within the platform ( 4th ) - one fan each ( 30th ) or a pump can be integrated, which the irradiation module cooling medium ( 21 ) in the direction of two irradiation module cooling medium outlet openings ( 31 ) the platform ( 4th ) accelerated or compressed, whereby the two irradiation module cooling medium outlet openings ( 31 ) each on the bottom ( 8th ) the platform ( 4th ) - and on the one hand in the area of the back ( 9 ) of the device ( 1 ) and on the other hand in the area of the front ( 5 ) of the device ( 1 ) - are provided, with ( 19th ) of the irradiation module ( 6th ) two irradiation module cooling medium inlet openings ( 20th ) for the supply of radiation module cooling medium ( 21 ) from the platform ( 4th ) are provided, these irradiation module cooling medium inlet openings ( 20th ) of the irradiation module ( 6th ) can functionally interact with the irradiation module cooling medium outlet openings ( 31 ) the platform ( 4th ) are arranged and designed, the irradiation module cooling medium inlet openings ( 20th ) with the in the area of the front ( 5 ) and the back ( 9 ) of the device ( 1 ) located end areas ( 32 ) of the lamp ( 17th ) cooling medium ( 21 ) - leading in connection, with just below ( 26th ) of the lamp ( 17th ) - for the purpose of a gas-tight closure of the radiation outlet opening ( 16 ) of the irradiation module ( 6th ) - one for the lamp ( 17th ) emitted radiation completely or partially transparent pane ( 15th ) and just above ( 25th ) of the lamp ( 17th ) a reflector ( 18th ) is provided, whereby that from the platform ( 4th ) supplied, not yet heated, fresh, gaseous or liquid radiation module cooling medium ( 21 ) towards the rear ( 9 ) of the device ( 1 ) and the one facing the front ( 5 ) of the device ( 1 ) located, respectively open end areas ( 32 ) a gap between the ( 26th ) Pane of glass ( 15th ) and the one on top ( 25th ) Area of the reflector ( 18th ) can be supplied, in which - when looking at the radiation module from the side ( 6th ) - mid-range ( 23 ) of the irradiation module ( 6th ) a guided tour ( 24 ) above the lamp ( 17th ) for after fully or partially stroking along the lamp ( 17th ) along the bottom and / or the top of the lamp ( 17th ) towards the center ( 23 ) heated radiation module cooling medium ( 22nd ) up ( 25th ) towards the platform ( 4th ) is provided, with one between the front sides ( 5 ) the platform ( 4th ) and the irradiation modules ( 6th ) Acting locking device ( 38 ) is shown in the locking position, this locking device ( 38 ) only after the irradiation module has been fully inserted ( 6th ) into its respective module attachment device ( 10 ) can be brought into its closed locking position and only then the supply of the lamp ( 17th ) with electrical energy and with an electrically conductive coupling ( 40 ) between the bottom ( 8th ) the platform ( 4th ) and the top ( 19th ) of the completely inserted irradiation module ( 6th ) is shown, which only then allows the delivery of electricity to the irradiation module ( 6th ) permitted if the irradiation module ( 6th ) completely into the associated module attachment device ( 10 ) is inserted;

4 einen schematischen Schnitt entlang der in 1 dargestellten Linie A-A, welcher eine obenliegende (25) Plattform (4) und ein - zu der Unterseite (8) der Plattform (4) korrespondierend ausgebildetes - Bestrahlungsmodul (6) zeigt, wobei in die Plattform (4) zwei Leitungen (29) für das noch nicht erwärmte, frische gasförmige oder flüssige Bestrahlungsmodul-Kühlmedium (21) von außen her einmünden, wobei in diese Leitungen (29) - innerhalb der Plattform (4) - jeweils ein Gebläse (30) oder eine Pumpe integrierbar ist, welches das Bestrahlungsmodul-Kühlmedium (21) in Richtung von zwei Bestrahlungsmodul-Kühlmedium-Austrittsöffnungen (31) der Plattform (4) beschleunigt oder komprimiert, wobei die beiden Bestrahlungsmodul-Kühlmedium-Austrittsöffnungen (31) jeweils auf der Unterseite (8) der Plattform (4) - und zum einen in dem Bereich der Rückseite (9) der Vorrichtung (1) und zum anderen in dem Bereich der Vorderseite (5) der Vorrichtung (1) - vorgesehen sind, wobei auf der Oberseite (19) des Bestrahlungsmodules (6) zwei Bestrahlungsmodul-Kühlmedium-Eintrittsöffnungen (20) für die Zufuhr von Bestrahlungsmodul-Kühlmedium (21) aus der Plattform (4) vorgesehen sind, wobei diese Bestrahlungsmodul-Kühlmedium-Eintrittsöffnungen (20) des Bestrahlungsmodules (6) funktionell zusammenwirkbar mit den Bestrahlungsmodul-Kühlmedium-Austrittsöffnungen (31) der Plattform (4) angeordnet und ausgebildet sind, wobei die Bestrahlungsmodul-Kühlmedium-Eintrittsöffnungen (20) mit den in dem Bereich der Vorderseite (5) und der Rückseite (9) der Vorrichtung (1) befindlichen Endbereichen (32) des Leuchtmittels (17) kühlmedium (21)-führend in Verbindung stehen, wobei knapp unterhalb (26) des Leuchtmittels (17) - zu dem Zwecke eines gasdichten Verschlusses der Strahlungs-Austrittsöffnung (16) des Bestrahlungsmodules (6) - eine für die von dem Leuchtmittel (17) emittierte Strahlung vollständig oder teilweise transparente Scheibe (15) und knapp oberhalb (25) des Leuchtmittels (17) ein Reflektor (18) vorgesehen ist, wobei das aus der Plattform (4) zugeführte, noch nicht erwärmte, frische, gasförmige oder flüssige Bestrahlungsmodul-Kühlmedium (21) zunächst den in Richtung der Rückseite (9) der Vorrichtung (1) und den in Richtung der Vorderseite (5) der Vorrichtung (1) gelegenen beiden Randbereichen der Glasscheibe (15) zuführbar ist, dann die Unterseite des Leuchtmittels (17) in Richtung der Mitte (23) des Bestrahlungsmodules (6) überstreicht, in dem Mittenbereich (23) das Leuchtmittel (17) in vertikal nach oben gerichteter Weise umströmt, dann - ausgehend von dem Mittenbereich (23) nach außen in Richtung der beiden Endbereiche (32) des Leuchtmittels (17) - die Oberseite des Leuchtmittels (17) und die Unterseite des Reflektors (18) überstreicht, dann die beiden Endbereiche (32) des Leuchtmittels (17) mit den elektrischen Kontakten des Leuchtmittels (17) überstreicht, dann in Richtung der Mitte (23) des Bestrahlungsmodules (6) - unter Kontakt mit auf der Rückseite des Reflektors (18) vorgesehenen Kühlrippen (7) oder statt diesen vorgesehenen Wärmetauschern - führbar ist und dann über eine mittige Führung (24) für die Abführung des erwärmten Bestrahlungsmodul-Kühlmediums (22) aus dem Bestrahlungsmodul (6) in Richtung der mittigen Führung (28) der Plattform (4) - für die Abführung des erwärmten Bestrahlungsmodul-Kühlmediums (22) nach außen - führbar ist, wobei eine zwischen den Vorderseiten (5) der Plattform (4) und der Bestrahlungsmodule (6) wirkende Verriegelungseinrichtung (38) in verriegelnder Position gezeigt ist, wobei diese Verriegelungseinrichtung (38) erst nach dem vollständigen Einschieben des Bestrahlungsmodules (6) in seine jeweilige Modul-Anbringungs-Einrichtung (10) in ihre geschlossene Verriegelungsposition bringbar ist und erst dann die Versorgung des Leuchtmittels (17) mit elektrischer Energie gewährleistet und wobei eine elektrisch leitende Kupplung (40) zwischen der Unterseite (8) der Plattform (4) und der Oberseite (19) des vollständig eingeschobenen Bestrahlungsmodules (6) dargestellt ist, welche lediglich dann die Abgabe von Strom an das Bestrahlungsmodul (6) gestattet, wenn das Bestrahlungsmodul (6) vollständig in die zugehörige Modul-Anbringungs-Einrichtung (10) eingeschobenen ist; 4th a schematic section along the in 1 shown line AA, which has an overhead ( 25th ) Platform ( 4th ) and one - to the bottom ( 8th ) the platform ( 4th ) correspondingly designed - irradiation module ( 6th ) shows, where in the platform ( 4th ) two lines ( 29 ) for the not yet heated, fresh gaseous or liquid radiation module cooling medium ( 21 ) open from the outside, whereby in these lines ( 29 ) - within the platform ( 4th ) - one fan each ( 30th ) or a pump can be integrated, which the irradiation module cooling medium ( 21 ) in the direction of two irradiation module cooling medium outlet openings ( 31 ) the platform ( 4th ) accelerated or compressed, whereby the two irradiation module cooling medium outlet openings ( 31 ) each on the bottom ( 8th ) the platform ( 4th ) - and on the one hand in the area of the back ( 9 ) of the device ( 1 ) and on the other hand in the area of the front ( 5 ) of the device ( 1 ) - are provided, with ( 19th ) of the irradiation module ( 6th ) two irradiation module cooling medium inlet openings ( 20th ) for the supply of radiation module cooling medium ( 21 ) from the platform ( 4th ) are provided, these irradiation module cooling medium inlet openings ( 20th ) of the irradiation module ( 6th ) can functionally interact with the irradiation module cooling medium outlet openings ( 31 ) the platform ( 4th ) are arranged and designed, the irradiation module cooling medium inlet openings ( 20th ) with the in the area of the front ( 5 ) and the back ( 9 ) of the device ( 1 ) located end areas ( 32 ) of the lamp ( 17th ) cooling medium ( 21 ) - leading in connection, with just below ( 26th ) of the lamp ( 17th ) - for the purpose of a gas-tight closure of the radiation outlet opening ( 16 ) of the irradiation module ( 6th ) - one for the lamp ( 17th ) emitted radiation completely or partially transparent pane ( 15th ) and just above ( 25th ) of the lamp ( 17th ) a reflector ( 18th ) is provided, whereby that from the platform ( 4th ) supplied, not yet heated, fresh, gaseous or liquid radiation module cooling medium ( 21 ) first the towards the rear ( 9 ) of the device ( 1 ) and the one facing the front ( 5 ) of the device ( 1 ) located both edge areas of the glass pane ( 15th ) can be fed, then the underside of the lamp ( 17th ) towards the center ( 23 ) of the irradiation module ( 6th ), in the middle area ( 23 ) the lamp ( 17th ) flows around in a vertically upward manner, then - starting from the central area ( 23 ) outwards in the direction of the two end areas ( 32 ) of the lamp ( 17th ) - the top of the lamp ( 17th ) and the bottom of the reflector ( 18th ), then the two end areas ( 32 ) of the lamp ( 17th ) with the electrical contacts of the lamp ( 17th ), then towards the center ( 23 ) of the irradiation module ( 6th ) - under contact with on the back of the Reflector ( 18th ) provided cooling fins ( 7th ) or instead of these provided heat exchangers - can be guided and then via a central guide ( 24 ) for the removal of the heated radiation module cooling medium ( 22nd ) from the irradiation module ( 6th ) in the direction of the central guide ( 28 ) the platform ( 4th ) - for the removal of the heated radiation module cooling medium ( 22nd ) to the outside - can be guided, with one between the front sides ( 5 ) the platform ( 4th ) and the irradiation modules ( 6th ) Acting locking device ( 38 ) is shown in the locking position, this locking device ( 38 ) only after the irradiation module has been fully inserted ( 6th ) into its respective module attachment device ( 10 ) can be brought into its closed locking position and only then the supply of the lamp ( 17th ) with electrical energy and with an electrically conductive coupling ( 40 ) between the bottom ( 8th ) the platform ( 4th ) and the top ( 19th ) of the completely inserted irradiation module ( 6th ) is shown, which only then allows the delivery of electricity to the irradiation module ( 6th ) permitted if the irradiation module ( 6th ) completely into the associated module attachment device ( 10 ) is inserted;

5 zeigt eine schematische, teilweise entlang der Linie B - B in 1 horizontal geschnittene Draufsicht auf die in den 1, 3 und 4 dargestellte Vorrichtung (1) mit drei nebeneinander angeordneten Bestrahlungsmodulen (6), wobei einerseits von den drei Bestrahlungsmodulen (6) ein Substrat-Zuluft-Modul (36) und andererseits von den drei Bestrahlungsmodulen (6) ein Substrat-Abluft-Modul (37) vorgesehen ist, wobei in jedes Bestrahlungsmodul (6) noch nicht erwärmtes, frisches, gasförmiges oder flüssiges Bestrahlungsmodul-Kühlmedium (21) - nach der Passage jeweils eines Gebläses (30) oder einer Pumpe - einbringbar ist, wobei in den Mittenbereichen (23) jedes Bestrahlungsmodules (6) eine von dem untenliegenden (26) Leuchtmittel (17) oder Reflektor (18) ausgehende und sich nach oben (25) erstreckende Führung (24) zur Abführung des erwärmten Bestrahlungsmodul-Kühlmediums (22) vorgesehen ist, wobei die obenliegenden (25) Enden der Führung (24) für die Abführung des erwärmten Bestrahlungsmodul-Kühlmediums (22) jedes Bestrahlungsmodules (6) in eine - in dem Mittenbereich (23) der Plattform (4) vorgesehene - Leitung (28) der Plattform (4) für die Abführung von erwärmten Bestrahlungsmodul-Kühlmedium (22) münden, welche das erwärmte Bestrahlungsmodul-Kühlmedium (22) in einen außerhalb der Plattform (4) liegenden Bereich abführt. 5 FIG. 13 shows a schematic, partly along the line B - B in FIG 1 horizontally sectioned top view of the in the 1 , 3 and 4th device shown ( 1 ) with three radiation modules arranged next to each other ( 6th ), whereby on the one hand of the three irradiation modules ( 6th ) a substrate supply air module ( 36 ) and on the other hand from the three irradiation modules ( 6th ) a substrate exhaust air module ( 37 ) is provided, whereby in each irradiation module ( 6th ) not yet heated, fresh, gaseous or liquid radiation module cooling medium ( 21 ) - after each passage of a fan ( 30th ) or a pump - can be introduced, whereby in the middle areas ( 23 ) of each irradiation module ( 6th ) one of the below ( 26th ) Bulbs ( 17th ) or reflector ( 18th ) outgoing and moving up ( 25th ) extended tour ( 24 ) to discharge the heated radiation module cooling medium ( 22nd ) is provided, whereby the top ( 25th ) Ends of the guide ( 24 ) for the removal of the heated radiation module cooling medium ( 22nd ) of each irradiation module ( 6th ) into one - in the middle area ( 23 ) the platform ( 4th ) intended - line ( 28 ) the platform ( 4th ) for the removal of heated radiation module cooling medium ( 22nd ) open, which the heated radiation module cooling medium ( 22nd ) into one outside the platform ( 4th ) discharges the lying area.

Gegenstand der vorliegenden Erfindung ist also eine Vorrichtung (1) zur Bestrahlung eines Substrates (2).The subject of the present invention is therefore a device ( 1 ) for irradiating a substrate ( 2 ).

In der Regel umfasst diese Vorrichtung (1) eine - in Bezug auf die Längsachse (3) der Plattform (4) gerade oder gekrümmte - Plattform (4).Typically this device includes ( 1 ) one - in relation to the longitudinal axis ( 3 ) the platform ( 4th ) straight or curved - platform ( 4th ).

In besonders bevorzugten Ausführungsformen können ein, zwei, drei, vier, fünf, sechs, sieben, acht, neun, zehn oder mehrere Bestrahlungs-Module (6) und/oder Substrat-Zuluft-Module (36) und/oder Substrat-Abluft-Module (37) mittelbar oder unmittelbar an der Unterseite (8) der Plattform (4) reversibel anbringbar sein.In particularly preferred embodiments, one, two, three, four, five, six, seven, eight, nine, ten or more irradiation modules ( 6th ) and / or substrate supply air modules ( 36 ) and / or substrate exhaust air modules ( 37 ) directly or indirectly on the underside ( 8th ) the platform ( 4th ) be reversibly attachable.

Die Anbringung dieser Module (6, 36, 37) kann beispielsweise durch Einschieben oder Einstecken oder Einhängen dieser Module (6, 36, 37) in eine oder mehrere an der Unterseite (8) der Plattform (4) vorgesehene feststehende oder teleskopierbare Modul-Anbringungs-Einrichtungen (10) erfolgen (siehe insbesondere 1 und 2).The attachment of these modules ( 6th , 36 , 37 ) can, for example, by pushing in or plugging in or hanging in these modules ( 6th , 36 , 37 ) into one or more at the bottom ( 8th ) the platform ( 4th ) provided fixed or telescopic module attachment devices ( 10 ) (see in particular 1 and 2 ).

Dieses Einschieben, Einstecken oder Einhängen der Module (6, 36, 37) in die jeweilige Modul-Anbringungs-Einrichtung (10) kann vorzugsweise jeweils von der Vorderseite (5) der Vorrichtung (1) ausgehend und in Richtung der Rückseite (9) der Vorrichtung (1) verlaufend, stattfinden.This pushing in, plugging in or hanging of the modules ( 6th , 36 , 37 ) into the respective module attachment device ( 10 ) can preferably be viewed from the front ( 5 ) of the device ( 1 ) starting and towards the rear ( 9 ) of the device ( 1 ) taking place.

Wie bereits aus den 1 und 2 hervorgeht, können die eine oder die mehreren Modul-Anbringungs-Einrichtungen (10) jeweils eine rechtwinklig zu der Unterseite (8) der Plattform (4) ausgerichtete Wand (12) umfassen.As already from the 1 and 2 is apparent, the one or more module attachment devices ( 10 ) one at right angles to the bottom ( 8th ) the platform ( 4th ) aligned wall ( 12th ) include.

Im Allgemeinen können diese Wände (12) - jeweils in ihrem nach unten weisenden Bereich - einen sich beidseitig erstreckenden, wulstartigen Vorsprung (13) und/oder eine linienförmige Aussparung für das Tragen von hin- und herschiebbaren und darin einschiebbaren Modulen (6, 36, 37) tragen.In general, these walls can ( 12th ) - each in their downward-facing area - a bead-like projection extending on both sides ( 13th ) and / or a linear recess for carrying modules that can be pushed back and forth and inserted into them ( 6th , 36 , 37 ) wear.

In der Regel kann dann jedes Modul (6, 36, 37) jeweils eine oder mehrere - korrespondierend zu dem vorsprungartigen oder aussparungsförmigen Trägerelement der Wand (12) ausgebildete - leisten- und/oder linienförmige Aussparungen (11) oder Vorsprünge aufweisen.As a rule, each module ( 6th , 36 , 37 ) one or more - corresponding to the projection-like or recess-shaped support element of the wall ( 12th ) formed - strip and / or linear recesses ( 11 ) or protrusions.

Im Allgemeinen können ein oder mehrere Leitungen (29) für die Zuführung von noch nicht erwärmtem, frischem, gasförmigem oder flüssigem Bestrahlungsmodul-Kühlmedium (21) innerhalb und/oder außerhalb der Plattform (4) vorgesehen sein.In general, one or more lines ( 29 ) for the supply of unheated, fresh, gaseous or liquid radiation module cooling medium ( 21 ) inside and / or outside the platform ( 4th ) be provided.

Das gasförmige oder flüssige Bestrahlungsmodul-Kühlmedium (21) kann beispielsweise Luft, Stickstoff, Flüssigstickstoff, ein oder mehrere Edelgase - oder eine Mischung hiervon - oder eine Flüssigkeit, beispielsweise Wasser, strömendes Wasser oder mit Kondensaten - beispielsweise Acetaldehyd - versetztes Wasser, sein.The gaseous or liquid radiation module cooling medium ( 21 ) can for example be air, nitrogen, liquid nitrogen, one or more noble gases - or a mixture thereof - or a liquid, for example water, flowing water or water mixed with condensates - for example acetaldehyde.

Innerhalb und/oder stromaufseitig und außerhalb der Plattform (4) können - vorzugsweise integriert in diese Leitungen (29) - ein oder mehrere separate Gebläse (30) für das noch nicht erwärmte, frische Bestrahlungsmodul-Kühlmedium (21) vorgesehen sein.Inside and / or upstream and outside the platform ( 4th ) can - preferably integrated in these lines ( 29 ) - one or more separate fans ( 30th ) for the not yet heated, fresh radiation module cooling medium ( 21 ) be provided.

Beispielsweise aus den 3 und 4 ist ersichtlich, dass in jede Plattform (4) von außen her eine oder mehrere externe Leitungen (29) für die Führung des noch nicht erwärmten, frischen Bestrahlungsmodul-Kühlmediums (21) einmünden können.For example from the 3 and 4th it can be seen that in each platform ( 4th ) one or more external lines ( 29 ) for the guidance of the not yet heated, fresh radiation module cooling medium ( 21 ) can flow into.

Wie bereits ausgeführt, können in die eine oder die mehreren Leitungen (29) für die Führung des noch nicht erwärmten, frischen Bestrahlungsmodul-Kühlmediums (21) - dann innerhalb oder außerhalb der Plattform (4) - jeweils ein oder mehrere Gebläse (30) integrierbar sein.As already stated, one or more lines ( 29 ) for the guidance of the not yet heated, fresh radiation module cooling medium ( 21 ) - then inside or outside the platform ( 4th ) - one or more fans each ( 30th ) can be integrated.

In der Regel können diese Gebläse (30) oder Pumpen das noch nicht erwärmte, frische Bestrahlungsmodul-Kühlmedium (21) in Richtung von einer oder mehreren - auf der Unterseite (8) der Plattform (4) und zumindest in dem Bereich der Rückseite (9) der Vorrichtung (1) und/oder in dem Bereich der Vorderseite (5) der Vorrichtung (1), vorgesehenen - Austrittsöffnungen (31) für noch nicht erwärmtes und frisches Bestrahlungsmodul-Kühlmedium (21) beschleunigen und/oder komprimieren.As a rule, these fans ( 30th ) or pumping the not yet heated, fresh radiation module cooling medium ( 21 ) in the direction of one or more - on the bottom ( 8th ) the platform ( 4th ) and at least in the area of the back ( 9 ) of the device ( 1 ) and / or in the area of the front ( 5 ) of the device ( 1 ), provided - outlet openings ( 31 ) for not yet heated and fresh irradiation module cooling medium ( 21 ) accelerate and / or compress.

Insbesondere aus den 3 und 4 geht hervor, dass auf der Oberseite (19) jedes Bestrahlungsmodules (6) eine oder mehrere Bestrahlungsmodul-Kühlmedium-Eintritts-Öffnungen (20) für die Zufuhr des noch nicht erwärmten, frischen Bestrahlungsmodul-Kühlmediums (21) aus der Plattform (4) vorgesehen sein können.In particular from the 3 and 4th shows that on the top ( 19th ) of each irradiation module ( 6th ) one or more irradiation module cooling medium inlet openings ( 20th ) for the supply of the not yet heated, fresh irradiation module cooling medium ( 21 ) from the platform ( 4th ) can be provided.

Wie insbesondere in diesen 3 und 4 dargestellt, können diese Bestrahlungsmodul-Kühlmedium-Eintritts-Öffnungen (20) jedes Bestrahlungsmodules (6) funktionell zusammenwirkbar mit den Austrittsöffnungen (31) der Plattform (4) für noch nicht erwärmtes und frisches Bestrahlungsmodul-Kühlmittel (21) angeordnet und ausgebildet sein.As especially in this one 3 and 4th shown, these irradiation module cooling medium inlet openings ( 20th ) of each irradiation module ( 6th ) functionally interacts with the outlet openings ( 31 ) the platform ( 4th ) for fresh and unheated radiation module coolant ( 21 ) be arranged and designed.

Vorzugsweise können die Bestrahlungsmodul-Kühlmedium-Eintritts-Öffnungen (20) mit den in dem Bereich der Vorderseite (5) und/oder der Rückseite (9) der Vorrichtung (1) befindlichen Endbereichen (32) des Leuchtmittels (17) noch nicht erwärmtes und frisches Kühlmedium (21)-führend in Verbindung stehen, wobei in diesen Endbereichen (32) in der Regel die elektrischen Kontakte zwischen dem Leuchtmittel (17) und dessen bestrahlungsmodul-seitiger Fassung vorgesehen sein können.The irradiation module cooling medium inlet openings ( 20th ) with the in the area of the front ( 5 ) and / or the back ( 9 ) of the device ( 1 ) located end areas ( 32 ) of the lamp ( 17th ) not yet heated and fresh cooling medium ( 21 ) - leading in connection, whereby in these end areas ( 32 ) usually the electrical contacts between the lamp ( 17th ) and its irradiation module-side version can be provided.

In bevorzugten Ausführungsformen kann knapp unterhalb (26) des Leuchtmittels (17) - zu dem Zwecke eines gasdichten Verschlusses der Strahlungs-Austrittsöffnung (16) des Bestrahlungsmodules (6) sowie zu dem Zwecke einer Führung des Bestrahlungsmodul-Kühlmediums (21) in einem geschlossenen Kreislauf innerhalb des Bestrahlungsmodules (6) - eine für die von dem Leuchtmittel (17) emittierte Strahlung vollständig oder teilweise transparente Scheibe (15) vorgesehen sein.In preferred embodiments, just below ( 26th ) of the lamp ( 17th ) - for the purpose of a gas-tight closure of the radiation outlet opening ( 16 ) of the irradiation module ( 6th ) as well as for the purpose of guiding the irradiation module cooling medium ( 21 ) in a closed circuit within the irradiation module ( 6th ) - one for the lamp ( 17th ) emitted radiation completely or partially transparent pane ( 15th ) be provided.

Die 1 bis 4 zeigen, dass knapp oberhalb des Leuchtmittels (17) ein Reflektor (18) - mit oder ohne Kühlrippen (7) oder Wärmetauscher - vorgesehen sein kann.the 1 until 4th show that just above the lamp ( 17th ) a reflector ( 18th ) - with or without cooling fins ( 7th ) or heat exchanger - can be provided.

Insbesondere die 3 und 4 zeigen, dass das noch nicht erwärmte, frische Bestrahlungsmodul-Kühlmedium (21) in der Regel zunächst dem in Richtung der Rückseite (9) der Vorrichtung (1) und/oder dem in Richtung der Vorderseite (5) der Vorrichtung (1) gelegenen, jeweils offenen Endbereich (32) des Spaltes zwischen der unteren (26) Glasscheibe (15) und dem Reflektor (18) zuführbar sein kann. especially the 3 and 4th show that the not yet warmed up, fresh irradiation module cooling medium ( 21 ) usually first towards the rear ( 9 ) of the device ( 1 ) and / or the one towards the front ( 5 ) of the device ( 1 ), each open end area ( 32 ) of the gap between the lower ( 26th ) Pane of glass ( 15th ) and the reflector ( 18th ) can be supplied.

Insbesondere gemäß den 3, 4 und 5 ist zu entnehmen, dass in dem - bei einer Seitenbetrachtung des Bestrahlungsmodules (6) oberhalb des Reflektors (18) und/oder der Kühlrippen (7) und/oder des Wärmetauschers befindlichen Mittenbereich (23) des Bestrahlungsmodules (6) eine Führung (24) für die vertikal nach oben in Richtung der Plattform (4) gerichtete Abführung des nach dem vollständigen oder teilweisen sowie einmaligen oder mehrmaligen Überstreichens des Leuchtmittels (17) erwärmten Bestrahlungsmodul-Kühlmediums (22), vorgesehen sein kann.In particular, according to the 3 , 4th and 5 it can be seen that in the - when looking at the radiation module from the side ( 6th ) above the reflector ( 18th ) and / or the cooling fins ( 7th ) and / or the central area of the heat exchanger ( 23 ) of the irradiation module ( 6th ) a guided tour ( 24 ) for the vertically upwards towards the platform ( 4th ) Directional discharge of the after the complete or partial as well as one or more strokes of the light source ( 17th ) heated radiation module cooling medium ( 22nd ), can be provided.

4 zeigt, dass in einer besonders bevorzugten Ausführungsform der erfindungsgemäßen Vorrichtung (1) das noch nicht erwärmte, frische Bestrahlungsmodul-Kühlmedium (21) zunächst den in Richtung der Rückseite (9) der Vorrichtung (1) und den in Richtung der Vorderseite (5) der Vorrichtung (1) gelegenen beiden Randbereichen der Glasscheibe (15) zuführbar sein kann. 4th shows that in a particularly preferred embodiment of the device according to the invention ( 1 ) the not yet heated, fresh irradiation module cooling medium ( 21 ) first the towards the rear ( 9 ) of the device ( 1 ) and the one facing the front ( 5 ) of the device ( 1 ) located both edge areas of the glass pane ( 15th ) can be supplied.

Stromabseitig kann dann das frische Bestrahlungsmodul-Kühlmedium (21) die Unterseite des Leuchtmittels (17) in Richtung der Mitte (23) des Bestrahlungsmodules (6) überstreichen.The fresh irradiation module cooling medium ( 21 ) the underside of the lamp ( 17th ) towards the center ( 23 ) of the irradiation module ( 6th ) paint over.

Vorzugsweise kann stromabseitig von der Mitte (23) das frische Bestrahlungsmodul-Kühlmedium (21) in dem Mittenbereich (23) das Leuchtmittel (17) in vertikal nach oben gerichteter Weise umströmen.Preferably downstream from the center ( 23 ) the fresh irradiation module cooling medium ( 21 ) in the middle area ( 23 ) the lamp ( 17th ) flow around in a vertically upward direction.

Anschließend kann das frische Bestrahlungsmodul-Kühlmedium (21) - ausgehend von dem Mittenbereich (23) - nach außen in Richtung der beiden Endbereiche (32) des Leuchtmittels (17), die Oberseite des Leuchtmittels (17) und die Unterseite des Reflektors (18) überstreichen.Then the fresh irradiation module cooling medium ( 21 ) - starting from the middle area ( 23 ) - outwards towards the two end areas ( 32 ) of the lamp ( 17th ), the Top of the lamp ( 17th ) and the bottom of the reflector ( 18th ) paint over.

Im stromabseitigen Anschluss kann das Bestrahlungsmodul-Kühlmedium (21) die beiden Endbereiche (32) des Leuchtmittels (17) mit den elektrischen Kontakten des Leuchtmittels (17) überstreichen.The radiation module cooling medium ( 21 ) the two end areas ( 32 ) of the lamp ( 17th ) with the electrical contacts of the lamp ( 17th ) paint over.

Vorzugsweise kann das Bestrahlungsmodul-Kühlmedium (21) stromabseitig dann in Richtung der Mitte (23) des Bestrahlungsmodules (6) - unter Kontakt mit auf der Rückseite des Reflektors (18) vorgesehenen Kühlrippen (7) oder statt diesen vorgesehenen Wärmetauschern - führbar sein.The irradiation module cooling medium ( 21 ) downstream then towards the middle ( 23 ) of the irradiation module ( 6th ) - in contact with on the back of the reflector ( 18th ) provided cooling fins ( 7th ) or instead of these provided heat exchangers - be feasible.

Wie aus 4 deutlich erkennbar, kann dann das erwärmte Bestrahlungsmodul-Kühlmedium (22) über eine mittige Führung (24) aus dem Bestrahlungsmodul (6) in Richtung der mittigen Führung (28) der Plattform (4) - für die Abführung des erwärmten Bestrahlungsmodul-Kühlmediums (22) nach außen - führbar sein.How out 4th clearly recognizable, the heated radiation module cooling medium ( 22nd ) via a central guide ( 24 ) from the irradiation module ( 6th ) in the direction of the central guide ( 28 ) the platform ( 4th ) - for the removal of the heated radiation module cooling medium ( 22nd ) to the outside - be feasible.

In einer - grafisch hier nicht dargestellten - weiteren bevorzugten Ausführungsform können in die Plattform (4) eine oder mehrere Leitungen (29) für die Führung des noch nicht erwärmten, frischen Bestrahlungsmodul-Kühlmediums (21) einmünden oder in die Plattform (4) integriert sein.
In diesen Leitungen (29) können dort - außerhalb und/oder innerhalb der Plattform (4) - jeweils ein oder mehrere Gebläse (30) und/oder Pumpen vorgesehen sein.
Im Allgemeinen verlaufen diese Leitungen (29) in der Plattform (4) - bei einer Seitenbetrachtung - in Richtung der Mitte (23) der Plattform (4).
In dieser - hier grafisch nicht dargestellten - bevorzugten Ausführungsform der erfindungsgemäßen Vorrichtung (1) können diese Leitungen (29) - mittelbar über eine mittige Führung (28) oder unmittelbar - in eine in dem Mittenbereich (23) der Plattform (4) befindliche Austrittsöffnung auf der Unterseite (8) der Plattform (4) münden.
In der Regel können dort auf der Oberseite (19) und in dem Mittenbereich (23) des Bestrahlungsmodules (6) eine oder mehrere - zu der Austrittsöffnung auf der Unterseite (8) der Plattform (4) korrespondierende und mit dieser zusammenwirkende - Eintrittsöffnungen für aus der Plattform (4) austretendes, noch nicht erwärmtes, frisches Bestrahlungsmodul-Kühlmedium (21) vorgesehen sein.
Bei dieser Ausführungsform kann stromabwärts von der mittigen Eintrittsöffnung des Bestrahlungsmoduls (6) eine vertikale, nach unten (26) weisende Führung (24) - für die Führung des noch nicht erwärmten, frischen Bestrahlungsmodul-Kühlmediums (21) aus der Austrittsöffnung auf der Unterseite (8) der Plattform (4) - vorgesehen sein.In a further preferred embodiment - not shown graphically here - the platform ( 4th ) one or more lines ( 29 ) for the guidance of the not yet heated, fresh radiation module cooling medium ( 21 ) or into the platform ( 4th ) be integrated.
In these lines ( 29 ) can there - outside and / or inside the platform ( 4th ) - one or more fans each ( 30th ) and / or pumps can be provided.
Generally these lines run ( 29 ) in the platform ( 4th ) - when viewed from the side - towards the center ( 23 ) the platform ( 4th ).
In this - preferred embodiment of the device according to the invention - not shown graphically here ( 1 ) these lines ( 29 ) - indirectly via a central guide ( 28 ) or immediately - in one in the middle area ( 23 ) the platform ( 4th ) located outlet opening on the underside ( 8th ) the platform ( 4th ) flow.
As a rule, there on the top ( 19th ) and in the middle area ( 23 ) of the irradiation module ( 6th ) one or more - to the outlet opening on the bottom ( 8th ) the platform ( 4th ) Corresponding and interacting with this - inlet openings for from the platform ( 4th ) escaping, not yet heated, fresh irradiation module cooling medium ( 21 ) be provided.
In this embodiment, downstream of the central inlet opening of the irradiation module ( 6th ) a vertical, downward ( 26th ) pointing leadership ( 24 ) - for the guidance of the not yet warmed up, fresh irradiation module cooling medium ( 21 ) from the outlet on the underside ( 8th ) the platform ( 4th ) - be provided.

Vorzugsweise kann bei dieser Ausführungsform in dem unteren Endbereich dieser Führung eine Vorrichtung zur Aufspaltung des vertikal nach unten strömenden Bestrahlungsmodul-Kühlmedium-Stromes in einen in Richtung der Rückseite (9) und in einen in Richtung der Vorderseite (5) der Vorrichtung (1) gerichteten Bestrahlungsmodul-Kühlmedium-Teilstrom vorgesehen sein.
Im Falle dieser Ausführungsform kann jeder dieser Bestrahlungsmodul-Kühlmedium-Teilströme - während seiner Strömung in Richtung des jeweiligen rückseitigen (9) oder vorderseitigen (5) offenen Endbereiches (32) - die mit der Rückseite des Reflektors (18) mittelbar oder unmittelbar in Verbindung stehenden Kühlrippen (7) oder Wärmetauscher durchströmen.
Vorzugsweise kann dann stromabseitig das Bestrahlungsmodul-Kühlmedium (21) den jeweiligen frontseitigen (5) oder rückseitigen (9) Endbereich (32) - mit den elektrischen Kontakten für die Stromversorgung des Leuchtmittels (17) - durchströmen. Das Bestrahlungsmodul-Kühlmedium (21) kann dann stromabseitig den oberhalb des Leuchtmittels (17) befindlichen Strahler-Bereich zwischen der Unterseite des Reflektors (18) und der Oberseite des Leuchtmittels (17) - ausgehend von dem vorderseitigen (5) oder rückseitigen (9) Endbereich (32) - in Richtung der Mitte (23) des Bestrahlungsmodules (6) durchströmen.
In diesem Mittenbereich (23) kann bei dieser Ausführungsform das Bestrahlungsmodul-Kühlmedium (21) dann das Leuchtmittel (17) - in vertikal nach unten weisender Richtung und in Richtung der die Strahlungs-Austrittsöffnung (16) verschließenden Glasscheibe (15) - umströmen.
Vorzugsweise kann dann das Bestrahlungsmodul-Kühlmedium (21) den unterhalb des Leuchtmittels (17) befindlichen Strahler-Bereich zwischen der Glasscheibe (15) und der Unterseite des Leuchtmittels (17) durchströmen.
Im Allgemeinen können bei dieser Ausführungsform stromabseitig eine oder mehrere vorderseitige (5) und/oder rückseitige (9) Führungen zur vertikalen, nach oben gerichteten Führung des erwärmten Bestrahlungsmodul-Kühlmedium-Teilstromes (22) in Richtung einer oder mehrerer, auf der Oberseite (19) des Bestrahlungsmodules (6) befindlicher, Austrittsöffnungen vorgesehen sein.In this embodiment, a device for splitting the radiation module cooling medium flow flowing vertically downwards into a flow in the direction of the rear side ( 9 ) and one towards the front ( 5 ) of the device ( 1 ) directed radiation module cooling medium partial flow can be provided.
In the case of this embodiment, each of these irradiation module cooling medium partial flows - during its flow in the direction of the respective rear ( 9 ) or front ( 5 ) open end area ( 32 ) - the one with the back of the reflector ( 18th ) directly or indirectly connected cooling fins ( 7th ) or flow through the heat exchanger.
The radiation module cooling medium ( 21 ) the respective front ( 5 ) or back ( 9 ) End area ( 32 ) - with the electrical contacts for the power supply of the lamp ( 17th ) - flow through. The radiation module cooling medium ( 21 ) can then be used on the downstream side above the lamp ( 17th ) located radiator area between the underside of the reflector ( 18th ) and the top of the lamp ( 17th ) - starting from the front ( 5 ) or back ( 9 ) End area ( 32 ) - towards the center ( 23 ) of the irradiation module ( 6th ) flow through.
In this middle area ( 23 ) in this embodiment the irradiation module cooling medium ( 21 ) then the lamp ( 17th ) - in a vertically downward direction and in the direction of the radiation outlet opening ( 16 ) closing glass pane ( 15th ) - flow around.
The irradiation module cooling medium ( 21 ) the one below the lamp ( 17th ) the radiator area between the glass pane ( 15th ) and the underside of the lamp ( 17th ) flow through.
In general, in this embodiment, one or more front ( 5 ) and / or rear ( 9 ) Guides for the vertical, upward guidance of the heated radiation module cooling medium partial flow ( 22nd ) in the direction of one or more, on the top ( 19th ) of the irradiation module ( 6th ) located, outlet openings may be provided.

Bei dieser Ausführungsform können auf der Unterseite (8) der Plattform (4) eine oder mehrere - jeweils in dem Bereich der Vorderseite (5) und/oder der Rückseite (9) der Vorrichtung (1) befindliche - Eintrittsöffnungen für das - aus den auf der Oberseite (19) des Bestrahlungsmodules (6) befindlichen Austrittsöffnungen ausströmende - erwärmte Bestrahlungsmodul-Kühlmedium (22) vorgesehen sein.In this embodiment, on the underside ( 8th ) the platform ( 4th ) one or more - each in the area of the front ( 5 ) and / or the back ( 9 ) of the device ( 1 ) located - inlet openings for the - from the top ( 19th ) of the irradiation module ( 6th ) located outflow openings - heated Irradiation module cooling medium ( 22nd ) be provided.

In diesen besonders bevorzugten derartigen Ausführungsformen können diese Eintrittsöffnungen der Plattform (4) - für erwärmtes Bestrahlungsmodul-Kühlmedium (22) - mit Leitungen für die Führung von erwärmtem Bestrahlungsmodul-Kühlmedium (22) durch die Plattform (4) in einen außerhalb der Plattform (4) liegenden Bereich, in Verbindung stehen.In these particularly preferred such embodiments, these inlet openings of the platform ( 4th ) - for heated radiation module cooling medium ( 22nd ) - with lines for guiding the heated radiation module cooling medium ( 22nd ) through the platform ( 4th ) into one outside the platform ( 4th ) lying area.

Bei den bevorzugten Ausführungsformen der erfindungsgemäßen Vorrichtung (1) gemäß 1 bis 5 kann also - bei einer Seitenbetrachtung der Plattform (4) - in dem Mittenbereich (23) der Plattform (4) eine - in Bezug auf die Plattform (4) nach außen verlaufende - Führung (28) für die Abführung des erwärmten Bestrahlungsmodul-Kühlmediums (22) vorgesehen sein, welches aus der vertikal nach oben gerichteten, mittigen (23) Führung (24) des Bestrahlungsmodules (6) für die Abführung von erwärmten Bestrahlungsmodul-Kühlmedium (22) stammt.In the preferred embodiments of the device according to the invention ( 1 ) according to 1 until 5 can therefore - when looking at the platform from the side ( 4th ) - in the middle area ( 23 ) the platform ( 4th ) one - in terms of platform ( 4th ) outward - guidance ( 28 ) for the removal of the heated radiation module cooling medium ( 22nd ) be provided, which consists of the vertically upwardly directed, central (23) guide ( 24 ) of the irradiation module ( 6th ) for the removal of heated radiation module cooling medium ( 22nd ) originates.

Im Falle dieser bevorzugten Ausführungsform kann die auf der Unterseite (8) der Plattform (4) liegende Eintrittsöffnung (33) der Plattform (4) für das erwärmte Bestrahlungsmodul-Kühlmedium (22) funktionell zusammenwirkend mit der auf der Oberseite (19) des Bestrahlungsmodules (6) befindlichen Öffnung (34) - der Führung (24) für die Abführung des erwärmten Bestrahlungsmodul-Kühlmediums (22) aus dem Bestrahlungsmodul (6) - angeordnet und ausgebildet sein.In the case of this preferred embodiment, the on the bottom ( 8th ) the platform ( 4th ) horizontal inlet opening ( 33 ) the platform ( 4th ) for the heated radiation module cooling medium ( 22nd ) functionally interacting with the one on the top ( 19th ) of the irradiation module ( 6th ) located opening ( 34 ) - the leadership ( 24 ) for the removal of the heated radiation module cooling medium ( 22nd ) from the irradiation module ( 6th ) - be arranged and designed.

Insbesondere den 3 und 4 ist zu entnehmen, dass die erfindungsgemäße Vorrichtung (1) eine oder mehrere einerseits zwischen der Vorderseite (5) jedes Modules (6, 36, 37) und andererseits zwischen der Vorderseite (5) der Plattform (4) wirkende Verriegelungseinrichtungen (38) umfassen kann.In particular the 3 and 4th it can be seen that the device according to the invention ( 1 ) one or more on the one hand between the front ( 5 ) of each module ( 6th , 36 , 37 ) and on the other hand between the front ( 5 ) the platform ( 4th ) Acting interlocking devices ( 38 ) may include.

Diese Verriegelungseinrichtungen (38) sind vorzugsweise derart ausgestaltet, dass nur in der verriegelnden Stellung der Verriegelungseinrichtung (38) eine elektrische Versorgung der Module (6, 36, 37) mittelbar oder unmittelbar über die Plattform (4) erfolgen kann.These locking devices ( 38 ) are preferably designed in such a way that only in the locking position of the locking device ( 38 ) an electrical supply of the modules ( 6th , 36 , 37 ) directly or indirectly via the platform ( 4th ) can be done.

Die 3 und 4 zeigen, dass die erfindungsgemäße Vorrichtung (1) eine oder mehrere elektrisch leitende Kupplungen (40) umfassen kann, welche zwischen der Unterseite (8) der Plattform (4) einerseits und der Oberseite (19) des Bestrahlungsmodules (6) andererseits - nur bei vollständigem Einschub des Bestrahlungsmodules (6) in seine jeweilige Modul-Anbringungs-Einrichtung (10) - elektrisch leitend wirken können.the 3 and 4th show that the device according to the invention ( 1 ) one or more electrically conductive couplings ( 40 ), which between the bottom ( 8th ) the platform ( 4th ) on the one hand and the top ( 19th ) of the irradiation module ( 6th ) on the other hand - only when the irradiation module is fully inserted ( 6th ) into its respective module attachment device ( 10 ) - can have an electrically conductive effect.

In der Regel können das eine oder die mehreren Leuchtmittel (17) für die Emission elektromagnetischer Strahlung jedes Bestrahlungsmodules (6) gleich oder voneinander verschieden sein.As a rule, one or more lamps ( 17th ) for the emission of electromagnetic radiation from each irradiation module ( 6th ) be the same or different from each other.

Vorzugsweise können die Leuchtmittel (17) jeweils in Form einer oder mehrerer elektromagnetische Strahlung emittierender Dioden (LED) und/oder Halogen-Strahler und/oder Halogen-Röhren ausgebildet sein.The illuminants ( 17th ) each be designed in the form of one or more electromagnetic radiation emitting diodes (LED) and / or halogen spotlights and / or halogen tubes.

In besonders bevorzugten Ausführungsformen der erfindungsgemäßen Vorrichtung (1) können die Leuchtmittel (17) beispielsweise jeweils in Form eines oder mehrerer Mikrowellen-Strahler (12 mm bis 1 mm) und/oder IR-Strahler (760 nm bis 0,5 mm; nahes Infrarot NIR: 760 nm bis 2,5 µm; mittleres Infrarot MIR: 2,5 µm bis 25 µm; fernes Infrarot FIR: 25 µm bis 500 µm) und/oder Strahler für sichtbares Licht (400 nm bis 750 nm) und/oder UV-Strahler (400 nm bis 10 nm) und/oder Röntgen-Strahler (100 nm bis 10-2 pm) ausgebildet sein.In particularly preferred embodiments of the device according to the invention ( 1 ) the lamps ( 17th ) for example in the form of one or more microwave emitters (12 mm to 1 mm) and / or IR emitters (760 nm to 0.5 mm; near infrared NIR: 760 nm to 2.5 µm; medium infrared MIR: 2 , 5 µm to 25 µm; far infrared FIR: 25 µm to 500 µm) and / or emitters for visible light (400 nm to 750 nm) and / or UV emitters (400 nm to 10 nm) and / or X-ray emitters (100 nm to 10 -2 pm).

Insbesondere den 3 und 4 ist zu entnehmen, dass in dem Bereich der Rückseite (9) der Vorrichtung (1) zur Bestrahlung eines Substrates (2) eine vertikal ausgerichtete Befestigungsplatte (39) vorgesehen sein kann.In particular the 3 and 4th it can be seen that in the area of the rear ( 9 ) of the device ( 1 ) for irradiating a substrate ( 2 ) a vertically aligned mounting plate ( 39 ) can be provided.

Vorzugsweise können an dieser vertikalen Befestigungsplatte (39) die Rückseiten der Plattform (4) und/oder der Module (6, 36, 37) - mittelbar beispielsweise über Modul-Anbringungs-Einrichtungen (10) - oder unmittelbar anbringbar sein.Preferably on this vertical mounting plate ( 39 ) the back of the platform ( 4th ) and / or the modules ( 6th , 36 , 37 ) - indirectly, for example via module attachment devices ( 10 ) - or be directly attachable.

Zusammenfassend ist festzustellen, dass im Rahmen der vorliegenden Erfindung eine Vorrichtung (1) zur Bestrahlung von Substraten (2) zur Verfügung gestellt wird, welche - in dem Falle einer Störung einer oder mehrerer Bestrahlungseinrichtungen - eine besonders einfache, schnelle, mühelose und Fehlermöglichkeiten ausschließende Reparatur gestattet.In summary, it should be noted that within the scope of the present invention, a device ( 1 ) for irradiating substrates ( 2 ) is made available, which - in the event of a malfunction of one or more irradiation devices - allows a particularly simple, fast, effortless repair that eliminates the possibility of errors.

Ein weiterer gravierender Vorteil der erfindungsgemäßen Vorrichtung (1) zur Bestrahlung von Substraten (2) besteht darin, dass die Bestrahlungsmodule (6) auf besonders einfache, schnelle, mühelose und Fehlermöglichkeiten ausschließende Art und Weise an unterschiedlichste Strahlungsbedingungen beziehungsweise Strahlungsbeschaffenheiten - insbesondere an verschiedene Wellenlängen und Intensitäten - angepasst werden können. Diese Vorteile werden insbesondere durch die besonders einfache, schnelle, mühlelose und Fehlermöglichkeiten ausschließende Einschiebbarkeit von äußerlich identischen Bestrahlungsmodulen (6) mit jeweils unterschiedlichen Leuchtmitteln (17) in die Modul-Anbringungs-Einrichtungen (10) realisiert.Another major advantage of the device according to the invention ( 1 ) for irradiating substrates ( 2 ) consists in that the irradiation modules ( 6th ) can be adapted to a wide variety of radiation conditions or radiation properties - in particular to different wavelengths and intensities - in a particularly simple, fast, effortless manner that eliminates the possibility of errors. These advantages are achieved in particular by the particularly simple, fast, effortless insertability of externally identical irradiation modules, which eliminates the possibility of errors ( 6th ) each with different light sources ( 17th ) into the module attachment devices ( 10 ) realized.

Diese Vorteile werden bei der erfindungsgemäßen Vorrichtung (1) insbesondere dadurch erreicht, dass dort ein defektes Bestrahlungsmodul (6) - auf besonders einfache, schnelle, mühelose und Fehlermöglichkeiten ausschließende Art und Weise - aus der Modul-Anbringungs-Einrichtung (10) - in Richtung der Vorderseite (5) der Vorrichtung (1) - nach vorne hin entnehmbar ist.These advantages are in the device according to the invention ( 1 ) is achieved in particular by the fact that there is a defective irradiation module ( 6th ) - in a particularly simple, fast, effortless manner that eliminates the possibility of errors - from the module attachment device ( 10 ) - towards the front ( 5 ) of the device ( 1 ) - can be removed from the front.

Nach dem Austausch des defekten Bestrahlungsmodules (6) gegen ein intaktes Bestrahlungsmodul (6) - oder nach Reparatur des defekten, entnommenen Bestrahlungsmodules (6) - kann das intakte Bestrahlungsmodul (6) auf besonders einfache, schnelle, mühelose und Fehlermöglichkeiten ausschließende Art und Weise, durch einfaches Einschieben in die Modul-Anbringungs-Einrichtung (10) der Vorrichtung (1) - von der Vorderseite (5) der Vorrichtung (1) ausgehend und in Richtung der Rückseite (9) der Vorrichtung (1) fortschreitend - wieder an der Plattform (4) angebracht und dabei automatisch korrekt ausgerichtet werden.After replacing the defective radiation module ( 6th ) against an intact radiation module ( 6th ) - or after repairing the defective, removed radiation module ( 6th ) - can the intact irradiation module ( 6th ) in a particularly simple, fast, effortless manner that eliminates the possibility of errors, by simply pushing it into the module attachment device ( 10 ) of the device ( 1 ) - from the front ( 5 ) of the device ( 1 ) starting and towards the rear ( 9 ) of the device ( 1 ) progressing - back on the platform ( 4th ) and automatically aligned correctly.

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Zitierte PatentliteraturPatent literature cited

  • DE 10234076 A1 [0002, 0003]DE 10234076 A1 [0002, 0003]

Claims (11)

Vorrichtung (1) zur Bestrahlung eines Substrates (2), dadurch gekennzeichnet, dass diese Vorrichtung (1) eine - in Bezug auf die Längsachse (3) der Plattform (4) gerade oder gekrümmte - Plattform (4) umfasst, wobei ein, zwei, drei, vier, fünf, sechs, sieben, acht, neun, zehn oder mehrere Bestrahlungs-Module (6) und/oder Substrat-Zuluft-Module (36) und/oder Substrat-Abluft-Module (37) mittelbar oder unmittelbar an der Unterseite (8) der Plattform (4) durch Einschieben oder Einstecken oder Einhängen in eine oder mehrere an der Unterseite (8) der Plattform (4) vorgesehene, feststehende oder teleskopierbare Modul-Anbringungs-Einrichtungen (10) - jeweils von der Vorderseite (5) der Vorrichtung (1) ausgehend und in Richtung der Rückseite (9) der Vorrichtung (1) verlaufend - reversibel anbringbar sind.Device (1) for irradiating a substrate (2), characterized in that this device (1) comprises a platform (4) which is straight or curved with respect to the longitudinal axis (3) of the platform (4), one, two , three, four, five, six, seven, eight, nine, ten or more irradiation modules (6) and / or substrate supply air modules (36) and / or substrate exhaust air modules (37) directly or indirectly the underside (8) of the platform (4) by pushing or plugging in or hanging in one or more fixed or telescopic module attachment devices (10) provided on the underside (8) of the platform (4) - each from the front ( 5) starting from the device (1) and running in the direction of the rear side (9) of the device (1) - can be attached reversibly. Vorrichtung (1) zur Bestrahlung eines Substrates (2) nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die eine oder die mehreren Modul-Anbringungs-Einrichtungen (10) jeweils eine rechtwinklig zu der Unterseite (8) der Plattform (4) ausgerichtete Wand (12) umfassen, welche in ihrem nach unten weisenden Bereich jeweils einen sich beidseitig erstreckenden, wulstartigen Vorsprung (13) und/oder eine linienförmige Aussparung für das Tragen von hin- und herschiebbaren und darin einschiebbaren Modulen (6, 36, 37) trägt, wobei jedes Modul (6, 36, 37) jeweils eine oder mehrere korrespondierend zu dem vorsprungartigen oder aussparungsförmigen Trägerelement der Wand (12) ausgebildete, leisten- und/oder linienförmige Aussparungen (11) oder Vorsprünge aufweist.Device (1) for irradiating a substrate (2) according to Claim 1 , characterized in that the one or more module attachment devices (10) each comprise a wall (12) which is oriented at right angles to the underside (8) of the platform (4) and which in their downward-facing area each have a wall (12) on both sides extending, bead-like projection (13) and / or a linear recess for the support of modules (6, 36, 37) that can be pushed back and forth and inserted therein, each module (6, 36, 37) having one or more corresponding to has the projection-like or recess-shaped carrier element of the wall (12) formed, strip-shaped and / or linear recesses (11) or projections. Vorrichtung (1) zur Bestrahlung eines Substrates (2) nach einem der Ansprüche 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass - in Bezug auf die Zuführung von noch nicht erwärmtem, frischem, gasförmigem oder flüssigem Bestrahlungsmodul-Kühlmedium (21) über eine oder mehrere Leitungen (29) für die Führung des noch nicht erwärmten, frischen Bestrahlungsmodul-Kühlmediums (21) zu der Plattform (4) - stromaufseitig von der Plattform (4) ein oder mehrere separate Gebläse (30) für das noch nicht erwärmte, frische Bestrahlungsmodul-Kühlmedium (21) vorgesehen sind oder wobei in jede Plattform (4) eine oder mehrere Leitungen (29) für die Führung des noch nicht erwärmten, frischen Bestrahlungsmodul-Kühlmediums (21) von außen her einmünden, wobei in die eine oder die mehreren Leitungen (29) für die Führung des noch nicht erwärmten, frischen Bestrahlungsmodul-Kühlmediums (21) - dann innerhalb oder außerhalb der Plattform (4) - jeweils ein oder mehrere Gebläse (30) integrierbar sind, welche das noch nicht erwärmte, frische Bestrahlungsmodul-Kühlmedium (21) in Richtung von einer oder mehreren Austrittsöffnungen (31) der Plattform (4) für noch nicht erwärmtes und frisches Bestrahlungsmodul-Kühlmedium (21) beschleunigen und/oder komprimieren, wobei die eine oder die mehreren Austrittsöffnungen (31) der Plattform (4) für noch nicht erwärmtes, frisches Bestrahlungsmodul-Kühlmedium (21) auf der Unterseite (8) der Plattform (4) und zumindest in dem Bereich der Rückseite (9) der Vorrichtung (1) und/oder in dem Bereich der Vorderseite (5) der Vorrichtung (1), vorgesehen sind.Device (1) for irradiating a substrate (2) according to one of the Claims 1 or 2 , characterized in that - in relation to the supply of not yet heated, fresh, gaseous or liquid irradiation module cooling medium (21) via one or more lines (29) for guiding the not yet heated, fresh irradiation module cooling medium (21) to the platform (4) - upstream of the platform (4) one or more separate blowers (30) are provided for the not yet heated, fresh irradiation module cooling medium (21), or one or more lines ( 29) for guiding the not yet heated, fresh irradiation module cooling medium (21) open from the outside, with one or more lines (29) for guiding the not yet heated, fresh irradiation module cooling medium (21) - then one or more fans (30) can be integrated inside or outside the platform (4), which blow the not yet heated, fresh irradiation module cooling medium (21) in the direction of one or more Accelerate and / or compress outlet openings (31) of the platform (4) for not yet heated and fresh irradiation module cooling medium (21), the one or more outlet openings (31) of the platform (4) for not yet heated, fresh irradiation module Cooling medium (21) are provided on the underside (8) of the platform (4) and at least in the area of the rear side (9) of the device (1) and / or in the area of the front side (5) of the device (1). Vorrichtung (1) zur Bestrahlung eines Substrates (2) nach einem der Ansprüche 1, 2 oder 3, dadurch gekennzeichnet, dass auf der Oberseite (19) jedes Bestrahlungsmodules (6) eine oder mehrere Bestrahlungsmodul-Kühlmedium-Eintritts-Öffnungen (20) für die Zufuhr des noch nicht erwärmten, frischen Bestrahlungsmodul-Kühlmediums (21) aus der Plattform (4) vorgesehen sind, wobei diese Bestrahlungsmodul-Kühlmedium-Eintritts-Öffnungen (20) jedes Bestrahlungsmodules (6) funktionell zusammenwirkbar mit den Austrittsöffnungen (31) der Plattform (4) für noch nicht erwärmtes und frisches Bestrahlungsmodul-Kühlmittel (21) angeordnet und ausgebildet sind, wobei die Bestrahlungsmodul-Kühlmedium-Eintritts-Öffnungen (20) mit den in dem Bereich der Vorderseite (5) und/oder der Rückseite (9) der Vorrichtung (1) befindlichen Endbereichen (32) des Leuchtmittels (17) noch nicht erwärmtes und frisches Kühlmedium (21)-führend in Verbindung stehen, wobei knapp unterhalb (26) des Leuchtmittels (17) - zu dem Zwecke eines gasdichten Verschlusses der Strahlungs-Austrittsöffnung (16) des Bestrahlungsmodules (6) sowie zu dem Zwecke einer Führung des Bestrahlungsmodul-Kühlmediums (21) in einem geschlossenen Kreislauf innerhalb des Bestrahlungsmodules (6) - eine für die von dem Leuchtmittel (17) emittierte Strahlung vollständig oder teilweise transparente Scheibe (15) und knapp oberhalb des Leuchtmittels (17) ein Reflektor (18) - mit oder ohne Kühlrippen (7) oder Wärmetauscher - vorgesehen ist, wobei das noch nicht erwärmte, frische Bestrahlungsmodul-Kühlmedium (21) dem in Richtung der Rückseite (9) der Vorrichtung (1) und/oder dem in Richtung der Vorderseite (5) der Vorrichtung (1) gelegenen, jeweils offenen Endbereich (32) des Spaltes zwischen der unteren (26) Glasscheibe (15) und dem Reflektor (18) zuführbar ist, wobei in dem - bei einer Seitenbetrachtung des Bestrahlungsmodules (6) oberhalb des Reflektors (18) und/oder der Kühlrippen (7) und/oder des Wärmetauschers befindlichen Mittenbereich (23) des Bestrahlungsmodules (6) eine Führung (24) für die vertikal nach oben in Richtung der Plattform (4) gerichtete Abführung des nach dem vollständigen oder teilweisen sowie einmaligen oder mehrmaligen Überstreichens des Leuchtmittels (17) erwärmten Bestrahlungsmodul-Kühlmediums (22), vorgesehen ist.Device (1) for irradiating a substrate (2) according to one of the Claims 1 , 2 or 3 , characterized in that on the top (19) of each irradiation module (6) one or more irradiation module cooling medium inlet openings (20) for the supply of the not yet heated, fresh irradiation module cooling medium (21) from the platform (4) are provided, these irradiation module cooling medium inlet openings (20) of each irradiation module (6) being arranged and designed so that they can functionally interact with the outlet openings (31) of the platform (4) for not yet heated and fresh irradiation module coolant (21), wherein the irradiation module cooling medium inlet openings (20) with the end areas (32) of the illuminant (17) located in the area of the front side (5) and / or the rear side (9) of the device (1) are not yet heated and fresh Cooling medium (21) are in communication, with just below (26) of the illuminant (17) - for the purpose of a gas-tight closure of the radiation outlet opening (16) of the irradiation module ules (6) and for the purpose of guiding the irradiation module cooling medium (21) in a closed circuit within the irradiation module (6) - a disc (15) which is completely or partially transparent to the radiation emitted by the illuminant (17) and just above it of the lighting means (17) a reflector (18) - with or without cooling fins (7) or heat exchanger - is provided, wherein the not yet heated, fresh irradiation module cooling medium (21) in the direction of the rear (9) of the device (1) and / or in the direction of the front (5) of the device (1), respectively open end region (32) of the Gap between the lower (26) glass pane (15) and the reflector (18) can be fed, in which - when viewed from the side of the irradiation module (6) above the reflector (18) and / or the cooling fins (7) and / or the The central region (23) of the irradiation module (6) located in the heat exchanger is a guide (24) for the discharge of the irradiation module cooling medium, which is heated after the light source (17) has been completely or partially passed over once or several times, and is directed vertically upwards in the direction of the platform (4) (22), is provided. Vorrichtung (1) zur Bestrahlung eines Substrates (2) nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, das noch nicht erwärmte, frische Bestrahlungsmodul-Kühlmedium (21) zunächst den in Richtung der Rückseite (9) der Vorrichtung (1) und den in Richtung der Vorderseite (5) der Vorrichtung (1) gelegenen beiden Randbereichen der Glasscheibe (15) zuführbar ist, dann die Unterseite des Leuchtmittels (17) in Richtung der Mitte (23) des Bestrahlungsmodules (6) überstreicht, in dem Mittenbereich (23) das Leuchtmittel (17) in vertikal nach oben gerichteter Weise umströmt, dann - ausgehend von dem Mittenbereich (23) nach außen in Richtung der beiden Endbereiche (32) des Leuchtmittels (17) - die Oberseite des Leuchtmittels (17) und die Unterseite des Reflektors (18) überstreicht, dann die beiden Endbereiche (32) des Leuchtmittels (17) mit den elektrischen Kontakten des Leuchtmittels (17) überstreicht, dann in Richtung der Mitte (23) des Bestrahlungsmodules (6) - unter Kontakt mit auf der Rückseite des Reflektors (18) vorgesehenen Kühlrippen (7) oder statt diesen vorgesehenen Wärmetauschern - führbar ist und dann über eine mittige Führung (24) für die Abführung des erwärmten Bestrahlungsmodul-Kühlmediums (22) aus dem Bestrahlungsmodul (6) in Richtung der mittigen Führung (28) der Plattform (4) - für die Abführung des erwärmten Bestrahlungsmodul-Kühlmediums (22) nach außen - führbar ist.Device (1) for irradiating a substrate (2) according to Claim 4 , characterized in that the not yet heated, fresh irradiation module cooling medium (21) first of all in the direction of the rear side (9) of the device (1) and in the direction of the front side (5) of the device (1) both edge regions of the glass pane ( 15) can be fed, then the underside of the illuminant (17) sweeps over in the direction of the center (23) of the irradiation module (6), in the central area (23) the illuminant (17) flows around in a vertically upward manner, then - starting from the middle area (23) outwards in the direction of the two end areas (32) of the illuminant (17) - sweeps over the top of the illuminant (17) and the underside of the reflector (18), then the two end areas (32) of the illuminant (17) with the electrical contacts of the illuminant (17), then in the direction of the center (23) of the irradiation module (6) - under contact with cooling ribs (7) provided on the rear of the reflector (18) or provided instead of these enen heat exchangers - can be guided and then via a central guide (24) for the removal of the heated radiation module cooling medium (22) from the radiation module (6) in the direction of the central guide (28) of the platform (4) - for the removal of the heated Irradiation module cooling medium (22) to the outside - can be guided. Vorrichtung (1) zur Bestrahlung eines Substrates (2) nach einem der Ansprüche 1, oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass in die Plattform (4) eine oder mehrere Leitungen (29) für die Führung des noch nicht erwärmten, frischen Bestrahlungsmodul-Kühlmediums (21) einmünden oder in die Plattform (4) integriert sind, wobei in diesen Leitungen (29) - außerhalb und/oder innerhalb der Plattform (4) - jeweils ein oder mehrere Gebläse (30) und/oder Pumpen vorgesehen sind, wobei diese Leitungen (29) in der Plattform (4) - bei einer Seitenbetrachtung - in Richtung der Mitte (23) der Plattform (4) verlaufen, wobei diese Leitungen (29) - mittelbar über eine mittige Führung (28) oder unmittelbar - in eine in dem Mittenbereich (23) der Plattform (4) befindliche Austrittsöffnung auf der Unterseite (8) der Plattform (4) münden, wobei auf der Oberseite (19) und in dem Mittenbereich (23) des Bestrahlungsmodules (6) eine oder mehrere - zu der Austrittsöffnung auf der Unterseite (8) der Plattform (4) korrespondierende und mit dieser zusammenwirkende - Eintrittsöffnungen für aus der Plattform (4) austretendes, noch nicht erwärmtes, frisches Bestrahlungsmodul-Kühlmedium (21) vorgesehen ist, wobei - stromabwärts von der mittigen Eintrittsöffnung in das Bestrahlungsmodul (6) - eine vertikale, nach unten (26) weisende Führung (24) für die Führung des noch nicht erwärmten, frischen Bestrahlungsmodul-Kühlmediums (21) aus der Austrittsöffnung auf der Unterseite (8) der Plattform (4), vorgesehen ist, wobei in dem unteren Endbereich dieser Führung eine Vorrichtung zur Aufspaltung des vertikal nach unten strömenden Bestrahlungsmodul-Kühlmedium-Stromes in einen in Richtung der Rückseite (9) und in einen in Richtung der Vorderseite (5) der Vorrichtung (1) gerichteten Bestrahlungsmodul-Kühlmedium-Teilstrom vorgesehen ist, wobei jeder dieser Bestrahlungsmodul-Kühlmedium-Teilströme - während seiner Strömung in Richtung des jeweiligen rückseitigen (9) oder vorderseitigen (5) offenen Endbereiches (32) - die mit der Rückseite des Reflektors (18) mittelbar oder unmittelbar in Verbindung stehenden Kühlrippen (7) oder Wärmetauscher durchströmt, danach den jeweiligen frontseitigen (5) oder rückseitigen (9) Endbereich (32) mit den elektrischen Kontakten für die Stromversorgung des Leuchtmittels (17) durchströmt, dann den oberhalb des Leuchtmittels (17) befindlichen Strahler-Bereich zwischen der Unterseite des Reflektors (18) und der Oberseite des Leuchtmittels (17) - ausgehend von dem vorderseitigen (5) oder rückseitigen (9) Endbereich (32) - in Richtung der Mitte (23) des Bestrahlungsmodules (6) durchströmt, dort das Leuchtmittel (17) in vertikal nach unten weisender Richtung und in Richtung der die Strahlungs-Austrittsöffnung (16) verschließenden Glasscheibe (15) umströmt, dann den unterhalb des Leuchtmittels (17) befindlichen Strahler-Bereich zwischen der Glasscheibe (15) und der Unterseite des Leuchtmittels (17) durchströmt, wobei stromabseitig hiervon eine oder mehrere vorderseitige (5) und/oder rückseitige (9) Führungen zur vertikalen, nach oben gerichteten Führung des erwärmten Bestrahlungsmodul-Kühlmedium-Teilstromes (22) in Richtung einer oder mehrerer, auf der Oberseite (19) des Bestrahlungsmodules (6) befindlicher Austrittsöffnungen vorgesehen sind, wobei auf der Unterseite (8) der Plattform (4) eine oder mehrere Eintrittsöffnungen für das - aus den auf der Oberseite (19) des Bestrahlungsmodules (6) befindlichen Austrittsöffnungen ausströmende - erwärmte Bestrahlungsmodul-Kühlmedium (22) vorgesehen sind, wobei diese Eintrittsöffnungen der Plattform (4) für erwärmtes Bestrahlungsmodul-Kühlmedium (22) mit Leitungen für die Führung von erwärmtem Bestrahlungsmodul-Kühlmedium (22) durch die Plattform (4) in einen außerhalb der Plattform (4) liegenden Bereich, in Verbindung stehen.Device (1) for irradiating a substrate (2) according to one of the Claims 1 , or 2, characterized in that one or more lines (29) for guiding the not yet heated, fresh irradiation module cooling medium (21) open into the platform (4) or are integrated into the platform (4), in which case Lines (29) - outside and / or inside the platform (4) - each have one or more blowers (30) and / or pumps, these lines (29) in the platform (4) - when viewed from the side - in the direction the middle (23) of the platform (4), these lines (29) - indirectly via a central guide (28) or directly - in an outlet opening located in the middle area (23) of the platform (4) on the underside (8 ) of the platform (4) open, with one or more - corresponding to and interacting with the outlet opening on the underside (8) of the platform (4) on the upper side (19) and in the central area (23) of the irradiation module (6) - Inlets for out of the plat tform (4) exiting, not yet heated, fresh irradiation module cooling medium (21) is provided, wherein - downstream of the central inlet opening in the irradiation module (6) - a vertical, downward (26) pointing guide (24) for the guide of the not yet heated, fresh irradiation module cooling medium (21) from the outlet opening on the underside (8) of the platform (4), a device for splitting the irradiation module cooling medium flowing vertically downwards in the lower end region of this guide Stream is provided in a direction of the rear side (9) and in a direction of the front side (5) of the device (1) directed radiation module cooling medium partial flow, each of these radiation module cooling medium partial flows - during its flow in the direction of the respective rear (9) or front (5) open end region (32) - which are directly or indirectly connected to the rear of the reflector (18) standing cooling fins (7) or heat exchanger, then the respective front (5) or rear (9) end area (32) with the electrical contacts for the power supply of the illuminant (17) flows through, then the spotlight located above the illuminant (17) Area between the underside of the reflector (18) and the top of the illuminant (17) - starting from the front (5) or rear (9) end area (32) - flows through in the direction of the center (23) of the irradiation module (6), there flows around the lamp (17) in a vertically downward direction and in the direction of the glass pane (15) closing the radiation outlet opening (16), then the radiator area located below the lamp (17) between the glass pane (15) and the underside of the illuminant (17) flows through it, downstream of which one or more front (5) and / or rear (9) guides for vertical, upward guidance of the heated radiation module cooling medium partial flow (22) in the direction of one or more outlet openings located on the upper side (19) of the radiation module (6), one or more inlet openings for the - Heated irradiation module cooling medium (22) flowing out of the outlet openings located on the upper side (19) of the irradiation module (6) are provided, these inlet openings of the platform (4) for heated irradiation module cooling medium (22) with lines for the guidance of heated radiation module cooling medium (22) through the platform (4) into an area outside the platform (4). Vorrichtung (1) zur Bestrahlung eines Substrates (2) nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, dass - bei einer Seitenbetrachtung der Plattform (4) - in dem Mittenbereich (23) der Plattform (4) eine - in Bezug auf die Plattform (4) nach außen verlaufende - Führung (28) für die Abführung des erwärmten Bestrahlungsmodul-Kühlmediums (22), welches aus der vertikal nach oben gerichteten mittigen (23) Führung (24) des Bestrahlungsmodules (6) für die Abführung von erwärmten Bestrahlungsmodul-Kühlmedium (22) stammt, vorgesehen ist, wobei die auf der Unterseite (8) der Plattform (4) liegende Eintrittsöffnung (33) der Plattform (4) für das erwärmte Bestrahlungsmodul-Kühlmedium (22) funktionell zusammenwirkend mit der auf der Oberseite (19) des Bestrahlungsmodules (6) befindlichen Öffnung (34) der Führung (24) für die Abführung des erwärmten Bestrahlungsmodul-Kühlmediums (22) aus dem Bestrahlungsmodul (6) angeordnet und ausgebildet ist.Device (1) for irradiating a substrate (2) according to one of the Claims 1 until 6th , characterized in that - when looking at the platform (4) from the side - in the central area (23) of the platform (4) there is a guide (28) for the removal of the heated irradiation module, which extends outwards in relation to the platform (4) -Cooling medium (22), which comes from the vertically upward central (23) guide (24) of the irradiation module (6) for the removal of heated irradiation module cooling medium (22), is provided, the on the underside (8) the platform (4) inlet opening (33) of the platform (4) for the heated radiation module cooling medium (22) functionally interacting with the one on the top (19) of the radiation module (6) located opening (34) of the guide (24) for the discharge of the heated radiation module cooling medium (22) from the radiation module (6) is arranged and designed. Vorrichtung (1) zur Bestrahlung eines Substrates (2) nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, dass sie eine oder mehrere einerseits zwischen der Vorderseite (5) jedes Modules (6, 36, 37) und andererseits zwischen der Vorderseite (5) der Plattform (4) wirkende Verriegelungseinrichtungen (38) umfasst, wobei nur in dieser verriegelnden Stellung der Verriegelungseinrichtung (38) eine elektrische Versorgung der Module (6, 36, 37) mittelbar oder unmittelbar über die Plattform (4) erfolgt.Device (1) for irradiating a substrate (2) according to one of the Claims 1 until 7th , characterized in that it comprises one or more locking devices (38) acting on the one hand between the front side (5) of each module (6, 36, 37) and on the other hand between the front side (5) of the platform (4), locking devices only in this Position of the locking device (38) an electrical supply of the modules (6, 36, 37) takes place directly or indirectly via the platform (4). Vorrichtung (1) zur Bestrahlung eines Substrates (2) nach einem der Ansprüche 1 bis 8, dadurch gekennzeichnet, dass sie eine oder mehrere elektrisch leitende Kupplungen (40) umfasst, welche zwischen der Unterseite (8) der Plattform (4) einerseits und der Oberseite (19) des Bestrahlungsmodules (6) andererseits - nur bei vollständigem Einschub des Bestrahlungsmodules (6) in seine jeweilige Modul-Anbringungs-Einrichtung (10) - elektrisch leitend wirken.Device (1) for irradiating a substrate (2) according to one of the Claims 1 until 8th , characterized in that it comprises one or more electrically conductive couplings (40) which are connected between the underside (8) of the platform (4) on the one hand and the top (19) of the irradiation module (6) on the other hand - only when the irradiation module ( 6) in its respective module attachment device (10) - act electrically conductive. Vorrichtung (1) zur Bestrahlung eines Substrates (2) nach einem der Ansprüche 1 bis 9, dadurch gekennzeichnet, dass das eine oder die mehreren Leuchtmittel (17) für die Emission elektromagnetischer Strahlung jedes Bestrahlungsmodules (6) gleich oder voneinander verschieden sind, jeweils in Form einer oder mehrerer elektromagnetische Strahlung emittierender Dioden (LED) und/oder Halogen-Strahler und/oder Halogen-Röhren ausgebildet sind und jeweils in Form eines oder mehrerer Mikrowellen-Strahler (12 mm bis 1 mm) und/oder IR-Strahler (760 nm bis 0,5 mm; nahes Infrarot NIR: 760 nm bis 2,5 µm; mittleres Infrarot MIR: 2,5 µm bis 25 µm; fernes Infrarot FIR: 25 µm bis 500 µm) und/oder Strahler für sichtbares Licht (400 nm bis 750 nm) und/oder UV-Strahler (400 nm bis 10 nm) und/oder Röntgen-Strahler (100 nm bis 10-2 pm) ausgebildet sind.Device (1) for irradiating a substrate (2) according to one of the Claims 1 until 9 , characterized in that the one or more illuminants (17) for the emission of electromagnetic radiation of each irradiation module (6) are the same or different from one another, each in the form of one or more electromagnetic radiation emitting diodes (LED) and / or halogen lamps and / or halogen tubes are designed and each in the form of one or more microwave emitters (12 mm to 1 mm) and / or IR emitters (760 nm to 0.5 mm; near infrared NIR: 760 nm to 2.5 μm ; medium infrared MIR: 2.5 µm to 25 µm; far infrared FIR: 25 µm to 500 µm) and / or emitters for visible light (400 nm to 750 nm) and / or UV emitters (400 nm to 10 nm) and / or X-ray emitters (100 nm to 10 -2 pm) are formed. Vorrichtung (1) zur Bestrahlung eines Substrates (2) nach einem der Ansprüche 1 bis 10, dadurch gekennzeichnet, dass in dem Bereich der Rückseite (9) der Vorrichtung (1) zur Bestrahlung eines Substrates (2) eine vertikal ausgerichtete Befestigungsplatte (39) vorgesehen ist, an welcher die Rückseiten der Plattform (4) und/oder der Module (6, 36, 37) mittelbar über Modul-Anbringungs-Einrichtungen (10) oder unmittelbar anbringbar sind.Device (1) for irradiating a substrate (2) according to one of the Claims 1 until 10 , characterized in that in the area of the rear side (9) of the device (1) for irradiating a substrate (2) a vertically aligned mounting plate (39) is provided on which the rear sides of the platform (4) and / or the modules ( 6, 36, 37) can be attached indirectly via module attachment devices (10) or directly.
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