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Die vorliegende Erfindung betrifft eine Steckeranordnung, ein System und eine Lithographieanlage mit einer derartigen Steckeranordnung und/oder einem derartigen System.
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Die Mikrolithographie wird zur Herstellung mikrostrukturierter Bauelemente, wie beispielsweise integrierter Schaltkreise, angewendet. Der Mikrolithographieprozess wird mit einer Lithographieanlage durchgeführt, welche ein Beleuchtungssystem und ein Projektionssystem aufweist. Das Bild einer mittels des Beleuchtungssystems beleuchteten Maske (Retikel) wird hierbei mittels des Projektionssystems auf ein mit einer lichtempfindlichen Schicht (Photoresist) beschichtetes und in der Bildebene des Projektionssystems angeordnetes Substrat, beispielsweise einen Siliziumwafer, projiziert, um die Maskenstruktur auf die lichtempfindliche Beschichtung des Substrats zu übertragen.
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Lithographieanlagen können eine Vielzahl von Aktuatoren und Sensoren umfassen, die als Baugruppe mit anderen Baugruppen der Lithographieanlage elektrisch kontaktiert werden. Aufgrund eines begrenzten Bauraums kann der Einsatz von Kabeln, die beispielsweise von Hand kontaktiert werden, erschwert sein. Weiterhin bereitet es Schwierigkeiten, mehrere Stecker, die auf einer Leiterplatte vorgesehen sind, mit entsprechenden Gegensteckern, die auf einer anderen Leiterplatte vorgesehen sind, aufgrund von Fertigungstoleranzen miteinander zu verbinden.
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Um zwei Baugruppen einer Lithographieanlage elektrisch miteinander zu verbinden, ist es bekannt, toleranzausgleichende Stecker zu verwenden. Dabei gibt es Stecker, die Federkontaktstifte umfassen und in Einsteckrichtung einen Toleranzausgleich bewirken. Weiterhin sind Buchsen bekannt, die mittels Federelementen gelagert sind und einen Toleranzausgleich senkrecht zu der Einsteckrichtung bewirken. Die Buchsen stützen sich mittels der Federelemente an einer Leiterplatte ab.
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Vor diesem Hintergrund besteht eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung darin, eine verbesserte Steckeranordnung bereitzustellen.
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Demgemäß wird eine Steckeranordnung für eine Lithographieanlage vorgeschlagen. Die Steckeranordnung umfasst ein erstes Steckerelement, ein zweites Steckerelement, welches mit dem ersten Steckerelement in einer Einsteckrichtung zusammensteckbar ist, um eine elektrische Verbindung auszubilden, ein Trägerelement, welches das erste Steckerelement trägt, und eine Aufnahme, in welcher das Trägerelement senkrecht zu der Einsteckrichtung beweglich aufgenommen ist, um einen Toleranzausgleich bei dem Zusammenstecken des ersten und zweiten Steckerelements zu bewirken.
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Dadurch müssen die Steckerelemente nicht zwangsweise senkrecht zu der Einsteckrichtung einen Toleranzausgleich bewirken, da das Trägerelement in der Aufnahme den Toleranzausgleich bewirkt. Weiterhin besteht der Vorteil, dass weniger komplexe Steckerelemente verwendet werden können. Damit kann eine Alternative zu toleranzausgleichenden Steckern bereitgestellt werden. Außerdem besteht der Vorteil, dass ein größerer Toleranzausgleich mit dem beweglichen Trägerelement bewirkt werden kann, da in dieser Hinsicht bei dem toleranzausgleichenden Stecker engere Grenzen gesetzt sind.
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Die Beweglichkeit wird insbesondere durch eine schwimmende Lagerung realisiert. Vorzugsweise ist das erste Steckerelement ein Stecker und das zweite Steckerelement ein dazugehöriger Gegenstecker. Damit wird eine Steckerpaar gebildet. Das Trägerelement ist in eine erste Bewegungsrichtung, die senkrecht zu der Einsteckrichtung verläuft, beweglich vorgesehen. Vorzugsweise ist das Trägerelement flächig ausgebildet und weist eine Dicke auf, die zwischen 1,5 und 4 mm, insbesondere 2 und 3 mm, beträgt.
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Insbesondere ist das erste Steckerelement stoffschlüssig, insbesondere mittels einer Klebverbindung, oder formschlüssig, insbesondere mittels einer Steckverbindung, fest mit dem Trägerelement verbunden. Vorzugsweise ist das Trägerelement auch in eine zweite Bewegungsrichtung, die senkrecht zu der Einsteckrichtung und senkrecht zu der ersten Bewegungsrichtung verläuft, beweglich vorgesehen. In dem Trägerelement aufgenommen heißt, dass die Aufnahme das Trägerelement räumlich zumindest abschnittsweise umschließt. Die Aufnahme umfasst einen Hohlraum, der größer ist als das Trägerelement, um dieses darin aufzunehmen. Das Trägerelement und die Aufnahme sind dazu eingerichtet, einen Toleranzausleich zwischen 0,1 - 10 mm in die erste Bewegungsrichtung zu bewirken. Weiterhin ist eine Öffnung zu dem Hohlraum ausgebildet. Von der Öffnung betrachtet umfasst der Hohlraum zumindest einen Hinterschnitt. Vorzugsweise umfasst die Steckeranordnung 2, 3 oder 4 Trägerelemente, die in Aufnahmen senkrecht zu der Einsteckrichtung beweglich aufgenommen sind.
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Gemäß einer Ausführungsform ist das Trägerelement eine Leiterplatte.
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Die Leiterplatte kann als Leiterkarte oder PCB (englisch: printed circuit board) bezeichnet werden und umfasst Leiterbahnen. Vorzugsweise umfasst die Leiterplatte weiterhin einen glasfaserverstärkten Kunstsoff (GFK), der eine Tragstruktur für die Leiterbahnen bildet. Insbesondere kann die Leiterplatte Keramik umfassen oder als Keramikleiterplatte ausgebildet sein. Die Leiterplatte kann beispielsweise Träger weiterer elektrischer Komponenten sein. Insbesondere sind alle Trägerelemente als Leiterplatten ausgebildet.
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Gemäß einer weiteren Ausführungsform ist das Trägerelement derart in der Aufnahme aufgenommen, dass ein Spalt senkrecht zu der Einsteckrichtung vorgesehen ist, welcher die Beweglichkeit senkrecht zu der Einsteckrichtung definiert und begrenzt.
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Insbesondere ist der Spalt ein Luftspalt. Vorzugsweise liegt das Trägerelement auf einer Auflagefläche der Steckeranordnung auf und ist auf dieser frei beweglich vorgesehen, wobei für die Bewegung eine Reibung zwischen dem Trägerelement und der Auflagefläche überwunden werden muss. Der Spalt kann beispielsweise aufgrund der Beweglichkeit des Trägerelements variabel sein. Insbesondere beträgt ein maximaler Spalt (d.h. wenn das Trägerelement an einer Seitenwand der Aufnahme anliegt) zwischen 0,1 und 15 mm, insbesondere 1 und 5 mm. Vorzugsweise ist ein Spiel in der Einsteckrichtung gesehen zwischen dem Trägerelement, insbesondere zwischen einer Oberseite des Trägerelements, und der Aufnahme vorgesehen, um eine freie Beweglichkeit des Trägerelements in der Aufnahme sicherzustellen. Das Spiel beträgt vorzugsweise zwischen 0,05 und 2 mm, insbesondere zwischen 0,1 und 1,5 mm. Damit wird eine Verspannung des Trägerelements innerhalb der Aufnahme verhindert.
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Gemäß einer weiteren Ausführungsform ist der Spalt als Ringspalt, welcher das Trägerelement umgibt, ausgebildet.
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Dies hat den Vorteil, dass eine Beweglichkeit des Trägerelements in alle Richtungen in einer Ebene ermöglicht wird. Vorzugsweise weist der Ringspalt eine geschlossene Ringform auf. Ringform meint eine Form die eckige und/oder runde Konturen aufweisen kann. Der Ringspalt kann beispielsweise in oder entgegen der Einsteckrichtung gesehen eine Rahmenform aufweisen. Beispielsweise beträgt eine Breite des Ringspalts 0,05 - 7,5 mm, insbesondere 0,5 und 2,5 mm, wenn das Trägerelement mittig in der Aufnahme ausgerichtet ist.
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Gemäß einer weiteren Ausführungsform weist die Steckeranordnung ein erstes Gehäuseelement, in welchem die Aufnahme vorgesehen ist, und/oder ein zweites Gehäuseelement, mit welchem das zweite Steckerelement verbunden ist, auf.
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Das erste und zweite Gehäuseelement können z.B. jeweils als ein Gehäuse ausgebildet sein. Vorzugsweise ist das zweite Steckerelement stoffschlüssig (z.B. mittels einer Klebverbindung) und/oder formschlüssig mit dem zweiten Gehäuseelement verbunden.
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Gemäß einer weiteren Ausführungsform weist die Steckeranordnung ein erstes Zentrierelement, welches mit dem Trägerelement mittelbar oder unmittelbar starr verbunden ist, und ein zweites Zentrierelement auf, welches an dem zweiten Gehäuseelement vorgesehen ist, wobei das erste und das zweite Zentrierelement derart zusammenwirken, dass das erste Steckerelement und das zweite Steckerelement, insbesondere passgenau, zueinander zentriert werden, wenn diese in der Einsteckrichtung zusammengesteckt werden.
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Dies hat den Vorteil, dass das erste Steckerelement und das zweite Steckerelement prozesssicher zueinander finden, wenn die Gehäuseelemente in Einsteckrichtung zueinander bewegt werden. Beispielsweise sind das Trägerelement und das erste Zentrierelement stoffschlüssig, insbesondere mittels einer Klebverbindung, und/oder formschlüssig miteinander verbunden. Alternativ können diese materialeinstückig ausgebildet sein. Das erste Zentrierelement kann stiftförmig ausgebildet sein. Vorzugsweise umfasst das erste Zentrierelement und/oder das zweite Zentrierelement eine Einführschräge und/oder Spitze zum Bewirken einer Zentrierwirkung. Vorzugsweise erfolgt mit Hilfe der ersten und zweiten Zentrierelemente eine Vorzentrierung und mit Hilfe der ersten und zweiten Steckerelemente eine Endzentrierung.
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Gemäß einer weiteren Ausführungsform ist das erste Zentrierelement neben dem ersten Steckerelement vorgesehen, erstreckt sich in der Einsteckrichtung über das erste Steckerelement hinaus und ist mittelbar oder unmittelbar starr mit dem ersten Steckerelement verbunden, wobei das zweite Zentrierelement ein Aufnahmeelement umfasst, welches dazu eingerichtet ist, das erste Zentrierelement zum Bewirken der Zentrierung aufzunehmen.
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Vorzugsweise ist das erste Zentrierelement und das zweite Zentrierelement zumindest abschnittsweise rotationssymmetrisch vorgesehen. Dies hat den Vorteil, dass eine Zentrierwirkung in alle Richtungen in einer Ebene bewirkt werden kann. Das Aufnahmeelement umfasst insbesondere einen Hohlraum zum Aufnehmen des ersten Zentrierelements. Das erste Zentrierelement kann beispielsweise mit dem ersten Steckerelement direkt verbunden oder berührend vorgesehen sein. Alternativ können das erste Zentrierelement und das erste Steckerelement beabstandet voneinander mit dem Trägerelement verbunden sein.
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Gemäß einer weiteren Ausführungsform weist die Steckeranordnung ein drittes Steckerelement, ein viertes Steckerelement, welches mit dem dritten Steckerelement in der Einsteckrichtung zusammensteckbar ist, um eine elektrische Verbindung auszubilden, ein weiteres Trägerelement, welches das dritte Steckerelement trägt, und eine weitere Aufnahme, in welcher das weitere Trägerelement senkrecht zu der Einsteckrichtung beweglich aufgenommen ist, um einen Toleranzausgleich bei dem Zusammenstecken des dritten und vierten Steckerelements zu bewirken, wobei die weitere Aufnahme in dem ersten Gehäuseelement vorgesehen ist, und wobei das vierte Steckerelement mit dem zweiten Gehäuseelement verbunden ist.
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Das dritte und vierte Steckerelement sind vorzugsweise als ein Stecker und ein dazugehöriger Gegenstecker ausgebildet. Insbesondere ist ein drittes Zentrierelement mit dem weiteren Trägerelement mittelbar oder unmittelbar starr verbunden. Ein viertes Zentrierelement ist vorzugsweise an dem zweiten Gehäuseelement vorgesehen, wobei das dritte und das vierte Zentrierelement derart zusammenwirken, dass das dritte Steckerelement und das vierte Steckerelement passgenau zueinander ausgerichtet werden, wenn diese in der Einsteckrichtung zusammengesteckt werden. Vorzugsweise sind das dritte Zentrierelement und das vierte Zentrierelement identisch zu dem ersten und zweiten Zentrierelement ausgebildet.
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Dies hat den Vorteil, dass beim Zusammenführen der ersten und zweiten Gehäuseelemente zwei Trägerelemente unabhängig voneinander einen Toleranzausgleich bewirken, sodass zwei Steckerpaare prozesssicher miteinander verbunden werden können. Es können auch drei, vier oder mehr Trägerelemente und entsprechende Steckerpaare und zusammenwirkende Zentrierelemente mit dem ersten und zweiten Gehäuseelement vorgesehen sein. Die Trägerelemente sind vorzugsweise mittels flexiblen Kabeln elektrisch miteinander verbunden. Insbesondere sind die Trägerelemente mittels einer Starr-Flex-Verbindung miteinander verbunden. Beispielsweise können mehrere Trägerelemente als Starr-Flex-Starr Leiterplatte ausgebildet sein.
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Gemäß einer weiteren Ausführungsform umfasst eines des ersten Steckerelements und des zweite Steckerelements einen 10 - 400, insbesondere 80 - 300, Pin Stecker und das andere des ersten Steckerelements und des zweiten Steckerelements eine 10 - 400, insbesondere 80 - 300, Pin Buchse.
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Vorzugsweise umfasst das erste oder zweite Steckerelement Pins, die Einführschrägen umfassen, die dazu eingerichtet sind, mit Öffnungskanten von dazugehörigen Buchsen zusammenzuwirken, um eine Zentrierung zu bewirken.
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Außerdem wird eine Steckeranordnung für eine Lithographieanlage vorgeschlagen. Die Steckeranordnung umfasst ein erstes Steckerelement, ein zweites Steckerelement, welches mit dem ersten Steckerelement in einer Einsteckrichtung zusammensteckbar ist, um eine elektrische Verbindung auszubilden, einen ersten Leiterplattenabschnitt, auf welchem das erste Steckerelement angebracht ist, und einen zweiten Leiterplattenabschnitt, in welchem der erste Leiterplattenabschnitt senkrecht zu der Einsteckrichtung beweglich angebracht ist, um einen Toleranzausgleich bei einem Zusammenstecken des ersten und zweiten Steckerelements zu bewirken.
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Damit kann eine weitere Alternative zu toleranzausgleichenden Steckern bereitgestellt werden, indem Leiterplattenabschnitte einen Toleranzausgleich senkrecht zu der Einsteckrichtung bei dem Zusammenstecken zweier Steckerelemente bewirken. Der erste und der zweite Leiterplattenabschnitt weisen vorzugsweise eine gleiche Dicke auf. Der erste und der zweite Leiterplattenabschnitt bilden vorzugsweise eine Leiterplatte aus. Insbesondere umgibt der zweite Leiterplattenabschnitt den ersten Leiterplattenabschnitt rahmenförmig. Vorzugsweise sind Federelemente zwischen dem ersten und zweiten Leiterplattenabschnitt vorgesehen. Zwischen dem ersten und dem zweiten Leiterplattenabschnitt ist z.B. ein Spalt ausgebildet. Insbesondere beträgt eine maximale Bewegung zwischen dem ersten Leiterplattenabschnitt und dem zweiten Leiterplattenabschnitt zwischen 0,1 und 15 mm, insbesondere 1 und 5 mm.
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Gemäß einer Ausführungsform sind der erste Leiterplattenabschnitt und der zweite Leiterplattenabschnitt materialeinstückig miteinander ausgebildet.
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Insbesondere sind der erste Leiterplattenabschnitt und der zweite Leiterplattenabschnitt lediglich mittels Materialschwächungen, z.B. Aussparungen, in der Leiterplatte voneinander getrennt.
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Gemäß einer weiteren Ausführungsform umfasst die Steckeranordnung zumindest ein Festkörpergelenk, wobei der erste Leiterplattenabschnitt und der zweite Leiterplattenabschnitt mittels des zumindest einen Festkörpergelenks miteinander verbunden sind.
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Festkörpergelenk meint ein Bauteil, welches eine Relativbewegung zwischen den Leiterplattenabschnitten zulässt und sich dabei, insbesondere elastisch, verformt. Vorzugsweise sind die beiden Leiterplattenabschnitte mittels 1, 2, 3, 4, 5 oder mehr Festkörpergelenken miteinander verbunden. Das Festkörpergelenk ist z.B. materialeinstückig mit den beiden Leiterplattenabschnitten vorgesehen. Das Festkörpergelenk ist als das Federelement ausgebildet.
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Die für die alternativen Steckeranordnungen beschriebenen Ausführungsformen und Merkmale gelten entsprechend für beide Alternativen. Weiterhin gelten die für das Trägerelement beschriebenen Merkmale für den ersten Leiterplattenabschnitt entsprechend und umgekehrt. Außerdem gelten die für ein gleichnamiges Element, z.B. Trägerelement, Steckerelement, Zentrierelement, Aufnahme usw., beschrieben Merkmale für alle anderen entsprechend und umgekehrt.
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Ferner wird ein System für eine Lithographieanlage vorgeschlagen. Das System umfasst eine Steckeranordnung, wie vorstehend beschrieben, einen Aktuator und/oder einen Sensor, welcher mit dem Trägerabschnitt oder dem zweiten Leiterplattenabschnitt und dem ersten Steckerelement elektrisch verbunden ist, wobei insbesondere das erste Steckerelement eine elektronische Schnittstelle des Aktuators und/oder einen Sensors ausbildet, die mit dem zweiten Steckerelement verbindbar ist.
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Vorzugsweise umfasst das System 2, 3 oder 4 Aktuatoren, wobei das erste Steckerelement eine elektronische Schnittstelle eines oder aller Aktuatoren ausbildet. Insbesondere umfasst das System 2, 3, 4, 5 oder mehr Sensoren, wobei das erste Steckerelement eine elektronische Schnittstelle eines oder aller Sensoren ausbildet. Pro Sensor oder Aktuator kann beispielsweise ein Steckerelement als elektronische Schnittstelle vorgesehen sein. Der Aktuator ist vorzugsweise mit dem ersten Gehäuseelement verbunden, insbesondere verschraubt.
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Gemäß einer Ausführungsform umfasst das System einen integrierten Schaltkreis, welcher mit dem zweiten Steckerelement elektrisch verbunden ist, wobei insbesondere das zweite Steckerelement eine elektronische Schnittstelle des integrierten Schaltkreises zu dem ersten Steckerelement ausbildet.
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Der integrierte Schaltkreis ist beispielsweise ein FPGA (englisch: Field Programmable Gate Array). Der integrierte Schaltkreis umfasst insbesondere einen Prozessor. Vorzugsweise ist der integrierte Schaltkreis dazu eingerichtet, Rechenoperationen für den oder die Aktuatoren oder Sensoren auszuführen. Der integrierte Schaltkreis kann insbesondere auf einer Platine vorgesehen sein, die mit dem zweiten Gehäuseelement verbunden, insbesondere verschraubt, ist.
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Die für das System beschriebenen Ausführungsformen und Merkmale gelten für die Steckeranordnung entsprechend und umgekehrt.
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Weiterhin wird eine Lithographieanlage vorgeschlagen. Die Lithographieanlage umfasst eine Steckeranordnung, wie vorstehend beschrieben, und/oder ein System, wie vorstehend beschrieben.
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„Ein“ ist vorliegend nicht zwingend als beschränkend auf genau ein Element zu verstehen. Vielmehr können auch mehrere Elemente, wie beispielsweise zwei, drei oder mehr, vorgesehen sein. Auch jedes andere hier verwendete Zählwort ist nicht dahingehend zu verstehen, dass eine Beschränkung auf genau die genannte Anzahl von Elementen gegeben ist. Vielmehr sind zahlenmäßige Abweichungen nach oben und nach unten möglich, soweit nichts Gegenteiliges angegeben ist.
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Weitere mögliche Implementierungen der Erfindung umfassen auch nicht explizit genannte Kombinationen von zuvor oder im Folgenden bezüglich der Ausführungsbeispiele beschriebenen Merkmalen oder Ausführungsformen. Dabei wird der Fachmann auch Einzelaspekte als Verbesserungen oder Ergänzungen zu der jeweiligen Grundform der Erfindung hinzufügen.
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Weitere vorteilhafte Ausgestaltungen und Aspekte der Erfindung sind Gegenstand der Unteransprüche sowie der im Folgenden beschriebenen Ausführungsbeispiele der Erfindung. Im Weiteren wird die Erfindung anhand von bevorzugten Ausführungsformen unter Bezugnahme auf die beigelegten Figuren näher erläutert.
- 1A zeigt eine schematische Ansicht einer Ausführungsform einer EUV-Lithographieanlage;
- 1B zeigt eine schematische Ansicht einer Ausführungsform einer DUV-Lithographieanlage;
- 2 zeigt eine schematische Ansicht einer Steckeranordnung;
- 3 zeigt Schnitt III-III aus 2;
- 4 zeigt eine schematische perspektivische Ansicht einer weiteren Ausführungsform der Steckeranordnung;
- 5 zeigt Schnitt V-V aus 4;
- 6 zeigt eine weitere Ansicht von Schnitt V-V aus 4;
- 7 zeigt eine weitere Ansicht von Schnitt V-V aus 4;
- 8 zeigt eine schematische perspektivische Schnittansicht einer weiteren Ausführungsform der Steckeranordnung;
- 9 zeigt eine schematische Ansicht einer weiteren Ausführungsform der Steckeranordnung;
- 10 zeigt eine schematische Aufsicht einer Leiterplatte;
- 11 zeigt eine schematische Ansicht einer Ausführungsform eines Systems; und
- 12 zeigt eine schematische Ansicht einer weiteren Ausführungsform des Systems.
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In den Figuren sind gleiche oder funktionsgleiche Elemente mit denselben Bezugszeichen versehen worden, soweit nichts Gegenteiliges angegeben ist. Ferner sollte beachtet werden, dass die Darstellungen in den Figuren nicht notwendigerweise maßstabsgerecht sind.
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1A zeigt eine schematische Ansicht einer EUV-Lithographieanlage 100A, welche ein Strahlformungs- und Beleuchtungssystem 102 und ein Projektionssystem 104 umfasst. Dabei steht EUV für „extremes Ultraviolett“ (Engl.: extreme ultraviolet, EUV) und bezeichnet eine Wellenlänge des Arbeitslichts zwischen 0,1 nm und 30 nm. Das Strahlformungs- und Beleuchtungssystem 102 und das Projektionssystem 104 sind jeweils in einem nicht gezeigten Vakuum-Gehäuse vorgesehen, wobei jedes Vakuum-Gehäuse mit Hilfe einer nicht dargestellten Evakuierungsvorrichtung evakuiert wird. Die Vakuum-Gehäuse sind von einem nicht dargestellten Maschinenraum umgeben, in welchem Antriebsvorrichtungen zum mechanischen Verfahren beziehungsweise Einstellen von optischen Elementen vorgesehen sind. Ferner können auch elektrische Steuerungen und dergleichen in diesem Maschinenraum vorgesehen sein.
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Die EUV-Lithographieanlage 100A weist eine EUV-Lichtquelle 106A auf. Als EUV-Lichtquelle 106A kann beispielsweise eine Plasmaquelle (oder ein Synchrotron) vorgesehen sein, welche Strahlung 108A im EUV-Bereich (extrem ultravioletter Bereich), also beispielsweise im Wellenlängenbereich von 5 nm bis 20 nm, aussendet. Im Strahlformungs- und Beleuchtungssystem 102 wird die EUV-Strahlung 108A gebündelt und die gewünschte Betriebswellenlänge aus der EUV-Strahlung 108A herausgefiltert. Die von der EUV-Lichtquelle 106A erzeugte EUV-Strahlung 108A weist eine relativ niedrige Transmissivität durch Luft auf, weshalb die Strahlführungsräume im Strahlformungs- und Beleuchtungssystem 102 und im Projektionssystem 104 evakuiert sind.
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Das in 1A dargestellte Strahlformungs- und Beleuchtungssystem 102 weist fünf Spiegel 110, 112, 114, 116, 118 auf. Nach dem Durchgang durch das Strahlformungs- und Beleuchtungssystem 102 wird die EUV-Strahlung 108A auf eine Photomaske (Engl.: reticle) 120 geleitet. Die Photomaske 120 ist ebenfalls als reflektives optisches Element ausgebildet und kann außerhalb der Systeme 102, 104 angeordnet sein. Weiter kann die EUV-Strahlung 108A mittels eines Spiegels 122 auf die Photomaske 120 gelenkt werden. Die Photomaske 120 weist eine Struktur auf, welche mittels des Projektionssystems 104 verkleinert auf einen Wafer 124 oder dergleichen abgebildet wird.
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Das Projektionssystem 104 (auch als Projektionsobjektiv bezeichnet) weist sechs Spiegel M1 bis M6 zur Abbildung der Photomaske 120 auf den Wafer 124 auf. Dabei können einzelne Spiegel M1 bis M6 des Projektionssystems 104 symmetrisch zu einer optischen Achse 126 des Projektionssystems 104 angeordnet sein. Es sollte beachtet werden, dass die Anzahl der Spiegel M1 bis M6 der EUV-Lithographieanlage 100A nicht auf die dargestellte Anzahl beschränkt ist. Es können auch mehr oder weniger Spiegel M1 bis M6 vorgesehen sein. Des Weiteren sind die Spiegel M1 bis M6 in der Regel an ihrer Vorderseite zur Strahlformung gekrümmt.
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Weiterhin ist eine Aktuator 134 vorgesehen, der dazu eingerichtet ist, eine Lage z.B. des Spiegels 118 zu verändern. Ein solcher Aktuator 134 kann auch für andere Spiegel 110, 112, 114, 116 im Strahlformungs- und Beleuchtungssystem 102 vorgesehen sein. Alternativ oder zusätzlich kann ein solcher Aktuator 134 für mindestens einen der Spiegel M1 - M6 vorgesehen sein. Beispielsweise ist ein Sensor 136 vorgesehen, der dazu eingerichtet ist, eine Lage des Spiegels 118 zu erfassen. Ein solcher Sensor 136 kann auch für andere Spiegel 110, 112, 114, 116 im Strahlformungs- und Beleuchtungssystem 102 vorgesehen sein. Alternativ oder zusätzlich kann ein solcher Sensor 136 für mindestens einen der Spiegel M1 - M6 vorgesehen sein. Es kann auch eine Vielzahl solcher Sensoren 136 vorgesehen sein.
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1B zeigt eine schematische Ansicht einer DUV-Lithographieanlage 100B, welche ein Strahlformungs- und Beleuchtungssystem 102 und ein Projektionssystem 104 umfasst. Dabei steht DUV für „tiefes Ultraviolett“ (Engl.: deep ultraviolet, DUV) und bezeichnet eine Wellenlänge des Arbeitslichts zwischen 30 nm und 250 nm. Das Strahlformungs- und Beleuchtungssystem 102 und das Projektionssystem 104 können - wie bereits mit Bezug zu 1A beschrieben - in einem Vakuumgehäuse angeordnet und/oder von einem Maschinenraum mit entsprechenden Antriebsvorrichtungen umgeben sein.
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Die DUV-Lithographieanlage 100B weist eine DUV-Lichtquelle 106B auf. Als DUV-Lichtquelle 106B kann beispielsweise ein ArF-Excimerlaser vorgesehen sein, welcher Strahlung 108B im DUV-Bereich bei beispielsweise 193 nm emittiert.
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Das in 1B dargestellte Strahlformungs- und Beleuchtungssystem 102 leitet die DUV-Strahlung 108B auf eine Photomaske 120. Die Photomaske 120 ist als transmissives optisches Element ausgebildet und kann außerhalb der Systeme 102, 104 angeordnet sein. Die Photomaske 120 weist eine Struktur auf, welche mittels des Projektionssystems 104 verkleinert auf einen Wafer 124 oder dergleichen abgebildet wird.
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Das Projektionssystem 104 weist mehrere Linsen 128 und/oder Spiegel 130 zur Abbildung der Photomaske 120 auf den Wafer 124 auf. Dabei können einzelne Linsen 128 und/oder Spiegel 130 des Projektionssystems 104 symmetrisch zu einer optischen Achse 126 des Projektionssystems 104 angeordnet sein. Es sollte beachtet werden, dass die Anzahl der Linsen 128 und Spiegel 130 der DUV-Lithographieanlage 100B nicht auf die dargestellte Anzahl beschränkt ist. Es können auch mehr oder weniger Linsen 128 und/oder Spiegel 130 vorgesehen sein. Des Weiteren sind die Spiegel 130 in der Regel an ihrer Vorderseite zur Strahlformung gekrümmt. Der Aktuator 134 (siehe 1A) kann vorgesehen sein, um eine Lage der Linsen 128 und/oder Spiegel 130 zu verändern. Beispielsweise ist der Sensor 136 (siehe 1A) vorgesehen, der dazu eingerichtet ist, eine Lage der Linsen 128 und/oder Spiegel 130 zu erfassen.
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Ein Luftspalt zwischen der letzten Linse 128 und dem Wafer 124 kann durch ein flüssiges Medium 132 ersetzt sein, welches einen Brechungsindex > 1 aufweist. Das flüssige Medium 132 kann beispielsweise hochreines Wasser sein. Ein solcher Aufbau wird auch als Immersionslithographie bezeichnet und weist eine erhöhte photolithographische Auflösung auf. Das Medium 132 kann auch als Immersionsflüssigkeit bezeichnet werden.
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2 zeigt eine Steckeranordnung 200 für die Lithographieanlage 100A, 100B (siehe 1A und 1B). Die Steckeranordnung 200 umfasst ein Steckerelement 202 (vorliegend auch als erstes Steckerelement bezeichnet), ein Steckerelement 204 (vorliegend auch als zweites Steckerelement bezeichnet), welches mit dem Steckerelement 202 in einer Einsteckrichtung E zusammensteckbar ist, um eine elektrische Verbindung auszubilden. Vorzugsweise umfasst das Steckerelement 202 einen Stecker 206 und das Steckerelement 204 eine dazugehörige Buchse 208.
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Außerdem ist ein Trägerelement 210 vorgesehen, welches das Steckerelement 202 trägt. Das Trägerelement 210 und das Steckerelement 202 sind starr miteinander verbunden. Das Trägerelement 210 ist vorzugsweise eine Leiterplatte, welche Leiterbahnen 212 umfasst, die in einem isolierenden Material 214 eingebettet oder darauf aufgebracht sind. Das Material 214 kann einen Glasfaserverbundwerkstoff umfassen. Das Trägerelement 210 kann auch elektronische Bauteile tragen (nicht gezeigt).
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Vorzugsweise ist das Trägerelement 210 flächig ausgebildet und weist eine Dicke D auf, die zwischen 1,5 und 4 mm, insbesondere 2 und 3 mm, beträgt. Weiterhin kann eine elektrische Leitung 216, insbesondere ein flexibles Kabel und/oder eine Starr-Flex-Starr-Verbindung, (gestrichelt angedeutet) mit dem Trägerelement 210 verbunden sein, welches das Trägerelement 210 mit z.B. einem weiteren Trägerelement 400, 402, 404 (siehe 4), einem Aktuator 134 (siehe 1A), einem Sensor 136 (siehe 1A) oder einer anderen elektronischen Einheit (nicht dargestellt) der Lithographieanlage 100A, 100B (siehe 1A, und B) verbindet.
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Die Steckeranordnung 200 umfasst außerdem eine Aufnahme 218, in welcher das Trägerelement 210 senkrecht zu der Einsteckrichtung E in einer Bewegungsrichtung B1 beweglich aufgenommen ist, um einen Toleranzausgleich bei dem Zusammenstecken der Steckerelemente 202, 204 zu bewirken. Die Aufnahme 218 ist als ein Hohlraum in einem Gehäuseelement 220 (vorliegend auch als erstes Gehäuseelement bezeichnet) vorgesehen. Das Trägerelement 210 ist derart in der Aufnahme 218 aufgenommen, dass ein Spalt S in der Bewegungsrichtung B1 vorgesehen ist, welcher die Beweglichkeit in der Bewegungsrichtung B1 definiert und begrenzt.
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Insbesondere beträgt ein maximaler Spalt S in Bewegungsrichtung B1 (d.h. wenn das Trägerelement 210 an einer Seitenwand 222 der Aufnahme 218 aufliegt) zwischen 0,1 und 15 mm, insbesondere 1 und 5 mm. Dies kann beispielsweise als schwimmende Lagerung bezeichnet werden. Die Aufnahme 218 umfasst gegenüberliegende Seitenwände 222, 224, die die Bewegung des Trägerelements 210 in die Bewegungsrichtung B1 begrenzen. Die Aufnahme 218 umfasst weiterhin senkrecht zu den Seitenwänden 222, 224 verlaufende Wände 226, 228, die eine Bewegung des Trägerelements 210 relativ zu der Aufnahme 218 in Einsteckrichtung E verhindern.
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Zwischen den Wänden 226, 228 und dem Trägerelement 210, insbesondere einer Oberseite 236 des Trägerelements 210, ist insbesondere ein geringes Spiel S0 vorgesehen, um eine Verspannung des Trägerelements 210 in der Aufnahme 218 zu verhindern. Das Spiel S0 beträgt vorzugsweise zwischen 0,05 und 2 mm, insbesondere zwischen 0,1 und 1,5 mm. Das Trägerelement 210 kann auf einem Boden 230 des Gehäuseelements 220, insbesondere reibkraftschlüssig, aufliegen. Das Trägerelement 210 ist formschlüssig innerhalb der Aufnahme 218 aufgenommen.
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Die Steckeranordnung 200 umfasst weiterhin ein Gehäuseelement 232 (vorliegend auch als zweites Gehäuseelement bezeichnet), mit welchem das Steckerelement 204, insbesondere indirekt, verbunden ist. Vorzugsweise ist das Steckerelement 204 mit einer Leiterplatte 238 verbunden, die insbesondere an das Gehäuseelement 232 geschraubt ist. Das Steckerelement 204 kann beispielsweise auch lediglich mittels Leitungen 1106 (siehe 11), insbesondere flexiblen Kabeln, mit der Leiterplatte 238 verbunden sein. Das Steckerelement 204 ragt insbesondere von dem Gehäuseelement 232 ab oder aus diesem hervor. Das Gehäuseelement 220 umfasst eine Öffnung 234 zu der Aufnahme 218, aus der das Steckerelement 202 herausragt. Es können z.B. mehrere Steckerelemente 204 mit der Leiterplatte 238 verbunden sein. Dabei kann die Leiterplatte 238 z.B. als Starr-Flex-Starr Leiterplatte oder Starrleiterplatte ausgebildet sein.
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Beispielsweise umfasst das Steckerelement 202 einen 10 - 400, insbesondere 80 - 300, Pin Stecker und das Steckerelement 204 eine 10 - 400, insbesondere 80 - 300, Pin Buchse. Das Steckerelement 202 ist vorzugsweise mit dem Steckerelement 204 vertauschbar.
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3 zeigt Schnitt III - III aus 2. Dabei ist der Spalt S als Ringspalt, welcher das Trägerelement 210 umgibt ausgebildet. Lediglich beispielsweise ist das Trägerelement 210 im Schnitt rechteckig dargestellt. Das Trägerelement 210 kann eine beliebige Form aufweisen und beispielsweise L-förmig, trapezförmig oder rund ausgebildet sein. Die Ringform des Spalts S hat den Vorteil, dass auch eine Bewegung des Trägerelements 210 in eine weitere Bewegungsrichtung B2, die senkrecht zu der Einsteckrichtung E und senkrecht zu der Bewegungsrichtung B1 zeigt, möglich ist, um einen Toleranzausgleich bei dem Zusammenstecken der Steckerelemente 202, 204 zu bewirken.
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Die Aufnahme 218 umfasst Seitenwände 300, 302, die eine Bewegung des Trägerelements 210 in die Bewegungsrichtung B2 begrenzen. Insbesondere beträgt ein maximaler Spalt S in Bewegungsrichtung B2 (d.h. wenn das Trägerelement 210 an der Seitenwand 302 der Aufnahme 218 aufliegt) zwischen 0,1 und 15 mm, insbesondere 1 und 5 mm.
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4 zeigt eine schematische perspektivische Ansicht einer weiteren Ausführungsform der Steckeranordnung 200. Diese umfasst zusätzlich ein Steckerelement 406 (vorliegend auch als drittes Steckerelement bezeichnet), ein Steckerelement 412 (vorliegend auch als viertes Steckerelement bezeichnet), welches mit dem Steckerelement 406 in der Einsteckrichtung E zusammensteckbar ist, um eine elektrische Verbindung auszubilden, ein Trägerelement 400 (vorliegend auch als weiteres Trägerelement bezeichnet), welches das Steckerelement 406 trägt, und eine Aufnahme 414 (vorliegend auch als weitere Aufnahme bezeichnet), in welcher das Trägerelement 400 senkrecht zu der Einsteckrichtung E beweglich aufgenommen ist, um einen Toleranzausgleich bei dem Zusammenstecken der Steckerelemente 406, 412 zu bewirken. Die Aufnahme 414 ist in dem Gehäuseelement 220 vorgesehen. Das Steckerelement 412 ist direkt oder indirekt mit dem Gehäuseelement 232 verbunden.
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In dem Gehäuseelement 220 sind zwei weitere Trägerelemente 402, 404 aufgenommen, auf welchen Steckerelemente 408, 410 angebracht sind. Die Steckerelemente 202, 406, 408, 410 sind dabei beabstandet voneinander angeordnet. Die Trägerelemente 400, 402, 404 sind wie das Trägerelement 210 ausgebildet und entsprechend in Aufnahmen (nicht gezeigt) des Gehäuseelements 220 beweglich aufgenommen.
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Weiterhin sind an dem Gehäuseelement 232 Steckerelemente (nicht gezeigt) ausgebildet, die mit den Steckerelementen 408, 410 in Einsteckrichtung E zusammensteckbar sind und somit als entsprechende Gegenstecker ausgebildet sind. Alternativ könnten anstatt 4 auch 2, 3, 5 oder 6 Trägerelemente und Steckerelemente mit dem Gehäuseelement 220 und eine entsprechende Anzahl an Steckerelementen mit dem Gehäuseelement 232 vorgesehen sein. Beispielsweise sind die Trägerelemente 210, 400, 402, 404 mit Hilfe von Kabeln (nicht gezeigt), insbesondere Flex-Kabeln, miteinander verbunden.
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5 zeigt Schnitt V-V aus 4. Das Trägerelement 210 liegt, im Unterschied zu 2, auf einem Teil 518 auf, das insbesondere eine Elektronikbauteil, Mechanikbauteil oder ein elektromechanisches Bauteil ist, und zumindest Abschnittsweise in dem Gehäuseelement 220 vorgesehen ist. Das Teil 518 kann von dem Aktuator 134 (siehe 1A) umfasst sein. Die Steckeranordnung 200 umfasst ein Zentrierelement 500 (vorliegend auch als erstes Zentrierelement bezeichnet), welches mit dem Trägerelement 210 mittelbar oder unmittelbar starr verbunden ist. Weiterhin ist ein Zentrierelement 502 (vorliegend auch als zweites Zentrierelement bezeichnet) an dem Gehäuseelement 232 vorgesehen.
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Die Zentrierelemente 500, 502 wirken derart zusammen, dass das Steckerelement 202 und das Steckerelement 204 passgenau zueinander ausgerichtet werden, wenn diese in der Einsteckrichtung E zusammengesteckt werden. Das Zentrierelement 500 ist neben dem ersten Steckerelement 202 vorgesehen, erstreckt sich in der Einsteckrichtung E über das Steckerelement 202 hinaus und ist mittels des Trägerelements 210 mit dem Steckerelement 202 verbunden. Das Zentrierelement 500 ist beispielsweise als Zentrierstift ausgebildet, der mit der Oberseite 236 des Trägerelements 210, insbesondere stoffschlüssig (z.B. mittels Klebverbindung), verbunden ist. Beispielsweise ist das Zentrierelement 500 mit dem Trägerelement 210 verschraubt. Alternativ könnten das Zentrierelement 500 materialeinstückig mit dem Trägerelement 210 ausgebildet sein.
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Das Zentrierelement 502 umfasst ein Aufnahmeelement 504, welches dazu eingerichtet ist, das Zentrierelement 500 zum Bewirken einer Zentrierung aufzunehmen. Auch mit den Trägerelementen 400, 402, 404 können entsprechende Zentrierelemente 526, 528, 530 vorgesehen sein. Das Zentrierelement 502 kann alternativ in das Gehäuseelement 232 integriert sein oder als separates Teil, das mit dem Gehäuseelement 232 verbunden ist, vorgesehen sein.
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Das Aufnahmeelement 504 ist als Hohlraum ausgebildet, der einen kegelstumpfförmigen Abschnitt 506 und einen daran anschließenden zylinderförmigen Abschnitt 508 umfasst. An den Abschnitt 508 schließt sich ein weiterer kegelstumpfförmigen Abschnitt 510 an, an den sich wiederum ein zylinderförmiger Abschnitt 512 anschließt. Der kegelstumpfförmigen Abschnitt 506 fungiert als Einführschräge, um das Zentrierelement 500 bezüglich einer Zentrierachse Z, die insbesondere als Rotationssymmetrieachse des Aufnahmeelements 504 ausgebildet ist, zu zentrieren. Der Abschnitt 506 verjüngt sich in der Einsteckrichtung E. Der Abschnitt 510 weitet sich in der Einsteckrichtung E auf.
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Das Zentrierelement 500 umfasst einen Führungsabschnitt 514, der als Verdickung vorgesehen ist und vorzugsweise ein Ende des Zentrierelements 500 ausbildet. Der Abschnitt 508 weist eine Breite D1 (insbesondere Durchmesser) auf, die geringfügig größer als eine Breite D2 (insbesondere Durchmesser) des Führungsabschnitts 514 ist, sodass eine Spielpassung vorliegt, wenn der Führungsabschnitt 514 sich in dem Abschnitt 508 befindet (siehe 6). Der Führungsabschnitt 514 umfasst beispielsweise eine Einführschräge 516, die mit dem Aufnahmeelement 504 zusammenwirkt, um das Zentrierelement 500 bezüglich der Zentrierachse Z auszurichten.
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Das Zentrierelement 502 umfasst vorzugsweise einen Rohrabschnitt 520, der vom Gehäuseelement 232 entgegen der Einsteckrichtung E abragt und der den Abschnitt 506 und zumindest teilweise den Abschnitt 508 beinhaltet. Außerdem umfasst das Steckerelement 202 eine Vielzahl von Pins 522. Das Steckerelement 204 umfasst eine Vielzahl den Pins 522 entsprechenden Buchsen 524.
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Wie in 5 gezeigt, befindet sich das Zentrierelement 500 in dem Abschnitt 506, den das Zentrierelement 500 als erstes passiert, wenn eines der Gehäuseelemente 220, 232 in Einsteckrichtung E auf das andere der Gehäuseelemente 220, 232 zubewegt wird. Dabei drückt bei einer nicht zentrischen Ausrichtung des Zentrierelements 500 zu der Zentrierachse Z die Einführschräge 516 gegen den Abschnitt 506 und bewirkt aufgrund einer Keilwirkung eine Bewegung des Zentrierelements 500 in die Bewegungsrichtung B1, B2.
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Da das Trägerelement 210 beweglich vorgesehen ist und mit dem Zentrierelement 500 starr verbunden ist, bewegt sich auch das Trägerelement 210 samt Steckerelement 202 in die Bewegungsrichtung B1, B2. Die 6 und 7 zeigen wie der Führungsabschnitt 514 immer weiter in das Aufnahmeelement 504 eingeführt wird bis die Steckerelemente 202, 204 vollständig miteinander verbunden sind.
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6 zeigt im Unterschied zu 5, dass der Führungsabschnitt 514 weiter in den Aufnahmeelement 504 geführt wurde und sich in dem Abschnitt 508 befindet. Zwischen dem Führungsabschnitt 514 und dem Abschnitt 508 ist ein Spiel S1 vorgesehen. Das Spiel S1 ist derart vorgesehen, dass eine Einführschräge 600 des Steckerelements 202, insbesondere des Pins 522, in der Einsteckrichtung E mit einer Öffnungskante 602 des Steckerelements 204, insbesondere der Buchse 524, korrespondiert, wenn der Führungsabschnitt 514 an einer Wandung des Abschnitts 508 aufliegt.
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Damit kann eine zweistufige Zentrierung bereitgestellt werden, bei welcher in einer ersten Stufe mit Hilfe der Zentrierelemente 500, 502 eine Vorabzentrierung und in einer zweiten Stufe mit Hilfe der Einführschrägen 600 des Steckerelements 522 und der Öffnungskante 602 des Steckerelements 204 eine Endzentrierung bei dem Einstecken der Steckerelemente 202, 204 erfolgen kann.
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Wenn die Gehäuseelemente 220, 232 in Einsteckrichtung E weiter zusammengeführt werden, verlässt der Führungsabschnitt 514 den Abschnitt 508 und bewegt sich direkt in den Abschnitt 510, der eine aufweitende Breite D3, insbesondere Durchmesser, hat. Die Breite D3 ist größer als die Breite D1 (siehe 5), sodass der Führungsabschnitt 514 nicht mehr geführt wird, wenn dieser den Abschnitt 508 verlässt. Zeitgleich beginnen die Steckerelemente 202, 204 ineinander einzugreifen, sodass mittels der Steckerelementen 202, 204 selbst eine Zentrierung erfolgt und eine weitere Führung durch den Abschnitt 508 nicht notwendig ist. Dies hat weiterhin den Vorteil, dass ein überbestimmtes System vermieden wird.
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7 zeigt im Unterschied zu 6, dass die Steckerelemente 202, 204 vollständig ineinander eingesteckt sind. Damit wird eine elektrische Verbindung zwischen den Steckerelementen 202, 204 ausgebildet.
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8 zeigt eine weitere Ausführungsform der Steckeranordnung 200 in eingestecktem Zustand der Steckerelemente 202, 204. Im Unterschied zu der Ausführungsform aus 5 bis 7 ist das Zentrierelement 500 direkt mit dem Steckerelement 202 verbunden, materialeinstückig mit diesem ausgebildet oder zumindest mit diesem in Berührung. Das Zentrierelement 500 ist in die Bewegungsrichtung B1 gesehen neben dem Steckerelement 500 angeordnet.
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Das Zentrierelement 500 umfasst einen Basisabschnitt 800, der mit dem Steckerelement 202 verbunden ist und an den sich der Führungsabschnitt 514 anschließt, der zylindrisch geformt ist und eine Spitze umfasst, die die Einführschrägen 516 ausbildet. Das Aufnahmeelement 504 ist als, insbesondere zylindrisch geformter, Hohlraum ausgebildet. Das Spiel S1 kann in diesem Ausführungsbeispiel beispielsweise größer sein als in dem Ausführungsbeispiel der 5. Beispielsweise kann dann auch vorgesehen sein, dass ein größerer Toleranzausgleich durch die Steckerelemente 202, 204 ausgeglichen werden kann. Dies hat den Vorteil, dass die Zentrierelemente 500, 502 vereinfacht werden können.
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9 zeigt eine weitere Ausführungsform der Steckeranordnung 200. Die Steckeranordnung umfasst das Steckerelement 202, das Steckerelement 204, einen Leiterplattenabschnitt 900 (vorliegend auch als ersten Leiterplattenabschnitt bezeichnet), auf welchem das Steckerelement 202 angebracht ist, und einen Leiterplattenabschnitt 902 (vorliegend auch als zweiter Leiterplattenabschnitt bezeichnet), in welchem der Leiterplattenabschnitt 900 senkrecht zu der Einsteckrichtung E beweglich angebracht ist, um einen Toleranzausgleich bei dem Zusammenstecken der Steckerelemente 202, 204 zu bewirken. Das Steckerelement 204 ist vorzugsweise mit der Leiterplatte 238 verbunden. Beispielsweise können mehrere Steckerelemente mit der Leiterplatte 238 verbunden sein. Insbesondere ist die Leiterplatte 238 wie die Leiterplattenabschnitte 900, 902 (also beweglich) ausgebildet.
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Beispielsweise ist der Leiterplattenabschnitt 902 in dem Gehäuseabschnitt 220 derart angebracht, dass sich dieser nicht bewegt, wenn die Steckerelemente 202, 204 zusammengesteckt werden. Der Leiterplattenabschnitt 902 kann mit dem Gehäuseabschnitt 232 verschraubt sein. Bei dem Zusammenstecken der Steckerelemente 202, 204 bewegt sich der Leiterplattenabschnitt 900 samt Steckerelement 202 in Bewegungsrichtung B1, B2 relativ zu dem Leiterplattenabschnitt 902 und dem Gehäuseabschnitt 220, um den Toleranzausgleich zu bewirken.
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Insbesondere sind der Leiterplattenabschnitt 900 und der Leiterplattenabschnitt 902 materialeinstückig miteinander ausgebildet. Vorzugsweise sind die Leiterplattenabschnitte mittels zumindest eines Federelements 904, 906 miteinander verbunden. Beispielsweise ist das Federelement 904, 906 als Festkörpergelenk 1000, 1002, 1004, 1006, 1008 (siehe 10) ausgebildet. Vorzugsweise bilden die Leiterplattenabschnitte 900, 902 eine Leiterplatte 908, die in zwei Leiterplattenabschnitte 900, 902 unterteilt ist. Der Leiterplattenabschnitt 902 umfasst die Leiterbahnen 212, die mit dem Steckerelement 202 elektrisch verbunden sind. Beispielsweise kann das Steckerelement 202 direkt mit den Leiterbahnen 212 kontaktiert sein.
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Alternativ kann das Steckerelement 202 mit Leiterbahnen (nicht gezeigt) des Leiterplattenabschnitts 900 kontaktiert sein, die wiederum mit den Leiterbahnen 212 elektrisch verbunden sind. Weiterhin kann vorgesehen sein, dass die Leiterbahnen 212 sich durch das Federelement 904, 906 in den Leiterplattenabschnitt 900 erstrecken und mit dem Steckerelement 202 kontaktiert werden. Weiterhin können für dieses Ausführungsbeispiel Zentrierelemente, wie für 4 bis 8 beschrieben vorgesehen sein.
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10 zeigt eine Aufsicht einer weiteren Ausführungsform der Leiterplatt 908. Die Leiterplatte 908 weist Materialschwächungen 1000 auf, die derart ausgebildet sind, dass zumindest ein Festkörpergelenk 1002, 1004, 1006, 1008, 1010 zwischen den Leiterplattenabschnitten 900, 902 ausgebildet ist. Beispielsweise können mehrere Festkörpergelenke 1002, 1004, 1006, 1008, 1010 als Federelemente 904, 906 ausgebildet sein. Diese sind vorzugsweise materialeinstückig mit den Leiterplattenabschnitten 900, 902 ausgebildet und bestehen insbesondere somit aus demselben Material.
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Die Materialschwächungen 1000 können beispielsweise mit Hilfe eines Trennverfahrens, insbesondere Laserns oder Fräsens, eingebracht werden. Vorzugsweise sind die Materialschwächungen 1000 als Spalte oder Aussparungen ausgebildet, die bevorzugt über eine gesamte Dicke der Leiterplattenabschnitte 900, 902 verlaufen. Beispielsweise sind Materialschwächungen 1012, 1014 derart in die Leiterplatte 908 eingebracht, dass ein Festkörpergelenk 1002 U-förmig geformt ist. Weiterhin kann ein weiteres U-förmiges Festköpergelenk 1004 gegenüberliegend zu dem Festkörpergelenk 1002 vorgesehen sein.
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Vorzugsweise sind zwei weitere U-förmige Festkörpergelenke 1006, 1008 spiegelsymmetrisch zu den Festkörpergelenken 1002, 1004 vorgesehen. Weiterhin sind beispielsweise Materialschwächungen 1016, 1018 derart vorgesehen, dass ein trapezförmiges Festkörpergelenk 1010 ausgebildet wird. Die Festkörpergelenke 1002, 1004, 1006, 1008, 1010 sind dazu eingerichtet, eine elastische Bewegung des Leiterplattenabschnitts 900 relativ zu dem Leiterplattenabschnitt 902 zuzulassen. Die Festkörpergelenke 1002, 1004, 1006, 1008, 1010 können beispielsweise auch L-förmig, bogenförmig, W-förmig oder I-Förmig ausgebildet sein.
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11 zeigt ein System 1100 für die Lithographieanlage 100A, 100B (siehe 1 und 2). Das System 1100 umfasst die Steckeranordnung 200 und den Aktuator 134, welcher mit dem Trägerabschnitt 210 oder dem Leiterplattenabschnitt 902 und dem Steckerelement 202 mittels einer Vielzahl von Leitungen 1104 elektrisch verbunden ist. Das Steckerelement 202 fungiert als elektronische Schnittstelle des Aktuators 134, die mit dem Steckerelement 204 verbindbar ist. Beispielsweise umfasst das System 1100 einen integrierten Schaltkreis 1102, welcher mit dem Steckerelement 204 mittels einer Vielzahl von Leitungen 1106 elektrischen verbunden ist.
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Vorzugsweise ist der Aktuator 134 mit dem Gehäuseelement 220 verschraubt. Das Steckerelement 204 fungiert als elektronische Schnittstelle des integrierten Schaltkreises 1102 zu dem Steckerelement 202. Der Schaltkreis kann einen Prozessor 1108 umfassen. Anstelle eines Aktuators 134, kann das System auch 2, 3, 4 oder mehr Aktuatoren umfassen, die mittels der Steckerelemente 202, 204, 406, 408, 410, 412 (siehe 4) mit dem Schaltkreis 1102 kontaktiert werden.
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12 zeigt im Unterschied zu 11, dass das System 1100 anstelle des Aktuators 134 Sensoren 136, 1200, 1202, die z.B. dazu eingerichtet sind, eine Lage eines Spielgels 110, 112, 114, 116, 118, M1, M2, M3, M4, M5, M6 der Lithographieanlage 100A, 100B zu erfassen. Es versteht sich, dass ein derartiges System 1100 eine Vielzahl von Steckerelementen, den Aktuator 134 aus 11 und die Sensoren 136, 1200, 1202 aus 12 kombiniert umfassen kann.
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Obwohl die vorliegende Erfindung anhand von Ausführungsbeispielen beschrieben wurde, ist sie vielfältig modifizierbar.
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Bezugszeichenliste
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- 100A
- EUV-Lithographieanlage
- 100B
- DUV-Lithographieanlage
- 102
- Strahlformungs- und Beleuchtungssystem
- 104
- Projektionssystem
- 106A
- EUV-Lichtquelle
- 106B
- DUV-Lichtquelle
- 108A
- EUV-Strahlung
- 108B
- DUV-Strahlung
- 110
- Spiegel
- 112
- Spiegel
- 114
- Spiegel
- 116
- Spiegel
- 118
- Spiegel
- 120
- Photomaske
- 122
- Spiegel
- 124
- Wafer
- 126
- optische Achse
- 128
- Linse
- 130
- Spiegel
- 132
- Medium
- 134
- Aktuator
- 136
- Sensor
- 200
- Steckeranordnung
- 202
- Steckerelement
- 204
- Steckerelement
- 206
- Stecker
- 208
- Buchse
- 210
- Trägerelement
- 212
- Leiterbahnen
- 214
- Material
- 216
- Leitung
- 218
- Aufnahme
- 220
- Gehäuseelement
- 222
- Seitenwand
- 224
- Seitenwand
- 226
- Seitenwand
- 228
- Seitenwand
- 230
- Boden
- 232
- Gehäuseelement
- 234
- Öffnung
- 236
- Oberseite
- 238
- Leiterplatte
- 300
- Wand
- 302
- Wand
- 400
- Trägerelement
- 402
- Trägerelement
- 404
- Trägerelement
- 406
- Steckerelement
- 408
- Steckerelement
- 410
- Steckerelement
- 412
- Steckerelement
- 414
- Aufnahme
- 500
- Zentrierelement
- 502
- Zentrierelement
- 504
- Aufnahmeelement
- 506
- Abschnitt
- 508
- Abschnitt
- 510
- Abschnitt
- 512
- Abschnitt
- 514
- Führungsabschnitt
- 516
- Einführschräge
- 518
- Teil
- 520
- Rohrabschnitt
- 522
- Pin
- 524
- Buchse
- 526
- Zentrierelement
- 528
- Zentrierelement
- 530
- Zentrierelement
- 600
- Einführschräge
- 602
- Öffnungskante
- 800
- Basisabschnitt
- 900
- Leiterplattenabschnitt
- 902
- Leiterplattenabschnitt
- 904
- Federelement
- 906
- Federelement
- 908
- Leiterplatte
- 1000
- Materialschwächung
- 1002
- Festkörpergelenk
- 1004
- Festkörpergelenk
- 1006
- Festkörpergelenk
- 1008
- Festkörpergelenk
- 1010
- Festkörpergelenk
- 1012
- Materialschwächung
- 1014
- Materialschwächung
- 1100
- System
- 1102
- Schaltkreis
- 1104
- Leitung
- 1106
- Leitung
- 1108
- Prozessor
- 1200
- Sensor
- 1202
- Sensor
- B1
- Bewegungsrichtung
- B2
- Bewegungsrichtung
- E
- Einsteckrichtung
- D
- Dicke
- D1
- Breite
- D2
- Breite
- D3
- Breite
- M1
- Spiegel
- M2
- Spiegel
- M3
- Spiegel
- M4
- Spiegel
- M5
- Spiegel
- M6
- Spiegel
- S
- Spalt
- S0
- Spiel
- S1
- Spiel
- Z
- Zentrierachse
