DE102019206811A1 - Power semiconductor component with power transistors arranged therein - Google Patents
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Abstract
Die vorliegende Erfindung betrifft ein Leistungshalbleiterbauelement (100), aufweisend zumindest zwei Leistungstransistoren (1, 2), umfassend einen ersten Leistungstransistor (1) und einen zweiten Leistungstransistor (2), wobei die Leistungstransistoren (1, 2) innerhalb eines Chipgehäuses (3) angeordnet sind, wobei die die Leistungstransistoren (1, 2) zu einer ersten Halbbrücke verschaltet sind, wobei ein erster schaltbarer Kontakt (11) des ersten Leistungstransistors (1) über einen in dem Chipgehäuse (3) angeordneten ersten Metallclip (4) mit einem zweiten schaltbaren Kontakt (22) des zweiten Leistungstransistors (2) verbunden ist, und wobei der erste Metallclip (4) einen oder mehrere plattenförmige Abschnitte aufweist.The present invention relates to a power semiconductor component (100) having at least two power transistors (1, 2), comprising a first power transistor (1) and a second power transistor (2), the power transistors (1, 2) being arranged within a chip housing (3) The power transistors (1, 2) are interconnected to form a first half-bridge, a first switchable contact (11) of the first power transistor (1) being connected to a second switchable contact via a first metal clip (4) arranged in the chip housing (3) Contact (22) of the second power transistor (2) is connected, and wherein the first metal clip (4) has one or more plate-shaped sections.
Description
Stand der TechnikState of the art
Die fortschreitende Miniaturisierung und Kostenreduktion auf Ebene elektronischer Steuergeräte erfordert kleinere und günstigere Leistungshalbleiterbauelemente. Dabei sind Leistungshalbleiterbauelemente insbesondere Power-MOSFETs. Darunter fallen Power-MOSFETs in Gehäusetypen, die mehr als einen Leistungshalbleiter in ein Gehäuse integrieren um zusätzliche Fläche auf dem Steuergerät einzusparen. Leistungshalbleiterbauelemente werden typischerweise auf Leiterplatten aufgelötet.The advancing miniaturization and cost reduction at the level of electronic control devices requires smaller and cheaper power semiconductor components. Power semiconductor components are, in particular, power MOSFETs. This includes power MOSFETs in housing types that integrate more than one power semiconductor in one housing in order to save additional space on the control unit. Power semiconductor components are typically soldered onto printed circuit boards.
In einem Anwendungsfall für Leistungshalbleiterbauelemente erfolgt ein Betrieb zweier Leistungshalbleiterbauelemente in einer Halbbrückenkonfiguration. Eine externe Verbindung der Lowside (Pulldown) und der Highside-Leistungshalbleiter bringt zwei wesentliche Nachteile mit sich. So benötigt eine externe Verbindung zwischen den Leistungshalbleitern weitere Fläche des elektronischen Steuergerätes. Zum anderen verschlechtern sich durch zusätzliche parasitäre elektrische Anteile die elektrischen Eigenschaften der Halbbrücke.In one application for power semiconductor components, two power semiconductor components are operated in a half-bridge configuration. An external connection of the low side (pulldown) and the high side power semiconductors has two major disadvantages. An external connection between the power semiconductors requires more space in the electronic control unit. On the other hand, the electrical properties of the half bridge deteriorate due to additional parasitic electrical components.
Offenbarung der ErfindungDisclosure of the invention
Das erfindungsgemäße Leistungshalbleiterbauelement umfasst zumindest zwei Leistungstransistoren, umfassend einen ersten Leistungstransistor und einen zweiten Leistungstransistor, wobei die Leistungstransistoren innerhalb eines Chipgehäuses angeordnet sind, wobei die Leistungstransistoren zu einer ersten Halbbrücke verschaltet sind. Dabei ist ein erster schaltbarer Kontakt des ersten Leistungstransistors über einen in dem Chipgehäuse angeordneten ersten Metallclip mit einem zweiten schaltbaren Kontakt des zweiten Leistungstransistors verbunden, wobei der erste Metallclip einen oder mehrere plattenförmige Abschnitte aufweist.The power semiconductor component according to the invention comprises at least two power transistors, comprising a first power transistor and a second power transistor, the power transistors being arranged within a chip housing, the power transistors being connected to form a first half-bridge. A first switchable contact of the first power transistor is connected to a second switchable contact of the second power transistor via a first metal clip arranged in the chip housing, the first metal clip having one or more plate-shaped sections.
Ein schaltbarer Kontakt eines Leistungstransistors ist dabei ein solcher Kontakt, über den ein Stromfluss durch den Leistungstransistor erfolgt, wenn dieser in einen leitenden Zustand geschaltet ist. Entsprechend findet über den schaltbaren Kontakt eines Leistungstransistors kein Stromfluss statt, wenn der Leistungstransistor in einen nichtleitenden Zustand geschaltet ist. Ein Leistungstransistor weist somit einen ersten schaltbaren Kontakt, einen zweiten schaltbaren Kontakt und einen Steuerkontakt auf. Der Leistungstransistor ist bevorzugt ein MOSFET-Transistor. Dabei ist der erste schaltbare Kontakt entweder ein Source-Kontakt oder ein Drain-Kontakt des Leistungstransistors. Entsprechend ist der zweite schaltbare Kontakt ebenfalls entweder ein Source-Kontakt oder ein Drain-Kontakt des Leistungstransistors. Der Steuerkontakt ist in diesem Fall ein Gate-Kontakt des Leistungstransistors.A switchable contact of a power transistor is such a contact via which a current flows through the power transistor when it is switched to a conductive state. Accordingly, there is no current flow via the switchable contact of a power transistor when the power transistor is switched to a non-conductive state. A power transistor thus has a first switchable contact, a second switchable contact and a control contact. The power transistor is preferably a MOSFET transistor. The first switchable contact is either a source contact or a drain contact of the power transistor. Correspondingly, the second switchable contact is likewise either a source contact or a drain contact of the power transistor. In this case, the control contact is a gate contact of the power transistor.
Das Chipgehäuse ist insbesondere eine Ummantelung der Leistungstransistoren, welche auch als sogenannte Mold bezeichnet wird. Die Anschlusskontakte des Leistungshalbleiterbauelements sind Kontakte, die zur Kontaktierung der in dem Chipgehäuse angeordneten Leistungstransistoren aus dem Chipgehäuse herausgeführt sind.The chip housing is in particular a casing for the power transistors, which is also referred to as a so-called mold. The connection contacts of the power semiconductor component are contacts that are led out of the chip housing for contacting the power transistors arranged in the chip housing.
Die Leistungstransistoren sind zu einer ersten Halbbrücke verschaltet. Sind die Leistungstransistoren als MOSFET-Transistoren ausgeführt, so bedeutet dies, dass zumindest ein Drain-Kontakt und ein Source-Kontakt unterschiedlicher Leistungstransistoren miteinander verbunden sind. Dies erfolgt über den ersten Metallclip. In dem Chipgehäuse sind somit zwei Leistungstransistoren angeordnet und es ist ferner innerhalb des Chipgehäuses der erste Metallclip angeordnet, welcher den ersten schaltbaren Kontakt des ersten Leistungstransistors mit dem zweiten schaltbaren Kontakt des zweiten Leistungstransistors verbindet. Der erste Metallclip ist bevorzugt vollständig innerhalb des Chipgehäuses angeordnet, also bevorzugt zusammen mit den beiden Leistungstransistoren vollständig ummantelt.The power transistors are connected to form a first half bridge. If the power transistors are designed as MOSFET transistors, this means that at least one drain contact and one source contact of different power transistors are connected to one another. This is done using the first metal clip. Two power transistors are thus arranged in the chip housing and the first metal clip is also arranged inside the chip housing, which connects the first switchable contact of the first power transistor to the second switchable contact of the second power transistor. The first metal clip is preferably arranged completely within the chip housing, that is to say is preferably completely encased together with the two power transistors.
Der erste Metallclip weist einen oder mehrere plattenförmige Abschnitte auf. Der Metallclip ist somit kein herkömmlicher Bonding-Draht. Plattenförmig ist dabei so zu verstehen, dass ein Leitungsquerschnitt des Metallclips sich in einer Breite weiter erstreckt als in einer Höhe des Leiterquerschnitts. Dabei ist der erste Metallclip bevorzugt ein vollständig plattenförmiges Element, weist also über den gesamten Bereich des ersten Metallclips, der für eine Stromführung vorgesehen ist, die plattenförmige Formgebung auf. Weist der Metallclip mehrere plattenförmige Abschnitte auf, so behält dieser trotzdem über seinen gesamten Längenverlauf den Leiterquerschnitt eines plattenförmigen Metallclips. Die einzelnen plattenförmigen Abschnitte bilden dabei unterschiedliche Abschnitte des Metallclips. So kann der Metallclip bspw. eine Stufe aufweisen oder aus Abschnitten zusammengesetzt sein, die eine unterschiedliche Dicke aufweisen. Dennoch sind dabei die einzelnen Abschnitte jeweils plattenförmig ausgeführt. Der Metallclip ist bevorzugt ein aus einem Kupferblech herausgetrenntes Leiterstück, in welches insbesondere auch mindestens eine Stufe, bevorzugt zwei Stufen, eingebracht ist.The first metal clip has one or more plate-shaped sections. The metal clip is therefore not a conventional bonding wire. In this case, plate-shaped is to be understood as meaning that a line cross section of the metal clip extends further in width than in the height of the conductor cross section. In this case, the first metal clip is preferably a completely plate-shaped element, that is to say it has the plate-shaped shape over the entire area of the first metal clip which is provided for conducting a current. If the metal clip has several plate-shaped sections, it nevertheless retains the conductor cross-section of a plate-shaped metal clip over its entire length. The individual plate-shaped sections form different sections of the metal clip. For example, the metal clip can have a step or be composed of sections that have different thicknesses. Nevertheless, the individual sections are each designed to be plate-shaped. The metal clip is preferably a conductor piece separated from a copper sheet, in which in particular at least one step, preferably two steps, is also introduced.
Das erfindungsgemäße Leistungshalbleiterbauelement weist den Vorteil auf, dass eine für externe Verbindungen benötigte weitere Fläche für elektronische Steuergeräte verringert wird, in denen das Leistungshalbleiterbauelement verwendet wird. Ferner werden parasitäre elektrische Anteile, welche die elektrischen Eigenschaften der Halbbrücke verschlechtern, verringert. So wird durch das erfindungsgemäße Leistungshalbleiterelement ein Flächenbedarf reduziert, wobei zugleich parasitäre resistive und induktive Streuanteile verringert werden. Gerade die induktiven Streuanteile nehmen mehr und mehr in der Applikation an Bedeutung zu, da die Minimierung des induktiven Streuanteils eine Verbesserung der elektromagnetischen Verträglichkeit (EMV) zur Folge hat.The power semiconductor component according to the invention has the advantage that a further area required for external connections is reduced for electronic control devices in which the power semiconductor component is used. Furthermore, parasitic electrical components that affect the electrical properties of the half-bridge worsen, decrease. Thus, the power semiconductor element according to the invention reduces a space requirement, with parasitic resistive and inductive stray components being reduced at the same time. The inductive leakage components in particular are becoming more and more important in the application, since the minimization of the inductive leakage component results in an improvement in electromagnetic compatibility (EMC).
Insbesondere ist das Leistungshalbleiterbauelement für den automotiven Einsatz ausgelegt.In particular, the power semiconductor component is designed for automotive use.
Die Unteransprüche zeigen bevorzugte Weiterbildungen der Erfindung.The subclaims show preferred developments of the invention.
Bevorzugt ist ein zweiter schaltbarer Kontakt des ersten Leistungstransistors mit einem ersten Anschlusskontakt des Leistungshalbleiterbauelements gekoppelt, der zweite schaltbare Kontakt des zweiten Leistungstransistors mit einem zweiten Anschlusskontakt des Leistungshalbleiterbauelements gekoppelt und ein erster schaltbarer Kontakt des zweiten Leistungstransistors mit einem dritten Anschlusskontakt des Leistungshalbleiterbauelements gekoppelt.A second switchable contact of the first power transistor is preferably coupled to a first connection contact of the power semiconductor component, the second switchable contact of the second power transistor is coupled to a second connection contact of the power semiconductor component, and a first switchable contact of the second power transistor is coupled to a third connection contact of the power semiconductor component.
Der erste Anschlusskontakt, der zweite Anschlusskontakt und der dritte Anschlusskontakt sind dabei unterschiedliche Anschlusskontakte. Ein Anschlusskontakt ist ein aus dem Chipgehäuse herausgeführter Leiter, welche eine Kontaktierung der in dem Chipgehäuse befindlichen Schaltung ermöglicht. Das Leistungshalbleiterbauelement umfasst dabei bevorzugt ausschließlich eine Schaltung, welche die Funktion einer Halbbrücke bereitstellt. Das bedeutet, dass das Leistungshalbleiterbauelement bevorzugt genau zwei Leistungstransistoren und keine weiteren Leistungstransistoren umfasst. Da gerade Halbbrücken häufig verwendete Bauelemente für elektronische Steuergeräte sind, können auf diese Weise in breitem Umfang Schaltungen durch das Leistungshalbleiterbauelement implementiert werden, welche besonders kompakt ausgeführt werden können. Gleichzeitig kann auch durch eine Kombination mehrerer baugleicher Leistungshalbleiterbauelemente eine flächensparende Verschaltung zu bspw. einer Vollbrücke erfolgen.The first connection contact, the second connection contact and the third connection contact are different connection contacts. A connection contact is a conductor that leads out of the chip housing and enables contact to be made with the circuit located in the chip housing. The power semiconductor component here preferably exclusively comprises a circuit which provides the function of a half bridge. This means that the power semiconductor component preferably comprises exactly two power transistors and no further power transistors. Since it is precisely half bridges that are frequently used components for electronic control devices, circuits that can be made particularly compact can be implemented in this way by the power semiconductor component. At the same time, a combination of several structurally identical power semiconductor components can be used to interconnect, for example, a full bridge, which saves space.
Bevorzugt sind der erste Anschlusskontakt und der zweite Anschlusskontakt Anschlusspads, die sich flächig über eine Unterseite des Chipgehäuses des Leistungshalbleiterbauelements erstrecken. Solche flächig über die Unterseite des Chipgehäuses verlaufende Anschlusspads werden auch als E-Pads bezeichnet. Diese sind insbesondere für ein SMD-Lötverfahren geeignet. Die Unterseite des Chipgehäuses ist dabei eine Seite des Chipgehäuses, welches dafür vorgesehen ist, bei einer Montage des Leistungshalbleiterbauelements auf einer Platine auf der Platine aufzuliegen. Über solche Anschlusspads kann ein hoher Strom fließen, wobei zugleich Wärme, welche die in dem Leistungshalbleiterbauelement entsteht, über das Anschlusspad abgeführt werden kann.The first connection contact and the second connection contact are preferably connection pads which extend flat over an underside of the chip housing of the power semiconductor component. Such connection pads running flat over the underside of the chip housing are also referred to as E-pads. These are particularly suitable for an SMD soldering process. The underside of the chip housing is one side of the chip housing which is provided to rest on the circuit board when the power semiconductor component is mounted on a circuit board. A high current can flow via such connection pads, and at the same time heat that is generated in the power semiconductor component can be dissipated via the connection pad.
Der erste Anschlusskontakt und der zweite Anschlusskontakt sind bevorzugt Komponenten eines Leadframes. So ist der erste Anschlusskontakt und der zweite Anschlusskontakt bevorzugt über ein zwischenliegendes Element mit dem jeweiligen schaltbaren Kontakt des jeweiligen Leistungstransistors verbunden. Dies ermöglicht eine besonders einfache Herstellung des Leistungshalbleiterbauelements und eine korrekte Anordnung des ersten Anschlusskontakts und des zweiten Anschlusskontakts gegenüber dem Chipgehäuse.The first connection contact and the second connection contact are preferably components of a leadframe. Thus, the first connection contact and the second connection contact are preferably connected to the respective switchable contact of the respective power transistor via an intermediate element. This enables a particularly simple production of the power semiconductor component and a correct arrangement of the first connection contact and the second connection contact with respect to the chip housing.
Auch ist es vorteilhaft, wenn der erste schaltbare Kontakt des ersten Leistungstransistors mit einem vierten Anschlusskontakt des Leistungshalbleiterbauelements gekoppelt ist. Damit ist der erste Schaltkontakt des ersten Leistungstransistors nicht nur über den ersten Metallclip mit dem zweiten schaltbaren Kontakt des zweiten Leistungstransistors verbunden, sondern ist ferner noch mit einem zugehörigen vierten Anschlusskontakt des Leistungshalbleiterbauelements gekoppelt. Bevorzugt ist dabei ein Leiterquerschnitt einer Verbindung zwischen dem ersten schaltbaren Kontakt des ersten Leistungstransistors mit dem vierten Anschlusskontakt des Leistungshalbleiterbauelements geringer gewählt als ein Leiterquerschnitt des ersten Metallclips zwischen dem ersten Schaltkontakt des ersten Leistungstransistors und dem zweiten schaltbaren Kontakt des zweiten Leistungstransistors. Es wird somit durch den vierten Anschlusskontakt eine zusätzliche Schnittstelle an dem Leistungshalbleiterbauelement bereitgestellt, durch welchen bspw. ein Messsignal mit einem geringen Stromfluss oder keinem Stromfluss abgegriffen werden kann. Der zweite Anschlusskontakt ist dabei bevorzugt für einen höheren Stromfluss ausgelegt als der vierte Anschlusskontakt des Leistungshalbleiterbauelements.It is also advantageous if the first switchable contact of the first power transistor is coupled to a fourth connection contact of the power semiconductor component. The first switching contact of the first power transistor is thus not only connected to the second switchable contact of the second power transistor via the first metal clip, but is also coupled to an associated fourth connection contact of the power semiconductor component. A conductor cross-section of a connection between the first switchable contact of the first power transistor and the fourth connection contact of the power semiconductor component is preferably selected to be smaller than a conductor cross-section of the first metal clip between the first switch contact of the first power transistor and the second switchable contact of the second power transistor. The fourth connection contact thus provides an additional interface on the power semiconductor component, by means of which, for example, a measurement signal with a low current flow or no current flow can be tapped. The second connection contact is preferably designed for a higher current flow than the fourth connection contact of the power semiconductor component.
Ferner ist es vorteilhaft, wenn der erste schaltbare Kontakt des ersten Leistungstransistors über einen zweiten Metallclip oder über den ersten Metallclip mit dem vierten Anschlusskontakt des Leistungshalbleiterbauelements gekoppelt ist. Somit kann sichergestellt werden, dass auch ein hoher Stromfluss über den vierten Anschlusskontakt geführt werden kann.It is also advantageous if the first switchable contact of the first power transistor is coupled to the fourth connection contact of the power semiconductor component via a second metal clip or via the first metal clip. It can thus be ensured that a high current flow can also be conducted via the fourth connection contact.
Bevorzugt sind die Leistungstransistoren mit Ausnahme der über den Metallclip bestehenden elektrisch leitfähigen Verbindung galvanisch voneinander entkoppelt. Auf diese Weise können parasitäre Effekte, die zu einer ungewollten Einflussnahme auf ein Schaltverhalten des Leistungshalbleiterbauelements nehmen könnten unterbunden werden.With the exception of the electrically conductive connection existing via the metal clip, the power transistors are preferably galvanically decoupled from one another. In this way, parasitic effects which could have an undesired influence on a switching behavior of the power semiconductor component can be suppressed.
Bevorzugt liegt der erste Metallclip flächig auf dem ersten schaltbaren Kontakt des ersten Leistungstransistors auf und ist mit diesen bevorzugt verlötet, und/oder der erste Metallclip liegt flächig auf dem zweiten schaltbaren Kontakt des zweiten Leistungstransistors oder einem mit dem zweiten schaltbaren Kontakt des zweiten Leistungstransistors zugehörigen Kontaktelement auf und ist bevorzugt mit diesem verlötet. Das Kontaktelement ist dabei insbesondere eine metallische Trägerplatte auf welcher der zweite Leistungstransistor aufliegt und welche in Kontakt mit dem ersten schaltbaren Kontakt des zweiten Leistungstransistors steht, da die metallische Trägerplatte insbesondere flächig auf dem ersten schaltbaren Kontakt des zweiten Leistungstransistors aufliegt. Es wird somit eine großflächige Verbindungsfläche zwischen dem Metallclip und dem jeweiligen Leistungstransistor geschaffen, wodurch ein auftretender Strom ohne große Wärmeentwicklung zwischen den einzelnen Komponenten des Leistungshalbleiterbauelements fließen kannPreferably, the first metal clip lies flat on the first switchable contact of the first power transistor and is preferably soldered to it, and / or the first metal clip lies flat on the second switchable contact of the second power transistor or a contact element associated with the second switchable contact of the second power transistor and is preferably soldered to this. The contact element is in particular a metallic carrier plate on which the second power transistor rests and which is in contact with the first switchable contact of the second power transistor, since the metallic carrier plate rests flat on the first switchable contact of the second power transistor. A large-area connecting surface is thus created between the metal clip and the respective power transistor, as a result of which a current that occurs can flow between the individual components of the power semiconductor component without generating a great deal of heat
Auch ist es vorteilhaft, wenn der erste Metallclip zumindest anteilig, insbesondere vollständig, aus Kupfer oder Silber besteht. Diese Materialien weisen besonders vorteilhafte thermische und elektrische Eigenschaften auf.It is also advantageous if the first metal clip consists at least partially, in particular completely, of copper or silver. These materials have particularly advantageous thermal and electrical properties.
Auch ist es vorteilhaft, wenn das Leistungshalbleiterbauelement zumindest vier Leistungstransistoren umfasst, die innerhalb des Chipgehäuses angeordnet sind, wobei die Leistungstransistoren zu einer Vollbrücke verschaltet sind, wobei ein dritter Leistungstransistor der Leistungstransistoren über einen dritten Metallclip mit einem schaltbaren Kontakt des ersten oder des zweiten Leistungstransistors verbunden ist. Der dritte Metallclip weist dabei bevorzugt die zuvor beschriebenen Eigenschaften des ersten Metallclips auf, weist also bevorzugt zumindest einen oder mehrere plattenförmige Abschnitte auf.It is also advantageous if the power semiconductor component comprises at least four power transistors which are arranged within the chip housing, the power transistors being connected to form a full bridge, a third power transistor of the power transistors being connected to a switchable contact of the first or second power transistor via a third metal clip is. The third metal clip preferably has the properties of the first metal clip described above, that is to say preferably has at least one or more plate-shaped sections.
Eine Platine, auf welcher zumindest ein erfindungsgemäßes Leistungshalbleiterbauelement angeordnet ist, weist alle Vorteile Leistungshalbleiterbauelements auf.A circuit board on which at least one power semiconductor component according to the invention is arranged has all the advantages of a power semiconductor component.
Ferner ist ein Set vorteilhaft, welches zwei erfindungsgemäße Leistungshalbleiterbauelemente aufweist, welche spiegelsymmetrisch zueinander aufgebaut sind.Furthermore, a set is advantageous which has two power semiconductor components according to the invention which are constructed mirror-symmetrically to one another.
FigurenlisteFigure list
Nachfolgend werden Ausführungsbeispiele der Erfindung unter Bezugnahme auf die begleitende Zeichnung im Detail beschrieben. In der Zeichnung ist:
-
1 eine Ansicht eines Leistungshalbleiterbauelements gemäß einer Ausführungsform der Erfindung, welches auf einer Platine angeordnet ist, -
2 eine Ansicht eines Leistungshalbleiterbauelements gemäß einer weiteren Ausführungsform der Erfindung, welches auf einer Platine angeordnet ist, -
3 eine schematische Anordnung zweier Leistungstransistoren in einem Chipgehäuse gemäß einer Ausführungsform der Erfindung, -
4 ein Leistungshalbleiterbauelement mit dem darin angeordneten ersten Metallclip gemäß einer ersten Ausführungsform der Erfindung, -
5 eine Darstellung eines Leistungshalbleiterbauelements mit dem darin angeordneten ersten Metallclip gemäß einer zweiten Ausführungsform der Erfindung, -
6 ein Leistungshalbleiterbauelement mit dem darin angeordneten ersten Metallclip gemäß einer dritten Ausführungsform der Erfindung, und -
7 ein Schaltbild des in den4 bis6 dargestellten Leistu ngshal bl eiterbauelements.
-
1 a view of a power semiconductor component according to an embodiment of the invention, which is arranged on a circuit board, -
2 a view of a power semiconductor component according to a further embodiment of the invention, which is arranged on a circuit board, -
3 a schematic arrangement of two power transistors in a chip housing according to an embodiment of the invention, -
4th a power semiconductor component with the first metal clip arranged therein according to a first embodiment of the invention, -
5 a representation of a power semiconductor component with the first metal clip arranged therein according to a second embodiment of the invention, -
6th a power semiconductor component with the first metal clip arranged therein according to a third embodiment of the invention, and -
7th a circuit diagram of the in the4th to6th power semiconductor component shown.
Ausführungsformen der ErfindungEmbodiments of the invention
So weist das Leistungshalbleiterbauelement
Die beiden Anschlusspads, also der erste und der zweite Anschlusskontakt
Bei der in
In
Der in
Der erste Leistungstransistor
Der zweite schaltbare Kontakt
Auf der dem zweiten schaltbaren Kontakt
Das dem ersten Leistungstransistors
Der zweite Leistungstransistor
Der zweite schaltbare Kontakt
Auf der dem zweiten schaltbaren Kontakt
Das dem zweiten Leistungstransistor
Die Leistungstransistoren
In alternativen Ausführungsformen ist der erste Metallclip
Bei der in
Der zweite schaltbare Kontakt
Zudem ist der erste schaltbare Kontakt
Ferner ist der Steuerkontakt
Bei der in
Es wird darauf hingewiesen, dass in
Die in
So ist ein Drain-Kontakt und somit ein zweiter schaltbarer Kontakt
Der Steuerkontakt
Es wird darauf hingewiesen, dass eine Verschaltung des ersten schaltbaren Kontakts
Der erste Anschlusskontakt
Der erste Leistungstransistor
Der erste Metallclip
Neben der obigen schriftlichen Offenbarung wird explizit auf die Offenbarung der
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---|---|---|---|
DE102019206811.1A DE102019206811A1 (en) | 2019-05-10 | 2019-05-10 | Power semiconductor component with power transistors arranged therein |
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DE102019206811.1A Pending DE102019206811A1 (en) | 2019-05-10 | 2019-05-10 | Power semiconductor component with power transistors arranged therein |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2024053420A1 (en) * | 2022-09-07 | 2024-03-14 | 株式会社デンソー | Semiconductor package |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US20020033541A1 (en) * | 2000-09-21 | 2002-03-21 | Shotaro Uchida | Semiconductor device manufacturing method and semiconductor device manufactured thereby |
US20120001308A1 (en) * | 2010-07-05 | 2012-01-05 | Denso Corporation | Semiconductor module and method of manufacturing the same |
US20190122965A1 (en) * | 2017-10-23 | 2019-04-25 | Nexperia B.V. | Semiconductor device and method of manufacture |
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2019
- 2019-05-10 DE DE102019206811.1A patent/DE102019206811A1/en active Pending
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US20020033541A1 (en) * | 2000-09-21 | 2002-03-21 | Shotaro Uchida | Semiconductor device manufacturing method and semiconductor device manufactured thereby |
US20120001308A1 (en) * | 2010-07-05 | 2012-01-05 | Denso Corporation | Semiconductor module and method of manufacturing the same |
US20190122965A1 (en) * | 2017-10-23 | 2019-04-25 | Nexperia B.V. | Semiconductor device and method of manufacture |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2024053420A1 (en) * | 2022-09-07 | 2024-03-14 | 株式会社デンソー | Semiconductor package |
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