DE102019110036A1 - Device and method for generating a powder conveyed in a fluid stream - Google Patents
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Abstract
Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zum Erzeugen eines Aerosols mit einem Vorratsbehälter (1) zur Bevorratung des Pulvers, einem um eine Drehachse (8) drehantreibbaren Dosierrad (2), das an seinem Rand in Radialauswärtsrichtung bezogen auf die Drehachse (8) offene Dosierausnehmungen (3) aufweist, welche bei einer Drehung des Dosierrades (2) um die Drehachse (8) in den Dosierausnehmungen (3) quantisierte Pulvermengen zu einer Austrittsstelle fördert, wo eine Düsenanordnung angeordnet ist, die den Fluidstrom erzeugt, der in die Dosierausnehmung (3) gerichtet ist. Die Austragsrichtung des Pulvers ist in Radialrichtung bezogen auf die Drehachse (8) von der Austragsstelle weggerichtet. Die Richtungen der aus sich gegenüberliegenden Düsen (5, 6) austretenden Gasströme besitzen eine Radialkomponente nach außen.The invention relates to a device for generating an aerosol with a storage container (1) for storing the powder, a metering wheel (2) which can be driven in rotation about an axis of rotation (8) and which has metering recesses (3) which are open at its edge in a radially outward direction in relation to the axis of rotation (8) ) which, when the metering wheel (2) rotates around the axis of rotation (8) in the metering recesses (3), conveys quantized amounts of powder to an exit point where a nozzle arrangement is arranged which generates the fluid flow that is directed into the metering recess (3) is. The discharge direction of the powder is directed away from the discharge point in the radial direction in relation to the axis of rotation (8). The directions of the gas streams exiting from opposite nozzles (5, 6) have a radial component towards the outside.
Description
Gebiet der TechnikField of technology
Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zum Erzeugen eines in einem Fluidstrom geförderten Pulvers, mit einem Vorratsbehälter zur Bevorratung des Pulvers, einem um eine Drehachse drehantreibbaren Dosierrad, das an seinem Rand in Radialauswärtsrichtung bezogen auf die Drehachse offene Dosierausnehmungen aufweist, welche bei einer Drehung des Dosierrades um die Drehachse in den Dosierausnehmungen quantisierte Pulvermengen zu einer Austrittsstelle fördert, wo eine Düsenanordnung mit mindestens einer Düse angeordnet ist, die den Fluidstrom erzeugt, der in die Dosierausnehmung gerichtet ist, und wo die Förderleitung entspringt.The invention relates to a device for generating a powder conveyed in a fluid stream, with a storage container for storing the powder, a metering wheel which can be driven in rotation about an axis of rotation and which has metering recesses which are open at its edge in a radially outward direction with respect to the axis of rotation, which when the metering wheel rotates the axis of rotation in the dosing recesses conveys quantized amounts of powder to an exit point where a nozzle arrangement with at least one nozzle is arranged, which generates the fluid flow that is directed into the dosing recess and where the feed line originates.
Die Erfindung betrifft darüber hinaus ein Verfahren zum Erzeugen eines in einem Fluidstrom geförderten Pulvers.The invention also relates to a method for producing a powder conveyed in a fluid stream.
Stand der TechnikState of the art
Eine Vorrichtung zur Erzeugung eines Aerosols mit einem Pulverdosierer ist aus der
Aus der
Eine gattungsgemäße Vorrichtung ist dazu vorgesehen, ein Aerosol aus einem organischen Pulver zu erzeugen. Das Pulver wird mit einem Inertgasstrom zu einem Verdampfer transportiert, wo das Pulver durch In-Kontakt-Bringen mit heißen Oberflächen in eine Dampfform gebracht wird. Durch beheizte Zuleitungen wird der so erzeugte Dampf mittels des Trägergases zu einem Gaseinlassorgan in einer Prozesskammer eines Beschichtungsreaktors gebracht. Durch Gasaustrittsöffnungen des beheizten Gaseinlassorgans tritt der Dampf in die Prozesskammer des Beschichtungsreaktors ein, um auf einer Oberfläche eines auf einem gekühlten Substrathalter aufliegenden Substrat zu kondensieren.A device of the generic type is intended to generate an aerosol from an organic powder. The powder is transported with a stream of inert gas to an evaporator where the powder is brought into a vapor form by being brought into contact with hot surfaces. The steam generated in this way is brought to a gas inlet element in a process chamber of a coating reactor by means of the carrier gas through heated feed lines. The steam enters the process chamber of the coating reactor through gas outlet openings of the heated gas inlet element in order to condense on a surface of a substrate resting on a cooled substrate holder.
In der Technologie werden hohe Anforderungen an die Gleichförmigkeit des vom Dosierer erzeugten Massenflusses des Aerosols gestellt.In technology, high demands are placed on the uniformity of the mass flow of the aerosol generated by the dispenser.
Zusammenfassung der ErfindungSummary of the invention
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine gattungsgemäße Vorrichtung zur Verwendung in der OLED-Fertigung gebrauchsvorteilhaft weiterzubilden.The invention is based on the object of developing a device of the generic type for use in OLED production in an advantageous manner.
Gelöst wird die Aufgabe durch die in den Ansprüchen angegebene Erfindung.The object is achieved by the invention specified in the claims.
Zunächst und im Wesentlichen wird vorgeschlagen, dass die Pulverquantitäten, wie beim Stand der Technik auch, mittels eines zahnradförmigen Dosierrades aus einem Vorratsbehälter hin zu einer Austragsstelle transportiert werden. Beim Drehen des Dosierrades durch den Pulvervorrat befüllen sich die Dosierausnehmungen mit quantisierten Pulvermengen. Hierzu bewegt sich das Dosierrad im Wesentlichen schaufelradartig um eine Horizontalachse durch den Pulvervorrat. Die Austragsstelle ist bevorzugt derart in einem unteren Bereich eines Gehäuses, in dem sich das Dosierrad dreht, angeordnet, dass die Förderleitung, die sich in Radialrichtung bezogen auf die Drehachse von der Austragsstelle weggerichtet ist, nach unten erstreckt. Erfindungsgemäß wird vorgeschlagen, dass die Richtung des aus mindestens einer Düse austretenden Gasstroms eine in Radialrichtung bezogen auf die Drehachse gerichtete Komponente aufweist, wobei die Komponente bezogen auf die Drehachse nach radial auswärts gerichtet ist, so dass der Fluidstrom eine Richtungskomponente besitzt, die das Aerosol in die Förderleitung fördert. In einer besonders bevorzugten Ausgestaltung der Erfindung wird vorgeschlagen, dass die Düsenanordnung zwei sich gegenüberliegende Düsen aufweist. Es ist bevorzugt vorgesehen, dass jede Düse einen Fluidstrom erzeugt, der eine radial auswärts gerichtete Komponente besitzt. Die beiden von den Düsen erzeugten Fluidströme besitzen bevorzugt axiale Komponenten, die einander entgegengerichtet sind. Beide Fluidströme können von voneinander verschiedenen Breitseiten des Dosierrades her gewissermaßen schräg in die Dosierausnehmung eintreten, um das darin geförderte Pulver vollständig aus der Dosierausnehmung heraus zu bringen. Es ist von besonderem Vorteil, wenn sich das Dosierrad um eine Horizontalachse dreht. Der Rand des Dosierrades, also die Köpfe der zahnradartigen Ausnehmung können dann auf einer Bodenfläche des Vorratsbehälters entlanggleiten. Die Schwerkraft beaufschlagt das Dosierrad in Richtung auf die Bodenfläche des Gehäuses. Hierdurch können Rundlauftoleranzen kompensiert werden. Es ist insbesondere von Vorteil, wenn die azimutale Weite der Dosierausnehmungen beziehungsweise die radiale Tiefe der Dosierausnehmungen größer ist, als die Materialstärke des Dosierrades. Die Materialstärke des Dosierrades im Bereich der Dosierausnehmungen kann bei 0,5 mm liegen. Ein bevorzugter Bereich der Materialstärke liegt zwischen 0,1 und 1 mm. Das Volumen der Dosierausnehmungen kann im Bereich von 0,01 mm3 liegen. Ein bevorzugter Bereich der Querschnittsfläche einer Dosieraussparung liegt im Bereich zwischen 0,002 mm3 und 0,05 m3. Bei den Flächen der Dosierausnehmungen kann es sich um Halbkreisflächen handeln. Über den gesamten Umfang des kreisscheibenförmigen Dosierrades sind in gleichmäßiger Winkelverteilung eine Vielzahl von Dosierausnehmungen angeordnet. Bei dem erfindungsgemäßen Verfahren wird das Dosierrad mit einer vorgegebenen Geschwindigkeit gedreht, wobei die Dosiermenge von der Drehzahl des Dosierrades abhängt. Die Dosierausnehmungen füllen sich mit Pulver, wenn sie durch den Pulvervorrat transportiert werden. Sie fördern schaufelradartig jeweils quantisierte Pulvermengen zur Austragsstelle, wo sie von den bevorzugt beiden Fluidströmen, bei denen es sich um Inertgasströme handeln kann, aus den Dosierausnehmungen heraustransportiert werden. Es bildet sich dabei ein Fluidstrom aus, der für zumindest eine kurze Strecke in Radialrichtung weg von der Drehachse des Dosierrades gerichtet ist und nachfolgend aber auch in ein quer dazu verlaufendes Förderrohr eintreten kann. Bevorzugt erstreckt sich in Radialrichtung der Beginn einer Förderleitung, die rohrförmig ist, mit der das Aerosol zu einem Verdampfer gefördert wird. In den Verdampfer werden die Aerosolpartikel verdampft. Der so erzeugte Dampf wird durch eine geheizte Dampfleitung zu einem Gaseinlassorgan in einen OLED-Reaktor gebracht, wo der Dampf aus dem beheizten Gaseinlassorgan austritt, um auf einem Substrat zu kondensieren, das auf einem gekühlten Substrathalter aufliegt.First and foremost, it is proposed that the powder quantities, as in the prior art, be transported from a storage container to a discharge point by means of a gear-shaped metering wheel. When the metering wheel is turned through the powder supply, the metering recesses are filled with quantized amounts of powder. For this purpose, the metering wheel moves essentially like a paddle wheel around a horizontal axis through the powder supply. The discharge point is preferably arranged in a lower region of a housing in which the metering wheel rotates that the delivery line, which is directed away from the discharge point in the radial direction with respect to the axis of rotation, extends downward. According to the invention it is proposed that the direction of the gas flow exiting from at least one nozzle has a component directed in the radial direction with respect to the axis of rotation, the component being directed radially outwards with respect to the axis of rotation, so that the fluid flow has a directional component that the aerosol in the delivery line promotes. In a particularly preferred embodiment of the invention it is proposed that the nozzle arrangement has two nozzles lying opposite one another. It is preferably provided that each nozzle generates a fluid flow which has a radially outwardly directed component. The two fluid flows generated by the nozzles preferably have axial components which are directed opposite one another. Both fluid flows can enter the dosing recess from broad sides of the dosing wheel that are different from one another, so to speak at an angle, in order to bring the powder conveyed therein completely out of the dosing recess. It is of particular advantage if the metering wheel rotates around a horizontal axis. The edge of the metering wheel, that is to say the heads of the gear-like recess, can then slide along a bottom surface of the storage container. Gravity acts on the metering wheel in the direction of the bottom surface of the housing. In this way, concentricity tolerances can be compensated. It is particularly advantageous if the azimuthal width of the metering recesses or the radial depth of the metering recesses is greater than the material thickness of the metering wheel. The material thickness of the metering wheel in the area of the metering recesses can be 0.5 mm. A preferred range of material thickness is between 0.1 and 1 mm. The volume of the metering recesses can be in the range of 0.01 mm 3 . A preferred area of the cross-sectional area of a metering recess is in the range between 0.002 mm 3 and 0.05 m 3 . The surfaces of the metering recesses can be semicircular surfaces. Over the entire circumference of the circular disk-shaped metering wheel, a large number of metering recesses are arranged in a uniform angular distribution. In the method according to the invention, the metering wheel is rotated at a predetermined speed, the metered amount depending on the speed of the metering wheel. The metering recesses fill with powder when they are transported through the powder supply. They convey quantized quantities of powder in each case like a paddle wheel to the discharge point, where they are transported out of the metering recesses by the preferably two fluid flows, which can be inert gas flows. In the process, a fluid flow is formed which is directed for at least a short distance in the radial direction away from the axis of rotation of the metering wheel and can subsequently also enter a conveyor pipe running transversely thereto. The beginning of a conveying line, which is tubular and with which the aerosol is conveyed to an evaporator, preferably extends in the radial direction. The aerosol particles are evaporated in the evaporator. The steam generated in this way is brought through a heated steam line to a gas inlet element in an OLED reactor, where the steam exits from the heated gas inlet element in order to condense on a substrate which rests on a cooled substrate holder.
FigurenlisteFigure list
Ausführungsbeispiele der Erfindung werden nachfolgend anhand beigefügter Zeichnungen erläutert. Es zeigen:
-
1 schematisch eine Pulverdosiervorrichtung, -
2 vergrößert den Ausschnitt II in1 , -
3 einen Schnitt gemäß der Schnittlinie III-III in1 , -
4 ein zweites Ausführungsbeispiel in einer Darstellung gemäß2 und -
5 den Schnitt gemäß der Linie V-V in4 .
-
1 schematically a powder dosing device, -
2 enlarges the section II in1 , -
3 a section along the section line III-III in1 , -
4th a second embodiment in a representation according to2 and -
5 the section along the line VV in4th .
Beschreibung der AusführungsformenDescription of the embodiments
Dosiervorrichtungen der in Rede stehenden Art werden bei der Herstellung von OLED-Displays verwendet. Bei der Herstellung werden in mehreren Schichten verschiedene organische Ausgangssubstanzen auf einem Substrat abgeschieden. Dies erfolgt mit Hilfe eines mittels eines Trägergases in eine Prozesskammer eines Reaktors eingespeisten Dampfes. Das organische Material wird in Pulverform bevorratet und als Aerosol zu einem Verdampfer transportiert. Der Verdampfer besitzt beheizte Verdampfungsflächen, an denen die Aerosolpartikel verdampfen. Der so erzeugte Dampf wird dann mit dem Fluid des Aerosols weiter durch beheizte Leitungen zu einem Beschichtungsreaktor gebracht. Der Beschichtungsreaktor besitzt ein Gaseinlassorgan, beispielsweise in Form eines Showerheads. Dieser ist beheizt. Durch Gasaustrittsöffnungen des Showerheads gelangt der Dampf in eine Prozesskammer. Auf einem gekühlten Substrathalter liegt das Substrat, auf dem der Dampf kondensieren kann.Dosing devices of the type in question are used in the production of OLED displays. During production, various organic starting substances are deposited on a substrate in several layers. This takes place with the aid of a steam fed into a process chamber of a reactor by means of a carrier gas. The organic material is stored in powder form and transported as an aerosol to an evaporator. The evaporator has heated evaporation surfaces on which the aerosol particles evaporate. The vapor generated in this way is then carried along with the fluid of the aerosol through heated lines to a coating reactor. The coating reactor has a gas inlet element, for example in the form of a showerhead. This is heated. The steam enters a process chamber through the showerhead's gas outlet openings. The substrate on which the vapor can condense lies on a cooled substrate holder.
Für eine gleichmäßige Beschichtung ist ein gleichbleibender Massenfluss des Aerosols wünschenswert. Um einen derartigen zeitlich gleichbleibenden Aerosolfluss zu erzeugen, wird eine Dosiervorrichtung benötigt, mit der ohne größere zeitliche Schwankungen ein gleichmäßiger Pulverfluss in einen Trägergasstrom gebracht werden kann.A constant mass flow of the aerosol is desirable for a uniform coating. In order to generate such an aerosol flow that is constant over time, a metering device is required with which a uniform powder flow can be brought into a carrier gas flow without major fluctuations over time.
Die in den Ausführungsbeispielen beschriebene Dosiervorrichtung kann diesen Anforderungen genügen. Die in den Zeichnungen dargestellten Vorrichtungen besitzen einen Vorratsbehälter
Entlang des Randes des Dosierrades
Ein Teil des Randes des Dosierrades
Unmittelbar angrenzend an die Austragsstelle
Im Bereich der Austragsstelle
Aus den
Das Dosierrad
Hinsichtlich der Dimensionierung des Dosierrades
Bei dem in den
Bei dem in den
Die vorstehenden Ausführungen dienen der Erläuterung der von der Anmeldung insgesamt erfassten Erfindungen, die den Stand der Technik zumindest durch die folgenden Merkmalskombinationen jeweils auch eigenständig weiterbilden, wobei zwei, mehrere oder alle dieser Merkmalskombinationen auch kombiniert sein können, nämlich:The above explanations serve to explain the inventions covered by the application as a whole, which at least further develop the state of the art at least through the following combinations of features, whereby two, more or all of these combinations of features can also be combined, namely:
Eine Vorrichtung, die dadurch gekennzeichnet ist, dass die Austragsrichtung des Pulvers in Radialrichtung bezogen auf die Drehachse
Eine Vorrichtung, die dadurch gekennzeichnet ist, dass eine an der Austragsstelle entspringende Förderleitung
Eine Vorrichtung, die dadurch gekennzeichnet ist, dass die Düsenanordnung zwei Düsen
Eine Vorrichtung, die dadurch gekennzeichnet ist, dass die Drehachse
Eine Vorrichtung, die dadurch gekennzeichnet ist, dass die azimutale Weite jeder Dosierausnehmung
Ein Verfahren, das dadurch gekennzeichnet ist, dass an der Austragsstelle zumindest ein Fluidstrom in die Dosierausnehmung
Ein Verfahren, das dadurch gekennzeichnet ist, dass der mindestens eine Fluidstrom die quantisierte Pulvermenge in Radialrichtung bezogen auf die Drehachse
Alle offenbarten Merkmale sind (für sich, aber auch in Kombination untereinander) erfindungswesentlich. In die Offenbarung der Anmeldung wird hiermit auch der Offenbarungsinhalt der zugehörigen/beigefügten Prioritätsunterlagen (Abschrift der Voranmeldung) vollinhaltlich mit einbezogen, auch zu dem Zweck, Merkmale dieser Unterlagen in Ansprüche vorliegender Anmeldung mit aufzunehmen. Die Unteransprüche charakterisieren, auch ohne die Merkmale eines in Bezug genommenen Anspruchs, mit ihren Merkmalen eigenständige erfinderische Weiterbildungen des Standes der Technik, insbesondere um auf Basis dieser Ansprüche Teilanmeldungen vorzunehmen. Die in jedem Anspruch angegebene Erfindung kann zusätzlich ein oder mehrere der in der vorstehenden Beschreibung, insbesondere mit Bezugsziffern versehene und/oder in der Bezugsziffernliste angegebene Merkmale aufweisen. Die Erfindung betrifft auch Gestaltungsformen, bei denen einzelne der in der vorstehenden Beschreibung genannten Merkmale nicht verwirklicht sind, insbesondere soweit sie erkennbar für den jeweiligen Verwendungszweck entbehrlich sind oder durch andere technisch gleichwirkende Mittel ersetzt werden können.All of the features disclosed are essential to the invention (individually, but also in combination with one another). The disclosure of the application hereby also fully includes the disclosure content of the associated / attached priority documents (copy of the previous application), also for the purpose of including features of these documents in the claims of the present application. The subclaims characterize, even without the features of a referenced claim, with their features independent inventive developments of the prior art, in particular in order to make divisional applications on the basis of these claims. The invention specified in each claim can additionally have one or more of the features provided in the above description, in particular provided with reference numbers and / or specified in the list of reference numbers. The invention also relates to design forms in which some of the features mentioned in the above description are not implemented, in particular if they are recognizable for the respective purpose or can be replaced by other technically equivalent means.
BezugszeichenlisteList of reference symbols
- 11
- VorratsbehälterStorage container
- 22
- DosierradDosing wheel
- 2'2 '
- BreitseiteBroadside
- 33
- DosierausnehmungDosing recess
- 44th
- PulvervorratPowder supply
- 55
- Düsejet
- 66th
- Düsejet
- 77th
- AerosolAerosol
- 88th
- DrehachseAxis of rotation
- 99
- Wandwall
- 9'9 '
- BodenflächeFloor area
- 1010
- FörderleitungDelivery line
- 1111
- AustragsstelleDischarge point
ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNGQUOTES INCLUDED IN THE DESCRIPTION
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Zitierte PatentliteraturPatent literature cited
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Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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WO2022053319A1 (en) | 2020-09-11 | 2022-03-17 | Apeva Se | Method for generating a temporally constant vapour flow, and method for setting an operating point of a device for generating vapour |
DE102020123764A1 (en) | 2020-09-11 | 2022-03-17 | Apeva Se | Method for generating a time-constant vapor flow and method for adjusting an operating point of a device for generating a vapor |
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Publication number | Publication date |
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WO2020212319A1 (en) | 2020-10-22 |
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