DE102019101954A1

DE102019101954A1 - Flexible mechanism

Info

Publication number: DE102019101954A1
Application number: DE102019101954.0A
Authority: DE
Inventors: Chun-Hsiang Li; Chih-Kai FAN; Yu-Jung Chang
Original assignee: Hiwin Mikrosystem Corp
Current assignee: Hiwin Mikrosystem Corp
Priority date: 2019-01-27
Filing date: 2019-01-27
Publication date: 2020-07-30

Abstract

Ein flexibler Mechanismus umfasst Folgendes: eine Basis; eine Plattform, die von der Basis getrennt angeordnet ist; und mehrere flexible Einheiten, die zwischen der Basis und der Plattform überbrückend angeordnet sind und jeweils einen auf der Basis befestigten ersten Körper, einen mit der Plattform verbundenen und vom jeweiligen ersten Körper getrennt angeordneten zweiten Körper und einen dritten Körper, der über einen ersten flexiblen Abschnitt und einen zweiten flexiblen Abschnitt jeweils mit dem jeweiligen ersten Körper und dem jeweiligen zweiten Körper verbunden ist, aufweisen, wobei der jeweilige erste flexible Abschnitt und der jeweilige zweite flexible Abschnitt in unterschiedlichen Richtungen eine Flexibilität aufweisen.A flexible mechanism includes: a base; a platform that is separate from the base; and a plurality of flexible units which are bridged between the base and the platform and each have a first body fastened to the base, a second body connected to the platform and arranged separately from the respective first body, and a third body which has a first flexible section and a second flexible section is respectively connected to the respective first body and the respective second body, wherein the respective first flexible section and the respective second flexible section have flexibility in different directions.

Description

Gebiet der ErfindungField of the Invention

Die vorliegende Erfindung betrifft eine Bewegungsplattform und insbesondere einen flexiblen Mechanismus, der für Präzisionspositionierplattformen mit kurzem Hub verwendet werden kann, um die Bewegungsgenauigkeit zu verbessern und die Reaktionsgeschwindigkeit zu erhöhen.The present invention relates to a motion platform, and more particularly, to a flexible mechanism that can be used for short-stroke precision positioning platforms to improve motion accuracy and increase response speed.

Stand der TechnikState of the art

Mit der Entwicklung der Halbleitertechnologie im Nanometerbereich sind für die Halbleiterhersteller Geräte mit hoher Präzision und hoher Reaktionsgeschwindigkeit das Ziel kontinuierlicher technologischer Forschung und Entwicklung geworden. Zwar kann eine Bewegungsplattform, die weit verbreitet als Bestandteil der Erfassungseinheit eingesetzt wird, eine hohe Bewegungsgeschwindigkeit bieten, allerdings bereitet es aufgrund der Trägheit Schwierigkeiten, ein sich bewegendes Objekt in einer sehr kurzen Zeit in einer genauen Position anzuhalten. In der Regel gilt: Je höher die Bewegungsgeschwindigkeit eines Gegenstands ist, desto stärker ist die Schwankung, bevor er vollständig zum Anhalten gebracht wird, und desto länger ist die erforderliche Einschwingzeit, sodass es nicht einfach ist, ihn schnell an einer genauen Position zu positionieren.With the development of semiconductor technology in the nanometer range, devices with high precision and high reaction speed have become the goal of continuous technological research and development for semiconductor manufacturers. Although a movement platform, which is widely used as a component of the detection unit, can offer a high movement speed, inertia makes it difficult to stop a moving object in a precise position in a very short time. As a rule, the higher the speed of movement of an object, the greater the fluctuation before it is brought to a complete stop, and the longer the required settling time, so that it is not easy to position it quickly in an exact position.

Um das durch Trägheit verursachte Problem des schwierigen Einschwingens der Bewegungsobjekte zu lösen, werden im Stand der Technik die nach der Verschiebung erzeugten Bewegungsfehler durch einen flexiblen Mechanismus kompensiert, um die Einschwingzeit zu verkürzen und die Präzision zu erhöhen. Durch diese herkömmliche Technik kann ein Ausgleich für die Bewegungspositionsfehler von Bewegungsobjekten bereitgestellt werden. Um jedoch die Genauigkeit des flexiblen Mechanismus sicherzustellen, sind alle Komponenten des herkömmlichen flexiblen Mechanismus zur Bereitstellung von Flexibilität einstückig ausgebildet, wodurch die Herstellung des herkömmlichen flexiblen Mechanismus erschwert wird. Wenn eine elastische Ermüdung an einer lokalen Stelle auftritt und eine Wartung erforderlich wird, kann beim herkömmlichen flexiblen Mechanismus aufgrund seines einstückigen Aufbaus nur der gesamte Mechanismus entfernt und ersetzt werden, sodass Ressourcen nicht effektiv genutzt werden können.In order to solve the problem of the difficult movement of the moving objects caused by inertia, the movement errors generated after the displacement are compensated in the prior art by a flexible mechanism in order to shorten the settling time and to increase the precision. This conventional technique can provide compensation for the movement position errors of moving objects. However, in order to ensure the accuracy of the flexible mechanism, all components of the conventional flexible mechanism for providing flexibility are integrally formed, making the conventional flexible mechanism difficult to manufacture. In the conventional flexible mechanism, when elastic fatigue occurs at a local site and maintenance is required, only the entire mechanism can be removed and replaced due to its one-piece construction, so that resources cannot be used effectively.

Aufgabe der ErfindungObject of the invention

Es ist die Hauptaufgabe der vorliegenden Erfindung, einen flexiblen Mechanismus bereitzustellen, der aus mehreren trennbaren separaten flexiblen Einheiten besteht und leicht hergestellt, zusammengebaut und repariert werden kann.It is the main object of the present invention to provide a flexible mechanism which consists of several separable separate flexible units and which can be easily manufactured, assembled and repaired.

Zur Lösung der oben genannten Aufgaben stellt die vorliegende Erfindung einen flexiblen Mechanismus bereit, umfassend: eine Basis; eine Plattform, die von der Basis getrennt angeordnet ist; und mehrere flexible Einheiten, die zwischen der Basis und der Plattform überbrückend angeordnet sind und jeweils einen auf der Basis befestigten ersten Körper, einen mit der Plattform verbundenen und vom jeweiligen ersten Körper getrennt angeordneten zweiten Körper und einen dritten Körper, der über einen ersten flexiblen Abschnitt und einen zweiten flexiblen Abschnitt jeweils mit dem jeweiligen ersten Körper und dem jeweiligen zweiten Körper verbunden ist, aufweisen, wobei der jeweilige erste flexible Abschnitt und der jeweilige zweite flexible Abschnitt in unterschiedlichen Richtungen eine Flexibilität aufweisen.To achieve the above objects, the present invention provides a flexible mechanism comprising: a base; a platform that is separate from the base; and a plurality of flexible units which are bridged between the base and the platform and each have a first body fastened to the base, a second body connected to the platform and arranged separately from the respective first body, and a third body which has a first flexible section and a second flexible section is respectively connected to the respective first body and the respective second body, wherein the respective first flexible section and the respective second flexible section have flexibility in different directions.

Hierbei weist der jeweilige dritte Körper eine Öffnung auf, wobei sich der jeweilige erste flexible Abschnitt in der Öffnung des jeweiligen dritten Körpers befindet; wobei der jeweilige erste flexible Abschnitt ein erstes Verbindungselement, ein erstes flexibles Element und zwei zweite flexible Elemente aufweist, wobei das jeweilige erste flexible Element zwischen dem jeweiligen ersten Verbindungselement und dem jeweiligen zweiten Körper überbrückend angeordnet ist, wobei das jeweilige zweite flexible Element jeweils zwischen der inneren Wandfläche der Öffnung des jeweiligen dritten Körpers und dem jeweiligen ersten Verbindungselement überbrückend angeordnet ist.Here, the respective third body has an opening, the respective first flexible section being located in the opening of the respective third body; wherein the respective first flexible section has a first connecting element, a first flexible element and two second flexible elements, the respective first flexible element being arranged bridging between the respective first connecting element and the respective second body, the respective second flexible element in each case between the inner wall surface of the opening of the respective third body and the respective first connecting element is arranged bridging.

Hierbei weist der jeweilige erste Körper eine Öffnung auf, wobei sich der jeweilige erste flexible Abschnitt in der Öffnung des jeweiligen ersten Körpers befindet; wobei der jeweilige zweite flexible Abschnitt ein zweites Verbindungselement, ein drittes flexibles Element und zwei vierte flexible Elemente aufweist, wobei das jeweilige dritte flexible Element zwischen dem jeweiligen zweiten Verbindungselement und der äußeren Wandfläche des jeweiligen dritten Körpers überbrückend angeordnet ist, wobei das jeweilige vierte flexible Element jeweils zwischen der inneren Wandfläche der Öffnung des jeweiligen ersten Körpers und dem jeweiligen zweiten Verbindungselement überbrückend angeordnet ist.The respective first body has an opening, the respective first flexible section being located in the opening of the respective first body; wherein the respective second flexible section comprises a second connecting element, a third flexible element and two fourth flexible elements, wherein the respective third flexible element is arranged bridging between the respective second connecting element and the outer wall surface of the respective third body, wherein the respective fourth flexible element is arranged between the inner wall surface of the opening of the respective first body and the respective second connecting element.

Hierbei können die relative Position, Anzahl, Form oder Konfiguration der ersten Körper, der zweiten Körper, der dritten Körper, der ersten flexiblen Abschnitte und der zweiten flexiblen Abschnitte entsprechend der tatsächlichen Situation variiert werden und sind nicht auf den oben beschriebenen Inhalt beschränkt.Here, the relative position, number, shape or configuration of the first bodies, the second bodies, the third bodies, the first flexible sections and the second flexible sections can be varied according to the actual situation and are not limited to the content described above.

FigurenlisteFigure list

Die zur Erläuterung der Ausführungsbeispiele verwendeten Zeichnungen zeigen:

1 eine perspektivische Ansicht eines ersten Ausführungsbeispiels gemäß der vorliegenden Erfindung;
2 eine perspektivische Explosionsansicht des ersten Ausführungsbeispiels gemäß der vorliegenden Erfindung;
3 eine schematische perspektivische Ansicht der flexiblen Einheiten des ersten Ausführungsbeispiels gemäß 2;
4 eine weitere schematische perspektivische Ansicht des ersten Ausführungsbeispiels gemäß 3;
5 eine Draufsicht des ersten Ausführungsbeispiels gemäß der vorliegenden Erfindung;
6 eine Querschnittansicht des ersten Ausführungsbeispiels entlang der Schnittlinie 6-6 gemäß 5;
7 eine Querschnittansicht des ersten Ausführungsbeispiels entlang der Schnittlinie 7-7 gemäß 5;
8 eine perspektivische Explosionsansicht eines zweiten Ausführungsbeispiels gemäß der vorliegenden Erfindung.

The drawings used to explain the exemplary embodiments show:

1 a perspective view of a first embodiment according to the present invention;
2nd an exploded perspective view of the first embodiment according to the present invention;
3rd is a schematic perspective view of the flexible units of the first embodiment 2nd ;
4th another schematic perspective view of the first embodiment according to 3rd ;
5 a plan view of the first embodiment according to the present invention;
6 a cross-sectional view of the first embodiment along the section line 6-6 according to 5 ;
7 a cross-sectional view of the first embodiment along the section line 7-7 according to 5 ;
8th an exploded perspective view of a second embodiment according to the present invention.

Detaillierte Beschreibung der AusführungsbeispieleDetailed description of the exemplary embodiments

Es wird auf die 1 bis 7 Bezug genommen. Der im ersten Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung bereitgestellte flexible Mechanismus umfasst: eine Basis 10; eine Plattform 20, die von der Basis 10 getrennt angeordnet ist; und mehrere flexible Einheiten 30, die zwischen der Basis 10 und der Plattform 20 überbrückend angeordnet sind. Bei dem vorliegenden Ausführungsbeispiel beträgt die Anzahl der flexiblen Einheiten 30 vier, wobei diese modular ausgestaltet sind und somit mit der Basis 10 und der Plattform 20 zu einem einteiligen Aufbau kombiniert werden können, wobei alle flexiblen Einheiten 30 unabhängig voneinander ausgetauscht werden können. Wenn bei einer bestimmten flexiblen Einheit 30 eine Ermüdung auftritt oder diese beschädigt wird, braucht das Wartungspersonal nur diese flexible Einheit 30 und nicht den gesamten flexiblen Mechanismus zu ersetzen, wodurch die Wartungskosten des flexiblen Mechanismus erheblich reduziert werden und gleichzeitig der Komfort bei der Wartung und Einstellung erhöht wird.It is on the 1 to 7 Referred. The flexible mechanism provided in the first embodiment of the present invention includes: a base 10th ; a platform 20 that from the base 10th is arranged separately; and several flexible units 30th that between the base 10th and the platform 20 are arranged bridging. In the present embodiment, the number of flexible units is 30th four, these are modular and thus with the base 10th and the platform 20 can be combined into a one-piece structure, with all flexible units 30th can be replaced independently. If with a certain flexible unit 30th if fatigue occurs or is damaged, maintenance personnel only need this flexible unit 30th and not to replace the entire flexible mechanism, which significantly reduces the maintenance cost of the flexible mechanism while increasing convenience in maintenance and adjustment.

Jede flexible Einheit 30 umfasst jeweils einen ersten Körper 31, der auf der Basis 10 befestigt ist; einen zweiten Körper 32, der mit der Plattform 20 verbunden und vom jeweiligen ersten Körper 31 getrennt angeordnet ist; zwei dritte Körper 33, die jeweils zwischen dem jeweiligen ersten Körper 31 und dem jeweiligen zweiten Körper 32 getrennt angeordnet sind; zwei erste flexible Abschnitte 34, die jeweils mit dem jeweiligen dritten Körper 33 und dem jeweiligen zweiten Körper 32 verbunden sind; und zwei zweite flexible Abschnitte 35, die jeweils mit dem jeweiligen dritten Körper 33 und dem jeweiligen ersten Körper 31 verbunden sind. Hierbei kann gemäß der Anordnungsposition und Richtung der ersten flexiblen Abschnitte 34 und der zweiten flexiblen Abschnitte 35 in unterschiedlichen Richtungen (z. B. in X-Achsenrichtung A1 und in Y-Achsenrichtung A2) eine Flexibilität erreicht werden, um die Bewegungsrichtung der Plattform 20 zu beschränken. Speziell in diesem Beispiel stellt jeder der mit dem jeweiligen zweiten Körper 32 verbundenen ersten flexiblen Abschnitte 34 jeweils in Richtung A1 und in Richtung A2 in unterschiedlichen Richtungen eine Flexibilität bereit und jeder der mit dem jeweiligen ersten Körper 31 verbundenen zweiten flexiblen Abschnitte 35 stellt jeweils in Richtung A1 und in Richtung A2 in unterschiedlichen Richtungen eine Flexibilität bereit, wodurch zwischen dem jeweiligen dritten Körper 33, dem jeweiligen ersten Körper 31 und dem jeweiligen zweiten Körper 32 jeweils die Flexibilität in zwei unterschiedlichen Richtungen erreicht werden kann. Im Hinblick auf den räumlichen Zustand der Verbindung der Komponenten weist der jeweilige erste Körper 31 zwei Öffnungen 311 auf, um jeweils den jeweiligen zweiten flexiblen Abschnitt 35, der in unterschiedlichen Richtungen eine Flexibilität aufweist, aufzunehmen, wobei der jeweilige dritte Körper 33 jeweils eine Öffnung 333 aufweist, um jeweils den jeweiligen ersten flexiblen Abschnitt 34, der in unterschiedlichen Richtungen eine Flexibilität aufweist, aufzunehmen.Any flexible unit 30th each comprises a first body 31 that's based 10th is attached; a second body 32 who with the platform 20 connected and from the respective first body 31 is arranged separately; two third bodies 33 , each between the respective first body 31 and the respective second body 32 are arranged separately; two first flexible sections 34 , each with the respective third body 33 and the respective second body 32 are connected; and two second flexible sections 35 , each with the respective third body 33 and the respective first body 31 are connected. Here, according to the arrangement position and direction of the first flexible sections 34 and the second flexible sections 35 Flexibility can be achieved in different directions (e.g. in the X-axis direction A1 and in the Y-axis direction A2) to the direction of movement of the platform 20 to restrict. Specifically in this example, each represents the one with the respective second body 32 connected first flexible sections 34 flexibility in each direction A1 and A2 in different directions and each one with the respective first body 31 connected second flexible sections 35 Provides flexibility in both directions A1 and A2 in different directions, which means between the respective third body 33 , the respective first body 31 and the respective second body 32 flexibility can be achieved in two different directions. With regard to the spatial state of the connection of the components, the respective first body 31 two openings 311 to the respective second flexible section 35 , which has flexibility in different directions, with the respective third body 33 one opening each 333 comprises in each case the respective first flexible section 34 , which has flexibility in different directions.

Alle zweiten Körper 32 weisen jeweils einen bogenförmigen Block 321 und eine Nut 322, die zurückgesetzt auf der konkaven Bogenseite des jeweiligen bogenförmigen Blocks 321 vorgesehen ist, auf, wobei alle zweiten Körper 32 und Nuten 322 nacheinander in Reihe angeordnet und ringförmig ausgebildet sind. Die Plattform 20 weist einen zwischen den zweiten Körpern 32 befindlichen Plattformkörper 21 auf, wobei Rastteile 22 hervorstehend am Plattformkörper 21 vorgesehen sind und mit den ringförmig in Reihe angeordneten Nuten 322 in Eingriff stehen, wobei die Form der inneren und der äußeren Ringfläche der Rastteile 22 und die Form der Nutwand auf zwei Seiten der Nuten 322 zueinander passend gestaltet sind und Formen aufweisen, die ein Hineindrücken und Herausziehen gestatten.Every second body 32 each have an arcuate block 321 and a groove 322 that reset on the concave arc side of each arcuate block 321 is provided on, with every second body 32 and grooves 322 successively arranged in a row and are annular. The platform 20 has one between the second bodies 32 located platform body 21 on, with locking parts 22 protruding from the platform body 21 are provided and with the annularly arranged grooves 322 are engaged, the shape of the inner and outer annular surface of the locking parts 22 and the shape of the groove wall on two sides of the grooves 322 are designed to match each other and have shapes that allow pushing in and pulling out.

Der jeweilige erste flexible Abschnitt 34 weist ein erstes Verbindungselement 341, zwei erste flexible Elemente 342 und zwei zweite flexible Elemente 343 auf, wobei das jeweilige erste flexible Element 342 zwischen dem jeweiligen ersten Verbindungselement 341 und dem jeweiligen zweiten Körper 32 überbrückend angeordnet ist, wobei das jeweilige zweite flexible Element 343 jeweils zwischen der inneren Wandfläche der Öffnung 333 des jeweiligen dritten Körpers 33 und dem jeweiligen ersten Verbindungselement 341 überbrückend angeordnet ist. Im Einzelnen sind die beiden ersten flexiblen Elemente 342 des jeweiligen ersten flexiblen Abschnitts 34 parallel zu den zweiten flexiblen Elementen 343 in den Öffnungen 333 des jeweiligen dritten Körpers 33 angeordnet und jeweils mit den ersten Verbindungselementen 341, dem jeweiligen zweiten Körper 32 und der inneren Wandfläche der Öffnung 333 des jeweiligen dritten Körpers 33 verbunden. Hierbei sind die relative Position, Anzahl, Form oder Konfiguration der ersten flexiblen Elemente 342 und der zweiten flexiblen Elemente 343 nicht auf das obige Ausführungsbeispiel beschränkt und können entsprechend der tatsächlichen Situation variiert werden.The respective first flexible section 34 has a first connecting element 341 , two first flexible elements 342 and two second flexible elements 343 on, with the respective first flexible element 342 between the respective first connecting element 341 and the respective second body 32 is arranged bridging, the respective second flexible element 343 each between the inner wall surface of the opening 333 of the respective third body 33 and the respective first connecting element 341 is arranged bridging. Specifically, the first two are flexible elements 342 of the respective first flexible section 34 parallel to the second flexible elements 343 in the openings 333 of the respective third body 33 arranged and each with the first connecting elements 341 , the respective second body 32 and the inner wall surface of the opening 333 of the respective third body 33 connected. Here are the relative position, number, shape or configuration of the first flexible elements 342 and the second flexible elements 343 are not limited to the above embodiment and can be varied according to the actual situation.

Ferner sind die ersten flexiblen Elemente 342 und die zweiten flexiblen Elemente 343 jeweils einstückig mit einer hervorstehenden Verstärkungsrippe 344 versehen, um die Widerstandsfähigkeit gegen Verformung zu erhöhen.Furthermore, the first are flexible elements 342 and the second flexible elements 343 each in one piece with a protruding reinforcing rib 344 provided to increase the resistance to deformation.

Die zweiten Verbindungselemente 351, die dritten flexiblen Elemente 352 und die vierten flexiblen Elemente 353 der zweiten flexiblen Abschnitte 35 sind ähnlich zu den Komponenten der ersten flexiblen Abschnitte 34. Der Unterschied besteht darin, dass bei den ersten flexiblen Abschnitten 34 das jeweilige dritte flexible Element 352 zwischen dem jeweiligen zweiten Verbindungselement 351 und der äußeren Wandfläche des jeweiligen dritten Körpers 33 überbrückend angeordnet ist, wobei das jeweilige vierte flexible Element 353 jeweils zwischen der inneren Wandfläche der Öffnung des jeweiligen ersten Körpers 31 und dem jeweiligen zweiten Verbindungselement 351 überbrückend angeordnet ist. Darüber hinaus sind das jeweilige dritte flexible Element 352 und das jeweilige vierte flexible Element 353 jeweils einstückig mit einer hervorstehenden Verstärkungsrippe 354 versehen, um die Widerstandsfähigkeit gegen Verformung zu erhöhen.The second fasteners 351 , the third flexible elements 352 and the fourth flexible elements 353 of the second flexible sections 35 are similar to the components of the first flexible sections 34 . The difference is that the first flexible sections 34 the respective third flexible element 352 between the respective second connecting element 351 and the outer wall surface of the respective third body 33 is arranged bridging, the respective fourth flexible element 353 each between the inner wall surface of the opening of the respective first body 31 and the respective second connecting element 351 is arranged bridging. In addition, the respective third flexible element 352 and the fourth flexible element 353 each in one piece with a protruding reinforcing rib 354 provided to increase the resistance to deformation.

Da bei dem vorliegenden Ausführungsbeispiel die flexiblen Einheiten 30 modular ausgebildet sind und die Funktionen einer leichten Herstellung, Montage und Demontage aufweisen, können die vier flexiblen Einheiten 30 und die Plattform 20 passgenau miteinander in Eingriff gebracht und befestigt werden, wobei gleichzeitig die Plattform 20 durch die Abstimmung der Rastteile 22 mit den Nuten 322 automatisch eingestellt und mit den flexiblen Einheiten 30 in Eingriff gebracht werden kann. Anschließend werden alle flexiblen Einheiten 30 und die Plattform 20 jeweils durch eine Einstellschraube (nicht gezeigt) genau eingestellt, um die Winkelfehler im Gierwinkel (pitch), Nickwinkel (yaw) und Rollwinkel (roll) zu beheben und somit die Montagegenauigkeit zu erhöhen.Since in the present embodiment, the flexible units 30th are modular and have the functions of easy manufacture, assembly and disassembly, the four flexible units 30th and the platform 20 can be brought into engagement and fastened with a perfect fit, while simultaneously the platform 20 by coordinating the locking parts 22 with the grooves 322 automatically set and with the flexible units 30th can be engaged. Then all flexible units 30th and the platform 20 each set precisely using an adjusting screw (not shown) in order to correct the angular errors in the yaw angle (pitch), pitch angle (yaw) and roll angle (roll) and thus to increase the mounting accuracy.

Eine Antriebseinheit 40 ist zwischen der Plattform 20 und der Basis 10 vorgesehen, wobei die Antriebseinheit 40 einen Kodierer 41 und Linearmotoren 42 aufweist.A drive unit 40 is between the platform 20 and the base 10th provided, the drive unit 40 an encoder 41 and linear motors 42 having.

Gemäß dem oben beschriebenen Aufbau kann bei der Anwendung des erfindungsgemäßen flexiblen Mechanismus, wenn dieser nach der Hochgeschwindigkeitsbewegung eines langen Hubs aufgrund der Trägheit nicht an einer vorgegebenen genauen Position in einer sehr kurzen Zeit angehalten werden kann, bei der verschobenen Plattform 20 ein Ausgleich der Bewegungsfehler durch die Zusammenarbeit der ersten flexiblen Abschnitte 34 und der zweiten flexiblen Abschnitte 35 der flexiblen Einheiten 30 mit den Linearmotoren 42 ausgeführt werden, um die Einschwingzeit zu verkürzen und die Produktionseffizienz zu verbessern.According to the structure described above, when the flexible mechanism of the present invention is applied, if it cannot be stopped at a predetermined precise position in a very short time due to the inertia after the high-speed movement of a long stroke, the displaced platform can 20 compensation of the movement errors through the cooperation of the first flexible sections 34 and the second flexible sections 35 of the flexible units 30th with the linear motors 42 be carried out to shorten the settling time and improve production efficiency.

Es wird auf 8 Bezug genommen, die eine perspektivische Explosionsansicht eines zweiten Ausführungsbeispiels gemäß der vorliegenden Erfindung zeigt. Der Unterschied zwischen diesem Ausführungsbeispiel und dem ersten Ausführungsbeispiel besteht darin, dass die Anzahl der flexiblen Einheiten 30 acht ist, wobei die Plattform 20 ebenfalls durch gegenseitige Anpassung in Eingriff gebracht und befestigt wird. Ferner weist die jeweilige flexible Einheit 30 einen auf der Basis 10 befestigten ersten Körper 31, einen mit der Plattform 20 verbundenen und vom jeweiligen ersten Körper 31 getrennt angeordneten zweiten Körper 32 und einen dritten Körper 33, der über einen ersten flexiblen Abschnitt 34 und einen zweiten flexiblen Abschnitt 35 jeweils mit dem jeweiligen ersten Körper 31 und dem jeweiligen zweiten Körper 32 verbunden ist, auf.It's going on 8th Reference is made to show an exploded perspective view of a second embodiment according to the present invention. The difference between this embodiment and the first embodiment is that the number of flexible units 30th is eight, being the platform 20 is also engaged and fixed by mutual adjustment. Furthermore, the respective flexible unit 30th one based 10th fortified first body 31 , one with the platform 20 connected and from the respective first body 31 separately arranged second body 32 and a third body 33 that has a first flexible section 34 and a second flexible section 35 with the respective first body 31 and the respective second body 32 is connected to.

Claims

A flexible mechanism comprising: One Base; a platform that is separate from the base; and a plurality of flexible units which are arranged bridging between the base and the platform and each have a first body fastened to the base, a second body connected to the platform and arranged separately from the respective first body and a third body which has a first flexible section and have a second flexible section each connected to the respective first body and the respective second body, wherein the respective first flexible section and the respective second flexible section have flexibility in different directions.

Flexible mechanism after Claim 1 , in which all the second bodies each have an arcuate block and a groove which is provided recessed on the concave arc side of the respective arcuate block, all the second Body and grooves are arranged one after the other in series and are annular.

Flexible mechanism after Claim 2 , in which the platform has a platform body located between the second bodies, with latching parts projecting on the platform body and engaging with the annularly arranged grooves.

Flexible mechanism after Claim 3 , in which the shape of the inner and the outer ring surface of the locking parts and the shape of the groove wall on two sides of the grooves are designed to match each other and have shapes that allow pushing in and pulling out.

Flexible mechanism according to one of the Claims 1 to 4th , in which the respective third body has an opening, the respective first flexible section being located in the opening of the respective third body; wherein the respective first flexible section has a first connecting element, a first flexible element and two second flexible elements, the respective first flexible element being arranged bridging between the respective first connecting element and the respective second body, the respective second flexible element in each case between the inner wall surface of the opening of the respective third body and the respective first connecting element is arranged bridging.

Flexible mechanism after Claim 5 , wherein the number of the third bodies of the flexible units is two, the number of the first flexible sections being two, the respective first flexible section being arranged in the opening of the respective third body in such a way that it provides flexibility in different directions.

Flexible mechanism after Claim 6 , in which the respective first body has an opening, the respective first flexible section being located in the opening of the respective first body; wherein the respective second flexible section comprises a second connecting element, a third flexible element and two fourth flexible elements, the respective third flexible element being arranged bridging between the respective second connecting element and the outer wall surface of the respective third body, the respective fourth flexible element is in each case arranged bridging between the inner wall surface of the opening of the respective first body and the respective second connecting element.

Flexible mechanism after Claim 7 , in which the number of openings of the first body is two, the number of second flexible sections being two, the respective second flexible section being arranged in the opening of the respective first body in such a way that it provides flexibility in different directions.

Flexible mechanism after Claim 1 , in which this further comprises a drive unit for driving the platform, which is arranged between the platform and the base.

Flexible mechanism after Claim 9 , in which the drive unit has an encoder and linear motors.