DE102019007838A1 - WEAR SENSOR, WEAR SENSOR DEVICE, STORAGE, AND METHOD OF ADJUSTING STORAGE - Google Patents

WEAR SENSOR, WEAR SENSOR DEVICE, STORAGE, AND METHOD OF ADJUSTING STORAGE Download PDF

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Yoshiyuki Okada
Takuma YAMASHITA
Akihiro Kanai
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Abstract

Ein Abnutzungssensor umfasst eine Verdrahtungsgruppe 12 mit Kontinuitätsprüfverdrahtungen 21 bis 25 und eine Erdungsverdrahtung 26, die in Abständen in X-Richtung von einer Seitenoberfläche 11b zu einer Seitenoberfläche 11c eines isolierenden Substrats 11 angeordnet sind, und eine Abnutzungserfassungsverdrahtung 13, die auf einer Verdrahtungsbildungsoberfläche 11d des isolierenden Substrats 11 ausgebildet ist und distale Enden 21A bis 25A der Kontinuitätsprüfverdrahtungen 21 bis 25 und ein distales Ende 26A der Erdungsverdrahtung 26 verbindet, die auf einer Seite einer vorderen Endoberfläche 11a des isolierenden Substrats 11 angeordnet sind, wobei jedes der distalen Enden 21A bis 26A von der Seitenoberfläche 11b in Richtung der Seitenoberfläche 11c weiter weg von der vorderen Endoberfläche 11a in Richtung der hinteren Endoberfläche des isolierenden Substrats 11 angeordnet ist.A wear sensor includes a wiring group 12 with continuity check wirings 21 to 25 and a grounding wiring 26 arranged at intervals in the X direction from a side surface 11b to a side surface 11c of an insulating substrate 11, and wear detection wiring 13 laid on a wiring formation surface 11d of the insulating Substrate 11 is formed and distal ends 21A to 25A of the continuity check wirings 21 to 25 and a distal end 26A of the grounding wiring 26, which are arranged on one side of a front end surface 11a of the insulating substrate 11, each of the distal ends 21A to 26A from the Side surface 11b toward the side surface 11c is located farther away from the front end surface 11a toward the rear end surface of the insulating substrate 11.

Description

Technisches GebietTechnical area

Die vorliegende Erfindung betrifft einen Abnutzungssensor, eine Abnutzungssensorvorrichtung, eine Lagerung und ein Verfahren zum Einstellen der Lagerung.The present invention relates to a wear sensor, a wear sensor device, a bearing and a method for adjusting the bearing.

Hintergrundbackground

Ein Abnutzungssensor wird als ein Sensor zum Erfassen einer Abnutzung einer Abnutzungsoberfläche einer industriellen Maschine verwendet (siehe Patentschriften 1 und 2).A wear sensor is used as a sensor for detecting wear of a wear surface of an industrial machine (see Patent Documents 1 and 2).

Patentschrift 1 offenbart einen Abnutzungssensor, bei welchem ein als eine Abnutzungserfassungsverdrahtung dienender leitender Film an einem Block mit einer abgestuften Form ausgebildet ist.Patent Document 1 discloses a wear sensor in which a conductive film serving as wear detection wiring is formed on a block having a stepped shape.

Patentschrift 2 offenbart einen Abnutzungssensor, der durch Ausbilden einer Abnutzungserfassungsverdrahtung an einer Oberfläche von jedem von einer Vielzahl von Substraten und Laminieren der Vielzahl von Substraten, an denen jeweils die Abnutzungserfassungsverdrahtung ausgebildet ist, gebildet ist.Patent Document 2 discloses a wear sensor which is formed by forming wear detection wiring on a surface of each of a plurality of substrates and laminating the plurality of substrates on which the wear detection wiring is respectively formed.

PatentschriftenPatents

  • Patentschrift 1: Japanisches Patent Veröffentlichungsnummer 4072914 Patent 1: Japanese Patent Publication No. 4072914
  • Patentschrift 2: Japanisches Patent Veröffentlichungsnummer 6083960 Patent 2: Japanese Patent Publication No. 6083960

Zusammenfassung der ErfindungSummary of the invention

Jedoch ist es in dem Fall des in Patentschrift 1 offenbarten Abnutzungssensors schwierig, eine Auflösung einer Abnutzungsmessung zu verbessern, da die Auflösung der Abnutzungsmessung von der Bearbeitungsgenauigkeit des Blocks abhängig ist.However, in the case of the wear sensor disclosed in Patent Document 1, it is difficult to improve a resolution of a wear measurement because the resolution of the wear measurement depends on the machining accuracy of the block.

Genauso ist es in dem Fall des in Patentschrift 2 offenbarten Abnutzungssensors schwierig die Auflösung der Abnutzungsmessung zu verbessern, da ein Laminierungsfehler auftritt, wenn eine Vielzahl von Substraten laminiert werden.Likewise, in the case of the wear sensor disclosed in Patent Document 2, it is difficult to improve the resolution of the wear measurement because a lamination failure occurs when a plurality of substrates are laminated.

Dementsprechend ist es eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung einen Abnutzungssensor, eine Abnutzungssensorvorrichtung, eine Lagerung und ein Verfahren zum Einstellen der Lagerung bereitzustellen, die eine Auflösung einer Abnutzungsmessung verbessern können.Accordingly, it is an object of the present invention to provide a wear sensor, a wear sensor device, a bearing and a method for adjusting the bearing that can improve a resolution of a wear measurement.

Um die obigen Probleme zu lösen weist ein Abnutzungssensor gemäß einem ersten Aspekt der vorliegenden Erfindung ein isolierendes Substrat, dessen Abnutzungsfortschrittsrichtung mit einer Längsrichtung davon übereinstimmt, und das eine vordere Endoberfläche, die an einer Seite des abzunutzenden isolierenden Substrats gebildet ist, ein Paar Seitenoberflächen, die in einer Querrichtung senkrecht zu der Längsrichtung voneinander getrennt sind und jeweils mit der vorderen Endoberfläche in Kontakt stehen, und eine Verdrahtungsbildungsoberfläche, die von der vorderen Endoberfläche und dem Paar von Seitenoberflächen umgeben ist und sich in der Längsrichtung erstreckt, umfasst, eine Verdrahtungsgruppe, die eine Vielzahl von Kontinuitätsprüfverdrahtungen und zumindest eine Erdungsverdrahtung aufweist, die an der Verdrahtungsbildungsoberfläche so ausgebildet sind, dass sie sich in der Abnutzungsfortschrittsrichtung erstrecken, und die in Intervallen in einer Richtung von einer ersten Seitenoberfläche des isolierenden Substrats zu einer zweiten Seitenoberfläche davon angeordnet sind, und eine Abnutzungserfassungsverdrahtung, die an der Verdrahtungsbildungsoberfläche ausgebildet ist und distale Enden der Vielzahl von Kontinuitätsprüfverdrahtungen und ein distales Ende der Erdungsverdrahtung verbindet, die an bzw. auf der Seite der vorderen Endoberfläche angeordnet sind, auf. Die distalen Enden der Vielzahl von Kontinuitätsprüfverdrahtungen und das distale Ende der Erdungsverdrahtung sind so angeordnet, dass jedes jeweilige distale Ende von der ersten Seitenoberfläche zu der zweiten Seitenoberfläche weiter weg von der vorderen Endoberfläche zu einer hinteren Endoberfläche des isolierenden Substrats angeordnet ist. Die Abnutzungserfassungsverdrahtung weist eine Vielzahl von Erfassungsverdrahtungsteilen auf, die jeweils elektrisch mit distalen Enden von zwei aneinander angrenzenden Verdrahtungen in der Vielzahl von Kontinuitätsprüfverdrahtungen und der Erdungsverdrahtung verbunden sind.In order to solve the above problems, a wear sensor according to a first aspect of the present invention has an insulating substrate, the wear progress direction of which coincides with a longitudinal direction thereof, and which has a front end surface formed on one side of the insulating substrate to be worn, a pair of side surfaces which are separated from each other in a transverse direction perpendicular to the longitudinal direction and are respectively in contact with the front end surface, and a wiring formation surface surrounded by the front end surface and the pair of side surfaces and extending in the longitudinal direction includes a wiring group including a A plurality of continuity check wirings and at least one grounding wiring which are formed on the wiring formation surface so as to extend in the direction of wear progress and which are at intervals in a direction from a first side surface surface of the insulating substrate are disposed to a second side surface thereof, and wear detection wiring that is formed on the wiring formation surface and connects distal ends of the plurality of continuity check wirings and a distal end of the grounding wirings disposed on the front end surface side, on. The distal ends of the plurality of continuity test wirings and the distal end of the grounding wiring are arranged so that each respective distal end from the first side surface to the second side surface is further away from the front end surface a rear end surface of the insulating substrate is arranged. The wear detection wiring includes a plurality of detection wiring parts which are respectively electrically connected to distal ends of two adjacent wirings in the plurality of continuity check wirings and the grounding wiring.

Gemäß der vorliegenden Erfindung weist der Abnutzungssensor die Verdrahtungsgruppe, die die Vielzahl von Kontinuitätsprüfverdrahtungen und zumindest eine Erdungsverdrahtung aufweist, die an der Verdrahtungsbildungsoberfläche so ausgebildet sind, dass sie sich in der Abnutzungsfortschrittsrichtung erstrecken, und die in Intervallen in der Richtung von der ersten Seitenoberfläche des isolierenden Substrats zu der zweiten Seitenoberfläche davon angeordnet sind, und die Abnutzungserfassungsverdrahtung, die an der Verdrahtungsbildungsoberfläche ausgebildet ist und die distalen Enden der Vielzahl von Kontinuitätsprüfverdrahtungen und das distale Ende der Erdungsverdrahtung verbindet, die an bzw. auf der Seite der vorderen Endoberfläche angeordnet sind, auf, wobei die distalen Enden der Vielzahl von Kontinuitätsprüfverdrahtungen und das distale Ende der Erdungsverdrahtung so angeordnet sind, dass jedes jeweilige distale Ende von der ersten Seitenoberfläche zu der zweiten Seitenoberfläche weiter weg von der vorderen Endoberfläche zu einer hinteren Endoberfläche des isolierenden Substrats angeordnet ist, die Abnutzungserfassungsverdrahtung eine Vielzahl von Erfassungsverdrahtungsteilen aufweist, die jeweils elektrisch mit distalen Enden von zwei aneinander angrenzenden Verdrahtung in der Vielzahl von Kontinuitätsprüfverdrahtungen und der Erdenverdrahtung verbunden sind, und dementsprechend ist es nicht erforderlich einen Spalt bzw. Zwischenraum für eine elektrische Isolierung zwischen den Erfassungsverdrahtungsteilen in der Abnutzungsfortschrittsrichtung auszubilden.According to the present invention, the wear sensor has the wiring group that includes the plurality of continuity check wirings and at least one grounding wiring, which are formed on the wiring formation surface so as to extend in the direction of wear progress, and which are arranged at intervals in the direction from the first side surface of the insulating Substrate are disposed to the second side surface thereof, and the wear detection wiring that is formed on the wiring formation surface and connects the distal ends of the plurality of continuity check wirings and the distal end of the grounding wirings disposed on the front end surface side, wherein the distal ends of the plurality of continuity test wirings and the distal end of the grounding wiring are arranged so that each respective distal end is far from the first side surface to the second side surface it is disposed away from the front end surface to a rear end surface of the insulating substrate, the wear detection wiring comprises a plurality of detection wiring parts each electrically connected to distal ends of two adjacent wirings in the plurality of continuity check wirings and the grounding wiring, and accordingly it is it is not necessary to form a gap for electrical insulation between the detection wiring parts in the wear progress direction.

Da ein Abstand in der Längsrichtung des isolierenden Substrats von einer Position, an welcher ein Erfassungsverdrahtungsteil aufgrund einer Abnutzung entfernt ist, zu einer Position, an welcher das nächste Erfassungsverdrahtungsteil entfernt wird, reduziert sein kann, kann die Auflösung einer Abnutzungsmessung verbessert werden.Since a distance in the longitudinal direction of the insulating substrate can be reduced from a position where a detection wiring part is removed due to wear to a position where the next detection wiring part is removed, the resolution of wear measurement can be improved.

Da Abschnitte der Erfassungsverdrahtungsteile, die aneinander angrenzen, so angeordnet sein können, dass sie sich in der Abnutzungsfortschrittsrichtung überlappen, kann die Auflösung einer Abnutzungsmessung kleiner gemacht werden, als eine Breite des Erfassungsverdrahtungsteils.Since portions of the detection wiring parts that are adjacent to each other can be arranged so as to overlap in the wear advancing direction, the resolution of wear measurement can be made smaller than a width of the detection wiring part.

Bei dem Abnutzungssensor gemäß dem ersten oben beschriebenen Aspekt der vorliegenden Erfindung, kann die Vielzahl von Erfassungsverdrahtungsteilen sich jeweils in einer Richtung senkrecht zu der Abnutzungsfortschrittsrichtung erstrecken und die Abnutzungserfassungsverdrahtung kann eine abgestufte Form aufweisen.In the wear sensor according to the first aspect of the present invention described above, the plurality of detection wiring parts may each extend in a direction perpendicular to the wear advancing direction, and the wear detection wiring may have a stepped shape.

Da wie oben beschrieben die Form der Abnutzungserfassungsverdrahtung in einer abgestuften Form ausgebildet ist, indem die Vielzahl von Erfassungsverdrahtungsteilen sich jeweils in einer senkrechten bzw. rechtwinkligen Richtung zu der Abnutzungsfortschrittsrichtung erstrecken, kann ein Zeitpunkt, an welchem jedes der Erfassungsverdrahtungsteile vollständig aufgrund einer Abnutzung entfernt ist, verschoben werden, ohne einen Spalt bzw. Zwischenraum in der Abnutzungsfortschrittsrichtung auszubilden.As described above, since the shape of the wear detection wiring is formed in a stepped shape with the plurality of detection wiring parts each extending in a perpendicular direction to the wear advancing direction, a timing at which each of the detection wiring parts is completely removed due to wear can be are shifted without forming a gap in the direction of wear progress.

Bei dem Abnutzungssensor gemäß dem ersten oben beschriebenen Aspekt der vorliegenden Erfindung, kann die Vielzahl von Erfassungsverdrahtungsteilen so angeordnet sein, dass sie hinsichtlich der vorderen Endoberfläche geneigt sind.In the wear sensor according to the first aspect of the present invention described above, the plurality of detection wiring parts may be arranged so as to be inclined with respect to the front end surface.

Da die Vielzahl von Erfassungsverdrahtungsteilen wie oben beschrieben so angeordnet sind, dass sie hinsichtlich der vorderen Endoberfläche geneigt sind, kann ein Zeitpunkt, an welchem jedes der Erfassungsverdrahtungsteile vollständig aufgrund einer Abnutzung entfernt ist, verschoben werden, ohne einen Spalt bzw. Zwischenraum in der Abnutzungsfortschrittsrichtung auszubilden.As described above, since the plurality of detection wiring parts are arranged so as to be inclined with respect to the front end surface, a timing at which each of the detection wiring parts is completely removed due to wear can be shifted without forming a gap in the direction of wear progress .

Bei dem Abnutzungssensor gemäß dem oben beschriebenen ersten Aspekt der vorliegenden Erfindung kann die Vielzahl von Erfassungsverdrahtungsteilen unter einem konstanten Winkel hinsichtlich der vorderen Endoberfläche geneigt sein.In the wear sensor according to the first aspect of the present invention described above, the plurality of detection wiring parts may be inclined at a constant angle with respect to the front end surface.

Da die Vielzahl von Erfassungsverdrahtungsteilen wie oben beschrieben unter einem konstanten Winkel hinsichtlich der vorderen Endoberfläche geneigt ist, kann die Abnutzungsauflösung in der Abnutzungsfortschrittsrichtung konstant gemacht werden.As described above, since the plurality of detection wiring parts are inclined at a constant angle with respect to the front end surface, the wear resolution can be made constant in the wear advancing direction.

Bei dem Abnutzungssensor gemäß dem oben beschriebenen ersten Aspekt der vorliegenden Erfindung, können die Erfassungsverdrahtungsteile mit einer Ecke des distalen Endes der Kontinuitätsprüfverdrahtung in Punktkontakt stehen, die in der Nähe der anderen Seitenoberfläche bei zwei der Kontinuitätsprüfverdrahtungen angeordnet ist, die an Positionen angeordnet sind, die in der Querrichtung aneinander angrenzen.In the wear sensor according to the above-described first aspect of the present invention, the detection wiring parts can be in point contact with a corner of the distal end of the continuity check wiring located in the vicinity of the other side surface in two of the continuity check wirings located at positions shown in adjoin one another in the transverse direction.

Wenn die Erfassungsverdrahtungsteile wie oben beschrieben in Punktkontakt mit der Ecke des distalen Endes der Kontinuitätsprüfverdrahtung ist, die in der Nähe der anderen Seitenoberfläche bei zwei der Kontinuitätsprüfverdrahtungen ist, die an Positionen angeordnet sind, die in der Querrichtung aneinander angrenzen, kann, da eine Trennung der zwei Kontinuitätsprüfverdrahtungen, die an aneinander angrenzenden Positionen angeordnet sind, an einem Punkt durchgeführt werden kann, eine Messgenauigkeit der Abnutzung verbessert werden.As described above, when the detection wiring parts are in point contact with the corner of the distal end of the continuity check wiring that is in the vicinity of the other side surface in two of the continuity check wirings that are arranged at positions adjoining each other in the transverse direction, there may be a separation of the two continuity check wirings arranged at mutually adjacent positions can be performed at one point, measurement accuracy of wear can be improved.

Da sich ein Bereich, in welchem sich Verdrahtungsbreiten der Kontinuitätsprüfverdrahtungen zu den Ecken der distalen Enden der Kontinuitätsprüfverdrahtungen, die in der Nähe der anderen Seitenoberfläche angeordnet sind, verringern, verringert, kann eine plötzliche Änderung eines Widerstandswerts bei einer Trennung erzeugt werden. Dadurch kann ein S/N-Verhältnis verbessert sein und somit die Messgenauigkeit der Abnutzung verbessert werden.Since an area in which wiring widths of the continuity check wirings decrease toward the corners of the distal ends of the continuity check wirings located near the other side surface decreases, a sudden change in resistance value may be generated upon disconnection. As a result, an S / N ratio can be improved and thus the measurement accuracy of wear can be improved.

Um die obigen Probleme zu lösen weist eine Abnutzungssensorvorrichtung gemäß einem zweiten Aspekt der vorliegenden Erfindung den oben beschriebenen Abnutzungssensor und eine Abnutzungswerterlangungsvorrichtung mit einer Kontinuitätserfassungseinheit, die einen Zustand von elektrischer Kontinuität durch Anlegen einer Spannung zwischen der Vielzahl von Kontinuitätsprüfverdrahtungen und der Erdungsverdrahtung erfasst, einer Speichereinheit, die Daten über einen Abnutzungswert des Abnutzungssensors hinsichtlich des Zustands der elektrischen Kontinuität speichert, und einer Abnutzungswerterlangungseinheit, die den Abnutzungswert des Abnutzungssensors auf der Basis des Zustands der elektrischen Kontinuität, die durch die Kontinuitätserfassungseinheit erfasst wird, und der Daten erfasst, auf.In order to solve the above problems, a wear sensor device according to a second aspect of the present invention comprises the above-described wear sensor and a wear value obtaining device having a continuity detection unit that detects a state of electrical continuity by applying a voltage between the plurality of continuity check wirings and the grounding wiring, a storage unit, stores the data on a wear value of the wear sensor in terms of the state of electrical continuity, and a wear value obtaining unit that stores the Wear value of the wear sensor based on the state of electrical continuity detected by the continuity detection unit and the data detected.

Gemäß der vorliegenden Erfindung kann, da die Abnutzungssensorvorrichtung mit dem Abnutzungssensor und der Abnutzungswerterlangungsvorrichtung, die wie oben beschrieben ausgestaltet ist, versehen ist, ein Abnutzungswert eines Gegenstands auf der Basis des Abnutzungswerts des Abnutzungssensors erlangt werden.According to the present invention, since the wear sensor device is provided with the wear sensor and the wear value obtaining device configured as described above, a wear value of an object can be obtained based on the wear value of the wear sensor.

Um die obigen Probleme zu lösen weist eine Lagerung gemäß einem dritten Aspekt der vorliegenden Erfindung die oben beschriebene Abnutzungssensorvorrichtung und einen Lagerungshauptkörper, der eine Abnutzungsoberfläche, die durch einen Rotationskörper abgenutzt wird, und ein Aufnahmeteil, das den Abnutzungssensor aufnimmt, bei dem die Abnutzungswerterlangungseinheit einen Abnutzungswert des Lagerungshauptkörpers auf der Basis eines Abnutzungswerts des Abnutzungssensors erlangt, aufweist, auf.To solve the above problems, a bearing according to a third aspect of the present invention has the above-described wear sensor device and a bearing main body that has a wear surface that is worn by a rotating body, and a receiving part that houses the wear sensor, in which the wear value acquisition unit has a wear value of the support main body based on a wear value of the wear sensor.

Gemäß der vorliegenden Erfindung kann, da die Abnutzungssensorvorrichtung und der Lagerungshauptkörper wie oben beschrieben vorgesehen sind, der Abnutzungswert des Lagerungshauptkörpers erlangt werden.According to the present invention, since the wear sensor device and the bearing main body are provided as described above, the amount of wear of the bearing main body can be obtained.

Um die obigen Probleme zu lösen weist ein Verfahren zum Einstellen einer Lagerung gemäß einem vierten Aspekt der vorliegenden Erfindung einen Sensoranordnungsschritt des Anordnens des Abnutzungssensors in dem Aufnahmeteil des Lagerungshauptkörpers, so dass ein Abschnitt eines distalen Endes des Abnutzungssensors von der Abnutzungsoberfläche des Lagerungshauptkörpers vorsteht, einen Verarbeitungsschritt des Abschabens der distalen Endseite des Abnutzungssensors und der Seite der Abnutzungsoberfläche des Lagerungshauptkörpers, so dass eine vordere Endoberfläche des Abnutzungssensors und die Abnutzungsoberfläche koplanar zueinander sind, und einen Kontinuitätsprüfungsschritt des Durchführens einer Kontinuitätsprüfung unter Verwendung der Abnutzungswerterlangungsvorrichtung nach dem Verarbeitungsschritt, um das Erfassungsverdrahtungsteil zu identifizieren, das aus der Vielzahl von Erfassungsverdrahtungsteilen entfernt wurde, bei dem ein Abschnitt der Vielzahl von Erfassungsverdrahtungsteilen in dem Aufnahmeteil angeordnet wird und der verbleibende Abschnitt davon außerhalb des Aufnahmeteils in dem Sensoranordnungsschritt angeordnet wird, auf.To solve the above problems, a bearing adjusting method according to a fourth aspect of the present invention has a sensor arranging step of arranging the wear sensor in the receiving part of the bearing main body so that a portion of a distal end of the wear sensor protrudes from the wear surface of the bearing main body, a processing step scraping the distal end side of the wear sensor and the side of the wear surface of the bearing main body so that a front end surface of the wear sensor and the wear surface are coplanar with each other, and a continuity check step of performing a continuity check using the wear value obtaining device after the processing step to identify the detection wiring removed from the plurality of detection wiring, in which a portion of the plurality of detection wiring en is disposed in the receiving part and the remaining portion thereof is disposed outside the receiving part in the sensor arranging step.

Gemäß der vorliegenden Erfindung kann, da der Sensoranordnungsschritt, der Verarbeitungsschritt und der Kontinuitätsprüfungsschritt wie oben beschrieben vorgesehen sind, ein Bereich (ein Bereich von der vorderen Endoberfläche des isolierenden Substrats zu dem Erfassungsverdrahtungsteil, das am nächsten an der vorderen Endoberfläche des isolierenden Substrats ist) in welchem ein Abnutzungswert nicht erfasst werden kann, entfernt werden und das Erfassungsverdrahtungsteil, das abgeschabt ist, kann identifiziert werden.According to the present invention, since the sensor arranging step, the processing step and the continuity checking step are provided as described above, an area (an area from the front end surface of the insulating substrate to the detection wiring part closest to the front end surface of the insulating substrate) in which a wear value cannot be detected can be removed, and the detection wiring part that has been scraped off can be identified.

Dadurch kann, selbst wenn ein Abnutzungswert der Abnutzungsoberfläche des Lagerungshauptkörpers gering ist, der Abnutzungswert erlangt werden.Thereby, even if a wear amount of the wear surface of the bearing main body is small, the wear amount can be obtained.

Um die obigen Probleme zu lösen weist eine Lagerung gemäß einem fünften Aspekt der vorliegenden Erfindung einen zylindrischen Lagerungshauptkörper, bei dem eine innere Umfangsoberfläche, die einen Rotationskörper drehbar trägt, eine Abnutzungsoberfläche ist und ein erstes abgeschnittenes Teil, das radial nach außen von der Abnutzungsoberfläche zurückgesetzt ist, ausgebildet ist, einen laminierten Körper, der in dem ersten abgeschnittenen Teil ausgebildet ist und in dem eine isolierende Schicht und ein Verdrahtungsmuster abwechselnd laminiert sind, eine mit dem Verdrahtungsmuster verbundene Kontinuitätsprüfanschlussfläche, und eine Erdungsanschlussfläche, die zum Zeitpunkt der Kontinuitätsprüfung zu verwenden ist, auf, bei dem das Verdrahtungsmuster über die isolierende Schicht zu einem anderen Bereich als die Abnutzungsoberfläche in dem Lagerungshauptkörper hinaus geführt ist, die Kontinuitätsprüfanschlussfläche mit dem Verdrahtungsmuster in dem Bereich verbunden ist, und die Erdungsanschlussfläche in dem Bereich in einem Zustand der Trennung von der Kontinuitätsprüfanschlussfläche angeordnet ist.To solve the above problems, a bearing according to a fifth aspect of the present invention has a cylindrical bearing main body in which an inner circumferential surface that rotatably supports a rotating body is a wear surface and a first cut part recessed radially outward from the wear surface , a laminated body which is formed in the first cut-off part and in which an insulating layer and a wiring pattern are alternately laminated, a continuity check pad connected to the wiring pattern, and a ground pad to be used at the time of continuity check , in which the wiring pattern is led beyond the insulating layer to an area other than the wear surface in the bearing main body, the continuity check pad is connected to the wiring pattern in the area, and the ground connection terminal surface is arranged in the area in a state of separation from the continuity test terminal surface.

Gemäß der vorliegenden Erfindung ist der laminierte Körper, in welchem die isolierende Schicht und das Verdrahtungsmuster, das mit der Kontinuitätsprüfanschlussfläche verbunden ist, abwechselnd laminiert sind, in dem ersten abgeschnittenen Teil, das in dem Lagerungshauptkörper ausgebildet ist, vorgesehen, wobei eine äußere Oberfläche des laminierten Körpers koplanar zu der Abnutzungsoberfläche des Lagerungshauptkörpers ist, die isolierende Schicht und das Verdrahtungsmuster beispielsweise unter Verwendung von Herstellungstechnologien für Halbleiterbauelemente, wie beispielsweise eines Sputterverfahrens, einer chemische Gasphasenabscheidung („chemical vapor deposition“ CVD) eines Dampfabscheidungsverfahren oder eines Trockenätzverfahren verarbeitet wird und dadurch eine Dicke der isolierenden Schicht und eine Dicke des Verdrahtungsmusters in einer Radialrichtung des Lagerungshauptkörpers reduziert sein kann.According to the present invention, the laminated body in which the insulating layer and the wiring pattern connected to the continuity test pad are alternately laminated is provided in the first cut portion formed in the bearing main body, an outer surface of the laminated Body is coplanar with the wear surface of the bearing main body, the insulating layer and the wiring pattern is processed, for example, using manufacturing technologies for semiconductor components such as a sputtering method, a chemical vapor deposition ("chemical vapor deposition" CVD), a vapor deposition method or a dry etching method, and thereby a thickness of the insulating layer and a thickness of the wiring pattern in a radial direction of the support main body can be reduced.

Dadurch kann die Abnutzungsauflösung, welche eine Tiefe (Abstand) von einer Position, an welcher ein Verdrahtungsmuster, das an der der Seite der Abnutzungsoberfläche angeordnet ist, aufgrund einer Abnutzung aufgebrochen wird, zu einer Position, an welcher das nächste Verdrahtungsmuster aufgebrochen wird, ist, reduziert werden und dadurch kann die Auflösung einer Abnutzungsmessung verbessert werden.Thereby, the wear resolution, which is a depth (distance) from a position at which a wiring pattern, which is on the side of the wear surface is broken due to wear to a position where the next wiring pattern is broken can be reduced, and thereby the resolution of wear measurement can be improved.

Das Verdrahtungsmuster ist über die isolierende Schicht zu dem anderen Bereich als die Abnutzungsoberfläche in dem Lagerungshauptkörper hinaus geführt, die Kontinuitätsprüfanschlussfläche ist mit dem Verdrahtungsmuster in dem anderen Bereich als die Abnutzungsoberfläche verbunden, die Erdungsanschlussfläche ist in dem anderen Bereich als die Abnutzungsoberfläche in einem Zustand der Trennung von der Kontinuitätsprüfanschlussfläche angeordnet und dadurch können Verdrahtungen, die bei der Kontinuitätsprüfung genutzt werden, einfach mit der Kontinuitätsprüfanschlussfläche und der Erdungsanschlussfläche verbunden werden. Dadurch kann die Kontinuitätsprüfung einfach ausgeführt werden.The wiring pattern is led beyond the insulating layer to the area other than the wear surface in the bearing main body, the continuity check pad is connected to the wiring pattern in the area other than the wear surface, the grounding pad is in the area other than the wear surface in a state of disconnection from the continuity test pad, and thereby wirings used in the continuity test can be easily connected to the continuity test pad and the grounding pad. This enables the continuity check to be carried out easily.

Um die obigen Probleme zu lösen weist eine Lagerung gemäß einem sechsten Aspekt der vorliegenden Erfindung einen Lagerungshauptkörper, der ein zylindrisches Lagerungsrückseitenmetallteil und ein zylindrisches Lagerungsmetallteil umfasst, das an einer inneren Umfangsoberfläche des Lagerungsrückseitenmetallteils angeordnet ist und dessen innere Umfangsoberfläche, die einen Rotationskörper drehbar trägt, eine Abnutzungsoberfläche ist, einen laminierten Körper, der an der Innenumfangsoberfläche des Lagerungsrückseitenmetallteils ausgebildet ist und in dem abwechselnd eine isolierende Schicht und ein Verdrahtungsmuster laminiert sind, eine mit dem Verdrahtungsmuster verbundene Kontinuitätsprüfanschlussfläche, und eine Erdungsanschlussfläche, die zum Zeitpunkt der Kontinuitätsprüfung zu verwenden ist, auf, bei dem das Lagerungsmetallteil aus einem Metallfilm gebildet ist, der den laminierten Körper abdeckt, die innere Umfangsoberfläche eine glatte, gekrümmte Oberfläche ohne eine Stufe ist, bei dem das Verdrahtungsmuster über die isolierende Schicht zu einem anderen Bereich als die Abnutzungsoberfläche in dem Lagerungshauptkörper hinaus geführt ist, die Kontinuitätsprüfanschlussfläche mit dem Verdrahtungsmuster in dem Bereich verbunden ist, und die Erdungsanschlussfläche in dem Bereich in einem Zustand der Trennung von der Kontinuitätsprüfanschlussfläche angeordnet ist.In order to solve the above problems, a bearing according to a sixth aspect of the present invention has a bearing main body comprising a cylindrical bearing back metal part and a cylindrical bearing metal part which is arranged on an inner peripheral surface of the bearing back metal part and the inner peripheral surface of which rotatably supports a rotating body Wear surface, a laminated body which is formed on the inner circumferential surface of the bearing back metal part and in which an insulating layer and a wiring pattern are alternately laminated, a continuity test pad connected to the wiring pattern, and a ground pad to be used at the time of the continuity test, wherein the bearing metal member is formed of a metal film covering the laminated body, the inner peripheral surface is a smooth curved surface without a step, b wherein the wiring pattern is led through the insulating layer to an area other than the wear surface in the bearing main body, the continuity check pad is connected to the wiring pattern in the area, and the grounding pad is arranged in the area in a state of separation from the continuity check pad.

Gemäß der vorliegenden Erfindung sind der laminierte Körper, in welchem die isolierende Schicht und das Verdrahtungsmuster, das mit der Kontinuitätsprüfanschlussfläche verbunden ist, abwechselnd laminiert sind, in der inneren Umfangsoberfläche des Lagerungsrückseitenmetallteils vorgesehen, wobei die äußere Oberfläche des laminierten Körpers koplanar zu der Abnutzungsoberfläche des Lagerungshauptkörpers ist, die isolierende Schicht und das Verdrahtungsmuster unter Verwendung von beispielsweise Herstellungstechnologien für Halbleiterbauelemente wie beispielsweise einer Photolithographietechnologie, einem Sputterverfahren, einer chemische Gasphasenabscheidung („Chemical Vapor Deposition“ CVD), einem Dampfabscheidungsverfahren oder einem Trockenätzverfahren verarbeitet sind. Dementsprechend kann die Dicke der isolierenden Schicht und die Dicke des Verdrahtungsmusters in einer Radialrichtung des Lagerungshauptkörpers reduziert sein.According to the present invention, the laminated body in which the insulating layer and the wiring pattern connected to the continuity test pad are alternately laminated are provided in the inner peripheral surface of the bearing back metal part, the outer surface of the laminated body being coplanar with the wear surface of the bearing main body is, the insulating layer and the wiring pattern are processed using, for example, semiconductor device manufacturing technologies such as a photolithography technology, a sputtering method, a chemical vapor deposition (CVD), a vapor deposition method or a dry etching method. Accordingly, the thickness of the insulating layer and the thickness of the wiring pattern in a radial direction of the support main body can be reduced.

Dadurch kann eine Abnutzungsauflösung, welche eine Tiefe (Abstand) von einer Position, an welcher ein Verdrahtungsmuster, das an der Seite der Abnutzungsoberfläche aufgrund einer Abnutzung aufgebrochen wurde, zu einer Position, an welcher das nächste Verdrahtungsmuster aufgebrochen wird, ist, reduziert sein. Dementsprechend kann die Auflösung der Abnutzungsmessung verbessert werden.Thereby, wear resolution, which is a depth (distance) from a position where a wiring pattern broken on the side of the wear surface due to wear, to a position where the next wiring pattern is broken, can be reduced. Accordingly, the resolution of the wear measurement can be improved.

Das Verdrahtungsmuster ist über die isolierende Schicht zu einem anderen Bereich als die Abnutzungsfläche in dem Lagerungshauptkörper hinaus geführt, die Kontinuitätsprüfanschlussfläche ist mit dem Verdrahtungsmuster in dem anderen Bereich als die Abnutzungsoberfläche verbunden, die Erdungsanschlussfläche ist in dem anderen Bereich als die Abnutzungsoberfläche in einem Zustand der Trennung von der Kontinuitätsprüfanschlussfläche angeordnet und dadurch können die Verdrahtungen, die bei der Kontinuitätsprüfung genutzt werden, einfach mit der Kontinuitätsprüfanschlussfläche und der Erdungsanschlussfläche verbunden werden. Dementsprechend kann die Kontinuitätsprüfung einfach ausgeführt werden.The wiring pattern is led out through the insulating layer to an area other than the wearing surface in the bearing main body, the continuity check pad is connected to the wiring pattern in the area other than the wearing surface, the grounding pad is in the area other than the wearing surface in a state of disconnection from the continuity test pad, and thereby the wirings used in the continuity test can be easily connected to the continuity test pad and the grounding pad. Accordingly, the continuity check can be easily carried out.

Ferner kann, da der laminierte Körper an der inneren Umfangsoberfläche des Lagerungsrückseitenmetallteils ausgebildet ist und das Lagerungsmetallteil, das aus einer Metallschicht gebildet ist, ausgebildet ist, ein Schritt des Ausbildens eines zurückgesetzten Teils oder eines abgeschnittenen Teils, in welchem der laminierte Körper in dem Lagerungsmetallteil aufgenommen ist, ausgelassen werden.Further, since the laminated body is formed on the inner peripheral surface of the bearing back metal part and the bearing metal part formed of a metal sheet is formed, a step of forming a recessed part or a cut-away part in which the laminated body is received in the bearing metal part can be performed is to be left out.

Bei der Lagerung gemäß dem sechsten Aspekt der vorliegenden Erfindung kann der Bereich eine Endoberfläche des Lagerungshauptkörpers sein.In the bearing according to the sixth aspect of the present invention, the portion may be an end surface of the bearing main body.

Da die Kontinuitätsprüfanschlussfläche und die Erdungsanschlussfläche wie oben beschrieben an der Endoberfläche des Lagerungshauptkörpers angeordnet sind, können die Verdrahtungen, die bei der Kontinuitätsprüfung genutzt werden, einfach mit der Kontinuitätsprüfanschlussfläche und der Erdungsanschlussfläche verbunden werden.Since the continuity check pad and the grounding pad are arranged on the end surface of the support main body as described above, the wirings used in the continuity check can be easily connected to the continuity check pad and the grounding pad.

Bei der Lagerung gemäß dem sechsten Aspekt der vorliegenden Erfindung kann der Bereich ein zweites abgeschnittenes Teil sein, das außerhalb des ersten abgeschnittenen Teils in einer Längsrichtung des Lagerungshauptkörpers ausgebildet ist und eine Tiefe aufweist, die tiefer ist als die des ersten abgeschnittenen Teils mit der Abnutzungsoberfläche als eine Referenz. In the bearing according to the sixth aspect of the present invention, the area may be a second cut part which is formed outside the first cut part in a longitudinal direction of the bearing main body and has a depth deeper than that of the first cut part with the wear surface than a reference.

Da die Kontinuitätsprüfanschlussfläche und die Erdungsanschlussfläche wie oben beschrieben in dem zweiten abgeschnittenen Teil angeordnet sind, dessen Tiefe mit der Abnutzungsoberfläche als eine Referenz tiefer ist als die des ersten abgeschnittenen Teils, können die Verdrahtungen, die bei der Kontinuitätsprüfung genutzt werden, einfach mit der Kontinuitätsprüfanschlussfläche und der Erdungsanschlussfläche verbunden werden.As described above, since the continuity check pad and the ground pad are arranged in the second cut-off part, the depth of which is deeper than that of the first cut-off part with the wear surface as a reference, the wirings used in the continuity check can be easily connected to the continuity check pad and the earth connection surface.

Gemäß der vorliegenden Erfindung kann eine Auflösung einer Abnutzungsmessung verbessert werden.According to the present invention, a resolution of a wear measurement can be improved.

FigurenlisteFigure list

  • 1 ist eine Ansicht, die einen Hauptabschnitt einer Lagerung gemäß einer ersten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung darstellt. 1 Fig. 13 is a view illustrating a main portion of a bearing according to a first embodiment of the present invention.
  • 2 ist eine Ansicht, die schematisch einen Zustand darstellt, bei welchem ein Erfassungsverdrahtungsteil eines Abnutzungssensors aufgrund einer Abnutzung von einer Abnutzungsoberfläche eines in 1 dargestellten Lagerungshauptkörpers entfernt wurde. 2 FIG. 13 is a view schematically illustrating a state in which a detection wiring part of a wear sensor due to wear from a wear surface of a FIG 1 bearing main body shown has been removed.
  • 3 ist eine Ansicht, die einen Abnutzungssensor gemäß einem modifizierten Beispiel der ersten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung darstellt. 3 Fig. 13 is a view illustrating a wear sensor according to a modified example of the first embodiment of the present invention.
  • 4 ist eine Ansicht (Teil 1) zum Erklären eines Verfahrens zum Einstellen einer Lagerung gemäß einer zweiten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung und ist eine Ansicht zum Erklären eines Sensoranordnungsschritts. 4th is a view (part 1 ) for explaining a bearing adjusting method according to a second embodiment of the present invention, and is a view for explaining a sensor arranging step.
  • 5 ist eine Ansicht (Teil 2) zum Erklären des Verfahrens zum Einstellen der Lagerung gemäß der zweiten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung und ist eine Ansicht zum Erklären eines Verarbeitungsschritts und eines Kontinuitätsprüfungsschritts. 5 is a view (part 2 ) for explaining the bearing adjusting method according to the second embodiment of the present invention, and is a view for explaining a processing step and a continuity checking step.
  • 6 ist eine Seitenansicht einer Lagerung gemäß einer dritten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung. 6th Fig. 3 is a side view of a bearing according to a third embodiment of the present invention.
  • 7 ist eine Ansicht von einer Endoberfläche der Lagerung, die in 6 dargestellt ist, aus einer Richtung des Pfeils K aus betrachtet. 7th FIG. 13 is a view from an end surface of the bearing shown in FIG 6th is shown viewed from a direction of arrow K from.
  • 8 ist eine Querschnittsansicht der in 7 dargestellten Lagerung entlang einer Richtung einer Linie N1-N2. 8th FIG. 3 is a cross-sectional view of the FIG 7th illustrated storage along a direction of a line N1-N2.
  • 9 ist eine Querschnittsansicht der in 7 dargestellten Lagerung entlang einer Richtung einer Linie N3-N4. 9 FIG. 3 is a cross-sectional view of the 7th illustrated storage along a direction of a line N3-N4.
  • 10 ist eine Querschnittsansicht der in 7 dargestellten Lagerung entlang einer Richtung einer Linie N5-N5. 10 FIG. 3 is a cross-sectional view of the FIG 7th illustrated storage along a direction of a line N5-N5.
  • 11 ist eine Querschnittsansicht der in 7 dargestellten Lagerung entlang einer Richtung einer Linie N7-N8. 11 FIG. 3 is a cross-sectional view of the FIG 7th illustrated storage along a direction of a line N7-N8.
  • 12 ist eine Ansicht der Vielzahl von Verdrahtungsmustern, die in 8 bis 10 dargestellt sind, von einer Seite einer inneren Umfangsoberfläche eines Lagerungshauptkörpers und ist eine schematische Ansicht von jedem der Verdrahtungsmuster. 12 FIG. 13 is a view of the variety of wiring patterns shown in FIG 8th to 10 are shown from one side of an inner peripheral surface of a support main body, and is a schematic view of each of the wiring patterns.
  • 13 ist eine Querschnittsansicht (Teil 1) einer Lagerung gemäß einer vierten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung. 13 Fig. 3 is a cross-sectional view (part 1) of a bearing according to a fourth embodiment of the present invention.
  • 14 ist eine Querschnittsansicht (Teil 2) der Lagerung gemäß der vierten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung. 14th Fig. 3 is a cross-sectional view (part 2) of the bearing according to the fourth embodiment of the present invention.
  • 15 ist eine schematische Ansicht der Vielzahl von Verdrahtungsmustern, der Vielzahl von Kontinuitätsprüfanschlussflächen und der Erdungsanschlussfläche, die in 13 und 14 dargestellt sind, von einer radial inneren Seite des Lagerungshauptkörpers aus. 15th FIG. 13 is a schematic view of the plurality of wiring patterns, the plurality of continuity test pads, and the grounding pad shown in FIG 13 and 14th are shown from a radially inner side of the bearing main body.
  • 16 ist eine Querschnittsansicht eines Hauptabschnitts einer Lagerung gemäß einer fünften Ausführungsform der vorliegenden Erfindung 16 Fig. 13 is a cross-sectional view of a main portion of a bearing according to a fifth embodiment of the present invention

Detaillierte Beschreibung der ErfindungDetailed description of the invention

Im Folgenden werden Ausführungsformen, bei welchen die vorliegende Erfindung angewendet ist, im Detail mit Bezug auf die Zeichnungen beschrieben.In the following, embodiments to which the present invention is applied will be described in detail with reference to the drawings.

Erste AusführungsformFirst embodiment

Eine Lagerung 5 gemäß einer ersten Ausführungsform wird mit Bezug auf 1 und 2 beschrieben. In 1 ist zur Vereinfachung einer Beschreibung ein Rotationskörper bzw. ein rotierender Körper 4, welcher kein Bauteil einer Lagerung 5 ist, dargestellt und nur ein Querschnitt eines Lagerungshauptkörpers 6 ist dargestellt.A storage 5 according to a first embodiment, reference is made to FIG 1 and 2 described. In 1 is a rotating body or a rotating body to simplify a description 4th which is not a component of a bearing 5 is shown and only a cross section of a bearing main body 6th is presented, layed out.

In 1 zeigt B einen ersten Abnutzungswert (im Folgenden als ein erster Abnutzungswert B bezeichnet) an, wenn ein gesamtes Erfassungsverdrahtungsteil 31, das an einer Position, die sich am nächsten an einer vorderen Endoberfläche 11a in einer Y-Richtung befindet, von einer Vielzahl von Erfassungsverdrahtungsteilen 31 bis 35 entfernt ist, C zeigt einen Abnutzungswert (im Folgenden als ein zweiter Abnutzungswert C bezeichnet) von der Entfernung eines gesamten Erfassungsverdrahtungsteils zu der Entfernung des gesamten nächsten Erfassungsverdrahtungsteils von der Vielzahl von Erfassungsverdrahtungsteilen 32 bis 35 an, und D zeigt eine Auflösung (im Folgenden als eine Auflösung D bezeichnet) eines Abnutzungssensors 8 an einer Position an, an welcher eine Abnutzungserfassungsverdrahtung 13 ausgebildet ist. Die Auflösung D entspricht dem zweiten Abnutzungswert C.In 1 B shows a first wear value (hereinafter referred to as a first wear value B. when an entire detection wiring part 31 that is at a position closest to a front end surface 11a in a Y Direction is located from a variety of detection wiring parts 31 to 35 is removed, C shows a wear value (hereinafter referred to as a second wear value C. from the removal of an entire detection wiring part to the removal of the entire next detection wiring part from the plurality of detection wiring 32 to 35 and D indicates a resolution (hereinafter referred to as a resolution D. labeled) of a wear sensor 8th at a position where wear detection wiring 13 is trained. The resolution D. corresponds to the second wear value C. .

In 1 und 2 zeigt A eine Richtung an, in welcher eine Abnutzung des Lagerungshauptkörpers 6 und des Abnutzungssensors 8 aufgrund eines Kontakts mit einer äußeren Umfangsoberfläche 4a des Rotationskörpers 4 fortschreitet (im Folgenden als eine Abnutzungsfortschrittsrichtung A bezeichnet), eine X-Richtung zeigt eine Querrichtung eines isolierenden Substrats 11 an und eine Y-Richtung zeigt eine Längsrichtung des isolierenden Substrats 11 an, die senkrecht zu der X-Richtung (eine Richtung, die die Abnutzungsfortschrittsrichtung A und eine der Abnutzungsfortschrittsrichtung A entgegengesetzte Richtung aufweist) an.In 1 and 2 A indicates a direction in which wear of the bearing main body 6th and the wear sensor 8th due to contact with an outer peripheral surface 4a of the solid of revolution 4th progresses (hereinafter as a wear progress direction A. denoted), an X direction shows a lateral direction of an insulating substrate 11 and a Y direction shows a longitudinal direction of the insulating substrate 11 that is perpendicular to the X direction (a direction that is the direction of wear progression A. and one of the wear progress direction A. opposite direction).

In 1 und 2 zeigt eine obere Seite, wie in der Zeichnung dargestellt, eine distale Endseite des isolierenden Substrats 11 an und eine untere Seite, wie in der Zeichnung dargestellt, zeigt eine hintere Endoberfläche des isolierenden Substrats 11 an. In 1 und 2 ist als ein Beispiel ein Zustand dargestellt, bei welchem das andere Ende einer Verdrahtung 41 mit einer Kontinuitätsprüfverdrahtung 21 verbunden ist und das andere Ende einer Verdrahtung 46 mit einer Erdungsverdrahtung 26 verbunden ist.In 1 and 2 Fig. 13 shows an upper side, as shown in the drawing, a distal end side of the insulating substrate 11 and a lower side as shown in the drawing shows a rear end surface of the insulating substrate 11 on. In 1 and 2 is shown as an example a state in which the other end of wiring 41 with a continuity test wiring 21st connected and the other end of a wiring 46 with a ground wiring 26th connected is.

Ferner wird bei der ersten Ausführungsform ein Fall als ein Beispiel beschrieben, bei dem der Abnutzungssensor 8 zu bzw. an dem Lagerungshauptkörper 6 so eingestellt ist, dass die vordere Endoberfläche 11a des isolierenden Substrats 11 koplanar zu der Abnutzungsoberfläche 6a des Lagerungshauptkörpers 6 ist.Further, in the first embodiment, a case will be described as an example where the wear sensor 8th to or on the storage main body 6th is set so that the front end surface 11a of the insulating substrate 11 coplanar with the wear surface 6a of the storage main body 6th is.

Die Lagerung 5 weist einen Lagerungshauptkörper 6 und eine Abnutzungssensorvorrichtung 7 auf.Warehousing 5 has a bearing main body 6th and a wear sensor device 7th on.

Der Lagerungshauptkörper 6 ist außerhalb der äußeren Umfangsoberfläche 4a des Rotationskörpers 4 in einer zylindrischen Form ausgebildet. Der Lagerungshauptkörper 6 weist eine zylindrische Form auf, die die äußere Umfangsoberfläche 4a des Rotationskörpers 4 umgibt.The bearing main body 6th is outside the outer peripheral surface 4a of the solid of revolution 4th formed in a cylindrical shape. The bearing main body 6th has a cylindrical shape that is the outer peripheral surface 4a of the solid of revolution 4th surrounds.

Der Lagerungshauptkörper 6 weist die Abnutzungsoberfläche 6a (eine innere Umfangsoberfläche), die den Rotationskörpers 4 drehbar trägt, auf. Die Abnutzungsoberfläche 6a ist eine Oberfläche, welche mit der äußeren Umfangsoberfläche 4a des Rotationskörpers 4 in Kontakt ist.The bearing main body 6th has the wear surface 6a (an inner circumferential surface) that the rotating body 4th rotatably carries on. The wear surface 6a is a surface that coincides with the outer peripheral surface 4a of the solid of revolution 4th is in contact.

Die Abnutzungssensorvorrichtung 7 weist den Abnutzungssensor 8 und eine Abnutzungswerterlangungsvorrichtung 9 auf.The wear sensor device 7th indicates the wear sensor 8th and a wear value obtaining device 9 on.

Der Abnutzungssensor 8 weist das isolierende Substrat 11, eine Verdrahtungsgruppe 12 und die Abnutzungserfassungsverdrahtung 13 auf. Das isolierende Substrat 11 ist ein rechteckiges plattenförmiges Substrat. Das isolierende Substrat 11 weist die vordere Endoberfläche 11a, eine hintere Endoberfläche (nicht dargestellt), ein Paar von Seitenoberflächen 11b und 11c und eine Verdrahtungsbildungsoberfläche 11d auf.The wear sensor 8th has the insulating substrate 11 , a wiring group 12 and the wear detection wiring 13 on. The insulating substrate 11 is a rectangular plate-shaped substrate. The insulating substrate 11 has the front end surface 11a , a rear end surface (not shown), a pair of side surfaces 11b and 11c and a wiring formation surface 11d on.

Die vordere Endoberfläche 11a ist eine Oberfläche senkrecht zu der Y-Richtung und ist der äußeren Umfangsoberfläche 4a des Rotationskörpers 4 zugewandt. Die vordere Endoberfläche 11a ist also an einer Seite ausgebildet, die abzunutzen ist, und ist von dem Lagerungshauptkörper 6 ausgesetzt bzw. freigelegt.The front end surface 11a is a surface perpendicular to the Y direction and is the outer peripheral surface 4a of the solid of revolution 4th facing. The front end surface 11a that is, is formed on a side to be worn and is from the bearing main body 6th exposed or exposed.

Direkt nachdem der Abnutzungssensor 8 an dem Lagerungshauptkörper 6 angebracht ist, ist die vordere Endoberfläche 11a koplanar zu der Abnutzungsoberfläche 6a des Lagerungshauptkörpers 6.Right after the wear sensor 8th on the storage main body 6th attached is the front end surface 11a coplanar with the wear surface 6a of the storage main body 6th .

Die vordere Endoberfläche 11a wird zusammen mit der Abnutzungsoberfläche 6a durch einen Kontakt mit der äußeren Umfangsoberfläche 4a des Rotationskörpers 4 abgenutzt. Wenn die vordere Endoberfläche 11a abgenutzt ist, zieht sich die vordere Endoberfläche 11a zusammen mit der Abnutzungsoberfläche 6a aus einer Position zurück, bevor sie in einer Radialrichtung des Lagergrundkörpers 6 nach außen abgenutzt wird.The front end surface 11a comes along with the wear surface 6a by contact with the outer peripheral surface 4a of the solid of revolution 4th worn. When the front end surface 11a is worn, the front end surface pulls 11a along with the wear surface 6a from a position before moving in a radial direction of the bearing body 6th is worn outwards.

Die hintere Endoberfläche (nicht dargestellt) ist an einer Seite ausgebildet, die der vorderen Endoberfläche 11a in der Y-Richtung gegenüberliegt.The rear end surface (not shown) is formed on a side that is the front end surface 11a opposite in the Y direction.

Die Seitenoberfläche 11b ist an einer Seite des isolierenden Substrats 11 in der X-Richtung ausgebildet (d.h. an einer ersten Seitenoberfläche). Die Seitenoberfläche 11c ist an der anderen Seite des isolierenden Substrats 11 in der X-Richtung ausgebildet (die eine zweite Seitenoberfläche ist). Die Seitenoberflächen 11b und 11c sind in der X-Richtung voneinander separiert bzw. getrennt und sind mit der vorderen Endoberfläche 11a verbunden.The side surface 11b is on one side of the insulating substrate 11 formed in the X direction (ie, on a first side surface). The side surface 11c is on the other side of the insulating substrate 11 formed in the X direction (which is a second side surface). The side surfaces 11b and 11c are separated from each other in the X direction and are connected to the front end surface 11a connected.

Die Verdrahtungsbildungsoberfläche 11d ist eine von zwei Oberflächen, die durch die vordere Endoberfläche 11a, die hintere Endoberfläche (nicht dargestellt) und das Paar von Seitenoberflächen 11b und 11c umgeben ist. Die Verdrahtungsbildungsoberfläche 11d ist eine Oberfläche, die senkrecht zu der X-Richtung und der Y-Richtung ist. Die Verdrahtungsbildungsoberfläche 11d weist eine Längsrichtung in der Y-Richtung auf und erstreckt sich in der Y-Richtung.The wiring formation surface 11d is one of two surfaces exposed by the front Final surface 11a , the rear end surface (not shown) and the pair of side surfaces 11b and 11c is surrounded. The wiring formation surface 11d is a surface that is perpendicular to the X direction and the Y direction. The wiring formation surface 11d has a longitudinal direction in the Y direction and extends in the Y direction.

Die Verdrahtungsgruppe 12 ist dazu ausgestaltet, die Kontinuitätsprüfverdrahtungen 21 bis 25 (eine Vielzahl von Kontinuitätsprüfverdrahtungen) und eine Erdungsverdrahtung 26 aufzuweisen.The wiring group 12 is designed to do the continuity test wiring 21st to 25th (a variety of continuity test wirings) and a ground wiring 26th to have.

Die Kontinuitätsprüfverdrahtungen 21 bis 25 und die Erdungsverdrahtung 26 sind Verdrahtungen, die sich in der Y-Richtung erstrecken und an der Verdrahtungsbildungsoberfläche 11d ausgebildet sind.The continuity test wiring 21st to 25th and the ground wiring 26th are wirings extending in the Y direction and on the wiring formation surface 11d are trained.

Die Kontinuitätsprüfverdrahtungen 21 bis 25 und die Erdungsverdrahtung 26 sind in der Reihenfolge der Kontinuitätsprüfverdrahtung 21, der Kontinuitätsprüfverdrahtung 22, der Kontinuitätsprüfverdrahtung 23, der Kontinuitätsprüfverdrahtung 24, der Kontinuitätsprüfverdrahtung 25 und der Erdungsverdrahtung 26 in Intervallen in einer Richtung von der Seitenoberfläche 11b zu der Seitenoberfläche 11c angeordnet.The continuity test wiring 21st to 25th and the ground wiring 26th are in the order of continuity test wiring 21st , the continuity test wiring 22nd , the continuity test wiring 23 , the continuity test wiring 24 , the continuity test wiring 25th and the ground wiring 26th at intervals in one direction from the side surface 11b to the side surface 11c arranged.

Distale Enden 21A bis 25A der Kontinuitätsprüfverdrahtungen 21 bis 25 und ein distales Ende 26A der Erdungsverdrahtung 26 sind an der Seite der vorderen Endoberfläche 11a angeordnet. Die distalen Enden 21A bis 26A weisen eine Form auf, die parallel zu der vorderen Endoberfläche 11a ist. Die distalen Enden 21A bis 26A sind also parallel zu der X-Richtung und senkrecht zu der Y-Richtung.Distal ends 21A to 25A of the continuity test wiring 21st to 25th and a distal end 26A the ground wiring 26th are on the side of the front end surface 11a arranged. The distal ends 21A to 26A have a shape that is parallel to the front end surface 11a is. The distal ends 21A to 26A are thus parallel to the X direction and perpendicular to the Y direction.

Jedes der distalen Enden 21A bis 26A von der Seitenoberfläche 11b zu der Seitenoberfläche 11c ist weiter von der vorderen Endoberfläche 11a zu der hinteren Endoberfläche des isolierenden Substrats 11 entfernt, sodass ein Abstand von der vorderen Endoberfläche 11a zu jedem der distalen Enden 21A bis 26A ansteigt.Each of the distal ends 21A to 26A from the side surface 11b to the side surface 11c is farther from the front end surface 11a to the rear end surface of the insulating substrate 11 removed so that a distance from the front end surface 11a to each of the distal ends 21A to 26A increases.

Die Abnutzungserfassungsverdrahtung 13 ist an der Verdrahtungsbildungsoberfläche 11d ausgebildet, um die distalen Enden 21A bis 25A der Kontinuitätsprüfverdrahtungen 21 bis 25 und das distale Ende 26A der Erdungsverdrahtung 26 zu verbinden.The wear detection wiring 13 is on the wiring formation surface 11d formed to the distal ends 21A to 25A of the continuity test wiring 21st to 25th and the distal end 26A the ground wiring 26th connect to.

Die Abnutzungserfassungsverdrahtung 13 ist an der Seite der vorderen Endoberfläche 11a hinsichtlich Positionen, an welchen die Kontinuitätsprüfverdrahtungen 21 bis 25 und die Erdungsverdrahtung 26 ausgebildet sind, angeordnet.The wear detection wiring 13 is on the side of the front end surface 11a regarding positions at which the continuity test wirings 21st to 25th and the ground wiring 26th are formed, arranged.

Die Abnutzungserfassungsverdrahtung 13 weist eine Vielzahl von Erfassungsverdrahtungsteilen 31 bis 35 auf.The wear detection wiring 13 has a plurality of detection wiring parts 31 to 35 on.

Das Erfassungsverdrahtungsteil 31 erstreckt sich in der X-Richtung senkrecht zu der Abnutzungsfortschrittsrichtung A. Das Erfassungsverdrahtungsteil 31 weist einen Endabschnitt 31A, der in der Nähe der Seitenoberfläche 11b angeordnet ist, und einen Endabschnitt 31B, der in der Nähe der Seitenoberfläche 11c angeordnet ist, auf. Der Endabschnitt 31A ist mit dem distalen Ende 21A der Kontinuitätsprüfverdrahtung 21 verbunden.The detection wiring part 31 extends in the X direction perpendicular to the direction of wear progression A. . The detection wiring part 31 has an end portion 31A that is near the side surface 11b is arranged, and an end portion 31B that is near the side surface 11c is arranged on. The end section 31A is to the distal end 21A of the continuity test wiring 21st connected.

Das Erfassungsverdrahtungsteil 32 erstreckt sich in der X-Richtung senkrecht zu der Abnutzungsfortschrittsrichtung A und ist mit dem distalen Ende 22A der Kontinuitätsprüfverdrahtung 22 verbunden. Das Erfassungsverdrahtungsteil 32 weist einen Endabschnitt 32A, der in der Nähe der Seitenoberfläche 11b angeordnet ist, und einen Endabschnitt 32B, der in der Nähe der Seitenoberfläche 11c angeordnet ist, auf.The detection wiring part 32 extends in the X direction perpendicular to the direction of wear progression A. and is with the distal end 22A of the continuity test wiring 22nd connected. The detection wiring part 32 has an end portion 32A that is near the side surface 11b is arranged, and an end portion 32B that is near the side surface 11c is arranged on.

Der Endabschnitt 32A weist einen Abschnitt auf, dessen Breite in der Y-Richtung kleiner ist als die des Endabschnitts 32B. Der Endabschnitt 32A ist mit dem Endabschnitt 31B des Erfassungsverdrahtungsteils 31 verbunden. Dadurch ist das Erfassungsverdrahtungsteil 31 elektrische mit der Kontinuitätsprüfverdrahtung 22 über den Endabschnitt 32A verbunden.The end section 32A has a portion whose width in the Y direction is smaller than that of the end portion 32B . The end section 32A is with the end section 31B of the detection wiring part 31 connected. Thereby is the detection wiring part 31 electrical with the continuity test wiring 22nd over the end section 32A connected.

Das Erfassungsverdrahtungsteil 32 ist an einer Position angeordnet, die weiter von der vorderen Endoberfläche 11a zu der hinteren Endoberfläche entfernt angeordnet ist, als eine Position, an welcher das Erfassungsverdrahtungsteil 31 in der Y-Richtung ausgebildet ist.The detection wiring part 32 is located at a position farther from the front end surface 11a away from the rear end surface as a position at which the detection wiring part 31 is formed in the Y direction.

Das Erfassungsverdrahtungsteil 33 erstreckt sich in der X-Richtung senkrecht zu der Abnutzungsfortschrittsrichtung A und ist mit dem distalen Ende 23A der Kontinuitätsprüfverdrahtung 23 verbunden. Das Erfassungsverdrahtungsteil 33 weist einen Endabschnitt 33A, der in der Nähe der Seitenoberfläche 11b angeordnet ist, und einen Endabschnitt 33B, der in der Nähe der Seitenoberfläche 11c angeordnet ist, auf.The detection wiring part 33 extends in the X direction perpendicular to the direction of wear progression A. and is with the distal end 23A of the continuity test wiring 23 connected. The detection wiring part 33 has an end portion 33A that is near the side surface 11b is arranged, and an end portion 33B that is near the side surface 11c is arranged on.

Der Endabschnitt 33A weist einen Abschnitt auf, dessen Breite in der Y-Richtung kleiner ist als die des Endabschnitts 33B. Der Endabschnitt 33A ist mit dem Endabschnitt 32B des Erfassungsverdrahtungsteils 32 verbunden. Dadurch ist das Erfassungsverdrahtungsteil 32 elektrisch mit der Kontinuitätsprüfverdrahtung 23 über den Endabschnitt 33A verbunden.The end section 33A has a portion whose width in the Y direction is smaller than that of the end portion 33B . The end section 33A is with the end section 32B of the detection wiring part 32 connected. Thereby is the detection wiring part 32 electrical with the continuity test wiring 23 over the end section 33A connected.

Das Erfassungsverdrahtungsteil 33 ist an einer Position angeordnet, die weiter von der vorderen Endoberfläche 11a zu der hinteren Endoberfläche entfernt ist als eine Position, an welcher das Erfassungsverdrahtungsteil 32 in der Y-Richtung ausgebildet ist. The detection wiring part 33 is located at a position farther from the front end surface 11a to the rear end surface as a position where the detection wiring part 32 is formed in the Y direction.

Das Erfassungsverdrahtungsteil 34 erstreckt sich in der X-Richtung senkrecht zu der Abnutzungsfortschrittsrichtung A und ist mit dem distalen Ende 24A der Kontinuitätsprüfverdrahtung 24 verbunden. Das Erfassungsverdrahtungsteil 34 weist einen Endabschnitt 34A, der in der Nähe der Seitenoberfläche 11b angeordnet ist, und einen Endabschnitt 34B, der in der Nähe der Seitenoberfläche 11c angeordnet ist, auf.The detection wiring part 34 extends in the X direction perpendicular to the direction of wear progression A. and is with the distal end 24A of the continuity test wiring 24 connected. The detection wiring part 34 has an end portion 34A that is near the side surface 11b is arranged, and an end portion 34B that is near the side surface 11c is arranged on.

Der Endabschnitt 34A weist einen Abschnitt auf, dessen Breite in der Y-Richtung kleiner ist als die des Endabschnitts 34B. Der Endabschnitt 34A ist mit dem Endabschnitt 33B des Erfassungsverdrahtungsteils 33 verbunden. Dadurch ist das Erfassungsverdrahtungsteil 33 elektrisch mit der Kontinuitätsprüfverdrahtung 24 über den Endabschnitt 34A verbunden.The end section 34A has a portion whose width in the Y direction is smaller than that of the end portion 34B . The end section 34A is with the end section 33B of the detection wiring part 33 connected. Thereby is the detection wiring part 33 electrical with the continuity test wiring 24 over the end section 34A connected.

Das Erfassungsverdrahtungsteil 34 befindet sich an einer Position, die weiter von der vorderen Endoberfläche 11a zu der hinteren Endoberfläche entfernt ist als eine Position, an welcher das Erfassungsverdrahtungsteil 33 in der Y-Richtung ausgebildet ist.The detection wiring part 34 is located at a position farther from the front end surface 11a to the rear end surface as a position where the detection wiring part 33 is formed in the Y direction.

Das Erfassungsverdrahtungsteil 35 erstreckt sich in der X-Richtung senkrecht zu der Abnutzungsfortschrittsrichtung A und ist mit dem distalen Ende 25A der Kontinuitätsprüfverdrahtung 25 verbunden. Das Erfassungsverdrahtungsteil 35 weist einen Endabschnitt 35A, der in der Nähe der Seitenoberfläche 11b ausgebildet ist, und einen Endabschnitt 35B, der in der Nähe der Seitenoberfläche 11c ausgebildet ist, auf.The detection wiring part 35 extends in the X direction perpendicular to the direction of wear progression A. and is with the distal end 25A of the continuity test wiring 25th connected. The detection wiring part 35 has an end portion 35A that is near the side surface 11b is formed, and an end portion 35B that is near the side surface 11c is trained on.

Der Endabschnitt 35A weist einen Abschnitt auf, dessen Breite in der Y-Richtung kleiner ist als die des Endabschnitts 35B. Der Endabschnitt 35A ist mit dem Endabschnitt 34B des Erfassungsverdrahtungsteils 34 verbunden. Dadurch ist das Erfassungsverdrahtungsteil 34 elektrisch mit der Kontinuitätsprüfverdrahtung 25 über den Endabschnitt 35A verbunden. Der Endabschnitt 35B ist mit dem distalen Ende 26A der Erdungsverdrahtung 26 verbunden.The end section 35A has a portion whose width in the Y direction is smaller than that of the end portion 35B . The end section 35A is with the end section 34B of the detection wiring part 34 connected. Thereby is the detection wiring part 34 electrical with the continuity test wiring 25th over the end section 35A connected. The end section 35B is to the distal end 26A the ground wiring 26th connected.

Das Erfassungsverdrahtungsteil 35 befindet sich an einer Position, die weiter von der vorderen Endoberfläche 11a zu der hinteren Endoberfläche entfernt ist als eine Position, an welcher das Erfassungsverdrahtungsteil 34 in der Y-Richtung ausgebildet ist.The detection wiring part 35 is located at a position farther from the front end surface 11a to the rear end surface as a position where the detection wiring part 34 is formed in the Y direction.

Die Abnutzungswerterlangungsvorrichtung 9 weist Verdrahtungen 41 bis 46 und einen Abnutzungswerterlangungsvorrichtung-Hauptkörper 48 auf.The wear value acquisition device 9 has wiring 41 to 46 and a wear value obtaining device main body 48 on.

Ein Ende der Verdrahtung 41 ist elektrische mit dem Abnutzungswerterlangungsvorrichtung-Hauptkörper 48 verbunden. Das andere Ende der Verdrahtung 41 ist mit der Kontinuitätsprüfverdrahtung 21 verbunden, wenn geprüft wird, ob die Kontinuitätsprüfverdrahtung 21 eine elektrische Kontinuität mit der Erdungsverdrahtung 26 (ein Zustand, der in 1 und 2 dargestellt ist) aufweist oder nicht.One end of the wiring 41 is electric with the wear value obtaining device main body 48 connected. The other end of the wiring 41 is with the continuity test wiring 21st connected when checking continuity test wiring 21st an electrical continuity with the ground wiring 26th (a state that occurs in 1 and 2 is shown) or not.

Wenn die Kontinuitätsprüfverdrahtungen 21 die elektrische Kontinuität mit der Erdungsverdrahtung 26 aufweist, wird bestimmt, dass das Erfassungsverdrahtungsteil 31 verblieben ist. Demgegenüber wird bestimmt, wenn die Kontinuitätsprüfverdrahtung 21 und die Erdungsverdrahtung 26 die elektrische Kontinuität nicht aufweisen, dass das gesamte Erfassungsverdrahtungsteil 31 aufgrund einer Abnutzung abgeschabt wurde.When the continuity test wirings 21st the electrical continuity with the ground wiring 26th it is determined that the detection wiring part 31 has remained. On the other hand, it is determined if the continuity check wiring 21st and the ground wiring 26th the electrical continuity does not have that the entire detection wiring part 31 has been scraped off due to wear and tear.

Ein Ende der Verdrahtung 42 ist elektrische mit dem Abnutzungswerterlangungsvorrichtung-Hauptkörper 48 verbunden. Das andere Ende der Verdrahtung 42 ist mit der Kontinuitätsprüfverdrahtung 22 verbunden, wenn geprüft wird, ob die Kontinuitätsprüfverdrahtung 22 eine elektrische Kontinuität mit der Erdungsverdrahtung 26 aufweist.One end of the wiring 42 is electric with the wear value obtaining device main body 48 connected. The other end of the wiring 42 is with the continuity test wiring 22nd connected when checking continuity test wiring 22nd an electrical continuity with the ground wiring 26th having.

Ein Ende der Verdrahtung 43 ist elektrisch mit dem Abnutzungswerterlangungsvorrichtung-Hauptkörper 48 verbunden. Das andere Ende der Verdrahtung 43 ist mit der Kontinuitätsprüfverdrahtung 23 verbunden, wenn geprüft wird, ob die Kontinuitätsprüfverdrahtung 23 eine elektrische Kontinuität mit der Erdungsverdrahtung 26 aufweist oder nicht.One end of the wiring 43 is electrical with the wear value obtaining device main body 48 connected. The other end of the wiring 43 is with the continuity test wiring 23 connected when checking continuity test wiring 23 an electrical continuity with the ground wiring 26th has or not.

Ein Ende der Verdrahtung 44 ist elektrisch mit dem Abnutzungswerterlangungsvorrichtung-Hauptkörper 48 verbunden. Das andere Ende der Verdrahtung 44 ist mit der Kontinuitätsprüfverdrahtung 24 verbunden, wenn geprüft wird, ob die Kontinuitätsprüfverdrahtung 24 eine elektrische Kontinuität mit der Erdungsverdrahtung 26 aufweist oder nicht.One end of the wiring 44 is electrical with the wear value obtaining device main body 48 connected. The other end of the wiring 44 is with the continuity test wiring 24 connected when checking continuity test wiring 24 an electrical continuity with the ground wiring 26th has or not.

Ein Ende der Verdrahtung 45 ist elektrisch mit dem Abnutzungswerterlangungsvorrichtung-Hauptkörper 48 verbunden. Das andere Ende der Verdrahtung 45 ist mit der Kontinuitätsprüfverdrahtung 25 verbunden, wenn geprüft wird, ob die Kontinuitätsprüfverdrahtung 25 eine elektrische Kontinuität mit der Erdungsverdrahtung 26 aufweist oder nicht.One end of the wiring 45 is electrical with the wear value obtaining device main body 48 connected. The other end of the wiring 45 is with the continuity test wiring 25th connected when checking continuity test wiring 25th an electrical continuity with the ground wiring 26th has or not.

Ein Ende der Verdrahtung 46 ist elektrisch mit dem Abnutzungswerterlangungsvorrichtung-Hauptkörper 48 verbunden. Das andere Ende der Verdrahtung 46 ist mit irgendeinem der Kontinuitätsprüfverdrahtungen 21 bis 25 verbunden, wenn geprüft wird, ob die Kontinuitätsprüfverdrahtungen 21 bis 25 eine elektrische Kontinuität mit der Erdungsverdrahtung 26 aufweisen oder nicht. One end of the wiring 46 is electrical with the wear value obtaining device main body 48 connected. The other end of the wiring 46 is with any of the continuity test wirings 21st to 25th connected when checking the continuity test wirings 21st to 25th an electrical continuity with the ground wiring 26th exhibit or not.

Der Abnutzungswerterlangungsvorrichtung-Hauptkörper 48 weist eine Speichereinheit 48A, eine Kontinuitätserfassungseinheit 48B und eine Abnutzungswerterlangungseinheit 48C auf.The wear value acquiring device main body 48 has a storage unit 48A , a continuity detection unit 48B and a wear value obtaining unit 48C on.

Eine Information über die ersten und zweiten Abnutzungswerte B und C wird der Speichereinheit 48A gespeichert. Die ersten und zweiten Abnutzungswerte B und C sind Daten, die sich auf eine Abnutzungswert des Abnutzungssensors 8 hinsichtlich eines Zustands der elektrischen Kontinuität der Verdrahtungsgruppe 12 beziehen.Information about the first and second wear values B. and C. becomes the storage unit 48A saved. The first and second wear values B. and C. is data relating to a wear value of the wear sensor 8th with respect to a state of electrical continuity of the wiring group 12 Respectively.

Die Kontinuitätserfassungseinheit 48B legt eine Spannung zwischen jede der Kontinuitätsprüfverdrahtungen 21 bis 25 und der Erdungsverdrahtung 26 an, um einen Zustand einer elektrischen Kontinuität zu erfassen und übermittelt eine Information des Zustands der elektrischen Kontinuität zu der Abnutzungswerterlangungseinheit 48C.The continuity acquisition unit 48B applies a voltage between each of the continuity test wirings 21st to 25th and the ground wiring 26th to detect a state of electrical continuity, and transmits information of the state of electrical continuity to the wear value obtaining unit 48C .

Die Abnutzungswerterlangungseinheit 48C erlangt den Abnutzungswert des Abnutzungssensors 8 (im Folgenden als ein Abnutzungswert X bezeichnet) auf der Basis der Information des Zustands der elektrischen Kontinuität, die durch die Kontinuitätserfassungseinheit 48B erfasst wird, und des ersten und zweiten Abnutzungswerts B und C.The wear and tear value acquisition unit 48C acquires the wear value of the wear sensor 8th (hereinafter referred to as a wear value X) based on the information of the state of electrical continuity obtained by the continuity detection unit 48B is detected, and the first and second wear values B. and C. .

Beispielsweise wird, wenn die Kontinuitätsprüfverdrahtung 21 und die Erdungsverdrahtung 26 keine elektrische Kontinuität aufweisen und die Kontinuitätsprüfverdrahtung 22 und die Erdungsverdrahtung 26 die elektrische Kontinuität aufweisen (der in 2 dargestellte Zustand), eine Summe des ersten Abnutzungswerts B und des zweiten Abnutzungswerts C als ein Abnutzungswert E erlangt wie in Gleichung (1) beschrieben. E = B + C

Figure DE102019007838A1_0001
For example, if the continuity test wiring 21st and the ground wiring 26th exhibit no electrical continuity and the continuity test wiring 22nd and the ground wiring 26th have electrical continuity (the one in 2 condition shown), a sum of the first wear value B. and the second wear value C. is obtained as a wear value E as described in equation (1). E. = B. + C.
Figure DE102019007838A1_0001

Wenn die Kontinuitätsprüfverdrahtungen 21 und 22 und die Erdungsverdrahtung 26 keine elektrische Kontinuität aufweisen und die Kontinuitätsprüfverdrahtung 23 und die Erdungsverdrahtung 26 die elektrische Kontinuität aufweisen, wird eine Summe des ersten Abnutzungswerts B und ein Wert, der das Doppelte des Abnutzungswerts C ist, als der Abnutzungswert E erlangt, wie in Gleichung (2) beschrieben. E = B + 2 × C

Figure DE102019007838A1_0002
When the continuity test wirings 21st and 22nd and the ground wiring 26th exhibit no electrical continuity and the continuity test wiring 23 and the ground wiring 26th which have electrical continuity becomes a sum of the first wear value B. and a value that is twice the amount of wear and tear C. is obtained as the wear value E as described in equation (2). E. = B. + 2 × C.
Figure DE102019007838A1_0002

Wenn die Kontinuitätsprüfverdrahtungen 21 bis 23 und die Erdungsverdrahtung 26 keine elektrische Kontinuität aufweisen und die Kontinuitätsprüfverdrahtung 24 und die Erdungsverdrahtung 26 die elektrische Kontinuität aufweisen, wird eine Summe des ersten Abnutzungswerts B und ein Wert, der das Dreifache des zweiten Abnutzungswerts C ist, als der Abnutzungswert E erlangt, wie in Gleichung (3) beschrieben. E = B + 3 × C

Figure DE102019007838A1_0003
When the continuity test wirings 21st to 23 and the ground wiring 26th exhibit no electrical continuity and the continuity test wiring 24 and the ground wiring 26th which have electrical continuity becomes a sum of the first wear value B. and a value three times the second wear value C. is obtained as the wear value E as described in equation (3). E. = B. + 3 × C.
Figure DE102019007838A1_0003

Auf diese Weise erlangt die Abnutzungswerterlangungseinheit 48C den Abnutzungswert E des Abnutzungssenders 8 seit einem Ausgangszustand (ein Zustand, bei dem die vordere Endoberfläche 11a des isolierenden Substrats 11 aufgrund des Rotationskörpers 4 nicht abgenutzt wurde).In this way, the wear value acquisition unit acquires 48C the wear value E of the wear transmitter 8th since an initial state (a state in which the front end surface 11a of the insulating substrate 11 due to the rotation body 4th has not been worn).

Die Abnutzungswerterlangungseinheit 48C erlangt einen Abnutzungswert F des Lagerungshauptkörpers 6 in der Nähe der Abnutzungsoberfläche 6a auf der Basis des Abnutzungswerts E des Abnutzungssensors 8.The wear and tear value acquisition unit 48C becomes a wear value F of the bearing main body 6th near the wear surface 6a based on the wear value E of the wear sensor 8th .

Bei dem Fall der ersten Ausführungsform ist der Abnutzungssensor 8 in einem Aufnahmeteil 6A des Lagerungshauptkörpers 6 so eingestellt, dass die Abnutzungsoberfläche 6a des Lagerungshauptkörpers 6 koplanar zu der vorderen Endoberfläche 11a des Abnutzungssenders 8 ist. Daher wird der Abnutzungswert F des Lagerungshauptkörpers 6 gleich dem Abnutzungswert E des Abnutzungssensors 8. Daher kann der Abnutzungswert F des Lagerungshauptkörpers 6 erlangt werden, indem der Abnutzungswert E des Abnutzungssensors 8 erlangt wird.In the case of the first embodiment, it is the wear sensor 8th in a receiving part 6A of the storage main body 6th adjusted so that the wear surface 6a of the storage main body 6th coplanar with the front end surface 11a of the wear transmitter 8th is. Therefore, the amount of wear F of the bearing main body becomes 6th equal to the wear value E of the wear sensor 8th . Therefore, the amount of wear F of the bearing main body 6th can be obtained by taking the wear value E of the wear sensor 8th is obtained.

Gemäß dem Abnutzungssensor 8 der ersten Ausführungsform weist der Abnutzungssensor 8 die Verdrahtungsgruppe 12 mit den Kontinuitätsprüfverdrahtungen 21 bis 25 und die Erdungsverdrahtung 26, welche in Intervallen in der X-Richtung von der Seitenoberfläche 11b zu der Seitenoberfläche 11c des isolierenden Substrats 11 angeordnet sind, und die Abnutzungserfassungsverdrahtung 13, die an der Verdrahtungsbildungsoberfläche 11d des isolierenden Substrats 11 ausgebildet ist und die distalen Enden 21A bis 25A der Kontinuitätsprüfverdrahtungen 21 bis 25 und das distale Ende 26A der Erdungsverdrahtung 26, welche an der Seite der vorderen Endoberfläche 11a des isolierenden Substrats 11 angeordnet sind, verbindet, auf. Die distalen Enden 21A bis 26A sind so angeordnet, dass das jeweilige distale Ende von der Seitenoberfläche 11b zu der Seitenoberfläche 11c weiter von der vorderen Endoberfläche 11a zu der hinteren Endoberfläche des isolierenden Substrats 11 entfernt ist. Die Abnutzungserfassungsverdrahtung 13 weist die Erfassungsverdrahtungsteile 31 bis 35 auf, die jeweils elektrisch mit distalen Enden von zwei Verdrahtungen, die unter den Kontinuitätsprüfverdrahtungen 21 bis 25 aneinander angrenzen, und der Erdungsverdrahtung 26 verbunden sind. Dementsprechend ist es nicht erforderlich, einen Spalt bzw. einen Zwischenraum zum elektrischen Isolieren zwischen den Erfassungsverdrahtungsteilen in der Abnutzungsfortschrittsrichtung A auszubilden.According to the wear sensor 8th the first embodiment has the wear sensor 8th the wiring group 12 with the continuity test wiring 21st to 25th and the ground wiring 26th which at intervals in the X direction from the side surface 11b to the side surface 11c of the insulating substrate 11 and the wear detection wiring 13 attached to the wiring formation surface 11d of the insulating substrate 11 is formed and the distal ends 21A to 25A of the continuity test wiring 21st to 25th and the distal end 26A the ground wiring 26th which is on the side of the front end surface 11a of the insulating substrate 11 are arranged, connects, on. The distal ends 21A to 26A are arranged so that the respective distal end is from the side surface 11b to the side surface 11c farther from the front end surface 11a to the rear end surface of the insulating substrate 11 away. The Wear detection wiring 13 has the detection wiring parts 31 to 35 on, each electrically connected to the distal ends of two wirings that are below the continuity test wirings 21st to 25th adjoin each other, and the grounding wiring 26th are connected. Accordingly, it is not necessary to leave a gap for electrically insulating between the detection wiring parts in the direction of wear progress A. to train.

Dadurch kann, da ein Abstand in der Längsrichtung (Y-Richtung) des isolierenden Substrats 11 von einer Position, an welcher ein Erfassungsverdrahtungsteil aufgrund einer Abnutzung entfernt wurde, zu einer Position, an welcher das nächste Erfassungsverdrahtungsteil entfernt wird, reduziert sein kann, die Auflösung D der der Abnutzungsmessung verbessert werden.Thereby, there can be a distance in the longitudinal direction (Y direction) of the insulating substrate 11 from a position where one detection wiring part has been removed due to wear to a position where the next detection wiring part is removed, the resolution may be reduced D. that of the wear measurement can be improved.

Abschnitte der jeweiligen Erfassungsverdrahtungsteile 31 bis 35, die aneinander angrenzen, können so angeordnet sein, dass sie sich in der Abnutzungsfortschrittsrichtung A überlappen und dadurch kann die Auflösung D der Abnutzungsmessung kleiner gemacht werden als eine Breite des Erfassungsverdrahtungsteils (eine Breite in der Y-Richtung).Portions of the respective detection wiring parts 31 to 35 that are adjacent to each other can be arranged so that they are in the direction of wear and tear A. overlap and this can cause the resolution D. of the wear measurement can be made smaller than a width of the detection wiring part (a width in the Y direction).

Die Erfassungsverdrahtungsteile 31 bis 35 sind so angeordnet, dass sie sich in einer Richtung senkrecht zu der Abnutzungsfortschrittsrichtung A erstrecken, wobei eine Form der Abnutzungserfassungsverdrahtung 13 so gestaltet ist, dass sie eine abgestufte Form aufweist, wodurch ein Zeitpunkt, bei dem jedes der Erfassungsverdrahtungsteile 31 bis 35 aufgrund einer Abnutzung entfernt wird, verschoben werden kann, ohne einen Spalt bzw. Zwischenraum in der Abnutzungsfortschrittsrichtung A auszubilden.The detection wiring parts 31 to 35 are arranged to extend in a direction perpendicular to the direction of wear progression A. extending one form of wear detection wiring 13 is designed to have a stepped shape, thereby a timing at which each of the detection wiring parts 31 to 35 removed due to wear, can be shifted without leaving a gap in the direction of wear progress A. to train.

Gemäß der Abnutzungssensorvorrichtung 7 der ersten Ausführungsform weist die Abnutzungssensorvorrichtung 7 den Abnutzungssensor 8 und die Abnutzungswerterlangungseinheit 9 auf, die die Kontinuitätserfassungseinheit 48B, welche einen Zustand der elektrischen Kontinuität durch Anlegen einer Spannung zwischen den Kontinuitätsprüfverdrahtungen 21 bis 25 und der Erdungsverdrahtung 26 bestimmt, die Speichereinheit 48A, in welcher Daten der erste und zweite Abnutzungswert B und C des Abnutzungssensors hinsichtlich des Zustands der elektrischen Kontinuität gespeichert werden, und die Abnutzungswerterlangungseinheit 48C, welche den Abnutzungswert E des Abnutzungssensors 8 auf der Basis des Zustands der elektrischen Kontinuität, die durch die Kontinuitätserfassungseinheit 48B erfasst wird, und die ersten und zweiten Abnutzungswerte B und C erlangt, aufweist, wodurch ein Abnutzungswert F eines Gegenstands auf der Basis des Abnutzungswerts E des Abnutzungssensors 8 erlangt werden kann.According to the wear sensor device 7th of the first embodiment has the wear sensor device 7th the wear sensor 8th and the wear value obtaining unit 9 on which the continuity detection unit 48B showing a state of electrical continuity by applying a voltage between the continuity check wirings 21st to 25th and the ground wiring 26th determines the storage unit 48A , in which dates the first and second wear values B. and C. of the wear sensor are stored as to the state of electrical continuity, and the wear value obtaining unit 48C which shows the wear value E of the wear sensor 8th based on the state of electrical continuity detected by the continuity detection unit 48B is detected, and the first and second wear values B. and C. obtained, thereby determining a wear value F of an object based on the wear value E of the wear sensor 8th can be obtained.

Gemäß der Lagerung 5 der ersten Ausführungsform weist die Lagerung 5 die oben beschriebene Abnutzungssensorvorrichtung 7 und den Lagerungshauptkörper 6 auf, der die Abnutzungsoberfläche 6a, die durch den Rotationskörper 4 abgenutzt wird, und das Aufnahmeteil 6A, das den Abnutzungssensor 8 aufnimmt, auf, wodurch der Abnutzungswert F des Lagerungshauptkörpers 6 erlangt werden kann.According to the storage 5 the first embodiment has the storage 5 the wear sensor device described above 7th and the storage main body 6th on that the wear surface 6a passing through the solid of revolution 4th is worn out, and the receiving part 6A that is the wear sensor 8th receives, thereby reducing the amount of wear F of the bearing main body 6th can be obtained.

Bei der ersten Ausführungsform kann, obwohl der Fall als ein Beispiel beschrieben wurde, bei dem fünf Kontinuitätsprüfverdrahtungen 21 bis 25, eine Erdungsverdrahtung 26 und fünf Erfassungsverdrahtungsteile 31 bis 35 vorgesehen sind, zumindest jede der Kontinuitätsprüfverdrahtung, die Erdungsverdrahtung 26 und das Erfassungsverdrahtungsteil vorgesehen sein und die Anzahl ist nicht auf die in 1 und 2 dargestellte Anzahl beschränkt.In the first embodiment, although the case has been described as an example, in which five continuity check wirings 21st to 25th , a ground wiring 26th and five detection wiring parts 31 to 35 provided, at least each of the continuity check wirings, the ground wiring 26th and the detection wiring part can be provided and the number is not limited to that in FIG 1 and 2 The number shown is limited.

Als nächstes wird ein Abnutzungssensor 55 gemäß einem modifizierten Beispiel der ersten Ausführungsform mit Bezug auf 3 beschrieben. In 3 sind dieselben Komponenten wie die bei der in 1 dargestellten Struktur durch dieselben Bezugszeichen bezeichnet.Next up is a wear sensor 55 according to a modified example of the first embodiment with reference to FIG 3 described. In 3 are the same components as those of the in 1 structure shown by the same reference numerals.

Der Abnutzungssensor 55 ist ähnlich dem Abnutzungssensor 8 ausgestaltet, außer dass der Abnutzungssensor 55 eine Verdrahtungsgruppe 56 aufweist, die an der Verdrahtungsbildungsoberfläche 11d des isolierenden Substrats 11 ausgebildet ist, anstatt die Verdrahtungsgruppe 12, die den Abnutzungssensor 8 der ersten Ausführungsform bildet.The wear sensor 55 is similar to the wear sensor 8th configured, except that the wear sensor 55 a wiring group 56 having on the wiring formation surface 11d of the insulating substrate 11 is formed instead of the wiring group 12 who have favourited the wear sensor 8th of the first embodiment.

Die Verdrahtungsgruppe 56 ist so ausgestaltet, dass sie Kontinuitätsprüfverdrahtungen 61 bis 65 (eine Vielzahl von Kontinuitätsprüfverdrahtungen) und eine Erdungsverdrahtung 66 aufweist.The wiring group 56 is designed to have continuity test wiring 61 to 65 (a variety of continuity test wirings) and a ground wiring 66 having.

Die Kontinuitätsprüfverdrahtungen 61 bis 65 und die Erdungsverdrahtung 66 sind in der Reihenfolge der Kontinuitätsprüfverdrahtung 61, der Kontinuitätsprüfverdrahtung 62, der Kontinuitätsprüfverdrahtung 63, der Kontinuitätsprüfverdrahtung 64, der Kontinuitätsprüfverdrahtung 65 und der Erdungsverdrahtung 66 in Intervallen in einer Richtung von der Seitenoberfläche 11b zu der Seitenoberfläche 11c angeordnet.The continuity test wiring 61 to 65 and the ground wiring 66 are in the order of continuity test wiring 61 , the continuity test wiring 62 , the continuity test wiring 63 , the continuity test wiring 64 , the continuity test wiring 65 and the ground wiring 66 at intervals in one direction from the side surface 11b to the side surface 11c arranged.

Die Kontinuitätsprüfverdrahtungen 61 bis 65 und die Erdungsverdrahtung 66 sind ähnlich der Kontinuitätsprüfverdrahtungen 21 bis 25 und der Erdungsverdrahtung 26, die oben beschrieben sind, ausgestaltet, außer dass distale Enden 61A bis 66A, die an der Seite der vorderen Endoberfläche 11a angeordnet sind, hinsichtlich der vorderen Endoberfläche 11a geneigt sind.The continuity test wiring 61 to 65 and the ground wiring 66 are similar to continuity test wiring 21st to 25th and the ground wiring 26th described above except for the distal ends 61A to 66A that are on the side of the front end surface 11a are arranged with respect to the front end surface 11a are inclined.

Die distalen Enden 61A bis 66A sind in derselben Richtung (in einer nach unten und nach rechts gerichteten Richtung wie in 3 dargestellte) geneigt. Die distalen Enden 61A bis 66A sind hinsichtlich der vorderen Endoberfläche 11a unter demselben Winkel geneigt. The distal ends 61A to 66A are in the same direction (in a downward and rightward direction as in 3 shown) inclined. The distal ends 61A to 66A are in terms of the front end surface 11a inclined at the same angle.

Jedes der distalen Enden 61A bis 66A von der Seitenoberfläche 11b zu der Seitenoberfläche 11c ist weiter von der vorderen Endoberfläche 11a entfernt, sodass sich ein Abstand von der vorderen Endoberfläche 11a zu jedem der distalen Enden 61A bis 66A vergrößert.Each of the distal ends 61A to 66A from the side surface 11b to the side surface 11c is farther from the front end surface 11a away so that there is a distance from the front end surface 11a to each of the distal ends 61A to 66A enlarged.

Eine Abnutzungserfassungsverdrahtung 59 ist an der Abnutzungsbildungsoberfläche 11d ausgebildet, um die distalen Enden 61A bis 65A der Kontinuitätsprüfverdrahtungen 61 bis 65 und das distale Ende 66A der Erdungsverdrahtung 66 zu verbinden.Wear detection wiring 59 is at the wear formation surface 11d formed to the distal ends 61A to 65A of the continuity test wiring 61 to 65 and the distal end 66A the ground wiring 66 connect to.

Die Abnutzungserfassungsverdrahtung 59 ist unter demselben Neigungswinkel geneigt wie die distalen Enden 61A bis 65A und erstreckt sich in einer Richtung. Die Abnutzungserfassungsverdrahtung 59 ist an der Seite der vorderen Endoberfläche 11a hinsichtlich Positionen, an welchen die Kontinuitätsprüfverdrahtungen 61 bis 65 und die Erdungsverdrahtung 66 ausgebildet sind, angeordnet.The wear detection wiring 59 is inclined at the same angle of inclination as the distal ends 61A to 65A and extends in one direction. The wear detection wiring 59 is on the side of the front end surface 11a regarding positions at which the continuity test wirings 61 to 65 and the ground wiring 66 are formed, arranged.

Die Abnutzungserfassungsverdrahtung 59 weist Erfassungsverdrahtungsteile 71 bis 75 (eine Vielzahl von Erfassungsverdrahtungsteilen) auf.The wear detection wiring 59 has detection wiring parts 71 to 75 (a variety of detection wiring parts).

Die Erfassungsverdrahtungsteile 71 bis 75 sind linear in einer Richtung angeordnet, in welcher sich die Abnutzungserfassungsverdrahtung 59 erstreckt. Die Erfassungsverdrahtungsteile 71 bis 75 sind in der Reihenfolge des Erfassungsverdrahtungsteils 71, des Erfassungsverdrahtungsteils 72, des Erfassungsverdrahtungsteils 72, des Erfassungsverdrahtungsteils 74 und des Erfassungsverdrahtungsteils 75 in einer Richtung von der Seitenoberfläche 11b zu der Seitenoberfläche 11c angeordnet.The detection wiring parts 71 to 75 are linearly arranged in a direction in which the wear detection wiring is 59 extends. The detection wiring parts 71 to 75 are in the order of the detection wiring part 71 , the detection wiring part 72 , the detection wiring part 72 , the detection wiring part 74 and the detection wiring part 75 in one direction from the side surface 11b to the side surface 11c arranged.

Auf diese Weise sind die Erfassungsverdrahtungsteile 71 bis 75 linear in einer Richtung angeordnet, in welcher sich die Abnutzungserfassungsverdrahtung 59 erstreckt, wodurch ein Zeitpunkt, bei dem jedes der Erfassungsverdrahtungsteile 71 bis 75 vollständig aufgrund einer Abnutzung entfernt ist, verschoben werden kann, ohne einen Spalt bzw. Zwischenraum in der Abnutzungsfortschrittsrichtung A auszubilden.In this way are the detection wiring parts 71 to 75 linearly arranged in a direction in which the wear detection wiring 59 extends, thereby a timing at which each of the detection wiring parts 71 to 75 removed completely due to wear can be shifted without leaving a gap in the direction of wear progress A. to train.

Die Erfassungsverdrahtungsteile 71 bis 75 sind unter einem konstanten Winkel hinsichtlich der vorderen Endoberfläche 11a geneigt. Wie oben beschrieben kann, wenn die Vielzahl der Erfassungsverdrahtungsteilen 71 bis 75 unter einem konstanten Winkel hinsichtlich der vorderen Endoberfläche 11a geneigt sind, die Auflösung der Abnutzungsleistung in der Abnutzungsfortschrittsrichtung A konstant gemacht werden.The detection wiring parts 71 to 75 are at a constant angle with respect to the front end surface 11a inclined. As described above, when the plurality of detection wiring parts 71 to 75 at a constant angle with respect to the front end surface 11a are inclined, the dissolution of the wear performance in the direction of wear progression A. be made constant.

Das Erfassungsverdrahtungsteil 71 bildet einen Endabschnitt der Abnutzungserfassungsverdrahtung 59, die in der Nähe der Seitenoberfläche 11b ausgebildet ist. Das Erfassungsverdrahtungsteil 71 weist einen Endabschnitt 71A, der in der Nähe der Seitenoberfläche 11b angeordnet ist, und einen Endabschnitt 71B, der in der Nähe der Seitenoberfläche 11c angeordnet ist, auf.The detection wiring part 71 forms an end portion of the wear detection wiring 59 that are near the side surface 11b is trained. The detection wiring part 71 has an end portion 71A that is near the side surface 11b is arranged, and an end portion 71B that is near the side surface 11c is arranged on.

Der Endabschnitt 71A ist mit dem gesamten distalen Ende 61A der Kontinuitätsprüfverdrahtung 61 verbunden. Der Endabschnitt 71B ist mit einer Ecke des distalen Endes 62A der Kontinuitätsprüfverdrahtung 62, die sich in der Nähe der Seitenoberfläche 11b befindet, in Punktkontakt.The end section 71A is with the entire distal end 61A of the continuity test wiring 61 connected. The end section 71B is with a corner of the distal end 62A of the continuity test wiring 62 that are near the side surface 11b is in point contact.

Das Erfassungsverdrahtungsteil 71, das wie oben beschrieben ausgestaltet ist, ist mit den Kontinuitätsprüfverdrahtungen 61 und 62 verbunden.The detection wiring part 71 configured as described above is with the continuity check wirings 61 and 62 connected.

Das Erfassungsverdrahtungsteil 72 weist einen Endabschnitt 72A, der in der Nähe der Seitenoberfläche 11b angeordnet ist, und einen Endabschnitt 72B, der in der Nähe der Seitenoberfläche 11c angeordnet ist, auf.The detection wiring part 72 has an end portion 72A that is near the side surface 11b is arranged, and an end portion 72B that is near the side surface 11c is arranged on.

Der Endabschnitt 72A ist mit einem Abschnitt verbunden, mit welchem der Endabschnitt 71B bei dem Endabschnitt 71A des Erfassungsverdrahtungsteils 71 und des distalen Endes 62A der Kontinuitätsprüfverdrahtung 62 nicht in Kontakt ist.The end section 72A is connected to a section to which the end section 71B at the end section 71A of the detection wiring part 71 and the distal end 62A of the continuity test wiring 62 is not in contact.

Der Endabschnitt 72B ist mit einer Ecke des distalen Endes 63A der Kontinuitätsprüfverdrahtung 63, die in der Nähe der Seitenoberfläche 11b angeordnet ist, in Punktkontakt.The end section 72B is with a corner of the distal end 63A of the continuity test wiring 63 that are near the side surface 11b is arranged in point contact.

Das Erfassungsverdrahtungsteil 72, das wie oben beschrieben ausgestaltet ist, ist mit den Kontinuitätsprüfverdrahtungen 62 und 63 verbunden.The detection wiring part 72 configured as described above is with the continuity check wirings 62 and 63 connected.

Das Erfassungsverdrahtungsteil 73 weist einen Endabschnitt 73A, der in der Nähe der Seitenoberfläche 11b angeordnet ist, und einen Endabschnitt 73B, der in der Nähe der Seitenoberfläche 11c angeordnet ist, auf.The detection wiring part 73 has an end portion 73A that is near the side surface 11b is arranged, and an end portion 73B that is near the side surface 11c is arranged on.

Der Endabschnitt 73A ist mit einem Abschnitt verbunden, mit welchem der Endabschnitt 72B bei dem Endabschnitt 72A des Erfassungsverdrahtungsteils 72 und des distalen Endes 63A der Kontinuitätsprüfverdrahtung 63 nicht in Kontakt ist.The end section 73A is connected to a section to which the end section 72B at the end section 72A of the detection wiring part 72 and the distal end 63A of the continuity test wiring 63 is not in contact.

Der Endabschnitt 73B ist mit einer Ecke des distalen Endes 64A der Kontinuitätsprüfverdrahtung 64, die in der Nähe der Seitenoberfläche 11b angeordnet ist, in Punktkontakt.The end section 73B is with a corner of the distal end 64A of the continuity test wiring 64 that are near the side surface 11b is arranged in point contact.

Das Erfassungsverdrahtungsteil 73, das wie oben beschrieben ausgestaltet ist, ist mit den Kontinuitätsprüfverdrahtungen 63 und 64 verbunden.The detection wiring part 73 configured as described above is with the continuity check wirings 63 and 64 connected.

Das Erfassungsverdrahtungsteil 74 weist einen Endabschnitt 74A, der in der Nähe der Seitenoberfläche 11b angeordnet ist, und einen Endabschnitt 74B, der in der Nähe der Seitenoberfläche 11c angeordnet ist, auf.The detection wiring part 74 has an end portion 74A that is near the side surface 11b is arranged, and an end portion 74B that is near the side surface 11c is arranged on.

Der Endabschnitt 74A ist mit einem Abschnitt verbunden, mit welchem der Endabschnitt 73B bei dem Endabschnitt 73A des Erfassungsverdrahtungsteils 73 und des distalen Endes 64A der Kontinuitätsprüfverdrahtung 64 nicht in Kontakt ist.The end section 74A is connected to a section to which the end section 73B at the end section 73A of the detection wiring part 73 and the distal end 64A of the continuity test wiring 64 is not in contact.

Der Endabschnitt 74B ist mit einer Ecke des distalen Endes 65A der Kontinuitätsprüfverdrahtung 65, die in der Nähe der Seitenoberfläche 11b positioniert ist, in Punktkontakt.The end section 74B is with a corner of the distal end 65A of the continuity test wiring 65 that are near the side surface 11b is positioned in point contact.

Das Erfassungsverdrahtungsteil 74, das wie oben beschrieben ausgestaltet ist, ist mit den Kontinuitätsprüfverdrahtungen 64 und 65 verbunden.The detection wiring part 74 configured as described above is with the continuity check wirings 64 and 65 connected.

Das Erfassungsverdrahtungsteil 75 weist einen Endabschnitt 75A, der in der Nähe der Seitenoberfläche 11b angeordnet ist, und einen Endabschnitt 75B, der in der Nähe der zweiten Seitenoberfläche 11c angeordnet ist, auf.The detection wiring part 75 has an end portion 75A that is near the side surface 11b is arranged, and an end portion 75B that is near the second side surface 11c is arranged on.

Der Endabschnitt 75A ist mit einem Abschnitt verbunden, mit welchem der Endabschnitt 74B bei dem Endabschnitt 75A des Erfassungsverdrahtungsteils 74A und des distalen Endes 65A der Kontinuitätsprüfverdrahtung 65 nicht in Kontakt ist. Der Endabschnitt 74B ist mit dem gesamten distalen Ende 66A der Erdungsverdrahtung 66 in Kontakt.The end section 75A is connected to a section to which the end section 74B at the end section 75A of the detection wiring part 74A and the distal end 65A of the continuity test wiring 65 is not in contact. The end section 74B is with the entire distal end 66A the ground wiring 66 in contact.

Das Erfassungsverdrahtungsteil 75, das wie oben beschrieben ausgestaltet ist, ist mit der Kontinuitätsprüfverdrahtung 65 und der Erdungsverdrahtung 66 verbunden.The detection wiring part 75 configured as described above is with the continuity check wiring 65 and the ground wiring 66 connected.

Die Erfassungsverdrahtungsteile 71 bis 75 sind unter demselben Winkel wie die distalen Enden 61A bis 66A in derselben Richtung wie die der distalen Enden 61A bis 66A geneigt.The detection wiring parts 71 to 75 are at the same angle as the distal ends 61A to 66A in the same direction as that of the distal ends 61A to 66A inclined.

Gemäß dem Abnutzungssensor 55 des modifizierten Beispiels der ersten Ausführungsform weist der Abnutzungssensor 55 die Abnutzungserfassungsverdrahtung 59, die die Vielzahl von Erfassungsverdrahtungsteilen 71 bis 75 aufweist, die in einer Richtung hinsichtlich der vorderen Endoberfläche 11a geneigt sind, auf, und wobei Ecken der distalen Enden 62A bis 65A der Kontinuitätsprüfverdrahtungen 62 bis 65, die in der Nähe der Seitenoberfläche 11c angeordnet sind, mit den Erfassungsverdrahtungsteilen 71 bis 74, bei zwei der Kontinuitätsprüfverdrahtungen 61 bis 65, die an Positionen angeordnet sind, die aneinander in der X-Richtung angrenzen, verbunden sind, sodass eine Trennung von zwei der Kontinuitätsprüfverdrahtungen 61 bis 65, die an aneinander angrenzenden Positionen angeordnet sind, an einem Punkt durchgeführt werden kann. Dementsprechend kann eine Messgenauigkeit der Abnutzung verbessert werden.According to the wear sensor 55 of the modified example of the first embodiment, the wear sensor 55 the wear detection wiring 59 who have favourited the variety of detection wiring parts 71 to 75 in one direction with respect to the front end surface 11a are inclined on, and with corners of the distal ends 62A to 65A of the continuity test wiring 62 to 65 that are near the side surface 11c are arranged with the detection wiring parts 71 to 74 , on two of the continuity test wirings 61 to 65 arranged at positions adjoining each other in the X direction are connected so as to separate two of the continuity check wirings 61 to 65 which are arranged at mutually adjacent positions can be performed at one point. Accordingly, measurement accuracy of wear can be improved.

Da sich ein Bereich verringert, in welchem Verdrahtungsbreiten der Kontinuitätsprüfverdrahtungen 61 bis 65 zu den Ecken der distalen Enden 61A bis 65A der Kontinuitätsprüfverdrahtungen 61 bis 65, die in der Nähe der Seitenoberfläche 11c angeordnet sind, verringern, kann eine plötzliche Änderung eines Widerstandswerts bei einer Trennung erzeugt werden. Dadurch ist das S/N-Verhältnis verbessert und somit kann eine Messgenauigkeit der Abnutzung verbessert werden.As an area decreases in which wiring widths of the continuity check wirings 61 to 65 to the corners of the distal ends 61A to 65A of the continuity test wiring 61 to 65 that are near the side surface 11c are arranged, a sudden change in resistance may be generated upon disconnection. As a result, the S / N ratio is improved, and thus measurement accuracy of wear can be improved.

Zweite AusführungsformSecond embodiment

Ein Verfahren zum Einstellen einer Lagerung 5 einer zweiten Ausführungsform wird mit Bezug auf 4 und 5 beschrieben. Bei der zweiten Ausführungsform wird ein Fall als ein Beispiel beschrieben, bei welchem der Abnutzungssensor 8 der ersten Ausführungsform an einem Lagerungshauptkörper 6 eingestellt ist.A method of adjusting a bearing 5 a second embodiment is made with reference to FIG 4th and 5 described. In the second embodiment, a case will be described as an example in which the wear sensor 8th of the first embodiment on a bearing main body 6th is set.

Ein in 4 dargestelltes J zeigt einen Bereich an, in welchem ein Abnutzungswert nicht erfasst werden kann (im Folgenden als ein Bereich J bezeichnet). In 4 und 5 sind dieselben Komponenten wie die der in 1 und 2 dargestellten Struktur durch dieselben Bezugszeichen bezeichnet.An in 4th Depicted J indicates an area in which a wear value cannot be detected (hereinafter referred to as an area J designated). In 4th and 5 are the same components as those in 1 and 2 structure shown by the same reference numerals.

Zuerst wird bei einem in 4 dargestellten Schritt der Abnutzungssensor 8 in einem Aufnahmeteil 6A des Lagerungshauptkörpers 6 so angeordnet, dass ein Abschnitt eines distalen Endes des Abnutzungssensors 8 von einer Abnutzungsoberfläche 6a des Lagerungshauptkörpers 6 vorsteht (Sensoranordnungsschritt).First, an in 4th illustrated step of the wear sensor 8th in a receiving part 6A of the storage main body 6th arranged so that a portion of a distal end of the wear sensor 8th from a wear surface 6a of the storage main body 6th protrudes (sensor arrangement step).

Bei dem Sensoranordnungsschritt wird ein Abschnitt der Erfassungsverdrahtungsteile 31 bis 35 (beispielsweise die Erfassungsverdrahtungsteile 32 bis 35 in dem Fall von 4) in dem Aufnahmeteil 6A angeordnet und der verbleibende Abschnitt (beispielsweise das Erfassungsverdrahtungsteil 31 in dem Fall von 4) wird außerhalb des Aufnahmeteils 6A angeordnet.In the sensor arranging step, a portion of the detection wiring parts 31 to 35 (For example, the detection wiring parts 32 to 35 in the case of 4th ) in the receiving part 6A and the remaining portion (for example, the detection wiring part 31 in the case of 4th ) is outside of the receiving part 6A arranged.

Als nächstes wird in einem in 5 dargestellten Schritt die distale Endseite des Abnutzungssensors 8, die von der Abnutzungsoberfläche 6a und der Seite der Abnutzungsoberfläche 6a des Lagerungshauptkörpers 6 vorsteht, so abgeschabt, dass die vordere Endoberfläche 11a des Abnutzungssensors 8 und die Abnutzungsoberfläche 6a koplanar zueinander sind (Verarbeitungsschritt). Bei dem Verarbeitungsschritt wird nicht nur das isolierende Substrat 11, sondern auch ein Abschnitt der Verdrahtungsgruppe 12 abgeschabt.Next, in an in 5 illustrated step the distal end side of the wear sensor 8th by the wear surface 6a and the side of the wear surface 6a of the storage main body 6th protrudes, scraped off so that the front end surface 11a of the wear sensor 8th and the wear surface 6a are coplanar to each other (processing step). In the processing step, not only the insulating substrate is used 11 but also a section of the wiring group 12 scraped off.

Bei dem Verfahren des Abschabens eines Abschnitts des Abnutzungssensors 8 und des Lagerungshauptkörpers 6 kann beispielsweise ein Verfahren wie ein Schneidverfahren oder ein Fräsverfahren genutzt werden.In the process of scraping a portion of the wear sensor 8th and the storage main body 6th For example, a method such as a cutting method or a milling method can be used.

Als nächstes wird ein Zustand einer elektrischen Kontinuität zwischen der Kontinuitätsprüfverdrahtung und der Erdungsverdrahtung unter Nutzung einer Abnutzungswerterlangungsvorrichtung 9 geprüft, um das Erfassungsverdrahtungsteil, das entfernt wurde, zu identifizieren (das Erfassungsverdrahtungsteil 31 in dem Fall der 5) (Kontinuitätsprüfungsschritt).Next, a state of electrical continuity between the continuity check wiring and the ground wiring using a wear value obtaining device will be discussed 9 is checked to identify the detection wiring that has been removed (the detection wiring 31 in the case of the 5 ) (Continuity check step).

Bei dem Kontinuitätsprüfungsschritt wird nacheinander eine Spannung zwischen den Kontinuitätsprüfverdrahtungen 21 bis 25 und der Erdungsverdrahtung 26 angelegt, um zu prüfen, ob ein Strom dadurch strömt oder nicht, wodurch das entfernte Erfassungsverdrahtungsteil identifiziert wird.In the continuity check step, a voltage is sequentially applied between the continuity check wirings 21st to 25th and the ground wiring 26th is applied to check whether or not a current is flowing therethrough, thereby identifying the remote detection wiring part.

In dem Fall von 5 strömt, da die Kontinuitätsprüfverdrahtung 21 von einer Struktur, die die verbleibende Abnutzungsverdrahtung 13 und die Kontinuitätsprüfverdrahtungen 22 bis 25 umfasst, getrennt ist, kein Strom zwischen der Kontinuitätsprüfverdrahtung 21 und der Erdungsverdrahtung 26. Daher ist in diesem Teil zu bestimmen, dass das Erfassungsverdrahtungsteil 31 entfernt wurde.In the case of 5 flows as the continuity test wiring 21st of a structure that will wear the remaining wiring 13 and the continuity test wirings 22nd to 25th includes, is disconnected, no power between the continuity test wiring 21st and the ground wiring 26th . Therefore, in this part, it is to be determined that the detection wiring part 31 was removed.

Demgegenüber strömt in dem Fall von 5, da die Struktur, die die verbleibende Abnutzungserfassungsverdrahtung 13 und die Kontinuitätsprüfverdrahtungen 22 bis 25 umfasst, integriert ist, ein Strom zwischen der Kontinuitätsprüfverdrahtung 22 und der Erdungsverdrahtung 26. Daher ist in diesem Fall zu bestimmen, dass das Erfassungsverdrahtungsteil 32 in einem Zustand verbleibt, der die Kontinuitätsprüfverdrahtung 22 und die Kontinuitätsprüfverdrahtung 23 verbinden kann.In contrast, in the case of 5 as the structure that the remaining wear detection wiring 13 and the continuity test wirings 22nd to 25th includes, is integrated, a current between the continuity test wiring 22nd and the ground wiring 26th . Therefore, in this case, it is to be determined that the detection wiring part 32 remains in a state that the continuity check wiring 22nd and the continuity test wiring 23 can connect.

Dementsprechend sind, wenn die Einstellung des Abnutzungssensors 8 zu bzw. an dem Lagerungshauptkörper 6 abgeschlossen ist, die Erfassungsverdrahtungsteile, die einen Abnutzungswert der Abnutzungsoberfläche 6a erfassen können, die Erfassungsverdrahtungsteile 32 bis 35, wobei das Erfassungsverdrahtungsteil 31 exkludiert bzw. ausgeschlossen ist. Dann wird beim Erfassen einer Abnutzung aufgrund eines Rotationskörpers die in 5 dargestellte Abnutzungsoberfläche 6a eine Referenzoberfläche.Accordingly, if the setting of the wear sensor 8th to or on the storage main body 6th is completed, the detection wiring parts showing a wear value of the wear surface 6a can detect the detection wiring parts 32 to 35 , the detection wiring part 31 is excluded or excluded. Then, when a wear due to a rotating body is detected, the in 5 depicted wear surface 6a a reference surface.

Gemäß dem Verfahren zum Einstellen der Lagerung 5 der zweiten Ausführungsform weist das Verfahren den oben beschriebenen Sensoranordnungsschritt, den Verarbeitungsschritt und den Kontinuitätsprüfungsschritt, auf wobei der Bereich J (ein Bereich von der vorderen Endoberfläche 11a des isolierenden Substrats 11 zu dem Erfassungsverdrahtungsteil 31, das am nächsten an der vorderen Endoberfläche 11a angeordnet ist), bei welchem ein Abnutzungswert nicht erfasst werden kann, entfernt werden kann und das Erfassungsverdrahtungsteil 31 das durch Abschaben entfernt wurde, identifiziert werden kann.According to the procedure for adjusting the storage 5 In the second embodiment, the method includes the above-described sensor arranging step, the processing step, and the continuity checking step, wherein the area J (an area from the front end surface 11a of the insulating substrate 11 to the detection wiring part 31 that is closest to the front end surface 11a is arranged) at which a wear value cannot be detected, can be removed, and the detection wiring part 31 removed by scraping can be identified.

Dadurch kann selbst wenn der Abnutzungswert der Abnutzungsoberfläche 6a des Lagerungshauptkörpers 6 klein ist, der Abnutzungswert erlangt werden.This allows even if the wear value of the wear surface 6a of the storage main body 6th is small, the wear value can be obtained.

Ferner können, obwohl bei der zweiten Ausführungsform ein Fall als ein Beispiel beschrieben wurde, bei dem der Abnutzungssensor 8 der ersten Ausführungsform bei dem Lagerungshauptkörper 6 eingestellt ist dieselben Effekte wie die der zweiten Ausführungsform erlangt werden, selbst wenn der Abnutzungssensor 55 des modifizierten Beispiels der ersten Ausführungsform bei dem Lagerungshauptkörper 6 anstatt des Abnutzungssensors 8 eingestellt ist.Further, although in the second embodiment, a case has been described as an example in which the wear sensor 8th of the first embodiment in the storage main body 6th is set, the same effects as those of the second embodiment can be obtained even if the wear sensor 55 of the modified example of the first embodiment in the bearing main body 6th instead of the wear sensor 8th is set.

Dritte AusführungsformThird embodiment

Eine Lagerung 80 gemäß einer dritten Ausführungsform wird mit Bezug auf 6 bis 12 beschrieben. In 6 und 7 zeigt 0 eine Achse der Lagerung 80 (im Folgenden als eine Achse 0 bezeichnet) an. In 6 bis 12 sind dieselben Komponenten durch dieselben Bezugszeichen bezeichnet.A storage 80 according to a third embodiment, reference is made to FIG 6th to 12 described. In 6th and 7th 0 shows an axis of the bearing 80 (hereinafter referred to as an axis 0). In 6th to 12 the same components are denoted by the same reference numerals.

Die Lagerung 80 gemäß der dritten Ausführungsform weist einen Lagerungshauptkörper 76, einen laminierten Körper 78, Kontinuitätsprüfanschlussflächen 81 bis 83 und eine Erdungsanschlussfläche 84 auf.Warehousing 80 according to the third embodiment has a bearing main body 76 , a laminated body 78 , Continuity check pads 81 to 83 and a ground pad 84 on.

Der Lagerungshauptkörper 76 weist ein Lagerungsmetallteil 87 und ein Lagerungsrückseitenmetallteil 88 auf. Das Lagerungsmetallteil 87 weist eine zylindrische Form auf. Das Lagerungsmetallteil 87 weist einen hohlen Abschnitt 87A, in welchen ein Rotationskörper hinein eingesetzt ist, eine innere Umfangsoberfläche 87a, welche den hohlen Abschnitt 87A definiert, einen äußeren Umfangsabschnitt 87b, eine Endoberfläche 87c und ein erstes abgeschnittenes Teil 87B auf.The bearing main body 76 has a bearing metal part 87 and a storage back metal part 88 on. The storage metal part 87 has a cylindrical shape. The storage metal part 87 has a hollow section 87A in which a rotating body is inserted, an inner peripheral surface 87a showing the hollow section 87A defines an outer peripheral portion 87b , an end surface 87c and a first cut part 87B on.

Die innere Umfangsoberfläche 87a bildet eine Abnutzungsoberfläche 76a des Lagerungshauptkörpers 76. Die Abnutzungsoberfläche 76a ist eine Oberfläche, die abgenutzt wird, indem sie mit dem Rotationskörper (nicht dargestellt) in Kontakt ist. The inner peripheral surface 87a forms a wear surface 76a of the storage main body 76 . The wear surface 76a is a surface that is worn by being in contact with the rotating body (not shown).

Die Endoberfläche 87c ist in der Nähe einer Seite der Lagerung 80 in der Richtung der Achse 0 angeordnet. Die Endoberfläche 87c bildet einen Abschnitt einer Endoberfläche 76b des Lagerungshauptkörpers 76, die in der Nähe einer Seite in der Richtung der Achse 0 angeordnet ist.The final surface 87c is near one side of the storage 80 arranged in the direction of axis 0. The final surface 87c forms a portion of an end surface 76b of the storage main body 76 which is located near one side in the direction of the axis 0.

Das erste abgeschnittene Teil 87B ist ausgebildet, indem ein Abschnitt des Lagerungsmetallteils 87 so ausgeschnitten ist, dass die Abnutzungsoberfläche 76a hinsichtlich der Abnutzungsoberfläche 76a radial nach außen zurückgesetzt ist.The first cut off part 87B is formed by removing a portion of the bearing metal part 87 is cut out so that the wear surface 76a in terms of wear surface 76a is set back radially outward.

Das Lagerungsrückseitenmetallteil 88 ist aus einem Metallmaterial ausgebildet. Das Lagerungsrückseitenmetallteil 88 weist eine zylindrische Form auf. Das Lagerungsrückseitenmetallteil 88 ist außerhalb des Lagerungsmetallteils 87 vorgesehen, um die äußere Umfangsoberfläche 87b des Lagerungsmetallteils 87 abzudecken.The storage back metal part 88 is formed from a metal material. The storage back metal part 88 has a cylindrical shape. The storage back metal part 88 is outside the storage metal part 87 provided to the outer peripheral surface 87b of the bearing metal part 87 to cover.

Das Lagerungsrückseitenmetallteil 88 weist eine Endoberfläche 88a, die in der Nähe einer Seite in der Richtung der Achse 0 angeordnet ist, auf. Die Endoberfläche 88a ist so angeordnet, dass sie koplanar zu der Endoberfläche 87c ist. Die Endoberfläche 88a bildet den verbleibenden Abschnitt der Endoberfläche 76b. Die Endoberfläche 76b ist also durch die Endoberfläche 87c und die Endoberfläche 88a gebildet.The storage back metal part 88 has an end surface 88a located near one side in the direction of the axis 0. The final surface 88a is arranged to be coplanar with the end surface 87c is. The final surface 88a forms the remaining portion of the end surface 76b . The final surface 76b so is through the end surface 87c and the end surface 88a educated.

Der laminierte Körper 78 ist in dem ersten abgeschnittenen Teil 87B vorgesehen. Der laminierte Körper 78 weist isolierende Schichten 91, 93, 95 und 97 und die Verdrahtungsmuster 92, 94 und 96 auf.The laminated body 78 is in the first cut off part 87B intended. The laminated body 78 has insulating layers 91 , 93 , 95 and 97 and the wiring patterns 92 , 94 and 96 on.

Die isolierenden Schichten 91, 93, 95 und 97 und Verdrahtungsmuster 92, 94 und 96 sind an einer unteren Oberfläche 87Ba des ersten abgeschnittenen Teils 87B in der Reihenfolge der isolierenden Schicht 91, des Verdrahtungsmusters 92, der isolierenden Schicht 93, des Verdrahtungsmusters 94, der isolierenden Schicht 95, des Verdrahtungsmusters 96 und der isolierenden Schicht 97 laminiert. Der laminierte Körper 87 ist also durch abwechselndes Laminieren der isolierenden Schichten 91, 93, 95 und 97 und der Verdrahtungsmuster 92, 94 und 96 gebildet.The insulating layers 91 , 93 , 95 and 97 and wiring pattern 92 , 94 and 96 are on a lower surface 87Ba of the first cut portion 87B in the order of the insulating layer 91 , the wiring pattern 92 , the insulating layer 93 , the wiring pattern 94 , the insulating layer 95 , the wiring pattern 96 and the insulating layer 97 laminated. The laminated body 87 is therefore by alternately laminating the insulating layers 91 , 93 , 95 and 97 and the wiring pattern 92 , 94 and 96 educated.

Die isolierende Schicht 91 bildet eine unterste Schicht des laminierten Körpers 78. Die isolierende Schicht 97 bildet eine oberste Schicht des laminierten Körpers 78. Eine äußere Oberfläche 97a der isolierenden Schicht 97 ist so ausgebildet, dass sie koplanar zu der Abnutzungsoberfläche 76a ist.The insulating layer 91 forms a bottom layer of the laminated body 78 . The insulating layer 97 forms a top layer of the laminated body 78 . An outer surface 97a the insulating layer 97 is designed to be coplanar with the wear surface 76a is.

Für die isolierenden Schichten 91, 93, 95 und 97 kann beispielsweise eine SiO2-Schicht, eine SiN-Schicht oder dergleichen genutzt werden, die beispielsweise durch ein Verfahren wie einer chemische Gasphasenabscheidung („chemical vapor deposition“ CVD), das eine von Herstellungstechnologien für Halbleiterbauelemente ist, hergestellt werden.For the insulating layers 91 , 93 , 95 and 97 For example, an SiO 2 layer, a SiN layer or the like can be used, which are produced for example by a method such as chemical vapor deposition (CVD), which is one of production technologies for semiconductor components.

Die Verdrahtungsmuster 92, 94 und 96 sind Kontinuitätsprüfverdrahtungen und weisen ein Mäandermuster bzw. ein gewundenes Muster auf. Wie oben beschrieben kann, wenn Formen der Verdrahtungsmuster 92, 94 und 96 in einem Mäandermuster ausgebildet sind, eine Fläche von jedem der Verdrahtungsmuster 92, 94, 96 in dem ersten abgeschnittenen Teil 87B vergrößert sein. Dadurch kann, da ein Bereich, in welchem jedes der Verdrahtungsmuster 92, 94 und 96 abgenutzt wird, vergrößert sein kann, wenn die Abnutzungsoberfläche 76a abgenutzt wird, die Genauigkeit eines Abnutzungswerts der Abnutzungsoberfläche 76a verbessert werden.The wiring pattern 92 , 94 and 96 are continuity check wirings and have a meander pattern or a winding pattern. As described above can when shapes the wiring pattern 92 , 94 and 96 are formed in a meander pattern, one face of each of the wiring patterns 92 , 94 , 96 in the first cut off part 87B be enlarged. Thereby, there can be an area in which each of the wiring patterns 92 , 94 and 96 is worn, can be enlarged when the wear surface 76a is worn, the accuracy of a wear value of the wear surface 76a be improved.

Das Verdrahtungsmuster 92 weist einen Abschnitt, der mit den isolierenden Schichten 91 und 93 bedeckt ist, und ein Ende 92A und das andere Ende 92B, welche von der isolierenden Schicht 93 freigelegt sind, auf. Das eine Ende 92A und das andere Ende 92B sind in der Nähe der Endoberfläche 76b des Lagerungshauptkörpers 76 angeordnet.The wiring pattern 92 has a portion associated with the insulating layers 91 and 93 is covered, and an end 92A and the other end 92B which from the insulating layer 93 are exposed on. One end 92A and the other end 92B are near the end surface 76b of the storage main body 76 arranged.

Das Verdrahtungsmuster 94 weist einen Abschnitt, der mit den isolierenden Schichten 93 und 95 bedeckt ist, und ein Ende 94A und das andere Ende 94B, welche von der isolierenden Schicht 95 freigelegt sind, auf. Das eine Ende 94A und das andere Ende 94B sind in der Nähe der Endoberfläche 76b des Lagerungshauptkörpers 76 angeordnet.The wiring pattern 94 has a portion associated with the insulating layers 93 and 95 is covered, and an end 94A and the other end 94B which from the insulating layer 95 are exposed on. One end 94A and the other end 94B are near the end surface 76b of the storage main body 76 arranged.

Das Verdrahtungsmuster 96 weist einen Abschnitt, der mit den isolierenden Schichten 95 und 97 bedeckt ist, und ein Ende 96A und das andere Ende 96B, welche von der isolierenden Schicht 97 freigelegt sind, auf. Das eine Ende 96A und das andere Ende 96B sind in der Nähe der Endoberfläche 76b des Lagerungshauptkörpers 76 angeordnet.The wiring pattern 96 has a portion associated with the insulating layers 95 and 97 is covered, and an end 96A and the other end 96B which from the insulating layer 97 are exposed on. One end 96A and the other end 96B are near the end surface 76b of the storage main body 76 arranged.

Die Verdrahtungsmuster 92, 94 und 96 können beispielsweise unter Verwendung von Herstellungstechnologien für Halbleiterbauelemente (Mikrofabrikationstechnologien), wie beispielsweise einer Photolithographietechnologie, eines Sputterverfahrens, eines Dampfabscheidungsverfahrens und eines Trockenätzverfahrens gebildet werden.The wiring pattern 92 , 94 and 96 can be formed using, for example, semiconductor device manufacturing technologies (microfabrication technologies) such as photolithography technology, a sputtering method, a vapor deposition method, and a dry etching method.

Die Kontinuitätsprüfanschlussfläche 81 ist an der Endoberfläche 76b des Lagerungshauptkörpers 76 über die isolierende Schicht 91 vorgesehen. Die Kontinuitätsprüfanschlussfläche 81 ist mit einem Ende 92A des Verdrahtungsmusters 92 verbunden. Die Kontinuitätsprüfanschlussfläche 81 ist eine Anschlussfläche, die zusammen mit der Erdungsanschlussfläche 84 genutzt wird, wenn eine Kontinuitätsprüfung des Verdrahtungsmusters 92 durchgeführt wird.The continuity test pad 81 is on the end surface 76b of the storage main body 76 over the insulating layer 91 intended. The Continuity test pad 81 is with an end 92A of the wiring pattern 92 connected. The continuity test pad 81 is a connection surface that, together with the earth connection surface 84 used when performing a continuity check of the wiring pattern 92 is carried out.

Die Kontinuitätsprüfanschlussfläche 82 ist an der Endoberfläche 76b des Lagerungshauptkörpers 76 über die isolierende Schicht 93 vorgesehen. Die Kontinuitätsprüfanschlussfläche 82 ist mit dem einen Ende 94A des Verdrahtungsmusters 94 verbunden. Die Kontinuitätsprüfanschlussfläche 82 ist eine Anschlussfläche, die zusammen mit der Erdungsanschlussfläche 84 genutzt wird, wenn eine Kontinuitätsprüfung des Verdrahtungsmusters 94 durchgeführt wird.The continuity test pad 82 is on the end surface 76b of the storage main body 76 over the insulating layer 93 intended. The continuity test pad 82 is with one end 94A of the wiring pattern 94 connected. The continuity test pad 82 is a connection surface that, together with the earth connection surface 84 used when performing a continuity check of the wiring pattern 94 is carried out.

Die Kontinuitätsprüfanschlussfläche 83 ist an der Endoberfläche 76b des Lagerungshauptkörpers 76 über die isolierende Schicht 95 vorgesehen. Die Kontinuitätsprüfanschlussfläche 83 ist mit dem einen Ende 96A des Verdrahtungsmusters 96 verbunden. Die Kontinuitätsprüfanschlussfläche 83 ist eine Anschlussfläche, die zusammen mit der Erdungsanschlussfläche 84 verwendet wird, wenn eine Kontinuitätsprüfung des Verdrahtungsmusters 96 durchgeführt wird.The continuity test pad 83 is on the end surface 76b of the storage main body 76 over the insulating layer 95 intended. The continuity test pad 83 is with one end 96A of the wiring pattern 96 connected. The continuity test pad 83 is a connection surface that, together with the earth connection surface 84 used when making a continuity check of the wiring pattern 96 is carried out.

Die Erdungsanschlussfläche 84 ist an der Endoberfläche 76b des Lagerungshauptkörpers 76 über die isolierende Schicht 91 vorgesehen. Die Erdungsanschlussfläche 84 ist mit den anderen Enden 92B, 94B und 96B der Verdrahtungsmuster 92, 94 und 96 verbunden.The earth connection area 84 is on the end surface 76b of the storage main body 76 over the insulating layer 91 intended. The earth connection area 84 is with the other ends 92B , 94B and 96B the wiring pattern 92 , 94 and 96 connected.

Die Kontinuitätsprüfanschlussflächen 81 bis 83 und die Erdungsanschlussflächen 84 sind in einer Umfangsrichtung des Lagerungshauptkörpers 76 so angeordnet, dass sich die Anschlussflächen nicht überlappen.The continuity test pads 81 to 83 and the earth connection surfaces 84 are in a circumferential direction of the storage main body 76 arranged so that the connection surfaces do not overlap.

Gemäß der Lagerung 80 der dritten Ausführungsform sind die isolierenden Schichten 91, 93, 95 und 97 und die Verdrahtungsmuster 92, 94 und 96 unter Verwendung der oben beschriebenen Herstellungstechnologien für Halbleiterbauelemente hergestellt, wodurch Dicken der isolierenden Schichten 91, 93, 95 und 97 und Dicken der Verdrahtungsmuster 92, 94 und 96 in einer Radialrichtung des Lagerungshauptkörpers 76 reduziert werden können.According to the storage 80 of the third embodiment are the insulating layers 91 , 93 , 95 and 97 and the wiring patterns 92 , 94 and 96 manufactured using the manufacturing technologies described above for semiconductor components, thereby increasing the thickness of the insulating layers 91 , 93 , 95 and 97 and thicknesses of the wiring patterns 92 , 94 and 96 in a radial direction of the support main body 76 can be reduced.

Daher kann die Abnutzungsauflösung, welche eine Tiefe (Abstand) von einer Position, an welcher ein Verdrahtungsmuster 94 oder 96, das in der Nähe der Abnutzungsoberfläche 76a positioniert ist, aufgebrochen wurde, zu einer Position, an welcher das nächste Verdrahtungsmuster 92 oder 94 aufgebrochen wird, verringert werden. Dementsprechend kann die Auflösung der Abnutzungsmessung verbessert werden.Therefore, the wear resolution can be a depth (distance) from a position where a wiring pattern 94 or 96 that is near the wear surface 76a is positioned, has been broken to a position where the next wiring pattern 92 or 94 broken up, decreased. Accordingly, the resolution of the wear measurement can be improved.

An der Endoberfläche 76b, welche ein anderer Bereich ist als die Abnutzungsoberfläche 76a, sind die Kontinuitätsprüfanschlussflächen 81 bis 83 mit den einen Enden 92A, 94A und 96A der Verdrahtungsmuster 92, 94 und 96 verbunden und die Erdungsanschlussfläche 84 ist mit den anderen Enden 92B, 94B und 96B der Verdrahtungsmuster 92, 94 und 96 verbunden, wodurch Verdrahtungen, die bei einer Kontinuitätsprüfung genutzt werden, einfach mit den Kontinuitätsprüfanschlussflächen 81 bis 83 und der Erdungsanschlussfläche 84 verbunden werden können. Dementsprechend kann die Kontinuitätsprüfung einfach durchgeführt werden.At the end surface 76b which is a different area from the wear surface 76a , are the continuity check pads 81 to 83 with one end 92A , 94A and 96A the wiring pattern 92 , 94 and 96 connected and the earth connection surface 84 is with the other ends 92B , 94B and 96B the wiring pattern 92 , 94 and 96 connected, making wiring used in a continuity test easy to connect to the continuity test pads 81 to 83 and the earth connection surface 84 can be connected. Accordingly, the continuity check can be easily performed.

Vierte AusführungsformFourth embodiment

Eine Lagerung 105 gemäß einer vierten Ausführungsform wird mit Bezug auf 13 bis 15 beschrieben. In 13 zeigt DE1 eine Tiefe eines ersten abgeschnittenen Teils 87B (im Folgenden als eine Tiefe DE1 bezeichnet) mit einer Abnutzungsoberfläche 76a als eine Referenz, zeigt DE2 eine Tiefe eines zweiten abgeschnittenen Teils 76A (im Folgenden als eine Tiefe DE2 bezeichnet) mit der Abnutzungsoberfläche 76a als eine Referenz an. 13 ist eine Ansicht, die einem Querschnitt entlang einer in 15 dargestellten Linie P1-P2 entspricht. 14 ist eine Ansicht, die einem Querschnitt entlang einer in 15 dargestellten Linie Q1-Q2 entspricht.A storage 105 according to a fourth embodiment, reference is made to FIG 13 to 15th described. In 13 shows DE 1 a depth of a first cut part 87B (hereinafter referred to as a depth DE 1 labeled) with a wear surface 76a as a reference, shows DE 2 a depth of a second cut part 76A (hereinafter referred to as a depth DE 2 labeled) with the wear surface 76a as a reference. 13 FIG. 13 is a view corresponding to a cross section taken along a FIG 15th line P1-P2 shown corresponds. 14th FIG. 13 is a view corresponding to a cross section taken along a FIG 15th line Q1-Q2 shown corresponds.

In 13 bis 15 sind dieselben Komponenten wie die der in 7 bis 12 dargestellten Struktur durch dieselben Bezugszeichen bezeichnet.In 13 to 15th are the same components as those in 7th to 12 structure shown by the same reference numerals.

Die Lagerung 105 ist ähnlich der Lagerung 80 der dritten Ausführungsform ausgestaltet, mit dem Unterschied, dass ein zweites abgeschnittenes Teil 76A in dem Lagerungshauptkörper 76, der die Lagerung 80 der dritten Ausführungsform bildet, ausgebildet ist und Verdrahtungsmuster 92, 94 und 96 zu dem zweiten abgeschnittenen Teil 76A hinausgeführt sind, sodass Kontinuitätsprüfanschlussflächen 81 bis 83 und eine Erdungsanschlussfläche 84 in dem zweiten abgeschnittenen Teil 76A angeordnet sind.Warehousing 105 is similar to storage 80 the third embodiment, with the difference that a second cut off part 76A in the storage main body 76 who made the storage 80 of the third embodiment forms, is formed and wiring patterns 92 , 94 and 96 to the second cut off part 76A are led out so that continuity test pads 81 to 83 and a ground pad 84 in the second cut off part 76A are arranged.

Das zweite abgeschnittene Teil 76A ist in einem Lagerungsmetallteil 87 und in einem Lagerungsrückseitenmetallteil 88, das außerhalb des ersten abgeschnittenen Teils 87B in einer Längsrichtung des Lagerungshauptkörpers 6 positioniert ist, ausgebildet. Das zweite abgeschnittene Teil 76A ist so ausgebildet, dass es sich zu einer Endoberfläche 88a des Lagerungsrückseitenmetallteils 88 erstreckt. Die ersten und zweiten abgeschnittenen Teile 87B und 76A kommunizieren mit einander.The second cut off part 76A is in a storage metal part 87 and in a storage back metal part 88 that is outside the first clipped part 87B in a longitudinal direction of the storage main body 6th is positioned, formed. The second cut off part 76A is designed to become an end surface 88a of the storage back metal part 88 extends. The first and second cut off parts 87B and 76A communicate with each other.

Die Tiefe DE2 des zweiten abgeschnittenen Teils 76A ist so ausgebildet, dass sie tiefer ist als die Tiefe DE1 des ersten abgeschnittenen Teils 87B. The depth DE 2 of the second cut off part 76A is designed so that it is deeper than the depth DE 1 of the first cut part 87B .

Die anderen Enden 92B und 94B der Verdrahtungsmuster 92 und 94 sind mit dem Verdrahtungsmuster 96 an einem Grenzabschnitt zwischen dem ersten abgeschnittenen Teil 87B und dem zweiten abgeschnittenen Teil 76A verbunden.The other ends 92B and 94B the wiring pattern 92 and 94 are with the wiring pattern 96 at a boundary portion between the first cut part 87B and the second cut part 76A connected.

Gemäß der Lagerung 105 der vierten Ausführungsform sind die Kontinuitätsprüfanschlussflächen 81 bis 83 und die Erdungsanschlussfläche 84 in dem zweiten abgeschnittenen Teil 76A mit der Tiefe DE2 , die tiefer ist als die Tiefe DE1 des ersten abgeschnittenen Teils mit der Abnutzungsoberfläche 76a als eine Referenz, angeordnet, wodurch Verdrahtungen, die bei der Kontinuitätsprüfung genutzt werden, einfach mit den Kontinuitätsprüfanschlussflächen 81 bis 83 und der Erdungsanschlussfläche 84 verbunden werden können. Dieselben Effekte wie die bei der Lagerung 80 der dritten Ausführungsform können also erlangt werden.According to the storage 105 of the fourth embodiment are the continuity check pads 81 to 83 and the earth connection area 84 in the second cut off part 76A with the depth DE 2 that is deeper than the depth DE 1 of the first cut part with the wear surface 76a as a reference, which makes wiring used in the continuity test easy with the continuity test pads 81 to 83 and the earth connection surface 84 can be connected. The same effects as those in storage 80 the third embodiment can thus be achieved.

Fünfte AusführungsformFifth embodiment

Eine Lagerung 115 einer fünften Ausführungsform wird mit Bezug auf 16 beschrieben. Darstellungen der Kontinuitätsprüfanschlussflächen 81 bis 83 und einer Erdungsanschlussfläche 84, die die Lagerung 115 bilden, sind in 16 weggelassen.A storage 115 a fifth embodiment is made with reference to FIG 16 described. Representations of the continuity test pads 81 to 83 and a ground connection surface 84 who have favourited the storage 115 form are in 16 omitted.

Die Lagerung 115 ist ähnlich wie die Lagerung 80 der dritten Ausführungsform ausgestaltet, mit der Ausnahme, dass die Lagerung 115 einen Lagerungshauptkörper 116 anstelle des Lagerungshauptkörpers 76, der die Lagerung 80 der dritten Ausführungsform bildet, aufweist und ein laminierter Körper 78 an einer inneren Umfangsoberfläche 88b eines Lagerungsrückseitenmetallteils 88, das den Lagerungshauptkörper 116 bildet, ausgebildet ist.Warehousing 115 is similar to the storage 80 of the third embodiment, with the exception that the storage 115 a storage main body 116 instead of the storage main body 76 who made the storage 80 of the third embodiment, comprises and a laminated body 78 on an inner peripheral surface 88b a bearing back metal part 88 that is the bearing main body 116 forms, is formed.

Der Lagerungshauptkörper 116 weist das zylindrische Lagerungsrückseitenmetallteil 88 und ein zylindrisches Lagerungsmetallteil 117, das an der inneren Umfangsoberfläche 88b des Lagerungsrückseitenmetallteils 88 angeordnet ist und dessen innere Umfangsoberfläche 117a, die einen Rotationskörper drehbar trägt, eine Abnutzungsoberfläche 116a ist.The bearing main body 116 has the cylindrical bearing back metal part 88 and a cylindrical bearing metal part 117 that is on the inner peripheral surface 88b of the storage back metal part 88 is arranged and its inner peripheral surface 117a that rotatably supports a rotating body, a wear surface 116a is.

Das Lagerungsmetallteil 117 wird gebildet, indem der laminierte Körper 78 an der inneren Umfangsoberfläche 88b des Lagerungsrückseitenmetallteils 88 ausgebildet wird, ein Metallfilm an der inneren Umfangsoberfläche 88b abgeschieden wird, um den laminierten Körper 78 abzudecken, und dann eine Polierbearbeitung an einer Oberfläche des Metallfilms durchgeführt wird.The storage metal part 117 is formed by the laminated body 78 on the inner peripheral surface 88b of the storage back metal part 88 is formed, a metal film is formed on the inner peripheral surface 88b is deposited to the laminated body 78 and then polishing processing is performed on a surface of the metal film.

Die innere Umfangsoberfläche 117 ist eine glatte, gekrümmte Oberfläche ohne eine Stufe.The inner peripheral surface 117 is a smooth, curved surface without a step.

Obwohl nicht dargestellt sind Verdrahtungsmuster 92, 94 und 96 über isolierende Schichten 91, 93 und 95 zu einem anderen Bereich als die Abnutzungsoberfläche 116a in dem Lagerungshauptkörper 116 hinausgeführt, jede der Kontinuitätsprüfanschlussflächen ist mit einem der Verdrahtungsmuster 92, 94 und 96 in dem oben beschriebenen Bereich verbunden und die Erdungsanschlussfläche ist in dem oben beschriebenen Bereich in einen Zustand, indem sie von den Kontinuitätsprüfanschlussflächen getrennt ist, angeordnet.Although not shown, wiring patterns are shown 92 , 94 and 96 via insulating layers 91 , 93 and 95 to an area other than the wear surface 116a in the storage main body 116 each of the continuity check pads is associated with one of the wiring patterns 92 , 94 and 96 is connected in the above-described area, and the grounding pad is arranged in the above-described area in a state of being separated from the continuity check pads.

Gemäß der Lagerung 115 der fünften Ausführungsform können die gleichen Effekte wie die der Lagerung 80 der oben beschriebenen dritten Ausführungsform erzielt werden.According to the storage 115 the fifth embodiment can have the same effects as those of storage 80 of the third embodiment described above can be achieved.

Da der laminierte Körper 78 an der inneren Umfangsoberfläche 88b des Lagerungsrückseitenmetallteils 88 ausgebildet ist und dann das aus einem Metallfilm gebildete Lagerungsmetallteil 117 gebildet wird, kann auch ein Schritt zum Bilden eines zurückgesetzten bzw. vertieften Teils oder eines abgeschnittenen Teils, in dem der laminierte Körper 78 in dem Lagerungsmetallteil 117 aufgenommen ist, entfallen.Because the laminated body 78 on the inner peripheral surface 88b of the storage back metal part 88 is formed and then the bearing metal part formed from a metal film 117 is formed, there may also be a step of forming a recessed part or a cut-away part in which the laminated body is formed 78 in the storage metal part 117 is included.

Während die bevorzugten Ausführungsformen der vorliegenden Erfindung vorstehend beschrieben wurden, ist die vorliegende Erfindung nicht auf solche spezifischen Ausführungsformen beschränkt, und es können verschiedene Modifikationen und Änderungen innerhalb des in dem Anspruch beschriebenen Kerns der vorliegenden Erfindung vorgenommen werden.While the preferred embodiments of the present invention have been described above, the present invention is not limited to such specific embodiments, and various modifications and changes can be made within the gist of the present invention described in the claim.

Ferner wurde die Endoberfläche 76b des Lagerungshauptkörpers 76 als Beispiel für den anderen Bereich als die Abnutzungsoberfläche 76a bei der dritten Ausführungsform und das zweite abgeschnittenen Teil 76A als Beispiel für den anderen Bereich als die Abnutzungsoberfläche 76a bei der vierten Ausführungsform beschrieben, aber der andere Bereich als die Abnutzungsoberfläche 76a ist nicht auf darauf beschränkt.Also became the end surface 76b of the storage main body 76 as an example of the area other than the wear surface 76a in the third embodiment and the second cut part 76A as an example of the area other than the wear surface 76a in the fourth embodiment, but the area other than the wear surface 76a is not limited to that.

BezugszeichenlisteList of reference symbols

44th
RotationskörperBody of revolution
4a, 87b4a, 87b
äußere Umfangsoberflächeouter peripheral surface
5, 80, 105, 1155, 80, 105, 115
Lagerungstorage
6, 76, 1166, 76, 116
LagerungshauptkörperBearing main body
6a, 76a, 116a 6a, 76a, 116a
AbnutzungsoberflächeWear surface
6A6A
AufnahmeteilReceiving part
77th
AbnutzungssensorvorrichtungWear sensor device
8, 558, 55
AbnutzungssensorWear sensor
99
AbnutzungswerterlangungsvorrichtungWear value acquisition device
1111
isolierendes Substratinsulating substrate
11a11a
vordere Endoberflächefront end surface
11b, 11c11b, 11c
SeitenoberflächeSide surface
11d11d
VerdrahtungsbildungsoberflächeWiring formation surface
12, 5612, 56
VerdrahtungsgruppeWiring group
13, 5913, 59
AbnutzungserfassungsverdrahtungWear detection wiring
21 bis 25, 61 bis 6521 to 25, 61 to 65
KontinuitätsprüfverdrahtungContinuity test wiring
26, 6626, 66
ErdungsverdrahtungGround wiring
21A bis 26A, 61A bis 66A21A to 26A, 61A to 66A
distales Endedistal end
31 bis 35, 71 bis 7531 to 35, 71 to 75
ErfassungsverdrahtungsteilDetection wiring part
31A bis 35A, 31B bis 35B, 71A bis 75A, 71B bis 75B31A to 35A, 31B to 35B, 71A to 75A, 71B to 75B
EndabschnittEnd section
41 bis 4641 to 46
Verdrahtungwiring
4848
Abnutzungswerterlangungsvorrichtung-HauptkörperWear value acquiring device main body
48A48A
SpeichereinheitStorage unit
48B48B
KontinuitätserfassungseinheitContinuity acquisition unit
48C48C
AbnutzungswerterlangungseinheitWear and tear acquisition unit
76b, 87c, 88a76b, 87c, 88a
EndoberflächeFinal surface
76A76A
zweites abgeschnittenes Teilsecond cut off part
7878
laminierter Körperlaminated body
81 bis 8381 to 83
KontinuitätsprüfanschlussflächenContinuity test pads
8484
ErdungsanschlussflächeGround connection surface
87, 11787, 117
LagerungsmetallteilStorage metal part
87a, 117a87a, 117a
innere Umfangsoberflächeinner peripheral surface
87A87A
hohler Abschnitthollow section
87B87B
erstes abgeschnittenes Teilfirst cut off part
8888
LagerungsrückseitenmetallteilStorage back metal part
91, 93, 95, 95, 9791, 93, 95, 95, 97
isolierende Schichtinsulating layer
92, 94, 9692, 94, 96
VerdrahtungsmusterWiring pattern
92A, 94A, 96A, 96A92A, 94A, 96A, 96A
ein Endean end
92B, 94B, 96B, 96B92B, 94B, 96B, 96B
das andere Endethe other end
AA.
AbnutzungsfortschrittsrichtungWear progress direction
BB.
erster Abnutzungswertfirst wear value
CC.
zweite Abnutzungswertsecond wear value
DD.
Auflösungresolution
DE1, DE2 DE 1 , DE 2
Tiefedepth
JJ
BereichArea
OO
Achseaxis

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Zitierte PatentliteraturPatent literature cited

  • JP 4072914 [0004]JP 4072914 [0004]
  • JP 6083960 [0004]JP 6083960 [0004]

Claims (12)

Ein Abnutzungssensor umfassend: ein isolierendes Substrat, dessen Abnutzungsfortschrittsrichtung mit einer Längsrichtung davon übereinstimmt, und das eine vordere Endoberfläche, die an einer Seite des abzunutzenden isolierenden Substrats gebildet ist, ein Paar Seitenoberflächen, die in einer Querrichtung senkrecht zu der Längsrichtung voneinander getrennt sind und jeweils mit der vorderen Endoberfläche in Kontakt stehen, und eine Verdrahtungsbildungsoberfläche, die von der vorderen Endoberfläche und dem Paar von Seitenoberflächen umgeben ist und sich in der Längsrichtung erstreckt, umfasst, eine Verdrahtungsgruppe, die eine Vielzahl von Kontinuitätsprüfverdrahtungen und zumindest eine Erdungsverdrahtung aufweist, die an der Verdrahtungsbildungsoberfläche so ausgebildet sind, dass sie sich in der Abnutzungsfortschrittsrichtung erstrecken, und die in Intervallen in einer Richtung von einer ersten Seitenoberfläche des isolierenden Substrats zu einer zweiten Seitenoberfläche davon angeordnet sind, und eine Abnutzungserfassungsverdrahtung, die an der Verdrahtungsbildungsoberfläche ausgebildet ist und distale Enden der Vielzahl von Kontinuitätsprüfverdrahtungen und ein distales Ende der Erdungsverdrahtung verbindet, die an bzw. auf der Seite der vorderen Endoberfläche angeordnet sind, wobei die distalen Enden der Vielzahl von Kontinuitätsprüfverdrahtungen und das distale Ende der Erdungsverdrahtung so angeordnet sind, dass jedes jeweilige distale Ende von der ersten Seitenoberfläche zu der zweiten Seitenoberfläche weiter weg von der vorderen Endoberfläche zu einer hinteren Endoberfläche des isolierenden Substrats angeordnet ist, und die Abnutzungserfassungsverdrahtung eine Vielzahl von Erfassungsverdrahtungsteilen aufweist, die jeweils elektrisch mit distalen Enden von zwei aneinander angrenzenden Verdrahtungen in der Vielzahl von Kontinuitätsprüfverdrahtungen und der Erdungsverdrahtung verbunden sind.A wear sensor comprising: an insulating substrate whose wear advancing direction coincides with a longitudinal direction thereof, and which has a front end surface formed on one side of the insulating substrate to be worn, a pair of side surfaces separated from each other in a transverse direction perpendicular to the longitudinal direction and each with the front end surface are in contact, and includes a wiring formation surface surrounded by the front end surface and the pair of side surfaces and extending in the longitudinal direction, a wiring group that includes a plurality of continuity check wirings and at least one grounding wiring that are formed on the wiring formation surface so as to extend in the wear advancing direction and that are arranged at intervals in a direction from a first side surface of the insulating substrate to a second side surface thereof are and wear detection wiring that is formed on the wiring formation surface and connects distal ends of the plurality of continuity check wirings and a distal end of the grounding wiring disposed on the front end surface side, wherein the distal ends of the plurality of continuity check wirings and the distal end of the grounding wiring are arranged so that each respective distal end is located from the first side surface to the second side surface farther from the front end surface to a rear end surface of the insulating substrate, and the wear detection wiring includes a plurality of detection wiring parts each electrically connected to distal ends of two adjacent wirings in the plurality of continuity test wirings and the grounding wiring. Der Abnutzungssensor gemäß Anspruch 1, wobei sich die Vielzahl von Erfassungsverdrahtungsteilen jeweils in einer Richtung senkrecht zu der Abnutzungsfortschrittsrichtung erstrecken, und die Abnutzungserfassungsverdrahtung eine abgestufte Form aufweist.The wear sensor according to Claim 1 wherein the plurality of detection wiring parts each extend in a direction perpendicular to the wear advancing direction, and the wear detection wiring has a stepped shape. Der Abnutzungssensor gemäß Anspruch 1, wobei die Vielzahl von Erfassungsverdrahtungsteilen so angeordnet sind, dass sie hinsichtlich der vorderen Endoberfläche geneigt sind.The wear sensor according to Claim 1 wherein the plurality of detection wiring parts are arranged so as to be inclined with respect to the front end surface. Der Abnutzungssensor gemäß Anspruch 3, wobei die Vielzahl von Erfassungsverdrahtungsteilen unter einem konstanten Winkel hinsichtlich der vorderen Endoberfläche geneigt sind.The wear sensor according to Claim 3 wherein the plurality of detection wiring parts are inclined at a constant angle with respect to the front end surface. Der Abnutzungssensor gemäß Anspruch 4, wobei die Erfassungsverdrahtungsteile mit einer Ecke des distalen Endes der Kontinuitätsprüfverdrahtung in Punktkontakt stehen, die in der Nähe der zweiten Seitenoberfläche bei zwei der Kontinuitätsprüfverdrahtungen angeordnet ist, die an Positionen angeordnet sind, die in der Querrichtung aneinander angrenzen.The wear sensor according to Claim 4 wherein the detection wiring parts are in point contact with a corner of the distal end of the continuity check wiring arranged in the vicinity of the second side surface at two of the continuity check wirings arranged at positions adjacent to each other in the lateral direction. Eine Abnutzungssensorvorrichtung, umfassend: den Abnutzungssensor gemäß einem der Ansprüche 1 bis 5, und eine Abnutzungssensorvorrichtung mit: einer Kontinuitätserfassungseinheit, die einen Zustand von elektrischer Kontinuität durch Anlegen einer Spannung zwischen der Vielzahl von Kontinuitätsprüfverdrahtungen und der Erdungsverdrahtung erfasst, einer Speichereinheit, die Daten über einen Abnutzungswert des Abnutzungssensors hinsichtlich des Zustand der elektrischen Kontinuität speichert, und einer Abnutzungswerterlangungseinheit, die den Abnutzungswert des Abnutzungssensors auf der Basis des Zustands der elektrischen Kontinuität, die durch die Kontinuitätserfassungseinheit erfasst wird, und der Daten erfasst.A wear sensor device comprising: the wear sensor according to any one of Claims 1 to 5 , and a wear sensor device comprising: a continuity detection unit that detects a state of electrical continuity by applying a voltage between the plurality of continuity check wirings and the grounding wiring, a storage unit that stores data on a wear value of the wear sensor in terms of the state of electrical continuity, and a wear value acquisition unit that detects the wear value of the wear sensor based on the state of electrical continuity detected by the continuity detection unit and the data. Eine Lagerung, umfassend: die Abnutzungssensorvorrichtung gemäß Anspruch 6, und einen Lagerungshauptkörper, aufweisend: eine Abnutzungsoberfläche, die durch einen Rotationskörper abgenutzt wird, und ein Aufnahmeteil, das den Abnutzungssensor aufnimmt, wobei die Abnutzungswerterlangungseinheit einen Abnutzungswert des Lagerungshauptkörpers auf der Basis eines Abnutzungswerts des Abnutzungssensors erlangt.A bearing comprising: the wear sensor device according to FIG Claim 6 , and a bearing main body comprising: a wear surface that is worn by a rotating body and a receiving part that houses the wear sensor, wherein the wear value acquisition unit acquires a wear value of the bearing main body on the basis of a wear value of the wear sensor. Ein Verfahren zum Einstellen der Lagerung gemäß Anspruch 7, wobei das Verfahren umfasst: einen Sensoranordnungsschritt des Anordnens des Abnutzungssensors in dem Aufnahmeteil des Lagerungshauptkörpers, so dass ein Abschnitt eines distalen Endes des Abnutzungssensors von der Abnutzungsoberfläche des Lagerungshauptkörpers vorsteht, einen Verarbeitungsschritt des Abschabens der distalen Endseite des Abnutzungssensors und der Seite der Abnutzungsoberfläche des Lagerungshauptkörpers, so dass eine vordere Endoberfläche des Abnutzungssensors und die Abnutzungsoberfläche koplanar zueinander sind, und einen Kontinuitätsprüfungsschritt des Durchführens einer Kontinuitätsprüfung unter Verwendung der Abnutzungswerterlangungsvorrichtung nach dem Verarbeitungsschritt, um das Erfassungsverdrahtungsteil zu identifizieren, das aus der Vielzahl von Erfassungsverdrahtungsteilen entfernt wurde, wobei ein Abschnitt der Vielzahl von Erfassungsverdrahtungsteilen in dem Aufnahmeteil angeordnet wird und der verbleibende Abschnitt davon außerhalb des Aufnahmeteils in dem Sensoranordnungsschritt angeordnet wird.A method for adjusting the storage according to Claim 7 The method comprising: a sensor arranging step of arranging the wear sensor in the receiving part of the support main body so that a portion of a distal end of the wear sensor protrudes from the wear surface of the support main body, a processing step of scraping the distal end side of the wear sensor main body and the side of the wear surface so that a front end surface of the wear sensor and the wear surface are coplanar with each other, and a continuity check step of performing a continuity check using the wear value obtaining device according to FIG A processing step of identifying the detection wiring that has been removed from the plurality of detection wiring, a portion of the plurality of detection wiring being disposed in the receiving portion and the remaining portion thereof being disposed outside the receiving portion in the sensor arranging step. Eine Lagerung, umfassend: einen zylindrischen Lagerungshauptkörper, bei dem eine innere Umfangsoberfläche, die einen Rotationskörper drehbar trägt, eine Abnutzungsoberoberfläche ist und ein erstes abgeschnittenes Teil, das radial nach außen von der Abnutzungsoberfläche zurückgesetzt ist, ausgebildet ist, einen laminierten Körper, der in dem ersten abgeschnittenen Teil ausgebildet ist und in dem eine isolierende Schicht und ein Verdrahtungsmuster abwechselnd laminiert sind, eine mit dem Verdrahtungsmuster verbundene Kontinuitätsprüfanschlussfläche, und eine Erdungsanschlussfläche, die zum Zeitpunkt der Kontinuitätsprüfung zu verwenden ist, wobei das Verdrahtungsmuster über die isolierende Schicht zu einem anderen Bereich als die Abnutzungsoberfläche in dem Lagerungshauptkörper hinaus geführt ist, die Kontinuitätsprüfanschlussfläche mit dem Verdrahtungsmuster in dem Bereich verbunden ist, und die Erdungsanschlussfläche in dem Bereich in einem Zustand der Trennung von der Kontinuitätsprüfanschlussfläche angeordnet ist.A storage comprising: a cylindrical bearing main body in which an inner circumferential surface that rotatably supports a rotating body is a wear surface and a first cut portion recessed radially outward from the wear surface is formed, a laminated body which is formed in the first cut part and in which an insulating layer and a wiring pattern are laminated alternately, a continuity test pad connected to the wiring pattern, and a grounding pad to be used at the time of the continuity test, where the wiring pattern is led beyond the insulating layer to an area other than the wear surface in the bearing main body, the continuity check pad is connected to the wiring pattern in the area, and the grounding pad is arranged in the area in a state of disconnection from the continuity check pad. Eine Lagerung, umfassend: einen Lagerungshauptkörper, der ein zylindrisches Lagerungsrückseitenmetallteil und ein zylindrisches Lagerungsmetallteil umfasst, das an einer inneren Umfangsoberfläche des Lagerungsrückseitenmetallteils angeordnet ist und dessen innere Umfangsoberfläche, die einen Rotationskörper drehbar trägt, eine Abnutzungsoberfläche ist, einen laminierten Körper, der an der Innenumfangsoberfläche des Lagerungsrückseitenmetallteils ausgebildet ist und in dem abwechselnd eine isolierende Schicht und ein Verdrahtungsmuster laminiert sind, eine mit dem Verdrahtungsmuster verbundene Kontinuitätsprüfanschlussfläche, und eine Erdungsanschlussfläche, die zum Zeitpunkt der Kontinuitätsprüfung zu verwenden ist, wobei das Lagerungsmetallteil aus einem Metallfilm gebildet ist, der den laminierten Körper abdeckt, die innere Umfangsoberfläche eine glatte, gekrümmte Oberfläche ohne eine Stufe ist, das Verdrahtungsmuster über die isolierende Schicht zu einem anderen Bereich als die Abnutzungsoberfläche in dem Lagerungshauptkörper hinaus geführt ist, die Kontinuitätsprüfanschlussfläche mit dem Verdrahtungsmuster in dem Bereich verbunden ist, und die Erdungsanschlussfläche in dem Bereich in einem Zustand der Trennung von der Kontinuitätsprüfanschlussfläche angeordnet ist.A storage comprising: a bearing main body comprising a cylindrical bearing back metal part and a cylindrical bearing metal part which is disposed on an inner peripheral surface of the bearing back metal part and the inner peripheral surface of which rotatably supports a rotating body is a wear surface, a laminated body that is formed on the inner peripheral surface of the bearing back metal part and in which an insulating layer and a wiring pattern are alternately laminated, a continuity test pad connected to the wiring pattern, and a grounding pad to be used at the time of the continuity test, where the storage metal part is formed from a metal film covering the laminated body, the inner peripheral surface is a smooth, curved surface without a step, the wiring pattern is led beyond the insulating layer to an area other than the wear surface in the bearing main body, the continuity check pad is connected to the wiring pattern in the area, and the grounding pad is arranged in the area in a state of disconnection from the continuity check pad. Die Lagerung gemäß Anspruch 9 oder 10, wobei der Bereich eine Endoberfläche des Lagerungshauptkörpers ist.The storage according to Claim 9 or 10 wherein the area is an end surface of the bearing main body. Die Lagerung gemäß Anspruch 9, wobei der Bereich ein zweites abgeschnittenes Teil ist, das außerhalb des ersten abgeschnittenen Teils in einer Längsrichtung des Lagerungshauptkörpers ausgebildet ist und eine Tiefe aufweist, die tiefer ist als die des ersten abgeschnittenen Teils mit der Abnutzungsoberfläche als eine Referenz.The storage according to Claim 9 wherein the area is a second cut part formed outside the first cut part in a lengthwise direction of the bearing main body and having a depth deeper than that of the first cut part with the wear surface as a reference.
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