DE102018117594A1 - Pressure measuring cell with temperature sensor and pressure measuring device with such a pressure measuring cell - Google Patents

Pressure measuring cell with temperature sensor and pressure measuring device with such a pressure measuring cell Download PDF

Info

Publication number
DE102018117594A1
DE102018117594A1 DE102018117594.9A DE102018117594A DE102018117594A1 DE 102018117594 A1 DE102018117594 A1 DE 102018117594A1 DE 102018117594 A DE102018117594 A DE 102018117594A DE 102018117594 A1 DE102018117594 A1 DE 102018117594A1
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
pressure measuring
membrane
measuring cell
pressure
resistance element
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
DE102018117594.9A
Other languages
German (de)
Inventor
Guido Knoll
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
IFM Electronic GmbH
Original Assignee
IFM Electronic GmbH
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by IFM Electronic GmbH filed Critical IFM Electronic GmbH
Priority to DE102018117594.9A priority Critical patent/DE102018117594A1/en
Publication of DE102018117594A1 publication Critical patent/DE102018117594A1/en
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L9/00—Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means
    • G01L9/0041—Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms
    • G01L9/0072—Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms using variations in capacitance
    • G01L9/0075—Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms using variations in capacitance using a ceramic diaphragm, e.g. alumina, fused quartz, glass
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01K—MEASURING TEMPERATURE; MEASURING QUANTITY OF HEAT; THERMALLY-SENSITIVE ELEMENTS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01K7/00—Measuring temperature based on the use of electric or magnetic elements directly sensitive to heat ; Power supply therefor, e.g. using thermoelectric elements
    • G01K7/16—Measuring temperature based on the use of electric or magnetic elements directly sensitive to heat ; Power supply therefor, e.g. using thermoelectric elements using resistive elements
    • G01K7/18—Measuring temperature based on the use of electric or magnetic elements directly sensitive to heat ; Power supply therefor, e.g. using thermoelectric elements using resistive elements the element being a linear resistance, e.g. platinum resistance thermometer
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L19/00—Details of, or accessories for, apparatus for measuring steady or quasi-steady pressure of a fluent medium insofar as such details or accessories are not special to particular types of pressure gauges
    • G01L19/0092—Pressure sensor associated with other sensors, e.g. for measuring acceleration or temperature

Abstract

Die Erfindung betrifft eine Druckmesszelle (10) zur Erfassung des Druckes eines an die Druckmesszelle (10) angrenzenden Mediums, mit einer elastischen Messmembran (14), deren erste Seite zumindest teilweise mit dem Medium in Kontakt steht und deren von dem Medium abgewandten zweiten Seite Mittel zur Erfassung der Durchbiegung der Membran aufweist, und mit einem Widerstandselement (20) als Temperatursensor.Um die Temperaturerfassung weiter zu verbessern ist erfindungsgemäß vorgesehen, dass die Messmembran (14) mehrschichtig aufgebaut ist und das Widerstandselement (20) für die Temperaturerfassung zwischen zwei Schichten (14a, 14b) angeordnet ist, wobei sich das Widerstandselement (20) flächig über den auslenkbaren Bereich der Messmembran (14) verteilt.The invention relates to a pressure measuring cell (10) for detecting the pressure of a medium adjacent to the pressure measuring cell (10), with an elastic measuring membrane (14), the first side of which is at least partially in contact with the medium and the second side of which is facing away from the medium for detecting the deflection of the membrane, and with a resistance element (20) as a temperature sensor. In order to further improve the temperature detection, the invention provides that the measuring membrane (14) has a multilayer structure and the resistance element (20) for temperature detection between two layers ( 14a, 14b), the resistance element (20) being distributed over the deflectable area of the measuring membrane (14).

Description

Die Erfindung betrifft eine Druckmesszelle zur Erfassung des Druckes eines an die Druckmesszelle angrenzenden Mediums nach dem Oberbegriff des Anspruchs 1 sowie ein Druckmessgerät mit einer solchen Druckmesszelle.The invention relates to a pressure measuring cell for detecting the pressure of a medium adjacent to the pressure measuring cell according to the preamble of claim 1 and a pressure measuring device with such a pressure measuring cell.

Druckmessgeräte bzw. Drucksensoren werden in vielen Industriebereichen zur Druckmessung eingesetzt. Sie weisen häufig eine Druckmesszelle, als Messwandler für den Prozessdruck, und eine Auswerteelektronik zur Signalverarbeitung auf.Pressure gauges and pressure sensors are used in many industrial areas for pressure measurement. They often have a pressure measuring cell as a measuring transducer for the process pressure and evaluation electronics for signal processing.

Typische kapazitiv arbeitende Messzellen bestehen aus einer kompakten Einheit mit einem keramischen Grundkörper und einer Membran, wobei zwischen dem Grundkörper und der Membran ein ringförmiger Abstandshalter, bspw. ein Glaslotring, angeordnet ist. Der sich dadurch ergebende Hohlraum zwischen Grundkörper und Membran ermöglicht die längsgerichtete Beweglichkeit der Membran infolge eines Druckeinflusses. An der Unterseite der Membran und an der gegenüberliegenden Oberseite des Grundkörpers sind jeweils Elektroden vorgesehen, die zusammen einen Messkondensator bilden. Durch Druckeinwirkung kommt es zu einer Verformung der Membran, was eine Kapazitätsänderung des Messkondensators zur Folge hat.Typical capacitive measuring cells consist of a compact unit with a ceramic base body and a membrane, an annular spacer, for example a glass solder ring, being arranged between the base body and the membrane. The resulting cavity between the base body and the membrane enables the longitudinal mobility of the membrane as a result of an influence of pressure. Electrodes are provided on the underside of the membrane and on the opposite upper side of the base body, which together form a measuring capacitor. The membrane is deformed by the action of pressure, which results in a change in the capacitance of the measuring capacitor.

Dem gegenüber gibt es auch Druckmesszellen, bei denen die Durchbiegung der Membran mittels elektromechanischer Wandler, d.h. mittels Dehnungsmessstreifen oder Piezoelemente, erfasst wird.In contrast, there are also pressure measuring cells, in which the deflection of the membrane by means of electromechanical transducers, i.e. using strain gauges or piezo elements.

Häufig ist im Zusammenhang mit der Druckmessung auch eine Temperaturmessung erforderlich. Hierzu ist aus der DE 40 11 901 A1 bekannt, eine ringförmige Widerstandsbahn vorzusehen, die an der der Membran zugewandten Stirnseite des Grundkörpers oder an der dem Grundkörper zugewandten Stirnseite der Membran angeordnet ist.Temperature measurement is often required in connection with pressure measurement. This is from the DE 40 11 901 A1 Known to provide an annular resistance track, which is arranged on the front side of the base body facing the membrane or on the front side of the membrane facing the base body.

Aus Platzgründen problematisch wird diese bekannte Anordnung jedoch, wenn der Druckmesswert nicht nur aus der Kapazitätsänderung eines Messkondensators ermittelt wird, sondern - wie aus der DE 198 51 506 C1 bekannt - aus dem Quotient zweier Kapazitätswerte, eines Messkondensators und eines Referenzkondensators. Das Quotientenverfahren ist insbesondere deswegen vorteilhaft, weil sich Änderungen des Dielektrikums nicht mehr auf die Messwertermittlung auswirken. Im Folgenden wird daher von Drucksensoren, die nach dem Quotientenverfahren arbeiten, ausgegangen.This known arrangement becomes problematic for reasons of space, however, if the pressure measurement value is determined not only from the change in capacitance of a measuring capacitor, but - as from the DE 198 51 506 C1 known - from the quotient of two capacitance values, a measuring capacitor and a reference capacitor. The quotient method is particularly advantageous because changes in the dielectric no longer have an effect on the measurement value determination. In the following, pressure sensors that work according to the quotient method are therefore assumed.

Da nun auf den sich gegenüberliegenden Seiten von Membran und Grundkörper durch das Vorhandensein der zwei nebeneinander angeordneten Kondensatoren entsprechend weniger Platz vorhanden ist, um dort noch eine Widerstandsbahn für die Temperaturerfassung vorzusehen, schlägt die EP 1 174 696 B1 vor, das Widerstandselement in den Glaslotring zu integrieren. Die hierfür zur Verfügung stehende Fläche zur Temperaturerfassung ist jedoch entsprechend klein. Des Weiteren befindet sich bei der Druckmesszelle im eingebauten Zustand typischerweise unterhalb des Glaslotrings und damit im Bereich des Widerstandselements mediumsseitig eine Dichtung, was die Temperaturerfassung verlangsamen kann.Since there is now correspondingly less space on the opposite sides of the membrane and the base body due to the presence of the two condensers arranged next to one another in order to provide a resistance path for temperature detection there, the EP 1 174 696 B1 before integrating the resistance element into the glass solder ring. However, the area available for temperature detection is correspondingly small. Furthermore, when the pressure measuring cell is installed, there is typically a seal underneath the glass ring and thus in the area of the resistance element on the medium side, which can slow down the temperature detection.

Aufgabe der Erfindung ist es, eine Druckmesszelle sowie ein Druckmessgerät mit einer solchen Messzelle vorzuschlagen, bei der die Temperaturerfassung während der Druckmessung weiter verbessert wird.The object of the invention is to propose a pressure measuring cell and a pressure measuring device with such a measuring cell, in which the temperature detection during the pressure measurement is further improved.

Die Aufgabe wird erfindungsgemäß gelöst durch eine Druckmesszelle mit den Merkmalen des Anspruchs 1 sowie durch ein elektronisches Druckmessgerät nach Anspruch 6. Vorteilhafte Ausgestaltungen der Erfindung sind in den Unteransprüchen angegeben.The object is achieved according to the invention by a pressure measuring cell with the features of claim 1 and by an electronic pressure measuring device according to claim 6. Advantageous embodiments of the invention are specified in the subclaims.

Der Kern der Erfindung besteht darin, die Messmembran mehrschichtig aufzubauen, und zwischen zwei Schichten ein Widerstandselement als Temperatursensor anzuordnen. Dabei verteilt sich das Widerstandselement flächig über den auslenkbaren Bereich der Messmembran und kann somit zum einen die Temperatur mit einer größtmöglichen Fläche erfassen und zum anderen die Temperatur unmittelbar und an der gleichen Stelle wie den Druck messen. Dadurch wird eine sehr schnelle Ansprechzeit und eine hohe Genauigkeit erreicht.The essence of the invention is to construct the measuring membrane in multiple layers and to arrange a resistance element as a temperature sensor between two layers. The resistance element is distributed across the deflectable area of the measuring membrane and can therefore measure the temperature with the largest possible area and measure the temperature directly and at the same point as the pressure. This ensures a very fast response time and high accuracy.

Neben der Temperaturmessung ist grundsätzlich auch vorstellbar, die in die Membran eingebettete Schicht auch für andere Zwecke zu verwenden, insbesondere zur Analyse des Mediums, dessen Druck gemessen werden soll, bspw. zu Erfassung dessen Leitfähigkeit.In addition to the temperature measurement, it is also fundamentally conceivable to use the layer embedded in the membrane for other purposes, in particular for analyzing the medium whose pressure is to be measured, for example for detecting its conductivity.

Nachfolgend wird die Erfindung anhand von Ausführungsbeispielen unter Bezugnahme auf die Zeichnungen näher erläutert.The invention is explained in more detail below on the basis of exemplary embodiments with reference to the drawings.

Es zeigen schematisch:

  • 1 eine Schnittdarstellung einer bekannten kapazitiven Druckmesszelle und
  • 2 eine Schnittdarstellung einer erfindungsgemäßen kapazitiven Druckmesszelle.
They show schematically:
  • 1 a sectional view of a known capacitive pressure measuring cell and
  • 2 a sectional view of a capacitive pressure measuring cell according to the invention.

Bei der nachfolgenden Beschreibung der bevorzugten Ausführungsformen bezeichnen gleiche Bezugszeichen gleiche oder vergleichbare Komponenten.In the following description of the preferred embodiments, the same reference symbols designate the same or comparable components.

1 zeigt eine typische kapazitive Druckmesszelle 10, wie sie vielfältig bei kapazitiven Druckmessgeräten eingesetzt wird, in schematischer Darstellung. Die Druckmesszelle 10 besteht im Wesentlichen aus einem Grundkörper 12 und einer Membran 14, die über einen ringförmigen Abstandshalter 16, bspw. einen Glaslotring, miteinander verbunden sind. Der Grundkörper 12 und die Membran 14 begrenzen einen Hohlraum 19, der - vorzugsweise nur bei niedrigen Druckbereichen bis 50 bar - über einen Entlüftungskanal 18 mit der Rückseite der Druckmesszelle 10 verbunden ist. 1 shows a typical capacitive pressure measuring cell 10 how it is used in many ways in capacitive pressure measuring devices, in a schematic representation. The pressure measuring cell 10 consists essentially of a basic body 12 and a membrane 14 that have an annular spacer 16 , for example a glass solder ring, are connected to one another. The basic body 12 and the membrane 14 delimit a cavity 19 , which - preferably only at low pressure ranges up to 50 bar - via a ventilation duct 18 with the back of the pressure measuring cell 10 connected is.

Sowohl auf dem Grundkörper 12 als auch auf der Membran 14 sind mehrere Elektroden vorgesehen, die einen Referenzkondensator CR und einen Messkondensator CM bilden. Der Messkondensator CM wird durch die Membranelektrode ME und die Mittelelektrode M gebildet, der Referenzkondensator CR durch die Ringelektrode R und die Membranelektrode ME.Both on the main body 12 as well as on the membrane 14 several electrodes are provided, which are a reference capacitor C R and a measuring capacitor C M form. The measuring capacitor C M is through the membrane electrode ME and the center electrode M formed, the reference capacitor C R through the ring electrode R and the membrane electrode ME ,

Der Prozessdruck p wirkt auf die Membran 14, die sich entsprechend der Druckbeaufschlagung mehr oder weniger durchbiegt, wobei sich im Wesentlichen der Abstand der Membranelektrode ME zur Mittelelektrode M ändert. Dies führt zu einer entsprechenden Kapazitätsänderung des Messkondensators CM . Der Einfluss auf den Referenzkondensator CR ist geringer, da sich der Abstand zwischen Ringelektrode R und Membranelektrode ME weniger stark verändert als der Abstand zwischen Membranelektrode ME zur Mittelelektrode M.The process pressure p acts on the membrane 14 , which bends more or less in accordance with the pressurization, essentially the distance between the membrane electrode ME to the center electrode M changes. This leads to a corresponding change in the capacitance of the measuring capacitor C M , The influence on the reference capacitor C R is less because the distance between the ring electrode R and membrane electrode ME changed less than the distance between the membrane electrodes ME to the center electrode M ,

2 zeigt sehr schematisch eine Schnittdarstellung einer erfindungsgemäßen kapazitiven Druckmesszelle 10, die im Wesentlichen dem Aufbau der aus 1 bekannten Messzelle 10 entspricht, so dass im Folgenden nur noch auf die Unterschiede eingegangen wird. Entscheidender Unterschied ist, dass die Membran 14 mehrschichtig ausgebildet ist und zwischen zwei Schichten 14a, 14b ein Widerstandselement 20 angeordnet ist, welches als Temperatursensor fungiert. Idealerweise verteilt sich das Widerstandselement 20 flächig über den auslenkbaren Bereich der Messmembran 14, wobei insbesondere eine vollflächige oder mäanderförmige Verteilung vorteilhaft ist. Die Temperatur des Mediums kann somit großflächig und unmittelbar dort erfasst werden, wo auch der Druck p gemessen wird. 2 shows very schematically a sectional view of a capacitive pressure measuring cell according to the invention 10 that are essentially building up from 1 known measuring cell 10 corresponds, so that only the differences are discussed below. The key difference is that the membrane 14 is multi-layered and between two layers 14a . 14b a resistance element 20 is arranged, which acts as a temperature sensor. The resistance element is ideally distributed 20 across the deflectable area of the measuring membrane 14 , in particular a full-surface or meandering distribution is advantageous. The temperature of the medium can thus be recorded over a large area and directly where the pressure is p is measured.

Das Widerstandselement 20 ist bevorzugt als Platin-Temperaturelement ausgeführt, wobei hierbei grundsätzlich auch andere geeignete Materialien und Ausführungen in Fragen kommen können.The resistance element 20 is preferably designed as a platinum temperature element, although in principle other suitable materials and designs can also come into question here.

Beide Membranschichten 14a, 14b können aus Keramik ausgeführt sein, müssen jedoch nicht zwingend aus demselben Material bestehen. So kann auch lediglich die mit dem Medium in Kontakt stehende Schicht 14a aus Keramik und die andere Schicht 14b bspw. auch als Glasschicht ausgeführt sein. Vorrangig kommt dieser Schicht 14b die Aufgabe zu, eine Isolationsschicht zwischen dem Widerstandselement 20 und der Membranelektrode ME zu bilden.Both membrane layers 14a . 14b can be made of ceramic, but do not necessarily have to be made of the same material. This means that only the layer in contact with the medium can be used 14a ceramic and the other layer 14b For example, can also be designed as a glass layer. This layer comes first 14b the task of creating an insulation layer between the resistance element 20 and the membrane electrode ME to build.

Im Ergebnis ist durch die Anordnung des Widerstandselements 20 in der Membrane 14 eine Temperaturerfassung mit einer schnellen Ansprechzeit und einer hohen Genauigkeit möglich.The result is by the arrangement of the resistance element 20 in the membrane 14 temperature detection with a fast response time and high accuracy possible.

ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG QUOTES INCLUDE IN THE DESCRIPTION

Diese Liste der vom Anmelder aufgeführten Dokumente wurde automatisiert erzeugt und ist ausschließlich zur besseren Information des Lesers aufgenommen. Die Liste ist nicht Bestandteil der deutschen Patent- bzw. Gebrauchsmusteranmeldung. Das DPMA übernimmt keinerlei Haftung für etwaige Fehler oder Auslassungen.This list of documents listed by the applicant has been generated automatically and is only included for the better information of the reader. The list is not part of the German patent or utility model application. The DPMA assumes no liability for any errors or omissions.

Zitierte PatentliteraturPatent literature cited

  • DE 4011901 A1 [0005]DE 4011901 A1 [0005]
  • DE 19851506 C1 [0006]DE 19851506 C1 [0006]
  • EP 1174696 B1 [0007]EP 1174696 B1 [0007]

Claims (6)

Druckmesszelle (10) zur Erfassung des Druckes eines an die Druckmesszelle (10) angrenzenden Mediums, mit einer elastischen Messmembran (14), deren erste Seite zumindest teilweise mit dem Medium in Kontakt steht und deren von dem Medium abgewandten zweiten Seite Mittel zur Erfassung der Durchbiegung der Membran (14) aufweist, und mit einem Widerstandselement (20) als Temperatursensor, dadurch gekennzeichnet, dass die Messmembran (14) mehrschichtig aufgebaut ist und das Widerstandselement (20) für die Temperaturerfassung zwischen zwei Schichten (14a, 14b) angeordnet ist, wobei sich das Widerstandselement (20) flächig über den auslenkbaren Bereich der Messmembran (14) verteilt.Pressure measuring cell (10) for detecting the pressure of a medium adjacent to the pressure measuring cell (10), with an elastic measuring membrane (14), the first side of which is at least partially in contact with the medium and the second side of which is remote from the medium, means for detecting the deflection the membrane (14), and with a resistance element (20) as a temperature sensor, characterized in that the measuring membrane (14) is constructed in several layers and the resistance element (20) for temperature detection is arranged between two layers (14a, 14b), wherein the resistance element (20) is distributed across the deflectable area of the measuring membrane (14). Druckmesszelle nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass sich das Widerstandselement (20) vollflächig oder mäanderförmig über den auslenkbaren Bereich der Messmembran (14) verteilt.Pressure measuring cell after Claim 1 , characterized in that the resistance element (20) is distributed over the entire surface or in a meandering shape over the deflectable region of the measuring membrane (14). Druckmesszelle nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass das Widerstandselement (20) als Platin-Temperaturelement ausgeführt ist.Pressure measuring cell according to one of the preceding claims, characterized in that the resistance element (20) is designed as a platinum temperature element. Druckmesszelle nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Druckmesszelle (10) als kapazitive Druckmesszelle ausgeführt ist, mit einer keramischen Messmembran (14) und einem der zweiten Seite der Messmembran (14) gegenüberliegend angeordneten keramischen zylinderförmigen Grundkörper (12), wobei zur Erfassung der Durchbiegung der Membran (14) der Grundkörper (12) eine Mittelelektrode (M) sowie eine Ringelektrode (R) aufweist, die zusammen mit einer Membranelektrode (ME) auf der Messmembran (14) eine Messkapazität (CM) bzw. eine Referenzkapazität (CR) bilden.Pressure measuring cell according to one of the preceding claims, characterized in that the pressure measuring cell (10) is designed as a capacitive pressure measuring cell, with a ceramic measuring membrane (14) and a ceramic cylindrical base body (12) arranged opposite the second side of the measuring membrane (14) detecting (14) the base body (12) of the deflection of the diaphragm, a center electrode (M) and a ring electrode (R), which together with a membrane electrode (ME) on the measuring diaphragm (14) having a measuring capacitance (C M) and a reference capacitance (C R ) form. Druckmesszelle nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, dass die Durchbiegung der Membran (14) mittels elektromechanischer Wandler erfasst wird.Pressure measuring cell according to one of the Claims 1 to 3 , characterized in that the deflection of the membrane (14) is detected by means of electromechanical transducers. Elektronisches Druckmessgerät, bestehend aus einem Prozessanschluss, einem darauf aufgesetzten Gehäuse und einer Druckmesszelle (10) zur Erfassung des in einem Medium vorherrschenden Drucks, wobei die Druckmesszelle (1) nach einem der vorhergehenden Ansprüche ausgebildet ist.Electronic pressure measuring device, comprising a process connection, a housing placed thereon and a pressure measuring cell (10) for detecting the pressure prevailing in a medium, the pressure measuring cell (1) being designed according to one of the preceding claims.
DE102018117594.9A 2018-07-20 2018-07-20 Pressure measuring cell with temperature sensor and pressure measuring device with such a pressure measuring cell Pending DE102018117594A1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE102018117594.9A DE102018117594A1 (en) 2018-07-20 2018-07-20 Pressure measuring cell with temperature sensor and pressure measuring device with such a pressure measuring cell

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE102018117594.9A DE102018117594A1 (en) 2018-07-20 2018-07-20 Pressure measuring cell with temperature sensor and pressure measuring device with such a pressure measuring cell

Publications (1)

Publication Number Publication Date
DE102018117594A1 true DE102018117594A1 (en) 2020-01-23

Family

ID=69148259

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE102018117594.9A Pending DE102018117594A1 (en) 2018-07-20 2018-07-20 Pressure measuring cell with temperature sensor and pressure measuring device with such a pressure measuring cell

Country Status (1)

Country Link
DE (1) DE102018117594A1 (en)

Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE4011901A1 (en) 1990-04-12 1991-10-17 Vdo Schindling Capacitive pressure sensor with simultaneous temp. measurement - contains plates carrying electrodes, one carrying temp. dependent resistance path
DE19851506C1 (en) 1998-11-09 2000-10-19 Ifm Electronic Gmbh Capacitive sensor evaluation method e.g. for pressure sensor, has periodic input signal supplied simultaneously to integration path containing reference capacitor and series circuit containing resistor and sensor capacitor
US20040159161A1 (en) * 2001-07-13 2004-08-19 Barnett John D. Temperature compensated strain sensing apparatus
CN201707167U (en) * 2010-05-18 2011-01-12 北京遥测技术研究所 Ultralow-temperature diaphragm pressure/temperature compound sensor
EP1174696B1 (en) 2000-07-20 2012-03-28 VEGA Grieshaber KG Pressure measurement cell with temperature sensor
DE102005029841B4 (en) * 2004-07-28 2013-09-05 Robert Bosch Gmbh Micromechanical pressure sensor with heated passivating agent and method for its control
WO2014154695A1 (en) * 2013-03-27 2014-10-02 Vega Grieshaber Kg Capacitive pressure-measuring cell for measuring the pressure of a medium adjoining the measuring cell

Patent Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE4011901A1 (en) 1990-04-12 1991-10-17 Vdo Schindling Capacitive pressure sensor with simultaneous temp. measurement - contains plates carrying electrodes, one carrying temp. dependent resistance path
DE19851506C1 (en) 1998-11-09 2000-10-19 Ifm Electronic Gmbh Capacitive sensor evaluation method e.g. for pressure sensor, has periodic input signal supplied simultaneously to integration path containing reference capacitor and series circuit containing resistor and sensor capacitor
EP1174696B1 (en) 2000-07-20 2012-03-28 VEGA Grieshaber KG Pressure measurement cell with temperature sensor
US20040159161A1 (en) * 2001-07-13 2004-08-19 Barnett John D. Temperature compensated strain sensing apparatus
DE102005029841B4 (en) * 2004-07-28 2013-09-05 Robert Bosch Gmbh Micromechanical pressure sensor with heated passivating agent and method for its control
CN201707167U (en) * 2010-05-18 2011-01-12 北京遥测技术研究所 Ultralow-temperature diaphragm pressure/temperature compound sensor
WO2014154695A1 (en) * 2013-03-27 2014-10-02 Vega Grieshaber Kg Capacitive pressure-measuring cell for measuring the pressure of a medium adjoining the measuring cell

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE2848856A1 (en) CAPACITIVE PRESSURE TRANSDUCER
DE102016124775A1 (en) Pressure transducer with hydraulic diaphragm seal
DE102019115962A1 (en) Capacitive pressure measuring device with means for temperature detection
WO2012084694A1 (en) Actuator and method for producing same
DE4101871A1 (en) Pressure sensing flat seal - comprises piezoelectric sensor sheet between electrically insulating vapour-proof protective ones
DE202016008592U1 (en) sensor
DE102018117594A1 (en) Pressure measuring cell with temperature sensor and pressure measuring device with such a pressure measuring cell
EP1943496B1 (en) Corrosion sensor
EP2554964A2 (en) Pressure and temperature measuring device
DE3940709A1 (en) Pressure transducer with separation sensing - has distance piece between relatively displaceable elements
DE102017200414A1 (en) Measuring instrument for process and automation technology
DE102018100716B3 (en) pressure monitor
EP4048993A1 (en) Device for determining a pressure acting on a surface or a wall of a body arranged in a flow channel or a change of pressure over time acting on a surface or a wall of a body arranged in a flow channel
DE10331603B4 (en) Device with rolling cylinders with at least one sensor and a method for measuring wear of bearer rings
DE102020100675A1 (en) Capacitive pressure sensor with temperature detection
EP3757536A1 (en) Contact force measuring device and process for measuring a contact force using the contact force measuring device
DE102020100722A1 (en) Pressure measuring device with sensor for detecting buildup on the measuring membrane and method for operating such a pressure measuring device
EP3769061A1 (en) Spatially resolving tactile sensor and production meodethod for a spatially resolving tactile sensor
WO2020064648A1 (en) Sensor arrangement
DE102012217853B4 (en) Arrangement for generating a defined spacing between electrode surfaces on integrated components for chemical and biochemical sensors
DE102021119383A1 (en) Capacitive limit switch
AT524872B1 (en) Device for detecting the application forces between a brake body and a brake rotor of a disc or drum brake
DE102019124083B3 (en) Absolute pressure measuring device with a relative measuring pressure measuring cell
DE102019114757B3 (en) Operating unit for a measuring device of process or automation technology as well as measuring device with such an operating unit
EP3537128B1 (en) Force or pressure sensor

Legal Events

Date Code Title Description
R012 Request for examination validly filed
R016 Response to examination communication