DE102018112476B4 - Method and production plant for producing a foil substrate - Google Patents

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Abstract

Verfahren zum Herstellen eines nach dem induktiven Kopplungsprinzip arbeitenden Transponder-Foliensubstrats, das zumindest ein Chipmodul (20) mit Loop-Antenne (68) trägt, das im Bereich eines Windungsfensters (72) einer Booster-Antenne (8) eingesetzt ist und mit den Schritten:- Bereitstellen eines Leadframetapes (2) mit dem Chipmodul (20),- Bereitstellen eines Substrats (6) mit zumindest einer Booster-Antenne (8) und partielles Umformen des Substrats (6) derart, dass eine Kavität (64) zur Aufnahme des Chipmoduls (20) ausgebildet wird, wobei das partielle Umformen vorzugsweise mittels eines Ultraschallwerkzeugs (32) und eines Formwerkzeugs (30) erfolgt, wobei das Formwerkzeug (30) chipseitig und das Ultraschallwerkzeug (32) von der vom Chipmodul (20) abgewandten Seite her das Substrat (6) beaufschlagen,- Trennen des Chipmoduls (20) vom Leadframetape (2),- Einlegen des Chipmoduls (20) in die Kavität (64) und- Verkleben des Chipmoduls (20) in der Kavität (64).Method for producing a transponder film substrate working according to the inductive coupling principle, which carries at least one chip module (20) with a loop antenna (68), which is used in the area of a turn window (72) of a booster antenna (8) and with the steps :- Providing a leadframe tape (2) with the chip module (20),- Providing a substrate (6) with at least one booster antenna (8) and partial reshaping of the substrate (6) in such a way that a cavity (64) for receiving the chip module (20) is formed, with the partial reshaping preferably taking place by means of an ultrasonic tool (32) and a forming tool (30), the forming tool (30) on the chip side and the ultrasonic tool (32) on the side facing away from the chip module (20). Apply substrate (6), - separating the chip module (20) from the leadframe tape (2), - inserting the chip module (20) into the cavity (64) and - gluing the chip module (20) in the cavity (64).

Description

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Herstellen eines Foliensubstrats gemäß dem Oberbegriff des Patentanspruches 1 oder dem Oberbegriff des Patentanspruchs 5 und eine Fertigungsanlage zur Durchführung eines derartigen Verfahrens.The invention relates to a method for producing a film substrate according to the preamble of patent claim 1 or the preamble of patent claim 5 and a production plant for carrying out such a method.

Derartige Foliensubstrate werden beispielsweise zum Herstellen von Transponderinlays von Kredit- und Bankkarten, eID-Karten, Sicherheitsausweisen, Pässen, Prestigekarten, etc. verwendet.Film substrates of this type are used, for example, to produce transponder inlays for credit and bank cards, eID cards, security IDs, passports, prestige cards, etc.

Herkömmliche Standard-Inlays haben vier Schichten, die durch Einwirkung von Druck und/oder Temperatur während einer vorbestimmten Laminierzeit laminiert werden. Zur Aufnahme eines Chipmoduls werden aus dem Substrat Fenster ausgestanzt, in die die Chipmodule eingelegt werden. Zur Lagefixierung der Chipmodule können diese mit einem in das Stanzfenster dosierten Klebstoff oder einem aushärtenden Füllmaterial fixiert werden, wobei das Chipmodul nach unten hin über eine unterseitig aufgebrachte Overlayfolie abgestützt ist.Conventional standard inlays have four layers that are laminated by applying pressure and/or temperature during a predetermined lamination time. To accommodate a chip module, windows are punched out of the substrate, into which the chip modules are inserted. To fix the position of the chip modules, they can be fixed with an adhesive metered into the punched window or with a hardening filling material, with the chip module being supported at the bottom by an overlay film applied on the underside.

Beispielsweise bei Bank- oder Kreditkarten wird mittels einer an sich bekannten Drahtverlegetechnik eine definierte Antenne in eine Kernfolie eingeschweißt und physikalisch mit dem Chipmodul verbunden. Dieses Verbinden kann beispielsweise durch Thermokompressionsschweißen mittels einer Wolframelektrode erfolgen. Auf diesen Aufbau mit der unterseitigen Overlayfolie, dem ausgestanzten Substrat, in dem eine Vielzahl von Fenstern zur Aufnahme von Chipmodulen vorgesehen ist, wird dann nach dem Verkleben/Vergießen ein weiteres Overlay und ein Deckbogen aufgebracht.For example, in the case of bank or credit cards, a defined antenna is welded into a core foil using a wire laying technique that is known per se and is physically connected to the chip module. This connection can be done, for example, by thermocompression welding using a tungsten electrode. After the gluing/potting, a further overlay and a cover sheet are then applied to this structure with the overlay film on the underside, the punched-out substrate in which a multiplicity of windows are provided for accommodating chip modules.

Die Herstellung derartiger herkömmlicher Karten mit mechanischer/physikalischer Kontaktierung einer Antenne mit einem Chipmodul ist beispielsweise in den Druckschriften EP 2 588 998 B1 , der DE 101 10 939 B4 , der EP 2 074 560 B1 und der EP 0 724 228 B1 beschrieben. All diese Patente beschreiben die Verarbeitung von konventionellen kontaktlosen Chipmodulen, die eine mechanisch/physikalische Kontaktierung mit einer Antenne benötigen.The production of such conventional cards with mechanical/physical contacting of an antenna with a chip module is, for example, in the publications EP 2 588 998 B1 , the DE 101 10 939 B4 , the EP 2 074 560 B1 and the EP 0 724 228 B1 described. All of these patents describe the processing of conventional contactless chip modules that require mechanical/physical contacting with an antenna.

Wie erläutert, besteht ein Nachteil derartiger Transponderinlays darin, dass ein erheblicher vorrichtungstechnischer Aufwand erforderlich ist, um die Chipmodule nur mit den jeweiligen Antennen zu verbinden. Des Weiteren erfordert das Ausstanzen der Fenster in der Substratschicht zur Aufnahme der Chipmodule einen erheblichen vorrichtungstechnischen Aufwand. Ein weiterer Nachteil besteht darin, dass der Materialeinsatz bei derartigen Transponderinlays sehr hoch ist, da beispielsweise ein Standardinlay aus vier Lagen besteht, so dass entsprechend ein großer logistischer und organisatorischer Aufwand erforderlich ist, um die jeweiligen Materialien der Standardinlays bereitzustellen.As explained, a disadvantage of such transponder inlays is that a considerable outlay in terms of device technology is required in order to connect the chip modules only to the respective antennas. Furthermore, the punching out of the windows in the substrate layer to accommodate the chip modules requires a considerable outlay in terms of device technology. Another disadvantage is that the amount of material used in transponder inlays of this type is very high, since a standard inlay consists of four layers, for example, so that a great deal of logistical and organizational effort is required to provide the respective materials of the standard inlays.

In der EP 0 826 190 B1 ist der Grundaufbau einer kontaktlosen Chipkarte beschrieben, bei der ein Chipmodul mit einer Loop-Antenne in ein Windungsfenster einer Booster-Antenne platziert wird.In the EP 0 826 190 B1 describes the basic structure of a contactless chip card, in which a chip module with a loop antenna is placed in a winding window of a booster antenna.

Das Dokument US 2014/0263663 A1 offenbart eine Chipkartenmodulanordnung, bei der in einem Träger eine Vertiefung ausgebildet ist, in die ein Chipkartenmodul eingelegt wird. Dabei ist eine Chipkarten-Antenne kontaktlos mit dem Chipkartenmodul gekoppelt.The document US 2014/0263663 A1 discloses a chip card module arrangement in which a depression is formed in a carrier, into which a chip card module is inserted. A chip card antenna is coupled contactlessly to the chip card module.

In der US 2014/004220 A1 wird ein Verfahren zum Herstellen einer Chipkarte beschrieben, bei der in einem Karteneinlagezuschnitt ein Kartenhohlraum vorgesehen ist, in den ein Chipkartenmodul eingesetzt werden kann. Dabei können Antennen des Chipkartenmoduls mit einer Verstärkerantennenspule des Karteneinlagezuschnitts induktiv gekoppelt sein.In the U.S. 2014/004220 A1 a method for producing a chip card is described in which a card cavity is provided in a card insert blank, into which a chip card module can be inserted. In this case, antennas of the chip card module can be inductively coupled to an amplifier antenna coil of the card insert blank.

Das Dokument US 2015/0053772 A1 offenbart eine Chipanordnung mit einem ersten und einem zweiten Chip und einer Booster-Antenne. Die Chips weisen integrierte Antennen zur Kommunikation mit einem externen Lese- und/oder Schreibgerät auf, wobei die Booster-Antenne mit den chipseitigen Antennen gekoppelt sind.The document US 2015/0053772 A1 discloses a chip arrangement with a first and a second chip and a booster antenna. The chips have integrated antennas for communication with an external reading and/or writing device, with the booster antennas being coupled to the antennas on the chip.

In der US 2012/0242072 A1 wird eine Lösung beschrieben, bei der in einem Substrat eine Kavität ausgebildet ist, in die eine Mikroschaltung eingesetzt wird. Dieses Einsetzen kann beispielsweise mittels eines „Pick and Place“-Werkzeugs erfolgen.In the U.S. 2012/0242072 A1 describes a solution in which a cavity is formed in a substrate, in which a microcircuit is inserted. This insertion can take place, for example, using a “pick and place” tool.

Bei all diesen Lösungen muss entweder in das Substrat ein Fenster zur Aufnahme des Chipmoduls gestanzt werden oder aber in relativ aufwendiger Weise eine Vertiefung eingebracht werden, in die das Chipmodul eingelegt werden kann. Beide Vorgehensweisen erfordern einen erheblichen verfahrenstechnischen Aufwand.In all of these solutions, either a window for receiving the chip module has to be punched into the substrate, or a depression into which the chip module can be inserted has to be made in a relatively complex manner. Both procedures require a considerable process engineering effort.

Ein weiterer Nachteil derjenigen bekannten Verfahren, bei denen der Chip durch Kleben befestigt ist, besteht darin, dass diese Verfahren vorsehen, den Klebefilm im Bereich des Chips bzw des diesen am Chipmodul haltenden Globe Top in aufwändiger Weise auszusparen.A further disadvantage of those known methods in which the chip is attached by gluing is that these methods provide for the adhesive film to be cut out in the area of the chip or the globe top holding it on the chip module in a complex manner.

Aus der DE 10 2017 100 719 A1 ist ein Verfahren bekannt, wobei ein Substrat partiell aufgeschmolzen wird und ein Chipmodul in diesen so erweichten Bereich des Substrats eingepresst wird.From the DE 10 2017 100 719 A1 a method is known in which a substrate is partially melted and a chip module is pressed into this area of the substrate that has been softened in this way.

Die DE 196 45 067 A1 offenbart einen Chip in einer Aussparung eines Substrates.the DE 196 45 067 A1 discloses a chip in a recess of a substrate.

Demgegenüber liegt der Erfindung die Aufgabe zugrunde, ein Verfahren und eine Fertigungsanlage zu schaffen, durch die das Herstellen eines Foliensubstrats gegenüber den herkömmlichen Lösungen bei erhöhter Betriebssicherheit vereinfacht ist.In contrast, the invention is based on the object of creating a method and a production system by means of which the production of a film substrate is simplified in comparison to the conventional solutions with increased operational reliability.

Diese Aufgabe wird im Hinblick auf das Verfahren durch die Merkmalskombination des Patentanspruches 1 oder durch ein Verfahren mit der Merkmalskombination des Patentanspruches 5 und im Hinblick auf die Fertigungsanlage durch die Merkmalskombination des nebengeordneten Patentanspruches 12 gelöst.With regard to the method, this object is achieved by the combination of features of patent claim 1 or by a method with the combination of features of patent claim 5 and with regard to the production plant by the combination of features of the independent patent claim 12 .

Vorteilhafte Weiterbildungen der Erfindung sind Gegenstand der Unteransprüche.Advantageous developments of the invention are the subject matter of the dependent claims.

Das erfindungsgemäße Verfahren dient zum Herstellen eines Transponder-Foliensubstrats, das eine Vielzahl von Chipmodulen mit einer Loop-Antenne (siehe beispielsweise 5, 6, Bezugszeichen 68) oder einen „nackten“ Chip, bei dem die Loop-Antenne in den Silizium-Chip-Aufbau (siehe 6, Bezugszeichen 21) integriert ist, wobei die Loop-Antenne jeweils in einem Windungsfenster einer Booster Antenne platziert und induktiv gekoppelt ist. Die Chipmodule mit Loop-Antenne und/oder der Chip mit integrierter Loop-Antenne werden auch elektronische Datenträger genannt. Das Patent beschreibt jeweils zwei Prozesse die zwei verschiedene Datenträger verarbeiten. Einmal das Chipmodul mit Loop-Antenne und zum zweiten einen „nackten“ Chip in dem die Loop-Antenne in einer der Layer des Chipaufbaus integriert ist.The method according to the invention is used to produce a transponder film substrate that has a large number of chip modules with a loop antenna (see, for example 5 , 6 , reference number 68) or a "bare" chip in which the loop antenna is integrated into the silicon chip structure (see 6 , reference numeral 21) is integrated, the loop antenna being placed in a winding window of a booster antenna and being inductively coupled. The chip modules with loop antenna and/or the chip with integrated loop antenna are also called electronic data carriers. The patent describes two processes that process two different data carriers. First the chip module with loop antenna and second a "naked" chip in which the loop antenna is integrated in one of the layers of the chip structure.

In beiden Fällen der Verarbeitung des elektronischen Datenträgers werden diese gemäß einem Ausführungsbeispiel in eine bestimmte Position innerhalb einer Booster-Antenne platziert. Je nach Anwendung und Resonanzverhalten des Chips (Chipaufbau) ist ein bestimmtes Antennendesign mit einer passenden Güte und Qualität der Booster-Antenne erforderlich. Beide oben genannten Arten von elektronischen Datenträgern haben eine Loop-Antenne. Die Booster-Antennen-Geometrie hat ein definiertes Windungsfenster in das die elektronischen Datenträger genau eingesetzt werden müssen. Auf die unterschiedlichsten Geometrien der Booster-Antennen, oder unterschiedlichen Herstellungsarten von Booster-Antennen (drahtverlegt, gewickelt, geätzt, gedruckt, gestanzt, etc.) wird hier nicht eingegangen.In both cases of processing the electronic data carrier, according to one exemplary embodiment, these are placed in a specific position within a booster antenna. Depending on the application and the resonance behavior of the chip (chip structure), a specific antenna design with a suitable booster antenna quality is required. Both of the above types of electronic data carriers have a loop antenna. The booster antenna geometry has a defined winding window into which the electronic data carriers must be inserted precisely. The different geometries of the booster antennas, or different types of production of booster antennas (wired, wound, etched, printed, punched, etc.) are not discussed here.

Bei einer alternativen Lösung wird die Booster-Antenne auf einer Seite des Substrats angeordnet, während das Chipmodul mit der Loop-Antenne gegenüberliegend auf der Rückseite des Substrats positioniert ist. D. h., bei einer derartigen Lösung wird das Chipmodul mit der Loop-Antenne nicht in einem Windungsfenster der Booster-Antenne positioniert sondern die Anntennenbereiche liegen auf gegenüberliegenden Seiten des Substrats und überlappen einander. Eine derartige Lösung hat den Vorteil, dass die Induktion gegenüber der erstgenannten Lösung verbessert ist.In an alternative solution, the booster antenna is arranged on one side of the substrate, while the chip module with the loop antenna is positioned opposite on the back of the substrate. That is, with such a solution, the chip module with the loop antenna is not positioned in a winding window of the booster antenna, but rather the antenna areas lie on opposite sides of the substrate and overlap one another. Such a solution has the advantage that the induction is improved compared to the first-mentioned solution.

Kommt ein Transponderinlay mit Booster-Antenne und Chipmodul mit Loop-Antenne oder mit einem Chip und integrierter Loop-Antenne in ein elektronisches Feld (z. B. ein Lesegerät bei Passkontrollen, oder Türöffner, etc.) so wird eine „mini“ Induktionsspannung erzeugt. Mit dieser Minienergie wird nun über induktive Kopplung (Loop-Antenne/Datenträger-Booster-Antenne) der Chip mit Energie versorgt. Diese Energie ist ausreichend um den Chip „zum Leben zu erwecken“ und somit können die Daten des Chips via der Booster-Antenne an ein Lesegerät gesendet werden.If a transponder inlay with booster antenna and chip module with loop antenna or with a chip and integrated loop antenna comes into an electronic field (e.g. a reader at passport controls, or door opener, etc.), a "mini" induction voltage is generated . The chip is now supplied with energy using this mini-energy via inductive coupling (loop antenna/data carrier booster antenna). This energy is sufficient to "bring the chip to life" and thus the chip's data can be sent to a reading device via the booster antenna.

In diesem Zusammenhang sei nochmals erwähnt, dass der eingangs genannte Stand der Technik konventionelle Chipmodule betrifft, bei denen eine mechanisch, physikalische Verbindung des Chipmodules oder der Chips mit der Antenne notwendig ist. Mit der Verwendung von Chipmodulen mit induktiver Kopplung oder Chips mit integrierter Loop-Antenne ist diese mechanisch/physikalische Verbindung mit der Antenne nicht mehr notwendig. Das Kontaktieren, meistens Thermokompressionsschweißen mit einer Wolfram Elektrode oder auch ein Lötprozess entfällt komplett. Diese Kontaktierprozesse, wie das Thermokompressionsschweißen und das Löten, stellen auch heutzutage immer noch einen sehr kritischen Prozess in der Transponderfertigung dar.In this context, it should be mentioned again that the prior art mentioned at the outset relates to conventional chip modules in which a mechanical, physical connection of the chip module or the chips to the antenna is necessary. With the use of chip modules with inductive coupling or chips with an integrated loop antenna, this mechanical/physical connection to the antenna is no longer necessary. Contacting, mostly thermocompression welding with a tungsten electrode or even a soldering process, is completely eliminated. These contacting processes, such as thermocompression welding and soldering, are still a very critical process in transponder production today.

Die Erfindung befasst sich mit der Vereinfachung der Herstellung eines Transponder-Foliensubstrates, wobei eine induktive Kopplung von Datenträger und Booster-Antennen erfolgt. Wie beschrieben entfällt erfindungsgemäß die mechanisch/physikalische Verbindung des Datenträgers mit der Antenne. Eine weitere große Kosteneinsparung besteht in der Verarbeitung von Chips mit integrierter Loop-Antennen Layer, da dann zusätzlich die Modul- und Leadframe Kosten eingespart werden können. Ferner wird ein Ausführungsbeispiel beschrieben, bei dem nur ein Foliensubstrat notwendig ist um den Datenträger zu fixieren. Durch eine spezielle Kavitätenformung, um Platz für den Datenträger zu schaffen, muss nicht gestanzt werden.The invention deals with simplifying the production of a transponder film substrate, with an inductive coupling of data carrier and booster antennas taking place. As described, according to the invention there is no mechanical/physical connection of the data carrier to the antenna. Another major cost saving consists in the processing of chips with an integrated loop antenna layer, since the module and leadframe costs can then also be saved. Furthermore, an embodiment is described in which only one film substrate is required to fix the data carrier. A special cavity formation to create space for the data carrier does not have to be punched.

Für die Verarbeitung von Chipmodulen mit Loop-Antennen werden die Chipmodule in Leadframe-Form bereitgestellt. Typischer Weise in genormten 35mm Bändern mit einer ebenfalls genormten Perforation. Blanke, beziehungsweise „nackte“ Chips mit integrierten Loop-Antennen im Chipaufbau werden im Wafer Format vereinzelt und dem Foliensubstrat zugeführt.The chip modules are provided in leadframe form for processing chip modules with loop antennas. Typically in standardized 35mm tapes with an also standardized Perforation. Bare or "naked" chips with integrated loop antennas in the chip structure are separated in wafer format and fed to the foil substrate.

Der Erfinder behält sich vor, ein eigenes Patentbegehren auf diese Verarbeitung von „nackten“ Chips mit integrierter Loop-Antenne in Waferform zu richten.The inventor reserves the right to submit his own patent application for this processing of “naked” chips with an integrated loop antenna in wafer form.

Ein erster Verfahrensschritt zur Verarbeitung der Chipmodule ist die Bearbeitung der Bänder. In einer an sich bekannten Weise wird auf das Chipmodul-Leadframe ein hitzeaktivierbarer Klebefilm aufgebracht. Der hitzeaktivierbare Klebefilm befindet sich dabei auf einem siliconartigen Tape, dem sogenannten Release Tape. Die Druckschrift EP 2 588 998 B1 beschreibt eine Bearbeitung des Chipmodul-Tapes bei dem der Klebefilm auf der Rückseite des Tapes aufgebracht wird, d. h. auf der gegenüberliegenden Seite wo sich der Chip befindet. In der vorliegenden Patentanmeldung und nach dem erfindungsgemäßen Verfahren wird ein hitzeaktivierbarer Klebefilm auf der Chipseite des Chipmodules aufgebracht. Das, vorzugsweise vollflächige, Aufbringen des hitzeaktivierbaren Klebefilms auf der Chipseite kann auch zum Gegenstand eines unabhängigen Patentbegehrens gemacht werden.A first step in processing the chip modules is the processing of the strips. A heat-activatable adhesive film is applied to the chip module leadframe in a manner known per se. The heat-activatable adhesive film is located on a silicone-like tape, the so-called release tape. The pamphlet EP 2 588 998 B1 describes a processing of the chip module tapes in which the adhesive film is applied to the back of the tape, ie on the opposite side where the chip is located. In the present patent application and according to the method according to the invention, a heat-activatable adhesive film is applied to the chip side of the chip module. The preferably full-area application of the heat-activatable adhesive film to the chip side can also be made the subject of an independent patent application.

Bei einer Variante der Erfindung kann vor dem Verkleben der jeweils verwendete Kleber/Klebefilm durch Ultraschall, Druck und/oder Wärme voraktiviert werden. Diese Voraktivierung erfolgt vorzugsweise mittels Druck und kurzzeitiger direkter Temperaturbeaufschlagung.In a variant of the invention, the adhesive/adhesive film used in each case can be preactivated by ultrasound, pressure and/or heat prior to bonding. This pre-activation preferably takes place by means of pressure and short-term direct exposure to temperature.

Nach dem Verkleben kann ein Deckbogen auf das Foliensubstrat aufgebracht werden. Erfindungsgemäß kann dieser Deckbogen durch Temperaturbeaufschlagung oder durch Ultraschallbeaufschlagung fixiert werden. Der Deckbogen dient dabei in erster Linie als Schutzschicht für die Booster-Antenne, wobei Windungssprünge der Booster-Antenne überdeckt sind. Die Fixierpunkte des Deckbogens sind so ausgelegt, dass der Transponderbogen für den folgenden Fertigungsschritt einfach handzuhaben ist.After bonding, a cover sheet can be applied to the film substrate. According to the invention, this cover sheet can be fixed by applying heat or by applying ultrasound. The cover sheet serves primarily as a protective layer for the booster antenna, with winding jumps of the booster antenna being covered. The fixing points of the cover sheet are designed in such a way that the transponder sheet is easy to handle for the following production step.

Alternativ können die Windungssprünge der Booster-Antenne auch in das Substrat versenkt werden, so dass diese Windungssprünge und die gesamte Booster-Antenne planar zur Substratoberfläche verläuft. Dieses Versenken/Einbetten der Windungssprünge kann beispielsweise über ein erwärmtes Presswerkzeug oder ein geeignetes Ultraschallwerkzeug oder in sonstiger Weise erfolgen.Alternatively, the jumps in the turns of the booster antenna can also be sunk into the substrate, so that these jumps in the turns and the entire booster antenna run planar to the substrate surface. This countersinking/embedding of the winding jumps can take place, for example, using a heated pressing tool or a suitable ultrasonic tool or in some other way.

Der Anmelder behält sich vor, auf die Anordnung von Booster-Antenne und Loop-Antenne auf gegenüberliegenden Seiten des Substrats einen eigenen unabhängigen Anspruch zu richten.The applicant reserves the right to submit his own independent claim to the arrangement of the booster antenna and the loop antenna on opposite sides of the substrate.

Des Weiteren ist es vorteilhaft, wenn vor dem Einlegen der Datenträger (Chipmodule) die Antennen, insbesondere die Booster-Antenne eine Qualitätsprüfung durchlaufen. Dabei kann beispielsweise mittels eines Netzwerk-Analyzers die Resonanzfrequenz oder der Q-Faktor oder sonstige spezifische Parameter der Antenne geprüft werden. Für den Fall das eine dieser Antennen fehlerbehaftet ist, werden entsprechend über eine geeignete Steuerung keine Datenträger in der fehlerhaften kritischen Antenne platziert.Furthermore, it is advantageous if the antennas, in particular the booster antenna, undergo a quality check before the data carriers (chip modules) are inserted. The resonant frequency or the Q factor or other specific parameters of the antenna can be checked, for example, using a network analyzer. In the event that one of these antennas is faulty, no data carriers are placed in the faulty critical antenna via a suitable control.

Das Leadframe-Tape besteht vorzugsweise aus drei Lagen: das Leadframe, der hitzeaktivierbare Kleberfilm und das Release Tape. Dieses dreilagige Leadframe-Tape wird beispielsweise einer Fertigungsanlage zugeführt und durch Stanzen werden die Chipmodule vom Leadframe vereinzelt und dem Foliensubstrat zugeführt. Kurz vor dem Stanzen wird noch das Release Tape abgezogen. Der Stanzstempel stanzt auf der Chipseite das Chipmodul aus und ein Vakuum beaufschlagtes Abnahmewerkzeug positioniert den Datenträger in die Kavität des Foliensubstrates.The leadframe tape preferably consists of three layers: the leadframe, the heat-activatable adhesive film and the release tape. This three-layer leadframe tape is fed to a production facility, for example, and the chip modules are separated from the leadframe by punching and fed to the film substrate. The release tape is removed just before punching. The punch punches out the chip module on the chip side and a vacuum-loaded removal tool positions the data carrier in the cavity of the film substrate.

Die Kavitätenformung wird vorzugsweise mit einem Formwerkzeug unter vertikaler Kraft durchgeführt. Das Formwerkzeug prägt die Kavität für das Chip Modul, sodass das Chipmodul beispielsweise bündig mit der Oberkante des Foliensubstrates ist. Ein Ultraschallwerkzeug, das als Amboss dient, erwärmt das Material kurzzeitig, so dass das Prägen für das Material schonender vollzogen werden kann. Die Druckschrift EP 2 074 560 B1 beschreibt ebenfalls ein Kavitätenformen mittels eines Ultraschall-Stempels. Durch die Erfindung wird allerdings der Prozess deutlich vereinfacht. Das Ultraschallwerkzeug ist vorzugsweise ein Standard-Werkzeug mit Standard-Frequenzabstimmung. Das Formwerkzeug kann individuell angepasst werden, ohne das Ultraschallwerkzeug neu abzustimmen. Das Formwerkzeug kann darüber hinaus aus einem verschleißfesten Material gefertigt werden, wobei bei Ultraschall-Anwendung nur bestimmte Materialien in Frage kommen.The cavity formation is preferably performed with a forming tool under vertical force. The mold shapes the cavity for the chip module, so that the chip module is flush with the upper edge of the foil substrate, for example. An ultrasonic tool, which serves as an anvil, briefly heats the material so that the material can be embossed more gently. The pamphlet EP 2 074 560 B1 also describes cavity molding using an ultrasonic stamp. However, the invention significantly simplifies the process. The ultrasonic tool is preferably a standard tool with standard frequency tuning. The forming tool can be customized without retuning the ultrasonic tool. In addition, the molding tool can be made of a wear-resistant material, although only certain materials are suitable for use with ultrasound.

Die erfindungsgemäße Fertigungsanlage, die insbesondere zur Durchführung des oben genannten Verfahrens geeignet ist, hat eine Substratzuführung, wobei das Substrat vorzugsweise in Bogen- oder Endlos-Folienform zugeführt wird.The production plant according to the invention, which is particularly suitable for carrying out the above-mentioned method, has a substrate feed, the substrate preferably being fed in the form of a sheet or endless film.

Ein erster Prozessschritt ist, wie oben beschrieben, das Einbringen der Kavität mittels eines Kavitäten-Formpräge-Werkzeugs. Die Position der Kavität befindet sich beispielsweise etwa im entsprechenden Windungsfenster der Booster-Antenne. Durch die Geometrie der Booster- und Loop-Antennen entsteht eine induktive Kopplung. Die Geometrie des Windungsfensters der Booster-Antenne kann auch unterschiedliche Winkellagen haben, somit müssen die Kavitäten analog ebenfalls der Winkellage folgen. Folglich muss auch das Chipmodul mit einem drehbaren Abnahmewerkzeug der Winkellage folgen.As described above, a first process step is the introduction of the cavity using a cavity stamping tool. The position of the cavity is, for example, approximately in the corresponding winding window of the booster system threshing floor The geometry of the booster and loop antennas creates an inductive coupling. The geometry of the winding window of the booster antenna can also have different angular positions, so the cavities must also follow the angular position analogously. Consequently, the chip module must also follow the angular position with a rotatable removal tool.

Wie erläutert, kann das Chipmodul dann in das Windungsfenster der Booster-Antenne eingesetzt werden, so dass Loop-Antenne und Booster-Antenne auf der gleichen Seite angeordnet sind. Bei einer alternativen Lösung ist vorgesehen, die Booster-Antenne auf einer Seite des Substrats auszubilden, während das Chipmodul mit der Loop-Antenne bzw. der Chip mit integrierter Loop-Antenne gegenüberliegend auf der anderen Seite des Substrats eingesetzt ist. Die Kavität kann dann mit der Booster-Antenne überlappen.As explained, the chip module can then be inserted into the winding window of the booster antenna, so that the loop antenna and the booster antenna are arranged on the same side. An alternative solution provides for the booster antenna to be formed on one side of the substrate, while the chip module with the loop antenna or the chip with an integrated loop antenna is inserted opposite on the other side of the substrate. The cavity can then overlap with the booster antenna.

Wie schon bereits beschrieben, kann das Chipmodul an der Fertigungsanlage ausgestanzt werden. Mittels Vakuum wird das Chipmodul beispielsweise von dem Stanzwerkzeug abgenommen und direkt in die Kavität gepresst. Der hitzeaktivierbare Klebefilm befindet sich auf der Chipmodul-Seite. Mittels eines Ultraschallwerkzeugs, auf der gegenüberliegenden Seite der Kavität, wird der hitzeaktivierbare Klebefilm kurzzeitig aktiviert. Die Aktivierung des Klebefilms ist ausreichend, um das Chipmodul zu fixieren damit es für den kurzen Weitertransport des Substrates nicht verrutschen kann. Alternativ kann auch ein Kleberfilm verwendet werden, der anderweitig aktiviert werden kann, z. B. mit Druck und UV Licht oder Mikrowellen, etc.As already described, the chip module can be punched out at the production facility. The chip module is removed from the stamping tool, for example, by means of a vacuum and pressed directly into the cavity. The heat-activatable adhesive film is on the chip module side. The heat-activatable adhesive film is briefly activated on the opposite side of the cavity using an ultrasonic tool. Activation of the adhesive film is sufficient to fix the chip module so that it cannot slip during the brief onward transport of the substrate. Alternatively, an adhesive film can also be used that can be activated in some other way, e.g. B. with pressure and UV light or microwaves, etc.

Das Foliensubstrat mit dem in der Kavität fixierten Chipmodul wird vorzugsweise zu einer Aushärtestation transportiert. Heizstempel mit einer definierten Temperatur, Druck und Zeit aktivieren dann den hitzeaktivierbaren Klebefilm. In einem darauffolgenden Schritt wird das Chipmodul nochmals mit gekühlten Druckstempeln gepresst.The film substrate with the chip module fixed in the cavity is preferably transported to a curing station. Heating stamps with a defined temperature, pressure and time then activate the heat-activatable adhesive film. In a subsequent step, the chip module is pressed again with cooled pressure stamps.

Dabei kann jeder Prozessschritt mit einer Funktionskontrolle des Transponders kontrolliert werden. Am Ende der Fertigung könnte je nach Kundenanforderung noch eine Deckfolie oder ein Deckbogen aufgebracht werden. Dieser Deckbogen dient unter anderem dazu, Windungssprünge der Booster-Antenne zu überdecken.Each process step can be checked with a functional check of the transponder. Depending on customer requirements, a cover film or cover sheet could be applied at the end of production. This cover sheet is used, among other things, to cover the jumps in the turns of the booster antenna.

Bei einer alternativen Lösung können diese Windungssprünge der Booster-Antenne auch in geeigneter Weise in das Substrat versenkt werden. Dieses Versenken kann beispielsweise mittels eines erwärmten Pressstempels oder mittels eines Ultraschallwerkzeugs erfolgen.In an alternative solution, these jumps in the turns of the booster antenna can also be sunk into the substrate in a suitable manner. This countersinking can be done, for example, by means of a heated ram or by means of an ultrasonic tool.

Diese Deckfolie oder dieser Deckbogen kann dann in geeigneter Weise auf der Kernfolie bzw. dem Substrat fixiert werden. Das Fixieren kann beispielsweise mittels eines Heizstiftes oder eines Ultraschallwerkzeugs erfolgen.This cover film or this cover sheet can then be fixed in a suitable manner on the core film or the substrate. Fixing can take place, for example, by means of a heating pin or an ultrasonic tool.

Zum Schluss wird beispielsweise eine finale Funktionskontrolle durchgeführt und ggf. Schlechtteile markiert.Finally, for example, a final functional check is carried out and, if necessary, bad parts are marked.

Das Transponder-Foliensubstrat, auch Transponderinlay genannt, ist nun fertig für die Weiterverarbeitung zum endgültigen Transponder Produkt.The transponder film substrate, also known as the transponder inlay, is now ready for further processing into the final transponder product.

Ähnlich wie die Chipmodul Verarbeitung wird auch die Verarbeitung von einem „nackten“ Chip mit integrierter Loop-Antenne durchgeführt. Lediglich wird, bevor der Chip in die Kavität eingelegt wird, ein Kleber in die Kavität dosiert. Anschließend wird der Chip eingelegt. Um einen Kleber zu aktivieren, können wiederum verschiedene Möglichkeiten in Betracht gezogen werden. Temperatur, Druck, UV Licht, Mikrowellen, etc.Similar to the chip module processing, the processing of a "naked" chip with an integrated loop antenna is also carried out. Only before the chip is inserted into the cavity is an adhesive dosed into the cavity. The chip is then inserted. In order to activate an adhesive, various possibilities can again be considered. Temperature, pressure, UV light, microwaves, etc.

Gemäß einem Aspekt der Erfindung wird ein Leadframe-Träger mit einem derartigen Chipmodul bereitgestellt. Des Weiteren wird in an sich bekannter Weise ein Substrat mit einer Vielzahl von Booster-Antennen bereit gestellt, wobei dieses Substrat erfindungsgemäß partiell umgeformt wird, so dass eine Kavität zur Aufnahme eines Chipmoduls ausgebildet wird. Eine derartige Kavität ist dabei jeweils im Bereich einer Booster-Antenne vorgesehen.According to one aspect of the invention, a leadframe carrier with such a chip module is provided. Furthermore, a substrate with a multiplicity of booster antennas is provided in a manner known per se, with this substrate being partially formed according to the invention, so that a cavity for receiving a chip module is formed. Such a cavity is provided in each case in the area of a booster antenna.

In einem sich anschließenden Verfahrensschritt wird ein Chipmodul vom Leadframe-Träger getrennt und in die Kavität eingelegt. In einem weiteren Verfahrensschritt erfolgt dann das Verkleben des Chipmoduls in der Kavität.In a subsequent process step, a chip module is separated from the leadframe carrier and placed in the cavity. In a further process step, the chip module is then glued in the cavity.

Das erfindungsgemäße Verfahren zeichnet sich dadurch aus, dass durch die Verwendung der oben genannten Chipmodule keine mechanische Verbindung zwischen dem Chipmodul und der Booster-Antenne hergestellt werden muss, da die Signalübertragung von der in den Chip integrierten kleinen Antenne (Loop-Antenne) auf die Booster-Antenne mittels Funktechnik oder dergleichen erfolgt. Ein weiterer Vorteil besteht darin, dass in dem Substrat kein Fenster ausgestanzt werden muss, da lediglich durch partielles Umformen/Prägen eine Kavität für das Chipmodul hergestellt wird.The inventive method is characterized in that no mechanical connection between the chip module and the booster antenna must be made by using the above chip modules, since the signal transmission from the chip integrated into the small antenna (loop antenna) on the booster -Antenna using radio technology or the like. A further advantage is that no window has to be punched out in the substrate, since a cavity for the chip module is only produced by partial forming/embossing.

Bei einer alternativen Lösung wird das Verfahren weiter vereinfacht, indem auch auf den Leadframeträger verzichtet wird und der „nackte“ Chip direkt in die Kavität eingesetzt wird. Ansonsten entspricht diese Variante dem vorbeschriebenen Ausführungsbeispiel, so dass weitere Erläuterungen entbehrlich sind.In an alternative solution, the process is further simplified by dispensing with the leadframe carrier and inserting the “naked” chip directly into the cavity. Otherwise, this variant corresponds to the above-described off example, so that further explanations are unnecessary.

Die erfindungsgemäße Fertigungsanlage, die insbesondere zur Durchführung der oben genannten Verfahren geeignet ist, hat eine Substratzuführung, wobei das Substrat vorzugsweise in Bogen- oder Folienform zugeführt wird. Des Weiteren ist eine Zuführung, insbesondere zur Zuführung eines Chipmoduls oder eines vorbeschriebenen „nackten“ Chips mit integrierter Loop-Antenne und optional eine Vereinzelungsstation zum Trennen eines Chipmoduls vom Leadframe vorgesehen. Zur Ausbildung der Kavität an dem Substrat ist eine Umformeinrichtung vorgesehen, wobei in die Kavität mittels einer Pick-and-Place Station das Chipmodul eingesetzt werden kann.The production plant according to the invention, which is particularly suitable for carrying out the above-mentioned methods, has a substrate feed, the substrate preferably being fed in sheet or foil form. Furthermore, a supply is provided, in particular for supplying a chip module or an above-described “bare” chip with an integrated loop antenna and optionally a separating station for separating a chip module from the leadframe. A forming device is provided to form the cavity on the substrate, it being possible for the chip module to be inserted into the cavity by means of a pick-and-place station.

Die Fertigungsanlage hat des Weiteren eine Aktivierungseinrichtung zum Voraktivieren, Aktivieren/Aushärten eines Klebers, über den das Chipmodul oder der „nackte“ Chip in der Kavität lagefixiert ist.The production plant also has an activation device for pre-activating, activating/hardening an adhesive, via which the chip module or the “bare” chip is fixed in position in the cavity.

Dieser Kleber kann beispielsweise als Kleberschicht oder Kleberfilm auf den Leadframe aufgetragen werden. Bei der Verarbeitung eines „nackten“ Chips wird es bevorzugt, den Kleber direkt in die Kavität einzubringen. Dieser Kleber kann flüssig dosiert werden oder aber auch als Kleberschicht in die Kavität eingebracht werden.This adhesive can be applied to the leadframe, for example, as an adhesive layer or adhesive film. When processing a "bare" chip, it is preferable to apply the adhesive directly into the cavity. This adhesive can be dispensed in liquid form or applied to the cavity as an adhesive layer.

Wie vorstehend erläutert, kann bei einer Variante der Erfindung das Leadframe chipseitig mit einer Kleberschicht versehen sein. Zur Vereinfachung der Fertigung wird es bevorzugt, dass die Kleberschicht mit einer Abdeckschicht ausgeführt ist, die vor dem Vereinzeln/Trennen abgezogen wird.As explained above, in one variant of the invention, the leadframe can be provided with an adhesive layer on the chip side. In order to simplify production, it is preferred that the adhesive layer is designed with a covering layer that is removed before the individualization/separation.

Wie erläutert, kann alternativ der Kleber direkt in die Kavität eingebracht werden.As explained, the adhesive can alternatively be introduced directly into the cavity.

Das Aktivieren oder Aushärten des Klebers oder der Kleberschicht erfolgt beispielsweise durch Wärme- oder Ultraschalleinwirkung und einer darauf folgenden Abkühlung.The adhesive or the adhesive layer is activated or cured, for example, by the action of heat or ultrasound and subsequent cooling.

Das Umformen zum Ausbilden der Kavität erfolgt gemäß der Erfindung mittels eines Ultraschallwerkzeugs und eines Formwerkzeugs, wobei das Formwerkzeug vorzugsweise chipseitig und das Ultraschallwerkzeug vorzugsweise von der vom Chip abgewandten Seite her das Substrat beaufschlagen.According to the invention, the reshaping to form the cavity takes place by means of an ultrasonic tool and a shaping tool, the shaping tool preferably acting on the substrate on the chip side and the ultrasonic tool preferably acting on the side facing away from the chip.

Je nach Anforderung kann nach dem Verkleben des Chipmoduls auf das Foliensubstrat eine Deckschicht aufgebracht werden, so dass Windungssprünge überdeckt sind.Depending on the requirements, after the chip module has been glued to the film substrate, a cover layer can be applied so that winding jumps are covered.

Alternativ können die Windungssprünge auch ins Substrat versenkt werden. Alternatively, the winding jumps can also be sunk into the substrate.

Wie erwähnt, werden die einzelnen Schichten vorzugsweise Folien- oder Bogen- oder bandförmig verarbeitet.As mentioned, the individual layers are preferably processed in the form of films, sheets or strips.

Das vorbeschriebene Formwerkzeug ist vorzugsweise derart ausgeführt, dass es in etwa der Kontur des Chipmoduls entspricht, so dass dies zuverlässig in der Kavität lagefixiert ist.The molding tool described above is preferably designed in such a way that it approximately corresponds to the contour of the chip module, so that it is reliably fixed in position in the cavity.

Zur Verbesserung der Fertigungsqualität kann die Fertigungsanlage noch mit einer oder mehreren Prüfstationen zur Funktionsprüfung der verarbeiteten Chipmodule ausgeführt sein. Diese Prüfstation kann beispielsweise ein Lesegerät zum Testen des jeweiligen Chipmoduls sein. Alternativ kann die Transponder-Prüfstation so ausgelegt sein, dass ein Betriebssystem oder ein Java-Applet auf einen Flash-Speicher des Chipmoduls mittels Transpondertechnologie kontaktlos geladen werden kann.To improve the production quality, the production facility can also be designed with one or more test stations for functional testing of the processed chip modules. This test station can, for example, be a reading device for testing the respective chip module. Alternatively, the transponder test station can be designed in such a way that an operating system or a Java applet can be loaded contactlessly onto a flash memory of the chip module using transponder technology.

Prinzipiell kann das Chipmodul oder der Chip mit integrierter Loop-Antenne (auf Modul- oder Layer-Ebene) auch mit geätzten, gedruckten, gestanzten oder auf sonstigen Weise hergestellten Antennentypen betrieben werden. Der Patentanmelder behält sich vor, auf dieses Prinzip einen eigenen unabhängigen Patentanspruch zu richten.In principle, the chip module or the chip with an integrated loop antenna (at the module or layer level) can also be operated with antenna types that are etched, printed, stamped or produced in some other way. The patent applicant reserves the right to base his own independent patent claim on this principle.

Bevorzugte Ausführungsbeispiele der Erfindung werden im Folgenden anhand schematischer Zeichnungen näher erläutert. Es zeigen:

  • 1 den Grundaufbau eines ersten Ausführungsbeispiels einer Fertigungsanlage zur Herstellung eines Foliensubstrats;
  • 2 eine Leadframe-Zuführung der Fertigungsanlage gemäß 1;
  • 3 ein Ultraschallwerkzeug und ein Formwerkzeug der Fertigungsanlage gemäß 1;
  • 4 ein weiteres Ausführungsbeispiel einer erfindungsgemäßen Fertigungsanlage, bei der ein Kleber direkt in eine Kavität des Substrats dosiert wird;
  • 5 ein Foliensubstrat, das mit der Fertigungsanlage gemäß 4 herstellbar ist;
  • 6 eine Variante des Ausführungsbeispiels gemäß 5;
  • 7 eine Abbildung zur Verdeutlichung der Unterschiede bei der Verarbeitung eines Chipmoduls bzw. eines Chips mit integrierter Loop-Antenne;
  • 8 einen Teil eines weiteren Ausführungsbeispiels einer Fertigungsanlage zur Verarbeitung von „nackten“ Chipmodulen;
  • 9 ein Foliensubstrat, das mit einer Fertigungsanlage gemäß 7 verarbeitet wird;
  • 10 eine Einzeldarstellung eines Chipmoduls;
  • 11 einen Bogen mit derartigen Chipmodulen;
  • 12a, 12b, 12c Ansichten eines Zwischenproduktes bei der Durchführung des erfindungsgemäßen Verfahrens;
  • 13a, 13b ein Presswerkzeug zum Versenken von Windungssprüngen;
  • 14 eine Variante des Ausführungsbeispiels gemäß den 13a, 13b und
  • 15 eine Presseinrichtung mit Presswerkzeugen gemäß den 13 oder 14 in der Serienfertigung.
Preferred exemplary embodiments of the invention are explained in more detail below using schematic drawings. Show it:
  • 1 the basic structure of a first exemplary embodiment of a production plant for the production of a film substrate;
  • 2 according to a leadframe feed of the manufacturing plant 1 ;
  • 3 an ultrasonic tool and a molding tool according to the manufacturing facility 1 ;
  • 4 a further exemplary embodiment of a production system according to the invention, in which an adhesive is dosed directly into a cavity of the substrate;
  • 5 a film substrate made in accordance with the manufacturing facility 4 is manufacturable;
  • 6 a variant of the embodiment according to 5 ;
  • 7 a figure to clarify the differences in the processing of a chip module or a chip with an integrated loop antenna;
  • 8th part of a further exemplary embodiment of a production system for processing “bare” chip modules;
  • 9 a film substrate with a manufacturing facility according to 7 is processed;
  • 10 an individual representation of a chip module;
  • 11 a bow with such chip modules;
  • 12a , 12b , 12c Views of an intermediate product when carrying out the method according to the invention;
  • 13a , 13b a pressing tool for countersinking coil jumps;
  • 14 a variant of the embodiment according to 13a , 13b and
  • 15 a pressing device with pressing tools according to 13 or 14 in series production.

1 zeigt eine Prinzipdarstellung eines ersten Ausführungsbeispiels einer Fertigungsanlage 1 zur Herstellung eines Foliensubstrats, wie es bei der Fertigung von Transponderlayern verwendet wird. Wie erwähnt, erfolgt die Fertigung im Bogen- oder im Endlosformat - beim dargestellten Ausführungsbeispiel ist ein Endlosformat mit einer Breite von beispielsweise 650 mm verwendet. Bei dem in 1 dargestellten Ausführungsbeispiel sind zu verarbeitende Chipmodule, die als Contactless-Inductive-Coupling-Chipmodule (Chipmodule mit integrierter Loop-Antenne) ausgeführt sind, auf einem Leadframetape 2 angeordnet, das über eine Leadframe-Zuführung 4 als bandförmiges Material zugeführt wird. Die Fertigungsanlage 1 hat des Weiteren eine nicht dargestellte Zuführung für eine Kernfolie, im Folgenden Substrat 6 genannt. 1 shows a schematic representation of a first exemplary embodiment of a production system 1 for producing a film substrate, as is used in the production of transponder layers. As mentioned, production takes place in sheets or in continuous format--in the exemplary embodiment shown, a continuous format with a width of, for example, 650 mm is used. At the in 1 illustrated embodiment are to be processed chip modules, which are designed as contactless inductive coupling chip modules (chip modules with integrated loop antenna), arranged on a leadframe tape 2, which is fed via a leadframe feeder 4 as a strip-shaped material. The production plant 1 also has a feed (not shown) for a core film, called substrate 6 below.

2 zeigt eine der in 1 dargestellten Fertigungsanlage 1 vorgeschaltete Leadframe-Vorbereitungsstation 10, in der das Leadframetape 2 vorbereitet wird. Dabei ist vorausgesetzt, dass das Leadframetape 2 als Bandmaterial auf einem Leadframespeicher 12 aufgewickelt ist, wobei bereits die genannten Chipmodule integriert sind. Einzelheiten dieser Leadframetechnik sind beispielsweise in der eingangs genannten EP 2 588 998 B1 erläutert. 2 shows one of the in 1 shown production plant 1 upstream leadframe preparation station 10 in which the leadframe tape 2 is prepared. It is assumed here that the leadframe tape 2 is wound up as a strip material on a leadframe store 12, with the chip modules mentioned already being integrated. Details of this leadframe technology are, for example, in the document mentioned at the outset EP 2 588 998 B1 explained.

Dieses Leadframetape 2 wird gemäß 2 mit einer ebenfalls als Rollen- oder Bandmaterial bereitgestellten wärmeaktivierbaren Kleberschicht (HAF (Heat Activated Film)) versehen. Dieses Laminieren erfolgt beispielsweise mittels einer Heizplatte 16, gegen die der Schichtaufbau mit dem Leadframetape 2 und der Kleberschicht 14 mittels Silikon-Anpressrollen 18 gedrückt wird, so dass ein partielles Erweichen und Verkleben/Laminieren der Schichten erfolgt.This leadframe tape 2 is in accordance with 2 provided with a heat-activatable adhesive layer (HAF (Heat Activated Film)), also provided as roll or tape material. This lamination is carried out, for example, by means of a heating plate 16 against which the layer structure with the leadframe tape 2 and the adhesive layer 14 is pressed by means of silicone pressure rollers 18 so that the layers are partially softened and bonded/laminated.

Wie in 2 unten dargestellt, besteht dieser Schichtaufbau nach dem Laminieren im Prinzip aus dem Leadframetape 2, das die Chipmodule 20 trägt, die wiederum über die Kleberschicht 14 mit dem Abdeckband 24 überdeckt sind. Dieses Abdeckband 24 ist nach außen hin angeordnet, so dass die gesamte Kleberschicht überdeckt ist. Das Abdeckband 24 kann ein Silikontape sein.As in 2 shown below, after lamination, this layered structure basically consists of the leadframe tape 2, which carries the chip modules 20, which in turn are covered with the cover tape 24 via the adhesive layer 14. This cover tape 24 is arranged on the outside, so that the entire adhesive layer is covered. The masking tape 24 can be a silicone tape.

Dieses Mehrschichtlaminat (Leadframetape 2 mit Kleberschicht 14 und Abdeckband 24) wird dann einer Speicherrolle 22 oder direkt der Leadframe-Zuführung 4 zugeführt.This multi-layer laminate (leadframe tape 2 with adhesive layer 14 and cover tape 24) is then fed to a storage roll 22 or directly to the leadframe feeder 4.

Wie in 1 dargestellt, wird das Abdeckband (Releasetape) 24 vor der Vereinzelung der Chipmodule 20 von der Kleberschicht 14 abgezogen und auf eine Rolle 26 aufgerollt und entsorgt bzw. einer Wiederaufbereitung zugeführt.As in 1 shown, the cover tape (release tape) 24 is pulled off the adhesive layer 14 before the chip modules 20 are separated and rolled up onto a roll 26 and disposed of or fed to recycling.

Die Zuführung des Substrats 6 kann beispielsweise als Rollenzuführeinrichtung ausgebildet sein, über die die als Rollenmaterial bereit gestellte Kernfolie (Substrat) abgewickelt und entlang nicht dargestellter Führungen den weiteren Bearbeitungsstationen zugeführt werden kann. Wie erwähnt, kann die Kernfolie auch als Bogenware über eine geeignete Zuführung zugeführt werden.The substrate 6 can be fed in, for example, as a roll feed device, via which the core film (substrate) provided as roll material can be unwound and fed to the further processing stations along guides that are not shown. As mentioned, the core foil can also be fed in as sheets via a suitable feed.

In einem nicht dargestellten Bearbeitungsschritt wird auf dem Substrat 6 mittels einer Antennenverlegeeinheit in Drahtverlegetechnik eine Anzahl von spezifizierten Booster-Antennen 8 aufgebracht. Diese werden dabei in das Substrat 6 in an sich bekannter Weise eingeschweißt. Das Substrat 6 kann aus einem herkömmlichen Thermoplast, beispielsweise Polycarbonat, PVC oder aus einem synthetischen Papier bestehen. Das Verlegen und Verschweißen des Antennendrahtes erfolgt in an sich bekannter Weise über einen Ultraschallkonverter und ein Verlege-Werkzeug.In a processing step that is not shown, a number of specified booster antennas 8 are applied to the substrate 6 by means of an antenna laying unit using wire laying technology. These are welded into the substrate 6 in a manner known per se. The substrate 6 can consist of a conventional thermoplastic, for example polycarbonate, PVC or of a synthetic paper. The antenna wire is laid and welded in a manner known per se using an ultrasonic converter and a laying tool.

Im Bereich von Windungsfenstern der auf dem Substrat 6 angeordneten Booster-Antenne 8 wird mittels einer Umformeinrichtung/Prägeeinrichtung 28 jeweils eine Kavität ausgebildet, deren Kontur an die Außenkontur des zu verarbeitenden Chipmoduls 20 angepasst ist.In the area of winding windows of the booster antenna 8 arranged on the substrate 6, a cavity is formed by means of a shaping device/embossing device 28, the contour of which is adapted to the outer contour of the chip module 20 to be processed.

Der Grundaufbau dieser Umformeinrichtung 28 ist in 3 dargestellt. Diese zeigt eine vergrößerte Darstellung des Substrats 6, auf dem eine Vielzahl von Booster-Antennen 8 angeordnet ist. Die Umformeinrichtung 28 bildet nunmehr in einem Bereich, der von der Booster-Antenne 8 umgriffen wird, die vorbeschriebene Kavität aus. Gemäß einem erfindungsgemäßen Ausführungsbeispiel hat die Umformeinrichtung 28 ein Präge- oder Formwerkzeug 30, dessen Kontur derjenigen der auszubildenden Kavität entspricht. Die Umformeinrichtung 28 hat des Weiteren ein Ultraschallwerkzeug 32, deren Sonotrode 34 in 3 eingeblendet ist. Aus dieser Darstellung geht hervor, dass die Sonotrode 34 mit einer flachen Aktivfläche 36 ausgeführt ist, über die der vom Ultraschall beaufschlagte Bereich des Substrats 6 erweicht wird, so dass über das Formwerkzeug 30 die Kavität ausgebildet werden kann. In 3 ist auch das Profil 38 des Formwerkzeugs 30 dargestellt. Die Stirnfläche dieses Profils 38 entspricht der Grundfläche der auszubildenden Kavität.The basic structure of this forming device 28 is 3 shown. This shows an enlarged representation of the substrate 6 on which a multiplicity of booster antennas 8 are arranged. The reshaping device 28 now forms the above-described cavity in an area surrounded by the booster antenna 8 . According to an exemplary embodiment according to the invention, the forming device 28 has an embossing or forming tool 30 whose contour corresponds to that of the cavity to be formed. The forming facility 28 also has an ultrasonic tool 32, whose sonotrode 34 in 3 is displayed. This representation shows that the sonotrode 34 is designed with a flat active surface 36 via which the area of the substrate 6 subjected to the ultrasound is softened, so that the cavity can be formed via the mold 30 . In 3 the profile 38 of the molding tool 30 is also shown. The face of this profile 38 corresponds to the base of the cavity to be formed.

Das Formwerkzeug 30 und das Ultraschallwerkzeug 32 sind simultan in X- und Y-Richtung verfahrbar geführt. Dabei wird das Formwerkzeug 30 in Vertikalrichtung (Z) über ein Achsensystem angetrieben. Das Ultraschallwerkzeug 32 ist in der Vertikalen (Z) unterhalb vom Substrat 6 fixiert, jedoch in X- und Y-Richtung verfahrbar. Dabei drückt das Formwerkzeug 30 mit einer einstellbaren oder steuerbaren Kraft auf das Substrat 6. Bei der Zuschaltung des Ultraschallwerkzeugs 32 entsteht dann Wärme, durch die das Substratmaterial erweicht wird, so dass die Formgebung der Kavität für das Material stressfrei erfolgt. Das Prägen der Kavität kann weiter vereinfacht werden, wenn das Formwerkzeug 30 beheizt ist. Die Tiefe der Kavität ist so ausgeführt, dass das Chipmodul 20 bündig in die Kavität eingesetzt werden kann. Prinzipiell ist es jedoch auch möglich, das Chipmodul mit einem gewissen Überstand einzusetzen, wobei dieser Überstand dann entsprechend über eine weitere Schicht abgedeckt wird.The forming tool 30 and the ultrasonic tool 32 are simultaneously guided in the X and Y directions so that they can be moved. In this case, the forming tool 30 is driven in the vertical direction (Z) via an axis system. The ultrasonic tool 32 is fixed in the vertical (Z) below the substrate 6, but can be moved in the X and Y directions. The shaping tool 30 presses onto the substrate 6 with an adjustable or controllable force. When the ultrasonic tool 32 is switched on, heat is generated, which softens the substrate material so that the cavity is shaped without stress for the material. The embossing of the cavity can be further simplified if the mold 30 is heated. The depth of the cavity is designed in such a way that the chip module 20 can be inserted flush into the cavity. In principle, however, it is also possible to use the chip module with a certain overhang, with this overhang then being correspondingly covered by a further layer.

Nach dem Ablösen und Aufwickeln des Abdeckbandes 24 werden die Chipmodule 20 in einer Vereinzelungsstation 40 vom Leadframetape 2 abgetrennt. Beim dargestellten Ausführungsbeispiel ist die Vereinzelungsstation 40 als Stanzeinrichtung ausgeführt.After the cover tape 24 has been detached and wound up, the chip modules 20 are separated from the leadframe tape 2 in a separating station 40 . In the illustrated embodiment, the separating station 40 is designed as a punching device.

In einem weiteren Verfahrensschritt wird die Qualität der Booster-Antennen 8 geprüft. Diese Prüfung kann beispielsweise mittels eines Netzwerk-Analyzers erfolgen. Die spezifizierten Toleranzen der Booster-Antennen 8 können dabei frei programmiert werden. Sollten die Toleranzen am Limit liegen, erscheint eine Warnung und es werden keine elektronischen Datenträger in die jeweiligen fehlerhaften, kritischen Antennen platziert.In a further method step, the quality of the booster antennas 8 is checked. This check can be carried out, for example, using a network analyzer. The specified tolerances of the booster antennas 8 can be freely programmed. If the tolerances are at the limit, a warning appears and no electronic data carriers are placed in the respective faulty, critical antennas.

Die vereinzelten Chipmodule 20 mit der durch das Leadframetape 2 ausgebildeten internen Loop-Antenne werden dann mittels einer Pick-and-Place-Einheit 42 übernommen und in die vorgefertigten Kavitäten eingesetzt. Dieses Platzieren erfolgt dabei mit Hilfe eines optischen Überwachungssystems (Visionsystem) 44. Dabei saugt die Pick-and-Place-Einheit 42 die gestanzten Chipmodule 20 mittels Vakuum direkt vom Stanzstempel der Vereinzelungsstation 40 an, wobei beispielsweise vier Chipmodule 20 gleichzeitig transportiert und platziert werden können.The isolated chip modules 20 with the internal loop antenna formed by the leadframe tape 2 are then taken over by means of a pick-and-place unit 42 and inserted into the prefabricated cavities. This placement is carried out with the aid of an optical monitoring system (vision system) 44. The pick-and-place unit 42 sucks the punched chip modules 20 directly from the punch of the separating station 40 by means of a vacuum, with four chip modules 20, for example, being able to be transported and placed at the same time .

Bei einem Ausführungsbeispiel der Erfindung hat die Pick-and-Place-Einheit 42 ein Rotationsdesign, um die Chipmodule 20 in einem frei wählbaren Anstellwinkel in die Kavitäten des Substrats 6 ablegen zu können. Eine derartige Verdrehung der Chipmodule 20 ist vorteilhaft, da sie die Biege- und Torsionsverträglichkeit des elektronischen Bauteils, das mit der Substratfolie versehen ist, verbessert.In an exemplary embodiment of the invention, the pick-and-place unit 42 has a rotary design in order to be able to place the chip modules 20 in the cavities of the substrate 6 at a freely selectable angle of incidence. Twisting the chip modules 20 in this way is advantageous because it improves the bending and torsional tolerance of the electronic component that is provided with the substrate film.

Die beispielsweise als HAF-Film ausgebildete Kleberschicht 14 wird dann mittels einer Aktivierungseinrichtung 48 aktiviert. Bei der konkreten Lösung ist diese Aktivierungseinrichtung 48 ebenfalls als Ultraschallwerkzeug ausgeführt, das in X- und Y-Richtung verfahrbar geführt ist, so dass nach einander sämtliche Kavitäten anfahrbar sind, um die Kleberschicht 14 zu aktivieren - das Chipmodul 20 ist dann jeweils form- und kraftschlüssig in der Kavität gesichert.The adhesive layer 14 embodied as an HAF film, for example, is then activated by means of an activation device 48 . In the specific solution, this activation device 48 is also designed as an ultrasonic tool that can be moved in the X and Y directions, so that all cavities can be approached one after the other in order to activate the adhesive layer 14 - the chip module 20 is then moldable and firmly secured in the cavity.

In einer Prüfstation 50 wird dann die Funktion der jeweiligen Chipmodule 20 geprüft. Diese Prüfstation 50 kann beispielsweise als Transponderlesegerät ausgeführt sein, über das die Chipfunktion nach jedem Prozessschritt überprüfbar ist.The function of the respective chip modules 20 is then tested in a test station 50 . This test station 50 can be designed, for example, as a transponder reader, via which the chip function can be checked after each process step.

Nach dieser Prüfung erfolgt beim dargestellten Ausführungsbeispiel eine weitere Aktivierung des Klebers mittels Heizstempeln 52. Über diese wird der Kleber mit einer definierten Temperatur und Presskraft vollflächig beaufschlagt, so dass dieser die Aktivierungstemperatur erreicht. Die Verklebung wird dann in einem weiteren Arbeitsschritt über Kühlstempel 54 beaufschlagt, die den Aufbau abkühlen, so dass der Kleber aushärtet und seine endgültige Festigkeit erreicht. Dieser Prozess ist per se aus der Chipkartenherstellung bekannt.After this test, in the exemplary embodiment shown, the adhesive is activated further by means of heating stamps 52. The adhesive is then subjected to a defined temperature and pressing force over its entire surface, so that it reaches the activation temperature. In a further work step, the bond is then subjected to cooling dies 54, which cool the structure so that the adhesive hardens and reaches its final strength. This process is known per se from chip card production.

Je nach Kundenwunsch kann dann im Anschluss an das Aushärten des Klebers ein Deckbogen 56 auf die Substratfolie aufgebracht werden. Die Verbindung dieses Deckbogens 56 mit der Substratfolie 6 erfolgt dann mittels einer Fixierstation 58, die beispielsweise ebenfalls als beheizte Ultraschalleinheit ausgeführt sein kann. Die Fixierstation 58 ist vorzugsweise in X-, Y- und Z-Richtung verfahrbar ausgebildet, so dass der Deckbogen 56, der je nach Kundenanforderung angebracht wird, punktuell mit der Kernfolie (Substrat 6) verschweißt wird.Depending on the customer's requirements, a cover sheet 56 can then be applied to the substrate film after the adhesive has hardened. This cover sheet 56 is then connected to the substrate film 6 by means of a fixing station 58, which can also be designed as a heated ultrasonic unit, for example. The fixing station 58 is preferably designed to be movable in the X, Y and Z directions, so that the cover sheet 56, which is attached depending on the customer's requirements, is spot-welded to the core film (substrate 6).

Eine Aufgabe des Deckbogens 56 ist es, die im Folgenden noch näher erläuterten Windungssprünge der Booster-Antenne 8 zu überdecken. Dabei sind die Fixierpunkte so zu wählen, dass die sich anschließenden Fertigungsschritte nicht behindert werden.One task of the cover sheet 56 is to cover the jumps in the turns of the booster antenna 8, which are explained in more detail below. The fixing points are to be selected in such a way that the subsequent production steps are not impeded.

Wie im Folgenden näher erläutert wird, können diese Windungssprünge auch über ein geeignetes Werkzeug in das Substrat 6 versenkt werden. In diesem Fall kann unter Umständen auf den Deckbogen 56 verzichtet werden.As will be explained in more detail below, these winding jumps can also be sunk into the substrate 6 using a suitable tool. In this case, under certain circumstances, the cover sheet 56 can be dispensed with.

Gemäß der Darstellung in 1 ist die erfindungsgemäße Fertigungsanlage 1 beim dargestellten Ausführungsbeispiel zusätzlich noch mit einer Markierungseinrichtung 60 versehen, über die eine Schlechtteilmarkierung erfolgt. Diese Markierungseinrichtung kann beispielsweise ein Tintenstrahldrucker oder dergleichen sein.According to the illustration in 1 the production plant 1 according to the invention is additionally provided with a marking device 60 in the exemplary embodiment shown, via which a defective part is marked. This marking device can be, for example, an inkjet printer or the like.

Das auf diese Weise mit den Chipmodulen 20 versehene Foliensubstrat 6 wird dann der weiteren Verarbeitung zugeführt.The film substrate 6 provided with the chip modules 20 in this way is then fed to further processing.

Wie vorstehend ausgeführt, kann eine Prüfstation 50 nach jedem Prozessschritt vorgesehen werden, so dass eine durchgängige Prozesskontrolle gewährleistet ist. Dabei wird auch vor dem Stanzen die UID in einer Datenbank gespeichert, verwaltet und dementsprechend die jeweiligen über die Prüfstation 50 ermittelten Prozessparameter zugeordnet.As explained above, a test station 50 can be provided after each process step, so that continuous process control is ensured. In this case, the UID is also stored in a database before punching, managed and assigned accordingly to the respective process parameters determined via the test station 50 .

In einem finalen Test mittels einer weiteren, nicht dargestellten Prüfstation 50 wird dann nochmals die Funktion geprüft. Je nachdem wie die weitere Verarbeitung durchgeführt werden soll, kann am Ende das Bandmaterial in Bögen geschnitten und abgestapelt werden.The function is then tested again in a final test using a further test station 50 (not shown). Depending on how further processing is to be carried out, the strip material can be cut into sheets and stacked at the end.

4 zeigt eine Variante des in 1 erläuterten Ausführungsbeispiels. Ein Unterschied zwischen den beiden Fertigungsanlagen 1 besteht darin, dass beim Ausführungsbeispiel gemäß 4 ein Standard-Leadframetape 2 ohne Kleberschicht 14 verwendet wird. Der zum Lagefixieren des Chipmoduls 20 erforderliche Kleber wird dann über eine Kleberdosiereinrichtung 62 direkt in die zuvor ausgebildeten Kavitäten eingebracht. 4 shows a variant of the in 1 illustrated embodiment. A difference between the two manufacturing plants 1 is that in the embodiment according to 4 a standard lead frame tape 2 without an adhesive layer 14 is used. The adhesive required to fix the position of the chip module 20 is then introduced directly into the previously formed cavities via an adhesive metering device 62 .

In dem Fall, in dem „nackte“ Chips 21 verarbeitet werden, kann die Chipmodul-Zuführung durch eine Wafer-Einheit ersetzt werden. Dabei wird es allerdings erforderlich sein, auch entsprechend die Kavität und damit die Umformeinrichtung sowie das Formwerkzeug und auch die Pick-and-Place-Einheit sowie den Heizstempel und den Kühlstempel entsprechend anzupassen.In the case where "bare" chips 21 are processed, the chip module feed can be replaced by a wafer unit. In this case, however, it will also be necessary to adapt the cavity and thus the forming device and the forming tool and also the pick-and-place unit and the heating stamp and the cooling stamp accordingly.

5 zeigt eine Teildarstellung des Substrats (Foliensubstrat) 6, auf dem die Booster-Antenne 8 angeordnet ist. Über die oben erläuterte Umformeinrichtung 28 wurde im Substrat 6 die Kavität 64 ausgebildet. Wie erläutert, wird dann über die Kleberdosiereinrichtung 62 Kleber 66 dosiert. Wie aus der Darstellung gemäß 5 hervorgeht, ist dabei die Kavität 64 vorzugsweise mittig mit Bezug zu Verstärkerwindungen (Windungsfenster) der Booster-Antenne 8 angeordnet. 5 shows a partial representation of the substrate (foil substrate) 6 on which the booster antenna 8 is arranged. The cavity 64 was formed in the substrate 6 via the shaping device 28 explained above. As explained, adhesive 66 is then metered via the adhesive metering device 62 . As per the illustration 5 shows, the cavity 64 is preferably arranged centrally with respect to the amplifier windings (winding window) of the booster antenna 8 .

Nach dem Dosieren des Klebers 66 wird dann mittels der Pick-and-Place-Einheit 42 das Chipmodul 20 in der Kavität 64 und auf den Kleber 66 platziert und dieser in der vorbeschriebenen Weise aktiviert, so dass das Chipmodul 20 lagefixiert ist. In der Darstellung gemäß 5 erkennt man auch die in das Chipmodul 20 integrierte Loop-Antenne 68. Die weitere Verarbeitung erfolgt analog zu 1, so dass weitere Erläuterungen entbehrlich sind.After dispensing the adhesive 66, the chip module 20 is then placed in the cavity 64 and on the adhesive 66 by means of the pick-and-place unit 42 and this is activated in the manner described above, so that the chip module 20 is fixed in position. In the representation according to 5 one can also see the loop antenna 68 integrated into the chip module 20. The further processing is analogous to FIG 1 , so that further explanations are superfluous.

6 zeigt eine weitere Variante des erfindungsgemäßen Herstellverfahrens bzw. einer erfindungsgemäßen Fertigungsanlage. Bei diesem Ausführungsbeispiel erfolgt keine Dosierung eines Klebers 66, sondern es wird über eine geeignete Zuführung ein Kleberfilm, beispielsweise ein HAF-Zuschnitt 70 in die Kavität 64 eingelegt, um das Chipmodul 20 vorzufixieren. 6 shows a further variant of the production method according to the invention or a production plant according to the invention. In this exemplary embodiment, an adhesive 66 is not metered, but an adhesive film, for example an HAF blank 70, is inserted into the cavity 64 via a suitable feed in order to prefix the chip module 20.

Es erfolgt dann wiederum eine Kleberaktivierung in der vorbeschriebenen Weise mittels Temperatur, Zeit und Druck.The adhesive is then activated again in the manner described above using temperature, time and pressure.

Prinzipiell kann die Aktivierung, insbesondere bei einer Dosierung eines Klebers 66 gemäß 5 auch mittels einer UV-Strahlung erfolgen, die von unten her, d.h. von der vom Chipmodul 20 abgewandten Seite her das Substrat 6 beaufschlagt.In principle, the activation, in particular when dosing an adhesive 66 according to 5 also take place by means of UV radiation, which acts on the substrate 6 from below, ie from the side facing away from the chip module 20 .

Bei den zuvor beschriebenen Ausführungsbeispielen sind die Chipmodule 20 jeweils auf einem Leadframetape 2 angeordnet. Anhand der 8 und 9 wird ein Ausführungsbeispiel erläutert, bei dem die eingangs erläuterten „nackten“ Chips 21, d.h. nicht mit einem Leadframetape 2 bereitgestellte Chips 21, verarbeitet werden.In the exemplary embodiments described above, the chip modules 20 are each arranged on a leadframe tape 2 . Based on 8th and 9 an exemplary embodiment is explained in which the “bare” chips 21 explained at the outset, ie chips 21 not provided with a leadframe tape 2, are processed.

Der Unterschied zwischen einem Inductive-Coupling-Contactless-Chipmodul und einem „nackten“ Chip 21 wird nochmals anhand 7 verdeutlicht. Dort ist obenliegend das Chipmodul 20 gezeigt. Dieses trägt den eigentlichen Chip, der über Leiterbahnen (direct gebondet) mit der Loop-Antenne 68 verbunden ist. Dieses Chipmodul 20 wird dann in das genannte Windungsfenster 72 der Booster-Antenne 8 des Transponderinlays eingesetzt, wobei zuvor in diesem Bereich in der vorbeschriebenen Weise eine Kavität eingebracht wurde.The difference between an inductive coupling contactless chip module and a "bare" chip 21 is again based on 7 clarified. The chip module 20 is shown there on top. This carries the actual chip, which is connected to the loop antenna 68 via conductor tracks (directly bonded). This chip module 20 is then inserted into the named turn window 72 of the booster antenna 8 of the transponder inlay, a cavity having previously been introduced in this area in the manner described above.

7 zeigt den genannten „nackten“ Chip 21 neuester Bauart. Bei diesen Chips 21 ist die Loop-Antenne in eine der Silizium-Schichten des Chips 21 integriert, so dass praktisch das Chipmodul mit der gebondeten Loop-Antenne entfallen kann und entsprechend der Chip 21 eine wesentlich geringere Fläche als das Chipmodul 20 benötigt. Dieser „nackte“ Chip 21 wird dann wiederum in das Windungsfenster 72 der Booster-Antenne 8 eingesetzt, wobei entsprechend der geringen Abmessungen des Chips 21 auch weniger Raum für das Windungsfenster 72 benötigt wird. Die Verarbeitung derartiger Chips 21 ist sehr vorteilhaft, da bei einer derartigen Lösung die Modulkosten wegfallen würden und zudem die Verarbeitung wesentlich vereinfacht ist. Ein weiterer Vorteil ist, dass die „nackten“ Chips 21 im Wafer-Format bereitgestellt werden. Hinzu kommt, dass diese Chips 21 in dem Substrat nahezu unsichtbar sind und somit in den Hintergrund treten. 7 shows the aforementioned "naked" chip 21 of the latest design. In these chips 21, the loop antenna is integrated into one of the silicon layers of the chip 21, so that the chip module with the bonded loop antenna can be omitted and the chip 21 accordingly requires a much smaller area than the chip module 20. This "naked" chip 21 is then turned into the wind ungswindow 72 of the booster antenna 8 used, with corresponding to the small dimensions of the chip 21 less space for the turn window 72 is required. The processing of chips 21 of this type is very advantageous since the module costs would be eliminated with such a solution and the processing is also significantly simplified. Another advantage is that the "bare" chips 21 are provided in wafer format. In addition, these chips 21 are almost invisible in the substrate and thus fade into the background.

In 8 sind fünf Hauptschritte einer derartigen Fertigung dargestellt. In 8 erkennt man das Substrat 6 mit der darauf verlegten Booster-Antenne 8. Wie bei den zuvor beschriebenen Ausführungsbeispielen wird zunächst über die Umformeinrichtung 28 mit dem Formwerkzeug 30 und dem Ultraschallwerkzeug 32 die Kavität 64 zur Aufnahme des nackten Chips 21 ausgebildet. In einem nächsten Fertigungsschritt wird dann mittels einer Kleberdosiereinrichtung 62 Kleber in diese Kavität 64 dosiert und mittels der Pick-and-Place-Einheit 42 jeweils ein nackter Chip 21 in die Kavität 64 eingesetzt. In einem folgenden Arbeitsschritt wird dann der Kleber zunächst über einen Heizstempel 52 während einer vorbestimmten Zeitspanne mit Druck und Temperatur beaufschlagt, so dass der Kleber aktiviert wird. Die Verklebung wird dann mittels des Kühlstempels 54 gekühlt, so dass der Kleber entsprechend aushärtet.In 8th five main steps of such a production are shown. In 8th one can see the substrate 6 with the booster antenna 8 laid thereon. As in the exemplary embodiments described above, the cavity 64 for receiving the bare chip 21 is first formed via the forming device 28 with the forming tool 30 and the ultrasonic tool 32 . In a next production step, adhesive is then metered into this cavity 64 by means of an adhesive metering device 62 and a bare chip 21 is inserted into the cavity 64 by means of the pick-and-place unit 42 . In a subsequent work step, pressure and temperature are first applied to the adhesive via a heating die 52 for a predetermined period of time, so that the adhesive is activated. The bond is then cooled by means of the cooling die 54 so that the adhesive hardens accordingly.

Nach dieser Verklebung ist dann der „nackte“ Chip 21 mit der integrierten Loop-Antenne fest in der Kavität 64 lagefixiert und so relativ zur Booster-Antenne 8 des Substrats 6 positioniert, dass eine induktive Signalübertragung von der in die Chip-Layer integrierte Loop-Antenne zur Booster-Antenne 8 ermöglicht ist.After this bonding, the "naked" chip 21 with the integrated loop antenna is then fixed in position in the cavity 64 and positioned relative to the booster antenna 8 of the substrate 6 in such a way that an inductive signal transmission from the loop antenna integrated into the chip layer Antenna for booster antenna 8 is enabled.

Der große Vorteil der vorbeschriebenen Verfahren ist die Einfachheit des Prozesses, wobei das resultierende Transponderinlay (Substratfolie) extrem dünn mit einer Dicke von weniger als 200 µm ausgebildet werden kann.The great advantage of the method described above is the simplicity of the process, with the resulting transponder inlay (substrate film) being able to be made extremely thin with a thickness of less than 200 μm.

Besonders vorteilhaft ist es, wenn die Antenne auf einem thermoplastischen Substrat/Inlay verlegt wird. Dies hat den Vorteil gegenüber einer durch Ätzen auf PET ausgebildeten Antenne, dass kein „Fremdkörper“ in dem kompletten Aufbau vorhanden ist.It is particularly advantageous if the antenna is installed on a thermoplastic substrate/inlay. This has the advantage over an antenna formed by etching on PET that there is no "foreign body" present in the complete assembly.

Des Weiteren ist die Verarbeitung derartiger PET-Substrate problematisch, da üblicher Weise Karten für Banking-, Transport-, eID-Produkte aus PVC oder PC bestehen und zudem synthetisches Papier (Teslin) enthalten ist und diese Materialien nur schwierig mit PET durch Laminieren oder Kleben zu verarbeiten sind.Furthermore, the processing of such PET substrates is problematic, since cards for banking, transport, eID products are usually made of PVC or PC and also contain synthetic paper (Teslin) and these materials are difficult to combine with PET by laminating or gluing are to be processed.

Bei den zuvor beschriebenen Ausführungsbeispielen wird die Loop-Antenne 68 in ein Windungsfenster 72 der Booster-Antenne 8 eingesetzt. Dementsprechend sind diese beiden Antennen auf der gleichen Seite des Substrats 6 angeordnet.In the exemplary embodiments described above, the loop antenna 68 is inserted into a turn window 72 in the booster antenna 8 . Accordingly, these two antennas are arranged on the same side of the substrate 6. FIG.

Im Folgenden wird eine Variante beschrieben, bei der die Booster-Antenne 8 und die Loop-Antenne 68 auf gegenüberliegenden Seiten des Substrats 6 angeordnet sind, wobei die Windungen der Antennen einander zumindest abschnittsweise überlappen, so dass die Induktion gegenüber der vorbeschriebenen Lösung verbessert ist.A variant is described below in which the booster antenna 8 and the loop antenna 68 are arranged on opposite sides of the substrate 6, with the windings of the antennas overlapping one another at least in sections, so that the induction is improved compared to the solution described above.

10 zeigt nochmals eine Einzeldarstellung eines erfindungsgemäßen Chipmoduls 20, bei dem etwa mittig der eigentliche Chip 74 angeordnet ist, der mit der Loop-Antenne 68 kontaktiert ist. Deren Windungen sind um den Chip 74 herumgelegt, wobei beim dargestellten Ausführungsbeispiel etwa rechteckförmige Windungen vorgesehen sind, selbstverständlich kann auch eine andere Geometrie ausgebildet werden. 10 FIG. 12 again shows an individual illustration of a chip module 20 according to the invention, in which the actual chip 74, which is contacted with the loop antenna 68, is arranged approximately in the middle. Its windings are laid around the chip 74, with the illustrated exemplary embodiment providing approximately rectangular windings, although a different geometry can of course also be formed.

11 zeigt ein Leadframetape 2, auf dem eine Vielzahl von Chipmodulen 20 angeordnet sind. Wie eingangs erläutert, ist dieses Leadframetape 2 auf einen Leadframespeicher 12 aufgewickelt, wobei dann während der Verarbeitung die Chipmodule 20 ausgestanzt werden. 11 shows a leadframe tape 2 on which a plurality of chip modules 20 are arranged. As explained at the outset, this leadframe tape 2 is wound onto a leadframe store 12, the chip modules 20 then being punched out during processing.

Die 12a, 12b, 12c zeigen ein Zwischenprodukt, das bei der erfindungsgemäßen Fertigung anfällt. 12a zeigt dabei das ausgestanzte, durchsichtig dargestellte Substrat 6, auf dessen in 12a sichtbarer Großfläche die Booster-Antenne 8 verlegt ist.the 12a , 12b , 12c show an intermediate product that is obtained in the production according to the invention. 12a shows the punched-out, transparent substrate 6, on the in 12a Visible large area the booster antenna 8 is laid.

12b zeigt den in 12a oben rechts liegenden Eckbereichs des Substrats 6, in dem die eigentliche Booster-Antenne 8 mit dem vorbeschriebenen Windungsfenster 72 ausgebildet ist. In diesem Eckbereich ist die Booster-Antenne 8 mit einer Vielzahl von Windungen ausgeführt, die sich von außen nach innen erstrecken. Der Endabschnitt des Antennendrahtes ist dann über die zuvor verlegten Windungen aus dem Zentrum der Booster-Antenne 8 heraus gelegt, so dass sich in diesem Bereich ein Windungssprung 76 ergibt, der etwas nach oben, zum Betrachter hin auskragt und somit eine potentielle Gefährdung darstellt, da bei der weiteren Fertigung oder auch bei der Nutzung dieser unebene Bereich zu einem Verhaken oder dergleichen führen kann. Ein entsprechender Windungssprung 78 entsteht auch im Bereich des anderen Antennendrahtendes, das sich aus dem nur durch einige große Windungen gebildeten Rahmen heraus erstreckt, der die eigentliche Booster-Antenne 8 umgreift. 12b shows the in 12a upper right lying corner region of the substrate 6, in which the actual booster antenna 8 is formed with the winding window 72 described above. In this corner area, the booster antenna 8 is designed with a large number of windings, which extend from the outside to the inside. The end section of the antenna wire is then placed over the previously laid turns from the center of the booster antenna 8, so that there is a jump in the turns 76 in this area, which protrudes slightly upwards towards the viewer and thus represents a potential hazard because this uneven area can lead to snagging or the like during further production or during use. A corresponding jump in turns 78 also occurs in the region of the other end of the antenna wire, which extends out of the frame formed by only a few large turns and which encompasses the actual booster antenna 8 .

12c zeigt die Rückseite des Substrats 6, das durchsichtig dargestellt ist, so dass der vorbeschriebene Windungssprung 76 sichtbar ist. In der Darstellung gemäß 12c sieht man die Rückseite des Chipmoduls 20, an dem die in 12b innenliegend sichtbare Loop-Antenne 68 ausgebildet ist, die somit an dieser Rückseite des Substrats 6 angeordnet ist. Die Windungen der Loop-Antenne 68 überlappen abschnittsweise mit den Windungen der Booster-Antenne 8 - dabei kann das eigentliche Windungsfenster 72 minimiert werden, da kein Platz für das Chipmodul verbleiben muss. D. h., neben dem Vorteil einer verbesserten Induktion kann die Variante gemäß den 11 und 12 auch kompakter ausgeführt werden, da Loop-Antenne 68 und Booster-Antenne 8 einander gegenüberliegend angeordnet sind und lediglich durch die Substratfolie zueinander beabstandet werden. Wie vorstehend erwähnt, ist in der Substratfolie 6 die Kavität 64 ausgebildet, in die das Chipmodul 20 bündig eingesetzt wird. 12c shows the back of the substrate 6, which is shown transparent, so that the winding jump 76 described above is visible. In the representation according to 12c you can see the back of the chip module 20, on which the in 12b internally visible loop antenna 68 is formed, which is thus arranged on this rear side of the substrate 6. The windings of the loop antenna 68 overlap in sections with the windings of the booster antenna 8—in this way the actual winding window 72 can be minimized since no space has to remain for the chip module. That is, in addition to the advantage of improved induction, the variant according to the 11 and 12 can also be made more compact, since loop antenna 68 and booster antenna 8 are arranged opposite one another and are only spaced apart from one another by the substrate film. As mentioned above, the cavity 64 is formed in the substrate film 6, in which the chip module 20 is inserted flush.

Wie zuvor erläutert, dient der Deckbogen 56 des zuvor beschriebenen Ausführungsbeispiels auch dazu, die Windungssprünge 76, 78 zu überdecken.As previously explained, the cover sheet 56 of the embodiment described above also serves to cover the winding jumps 76,78.

Prinzipiell ist es jedoch auch möglich, auf diesen Deckbogen 56 zu verzichten und die Windungssprünge 76, 78 durch geeignete mechanische Beaufschlagung in das Substrat 6 zu versenken/einzubetten.In principle, however, it is also possible to dispense with this cover sheet 56 and to sink/embed the winding jumps 76, 78 into the substrate 6 by suitable mechanical action.

13a zeigt eine Möglichkeit, diese Windungssprünge 76, 78 ins Substrat 6 zu versenken, so dass diese nicht mehr aus der Substratoberfläche vorstehen. Beim Ausführungsbeispiel gemäß 13a wird ein Presswerkzeug 80 zum Eindrücken der Windungssprünge 76, 78 ins Substrat 6 verwendet. Letzteres wird dabei mit der Booster-Antenne 8 und den daran ausgebildeten Windungssprüngen 76, 78 nach oben (Ansicht nach 13a) weisend auf eine beheizte Auflage 82 aufgelegt. Das Presswerkzeug 80 hat eine ebenfalls beheizte Pressenplatte 84, die an einem in Richtung zur Auflage 82 ausfahrbaren Pressenkopf 86 gehalten ist. Durch das Absenken der beheizten Pressenplatte 84 auf die ebenfalls beheizte Auflage 82 und Aufbringen eines geeigneten Pressdrucks werden dann die beiden Windungssprünge 76, 78 in das Substrat 6 hineingedrückt, so dass die Endabschnitte des Antennendrahtes nicht mehr vorstehen. 13a shows a way of sinking these jumps 76, 78 into the substrate 6, so that they no longer protrude from the substrate surface. In the embodiment according to 13a a pressing tool 80 is used to press the winding jumps 76 , 78 into the substrate 6 . The latter is raised upwards with the booster antenna 8 and the winding jumps 76, 78 formed thereon (view according to 13a) placed pointing to a heated pad 82. The pressing tool 80 has a likewise heated press plate 84 which is held on a press head 86 which can be extended in the direction of the support 82 . By lowering the heated press plate 84 onto the likewise heated support 82 and applying a suitable pressure, the two winding jumps 76, 78 are then pressed into the substrate 6 so that the end sections of the antenna wire no longer protrude.

13b zeigt eine vergrößerte Darstellung des Presswerkzeugs 80 gemäß 13a. Man erkennt in dieser Darstellung deutlich die zur Pressenplatte 84 hinweisende Booster-Antenne 8 und die beiden Windungssprünge 76, 78, die dann bei weiterem Absenken der Pressenplatte 84 in das Substrat 6 eingedrückt werden, wobei dieses Substrat 6 auf der Auflage 82 aufliegt. 13b shows an enlarged representation of the pressing tool 80 according to FIG 13a . The booster antenna 8 pointing to the press plate 84 and the two winding jumps 76, 78, which are then pressed into the substrate 6 when the press plate 84 is lowered further, can be clearly seen in this representation, with this substrate 6 resting on the support 82.

14 zeigt eine Variante, bei der das Substrat 6 mit der Booster-Antenne zur Auflage 82 hinweist. Die Booster-Antenne 8 liegt dann auf dieser beheizten Auflage 82 auf und das Chipmodul 20 weist zur Pressenplatte 84 hin. Die beiden Windungssprünge 76, 78 liegen in dieser Relativposition ebenfalls auf der Auflage 82 auf, so dass bei Absenken der Pressenplatte 34 durch die Druck- und Temperatureinwirkung die Windungssprünge 76, 78 ebenfalls in das Substratmaterial eingedrückt werden. 14 shows a variant in which the substrate 6 with the booster antenna points to the support 82 . The booster antenna 8 then rests on this heated support 82 and the chip module 20 points towards the press plate 84 . The two winding jumps 76, 78 also rest on the support 82 in this relative position, so that when the press plate 34 is lowered by the pressure and temperature effects, the winding jumps 76, 78 are also pressed into the substrate material.

15 zeigt schließlich eine in der Serienproduktion verwendbare Presseinrichtung 88 zum Verpressen der Windungssprünge 76, 78. Diese Presseinrichtung 88 hat eine Vielzahl von Presswerkzeugen 80a bis 80i, die an einem Portal 90 gehalten sind und deren Pressplatten 84 (lediglich die Pressplatte 84i ist mit einem Bezugszeichen versehen) in Richtung auf einen Substratbogen absenkbar sind, auf dem eine Vielzahl von Booster-Antennen 8 verlegt sind. Die Windungssprünge 76, 78 dieser Booster-Antennen 8 werden dann durch Absenken der Presswerkzeuge 80a bis 80i simultan in das Substrat eingepresst. Die Verarbeitung des Substrats/der Transponderlayer vor oder nach dieser Presseinrichtung erfolgt dann in der vorbeschriebenen Weise, wobei - wie erläutert - auf das Aufbringen eines Deckbogens verzichtet werden kann. Selbstverständlich kann anstelle des Presswerkzeugs auch ein anderes geeignetes Werkzeug beispielsweise ein Ultraschallwerkzeug oder dergleichen verwendet werden, um die Windungssprünge 76, 78 in den Substratbogen einzubetten. 15 Finally, FIG ) can be lowered in the direction of a substrate sheet on which a plurality of booster antennas 8 are laid. The winding jumps 76, 78 of these booster antennas 8 are then simultaneously pressed into the substrate by lowering the pressing tools 80a to 80i. The processing of the substrate/the transponder layer before or after this pressing device then takes place in the manner described above, it being possible, as explained, to dispense with the application of a cover sheet. Of course, instead of the pressing tool, another suitable tool, for example an ultrasonic tool or the like, can also be used in order to embed the winding jumps 76, 78 in the substrate sheet.

Offenbart sind ein Verfahren und eine Fertigungsanlage zum Herstellen eines Transponder-Foliensubstrats, wobei ein Chipmodul mit Loop-Antenne oder ein „nackter“ Chip mit integrierter Loop-Antenne in ein Booster-Antennen-Substrat eingesetzt wird. Das Transponder-Foliensubstrat besteht vorzugsweise nur aus einem Layer mit einer geformten Kavität für die Aufnahme des Chipmodules oder des „nackten“ Chips.A method and a production system for producing a transponder film substrate are disclosed, with a chip module having a loop antenna or a "naked" chip having an integrated loop antenna being inserted into a booster antenna substrate. The transponder foil substrate preferably consists of only one layer with a shaped cavity for accommodating the chip module or the "bare" chip.

BezugszeichenlisteReference List

11
Fertigungsanlagemanufacturing plant
22
Leadframetape mit ChipmodulenLeadframe tape with chip modules
44
Leadframe-ZuführungLeadframe Feeder
66
Substratsubstrate
88th
Booster-Antennebooster antenna
1010
Leadframe-VorbereitungsstationLeadframe Prep Station
1212
Leadframe-SpeicherLeadframe Storage
1414
Kleberschicht (HAF)Adhesive layer (HAF)
1616
Heizplattehotplate
1818
Anpressrollenpinch rollers
2020
Chipmodulchip module
2121
„nackter“ Chip mit integrierter Loop-Antenne"bare" chip with integrated loop antenna
2222
Speicherrollestorage roll
2424
Abdeckbandmasking tape
2626
Rollerole
2828
Umformeinrichtungforming device
3030
Formwerkzeugmolding tool
3232
Ultraschallwerkzeugultrasonic tool
3434
Sonotrodesonotrode
3636
Aktivflächeactive surface
3838
Profilprofile
4040
Vereinzelungsstationseparation station
4242
Pick-and-Place-EinheitPick and place unit
4444
Visionsystemvision system
4848
Aktivierungseinrichtungactivation device
5050
Prüfstationtest station
5252
Heizstempelheating stamp
5454
Kühlstempelcooling stamp
5656
Deckbogencover sheet
5858
Fixierstationfuser
6060
Markierungseinrichtungmarking device
6262
Kleber-DosiereinrichtungGlue dosing device
6464
Kavitätcavity
6666
KleberGlue
6868
Loop-Antenneloop antenna
7070
Zuschnitt/Klebercutting/gluing
7272
Windungsfensterwhorl window
7474
Chipchip
7676
Windungssprungcoil jump
7878
Windungssprungcoil jump
8080
Presswerkzeugpressing tool
8282
Auflageedition
8484
Pressenplattepress plate
8686
Pressenkopfpress head
8888
Presseinrichtungpressing device
9090
Portalportal

Claims (14)

Verfahren zum Herstellen eines nach dem induktiven Kopplungsprinzip arbeitenden Transponder-Foliensubstrats, das zumindest ein Chipmodul (20) mit Loop-Antenne (68) trägt, das im Bereich eines Windungsfensters (72) einer Booster-Antenne (8) eingesetzt ist und mit den Schritten: - Bereitstellen eines Leadframetapes (2) mit dem Chipmodul (20), - Bereitstellen eines Substrats (6) mit zumindest einer Booster-Antenne (8) und partielles Umformen des Substrats (6) derart, dass eine Kavität (64) zur Aufnahme des Chipmoduls (20) ausgebildet wird, wobei das partielle Umformen vorzugsweise mittels eines Ultraschallwerkzeugs (32) und eines Formwerkzeugs (30) erfolgt, wobei das Formwerkzeug (30) chipseitig und das Ultraschallwerkzeug (32) von der vom Chipmodul (20) abgewandten Seite her das Substrat (6) beaufschlagen, - Trennen des Chipmoduls (20) vom Leadframetape (2), - Einlegen des Chipmoduls (20) in die Kavität (64) und - Verkleben des Chipmoduls (20) in der Kavität (64).Method for producing a transponder film substrate working according to the inductive coupling principle, which carries at least one chip module (20) with a loop antenna (68), which is used in the area of a turn window (72) of a booster antenna (8) and with the steps : - Providing a leadframe tape (2) with the chip module (20), - Providing a substrate (6) with at least one booster antenna (8) and partially reshaping the substrate (6) in such a way that a cavity (64) for receiving the chip module (20) is formed, the partial reshaping preferably using an ultrasonic tool (32) and a molding tool (30), the molding tool (30) acting on the chip side and the ultrasonic tool (32) acting on the substrate (6) on the side facing away from the chip module (20), - Separating the chip module (20) from the leadframe tape (2), - Insertion of the chip module (20) in the cavity (64) and - Gluing the chip module (20) in the cavity (64). Verfahren nach Patentanspruch 1, wobei das Leadframetape (2) chipseitig mit einer, vorzugsweise vollflächig aufgebrachten, Kleberschicht (14) oder einem Kleberfilm versehen wird.procedure after Claim 1 , wherein the leadframe tape (2) on the chip side is provided with an adhesive layer (14) or an adhesive film, preferably applied over the entire surface. Verfahren nach Patentanspruch 2, wobei die Kleberschicht (14) ein Abdeckband (24) hat, das vor einem Vereinzeln/Trennen des Chipmoduls (20) abgezogen wird.procedure after patent claim 2 , wherein the adhesive layer (14) has a cover tape (24) which is pulled off prior to singulation/separation of the chip module (20). Verfahren nach einem der vorhergehenden Patentansprüche, wobei ein Kleber (66) oder die Kleberschicht (14) durch Wärme- und/oder Druckeinwirkung voraktiviert und/oder aktiviert und/oder ausgehärtet werden.Method according to one of the preceding claims, in which an adhesive (66) or the adhesive layer (14) is preactivated and/or activated and/or cured by the action of heat and/or pressure. Verfahren zum Herstellen eines nach dem induktiven Kopplungsprinzip arbeitenden Transponder-Foliensubstrats, das zumindest einen „nackten“ Chip (21) mit im Chipaufbau integrierter Loop-Antenne trägt, der vorzugsweise im Waferformat bereitgestellt ist und im Bereich eines Windungsfensters (72) einer Booster-Antenne (8) eingesetzt wird, mit den Schritten: - Bereitstellen des Chips (21) mit integrierter Loop-Antenne, vorzugsweise von einem Wafer, - Bereitstellen eines Substrats (6) mit zumindest einer Booster-Antenne (8) und partielles Umformen des Substrats (6) derart, dass sich eine Kavität (64) zur Aufnahme des Chips (21) bildet, wobei das partielle Umformen mittels eines Ultraschallwerkzeugs (32) und eines Formwerkzeugs (30) erfolgt, wobei das Formwerkzeug (30) chipseitig und das Ultraschallwerkzeug (32) von der vom Chipmodul (20) abgewandten Seite her das Substrat (6) beaufschlagen, - Einlegen des Chips (21) in die Kavität (64), vorzugsweise nach Voraktivierung eines Klebers mittels Ultraschall oder Wärme, und - Verkleben des Chips (21) in der Kavität (64).Method for producing a transponder film substrate working according to the inductive coupling principle, which carries at least one "bare" chip (21) with a loop antenna integrated in the chip structure, which is preferably provided in wafer format and in the area of a winding window (72) of a booster antenna (8) is used, with the steps: - providing the chip (21) with an integrated loop antenna, preferably from a wafer, - providing a substrate (6) with at least one booster antenna (8) and partial reshaping of the substrate ( 6) in such a way that a cavity (64) is formed for receiving the chip (21), the partial forming being carried out by means of an ultrasonic tool (32) and a forming tool (30), the forming tool (30) being on the chip side and the ultrasonic tool (32 ) from the chip module (20) act on the substrate (6) on the opposite side, - inserting the chip (21) into the cavity (64), preferably after preactivation of an adhesive by means of ultrasound or heat, and - gluing the chip (21) in the cavity (64). Verfahren nach Patentanspruch 5, wobei ein Kleber (66) in die Kavität (64) eingebracht wird.procedure after Claim 5 , wherein an adhesive (66) is introduced into the cavity (64). Verfahren nach einem der vorhergehenden Patentansprüche, wobei nach dem Verkleben ein Deckbogen (56) auf das Foliensubstrat (6) aufgebracht und, vorzugsweise mittels Temperaturbeaufschlagung oder Ultraschallbeaufschlagung, fixiert wird.Method according to one of the preceding patent claims, in which, after the gluing, a cover sheet (56) is applied to the film substrate (6) and fixed, preferably by means of temperature application or ultrasound application. Verfahren nach einem der Patentansprüche 1 bis 6, wobei Windungssprünge der Booster-Antenne (8) in das Substrat (6) versenkt werden.Procedure according to one of patent claims 1 until 6 , wherein turns jumps of the booster antenna (8) are sunk into the substrate (6). Verfahren nach einem der vorhergehenden Patentansprüche, wobei vor dem Einlegen des Chips (21) mit integrierter Loop-Antenne oder des Chipmoduls (20) in die Kavität (64) eine Qualitätskontrolle der Booster-Antenne (8) durchgeführt wird.Method according to one of the preceding claims, in which the quality of the booster antenna (8) is checked before the chip (21) with integrated loop antenna or the chip module (20) is inserted into the cavity (64). Verfahren nach einem der vorhergehenden Patentansprüche, wobei der Chip (21) mit integrierter Loop-Antenne oder das Chipmodul (20) auch mit geätzten, gedruckten, gestanzten oder auf sonstige Weise hergestellten Antennentypen betreibbar ist.Method according to one of the preceding claims, in which the chip (21) with an integrated loop antenna or the chip module (20) can also be operated with antenna types that are etched, printed, punched or produced in some other way. Verfahren nach einem der vorhergehenden Patentansprüche, wobei das Windungsfenster (72) der Booster-Antenne (8) auf einer Seite des Substrats (6) und das Chipmodul (20) mit der Loop-Antenne (68) bzw. der Chip (21) mit integrierter Loop-Antenne gegenüberliegend auf der anderen Seite des Substrats (6) angeordnet ist.Method according to one of the preceding claims, wherein the winding window (72) of the booster antenna (8) on one side of the substrate (6) and the chip module (20) with the loop antenna (68) or the chip (21) with integrated loop antenna is arranged opposite on the other side of the substrate (6). Fertigungsanlage, insbesondere zur Durchführung des Verfahrens nach einem der vorhergehenden Patentansprüche, mit einer Substrat-Zuführung, einer Chip-Zuführung, insbesondere einer Leadframe-Zuführung (4) zur Zuführung eines Chipmoduls (20) oder eines Chips (21) mit integrierter Loop-Antenne, optional einer Vereinzelungsstation (40) zum Trennen eines Chipmoduls (20) vom Leadframe (2), einer Umformeinrichtung (28) zum Ausbilden einer Kavität (64) in dem Substrat (6), wobei die Umformeinrichtung (28) ein Formwerkzeug (30) und ein Ultraschallwerkzeug (32) hat, einer Pick-and-Place-Einheit (42) zum Platzieren des Chipmoduls (20) oder des Chips (21) in der Kavität (64) und einer Aktivierungseinrichtung (48) zum Aktivieren/Aushärten eines Klebers (66), über den das Chipmodul (20) bzw. der Chip (21) in der Kavität (64) lagefixiert werden soll.Production plant, in particular for carrying out the method according to one of the preceding claims, with a substrate feed, a chip feed, in particular a leadframe feed (4) for feeding a chip module (20) or a chip (21) with an integrated loop antenna , optionally a separating station (40) for separating a chip module (20) from the leadframe (2), a shaping device (28) for forming a cavity (64) in the substrate (6), the shaping device (28) having a shaping tool (30) and an ultrasonic tool (32), a pick-and-place unit (42) for placing the chip module (20) or the chip (21) in the cavity (64) and an activation device (48) for activating/curing an adhesive (66) via which the chip module (20) or the chip (21) is to be fixed in position in the cavity (64). Fertigungsanlage nach Patentanspruch 12 wobei das Formwerkzeug (30) an die Kontur des Chipmoduls (20) bzw. Chips (21) angepasst ist.manufacturing plant Claim 12 wherein the mold (30) is adapted to the contour of the chip module (20) or chip (21). Fertigungsanlage nach Patentanspruch 12 oder 13 , mit einer Prüfstation (50) zur Funktionsprüfung des Chipmoduls (20) oder Chips (21), wobei die Prüfstation (50) vorzugsweise ein Lesegerät ist oder ausgelegt ist, ein Betriebssystem oder ein Java-Applet auf einem Speicher, vorzugsweise einem Flash-Speicher des Chipmoduls kontaktlos zu laden.manufacturing plant Claim 12 or 13 , With a test station (50) for functional testing of the chip module (20) or chips (21), wherein the test station (50) is preferably a reader or is designed, an operating system or a Java applet on a memory, preferably a flash memory of the chip module for contactless charging.
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