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Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung, deren Oberfläche bei Bedarf flexibel verformt werden kann.
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Dielektrische Elastomere können z.B. dazu verwendet werden, Dehnungen innerhalb einer Ebene zu generieren. Eine Elastomerschicht kann zwischen zwei nachgiebigen Elektroden angeordnet werden. Wenn zwischen den beiden nachgiebigen Elektroden eine Spannung angelegt wird, so wirken zwischen den Elektroden Coulomb-Kräfte. Als Folge daraus wird die Elastomerschicht zusammengedrückt und dehnt sich innerhalb der Schichtebene der Elastomerschicht aus.
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Das vorliegende Dokument befasst sich mit der technischen Aufgabe, eine Vorrichtung bereitzustellen, mit der unter Verwendung von dielektrischen Elastomeren Oberflächenverformungen senkrecht zu der Ebene einer Elastomerschicht bewirkt werden können.
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Die Aufgabe wird durch den unabhängigen Anspruch gelöst. Vorteilhafte Ausführungsformen werden u.a. in den abhängigen Ansprüchen beschrieben. Es wird darauf hingewiesen, dass zusätzliche Merkmale eines von einem unabhängigen Patentanspruch abhängigen Patentanspruchs ohne die Merkmale des unabhängigen Patentanspruchs oder nur in Kombination mit einer Teilmenge der Merkmale des unabhängigen Patentanspruchs eine eigene und von der Kombination sämtlicher Merkmale des unabhängigen Patentanspruchs unabhängige Erfindung bilden können, die zum Gegenstand eines unabhängigen Anspruchs, einer Teilungsanmeldung oder einer Nachanmeldung gemacht werden kann. Dies gilt in gleicher Weise für in der Beschreibung beschriebene technische Lehren, die eine von den Merkmalen der unabhängigen Patentansprüche unabhängige Erfindung bilden können.
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Gemäß einem Aspekt wird eine Vorrichtung mit einer verformbaren Oberfläche beschrieben. Die Vorrichtung kann z.B. in einem Bedienelement für einen menschlichen Nutzer dazu verwendet werden, um eine optisch und/oder haptisch wahrnehmbare Verformung der Oberfläche des Bedienelements zu generieren. Insbesondere kann durch die Verformung der Oberfläche ein haptisches Feedback für einen Nutzer bewirkt werden. Zu diesem Zweck kann die Verformung der Oberfläche mit der Zeit verändert werden (z.B. periodisch aktiviert und deaktiviert werden).
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Das Bedienelement kann Teil eines Fahrzeugs sein. Beispielsweise kann durch die in diesem Dokument beschriebene Vorrichtung die Oberfläche einer Lenkvorrichtung, insbesondere eines Lenkrades, des Fahrzeugs mit der Zeit (z.B. periodisch) verändert werden. Alternativ oder ergänzend kann durch die in diesem Dokument beschriebene Vorrichtung in flexibler Weise und/oder bei Bedarf ein optisch und/oder haptisch wahrnehmbares Bedienelement (z.B. ein Knopf) innerhalb einer planen Nutzerschnittstelle (z.B. auf einem Bildschirm) erzeugt werden.
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Die in diesem Dokument beschriebene Vorrichtung kann insbesondere ausgebildet sein, Verformungen der Oberfläche zu bewirken, die senkrecht zu der von der Oberfläche gebildeten Ebene erfolgen. Mit anderen Worten, es können „aus der Ebene“ bzw. „out-of-plane“ Verformungen erzeugt werden.
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Die Vorrichtung umfasst ein Träger-Substrat. Das Träger-Substrat kann z.B. eine PE (Polyethylen) Schicht umfassen. Das Träger-Substrat kann ausgebildet sein, um die in diesem Dokument beschriebene Vorrichtung in Systeme zu integrieren, die eine verformbare Oberfläche aufweisen sollen (beispielsweise in einen Bildschirm mit verformbarer Oberfläche oder auf ein Lenkrad mit verformbarer Oberfläche). Beispielsweise kann das Träger-Substrat ausgebildet sein, die in diesem Dokument beschriebene Vorrichtung auf einem Bildschirm oder auf einem Lenkrad zu befestigen (insbesondere zu kleben).
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Die Vorrichtung umfasst (zumindest) eine Elastomerschicht. Die Elastomerschicht kann ein Polyacrylat umfassen, beispielsweise ein Very High Bond (VHB) Klebeband. Die Elastomerschicht kann eine relativ hohe Adhäsionskraft zu einer benachbarten Schicht aufweisen. Insbesondere kann die Elastomerschicht derart ausgebildet sein, dass zwei sich berührende Elastomerschichten eine relativ hohe Adhäsionskraft zueinander aufweisen (so dass substantiell eine gemeinsame Elastomerschicht gebildet wird). Die Elastomerschicht kann z.B. klebend ausgebildet sein, so dass die Elastomerschicht mit einer anderen Schicht (z.B. mit einer passiven Schicht und/oder mit dem elektrische leitfähigen Material einer Elektrodenschicht) verklebt werden kann.
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Die Elastomerschicht weist bevorzugt einen entlang der Schichtebene der Elastomerschicht vorgedehnten Zustand auf (z.B. eine Vordehnung um 200%, 300% oder mehr). Folglich können auf die Elastomerschicht Kontraktionskräfte entlang der Schichtebene wirken, die bestrebt sind, die Ausdehnung der Elastomerschicht innerhalb der Schichtebene zu reduzieren. Durch eine derartige Vordehnung kann eine Verformung der Oberfläche der Vorrichtung (senkrecht zu der Ebene der Oberfläche, d.h. „out-of-plane“) erhöht werden. Die Elastomerschicht kann eine Dicke von 1mm oder weniger aufweisen.
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Außerdem umfasst die Vorrichtung eine passive Schicht, durch die die Oberfläche der Vorrichtung gebildet wird. Im Gegensatz zu der Elastomerschicht wird die passive Schicht typischerweise nicht durch Einwirken eines elektrischen Feldes verformt. Die Verformung der passiven Schicht erfolgt typischerweise vielmehr durch mechanische Kräfte, die von ein oder mehreren Elastomerschichten auf die passive Schicht bewirkt werden. Die ein oder mehreren Elastomerschichten können zumindest bereichsweise mit der passiven Schicht verbunden, insbesondere verklebt, sein. Die ein oder mehreren Elastomerschichten können so Kräfte, insbesondere Scherkräfte, auf die passive Schicht bewirken, um die passive Schicht und damit die Oberfläche der Vorrichtung zu verformen. Die passive Schicht kann somit zu einer Verstärkung von Verformungen senkrecht zu der Ebene der Oberfläche führen.
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Die passive Schicht kann z.B. ein Polymer, insbesondere Polydimethylsiloxan (PDMS), umfassen. Dabei kann die passive Schicht ein relativ hohes Elastizitätsmodul aufweisen, insbesondere ein Elastizitätsmodul von 1MPa oder mehr. Die Verwendung einer passiven Schicht mit einem relativ hohen Elastizitätsmodul führt zu relativ hohen Verformungskräften an der Oberfläche der Vorrichtung. Durch die Verwendung einer passiven Schicht mit einem relativ hohen Elastizitätsmodul kann somit die Intensität eines haptischen Feedbacks erhöht werden.
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Wie bereits oben dargelegt, ist die passive Schicht bevorzugt fest mit ein oder mehreren Teilbereichen einer Elastomerschicht der Vorrichtung verbunden, insbesondere verklebt. Mit anderen Worten, die passive Schicht kann eine relativ hohe Adhäsion zu ein oder mehreren Teilbereichen einer Elastomerschicht der Vorrichtung aufweisen. So können in effizienter und zuverlässiger Weise Kräfte von einer Elastomerschicht auf die passive Schicht übertragen werden, um die passive Schicht und damit die Oberfläche der Vorrichtung zu verformen.
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Die Vorrichtung umfasst ferner eine zwischen der Elastomerschicht und dem Träger-Substrat angeordnete, nachgiebige, vollflächige Elektrodenschicht, die die Elastomerschicht vollflächig bedeckt. Die vollflächige Elektrodenschicht kann die Elastomerschicht (insbesondere die am nächsten zum Träger-Substrat angeordnete Elastomerschicht) vollständig bedecken. Insbesondere kann die vollflächige Elektrodenschicht keine Strukturierung aus elektrisch leitfähigem Material aufweisen. Die vollflächige Elektrodenschicht kann somit eine Trennschicht zwischen der Elastomerschicht und dem Träger-Substrat bilden. Alternativ oder ergänzend kann die vollflächige Elektrodenschicht derart ausgebildet sein, dass die Elastomerschicht das Träger-Substrat nicht berührt.
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Außerdem kann die vollflächige Elektrodenschicht derart ausgebildet sein, dass sich die Elastomerschicht substantiell frei relativ zu dem Träger-Substrat bewegen kann. Die vollflächige Elektrodenschicht kann zu diesem Zweck eine relativ hohe Adhäsion zu der Elastomerschicht aufweisen. Andererseits kann die vollflächige Elektrodenschicht eine relativ niedrige Adhäsion zu der Träger-Schicht aufweisen. Die Verwendung einer vollflächigen Elektrodenschicht zwischen der Elastomerschicht und dem Träger-Substrat ermöglicht somit eine substantielle Verformung der Oberfläche der Vorrichtung, da die Verformung der ein oder mehreren Elastomerschichten nicht durch eine hohe Adhäsion der ein oder mehreren Elastomerschichten zu dem Träger-Substrat behindert wird.
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Außerdem umfasst die Vorrichtung eine zwischen der Elastomerschicht und der passiven Schicht angeordnete, nachgiebige, strukturierte Elektrodenschicht, die die Elastomerschicht nur teilweise bedeckt. Die strukturierte Elektrodenschicht kann dabei eine Struktur aus elektrisch leitfähigem Material aufweisen. Insbesondere kann die strukturierte Elektrodenschicht die Elastomerschicht nur teilweise mit dem elektrisch leitfähigen Material (z.B. Carbon-Pulver) bedecken (im Gegensatz zu der vollflächigen Elektrodenschicht, die die Elastomerschicht vollflächig mit elektrisch leitfähigem Material bedeckt). Die Elastomerschicht kann somit auf der Seite der strukturierten Elektrodenschicht teilweise unbedeckt bleiben (und kann somit direkt eine weitere Elastomerschicht oder die passive Schicht berühren). Die freien Bereiche der Elastomerschicht, die nicht mit elektrisch leitfähigem Material bedeckt sind, können als inaktive Bereiche bezeichnet werden. Die unterschiedlichen Elektrodensegmente einer strukturierten Elektrodenschicht werden typischerweise bei Aktivierung auf ein einheitlichen elektrisches Potential gelegt.
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Die Struktur des elektrisch leitfähigen Materials kann dabei von einer Ziel-Verformung der Oberfläche der Vorrichtung abhängen. Mit anderen Worten, durch die Elektroden-Strukturierung der strukturierten Elektrodenschicht kann die Form der Verformung der Oberfläche der Vorrichtung beeinflusst bzw. eingestellt werden.
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Des Weiteren umfasst die Vorrichtung eine Steuereinheit, die eingerichtet ist, eine Potentialdifferenz zwischen der vollflächigen Elektrodenschicht und der strukturierten Elektrodenschicht zu bewirken, um die Oberfläche der Vorrichtung zu verformen. Durch das Anlegen einer Potentialdifferenz (z.B. 1kV, 5kV oder mehr) kann ein elektrisches Feld zwischen der strukturierten Elektrodenschicht und der vollflächigen Elektrodenschicht bewirkt werden. Dies führt zur einer Kontraktion der Elastomerschicht (senkrecht zu der Schichtebene) unterhalb der Struktur aus elektrisch leitfähigem Material der strukturierten Elektrodenschicht. Andererseits erfolgt in den anderen Bereichen der Elastomerschicht keine Kontraktion bzw. ggf. eine Verdickung (senkrecht zu der Schichtebene). Diese Verformung der Elastomerschicht wird auf die passive Schicht übertragen und ggf. von der passiven Schicht verstärkt. Es kann somit in effizienter und kompakter Weise eine substantielle Verformung der Oberfläche der Vorrichtung bewirkt werden.
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Die Steuereinheit kann eingerichtet sein, zu bestimmen, dass die Oberfläche der Vorrichtung verformt werden soll (z.B. um ein haptisches Feedback und/oder ein haptisch erfassbares Bedienelement zu erzeugen). In Reaktion darauf kann dann eine Potentialdifferenz zwischen der strukturierten Elektrodenschicht und der vollflächigen Elektrodenschicht bewirkt werden. Andererseits kann die Steuereinheit bestimmen, dass die Oberfläche der Vorrichtung nicht verformt werden soll (z.B. kann für ein haptisches Feedback periodisch eine Verformung erzeugt und wieder beseitigt werden). In Reaktion darauf kann eine Potentialdifferenz zwischen der strukturierten Elektrodenschicht und der vollflächigen Elektrodenschicht unterbunden werden, um die Vorrichtung in einen Ruhezustand ohne Oberflächenverformung zu überführen.
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Die vollflächige Elektrodenschicht und/oder die strukturiere Elektrodenschicht können derart nachgiebig ausgebildet sein, dass sich die vollflächige Elektrodenschicht und/oder die strukturiere Elektrodenschicht mit der Elastomerschicht entlang der Schichtebene der Elastomerschicht ausdehnen und/oder zusammenziehen können. Dabei sind die vollflächige Elektrodenschicht und/oder die strukturiere Elektrodenschicht typischerweise derart ausgelegt, dass auch bei Ausdehnung und/oder Kontraktion die Leitfähigkeit der Elektrodenschicht erhalten bleibt. Beispielsweise kann als elektrisch leitfähiges Material für die vollflächige Elektrodenschicht und/oder für die strukturiere Elektrodenschicht Carbon-Pulver verwendet werden.
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Die Elastomerschicht und die strukturierte Elektrodenschicht können einen Schichtverbund bilden. Die Vorrichtung kann zwischen der vollflächigen Elektrodenschicht und der passiven Schicht eine Mehrzahl von Schichtverbunden aufweisen, die übereinander angeordnet sind. Dabei können zwei direkt benachbarte Schichtverbunde derart miteinander verbunden sein, dass sich die Elastomerschichten der Schichtverbunde in zumindest einem Teilbereich, in dem kein elektrisch leitfähiges Material einer strukturierten Elektrodenschicht angeordnet ist, berühren. In diesem zumindest einen Teilbereich können die Elastomerschichten eine relativ hohe Adhäsion zueinander aufweisen, insbesondere derart, dass die Elastomerschichten der direkt benachbarten Schichtverbunde substantiell eine gemeinsame Elastomerschicht bilden. Durch die Verwendung von mehreren Schichtverbunden kann das Ausmaß der Oberflächenverformung erhöht werden. Des Weiteren können die auf die passive Schicht wirkenden Kräfte und damit die Intensität eines haptischen Feedbacks vergrößert werden.
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Die strukturierten Elektrodenschichten von unterschiedlichen Schichtverbunden können jeweils eine gleiche Struktur aus elektrisch leitfähigem Material aufweisen. Durch das Übereinanderschichten von Schichtverbunden mit gleicher Elektrodenstruktur können besonders große und kraftintensive Oberflächenverformungen bewirkt werden.
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Gemäß einem weiteren Aspekt wird ein Bedienelement für eine Nutzerschnittstelle beschrieben, wobei das Bedienelement die in diesem Dokument beschriebene Vorrichtung umfasst.
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Gemäß einem weiteren Aspekt wird ein Straßenkraftfahrzeug (insbesondere ein Personenkraftwagen oder ein Lastkraftwagen oder ein Bus) beschrieben, das die in diesem Dokument beschriebene Vorrichtung und/oder das in diesem Dokument beschriebene Bedienelement umfasst.
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Es ist zu beachten, dass die in diesem Dokument beschriebenen Verfahren, Vorrichtungen und Systeme sowohl alleine, als auch in Kombination mit anderen in diesem Dokument beschriebenen Verfahren, Vorrichtungen und Systemen verwendet werden können. Des Weiteren können jegliche Aspekte der in diesem Dokument beschriebenen Verfahren, Vorrichtungen und Systemen in vielfältiger Weise miteinander kombiniert werden. Insbesondere können die Merkmale der Ansprüche in vielfältiger Weise miteinander kombiniert werden.
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Im Weiteren wird die Erfindung anhand von Ausführungsbeispielen näher beschrieben. Dabei zeigen
- 1 eine Vorrichtung mit verformbarer Oberfläche in einem Ruhezustand;
- 2 beispielhafte Strukturen der Elektroden; und
- 3 die Vorrichtung aus 1 in einem aktivierten Zustand.
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Wie eingangs dargelegt, befasst sich das vorliegende Dokument mit der Erzeugung von Verformungen senkrecht zu der Elektrodenebene eines dielektrischen Elastomers.
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In diesem Zusammenhang zeigt 1 den Schichtenaufbau einer beispielhaften Vorrichtung 100 mit verformbarer Oberfläche. Die Vorrichtung 100 umfasst ein Substrat 101, das dazu verwendet wird, die über dem Substrat 101 angeordneten Schichten zu tragen. Auf dem Substrat 101 ist eine nachgiebige, vollflächige Elektrodenschicht 102 angeordnet. Die Elektrodenschicht 102 kann Carbon-Pulver enthalten oder aus Carbon-Pulver bestehen. Die Elektrodenschicht 102 deckt eine darüberliegende Elastomerschicht 103 vollständig ab. So kann erreicht werden, dass sich die über der vollflächigen Elektrodenschicht 102 angeordnete Struktur substantiell frei auf dem Substrat bewegen kann. Insbesondere werden so Bewegungen innerhalb der Schichtebenen der ein oder mehreren Elastomerschichten 103 ermöglicht. Die Elastomerschicht 103 kann auch als dielektrische Schicht bezeichnet werden. Beispielsweise kann die Elastomerschicht 103 ein VHB (Very High Bond) Acryl-Band 4910 der Firma 3M umfassen. Das in der Elastomerschicht 103 verwendete Material kann innerhalb der Schichtebene eine Dehnung aufweisen (typischerweise in beide Richtungen innerhalb der Schichtebene). So kann das Ausmaß der Verformung der Oberfläche der Vorrichtung 100 vergrößert werden.
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Über der Elastomerschicht 103 ist eine strukturierte Elektrodenschicht 104 angeordnet. Die strukturierte Elektrodenschicht 104 weist eine Struktur auf, die von der zu erzeugenden Oberflächenverformung abhängt. In dem dargestellten Beispiel weist die Elektrodenschicht 104 zwei Elektroden-Balken auf, um eine wellenförmige Verformung der Oberfläche zu bewirken (siehe 2). Die strukturierte Elektrodenschicht 104 kann aber auch andere Strukturen aufweisen, wie z.B. eine Kreisstruktur, die Struktur eines Symbols bzw. eines Buchstabens, etc. Durch die Struktur der strukturierten Elektrodenschicht 104, d.h. durch die Struktur des elektrisch leitfähigen Materials der strukturierten Elektrodenschicht 104, kann somit die Art der Verformung der Oberfläche der Vorrichtung 100 definiert werden. Die strukturierte Elektrodenschicht 104 bedeckt (anders als die vollflächige Elektrodenschicht 103) nur einen Teilbereich der darunter und/oder darüber liegenden Elastomerschicht 103. Auch die strukturierte Elektrodenschicht 104 kann Carbon-Pulver enthalten bzw. aus Carbon-Pulver bestehen.
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Eine Elastomerschicht 103 und eine darüber angeordnete strukturierte Elektrodenschicht 104 kann als dielektrischer Schichtverbund bezeichnet werden. Die Vorrichtung 100 kann mehrere übereinander liegende dielektrische Schichtverbunde aufweisen. In dem in 1 dargestellten Beispiel umfasst die Vorrichtung 100 drei übereinander liegende dielektrische Schichtverbunde. Dabei können die Schichtverbunde bei Unterdruck bzw. Vakuum aufeinander angeordnet werden, um Lufteinschlüsse zwischen unterschiedlichen Schichtverbunden zu vermeiden. In Bereichen, in denen kein Elektrodenmaterial (z.B. Carbon-Pulver) angeordnet ist, sind somit bevorzugt die Elastomerschichten 103 direkt miteinander verbunden. Durch die Verwendung von mehreren übereinander angeordneten Schichtverbunden können das Ausmaß der Oberflächenverformung und die an der Oberfläche bewirkte Verformungskraft vergrößert werden. Es können somit Oberflächenverformungen erzeugt werden, die von einem menschlichen Nutzer ertastet werden können.
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Als oberste Schicht weist die Vorrichtung 100 eine passive Schicht 105 auf. Die passive Schicht 105 weist typischerweise ebenfalls ein Elastomer auf. Dabei wird bevorzugt ein Elastomer mit einem relativ hohen Elastizitätsmodul (z.B. von mehr als 1MPa) verwendet. Die passive Schicht 105 kann ein Polydimethylsiloxan (PDMS) aufweisen, z.B. Sylgard 184 der Firma Dow Corning. Die passive Schicht 105 kann z.B. eine Dicke im Bereich von 1mm aufweisen.
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1 zeigt den Schichtaufbau der Vorrichtung 100 in einem Ruhezustand, d.h. wenn zwischen den Elektrodenschichten 102, 104 keine Potentialdifferenz anliegt. Durch eine Steuereinheit 110 der Vorrichtung 100 kann zur Erzeugung einer Oberflächenverformung eine Potentialdifferenz zwischen den Elektrodenschichten 102, 104 angelegt werden. Durch Erhöhung der Potentialdifferenz kann typischerweise das Ausmaß der Verformung erhöht werden. Die Steuereinheit 110 kann eingerichtet sein, insbesondere durch Veränderung der Potentialdifferenz eine dynamische und/oder modulierte Verformung der Oberfläche der Vorrichtung 100 zu generieren. Die unterschiedlichen Schichtverbunde der Vorrichtung 100 können dabei zeitlich aktiviert bzw. deaktiviert werden, um durch einen kombinierten Effekt auf die einzelnen Schichtverbunde ein besonders große Verformung der passiven Schicht 105 zu erzielen.
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2 zeigt eine Draufsicht auf die vollflächige Elektrodenschicht 102 und auf die strukturiere Elektrodenschicht 104. Die Vorrichtung 100 kann z.B. Abmessungen von 30mm x 35mm (innerhalb einer Schichtebene) aufweisen. Die Elektroden-Balken der strukturierten Elektrodenschicht 104 können z.B. Abmessungen von 6mm x 35mm (innerhalb einer Schichtebene) aufweisen, z.B. mit einem Abstand zwischen den Elektroden-Balken von 4mm.
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3 zeigt schematisch den Schichtenaufbau der Vorrichtung 100 in einem aktivierten Zustand, wenn zwischen den einzelnen Elektrodenschichten 102, 104 jeweils Potentialdifferenzen anliegen (z.B. 6kV). Als Folge daraus wirken zwischen benachbarten Elektrodenschichten 102, 104 Coulomb-Kräfte 301, die die Elektrodenschichten 102, 104 aufeinander zu ziehen. Als Folge daraus kommt es zu einer lokalen Komprimierung der Elastomerschichten 103 im Bereich der strukturierten Elektrodenschichten 104. Andererseits kommt es zu keiner Komprimierung und ggf. (insbesondere aufgrund der Vordehnung) zu einer Verdickung in Bereichen, in denen keine strukturierte Elektrodenschicht 104 angeordnet ist.
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Die (oberste) Elastomerschicht 103 ist in den Bereichen, in denen keine strukturierte Elektrodenschicht 104 angeordnet ist, fest (z.B. über ein Klebematerial) mit der passiven Schicht 105 verbunden. Die lokale Verformung der Elastomerschicht 103 bewirkt somit Kräfte, insbesondere Scherkräfte, auf die passive Schicht 105. Diese Kräfte bewirken wiederum Verformungen der passiven Schicht 105, die auch senkrecht zu der Schichtebene erfolgen. Es können somit Oberflächenverformungen bewirkt werden, die durch einen menschlichen Nutzer optisch und/oder haptisch erfasst werden können. Beispielsweise können lokale Verformungen (insbesondere Erhebungen) von 0,3mm oder mehr bewirkt werden.
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Wie in 3 dargestellt, können die unterschiedlichen Elektrodenschichten 102, 104 abwechseln mit unterschiedlichen Polen einer Potentialdifferenz-Quelle gekoppelt werden. Die elektrischen Felder haben dann in den unterschiedlichen Elastomerschichten 103 eine abwechselnd umgedrehte Ausrichtung (wie durch die Pfeile dargestellt). So können mit einer einzigen Potentialdifferenz-Quelle die unterschiedlichen Schichtverbunde einer Vorrichtung 100 aktiviert werden. Die einzelnen Elektrodenschichten 102, 104 können über Kupferband mit der Potentialdifferenz-Quelle gekoppelt werden.
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Durch die Erhöhung der Anzahl von Schichtverbunden kann das Ausmaß der lokalen Oberflächenverformung weiter erhöht werden. Durch die Verwendung einer passiven Schicht 105 mit einem relativ hohen Elastizitätsmodul können die bei der lokalen Oberflächenverformung wirkenden Kräfte erhöht werden. Des Weiteren ermöglicht die Verwendung einer vollflächigen Elektrodenschicht 102 eine freie Bewegung der Schichtverbunde relativ zu einem Träger-Substrat 101 der Vorrichtung 100. So können substantielle lokale Oberflächenverformungen bewirkt werden. Es können somit z.B. haptische Oberflächen (z.B. Bildschirme mit haptischem Feedback) bereitgestellt werden.
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Die vorliegende Erfindung ist nicht auf die gezeigten Ausführungsbeispiele beschränkt. Insbesondere ist zu beachten, dass die Beschreibung und die Figuren nur das Prinzip der vorgeschlagenen Verfahren, Vorrichtungen und Systeme veranschaulichen sollen.
