DE102017207460A1 - Scheinwerfervorrichtung mit Gasentladungsleuchte, Gasentladungsleuchte und entsprechendes Herstellungsverfahren - Google Patents

Scheinwerfervorrichtung mit Gasentladungsleuchte, Gasentladungsleuchte und entsprechendes Herstellungsverfahren Download PDF

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Abstract

Die Erfindung schafft eine Scheinwerfervorrichtung mit einer Gasentladungsleuchte, eine Gasentladungsleuchte und ein entsprechendes Herstellungsverfahren. Die Scheinwerfervorrichtung ist ausgestattet mit einer Gasentladungsleuchte (HL), welche ausgestaltet ist, einen Lichtstrahl (ST) zu emittieren, einer Mikrospiegeleinrichtung (MS); einer ersten Linseneinrichtung (L1, L2), welche ausgestaltet ist, den von der Gasentladungsleuchte (HL; HL') emittierten Lichtstrahl (ST) auf die Mikrospiegeleinrichtung (MS) zu richten, und einer zweiten Linseneinrichtung (L3), welche ausgestaltet ist, den von der Mikrospiegeleinrichtung (MS) reflektierten Lichtstrahl (ST') in einen Scheinwerfer-Lichtstrahl (B) zu formen. Die Mikrospiegeleinrichtung (MS) ist derart steuerbar, dass der Scheinwerfer-Lichtstrahl (B) ein vorgebbares Strahlprofil aufweist.

Description

  • Die Erfindung betrifft eine Scheinwerfervorrichtung mit einer Gasentladungsleuchte, eine Gasentladungsleuchte und ein entsprechendes Herstellungsverfahren.
  • Stand der Technik
  • Obwohl auf beliebige Scheinwerfervorrichtungen anwendbar, werden die vorliegende Erfindung und die ihr zugrundeliegende Problematik anhand von Scheinwerfern von Kraftfahrzeugen erläutert.
  • Gasentladungsleuchten (auch als HID-Leuchten bezeichnet) werden schon seit Jahrzehnten für Scheinwerfer von Kraftfahrzeugen eingesetzt und konstant weiterentwickelt. So werden die Gasentladungsleuchten für adaptive Scheinwerfersysteme mit Blenden versehen, durch welche andere Verkehrsteilnehmer ausblendbar sind, um möglichst lange mit Fernlicht fahren zu können.
  • Der Aufbau dieser Gasentladungsleuchten besteht allgemein aus einem Glaskolben, in dem sich ein Gemisch aus einem Edelgas (beispielsweise Xenon oder Argon) und Salzen oder Quecksilber befinden. Im Glaskörper befinden sich üblicherweise Elektroden zum Anregen der Gasentladung, welche durch den Glaskörper nach außen geführt sind. Diese Gasentladungsleuchten haben einen Kolbendurchmesser von typischerweise größer 2 mm. Bei Scheinwerferanwendungen werden die Gasentladungsleuchten mit Stellmotoren versehen und damit die Lichtverteilung, z.B. Abblendlicht oder Fernlicht, durch Verschwenken eingestellt. Derartige Stellmotoren haben eine eingeschränkte Dynamik aufgrund der Massenträgheit, die Robustheit ist durch die mechanischen Bauteile eingeschränkt, und auch die Präzision der Einstellung ist nicht optimal.
  • In der DE 10 2009 022 755 A1 wird eine Gasentladungsleuchte mit außen am Glaskörper angebrachten Elektroden beschrieben. Vorteile dieser Gasentladungsleuchte sind eine hohe Effizienz und eine lange Lebensdauer.
  • Zudem sind adaptive Scheinwerfer mit LED- oder Lasersystemen vorgeschlagen worden. Beim Lasersystem wird der Laserstrahl zum Festlegen des Strahlprofils durch einen Mikrospiegel abgelenkt, wie beispielsweise in der WO 2011/141377 A1 beschrieben. Der Einsatz von Lasern ist teuer und benötigt zudem eine aufwendige Kühlung sowie ein aufwendiges Sicherheitskonzept, um die Augensicherheit zu gewährleisten. Zusätzlich erreichen Laserdioden heutzutage nicht die gewünschte Lebensdauer von 5.000 Stunden für einen Einsatz im Dauerfernlicht oder Abblendlicht.
  • Die DE 197 34 650 A1 beschreibt eine in einem Siliziumsubstrat integrierte Gasentladungsleuchte.
  • Offenbarung der Erfindung
  • Die Erfindung schafft eine Scheinwerfervorrichtung mit einer Gasentladungsleuchte nach Anspruch 1, eine Gasentladungsleuchte nach Anspruch 11 und ein entsprechendes Herstellungsverfahren nach Anspruch 14.
  • Bevorzugte Weiterbildungen sind Gegenstand der jeweiligen Unteransprüche.
  • Vorteile der Erfindung
  • Die der vorliegenden Erfindung zugrunde liegende Idee besteht in einer Kombination einer kleinen Gasentladungsleuchte mit einer Mikrospiegeleinrichtung. Durch die kleine Gasentladungsleuchte mit hoher Strahldichte kann ein Lichtstrahl auf die Mikrospiegeleinrichtung gerichtet und dadurch bewegt werden. Der kleine Plasmabereich in der Gasentladungsleuchte kann durch die erste Linseneinrichtung auf zumindest einen Teil der Reflexionsfläche der Mikrospiegeleinrichtung fokussiert werden. Durch die präzise Bewegung und das Scannen der Mikrospiegeleinrichtung können flexible Lichtverteilungen erzeugt werden. Insbesondere ermöglichen diese Lichtverteilungen bzw. Strahlprofile ein adaptives Maskieren und Markieren von anderen Verkehrsteilnehmern.
  • Durch die Mikrospiegeleinrichtung lässt sich der von der Mikrospiegeleinrichtung reflektierte Lichtstrahl variabel vorgebbar eindimensional oder zweidimensional im Raum bewegen, um dem Scheinwerfer-Lichtstrahl ein vorgebbares Strahlprofil zu geben. Dabei kann entweder der Spot mit hoher Intensität bewegt werden oder der Spot scannt und erzeugt ein Strahlprofil, welches größer als die Spotfläche ist. Die Mikrospiegeleinrichtung kann also im quasistatischen oder resonanten Modus betrieben werden.
  • Durch den variablen Einsatz von vorgebbaren Scanmustern und statischen Spots können Lichtverteilungen erzeugt werden, welche auf die jeweilige Fahrsituation optimal anpassbar sind.
  • Durch die Mikrospiegeleinrichtung lassen sich die Nachteile von mechanischen Stellmotoren vermeiden. Durch den Einsatz der Gasentladungsleuchte wird eine Lichtquelle verwendet, deren Lebensdauer die Lebensdauer von Laserdioden deutlich überschreitet. Auch sind Kühlungs- und Sicherheitskonzepte bei der erfindungsgemäßen Scheinwerfervorrichtung leichter zu realisieren als bei Lasersystemen. Im Vergleich zu LED- und Laseranwendungen gibt es nur einen geringen Temperatureinfluss auf die Leuchtstärke der erfindungsgemäßen Scheinwerfervorrichtung.
  • Besondere Vorteile der erfindungsgemäßen Scheinwerfervorrichtung sind zudem ein möglicher kleiner und kompakter Aufbau durch die Mikrospiegeleinrichtung und die miniaturisierte Gasentladungsleuchte. Damit lässt sich eine einfache Integration in Kraftfahrzeug-Scheinwerfer ermöglichen. Durch die an sich bekannten Ansteuerungen von Mikrospiegeleinrichtungen lässt sich eine flexible, schnelle und robuste Modulation der Lichtverteilung und damit des Strahlprofils erreichen.
  • Gemäß einer bevorzugten Weiterbildung ist die Mikrospiegeleinrichtung derart zweidimensional steuerbar ist, dass das Strahlprofil eine viereckige Form mit vorgebbaren Seitenlängen aufweist. Ein derartiges Strahlprofil ist besonders für das Fernlicht gut geeignet und adaptiv anpassbar.
  • Gemäß einer bevorzugten Weiterbildung ist zwischen der Gasentladungsleuchte und der Mikrospiegeleinrichtung eine Blendeneinrichtung angeordnet. So lässt sich der Strahlengang genau vorgeben, und Streueffekte können vermieden werden.
  • Gemäß einer bevorzugten Weiterbildung ist die Blendeneinrichtung zum Variieren der Blendenöffnung steuerbar. Die ermöglicht eine nachträgliche Justierung des Strahlenganges.
  • Gemäß einer bevorzugten Weiterbildung sind die Gasentladungsleuchte und die erste Linseneinrichtung derart ausgestaltet, dass der von der Gasentladungsleuchte auf die Mikrospiegeleinrichtung emittierte Lichtstrahl eine Spotgröße von 0,5 bis 1,5 mm2 aufweist. So ist der Spot gut an typische Dimensionen der Mikrospiegeleinrichtung angepasst.
  • Gemäß einer bevorzugten Weiterbildung ist eine Steuereinrichtung vorgesehen, durch welche Adaptionssignale für den Scheinwerfer-Lichtstrahl eines Kraftfahrzeug-Scheinwerfersteuergeräts zum Steuern der Mikrospiegeleinrichtung empfangbar sind. Dies ermöglicht die Verwendung existierender Scheinwerfersteuergeräte.
  • Gemäß einer bevorzugten Weiterbildung weist die Gasentladungsleuchte einen Glaskörper auf, in dem ein Gas oder Gasgemisch versiegelt eingeschlossen ist, und wobei eine oder mehrere außen am Glaskörper angebrachte Elektroden vorgesehen sind, wodurch eine Gasentladung im Glaskörper anregbar ist. Außen am Glaskörper anliegende Elektroden ermöglichen eine miniaturisierte Ausführung des Glaskörpers und erhöhen die Lebensdauer.
  • Gemäß einer bevorzugten Weiterbildung weist der Glaskörper einen Austrittsbereich für den Lichtstrahl und einen durch eine reflektierende Beschichtung verspiegelten Bereich auf. Eine derartige reflektierende Beschichtung erhöht den Wirkungsgrad der Gasentladungsleuchte.
  • Gemäß einer bevorzugten Weiterbildung weist der Glaskörper einen ersten Teil mit einem Hohlraum und einen darauf gebondeten zweiten deckelartigen Teil zum Versiegeln des Hohlraums auf. So lassen sich besonders kleine Gasentladungsleuchten mit Methoden der Mikromechanik realisieren.
  • Gemäß einer bevorzugten Weiterbildung ist der zweite deckelartige Teil auf eine Schaltungsplatte gebondet, in oder auf der eine oder mehrere Elektroden vorgesehen sind, wodurch eine Gasentladung im Glaskörper anregbar ist. Dies ermöglicht eine effiziente Anbindung der Steuerung für die Gasentladungsleuchte.
  • Figurenliste
  • Weitere Merkmale und Vorteile der vorliegenden Erfindung werden nachfolgend anhand von Ausführungsformen mit Bezug auf die Figuren erläutert.
  • Es zeigen:
    • 1 eine schematische Darstellung einer Scheinwerfervorrichtung gemäß einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung; und
    • 2 eine schematische Darstellung einer Gasentladungsleuchte gemäß einer weiteren Ausführungsform der vorliegenden Erfindung, welche in der Scheinwerfervorrichtung nach 1 verwendbar ist.
  • Ausführungsformen der Erfindung
  • In den Figuren bezeichnen gleiche Bezugszeichen gleiche bzw. funktionsgleiche Elemente.
  • 1 zeigt eine schematische Darstellung einer Scheinwerfervorrichtung gemäß einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung.
  • Die Scheinwerfervorrichtung gemäß 1 umfasst eine Gasentladungsleuchte HL, welche ausgestaltet ist, einen Lichtstrahl ST zu emittieren. Weiterhin vorgesehen ist eine steuerbare Mikrospiegeleinrichtung MS, deren Antrieb MA mit einer Mikrospiegel-Steuereinrichtung ST1 verbunden ist. Bei der vorliegenden Ausführungsform ist die Mikrospiegeleinrichtung MS zweidimensional in zwei zueinander orthogonale Richtungen verschwenkbar, wobei entsprechende Steuersignale von einer Lichtverteilungs-Steuereinrichtung ST2 an die Mikrospiegel-Steuereinrichtung ST1 gesendet werden. Entsprechende Adaptionssignale für den Scheinwerfer-Lichtstrahl B werden von einem Kraftfahrzeug-Scheinwerfersteuergerät SSG an die Lichtverteilungs-Steuereinrichtung ST2 gesendet.
  • Eine erste Linseneinrichtung L1, L2 mit einer ersten Sammellinse L1 und einer davon beabstandeten zweiten Sammellinse L2 ist zwischen der Gasentladungsleuchte HL und der Mikrospiegeleinrichtung MS angeordnet. Zwischen der ersten und zweiten Sammellinse L1, L2 ist eine Blendeneinrichtung BL vorgesehen, deren Blendenöffnung vorzugsweise steuerbar ist.
  • Die Gasentladungsleuchte HL und die erste Linseneinrichtung L1, L2 sind derart angeordnet, dass der von der Gasentladungsleuchte HL auf die Mikrospiegeleinrichtung MS emittierte Lichtstrahl ST eine Spotgröße von typischerweise 0,5 bis 1,5 mm2 aufweist.
  • In Strahlrichtung hinter der Mikrospiegeleinrichtung MS ist eine zweite Linseneinrichtung L3 in Form einer dritten Sammellinse vorgesehen, welche ausgestattet ist, den von der Mikrospiegeleinrichtung MS reflektierten Lichtstrahl ST' in den Scheinwerfer-Lichtstrahl zu formen.
  • Im Folgenden wird der Aufbau der Gasentladungsleuchte HL näher beschrieben. Die Gasentladungsleuchte HL weist einen Glaskörper GL auf, der beispielsweise aus Glas geblasen ist. In dem Glaskörper GL ist ein Gemisch eines Edelgases mit einem Salz oder Quecksilber versiegelt eingeschlossen. Der Glaskörper GL weist einen Austrittsbereich SA für den Lichtstrahl ST und einen durch eine reflektierende Beschichtung RE verspiegelten Bereich auf. Vorzugsweise ist die reflektierende Beschichtung RE außen am Glaskörper GL aufgebracht, insbesondere aufgedampft.
  • Des Weiteren weist der Glaskörper GL einen dornartigen Fortsatz FO auf, um den herum eine außen anliegende Elektrode EL angebracht ist. Durch die Elektrode EL, welche durch eine Leuchten-Steuerungseinrichtung ST3 ansteuerbar ist und entsprechende HF-Komponenten enthält, ist die Gasentladung im Glaskörper GL anregbar, wobei sich die Gasentladung auf den mit Bezugszeichen PL bezeichneten Plasmabereich begrenzen lässt. Entsprechende Steuersignale enthält die Leuchten-Steuerungseinrichtung ST3 von der Lichtverteilungs-Steuerungseinrichtung ST2 über Anforderung durch das Kraftfahrzeug-Scheinwerfersteuergerät SSG.
  • Bei einer bevorzugten Ausführungsform wird die oben beschriebene Scheinwerfervorrichtung im Fernlichtmodus eingesetzt und die Mikrospiegeleinrichtung MS ist derart zweidimensional steuerbar, dass das Strahlprofil eine viereckige Form mit vorgebbaren Seitenlängen aufweist.
  • 2 zeigt eine schematische Darstellung einer Gasentladungsleuchte gemäß einer weiteren Ausführungsform der vorliegenden Erfindung, welche in der Scheinwerfervorrichtung nach 1 verwendbar ist.
  • Bei der Gasentladungsleuchte HL', welche in 2 dargestellt ist, ist kein geblasener Glaskörper vorgesehen, sondern ein Glaskörper GL', der einen ersten Teil GK mit einem Hohlraum K und einen darauf gebondeten zweiten deckelartigen Teil GD zum Versiegeln des Hohlraums K aufweist.
  • Zur Herstellung des derart aufgebauten Glaskörpers GL' wird zunächst der erste Teil GK mit dem Hohlraum K durch einen Ätzprozess oder einen Bohrprozess aus einem Quarzglaswafer (nicht dargestellt) gebildet. Dann wird das Gas oder Gasgemisch in den Hohlraum K eingebracht und in der Glasatmosphäre der zweite deckelartige Teil GD auf den ersten Teil GK zum Versiegeln des Hohlraums K und zum Ausbilden des Glaskörpers GL' gebondet. Der deckelartige Teil GD kann beispielsweise ein Quarzglasplättchen entsprechender Dicke sein, welches mittels eines Sealglases, welches den Bondbereich BO bildet, darauf gebondet wird. Anschließend wird der zweite deckelartige Teil GD auf eine Schaltungsplatte PB gebondet, in oder auf der eine oder mehrere Elektroden EL' vorgesehen sind, wodurch eine Gasentladung im Glaskörper GL' anregbar ist, um den Plasmabereich PL zu erzeugen.
  • Wie bei der ersten Ausführungsform sind reflektierende Beschichtungen RE' am ersten Teil GK bzw. an der Unterseite des deckelartigen Teils GD vorgesehen, um eine möglichst hohe Lichtausbeute zu erzielen. Der Anschluss zur Leuchten-Steuerungseinrichtung ist nur schematisch angedeutet.
  • Durch die Fertigung des Glaskörpers GL' auf Waferebene kann der Hohlraum K deutlich kleiner ausgeführt werden als bei dem geblasenen Glaskörper GL der vorhergehenden Ausführungsform. Die Fertigung der ersten Teile GK erfolgt auf Waferebene mit anschließendem Vereinzeln. Das Bonden des zweiten deckelartigen Teils GD erfolgt in einem Bondbereich BO' beispielsweise über die reflektierende Beschichtung RE", welche beispielsweise metallisch ist und daher mittels eines entsprechenden Lotes auf die Schaltungsplatte PB gebondet werden kann. Auch bei dieser Ausführungsform der Gasentladungsleuchte HL' erfolgt die dargestellte Einkopplung des HF-Signals kapazitiv über einen zwischen der Elektrode EL' und der reflektierenden Beschichtung RE" vorgesehenen Luftspalt.
  • Obwohl die vorliegende Erfindung anhand bevorzugter Ausführungsbeispiele beschrieben wurde, ist sie darauf nicht beschränkt. Insbesondere sind die genannten Materialien und Geometrien nur beispielhaft und nicht auf die erläuterten Beispiele beschränkt.
  • Obwohl bei der oben beschriebenen Ausführungsform die Blendeneinrichtung zwischen der ersten und zweiten Sammellinse der ersten Linseneinrichtung angeordnet ist, kann diese alternativ auch zwischen der Gasentladungsleuchte und der ersten Sammellinse oder zwischen der zweiten Sammellinse und der Mikrospiegeleinrichtung angeordnet sein. Auch ist es denkbar, mehrere Blendeneinrichtungen gleichzeitig in diesem Bereich zwischen Gasentladungsleuchte und Mikrospiegeleinrichtung vorzusehen.
  • Obwohl bei den obigen Ausführungsformen die Einkopplung der elektromagnetischen Wellen kapazitiv erfolgte, ist selbstverständlich auch eine induktive Einkopplung oder eine Einkopplung über eine Metallantenne denkbar, welche in den Glaskörper geführt ist.
  • Die erfindungsgemäße Scheinwerfervorrichtung ist nicht auf den Einsatz in Kraftfahrzeugen beschränkt, sondern generell für beliebige Anwendungen, beispielsweise im Gebäude oder in der Industrie, verwendbar, in denen ein strukturierbares Lichtprofil benötigt wird.
  • ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG
  • Diese Liste der vom Anmelder aufgeführten Dokumente wurde automatisiert erzeugt und ist ausschließlich zur besseren Information des Lesers aufgenommen. Die Liste ist nicht Bestandteil der deutschen Patent- bzw. Gebrauchsmusteranmeldung. Das DPMA übernimmt keinerlei Haftung für etwaige Fehler oder Auslassungen.
  • Zitierte Patentliteratur
    • DE 102009022755 A1 [0005]
    • WO 2011/141377 A1 [0006]
    • DE 19734650 A1 [0007]

Claims (15)

  1. Scheinwerfervorrichtung mit: einer Gasentladungsleuchte (HL; HL'), welche ausgestaltet ist, einen Lichtstrahl (ST) zu emittieren; einer Mikrospiegeleinrichtung (MS); einer ersten Linseneinrichtung (L1, L2), welche ausgestaltet ist, den von der Gasentladungsleuchte (HL; HL') emittierten Lichtstrahl (ST) auf die Mikrospiegeleinrichtung (MS) zu richten; und einer zweiten Linseneinrichtung (L3), welche ausgestaltet ist, den von der Mikrospiegeleinrichtung (MS) reflektierten Lichtstrahl (ST') in einen Scheinwerfer-Lichtstrahl (B) zu formen; wobei die Mikrospiegeleinrichtung (MS) derart steuerbar ist, dass der Scheinwerfer-Lichtstrahl (B) ein vorgebbares Strahlprofil aufweist.
  2. Scheinwerfervorrichtung nach Anspruch 1, wobei die Mikrospiegeleinrichtung (MS) derart zweidimensional steuerbar ist, dass das Strahlprofil eine viereckige Form mit vorgebbaren Seitenlängen aufweist.
  3. Scheinwerfervorrichtung nach Anspruch 1 oder 2, wobei zwischen der Gasentladungsleuchte (HL; HL') und der Mikrospiegeleinrichtung (MS) eine Blendeneinrichtung (BL) angeordnet ist.
  4. Scheinwerfervorrichtung nach Anspruch 1, wobei die Blendeneinrichtung (BL) zum Variieren der Blendenöffnung steuerbar ist.
  5. Scheinwerfervorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei die Gasentladungsleuchte (HL; HL') und die erste Linseneinrichtung (L1, L2) derart ausgestaltet sind, dass der von der Gasentladungsleuchte (HL; HL') auf die Mikrospiegeleinrichtung (MS) emittierte Lichtstrahl (ST) eine Spotgröße von 0,5 bis 1,5 mm2 aufweist.
  6. Scheinwerfervorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei eine Steuereinrichtung (ST1, ST2, ST3) vorgesehen ist, durch welche Adaptionssignale für den Scheinwerfer-Lichtstrahl (B) eines Kraftfahrzeug-Scheinwerfersteuergeräts (SSG) zum Steuern der Mikrospiegeleinrichtung (MS) empfangbar sind.
  7. Scheinwerfervorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei die Gasentladungsleuchte (HL; HL') einen Glaskörper (GL; GL') aufweist, in dem ein Gas oder Gasgemisch versiegelt eingeschlossen ist, und wobei eine oder mehrere außen am Glaskörper (GL; GL') angebrachte Elektroden (EL; EL') vorgesehen sind, wodurch eine Gasentladung im Glaskörper (GL; GK) anregbar ist.
  8. Scheinwerfervorrichtung nach Anspruch 7, wobei der Glaskörper (GL; GL') einen Austrittsbereich (SA; SA') für den Lichtstrahl (ST) und einen durch eine reflektierende Beschichtung (RE; RE', RE") verspiegelten Bereich aufweist.
  9. Scheinwerfervorrichtung nach Anspruch 7 oder 8, wobei der Glaskörper (GL') einen ersten Teil (GK) mit einem Hohlraum (K) und einen darauf gebondeten zweiten deckelartigen Teil (GD) zum Versiegeln des Hohlraums (K) aufweist.
  10. Scheinwerfervorrichtung nach Anspruch 9, wobei der zweite deckelartige Teil (GD) auf eine Schaltungsplatte (PB) gebondet ist, in oder auf der eine oder mehrere Elektroden (EL') vorgesehen sind, wodurch eine Gasentladung im Glaskörper (GL') anregbar ist.
  11. Gasentladungsleuchte, insbesondere zur Verwendung in einer Scheinwerfervorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, mit: einem Glaskörper (GL'), in dem ein Gas oder Gasgemisch versiegelt eingeschlossen ist, wobei eine oder mehrere außen am Glaskörper (GL') angebrachte Elektroden (EL; EL') vorgesehen sind, wodurch eine Gasentladung im Glaskörper (GL; GK) anregbar ist; wobei der Glaskörper (GL') einen ersten Teil (GK) mit einem Hohlraum (K) und einen darauf gebondeten zweiten deckelartigen Teil (GD) zum Versiegeln des Hohlraums (K) aufweist.
  12. Gasentladungsleuchte nach Anspruch 11, wobei der Glaskörper (GL') einen Austrittsbereich (SA') für den Lichtstrahl (ST) und einen durch eine reflektierende Beschichtung (RE', RE") verspiegelten Bereich aufweist.
  13. Gasentladungsleuchte nach Anspruch 11 oder 12, wobei der zweite deckelartige Teil (GD) auf eine Schaltungsplatte (PB) gebondet ist, in oder auf der die eine oder mehreren Elektroden (EL') vorgesehen sind, wodurch eine Gasentladung im Glaskörper (GL') anregbar ist.
  14. Herstellungsverfahren für eine Gasentladungsleuchte nach einem der Ansprüche 11 bis 13 mit den Schritten: Bilden des ersten Teils (GK) mit dem Hohlraum (K) durch einen Ätzprozess oder einen Bohrprozess aus einem Quarzglaswafer; Einbringen des Gases oder Gasgemischs in den Hohlraum (K); Bonden des zweiten deckelartigen Teils (GD) auf den ersten Teil (GK) zum Versiegeln des Hohlraums (K) und Bilden des Glaskörpers (GL'); und Anbringen der einen oder mehreren Elektroden (EL') außen am Glaskörper (GL').
  15. Herstellungsverfahren nach Anspruch 14, wobei der zweite deckelartige Teil (GD) auf eine Schaltungsplatte (PB) gebondet wird, in oder auf der die eine oder mehreren Elektroden (EL') vorgesehen sind, wodurch eine Gasentladung im Glaskörper (GL') anregbar ist.
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