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Gebiet der Technik
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Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung mit einem in einem gasdicht verschließbaren Reaktorgehäuse angeordneten Gaseinlassorgans und mit einer Justiereinrichtung zur Einstellung der Lage des Gaseinlassorganes zu einem Substrat, wobei das Gaseinlassorgan Koppelglieder aufweist, die in einer Kopplungsstellung mit Gegenkoppelgliedern der Justiereinrichtung verbunden sind.
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Die Erfindung betrifft darüber hinaus ein Verfahren zum Betrieb einer derartigen Vorrichtung.
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Stand der Technik
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Eine gattungsgemäße Vorrichtung hat die Aufgabe, auf einem Substrathalter aufliegende Substrate mit einer Schicht, insbesondere einer OLED-Schicht oder einer Komponenten-Halbleiterschicht zu beschichten. Hierzu werden durch eine Einspeiseleitung von außerhalb des Reaktorgehäuses Prozessgase in das im Reaktorgehäuse angeordnete Gaseinlassorgan eingespeist. Die Prozessgase treten aus Gasaustrittsöffnungen einer Gasaustrittsfläche des Gaseinlassorganes in eine Prozesskammer ein, deren Boden der Substrathalter bildet. Das Substrat liegt auf Substrathalter auf. Beim Abscheiden von OLED-Schichten werde die Prozessgase durch ein beheiztes, die Gestalt eines Showerheads aufweisendes Gaseinlassorganes in die Prozesskammer eingespeist und kondensieren auf der Oberfläche eines gekühlten Substrates. Hierzu besitzt der Substrathalter Kühlelemente. Bei einem CVD-Verfahren wird der Substrathalter auf eine erhöhte Temperatur aufgeheizt, so dass sich die Prozessgase dort pyrolytisch zerlegen können.
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Bei der erstmaligen Einrichtung einer derartigen Vorrichtung wird die Lage des Gaseinlassorganes in Bezug auf die Auflagefläche des Substrathalters zur Auflage des Substrates oder in Bezug auf eine Oberfläche eines Dummy-Substrates justiert. Die Gasauslassfläche ist das Einlassorganes wird mittels einer Justiereinrichtung in eine Parallellage zur Oberfläche des Substrates beziehungsweise zur Auflagefläche des Substrathalters gebracht. Hierzu können Gewindespindeln verwendet werden. Zur Einstellung der Parallellage können darüber hinaus auch Einstellehren verwendet werden.
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Zusammenfassung der Erfindung
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Nach ein oder mehreren Behandlungsschritten eines Substrates, bei denen das Substrat mit einer Schicht beschichtet wird, muss das Gaseinlassorgan aus Wartungsgründen aus dem Reaktorgehäuse entfernt werden. Nach einer Reinigung des Gaseinlassorganes oder eines Austausches von Austauschteilen des Gaseinlassorganes wird das Gaseinlassorgan wieder zurück in das Reaktorgehäuse gebracht und muss in eine abstandsjustierte Lage zum Substrathalter beziehungsweise zu einem auf dem Substrathalter aufliegenden Dummy-Substrat gebracht werden.
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Der Erfindung liegt die Aufgabe zu Grunde, eine Vorrichtung zum Behandeln eines Substrates hinsichtlich der Justierung des Gaseinlassorganes zu verbessern und ein Verfahren anzugeben, mit dem eine derartige Vorrichtung betrieben wird.
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Gelöst wird die Aufgabe durch die in den Ansprüchen angegebene Erfindung, wobei die Unteransprüche nicht nur vorteilhafte Ausgestaltungen der in den nebengeordneten Ansprüchen angegebene Erfindung darstellen, sondern auch eigenständige Lösungen der Aufgabe sind. Einzelne Merkmale der Unteransprüche können mit Einzelmerkmalen anderer Unteransprüche beliebig kombiniert werden.
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Zunächst und im Wesentlichen wird eine Vorrichtung vorgeschlagen, bei der die Justiereinrichtung Koppelglieder und Gegenkoppelglieder aufweist. Die Koppelglieder können am Gaseinlassorgan befestigt sein. Die Gegenkoppelglieder können an der Justiereinrichtung befestigt werden. Bei einer Entnahme des Gaseinlassorganes aus dem Reaktorgehäuse werden die Koppelglieder in eine Trennstellung zu den Gegenkoppelgliedern gebracht. In der Trennstellung sind die Koppelglieder nicht mehr mit den Gegenkoppelgliedern verbunden. Die Trennstellung wird insbesondere dadurch erreicht, dass das Gaseinlassorgan in einer Richtung quer zu einer Justierrichtung lageverändert wird. Die Justierrichtung ist bevorzugt eine Vertikale. Es ist insbesondere die Richtung der Flächennormalen der Gasaustrittsfläche des Gaseinlassorganes, die der Oberfläche des Substrates beziehungsweise einer Auflagefläche des Substrathalters gegenüber liegt. Mit der Justiereinrichtung wird die Gasaustrittsfläche in eine Parallellage zur Oberfläche des Substrates oder zur Auflagefläche des Substrathalters gebracht. Wird das Gaseinlassorgan in einer Richtung quer zur Justierrichtung, also insbesondere in eine Horizontalrichtung verlagert, so sollen die Koppelglieder außer Eingriff zu den Gegenkoppelgliedern treten. Sie gelangen dabei aus der Kopplungsstellung in eine Trennstellung. Hierzu ist es von Vorteil, wenn sich die Koppelglieder und die Gegenkoppelglieder hakenartig untergreifen. Hierzu ist insbesondere vorgesehen, dass die Koppelglieder und die Gegenkoppelglieder eine Koppeleinrichtung bilden, die zwei Glieder aufweisen, die miteinander gekoppelt sein können oder die voneinander getrennt sein können. Ein Glied der Koppeleinrichtung kann einen Schaft mit am Ende eines Schaftes angeordneten Kopf aufweisen. Das andere Glied der Koppeleinrichtung kann einen zum Rand hin offenen Schlitz aufweisen, in den der Schaft in der Kopplungsstellung steckt. In der Kopplungsstellung untergreift der Kopf eine an den Schlitz angrenzende Schulter. In Folge dieser Ausgestaltung hängt das Gaseinlassorgan an der Justiereinrichtung. Die Justiereinrichtung besitzt insbesondere dreifach realisierte Justierglieder und greift damit an drei auf den Eckpunkten eines Dreiecks liegenden Stellen an einer Rückseite des Gaseinlassorganes an. Die Justierglieder sind im Wesentlichen gleich ausgebildet und ermöglichen eine vertikale Lageveränderung des Gaseinlassorganes an einem Punkt. Die Rückseite kann sich parallel zur Gasaustrittsfläche erstrecken. An der Rückseite können Böckchen befestigt sein, die mit Tragabschnitten jeweils einen Schlitz ausbilden zum Eintritt des mit dem Kopf verbundenen Schaftes. An zwei sich gegenüber liegenden Wänden des Reaktorgehäuses sind im inneren des Reaktorgehäuses sich in Horizontalrichtung erstreckende Schienen angeordnet. Das Gaseinlassorgan kann Laufräder aufweisen, mit denen das Gaseinlassorgan entlang der Schienen aus einer Betriebsstellung innerhalb des Reaktorgehäuses in eine Wartungsstellung außerhalb des Reaktorgehäuses gebracht werden kann. Dies erfolgt durch eine Beladeöffnung des Reaktorgehäuses. Diese wird zu Wartungszwecken geöffnet. An die Schienen können Verbindungsstücke angebracht werden, über die das Gaseinlassorgan aus dem Reaktorgehäuse hinaus auf ein Wartungsgestell gerollt werden kann. Das Wartungsgestell ist dann temporärer Träger des Gaseinlassorganes. Nach einer Durchführung einer Wartung oder eines Austausches eines Gaseinlassorganes wird das Gaseinlassorgan über die Schienen und die mit den Schienen verbundenen Verbindungsstücke wieder zurück in das Reaktorgehäuse gerollt. In einer bevorzugten Ausgestaltung wird die Lage des Gaseinlassorganes vor dessen Erstinbetriebnahme in Bezug auf den Substrathalter beziehungsweise ein auf dem Substrathalter aufliegendes Dummy-Substrat lagejustiert. Hierzu greifen an drei auf den Eckpunkten eines Dreiecks Zugglieder der Justierglieder an der Rückseite des Gaseinlassorganes an. Diese Zugglieder werden bevorzugt von dem zuvor beschriebenen einen Kopf aufweisenden Schaft ausgebildet, der hakenartig das Koppelglied untergreift, welches an der Rückseite des Gaseinlassorganes befestigt ist. Eine Höhenverlagerung des Koppelgliedes unter Verwendung des Zuggliedes ist von außerhalb des Reaktorgehäuses möglich. Hierzu ist die Justiereinrichtung von außerhalb des Reaktors betätigbar. Bei einem Ausführungsbeispiel der Erfindung können die drei separat betätigbaren Justierglieder der Justiereinrichtung jeweils eine Einstellwelle aufweisen, die von einem Handrad oder von einem Elektromotor gedreht werden kann. Es kann ein Zählwerk oder ein Winkelgeber vorgesehen sein, mit dem die Anzahl der Umdrehungen der Einstellwelle oder der Gesamtwinkel der zum Justieren gedrehten Einstellwelle erfasst werden kann. Bei dem Motor kann es sich um einen Schrittmotor handeln. Die Einstellwelle wirkt bevorzugt mit einem Untersetzungsgetriebe zusammen, welches Höhenverstellspindeln in Vertikalrichtung lageverändert. Die Höhenverstellspindeln können Teil des Zuggliedes sein. Durch Drehen der Einstellwelle kann das Gaseinlassorgan an jedem der drei Angriffspunkte der Zugglieder individuell angehoben oder abgesenkt werden, so dass die Gasaustrittsfläche in eine Parallellage zur Oberfläche des Substrates oder zur Auflagefläche des Substrathalters gebracht werden kann. Bei der Erstinbetriebnahme kann diese Justierung unter Verwendung von Abstandslehren, beispielsweise Abstandselementen durchgeführt werden, die in die Prozesskammer eingebracht werden. In der lagejustierten Stellung liegen die Laufräder nicht auf den Schienen auf. Sie befinden sich vertikal oberhalb der Schienen. Das Gaseinlassorgan wird bevorzugt ausschließlich über die Zugglieder der Justiereinrichtung in seiner Vertikallage gehalten. Um das Gaseinlassorgan aus der Prozesskammer zu entnehmen, wird das Gaseinlassorgan absenkt, bis die Laufräder auf den Schienen aufliegen. Dabei wird das Gegenkopplungsglied in einer Lüftungsstellung zum Kopplungsglied gebracht, so dass die Hakenverbindung zwischen Kopplungsglied und Gegenkopplungsglied durch eine Horizontalbewegung des Gaseinlassorganes, bei dem es über die Schienen in Richtung der Beladeöffnung gerollt wird, außer Eingriff gebracht. Bei der Absenkung des Gaseinlassorganes werden die insbesondere drei Gegenkopplungsglieder jeweils um einen definierten Weg vertikal nach unten verlagert. Nach dem Wiederhereinrollen des Gaseinlassorganes in das Reaktorgehäuse und dem Einhaken der Kopplungsglieder in die Gegenkopplungsglieder werden die Gegenkopplungsglieder um jeweils den selben Weg angehoben. In einer Variante der Erfindung werden hierzu beim Absenken die Einstellwellen um einen definierten Drehwinkel oder um eine definierte Anzahl von Umdrehungen gedreht. Dies kann mit dem Motor oder mit einem Handrad erfolgen. Nach dem Wiedereinsetzen des Gaseinlassorganes in das Reaktorgehäuse werden die Einstellwellen um den selben Drehwinkel beziehungsweise um die selbe Anzahl der Umdrehungen zurückgedreht, so dass die Kopplungsglieder in die selbe Position gebracht sind, in der sie zuvor lagejustiert worden waren. Die Betätigung der Justiereinrichtung erfolgt bevorzugt von außerhalb des Reaktorgehäuses mit dort angeordneten Betätigungsmitteln. Hierzu ist insbesondere vorgesehen, dass das Untersetzungsgetriebe außerhalb des Reaktorgehäuses angeordnet ist. Bei dem Untersetzungsgetriebe kann es sich um einen Schneckenantrieb handeln. Die Einstellwelle bildet eine Schnecke aus, die ein um eine Vertikalachse drehbares Schneckenrad antreibt. Das Schneckenrad ist fest mit einer Spindelmutter verbunden, in der eine insbesondere ein Trapezgewinde aufweisende Höheneinstellspindel steckt. Ein unteres Ende dieser Gewindespindel ist mit einem oberen Ende des Zuggliedes verbunden, bei dem es sich bevorzugt um den oben beschriebenen Schaft handelt. Eine gasdichte Ankopplung wird durch einen Balgen erreicht, der sich zwischen einem Kopf des Zuggliedes, also insbesondere einem Kopf des Schaftes und der Außenwandung einer Decke des Reaktorgehäuses befindet. Durch diesen Balgen greift das Zugglied hindurch. Auf seiner zur Ladeöffnung weisenden Seite trägt das Gaseinlassorgan ein Interface, mit dem eine Heizeinrichtung des Gaseinlassorganes mit einer Heizleistungseinspeiseleitung verbunden sein kann. Über das Interface können aus Zuleitungen zu Temperatursensoren oder dergleichen lösbar angekoppelt werden. Beim Absenken des Gaseinlassorganes von der justierten Stellung in eine Transportstellung, in der die Laufräder auf den Schienen aufliegen, kann auch eine Gaszuleitung von einem Gaseinlass auf der Rückseite des Gaseinlassorganes getrennt werden.
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Figurenliste
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Ein Ausführungsbeispiel der Erfindung wird nachfolgend an von uns beigefügter Zeichnungen erläutert. Es zeigen:
- 1 Schematisch in einer Schnittdarstellung gemäß der Linie I-I,
- 2 Ein Ausführungsbespiel eines Reaktorgehäuses mit einem darin angeordneten Gaseinlassorgans, 2 die Draufsicht auf das in der 1 als Schnitt dargestellte Reaktorgehäuse,
- 3 Den Schnitt gemäß der Linie III-III in 2 durch den oberen Bereich des Reaktorgehäuses, wobei das Gaseinlassorgan seine justierte Stellung einnimmt,
- 4 Etwas detailreicher eine Dreijustiereinrichtung aufweisende Anordnung außerhalb des Reaktorgehäuses, welches strichpunktiert dargestellt ist,
- 5 Einen Ausschnitt aus der Darstellung gemäß 4,
- 6 Den Ausschnitt VI in 5 vergrößert,
- 7 Eine Darstellung gemäß 3, jedoch in der abgesenkten Stellung des Gaseinlassorganes, in der es über die Schienen aus dem Reaktorgehäuse heraus fahrbar ist.
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Beschreibung der Ausführungsformen
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In einem Reaktorgehäuse 1, welches gasdicht ist und eine Beladeöffnung ausweist, die gasdicht verschließbar ist, befindet sich ein Substrathalter 3 mit einer horizontalen Auflagefläche, auf der ein Substrat 4 angeordnet ist, welches im Reaktorgehäuse 1 behandelt wird. Es ist insbesondere vorgesehen, dass auf dem Substrat 4 eine Schicht abgeschieden wird. Zum Abscheiden der Schicht werden Prozessgase mittels eines Gaseinlassorganes 2 in die zwischen einer Gasaustrittsfläche 5 und der Oberfläche des Substrates 4 angeordnete Prozesskammer eingespeist. Das Gaseinlassorgan 2 besitzt ein Volumen, in das mittels eines Gaseinlasses 29 von außerhalb des Reaktorgehäuses 1 Prozessgase eingespeist werden. Über eine Vielzahl von duschkopfartig in der Gasaustrittsfläche 5 angeordneten Gasaustrittsöffnungen wird das Prozessgas in die Prozesskammer eingespeist.
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An der der Gasaustrittsfläche 5 gegenüber liegenden Rückseite des Gaseinlassorganes 2 sind drei Koppelglieder 7 angeordnet. Bei den Koppelgliedern 7 handelt es sich um Böckchen, die mit Distanzabschnitten 12 jeweils einen Tragabschnitt 11 in vertikaler Beabstandung zur Rückseite des Gaseinlassorganes 2 tragen. Der Tragabschnitt 11 kann von einer sich in einer Horizontalebene erstreckenden Platte ausgebildet sein. Im Tragabschnitt 11 befindet sich ein Schlitz 13, der eine zum Randtragabschnittes 11 offene Seite aufweist. Die Öffnung des Schlitzes 13 ist beim Ausführungsbeispiel von der Beladeöffnung weg gerichtet.
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In jedem der Schlitze 13 der drei auf den Eckpunkten eines Dreiecks angeordneten Koppelgliedern 7 befinden sich jeweils ein Schaft 9 eines Gegenkoppelgliedes 8. Am freien Ende des Schaftes 9 befindet sich ein Kopf 10, der einen Durchmesser aufweist, der größer ist, als die Weite des Schlitzes 13, so dass der Kopf 10 eine Schulter 30 des Tragabschnittes 11, die unmittelbar an den Schlitz 13 angrenzt, untergreift. Der Kopf 10 kann von einer kreisrunden Platte aus gebildet sein, die mit einer Gewindeschraube in die Stirnseite des Schaftes 9 eingeschraubt ist.
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Das dem Kopf 10 gegenüberliegende Ende des Schaftes 9 ist an einem weiteren Kopf 15 befestigt. Dieser Kopf befindet sich außerhalb des Reaktorgehäuses 1. Hierzu durchgreift der Schaft 9 eine Öffnung der oberen Wand des Reaktorgehäuses 1. Zur Abdichtung ist ein Balgen 16 vorgesehen, der sich zwischen der oberen Wandung des Reaktorgehäuses 1 und den Kopf 15 befindet.
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Am Kopf 15 greift eine Gewindespindel 20 an, die ein trapezförmiges Außengewinde aufweist. Das Außengewinde der Spindel 20 steckt in einem Innengewinde einer Spindelmutter 21, die drehfest mit einem Schneckenrad 19 verbunden ist. Durch eine Drehung des Schneckenrades 19 kann die Spindelmutter 21 gedreht werden. Die drehfest mit einer Führung 14 verbundene Gewindespindel 20 wird durch die Drehung des Schneckenrades 19 in Vertikalrichtung entweder nach oben angehoben oder nach unten hin abgesenkt. Einhergehend mit dieser Vertikalverlagerung der Gewindespindel 20 verlagert sich auch der Kopf 10 des Gegenkoppelgliedes 8 in Vertikalrichtung. Da das fest mit dem Gaseinlassorgan 2 verbundene Koppelglied 7 am Gegenkoppelglied 8 hängt, wird auch der Punkt des Gaseinlassorganes 2 vertikal verlagert, an den das Koppelglied 7 befestigt ist. Durch eine individuelle Drehung der Spindelmutter 21 lässt sich somit der Abstand a zwischen Gasaustrittsfläche 5 und Substrat 4 bzw. Substrathalter 3 an drei verschiedenen Stellen einstellen. Die Gasaustrittsfläche 5 ist dadurch in eine Parallellage zum Substrathalter 3 beziehungsweise zum Substrat 4 bringbar.
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Zur Drehung des Schneckenrades 19 ist jeweils eine Einstellwelle 17 vorgesehen. Die Einstellwelle 17 ist fest mit einer Schnecke 18 verbunden, die mit dem Außengewinde des Schneckenrades 19 kämmt. Beim Ausführungsbeispiel ist als Antriebsaggregat zur Drehung der Einstellwelle 17 ein Handrad 22 dargestellt, welches eine Arretierscheibe 23 aufweist, in die in verschiedene Drehstellungen ein Arretierstift 24 eingreifen kann, um die Drehstellung des Handrades 22 zu fixieren.
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In einem nicht dargestellten Ausführungsbeispiel besitzt die Einstellwelle 17 einen Drehwinkelgeber beziehungsweise einen Drehzahlzähler, mit dem der Drehwinkel oder die Anzahl der Umdrehungen der Einstellwelle 17 bestimmt werden können. In einer nicht dargestellten Variante kann die Einstellwelle 17 von einem Elektromotor, beispielsweise einem Schrittmotor um eine vorgegebene Winkelstellung beziehungsweise um eine vorgegebene Anzahl von Umdrehungen gedreht werden. Über das Untersetzungsgetriebe 18, 19 wird einhergehend mit einer Drehung der Einstellwelle 17 die Gewindespindel 20 in Vertikalrichtung verlagert.
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Bei einer ersten Inbetriebnahme einer Vorrichtung zum Behandeln eines Substrates, insbesondere zum Abscheiden einer Schicht auf einem Substrat wird das Gaseinlassorgan 2 in das Reaktorgehäuse 1 eingebracht. Hierzu befinden sich an sich gegenüberliegenden inneren Seitenwänden des Reaktorgehäuses 1 parallel in Horizontalrichtung verlaufende Schienen 26. Das Gaseinlassorgan 2 ist mit Laufrädern 27 ausgestattet, die entlang der Schienen 26 laufen können. Bei geöffneter Beladeöffnung 31 kann an die zur Beladeöffnung 31 weisenden Enden der Schienen 26 jeweils ein Verbindungsstück angebracht werden. Die Verbindungsstücke werden mit einem Schienenpaar eines in den Zeichnungen nicht dargestellten Wartungsgestell verbunden, welches das Gaseinlassorgan 2 trägt. Über die Verlängerungsstücke wird das Gaseinlassorgan 2 auf die Schienen 26 gerollt, bis die Schlitze 13 die Schäfte 9 der Gegenkoppelglieder 8 aufnehmen. Die Köpfe 10 besitzen dabei eine in 7 dargestellte Vertikallage, dass sie von den Schultern 30 der Tragabschnitte 11 beabstandet sind.
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Die Koppelglieder 7 nehmen in dieser Position eine Kopplungsstellung mit den Gegenkoppelgliedern 8 ein. Durch Drehen der Einstellwellen 17 werden sodann die Gegenkoppelglieder 8 vertikal nach oben verlagert, bis die Köpfe 10 die ihnen zugeordneten Schultern 30 von unten her beaufschlagen. Ein Weiterdrehen der Einstellwellen 17 führt dann zu einem Abheben der Laufräder 27 von den Schienen 26. Mittels einer nicht dargestellten Einstelllehre wird der Abstand a derart eingestellt, dass die Gasaustrittsfläche 5 einen definierten Abstand zum Substrathalter 3 einnimmt, wobei die Gasaustrittsfläche 5 parallel zum Substrathalter 3 verläuft.
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Ist die Justierstellung erreicht, so werden die Einstellwellen 17 drehfixiert. Dies kann mit dem Arretierstift 24 erfolgen, der in einer Arretieröffnung der Arretierscheibe 23 eingesteckt wird.
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Zur Entnahme des Gaseinlassorganes 2 wird die Arretierstellung gelöst und es werden die Handräder 22 beziehungsweise die Wellen 17 so lange gedreht, bis die Gegenkoppelglieder 8 die in der 7 dargestellte Lüftungsstellung gegenüber den Kopplungsgliedern 7 einnehmen, in der die Laufräder 27 auf den Schienen 26 aufliegen. Die Anzahl der Umdrehungen der Einstellwellen 17 wird gespeichert.
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Nach dem Herausrollen des Gaseinlassorganes 2 aus dem Reaktorgehäuse 1 und einen anschließenden wieder Hereinrollen des Gaseinlassorganes 2 in das Reaktorgehäuse 1, bei dem der Kopplungseingriff der Koppelglieder 7 in die Gegenkoppelglieder 8 getrennt und wieder erreicht wird, werden die Einstellwellen 17 um die gespeicherte Anzahl der Umdrehungen zurückgedreht, so dass das Gaseinlassorgan 2 die zuvor ermittelte Justierstellung erreicht.
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Die vorstehenden Ausführungen dienen der Erläuterung der von der Anmeldung insgesamt erfassten Erfindungen, die den Stand der Technik zumindest durch die folgenden Merkmalskombinationen jeweils auch eigenständig weiterbilden, wobei zwei, mehrere oder alle dieser Merkmalskombinationen auch kombiniert sein können, nämlich:
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Eine Vorrichtung, die dadurch gekennzeichnet ist, dass die Koppelglieder 7 zur Entnahme des Gaseinlassorganes 2 aus dem Reaktorgehäuse 1 in eine Trennstellung zu den Gegenkoppelgliedern 8 bringbar sind, in der sie nicht mit den Gegenkoppelgliedern 8 verbunden sind.
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Eine Vorrichtung, die dadurch gekennzeichnet ist, dass die Koppelglieder 7 durch eine Lageveränderung insbesondere quer zur Justierrichtung des Gaseinlassorganes 2 in die Trennstellung bzw. die Kopplungsstellung bringbar sind.
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Eine Vorrichtung, die dadurch gekennzeichnet ist, dass die Justierrichtung der Richtung einer Flächennormalen einer Gasaustrittsfläche 5 des Gaseinlassorganes 2 entspricht und die Lageveränderung in der Flächenerstreckung der Gasaustrittsfläche 5 erfolgt.
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Eine Vorrichtung, die dadurch gekennzeichnet ist, dass die Koppelglieder 7 die Gegenkoppelglieder 8 in der Kopplungsstellung hakenartig übergreifen.
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Eine Vorrichtung, die dadurch gekennzeichnet ist, dass die Koppelglieder 7 und die Gegenkoppelglieder 8 eine Koppeleinrichtung bilden, bei der ein Schaft 9 in ein zu einem Rand hin offenen Schlitz 13 steckt und ein am Schaft 9 befestigter Kopf 10 eine an den Schlitz 13 angrenzende Schulter 30 untergreift.
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Eine Vorrichtung, die dadurch gekennzeichnet ist, dass das Gaseinlassorgan 2 mit auf Schienen 26 geführten Laufrädern 27 lageveränderbar ist.
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Eine Vorrichtung, die dadurch gekennzeichnet ist, dass die Justiereinrichtung 6 außerhalb des Reaktorgehäuses 1 angeordnete Betätigungsmittel aufweist.
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Eine Vorrichtung, die dadurch gekennzeichnet ist, dass die Justiereinrichtung 6 ein von einer Einstellwelle 17 betätigbares Untersetzungsgetriebe 18, 19 aufweist, was eine Höhenverstellspindel 20 antreibt, mit welcher das Gegenkoppelglied 8 vertikal verlagerbar ist.
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Ein Verfahren zum Betrieb einer Vorrichtung, das dadurch gekennzeichnet ist, dass in einem Justierschritt insbesondere unter Verwendung einer Abstandslehre durch Variation eines Abstandes a zwischen dem Substrathalter 3 oder dem Substrat 4 und einer Gasauslassfläche 5 eines Gaseinlassorganes 2 mittels der Justiereinrichtung 6 die Gasauslassfläche 5 und die Oberfläche des Substrates 4 oder des Substrathalters 3 in eine Parallellage gebracht werden, in der dem Gaseinlassorgan 2 zugeordnete Laufräder 27 von am Reaktorgehäuse 1 befestigten Schienen 26 beabstandet sind, und nach zumindest einem Behandlungsschritt eines Substrates 4 das Gaseinlassorgan 2 aus dem Reaktorgehäuse 1 entnommen und wieder eingesetzt wird, wobei vor der Entnahme des Gaseinlassorganes 2 die Gegenkoppelglieder 8 mittels der Justiereinrichtung 6 jeweils um einen definierten Weg abgesenkt werden, bis die Laufräder 27 auf den Schienen 26 aufliegen und die Koppelglieder 7 gegenüber den Gegenkoppelgliedern 8 eine Lüftungsstellung einnehmen, wobei die Koppelglieder 7 beim Herausrollen des Gaseinlassorganes 2 aus dem Reaktorgehäuse 1 von den Gegenkoppelgliedern 8 getrennt werden, und wobei beim Hereinrollen des Gaseinlassorganes 2 in das Reaktorgehäuse 1 die Koppelglieder 7 mit den Gegenkoppelgliedern 8 in die Kopplungsstellung treten und anschließend mittels der Justierelemente 6 die Gegenkoppelglieder 8 um den definierten Weg wieder angehoben werden.
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Alle offenbarten Merkmale sind (für sich, aber auch in Kombination untereinander erfindungswesentlich. In die Offenbarung der Anmeldung wird hiermit auch der Offenbarungsinhalt der zugehörigen/beigefügten Prioritätsunterlagen (Abschrift der Voranmeldung vollinhaltlich mit einbezogen, auch zu dem Zweck, Merkmale dieser Unterlagen in Ansprüche vorliegender Anmeldung mit aufzunehmen. Die Unteransprüche charakterisieren, auch ohne die Merkmale eines in Bezug genommenen Anspruchs, mit ihren Merkmalen eigenständige erfinderische Weiterbildungen des Standes der Technik, insbesondere um auf Basis dieser Ansprüche Teilanmeldungen vorzunehmen. Die in jedem Anspruch angegebene Erfindung kann zusätzlich ein oder mehrere der in der vorstehenden Beschreibung, insbesondere mit Bezugsziffern versehene und/oder in der Bezugsziffernliste angegebene Merkmale aufweisen. Die Erfindung betrifft auch Gestaltungsformen, bei denen einzelne der in der vorstehenden Beschreibung genannten Merkmale nicht verwirklicht sind, insbesondere soweit sie erkennbar für den jeweiligen Verwendungszweck entbehrlich sind oder durch andere technisch gleichwirkende Mittel ersetzt werden können.
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Bezugszeichenliste
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- 1
- Reaktorgehäuse
- 2
- Gaseinlassorgan
- 3
- Substrathalter
- 4
- Substrat
- 5
- Gasaustrittsfläche
- 6
- Justiereinrichtung
- 7
- Koppelglieder
- 8
- Gegenkoppelglieder
- 9
- Schaft
- 10
- Kopf
- 11
- Tragabschnitt
- 12
- Distanzabschnitt
- 13
- Schlitz
- 14
- Führung
- 15
- Kopf
- 16
- Balgen
- 17
- Welle
- 18
- Schnecke
- 19
- Schneckenrad
- 20
- Gewindespindel
- 21
- Spindelmutter
- 22
- Handrad
- 23
- Arretierscheibe
- 24
- Arretierstift
- 25
- Böckchen
- 26
- Schiene
- 27
- Laufrad
- 28
- Interface
- 29
- Gaseinlass
- 30
- Schulter
- 31
- Beladeeinrichtung
- a
- Abstand
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ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG
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Diese Liste der vom Anmelder aufgeführten Dokumente wurde automatisiert erzeugt und ist ausschließlich zur besseren Information des Lesers aufgenommen. Die Liste ist nicht Bestandteil der deutschen Patent- bzw. Gebrauchsmusteranmeldung. Das DPMA übernimmt keinerlei Haftung für etwaige Fehler oder Auslassungen.
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Zitierte Patentliteratur
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- US 8895452 B2 [0005]
- US 8033001 B2 [0005]
- US 9290843 B2 [0005]
