DE102017115181B4 - Optoelectronic semiconductor component and manufacturing method for an optoelectronic semiconductor component - Google Patents
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Abstract
Optoelektronisches Halbleiterbauteil (1) mit- einem optoelektronischen Halbleiterchip (2) zur Erzeugung von Primärstrahlung,- einem Vergusskörper (3) zur Reflexion der Primärstrahlung,- einem Leuchtstoffkörper (4) zur mindestens teilweisen Umwandlung der Primärstrahlung in eine langwelligere Sekundärstrahlung, und- einem Spiegelkörper (5) zur Reflexion der Primärstrahlung und der Sekundärstrahlung, wobei- der Vergusskörper (3) Seitenflächen (21) des Halbleiterchips (2) mindestens überwiegend bedeckt,- der Leuchtstoffkörper (4) eine Chipoberseite (23) vollständig bedeckt, und- der Spiegelkörper (5) eine dem Halbleiterchip (2) abgewandte Leuchtstoffoberseite (40) des Leuchtstoffkörpers (4) und den Halbleiterchip (2) vollständig bedeckt,- eine Vergussoberseite (30) des Vergusskörpers (3) nur zum Teil von dem Leuchtstoffkörper (4) bedeckt ist,- ein seitlicher Überstand des Leuchtstoffkörpers (4) über den Halbleiterchip (2) zwischen einschließlich 5 % und 20 % einer Diagonalenlänge des Halbleiterchips (2) in Draufsicht gesehen liegt,- ein seitlicher Überstand des Vergusskörpers (3) über den Leuchtstoffkörper (4) bei mindestens 10 % der Diagonalenlänge liegt,- der Spiegelkörper (5) den Leuchtstoffkörper (4) seitlich überragt und/oder der Spiegelkörper (5) in einem Randbereich eine geringere Dicke aufweist als in einem Zentralbereich, und- der Spiegelkörper (5) undurchlässig für die Primärstrahlung und die Sekundärstrahlung ist.Optoelectronic semiconductor component (1) with - an optoelectronic semiconductor chip (2) for generating primary radiation, - a potting body (3) for reflecting the primary radiation, - a phosphor body (4) for at least partially converting the primary radiation into a longer-wave secondary radiation, and - a mirror body (5) for reflecting the primary radiation and the secondary radiation, wherein- the potting body (3) at least predominantly covers side surfaces (21) of the semiconductor chip (2),- the phosphor body (4) completely covers a chip top side (23), and- the mirror body ( 5) a phosphor top side (40) of the phosphor body (4) that faces away from the semiconductor chip (2) and completely covers the semiconductor chip (2), - a potting top side (30) of the potting body (3) is only partially covered by the phosphor body (4), - A lateral overhang of the phosphor body (4) over the semiconductor chip (2) between 5% and 20% of a diagonal length of the half conductor chips (2) seen in plan view, - a lateral projection of the casting body (3) over the luminescent body (4) is at least 10% of the diagonal length, - the mirror body (5) protrudes laterally beyond the luminescent body (4) and/or the mirror body (5) has a smaller thickness in an edge area than in a central area, and the mirror body (5) is impermeable to the primary radiation and the secondary radiation.
Description
Es wird ein optoelektronisches Halbleiterbauteil angegeben. Darüber hinaus wird ein Herstellungsverfahren für ein solches Halbleiterbauteil angegeben.An optoelectronic semiconductor component is specified. In addition, a manufacturing method for such a semiconductor component is specified.
Die Druckschrift US 2015 / 0 049 510 A1 betrifft ein strahlungsemittierendes Halbleiterbauteil sowie ein Display mit einem solchen Bauteil.The publication US 2015/0 049 510 A1 relates to a radiation-emitting semiconductor component and a display with such a component.
Die Druckschrift
Die Druckschrift
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Die Druckschrift WO 2012 / 156 514 A1 ein optoelektronisches Halbleiterchip mit einem Lumineszenzkonversionselement, das ein erster Plättchen und ein zweites Plättchen aufweist.The publication WO 2012/156 514 A1 describes an optoelectronic semiconductor chip with a luminescence conversion element, which has a first lamina and a second lamina.
Die Druckschrift
Eine zu lösende Aufgabe liegt darin, ein optoelektronisches Halbleiterbauteil anzugeben, das eine hohe seitliche Abstrahleffizienz aufweist.One problem to be solved is to specify an optoelectronic semiconductor component that has a high lateral emission efficiency.
Diese Aufgabe wird unter anderem durch ein optoelektronisches Halbleiterbauteil und durch ein Herstellungsverfahren mit den Merkmalen der unabhängigen Patentansprüche gelöst. Bevorzugte Weiterbildungen sind Gegenstand der abhängigen Ansprüche.This object is achieved, inter alia, by an optoelectronic semiconductor component and by a production method having the features of the independent patent claims. Preferred developments are the subject matter of the dependent claims.
Das Halbleiterbauteil umfasst einen oder mehrere optoelektronische Halbleiterchips. Der mindestens eine Halbleiterchip ist zur Erzeugung einer Primärstrahlung eingerichtet, insbesondere zur Erzeugung von sichtbarem Licht wie blauem Licht. Bei dem Halbleiterchip handelt es sich bevorzugt um einen Leuchtdiodenchip, kurz LED-Chip. Beispielsweise liegt eine Wellenlängen maximaler Intensität der Primärstrahlung bei mindestens 380 nm oder 420 nm und/oder bei höchstens 520 nm oder 470 nm.The semiconductor component includes one or more optoelectronic semiconductor chips. The at least one semiconductor chip is set up to generate primary radiation, in particular to generate visible light such as blue light. The semiconductor chip is preferably a light-emitting diode chip, or LED chip for short. For example, a wavelength of maximum intensity of the primary radiation is at least 380 nm or 420 nm and/or at most 520 nm or 470 nm.
Das Halbleiterbauteil weist einen Vergusskörper auf. Der Vergusskörper ist zur Reflexion der Primärstrahlung eingerichtet. Der Vergusskörper kann diffus reflektierend oder spekular reflektierend ausgeführt sein.The semiconductor component has a potting body. The potting body is set up to reflect the primary radiation. The potting body can be diffusely reflective or specularly reflective.
Der Vergusskörper bedeckt Seitenflächen des Halbleiterchips mindestens überwiegen. Dies bedeutet etwa, dass die Seitenflächen zu mindestens 60 % oder 80 % oder 90 % oder 95 % von dem Vergusskörper bedeckt sind, insbesondere unmittelbar bedeckt. Bevorzugt sind die Seitenflächen des Halbleiterchips vollständig von dem Vergusskörper bedeckt. The potting body covers at least most of the side faces of the semiconductor chip. This means, for example, that the side surfaces are covered by the potting body by at least 60% or 80% or 90% or 95%, in particular covered directly. The side faces of the semiconductor chip are preferably completely covered by the potting body.
Das Halbleiterbauteil weist einen Leuchtstoffkörper auf. Der Leuchtstoffkörper ist zur teilweisen oder vollständigen Umwandlung der Primärstrahlung in eine Sekundärstrahlung eingerichtet.The semiconductor component has a phosphor body. The phosphor body is set up for the partial or complete conversion of the primary radiation into a secondary radiation.
Die Sekundärstrahlung ist langwelliger als die Primärstrahlung. Beispielsweise handelt es sich bei der Sekundärstrahlung um grünes, gelbes und/oder rotes Licht. Durch die Sekundärstrahlung zusammen mit nicht-konvertierten Anteilen der Primärstrahlung wird bevorzugt weißes Licht gebildet, beispielsweise warmweißes Licht mit einer korrelierten Farbtemperatur von mindestens 2500 K und/oder höchstens 4000 K. Es ist möglich, dass die Sekundärstrahlung mehrere Strahlungsanteile aufweist, die von mehreren Leuchtstoffen im Leuchtstoffkörper erzeugt werden. Beispielsweise ist ein Leuchtstoff wie YAG:Ce zur Erzeugung von gelbem Licht und ein Nitrid-Leuchtstoff zur Erzeugung von rotem Licht vorhanden.The secondary radiation has a longer wavelength than the primary radiation. For example, the secondary radiation is green, yellow and/or red light. The secondary radiation together with non-converted components of the primary radiation preferably forms white light, for example warm white light with a correlated color temperature of at least 2500 K and/or at most 4000 K. It is possible for the secondary radiation to have several radiation components that come from several phosphors are generated in the phosphor body. For example, there is a phosphor such as YAG:Ce to produce yellow light and a nitride phosphor to produce red light.
Das Halbleiterbauteil umfasst einen Spiegelkörper. Der Spiegelkörper ist mindestens zur teilweisen Reflexion der Primärstrahlung und der Sekundärstrahlung eingerichtet. Insbesondere reflektiert der Spiegelkörper diffus, kann alternativ aber auch spekular reflektierend gestaltet sein. Weiterhin ist der Spiegelkörper undurchlässig für die Primärstrahlung und die Sekundärstrahlung oder nur schwach durchlässig. Beispielsweise liegt ein Transmissionsgrad des Spiegelkörpers für die Primärstrahlung und/oder die Sekundärstrahlung bei höchstens 10 % oder 5 % oder 1 % oder 0,1 %.The semiconductor device includes a mirror body. The mirror body is set up for at least partial reflection of the primary radiation and the secondary radiation. In particular, the mirror body reflects diffusely, but can alternatively also be specularly reflective. Furthermore, the mirror body is impermeable to the primary radiation and the secondary radiation or only weakly permeable. For example, a transmittance of the mirror body for the primary radiation and/or the secondary radiation is at most 10% or 5% or 1% or 0.1%.
Eine Chipoberseite des Halbleiterchips ist vollständig von dem Leuchtstoffkörper bedeckt. Dabei kann der Leuchtstoffkörper die Chipoberseite ganzflächig berühren. Insbesondere ist der Leuchtstoffkörper der Chipoberseite optisch unmittelbar nachgeordnet. Dies kann bedeuten, dass sich zwischen dem Leuchtstoffkörper und der Chipoberseite eine bevorzugt optisch nicht funktionalisierte Schicht wie eine Kleberschicht befindet.A chip top side of the semiconductor chip is completely covered by the phosphor body. In this case, the luminescent body can touch the entire surface of the top side of the chip. In particular, the phosphor body is optically arranged directly downstream of the top side of the chip. This can mean that a preferably optically non-functionalized layer such as an adhesive layer is located between the luminescent body and the top side of the chip.
Der Spiegelkörper bedeckt eine dem Halbleiterchip abgewandte Leuchtstoffoberseite des Leuchtstoffkörpers mindestens vollständig. Der Spiegelkörper kann sich direkt auf dem Leuchtstoffkörper befinden.The mirror body at least completely covers a phosphor top side of the phosphor body that faces away from the semiconductor chip. the game gel body can be located directly on the phosphor body.
Der Halbleiterchip ist in Draufsicht gesehen vollständig von dem Spiegelkörper bedeckt. Damit kann von dem Halbleiterchip keine Primärstrahlung oder kein signifikanter Anteil der Primärstrahlung in Richtung senkrecht zur Chipoberseite aus dem Halbleiterbauteil heraustreten.The semiconductor chip is completely covered by the mirror body when viewed from above. This means that no primary radiation or no significant portion of the primary radiation can escape from the semiconductor component in the direction perpendicular to the top side of the chip.
Das optoelektronische Halbleiterbauteil umfasst einen optoelektronischen Halbleiterchip zur Erzeugung von Primärstrahlung. Ein Vergusskörper ist zur Reflektion der Primärstrahlung eingerichtet. Ein Leuchtstoffkörper dient zur mindestens teilweisen Umwandlung der Primärstrahlung in eine langwelligere Sekundärstrahlung. Ein Spiegelkörper zur bevorzugt diffusen Reflexion der Primärstrahlung und der Sekundärstrahlung bedeckt den Halbleiterchip vollständig und eine dem Halbleiterchip abgewandte Leuchtstoffoberseite des Leuchtstoffkörpers vollständig. Der Vergusskörper bedeckt Seitenflächen des Halbleiterchips mindestens überwiegend. Eine Chipoberseite des Halbleiterchips ist vollständig von dem Leuchtstoffkörper bedeckt.The optoelectronic semiconductor component includes an optoelectronic semiconductor chip for generating primary radiation. A potting body is set up to reflect the primary radiation. A phosphor body is used for at least partial conversion of the primary radiation into a longer-wavelength secondary radiation. A mirror body for preferably diffuse reflection of the primary radiation and the secondary radiation completely covers the semiconductor chip and completely covers a phosphor top side of the phosphor body that faces away from the semiconductor chip. The potting body at least predominantly covers side areas of the semiconductor chip. A chip top side of the semiconductor chip is completely covered by the phosphor body.
Mit dem hier beschriebenen Halbleiterbauteil ist es möglich, dünnere und hellere Hinterleuchtungseinrichtungen etwa für LCD-Displays zu realisieren. Dabei kann eine vergleichsweise geringe Anzahl von Halbleiterbaueilen pro Flächeneinheit realisiert werden, da eine hohe seitliche Abstrahleffizienz der beschriebenen Halbleiterbauteile gegeben ist.With the semiconductor component described here, it is possible to implement thinner and brighter backlighting devices, for example for LCD displays. In this way, a comparatively small number of semiconductor components can be implemented per unit area, since the semiconductor components described have a high lateral radiation efficiency.
Andere Möglichkeiten, Halbleiterbauteile zur Hinterleuchtung von Displays aufzubauen, liegen in der Verwendung von externen Optiken. Damit gehen jedoch vergleichsweise hohe Prozesskosten einher. Weiterhin werden hohe Anforderungen an die Prozesstoleranzen gestellt, insbesondere bei der Platzierung einer Optik wie einer Linse. Alternativ werden Halbleiterbauteile wie in der Druckschrift
Mit dem hier beschriebenen Halbleiterbauteil ist eine erhöhte optische Effizienz erzielbar. Dabei liegt ein vergleichsweise kleines Emissionsvolumen insbesondere in dem Leuchtstoffkörper vor. Hierdurch wird eine Anzahl interner Reflexionen reduziert und die Lichtauskopplungseffizienz wird erhöht. Darüber hinaus schützt der Vergusskörper, etwa aus einem mit Titandioxidpartikeln versetzten Silikon, ein Substrat, etwa in Form einer Leiterplatte wie ein PCB oder ein sogenannter Lightbar, vor Alterung durch die Primärstrahlung des Halbleiterchips.Increased optical efficiency can be achieved with the semiconductor component described here. In this case, there is a comparatively small emission volume, in particular in the phosphor body. This reduces a number of internal reflections and increases the light extraction efficiency. In addition, the potting body, for example made of silicone mixed with titanium dioxide particles, protects a substrate, for example in the form of a printed circuit board such as a PCB or a so-called light bar, from aging caused by the primary radiation of the semiconductor chip.
Ein solches Halbleiterbauteil wird insbesondere dadurch hergestellt, dass die Halbleiterchips auf das Substrat geklebt werden und optional durch Bonddrähte elektrisch angeschlossen werden. Der Vergusskörper wird insbesondere über Spritzpressen, auch als Molden bezeichnet, erzeugt, sodass die Chipoberseiten frei bleiben. Anschließend werden die Leuchtstoffkörper auf den Chipoberseiten erzeugt, wiederum bevorzugt mittels Spritzpressen. Die Leuchtstoffkörper sind insbesondere aus einem Silikon gebildet, in das Leuchtstoffpartikel eingebracht werden. Dabei ist es möglich, dass Bonddrähte komplett vergossen sind und sich vollständig in dem Vergusskörper zusammen mit dem Leuchtstoffkörper, insbesondere vollständig in einem Silikon, befinden. Daraufhin werden als hochreflektierende Schichten die Spiegelkörper auf den Leuchtstoffkörpern aufgebracht, beispielsweise über Spritzpressen oder über ein Kleben. Schließlich erfolgt ein Vereinzeln zu den Halbleiterbauteilen.Such a semiconductor component is produced in particular in that the semiconductor chips are glued onto the substrate and optionally electrically connected by bonding wires. The encapsulation body is produced in particular by transfer molding, also referred to as molding, so that the chip tops remain free. The phosphor bodies are then produced on the chip tops, again preferably by means of transfer molding. The phosphor bodies are formed in particular from a silicone into which phosphor particles are introduced. In this case, it is possible for bonding wires to be completely encapsulated and to be located completely in the encapsulation body together with the phosphor body, in particular completely in a silicone. The mirror bodies are then applied to the phosphor bodies as highly reflective layers, for example by transfer molding or by gluing. Finally, the semiconductor components are separated.
Zusammengefasst lässt sich mit dem hier beschriebenen Halbleiterbauteil eine erhöhte optische Effizienz insbesondere durch das verkleinerte Emissionsvolumen im Leuchtstoffkörper realisieren. Es wird eine reduzierte Alterung des Substrats, etwa eine gedruckte Leiterplatte, kurz PCB, erreicht, da das Substrat durch den Vergusskörper vor der Primärstrahlung schützbar ist. Ferner erfolgt keine Beschädigung von Leuchtstoffpartikeln beim Vereinzelungsprozess.In summary, an increased optical efficiency can be achieved with the semiconductor component described here, in particular due to the reduced emission volume in the phosphor body. Reduced aging of the substrate, such as a printed circuit board, or PCB for short, is achieved since the substrate can be protected from the primary radiation by the potting body. Furthermore, the phosphor particles are not damaged during the separation process.
Gemäß zumindest einer Ausführungsform umfasst das Halbleiterbauteil einen Transmissionskörper. Der Transmissionskörper ist bevorzugt durchlässig sowohl für die Primärstrahlung als auch für die Sekundärstrahlung. Ein Transmissionsgrad des Transmissionskörpers für die Primärstrahlung und/oder die Sekundärstrahlung liegt beispielsweise bei mindestens 90 % oder 95 %.In accordance with at least one embodiment, the semiconductor component comprises a transmission body. The transmission body is preferably permeable both to the primary radiation and to the secondary radiation. A transmittance of the transmission body for the primary radiation and/or the secondary radiation is at least 90% or 95%, for example.
Gemäß zumindest einer Ausführungsform befindet sich der Transmissionskörper direkt zwischen dem Leuchtstoffkörper und dem Spiegelkörper. Dabei bedeckt der Transmissionskörper die Leuchtstoffoberseite bevorzugt vollständig. Der Spiegelkörper wiederum bedeckt bevorzugt den Transmissionskörper vollständig. Abweichend hiervon ist es möglich, dass der Leuchtstoffkörper nur zum Teil vom Transmissionskörper und der Transmissionskörper nur zum Teil vom Spiegelkörper bedeckt ist. Weiterhin ist es alternativ möglich, dass sich der Transmissionskörper, dann etwa gestaltet als eine Kleberschicht, zwischen dem Halbleiterchip und dem Leuchtstoffkörper befindet und/oder unmittelbar an diese angrenzt.According to at least one embodiment, the transmission body is located directly between the phosphor body and the mirror body. In this case, the transmission body preferably covers the top side of the phosphor completely. The mirror body in turn preferably completely covers the transmission body. Deviating from this, it is possible that the phosphor body is only partially covered by the transmission body and the transmission body is only partially covered by the mirror body. Furthermore, it is alternatively possible that the transmission body, then configured as an adhesive layer, for example, is located between the semiconductor chip and the phosphor body and/or is directly adjacent to them.
Die Vergussoberseite des Vergusskörpers ist nur zum Teil und bevorzugt direkt von dem Leuchtstoffkörper bedeckt. Dabei liegt ein seitlicher Überstand des Leuchtstoffkörpers über den Halbleiterchip, in Richtung parallel zur Chipoberseite, bei mindestens 5 % oder 10 % einer Diagonalenlänge des Halbleiterchips, in Draufsicht gesehen. Zusätzlich liegt dieser Überstand bei höchstens 20 % oder 15 % der Diagonalenlänge. Alternativ oder zusätzlich beträgt dieser Überstand mindestens 20 µm oder 50 µm und/oder höchstens 0,5 mm oder 0,2 mm. Insbesondere liegt dieser Überstand bei ungefähr 0,1 mm.The encapsulation top of the encapsulation body is covered only partially and preferably directly by the phosphor body. There is a lateral over Stand of the phosphor body over the semiconductor chip, in the direction parallel to the chip top, at least 5% or 10% of a diagonal length of the semiconductor chip, seen in plan view. In addition, this overhang is at most 20% or 15% of the diagonal length. Alternatively or additionally, this overhang is at least 20 μm or 50 μm and/or at most 0.5 mm or 0.2 mm. In particular, this overhang is approximately 0.1 mm.
Der Vergusskörper überragt den Leuchtstoffkörper seitlich. Ein Überstand oder mittlerer Überstand des Vergusskörpers über den Leuchtstoffkörper liegt bei mindestens 10 % der mittleren Diagonalenlänge des Halbleiterchips und/oder bei bevorzugt höchstens 25 % oder 15 % oder 10 %. Alternativ oder zusätzlich beträgt dieser Überstand mindestens 20 µm oder 50 µm und/oder höchstens 1,5 mm oder 0,5 mm oder 0,3 mm. Insbesondere liegt dieser Überstand bei ungefähr 0,2 mm. Es ist möglich, dass der Überstand des Vergusskörpers über den Leuchtstoffkörper größer ist als der Überstand des Leuchtstoffkörpers über die Chipoberseite.The potting body protrudes laterally beyond the phosphor body. An overhang or average overhang of the potting body over the phosphor body is at least 10% of the average diagonal length of the semiconductor chip and/or preferably at most 25% or 15% or 10%. Alternatively or additionally, this overhang is at least 20 μm or 50 μm and/or at most 1.5 mm or 0.5 mm or 0.3 mm. In particular, this overhang is approximately 0.2 mm. It is possible that the overhang of the potting body over the phosphor body is greater than the overhang of the phosphor body over the top side of the chip.
Gemäß zumindest einer Ausführungsform schließt der Vergusskörper in Richtung senkrecht zur Chipoberseite bündig mit dem Halbleiterchip ab. Das heißt, die Vergussoberseite und die Chipoberseite können in einer gemeinsamen Ebene liegen.In accordance with at least one embodiment, the potting body terminates flush with the semiconductor chip in the direction perpendicular to the top side of the chip. This means that the top side of the encapsulation and the top side of the chip can lie in a common plane.
Gemäß zumindest einer Ausführungsform weist der Leuchtstoffkörper, optional der Leuchtstoffkörper zusammen mit dem Transmissionskörper, eine Dicke oder mittlere Dicke von mindestens 30 % oder 50 % oder 80 % der Diagonalenlänge des Halbleiterchips auf. Alternativ oder zusätzlich liegt die Dicke des Leuchtstoffkörpers, optional zusammen mit dem Transmissionskörper, bei höchstens 150 % oder 110 % oder 90 % der Diagonalenlänge des Halbleiterchips. Alternativ oder zusätzlich liegt die Dicke oder mittlere Dicke des Leuchtstoffkörpers, optional zusammen mit dem Transmissionskörper, bei mindestens 0,3 mm oder 0,4 mm oder 0,5 mm und/oder bei höchstens 1,2 mm oder 1 mm oder 0,8 mm. Dabei liegt eine Diagonalenlänge des Halbleiterchips beispielsweise bei 0,7 mm, entsprechend etwa einem quadratischen Grundriss mit einer Kantenlänge von 0,5 mm.In accordance with at least one embodiment, the phosphor body, optionally the phosphor body together with the transmission body, has a thickness or average thickness of at least 30% or 50% or 80% of the diagonal length of the semiconductor chip. Alternatively or additionally, the thickness of the phosphor body, optionally together with the transmission body, is at most 150% or 110% or 90% of the diagonal length of the semiconductor chip. Alternatively or additionally, the thickness or average thickness of the phosphor body, optionally together with the transmission body, is at least 0.3 mm or 0.4 mm or 0.5 mm and/or at most 1.2 mm or 1 mm or 0.8 mm. In this case, a diagonal length of the semiconductor chip is 0.7 mm, for example, corresponding approximately to a square outline with an edge length of 0.5 mm.
Gemäß zumindest einer Ausführungsform sind der Vergusskörper und der Spiegelkörper aus den gleichen Materialien. Dabei liegen diese Materialien bevorzugt in der gleichen Zusammensetzung, insbesondere mit gleichen relativen Anteilen zueinander, vor. Beispielsweise weisen der Vergusskörper und/oder der Spiegelkörper als Matrixmaterial ein Silikon auf. In das Matrixmaterial ist ein reflektierendes Material eingebracht, insbesondere in Form von reflektierenden Partikeln. Bei den reflektierenden Partikeln handelt es sich beispielsweise um Metalloxidpartikel wie Titandioxidpartikel.According to at least one embodiment, the potting body and the mirror body are made of the same materials. These materials are preferably present in the same composition, in particular with the same proportions relative to one another. For example, the potting body and/or the mirror body have a silicone as the matrix material. A reflective material is introduced into the matrix material, in particular in the form of reflective particles. The reflective particles are, for example, metal oxide particles such as titanium dioxide particles.
Gemäß zumindest einer Ausführungsform weist der Leuchtstoffkörper ein Matrixmaterial auf, in das Leuchtstoffpartikel eines oder mehrerer Leuchtstoffe eingebettet sind. Das Matrixmaterial ist beispielsweise ein Silikon. Es ist möglich, dass es sich bei dem Matrixmaterial des Leuchtstoffkörpers um das gleiche Material handelt wie bei den Matrixmaterialien des Vergusskörpers und/oder des Spiegelkörpers.In accordance with at least one embodiment, the phosphor body has a matrix material in which phosphor particles of one or more phosphors are embedded. The matrix material is a silicone, for example. It is possible for the matrix material of the phosphor body to be the same material as the matrix materials of the potting body and/or the mirror body.
Gemäß zumindest einer Ausführungsform emittiert das Halbleiterbauteil in Richtung parallel zur Chipoberseite nach allen Richtungen hin sowohl die Sekundärstrahlung als auch die Primärstrahlung. Somit kann allseitig eine Mischstrahlung emittiert werden. Mit anderen Worten ist das Halbleiterbauteil als Rundumemitter, auch bezeichnet als Side-Emitter oder Side-Looker, gestaltet.In accordance with at least one embodiment, the semiconductor component emits both the secondary radiation and the primary radiation in all directions in a direction parallel to the top side of the chip. Mixed radiation can thus be emitted on all sides. In other words, the semiconductor component is designed as an all-round emitter, also referred to as a side emitter or side looker.
Gemäß zumindest einer Ausführungsform erstreckt sich der Spiegelkörper in einem Zentralbereich mittig über der Chipoberseite näher an den Halbleiterchip heran als in einem den Zentralbereich in Draufsicht gesehen bevorzugt ringsum umlaufenden Randbereich. Mit anderen Worten ist es möglich, dass der Leuchtstoffkörper, optional zusammen mit dem Transmissionskörper, mittig über der Chipoberseite eine geringere Dicke aufweist als in dem Randbereich. Beispielsweise ist der Spiegelkörper im Querschnitt gesehen dreieckig oder trapezförmig oder konvex geformt, wobei sich der Spiegelkörper in Richtung hin zu dem Halbleiterchip verschmälern kann.In accordance with at least one embodiment, the mirror body extends in a central area centrally above the chip top side closer to the semiconductor chip than in an edge area that preferably runs all the way around the central area as seen in a top view. In other words, it is possible for the phosphor body, optionally together with the transmission body, to have a smaller thickness in the center above the top side of the chip than in the edge region. For example, the mirror body has a triangular or trapezoidal or convex shape when viewed in cross section, it being possible for the mirror body to narrow in the direction towards the semiconductor chip.
Gemäß zumindest einer Ausführungsform weist der Spiegelkörper eine gleichbleibende, konstante Dicke auf. Das heißt, der Spiegelkörper ist dann frei von einer absichtlich erzeugten Dickenvariation. Gleiches kann für den Vergusskörper, den Leuchtstoffkörper und/oder den Transmissionskörper gelten.In accordance with at least one embodiment, the mirror body has a consistent, constant thickness. That is, the mirror body is then free from an intentionally generated thickness variation. The same can apply to the potting body, the phosphor body and/or the transmission body.
Der Spiegelkörper weist in dem Randbereich eine geringere Dicke auf als in dem Zentralbereich. Insbesondere ist der Spiegelkörper in dem Zentralbereich undurchlässig für die Primärstrahlung und die Sekundärstrahlung. Es ist möglich, dass in dem Randbereich der Spiegelkörper zu einem größeren Anteil durchlässig für die Sekundärstrahlung und/oder die Primärstrahlung ist. Beispielsweise liegt ein Transmissionsgrad des Spiegelkörpers dann im Randbereich bei mindestens 2 % oder 5 % und/oder bei höchstens 20 % oder 10 % oder 5 %. Es ist möglich, dass der Randbereich in Draufsicht gesehen neben der Chipoberseite liegt. In dem Zentralbereich, der deckungsgleich zur Chipoberseite verlaufen kann, kann der Spiegelkörper eine konstante Dicke aufweisen. In dem Randbereich kann die Dicke variieren, insbesondere nach außen hin stetig abnehmen.The mirror body has a smaller thickness in the edge area than in the central area. In particular, the mirror body is opaque to the primary radiation and the secondary radiation in the central area. It is possible for the mirror body to be permeable to a greater extent for the secondary radiation and/or the primary radiation in the edge region. For example, the transmittance of the mirror body in the edge area is at least 2% or 5% and/or at most 20% or 10% or 5%. It is possible that the edge area is next to the top of the chip when viewed from above. In the central area, which can run congruently with the top side of the chip, the mirror body can have a constant have thickness. The thickness can vary in the edge region, in particular steadily decrease towards the outside.
Gemäß zumindest einer Ausführungsform liegt eine Dicke des Leuchtstoffkörpers zwischen einer Dicke des Vergusskörpers und einer Dicke des Spiegelkörpers. Dabei kann der Vergusskörper dicker sein als der Spiegelkörper.According to at least one embodiment, a thickness of the phosphor body is between a thickness of the potting body and a thickness of the mirror body. In this case, the casting body can be thicker than the mirror body.
Gemäß zumindest einer Ausführungsform umfasst das Halbleiterbauteil ein Substrat. Bevorzugt sind der Halbleiterchip und der Vergusskörper gemeinsam auf dem Substrat aufgebracht, insbesondere unmittelbar aufgebracht. So befindet sich zwischen dem Substrat und dem Halbleiterchip bevorzugt lediglich ein Verbindungsmittel wie ein Lot oder ein elektrisch leitfähiger Kleber.In accordance with at least one embodiment, the semiconductor component comprises a substrate. The semiconductor chip and the potting body are preferably applied together on the substrate, in particular applied directly. Thus, there is preferably only one connecting means such as a solder or an electrically conductive adhesive between the substrate and the semiconductor chip.
Gemäß zumindest einer Ausführungsform umfasst das Substrat elektrische Kontaktflächen zur externen elektrischen Kontaktierung des Halbleiterbauteils. Alternativ befinden sich solche elektrischen Kontaktflächen, insbesondere falls kein Substrat vorhanden ist, direkt an dem Halbleiterchip.In accordance with at least one embodiment, the substrate comprises electrical contact areas for external electrical contacting of the semiconductor component. Alternatively, such electrical contact areas are located directly on the semiconductor chip, in particular if there is no substrate.
Gemäß zumindest einer Ausführungsform ist das Halbleiterbauteil oberflächenmontierbar. Dies ist über die Kontaktflächen an einer Montageseite des Substrats oder über Kontaktflächen direkt an dem Halbleiterchip realisierbar.In accordance with at least one embodiment, the semiconductor component can be surface-mounted. This can be implemented via the contact areas on a mounting side of the substrate or via contact areas directly on the semiconductor chip.
Gemäß zumindest einer Ausführungsform wird der Halbleiterchip mit mindestens einem Bonddraht an der Chipoberseite elektrisch kontaktiert. Der Bonddraht erstreckt sich bevorzugt ausgehend von dem Substrat zur Chipoberseite.In accordance with at least one embodiment, the semiconductor chip is electrically contact-connected with at least one bonding wire on the top side of the chip. The bonding wire preferably extends starting from the substrate to the chip top.
Gemäß zumindest einer Ausführungsform liegt der Bonddraht vollständig in dem Vergusskörper zusammen mit dem Leuchtstoffkörper und optional zusammen mit dem Transmissionskörper. Dadurch ist der Bonddraht effizient vor äußeren Einflüssen geschützt, insbesondere mechanisch.According to at least one embodiment, the bonding wire lies completely in the potting body together with the phosphor body and optionally together with the transmission body. As a result, the bonding wire is efficiently protected against external influences, in particular mechanical ones.
Gemäß zumindest einer Ausführungsform handelt es sich bei dem Halbleiterchip um einen Flip-Chip. Das heißt, alle elektrischen Kontaktflächen zur externen elektrischen Kontaktierung des Halbleiterchips befinden sich an einer gemeinsamen Hauptseite, welche bevorzugt dem Leuchtstoffkörper abgewandt ist.According to at least one embodiment, the semiconductor chip is a flip chip. This means that all electrical contact areas for external electrical contacting of the semiconductor chip are located on a common main side, which preferably faces away from the phosphor body.
Gemäß zumindest einer Ausführungsform ist der Halbleiterchip unmittelbar und bevorzugt bonddrahtfrei mechanisch und elektrisch auf dem Substrat angebracht. Es ist möglich, dass das Substrat die mechanisch tragende und stabilisierende Komponente des Halbleiterbauteils darstellt. Bei dem Substrat kann es sich um ein sogenanntes Submount handeln.In accordance with at least one embodiment, the semiconductor chip is attached mechanically and electrically to the substrate directly and preferably without bonding wires. It is possible for the substrate to represent the mechanically supporting and stabilizing component of the semiconductor device. The substrate can be a so-called submount.
Gemäß zumindest einer Ausführungsform umfasst das Halbleiterbauteil ein Verbindungsmittel, das insbesondere ein Klebstoff ist. Beispielsweise ist der Halbleiterchip mittels des Verbindungsmittels an dem Substrat befestigt, entweder elektrisch leitfähig oder elektrisch isolierend.In accordance with at least one embodiment, the semiconductor component comprises a connecting means, which is in particular an adhesive. For example, the semiconductor chip is attached to the substrate by means of the connecting means, either in an electrically conductive or electrically insulating manner.
Gemäß zumindest einer Ausführungsform bedeckt das Verbindungsmittel die Chipseitenflächen teilweise. Ein Bedeckungsgrad der Chipseitenflächen durch das Verbindungsmittel liegt zum Beispiel bei höchstens 30 % oder 20 %.In accordance with at least one embodiment, the connecting means partially covers the chip side surfaces. A degree of coverage of the chip side faces by the connecting means is, for example, at most 30% or 20%.
Gemäß zumindest einer Ausführungsform ist das Verbindungsmittel im Querschnitt gesehen dreieckig geformt. Das Verbindungsmittel ist im Querschnitt gesehen bevorzugt von den Chipseitenflächen, dem Substrat und dem Vergusskörper eingeschlossen. Das Verbindungsmittel kann eine Kehle, geformt zwischen den Chipseitenflächen und dem Substrat, bilden. Eine Seitenfläche des Verbindungsmittels, die von den Chipseitenflächen hin zu dem Substrat reicht, kann im Querschnitt gesehen gerade verlaufen oder alternativ konvex oder konkav gekrümmt sein.According to at least one embodiment, the connecting means is triangular in cross-section. Viewed in cross section, the connecting means is preferably enclosed by the chip side faces, the substrate and the potting body. The bonding agent may form a fillet formed between the chip faces and the substrate. A side surface of the connecting means, which extends from the chip side surfaces to the substrate, can run straight as seen in cross section or alternatively be convexly or concavely curved.
Gemäß zumindest einer Ausführungsform weisen der Halbleiterchip und der Leuchtstoffkörper in Draufsicht gesehen unterschiedliche Grundformen auf. Beispielsweise ist der Halbleiterchip quadratisch, rechteckig oder sechseckig geformt und der Leuchtstoffkörper weist eine kreisförmige oder ovale oder sechseckige oder achteckige Gestalt auf.In accordance with at least one embodiment, the semiconductor chip and the phosphor body have different basic shapes when viewed from above. For example, the semiconductor chip has a square, rectangular or hexagonal shape and the phosphor body has a circular or oval or hexagonal or octagonal shape.
Gemäß zumindest einer Ausführungsform weisen der Leuchtstoffkörper und der Spiegelkörper in Draufsicht die gleiche Grundform auf. Beispielsweise sind der Leuchtstoffkörper und der Spiegelkörper in Draufsicht gesehen rund oder oval oder sechseckig geformt. Insbesondere sind der Leuchtstoffkörper und der Spiegelkörper in Draufsicht gesehen deckungsgleich zueinander angeordnet.In accordance with at least one embodiment, the phosphor body and the mirror body have the same basic shape in a plan view. For example, the phosphor body and the mirror body are shaped to be round or oval or hexagonal when viewed from above. In particular, the phosphor body and the mirror body are arranged congruently with one another when viewed from above.
Alternativ oder zusätzlich dazu, dass der der Spiegelkörper in einem Randbereich eine geringere Dicke als in einem Zentralbereich aufweist, überragt der Spiegelkörper den Leuchtstoffkörper seitlich oder umgekehrt. Dabei ist ein seitlicher Überstand des Spiegelkörpers über den Leuchtstoffkörper oder umgekehrt bevorzugt vergleichsweise gering und liegt insbesondere bei mindestens 2 % oder 5 % und/oder bei höchstens 30 % oder 20 % oder 10 % der Diagonalenlänge des Halbleiterchips.As an alternative or in addition to the mirror body having a smaller thickness in an edge area than in a central area, the mirror body protrudes laterally beyond the phosphor body or vice versa. A lateral projection of the mirror body over the phosphor body or vice versa is preferably comparatively small and is in particular at least 2% or 5% and/or at most 30% or 20% or 10% of the diagonal length of the semiconductor chip.
Darüber hinaus wird ein Herstellungsverfahren für ein optoelektronisches Halbleiterbauteil angegeben. Mit dem Verfahren wird ein Halbleiterbauteil hergestellt, wie in Verbindung mit einer oder mehrerer der oben genannten Ausführungsformen beschrieben. Merkmale des Halbleiterbauteils sind daher auch für das Verfahren offenbart und umgekehrt.In addition, a production method for an optoelectronic semiconductor component is specified. With the method, a semiconductor component prepared as described in connection with one or more of the above embodiments. Features of the semiconductor component are therefore also disclosed for the method and vice versa.
In mindestens einer Ausführungsform umfasst das Herstellungsverfahren die folgenden Schritte, bevorzugt in der angegebenen Reihenfolge:
- - Bereitstellen eines Trägers und Aufbringen der Halbleiterchips auf den Träger, wobei es sich bei dem Träger insbesondere um das Substrat handelt,
- - Erzeugen des Vergusskörpers, sodass der Vergusskörper bevorzugt bündig mit den Chipoberseiten abschließt,
- - Erzeugen der Leuchtstoffkörper, insbesondere unmittelbar an den Chipoberseiten,
- - Aufbringen der Spiegelkörper je auf den zugehörigen Leuchtstoffkörper, insbesondere durch ein Spritzpressen oder mittels Aufkleben, und
- - Vereinzeln zu den fertigen Halbleiterbauteilen.
- - providing a carrier and applying the semiconductor chips to the carrier, the carrier being in particular the substrate,
- - Creation of the potting body so that the potting body is preferably flush with the chip tops,
- - Generating the phosphor bodies, in particular directly on the chip tops,
- - Applying the mirror body to the associated phosphor body, in particular by transfer molding or by gluing, and
- - Separation to the finished semiconductor components.
Gemäß zumindest einer Ausführungsform ist das Vereinzeln auf den Vergusskörper und optional auf den Träger begrenzt. Damit sind die Leuchtstoffkörper und bevorzugt auch die Spiegelkörper von dem Vereinzeln nicht betroffen. Somit ist eine Beschädigung von Leuchtstoffpartikeln in dem Leuchtstoffkörper vermeidbar. Durch eine solche Beschädigung können ansonsten Verschmutzungen und/oder chemische Reaktionen hervorgerufen werden, die die optische Effizienz des Halbleiterbauteils beeinträchtigen.According to at least one embodiment, the isolation is limited to the potting body and optionally to the carrier. The phosphor bodies and preferably also the mirror bodies are therefore not affected by the separation. Damage to phosphor particles in the phosphor body can thus be avoided. Such damage can otherwise cause contamination and/or chemical reactions that impair the optical efficiency of the semiconductor component.
Nachfolgend werden ein hier beschriebenes Halbleiterbauteil und ein hier beschriebenes Herstellungsverfahren unter Bezugnahme auf die Zeichnung anhand von Ausführungsbeispielen näher erläutert. Gleiche Bezugszeichen geben dabei gleiche Elemente in den einzelnen Figuren an. Es sind dabei jedoch keine maßstäblichen Bezüge dargestellt, vielmehr können einzelne Elemente zum besseren Verständnis übertrieben groß dargestellt sein.A semiconductor component described here and a production method described here are explained in more detail below with reference to the drawing using exemplary embodiments. The same reference symbols indicate the same elements in the individual figures. However, no references to scale are shown here; on the contrary, individual elements may be shown in an exaggerated size for better understanding.
Es zeigen:
-
1 ,2 ,6 ,9 schematische Schnittdarstellungen von Beispielen von optoelektronischen Halbleiterbauteilen, -
3 bis 5 ,7 ,8 und10 schematische Schnittdarstellungen von Ausführungsbeispielen von hier beschriebenen optoelektronischen Halbleiterbauteilen, -
11 schematische Draufsichten auf Ausführungsbeispiele von hier beschriebenen optoelektronischen Halbleiterbauteilen, und -
12 schematische Schnittdarstellungen von Verfahrensschritten eines hier beschriebenen Verfahrens zur Herstellung von Ausführungsbeispielen von optoelektronischen Halbleiterbauteilen.
-
1 ,2 ,6 ,9 schematic sectional views of examples of optoelectronic semiconductor components, -
3 until5 ,7 ,8th and10 schematic sectional views of exemplary embodiments of optoelectronic semiconductor components described here, -
11 schematic top views of exemplary embodiments of optoelectronic semiconductor components described here, and -
12 schematic sectional representations of method steps of a method described here for the production of exemplary embodiments of optoelectronic semiconductor components.
In
An einer Chipunterseite 22 des Halbleiterchips 2 befindet sich ein Substrat 6, beispielsweise eine gedruckte Leiterplatte. Durch das Substrat 6 ist eine Montageseite 60 des Halbleiterbauteils 1 gebildet. Ferner befinden sich an dem Substrat 6 elektrische Kontaktflächen 61 zur externen elektrischen Kontaktierung des Halbleiterbauteils 1. Eine der Kontaktflächen 61 verläuft beispielsweise deckungsgleich oder nahezu deckungsgleich mit dem Halbleiterchip 2. Eine weitere Kontaktfläche 61 ist über einen Bonddraht 62 mit einer dem Substrat 6 abgewandten Chipoberseite 23 des Halbleiterchips 2 elektrisch verbunden.A
Der Halbleiterchip 2 ist über ein Verbindungsmittel 7, das elektrisch leitfähig sein kann, mit dem Substrat 6 verbunden. Bei dem Verbindungsmittel 7 handelt es sich beispielsweise um einen Klebstoff, insbesondere auf Epoxidbasis, der mit leitfähigen Partikeln, etwa aus Silber, versehen sein kann. Im Querschnitt gesehen weist das Verbindungsmittel 7 eine dreieckige Form auf.The
Seitenflächen 21 des Halbleiterchips 2 sind nur zu einem kleinen Teil von dem Verbindungsmittel 7 bedeckt. Der überwiegende Anteil der Seitenflächen 21 ist direkt von einem Vergusskörper 3 bedeckt, wobei eine dem Substrat 6 abgewandte Vergussoberseite 30 bündig mit der Chipoberseite 23 abschließt. Der Vergusskörper 3 ist bevorzugt diffus reflektierend und erscheint weiß. Insbesondere ist der Vergusskörper 3 durch ein Silikon gebildet, in das reflektierende Titandioxidpartikel eingebettet sind. Der Bonddraht 62 verläuft durch den Vergusskörper 3.Side surfaces 21 of the
Ferner umfasst das Halbleiterbauteil 1 einen Leuchtstoffkörper 4. Die Chipoberseite 23 ist vollständig von dem Leuchtstoffkörper 4 bedeckt. Ferner erstreckt sich der Leuchtstoffkörper 4 mit einem Überstand A auf den Vergusskörper 3. Der Überstand A beträgt beispielsweise 0,1 mm.Furthermore, the
Der Leuchtstoffkörper 4 umfasst einen, bevorzugt mehrere Leuchtstoffe zur teilweisen Umwandlung der Primärstrahlung in eine langwelligere Sekundärstrahlung. Mittels des Leuchtstoffkörpers 4 kann das Halbleiterbauteil 1 insbesondere weißes Licht erzeugen.The
Ein Überstand B des Vergusskörpers 3 über den Leuchtstoffkörper 4 liegt beispielsweise bei mindestens 0,1 mm und/oder bei höchstens 1 mm. Das Substrat 6 ist vollständig von dem Vergusskörper 3 zusammen mit dem Halbleiterchip 2 bedeckt.A projection B of the
An einer dem Halbleiterchip 2 abgewandten Leuchtstoffoberseite 40 befindet sich ein Spiegelkörper 5. Der Spiegelkörper 5 bedeckt die Leuchtstoffoberseite 40 vollständig und mit einer konstanten Schichtdicke und schließt bündig mit der Leuchtstoffoberseite 40 ab. Der Spiegelkörper 5 ist bevorzugt diffus reflektierend und erscheint weiß und kann aus den gleichen Materialien sein wie der Vergusskörper 3. Bevorzugt ist der Spiegelkörper 5 undurchlässig für die Primärstrahlung und die Sekundärstrahlung.A
Eine Dicke des Leuchtstoffkörpers 4 liegt beispielsweise bei ungefähr 2/3 einer Diagonalenlänge des Halbleiterchips 2 und ist somit vergleichsweise dünn. Damit erfolgt eine Umwandlung der Primärstrahlung in die Sekundärstrahlung in einem vergleichsweise kleinen Volumen. Hierdurch ist eine effiziente Abstrahlung 360° ringsum um den Halbleiterchip 2 herum mit einer hohen Effizienz möglich. Innerhalb des Leuchtstoffkörpers 4 erfolgen nur wenige Reflexionen.A thickness of the
Die aus dem Leuchtstoffkörper 4 austretende Primärstrahlung und Sekundärstrahlung wird teilweise an den über den Leuchtstoffkörper 4 überstehenden Bereichen der Vergussoberseite 30 reflektiert. Die Vergussoberseite 30 ist bevorzugt eben und planar geformt, kann abweichend von der Darstellung in
Alternativ, wie in allen anderen Beispielen und Ausführungsbeispielen, kann es sich bei dem Spiegelkörper 5 um einen spekular reflektierenden Spiegel handeln. Beispielsweise ist der Spiegelkörper 5 dann aus einer Metallschicht oder aus einem Bragg-Spiegel gebildet.Alternatively, as in all other examples and exemplary embodiments, the
Das hier beschriebene Halbleiterbauteil 1 wird insbesondere zur Hinterleuchtung von Displays verwendet. Durch die seitliche Abstrahlung sind vergleichsweise wenige Halbleiterbauteile nötig, um ein Display großflächig zu hinterleuchten.The
Beim Beispiel der
In den nachfolgenden
Beim Ausführungsbeispiel der
Ist der Halbleiterchip 2 als Flip-Chip gestaltet, so kann das Substrat 6 weggelassen werden, wie in
Demgegenüber weist der Spiegelkörper 5 im Ausführungsbeispiel der
In
Beim Ausführungsbeispiel der
Das Halbleiterbauteil 1, wie in
Der Transmissionskörper 8 befindet sich deckungsgleich und direkt zwischen dem Leuchtstoffkörper 4 und dem Spiegelkörper 5. Beispielsweise weisen der Leuchtstoffkörper 4 und der Transmissionskörper 8 zusammengenommen eine Dicke von ungefähr 65 % der Diagonalenlänge des Halbleiterchips 2 auf. Dabei trägt der Transmissionskörper 8 bevorzugt zu mindestens 60 % oder 70 % und/oder zu höchstens 95 % oder 90 % oder 85 % zu einer Gesamtdicke aus dem Transmissionskörper 8 und dem Leuchtstoffkörper 4 bei. Mit anderen Worten kann der Transmissionskörper 8 dicker sein als der Leuchtstoffkörper 4.The
Gemäß
Im Ausführungsbeispiel der
Gemäß
Beim Ausführungsbeispiel der
Eine geringe Transmission durch den Spiegelkörper 5 hindurch an dessen Randbereich kann in analoger Weise auch bei den Ausführungsbeispielen der
In
Gemäß
Demgegenüber unterscheiden sich die Grundformen des Halbleiterchips 2 einerseits sowie der Leuchtstoffkörper 4 und der Spiegelkörper 5 andererseits in den
In den Ausführungsbeispielen umfasst das Halbleiterbauteil 1 je nur genau einen Halbleiterchip 2. Alternativ können auch mehrere der Halbleiterchips 2 vorhanden sein, denen jeweils einzeln ein Leuchtstoffkörper 4 mit zugehörigem Spiegelkörper 5 nachgeordnet sein kann. Alternativ kann mehreren Halbleiterchips 2 gemeinsam ein einziger Leuchtstoffkörper 4 sowie Spiegelkörper 5 nachgeordnet sein.In the exemplary embodiments, the
In
Gemäß
Im Verfahrensschritt der
Nachfolgend, siehe
Im optionalen Verfahrensschritt der
Werden die Spiegelkörper 5 separat erstellt, befindet sich zwischen den Leuchtstoffkörpern 4 und den zugehörigen Spiegelkörpern 5 beispielsweise ein nicht dargestelltes, insbesondere dünnes Klebemittel. Auch zwischen den Spiegelkörpern 5 und den Leuchtstoffkörpern 4 besteht bevorzugt eine eineindeutige Zuordnung.If the
In
Wird der Träger 6 in den fertigen Halbleiterbauteilen 1 nicht verwendet, so wird der Träger 6 bevorzugt vor dem Vereinzeln abgelöst. Dies gilt insbesondere im Falle von Flip-Chips, die bonddrahtfrei elektrisch kontaktierbar sind.If the
Die in den Figuren gezeigten Komponenten folgen, sofern nicht anders kenntlich gemacht, bevorzugt in der angegebenen Reihenfolge jeweils unmittelbar aufeinander. Sich in den Figuren nicht berührende Schichten sind bevorzugt voneinander beabstandet. Soweit Linien parallel zueinander gezeichnet sind, sind die entsprechenden Flächen bevorzugt ebenso parallel zueinander ausgerichtet. Ebenfalls, soweit nicht anders kenntlich gemacht, sind die relativen Positionen der gezeichneten Komponenten zueinander in den Figuren korrekt wiedergegeben.Unless otherwise indicated, the components shown in the figures preferably follow one another in the order given. Layers that are not touching in the figures are preferably spaced apart from one another. Insofar as lines are drawn parallel to one another, the corresponding areas are preferably also aligned parallel to one another. Likewise, unless otherwise indicated, the relative positions of the drawn components to one another are correctly reproduced in the figures.
BezugszeichenlisteReference List
- 11
- optoelektronisches Halbleiterbauteiloptoelectronic semiconductor component
- 22
- optoelektronischer Halbleiterchipoptoelectronic semiconductor chip
- 2121
- Chipseitenflächechip face
- 2222
- Chipunterseitechip bottom
- 2323
- Chipoberseitechip top
- 33
- Vergusskörperpotting body
- 3030
- Vergussoberseitepotting top
- 44
- Leuchtstoffkörperfluorescent body
- 4040
- Leuchtstoffoberseitefluorescent top
- 55
- Spiegelkörpermirror body
- 66
- Substratsubstrate
- 6060
- Montageseitemounting side
- 6161
- elektrische Kontaktflächeelectrical contact surface
- 6262
- Bonddrahtbonding wire
- 77
- Verbindungsmittellanyard
- 88th
- Transmissionskörpertransmission body
- AA
- Überstand des Leuchtstoffkörpers über den HalbleiterchipProjection of the phosphor body over the semiconductor chip
- BB
- Überstand des Vergusskörpers über den LeuchtstoffkörperProjection of the potting body over the phosphor body
- CC
- Überstand des Spiegelkörpers über den LeuchtstoffkörperProjection of the mirror body over the phosphor body
Claims (15)
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-
2017
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