DE102017112225A1 - A method of manufacturing a housing and housing for a reference electrochemical half-cell - Google Patents
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Abstract
Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung eines Gehäuses (3) für eine elektrochemische Bezugshalbzelle (1), wobei das Gehäuse (3) mindestens eine Kammer (2a,2b) zur Aufnahme eines Elektrolyten (12a,12b) aufweist, wobei in einer Außenwandung (4) der Kammer (2a,2b) eine elektrochemische Überführung (5,5a,5b) angeordnet ist, mittels derer ein elektrolytischer Kontakt zwischen einem in der Kammer (2a,2b) anordenbaren Elektrolyten (12a, 12b) und einem außerhalb der Kammer (2a,2b) anordenbaren Medium herstellbar ist. Das Verfahren ist dadurch gekennzeichnet, dass für zumindest eine Kammer (2a;2b) oder mindestens eine der Kammern (2a;2b) die aus einem Material bestehende Außenwandung (4) einstückig ist und die elektrochemische Überführung (5,5a,5b) in der Außenwandung (4) mittels zumindest eines in die Außenwandung (4) eingebrachten Energieeintrags (ΔE1; ΔE2; ΔE3) erzeugt wird, wobei durch den Energieeintrag (ΔE1; ΔE2; ΔE3) in dem Bereich der elektrochemischen Überführung (5,5a,5b) Poren (6) in das Material der Außenwandung (4) eingebracht werden. The invention relates to a method for producing a housing (3) for an electrochemical reference half-cell (1), wherein the housing (3) has at least one chamber (2a, 2b) for receiving an electrolyte (12a, 12b), wherein in an outer wall ( 4) of the chamber (2a, 2b) an electrochemical transfer (5,5a, 5b) is arranged, by means of which an electrolytic contact between an in the chamber (2a, 2b) can be arranged in the electrolyte (12a, 12b) and one outside the chamber ( 2a, 2b) can be produced disposable medium. The method is characterized in that, for at least one chamber (2a; 2b) or at least one of the chambers (2a; 2b), the outer wall (4) made of a material is in one piece and the electrochemical transfer (5,5a, 5b) in the Outside wall (4) by means of at least one in the outer wall (4) introduced energy input (.DELTA.E1, .DELTA.E2, .DELTA.E3) is generated, wherein by the energy input (.DELTA.E1, .DELTA.E2, .DELTA.E3) in the region of the electrochemical transfer (5,5a, 5b) pores (6) are introduced into the material of the outer wall (4).
Description
Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung eines Gehäuse und ein Gehäuse für eine elektrochemische Bezugshalbzelle. Das Gehäuse weist mindestens eine Kammer zur Aufnahme eines Elektrolyten auf, wobei in einer Außenwandung der Kammer eine elektrochemische Überführung angeordnet ist, mittels derer ein elektrolytischer Kontakt zwischen einem in der Kammer anordenbaren Elektrolyten und einem außerhalb der Kammer anordenbaren Medium herstellbar ist.The invention relates to a method for producing a housing and a housing for a reference electrochemical half-cell. The housing has at least one chamber for receiving an electrolyte, wherein in an outer wall of the chamber, an electrochemical transfer is arranged, by means of which an electrolytic contact between an arrangeable in the chamber electrolyte and an outside of the chamber can be produced medium can be produced.
Bezugshalbzellen kommen in verschiedenen elektrochemischen Sensoren zum Einsatz. Elektrochemische Sensoren werden in der Labor-und Prozessmesstechnik in vielen Bereichen der Chemie, Biochemie, Pharmazie, Biotechnologie, Lebensmitteltechnologie, Wasserwirtschaft und Umweltmesstechnik zur Analyse von Messmedien, insbesondere von Messflüssigkeiten, eingesetzt. Mittels elektrochemischer Messtechniken lassen sich beispielsweise Aktivitäten von chemischen Substanzen, beispielsweise von Ionen, und damit korrelierte Messgrößen in Flüssigkeiten erfassen. Die Substanz, deren Konzentration oder Aktivität gemessen werden soll, wird auch als Analyt bezeichnet. Elektrochemische Sensoren können beispielsweise potentiometrische oder amperometrische Sensoren sein.Reference half cells are used in various electrochemical sensors. Electrochemical sensors are used in the laboratory and process measuring technology in many areas of chemistry, biochemistry, pharmacy, biotechnology, food technology, water management and environmental metrology for the analysis of measuring media, in particular of measuring liquids. By means of electrochemical measurement techniques, it is possible to record, for example, activities of chemical substances, for example ions, and thus correlated measured variables in liquids. The substance whose concentration or activity is to be measured is also called analyte. Electrochemical sensors may be, for example, potentiometric or amperometric sensors.
Potentiometrische Sensoren umfassen in der Regel eine Messhalbzelle und eine Bezugshalbzelle sowie eine Messschaltung. Die Messhalbzelle bildet in Kontakt mit dem Messmedium, z.B. einer Messflüssigkeit, ein von der Konzentration oder Aktivität des Analyten im Messmedium abhängiges Potential aus, während die Bezugshalbzelle ein stabiles, von der Konzentration des Analyten unabhängiges Bezugspotential bereitstellt. Die Messschaltung erzeugt ein Messsignal, das die Potentialdifferenz zwischen der Messhalbzelle und der Bezugshalbzelle repräsentiert. Das Messsignal wird von der Messschaltung gegebenenfalls an eine mit dem Sensor verbundene übergeordnete Einheit, beispielsweise einen Messumformer, ausgegeben, die das Messsignal weiter verarbeitet. Die Messhalbzelle umfasst ein potentialbildendes Element, das je nach Art des potentiometrischen Sensors beispielsweise eine Redoxelektrode, eine analytsensitive Beschichtung oder eine ionenselektive Membran umfassen kann. Potentiometric sensors usually comprise a measuring half cell and a reference half cell as well as a measuring circuit. The measuring half-cell forms in contact with the measuring medium, e.g. a measuring liquid, depending on the concentration or activity of the analyte in the measuring medium potential, while the reference half cell provides a stable, independent of the concentration of the analyte reference potential. The measuring circuit generates a measuring signal representing the potential difference between the measuring half cell and the reference half cell. If necessary, the measuring signal is output by the measuring circuit to a superordinated unit, for example a measuring transducer, connected to the sensor, which further processes the measuring signal. The measuring half-cell comprises a potential-forming element which, depending on the type of potentiometric sensor, may comprise, for example, a redox electrode, an analyte-sensitive coating or an ion-selective membrane.
Beispiele für potentiometrische Sensoren sind ionenselektive Elektroden (ISE). Eine ionenselektive Elektrode weist ein durch die als potentialbildendes Element dienende ionenselektive Membran abgeschlossenes Gehäuse, in dem ein Innenelektrolyt aufgenommen ist, und ein Ableitelement auf, die mit dem Innenelektrolyten in Kontakt stehen. Steht das Messmedium mit dem potentialbildenden Element in Kontakt, wird durch eine Aktivitäts- bzw. Konzentrationsänderung des Analyten in dem Messmedium eine relative Änderung der Gleichgewichts-Galvani-Spannung zwischen dem Messmedium und der über den Innenelektrolyten mit dem potentialbildenden Element in Kontakt stehenden Messflüssigkeit und des Ableitelements bewirkt. Das Ableitelement ist elektrisch leitfähig mit der Messschaltung verbunden. Ein Spezialfall einer derartigen ionenselektiven Elektrode ist die bekannte pH-Glaselektrode, die eine durch eine pH-sensitive Glasmembran abgeschlossene Kammer mit einem darin enthaltenen, ein Puffersystem zur Einstellung eines stabilen pH-Werts umfassenden Innenelektrolyten und ein darin eintauchendes Ableitelement aufweist. Ionenselektive Elektroden sind beispielsweise in „Das Arbeiten mit ionenselektiven Elektroden“, K. Cammann, H. Galster, Springer, 1996, beschrieben.Examples of potentiometric sensors are ion-selective electrodes (ISE). An ion-selective electrode has a housing sealed by the ion-selective membrane serving as a potential-generating element, in which an inner electrolyte is accommodated, and a drain member, which are in contact with the inner electrolyte. If the measuring medium is in contact with the potential-forming element, a change in the activity or concentration of the analyte in the measuring medium causes a relative change in the equilibrium galvanic voltage between the measuring medium and the measuring liquid in contact with the potential-forming element via the inner electrolyte Deriving effected. The diverting element is electrically conductively connected to the measuring circuit. A special case of such an ion-selective electrode is the known pH glass electrode having a chamber sealed by a pH-sensitive glass membrane with an inner electrolyte contained therein and a buffer system for adjusting a stable pH, and a drain element immersed therein. Ion-selective electrodes are described, for example, in "Working with Ion-Selective Electrodes", K. Cammann, H. Galster, Springer, 1996.
Weitere Beispiele für Sensoren, die eine elektrochemische Referenzelektrode benötigen, sind solche auf der Basis von Elektrolyt-Isolator-Halbleiter-Schichtstapeln (englisch: electrolyte-insulator-semiconductor, kurz: EIS). Diese Schichtsysteme können beispielsweise kapazitiv oder als ionenselektive Feldeffekttransistoren (ISFET) betrieben werden. Mit dem Akronym „EIS“ wird zum Ausdruck gebracht, dass der Sensor eine Schichtstruktur mit zumindest einer auf einer Halbleiter-Schicht oder einem Halbleiter-Substrat aufgebrachten Isolatorbeschichtung umfasst, die im Messbetrieb des Sensors mit dem als Elektrolyten dienenden Messmedium in Kontakt steht. Durch geeignete Wahl der Isolatorbeschichtung, kann die Sensitivität des Sensors derart eingestellt werden, dass ein an der Grenzfläche zwischen der Isolatorschicht und dem Messmedium auftretender Spannungsabfall als Maß für die Analytkonzentration dient. Der bereits erwähnte ISFET-Sensor umfasst ebenfalls eine derartige EIS-Struktur. In der
Amperometrische Sensoren können beispielsweise eine Drei-Elektrodenschaltung mit einer Arbeitselektrode, einer Gegenelektrode und einer nicht stromdurchflossenen Bezugselektrode umfassen. Ein solches Messgerät kann beispielsweise eine, insbesondere potentiostatische, Regelschaltung aufweisen, die dazu ausgestaltet ist, zwischen der Arbeitselektrode und der Referenzelektrode eine Sollspannung vorzugeben und den dabei zwischen der Arbeitselektrode und der Gegenelektrode fließenden Strom zu erfassen. Die dabei nicht stromdurchflossene Bezugselektrode, hier und im Folgenden ebenfalls als Bezugshalbzelle bezeichnet, kann in gleicher Weise wie eine Bezugshalbzelle einer potentiometrischen Messanordnung ausgestaltet sein.Amperometric sensors may comprise, for example, a three-electrode circuit having a working electrode, a counterelectrode and a non-current-carrying reference electrode. Such a measuring device may, for example, have a, in particular potentiostatic, control circuit which is designed to predetermine a setpoint voltage between the working electrode and the reference electrode and to detect the current flowing between the working electrode and the counterelectrode. The reference electrode, which is not current-carrying, also referred to here as reference half-cell in the following, can be designed in the same way as a reference half-cell of a potentiometric measuring arrangement.
Die Bezugshalbzelle elektrochemischer Sensoren umfasst ein Bezugs-Ableitelement, welches in Kontakt mit einem Bezugselektrolyten steht. Der Bezugselektrolyt ist in einer in einem Gehäuse der Bezugshalbzelle gebildeten Kammer aufgenommen. Das Potential der Bezugshalbzelle wird durch den Bezugselektrolyten und das Bezugs-Ableitelement definiert. Ist die Bezugselektrode beispielsweise als Silber/Silberchlorid-Referenzelektrode ausgestaltet, handelt es sich bei dem Bezugselektrolyten um eine wässrige Lösung mit hoher Chloridkonzentration, in der Regel eine 3-molare Kaliumchlorid-Lösung, und bei dem Bezug-Ableitelement um einen mit Silberchlorid beschichteten Silberdraht. Das Bezugs-Ableitelement ist elektrisch leitend mit der bereits erwähnten Messschaltung verbunden. The reference half-cell of electrochemical sensors comprises a reference diverter which is in contact with a reference electrolyte. The reference electrolyte is accommodated in a chamber formed in a housing of the reference half-cell. The potential of the reference half-cell is defined by the reference electrolyte and the reference diverter. For example, if the reference electrode is a silver / silver chloride reference electrode, the reference electrolyte is a high chloride aqueous solution, typically a 3 molar potassium chloride solution, and the reference diverter is a silver chloride coated silver wire. The reference diverter is electrically connected to the already mentioned measurement circuit.
Zur Durchführung der Messung steht der Bezugselektrolyt mit dem Messmedium in elektrolytischem Kontakt. Dieser Kontakt wird durch eine elektrochemische Überführung hergestellt, welche beispielsweise aus einer durch die Außenwandung hindurchgehenden Durchgangsbohrung, einem in der Außenwandung angeordnetem porösen Diaphragma oder einem Spalt besteht. Der Bezugselektrolyt kann durch Zugabe eines Verdickungsmittels, insbesondere eines Polymers, angedickt sein. Dadurch wird eine Immobilisierung des Bezugselektrolyten erreicht, so dass der Bezugselektrolyt nicht mehr fließfähig ist und nicht durch die elektrochemische Überführung aus dem Gehäuse austreten kann.To carry out the measurement, the reference electrolyte is in electrolytic contact with the measurement medium. This contact is made by an electrochemical transfer, which consists for example of a through hole passing through the outer wall, a porous diaphragm arranged in the outer wall or a gap. The reference electrolyte may be thickened by adding a thickening agent, in particular a polymer. As a result, an immobilization of the reference electrolyte is achieved, so that the reference electrolyte is no longer flowable and can not escape through the electrochemical transfer from the housing.
Elektrochemische Sensoren mit einer Bezugshalbzelle und einer Messhalbzelle sind dabei vorzugsweise in einem einzigen elektrochemischen Sensor untergebracht; für den Fall potentiometrischer Sensoren wird dieser kompakte Aufbau als eine sogenannte Einstabmesskette bezeichnet. Bei pH-Einstabmessketten mit hochimpedanten (50 MOhm < Z < 10 GOhm) Messhalbzellen umgibt hierbei z.B. die Bezugshalbzelle die Messhalbzelle konzentrisch. Die Bezugshalbzelle weist ein rohrförmiges und an einem dem Messmedium zugewandten Endbereich verschlossenes Gehäuse auf, wobei die elektrochemische Überführung in dem Endbereich der Bezugshalbzelle angeordnet ist. Das rohrförmige Gehäuse der Bezugs- und Messhalbzelle weist ferner jeweils eine in einem dem Messmedium abgewandten Endbereich angeordnete Öffnung auf, die beispielsweise durch eine zusätzliche Polymerdichtung verschlossen ist.Electrochemical sensors with a reference half cell and a measuring half cell are preferably accommodated in a single electrochemical sensor; for the case of potentiometric sensors, this compact design is referred to as a so-called combination electrode. In the case of pH single-rod measuring cells with high-impedance (50 MOhm <Z <10 GOhm) measuring half-cells, this encompasses, for example, the reference half cell concentric the measuring half cell. The reference half-cell has a tubular housing closed at an end region facing the measurement medium, wherein the electrochemical transfer is arranged in the end region of the reference half-cell. The tubular housing of the reference and measuring half cell further has in each case one in an end region remote from the measuring medium opening, which is closed, for example, by an additional polymer seal.
Wird ein poröses Diaphragma als elektrochemische Überführung verwendet, muss dieses bei der Fertigung eines Gehäuse für die Bezugshalbzelle in den dem Messmedium zugewandten Endbereich zusätzlich in die Außenwandung des Gehäuses in einem Fügeprozess eingebracht werden. Das flüssigkeitsdichte Fügen des Diaphragmas in die Außenwandung stellt dabei eine fertigungstechnische Herausforderung dar.If a porous diaphragm is used as an electrochemical transfer, it must be additionally introduced into the outer wall of the housing in a joining process during the production of a housing for the reference half cell in the end region facing the measuring medium. The liquid-tight joining of the diaphragm in the outer wall represents a production engineering challenge.
Dabei stellt insbesondere die Fügestelle zwischen dem Diaphragma und der Außenwandung eine Schwachstelle dar, welche empfindlich gegenüber chemischen, mechanischen und/oder thermischen Beanspruchungen ist. Letztere werden zum einen dadurch hervorgerufen, dass der das Diaphragma aufweisende Endbereich der Außenwandung dem Messmedium ausgesetzt ist. Zudem werden elektrochemische Sensoren in regemäßigen Abständen sterilisiert; hierbei hat sich als Methode der Sterilisation das Autoklavieren bewährt, bei dem der elektrochemische Sensor unter hoher Temperatur (ca. 140 °C) und hohem Druck mit Hilfe von Wasserdampf gereinigt wird. Dabei ist insbesondere auch der Endbereich der Außenwandung mit dem darin ein gefügten Diaphragma hohen Druck- und/oder Temperaturschwankungen ausgesetzt. Bestehen ferner das Gehäuse und das darin gefügte Diaphragma aus Materialen mit unterschiedlichen, insbesondere stark unterschiedlichen, thermischer Ausdehnungskoeffizienten, führen hohe Temperaturschwankungen prinzipiell immer auch zu zusätzlichen starken mechanischen Spannungen, die insbesondere im Bereich der Fügestelle wirken.In particular, the joint between the diaphragm and the outer wall is a weak point, which is sensitive to chemical, mechanical and / or thermal stresses. The latter are caused, on the one hand, by the fact that the end region of the outer wall having the diaphragm is exposed to the measuring medium. In addition, electrochemical sensors are sterilized at regular intervals; autoclaving has proved to be the method of sterilization in which the electrochemical sensor is cleaned under high temperature (about 140 ° C) and high pressure with the aid of steam. In this case, in particular, the end region of the outer wall is exposed to high pressure and / or temperature fluctuations with the diaphragm joined therein. Furthermore, if the housing and the diaphragm joined therein consist of materials with different, in particular greatly different, coefficients of thermal expansion, high temperature fluctuations always lead in principle to additional strong mechanical stresses, which act in particular in the area of the joint.
Derartige Beanspruchungen können letztendlich zu Spaltbildungen zwischen der Außenwandung und dem Diaphragma, Rissbildungen in der Außenwandung und/oder dem Diaphragma oder sogar zu einem kompletten Versagen der Fügestellen und damit zu einem Herauslösen des Diaphragmas aus der Außenwandung führen.Such stresses can ultimately lead to gaps between the outer wall and the diaphragm, cracking in the outer wall and / or the diaphragm or even to a complete failure of the joints and thus to a detachment of the diaphragm from the outer wall.
Der Erfindung liegt daher die Aufgabe zugrunde, ein Verfahren zur Herstellung eines Gehäuse bzw. ein Gehäuse für eine Bezugshalbzelle mit einer hohen Stabilität anzugeben.The invention is therefore based on the object of specifying a method for producing a housing or a housing for a reference half cell with a high stability.
Die Aufgabe wird durch die Merkmale der unabhängigen Ansprüche gelöst.The object is solved by the features of the independent claims.
Die erfindungsgemäße Lösung betrifft ein Verfahren zur Herstellung eines Gehäuses für eine elektrochemische Bezugshalbzelle, wobei das Gehäuse mindestens eine Kammer zur Aufnahme eines Elektrolyten aufweist, wobei in einer Außenwandung der Kammer eine elektrochemische Überführung angeordnet ist, mittels derer ein elektrolytischer Kontakt zwischen einem in der Kammer anordenbaren Elektrolyten und einem außerhalb der Kammer anordenbaren Medium herstellbar ist. Das Verfahren ist dadurch gekennzeichnet, dass für zumindest eine Kammer oder mindestens eine der Kammern die aus einem Material bestehende Außenwandung einstückig ist und die elektrochemische Überführung in der Außenwandung mittels zumindest eines in die Außenwandung eingebrachten Energieeintrags erzeugt wird. Durch den Energieeintrag werden in dem Bereich der elektrochemischen Überführung Poren in das Material der Außenwandung eingebracht.The solution according to the invention relates to a method for producing a housing for an electrochemical reference half-cell, wherein the housing has at least one chamber for receiving an electrolyte, wherein in an outer wall of the chamber, an electrochemical transfer is arranged, by means of which an electrolytic contact between a can be arranged in the chamber Electrolytes and an outside of the chamber can be arranged medium can be produced. The method is characterized in that for at least one chamber or at least one of the chambers, the outer wall made of a material is integral and generates the electrochemical transfer in the outer wall by means of at least one introduced into the outer wall energy input becomes. As a result of the introduction of energy, pores are introduced into the material of the outer wall in the region of the electrochemical transfer.
Die elektrochemische Überführung wird dabei im Wesentlichen mittels des Energieeintrags, mit dem die Poren in der einstückigen Außenwandung eingebracht werden, erzeugt. Es werden eine Vielzahl von Poren, insbesondere zumindest zehn Poren, in die Außenwandung eingebracht. Vorzugsweise werden zumindest 21 Poren in die Außenwandung eingebracht.The electrochemical transfer is generated essentially by means of the energy input, with which the pores are introduced in the one-piece outer wall. A large number of pores, in particular at least ten pores, are introduced into the outer wall. Preferably, at least 21 pores are introduced into the outer wall.
Dadurch entfällt vorteilhaft der fehleranfällige Fertigungsprozess, in welchem ein separat hergestelltes Diaphragma in die Außenwand eines vorgefertigten Gehäuses eingefügt wird.This advantageously eliminates the error-prone manufacturing process in which a separately prepared diaphragm is inserted into the outer wall of a prefabricated housing.
Ein weiterer Vorteil der erfindungsgemäßen Lösung ist, dass die elektrochemische Überführung und der angrenzende Bereich der Außenwandung fertigungstechnisch bedingt aus demselben Material bestehen, und damit auch keine durch thermische Belastungen induzierte Spannungen auftreten können.Another advantage of the solution according to the invention is that the electrochemical transfer and the adjacent region of the outer wall manufacturing reasons, consist of the same material, and thus can not occur due to thermal stress induced stresses.
Bei einer durch das erfindungsgemäße Verfahren hergestellten Kammer ist zudem der Übergang zwischen der elektrochemischen Überführung zu dem daran angrenzenden Bereich der Außenwandung im Wesentlichen nahtlos. Dadurch wird ein Gehäuse für eine Bezugshalbzelle mit einer erhöhten Stabilität erreicht.In a chamber produced by the method according to the invention, moreover, the transition between the electrochemical transfer to the adjoining region of the outer wall is substantially seamless. Thereby, a housing for a reference half cell is achieved with an increased stability.
In einer Weiterbildung des erfindungsgemäßen Verfahrens wird der zumindest eine Energieeintrag mittels zumindest eines Lasers in die Außenwandung der Kammer eingebracht. Vorteilhaft bei einem Laser ist, dass ein genau dosierbarer Energieeintrag präzise in einem vorgegeben Bereich der Außenwandung eingebracht wird. Dadurch werden die Poren in einem definierten bzw. vorgegeben, die elektrochemische Überführung bildenden Bereich der Außenwandung erzeugt. Die Poren werden dabei z.B. in einer vorgegeben Tiefe der Außenwandung mit einer vorgegebenen Stärke durch einen definierten Materialabtrag des Lasers, wie etwa Lasertiefengravur, erzeugt.In a development of the method according to the invention, the at least one energy input is introduced into the outer wall of the chamber by means of at least one laser. An advantage of a laser is that a precisely metered energy input is precisely introduced in a predetermined area of the outer wall. As a result, the pores are generated in a defined or predetermined area of the outer wall forming the electrochemical transfer. The pores are e.g. in a predetermined depth of the outer wall with a predetermined thickness by a defined removal of material of the laser, such as laser engraving deep generated.
In einer weiteren Weiterbildung des erfindungsgemäßen Verfahrens wird die Außenwandung mittels zumindest eines ersten Energieeintrags des zumindest einen Lasers punktuell zu zumindest einem Mikrodefekt und/oder Nanodefekt verändert, wobei mittels des Mikrodefekts und/oder Nanodefekts die Poren in der Außenwandung erzeugt werden.In a further development of the method according to the invention, the outer wall is selectively changed by means of at least one first energy input of the at least one laser to form at least one microdefect and / or nano-defect, whereby the pores in the outer wall are generated by means of the microdefect and / or nano-defect.
Als ein Mikro- bzw. Nanodefekt wird ein Defekt bezeichnet, welche im Mikro- bzw. Nanometerbereich vorliegt, d.h. in einem von ca. 1 µm bis 900 µm (Mikrometer) bzw. von 1 nm bis 900 nm (Nanometer). Darunter fallen beispielsweise lokale Verspannungen, Risse, oder chemische Schwächungen wie Substitutionen, lokale Umordnungen und/oder Entmischungen. Die Poren können dabei mittels eines oder mehrerer dieser Defekte, die z.B. eine Vorstufe der Poren darstellen, erzeugt werden und/oder bei dem Mikro- bzw. Nanodefekt handelt es sich selbst um eine Pore mit einer Porengröße im Mikro- bzw. Nanometerbereich. Besteht die Außenwandung aus einem mikro- oder teilkristallinem Material, kann es sich bei den Defekten auch um Gitterfehler handeln, also z.B. Punktdefekte wie etwa Leerstellen, Zwischengitter- und/oder Substitutionsatome oder höherdimensionale Defekte wie z.B. Versetzungen, Korngrenzen, Stapelfehler und/oder Poren.As a micro-or nano defect, a defect is called, which is present in the micro or nanometer range, i. in one of about 1 micron to 900 microns (microns) and from 1 nm to 900 nm (nanometers). These include, for example, local tensions, cracks, or chemical weakenings such as substitutions, local rearrangements, and / or segregations. The pores may be characterized by one or more of these defects, e.g. represent a precursor of the pores, are generated and / or the micro- or nano-defect is itself a pore with a pore size in the micro or nanometer range. If the outer wall is made of a microcrystalline or semi-crystalline material, the defects may also be lattice defects, e.g. Point defects such as vacancies, interstitial and / or substitution atoms or higher dimensional defects such as e.g. Dislocations, grain boundaries, stacking faults and / or pores.
In einer Ausgestaltung des erfindungsgemäßen Verfahrens wird die Außenwandung mittels des zumindest einen Lasers jeweils punktuell zu einer Vielzahl von Mikrodefekten und/oder Nanodefekten verändert, wobei mittels der Mikrodefekte und/oder Nanodefekte die Poren in der Außenwandung erzeugt werden.In one embodiment of the method according to the invention, the outer wall is selectively changed by means of the at least one laser to form a multiplicity of microdefects and / or nanodefects, the pores being produced in the outer wall by means of the microdefects and / or nanodefects.
In einer weiteren Weiterbildung des erfindungsgemäßen Verfahrens wird auf eine innere und/oder äußere Oberfläche der Außenwandung eine ein Aufschäummittel aufweisende Substanz aufgebracht. Das Aufschäummittel wird mittels eines zweiten Energieeintrags zumindest teilweise in die Außenwandung eingearbeitet und mittels eines dritten, vom zweiten Energieeintrag verschiedenen, Energieeintrags in der Außenwandung zumindest teilweise zersetzt und/oder verdampft wird. Es werden mittels bei einer Zersetzung und/oder Verdampfung entstehender Gasblasen die Poren in der Außenwandung erzeugt. Bei der Zersetzung handelt es sich z.B. um eine KalzinierungIn a further development of the method according to the invention, a substance having a foaming agent is applied to an inner and / or outer surface of the outer wall. The foaming agent is at least partially incorporated into the outer wall by means of a second energy input and at least partially decomposed and / or vaporized by means of a third, different from the second energy input, energy input in the outer wall. By means of decomposition and / or vaporization, gas bubbles create the pores in the outer wall. The decomposition is e.g. for a calcination
Insbesondere sind die das Aufschäummittel aufweisende Substanz und die Energieeinträge derart auf das Material der Außenwandung abgestimmt, dass zunächst eine Einarbeitung der das Aufschäummittel aufweisenden Substanz in die Außenwandung ohne eine gleichzeitige vollständige Zersetzung und/oder Verdampfung stattfindet. Danach findet eine Zersetzung und/oder Verdampfung mit der in die Außenwandung eingearbeiteten Substanz statt, mit der die Poren in der Außenwandung erzeugt werden. Vorzugsweise weist daher der zweite Energieeintrag eine kleinere Energiedichte auf als der dritte Energieeintrag .In particular, the substance comprising the foaming agent and the energy inputs are adapted to the material of the outer wall in such a way that the substance having the foaming agent is first incorporated into the outer wall without simultaneous complete decomposition and / or evaporation. Thereafter, a decomposition and / or evaporation takes place with the incorporated into the outer wall substance with which the pores are generated in the outer wall. Preferably, therefore, the second energy input has a lower energy density than the third energy input.
In einer Ausgestaltung der Erfindung wird der der dritte Energieeintrag in einem räumlich begrenzten Bereich eingebracht, der kleiner ist als ein räumlich begrenzter Bereich, in dem der zweite Energieeintrag eingebracht wird. Der dritte Energieeintrag wird damit lokal begrenzter eingebracht als der zweite Energieeintrag, z.B. bezogen auf eine Fläche der Außenwandung. In Bezug auf die Gesamtenergie kann in diesem Fall dann auch der zweite Energieeintrags insgesamt auch größer als der dritte Energieeintrag sein, selbst für den Fall dass der der zweite Energieeintrag eine kleinere Energiedichte als der dritte Energieeintrag aufweist.In one embodiment of the invention, the third energy input is introduced in a spatially limited area which is smaller than a spatially limited area in which the second energy input is introduced. The third energy input is thus introduced locally limited than the second energy input, for example, based on an area of the outer wall. With regard to the total energy, the second energy input in this case can then also be greater than the third energy input overall, even in the event that the second energy input has a lower energy density than the third energy input.
Das Aufschäummittel enthält als Verschäumungsreagenz zum Beispiel eine oder mehrere der folgenden Chemikalien: AX, A2Y, BX2, oder BY, wobei A ein einwertiges Kation, bevorzugt ein Alkalimetall, B ein zweiwertiges Kation, bevorzugt ein Erdalkalimetall, X ein einwertiges Anion, bevorzugt Nitrat, und Y ein zweiwertiges Anion, bevorzugt Sulfat oder Carbonat ist.The foaming agent contains as foaming reagent, for example, one or more of the following chemicals: AX, A2Y, BX2, or BY, where A is a monovalent cation, preferably an alkali metal, B is a divalent cation, preferably an alkaline earth metal, X is a monovalent anion, preferably nitrate, and Y is a divalent anion, preferably sulfate or carbonate.
Selbstverständlich kann die oben erwähnte Erzeugung von Mikro- und/oder Nanodefekten auch mit dieser Weiterbildung kombiniert werden. Eine derartige Kombination der beiden Verfahren kann dabei z.B. auch nur in einem bestimmten, vorgegebenen Bereich der elektrochemischen Überführung angewandt werden. Je nach Ausgestaltung der elektrochemischen Überführung kann diese auch einen ersten Bereich umfassen, welcher mittels der Erzeugung von Mikro- und/oder Nanodefekten erzeugte Poren aufweist, und einen zweiten Bereich umfassen, welche mittels der Zersetzung und/oder Verdampfung des eingearbeiteten Aufschäummittel erzeugte Poren aufweist.Of course, the above-mentioned generation of micro and / or nanodefects can also be combined with this development. Such a combination of the two methods may e.g. be applied only in a certain predetermined range of the electrochemical transfer. Depending on the configuration of the electrochemical transfer, it may also comprise a first region which has pores produced by the generation of micro and / or nano-defects, and a second region which has pores produced by the decomposition and / or evaporation of the incorporated foaming agent.
In einer Ausgestaltung des erfindungsgemäßen Verfahrens wird der erste, der zweite und/oder der dritte Energieeintrag mittels eines einzigen Lasers eingebracht.In one embodiment of the method according to the invention, the first, the second and / or the third energy input is introduced by means of a single laser.
In einer weiteren Ausgestaltung wird der erste, der zweite und/oder der dritte Energieeintrag mittels zumindest zweier Laser eingebracht.In a further embodiment, the first, second and / or third energy input is introduced by means of at least two lasers.
In einer bevorzugten Weiterbildung der Erfindung werden die in der Außenwandung erzeugten Poren mittels eines sich an die Erzeugung der Poren anschließenden chemischen und/oder mechanischen Abtragverfahrens geöffnet und/oder vergrößert. Bei dem chemischen und/oder mechanischen Abtragverfahren kann es sich beispielsweise um ein Schleifen oder Ätzen handeln. Durch die Öffnung von Poren werden z.B. diejenigen der Poren, welche bei der Erzeugung als anfänglich geschlossene Poren vorliegen, zusätzlich geöffnet und damit der offenporige Bereich der elektrochemischen Überführung vergrößert, wodurch der offenporige Bereich ein z.B. vorgegebenes Ausmaß einnimmt und/oder eine z.B. vorgegebene Porendichte erreicht wird. Alternativ oder zusätzlich wird durch die Vergrößerung von Poren erreicht, dass diese eine z.B. vorgegebene Porengröße aufweisen.In a preferred development of the invention, the pores produced in the outer wall are opened and / or enlarged by means of a chemical and / or mechanical removal method following the production of the pores. The chemical and / or mechanical removal method may be, for example, a grinding or etching. By opening pores, e.g. those of the pores, which are present as initially closed pores in the production, are additionally opened, thereby enlarging the open-pore region of the electrochemical transfer, whereby the open-pore region is e.g. assumes a predetermined extent and / or an e.g. predetermined pore density is achieved. Alternatively or additionally, by enlarging pores, it is achieved that these are e.g. have predetermined pore size.
In einer weiteren Weiterbildung der Erfindung werden offene Poren mit einer Porengröße kleiner als 100 Mikrometer, insbesondere kleiner als 50 Mikrometer, in der Außenwandung erzeugt. Als Porengröße wird im Rahmen dieser Anmeldung der Durchmesser der Poren bezeichnet.In a further development of the invention, open pores having a pore size of less than 100 micrometers, in particular less than 50 micrometers, are produced in the outer wall. The pore size is referred to in this application, the diameter of the pores.
Die erfindungsgemäße Lösung betrifft auch ein Gehäuse für eine elektrochemische Bezugshalbzelle wobei das Gehäuse mindestens eine Kammer zur Aufnahme eines Elektrolyten aufweist, wobei in einer Außenwandung der Kammer eine elektrochemische Überführung angeordnet ist, mittels derer ein elektrolytischer Kontakt zwischen einem in der Kammer anordenbaren Elektrolyten und einem außerhalb der Kammer anordenbaren Medium herstellbar ist. Das erfindungsgemäße Gehäuse ist dadurch gekennzeichnet, dass für zumindest eine Kammer oder mindestens eine der Kammern die aus einem Material bestehende Außenwandung einstückig ist und die elektrochemische Überführung in der Außenwandung mittels zumindest eines in die Außenwandung eingebrachten Energieeintrags erzeugt ist, wobei durch den Energieeintrag in dem Bereich der elektrochemischen Überführung Poren in das Material der Außenwandung eingebracht sind.The solution according to the invention also relates to a housing for an electrochemical reference half cell wherein the housing has at least one chamber for receiving an electrolyte, wherein in an outer wall of the chamber, an electrochemical transfer is arranged, by means of which an electrolytic contact between an arranged in the chamber electrolyte and an outside the chamber can be arranged disposable medium. The housing according to the invention is characterized in that for at least one chamber or at least one of the chambers, the outer wall made of a material is integral and the electrochemical transfer in the outer wall is generated by means of at least one introduced into the outer wall energy input, wherein by the energy input in the area the electrochemical transfer pores are introduced into the material of the outer wall.
Bei der Kammer mit der einstückigen Gehäusewand ist also vorteilhaft das Diaphragma direkt in die Außenwandung integriert und selbst Teil der aus einem Stück bestehenden Außenwandung der Kammer. Die Kammer mit der einstückigen Außenwandung kann dabei wie oben erwähnt noch eine Öffnung aufweisen, durch die ein Bezugs-Ableitelement einführbar und ein Elektrolyt einfüllbar ist. Die Öffnung ist anschließend mit der oben erwähnten Polymerdichtung verschließbar.In the case of the chamber with the one-piece housing wall, the diaphragm is thus advantageously integrated directly into the outer wall and is itself part of the one-piece outer wall of the chamber. The chamber with the one-piece outer wall can, as mentioned above, still have an opening through which a reference discharge element can be introduced and an electrolyte can be introduced. The opening is then closable with the above-mentioned polymer seal.
In einer bevorzugten Ausgestaltung des erfindungsgemäßen Gehäuses umfasst die elektrochemische Überführung in der einstückigen Außenwandung einen offenporigen Bereich. Der offenporige Bereich der elektrochemischen Überführung wird mittels des erfindungsgemäßen Verfahrens erhalten.In a preferred embodiment of the housing according to the invention, the electrochemical transfer in the one-piece outer wall comprises an open-pore region. The open-pore region of the electrochemical transfer is obtained by means of the process according to the invention.
In einer weiteren Ausgestaltung des erfindungsgemäßen Gehäuses ist das Material der Kammer im Wesentlichen ein Glas.In a further embodiment of the housing according to the invention, the material of the chamber is essentially a glass.
In einer weiteren Ausgestaltung des erfindungsgemäßen Gehäuses ist das Material der Kammer im Wesentlichen ein Kunstsoff. Insbesondere handelt es sich um einen thermoplastischen oder ein duroplastischen Kunststoff. Bei dem Kunststoff kann es sich zum Beispiel um ein Polyetherketon (PEK), insbesondere um ein Polyetheretherketon (PEEK), handeln, welches sich aufgrund seiner hohen chemischen Beständigkeit und seiner hervorragenden elektrisch isolierenden Eigenschaften als Material für das Gehäuse eignet.In a further embodiment of the housing according to the invention, the material of the chamber is essentially a Kunstsoff. In particular, it is a thermoplastic or a thermosetting plastic. The plastic may be, for example, a polyetherketone (PEK), in particular a polyetheretherketone (PEEK), which is suitable as a material for the housing due to its high chemical resistance and excellent electrical insulating properties.
In einer Weiterbildung des erfindungsgemäßen Gehäuses sind/ist die Kammer und/oder das Gehäuse zumindest abschnittsweise zylinderförmig. In a further development of the housing according to the invention, the chamber and / or the housing are / is at least partially cylindrical.
In einer bevorzugten Ausgestaltung dieser Weiterbildung sind die Poren im Wesentlichen gleichmäßig um einen zylinderförmigen Endbereich der Kammer, insbesondere einer Öffnung der Kammer abgewandten Endbereich, angeordnet.In a preferred embodiment of this development, the pores are arranged substantially uniformly around a cylindrical end region of the chamber, in particular an end region facing away from the opening of the chamber.
Dadurch sind die Poren gleichmäßig um einem dem Messmedium zugewandten Endbereich der Kammer angeordnet, beispielsweise entlang eines ringförmigen Zylinderabschnitts im Endbereich. Mittels der gleichmäßig verteilt angeordneten Poren wird der elektrolytische Kontakt zwischen einem außerhalb der Kammer anordenbaren und die Kammer umgebenden Medium und einem in der Kammer anordenbaren Elektrolyten von allen Seiten der Kammer her im Wesentlichen in gleichem Maße hergestellt.As a result, the pores are arranged uniformly around an end region of the chamber facing the measuring medium, for example along an annular cylindrical section in the end region. By means of the uniformly distributed pores, the electrolytic contact between a medium which can be arranged outside the chamber and surrounding the chamber and an electrolyte which can be arranged in the chamber is produced from all sides of the chamber essentially to the same extent.
In einer weiteren Weiterbildung weisen die Poren eine minimale Porendichte von zumindest 8×10-2 /mm auf. Insbesondere weisen die Poren eine maximale Porendichte von höchstens 104/mm auf. Als Porendichte wird im Rahmen dieser Anmeldung die mittlere Anzahl der Poren entlang einer Schnittlinie bezeichnet.In a further development, the pores have a minimum pore density of at least 8 × 10 -2 / mm. In particular, the pores have a maximum pore density of at most 10 4 / mm. For the purposes of this application, pore density is the mean number of pores along a cutting line.
Die Erfindung betrifft weiter einen elektrochemischer Sensor mit einer elektrochemischen Bezugshalbzelle wobei die elektrochemische Bezugshalbzelle umfasst:
- - ein erfindungsgemäßes Gehäuse;
- - ein in der Kammer angeordnetes Bezugs-Ableitelement, welches elektrisch leitend mit einer außerhalb der Kammer angeordneten elektrischen Kontaktstelle verbunden ist; und
- - zumindest einen Elektrolyten, der innerhalb der Kammer angeordnet ist.
- - An inventive housing;
- - A arranged in the chamber reference-Ableitelement which is electrically connected to an outside of the chamber arranged electrical contact point; and
- - At least one electrolyte which is disposed within the chamber.
Wird der elektrochemischer Sensor in einem Messbetrieb in Kontakt mit einem Messmedium gebracht, steht der innerhalb der Kammer angeordnete Elektrolyt über die elektrochemische Überführung in elektrochemischen Kontakt mit dem Messmedium.If the electrochemical sensor is brought into contact with a measuring medium in a measuring operation, the electrolyte arranged inside the chamber is in electrochemical contact with the measuring medium via the electrochemical transfer.
Im einfachsten Fall handelt es sich bei dem Elektrolyt um einen Bezugselektrolyten, in welchen wie eingangs beschrieben das Bezugs-Ableitelement eintaucht.In the simplest case, the electrolyte is a reference electrolyte, in which, as described above, the reference diverter element is immersed.
Aus dem Stand der Technik ist weiterhin die Verwendung sogenannter Brückenelektrolyte bekannt, welche über eine elektrochemische Überführung einer ersten Kammer in elektrochemischen Kontakt mit dem Messmedium stehen. In diesem Fall sind das Bezugs-Ableitelement und der Bezugselektrolyt in einer zweiten Kammer angeordnet, wobei die zweite Kammer wiederum innerhalb der ersten Kammer angeordnet ist und in elektrolytischen Kontakt zu der ersten Kammer steht. Insbesondere steht das Bezugselektrolyt über eine elektrochemische Überführung der zweiten Kammer in elektrolytischem Kontakt mit dem Brückenelektrolyt. In diesem Fall ist für den elektrochemischen Sensor mit dem erfindungsgemäßen Gehäuse für zumindest eine der beiden Kammern die elektrochemischen beispielsweise die der ersten Kammer, derart, dass die aus einem Material bestehende Außenwandung der Kammer einstückig ist und die elektrochemische Überführung in der Außenwandung der Kammer mittels des in die Außenwandung eingebrachten Energieeintrags erzeugt ist.Furthermore, the use of so-called bridge electrolytes, which are in electrochemical contact with the measuring medium via an electrochemical transfer of a first chamber, is known from the prior art. In this case, the reference diverter and the reference electrolyte are disposed in a second chamber, the second chamber again being disposed within the first chamber and in electrolytic contact with the first chamber. In particular, the reference electrolyte is via an electrochemical transfer of the second chamber in electrolytic contact with the bridge electrolyte. In this case, for the electrochemical sensor with the housing according to the invention for at least one of the two chambers, the electrochemical, for example, the first chamber, such that the outer wall of the chamber is made of a material of the chamber and the electrochemical transfer in the outer wall of the chamber by means of generated in the outer wall energy input is generated.
In einer Ausgestaltung des elektrochemischen Sensors weist dieser eine elektrochemische Messhalbzelle mit einem potentialbildenden Element und einem Ableitelement auf, welches elektrisch leitend mit der elektrischen Kontaktstelle verbunden ist, und eine Regel-/Auswerteeinheit, die dazu ausgestaltet ist, anhand von von der Bezugshalbzelle und der zumindest einen Messhalbzelle erzeugten elektrischen Signalen eine Messgröße eines mit dem elektrochemischen Sensor in Kontakt stehenden Messmediums zu bestimmen. In dieser Ausgestaltung handelt es sich bei dem elektrochemischen Sensor z.B. um eine eingangs genannten ionenselektive Elektrode.In one embodiment of the electrochemical sensor, the latter has an electrochemical measuring half cell with a potential-forming element and a diverting element, which is electrically conductively connected to the electrical contact point, and a control / evaluation unit which is designed for this purpose on the basis of the reference half cell and the at least to determine a measured variable of a measuring medium which is in contact with the electrochemical sensor, electrical signals generated by a measuring half-cell. In this embodiment, the electrochemical sensor is e.g. to an ion-selective electrode mentioned above.
In einer weiteren Ausgestaltung des elektrochemischen Sensors weist dieser zumindest einen Halbleiter-Isolator-Schichtstapel auf, welcher elektrisch leitend mit der elektrischen Kontaktstelle verbunden ist, und eine Regel-/Auswerteeinheit, die dazu ausgestaltet ist, anhand von von der Bezugshalbzelle und dem zumindest einen Halbleiter-Isolator-Schichtstapel erzeugten elektrischen Signalen eine Messgröße eines mit dem elektrochemischen Sensor in Kontakt stehenden Messmediums zu bestimmen.In a further refinement of the electrochemical sensor, the latter has at least one semiconductor-insulator layer stack, which is electrically conductively connected to the electrical contact point, and a control / evaluation unit designed for this purpose on the basis of the reference half-cell and the at least one semiconductor Insulator layer stack generated electrical signals to determine a measure of a standing in contact with the electrochemical sensor measuring medium.
In dieser Ausgestaltung umfasst der elektrochemische Sensor als analytsensitive Komponente also den eingangs erwähnten Halbleiter-Isolator-Schichtstapel, welcher z.B. in dem ISFET-Sensor oder als EIS-Struktur mit kapazitiver Auswertung eingesetzt wird.In this embodiment, the electrochemical sensor as an analyte-sensitive component thus comprises the semiconductor-insulator layer stack mentioned in the introduction, which is used e.g. in the ISFET sensor or as an EIS structure with capacitive evaluation.
Die Regel-/Auswerteeinheit dieser Ausgestaltungen ist dabei als eine elektrische Schaltung ausgebildet, die zur Regelung und/oder Auswertung des elektrochemischen Sensors ausgestaltet ist. Das von der Kontaktstelle erzeugte Signal wird dabei an die Regel-/Auswerteeinheit übertragen. Dies geschieht beispielsweise, indem die Kontaktstelle mit der Regel-/Auswerteeinheit über elektrische Pfade verbunden ist.The control / evaluation unit of these embodiments is designed as an electrical circuit which is designed for the control and / or evaluation of the electrochemical sensor. The signal generated by the contact point is transmitted to the control / evaluation unit. This happens, for example, by the contact point is connected to the control / evaluation unit via electrical paths.
Die Erfindung wird anhand der nachfolgenden, nicht maßstabsgetreuen Figuren näher erläutert, wobei gleiche Bezugszeichen gleiche Merkmale bezeichnen. Wenn es die Übersichtlichkeit erfordert oder es anderweitig sinnvoll erscheint, wird auf bereits erwähnte Bezugszeichen in nachfolgenden Figuren verzichtet. Es zeigt:
-
1a,b ,c: Verschiedene Ausgestaltungen des erfindungsgemäßen Verfahrens; -
2 : Eine Ausgestaltung einer Bezugshalbzelle mit dem erfindungsgemäßen Gehäuse; -
3 : Eine erste Ausgestaltung eines elektrochemischen Sensors mit einer Bezugshalbzelle mit einem erfindungsgemäßen Gehäuse; -
4 : Eine zweite Ausgestaltung eines elektrochemischen Sensors mit einer Bezugshalbzelle mit einem erfindungsgemäßen Gehäuse; -
5 : Eine dritte Ausgestaltung eines elektrochemischen Sensors mit einer Bezugshalbzelle mit einem erfindungsgemäßen Gehäuse.
-
1a, b , c: Various embodiments of the method according to the invention; -
2 : An embodiment of a reference half cell with the housing according to the invention; -
3 A first embodiment of an electrochemical sensor having a reference half cell with a housing according to the invention; -
4 A second embodiment of an electrochemical sensor having a reference half cell with a housing according to the invention; -
5 A third embodiment of an electrochemical sensor with a reference half cell with a housing according to the invention.
In
In einer ersten Ausgestaltung des Verfahrens,
Die mittels des Lasers
Durch die offenporige Struktur wird eine elektrochemische Überführung
In einer zweiten Ausgestaltung des Verfahrens,
Das Aufschäummittel wird in einem ersten Verfahrensschritt (
Der zweite Energieeintrag
In einem zweiten Schritt,
Mittels der Gasblasen
Selbstverständlich können die in
In die Kammer
In der Kammer
Durch die einstückig ausgeführte Außenwand
Die Messhalbzelle
Die Bezugshalbzelle
Die Bezugshalbzelle
Über die in der Außenwand der Kammer
Zur Durchführung einer Messung einer Analytkonzentration in einem Messmedium
Eine eine Messschaltung umfassende Regel-/Auswerteinheit
Die zwischen den Ableitelement
Die Messhalbzelle
Wie in dem anhand der
Die durch die Außenwand
In dem hier vorliegenden Beispiel ist nur für die erste Kammer
Der elektrochemischer Sensor
Obwohl die Erfindung anhand eines pH-Sensors mit einem pH-sensitiven ISFET beschrieben wird, ist die Erfindung selbstverständlich auf Sensoren mit anderen Sensorelementen, insbesondere auf ISFETs bzw. ChemFETs oder andere EIS-Strukturen umfassende Sensorelemente übertragbar. Durch Verwendung anderer Halbleiter-Isolator-Schichtstapel
BezugszeichenlisteLIST OF REFERENCE NUMBERS
- 11
- elektrochemische Bezugshalbzelleelectrochemical reference half-cell
- 2a, 2b2a, 2b
- Kammerchamber
- 33
- Gehäusecasing
- 44
- Außenwandungouter wall
- 5, 5a, 5b5, 5a, 5b
- elektrochemische Überführungelectrochemical transfer
- 66
- Porenpore
- 77
- Aufschäummittelfoaming
- 88th
- Öffnungopening
- 99
- elektrochemischer Sensorelectrochemical sensor
- 1010
- Bezugs-AbleitelementReference diverting
- 1111
- Kontaktstellecontact point
- 12a, 12b12a, 12b
- Elektrolytelectrolyte
- 1313
- elektrochemische Messhalbzelleelectrochemical measuring half cell
- 1414
- Regel-/AuswerteeinheitControl / evaluation unit
- 1515
- potentialbildendes Elementpotential-forming element
- 1616
- Ableitelementdiverter
- 1717
- Messmediummeasuring medium
- 1818
- Halbleiter-Isolator-SchichtstapelSemiconductor-insulator-layer stack
- 1919
- Gasblasengas bubbles
- 2020
- PolymerdichtungPolymersealing
- 2121
- Innenelektrolyt internal electrolyte
- ΔE1, ΔE2, ΔE3ΔE1, ΔE2, ΔE3
- Energieeintragenergy input
- L1 ,L2,..L1, L2, ..
- Laserlaser
- MD, NDMD, ND
- Mikrodefekte, NanodefekteMicrodefects, nanodefects
- EBEB
- Endbereichend
ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG QUOTES INCLUDE IN THE DESCRIPTION
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Zitierte PatentliteraturCited patent literature
- DE 19857953 A1 [0005]DE 19857953 A1 [0005]
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---|---|---|---|
DE102017112225.7A DE102017112225A1 (en) | 2017-06-02 | 2017-06-02 | A method of manufacturing a housing and housing for a reference electrochemical half-cell |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE102017112225.7A DE102017112225A1 (en) | 2017-06-02 | 2017-06-02 | A method of manufacturing a housing and housing for a reference electrochemical half-cell |
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---|---|
DE102017112225A1 true DE102017112225A1 (en) | 2018-12-06 |
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-
2017
- 2017-06-02 DE DE102017112225.7A patent/DE102017112225A1/en active Pending
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Title |
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HERMATSCHWEILER, M. [et al.]: 3D-Strukturierung durch Laserlithographie. Photonik, 2008, No. 6, S. 54-56. * |
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