DE102017004517A1 - Test socket and contacting device for contacting a high-frequency signal - Google Patents

Test socket and contacting device for contacting a high-frequency signal Download PDF

Info

Publication number
DE102017004517A1
DE102017004517A1 DE102017004517.8A DE102017004517A DE102017004517A1 DE 102017004517 A1 DE102017004517 A1 DE 102017004517A1 DE 102017004517 A DE102017004517 A DE 102017004517A DE 102017004517 A1 DE102017004517 A1 DE 102017004517A1
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
contact
contacting device
frequency cable
contacting
inner conductor
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Withdrawn
Application number
DE102017004517.8A
Other languages
German (de)
Inventor
Ludwig Huber
Stefan Reischl
Frank Tatzel
Adalbert Schadhauser
Steffen Thies
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Rosenberger Hochfrequenztechnik GmbH and Co KG
Original Assignee
Rosenberger Hochfrequenztechnik GmbH and Co KG
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Rosenberger Hochfrequenztechnik GmbH and Co KG filed Critical Rosenberger Hochfrequenztechnik GmbH and Co KG
Priority to PCT/EP2018/053753 priority Critical patent/WO2018166737A1/en
Priority to TW107107218A priority patent/TW201837488A/en
Publication of DE102017004517A1 publication Critical patent/DE102017004517A1/en
Withdrawn legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R1/00—Details of instruments or arrangements of the types included in groups G01R5/00 - G01R13/00 and G01R31/00
    • G01R1/02—General constructional details
    • G01R1/04—Housings; Supporting members; Arrangements of terminals
    • G01R1/0408—Test fixtures or contact fields; Connectors or connecting adaptors; Test clips; Test sockets
    • G01R1/0433—Sockets for IC's or transistors

Abstract

Die vorliegende Erfindung betrifft einen Testsockel mit mehreren Kontaktelementen zur Kontaktierung von jeweils einem elektrischen Signal oder einem elektrischen Potential und mit mindestens einer Kontaktierungsvorrichtung zur Kontaktierung von jeweils einem Hochfrequenzsignal. Die mehreren Kontaktelemente sind jeweils in einem ersten Raster angeordnet. Innerhalb des ersten Rasters sind durch jede Kontaktierungsvorrichtung jeweils mindestens ein benachbartes Kontaktelement in jeder der beiden zueinander orthogonalen Anordnungsrichtungen des ersten Rasters ersetzt. Jede Kontaktierungsvorrichtung verläuft entlang der axialen Erstreckung der Kontaktelemente parallel zu den Kontaktelementen. Die mindestens eine Kontaktierungsvorrichtung (4; 4'; 4'; 4"; 4"') ist jeweils unterschiedlich zu jedem Kontaktelement (3).The present invention relates to a test socket with a plurality of contact elements for contacting each of an electrical signal or an electrical potential and at least one contacting device for contacting each of a high-frequency signal. The plurality of contact elements are each arranged in a first grid. Within the first grid, each contacting device replaces at least one adjacent contact element in each of the two mutually orthogonal arrangement directions of the first grid. Each contacting device runs along the axial extent of the contact elements parallel to the contact elements. The at least one contacting device (4; 4 '; 4'; 4 "; 4" ') is different in each case from each contact element (3).

Description

GEBIET DER ERFINDUNGFIELD OF THE INVENTION

Die vorliegende Erfindung betrifft einen Testsockel mit mehreren Kontaktelementen zur Kontaktierung von jeweils einem elektrischen Signal oder von jeweils einem elektrischen Potential und mindestens einer Kontaktierungsvorrichtung zur Kontaktierung von jeweils einem Hochfrequenzsignal.The present invention relates to a test socket with a plurality of contact elements for contacting each of an electrical signal or each of an electrical potential and at least one contacting device for contacting each of a high-frequency signal.

TECHNISCHER HINTERGRUNDTECHNICAL BACKGROUND

Zur Prüfung einer integrierten Schaltung, die mehrere in einem Raster jeweils angeordnete Kontaktflächen aufweist, ist ein Testsockel mit mehreren im selben Raster angeordneten Kontaktelementen erforderlich. Bei den Kontaktelementen handelt es sich um Durchkontaktierungselemente, d.h. um Kontaktelemente, die sich von der Kontaktebene mit den Kontaktflächen der zu prüfenden integrierten Schaltung über die zur Kontaktebene benachbarte Fläche des Testsockels bis zur gegenüberliegende Fläche des Testsockels bzw. über die gegenüberliegende Fläche des Testsockels hinaus erstrecken. Die Kontaktelemente sind insbesondere stiftförmige Kontaktelemente, d.h. Kontaktstifte. Anstelle einer integrierten Schaltung ist auch eine Leiterplatte mit Elektronik oder jede andere Ausprägung einer elektronischen Baugruppe mit elektronischen Kontaktflächen mit abgedeckt. Die integrierte Schaltung wird typischerweise in den Testsockel eingefügt, so dass ein Kontaktierungsende von jeweils einem Kontaktelement sicher eine zugehörige Kontaktfläche der integrierten Schaltung elektrisch kontaktiert. Das andere Ende jedes Kontaktelementes ist jeweils über ein sogenanntes Loadboard (deutsch: Lade-Platte) mit einem Messgerät verbunden.To test an integrated circuit having a plurality of arranged in a grid contact surfaces, a test socket with several arranged in the same grid contact elements is required. The contact elements are via elements, i. contact elements which extend from the contact plane with the contact surfaces of the integrated circuit to be tested via the contact-plane-adjacent surface of the test socket to the opposite surface of the test socket or over the opposite surface of the test socket. The contact elements are in particular pin-shaped contact elements, i. Contact pins. Instead of an integrated circuit and a printed circuit board with electronics or any other form of electronic assembly with electronic contact surfaces is covered. The integrated circuit is typically inserted into the test socket such that a contacting end of each one of the contact elements securely electrically contacts an associated pad of the integrated circuit. The other end of each contact element is connected in each case via a so-called loadboard (German: charging plate) with a measuring device.

Ist an den einzelnen Kontaktflächen der zu prüfenden integrierten Schaltung lediglich jeweils ein Gleichspannungs- oder Niederfrequenzsignal zu messen, so ist für die Kontaktierung lediglich in der Regel ein Kontaktstift ausreichend. Sind dagegen Hochfrequenzsignale an den einzelnen Kontaktflächen der integrierten Schaltung zu messen, so ist eine Kontaktierung erforderlich, die an die Hochfrequenzphysik des zu messenden Hochfrequenzsignals angepasst ist.If only one DC or one low-frequency signal is to be measured at the individual contact surfaces of the integrated circuit to be tested, then only one contact pin is generally sufficient for the contacting. If, in contrast, high-frequency signals are to be measured at the individual contact surfaces of the integrated circuit, a contact is required which is adapted to the high-frequency physics of the high-frequency signal to be measured.

Aus der US 7,173,442 B2 ist eine Testvorrichtung zum Testen von integrierten Schaltungen bekannt, mit der an einzelnen Kontaktflächen der integrierten Schaltung parallel Gleichspannungs- bzw. Niederfrequenzsignale und Hochfrequenzsignale kontaktiert werden können. Für die Kontaktierung der Hochfrequenzsignale wird jeweils eine koplanare Streifenleitung benutzt. Die koplanare Streifenleitung verläuft in einer parallelen Ebene zur Kontaktebene der zu prüfenden integrierten Schaltung. Da eine koplanare Streifenleitung eine gewisse Ausdehnung in der Ebene aufweist, die typischerweise größer als der Rasterabstand der einzelnen Kontaktflächen ist, können mit einer derartigen koplanaren Streifenleitung nachteilig lediglich Hochfrequenzsignale an den Rändern des Rasters kontaktiert werden.From the US 7,173,442 B2 For example, a test device for testing integrated circuits is known, with which parallel DC and / or low-frequency signals and high-frequency signals can be contacted at individual contact surfaces of the integrated circuit. For the contacting of the high-frequency signals in each case a coplanar stripline is used. The coplanar stripline runs in a parallel plane to the contact plane of the integrated circuit to be tested. Since a coplanar strip line has a certain extent in the plane, which is typically greater than the pitch of the individual contact surfaces, such a coplanar strip line can be disadvantageously contacted only high-frequency signals at the edges of the grid.

Dies ist ein Zustand, den es zu verbessern gilt.This is a condition to be improved.

ZUSAMMENFASSUNG DER ERFINDUNGSUMMARY OF THE INVENTION

Vor diesem Hintergrund liegt der vorliegenden Erfindung die Aufgabe zugrunde, einen Testsockel anzugeben, mit dem nicht nur Gleichspannungs- bzw. Niederfrequenzsignale sondern auch Hochfrequenzsignale an jeder beliebigen Kontaktfläche der zu prüfenden integrierten Schaltung kontaktiert werden können. Against this background, the present invention has the object to provide a test socket, with which not only DC or low frequency signals but also high-frequency signals can be contacted at any contact surface of the integrated circuit to be tested.

Erfindungsgemäß wird diese Aufgabe durch einen Testsockel mit den Merkmalen des Patentanspruchs 1, durch eine Kontaktierungsvorrichtung mit den Merkmalen des Patentanspruchs 18 und durch ein Verfahren zum Herstellen einer Kontaktierungsvorrichtung mit den Merkmalen des Patentanspruches 29 gelöst.According to the invention, this object is achieved by a test socket having the features of patent claim 1, by a contacting device having the features of patent claim 18 and by a method for producing a contacting device having the features of patent claim 29.

Demgemäß ist vorgesehen:

  • - Einen Testsockel mit mehreren Kontaktelementen zur Kontaktierung von jeweils einem elektrischen Signal oder von jeweils einem elektrischen Potential und mit mindestens einer Kontaktierungsvorrichtung zur Kontaktierung von jeweils einem Hochfrequenzsignal, wobei die mehreren Kontaktelemente jeweils in einem ersten Raster angeordnet sind und innerhalb des ersten Rasters durch jede Kontaktierungsvorrichtung jeweils mindestens ein benachbartes Kontaktelement in jeder der beiden zueinander orthogonalen Anordnungsrichtungen des ersten Rasters ersetzt ist, wobei jede Kontaktierungsvorrichtung entlang der axialen Erstreckung der Kontaktelemente parallel zu den Kontaktelementen verläuft, wobei die mindestens eine Kontaktierungsvorrichtung jeweils unterschiedlich zu jedem Kontaktelement ist,
  • - eine Kontaktierungsvorrichtung zur Kontaktierung von jeweils einem Hochfrequenzsignal mit einer äußeren Hülse, einer in der äußeren Hülse in axialer Richtung geführten inneren Hülse, einer Feder, die zwischen der inneren Hülse und einem an der äußeren Hülse radial nach innen gerichteten Steg positioniert ist, einem mit der elektrisch leitenden inneren Hülse verbundenen Außenleiter eines Hochfrequenzkabels, einem mit einem Innenleiter des Hochfrequenzkabels verbundenen innenleiterkontaktseitig angeordneten Kontaktelement und mindestens einem mit der inneren Hülse verbundenen außenleiterkontaktseitig angeordneten Kontaktelement und
  • - ein Verfahren zur Herstellung einer Kontaktierungsvorrichtung zur Kontaktierung von jeweils einem Hochfrequenzsignal mit folgenden Verfahrensschritten: Einfügen einer Feder und einer inneren Hülse der Kontaktierungsvorrichtung, die mit einem Außenleiter eines Hochfrequenzkabels verbunden ist, in eine äußere Hülse der Kontaktierungsvorrichtung; Verbinden eines innenleiterkontaktseitig angeordneten Kontaktelements mit einem Innenleiter des Hochfrequenzkabels; Verbinden von mindestens einem außenleiterkontaktseitig angeordneten Kontaktelements mit einer inneren Hülse der Kontaktierungsvorrichtung und Ausformen einer zur Kontaktebene gerichteten axialen Begrenzung der äußeren Hülse der Kontaktierungsvorrichtung.
Accordingly, it is provided:
  • - A test socket with a plurality of contact elements for contacting each of an electrical signal or of an electrical potential and at least one contacting device for contacting each of a high-frequency signal, wherein the plurality of contact elements are each arranged in a first grid and within the first grid by each contacting device each at least one adjacent contact element in each of the two mutually orthogonal arrangement directions of the first grid is replaced, each contacting device along the axial extent of the contact elements parallel to the contact elements, wherein the at least one contacting device is different from each contact element,
  • - A contacting device for contacting each of a high-frequency signal with an outer sleeve, an axially guided in the outer sleeve inner sleeve, a spring which is positioned between the inner sleeve and a sleeve on the radially inwardly radially directed web, with a the outer conductor of a high-frequency cable connected to the electrically conductive inner sleeve, an inner conductor contact side connected to an inner conductor of the high-frequency cable arranged contact element and at least one connected to the inner sleeve outer conductor contact side arranged contact element and
  • - A method for producing a contacting device for contacting each of a high-frequency signal with the following method steps: inserting a spring and an inner sleeve of the contacting device, which is connected to an outer conductor of a high-frequency cable, in an outer sleeve of the contacting device; Connecting an inner conductor contact side arranged contact element with an inner conductor of the high-frequency cable; Connecting at least one outer conductor contact side arranged contact element with an inner sleeve of the contacting device and forming a directed to the contact plane axial boundary of the outer sleeve of the contacting device.

Die der vorliegenden Erfindung zugrunde liegende Erkenntnis/Idee besteht darin, für die Kontaktierung eines Hochfrequenzsignals eine Kontaktierungsvorrichtung vorzusehen, die parallel zur axialen Erstreckung der einzelnen in einem Raster angeordneten Kontaktelemente angeordnet ist, mit denen jeweils bevorzugt ein Gleichspannungs- oder Niederfrequenzsignal kontaktiert wird. Auf diese Weise kann ein Hochfrequenzsignal nicht nur an den Rändern des Rasters, sondern auch im Innern des Rasters kontaktiert werden. Für die Kontaktierung des Hochfrequenzsignals ist somit abhängig vom realisierten Miniaturisierungsgrad der Kontaktierungsvorrichtung nur eine bestimmte Anzahl von benachbarten Kontaktelementen zu ersetzen. Zusätzliche Kontaktelemente, die sich zwischen dem eigentlichen Kontaktierungsbereich des Hochfrequenzsignals innerhalb des Rasters und dem nächst gelegenen Rand des Rasters befinden, müssen somit in Abgrenzung zu einer zur Kontaktebene parallel verlaufenden Anordnung der Kontaktierungsvorrichtung vorteilhaft nicht ersetzt und damit geopfert werden.The knowledge / idea underlying the present invention is to provide a contacting device for contacting a high-frequency signal, which is arranged parallel to the axial extension of the individual arranged in a grid contact elements, with each of which preferably a DC or low frequency signal is contacted. In this way, a high-frequency signal can be contacted not only at the edges of the grid but also inside the grid. For the contacting of the high-frequency signal is thus dependent on the realized degree of miniaturization of the contacting only a certain number of adjacent contact elements to replace. Additional contact elements, which are located between the actual contacting region of the high-frequency signal within the grid and the nearest edge of the grid, thus advantageously need not be replaced and thus sacrificed in contrast to an arrangement parallel to the contact plane arrangement of the contacting device.

Die Anzahl der benachbarten Kontaktelemente, die durch eine Kontaktierungsvorrichtung innerhalb des Rasters, das im Folgenden als erstes Raster bezeichnet wird, ersetzt wird, ergibt sich in Abhängigkeit des realisierten Miniaturisierungsgrades und der Art der Kontaktierung, beispielsweise koaxiale Kontaktierung oder differentielle bzw. Twinax-Kontaktierung.The number of adjacent contact elements, which is replaced by a contacting device within the grid, which is referred to below as the first grid, results depending on the realized degree of miniaturization and the type of contacting, for example, coaxial contacting or differential or twinax contacting.

Vorteilhafte Ausgestaltungen und Weiterbildungen ergeben sich aus den weiteren Unteransprüchen sowie aus der Beschreibung unter Bezugnahme auf die Figuren der Zeichnung.Advantageous embodiments and further developments will become apparent from the other dependent claims and from the description with reference to the figures of the drawing.

Es versteht sich, dass die voranstehend genannten und die nachstehend noch zu erläuternden Merkmale nicht nur in der jeweils angegebenen Kombination, sondern auch in anderen Kombinationen oder in Alleinstellung verwendbar sind, ohne den Rahmen der vorliegenden Erfindung zu verlassen.It is understood that the features mentioned above and those yet to be explained below can be used not only in the particular combination indicated, but also in other combinations or in isolation, without departing from the scope of the present invention.

Für den Fall eines einpoligen Hochfrequenzsignals (englisch: single-ended signal) ist die erfindungsgemäße Kontaktierungsvorrichtung koaxial ausgeführt und weist somit im Hinblick auf ein minimiertes Volumen eine hülsenförmige Form auf. Diese hülsenförmige Kontaktierungsvorrichtung weist eine äußere Hülse auf, die im Kontaktierungsbereich des zu kontaktierenden Hochfrequenzsignals im erfindungsgemäßen Testsockel fixiert ist. In der äußeren Hülse ist in axialer Richtung eine innere Hülse geführt. Zwischen der inneren Hülse und einem radial nach innen gerichteten Steg der äußeren Hülse ist eine Feder positioniert, die die innere Hülse in der äußeren Hülse in axialer Richtung elastisch lagert. In the case of a single-pole high-frequency signal (English: single-ended signal), the contacting device according to the invention is designed coaxially and thus has a sleeve-like shape with regard to a minimized volume. This sleeve-shaped contacting device has an outer sleeve which is fixed in the contacting region of the high-frequency signal to be contacted in the test socket according to the invention. In the outer sleeve, an inner sleeve is guided in the axial direction. Between the inner sleeve and a radially inwardly directed web of the outer sleeve, a spring is positioned, which elastically supports the inner sleeve in the outer sleeve in the axial direction.

Die erfindungsgemäße Kontaktierungsvorrichtung ist somit derart ausgeführt, dass sie aus dem erfindungsgemäßen Testsockel austauschbar ist.The contacting device according to the invention is thus designed such that it is exchangeable from the test socket according to the invention.

Die innere Hülse ist über die äußere Hülse hinaus durch eine erste Durchführung axial bewegbar, die in einer zur prüfenden integrierten Schaltung gerichteten Stirnfläche der äußeren Hülse angeordnet ist. Die Bewegung der inneren Hülse ist in Richtung der zu prüfenden integrierten Schaltung durch das Zusammenspiel eines radial nach außen gerichteten Steges der inneren Hülse und einer radial nach innen gerichteten Begrenzung der äußeren Hülse limitiert, die die erste Durchführung begrenzt.The inner sleeve is axially movable beyond the outer sleeve by a first passage which is disposed in an end face of the outer sleeve facing the integrated circuit under test. The movement of the inner sleeve is limited in the direction of the integrated circuit to be tested by the interaction of a radially outwardly directed web of the inner sleeve and a radially inwardly directed boundary of the outer sleeve, which limits the first implementation.

Ein Außenleiter eines mit der Kontaktierungsvorrichtung verbundenen Hochfrequenzkabels ist mit der inneren Hülse elektrisch und mechanisch verbunden. Jeweils mindestens ein Innenleiter des Hochfrequenzkabels ist mit einem zugehörigen innenleiterkontaktseitig angeordneten Kontaktelement der erfindungsgemäßen Kontaktierungsvorrichtung verbunden. Mindestens ein außenleiterkontaktseitig angeordnetes Kontaktelement ist mit der elektrisch leitenden inneren Hülse verbunden. Unter innenleiterkontaktseitiges und außenleiterkontaktseitiges Kontaktelement wird hierbei und im Folgenden ein Kontaktelement verstanden, das in Richtung der Kontaktierung mit der zugehörigen Innenleiterkontaktfläche bzw. der zugehörigen Außenleiterkontaktfläche des zu erfassenden Hochfrequenzsignals auf der integrierten Schaltung orientiert ist.An outer conductor of a high-frequency cable connected to the contacting device is electrically and mechanically connected to the inner sleeve. In each case at least one inner conductor of the high-frequency cable is connected to an associated inner conductor contact side arranged contact element of the contacting device according to the invention. At least one outer conductor contact side arranged contact element is connected to the electrically conductive inner sleeve. Inner conductor contact side and outer conductor contact side contact element are here and hereinafter understood as a contact element which is oriented in the direction of the contact with the associated inner conductor contact surface or the associated outer conductor contact surface of the high frequency signal to be detected on the integrated circuit.

Auf diese Weise ist eine Kontaktierungsvorrichtung realisiert, die an einer zu prüfenden integrierten Schaltung die zu einem zu messenden Hochfrequenzsignal gehörenden Innenleiter- und Außenleiterkontaktflächen kontaktiert und die zugehörigen Innenleiter- und Außenleiterpotenziale einem abgehenden Hochfrequenzkabel zuführt. Die elastische Führung der inneren Hülse in der äußeren Hülse der Kontaktierungsvorrichtung ermöglicht einen veränderlichen Abstand zwischen den Innenleiter- bzw. Außenleiterkontaktflächen des auf der integrierten Schaltung zu messenden Hochfrequenzsignals und der zugehörigen Kontaktierungsvorrichtung im Testsockel auszugleichen.In this way, a contacting device is implemented which contacts the inner conductor and outer conductor contact surfaces belonging to a high-frequency signal to be measured at an integrated circuit to be tested and supplies the associated inner conductor and outer conductor potentials to an outgoing high-frequency cable. The elastic Guiding the inner sleeve in the outer sleeve of the contacting device makes it possible to compensate for a variable distance between the inner conductor and outer conductor contact surfaces of the high-frequency signal to be measured on the integrated circuit and the associated contacting device in the test socket.

Da das Hochfrequenzkabel mit der in der äußeren Hülse elastisch geführten inneren Hülse verbunden ist, ist das Hochfrequenzkabel entsprechend des jeweiligen Abstands der Kontaktebene zur äußeren Hülse der Kontaktierungsvorrichtung innerhalb der äußeren Hülse beweglich gelagert und folgt somit der Bewegung der Kontaktebene. Unter Kontaktebene wird in diesem Zusammenhang die Ebene verstanden, in der die Kontaktierung zwischen den innenleiter- und außenleiterkontaktseitigen Kontaktelementen der Kontaktierungsvorrichtung und den Innenleiter- bzw. Außenleiterkontaktflächen des auf der integrierten Schaltung zu messenden Hochfrequenzsignals stattfindet.Since the high-frequency cable is connected to the inner sleeve elastically guided in the outer sleeve, the high-frequency cable is movably mounted according to the respective distance of the contact plane to the outer sleeve of the contacting device within the outer sleeve and thus follows the movement of the contact plane. In this context, the term "contact plane" refers to the plane in which the contacting between the inner conductor and outer conductor contact side contact elements of the contacting device and the inner conductor or outer conductor contact surfaces of the high-frequency signal to be measured on the integrated circuit takes place.

Außerdem ist bei einer derartigen erfindungsgemäßen Ausführung der Kontaktierungsvorrichtung das Hochfrequenzkabel, insbesondere der Innenleiter des Hochfrequenzkabels, möglichst nahe an die Kontaktelemente und damit an die Kontaktebene herangeführt. Schließlich wird die Anzahl von Übergängen auf dem Hochfrequenzsignalpfad zwischen der zu prüfenden integrierten Schaltung und dem Hochfrequenzkabel minimiert und damit die Impedanzanpassung auf dem Hochfrequenzsignalpfad verbessert.In addition, in such an inventive embodiment of the contacting device, the high-frequency cable, in particular the inner conductor of the high-frequency cable, as close as possible to the contact elements and thus brought to the contact plane. Finally, the number of transitions on the radio frequency signal path between the integrated circuit under test and the radio frequency cable is minimized, thereby improving the impedance matching on the radio frequency signal path.

Bevorzugt sind mehrere außenleiterkontaktseitige Kontaktelemente vorgesehen, die elastisch ausgeführt sind. Auf diese Weise können Abstandsunterschiede zwischen einzelnen Flächenbereichen der zugehörigen Außenleiterkontaktfläche auf der integrierten Schaltung und den einzelnen außenleiterkontaktseitigen Kontaktelementen ausgeglichen werden.Preferably, a plurality of outer conductor contact side contact elements are provided, which are designed to be elastic. In this way, distance differences between individual surface areas of the associated outer conductor contact surface on the integrated circuit and the individual outer conductor contact side contact elements can be compensated.

Die elastischen Kontaktelemente sind insbesondere als Kontaktelemente mit Federarmen realisiert. Auf diese Weise lassen sich elastische Kontaktelemente mit einer sehr geringen Ausdehnung und damit eine Kontaktierungsvorrichtung zur Kontaktierung eines Hochfrequenzsignals in einer miniaturisierten Ausführung realisieren. Als Fertigungstechnologie für derartige Kontaktelemente mit Federarm bietet sich beispielsweise der sogenannte Lithographie-Galvanik-Abformung(LIGA)-Prozess an.The elastic contact elements are realized in particular as contact elements with spring arms. In this way, elastic contact elements with a very small extent and thus a contacting device for contacting a high-frequency signal in a miniaturized design can be realized. As a manufacturing technology for such contact elements with spring arm, for example, offers the so-called lithographic electroplating (LIGA) process.

Falls mehrere außenleiterkontaktseitige Kontaktelemente vorgesehen sind, sind diese in einer bevorzugten Ausführungsform im selben Raster wie die Kontaktelemente, d.h. im ersten Raster, im erfindungsgemäßen Testsockel angeordnet. Die einzelnen Kontaktelemente zur Kontaktierung von jeweils einem elektrischen Signal oder von jeweils einem elektrischen Potential sind bevorzugt ebenfalls als elastische Federkontaktstifte realisiert.If a plurality of external conductor contact side contact elements are provided, these are in a preferred embodiment in the same grid as the contact elements, i. in the first grid, arranged in the test socket according to the invention. The individual contact elements for contacting each of an electrical signal or each of an electrical potential are preferably also realized as elastic spring contact pins.

Das innenleiterkontaktseitige Kontaktelement ist in einer ersten Ausführungsform der erfindungsgemäßen Kontaktierungsvorrichtung als elastisches Kontaktelement, insbesondere als Kontaktelement mit Federarm, ausgeführt. In einer zweiten Ausführungsform der erfindungsgemäßen Kontaktierungsvorrichtung ist das innenleiterkontaktseitige Kontaktelement als starres Kontaktelement realisiert. Abstandsunterschiede zwischen der Innenleiterkontaktfläche und der Außenleiterkontaktfläche des zu messenden Hochfrequenzsignals auf der integrierten Schaltung und den innenleiter- bzw. außenleiterkontaktseitigen Kontaktelementen werden durch das Zusammenspiel der Elastizität der innerhalb der äußeren Hülse angeordneten Feder und der Elastizität der außenleiterkontaktseitigen elastischen Federelementen ausgeglichen.The inner conductor contact side contact element is executed in a first embodiment of the contacting device according to the invention as an elastic contact element, in particular as a contact element with spring arm. In a second embodiment of the contacting device according to the invention, the inner conductor contact side contact element is realized as a rigid contact element. Distance differences between the inner conductor contact surface and the outer conductor contact surface of the high-frequency signal to be measured on the integrated circuit and the inner conductor or Außenleiterkontaktseitigen contact elements are compensated by the interaction of the elasticity of the arranged inside the outer sleeve spring and the elasticity of the outer conductor contact side elastic spring elements.

Eine dritte Ausführungsform einer erfindungsgemäßen Kontaktierungsvorrichtung ist durch ein einziges außenleiterkontaktseitiges Kontaktelement verwirklicht, das in Kontaktierungsrichtung eine zylindrische Innenbohrung und eine Elastizität aufweist. Bevorzugt ist das einzige außenleiterkontaktseitige Kontaktelement in Kontaktierungsrichtung ringförmig ausgeformt.A third embodiment of a contacting device according to the invention is realized by a single outer conductor contact side contact element having a cylindrical inner bore and an elasticity in the contacting direction. Preferably, the single outer conductor contact-side contact element is annularly shaped in the contacting direction.

In einer vierten Ausführungsform einer erfindungsgemäßen Kontaktierungsvorrichtung weist die erfindungsgemäße Kontaktierungsvorrichtung zwei innenleiterkontaktseitige Kontaktelemente zur Erfassung eines differentiellen Hochfrequenzsignal auf der zu prüfenden integrierten Schaltung auf. Diese beiden innenleiterkontaktseitigen Kontaktelemente sind mit jeweils einem zugehörigen Innenleiter des Hochfrequenzkabels verbunden (sogenanntes Twinax-Hochfrequenzkabel oder differentielles Hochfrequenzkabel).In a fourth embodiment of a contacting device according to the invention, the contacting device according to the invention has two inner conductor contact-side contact elements for detecting a differential high-frequency signal on the integrated circuit to be tested. These two inner conductor contact-side contact elements are each connected to an associated inner conductor of the high-frequency cable (so-called Twinax high-frequency cable or differential high-frequency cable).

Im Hinblick auf eine möglichst gute Miniaturisierung der Kontaktierungsvorrichtung ist das Hochfrequenzkabel als sogenanntes Mikro-Koaxialkabel, d.h. als Koaxialkabel mit einem im Vergleich zu herkömmlichen Koaxialkabeln deutlich geringeren Außendurchmesser, realisiert. Somit lassen sich die Durchmesser der inneren und äußeren Hülse der Kontaktierungsvorrichtung und damit die radiale Ausdehnung der Kontaktierungsvorrichtung deutlich minimieren. Der Platzbedarf im erfindungsgemäßen Testsockel für eine derart miniaturisierte Kontaktierungsvorrichtung, d.h. die Anzahl von benachbarten Kontaktstiften, die durch die miniaturisierte erfindungsgemäße Kontaktierungsvorrichtung zu ersetzen sind, ist damit vorteilhaft minimiert.With a view to the best possible miniaturization of the contacting device, the high-frequency cable is a so-called micro-coaxial cable, i. realized as a coaxial cable with a significantly smaller outer diameter compared to conventional coaxial cables. Thus, the diameter of the inner and outer sleeve of the contacting device and thus the radial extent of the contacting device can be significantly reduced. The space requirement in the test socket according to the invention for such a miniaturized contacting device, i. the number of adjacent contact pins to be replaced by the miniaturized contacting device according to the invention is thus advantageously minimized.

In einer ersten Variante eines externen Hochfrequenzanschlusses für die erfindungsgemäße Kontaktierungsvorrichtung wird das Hochfrequenzkabel über eine zweite Durchführung in der äußeren Hülse aus der Kontaktierungsvorrichtung hinausgeführt und direkt oder indirekt mit einem Hochfrequenzmessgerät verbunden. Diese zweite Durchführung ist bevorzugt an der der Kontaktebene entgegengesetzten Stirnfläche der Kontaktierungsvorrichtung, d.h. an der zur prüfenden integrierten Schaltung abgewandten Seite, vorgesehen und durch den an der äußeren Hülse vorgesehenen und radial nach innen gerichteten Steg begrenzt. In a first variant of an external high-frequency connection for the contacting device according to the invention, the high-frequency cable is led out of the contacting device via a second passage in the outer sleeve and connected directly or indirectly to a high-frequency measuring device. This second passage is preferably provided on the end face of the contacting device opposite the contact plane, ie on the side facing away from the integrated circuit to be tested, and bounded by the web provided on the outer sleeve and directed radially inwards.

In einer zweiten Variante eines externen Hochfrequenzanschlusses für die erfindungsgemäße Kontaktierungsvorrichtung ist die erfindungsgemäße Kontaktierungsvorrichtung an ihrem der Kontaktebene entgegengesetzten Ende als Kopplungseinheit zur Aufnahme eines Steckverbinders ausgeformt. Dieser Steckverbinder kann an einem Ende eines weiteren Hochfrequenzkabels, das direkt oder indirekt mit einem Hochfrequenzmessgerät verbunden ist, befestigt sein. Alternativ kann dieser Steckverbinder auch an einer Baugruppe, bevorzugt an einer Leiterplatte, befestigt sein, die die einzelnen Kontaktelemente und die einzelnen erfindungsgemäßen Kontaktierungsvorrichtungen des erfindungsgemäßen Testsockels kontaktiert. Zwischen der Feder und der Kopplungseinheit der Kontaktierungsvorrichtung befindet sich hierzu ein radial nach innen gerichteter Steg der äußeren Hülse, der eine zweite Durchführung für das Hochfrequenzkabel bildet. Das Hochfrequenzkabel erstreckt sich innerhalb der Kopplungseinheit über einen Bruchteil der Längserstreckung der Kopplungseinheit.In a second variant of an external high-frequency connection for the contacting device according to the invention the contacting device according to the invention is formed at its opposite end of the contact plane as a coupling unit for receiving a connector. This connector may be attached to one end of another high frequency cable that is directly or indirectly connected to a high frequency meter. Alternatively, this connector can also be attached to an assembly, preferably on a printed circuit board, which contacts the individual contact elements and the individual contacting devices according to the invention of the test socket according to the invention. For this purpose there is a radially inwardly directed web of the outer sleeve, which forms a second passage for the high-frequency cable between the spring and the coupling unit of the contacting device. The high frequency cable extends within the coupling unit for a fraction of the longitudinal extent of the coupling unit.

In einer dritten Variante eines externen Hochfrequenzanschlusses für die erfindungsgemäße Kontaktierungsvorrichtung erfolgt die Kontaktierung zwischen dem in der erfindungsgemäßen Kontaktierungsvorrichtung geführten Hochfrequenzkabel und einem Steckverbinder außerhalb der erfindungsgemäßen Kontaktierungsvorrichtung. Hierzu ist in dem erfindungsgemäßen Testsockel eine Baugruppe, bevorzugt eine Leiterplatte, zur Kontaktierung der einzelnen Kontaktelemente und der einzelnen erfindungsgemäßen Kontaktierungsvorrichtungen integriert. Innerhalb dieser Baugruppe ist fluchtend zur Längserstreckung der erfindungsgemäßen Kontaktierungsvorrichtung eine als Kopplungseinheit für den Steckverbinder dienende Durchgangsbohrung vorgesehen. Das in der erfindungsgemäßen Kontaktierungsvorrichtung geführte Hochfrequenzkabel ist über einen als Durchführung dienenden und radial nach innen gerichteten Steg der äußeren Hülse am stirnseitigen Ende der erfindungsgemäßen Kontaktierungsvorrichtung in die zugehörige Durchgangsbohrung der Baugruppe geführt und erstreckt sich über einen Bruchteil der Längserstreckung der Bohrung.In a third variant of an external high-frequency connection for the contacting device according to the invention, the contacting takes place between the high-frequency cable guided in the contacting device according to the invention and a connector outside the contacting device according to the invention. For this purpose, an assembly, preferably a printed circuit board, for contacting the individual contact elements and the individual contacting devices according to the invention is integrated in the test socket according to the invention. Within this assembly is provided in alignment with the longitudinal extension of the contacting device according to the invention serving as a coupling unit for the connector through hole. The guided in the contacting device according to the invention high-frequency cable is guided over a serving as a passage and radially inwardly directed web of the outer sleeve at the front end of the contacting device according to the invention in the associated through hole of the assembly and extends over a fraction of the longitudinal extension of the bore.

In einer ersten Untervariante der erfindungsgemäßen Kontaktierungsvorrichtung ragt der Innenleiter des Hochfrequenzkabels über das stirnseitige Ende des Hochfrequenzkabels hinaus und ist form- oder kraftschlüssig mit dem elastischen oder starren innenleiterkontaktseitigen Kontaktelement verbunden.In a first sub-variant of the contacting device according to the invention, the inner conductor of the high-frequency cable protrudes beyond the front end of the high-frequency cable and is positively or non-positively connected to the elastic or rigid inner conductor contact side contact element.

In einer zweiten Untervariante der erfindungsgemäßen Kontaktierungsvorrichtung ist am stirnseitigen Ende des Hochfrequenzkabels der Innenleiter des Hochfrequenzkabels gegenüber dem Isolator des Hochfrequenzkabels axial verkürzt. Das innenleiterkontaktseitige Kontaktelement ist hierbei fest mit dem Isolator des Hochfrequenzkabels fixiert und zusammen mit dem Innenleiter soweit in das Hochfrequenzkabel hineingeschoben, dass lediglich ein oberer Abschnitt des innenleiterkontaktseitigen Kontaktelements aus dem Hochfrequenzkabel herausragt. Zur Fixierung des innenleiterkontaktseitigen Kontaktelements im Isolator des Hochfrequenzkabel weist das innenleiterkontaktseitig Kontaktelement mindestens eine radial nach innen gerichtete Nut, bevorzugt mehrere radial nach innen gerichtete Nuten, auf. Diese Nuten bilden zusammen mit dem bei der Herstellung thermisch aufgeschäumten Isolator-Material, die in die Nuten gelangen, eine axiale Verbindung.In a second sub-variant of the contacting device according to the invention, the inner conductor of the high-frequency cable is shortened axially relative to the insulator of the high-frequency cable at the front end of the high-frequency cable. The inner conductor contact side contact element is in this case firmly fixed to the insulator of the high-frequency cable and pushed together with the inner conductor as far into the high-frequency cable that only an upper portion of the inner conductor contact side contact element protrudes from the high-frequency cable. For fixing the inner conductor contact side contact element in the insulator of the high frequency cable, the inner conductor contact side contact element has at least one radially inwardly directed groove, preferably a plurality of radially inwardly directed grooves on. These grooves form an axial connection together with the thermally foamed in the manufacture insulator material that get into the grooves.

Zur Herstellung einer derartigen erfindungsgemäßen Kontaktierungsvorrichtung werden die Feder und die innere Hülse in die äußere Hülse eingefügt. Ein Hochfrequenzkabel wird über eine Durchführung in der äußeren Hülse in die innere Hülse eingefügt und der Außenleiter des Hochfrequenzkabels mit der inneren Hülse verbunden. Anschließend werden das mindestens eine innenleiterkontaktseitige Kontaktelement mit dem zugehörigen Innenleiter des Hochfrequenzkabels und das mindestens eine außenleiterkontaktseitige Kontaktelement mit der inneren Hülse verbunden. Abschließend wird eine zur Kontaktebene gerichtete axiale Begrenzung der äußeren Hülse ausgeformt.To produce such a contacting device according to the invention, the spring and the inner sleeve are inserted into the outer sleeve. A high frequency cable is inserted into the inner sleeve via a passage in the outer sleeve and the outer conductor of the high frequency cable is connected to the inner sleeve. Subsequently, the at least one inner conductor contact side contact element with the associated inner conductor of the high frequency cable and the at least one outer conductor contact side contact element with the inner sleeve are connected. Finally, a directed to the contact plane axial boundary of the outer sleeve is formed.

Bei der ersten Untervariante der erfindungsgemäßen Kontaktierungsvorrichtung wird der Innenleiter des Hochfrequenzkabels am stirnseitigen Ende des Hochfrequenzkabels axial aus dem Hochfrequenzkabel hinausgeschoben, bevor der Innenleiter mit dem innenleiterkontaktseitigen Kontaktelement verbunden wird.In the first sub-variant of the contacting device according to the invention, the inner conductor of the high-frequency cable is pushed axially out of the high-frequency cable at the front end of the high-frequency cable before the inner conductor is connected to the inner conductor contact-side contact element.

Bei der zweiten Untervariante der erfindungsgemäßen Kontaktierungsvorrichtung wird der mit dem innenleiterkontaktseitigen Kontaktelement verbundene Innenleiter unter Erwärmung des stirnseitigen Endes des Hochfrequenzkabels wieder in das Hochfrequenzkabel hineingeschoben, bis nur noch die Spitze des innenleiterkontaktseitigen Kontaktelements aus dem stirnseitigen Ende des Hochfrequenzkabels herausragt. Die Erwärmung dient zum einfacheren Einfügen des mit dem innenleiterkontaktseitigen Kontaktelement verbundenen Innenleiter in das Hochfrequenzkabel und zum Aufschäumen des IsolatorMaterials des Hochfrequenzkabels. Das aufgeschäumte Isolator-Material dringt in die im innenleiterkontaktseitigen Kontaktelement vorgesehenen Nuten und fixiert somit das innenleiterkontaktseitige Kontaktelement im Hochfrequenzkabel. Nach einer Abkühlungsphase liegt eine axial fixierte Verbindung zwischen dem innenleiterkontaktseitigen Kontaktelement und dem Isolator am stirnseitigen Ende des Hochfrequenzsignals vor.In the second sub-variant of the contacting device according to the invention, the inner conductor, which is connected to the inner conductor contact-side contact element, is again brought into the under-heating of the front-side end of the high-frequency cable High-frequency cable pushed into it, until only the tip of the inner conductor contact side contact element protrudes from the front end of the high-frequency cable. The heating serves for easier insertion of the inner conductor connected to the inner conductor contact side contact element into the high frequency cable and for foaming the insulator material of the high frequency cable. The foamed insulator material penetrates into the grooves provided in the inner conductor contact side contact element and thus fixes the inner conductor contact side contact element in the high frequency cable. After a cooling phase, there is an axially fixed connection between the inner conductor contact side contact element and the insulator at the front end of the high frequency signal.

In einer bevorzugten Erweiterung des erfindungsgemäßen Testsockels ist im Testsockel eine Baugruppe integriert, die mit denjenigen Kontaktenden der Kontaktelemente verbunden ist, die sich an der zur prüfenden integrierten Schaltung abgewandten Seite befinden. Zur Kontaktierung mit den Kontaktenden der Kontaktelemente weist diese Baugruppe zugehörige erste Kontaktstellen auf, die im selben Rasterabstand wie das erste Raster der einzelnen Kontaktelemente angeordnet sind. Innerhalb der Baugruppe erfolgt eine Umsetzung dieser ersten Kontaktstellen in zugehörige zweite Kontaktstellen, die in einem zweiten Raster mit einem Rasterabstand angeordnet sind, der größer als der Rasterabstand des ersten Rasters ist. Auf diese Weise lassen sich die durch die einzelnen Kontaktelemente jeweils kontaktierten Gleichspannungs- bzw. Niederfrequenzsignale an den zugehörigen zweiten Kontaktstellen der Baugruppe leichter durch eine weitere Baugruppe, beispielsweise ein Loadboard, oder ein Bündel von Kabeln kontaktieren.In a preferred extension of the test socket according to the invention an assembly is integrated in the test socket, which is connected to those contact ends of the contact elements, which are located on the side facing away from the integrated circuit to be tested. For contacting with the contact ends of the contact elements, this assembly has associated first contact points, which are arranged in the same grid spacing as the first grid of the individual contact elements. Within the assembly, an implementation of these first contact points in associated second contact points, which are arranged in a second grid with a grid spacing, which is greater than the grid spacing of the first grid. In this way, the DC or low frequency signals contacted by the individual contact elements at the associated second contact points of the module can be contacted more easily by a further module, for example a loadboard, or a bundle of cables.

Typischerweise sind die zweiten Kontaktstellen gegenüber den ersten Kontaktstellen versetzt angeordnet, so dass das abgehende Hochfrequenzkabel bzw. die abgehenden Hochfrequenzkabel leichter unter Ausnutzung jeweils einer sehr raumfüllenden Biegung parallel zum Testsockel abgeführt werden.Typically, the second contact points are offset relative to the first contact points, so that the outgoing high-frequency cable or the outgoing high-frequency cables are more easily discharged by utilizing a very space-filling bend parallel to the test socket.

Die obigen Ausgestaltungen und Weiterbildungen lassen sich, sofern sinnvoll, beliebig miteinander kombinieren. Weitere mögliche Ausgestaltungen, Weiterbildungen und Implementierungen der Erfindung umfassen auch nicht explizit genannte Kombinationen von zuvor oder im Folgenden bezüglich der Ausführungsbeispiele beschriebenen Merkmale der Erfindung. Insbesondere wird dabei der Fachmann auch Einzelaspekte als Verbesserungen oder Ergänzungen zu der jeweiligen Grundform der vorliegenden Erfindung hinzufügen.The above embodiments and developments can, if appropriate, combine with each other as desired. Further possible refinements, developments and implementations of the invention also include combinations, not explicitly mentioned, of features of the invention described above or below with regard to the exemplary embodiments. In particular, the person skilled in the art will also add individual aspects as improvements or additions to the respective basic form of the present invention.

Figurenlistelist of figures

Die vorliegende Erfindung wird nachfolgend anhand der in den schematischen Figuren der Zeichnung angegebenen Ausführungsbeispiele näher erläutert. Es zeigen dabei:

  • 1A eine dreidimensionale Darstellung eines erfindungsgemäßen Testsockels mit einer ersten Ausführungsform einer erfindungsgemäßen Kontaktierungsvorrichtung für jeweils ein Hochfrequenzsignal,
  • 1B eine dreidimensionale Darstellung eines erfindungsgemäßen Testsockels mit einer zweiten Ausführungsform einer erfindungsgemäßen Kontaktierungsvorrichtung für jeweils ein Hochfrequenzsignal,
  • 1C eine dreidimensionale Darstellung eines erfindungsgemäßen Testsockels mit einer dritten Ausführungsform einer erfindungsgemäßen Kontaktierungsvorrichtung für jeweils ein Hochfrequenzsignal,
  • 1D eine dreidimensionale Darstellung eines erfindungsgemäßen Testsockels mit einer vierten Ausführungsform einer erfindungsgemäßen Kontaktierungsvorrichtung für jeweils ein Hochfrequenzsignal,
  • 2A eine Querschnittsdarstellung einer ersten Ausführungsform einer erfindungsgemäßen Kontaktierungsvorrichtung für jeweils ein Hochfrequenzsignal in einem erfindungsgemäßen Testsockel,
  • 2B eine Querschnittsdarstellung einer ersten Untervariante einer zweiten Ausführungsform eines Kontaktierungsvorrichtung für ein differentielles Hochfrequenzsignal in einem erfindungsgemäßen Testsockel,
  • 2C eine Querschnittsdarstellung einer zweiten Untervariante einer zweiten Ausführungsform eines Kontaktierungsvorrichtung für ein Hochfrequenzsignal in einem erfindungsgemäßen Testsockel,
  • 2D eine Querschnittsdarstellung einer dritten Ausführungsform einer erfindungsgemäßen Kontaktierungsvorrichtung für ein Hochfrequenzsignal in einem erfindungsgemäßen Testsockel,
  • 2E eine Querschnittsdarstellung einer vierten Ausführungsform einer erfindungsgemäßen Kontaktierungsvorrichtung für ein Hochfrequenzsignal in einem erfindungsgemäßen Testsockel,
  • 3 eine Querschnittsdarstellung eines erfindungsgemäßen Testsockels mit einer ersten Variante des externen Hochfrequenzanschlusses an der erfindungsgemäßen Kontaktierungsvorrichtung,
  • 4A eine Querschnittsdarstellung eines erfindungsgemäßen Testsockels mit einer zweiten Variante des externen Hochfrequenzanschlusses im nicht gesteckten Zustand an der erfindungsgemäßen Kontaktierungsvorrichtung,
  • 4B eine Querschnittsdarstellung eines erfindungsgemäßen Testsockels mit einer zweiten Variante des externen Hochfrequenzanschlusses im gesteckten Zustand an der erfindungsgemäßen Kontaktierungsvorrichtung,
  • 5A eine Querschnittsdarstellung eines erfindungsgemäßen Testsockels mit einer dritten Variante des externen Hochfrequenzanschlusses im nicht gesteckten Zustand an der erfindungsgemäßen Kontaktierungsvorrichtung,
  • 5B eine Querschnittsdarstellung eines erfindungsgemäßen Testsockels mit einer dritten Variante des externen Hochfrequenzanschlusses im gesteckten Zustand an der erfindungsgemäßen Kontaktierungsvorrichtung und
  • 6 ein Flussdiagramm eines erfindungsgemäßen Verfahrens zur Herstellung einer erfindungsgemäßen Kontaktierungsvorrichtung.
The present invention will be explained in more detail with reference to the exemplary embodiments indicated in the schematic figures of the drawing. It shows:
  • 1A 3 shows a three-dimensional representation of a test socket according to the invention with a first embodiment of a contacting device according to the invention for a respective high-frequency signal,
  • 1B 3 shows a three-dimensional representation of a test socket according to the invention with a second embodiment of a contacting device according to the invention for a respective high-frequency signal,
  • 1C 3 shows a three-dimensional representation of a test socket according to the invention with a third embodiment of a contacting device according to the invention for a respective high-frequency signal,
  • 1D 3 shows a three-dimensional view of a test socket according to the invention with a fourth embodiment of a contacting device according to the invention for a respective high-frequency signal,
  • 2A 1 is a cross-sectional view of a first embodiment of a contacting device according to the invention for a respective high-frequency signal in a test socket according to the invention,
  • 2 B 3 a cross-sectional representation of a first sub-variant of a second embodiment of a contacting device for a differential high-frequency signal in a test socket according to the invention,
  • 2C 3 a cross-sectional representation of a second sub-variant of a second embodiment of a contacting device for a high-frequency signal in a test socket according to the invention,
  • 2D a cross-sectional view of a third embodiment of a contacting device according to the invention for a high-frequency signal in a test socket according to the invention,
  • 2E a cross-sectional view of a fourth embodiment of a contacting device according to the invention for a high-frequency signal in a test socket according to the invention,
  • 3 a cross-sectional view of a test socket according to the invention with a first variant of the external high-frequency connection at the contacting device according to the invention,
  • 4A a cross-sectional view of a test socket according to the invention with a second variant of the external high-frequency connection in the unplugged state on the contacting device according to the invention,
  • 4B a cross-sectional view of a test socket according to the invention with a second variant of the external high-frequency connection in the inserted state on the contacting device according to the invention,
  • 5A a cross-sectional view of a test socket according to the invention with a third variant of the external high-frequency connection in the unplugged state on the contacting device according to the invention,
  • 5B a cross-sectional view of a test socket according to the invention with a third variant of the external high-frequency connection in the inserted state on the contacting device according to the invention and
  • 6 a flow diagram of a method according to the invention for producing a contacting device according to the invention.

Die beiliegenden Figuren der Zeichnung sollen ein weiteres Verständnis der Ausführungsformen der Erfindung vermitteln. Sie veranschaulichen Ausführungsformen und dienen im Zusammenhang mit der Beschreibung der Erklärung von Prinzipien und Konzepten der Erfindung. Andere Ausführungsformen und viele der genannten Vorteile ergeben sich im Hinblick auf die Zeichnungen. Die Elemente der Zeichnungen sind nicht notwendigerweise maßstabsgetreu zueinander gezeigt.The accompanying figures of the drawing are intended to convey a further understanding of the embodiments of the invention. They illustrate embodiments and, together with the description, serve to explain principles and concepts of the invention. Other embodiments and many of the stated advantages will become apparent with reference to the drawings. The elements of the drawings are not necessarily shown to scale to each other.

In den Figuren der Zeichnung sind gleiche, funktionsgleiche und gleich wirkende Elemente, Merkmale und Komponenten - sofern nichts anderes ausgeführt ist - jeweils mit denselben Bezugszeichen versehen.In the figures of the drawing are the same, functionally identical and same-acting elements, features and components - unless otherwise stated - each provided with the same reference numerals.

Im Folgenden werden die Figuren zusammenhängend und übergreifend beschrieben.In the following the figures are described coherently and comprehensively.

BESCHREIBUNG VON AUSFÜHRUNGSBEISPIELENDESCRIPTION OF EMBODIMENTS

Im Folgenden wird anhand von 1 eine erste Ausführungsform eines erfindungsgemäßen Testsockels 1 mit einer ersten Ausführungsform einer erfindungsgemäßen Kontaktierungsvorrichtung 4 zur Kontaktierung eines Hochfrequenzsignals im Detail erläutert:The following is based on 1 A first embodiment of a test socket according to the invention 1 with a first embodiment of a contacting device 4 according to the invention for contacting a high-frequency signal explained in detail:

Der erfindungsgemäße Testsockel 1 ist typischerweise als quaderförmiger Körper 2 aus Kunststoff ausgeführt, der mehrere in einem bestimmten Raster angeordnete Durchgangsbohrungen aufweist. In diesen Durchgangsbohrungen sind jeweils Kontaktelemente 3, bevorzugt Kontaktstifte 3, mechanisch fixiert angeordnet, die jeweils bevorzugt als Federkontaktstifte ausgeführt sind, wie in der darauffolgenden 2 angedeutet ist. Zur Kontaktierung von jeweils einer elektrischen Kontaktfläche auf einer zu prüfenden und in 1 nicht dargestellten integrierten Schaltung stehen die einzelnen Kontaktstifte 3 über eine Fläche des quaderförmigen Körpers 2 des erfindungsgemäßen Testsockels 1 hinaus. Zur Kontaktierung der einzelnen Kontaktstifte 3 mit weiteren Signalleitungen, die direkt oder indirekt mit dem Messgerät verbunden sind, sind die einzelnen Kontaktstifte 3 bis zur gegenüberliegenden Fläche des quaderförmigen Körpers 2 geführt oder stehen über diese gegenüberliegende Fläche hinaus. Diese Kontaktstifte 3 erfassen jeweils ein Gleichspannungs- oder Niederfrequenzsignal an der zugehörigen zu kontaktierenden elektrischen Kontaktfläche der integrierten Schaltung.The test socket according to the invention 1 is typically a cuboid body 2 made of plastic, which has a plurality of arranged in a certain grid through holes. In these through holes are each contact elements 3, preferably pins 3 arranged mechanically fixed, which are each preferably designed as spring contact pins, as in the following 2 is indicated. For contacting each of an electrical contact surface on a to be tested and in 1 not shown integrated circuit are the individual pins 3 over a surface of the cuboid body 2 of the test socket according to the invention 1 out. For contacting the individual contact pins 3 with other signal lines, which are directly or indirectly connected to the meter, are the individual contact pins 3 to the opposite surface of the cuboid body 2 guided or stand beyond this opposite surface. These pins 3 each detect a DC or low frequency signal at the associated to be contacted electrical contact surface of the integrated circuit.

Innerhalb dieses Rasters von Kontaktstiften 3 ist eine bestimmte Anzahl von jeweils zueinander benachbarten Kontaktstiften 3 in jeder Anordnungsrichtung des Rasters durch jeweils eine erfindungsgemäße Kontaktierungsvorrichtung 4 zur Kontaktierung von jeweils einem Hochfrequenzsignal an zugehörigen elektrischen Kontaktflächen der zu prüfenden integrierten Schaltung ersetzt.Inside this grid of pins 3 is a certain number of mutually adjacent contact pins 3 in each arrangement direction of the grid by a respective contacting device according to the invention 4 for contacting each of a high-frequency signal at associated electrical contact surfaces of the integrated circuit to be tested replaced.

Hierbei ersetzt eine Kontaktierungsvorrichtung 4 zur Kontaktierung eines Hochfrequenzsignals jeweils mindestens einen Kontaktstift. Für die beiden in 1 beispielhaft dargestellten Kontaktierungsvorrichtungen 4 werden jeweils 3*3=9 Kontaktstifte ersetzt. Bevorzugt sind die einzelnen Kontaktierungsvorrichtungen 4 jeweils an allen ihren Rändern jeweils von Kontaktstiften 3 benachbart bzw. umschlossen. Alternativ können zwei oder mehr Kontaktierungsvorrichtungen 4 auch direkt ohne Zwischenschaltung von Kontaktstiften 3 zueinander benachbart sein. Schließlich können Kontaktierungsvorrichtungen 4 an einem Rand oder an einer Ecke des Rasters von Kontaktstiften 3 positioniert sein und somit lediglich an drei Rändern bzw. an zwei Rändern jeweils vom Kontaktstiften 3 benachbart bzw. umschlossen sein.This replaces a contacting device 4 for contacting a high-frequency signal in each case at least one contact pin. For the two in 1 Contacting devices illustrated by way of example 4 each 3 * 3 = 9 pins are replaced. The individual contacting devices 4 are preferably each of contact pins at their respective edges 3 adjacent or enclosed. Alternatively, two or more contacting devices 4 also directly without the interposition of contact pins 3 be adjacent to each other. Finally, contacting devices 4 can be located at one edge or at a corner of the grid of contact pins 3 be positioned and thus be adjacent or enclosed only at three edges or at two edges each of the contact pins 3.

Jede Kontaktierungsvorrichtung 4 zur Kontaktierung eines Hochfrequenzsignals weist jeweils ein Kontaktelement 5 zur Kontaktierung des hochfrequenten Innenleitersignals und mindestens ein Kontaktelement zur Kontaktierung des hochfrequenten Außenleitersignals auf. In der in 1 dargestellten ersten Ausführungsform einer Kontaktierungsvorrichtung 4 sind beispielsweise jeweils acht Kontaktelemente 61 , 62 , 63 , 64 , 65 , 66 , 67 und 68 zur Kontaktierung des hochfrequenten Außenleitersignals vorgesehen.Each contacting device 4 for contacting a high-frequency signal has in each case a contact element 5 for contacting the high-frequency inner conductor signal and at least one contact element for contacting the high-frequency outer conductor signal. In the in 1 shown first embodiment of a contacting device 4 For example, each eight contact elements 6 1 . 6 2 . 6 3 . 6 4 . 6 5 . 6 6 . 6 7 and 6 8 to Contacting the high-frequency outer conductor signal provided.

Diese einzelnen Kontaktelemente 5, 61 , 62 , 63 , 64 , 65 , 66 , 67 und 68 sind in der ersten Ausführungsform der Kontaktierungsvorrichtung 4 und 4 jeweils als federnde Kontaktelemente zum Ausgleich von in Kontaktierungsrichtung jeweils vorliegenden Toleranzen ausgeführt, die zwischen den zugehörigen Außenleiterkontaktpunkten an der zu kontaktierenden elektrischen Kontaktfläche der integrierten Schaltung auftreten können. Aufgrund der geringen Ausmessungen der Kontaktelemente 61 , 62 , 63 , 64 , 65 , 66 , 67 und 68 sind diese jeweils als Mikromechanik-Bauteile mit Federarmen in beispielsweise LIGA-Technologie hergestellt.These individual contact elements 5 . 6 1 . 6 2 . 6 3 . 6 4 . 6 5 . 6 6 . 6 7 and 6 8 In the first embodiment of the contacting device 4 and 4 are each designed as a resilient contact elements to compensate for contact in each contacting tolerances that can occur between the corresponding outer conductor contact points on the electrical contact surface of the integrated circuit to be contacted. Due to the small dimensions of the contact elements 6 1 . 6 2 . 6 3 . 6 4 . 6 5 . 6 6 . 6 7 and 6 8 these are each manufactured as micromechanical components with spring arms in, for example, LIGA technology.

In einer zweiten Ausführungsform eines erfindungsgemäßen Testsockels 1' mit einer zweiten Ausführungsform einer erfindungsgemäßen Kontaktierungsvorrichtung 4' zur Kontaktierung eines Hochfrequenzsignals gemäß 1B sind lediglich die Kontaktelemente 61 , 62 , 63 , 64 , 65 , 66 , 67 und 68 für den Außenleiterkontakt als federndes Kontaktelement ausgeführt, während das Kontaktelement 5 für den Innenleiterkontakt als starres Kontaktelement realisiert ist. In diesem Fall wird der Toleranzausgleich am Innenleiterkontakt durch das weiter unten noch beschriebene Federelement 14 sichergestellt.In a second embodiment of a test socket 1 'according to the invention with a second embodiment of a contacting device 4' according to the invention for contacting a high-frequency signal according to 1B are only the contact elements 6 1 . 6 2 . 6 3 . 6 4 . 6 5 . 6 6 . 6 7 and 6 8 executed for the outer conductor contact as a resilient contact element, while the contact element 5 is realized for the inner conductor contact as a rigid contact element. In this case, the tolerance compensation on the inner conductor contact by the spring element described below 14 ensured.

In einer dritten Ausführungsform eines erfindungsgemäßen Testsockels 1" mit einer dritten Ausführungsform einer erfindungsgemäßen Kontaktierungsvorrichtung 4" zur Kontaktierung eines Hochfrequenzsignals gemäß 1C ist die Summe aller einzelnen federnden Kontaktelemente 61 , 62 , 63 , 64 , 65 , 66 , 67 und 68 zur Außenleiterkontaktierung durch ein einziges in Kontaktierungsrichtung federndes ringförmiges Kontaktelement 6 ersetzt. Dieses in Kontaktierungsvorrichtung elastische ringförmige Kontaktelement 6 kann beispielsweise ein Wellring oder ein ringförmiges Bauteil aus einem Elastomer sein, in dem leitende Partikel in einer bestimmten Konzentration enthalten sind.In a third embodiment of a test socket 1 "according to the invention with a third embodiment of a contacting device according to the invention 4 ' for contacting a high-frequency signal according to 1C is the sum of all individual resilient contact elements 6 1 . 6 2 . 6 3 . 6 4 . 6 5 . 6 6 . 6 7 and 6 8 for Außenleiterkontaktierung replaced by a single resilient in contacting direction annular contact element 6. This elastic in contacting device annular contact element 6 For example, a corrugated ring or an annular member may be made of an elastomer containing conductive particles in a certain concentration.

In einer vierten Ausführungsform eines erfindungsgemäßen Testsockels 1''' mit einer vierten Ausführungsform einer erfindungsgemäßen Kontaktierungsvorrichtung 4''' zur Kontaktierung eines differenziellen Hochfrequenzsignals gemäß 1D sind zwei federnde Kontaktelemente 51 und 52 zur Innenleiterkontaktierung des differenziellen Hochfrequenzsignals und in der Darstellung der Fig. 1D beispielsweise zehn federnde Kontaktelemente 61 , 62 , 63 , 64 , 65 , 66 , 67 , 68 , 69 und 610 zur Außenleiterkontaktierung vorgesehen.In a fourth embodiment of a test socket according to the invention 1''' with a fourth embodiment of a contacting device according to the invention 4 ''' for contacting a differential high-frequency signal according to 1D are two resilient contact elements 5 1 and 5 2 for Innenleiterkontaktierung the differential high-frequency signal and in the illustration of FIG. 1D, for example, ten resilient contact elements 6 1 . 6 2 . 6 3 . 6 4 . 6 5 . 6 6 . 6 7 . 6 8 . 6 9 and 6 10 provided for Außenleiterkontaktierung.

Die erste Ausführungsform einer erfindungsgemäßen Kontaktierungsvorrichtung 4 zur Kontaktierung eines Hochfrequenzsignals und dessen elektrische und mechanische Verbindung zu einem Hochfrequenzkabel 7 werden im Folgenden anhand von 2 erläutert:The first embodiment of a contacting device 4 according to the invention for contacting a high-frequency signal and its electrical and mechanical connection to a high-frequency cable 7 are described below by means of 2 explains:

Das Kontaktelement 5 zur Innenleiterkontaktierung ist mittels beispielsweise einer Presspassung mit dem Innenleiter 8 des Hochfrequenzkabels 7 verbunden. Der Innenleiter 8 ist hierzu aus dem Hochfrequenzkabel 7 herausgeführt und gegenüber dem stirnseitigen Ende des Hochfrequenzkabels 7 überstehend angeordnet. Anstelle einer Presspassung ist auch eine Lötverbindung zwischen dem Innenleiter 8 des Hochfrequenzkabels 7 und dem Kontaktelement 5 zur Innenleiterkontaktierung möglich.The contact element 5 for Innenleiterkontaktierung is by means of, for example, a press fit with the inner conductor 8th of the high frequency cable 7 connected. The inner conductor 8th is this from the high-frequency cable 7 led out and opposite the front end of the high-frequency cable 7 arranged overhanging. Instead of a press fit is also a solder joint between the inner conductor 8th the high-frequency cable 7 and the contact element 5 for inner conductor contacting possible.

Sämtliche Kontaktelemente 61 , 62 , 63 , 64 , 65 , 66 , 67 und 68 zur Außenleiterkontaktierung sind mit einer elektrisch leitenden inneren Hülse 9, in der das Hochfrequenzkabel 7 geführt ist, jeweils über einen stirnseitigen Kontakt elektrisch und mechanisch verbunden. Bevorzugt erfolgt diese Verbindung zwischen den einzelnen Kontaktelementen 61 , 62 , 63 , 64 , 65 , 66 , 67 und 68 und der inneren Hülse 9 mittels einer Lötverbindung. Alternativ ist auch eine Schraubverbindung oder eine Steckverbindung mittels Presspassung denkbar.All contact elements 6 1 . 6 2 . 6 3 . 6 4 . 6 5 . 6 6 . 6 7 and 6 8 for Außenleiterkontaktierung are with an electrically conductive inner sleeve 9 in which the high-frequency cable 7 is guided, in each case electrically and mechanically connected via a frontal contact. This connection preferably takes place between the individual contact elements 6 1 . 6 2 . 6 3 . 6 4 . 6 5 . 6 6 . 6 7 and 6 8 and the inner sleeve 9 by means of a solder joint. Alternatively, a screw or a connector by means of press fit is conceivable.

Der Außendurchmesser des Außenleiters 10 des Hochfrequenzkabels 7 ist kleiner als der Innendurchmesser der inneren Hülse 9, so dass das Hochfrequenzkabel 7 und die innere Hülse 9 einfach gefügt werden können. Als Verbindungstechnik zwischen dem Hochfrequenzkabel 7 und der inneren Hülse 9 kommen stoffschlüssige Verbindungen, beispielsweise Löten, oder form- bzw. kraftschlüssige Verbindungen, beispielsweise Crimpen, in Frage. In 2A ist die Lötverbindung zwischen dem Außenleiter 10 des Hochfrequenzkabels 7 und der inneren Hülse 9 durch eine dicke Linie angedeutet. Damit ist eine sichere elektrische und mechanische Verbindung zwischen dem Außenleiter 10 des Hochfrequenzkabels 7 und den Kontaktelementen 61 , 62 , 63 , 64 , 65 , 66 , 67 und 68 zur Außenleiterkontaktierung über die innere Hülse 9 gewährleistet.The outer diameter of the outer conductor 10 of the high-frequency cable 7 is smaller than the inner diameter of the inner sleeve 9, so that the high-frequency cable 7 and the inner sleeve 9 can be easily joined. As a connection technology between the high-frequency cable 7 and the inner sleeve 9 are cohesive connections, such as soldering, or positive or non-positive connections, such as crimping, in question. In 2A is the solder connection between the outer conductor 10 of the high frequency cable 7 and the inner sleeve 9 indicated by a thick line. This is a safe electrical and mechanical connection between the outer conductor 10 of the high-frequency cable 7 and the contact elements 6 1 . 6 2 . 6 3 . 6 4 . 6 5 . 6 6 . 6 7 and 6 8 for Außenleiterkontaktierung on the inner sleeve 9 guaranteed.

Da der Innenleiter-Kontaktierungsbereich zwischen dem Kontaktelement 5 zur Innenleiterkontaktierung und dem Innenleiter 8 des Hochfrequenzkabels 7 eine gewisse axiale Erstreckung aufweist, ist die innere Hülse 9 gegenüber dem stirnseitigen Ende des Hochfrequenzkabels 7 um diesen Kontaktierungsbereich verlängert.Since the inner conductor contacting region between the contact element 5 for Innenleiterkontaktierung and the inner conductor 8 of the high-frequency cable 7 has a certain axial extent, is the inner sleeve 9 opposite the front end of the high frequency cable 7 extended by this contact area.

Um in diesem Verlängerungsbereich der inneren Hülse 9 die als Außenleiter wirkende innere Hülse 9 vom Innenleiter-Kontaktierungsbereich zu isolieren, ist am stirnseitigen Ende des Hochfrequenzkabels 7 in Analogie zum dielektrischen Isolator 11 des Hochfrequenzkabels 7 ein dielektrisches Isolator-Element 12 zwischen der inneren Hülse 9 und dem Innenleiter-Kontaktierungsbereich vorgesehen.In order in this extension area of the inner sleeve 9 acting as outer conductor inner sleeve 9 from the inner conductor contacting region is at the front end of the high frequency cable 7 in analogy to the dielectric insulator 11 of the high-frequency cable 7 a dielectric insulator element 12 between the inner sleeve 9 and the inner conductor contacting region.

Erst am stirnseitigen Ende dieser Verlängerung ist die innere Hülse 9 mit den einzelnen Kontaktelementen 61 , 62 , 63 , 64 , 65 , 66 , 67 und 68 zur Außenleiterkontaktierung elektrisch und mechanisch verbunden. Die Besonderheit bei dieser Ausführung besteht in der kürzest möglichen axialen Ausdehnung des dielektrischen Isolator-Elements 12, wodurch das Hochfrequenzkabel 7 so nahe wie möglich an die Kontaktebene 22 herangeführt wird und damit elektrische Störstellen erheblich minimiert sind. Als Kontaktebene 22 wird hierbei der Übergang zwischen den einzelnen Kontaktelementen 5, 61 , 62 , 63 , 64 , 65 , 66 , 67 und 68 der Kontaktierungsvorrichtung 4 und den zugehörigen zu kontaktierenden elektrischen Kontaktflächen der zu prüfenden integrierten Schaltung verstanden.Only at the front end of this extension is the inner sleeve 9 with the individual contact elements 6 1 . 6 2 . 6 3 . 6 4 . 6 5 . 6 6 . 6 7 and 6 8 connected to the Außenleiterkontaktierung electrically and mechanically. The special feature of this design is the shortest possible axial extent of the dielectric insulator element 12 , whereby the high-frequency cable 7 as close as possible to the contact plane 22 is introduced and thus electrical defects are significantly minimized. As a contact level 22 This is the transition between the individual contact elements 5 . 6 1 . 6 2 . 6 3 . 6 4 . 6 5 . 6 6 . 6 7 and 6 8 the contacting device 4 and the associated to be contacted electrical contact surfaces of the integrated circuit to be tested understood.

Die gesamte Kontaktierungsvorrichtung 4 für ein Hochfrequenzsignal weist in Analogie zu den Kontaktstiften 3 ebenfalls eine Elastizität auf, um einerseits eine Federkraft auf die zu kontaktierenden elektrischen Kontaktflächen der integrierten Schaltung aufzubringen und andererseits zwischen den einzelnen elektrischen Kontaktflächen der integrierten Schaltung in Kontaktierungsrichtung auftretende Toleranzen auszugleichen. Hierzu ist die innere Hülse 7 in einer äußeren Hülse 13 federnd gelagert. Die federnde Lagerung der inneren Hülse 7 erfolgt durch ein Federelement 14, das innerhalb der äußeren Hülse 13 zwischen einem radial nach außen gerichteten Steg 15 am stirnseitigen Ende der inneren Hülse 9 und einen radial nach innen gerichteten Steg 16 am stirnseitigen Ende der äußeren Hülse 13 angeordnet ist. Auf diese Weise ist die Kontaktierungsvorrichtung 4 für ein Hochfrequenzsignal in Analogie zu einem Federkontaktstift als elastisches Kontakt-Bauteil realisiert.The entire contacting device 4 for a high-frequency signal points in analogy to the contact pins 3 also an elasticity, on the one hand to apply a spring force to be contacted to the electrical contact surfaces of the integrated circuit and on the other hand compensate for tolerances occurring between the individual electrical contact surfaces of the integrated circuit in the contacting direction. This is the inner sleeve 7 in an outer sleeve 13 spring-mounted. The resilient mounting of the inner sleeve 7 done by a spring element 14 that inside the outer sleeve 13 between a radially outwardly directed web 15 at the front end of the inner sleeve 9 and a radially inwardly directed web 16 at the front end of the outer sleeve 13 is arranged. In this way, the contacting device 4 realized for a high-frequency signal in analogy to a spring contact pin as an elastic contact component.

Die Kontaktkraft des Federelements 14 ist auf die Kontaktkräfte der einzelnen elastischen Kontaktelemente 5, 61 , 62 , 63 , 64 , 65 , 66 , 67 und 68 idealerweise entlang des gesamten Federkontaktweges abgestimmt. Dies bedeutet, dass die Kontaktkraft des Federelements 14 näherungsweise der Summe der Kontaktkräfte der einzelnen elastischen Kontaktelemente 5, 61 , 62 , 63 , 64 , 65 , 66 , 67 und 68 entspricht bzw. bevorzugt identisch zur Summe der Kontaktkräfte der einzelnen elastischen Kontaktelemente 5, 61 , 62 , 63 , 64 , 65 , 66 , 67 und 68 ist.The contact force of the spring element 14 is on the contact forces of the individual elastic contact elements 5 . 6 1 . 6 2 . 6 3 . 6 4 . 6 5 . 6 6 . 6 7 and 6 8 ideally matched along the entire spring contact path. This means that the contact force of the spring element 14 approximately the sum of the contact forces of the individual elastic contact elements 5 . 6 1 . 6 2 . 6 3 . 6 4 . 6 5 . 6 6 . 6 7 and 6 8 corresponds or preferably identical to the sum of the contact forces of the individual elastic contact elements 5 . 6 1 . 6 2 . 6 3 . 6 4 . 6 5 . 6 6 . 6 7 and 6 8 is.

Anstelle eines Federelements 14 kann jeder, andere eine Vorspannung erzeugende technische Mechanismus wie Pneumatik, Hydraulik oder Elastomer zum Einsatz kommen und ist von der Erfindung mit abgedeckt.Instead of a spring element 14 Any, other biasing technical mechanism such as pneumatic, hydraulic or elastomer may be used and is covered by the invention.

Die innere Hülse 9 weist einen oberen Anschlag in Richtung der integrierten Schaltung auf, die durch einen im Mittelbereich der inneren Hülse 9 radial nach außen gerichteten Steg 18 und eine am anderen stirnseitigen Ende der äußeren Hülse 13 vorgesehene und radial nach innen gebogenen Wandung 19 der äußeren Hülse 13 realisiert ist.The inner sleeve 9 has an upper stop in the direction of the integrated circuit, through one in the central region of the inner sleeve 9 radially outwardly directed web 18 and one at the other end face of the outer sleeve 13 provided and radially inwardly bent wall 19 the outer sleeve 13 is realized.

Die nach innen gebogene innere Wandung 19 der äußeren Hülse 13 weist eine stirnseitige Durchführung 32 auf, die im Folgenden als erste Durchführung 32 bezeichnet wird, und eine axiale Bewegung der inneren Hülse 9 aus der äußeren Hülse 13 heraus ermöglicht.The inward curved inner wall 19 the outer sleeve 13 has a frontal implementation 32 on, in the following as the first implementation 32 is referred to, and an axial movement of the inner sleeve 9 from the outer sleeve 13 out possible.

Im Fall einer ersten Untervariante einer zweiten Ausführungsform einer erfindungsgemäßen Kontaktierungsvorrichtung 41' zur Kontaktierung eines Hochfrequenzsignals gemäß 2B wird der Innenleiter 8 des Hochfrequenzkabels 7 bis zum Kontaktelement 5' zur Innenleiterkontaktierung geführt. Hierbei wird der Innenleiter 8 des Hochfrequenzkabels 7, wie aus 2B hervorgeht, über das stirnseitige Ende des Hochfrequenzkabels 7, d.h. über das stirnseitige Ende des Außenleiters 10 und über das stirnseitige Ende des dielektrischen Isolators 11 des Hochfrequenzkabels 7, hinausgeführt. Der aus dem stirnseitigen Ende des Hochfrequenzkabels 7 hinausgeführte Innenleiter 8 ist über eine geeignete stoffschlüssige Verbindung, beispielsweise mittels Löten, oder über eine geeignete form- und/oder kraftschlüssige Verbindung, beispielsweise mittels Presspassung, mit dem starren Kontaktelements 5' verbunden. Zur mechanischen Stabilisierung der Verbindung zwischen dem Innenleiter 8 des Hochfrequenzkabels 7 und dem starren Kontaktelement 5' zur Innenleiterkontaktierung kann das zusätzliche Isolator-Element 12 vorgesehen sein, in dessen Bohrung das starre Kontaktelement 5' zur Innenleiterkontaktierung verankert ist. Alternativ kann aber auch auf das zusätzliche Isolator-Element 12 verzichtet werden.In the case of a first sub-variant of a second embodiment of a contacting device according to the invention 4 1 ' for contacting a high-frequency signal according to 2 B becomes the inner conductor 8th of the high frequency cable 7 led to the contact element 5 'for Innenleiterkontaktierung. This is the inner conductor 8th of the high frequency cable 7 , like out 2 B shows over the front end of the high-frequency cable 7, that is, over the front end of the outer conductor 10 and the front end of the dielectric insulator 11 of the high-frequency cable 7 , led out. The from the front end of the high-frequency cable 7 outgoing inner conductor 8th is connected via a suitable cohesive connection, for example by means of soldering, or via a suitable positive and / or non-positive connection, for example by means of interference fit, with the rigid contact element 5 '. For mechanical stabilization of the connection between the inner conductor 8th of the high frequency cable 7 and the rigid contact element 5 ' for Innenleiterkontaktierung can the additional insulator element 12 be provided, in the bore of the rigid contact element 5 ' is anchored to Innenleiterkontaktierung. Alternatively, however, it is also possible to use the additional insulator element 12 be waived.

In einer weiteren Ausprägung der ersten Untervariante der zweiten Ausführungsform einer Kontaktierungsvorrichtung für das Hochfrequenzsignal, die nicht dargestellt ist, wird der Innenleiter 8 des Hochfrequenzkabels 7 bis zur Kontaktebene 22 ohne Verwendung eines Kontaktelements 5 geführt. Zur Verstärkung des Innenleiters 8 des Hochfrequenzkabels 7 im Kontaktbereich ist dieser im Kontaktbereich geeignet beschichtet. In diesem Fall kann auch der Außenleiter 10 des Hochfrequenzkabels 7 bis zu den einzelnen Kontaktelementen 61 , 62 , 63 , 64 , 65 , 66 , 67 und 68 geführt sein.In a further embodiment of the first sub-variant of the second embodiment of a contacting device for the high-frequency signal, which is not shown, the inner conductor 8 of the high-frequency cable 7 to the contact level 22 without using a contact element 5 guided. For reinforcement of the inner conductor 8th of the high frequency cable 7 in the contact area this is suitably coated in the contact area. In this case, also the outer conductor 10 the high frequency cable 7 to the individual contact elements 6 1 . 6 2 . 6 3 . 6 4 . 6 5 . 6 6 . 6 7 and 6 8 be guided.

Im Fall einer zweiten Untervariante der zweiten Ausführungsform einer erfindungsgemäßen Kontaktierungsvorrichtung 42' zur Kontaktierung eines Hochfrequenzsignals gemäß 2C ist der Innenleiter 8 des Hochfrequenzkabels 7 nicht bis zum stirnseitigen Ende des Hochfrequenzkabels 7 geführt, sondern ist in einem gewissen Abstand zum stirnseitigen Ende des Hochfrequenzkabels 7 verkürzt. In der dadurch sich ausbildenden Ausnehmung 22 innerhalb des dielektrischen Isolators 10 des Hochfrequenzkabels 7 ist ein Kontaktelement 5" zur Innenleiterkontaktierung fixiert. Zur Fixierung weist das Kontaktelement 5" zur Innenleiterkontaktierung mindestens eine Nut 23, bevorzugt mehrere Nuten 23, auf, in das bzw. in die sich aufgeschäumtes Material des dielektrischen Isolators 10 des Hochfrequenzkabels 7 befindet. Zur Verstärkung der Fixierung ist die Tiefe jeder einzelnen Nut 23 innerhalb des Kontaktelements 5" zur Innenleiterkontaktierung dadurch vergrößert, dass der Außendurchmesser des im wesentlichen zylindrischen Kontaktelements 5" zur Innenleiterkontaktierung außerhalb der einzelnen Nuten 23 größer als der Außendurchmesser des zum Hochfrequenzkabel 7 gehörigen Innenleiters 8 und innerhalb der einzelnen Nuten 23 kleiner als der Außendurchmesser des zum Hochfrequenzkabel 7 gehörigen Innenleiters 8 dimensioniert ist.In the case of a second sub-variant of the second embodiment of a contacting device according to the invention 4 2 ' for contacting a high-frequency signal according to 2C is the inner conductor 8th of the high frequency cable 7 not until the front end of the high-frequency cable 7 guided, but is shortened at a certain distance from the front end of the high-frequency cable 7. In the resulting recess 22 inside the dielectric insulator 10 of the high frequency cable 7 is a contact element 5 ' fixed to Innenleiterkontaktierung. For fixing, the contact element 5 "for Innenleiterkontaktierung at least one groove 23 , preferably several grooves 23 , on, into or into the foamed material of the dielectric insulator 10 of the high frequency cable 7 located. To reinforce the fixation is the depth of each groove 23 within the contact element 5 ' for Innenleiterkontaktierung thereby increases that the outer diameter of the substantially cylindrical contact element 5 ' for Innenleiterkontaktierung outside the individual grooves 23 larger than the outer diameter of the high frequency cable 7 associated inner conductor 8 and within the individual grooves 23 smaller than the outer diameter of the high frequency cable 7 belonging inner conductor 8 is dimensioned.

Die Fixierung des Kontaktelements 5" zur Innenleiterkontaktierung am stirnseitigen Ende des Hochfrequenzkabels 7 wird dadurch realisiert, dass das der Innenleiter 8 des Hochfrequenzkabels 7 am stirnseitigen Ende des Hochfrequenzkabels 7 aus dem Hochfrequenzkabel 7 herausgeschoben und mit dem Kontaktelement 5" geeignet - beispielsweise mittels Lötung - verbunden wird. Anschließend wird der Innenleiter 8 des Hochfrequenzkabels 8 mit dem daran verbundenen Kontaktelement 5" unter Erwärmung des stirnseitigen Endes des Hochfrequenzkabels 8 wieder in das Hochfrequenzkabel hineineingeschoben, bis nur noch eine Spitze des Kontaktelements 5" aus dem stirnseitigen Ende des Hochfrequenzkabels 8 herausragt. Das Kontaktelement 5" befindet sich in einer sich ausbildende Ausnehmung 22 des Hochfrequenzkabels 7. Durch die Erwärmung des stirnseitigen Endes des Hochfrequenzkabels 8 vereinfacht sich das Hineinschieben des mit dem Kontaktelement 5" verbundenen Innenleiters 7. Zusätzlich schäumt durch die Erwärmung das isolierende Material des dielektrischen Isolators 10 in der Umgebung der einzelnen Nuten 23 auf, gelangt in die einzelnen Nuten 23 und füllt diese einzelnen Nuten 23 vollständig aus.The fixation of the contact element 5 ' for Innenleiterkontaktierung at the front end of the high-frequency cable 7 is realized by that of the inner conductor 8th of the high-frequency cable 7 at the front end of the high-frequency cable 7 from the high frequency cable 7 is pushed out and connected to the contact element 5 "suitable - for example by means of soldering - is then connected 8th of the high-frequency cable 8 with the contact element 5 'connected thereto, while the front end of the high-frequency cable 8 is being heated, is pushed back into the high-frequency cable until only one tip of the contact element is reached 5 ' from the front end of the high-frequency cable 8th protrudes. The contact element 5 ' is located in a forming recess 22 of the high frequency cable 7 , By heating the front end of the high-frequency cable 8th the insertion of the inner conductor connected to the contact element 5 "is simplified 7 , In addition, the heating foams the insulating material of the dielectric insulator 10 in the environment of the individual grooves 23 on, enters the individual grooves 23 and fill these individual grooves 23 completely off.

In einer dritten Ausführungsform einer erfindungsgemäßen Kontaktierungsvorrichtung 4" gemäß 2D wird zur Außenleiterkontaktierung ein einziges Kontaktelement 6 benutzt. Dieses Kontaktelement 6 zur Außenleiterkontaktierung weist im Hinblick auf eine Realisierung einer koaxialen Struktur mit dem zugehörigen Kontaktelement 5' zur Innenleiterkontaktierung eine zylindrische Innenbohrung in Kontaktierungsrichtung auf. Bevorzugt ist das einzige Kontaktelement 6 zur Außenleiterkontaktierung in Kontaktierungsrichtung ringförmig ausgeformt. Zusätzlich weist das einzige Kontaktelement 6 zur Außenleiterkontaktierung eine Elastizität in Kontaktierungsrichtung auf. Das Kontaktelement 6 zur Außenleiterkontaktierung ist mit dem stirnseitigen Ende der inneren Hülse 9 mit einer geeigneten Verbindungstechnik, beispielsweise mittels Lötung, Verschraubung oder Presspassung, verbunden.In a third embodiment of a contacting device 4 "according to the invention 2D is used for Außenleiterkontaktierung a single contact element 6 used. This contact element 6 for Außenleiterkontaktierung points with regard to a realization of a coaxial structure with the associated contact element 5 ' for Innenleiterkontaktierung on a cylindrical inner bore in the contacting direction. Preferably, the only contact element 6 for Außenleiterkontaktierung annular in the contacting direction. In addition, the only contact element 6 for Außenleiterkontaktierung an elasticity in the contacting direction. The contact element 6 for Außenleiterkontaktierung is connected to the front end of the inner sleeve 9 with a suitable connection technology, for example by means of soldering, screwing or interference fit.

In einer vierten Ausführungsform einer Kontaktierungsvorrichtung 4'" gemäß 2E sind zur Kontaktierung eines differenziellen Hochfrequenzsignals zwei federnde Kontaktelemente 51 und 52 zur Innenleiterkontaktierung vorgesehen. Diese federnden Kontaktelemente 51 und 52 zur Innenleiterkontaktierung sind mit jeweils einem Innenleiter 81 und 82 des differenziellen Hochfrequenzkabels 7' verbunden. Die beiden Innenleiter 81 und 82 sind innerhalb des Außenleiters 10 des differenziellen Hochfrequenzkabels 7' von jeweils einem zugehörigen dielektrischen Isolator 111 und 112 umgeben. Die beiden Innenleiter 81 und 82 des differenziellen Hochfrequenzkabels 7' sind jeweils über den zugehörigen dielektrischen Isolator 111 und 112 hinausgeführt und durch einen zugehörigen Bohrung innerhalb des Isolator-Elements 12 mit dem zugehörigen federnden Kontaktelement 51 und 52 zur Innenleiterkontaktierung elektrisch verbunden. Die federnden Kontaktelemente 51 und 52 zur Innenleiterkontaktierung sind beispielsweise mittels Presspassung oder Verschraubung innerhalb der zugehörigen Bohrung mit dem Isolator-Element 12 verbunden. Anstelle der in 2E dargestellten federnden Kontaktelemente 51 und 52 zur Innenleiterkontaktierung können auch starre Kontaktelemente zum Einsatz kommen.In a fourth embodiment of a contacting device 4 '" according to 2E are two resilient contact elements for contacting a differential high frequency signal 5 1 and 5 2 provided for Innenleiterkontaktierung. These resilient contact elements 5 1 and 5 2 for Innenleiterkontaktierung are each having an inner conductor 8 1 and 8 2 of the differential high-frequency cable 7 ' connected. The two inner conductors 8 1 and 8 2 are inside the outer conductor 10 of the differential high frequency cable 7 ' each of an associated dielectric insulator 11 1 and 11 2 surround. The two inner conductors 8 1 and 8 2 of the differential high-frequency cable 7 'are in each case via the associated dielectric insulator 11 1 and 11 2 led out and through an associated hole within the insulator element 12 with the associated resilient contact element 5 1 and 5 2 electrically connected to the Innenleiterkontaktierung. The resilient contact elements 5 1 and 5 2 for Innenleiterkontaktierung are for example by means of interference fit or screw within the associated bore with the insulator element 12 connected. Instead of in 2E illustrated resilient contact elements 5 1 and 5 2 For Innenleiterkontaktierung also rigid contact elements can be used.

In einer ersten Variante eines externen Hochfrequenzanschlusses an die erfindungsgemäße Kontaktierungsvorrichtung gemäß 3 wird das in der erfindungsgemäßen Kontaktierungsvorrichtung 4, 41', 42', 4" und 4'" geführte Hochfrequenzkabel 7 aus der Kontaktierungsvorrichtung hinausgeführt und direkt oder indirekt mit einem Hochfrequenzmessgerät verbunden:In a first variant of an external high-frequency connection to the inventive contacting device according to 3 this is the case in the contacting device according to the invention 4 . 4 1 ' . 4 2 ' . 4 ' and 4 '" guided high-frequency cable 7 led out of the contacting device and connected directly or indirectly with a high-frequency meter:

Hierzu wird das Hochfrequenzkabel 7 durch eine Bohrung, die im Folgenden als zweite Durchführung 17 bezeichnet wird und die durch den Steg 16 am stirnseitigen Ende der äußeren Hülse 13 ausgebildet ist, in den Außenraum der Kontaktvorrichtung 4, 41', 42', 4" und 4"' geführt. Das Hochfrequenzkabel 7 kann hierbei direkt an ein Hochfrequenzmessgerät oder indirekt über eine dazwischengeschaltete Leiterplatte, beispielsweise eine Probe-Card (deutsch: Messadapter-Baugruppe), oder einen dazwischengeschalteten Adapter bzw. eine Adapterbaugruppe an ein Hochfrequenzmessgerät geführt sein.This is the high-frequency cable 7 through a hole, hereafter referred to as the second execution 17 is designated and by the bridge 16 at the front end of the outer sleeve 13 is formed, in the outer space of the contact device 4 . 4 1 ' . 4 2 ' . 4 ' and 4 '" guided. The high frequency cable 7 This may be performed directly to a high-frequency meter or indirectly via an interconnected circuit board, such as a sample card (German: measuring adapter assembly), or an interposed adapter or an adapter assembly to a high-frequency meter.

Aus 3 ist ferner eine Baugruppe 20, bevorzugt eine Leiterplatte 20, dargestellt, die entweder im quaderförmigen Körper 2 des erfindungsgemäßen Testsockels 1, 1', 1" und 1'" integriert ist oder direkt an den erfindungsgemäßen Testsockel 1, 1', 1" und 1'" angegliedert ist. Diese Baugruppe 20 realisiert eine elektrische und mechanische Verbindung zwischen den Kontaktstiften 3, die in einem vergleichsweise kleinen Rasterabstand zueinander angeordnet sind, in zugehörige weitere Kontaktstifte 21, die in einem hierzu größeren Abstand zueinander angeordnet sind. Auf diese Weise lassen sich die Gleichspannungs- und Niederfrequenz-Signale an den Enden der einzelnen weiteren Kontaktstifte 21 durch eine einfacher zu realisierende Probe-Card, abgreifen.Out 3 is also an assembly 20 , preferably a printed circuit board 20 , shown in either the cuboid body 2 of the test socket according to the invention 1 . 1' . 1" and 1'" is integrated or direct on the test socket according to the invention 1 . 1' . 1" and 1'" affiliated. This assembly 20 implements an electrical and mechanical connection between the contact pins 3 , Which are arranged in a comparatively small grid spacing from one another, in associated further contact pins 21 which are arranged at a greater distance from each other. In this way, the DC and low frequency signals at the ends of the individual further contact pins 21 can be picked up by a sample card that is easier to implement.

Zu erkennen ist auch, dass die erfindungsgemäße Kontaktierungsvorrichtung 4, 41 ', 42', 4" und 4'" zur Kontaktierung eines Hochfrequenzsignals gegenüber der Längserstreckung der Kontaktstifte 3 verlängert ist und durch eine Bohrung 26 in der Baugruppe 20 hindurchgeführt ist. Die Baugruppe 20 realisiert eine räumliche Trennung zwischen den einzelnen Kontaktstiften 21 und den aus den einzelnen Bohrungen 26 jeweils hinaus geführten Kontaktierungsvorrichtungen 4, 41', 42', 4" und 4'" zur Kontaktierung eines Hochfrequenzsignals. Eine Umlenkung, d.h. eine Biegung, der einzelnen Hochfrequenzkabel 7 um einen bestimmten Winkel, bevorzugt einen Winkel von 90°, die einen bestimmten Raum benötigt, ist auf diese Weise realisierbar.It can also be seen that the contacting device according to the invention 4 . 4 1 ' . 4 2 ' . 4 ' and 4 '" for contacting a high-frequency signal with respect to the longitudinal extension of the contact pins 3 is extended and through a bore 26 in the assembly 20 passed through. The assembly 20 realizes a spatial separation between the individual contact pins 21 and from the individual holes 26 each outgoing contacting devices 4 . 4 1 ' . 4 2 ' . 4 ' and 4 '" for contacting a high-frequency signal. A deflection, ie a bend, the individual high-frequency cable 7 by a certain angle, preferably an angle of 90 °, which requires a certain space, can be realized in this way.

Innerhalb des Rasters von Kontaktstiften 3, die in einem vergleichsweise kleinen Rasterabstand angeordnet sind, sind die einzelnen Kontaktierungsvorrichtungen 4, 41', 42', 4" und 4'" zur Kontaktierung von jeweils einem Hochfrequenzsignal und die daran elektrisch und mechanisch verbundenen Hochfrequenzkabel 7 parallel zu den einzelnen Kontaktstiften 3, d.h. in Kontaktierungsrichtung, geführt. Die einzelnen Kontaktanschlüsse 4 und die zugehörigen Hochfrequenzkabel 7 sind insbesondere entlang der gesamten axialen Erstreckung der Kontaktstifte 3 parallel zu den einzelnen Kontaktstiften 3 orientiert.Inside the grid of contact pins 3 which are arranged in a comparatively small pitch, are the individual contacting devices 4 . 4 1 ' . 4 2 ' . 4 ' and 4 '" for contacting in each case a high-frequency signal and the electrical and mechanically connected high-frequency cable 7 parallel to the individual contact pins 3 , ie in Kontaktierungsrichtung led. The individual contact terminals 4 and the associated high-frequency cable 7 are in particular along the entire axial extension of the contact pins 3 parallel to the individual contact pins 3 oriented.

Zusätzlich zur dargestellten Lösung in 3 sind auch Ausführungen ohne die Baugruppe 20 denkbar. Auch Ausführungen, in denen auf die weiteren Kontaktstifte 21 verzichtet werden, sind denkbar.In addition to the solution shown in 3 are also versions without the module 20 conceivable. Also versions in which on the further contact pins 21 be waived are conceivable.

Aufgrund der geringen Rasterabstände im Zehntel-MillimeterBereich sind die jeweiligen Hochfrequenzkabel 7 in ihrer Querschnittsausdehnung entsprechend angepasst. Werden als Hochfrequenzkabel 7 Koaxialkabel verwendet, so kommen aufgrund der geringen Rasterabstände sogenannten Mikro-Koaxialkabel, das heißt Koaxialkabel mit geringem Kabelquerschnitt, zum Einsatz.Due to the small pitches in tenths of a millimeter range, the respective high-frequency cables 7 adjusted accordingly in their cross-sectional extent. Be as high frequency cable 7 Coaxial cable used, so come because of the small pitches so-called micro-coaxial cable, ie coaxial cable with a small cable cross-section, are used.

In einer zweiten Variante eines externen Hochfrequenzanschlusses gemäß der 4A und 4B wird das in der erfindungsgemäßen Kontaktierungsvorrichtung 4, 41', 42', 4" und 4'" geführte Hochfrequenzkabel 7 mit einem externen Hochfrequenzkabel über einen am stirnseitigen Ende des externen Hochfrequenzkabels befestigten Steckverbinder mechanisch und elektrisch verbunden:In a second variant of an external high-frequency connection according to the 4A and 4B this is the case in the contacting device according to the invention 4 . 4 1 ' . 4 2 ' . 4 ' and 4 '" guided high frequency cable 7 mechanically and electrically connected to an external high-frequency cable via a connector fastened to the front end of the external high-frequency cable:

Hierzu wird das in der erfindungsgemäßen Kontaktierungsvorrichtung 4, 41', 42', 4" und 4'" geführte Hochfrequenzkabel 7 ebenfalls durch eine zweite Durchführung 17, die durch einen Steg 16 am stirnseitigen Ende der äußeren Hülse 13 ausgebildet ist, in den Außenraum der Kontaktierungsvorrichtung 4, 41', 42', 4" und 4'" geführt. Jeder Kontaktstift 3 und jede Kontaktierungsvorrichtung 4, 41', 42', 4" und 4'" des erfindungsgemäßen Testsockels 1, 1', 1" und 1'" endet an einer Fläche 24 des quaderförmigen Körpers 2, die einer Fläche 25 des quaderförmigen Körpers 2 gegenüberliegt, die sich unmittelbar benachbart zur Kontaktebene 22 der erfindungsgemäßen Kontaktierungsvorrichtung 4, 41', 42', 4" und 4'" mit der zu prüfenden integrierten Schaltung befindet. An dieser Fläche 25 des quaderförmigen Körpers 2 schließt sich unmittelbar die Baugruppe 20, bevorzugt eine Leiterplatte 20, an, die eine Vergrößerung des Rasterabstandes der einzelnen Kontaktstifte 3 realisiert.For this purpose, in the contacting device according to the invention 4 . 4 1 ' . 4 2 ' . 4 ' and 4 '" guided high frequency cable 7 also through a second implementation 17 passing through a footbridge 16 at the front end of the outer sleeve 13 is formed in the outer space of the contacting device 4 . 4 1 ' . 4 2 ' . 4 ' and 4 '" guided. Every contact pin 3 and each contacting device 4 . 4 1 ' . 4 2 ' . 4 ' and 4 '" of the test socket according to the invention 1 . 1' . 1" and 1'" ends at a surface 24 of the cuboid body 2 , the one surface 25 of the cuboid body 2 opposite, which is immediately adjacent to the contact plane 22 the contacting device according to the invention 4 . 4 1 ' . 4 2 ' . 4 ' and 4 '" with the integrated circuit under test. At this surface 25 of the cuboid body 2 closes immediately the assembly 20 , preferably a printed circuit board 20 , which realizes an enlargement of the grid spacing of the individual contact pins 3.

In dieser Baugruppe 20 ist fluchtend zur Längserstreckung der erfindungsgemäßen Kontaktierungsvorrichtung 4, 41', 42', 4" und 4'" eine Durchgangsbohrung 26 vorgesehen. In dieser Durchgangsbohrung 26 ist das aus der erfindungsgemäßen Kontaktierungsvorrichtung 4, 41', 42', 4" und 4'" hinausgeführte Hochfrequenzkabel 7 über einen Bruchteil der Längserstreckung der Durchgangsbohrung 26 verlängert. Der Innenleiter 8 des Hochfrequenzkabels 7 ist hierbei gegenüber dem dielektrischen Isolator 11 und dem Außenleiter 10 des Hochfrequenzkabels 7 zusätzlich geringfügig verlängert. Die Durchgangsbohrung 26 ist so dimensioniert, dass sie als Kopplungselement zur Aufnahme eines an einem stirnseitigen Ende eines weiteren Hochfrequenzkabels 7' befestigten Steckverbinders 27 dienen kann.In this assembly 20 is aligned with the longitudinal extent of the contacting device according to the invention 4 . 4 1 ' . 4 2 ' . 4 ' and 4 '" a through hole 26 intended. In this through hole 26 that is from the contacting device according to the invention 4 . 4 1 ' . 4 2 ' . 4 ' and 4 '" outgoing high-frequency cable 7 over a fraction of the longitudinal extent of the through hole 26 extended. The inner conductor 8 of the high-frequency cable 7 is here opposite to the dielectric insulator 11 and the outer conductor 10 of the high frequency cable 7 additionally slightly extended. The through-bore 26 is dimensioned such that it acts as a coupling element for receiving a at a front end of another high-frequency cable 7 ' fastened connector 27 can serve.

Im gesteckten Zustand des Steckverbinders 27 in der als Kupplungselement dienenden Durchgangsbohrung 26 der Baugruppe 20 gemäß 4B stößt der Steckverbinder 27 bevorzugt mit seinem stirnseitigen Ende am stirnseitigen Ende der erfindungsgemäßen Kontaktierungsvorrichtung 4, 41', 42', 4" und 4'" an. Über eine Schnappverbindung, wie sie in den 4A und 4B angedeutet ist, wird das aus der erfindungsgemäßen Kontaktierungsvorrichtung 4, 41', 42', 4" und 4'" hinausgeführte Hochfrequenzkabel 7 mit dem Steckverbinder 27 mechanisch verbunden und damit mit dem weiteren Hochfrequenzkabel 7' elektrisch innen- und außenleiterseitig kontaktiert. Das mit dem Steckverbinder 27 abgeschlossene Hochfrequenzkabel 7' wird direkt an ein Hochfrequenzmessgerät oder an eine dazwischengeschaltete Leiterplatte, beispielsweise eine Probe-Card (deutsch: Messadapter-Baugruppe), oder an einen dazwischengeschalteten Adapter bzw. Adapterbaugruppe geleitet.In the plugged state of the connector 27 in the through hole serving as the coupling element 26 the assembly 20 according to 4B the connector hits 27 preferably with its front end at the front end of the contacting device according to the invention 4 . 4 1 ' . 4 2 ' . 4 ' and 4 '" at. About a snap connection, as in the 4A and 4B is indicated, that is from the contacting device according to the invention 4 . 4 1 ' . 4 2 ' . 4 ' and 4 '" outgoing high-frequency cable 7 with the connector 27 mechanically connected and thus with the other high-frequency cable 7 'contacted electrically inside and outside conductors. That with the connector 27 terminated high frequency cable 7 'is directly to a high-frequency meter or to an interconnected circuit board, such as a sample card (German: measuring adapter assembly), or on passed an interposed adapter or adapter assembly.

Um ein leichteres Entfernen des mit dem Steckverbinder 27 abgeschlossenen Hochfrequenzkabels 7' aus der Durchgangsbohrung 26 der Baugruppe 20 zu ermöglichen, ist der Durchmesser der Durchgangsbohrung 26 ausgangsseitig über eine bestimmte Längserstreckung vergrößert.To facilitate removal of the connector 27 completed high-frequency cable 7 ' from the through hole 26 of the assembly 20 to allow, is the diameter of the through hole 26 on the output side increased over a certain longitudinal extent.

Alternativ zum Steckverbinder 27, der am Ende eines weiteren Hochfrequenzkabels 7' befestigt ist, kann auch ein mit einer Baugruppe 20', bevorzugt mit einer Leiterplatte 20', verbundener Steckverbinder 29 (sogenannter Leiterplattensteckverbinder), wie er weiter untern anhand der 5A und 5B vorgestellt wird, in die als Kopplungselement dienende Durchgangsbohrung 26 der Baugruppe 20 gesteckt sein.Alternative to the connector 27 , which is at the end of another high-frequency cable 7 'attached, can also be one with an assembly 20 ', Preferably with a circuit board 20 ' , connected connector 29 (so-called PCB connector), as he further down on the basis of 5A and 5B is presented in the serving as a coupling element through hole 26 of the assembly 20 be plugged.

In einer dritten Variante eines externen Hochfrequenzanschlusses gemäß der 5A und 5B wird das in der erfindungsgemäßen Kontaktierungsvorrichtung 4, 41', 42', 4" und 4''' geführte Hochfrequenzkabel 7 mit einem auf einer Baugruppe, bevorzugt einer Leiterplatte, befestigten Steckverbinder elektrisch und mechanisch verbunden:In a third variant of an external high-frequency connection according to the 5A and 5B this is the case in the contacting device according to the invention 4 . 4 1 ' . 4 2 ' . 4 ' and 4 ''' guided high frequency cable 7 electrically and mechanically connected to a connector mounted on an assembly, preferably a printed circuit board,

Hierzu wird das innerhalb der Kontaktierungsvorrichtung 4, 41', 42', 4" und 4'" geführte Hochfrequenzkabel 7 ebenfalls durch eine zweite Durchführung 17 in einem Steg 16 der äußeren Hülse 13 in den Außenraum der Kontaktierungsvorrichtung 4, 41', 42', 4" und 4'" geführt. Die Längserstreckung jedes Kontaktstiftes 3 und jeder Kontaktierungsvorrichtung 4, 41', 42', 4" und 4'" des erfindungsgemäßen Testsockels 1, 1', 1" und 1'" ist hierbei analog zur zweiten Variante eines externen Hochfrequenzanschlusses im nicht kontaktierten Zustand identisch. In Abgrenzung zur zweiten Variante eines externen Hochfrequenzanschlusses ist der Steg 16 der äußeren Hülse 13 nicht am stirnseitigen Ende der Kontaktierungsvorrichtung 4, 41', 42', 4" und 4'" angebracht, sondern ist um eine bestimmte Distanz in Richtung zu den Kontaktelementen 5, 51 , 52 , 5', 5", 6, 61 , 62 , 63 , 64 , 65 , 66 , 67 , 68 , 69 und 610 versetzt angeordnet. Der Bereich zwischen dem Steg 16 und dem stirnseitigen Ende der äußeren Hülse 13 ist als Kopplungselement zur Aufnahme eines Steckverbinders 29 ausgeformt und dimensioniert.This is done within the contacting device 4 . 4 1 ' . 4 2 ' . 4 ' and 4 '" guided high frequency cable 7 also through a second implementation 17 in a jetty 16 the outer sleeve 13 in the outer space of the contacting device 4 . 4 1 ' . 4 2 ' . 4 ' and 4 '" guided. The longitudinal extent of each contact pin 3 and each contacting device 4 . 4 1 ', 4 2 ' . 4 ' and 4 '" of the test socket according to the invention 1 . 1' . 1" and 1'" is identical here to the second variant of an external high-frequency connection in the non-contacted state. In contrast to the second variant of an external high-frequency connection is the bridge 16 the outer sleeve 13 not at the front end of the contacting device 4 . 4 1 ' . 4 2 ' . 4 ' and 4 '" attached, but is at a certain distance in the direction of the contact elements 5 . 5 1 . 5 2 . 5 ' . 5 ' . 6 . 6 1 . 6 2 . 6 3 . 6 4 . 6 5 . 6 6 . 6 7 . 6 8 . 6 9 and 6 10 staggered. The area between the bridge 16 and the front end of the outer sleeve 13 is as a coupling element for receiving a connector 29 shaped and dimensioned.

Über einen Bruchteil der Distanz zwischen dem Steg 16 und dem stirnseitigen Ende der äußeren Hülse 13 ist das aus der erfindungsgemäßen Kontaktierungsvorrichtung 4, 41', 42', 4" und 4'" hinausgeführte Hochfrequenzkabel 7 verlängert. Der Innenleiter 8 des Hochfrequenzkabels 7 ist hierbei gegenüber dem dielektrischen Isolator 11 und dem Außenleiter 10 des Hochfrequenzkabels 7 ebenfalls zusätzlich geringfügig verlängert. Das am stirnseitigen Ende der äußeren Hülse 13 ausgeformte Kopplungselement ist so dimensioniert, dass ein Steckverbinder 29, der auf einer gegenüberliegenden Fläche 30 einer Baugruppe 20', bevorzugt einer Leiterplatte 20', befestigt ist, im gesteckten Zustand gemäß 5B mit dem aus der erfindungsgemäßen Kontaktierungsvorrichtung 4, 41', 42', 4" und 4'" hinausgeführten Hochfrequenzkabel 7 innen- und außenleiterseitig sicher mechanisch und elektrisch verbunden ist. Außerdem stößt der Steckverbinder 29 im gesteckten Zustand bevorzugt am Steg 16 der äußeren Hülse der erfindungsgemäßen Kontaktierungsvorrichtung 4, 41', 42', 4" und 4''' an.About a fraction of the distance between the bridge 16 and the front end of the outer sleeve 13 this is from the contacting device according to the invention 4 . 4 1 ' . 4 2 ' . 4 ' and 4 '" outgoing high-frequency cable 7 extended. The inner conductor 8 of the high-frequency cable 7 is here opposite to the dielectric insulator 11 and the outer conductor 10 of the high frequency cable 7 also slightly longer. The at the front end of the outer sleeve 13 shaped coupling element is dimensioned so that a connector 29, which is on an opposite surface 30 an assembly 20 ' , preferably a printed circuit board 20 ' , is attached, in the inserted state according to 5B with the from the contacting device according to the invention 4 . 4 1 ' . 4 2 ' . 4 ' and 4 '" led out high-frequency cable 7 inside and outside conductor safely mechanically and electrically connected. In addition, the connector abuts 29 when mated, preferably at the bridge 16 the outer sleeve of the contacting device according to the invention 4 . 4 1 ' . 4 2 ' . 4 ' and 4 ''' at.

Der Steckverbinder 29 ist innen- und außenleiterseitig mit entsprechenden Kontaktflächen eines Hochfrequenzanschlusses elektrisch und mechanisch verbunden, die auf der Fläche 30 der Baugruppe 20' aufgebracht sind. Analog kontaktieren im gesteckten Zustand des Steckverbinders 29 die einzelnen Kontaktstifte 3 zugehörige Kontaktflächen 28, die jeweils an geeigneter Position auf der Fläche 30 der Baugruppe 20' aufgebracht sind.The connector 29 is electrically and mechanically connected inside and outside conductor side with corresponding contact surfaces of a high-frequency connection, which on the surface 30 the assembly 20 ' are applied. Analog contact in mated condition of the connector 29 the individual pins 3 associated contact surfaces 28 , each at a suitable position on the surface 30 the assembly 20 ' are applied.

Alternativ zu einem mit einer Baugruppe 20' elektrisch und mechanisch verbundenen Steckverbinder 29 kann auch ein an einem weiteren Hochfrequenzkabel 7' befestigter Steckverbinder 27, wie er obig in den 4A und 4B dargestellt ist, in das als Kopplungselement ausgeformte stirnseitige Ende der erfindungsgemäßen Kontaktierungsvorrichtung 4, 41', 42', 4" und 4'" gesteckt werden.Alternatively to one with an assembly 20 ' electrically and mechanically connected connectors 29 can also be on another high-frequency cable 7 ' attached connector 27, as he above in the 4A and 4B is shown in the coupling element formed as a front end of the contacting device according to the invention 4 . 4 1 ' . 4 2 ' . 4 ' and 4 '" be plugged.

Abschließend sei darauf hingewiesen, dass der erfindungsgemäße Testsockel 1, 1', 1" und 1'" im Bereich der einzelnen gerastert angeordneten Kontaktstifte 3 zur Kontaktierung eines elektrischen Signals oder eines elektrischen Potentials und der jeweils benachbart angeordneten Kontaktierungsvorrichtungen 4, 41', 42', 4" und 4'" zur Kontaktierung eines Hochfrequenzsignals einen temperierten Luftkanal 31 zur Kühlung oder Erwärmung der einzelnen Kontaktstifte 3 und der einzelnen Kontaktierungsvorrichtungen 4, 41', 42', 4" und 4'" optional aufweisen kann.Finally, it should be noted that the test socket according to the invention 1 . 1' . 1" and 1'" in the region of the individual rastered arranged contact pins 3 for contacting an electrical signal or an electrical potential and the respectively adjacent contacting devices 4 . 4 1 ' . 4 2 ' . 4 ' and 4 '" for contacting a high frequency signal a tempered air duct 31 for cooling or heating the individual contact pins 3 and the individual contacting devices 4 . 4 1 ' . 4 2 ' . 4 ' and 4 '" optionally may have.

Der Vorteil der somit abschließend beschriebenen Ausführungsformen einer Kontaktierungsvorrichtung 4, 41', 42', 4" und 4'" zur Kontaktierung eines Hochfrequenzsignals ist darin zu sehen, dass jede Kontaktierungsvorrichtung zur Kontaktierung eines Hochfrequenzsignals jeweils separat zum zugehörigen erfindungsgemäßen Testsockel 1, 1', 1" und 1'" gefertigt werden kann und im Fehlerfall austauschbar ist.The advantage of the thus finally described embodiments of a contacting device 4 . 4 1 ' . 4 2 ' . 4 ' and 4 '" for contacting a high-frequency signal is to be seen in that each contacting device for contacting a high-frequency signal in each case separately to the associated test socket according to the invention 1 . 1' . 1" and 1'" can be manufactured and is interchangeable in case of error.

Schließlich wird im Folgenden das erfindungsgemäße Verfahren zur Herstellung einer erfindungsgemäßen Kontaktierungsvorrichtung 4, 41', 42', 4" und 4'" anhand des Flussdiagrammes in 6 im Detail erläutert: Finally, the method according to the invention for producing a contacting device according to the invention will be described below 4 . 4 1 ' . 4 2 ' . 4 ' and 4 '" using the flowchart in 6 explained in detail:

In einem ersten Verfahrensschritt S10 wird das Federelement 14, die innere Hülse 9 in die äußere Hülse 13 der Kontaktierungsvorrichtung 4, 41', 42', 4" und 4'" eingefügt. Anschließend wird das Hochfrequenzkabel 7 durch die zweite Durchführung 17 im Steg 16 der zur Kontaktierungsvorrichtung 4, 41', 42', 4" und 4'" gehörigen äußeren Hülse 13 in den Innenbereich der inneren Hülse 9 eingefügt. Der Außenleiter 10 des Hochfrequenzkabels 7 wird mit der inneren Hülse 9 entweder mit einem stoffschlüssigen Verbindungsverfahren, beispielsweise mittels Lötung, oder mit einem form- und/oder kraftschlüssigen Verbindungsverfahren, beispielsweise mittels Crimpen, verbunden.In a first method step S10, the spring element 14 , the inner sleeve 9 in the outer sleeve 13 the contacting device 4 . 4 1 ' . 4 2 ' . 4 ' and 4 '" inserted. Subsequently, the high frequency cable 7 through the second passage 17 in the bridge 16 the to the contacting device 4 . 4 1 ' . 4 2 ' . 4 ' and 4 '" belonging outer sleeve 13 in the interior of the inner sleeve 9 inserted. The outer conductor 10 of the high frequency cable 7 comes with the inner sleeve 9 either with a cohesive connection method, for example by means of soldering, or with a positive and / or non-positive connection method, for example by means of crimping.

Im nächsten Verfahrensschritt S20 wird das innenleiterkontaktseitige Kontaktelement 5 mit dem Innenleiter 8 des Hochfrequenzkabels 7 oder die beiden innenleiterkontaktseitigen Kontaktelemente 51 und 52 mit den zugehörigen Innenleitern 81 bzw. 82 des Hochfrequenzkabels 7 mit einem geeigneten Verbindungsverfahren verbunden.In the next method step S20, the inner conductor contact side contact element 5 with the inner conductor 8th of the high frequency cable 7 or the two inner conductor contact side contact elements 5 1 and 5 2 with the associated inner conductors 8 1 and 8 2 of the high-frequency cable 7 associated with a suitable connection method.

Im Fall der ersten Ausführungsform, der ersten Untervariante der zweiten Ausführungsform, der dritten Ausführungsform und der vierten Ausführungsform der erfindungsgemäßen Kontaktierungsvorrichtung 4, 41', 4" und 4'" wird hierzu der Innenleiter 8 des Hochfrequenzkabels 7 gegenüber dem stirnseitigen Ende des Hochfrequenzkabels 7 hinausgeführt und mit einem stoffschlüssigen Verbindungsverfahren, beispielsweise mittels Lötung, oder mit einem form- und/oder kraftschlüssig Verbindungsverfahren, beispielsweise mittels Presspassung, mit dem innenleiterkontaktseitigen Kontaktelement 5 bzw. 51 und 52 zur Realisierung eines sicheren elektrischen Kontaktes verbunden.In the case of the first embodiment, the first sub-variant of the second embodiment, the third embodiment and the fourth embodiment of the contacting device according to the invention 4 . 4 1 ' . 4 ' and 4 '" For this purpose, the inner conductor 8 of the high-frequency cable 7 opposite the front end of the high frequency cable 7 led out and with a material connection method, for example by means of soldering, or with a positive and / or non-positive connection method, for example by means of press-fitting, with the inner conductor contact side contact element 5 respectively. 5 1 and 5 2 connected to the realization of a secure electrical contact.

Im Fall der zweiten Untervariante der zweiten Ausführungsform der erfindungsgemäßen Kontaktierungsvorrichtung 42' wird der Innenleiter 8 des Hochfrequenzkabels 7 wird hierzu der Innenleiter 8 des Hochfrequenzkabels 7 ebenfalls gegenüber dem stirnseitigen Ende des Hochfrequenzkabels 7 hinausgeführt und mit einem stoffschlüssigen Verbindungsverfahren, beispielsweise mittels Lötung, oder mit einem form- und/oder kraftschlüssig Verbindungsverfahren, beispielsweise mittels Presspassung, mit dem innenleiterkontaktseitigen Kontaktelement 5 bzw. 51 und 52 zur Realisierung eines sicheren elektrischen Kontaktes verbunden.In the case of the second sub-variant of the second embodiment of the contacting device according to the invention 4 2 ' becomes the inner conductor 8th of the high frequency cable 7 For this purpose, the inner conductor 8 of the high-frequency cable 7 also opposite the front end of the high-frequency cable 7 led out and with a cohesive bonding method, for example by means of soldering, or with a positive and / or non-positive connection method, for example by means of interference fit, with the inner conductor contact side contact element 5 bzw. 5 1 and 5 2 connected to the realization of a secure electrical contact.

Anschließend wird das stirnseitige Ende des Hochfrequenzkabels 7 über eine bestimmte Zeitdauer erwärmt. Während der Erwärmungsphase wird der Innenleiter 8 des Hochfrequenzkabels 8 mit dem daran befestigten innenleiterkontaktseitigen Kontaktelement 5" wieder in das Hochfrequenzkabel 7 hineingeschoben, bis lediglich ein bestimmter Bereich des innenleiterkontaktseitigen Kontaktelements 5" aus dem stirnseitigen Ende des Hochfrequenzkabels 7 herausragt. Durch die Erwärmung vereinfacht sich das Verschieben und schäumt das Isolationsmaterial des dielektrischen Isolators 11 auf und dringt in den ursprünglich leeren Zwischenraum innerhalb der Nuten 23 des innenleiterkontaktseitigen Kontaktelement 5" ein. Sind die Zwischenräume innerhalb der Nuten 23 vollständig mit Isolationsmaterial aufgefüllt, kann der Erwärmungsprozess eingestellt werden. Nach einer Abkühlungsphase ist das innenleiterkontaktseitige Kontaktelements 5" fest im Hochfrequenzkabel 7 fixiert.Subsequently, the front end of the high-frequency cable 7 heated for a certain period of time. During the heating phase, the inner conductor becomes 8th the high frequency cable 8 with the inner conductor contact side contact element attached thereto 5 ' back in the high frequency cable 7 pushed in until only a certain area of the inner conductor contact side contact element 5 ' from the front end of the high-frequency cable 7 protrudes. The heating simplifies the shifting and foams the insulation material of the dielectric insulator 11 and penetrates into the originally empty space within the grooves 23 of the inner conductor contact side contact element 5 ' one. Are the spaces within the grooves 23 completely filled with insulation material, the heating process can be adjusted. After a cooling phase, the inner conductor contact side contact element 5 ' firmly in the high-frequency cable 7 fixed.

Im darauffolgenden Verfahrensschritt S30 werden die einzelnen außenleiterkontaktseitigen Kontaktelemente 6, 61 , 62 , 63 , 64 , 65 , 66 , 67 , 68 , 69 und 610 mit der äußeren Hülse 9 der erfindungsgemäßen Kontaktierungsvorrichtung 4, 41', 4" und 4'" entweder stoffschlüssig, beispielsweise mittels Löten, oder form- bzw. kraftschlüssig, beispielsweise mittels Presspassung, verbunden.In the subsequent method step S30, the individual outer conductor contact side contact elements 6 . 6 1 . 6 2 . 6 3 . 6 4 . 6 5 . 6 6 . 6 7 . 6 8 . 6 9 and 6 10 with the outer sleeve 9 the contacting device according to the invention 4 . 4 1 ' . 4 ' and 4 '" either cohesively, for example by means of soldering, or positively or non-positively, for example by means of interference fit, connected.

Im abschließenden Verfahrensschritt S40 wird die äußere Hülse 9 der erfindungsgemäßen Kontaktierungsvorrichtung 4, 41', 4" und 4'" in Richtung der zu prüfenden integrierten Schaltung, d.h. in Richtung der Kontaktebene 22, abgeschlossen. Hierzu wird mittels Kaltumformung, beispielsweise mittels Biegen, am stirnseitigen Ende der äußeren Hülse 9 ein radial nach innen gerichteter bzw. nach innen gebogener Steg 19 ausgebildet.In the final method step S40, the outer sleeve 9 of the contacting device according to the invention 4 . 4 1 ' . 4 ' and 4 '" in the direction of the integrated circuit to be tested, ie in the direction of the contact plane 22 , completed. For this purpose, by cold forming, for example by means of bending, at the front end of the outer sleeve 9 a radially inwardly directed or inwardly bent web 19 educated.

Eine derart gefertigte erfindungsgemäße Kontaktierungsvorrichtung 4, 41', 4" und 4'" wird in eine geeignet dimensionierte Bohrung innerhalb des zugehörigen erfindungsgemäßen Testsockels 1, 1', 1" und 1'" beispielsweise mittels Presspassung in benachbarter Position und in paralleler Orientierung zu den einzelnen gerastert angeordneten Kontaktstiften 3 eingefügt.Such a manufactured contacting device according to the invention 4 . 4 1 ' . 4 ' and 4 '" is in a suitably dimensioned bore within the associated test socket according to the invention 1 . 1 ', 1 "and 1'" inserted, for example, by means of press fit in adjacent position and in parallel orientation to the individual rasterized arranged contact pins 3.

Obwohl die vorliegende Erfindung anhand bevorzugter Ausführungsbeispiele vorstehend vollständig beschrieben wurde, ist sie darauf nicht beschränkt, sondern auf vielfältige Art und Weise modifizierbar.Although the present invention has been fully described above with reference to preferred embodiments, it is not limited thereto but is modifiable in a variety of ways.

BezugszeichenlisteLIST OF REFERENCE NUMBERS

1, 1', 1", 1'"1, 1 ', 1 ", 1'"
Testsockeltest socket
22
quaderförmiger Körpercuboid body
33
Kontaktelement, insbesondere KontaktstiftContact element, in particular contact pin
4, 41', 42', 4", 4'" 4, 4 1 ', 4 2 ', 4 ", 4 '"
Kontaktierungsvorrichtungcontacting
5, 51, 52, 5', 5"5, 5 1 , 5 2 , 5 ', 5 "
innenleiterkontaktseitiges Kontaktelementinner conductor contact side contact element
6, 61, 62, 63, 64, 65, 66, 67, 68, 69, 610 6, 6 1 , 6 2 , 6 3 , 6 4 , 6 5 , 6 6 , 6 7 , 6 8 , 6 9 , 6 10
außenleiterkontaktseitiges KontaktelementAußenleiterkontaktseit contact element
7, 7'7, 7 '
HochfrequenzkabelRF cable
88th
Innenleiter des HochfrequenzkabelsInner conductor of the high frequency cable
99
innere Hülseinner sleeve
1010
Außenleiter des HochfrequenzkabelsOuter conductor of the high frequency cable
11, 111, 112 11, 11 1 , 11 2
dielektrischer Isolator des Hochfrequenzkabelshigh frequency cable dielectric insulator
1212
Isolator-ElementInsulator element
1313
äußere Hülseouter sleeve
1414
Federelementspring element
1515
Steg der inneren HülseBridge of the inner sleeve
1616
Steg der äußeren HülseBridge of the outer sleeve
1717
zweite Durchführungsecond implementation
1818
Steg der inneren HülseBridge of the inner sleeve
1919
nach innen gebogene innere Wandung der äußeren Hülseinwardly curved inner wall of the outer sleeve
20, 20'20, 20 '
Baugruppemodule
2121
weiterer Kontaktstiftanother contact pin
2222
KontaktebeneContact level
2323
Nutgroove
2424
zur integrierten Schaltung abgewandte Fläche des quaderförmigen Körpersfacing away from the integrated circuit surface of the cuboid body
2525
zur integrierten Schaltung gerichtete Fläche des quaderförmigen Körpersdirected to the integrated circuit surface of the cuboid body
2626
Durchgangsbohrung der BaugruppeThrough hole of the assembly
2727
Steckverbinder des HochfrequenzkabelsHigh frequency cable connector
2828
Kontaktflächen der BaugruppeContact surfaces of the module
2929
Steckverbinder auf BaugruppeConnector on module
3030
Fläche der BaugruppeSurface of the assembly
3131
Luftkanalair duct
3232
erste Durchführungfirst implementation

ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG QUOTES INCLUDE IN THE DESCRIPTION

Diese Liste der vom Anmelder aufgeführten Dokumente wurde automatisiert erzeugt und ist ausschließlich zur besseren Information des Lesers aufgenommen. Die Liste ist nicht Bestandteil der deutschen Patent- bzw. Gebrauchsmusteranmeldung. Das DPMA übernimmt keinerlei Haftung für etwaige Fehler oder Auslassungen.This list of the documents listed by the applicant has been generated automatically and is included solely for the better information of the reader. The list is not part of the German patent or utility model application. The DPMA assumes no liability for any errors or omissions.

Zitierte PatentliteraturCited patent literature

  • US 7173442 B2 [0004]US 7173442 B2 [0004]

Claims (31)

Testsockel (1; 1'; 1"; 1''') mit mehreren Kontaktelementen (3) zur Kontaktierung von jeweils einem elektrischen Signal oder von jeweils einem elektrischen Potential und mit mindestens einer Kontaktierungsvorrichtung (4; 41'; 42'; 4"; 4"') zur Kontaktierung von jeweils einem Hochfrequenzsignal, wobei die mehreren Kontaktelemente (3) jeweils in einem ersten Raster angeordnet sind und innerhalb des ersten Rasters durch jede Kontaktierungsvorrichtung (4; 41'; 42'; 4"; 4"') jeweils mindestens ein benachbartes Kontaktelement (3) in jeder der beiden zueinander orthogonalen Anordnungsrichtungen des ersten Rasters ersetzt ist, wobei jede Kontaktierungsvorrichtung (4; 41'; 42'; 4"; 4"') entlang der axialen Erstreckung der Kontaktelemente (3) parallel zu den Kontaktelementen (3) verläuft, wobei die mindestens eine Kontaktierungsvorrichtung (4; 41'; 42'; 4"; 4"') jeweils unterschiedlich zu jedem Kontaktelement (3) ist.Test socket (1; 1 '; 1 ";1''') with a plurality of contact elements (3) for contacting in each case one electrical signal or one electrical potential and at least one contacting device (4; 4 1 '; 4 2 '; 4 ", 4"') for contacting in each case one high-frequency signal, wherein the plurality of contact elements (3) are each arranged in a first grid and within the first grid by each contacting device (4; 4 1 '; 4 2 '; 4 "; 4 "') each at least one adjacent contact element (3) in each of the two mutually orthogonal arrangement directions of the first grid is replaced, each contacting device (4; 4 1 '; 4 2 ';4", 4 "') along the axial extent the contact elements (3) extend parallel to the contact elements (3), the at least one contacting device (4; 4 1 '; 4 2 '; 4 ";4"') each being different from each contact element (3). Testsockel (1; 1'; 1"; 1''') nach Patentanspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass jede Kontaktierungsvorrichtung (4; 41'; 42'; 4"; 4"') jeweils hülsenförmig ausgeführt ist.Test socket (1; 1 '; 1 ";1''') after Claim 1 or 2 , characterized in that each contacting device (4; 4 1 '; 4 2 '; 4 ";4"') is designed sleeve-shaped in each case. Testsockel (1; 1'; 1"; 1''') nach Patentanspruch 2, dadurch gekennzeichnet, dass jede hülsenförmige Kontaktierungsvorrichtung (4; 41'; 42'; 4"; 4"') jeweils mit einem zugehörigen Hochfrequenzkabel (7) verbunden ist, wobei das zugehörige Hochfrequenzkabel (7) jeweils innerhalb der jeweiligen hülsenförmigen Kontaktierungsvorrichtung (4; 41'; 42'; 4"; 4"') geführt ist.Test socket (1; 1 '; 1 ";1''') after Claim 2 characterized in that each sleeve-shaped contacting device (4; 4 1 '; 4 2 '; 4 ";4"') is in each case connected to an associated high-frequency cable (7), the associated high-frequency cable (7) in each case within the respective sleeve-shaped contacting device (4; 4 1 '; 4 2 '; 4 ";4"'). Testsockel (1; 1'; 1"; 1''') nach Patentanspruch 3, dadurch gekennzeichnet, dass jede hülsenförmige Kontaktierungsvorrichtung (4; 41'; 42'; 4"; 4"') jeweils eine im Testsockel (1; 1'; 1"; 1"') fixierte äußere Hülse (13) und eine in der äußeren Hülse (13) in axialer Richtung elastisch geführte innere Hülse (9) aufweist.Test socket (1; 1 '; 1 ";1''') after Claim 3 Characterized in that each sleeve-like contacting device (4; 4 1 ', 4 2'; 4 ";4"') each having a test socket (1; 1'; 1 ";1"') fixed outer sleeve (13) and a in the outer sleeve (13) in the axial direction elastically guided inner sleeve (9). Testsockel (1; 1'; 1"; 1''') nach Patentanspruch 4, dadurch gekennzeichnet, dass ein Außenleiter (10) des zugehörigen Hochfrequenzkabels (7) mit der elektrisch leitenden inneren Hülse (9) verbunden ist.Test socket (1; 1 '; 1 ";1''') after Claim 4 , characterized in that an outer conductor (10) of the associated high-frequency cable (7) with the electrically conductive inner sleeve (9) is connected. Testsockel (1; 1'; 1"; 1''') nach Patentanspruch 4 oder 5, dadurch gekennzeichnet, dass das zugehörige Hochfrequenzkabel (7) durch eine in der äußeren Hülse (13) vorgesehene zweite Durchführung (17) aus der äußeren Hülse (13) hinausgeführt ist.Test socket (1; 1 '; 1 ";1''') after Claim 4 or 5 , characterized in that the associated high-frequency cable (7) is guided out of the outer sleeve (13) by a second passage (17) provided in the outer sleeve (13). Testsockel (1; 1'; 1"; 1''') nach Patentanspruch 6, dadurch gekennzeichnet, dass die hülsenförmige Kontaktierungsvorrichtung (4; 41'; 42'; 4"; 4"') zwischen der zweiten Durchführung und einem stirnseitigen Ende als Kopplungselement zur Aufnahme eines Steckverbinders (27, 29) ausgeformt ist.Test socket (1; 1 '; 1 ";1''') after Claim 6 , characterized in that the sleeve-shaped contacting device (4; 4 1 '; 4 2 '; 4 ";4"') between the second passage and a front end as a coupling element for receiving a connector (27, 29) is formed. Testsockel (1; 1'; 1"; 1''') nach einem der Patentansprüche 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, dass die Kontaktierungsvorrichtung (4; 41'; 42'; 4"; 4"') in einer Kontaktebene (22) mit mindestens einem innenleiterkontaktseitigen Kontaktelement (5, 51, 52, 5', 5") und mit mindestens einem außenleiterkontaktseitigen Kontaktelement (6, 61, 62, 63, 64, 65, 66, 67, 68, 69, 610) abgeschlossen ist.Test socket (1; 1 '; 1 ";1''') according to one of Claims 1 to 7 characterized in that the contacting device (4; 4 1 '; 4 2 '; 4 ";4"') in a contact plane (22) with at least one inner conductor contact side contact element (5, 5 1 , 5 2 , 5', 5 " ) And with at least one outer conductor contact side contact element (6, 6 1 , 6 2 , 6 3 , 6 4 , 6 5 , 6 6 , 6 7 , 6 8 , 6 9 , 6 10 ) is completed. Testsockel (1; 1'; 1"; 1''') nach Patentanspruch 8, dadurch gekennzeichnet, dass die Kontaktierungsvorrichtung (4; 41'; 42"; 4"; 4"') mehrere außenleiterkontaktseitigen elastischen Kontaktelemente (61, 62, 63, 64, 65, 66, 67, 68, 69, 610) aufweist.Test socket (1; 1 '; 1 ";1''') after Claim 8 Characterized in that the contacting device (4; 4 1 ', 4 2'; 4 ";4"') a plurality of outer conductor contact-side elastic contact elements (6 1, 6 2, 6 3, 6 4, 6 5, 6 6 6 7 , 6 8 , 6 9 , 6 10 ). Testsockel (1; 1'; 1"; 1''') nach Patentanspruch 9, dadurch gekennzeichnet, dass die außenleiterkontaktseitigen elastischen Kontaktelemente (61, 62, 63, 64, 65, 66, 67, 68, 69, 610) im ersten Raster angeordnete Kontaktelemente mit einem Federarm sind.Test socket (1; 1 '; 1 ";1''') after Claim 9 , characterized in that the outer conductor contact side elastic contact elements (6 1 , 6 2 , 6 3 , 6 4 , 6 5 , 6 6 , 6 7 , 6 8 , 6 9 , 6 10 ) are arranged in the first grid contact elements with a spring arm. Testsockel (1; 1'; 1"; 1"') nach Patentanspruch 8, dadurch gekennzeichnet, dass die Kontaktierungsvorrichtung (4; 41'; 42'; 4"; 4"') ein außenleiterkontaktseitiges Kontaktelement mit einer Elastizität und einer zylindrischen Bohrung in Kontaktierungsrichtung aufweist.Test socket (1; 1 '; 1 ";1"') after Claim 8 , characterized in that the contacting device (4; 4 1 '; 4 2 '; 4 ";4"') has an external conductor contact side contact element with an elasticity and a cylindrical bore in the contacting direction. Testsockel (1; 1'; 1"; 1"') nach Patentanspruch 8, dadurch gekennzeichnet, dass die Kontaktierungsvorrichtung (4; 41'; 42'; 4"; 4"') ein innenleiterkontaktseitiges elastisches Kontaktelement (5; 51, 52) aufweist.Test socket (1; 1 '; 1 ";1"') after Claim 8 , characterized in that the contacting device (4, 4 1 ', 4 2 ', 4 ", 4"') an inner conductor contact side elastic contact element (5; 5 1 , 5 2 ). Testsockel (1; 1'; 1"; 1''') nach Patentanspruch 8, dadurch gekennzeichnet, dass die Kontaktierungsvorrichtung (4; 41'; 42'; 4"; 4"') ein innenleiterkontaktseitiges starres Kontaktelement (5'; 5") aufweist.Test socket (1; 1 '; 1 ";1''') after Claim 8 , characterized in that the contacting device (4, 4 1 ', 4 2 ', 4 ", 4"') has a innenleiterkontaktseit rigid contact element (5', 5 "). Testsockel (1; 1'; 1"; 1''') nach einem der Patentansprüche 8 bis 13, dadurch gekennzeichnet, dass die innere Hülse (9) mit dem mindestens einen außenleiterkontaktseitigen Kontaktelement (61, 62, 63, 64, 65, 66, 67, 68, 69, 610) verbunden ist.Test socket (1; 1 '; 1 ";1''') according to one of Claims 8 to 13 , characterized in that the inner sleeve (9) with the at least one outer conductor contact side contact element (6 1 , 6 2 , 6 3 , 6 4 , 6 5 , 6 6 , 6 7 , 6 8 , 6 9 , 6 10 ) is connected , Testsockel (1; 1'; 1"; 1''') nach einem der Patentansprüche 8 bis 14, dadurch gekennzeichnet, dass mindestens ein Innenleiter (8; 81, 82) des Hochfrequenzkabels (7) mit dem jeweils zugeordneten innenleiterkontaktseitigen Kontaktelement (5; 51, 52; 5'; 5") verbunden ist.Test socket (1; 1 '; 1 ";1''') according to one of Claims 8 to 14 Characterized in that at least one inner conductor (8; 8 1, 8 2) (5; 5 1, 5 2; 5 '; 5 ") of the high-frequency cable (7) with the respective associated inner-conductor-contact-side contact member is connected. Testsockel (1; 1'; 1"; 1"') nach Patentanspruch 15, dadurch gekennzeichnet, dass der mindestens eine Innenleiter (8; 81, 82) des Hochfrequenzkabels (7) aus einem stirnseitigen Ende des Hochfrequenzkabels (7) herausragt.Test socket (1; 1 '; 1 ";1"') after Claim 15 , characterized in that the at least one inner conductor (8; 8 1 , 8 2 ) of the high-frequency cable (7) protrudes from an end face of the high-frequency cable (7). Testsockel (1; 1'; 1"; 1''') nach einem der Patentansprüche 1 bis 16, dadurch gekennzeichnet, dass jedes Kontaktelement (3) zur Kontaktierung von jeweils einem elektrischen Signal oder von jeweils einem elektrischen Potential mit einer zugehörigen ersten Kontaktstelle (28) auf einer Baugruppe (20; 20') verbunden ist, in der eine Umsetzung der im ersten Raster jeweils angeordneten ersten Kontaktstellen (28) in zugehörige, in einem zweiten Raster jeweils angeordnete zweite Kontaktstellen erfolgt, wobei der Rasterabstand der zweiten Kontaktstellen gegenüber dem Rasterabstand der ersten Kontaktstellen (28) vergrößert ist. Test socket (1; 1 '; 1 ";1''') according to one of Claims 1 to 16 , characterized in that each contact element (3) for contacting each of an electrical signal or each having an electrical potential with an associated first contact point (28) on an assembly (20, 20 ') is connected, in which a conversion of the first Grid respectively arranged first contact points (28) in associated, arranged in a second raster respectively second contact points, wherein the pitch of the second contact points relative to the grid spacing of the first contact points (28) is increased. Kontaktierungsvorrichtung (4; 41'; 42'; 4"; 4"') zur Kontaktierung von jeweils einem Hochfrequenzsignal mit einer äußeren Hülse (13), einer in der äußeren Hülse (13) in axialer Richtung geführten inneren Hülse (9), ein Federelement (14), die zwischen der inneren Hülse (9) und einem an der äußeren Hülse (13) radial nach innen gerichteten Steg (16) positioniert ist, einem mit der elektrisch leitenden inneren Hülse (9) verbundenen Außenleiter (10) eines Hochfrequenzkabels (7), mindestens einem mit einem Innenleiter (8; 81, 82) des Hochfrequenzkabels (7) jeweils verbundenen innenleiterkontaktseitigen Kontaktelement (5; 5'; 5"; 51, 52) und mindestens einem mit der inneren Hülse (9) verbundenen außenleiterkontaktseitigen Kontaktelement (6, 61, 62, 63, 64, 65, 66, 67, 68, 69, 610).Contacting device (4; 4 1 '; 4 2 '; 4 ";4"') for contacting in each case a high-frequency signal with an outer sleeve (13), an inner sleeve (9) guided in the outer sleeve (13) in the axial direction a spring element (14) positioned between the inner sleeve (9) and a web (16) pointing radially inwardly on the outer sleeve (13), an outer conductor (10) connected to the electrically conductive inner sleeve (9). a high-frequency cable (7), at least one inner conductor contact-side contact element (5, 5 ', 5 ", 5 1 , 5 2 ) connected to an inner conductor (8, 8 1 , 8 2 ) of the high-frequency cable (7) and at least one with the inner one Sleeve (9) connected outside conductor contact side contact element (6, 6 1 , 6 2 , 6 3 , 6 4 , 6 5 , 6 6 , 6 7 , 6 8 , 6 9 , 6 10 ). Kontaktierungsvorrichtung (4; 41'; 42'; 4"; 4"') nach Patentanspruch 18, dadurch gekennzeichnet, dass die innere Hülse (9) über die äußere Hülse (13) hinaus durch eine an einer Stirnseite der äußeren Hülse (13) vorgesehene erste Durchführung (32) in axialer Richtung bewegbar ist, wobei eine Bewegung der inneren Hülse (9) durch einen radial nach außen gerichteten Steg (18) der inneren Hülse (9) und eine die erste Durchführung (32) begrenzende und radial nach innen gerichtete axiale Begrenzung (19) der äußeren Hülse (13) axial begrenzt ist.Contacting device (4; 4 1 '; 4 2 '; 4 ";4"') according to Claim 18 , characterized in that the inner sleeve (9) beyond the outer sleeve (13) is movable in the axial direction by a first passage (32) provided on an end face of the outer sleeve (13), wherein movement of the inner sleeve (9 ) is axially delimited by a radially outwardly directed web (18) of the inner sleeve (9) and a first passage (32) bounding and radially inwardly directed axial boundary (19) of the outer sleeve (13). Kontaktierungsvorrichtung (4; 41'; 42'; 4"; 4"') nach Patentanspruch 18 oder 19, dadurch gekennzeichnet, dass das mindestens eine außenleiterkontaktseitige Kontaktelement (6, 61, 62, 63, 64, 65, 66, 67, 68, 69, 610) jeweils ein elastisches Kontaktelement mit einem Federarm ist.Contacting device (4; 4 1 '; 4 2 '; 4 ";4"') according to Claim 18 or 19 , characterized in that the at least one outer conductor contact side contact element (6, 6 1 , 6 2 , 6 3 , 6 4 , 6 5 , 6 6 , 6 7 , 6 8 , 6 9 , 6 10 ) each have an elastic contact element with a spring arm is. Kontaktierungsvorrichtung (4; 41'; 42'; 4"; 4"') nach Patentanspruch 18 oder 19, dadurch gekennzeichnet, dass das mindestens eine außenleiterkontaktseitige Kontaktelement (6, 61, 62, 63, 64, 65, 66, 67, 68, 68, 610) die Kontaktierungsvorrichtung (4; 41'; 42'; 4"; 4"') ein Kontaktelement mit einer zylindrischen Bohrung und einer Elastizität in Kontaktierungsrichtung ist.Contacting device (4; 4 1 '; 4 2 '; 4 ";4"') according to Claim 18 or 19 , Characterized in that the at least one exterior conductor contact-side contact element (6, 6 1, 6 2, 6 3, 6 4, 6 5, 6, 6, 6 7, 6 8, 6 8, 6, 10), the contacting device (4; 4 1 '; 4 2'; 4 ";4"') is a contact member having a cylindrical bore and an elasticity in the contacting direction. Kontaktierungsvorrichtung (4; 41'; 42'; 4"; 4"') nach einem der Patentansprüche 18 bis 21, dadurch gekennzeichnet, dass das mindestens eine innenleiterkontaktseitige Kontaktelement (5; 51, 52) ein elastisches Kontaktelement ist.Contacting device (4; 4 1 '; 4 2 '; 4 ";4"') according to one of the Claims 18 to 21 , characterized in that the at least one inner conductor contact side contact element (5; 5 1 , 5 2 ) is an elastic contact element. Kontaktierungsvorrichtung (4; 41'; 42'; 4"; 4"') nach einem der Patentansprüche 18 bis 22, dadurch gekennzeichnet, dass das mindestens eine innenleiterkontaktseitige Kontaktelement (5; 5'; 5") ein starres Kontaktelement ist.Contacting device (4; 4 1 '; 4 2 '; 4 ";4"') according to one of the Claims 18 to 22 , characterized in that the at least one inner conductor contact side contact element (5, 5 ', 5 ") is a rigid contact element. Kontaktierungsvorrichtung (4; 41'; 42'; 4"; 4"') nach Patentanspruch 22 oder 23, dadurch gekennzeichnet, dass der mindestens eine Innenleiter (8; 81, 82) des Hochfrequenzkabels (7) aus einem stirnseitigen Ende des Hochfrequenzkabels (7) herausragt.Contacting device (4; 4 1 '; 4 2 '; 4 ";4"') according to Claim 22 or 23 , characterized in that the at least one inner conductor (8; 8 1 , 8 2 ) of the high-frequency cable (7) protrudes from an end face of the high-frequency cable (7). Kontaktierungsvorrichtung (4; 41'; 42'; 4"; 4"') nach Patentanspruch 22 oder 23, dadurch gekennzeichnet, dass der mindestens eine Innenleiter (8; 81, 82) des Hochfrequenzkabels (7) gegenüber einem zugehörigen Isolator (11; 111, 112) des Hochfrequenzkabels (7) axial zurückverschoben ist und das mindestens eine innenleiterkontaktseitige Kontaktelement (5; 51, 52) mit dem Innenleiter (8; 81, 82) verbunden ist und in einer Ausnehmung (22) im zugehörigen Isolator (11; 111, 112) des Hochfrequenzkabels (7) eingefügt ist.Contacting device (4; 4 1 '; 4 2 '; 4 ";4"') according to Claim 22 or 23 , characterized in that the at least one inner conductor (8; 8 1 , 8 2 ) of the high-frequency cable (7) against an associated insulator (11; 11 1 , 11 2 ) of the high-frequency cable (7) is axially displaced back and the at least one inner conductor contact side contact element (5, 5 1 , 5 2 ) with the inner conductor (8; 8 1 , 8 2 ) is connected and in a recess (22) in the associated insulator (11; 11 1 , 11 2 ) of the high-frequency cable (7) is inserted. Kontaktierungsvorrichtung (4; 41'; 42'; 4"; 4"') nach Patentanspruch 25, dadurch gekennzeichnet, dass das Kontaktelement (5; 51, 52) mindestens eine Nut (23) aufweist, in die ein Isolator-Material des zugehörigen Isolators (11; 111, 112) eingefügt ist.Contacting device (4; 4 1 '; 4 2 '; 4 ";4"') according to Claim 25 , characterized in that the contact element (5; 5 1 , 5 2 ) has at least one groove (23) into which an insulator material of the associated insulator (11; 11 1 , 11 2 ) is inserted. Kontaktierungsvorrichtung (4; 41'; 42'; 4"; 4"') nach einem der Patentansprüche 18 bis 26, dadurch gekennzeichnet, dass das Hochfrequenzkabel (7) durch eine in der äußeren Hülse (13) vorgesehene zweite Durchführung (17) aus der äußeren Hülse (13) herausgeführt ist.Contacting device (4; 4 1 '; 4 2 '; 4 ";4"') according to one of the Claims 18 to 26 , characterized in that the high-frequency cable (7) is guided out of the outer sleeve (13) by a second passage (17) provided in the outer sleeve (13). Kontaktierungsvorrichtung (4; 41'; 42'; 4"; 4"') nach Patentanspruch 27, dadurch gekennzeichnet, dass die hülsenförmige Kontaktierungsvorrichtung (4; 41'; 42'; 4"; 4"') zwischen der zweiten Durchführung und einem stirnseitigen Ende als Kopplungselement zur Aufnahme eines Steckverbinders (27, 29) ausgeformt ist.Contacting device (4; 4 1 '; 4 2 '; 4 ";4"') according to Claim 27 , characterized in that the sleeve-shaped contacting device (4; 4 1 '; 4 2 '; 4 ";4"') between the second passage and a front end as a coupling element for receiving a connector (27, 29) is formed. Verfahren zur Herstellung einer Kontaktierungsvorrichtung (4; 41'; 42'; 4"; 4"') zur Kontaktierung von jeweils einem Hochfrequenzsignal mit folgenden Verfahrensschritten: • Einfügen eines Federelements (14) und einer inneren Hülse (9) der Kontaktierungsvorrichtung (4; 41'; 42'; 4"; 4"'), die mit einem Außenleiter (10) eines Hochfrequenzkabels (7) verbunden ist, in eine äußere Hülse (9) der Kontaktierungsvorrichtung (4; 41'; 42'; 4"; 4"'), • Verbinden von mindestens einem innenleiterkontaktseitigen Kontaktelement (5; 5'; 5"; 51, 52) mit einem zugehörigen Innenleiter (8; 81, 82) des Hochfrequenzkabels (7), • Verbinden von mindestens einem außenleiterkontaktseitigen Kontaktelement (6, 61, 62, 63, 64, 65, 66, 67, 68, 69, 610) mit einer inneren Hülse (9) der Kontaktierungsvorrichtung (4; 41'; 42; 4"; 4"') und • Ausformen einer zu einer zu prüfenden integrierten Schaltung gerichteten axialen Begrenzung (19) der äußeren Hülse (9) der Kontaktierungsvorrichtung (4; 41'; 42'; 4"; 4''').Method for producing a contacting device (4, 4 1 ', 4 2 ', 4 ", 4"') for contacting in each case a high-frequency signal with the following method steps: inserting a spring element (14) and an inner sleeve (9) of the contacting device ( 4, 4 1 ', 4 2 ', 4 ", 4"'), which is connected to an outer conductor (10) of a high-frequency cable (7), in a outer sleeve (9) of the contacting device (4; 4 1 '; 4 2 '; 4 ";4"'), connecting at least one inner conductor contact-side contact element (5; 5'; 5 "; 5 1 , 5 2 ) to one another associated inner conductor (8; 8 1, 8 2) of the high-frequency cable (7), • connecting at least one outer conductor contact-side contact element (6, 6 1, 6 2, 6 3, 6 4, 6 5, 6 6 6 7 6 8 , 6 9 , 6 10 ) with an inner sleeve (9) of the contacting device (4; 4 1 '; 4 2 ; 4 ";4"') and • forming an axial boundary (19) facing the integrated circuit to be tested outer sleeve (9) of the contacting device (4; 4 1 '; 4 2 '; 4 "; 4 '''). Verfahren nach Patentanspruch 29, dadurch gekennzeichnet, dass das Verbinden des mindestens einen innenleiterkontaktseitigen Kontaktelements (5; 5'; 5"; 51, 52) mit dem zugehörigen Innenleiter (8; 81, 82) des Hochfrequenzkabels (7) folgende Verfahrensschritte beinhaltet: • axiales Herausführen des mindestens einen Innenleiters (8; 81, 82) des Hochfrequenzkabels (7) aus einem zugehörigen Isolator (11; 111, 112) des Hochfrequenzkabels (7) an einem stirnseitigen Ende des Hochfrequenzkabels (7), • Verbinden des mindestens einen innenleiterkontaktseitigen Kontaktelements (5; 5'; 5"; 51, 52) mit dem zugehörigen Innenleiter (8; 81, 82) des Hochfrequenzkabels (7) und • Erwärmen des stirnseitigen Endes eines Hochfrequenzkabels (7) über eine bestimmte Zeitdauer und axiales Hineinverschieben des mindestens einen Innenleiters (8; 81, 82) des Hochfrequenzkabels (7) mit dem jeweilig verbundenen innenleiterkontaktseitigen Kontaktelement (5; 5'; 5"; 51, 52) in das Hochfrequenzkabel (7).Method according to Claim 29 , characterized in that the connection of the at least one inner conductor contact side contact element (5; 5 '; 5 "; 5 1 , 5 2 ) to the associated inner conductor (8; 8 1 , 8 2 ) of the high-frequency cable (7) comprises the following method steps: axially leading out the at least one inner conductor (8; 8 1 , 8 2 ) of the high-frequency cable (7) from an associated insulator (11; 11 1 , 11 2 ) of the high-frequency cable (7) at a front end of the high-frequency cable (7), • connecting the at least one inner conductor contact side contact element (5, 5 ', 5 ", 5 1 , 5 2 ) with the associated inner conductor (8, 8 1 , 8 2 ) of the high-frequency cable (7) and • heating the front end of a high-frequency cable (7) via a certain period of time and axial inward displacement of the at least one inner conductor (8; 8 1 , 8 2 ) of the high-frequency cable (7) with the respectively connected inner conductor contact-side contact element (5; 5 '; 5 "; 5 1 , 5 2 ) into the high-frequency cable (7 ). Verfahren nach Patentanspruch 29, dadurch gekennzeichnet, dass das Verbinden des mindestens einen innenleiterkontaktseitigen Kontaktelements (5; 5'; 5"; 51, 52) mit dem zugehörigen Innenleiter (8; 81, 82) des Hochfrequenzkabels (7) folgende Verfahrensschritte beinhaltet: • axiales Herausführen des mindestens einen Innenleiters (8; 81, 82) des Hochfrequenzkabels (7) aus einem zugehörigen Isolator (11; 111, 112) des Hochfrequenzkabels (7) an einem stirnseitigen Ende des Hochfrequenzkabels (7) und • Verbinden des mindestens einen innenleiterkontaktseitigen Kontaktelements (5; 5'; 5"; 51, 52) mit dem zugehörigen Innenleiter (8; 81, 82) des Hochfrequenzkabels (7).Method according to Claim 29 , characterized in that the connection of the at least one inner conductor contact side contact element (5; 5 '; 5 "; 5 1 , 5 2 ) to the associated inner conductor (8; 8 1 , 8 2 ) of the high-frequency cable (7) comprises the following method steps: axially leading out the at least one inner conductor (8; 8 1 , 8 2 ) of the high-frequency cable (7) from an associated insulator (11; 11 1 , 11 2 ) of the high-frequency cable (7) at a front end of the high-frequency cable (7) and • connecting the at least one inner conductor contact side contact element (5, 5 ', 5 ", 5 1 , 5 2 ) with the associated inner conductor (8, 8 1 , 8 2 ) of the high-frequency cable (7).
DE102017004517.8A 2017-03-14 2017-05-11 Test socket and contacting device for contacting a high-frequency signal Withdrawn DE102017004517A1 (en)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
PCT/EP2018/053753 WO2018166737A1 (en) 2017-03-14 2018-02-15 Test socket and contacting device for contacting a high frequency signal
TW107107218A TW201837488A (en) 2017-03-14 2018-03-05 Test socket and contacting device for contacting a high-frequency signal

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE102017002479.0 2017-03-14
DE102017002479 2017-03-14

Publications (1)

Publication Number Publication Date
DE102017004517A1 true DE102017004517A1 (en) 2018-09-20

Family

ID=61249631

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE102017004517.8A Withdrawn DE102017004517A1 (en) 2017-03-14 2017-05-11 Test socket and contacting device for contacting a high-frequency signal

Country Status (3)

Country Link
DE (1) DE102017004517A1 (en)
TW (1) TW201837488A (en)
WO (1) WO2018166737A1 (en)

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN111786159B (en) * 2019-04-03 2022-02-11 高天星 Conduction device
KR102626152B1 (en) * 2021-07-01 2024-01-17 주식회사 아이에스시 Connector for electrical connection

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5291129A (en) * 1988-10-24 1994-03-01 Nhk Spring Co., Ltd. Contact probe
WO2006062911A1 (en) * 2004-12-08 2006-06-15 K & S Interconnect, Inc. Test socket and method for making
US7173442B2 (en) 2003-08-25 2007-02-06 Delaware Capital Formation, Inc. Integrated printed circuit board and test contactor for high speed semiconductor testing
DE102009008156A1 (en) * 2009-02-09 2010-08-19 Ingun Prüfmittelbau Gmbh Cylindrical electrical high frequency test probe for use in testing field and/or measuring system, has inner and outer piston sections electrically connected with separate ohmic resistance body axially arranged between piston sections

Family Cites Families (14)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB2306059A (en) * 1995-06-01 1997-04-23 Huber+Suhner Ag Axially adjustable coaxial electrical connecting line with constant impedance
US6270357B1 (en) * 1999-05-06 2001-08-07 Wayne K. Pfaff Mounting for high frequency device packages
JP3768183B2 (en) * 2002-10-28 2006-04-19 山一電機株式会社 IC socket for narrow pitch IC package
JP4242199B2 (en) * 2003-04-25 2009-03-18 株式会社ヨコオ IC socket
JP2004325306A (en) * 2003-04-25 2004-11-18 Yokowo Co Ltd Coaxial probe for inspection, and inspection unit using the same
US6932618B1 (en) * 2003-05-14 2005-08-23 Xilinx, Inc. Mezzanine integrated circuit interconnect
US7601009B2 (en) * 2006-05-18 2009-10-13 Centipede Systems, Inc. Socket for an electronic device
JP2008070146A (en) * 2006-09-12 2008-03-27 Yokowo Co Ltd Socket for inspection
KR100874190B1 (en) * 2007-03-29 2008-12-15 (주)기가레인 Coaxial Contact Device
WO2009098770A1 (en) * 2008-02-07 2009-08-13 Advantest Corporation Variety exchanging unit, and manufacturing method
JP2010175371A (en) * 2009-01-29 2010-08-12 Yokowo Co Ltd Inspection socket
DE202010007229U1 (en) * 2010-05-27 2010-10-21 Ingun Prüfmittelbau Gmbh High frequency test pin and high frequency test arrangement
DE202010013617U1 (en) * 2010-09-27 2010-12-09 Ingun Prüfmittelbau Gmbh High-frequency test probe
DE202012007216U1 (en) * 2012-07-25 2012-08-20 Rosenberger Hochfrequenztechnik Gmbh & Co. Kg contact element

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5291129A (en) * 1988-10-24 1994-03-01 Nhk Spring Co., Ltd. Contact probe
US7173442B2 (en) 2003-08-25 2007-02-06 Delaware Capital Formation, Inc. Integrated printed circuit board and test contactor for high speed semiconductor testing
WO2006062911A1 (en) * 2004-12-08 2006-06-15 K & S Interconnect, Inc. Test socket and method for making
DE102009008156A1 (en) * 2009-02-09 2010-08-19 Ingun Prüfmittelbau Gmbh Cylindrical electrical high frequency test probe for use in testing field and/or measuring system, has inner and outer piston sections electrically connected with separate ohmic resistance body axially arranged between piston sections

Also Published As

Publication number Publication date
TW201837488A (en) 2018-10-16
WO2018166737A1 (en) 2018-09-20

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP1932218B1 (en) Coaxial connector
EP0772261A2 (en) Coaxial connector
DE102006006059A1 (en) Adapter for symmetrical microwave cables
CH702048B1 (en) Multi-coaxial connector and method of mounting such a multiple coaxial cable connector.
EP2862237B1 (en) Insulating body of a plug-in connector
DE102016005841B4 (en) Connector termination arrangement with additional contact surface(s)
EP2979333A1 (en) Plug connector having crosstalk compensation
DE10140153B4 (en) Plug connection for the simultaneous connection of several coaxial cables
EP3482465B1 (en) Spring-loaded inner-conductor contact element
DE102017004517A1 (en) Test socket and contacting device for contacting a high-frequency signal
DE2924337A1 (en) ELECTRICAL CONNECTION
DE19945176B4 (en) Arrangement of spring contacts in a predetermined grid
DE102005018113A1 (en) Signal isolating blind counterpart connector
DE102011076176A1 (en) Steckkontaktierung
DE102014224933A1 (en) A device connector assembly for pluggable connection of a device to a printed circuit board and method of making such a device connector assembly
DE202004015503U1 (en) Plug arrangement for RF signal path
EP2648285B1 (en) Plug connector to be mounted in an opening of a housing
EP3482461B1 (en) Electric contact device
DE202019003587U1 (en) Press-in contact
DE102011119841B4 (en) Electronic unit, method for manufacturing an electronic unit and electronic meter with an electronic unit
DE102009008156A1 (en) Cylindrical electrical high frequency test probe for use in testing field and/or measuring system, has inner and outer piston sections electrically connected with separate ohmic resistance body axially arranged between piston sections
EP3605746A1 (en) Plug connector and connection with such a connector
EP2609797B1 (en) Housing for accommodating an electronic circuit carrier
DE10234709B3 (en) Test module for contacts of electrical components, has conductive body with chambers containing insulated contact pins
WO2009043508A1 (en) Multipole matrix plug connector

Legal Events

Date Code Title Description
R163 Identified publications notified
R120 Application withdrawn or ip right abandoned