DE102017002907A1 - Anordnungen zur Verstärkung von Multistrahlen - Google Patents
Anordnungen zur Verstärkung von Multistrahlen Download PDFInfo
- Publication number
- DE102017002907A1 DE102017002907A1 DE102017002907.5A DE102017002907A DE102017002907A1 DE 102017002907 A1 DE102017002907 A1 DE 102017002907A1 DE 102017002907 A DE102017002907 A DE 102017002907A DE 102017002907 A1 DE102017002907 A1 DE 102017002907A1
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- beams
- modulator
- arrangement according
- optical amplifier
- amplifier arrangement
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/23—Arrangements of two or more lasers not provided for in groups H01S3/02 - H01S3/22, e.g. tandem arrangements of separate active media
- H01S3/2383—Parallel arrangements
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B27/00—Optical systems or apparatus not provided for by any of the groups G02B1/00 - G02B26/00, G02B30/00
- G02B27/10—Beam splitting or combining systems
- G02B27/12—Beam splitting or combining systems operating by refraction only
- G02B27/123—The splitting element being a lens or a system of lenses, including arrays and surfaces with refractive power
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/005—Optical devices external to the laser cavity, specially adapted for lasers, e.g. for homogenisation of the beam or for manipulating laser pulses, e.g. pulse shaping
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/10—Controlling the intensity, frequency, phase, polarisation or direction of the emitted radiation, e.g. switching, gating, modulating or demodulating
- H01S3/13—Stabilisation of laser output parameters, e.g. frequency or amplitude
- H01S3/1301—Stabilisation of laser output parameters, e.g. frequency or amplitude in optical amplifiers
- H01S3/1302—Stabilisation of laser output parameters, e.g. frequency or amplitude in optical amplifiers by all-optical means, e.g. gain-clamping
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/23—Arrangements of two or more lasers not provided for in groups H01S3/02 - H01S3/22, e.g. tandem arrangements of separate active media
- H01S3/2308—Amplifier arrangements, e.g. MOPA
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/005—Optical devices external to the laser cavity, specially adapted for lasers, e.g. for homogenisation of the beam or for manipulating laser pulses, e.g. pulse shaping
- H01S3/0085—Modulating the output, i.e. the laser beam is modulated outside the laser cavity
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/005—Optical devices external to the laser cavity, specially adapted for lasers, e.g. for homogenisation of the beam or for manipulating laser pulses, e.g. pulse shaping
- H01S3/0092—Nonlinear frequency conversion, e.g. second harmonic generation [SHG] or sum- or difference-frequency generation outside the laser cavity
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/05—Construction or shape of optical resonators; Accommodation of active medium therein; Shape of active medium
- H01S3/06—Construction or shape of active medium
- H01S3/0602—Crystal lasers or glass lasers
- H01S3/0606—Crystal lasers or glass lasers with polygonal cross-section, e.g. slab, prism
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/10—Controlling the intensity, frequency, phase, polarisation or direction of the emitted radiation, e.g. switching, gating, modulating or demodulating
- H01S3/10007—Controlling the intensity, frequency, phase, polarisation or direction of the emitted radiation, e.g. switching, gating, modulating or demodulating in optical amplifiers
- H01S3/10015—Controlling the intensity, frequency, phase, polarisation or direction of the emitted radiation, e.g. switching, gating, modulating or demodulating in optical amplifiers by monitoring or controlling, e.g. attenuating, the input signal
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/23—Arrangements of two or more lasers not provided for in groups H01S3/02 - H01S3/22, e.g. tandem arrangements of separate active media
- H01S3/2308—Amplifier arrangements, e.g. MOPA
- H01S3/2316—Cascaded amplifiers
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optical Modulation, Optical Deflection, Nonlinear Optics, Optical Demodulation, Optical Logic Elements (AREA)
Abstract
In dieser vorliegenden Patenanmeldung werden optische Anordnungen angegeben, mit den multi adressierbaren Strahlen effizient generiert werden können. Die zentrale Idee dieser vorliegenden Erfindung besteht darin, dass zuerst mehrere Nutz-Strahlen generiert werden, wobei die Nutz-Strahlen einen gemeinsamen Verstärker haben und sie mittels Optik in dem Verstärkungsmedium überlappend abgebildet werden. Darüber hinaus wird mindestens ein weiterer Strahl zum Konditionieren des Inversionsniveaus im Lasermedium verwendet, wobei der Konditionierungsstrahl durch Optikanordnung im Verstärkungsmedium mit den Nutz-Strahlen überlappend abgebildet wird. Durch den Konditioniereungsstrahl wird das Inversionsniveau so konditioniert, dass die Verstärkung für die Nutz-Strahlen definierbar wird.
Description
- Lasermaterialbearbeitung gewinnt zunehmende Bedeutung für präzise und flexible Produktion. Die Bearbeitungsetechnologie mit Ultrakurzenpulslasern (UKP) wird mit einem rasanten Tempo u. a. in der Elektro-, Halbleiter, Display- und Druckindustrie umgesetzt. Um die Produktivität mit UKP-Lasern weiterzusteigern, ist eine parallele Bearbeitung mit mehreren Strahlen eine vielversprechende Technologie.
- Konventionell können die Strahlen für parallele Bearbeitung unter anderen durch Verwendung von diffraktiven Optikelementen (DOE) generiert werden. Allerdings ist hierbei die Flexiblität eingeschränkt, weil die Strahlen zeitlich das gleiche Verhalten haben. Um komplexe Bauteile und Geometrie bearbeiten zu können, ist es erforderlich, dass die Strahlen für die parallele Bearbeitung zeitlich unabhängig von einander ansteuerbar sind. Zwar können die durch DOE generierten Strahlen durch nachgeschaltete Modulatoren unabhängig von einander angesteuert werden, dies erfordert aber erheblichen Aufwand und ist mit Effizienzverlust verbunden.
- In dieser vorliegenden Patenanmeldung werden optische Anordnungen angegeben, mit denen multi adressierbare Strahlen effizient generiert werden können.
- Die zentrale Idee dieser vorliegenden Erfindung besteht darin, dass zuerst mehrere Nutzstrahlen generiert werden, wobei die Nutzstrahlen einen gemeinsamen Verstärker haben und sie mittels Optik in dem Verstärkungsmedium (80) überlappend abgebildet werden. Darüber hinaus wird mindestens ein weiterer Strahl zum Konditionieren des Inversionsniveaus im Verstärkungsmedium verwendet, wobei der Konditionierungsstrahl durch Optikanordnung im Verstärkungsmedium mit den Nutzstrahlen überlappend abgebildet wird. Durch den Konditionierungsstrahl wird das Inversionsniveau so konditioniert, dass die Verstärkung für die Nutz-Strahlen definierbar wird und die Energie bzw. Leistung der verstärkten Nutzstrahlen in einer festen Relation zu der Energie bzw. Lesitung der zu verstärkenden Nutzstrahlen steht.
- Im Folgenden wird die Erfindung anhand Anordnungen mit zwei Nutzstrahlen erläutert. Die Erweiterung auf mehr als zwei Strahlen is hier ebenfalls offenbart.
-
- Um das Inversionsniveau und somit die Verstärkung im Verstärkungsmedium (80) zu regulieren, und somit die Energie bzw. die Leistung der verstärkten Nutz-Strahlen zu definieren, wird wie in
- Aus thermischem Grund ist es vorteilhaft, das Verstärkungsmedium slabförmig zu bilden. In diesem Fall werden die Strahlen entlang einer Linie angeordnet.
-
-
- In
- Die Strahlquelle (1) kann ein cw-Oszillator oder ein gepulster Oszillator sein. Bei einem gepulsten Oszillator kann es sich um einen Dioden-Oszillator handeln, dessen Energie und/oder Puldauer mittels Treiberstrom variiert werden kann. Weitere Beispiele des gepulsten Oszillators sind güteschaltende Oszillatoren mit einer Pulsdauer um ns oder modemgekoppelte Oszillatoren mit Pulsdauer im Bereich ps oder fs. Die Pulsenergie eines Oszillators kann zu gering für folgende Verstärker sein. In diesem Fall ist es vorteilhaft, eine Verstärkeranordnung dem Oszillator nachzuschalten. Danach wird der verstärkte Strahl aufgeteilt.
-
- Es ist vorteilhaft und technisch möglich, die Modulatoren (201) und (202) in einen Modulator von mehreren Kanälen zu integrieren. Ein Beispiel zeigt
- Eine weitere Vereinfachung der Strahlaufteilung und Strahlmodulation wird erreicht, indem ein Deflektor verwendet wird. Eine derartige Ausführung zeigen
- Zur weiteren Erhöhung der Energie bzw. Leistung können weitere Verstärkerstufen nachgeschaltetwerden.
-
- Um den Aufbau zu vereinfachen, können die Linsen (64), (65) und (68) in ein Linsenarray zusammengefasst werden. Jedem Strahl wird ein Linsenelement zugeordnet. Gleiches gilt für die Linsen (61), (62) und (69).
- Für viele Anwendungen sind frequenzkonvertierte Strahlen vorteilhaft bzw. notwendig. Ein Ausführungsbeispiel zur Frequenzkonversion zeigt
- Zur Erhöhung der Konversionseffizienz werden die Strahlen so abgebildet werden, dass sie sich im nichtlinearen Medium parallel zueinander ausbreiten. Eine bevorzugte Ausführung der Abbildung ist eine telezentrische Abbbildung. Eine telezentrische Abbildung ist auch vorteilhaft für die Abbildung zwischen Verstärkerstufen.
- Im Fall, dass die zu verstärkenden Strahlen von einem Oszillator stammen und ultrakurze Pulsdauer haben, ist es vorteilhaft, die Pulse zeitlich gleicher oder größer als die Pulsdauer zu einander zu verzögern, um mögliche Interferenz im Verstärkungsmedium zu vermeiden.
- Im Fall, dass die zu verstärkenden Strahlen (111) und (112) und der Konditionierungsstrahl (179) von einem Oszillator stammen und ultrakurze Pulsdauer haben, ist es vorteilhaft, der Konditionierungspuls durch viele Pulsen geringer Amplituden von dem Modulator aus dem Seeder auszuwählen.
- Es ist naheliegend, dass die Anzahl der Nutzstrahlen erhöht werden. Ein Beispiel zeigt
Claims (12)
- Optische Verstärkeranordnung, die aus mindestens zwei Eingangstrahlen (111, 112) und mindestens einem Verstärkungsmedium (80) besteht, dadurch gekennzeichnet, dass die Eingangsstrahlen (111, 112) durch eine Optikanordnung, die aus Linsen (61), (62) und (70) besteht, wobei die Linsen (61) und (62) jeweils dem Strahl (111) und (112) zuordnet sind, im Verstärkungsmedium (80) überlappend abgebildet werden.
- Optische Verstärkeranordnung nach dem
Anspruch 1 , dadurch gekennzeichnet, dass mindestens ein weiterer Strahl (179) zum Konditionieren des Inversionsniveaus im Lasermedium (80) verwendet wird, wobei der Konditionierungsstrahl (179) von einer Strahlquelle (17) unter Zusammenwirkung der Linsen (69) und (70) im Verstärkungsmedium (80) mit den Strahlen (111) und (112) überlappend abgebildet wird. - Optische Verstärkeranordnung nach dem
Anspruch 1 oder2 , dadurch gekennzeichnet, dass das Verstärkungsmedium (80, 810) einen rechteckigen Querschnitt aufweist. - Optische Verstärkeranordnung nach einem der
Ansprüche 1 bis3 , dadurch gekennzeichnet, dass die Strahlen (101) und (102) von einer Strahlquelle (1) mittels eines Strahlaufteilers (41) aufgesplittert sind, wobei dem Strahl (101) ein Modulator (201) und dem Strahl (102) ein Modulator (202) zur Modulation der Energie/Leistung nachgeschaltet wird. - Optische Verstärkeranordnung nach einem der
Ansprüche 1 bis4 , dadurch gekennzeichnet, dass auch der Konditionierungsstrahl (179) durch einen Strahl (107), der von der Strahlquelle (1) aufgesplittert ist und einen nachgeschalteten Modulator (209) generiert wird entsteht. - Optische Verstärkeranordnung nach einem der
Ansprüche 1 bis5 , dadurch gekennzeichnet, dass zur Aufteilung der Strahlen von der Strahlquelle (1) eine Modulator-Anordnung verwendet wird. - Optische Verstärkeranordnung nach dem
Anspruch 6 , dadurch gekennzeichnet, dass die Modulator-Anordnung aus einem akkustooptischen Modulator und einem HF-Treiber besteht, wobei der Modulator mit einem HF-Treiber von einer festen Frequenz betrieben wird, wobei der Strahl (10) von der Strahlquelle (1) in einen Strahl der 0te-Ordnung (11) und einen Strahl der 1te-Ordnung (179) aufgeteilt wird, wobei der Strahl (11) mittels Strahlsplitter (41) in Strahlen (101) und (102) aufgeteilt wird, wobei den Strahlen (101) und (102) jeweils ein Modulator (201) und (202) nachgeschaltetwird. - Optische Verstärkeranordnung nach dem
Anspruch 7 , dadurch gekennzeichnet, dass die Modulatoren (201) und (202) durch einen Modulator (220), der mindestens 2 Kanäle hat, gebildet wird. - Optische Verstärkeranordnung nach einem der
Ansprüche 6 bis8 , dadurch gekennzeichnet, dass die Modulator-Anordnung aus einem akustooptischen Deflektor (26) und einem HF-Treiber besteht, wobei der HF-Treiber mindestens zwei unterschiedliche Treiber-Frequenzen erzeugt, wobei die HF-Leistung zur Modulation der Energie/Leistung von Strahlen unabhängig voneinder geregelt werden kann, um die Strahlen (111), (112) und (179) zu generieren, die unterschiedliche Ausbreitungsrichtungen und/oder Energie/Leistunng haben. - Optische Verstärkeranordnung nach einem der
Ansprüche 1 bis9 , dadurch gekennzeichnet, dass ein weiterer Verstärker nachgeschaltet wird, wobei die Ausgangsstrahlgruppe (901, 902, 739) aus dem ersten Verstärker durch Verwendung einer Abbildungsoptik (480) in das Verstärkungsmedium (810) des zweiten Verstärkers überlappend abgebildet wird. - Optische Verstärkeranordnung nach einem der
Ansprüche 1 bis10 , dadurch gekennzeichnet, dass die Ausgangsstrahlgruppe (901, 902, 739) nach dem ersten Verstärker oder (911, 912, 729) zweiten Verstärker durch Verwendung einer Optikanordnung aus Linsen (710), (64), (65) und (68) in räumlich getrennte Strahlen (921), (922) und (189) abgebildet werden. - Optische Verstärkeranordnung nach einem der
Ansprüche 1 bis10 , dadurch gekennzeichnet, dass zwecks nichtlinearer Frequenzkonversionen die Strahlen (921) und (922) mittels einer Abbildungsoptik (486) so in einem nichtlinearen Medium abgebildelt werden, dass sie die gleiche Ausbreitungsrichtung haben.
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE102017002907.5A DE102017002907A1 (de) | 2017-03-27 | 2017-03-27 | Anordnungen zur Verstärkung von Multistrahlen |
DE112018001625.0T DE112018001625A5 (de) | 2017-03-27 | 2018-03-04 | Anordnungen zur verstärkung von multistrahlen |
PCT/DE2018/000051 WO2018184609A1 (de) | 2017-03-26 | 2018-03-04 | Anordnungen zur verstärkung von multistrahlen |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE102017002907.5A DE102017002907A1 (de) | 2017-03-27 | 2017-03-27 | Anordnungen zur Verstärkung von Multistrahlen |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE102017002907A1 true DE102017002907A1 (de) | 2018-09-27 |
Family
ID=63449758
Family Applications (2)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE102017002907.5A Withdrawn DE102017002907A1 (de) | 2017-03-26 | 2017-03-27 | Anordnungen zur Verstärkung von Multistrahlen |
DE112018001625.0T Ceased DE112018001625A5 (de) | 2017-03-27 | 2018-03-04 | Anordnungen zur verstärkung von multistrahlen |
Family Applications After (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE112018001625.0T Ceased DE112018001625A5 (de) | 2017-03-27 | 2018-03-04 | Anordnungen zur verstärkung von multistrahlen |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
DE (2) | DE102017002907A1 (de) |
WO (1) | WO2018184609A1 (de) |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP3048678A1 (de) * | 2015-01-23 | 2016-07-27 | Rofin-Sinar (UK) Ltd | Laserstrahlverstärkung durch homogenes pumpen eines verstärkungsmediums |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
GB9309006D0 (en) * | 1993-04-30 | 1993-06-16 | Laser Ecosse Ltd | High power laser amplifier |
EP2643904B1 (de) * | 2010-11-24 | 2020-08-12 | Fianium Limited | Optische systeme |
KR102241193B1 (ko) * | 2013-03-15 | 2021-04-19 | 일렉트로 싸이언티픽 인더스트리이즈 인코포레이티드 | 레이저 빔 위치결정 시스템용의 위상 어레이 조향 |
-
2017
- 2017-03-27 DE DE102017002907.5A patent/DE102017002907A1/de not_active Withdrawn
-
2018
- 2018-03-04 WO PCT/DE2018/000051 patent/WO2018184609A1/de active Application Filing
- 2018-03-04 DE DE112018001625.0T patent/DE112018001625A5/de not_active Ceased
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP3048678A1 (de) * | 2015-01-23 | 2016-07-27 | Rofin-Sinar (UK) Ltd | Laserstrahlverstärkung durch homogenes pumpen eines verstärkungsmediums |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
DE112018001625A5 (de) | 2020-08-13 |
WO2018184609A1 (de) | 2018-10-11 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
DE112011101816T5 (de) | Optischer Verstärker mit hoher Spitzenleistung | |
EP0830188A1 (de) | Lasergravuranlage | |
EP3063590B1 (de) | Vorrichtung und verfahren zur erzeugung von kurzen strahlungspulsen | |
EP3167693B1 (de) | Treiberlaseranordnung, euv-strahlungserzeugungsvorrichtung und verfahren zum verstärken von gepulster laserstrahlung | |
WO2019002378A1 (de) | Dynamisches seeden von laserverstärkersystemen | |
EP3064992A1 (de) | Optisches system und verfahren | |
DE102009011599B4 (de) | Oszillator-Verstärker-Anordnungen mit Amplituden-Einstellung | |
DE102010048576B9 (de) | Laservorrichtung zur Erzeugung eines CEO-freien Frequenzkamms | |
DE102017002907A1 (de) | Anordnungen zur Verstärkung von Multistrahlen | |
DE19529656B4 (de) | Verfahren zur Herstellung von Mikrostrukturen | |
EP4263118A1 (de) | Vorrichtung zur strahlbeeinflussung eines laserstrahls | |
DE102016005421B4 (de) | Frei triggerbare Master-Oszillator-Leistungsverstärker | |
DE102007063492B4 (de) | Vorrichtung zur Frequenzverdopplung von Laserstrahlung | |
DE102018221363A1 (de) | Lasersystem und Verfahren zum Betreiben eines solchen Lasersystems | |
DE102023110359B3 (de) | Lasersystem zur Erzeugung einseitenbandmodulierter Laserstrahlung | |
DE102020000999B4 (de) | Anordnung zur Pulskontrolle in Oszillator-Verstärker-Systemen mittels Dual- Oszillatoren | |
DE102015213468A1 (de) | Strahlmodulator mit Frequenzkonversion sowie zugehöriges Verfahren und Laserbearbeitungsmaschine | |
WO2017186590A1 (de) | Ultrakurzpulspumpquelle zur erzeugung mehrerer pumppulse | |
DE102017012273B4 (de) | Verfahren und Signalgenerator zum Erzeugen eines Ansteuersignals für ein akustooptisches Element sowie Anordnung und Mikroskop | |
DE102013109479B3 (de) | Verfahren und Laseranordnung zum Bearbeiten eines Werkstücks mit einem gepulsten Laserstrahl | |
DE102012008768B4 (de) | Verstärker-Anordnungen mit Modulatoren | |
DE102013011301B3 (de) | Externe Modulationsvorrichtung für einen Laserstrahl | |
EP3460563A1 (de) | Verfahren und eine vorrichtung zur ansteuerung eines akusto-optischen elements | |
EP3667390A1 (de) | Verfahren und signalgenerator zum ansteuern eines akustooptischen elements | |
DE10352930A1 (de) | Multioszillatoren |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
R012 | Request for examination validly filed | ||
R016 | Response to examination communication | ||
R118 | Application deemed withdrawn due to claim for domestic priority |