DE102016002130A1 - Gripper device for elektroadhäsiv held gripping and method for releasing elektroadhäsiv held Greifgut from the gripper device - Google Patents
Gripper device for elektroadhäsiv held gripping and method for releasing elektroadhäsiv held Greifgut from the gripper device Download PDFInfo
- Publication number
- DE102016002130A1 DE102016002130A1 DE102016002130.6A DE102016002130A DE102016002130A1 DE 102016002130 A1 DE102016002130 A1 DE 102016002130A1 DE 102016002130 A DE102016002130 A DE 102016002130A DE 102016002130 A1 DE102016002130 A1 DE 102016002130A1
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- gripping
- gripping surface
- releasing
- gripper device
- mechanical
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/683—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping
- H01L21/6831—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping using electrostatic chucks
- H01L21/6833—Details of electrostatic chucks
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Manipulator (AREA)
Abstract
Die Erfindung betrifft eine Greifereinrichtung (10) für elektroadhäsiv gehaltenes Greifgut (5) und ein Verfahren zum Lösen von elektroadhäsiv gehaltenem Greifgut (5) aus der Greifereinrichtung (10), wobei die Greifereinrichtung (10) zumindest eine Greifvorrichtung (2) mit einer Greiffläche (6), an der das Greifgut (5) mit seiner Haftfläche (21) elektroadhäsiv gehalten werden kann, und eine Vorrichtung (14) zum Lösen des Greifguts (5) von der Greiffläche (6), enthält. Dabei umfasst die Vorrichtung (14) zum Lösen des Greifguts (5) im Bereich der Greiffläche (6) zumindest mindestens einen Schwingungsanreger (1), der final mechanische Kraft-Signale erzeugt, die mindestens einen mechanischen Schwingungszustand der Greiffläche (6) auslösen, der auf eine oberflächige Formveränderung (15) zumindest der Greiffläche (6) zum Lösen des Greifguts (5) von der Greiffläche (6) weg ausgerichtet sind.The invention relates to a gripper device (10) for gripping material (5) held in electroadhesive manner and to a method for releasing electroadhesive gripping material (5) from the gripper device (10), wherein the gripper device (10) comprises at least one gripping device (2) with a gripping surface (2). 6), on which the gripping material (5) with its adhesive surface (21) can be held electroadhesive, and a device (14) for releasing the Greifguts (5) of the gripping surface (6) contains. In this case, the device (14) for releasing the Greifguts (5) in the region of the gripping surface (6) at least at least one vibration exciter (1) which generates final mechanical force signals that trigger at least one mechanical vibration state of the gripping surface (6) on a surface shape change (15) of at least the gripping surface (6) for releasing the Greifguts (5) of the gripping surface (6) are aligned away.
Description
Die Erfindung betrifft eine Greifereinrichtung für elektroadhäsiv gehaltenes Greifgut, das z. B. Halbzeuge und andere Strukturen sein kann, und ein Verfahren zum Lösen von elektroadhäsiv gehaltenem Greifgut aus der Greifereinrichtung.The invention relates to a gripper device for elektroadhäsiv held gripping, z. B. semi-finished and other structures may be, and a method for releasing elektroadhäsiv held Greifgut from the gripper device.
Elektroadhäsive Greifsysteme und Greifereinrichtungen bieten die Möglichkeit, mittels elektrischer Energie elektrisch leitende und elektrisch nichtleitende Materialien zu fixieren und diese unter Einsatz geeigneter Manipulatoren zu handhaben. Hierzu wird mittels Hochspannung eine elektrostatische Aufladung erzeugt, welche eine entsprechende Haltekraft verursacht. Somit ist das technische Anwendungsgebiet derartiger System jegliche Art von temporärer, lösbarer Fixierung. Es stellt jedoch ein ungelöstes technisches Problem dar, die elektrostatischen Ladungen im Greifereinrichtungs-Greifgut-System zu reversieren, um das Greifgut freizugeben.Electroadhesive gripping systems and gripper devices offer the possibility of fixing electrically conductive and electrically non-conductive materials by means of electrical energy and of handling them using suitable manipulators. For this purpose, an electrostatic charge is generated by means of high voltage, which causes a corresponding holding force. Thus, the technical field of application of such system is any type of temporary, releasable fixation. However, it is an unsolved technical problem to reverse the electrostatic charges in the gripper-Greifgut-system to release the gripper.
Es existiert eine Vielzahl von Druckschriften, die den elektrischen Haftmechanismus als Wirkprinzip beschreiben, wie auch die Druckschrift
Für den Bereich der Robotik, aber auch für andere Anwendungsgebiete wie für Plattengreifer, flexible Befestigungssysteme, intelligente Förderbänder und andere Greifeinrichtungen, werden in den Druckschriften
In der Druckschrift
Der innerhalb der vorliegenden Erfindung fokussierte Ablösemechanismus wird in anderer Form in einigen der bekannten Druckschriften beschrieben.The peeling mechanism focused within the present invention is described in another form in some of the known references.
In der Druckschrift
Nachteilig an diesem Verfahren ist die Kombination verschiedener Energieträger Luft und elektrische Energie, was mit einem erhöhten Zuführungsaufwand verbunden ist. Ferner sind Luftspülungen nicht überall einsetzbar, weil sie Positionierungen erschweren und Staub aufwirbeln. Der energetische Wirkungsgrad ist bei luftbetriebenen Greifereinrichtungen wesentlich kleiner als bei elektrostatischen Greifeinrichtungen.A disadvantage of this method is the combination of different energy carriers air and electrical energy, which is associated with an increased supply cost. Furthermore, air purges can not be used anywhere because they complicate positioning and stir up dust. The energy efficiency is much smaller with air-powered gripper devices than with electrostatic gripping devices.
In der Druckschrift
In der Druckschrift
In der Druckschrift
Ähnliches gilt für Beschreibung der Greifereinrichtung in der Druckschrift
In der Druckschrift
Die vorgestellten Ablösetechnologien erfordern eine zusätzliche Medienzuführung bzw. eine mechanische Vorrichtung (Elektromotoren bzw. Pneumatik/Hydraulik). Dies ist mit deutlichen Aufwänden bzw. Mehrkosten verbunden. Die aufgezeigten Nachteile der beschriebenen Ablöseverfahren und Ablösevorrichtungen legen den Schluss nahe, dass die genannten Nachteile in einer neuen Greifereinrichtung vermieden werden müssen, um damit eine sichere und zeitlich genau deterministische Lösung des Greifguts zu ermöglichen.The presented separation technologies require an additional media supply or a mechanical device (electric motors or pneumatic / hydraulic). This is associated with significant expenses or additional costs. The disadvantages of the described detachment methods and detachment devices suggest that the disadvantages mentioned in a new gripper device must be avoided in order to enable a secure and temporally precisely deterministic solution of the gripping material.
Der Erfindung liegt deshalb die Aufgabe zugrunde, eine Greifereinrichtung für elektroadhäsiv gehaltenes Greifgut und ein Verfahren zum Lösen von elektroadhäsiv gehaltenem Greifgut aus der Greifereinrichtung anzugeben, die derart geeignet ausgebildet sind, dass eine zuverlässige und reproduzierbare Ablösung des Greifgutes von der Elektroadhäsions-Greifereinrichtung ermöglicht wird.The invention is therefore based on the object, a gripper device for elektroadhäsiv To hold held gripping and a method for releasing elektroadhäsiv held gripping from the gripper device, which are designed so that a reliable and reproducible detachment of the gripping material is made possible by the Elektroadhäsions gripper device.
Die Aufgabe wird durch die Merkmale des Patentanspruchs 1 gelöst.The object is solved by the features of
Die Greifereinrichtung für elektroadhäsiv gehaltenes Greifgut enthält zumindest eine Greifvorrichtung mit einer Greiffläche, an der das Greifgut mit seiner Haftfläche elektroadhäsiv gehalten wird, und eine Vorrichtung zum Lösen von Greifgut,
wobei gemäß dem Kennzeichenteil des Patentanspruchs 1
die Vorrichtung zum Lösen des Greifgutes im Bereich der Greiffläche zumindest mindestens einen Schwingungsanreger umfasst, wobei der Schwingungsanreger zumindest mechanische Kraft-Signale erzeugt, die Schwingungzustände zumindest der Greiffläche auslösen, die auf eine oberflächige Formveränderung zumindest der Greiffläche zur Lösung des Greifgutes von der Greiffläche weg ausgerichtet sind.The gripper device for elektroadhäsiv kept Greifgut contains at least one gripping device with a gripping surface on which the gripping material is held elektroadhäsiv with its adhesive surface, and a device for releasing gripping goods,
wherein according to the characterizing part of
the device for releasing the gripping material in the region of the gripping surface comprises at least one vibration exciter, wherein the vibration exciter generates at least mechanical force signals that trigger vibration conditions at least the gripping surface, which is aligned on a surface shape change at least the gripping surface for the solution of the gripping material of the gripping surface are.
Ein Schwingungsanreger kann zumindest einen mit einer Steuereinheit in Verbindung stehenden Signalempfänger und zumindest einen mit dem Signalempfänger verbundenen Schwingungssender zur Auslösung von mechanischen Kraft-Signalen und Impulsen zum Erzeugen eines mechanischen Schwingungszustandes im Bereich der Greiffläche enthalten.A vibration exciter may include at least one signal receiver connected to a control unit and at least one vibration transmitter connected to the signal receiver for triggering mechanical force signals and pulses for generating a mechanical vibration state in the region of the grip surface.
Der Schwingungsanreger der Vorrichtung zum Lösen von Greifgut kann aber auch ein signaltechnisch und energieversorgungstechnisch gesteuertes Element, z. B. ein gesteuertes Piezokeramikelement darstellen, das gesteuert mechanische Kraftsignale abgeben kann, um die im Bereich der Greiffläche vorhandenen Haftkräfte zu schwächen oder aber auch schließlich zu kompensieren. Mit dem piezokeramischen Element zum Lösen des Greifguts können somit Formveränderungen der Greiffläche durch piezoelektrische Schwingungen erzeugt werden.The vibration exciter of the device for releasing gripping material but can also be a signal technology and energy supply technology controlled element, eg. B. represent a controlled piezoceramic element that can deliver controlled mechanical force signals to weaken existing in the gripping surface adhesive forces or compensate but eventually. With the piezoceramic element for releasing the gripping material, changes in the shape of the gripping surface can thus be generated by piezoelectric oscillations.
Die die oberflächige Form der Greiffläche verändernden mechanischen Kraft-Signale können ihre Basis auf der Ausbildung von in einer Steuereinheit erzeugten, elektrodynamischen Impulsen haben.The mechanical force signals that change the surface shape of the gripping surface may be based on the formation of electrodynamic pulses generated in a control unit.
Als Bereich der Greiffläche kann die Oberseite, die Unterseite oder das in der Nähe der Greiffläche befindliche Innere der Greifvorrichtung vorgesehen sein.The area of the gripping surface may be the top, the bottom or the interior of the gripping device located near the gripping surface.
Der Schwingungsanreger der Vorrichtung zum Lösen von Greifgut kann aber auch ein in den Bereich der Greiffläche angebrachtes steuerbares elektromagnetisches Element darstellen, das zum Lösen des Greifgutes von der Greiffläche mechanische Wellen, insbesondere stehende Wellen auslöst, die die mechanische Formveränderung zumindest der Greiffläche herbeiführen.The vibration exciter of the device for releasing gripping material can also represent a controllable electromagnetic element mounted in the region of the gripping surface which triggers mechanical waves, in particular standing waves, to release the gripping material from the gripping surface, causing the mechanical change in shape at least of the gripping surface.
Die Greifereinrichtung im Detail kann zumindest umfassen
- – die Greifvorrichtung,
- – die Vorrichtung zum Lösen von elektroadhäsiv gehaltenem Greifgut,
- – Elektroden, die im Bereich der Greiffläche der Greifvorrichtung angebracht sind,
- – eine Isolationsschicht, die sich an der zum Haften und zum Lösen vorgesehenen freien Seite einer der Elektroden befindet,
- The gripping device,
- The device for releasing electroadhesive goods to be gripped,
- Electrodes mounted in the region of the gripping surface of the gripping device,
- An insulating layer located on the free side of one of the electrodes for adhesion and release,
Im Bereich der Greiffläche der Greifvorrichtung zum Lösen des elektroadhäsiv gehaltenen Greifguts kann eine zusätzliche Anordnung zum Lösen von Greifgut angebracht sein, die zumindest umfasst
mindestens eine Wirbelstromanregungsschicht,
wobei Wirbelströme bis ins Greifgut reichen können und im Greifgut mittels veränderlicher Magnetfelder durch Integration mindestens eines permanenten Magneten oder steuerbaren Elektromagneten in der Greifvorrichtung erzeugt werden, wobei die zusätzliche Anordnung die schwingungsbezogene Vorrichtung zum Lösen des Greifgutes beim Lösen des Greifgutes aus der Greifereinrichtung unterstützt. Die Wirbelströme erzeugen mechanische Kräfte, die den elektroadhäsiven Haftkräften entgegenwirken.In the region of the gripping surface of the gripping device for releasing the gripping material held in an electroadhesive manner, an additional arrangement for releasing gripping material can be attached, which at least comprises
at least one eddy current excitation layer,
wherein eddy currents can reach into the gripping goods and be generated in the gripping material by means of variable magnetic fields by integration of at least one permanent magnet or controllable electromagnet in the gripping device, the additional arrangement supports the vibration-related device for releasing the gripping material when loosening the gripping material from the gripper device. The eddy currents generate mechanical forces that counteract the electro-adhesive forces.
Das zugehörige Greifgut kann greifgutspezifisch zumindest elektrisch leitende Materialien enthalten, die in Wechselwirkung mit der Wirbelstromanregungsschicht oder mit mindestens einem in der Greifvorrichtung enthaltenen Magneten treten können.The associated gripping material may contain material specific to the gripping material, at least electrically conductive materials which may interact with the eddy current excitation layer or with at least one magnet contained in the gripping device.
Ein Wirbelstromanregungselement kann als mindestens eine Spule ausgebildet sein, wobei dann mehrere Spulen eine Wirbelstromanregungsschicht bilden können.An eddy current excitation element may be formed as at least one coil, in which case a plurality of coils may form an eddy current excitation layer.
In der Greifvorrichtung können permanente Magnete und/oder steuerbare Elektromagnete angebracht sein, die durch Änderungen ihres Magnetfeldes Wirbelströme im elektrisch leitenden Greifgut erzeugen und das Greifgut von der Greiffläche abstoßen helfen.In the gripping device permanent magnets and / or controllable electromagnets may be attached, which generate eddy currents in the electrically conductive gripping material by changes in their magnetic field and help repel the gripping of the gripping surface.
Bei dem Verfahren zum Lösen von elektroadhäsiv gehaltenem Greifgut aus der genannten Greifereinrichtung,
wird gemäß dem Kennzeichenteil des Patentanspruchs 13
die Greiffläche der Greifvorrichtung derart in einen mechanischen Schwingungszustand versetzt, dass sie entweder das Lösen des von ihr gehaltenen Greifgutes durch eine Schüttelbewegung unterstützt und/oder durch gezielte schwingende Eigenformen zwischen den kontaktierenden Haftungsflächen von Greifgut und der Greiffläche Räume schafft, in denen die erzeugten mechanischen Kräfte die halternden elektrostatischen Kräfte vermindern, wobei eine mechanische, zumindest oberflächige Formveränderung der Greiffläche zumindest in einem mikroskopisch dimensionierten Größenbereich erreicht wird.In the method for releasing electroadhesive held gripping from said gripper device,
is according to the characterizing part of
the gripping surface of the gripping device is placed in a mechanical vibration state such that it either supports the loosening of the gripping material held by it by a shaking movement and / or creates spaces through targeted oscillating eigenmodes between the contacting adhesion surfaces of gripping material and the gripping surface, in which the generated mechanical forces reduce the supporting electrostatic forces, wherein a mechanical, at least surface shape change of the gripping surface is achieved at least in a microscopically sized size range.
Es können dabei auf der Greiffläche wandernde mechanische Wellen erzeugt werden, die das Greifgut wegschieben und/oder auch wegtreiben.It can be generated on the gripping surface migratory mechanical waves that push away the gripping and / or expel.
Zumindest ein mechanischer Schwingungszustand der Greifvorrichtung bzw. der Greiffläche kann durch einen oder mehrere angebrachte strombetriebene elektrodynamische Schwingungsanreger erzeugt werden, die eine mechanische longitudinale Schwingung oder mechanische transversale Schwingung oder eine Kombination aus beiden Anregungen von mechanischen Schwingungen erzeugen, wobei die Schwingungsanreger mit gleichen oder verschiedenen Frequenzen, Amplituden oder Phasen betrieben werden, die sich zeitlich ändern können.At least one mechanical vibration state of the gripping device or gripping surface may be generated by one or more attached current driven electrodynamic vibration exciters that generate a mechanical longitudinal vibration or mechanical transverse vibration or a combination of both excitations of mechanical vibration, the vibration exciters having the same or different frequencies , Amplitudes or phases are operated, which can change over time.
In der erfindungsgemäßen Greifvorrichtung können von außen von der zusätzlichen Anordnung aus führende steuerbare Elektromagnete eingebracht sein, die bei elektrisch leitendem Greifgut durch die erzeugten Wirbelströme mechanische Schwingungen zumindest in der Greiffläche erzeugen und das Greifgut von der kontaktierten Isolationsschicht der Greiffläche abstoßen.In the gripping device according to the invention may be introduced from the outside of the additional arrangement of leading controllable electromagnets produce mechanical vibrations at least in the gripping surface with electrically conductive gripping material by the eddy currents generated and repel the gripping of the contacted insulation layer of the gripping surface.
Besteht die zusätzliche Anordnung zum Lösen des Greifguts nur aus in der Greifvorrichtung eingebrachten Permanentmagneten, so kann bei Erzeugung von mechanischen Schwingungen der Vorrichtung zum Lösen des Greifgutes zusätzlich eine Magnetfeldänderung durch die Bewegung der Permanentmagnete der zusätzlichen Anordnung erzeugt werden, was ein unterstützendes Ablösen des Greifguts ermöglicht.If the additional arrangement for releasing the Greifguts only from the gripping device introduced permanent magnet, it can also be generated by the movement of the permanent magnets of the additional arrangement when generating mechanical vibrations of the device for releasing the gripping material, which enables a supportive detachment of the Greifguts ,
Die Isolationsschicht kann im Wesentlichen eine Oberflächenschicht der Greiffläche darstellen, wobei an der isolierenden Oberflächenschicht das Greifgut elektroadhäsiv angelagert wird.The insulation layer may essentially represent a surface layer of the gripping surface, wherein the gripping material is deposited electroadhesive on the insulating surface layer.
Zur Steuerung des Lösens der Haftfläche des Greifguts von der das Greifgut kontaktierenden Oberfläche der Isolationsschicht wird nur elektrische Energie eingesetzt.To control the release of the adhesive surface of the gripping material of the gripping material contacting surface of the insulating layer only electrical energy is used.
Zusammenfassend gesehen kann durch die Einbringung eines Schwingungserzeugers/Schwingungsanregers in den elektroadhäsiven Greifmechanismus ein zuverlässiges Ablöseverfahren bereitgestellt werden, welches auf zusätzliche Medienzuführung verzichtet. Das Ablöseverfahren kann z. B. durch einen piezoelektrisch erzeugten mechanischen Impuls oder über Kraft-Signale durch eine alternative Schwingungsquelle erfolgen. Der geringe elektrische Energiebedarf der elektroadhäsiven Greifereinrichtung wird dabei nicht durch aufwendige mechanische, hydraulische oder pneumatische Ablöseverfahren negativ beeinflusst, was die Energiebilanz der Greifereinrichtung bedeutend verbessert und gleichzeitig eine zuverlässige Bearbeitung der als Greifgut ausgebildeten Halbzeuge ermöglicht.In summary, the incorporation of a vibrator / vibrator into the electro-adhesive gripping mechanism can provide a reliable stripping method that dispenses with additional media feed. The removal process can, for. B. by a piezoelectric generated mechanical impulse or force signals by an alternative source of vibration. The low electrical energy requirement of the electro-adhesive gripper device is not adversely affected by complex mechanical, hydraulic or pneumatic separation process, which significantly improves the energy balance of the gripper device and at the same time allows reliable processing of semifinished products designed as Greifgut.
Das wird dadurch erreicht, dass die Greiffläche der Greifvorrichtung, wobei die Greiffläche eine dem Greifgut angepasste Form besitzen kann, in einen mechanischen Schwingungszustand derart versetzt wird, dass sie entweder das Lösen des Greifgutes durch eine Schüttelbewegung in Form von sich ändernden Schwingungen unterstützt bzw. durch gezielte schwingende Eigenformen der Greiffläche, zwischen Greifgut und Greiffläche Räume bzw. Zwischenräume schafft, die die elektrostatischen Anziehungskräfte vermindern. Dabei erfolgt weitgehend eine mechanische Formveränderung des Oberflächenzustandes der Greiffläche im Mikrometerbereich. Kombinationen aus beiden Schwingungszuständen sind möglich.This is achieved in that the gripping surface of the gripping device, wherein the gripping surface may have a shape adapted to the gripping material is placed in a mechanical vibration state such that it either supports the release of the gripping material by a shaking movement in the form of changing vibrations or by targeted oscillating eigenmodes of the gripping surface, between gripping and gripping surface spaces or spaces creates that reduce the electrostatic attraction forces. In this case, there is largely a mechanical change in the shape of the surface state of the gripping surface in the micrometer range. Combinations of both vibration states are possible.
Wie bereits angegeben, können auch wandernde mechanische Wellen erzeugt werden, die das Greifgut wegschieben und/oder wegtreiben.As already stated, it is also possible to generate traveling mechanical waves which push away and / or drive away the gripping material.
Das beschriebene erfindungsgemäße Verfahren ist mit allen elektrischen Adhäsions-Greifereinrichtungen kombinierbar.The method according to the invention described can be combined with all electrical adhesion gripper devices.
In einem ersten vorteilhaften Ausführungsbeispiel wird eine mechanische Schwingung der Greifereinrichtung bzw. der Greiffläche durch einen oder mehrere angebrachte strombetriebene elektrodynamische Schwingungsanreger erzeugt, die zumindest eine mechanische longitudinale Schwingung, eine mechanische transversale Schwingung oder eine Kombination aus beiden Schwingungszuständen erzeugen können. Dabei können die Schwingungsanreger mit gleichen oder verschiedenen Frequenzen, Amplituden oder Phasen betrieben werden, die sich zeitlich ändern können, wobei die Schwingungsanreger mit einer Steuereinheit über versorgungstechnische Leitungen und signaltechnische Leitungen oder auch kabellos, z. B. über Funk, in Verbindung stehen können.In a first advantageous embodiment, a mechanical vibration of the gripper device or the gripping surface is generated by one or more attached current-driven electrodynamic vibration exciter, which can generate at least one mechanical longitudinal oscillation, a mechanical transverse oscillation or a combination of both oscillation states. In this case, the vibration exciter can be operated with the same or different frequencies, amplitudes or phases that can change over time, the vibration exciter with a control unit via supply lines and signaling lines or wireless, z. B. over radio, can be in communication.
Die Schwingungsanreger können sich dabei unter anderem auf der Oberseite oder im Material der Greifvorrichtung befinden. The vibration exciters can be located, inter alia, on the top or in the material of the gripping device.
Es können sich auch in Anordnungen auf der Greiffläche lediglich im Material ferromagnetische Materialien oder steuerbare Elektromagnete befinden.It may also be in arrangements on the gripping surface only in the material ferromagnetic materials or controllable electromagnets.
In einem weiteren Ausführungsbeispiel der Greifereinrichtung werden die beschriebenen Schwingungen und Schwingungszustände, z. B. stehende mechanische Schwingungen durch die piezokeramischen Elemente oder Schwinger erzeugt, die an der Oberseite, an der Unterseite oder im Innern der Greifvorrichtung, also im Bereich der Greiffläche, angebracht sein können. Die Schwingungsanreger der Vorrichtung zum Lösen des Greifguts können durch von außen anlegbare elektrische Spannungen betrieben werden.In a further embodiment of the gripper device, the vibrations and vibration conditions described, for. B. stationary mechanical vibrations generated by the piezoceramic elements or oscillator, which can be mounted on the top, on the underside or in the interior of the gripping device, ie in the region of the gripping surface. The vibration exciters of the device for releasing the Greifguts can be operated by externally applied electrical voltages.
Eine Möglichkeit, das Lösen elektrisch leitender Greifgüter zu unterstützen, besteht weiterhin darin, Wirbelströme im Greifgut durch sich zeitlich ändernde Magnetfelder zu erzeugen, wobei die Wirbelströme sich naturgemäß immer von den sich zeitlich ändernden Magnetfeldern von bewegten Permanentmagneten abstoßen. Vorteilhafterweise ist dieses Verfahren mit dem beschriebenen Schwingungsverfahren kombinierbar.One way to support the release of electrically conductive Greifgüter, continues to be to generate eddy currents in Greifgut by time-varying magnetic fields, the eddy currents are always repelled by the time-varying magnetic fields of moving permanent magnets. Advantageously, this method can be combined with the described vibration method.
Die beschriebenen Wirbelströme lassen sich auch dadurch erzeugen, dass in der Greifvorrichtung permanente Magnete und steuerbare Elektromagnete angebracht sind, die durch die im Verfahren beschriebenen Schwingungen ebenfalls schwingen und damit ein zeitlich veränderliches Magnetfeld erzeugen. Dieses erzeugt dann im Greifgut ebenfalls Wirbelströme, die den Lastabwurf des Greifgutes unterstützen.The described eddy currents can also be generated by the fact that in the gripping device permanent magnets and controllable electromagnets are mounted, which also vibrate by the vibrations described in the process and thus generate a time-varying magnetic field. This then also generates eddy currents in the gripping material, which support the load shedding of the gripping material.
Eine elektrisch induzierte Schwingung an der Greiffläche zur Lösung des Greifguts von der Greifvorrichtung wird im Stand der Technik nicht in Betracht gezogen und stellt eine zuverlässige Ablösetechnologie dar, welche auf zusätzliche Materialien verzichtet.An electrically induced vibration on the gripping surface for the solution of the gripping material from the gripping device is not considered in the prior art and represents a reliable detachment technology, which dispenses with additional materials.
Weiterbildungen und besondere Ausgestaltungen der Greifereinrichtung sind in weiteren Unteransprüchen angegeben.Further developments and special embodiments of the gripper device are specified in further subclaims.
Die Erfindung wird mittels Ausführungsbeispielen anhand mehrerer Zeichnungen erläutert.The invention will be explained by means of exemplary embodiments with reference to several drawings.
Es zeigen:Show it:
In
Erfindungsgemäß umfasst die Vorrichtung
Die die Form der Greiffläche
Als Bereich der Greiffläche
Der Schwingungsanreger
Der Schwingungsanreger
Die Greifereinrichtung
- – die
Greifvorrichtung 2 , - – die Vorrichtung
14 zum Lösen von elektroadhäsiv gehaltertem Greifgut5 , - –
Elektroden 3 , die weitgehend im Bereich der Greiffläche6 ander Greifvorrichtung 2 aufgebracht sind, - –
eine Isolationsschicht 4 , die sich an der freien Seite8 der Elektroden 3 befindet und dieElektroden 3 abdeckt,
- - The
gripping device 2 . - - the
device 14 for releasing electroadhesive retained gripping5 . - -
electrodes 3 , which is largely in the range of thegripping surface 6 at thegripping device 2 are applied, - - An
insulation layer 4 who are on the free side8th theelectrodes 3 located and theelectrodes 3 covers,
Die Schwingungsanreger
In
Die
Die
Die
Die
Im Bereich der Greiffläche
eine Wirbelstromanregungsschicht
wobei Wirbelströme im Greifgut
an eddy current excitation layer
where eddy currents in the
Das Greifgut
In
In den in den
Dabei können wandernde mechanische Wellen erzeugt werden, die das Greifgut
Eine Funktionsweise kann wie folgt erläutert werden:
Es wird zumindest ein mechanischer Schwingungszustand der Greifereinrichtung
It becomes at least a mechanical vibration state of the
Der Signalempfänger erhält von der Steuereinheit
Die Greifereinrichtung
Für die zusätzliche Anordnung
In der Greifvorrichtung
Die Isolationsschicht
Zur Steuerung des Lösens des Greifguts
In
BezugszeichenlisteLIST OF REFERENCE NUMBERS
- 11
- Schwingungsanreger/SchwingungserzeugerVibration exciter / vibrator
- 22
- Greifvorrichtunggripping device
- 33
- Elektrodenelectrodes
- 44
- Isolationsschichtinsulation layer
- 55
- Greifgutgoods being handled
- 66
- Greifflächegripping surface
- 77
- Oberseite der GreifvorrichtungTop of the gripping device
- 88th
- Unterseite der GreifvorrichtungBottom of the gripping device
- 99
- Inneres der GreifvorrichtungHeart of the gripping device
- 1010
- GreifereinrichtungGripper device
- 1111
- Zusätzliche Anordnung zum Lösen von GreifgutAdditional arrangement for releasing gripping goods
- 1212
- Wirbelstromanregungselement/Spule/WirbelstromanregungsschichtEddy current excitation element / coil / eddy current excitation layer
- 1313
- Elektromagnetelectromagnet
- 1414
- Vorrichtung zum Lösen von GreifgutDevice for releasing gripping goods
- 1515
- Formveränderungshape change
- 1616
- Leitungmanagement
- 1717
- Leitungmanagement
- 1818
- Leitungmanagement
- 1919
- Raumroom
- 2020
- Steuereinheitcontrol unit
- 2121
- Haftfläche des GreifgutsAdhesive surface of the gripping material
- 2222
- Permanentmagnetpermanent magnet
- 2323
- Leitungmanagement
- 2424
- Leitungmanagement
ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG QUOTES INCLUDE IN THE DESCRIPTION
Diese Liste der vom Anmelder aufgeführten Dokumente wurde automatisiert erzeugt und ist ausschließlich zur besseren Information des Lesers aufgenommen. Die Liste ist nicht Bestandteil der deutschen Patent- bzw. Gebrauchsmusteranmeldung. Das DPMA übernimmt keinerlei Haftung für etwaige Fehler oder Auslassungen.This list of the documents listed by the applicant has been generated automatically and is included solely for the better information of the reader. The list is not part of the German patent or utility model application. The DPMA assumes no liability for any errors or omissions.
Zitierte PatentliteraturCited patent literature
- US 4184188 A [0003] US 4184188 A [0003]
- US 2011/0110010 A1 [0004] US 2011/0110010 A1 [0004]
- US 7872850 B2 [0004] US 7872850 B2 [0004]
- WO 2014/033021 A2 [0005] WO 2014/033021 A2 [0005]
- DE 10319272 A1 [0007] DE 10319272 A1 [0007]
- DE 102011121883 A1 [0009] DE 102011121883 A1 [0009]
- DE 102011212465 B3 [0010] DE 102011212465 B3 [0010]
- DE 102012215513 A1 [0011] DE 102012215513 A1 [0011]
- DE 10201320846 A1 [0012] DE 10201320846 A1 [0012]
- EP 2548299 B1 [0013] EP 2548299 B1 [0013]
Claims (21)
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE102016002130.6A DE102016002130A1 (en) | 2016-02-19 | 2016-02-19 | Gripper device for elektroadhäsiv held gripping and method for releasing elektroadhäsiv held Greifgut from the gripper device |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE102016002130.6A DE102016002130A1 (en) | 2016-02-19 | 2016-02-19 | Gripper device for elektroadhäsiv held gripping and method for releasing elektroadhäsiv held Greifgut from the gripper device |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE102016002130A1 true DE102016002130A1 (en) | 2017-08-24 |
Family
ID=59522337
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE102016002130.6A Withdrawn DE102016002130A1 (en) | 2016-02-19 | 2016-02-19 | Gripper device for elektroadhäsiv held gripping and method for releasing elektroadhäsiv held Greifgut from the gripper device |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
DE (1) | DE102016002130A1 (en) |
Citations (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4184188A (en) | 1978-01-16 | 1980-01-15 | Veeco Instruments Inc. | Substrate clamping technique in IC fabrication processes |
DE4216218A1 (en) * | 1991-05-17 | 1992-11-19 | Unisearch Ltd | ELECTROSTATIC TENSIONER |
GB2354114A (en) * | 1999-09-13 | 2001-03-14 | Gareth John Monkman | Micro-scale electrostatic gripper |
US20040182311A1 (en) * | 2003-03-17 | 2004-09-23 | Renesas Technology Corp. | Semiconductor processing apparatus having semiconductor wafer mounting |
DE10319272A1 (en) | 2003-04-29 | 2004-11-25 | Infineon Technologies Ag | Multifunction carrier and associated docking station |
DE102008052100A1 (en) * | 2008-10-08 | 2010-04-15 | Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. | Flexibly deformable retaining element e.g. electrostatic retaining element, for retaining e.g. wafer, has actuator exerting compressive- and/or tractive force for expansion and constriction of recess and/or deformation of element |
US20100109220A1 (en) * | 2007-04-19 | 2010-05-06 | Ulvac, Inc. | Substrate Holding Mechanism and Substrate Assembly Apparatus Including the Same |
US7872850B2 (en) | 2006-06-05 | 2011-01-18 | Sri International | Wall crawling robots |
DE102011121883A1 (en) | 2011-12-21 | 2013-06-27 | Volkswagen Aktiengesellschaft | Method for preparation of molded unit, involves applying polymeric matrix material, and applying positive and negative charge carriers to fiber semi-finished product and electrode in tool respectively for fixing product at tool |
DE102012215513A1 (en) | 2012-08-31 | 2014-03-06 | J. Schmalz Gmbh | gripping device |
EP2548299B1 (en) | 2010-03-19 | 2015-07-15 | SRI International | Electroadhesive device, method of adhering a device and electrolaminate system |
-
2016
- 2016-02-19 DE DE102016002130.6A patent/DE102016002130A1/en not_active Withdrawn
Patent Citations (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4184188A (en) | 1978-01-16 | 1980-01-15 | Veeco Instruments Inc. | Substrate clamping technique in IC fabrication processes |
DE4216218A1 (en) * | 1991-05-17 | 1992-11-19 | Unisearch Ltd | ELECTROSTATIC TENSIONER |
GB2354114A (en) * | 1999-09-13 | 2001-03-14 | Gareth John Monkman | Micro-scale electrostatic gripper |
US20040182311A1 (en) * | 2003-03-17 | 2004-09-23 | Renesas Technology Corp. | Semiconductor processing apparatus having semiconductor wafer mounting |
DE10319272A1 (en) | 2003-04-29 | 2004-11-25 | Infineon Technologies Ag | Multifunction carrier and associated docking station |
US7872850B2 (en) | 2006-06-05 | 2011-01-18 | Sri International | Wall crawling robots |
US20110110010A1 (en) | 2006-06-05 | 2011-05-12 | Sri International | Wall crawling robots |
US20100109220A1 (en) * | 2007-04-19 | 2010-05-06 | Ulvac, Inc. | Substrate Holding Mechanism and Substrate Assembly Apparatus Including the Same |
DE102008052100A1 (en) * | 2008-10-08 | 2010-04-15 | Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. | Flexibly deformable retaining element e.g. electrostatic retaining element, for retaining e.g. wafer, has actuator exerting compressive- and/or tractive force for expansion and constriction of recess and/or deformation of element |
EP2548299B1 (en) | 2010-03-19 | 2015-07-15 | SRI International | Electroadhesive device, method of adhering a device and electrolaminate system |
DE102011121883A1 (en) | 2011-12-21 | 2013-06-27 | Volkswagen Aktiengesellschaft | Method for preparation of molded unit, involves applying polymeric matrix material, and applying positive and negative charge carriers to fiber semi-finished product and electrode in tool respectively for fixing product at tool |
DE102012215513A1 (en) | 2012-08-31 | 2014-03-06 | J. Schmalz Gmbh | gripping device |
WO2014033021A2 (en) | 2012-08-31 | 2014-03-06 | J. Schmalz Gmbh | Gripper apparatus |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
EP1685046B1 (en) | Device for the contactless transport of flat elements | |
DE10121742A1 (en) | Device for the contactless gripping and holding of an object | |
DE102016215212A1 (en) | Movement device with magnetic position determination and data transmission device | |
DE102018111647B4 (en) | Gripping device for a robot | |
DE202007019012U1 (en) | Device for transporting and holding touch-sensitive objects or material | |
DE60309560T2 (en) | Linear drive for swinging device | |
DE102014102975A1 (en) | Device for substrate transport using electrostatic levitation | |
DE102008009741B4 (en) | Method and device for the electrostatic flocking of non-flat substrates | |
DE19929341A1 (en) | Arrangement for wireless electric power supply of number of sensors and/or actuators has component for converting acceleration into electrical energy integrated into sensors/actuators | |
EP3403954A1 (en) | Contactless carrier device and contactless carrier system | |
EP3055078A1 (en) | Vibrating machine | |
DE19916922B4 (en) | Apparatus for the non-contact transport of components and system for handling and storing the same | |
EP3380909B1 (en) | Operating device for motor vehicle with drive mechanism for output of haptic feedback as well as motor vehicle | |
EP3340650A2 (en) | Device for stimulating vibrations and use of such a device | |
DE102012021245A1 (en) | Gripping device for program-controlled reception of stacking plate component, has gripper, by which sheet metal component is accommodated and transported, where gripper has operating mode | |
DE102010055848B4 (en) | ultrasonic actuator | |
DE102016002130A1 (en) | Gripper device for elektroadhäsiv held gripping and method for releasing elektroadhäsiv held Greifgut from the gripper device | |
DE3306509C2 (en) | ||
EP0046245B1 (en) | Device for gripping metallic workpieces | |
DE102009039458A1 (en) | Plate separation with magnetic fields | |
DE202008002259U1 (en) | Apparatus for electrostatic flocking | |
DE102015102346B4 (en) | Control element with improved actuator for haptic feedback | |
DE102013004536A1 (en) | Component formed as membrane-electrode assembly for fuel cell, has insensitive area in which magnetically active particles are arranged in such manner that component is movably in contact with insensitive region by transport unit | |
DE10028271B4 (en) | Bending element for a vibratory conveyor system with piezo drive | |
DE102015218008A1 (en) | Magnetic separator with mechanical activation and deactivation |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
R163 | Identified publications notified | ||
R082 | Change of representative |
Representative=s name: RAUSCHENBACH PATENTANWAELTE PARTNERSCHAFTSGESE, DE Representative=s name: PATENTANWAELTE RAUSCHENBACH, DE Representative=s name: RAUSCHENBACH PATENTANWAELTE GBR, DE |
|
R119 | Application deemed withdrawn, or ip right lapsed, due to non-payment of renewal fee |