DE102015205035A1

DE102015205035A1 - Gas-tight connection and sealing body for projection exposure systems

Info

Publication number: DE102015205035A1
Application number: DE201510205035
Authority: DE
Inventors: Olf Brandt; Birgit Hahn; Gennady Fedosenko; Leonid Gorkhover; Stefan Wiesner; Almut Czap; Franziska Zschach; Christelle-Amandine Callamand
Original assignee: Carl Zeiss SMT GmbH
Current assignee: Carl Zeiss SMT GmbH
Priority date: 2015-03-19
Filing date: 2015-03-19
Publication date: 2015-05-13

Abstract

Die vorliegende Erfindung betrifft eine gasdichte Verbindung, speziell in einer Projektionsbelichtungsanlage und einen Dichtkörper zur Anordnung in einer gasdichten Verbindung von zwei zueinander angeordneten Verbindungselementen (1, 2), wobei der Dichtkörper (3) zwischen den Verbindungselementen angeordnet ist und an den Verbindungselementen anliegt und wobei der Dichtkörper (3) aus einem flüssigkristallinen Kunststoff oder aus einem Edelstahlgrundkörper mit einer Beschichtung gebildet ist, wobei die Beschichtung mindestens eine Schicht mit mindestens einem Bestandteil aufweist, der aus der Gruppe ausgewählt ist, die amorphen Kohlenstoff, durch Kathodenzerstäubung abgeschiedenen Kohlenstoff, Polyetheretherketone, Parylene und SiCOH-Schichten umfasst.The present invention relates to a gas-tight connection, especially in a projection exposure apparatus and a sealing body for arrangement in a gas-tight connection of two mutually arranged connecting elements (1, 2), wherein the sealing body (3) is arranged between the connecting elements and rests against the connecting elements and wherein the sealing body (3) is formed from a liquid-crystalline plastic or from a stainless steel basic body with a coating, the coating having at least one layer with at least one constituent selected from the group consisting of amorphous carbon, carbon sputtered by sputtering, polyether ether ketones, parylenes and SiCOH layers.

Description

HINTERGRUND DER ERFINDUNGBACKGROUND OF THE INVENTION

GEBIET DER ERFINDUNGFIELD OF THE INVENTION

Die vorliegende Erfindung betrifft einen Dichtkörper zur Anordnung in einer gasdichten Verbindung von zwei zueinander angeordneten Verbindungselementen, wobei der Dichtkörper zwischen den Verbindungselementen angeordnet ist und an den Verbindungselementen anliegt. Außerdem betrifft die Erfindung eine entsprechende gasdichte Verbindung und eine Projektionsbelichtungsanlage für die Mikrolithografie, in der der Dichtkörper bzw. die gasdichte Verbindung eingesetzt werden.The present invention relates to a sealing body for arrangement in a gas-tight connection of two mutually arranged connecting elements, wherein the sealing body is arranged between the connecting elements and bears against the connecting elements. Moreover, the invention relates to a corresponding gas-tight connection and a projection exposure apparatus for microlithography, in which the sealing body or the gas-tight connection are used.

STAND DER TECHNIKSTATE OF THE ART

In Anlagen, die unter Hochvakuumbedingungen betrieben werden, wie beispielsweise Projektionsbelichtungsanlagen für die Mikrolithografie, müssen gasdichte Verbindungen zwischen Bauteilen hergestellt werden, die einerseits die Dichtfunktion bereitstellen können und andererseits für die Umgebungsbedingungen im Hochvakuum bzw. Ultrahochvakuum geeignet sind, also beispielsweise das Vakuum nicht durch Ausgasen oder Abdampfen von Bestandteilen beeinträchtigen dürfen. In plants that are operated under high vacuum conditions, such as projection exposure systems for microlithography, gas-tight connections must be made between components that can provide the sealing function on the one hand and on the other hand are suitable for the ambient conditions in a high vacuum or ultra-high vacuum, so for example, the vacuum by outgassing or evaporation of constituents.

Gleichzeitig müssen die an der gasdichten Verbindung beteiligten Komponenten und insbesondere dafür vorgesehene Dichtkörper, wie Dichtscheiben und dergleichen, Eigenschaften aufweisen, die ihnen die Bereitstellung der Dichtfunktion ermöglichen, wie beispielsweise mechanische Festigkeit, Druckstabilität, Vermeidung von Kaltverschweißungen zwischen den Komponenten, Möglichkeit der einfachen Reinigung usw..At the same time, the components involved in the gas-tight connection and in particular sealing bodies, such as sealing disks and the like, must have properties that enable them to provide the sealing function, such as mechanical strength, pressure stability, avoidance of cold welding between components, possibility of simple cleaning, etc ..

Entsprechend gibt es im Stand der Technik bereits eine Vielzahl von Lösungen für derartige Dichtungsanordnungen und Komponenten dafür, wie sie beispielsweise in der US 5,423,580 A , US 5,129,688 A , US 7,976,074 B2 , US 8,434,793 B2 oder WO 00/17548 A1 beschrieben sind.Accordingly, there are in the prior art already a variety of solutions for such sealing arrangements and components thereof, as for example in the US 5,423,580 A . US 5,129,688 A . US 7,976,074 B2 . US 8,434,793 B2 or WO 00/17548 A1 are described.

Obwohl derartige Dichtungen und entsprechende gasdichte Verbindungen bereits gute Ergebnisse liefern, besteht weiterhin ein Bedarf an Verbesserungen, um insbesondere ein ausgewogenes Eigenschaftsprofil insbesondere für spezielle Anwendungen, wie beispielsweise für Anwendungen in Projektionsbelichtungsanlagen, bereitstellen zu können.Although such gaskets and gas-tight joints already provide good results, there continues to be a need for improvements, in particular to provide a balanced property profile, especially for specific applications, such as for applications in projection exposure equipment.

OFFENBARUNG DER ERFINDUNGDISCLOSURE OF THE INVENTION

AUFGABE DER ERFINDUNGOBJECT OF THE INVENTION

Es ist deshalb Aufgabe der vorliegenden Erfindung, einen Dichtkörper sowie eine gasdichte Verbindung mit einem entsprechenden Dichtkörper bereitzustellen, welcher insbesondere auch für die Verwendung in Projektionsbelichtungsanlagen für die Mikrolithografie geeignet ist und den unterschiedlichen Anforderungsaspekten genügt. Insgesamt soll ein entsprechender Dichtkörper bzw. eine gasdichte Verbindung ein ausgewogenes Eigenschaftsprofil bereitstellen und leicht herstellbar sowie anwendbar sein. It is therefore an object of the present invention to provide a sealing body and a gas-tight connection with a corresponding sealing body, which is particularly suitable for use in projection exposure systems for microlithography and satisfies the different requirements aspects. Overall, a corresponding sealing body or a gas-tight connection should provide a balanced property profile and be easy to produce and to use.

TECHNISCHE LÖSUNGTECHNICAL SOLUTION

Diese Aufgabe wird gelöst durch einen Dichtkörper mit den Merkmalen des Anspruchs 1 sowie eine gasdichte Verbindung mit den Merkmalen des Anspruchs 7 und eine Projektionsbelichtungsanlage mit den Merkmalen des Anspruchs 8. Vorteilhafte Ausgestaltungen sind Gegenstand der abhängigen Ansprüche. This object is achieved by a sealing body with the features of claim 1 and a gas-tight connection with the features of claim 7 and a projection exposure apparatus with the features of claim 8. Advantageous embodiments are the subject of the dependent claims.

Gemäß der Erfindung wird ein Dichtkörper für eine gasdichte Verbindung, bei der mindestens zwei zueinander angeordnete Verbindungselemente gasdicht über den Dichtkörper verbunden werden, vorgeschlagen, der aus einem flüssigkristallinen Kunststoff gebildet ist oder aus einem Edelstahl mit einer Beschichtung hergestellt ist. Die Beschichtung kann hierbei mindestens einen Bestandteil aus der Gruppe aufweisen, die amorphen Kohlenstoff, durch Kathodenbestäubung abgeschiedenen Kohlenstoff, Polyetheretherketone (PEEK), Parylene und SiCOH-Schichten umfasst. According to the invention, a sealing body for a gas-tight connection, in which at least two mutually arranged connecting elements are connected in a gas-tight manner via the sealing body, proposed, which is formed from a liquid-crystalline plastic or is made of a stainless steel with a coating. The coating may in this case comprise at least one constituent from the group comprising amorphous carbon, carbon deposited by cathode dusting, polyether ether ketones (PEEK), parylene and SiCOH layers.

Es hat sich gezeigt, dass derartige Dichtkörper, die beispielsweise in Form von Dichtscheiben oder Dichtringen mit oder ohne zusätzlichen Halterungen und Montagehilfen ausgebildet sein können, besonders vorteilhafte Eigenschaftsprofile für die Anwendung von Hochvakuumdichtungen oder Ultrahochvakuumdichtungen bereitstellen.It has been found that such sealing bodies, which may be designed, for example, in the form of sealing disks or sealing rings with or without additional holders and assembly aids, provide particularly advantageous property profiles for the application of high vacuum seals or ultra-high vacuum seals.

Die flüssigkristallinen Kunststoffe können durch aromatische Polyamide oder Polyester gebildet werden, wobei durch die besondere Struktur der flüssigkristallinen Kunststoffe eine besonders gute Eignung für die Verwendung bei Dichtkörpern gegeben ist. The liquid-crystalline plastics can be formed by aromatic polyamides or polyesters, wherein the special structure of the liquid-crystalline plastics makes them particularly suitable for use with sealing bodies.

Die flüssigkristallinen Kunststoffe können zusätzlich Füllmaterialien, wie beispielsweise Glasfasern aufweisen, mit denen das mechanische Verhalten entsprechend angepasst und optimiert werden kann.The liquid-crystalline plastics may additionally have filling materials, such as glass fibers, with which the mechanical behavior can be adjusted and optimized accordingly.

Darüber hinaus kann der Dichtkörper aus Edelstahl gebildet sein, wobei unter Edelstahl Eisenlegierungen gemäß der europäischen Norm EN 10020 verstanden werden, die legierte oder unlegierte Stähle mit besonderem Reinheitsgrad betrifft. Insbesondere kann es sich hierbei auch um rostfreie Stähle handeln. In addition, the sealing body may be formed of stainless steel, wherein under stainless steel iron alloys according to the European standard EN 10020 which relates to alloyed or unalloyed steels having a particular degree of purity. In particular, these may also be stainless steels.

Bei den Beschichtungen auf dem Edelstahlgrundkörper kann es sich zumindest teilweise um amorphen Kohlenstoff handeln, der durch physikalische Dampfphasenabscheidung (PVD physical vapor deposition) oder chemische Dampfphasenabscheidung (CVD chemical vapor deposition) und insbesondere plasmaunterstützte Dampfphasenabscheidung (PECVD plasma enhanced chemical vapor deposition) abgeschieden werden kann. Bei dem durch physikalische Dampfphasenabscheidung (PVD physical vapor deposition) abgeschiedenen Kohlenstoff kann es sich insbesondere um Kohlenstoff handeln, der durch Sputtern (Kathodenzerstäubung) abgeschieden wird. The coatings on the stainless steel base body can be at least partially amorphous carbon, which can be deposited by physical vapor deposition (PVD) or chemical vapor deposition (CVD) and in particular plasma enhanced chemical vapor deposition (PECVD) , The deposited by physical vapor deposition (PVD physical vapor deposition) carbon may be in particular carbon, which is deposited by sputtering (cathode sputtering).

Die Beschichtung kann zumindest teilweise auch durch Polyetheretherketone PEEK und/oder Parylene gebildet werden. Darüber hinaus sind wasserstoffhaltige Siliziumoxikarbidschichten, wie SiCOH-Schichten, als Beschichtung bzw. Teile der Beschichtung auf dem Edelstahlgrundkörper möglich.The coating can also be formed, at least in part, by polyetheretherketones PEEK and / or parylenes. In addition, hydrogen-containing Siliziumoxikarbidschichten, such as SiCOH layers, as a coating or parts of the coating on the stainless steel base body possible.

Die Beschichtung kann zusätzlich eine Grundierung umfassen, wobei die Grundierung insbesondere durch eine Haftvermittlerschicht gebildet sein kann. Eine entsprechende Haftvermittlerschicht, auch Primer genannt, kann beispielsweise durch organische Lacke gebildet sein. The coating may additionally comprise a primer, wherein the primer may be formed in particular by a primer layer. A corresponding adhesion promoter layer, also called a primer, can be formed for example by organic lacquers.

Darüber hinaus ist es auch möglich, dass die Edelstahloberfläche vor dem Aufbringen der Beschichtung vorbehandelt wird, um beispielsweise an der Oberfläche vorliegende Oxide zu entfernen.In addition, it is also possible that the stainless steel surface is pretreated prior to application of the coating, for example, to remove oxides present on the surface.

Mit einem entsprechenden Dichtkörper ist es möglich Beschädigungen der Dichtflächen durch unerwünschte Reibung oder das Kaltverschweißen von Komponenten der Dichtverbindung zu verhindern, wobei gleichzeitig eine ausreichende mechanische Stabilität und Belastbarkeit im Bereich der Dichtflächen gegeben ist. Zudem erfüllen die gewählten Materialien das Erfordernis, dass das Hochvakuum oder das Ultrahochvakuum, in denen die entsprechenden Komponenten zumindest teilweise betrieben werden, nicht beeinträchtigt wird und eine ausreichende Dichtwirkung für derartige Anwendungen sichergestellt ist.With a corresponding sealing body, it is possible to prevent damage to the sealing surfaces by undesirable friction or cold welding of components of the sealing compound, at the same time given sufficient mechanical stability and resilience in the area of the sealing surfaces. In addition, the materials chosen fulfill the requirement that the high vacuum or ultra-high vacuum in which the corresponding components are at least partially operated is not impaired and a sufficient sealing effect is ensured for such applications.

KURZBESCHREIBUNG DER FIGURENBRIEF DESCRIPTION OF THE FIGURES

Die beigefügten Zeichnungen zeigen in rein schematischer Weise in The accompanying drawings show in a purely schematic manner in FIG

1 eine Schnittansicht durch die Komponenten einer gasdichten Verbindung mit einem erfindungsgemäßen Dichtkörper, 1 a sectional view through the components of a gas-tight connection with a sealing body according to the invention,

2 eine Schnittansicht durch einen Teil des Dichtkörpers aus 1 und in 2 a sectional view through a part of the sealing body 1 and in

3 eine Darstellung einer Projektionsbelichtungsanlage, in der die Erfindung eingesetzt werden kann. 3 a representation of a projection exposure apparatus in which the invention can be used.

AUSFÜHRUNGSBEISPIELEEMBODIMENTS

Weitere Vorteile, Kennzeichen und Merkmale der vorliegenden Erfindung werden bei der nachfolgenden detaillierten Beschreibung von Ausführungsbeispielen anhand der beigefügten Zeichnungen deutlich. Allerdings ist die Erfindung nicht auf diese Ausführungsbeispiele beschränkt. Further advantages, characteristics and features of the present invention will become apparent in the following detailed description of embodiments with reference to the accompanying drawings. However, the invention is not limited to these embodiments.

Die 1 zeigt in einer Querschnittsansicht die Komponenten einer gasdichten Rohrverbindung gemäß der vorliegenden Erfindung. Die gasdichte Rohrverbindung umfasst ein erstes Rohr 1 und ein zweites Rohr 2 bzw. die entsprechenden Enden davon, die mit ihren Stirnseiten zueinander angeordnet sind, um eine Rohrverbindung zu bilden. Zwischen dem ersten Rohr 1 und dem zweiten Rohr 2 ist eine Dichtungsscheibe 3 mit einer zentralen Öffnung 8 vorgesehen, die zwischen den Rohrenden des ersten Rohrs 1 und des zweiten Rohrs 2 eingeklemmt wird, um eine gasdichte Verbindung bereitzustellen. The 1 shows in a cross-sectional view the components of a gas-tight pipe joint according to the present invention. The gas-tight pipe connection comprises a first pipe 1 and a second tube 2 or the corresponding ends thereof, which are arranged with their end faces to each other to form a pipe joint. Between the first pipe 1 and the second tube 2 is a sealing washer 3 with a central opening 8th provided between the pipe ends of the first pipe 1 and the second tube 2 is trapped to provide a gas-tight connection.

Am ersten Rohr 1 ist ein umlaufender Anschlag 7 vorgesehen, welcher eine Mutter 5 daran hindert, das Rohrende des ersten Rohrs 1 zu verlassen. Die Mutter 5 weist ein Gewinde 9 auf, in welches ein Gewinde 4 am Rohrende des zweiten Rohrs 2 eingeschraubt werden kann, sodass die beiden Rohrenden des ersten und zweiten Rohrs 1, 2 fest gegen die dazwischen liegende Dichtscheibe 3 gepresst werden. Am zweiten Rohr 2 ist weiterhin ein Betätigungsabschnitt 6 angeordnet, welcher zum Festhalten des zweiten Rohrs 2 mit einem Werkzeug dient, wenn die Mutter 5 beim Anziehen der Verschraubung festgezogen wird. At the first pipe 1 is an encircling stroke 7 provided, which is a mother 5 prevents the tube end of the first tube 1 to leave. The mother 5 has a thread 9 in which a thread 4 at the pipe end of the second pipe 2 can be screwed, so that the two pipe ends of the first and second pipe 1 . 2 firmly against the intermediate gasket 3 be pressed. At the second tube 2 is still an operating section 6 arranged, which for holding the second tube 2 Serves with a tool when the mother 5 tightened when tightening the screw.

Wie leicht aus der 1 zu entnehmen ist, unterliegt die Dichtscheibe 3 mit ihren Anlageflächen, die an den Stirnseiten der Rohrenden des ersten und zweiten Rohrs 1, 2 anliegen, sowohl einer Druckbelastung, wenn die Schraubverbindung zwischen Mutter 5 und Gewinde 4 festgezogen ist, als auch einer Reibbelastung, wenn die Stirnseiten der Rohrenden an der Dichtscheibe 3 reiben. How easy from the 1 can be seen, subject to the sealing disc 3 with their contact surfaces on the front sides of the pipe ends of the first and second pipe 1 . 2 abut, both a compressive load, when the screw connection between nut 5 and thread 4 is tightened, as well as a friction load when the end faces of the pipe ends on the sealing disc 3 rub.

Um diesen unterschiedlichen mechanischen Belastungen Stand halten zu können und die gewünschte Funktion des gasdichten Abdichtens zwischen den Rohrenden zu bewerkstelligen, ist die Dichtscheibe 3 in bestimmter Weise aufgebaut. To be able to withstand these different mechanical loads and the desired function of gas-tight sealing between the pipe ends, is the gasket 3 built in a certain way.

Nach einem Ausführungsbeispiel kann die Dichtscheibe 3 aus einem flüssigkristallinen Kunststoff, wie beispielsweise einem aromatischen Polyamid oder Polyester gebildet sein. According to one embodiment, the sealing disc 3 be formed from a liquid crystalline plastic, such as an aromatic polyamide or polyester.

Nach einem weiteren Ausführungsbeispiel, welches in 2 dargestellt ist, ist die Dichtscheibe 3 aus einem Edelstahlgrundkörper 10 gebildet, auf dem eine Beschichtung 11, 12 vorgesehen ist. Die 2 zeigt hierbei lediglich den Schnitt durch eine Hälfte der Dichtscheibe 3. Der Grundkörper 10 kann auch aus anderen metallischen Werkstoffen gebildet sein.According to a further embodiment, which is in 2 is shown, is the gasket 3 from a stainless steel body 10 formed on which a coating 11 . 12 is provided. The 2 shows here only the section through one half of the gasket 3 , The main body 10 can also be made of other metallic materials.

Die Beschichtung 11, 12 ist in dem gezeigten Ausführungsbeispiel der 2 aus zwei Teilschichten 11 und 12 aufgebaut, und zwar einer Grundierung 11 und einer äußeren Teilschicht 12. Die Grundierung 11 kann aus einem Material gebildet sein, welches die Haftung der äußeren Teilschicht 12 auf dem Grundkörper 10 verbessert, wie beispielsweise einem organischen Lack oder dergleichen. The coating 11 . 12 is in the embodiment shown the 2 from two partial layers 11 and 12 built, a primer 11 and an outer sub-layer 12 , The primer 11 may be formed of a material which the adhesion of the outer sublayer 12 on the body 10 improved, such as an organic paint or the like.

Die äußere Teilschicht 12, die auch ohne Grundierung 11 direkt auf dem Grundkörper 10 ausgebildet sein kann, kann durch verschiedene Materialien, wie beispielsweise amorphem Kohlenstoff, Polyetheretherketone, Parylene und/oder SiCO-Schichten gebildet sein. Die äußere Teilschicht 12 kann auch aus mehreren Teilschichten aufgebaut sein, wobei mehrere unterschiedliche Schichten aus den genannten Materialien aufgebracht sein können oder mehrere sich wiederholende Teilschichten aus einem oder mehreren gleichen Materialien.The outer sub-layer 12 that even without primer 11 directly on the body 10 may be formed by various materials such as amorphous carbon, polyetheretherketones, parylene and / or SiCO layers may be formed. The outer sub-layer 12 can also be composed of several sub-layers, wherein a plurality of different layers may be applied from said materials or more repeating sub-layers of one or more same materials.

Die 3 zeigt eine Projektionsbelichtungsanlage in Form einer EUV(extrem ultraviolett)-Projektionsbelichtungsanlage, in welcher eine entsprechende gasdichte Verbindung mit einem erfindungsgemäßen Dichtkörper eingesetzt werden kann. Die Projektionsbelichtungsanlage 20 umfasst eine Lichtquelle 21 sowie ein Beleuchtungsmodul 22, mit dem ein Retikel 24, welches die abzubildenden Strukturen enthält, beleuchtet werden kann. Die Strukturen des Retikels 24 werden über das Projektionsobjektiv 23 auf einen Wafer abgebildet, auf dem die entsprechenden Strukturen verkleinert ausgebildet werden sollen. The 3 shows a projection exposure system in the form of an EUV (extreme ultraviolet) projection exposure system, in which a corresponding gas-tight connection with a sealing body according to the invention can be used. The projection exposure machine 20 includes a light source 21 and a lighting module 22 with which a reticle 24 , which contains the structures to be imaged, can be illuminated. The structures of the reticle 24 be over the projection lens 23 imaged on a wafer on which the corresponding structures are to be made smaller.

Obwohl die vorliegende Erfindung anhand der Ausführungsbeispiele detailliert beschrieben worden ist, ist für den Fachmann selbstverständlich, dass die Erfindung nicht auf diese Ausführungsbeispiele beschränkt ist, sondern dass vielmehr Abwandlungen in der Weise möglich sind, dass einzelne Merkmale weggelassen oder andersartige Kombinationen von Merkmalen verwirklicht werden können, solange der Schutzbereich der beigefügten Ansprüche nicht verlassen wird. Die vorliegende Anmeldung schließt sämtliche Kombinationen der vorgestellten Einzelmerkmale mit ein.Although the present invention has been described in detail with reference to the embodiments, it will be understood by those skilled in the art that the invention is not limited to these embodiments, but rather modifications are possible in the manner that individual features omitted or other combinations of features can be realized as long as the scope of protection of the appended claims is not abandoned. The present application includes all combinations of the presented individual features.

BezugszeichenlisteLIST OF REFERENCE NUMBERS

11: erstes Rohr first pipe
22: zweites Rohr second pipe
33: Dichtscheibe sealing washer
44: Gewinde thread
55: Mutter mother
66: Betätigungsabschnitt actuating section
77: Anschlag attack
88th: Öffnung opening
99: Gewinde thread
1010: Grundkörper body
1111: Grundierung primer
1212: äußere Teilschicht outer partial layer
2020: Projektionsbelichtungsanlage Projection exposure system
2121: Lichtquelle light source
2222: Beleuchtungsmodul lighting module
2323: Projektionsobjektiv projection lens
2424: Retikel reticle
2525: Wafer wafer

ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG QUOTES INCLUDE IN THE DESCRIPTION

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Zitierte PatentliteraturCited patent literature

US 5423580 A [0004]
US 5129688 A [0004]
US 7976074 B2 [0004]
US 8434793 B2 [0004]
WO 00/17548 A1 [0004]

Zitierte Nicht-PatentliteraturCited non-patent literature

European standard EN 10020 [0012]

Claims

Sealing body for arrangement in a gas-tight connection of two mutually arranged connecting elements ( 1 . 2 ), wherein the sealing body ( 3 ) is arranged between the connecting elements and bears against the connecting elements, characterized in that the sealing body ( 3 ) made of a liquid-crystalline plastic or of a stainless steel basic body ( 10 ) is formed with a coating, wherein the coating ( 11 . 12 ) comprises at least one layer having at least one member selected from the group consisting of amorphous carbon, carbon sputtered carbon, polyetheretherketones, parylenes, and SiCOH layers.

Sealing body according to claim 1, characterized in that the sealing body ( 3 ) is designed as a sealing washer or sealing ring.

Sealing body according to claim 1 or 2, characterized in that the liquid-crystalline plastic comprises aromatic polyamides or polyesters.

Sealing body according to one of the preceding claims, characterized in that the liquid-crystalline plastic comprises fillers.

Sealing body according to claim 4, characterized in that the fillers comprise glass fibers.

Sealing body according to claim 1 or 2, characterized in that the coating is a primer ( 11 ), in particular a primer layer comprises.

Gas-tight connection with a sealing body ( 3 ) according to one of the preceding claims, wherein the gas-tight connection two mutually arranged connecting elements ( 1 . 2 ) and wherein the sealing body ( 3 ) between the connecting elements ( 1 . 2 ) is arranged and abuts against the connecting elements, and wherein the connecting elements are formed by tube ends which are screwed together.

Projection exposure apparatus for microlithography with at least one gas-tight connection according to the preceding claim or with at least one sealing body according to one of claims 1 to 6.