DE102011017617B3 - Coolant feedthrough for vacuum plants, comprises a flange with mounting holes for a fastener, a transmission hole for transmitting a coolant having a coolant terminal arranged on each side of the flange, and a terminal area - Google Patents

Coolant feedthrough for vacuum plants, comprises a flange with mounting holes for a fastener, a transmission hole for transmitting a coolant having a coolant terminal arranged on each side of the flange, and a terminal area Download PDF

Info

Publication number
DE102011017617B3
DE102011017617B3 DE201110017617 DE102011017617A DE102011017617B3 DE 102011017617 B3 DE102011017617 B3 DE 102011017617B3 DE 201110017617 DE201110017617 DE 201110017617 DE 102011017617 A DE102011017617 A DE 102011017617A DE 102011017617 B3 DE102011017617 B3 DE 102011017617B3
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
flange
coolant
opening
ring
insulator
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
DE201110017617
Other languages
German (de)
Inventor
Marco Kenne
Daniel Helbig
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Von Ardenne GmbH
Original Assignee
Von Ardenne Anlagentechnik GmbH
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Von Ardenne Anlagentechnik GmbH filed Critical Von Ardenne Anlagentechnik GmbH
Priority to DE201110017617 priority Critical patent/DE102011017617B3/en
Application granted granted Critical
Publication of DE102011017617B3 publication Critical patent/DE102011017617B3/en
Expired - Fee Related legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16L—PIPES; JOINTS OR FITTINGS FOR PIPES; SUPPORTS FOR PIPES, CABLES OR PROTECTIVE TUBING; MEANS FOR THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16L5/00—Devices for use where pipes, cables or protective tubing pass through walls or partitions
    • F16L5/02—Sealing
    • F16L5/12—Sealing the pipe being cut in two pieces
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16L—PIPES; JOINTS OR FITTINGS FOR PIPES; SUPPORTS FOR PIPES, CABLES OR PROTECTIVE TUBING; MEANS FOR THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16L25/00—Constructive types of pipe joints not provided for in groups F16L13/00 - F16L23/00 ; Details of pipe joints not otherwise provided for, e.g. electrically conducting or insulating means
    • F16L25/02—Electrically insulating joints or couplings

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Cooling Or The Like Of Electrical Apparatus (AREA)

Abstract

The coolant feedthrough comprises a flange (1) with mounting holes (13) for a fastener, a transmission hole for transmitting a coolant having a coolant terminal arranged on each side of the flange, and a terminal area for attaching the flange at a mating surface surrounding a housing, where insulating sleeves are arranged in the mounting holes at the terminal area of a first insulator ring. A second insulator ring is arranged at a screwed surface opposite to the terminal area, extends itself over the mounting holes, and comprises holes corresponding with the mounting holes. The coolant feedthrough comprises a flange (1) with mounting holes (13) for a fastener, a transmission hole for transmitting a coolant having a coolant terminal arranged on each side of the flange, and a terminal area for attaching the flange at a mating surface surrounding a housing, where insulating sleeves are arranged in the mounting holes at the terminal area of a first insulator ring. A second insulator ring is arranged at a screwed surface opposite to the terminal area, extends itself over the mounting holes, and comprises holes corresponding with the mounting holes. A pressure ring (25) is arranged on the second insulator ring arranged at the screwed surface, and comprises the holes corresponding with the mounting holes of the flange. A sealing ring (26) is arranged at the terminal area of the flange or the first insulator ring arranged at the terminal area. The flange, on its side facing the opening of the mating surface, has an extension that protrudes into the opening. The first insulator ring arranged at the terminal area of the flange on its side facing the opening of the mating surface has a groove. The sealing ring is arranged in the groove. A third insulator ring (23) is arranged at the terminal area of the flange, whose outer diameter is smaller than the inner diameter of the first insulator ring. The sealing ring is arranged between the first and third insulator rings. The first and third insulator rings comprise a collar, which protrudes into the opening of the mating surface to center the flange with respect to the opening and to electrically isolate from the opening.

Description

Die Erfindung betrifft eine elektrisch isolierte Kühlmitteldurchführung für Vakuumanlagen gemäß Anspruch 1. Vorteilhafte Ausgestaltungen und Weiterbildungen sind in den Abhängigen Ansprüchen beschrieben.The invention relates to an electrically insulated coolant feedthrough for vacuum systems according to claim 1. Advantageous embodiments and further developments are described in the dependent claims.

Eine Aufgabe der Erfindung besteht darin, eine Kühlmitteldurchführung anzugeben, die zur Anbringung an einem Rohrflansch oder einer Öffnung einer Kammerwand der Vakuumanlage geeignet ist, die die erforderliche Vakuumdichtheit gewährleistet und gleichzeitig die Kühlmittelleitung oder Kühlmittelleitungen elektrisch von dem Rohrflansch oder der Kammerwand isoliert.An object of the invention is to provide a coolant passage suitable for attachment to a pipe flange or opening of a chamber wall of the vacuum system, which ensures the required vacuum tightness and at the same time electrically isolates the coolant line or coolant lines from the pipe flange or the chamber wall.

Dazu wird eine Kühlmitteldurchführung für Vakuumanlagen vorgeschlagen, umfassend einen Flansch mit Befestigungsbohrungen für Befestigungsmittel, mindestens einer Durchleitungsbohrung für die Durchleitung von Kühlmittel mit je einem auf jeder Seite des Flansches angeordneten Kühlmittelanschluss sowie einer Anschlussfläche zur Anbringung des Flansches an einer eine Öffnung umschließenden Gegenfläche, wobei in den Befestigungsbohrungen Isolatorhülsen angeordnet sind, an der Anschlussfläche ein erster Isolatorring und an der der Anschlussfläche gegenüberliegenden Verschraubungsfläche ein zweiter Isolatorring angeordnet sind, die sich über die Befestigungsbohrungen erstrecken und mit diesen korrespondierende Bohrungen aufweisen, wobei auf dem an der Verschraubungsfläche angeordneten zweiten Isolatorring ein Druckring angeordnet ist, der ebenfalls mit den Befestigungsbohrungen des Flansches korrespondierende Bohrungen aufweist und wobei an der Anschlussfläche des Flansches oder an dem an der Anschlussfläche angeordneten ersten Isolatorring ein Dichtring angeordnet ist.For this purpose, a coolant passage for vacuum systems is proposed, comprising a flange with fastening holes for fastening means, at least one passage bore for the passage of coolant, each with a arranged on each side of the flange coolant port and a connection surface for attachment of the flange to an opening surrounding an opposing surface, wherein Insulator sleeves are arranged on the connection surface, a first insulator ring is arranged on the connection surface and a second insulator ring is arranged on the connection surface, extending over the attachment bores and having corresponding bores, a pressure ring being arranged on the second insulator ring arranged on the screw connection surface is, which also has holes corresponding to the mounting holes of the flange and wherein at the connecting surface of the flange or a sealing ring is arranged on the first insulator ring arranged on the connection surface.

Durch das Zusammenwirken der beiden Isolatorringe mit den Isolatorhülsen wird erreicht, dass die zur Anbringung der Kühlmitteldurchführung an der Gegenfläche, die beispielsweise ein Rohrflansch oder eine Kammerwand der Vakuumanlage sein kann, verwendeten Befestigungsmittel, üblicherweise Schrauben, keinen elektrischen Kontakt zum Flansch haben, durch den die Durchleitungsbohrung für das Kühlmittel geführt wird.The interaction of the two insulator rings with the insulator sleeves ensures that the attachment means for attaching the coolant passage to the mating surface, which may for example be a pipe flange or a chamber wall of the vacuum system, used fastening means, usually screws, have no electrical contact with the flange, through which Passage bore for the coolant is performed.

Da sowohl die Gegenfläche als auch der Flansch und die verwendeten Befestigungsmittel wegen der hohen Festigkeitsanforderungen üblicherweise aus Stahl oder Edelstahl, d. h. leitendem Material gefertigt sind, stehen durch die Verwendung der Isolatorringe und Isolatorhülsen zwar die Befestigungsmittel in elektrischem Kontakt mit der Gegenfläche, nicht jedoch mit der Durchleitungsbohrung, durch die das Kühlmittel fließt, so dass eine Potentialtrennung zwischen der Kammerwand und dem Kühlmittel erreicht wird.Since both the mating surface and the flange and the fasteners used are usually made of steel or stainless steel, due to the high strength requirements. H. are made of conductive material, stand by the use of the insulator rings and insulator sleeves, although the fastening means in electrical contact with the counter surface, but not with the passage bore through which the coolant flows, so that a potential separation between the chamber wall and the coolant is achieved.

Der auf dem zweiten Isolatorring angeordnete Druckring stellt eine feste, verschleißresistente Verschraubungsfläche für die Befestigungsmittel dar. Er ist durch den zweiten Isolatorring elektrisch vom Flansch isoliert und kann daher beispielsweise ebenfalls aus Edelstahl gefertigt sein.The pressure ring arranged on the second isolator ring constitutes a solid, wear-resistant screwing surface for the fastening means. It is electrically insulated from the flange by the second isolator ring and can therefore also be made of stainless steel, for example.

In einer Ausgestaltung ist vorgesehen, dass der Flansch auf seiner der Öffnung zugewandten Seite einen in die Öffnung der Gegenfläche ragenden Fortsatz aufweist. Dadurch kann einerseits eine im Bereich der zu verschließenden Öffnung größere Dicke des Flansches erzeugt werden, andererseits der Flansch in der Öffnung leichter zentriert werden, um seine Montage zu erleichtern.In one embodiment, it is provided that the flange has, on its side facing the opening, an extension projecting into the opening of the mating surface. As a result, on the one hand, a greater thickness of the flange can be generated in the region of the opening to be closed, and on the other hand, the flange in the opening can be centered more easily in order to facilitate its assembly.

Weiter kann vorgesehen sein, dass der an der Anschlussfläche des Flansches angeordnete erste Isolatorring auf seiner der Gegenfläche zugewandten Seite eine Nut aufweist und der Dichtring in der Nut angeordnet ist. Dadurch wird der Dichtring durch den ersten Isolatorring auf die Gegenfläche gepresst, wodurch eine gute Dichtwirkung erzielt wird. Zusätzlich kann vorgesehen sein, dass der an der Anschlussfläche des Flansches angeordnete erste Isolatorring auf seiner der Anschlussfläche zugewandten Seite eine weitere Nut aufweist und ein weiterer Dichtring in der weiteren Nut angeordnet ist. Dadurch wird der Dichtring durch den ersten Isolatorring auf die Anschlussfläche gepresst, wodurch eine gute Dichtwirkung erzielt wird.It can further be provided that the first insulator ring arranged on the connection surface of the flange has a groove on its side facing the counter-surface, and the sealing ring is arranged in the groove. As a result, the sealing ring is pressed by the first insulator ring on the counter surface, whereby a good sealing effect is achieved. In addition, it can be provided that the first insulator ring arranged on the connection surface of the flange has a further groove on its side facing the connection surface, and a further sealing ring is arranged in the further groove. As a result, the sealing ring is pressed by the first insulator ring on the pad, whereby a good sealing effect is achieved.

Weiter kann vorgesehen sein, dass der erste Isolatorring einen Kragen aufweist, der in die Öffnung der Gegenfläche hineinragt, um den Flansch bezüglich der Öffnung zu zentrieren und von der Öffnung elektrisch zu isolieren. Diese Ausgestaltung ist insbesondere im Zusammenwirken mit einem Flansch vorteilhaft, der einen Fortsatz aufweist, welcher in die Öffnung hineinragt.It can further be provided that the first isolator ring has a collar which projects into the opening of the mating surface in order to center the flange with respect to the opening and to electrically isolate it from the opening. This embodiment is particularly advantageous in cooperation with a flange which has an extension which projects into the opening.

Dabei können der Innendurchmesser des Kragens und der Außendurchmesser des Fortsatzes beispielsweise annähernd gleich groß gewählt werden, so dass der Kragen am Fortsatz anliegt. Weiter können der Außendurchmesser des Kragens und der Innendurchmesser der Öffnung beispielsweise annähernd gleich groß gewählt werden, so dass der Kragen an der Öffnung anliegt.In this case, the inner diameter of the collar and the outer diameter of the extension, for example, be chosen approximately equal, so that the collar rests on the extension. Further, the outer diameter of the collar and the inner diameter of the opening, for example, be chosen approximately equal, so that the collar rests against the opening.

Eine alternative Ausgestaltung sieht vor, dass an der Anschlussfläche des Flansches ein dritter Isolatorring angeordnet ist, dessen Außendurchmesser geringer ist als der Innendurchmesser des ersten Isolatorrings, und der Dichtring zwischen dem ersten Isolatorring und dem dritten Isolatorring angeordnet ist. Mit anderen Worten ist zwischen dem Innendurchmesser des ersten Isolatorrings und dem Außendurchmesser des dritten Isolatorrings ein Spalt gebildet, in den der Dichtring eingelegt wird, so dass die Anschlussfläche des Flansches den Dichtring auf die Gegenfläche drückt. Gegenüber der oben beschriebenen Lösung mit einem oder zwei Dichtringen, die in Nuten angeordnet sind, ist hier nur ein Dichtring erforderlich, der sowohl gegen die Anschlussfläche als auch gegen die Gegenfläche dichtend wirkt.An alternative embodiment provides that on the connection surface of the flange, a third insulator ring is arranged, whose outer diameter is smaller than the inner diameter of the first insulator ring, and the sealing ring between the first insulator ring and the third insulator ring is arranged. In other words, between the Inner diameter of the first insulator ring and the outer diameter of the third insulator ring formed a gap into which the sealing ring is inserted, so that the connecting surface of the flange presses the sealing ring on the counter surface. Compared to the solution described above with one or two sealing rings, which are arranged in grooves, only one sealing ring is required here, which acts sealingly against both the connection surface and against the counter surface.

Im letzteren Fall kann weiter vorgesehen sein, dass der dritte Isolatorring einen Kragen aufweist, der in die Öffnung der Gegenfläche hineinragt, um den Flansch bezüglich der Öffnung zu zentrieren und von der Öffnung elektrisch zu isolieren. Diese Ausgestaltung ist insbesondere im Zusammenwirken mit einem Flansch vorteilhaft, der einen Fortsatz aufweist, welcher in die Öffnung hineinragt.In the latter case, it may further be provided that the third insulator ring has a collar which projects into the opening of the mating surface in order to center the flange with respect to the opening and to electrically isolate it from the opening. This embodiment is particularly advantageous in cooperation with a flange which has an extension which projects into the opening.

Dabei können der Innendurchmesser des Kragens und der Außendurchmesser des Fortsatzes beispielsweise annähernd gleich groß gewählt werden, so dass der Kragen am Fortsatz anliegt. Weiter können der Außendurchmesser des Kragens und der Innendurchmesser der Öffnung beispielsweise annähernd gleich groß gewählt werden, so dass der Kragen an der Öffnung anliegt.In this case, the inner diameter of the collar and the outer diameter of the extension, for example, be chosen approximately equal, so that the collar rests on the extension. Further, the outer diameter of the collar and the inner diameter of the opening, for example, be chosen approximately equal, so that the collar rests against the opening.

Nachfolgend wird die Erfindung anhand eines Ausführungsbeispiels und zugehöriger Zeichnungen näher erläutert. Dabei zeigenThe invention will be explained in more detail with reference to an embodiment and associated drawings. Show

1 eine dreidimensionale Darstellung der Kühlmitteldurchführung gemäß Ausführungsbeispiel, und 1 a three-dimensional view of the coolant duct according to embodiment, and

2 eine Schnittdarstellung des Ausführungsbeispiels gemäß 1 im montierten Zustand. 2 a sectional view of the embodiment according to 1 in the assembled state.

Die Kühlmitteldurchführung umfasst einen Flansch 1 mit Befestigungsbohrungen 13 für Befestigungsmittel 4 und zwei Durchleitungsbohrungen 14 für die Durchleitung von Kühlmittel. Jede Durchleitungsbohrung 14 weist auf jeder Seite des Flansches 1 je einen Kühlmittelanschluss 16 auf. Auf der Vakuumseite handelt es sich dabei um einen angeschweißten Rohrstutzen mit einer Swagelock VCO-Verbindung und auf der Atmosphärenseite um einen eingeschraubten Gewinde-Doppelnippel, auf den eine Schlauchtülle mit Überwurfmutter geschraubt ist.The coolant passage comprises a flange 1 with mounting holes 13 for fasteners 4 and two feed-through holes 14 for the passage of coolant. Every passage bore 14 points to each side of the flange 1 one coolant connection each 16 on. On the vacuum side, this is a welded-on pipe socket with a Swagelock VCO connection and, on the atmosphere side, a threaded double nipple screwed in, onto which a hose nozzle with a union nut is screwed.

Der Flansch 1 weist eine Anschlussfläche 11 zur Anbringung des Flansches 1 an einer eine Öffnung 32 umschließenden Gegenfläche 31 auf. Die Gegenfläche 31 ist eine Fläche einer Kammerwand 3 einer Vakuumbehandlungsanlage, die eine Öffnung 32 aufweist, durch die das Kühlmittel geleitet wird und die durch den Flansch 1 verschlossen wird.The flange 1 has a connection surface 11 for attaching the flange 1 at one an opening 32 enclosing counterface 31 on. The counter surface 31 is an area of a chamber wall 3 a vacuum treatment plant, which has an opening 32 through which the coolant is passed and through the flange 1 is closed.

In den Befestigungsbohrungen 13 sind Isolatorhülsen 24 angeordnet, an der Anschlussfläche 11 ist ein erster Isolatorring 21 und an der der Anschlussfläche 11 gegenüberliegenden Verschraubungsfläche 12 ist ein zweiter Isolatorring 22 angeordnet. Der erste Isolatorring 21 und der zweite Isolatorring 22 erstrecken sich auf ihrer jeweiligen Seite des Flansches 1 über die Befestigungsbohrungen 13 und weisen Bohrungen auf, die mit den Befestigungsbohrungen 13 des Flansches 1 korrespondieren.In the mounting holes 13 are insulator sleeves 24 arranged, at the connection surface 11 is a first isolator ring 21 and at the pad 11 opposite screwing surface 12 is a second insulator ring 22 arranged. The first insulator ring 21 and the second insulator ring 22 extend on their respective side of the flange 1 over the mounting holes 13 and have holes that with the mounting holes 13 of the flange 1 correspond.

Auf dem an der Verschraubungsfläche 12 angeordneten zweiten Isolatorring 22 ist ein Druckring 25 angeordnet, der ebenfalls mit den Bohrungen des ersten Isolatorrings 21, den Bohrungen des zweiten Isolatorrings 22 und den Befestigungsbohrungen 13 des Flansches 1 korrespondierende Bohrungen aufweist, so dass die Befestigungsmittel 4, die im Ausführungsbeispiel als Inbus-Schrauben ausgeführt sind, durch die übereinanderliegenden Bohrungen von Flansch 1, erstem Isolatorring 21, zweitem Isolatorring 22 und Druckring 25 gesteckt werden können.On the at the screwing surface 12 arranged second insulator ring 22 is a pressure ring 25 arranged, which also with the holes of the first insulator ring 21 , the holes of the second insulator ring 22 and the mounting holes 13 of the flange 1 has corresponding holes, so that the fastening means 4 , Which are designed in the embodiment as Allen screws, through the superimposed holes of flange 1 , first insulator ring 21 , second insulator ring 22 and pressure ring 25 can be plugged.

An der Anschlussfläche 11 des Flansches 1 sind weiterhin ein dritter Isolatorring 23, dessen Außendurchmesser geringer ist als der Innendurchmesser des ersten Isolatorrings 21, und in dem zwischen dem ersten Isolatorring 21 und dem dritten Isolatorring 23 gebildeten Spalt ist ein Dichtring 26 angeordnet, der durch die Anschlussfläche 11 des Flansches 1 auf die Gegenfläche 31 gepresst wird.At the connection surface 11 of the flange 1 are still a third insulator ring 23 , whose outer diameter is smaller than the inner diameter of the first insulator ring 21 , and in between the first insulator ring 21 and the third insulator ring 23 formed gap is a sealing ring 26 Arranged by the connection surface 11 of the flange 1 on the opposite surface 31 is pressed.

Der Flansch 1 ist an einer Kammerwand 3 einer Vakuumanlage über einer Öffnung 32 angebracht, die durch den Flansch 1 verschlossen wird, und der Flansch 1 weist auf seiner der Gegenfläche 31 zugewandten Seite einen in die Öffnung 32 der Gegenfläche 31 ragenden Fortsatz 15 auf.The flange 1 is on a chamber wall 3 a vacuum system over an opening 32 attached by the flange 1 is closed, and the flange 1 indicates on its counter surface 31 one side facing into the opening 32 the counter surface 31 protruding extension 15 on.

Der dritte Isolatorring 23 weist einen Kragen K auf, der in die Öffnung 32 der Gegenfläche 31 hineinragt, um den Flansch 1 bezüglich der Öffnung 32 zu zentrieren und von der Öffnung 32 elektrisch zu isolieren. Der Innendurchmesser des Kragens K und der Außendurchmesser des Fortsatzes 15 sind annähernd gleich groß, so dass der Kragen K am Fortsatz 15 anliegt, und der Außendurchmesser des Kragens K und der Innendurchmesser der Öffnung 32 sind ebenfalls annähernd gleich groß, so dass der Kragen K an der Öffnung 32 anliegt.The third isolator ring 23 has a collar K, which in the opening 32 the counter surface 31 protrudes to the flange 1 concerning the opening 32 to center and from the opening 32 electrically isolate. The inner diameter of the collar K and the outer diameter of the extension 15 are approximately the same size, so that the collar K on the extension 15 is applied, and the outer diameter of the collar K and the inner diameter of the opening 32 are also approximately the same size, so that the collar K at the opening 32 is applied.

BezugszeichenlisteLIST OF REFERENCE NUMBERS

11
Flanschflange
1111
Anschlussflächeterminal area
1212
VerschraubungsflächeScrew plate
1313
Befestigungsbohrungmounting hole
1414
DurchleitungsbohrungPassing hole
1515
Fortsatzextension
1616
KühlmittelanschlussCoolant connection
2121
erster Isolatorringfirst insulator ring
2222
zweiter Isolatorringsecond insulator ring
2323
dritter Isolatorringthird insulator ring
KK
Kragencollar
2424
Isolatorhülseinsulator sleeve
2525
Druckringpressure ring
2626
Dichtringseal
33
Kammerwandchamber wall
3131
Gegenflächecounter surface
3232
Öffnungopening
44
Befestigungsmittelfastener

Claims (6)

Kühlmitteldurchführung für Vakuumanlagen, umfassend einen Flansch (1) mit Befestigungsbohrungen (13) für Befestigungsmittel (4), mindestens einer Durchleitungsbohrung (14) für die Durchleitung von Kühlmittel mit je einem auf jeder Seite des Flansches (1) angeordneten Kühlmittelanschluss (16) sowie einer Anschlussfläche (11) zur Anbringung des Flansches (1) an einer eine Öffnung (32) umschließenden Gegenfläche (31), wobei in den Befestigungsbohrungen (13) Isolatorhülsen (24) angeordnet sind, an der Anschlussfläche (11) ein erster Isolatorring (21) und an der der Anschlussfläche (11) gegenüberliegenden Verschraubungsfläche (12) ein zweiter Isolatorring (22) angeordnet sind, die sich über die Befestigungsbohrungen (13) erstrecken und mit diesen korrespondierende Bohrungen aufweisen, wobei auf dem an der Verschraubungsfläche (12) angeordneten zweiten Isolatorring (22) ein Druckring (25) angeordnet ist, der ebenfalls mit den Befestigungsbohrungen (13) des Flansches (1) korrespondierende Bohrungen aufweist und wobei an der Anschlussfläche (11) des Flansches (1) oder an dem an der Anschlussfläche (11) angeordneten ersten Isolatorring (21) ein Dichtring (26) angeordnet ist.Coolant feedthrough for vacuum systems, comprising a flange ( 1 ) with mounting holes ( 13 ) for fasteners ( 4 ), at least one passage bore ( 14 ) for the passage of coolant, one on each side of the flange ( 1 ) arranged coolant connection ( 16 ) and a pad ( 11 ) for mounting the flange ( 1 ) at an opening ( 32 ) enclosing counterface ( 31 ), wherein in the mounting holes ( 13 ) Insulator sleeves ( 24 ) are arranged on the connection surface ( 11 ) a first insulator ring ( 21 ) and at the pad ( 11 ) opposite screwing surface ( 12 ) a second insulator ring ( 22 ) are arranged, which extend over the mounting holes ( 13 ) and having with these corresponding holes, wherein on the at the Verschraubungsfläche ( 12 ) arranged second insulator ring ( 22 ) a pressure ring ( 25 ), which also with the mounting holes ( 13 ) of the flange ( 1 ) has corresponding bores and wherein at the connection surface ( 11 ) of the flange ( 1 ) or at the at the interface ( 11 ) arranged first insulator ring ( 21 ) a sealing ring ( 26 ) is arranged. Kühlmitteldurchführung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass der Flansch (1) auf seiner der Öffnung (32) der Gegenfläche (31) zugewandten Seite einen in die Öffnung (32) ragenden Fortsatz aufweist.Coolant feedthrough according to claim 1, characterized in that the flange ( 1 ) on its opening ( 32 ) of the counter surface ( 31 ) facing side into the opening ( 32 ) has protruding extension. Kühlmitteldurchführung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass der an der Anschlussfläche (11) des Flansches (1) angeordnete erste Isolatorring (21) auf seiner der Gegenfläche (31) zugewandten Seite eine Nut aufweist und der Dichtring (26) in der Nut angeordnet ist.Coolant feedthrough according to claim 1 or 2, characterized in that at the connection surface ( 11 ) of the flange ( 1 ) arranged first insulator ring ( 21 ) on its counter surface ( 31 ) facing side has a groove and the sealing ring ( 26 ) is arranged in the groove. Kühlmitteldurchführung nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, dass der erste Isolatorring (21) einen Kragen (K) aufweist, der in die Öffnung (32) der Gegenfläche (31) hineinragt, um den Flansch (1) bezüglich der Öffnung (32) zu zentrieren und von der Öffnung (32) elektrisch zu isolieren.Coolant feedthrough according to one of claims 1 to 3, characterized in that the first insulator ring ( 21 ) has a collar (K) which in the opening ( 32 ) of the counter surface ( 31 ) protrudes around the flange ( 1 ) with respect to the opening ( 32 ) and from the opening ( 32 ) electrically isolate. Kühlmitteldurchführung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass an der Anschlussfläche (11) des Flansches (1) ein dritter Isolatorring (23) angeordnet ist, dessen Außendurchmesser geringer ist als der Innendurchmesser des ersten Isolatorrings (21), und der Dichtring (26) zwischen dem ersten Isolatorring (21) und dem dritten Isolatorring (23) angeordnet ist.Coolant feedthrough according to claim 1 or 2, characterized in that at the connection surface ( 11 ) of the flange ( 1 ) a third insulator ring ( 23 ) is arranged, whose outer diameter is smaller than the inner diameter of the first insulator ring ( 21 ), and the sealing ring ( 26 ) between the first insulator ring ( 21 ) and the third isolator ring ( 23 ) is arranged. Kühlmitteldurchführung nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, dass der dritte Isolatorring (23) einen Kragen (K) aufweist, der in die Öffnung (32) der Gegenfläche (31) hineinragt, um den Flansch (1) bezüglich der Öffnung (32) zu zentrieren und von der Öffnung (32) elektrisch zu isolieren.Coolant feedthrough according to claim 5, characterized in that the third insulator ring ( 23 ) has a collar (K) which in the opening ( 32 ) of the counter surface ( 31 ) protrudes around the flange ( 1 ) with respect to the opening ( 32 ) and from the opening ( 32 ) electrically isolate.
DE201110017617 2011-04-27 2011-04-27 Coolant feedthrough for vacuum plants, comprises a flange with mounting holes for a fastener, a transmission hole for transmitting a coolant having a coolant terminal arranged on each side of the flange, and a terminal area Expired - Fee Related DE102011017617B3 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE201110017617 DE102011017617B3 (en) 2011-04-27 2011-04-27 Coolant feedthrough for vacuum plants, comprises a flange with mounting holes for a fastener, a transmission hole for transmitting a coolant having a coolant terminal arranged on each side of the flange, and a terminal area

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE201110017617 DE102011017617B3 (en) 2011-04-27 2011-04-27 Coolant feedthrough for vacuum plants, comprises a flange with mounting holes for a fastener, a transmission hole for transmitting a coolant having a coolant terminal arranged on each side of the flange, and a terminal area

Publications (1)

Publication Number Publication Date
DE102011017617B3 true DE102011017617B3 (en) 2012-09-06

Family

ID=46671568

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE201110017617 Expired - Fee Related DE102011017617B3 (en) 2011-04-27 2011-04-27 Coolant feedthrough for vacuum plants, comprises a flange with mounting holes for a fastener, a transmission hole for transmitting a coolant having a coolant terminal arranged on each side of the flange, and a terminal area

Country Status (1)

Country Link
DE (1) DE102011017617B3 (en)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR3108271A1 (en) * 2020-03-18 2021-09-24 Psa Automobiles Sa ASSEMBLY SHAPED BY A HYDRAULIC CIRCUIT AND A VEHICLE STRUCTURE INCLUDING A HYDRAULIC CONNECTION

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3226467A (en) * 1960-09-28 1965-12-28 Heraeus Gmbh W C Double-walled ultra-high vacuum vessel defining a work chamber
DE8322179U1 (en) * 1983-08-01 1983-12-01 Dsd Dillinger Stahlbau Gmbh, 6630 Saarlouis CONNECTING PIECE OF A DISTRICT HEATING PIPE AT THE ENTRANCE IN A BUILDING
DE102005038845A1 (en) * 2005-08-17 2007-03-15 Deutsches Elektronen-Synchrotron Desy Vacuum container wall element with a lead performed

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3226467A (en) * 1960-09-28 1965-12-28 Heraeus Gmbh W C Double-walled ultra-high vacuum vessel defining a work chamber
DE8322179U1 (en) * 1983-08-01 1983-12-01 Dsd Dillinger Stahlbau Gmbh, 6630 Saarlouis CONNECTING PIECE OF A DISTRICT HEATING PIPE AT THE ENTRANCE IN A BUILDING
DE102005038845A1 (en) * 2005-08-17 2007-03-15 Deutsches Elektronen-Synchrotron Desy Vacuum container wall element with a lead performed

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR3108271A1 (en) * 2020-03-18 2021-09-24 Psa Automobiles Sa ASSEMBLY SHAPED BY A HYDRAULIC CIRCUIT AND A VEHICLE STRUCTURE INCLUDING A HYDRAULIC CONNECTION

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE3787068T2 (en) Moisture-proof seal for coaxial connectors.
EP2941798A1 (en) Environmentally sealed plug connector housing
DE102016114577A1 (en) Device and method for cable passage through a wall breakthrough
DE102016108314A1 (en) Umspritz adapter
DE202014103822U1 (en) Cap for a sensor housing and sensor set
DE202005005297U1 (en) Cable bushing device
DE102006062609A1 (en) Cable feedthrough and/or insertion component for mechanical sealing and/or clamping and electrical shielding and/or conducting in e.g. breathable or non-breathable cable, has sections sealing and/or clamping, conducting and shielding cable
WO2018138108A1 (en) Cable bushing having shielding and sealing properties
DE102011017617B3 (en) Coolant feedthrough for vacuum plants, comprises a flange with mounting holes for a fastener, a transmission hole for transmitting a coolant having a coolant terminal arranged on each side of the flange, and a terminal area
EP0908995B1 (en) Cable gland for shielded cable
EP3175520A1 (en) Electrode element
DE102013212725A1 (en) Fluid-carrying system with cathodic corrosion protection
DE60216087T2 (en) DEVICE FOR PERFORMING A LINE OR THE EQUIVALENT THROUGH A BUILDING ELEMENT
DE2212656C3 (en) Quick coupling for a combined air and voice connection to a gas protective suit
DE10145900A1 (en) Contact connection of gas-insulated panels in switchgear
DE202016102392U1 (en) Umspritzadapter
DE202014007497U1 (en) Grommet device
DE102012006786B4 (en) Device for passing a strand through a metal sheet
DE2230740A1 (en) RING SEAL FOR CONNECTIONS TO PIPES, FITTINGS AND THE LIKE
DE202019101084U1 (en) connecting device
DE10128851A1 (en) Tube Fitting
DE29611451U1 (en) Connection element for connecting an electrically conductive shielding jacket with a screw connection
EP0974172B1 (en) Device for fixing electrical lines
DE102019127201B3 (en) System of connector and device
DE3300328A1 (en) Double non-return valve, preferably for fully-insulated switching systems filled with sulphur hexafluoride

Legal Events

Date Code Title Description
R012 Request for examination validly filed
R016 Response to examination communication
R018 Grant decision by examination section/examining division
R006 Appeal filed
R007 Decision rectified on appeal
R018 Grant decision by examination section/examining division
R020 Patent grant now final

Effective date: 20121207

R082 Change of representative

Representative=s name: PATENTANWAELTE LIPPERT, STACHOW & PARTNER, DE

R081 Change of applicant/patentee

Owner name: VON ARDENNE GMBH, DE

Free format text: FORMER OWNER: VON ARDENNE ANLAGENTECHNIK GMBH, 01324 DRESDEN, DE

Effective date: 20140922

R082 Change of representative

Representative=s name: PATENTANWAELTE LIPPERT, STACHOW & PARTNER, DE

Effective date: 20140922

R119 Application deemed withdrawn, or ip right lapsed, due to non-payment of renewal fee