DE102015011552A1 - Verfahren und Anordnung zur Lichteinkopplung in ein Multifokales Konfokalmikroskop - Google Patents
Verfahren und Anordnung zur Lichteinkopplung in ein Multifokales Konfokalmikroskop Download PDFInfo
- Publication number
- DE102015011552A1 DE102015011552A1 DE102015011552.9A DE102015011552A DE102015011552A1 DE 102015011552 A1 DE102015011552 A1 DE 102015011552A1 DE 102015011552 A DE102015011552 A DE 102015011552A DE 102015011552 A1 DE102015011552 A1 DE 102015011552A1
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- light
- optics
- multifocal
- pinhole
- coupling
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
- 230000008878 coupling Effects 0.000 title claims description 10
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 title claims description 10
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 title claims description 10
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 6
- 239000000835 fiber Substances 0.000 claims abstract description 24
- 238000007493 shaping process Methods 0.000 claims abstract description 10
- 230000005855 radiation Effects 0.000 claims abstract description 6
- 230000001427 coherent effect Effects 0.000 claims abstract description 4
- 230000006978 adaptation Effects 0.000 claims description 2
- 230000005284 excitation Effects 0.000 abstract description 17
- 238000005286 illumination Methods 0.000 abstract description 9
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 abstract description 3
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 abstract description 2
- BUHVIAUBTBOHAG-FOYDDCNASA-N (2r,3r,4s,5r)-2-[6-[[2-(3,5-dimethoxyphenyl)-2-(2-methylphenyl)ethyl]amino]purin-9-yl]-5-(hydroxymethyl)oxolane-3,4-diol Chemical compound COC1=CC(OC)=CC(C(CNC=2C=3N=CN(C=3N=CN=2)[C@H]2[C@@H]([C@H](O)[C@@H](CO)O2)O)C=2C(=CC=CC=2)C)=C1 BUHVIAUBTBOHAG-FOYDDCNASA-N 0.000 description 1
- 230000001419 dependent effect Effects 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 210000002257 embryonic structure Anatomy 0.000 description 1
- 210000003527 eukaryotic cell Anatomy 0.000 description 1
- 230000010354 integration Effects 0.000 description 1
- 239000013307 optical fiber Substances 0.000 description 1
- 238000005457 optimization Methods 0.000 description 1
- 210000001236 prokaryotic cell Anatomy 0.000 description 1
- 238000001228 spectrum Methods 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B21/00—Microscopes
- G02B21/06—Means for illuminating specimens
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B21/00—Microscopes
- G02B21/0004—Microscopes specially adapted for specific applications
- G02B21/002—Scanning microscopes
- G02B21/0024—Confocal scanning microscopes (CSOMs) or confocal "macroscopes"; Accessories which are not restricted to use with CSOMs, e.g. sample holders
- G02B21/0032—Optical details of illumination, e.g. light-sources, pinholes, beam splitters, slits, fibers
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Microscoopes, Condenser (AREA)
Abstract
Multifokale Konofalmikroskope nutzen häufig eine Mikrolinsenscheibe 11, um einen möglichst großen Anteil des aus einer Monomodenfaser 7 austretenden Anregungslichtes 10 durch eine Lochblendenscheibe 12 zu transmittieren. Das gaußförmige Intensitätsprofil, der Monomodenfaser 7 erlaubt keine homogene Ausleuchtung der Probenebene. Eine Lösung ist die Verwendung von Multimodefasern 7, was jedoch zu erhöhten Streuverlusten an der Lochblendenscheibe 12 und damit zu verringertem Signal zu Rausch Verhältnis des führt. Eine homogene Probenausleuchtung eines Multifokalen Konfokalmikroskops bei gleichzeitiger Minimierung der Streuverluste an der Lochblendenscheibe 12 soll erreicht werden. Eine achromatische refraktive Strahlformungsoptik 21a–c wird zwischen der kohärenten Strahlungsquelle 1 und der Mikrolinsenscheibe 11 platziert. Hierdurch wird die Einfallende Intensitätsverteilung des Anregungslichtes 10 in eine radial rechteckförmige Intensitätsverteilung umgewandelt. Zum anderen wird die Phasenfront so geformt, dass das Anregungslicht 10 kollimiert auf die Mikrolinsenscheibe 11 auftrifft. Dadurch ergeben sich minimale Streuverluste an der Lochblendenscheibe bei homogener Ausleuchtung der Probenebene. Die Anordnung erlaubt hochauflösende Aufnahmen ausgedehnter mikroskopischer Präparate bei minimaler Varianz der Bildhelligkeit über das Sehfeld und maximalem Signal zu Rausch Verhältnis.
Description
- Es ist bekannt, dass die Bildaufnahme eines konfokalen Mikroskops durch Verwendung einer Lochblendenscheibe statt einer einzelnen Lochblende beschleunigt werden kann (
EP 03 20 760 B1 ). Die in der Probenebene erreichbare Intensität des Anregungslichts solcher gemultiplexten konfokalen Systeme kann durch Verwendung einer zur Lochblendenscheibe konjugierten Fokussierungsoptik gesteigert werden (EP 05 39 691 B1 ,EP 13 59 452 B1 ,EP 18 52 724 A3 ,DE 10 2007 009 551 B3 ). - Eine weit verbreitete Ausgestaltung eines oben beschriebenen Multifokalen Konfokalmikroskops nutzt eine zur Lochblendenscheibe konjugierte Mikrolinsenscheibe, welche das in das Konfokalmikroskop einfallende Anregungslicht in den Öffnungen der Lochblendenscheibe fokussiert (
EP 0 539 691 B1 ,US5717519 ). Verbreitete Realisierungen der eben genannten Anordnung werden derzeit vom Hersteller Yokogawa Electric Corp. unter den Produktnamen CSU-10, CSU-22, CSU-X1 und CSU-W1 produziert. -
1 zeigt den schematischen Aufbau eines Multifokalen Konfokalmikroskops. Das aus einer oder mehreren kohärenten Strahlungsquellen1 emittierte Licht wird über ein Teleskop vom Galilei-Typ, bestehend aus Linsen2 und3 , über Strahlvereinigungsspiegel4 durch eine Faserkopplungsoptik5 geleitet und in das Faserende6 eines Lichtwellenleiters7 eingespeist. Das aus dem distalen Faserende8 austretende Licht wird über eine Kollimatoroptik9 als Anregungslichtstrahl auf die Mikrolinsenscheibe11 geleitet, welche das Licht in die konjugierten Löcher innerhalb der Lochblendenscheibe12 fokussiert. Eine nachgelagerte Mikroskopoptik13 , in der Regel bestehend aus Tubuslinse und Mikroobjektiv, bildet die Lochblendenscheibe in der Probenebene14 ab. Das aus den multiplen Fokuspunkten in der Probenebene14 reflektierte und/oder emittierte Licht15 wird durch die Mikroskopoptik13 gebündelt, an einem Strahlteilerspiegel16 reflektiert und über eine Abbildungsoptik17 auf einem Sensor18 , üblicherweise einer CCD, EMCCD oder sCMOS Kamera, detektiert. Durch Rotation der Anordnung aus Mikrolinsenscheibe11 und Lochblendenscheibe12 um die gemeinsame Achse19 wird das Bild der Probenebene sequenziell erstellt. Typische Bildaufnahmezeiten liegen hierbei zwischen 0,5 ms und 100 ms. - Um eine optimale Fokussierung des Anregungslichtes
10 durch die Öffnungen Lochblendenscheibe zu erreichen, wird in den oben beschriebenen Multifokalen Konfokalmikroskopen eine Monomodenfaser als Lichtwellenleiter7 verwendet. Das aus der Monomodenfaser am distalen Ende austretende Licht weist ein gaußförmiges Intensitätsprofil auf und kann über eine Kollimatoroptik9 aufgeweitet und mit minimaler Verzerrung der Phasenfront des einfallenden Lichtes auf die Mikrolinsenscheibe11 geleitet werden. Wie in2 schematisch dargestellt, erlaubt die so erreichte minimale Divergenz des auf auf die Mikrolinsenscheibe11 treffenden Anregungslichtes10 eine nahezu Beugungsbegrenzte Fokussierung, wodurch maximaler Lichtdurchsatz und minimale Rückreflexionen erreicht werden. Das resultierende Intensitätsprofil20 nach der Lochblendenscheibe12 ist radial gaußförmig, wodurch keine gleichförmige Probenausleuchtung möglich ist. - Um eine gleichförmige Probenausleuchtung zu erreichen ist es möglich, statt einer Monomodenfaser eine Multimodefaser zu verwenden (EB 2 196 839 B1,
EP2010 08 35 346 10 weist eine höhere Etendue auf als Licht, das aus einer Monomodenfaser austritt, was mit einer nicht-ebenen Phasenfront des auf die Mikrolinsenscheibe11 treffenden Lichtes gleichzusetzen ist. In3 ist dies durch divergentes Anregungslicht10 schematisch dargestellt. Hierdurch ergibt sich eine Aufweitung der Fokuspunkte der Mikrolinsenscheibe11 . Dies führt zu erhöhter Reflexion des Lichtes an der Lochblendenscheibe, was eine reduzierte Lichtleistung in der Probenebene14 und eine erhöhte Streulichterzeugung bewirkt. Beide Effekte tragen zu einer Verringerung des auf dem Sensor18 detektierten Signal zu Rausch Verhältnisses bei. - Der in den Patentansprüchen 1 und 2 angegebenen Erfindung liegt das Problem zu Grunde, in einem Multifokalen Konfokalmikroskop eine gleichförmige Probenausleuchtung über einen möglichst weiten Wellenlängenbereich bei minimaler Rückreflexion des Anregungslichtes an der Lochblendenscheibe zu erreichen.
- Dieses Problem wird durch die im Patentanspruch 1 aufgeführten Merkmale gelöst. Die Verwendung eines refraktiven Strahlformungssystems
21a –c, das zwischen dem distalen Ende einer Monomodenfaser und einer Mikrolinsenscheibe11 integriert wird, erlaubt eine Verbesserung der Gleichförmigkeit der Probenausleuchtung bei minimaler Reflexion des Anregungslichtes10 . - Die mit der Erfindung erzielten Vorteile bestehen insbesondere darin, dass Reflexionen an der Lochblendenscheibe minimiert werden können, jedoch gleichzeitig eine homogene Probenausleuchtung möglich wird. Dies erlaubt hochauflösende Aufnahmen ausgedehnter mikroskopischer Präparate bei minimaler Varianz der Bildhelligkeit über das Sehfeld und maximalem Signal zu Rausch Verhältnis. Die Anwendungsgebiete der Erfindung sind im Speziellen Lichtmikroskopische Analysen von Proben, die sich mindestens über ein Sehfeld der Kamera/Objektivkombination erstrecken. Beispiele für Proben sind unter anderem Gewebeschnitte, Embryonen von Modellorganismen oder Biofilme aus Pro- oder Eukaryontischen Zellen, die in zunehmendem Maße in der pharmazeutischen und biowissenschaftlichen Forschung untersucht werden.
- Eine vorteilhafte Ausgestaltung der Erfindung ist im Patentanspruch 2 gegeben und in
6 dargestellt. Die Weiterbildung nach Anspruch 2 ermöglicht es, Kopplungsverluste in eine Monomodenfaser zu vermeiden und durch geeignete Vorformung des Lichtstrahlprofils die Lichteffizienz des Gesamtsystems zu erhöhen. - Eine weitere vorteilhafte Ausgestaltung der Erfindung ist im Patentanspruch 3 gegeben und in
6 dargestellt. Durch Nutzung einer Teleskopoptik22a –b kann die Ausleuchtung in der Probenebene14 dem von einem Sensor18 detektierten Sehfeld angepasst werden. - Es zeigen
-
1 Ein Schema eines Multifokalen Konfokalsystems gemäß dem Stand der Technik -
2 Ein Schema zur Fokussierung des aus einer Monomodenfaser tretenden Anregungslichtes durch die Lochblendenscheibe gemäß dem Stand der Technik -
3 Ein Schema zur Fokussierung des aus einer Multimodefaser tretenden Anregungslichtes durch die Lochblendenscheibe gemäß dem Stand der Technik -
4 Ein Schema des Ausführungsbeispiels zur Fokussierung des Anregungslichtes durch die Lochblendenscheibe bei Verwendung einer refraktiven Strahlformungsoptik. -
5 Ein Ausführungsbeispiel eines Multifokalen Konfokalsystems bei Verwendung einer refraktiven Strahlformungsoptik. -
6 Vorteilhafte Ausgestaltungen eines Multifokalen Konfokalsystems bei Verwendung einer refraktiven Strahlformungsoptik: Direkte Einkopplung der kohärenten Lichtquelle ohne vorherige Einkopplung in eine Monomodenfaser, sowie Integration einer Teleskopoptik zur Anpassung des beleuchteten Bereichs in der Probenebene. - Ein Ausführungsbeispiel der Erfindung ist in
4 dargestellt. Das aus dem distalen Ende8 einer Monomodenfaser7 tretende Licht trifft nach Durchtritt durch die Kollimatorlinse9 auf eine Linsengruppe21a mit einer asphärischen Oberfläche und negativer Brennweite. Die asphärische Oberflächenform der Linse21a führt zu einer Störung der Wellenfront, welche durch eine entsprechend optimierte asphärische Oberflächenform der Linse21c derart korrigiert wird, dass bei gegebener Lichtverteilung auf der faserzugewandten Seite der Linse21a ein nahezu rechteckförmiges Intensitätsprofil unter Beibehaltung einer ebenen Wellenfront, dargestellt durch unidirektionale Lichtpfeile des Anregungslichtes10 erreicht wird. Dies erlaubt eine optimale Fokussierung des Anregungslichtes10 durch die Mikrolinsenscheibe11 , wodurch Reflexionen an der Lochblendenscheibe12 minimiert werden. - Die Optimierung der Oberflächenform, wie auch die Wahl Brechungsindizes der Linsen
21a ,21b und21c kann abhängig vom verwendeten Wellenlängenbereich erfolgen und erstreckt sich vom ultravioletten bis in den infraroten Bereich des Wellenlängenspektrums (Fred M Dickey, Laser Beam Shaping – Theory and Techniques, Second Edition, 2 Rev ed. Boca Raton, Fla: CRC Press, 2014). - ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG
- Diese Liste der vom Anmelder aufgeführten Dokumente wurde automatisiert erzeugt und ist ausschließlich zur besseren Information des Lesers aufgenommen. Die Liste ist nicht Bestandteil der deutschen Patent- bzw. Gebrauchsmusteranmeldung. Das DPMA übernimmt keinerlei Haftung für etwaige Fehler oder Auslassungen.
- Zitierte Patentliteratur
-
- EP 0320760 B1 [0001]
- EP 0539691 B1 [0001, 0002]
- EP 1359452 B1 [0001]
- EP 1852724 A3 [0001]
- DE 102007009551 B3 [0001]
- US 5717519 [0002]
- EP 20100835346 [0005]
- Zitierte Nicht-Patentliteratur
-
- Fred M Dickey, Laser Beam Shaping – Theory and Techniques, Second Edition, 2 Rev ed. Boca Raton, Fla: CRC Press, 2014 [0019]
Claims (6)
- Verfahren zur homogenen Ausleuchtung der Probenebene eines Multifokalen Konfokalmikroskops, gekennzeichnet durch: a) Lichteinkopplung aus einem kohärenten Strahlungsquellenmodul in eine Monomodenfaser, b) Kollimation des aus der Monomodenfaser ankommenden Lichts, c) Formung des kollimierten Lichts mittels eines refraktiven achromatischen Strahlformungsmoduls zur Erreichung einer Lichtverteilung mit radial rechteckförmiger oder konkaver Intensitätsverteilung und ebener Phasenfront, d) Fokussierung des geformten Lichtes durch eine Lochblendenscheibe, e) Abbildung der Lochblendenscheibe in die Probenebene eines Mikroskopes.
- Verfahren nach Anspurch 1, wobei das Strahlungsquellenmodul ohne vorherige Kopplung in eine Monomodenfaser in das refraktive Strahlformungsmodul gekoppelt wird.
- Verfahren nach Anspurch 1 oder 2, wobei mittels einer Teleskopoptik eine Anpassung des Querschnittes des auf die Multifokal-Optik treffenden Lichtstrahls an das von einem Sensor detektierte Sehfeld durchgeführt wird.
- Anordnung, umfassend: a) Multifokales Konfokamikroskop, b) Strahlungsquellenmodul, c) Einkoppeloptik zur Kopplung des aus dem Strahlungsquellenmodul kommenden Lichts in eine Monomodenfaser, d) Kollimatoroptik zur Anpassung des aus der Monomodenfaser emittierten Lichtstrahldurchmessers an das Strahlformungsmodul, e) Refraktives Strahlformungsmodul zur Umwandlung des von der Kollimatoroptik emittierten Lichtstrahls in einen Lichtstrahl mit radial rechteckförmigem Intensitätsprofil, welcher auf den Mikrolinsenarray des Multifokalen Konfokalmikroskps trifft.
- Anordnung nach Anspruch 4, wobei Einkoppeloptik, Monomodenfaser und Kollimatoroptik entfallen.
- Anordnung nach Anspruch 4 oder 5, wobei zwischen refraktivem achromatischem Strahlformungsmodul und Multifokaloptik eine Teleskopoptik integriert wird.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE102015011552.9A DE102015011552A1 (de) | 2015-09-02 | 2015-09-02 | Verfahren und Anordnung zur Lichteinkopplung in ein Multifokales Konfokalmikroskop |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE102015011552.9A DE102015011552A1 (de) | 2015-09-02 | 2015-09-02 | Verfahren und Anordnung zur Lichteinkopplung in ein Multifokales Konfokalmikroskop |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE102015011552A1 true DE102015011552A1 (de) | 2017-03-02 |
Family
ID=58010997
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE102015011552.9A Withdrawn DE102015011552A1 (de) | 2015-09-02 | 2015-09-02 | Verfahren und Anordnung zur Lichteinkopplung in ein Multifokales Konfokalmikroskop |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
DE (1) | DE102015011552A1 (de) |
Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP0320760B1 (de) | 1987-12-14 | 1994-05-04 | Baker Hughes Incorporated | Konfokales Mikroskop mit Tandemabtastvorrichtung mit reflektiertem Licht |
EP0539691B1 (de) | 1991-10-31 | 1997-10-15 | Yokogawa Electric Corporation | Nipkowscheibe für konfokalen optischen Scanner |
US5717519A (en) | 1995-07-13 | 1998-02-10 | Yokogawa Electric Corporation | Confocal microscope |
EP0835346A1 (de) | 1995-06-29 | 1998-04-15 | Minnesota Mining And Manufacturing Company | Senkrechte retroreflektierende strassenleitbake mit grossem bereich |
EP1359452B1 (de) | 2002-05-03 | 2006-05-03 | Max-Planck-Gesellschaft zur Förderung der Wissenschaften e.V. | Konfokales Mikroskop mit zwei Mikrolinsenarrays und einem Lochblendenarray |
EP1852724A2 (de) | 2006-05-05 | 2007-11-07 | VisiTech International Ltd. | Konfokales Laser-Scanning-Mikroskop und Verfahren zur Verbesserung der Bildqualität bei einem solchen Mikroskop |
DE102007009551B3 (de) | 2007-02-27 | 2008-08-21 | Ludwig-Maximilian-Universität | Vorrichtung für die konfokale Beleuchtung einer Probe |
-
2015
- 2015-09-02 DE DE102015011552.9A patent/DE102015011552A1/de not_active Withdrawn
Patent Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP0320760B1 (de) | 1987-12-14 | 1994-05-04 | Baker Hughes Incorporated | Konfokales Mikroskop mit Tandemabtastvorrichtung mit reflektiertem Licht |
EP0539691B1 (de) | 1991-10-31 | 1997-10-15 | Yokogawa Electric Corporation | Nipkowscheibe für konfokalen optischen Scanner |
EP0835346A1 (de) | 1995-06-29 | 1998-04-15 | Minnesota Mining And Manufacturing Company | Senkrechte retroreflektierende strassenleitbake mit grossem bereich |
US5717519A (en) | 1995-07-13 | 1998-02-10 | Yokogawa Electric Corporation | Confocal microscope |
EP1359452B1 (de) | 2002-05-03 | 2006-05-03 | Max-Planck-Gesellschaft zur Förderung der Wissenschaften e.V. | Konfokales Mikroskop mit zwei Mikrolinsenarrays und einem Lochblendenarray |
EP1852724A2 (de) | 2006-05-05 | 2007-11-07 | VisiTech International Ltd. | Konfokales Laser-Scanning-Mikroskop und Verfahren zur Verbesserung der Bildqualität bei einem solchen Mikroskop |
DE102007009551B3 (de) | 2007-02-27 | 2008-08-21 | Ludwig-Maximilian-Universität | Vorrichtung für die konfokale Beleuchtung einer Probe |
Non-Patent Citations (1)
Title |
---|
Fred M Dickey, Laser Beam Shaping – Theory and Techniques, Second Edition, 2 Rev ed. Boca Raton, Fla: CRC Press, 2014 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
DE102014002328B4 (de) | Multifokales Fluoreszenzrastermikroskop | |
EP3526634B1 (de) | Optikgruppe für detektionslicht für ein mikroskop, verfahren zur mikroskopie und mikroskop | |
DE102006034908B4 (de) | Laser-Scanning-Mikroskop | |
DE10227120A1 (de) | Mikroskop, insbesondere Laserscanningmikroskop mit adaptiver optischer Einrichtung | |
EP1714187A1 (de) | Lichtquelle mit einem mikrostrukturierten optischen element | |
DE10115488A1 (de) | Verfahren und Vorrichtung zur Beleuchtung eines Objekts | |
EP1882970A1 (de) | Laser-Scanning-Mikroskop zur Fluoreszenzuntersuchung | |
EP3084502B1 (de) | Mehrfarben-scanning-mikroskop | |
DE102020202821A1 (de) | Lokalisierung von optischen Koppelstellen | |
Bechtel et al. | Large field of view MEMS-based confocal laser scanning microscope for fluorescence imaging | |
EP1355181A3 (de) | Laser-scanning-Mikroskop mit Kollimator- und/oder Pinholeoptik | |
DE202009011701U1 (de) | Vorrichtung zum optischen Abtasten von Proben, mit einer Streuscheibe vor einem Durchlicht-Detektor | |
DE102010046133B4 (de) | Lichtbandgenerator | |
WO1999003008A1 (de) | Vorrichtung zur optischen erfassung von proben | |
DE102006034907A1 (de) | Laser-Scanning-Mikroskop | |
EP2122404B1 (de) | Konfokales lasermikroskop | |
DE102015011552A1 (de) | Verfahren und Anordnung zur Lichteinkopplung in ein Multifokales Konfokalmikroskop | |
DE102011053003A1 (de) | Verfahren und Vorrichtungen zur Weitfeld-Mikroskopie | |
WO2022200202A1 (de) | Vorrichtung, einrichtung und verfahren zur bestrahlung einer insbesondere biologischen probe mit einem holografisch-optischen bauelement | |
DE102006047911A1 (de) | Anordnung zur Aufteilung von Detektionslicht | |
WO2007121864A1 (de) | Laser-scanning-mikroskop mit hauptstrahlteiler zur räumlichen trennung von beleuchtungs- und detektionsstrahlung | |
WO2015067669A1 (de) | Multispot-scanning-mikroskop | |
DE102019119147A1 (de) | Mikroskop und verfahren zur mikroskopie | |
DE102007049626A1 (de) | Verfahren und Vorrichtung zur Beleuchtung einer optischen Abbildungseinrichtung | |
LU92846B1 (de) | Verfahren und Beleuchtungsanordnung zum Beleuchten einer Probenschicht mit einem Lichtblatt |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
R012 | Request for examination validly filed | ||
R119 | Application deemed withdrawn, or ip right lapsed, due to non-payment of renewal fee |