DE102014219188A1 - Verfahren zur Fehlerkorrektur in Positionsmesseinrichtungen - Google Patents
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Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE102016222275A1 (de) * | 2016-11-14 | 2018-05-17 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh | Positionsmesseinrichtung und Verfahren zum Betreiben einer Positionsmesseinrichtung |
| CN108038331B (zh) * | 2017-12-27 | 2022-11-11 | 重庆工商职业学院 | 一种基于云计算的高精度温度数据校正方法 |
| CN112697186B (zh) * | 2019-10-23 | 2022-03-25 | 上海微电子装备(集团)股份有限公司 | 测量校正装置和测量校正方法 |
| WO2022107421A1 (ja) * | 2020-11-20 | 2022-05-27 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | エンコーダ及び情報処理方法 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1762828A2 (de) | 2005-09-12 | 2007-03-14 | Dr. Johannes Heidenhain GmbH | Optische Positionsmesseinrichtung zur Erfassung der Position zweier zueinander beweglicher Teile in zwei Bewegungsrichtungen |
| US20080105026A1 (en) | 2006-11-08 | 2008-05-08 | Asml Netherlands B.V. | Lithographic apparatus and device manufacturing method |
Family Cites Families (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE3024716C2 (de) * | 1980-06-30 | 1986-10-23 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut | Digitales Längen- oder Winkelmeßsystem |
| EP0408799B1 (de) * | 1989-07-21 | 1993-04-14 | Dr. Johannes Heidenhain GmbH | Verfahren zum Interpolieren von Positionsmesssignalen |
| JPH08201110A (ja) * | 1995-01-30 | 1996-08-09 | Sony Magnescale Inc | 内挿装置 |
| US6606510B2 (en) * | 2000-08-31 | 2003-08-12 | Mallinckrodt Inc. | Oximeter sensor with digital memory encoding patient data |
| DE10244650A1 (de) * | 2002-09-25 | 2004-04-08 | Siemens Ag | Kalibriersystem, insbesondere für ein Schwingungsmesssystem |
| DE10359415A1 (de) | 2003-12-16 | 2005-07-14 | Trimble Jena Gmbh | Verfahren zur Kalibrierung eines Vermessungsgeräts |
| CN1947062A (zh) | 2004-02-23 | 2007-04-11 | Asml荷兰有限公司 | 基于散射测量数据确定工艺参数值的方法 |
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| CN103591913B (zh) | 2013-11-18 | 2016-01-13 | 沈阳黎明航空发动机(集团)有限责任公司 | 一种五坐标测量机综合误差校准方法 |
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Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1762828A2 (de) | 2005-09-12 | 2007-03-14 | Dr. Johannes Heidenhain GmbH | Optische Positionsmesseinrichtung zur Erfassung der Position zweier zueinander beweglicher Teile in zwei Bewegungsrichtungen |
| US20080105026A1 (en) | 2006-11-08 | 2008-05-08 | Asml Netherlands B.V. | Lithographic apparatus and device manufacturing method |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE102021121869A1 (de) | 2021-08-24 | 2023-03-02 | Schaeffler Technologies AG & Co. KG | Verfahren zur Kalibrierung und/oder Linearisierung eines Positionssensors; Positionssensor; Hinterachslenkung; Fahrzeug; Computerprogramm |
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