DE102014117793A1 - Vakuumeinrichtung - Google Patents
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Abstract
Eine Vakuumeinrichtung, insbesondere Vakuumpumpe, umfasst wenigstens ein Membranventil, über das ein Medium in einer Saugphase eingesaugt und/oder in einer Kompressionsphase ausgestoßen wird. Das Membranventil ist zur Unterstützung seiner Öffnungs- und/oder Schließbewegung magnetisch, elektromagnetisch, elektrisch oder elektrostatisch beaufschlagbar.
Description
- Die vorliegende Erfindung betrifft eine Vakuumeinrichtung, insbesondere Vakuumpumpe, mit wenigstens einem Membranventil, über das ein Medium in einer Saugphase eingesaugt und/oder in einer Kompressionsphase ausgestoßen wird. Die Erfindung betrifft ferner ein Verfahren zum Betreiben einer solchen Vakuumeinrichtung.
- Bei den bisher bekannten Vakuumeinrichtungen dieser Art besteht das Problem, dass unter bestimmten Bedingungen der vorhandene Druck nicht mehr ausreicht, um die Membranventile zu öffnen. So wird dadurch beispielsweise bei einer Membranpumpe der maximale Enddruck auf etwa 10 mbar begrenzt.
- Der Erfindung liegt somit die Aufgabe zugrunde, eine Vakuumeinrichtung sowie ein Verfahren der eingangs genannten Art anzugeben, bei denen unabhängig vom jeweiligen Druck stets ein zuverlässiges Öffnen der Membranventile gewährleistet ist.
- Gemäß einem ersten Aspekt der Erfindung wird diese Aufgabe bezüglich der Vakuumeinrichtung dadurch gelöst, dass das Membranventil zur Unterstützung einer Öffnungs- und/oder Schließbewegung magnetisch oder elektromagnetisch beaufschlagbar ist.
- Gemäß einem weiteren Aspekt der Erfindung wird die Aufgabe bezüglich der Vakuumeinrichtung dadurch gelöst, dass das Membranventil zur Unterstützung seiner Öffnungs- und/oder Schließbewegung elektrisch oder elektrostatisch beaufschlagbar ist.
- Aufgrund dieser Lösungen ist auf einfache Weise unabhängig vom jeweiligen Druck stets ein zuverlässiges Öffnen der Membranventile gewährleistet. Mit der erfindungsgemäßen magnetischen, elektromagnetischen, elektrischen und/oder elektrostatischen Unterstützung der Öffnungsbewegungen der Membranventile und dem damit einhergehenden verbesserten Öffnungsverhalten der Membranventile wird beispielsweise bei einer Membranpumpe ein tieferer Enddruck erreicht.
- Das Membranventil ist bevorzugt zeitlich abgestimmt auf den Betrieb der Vakuumeinrichtung, insbesondere synchron mit der Beaufschlagung eines Schöpfraums der als Vakuumpumpe ausgebildeten Vakuumeinrichtung, beaufschlagbar. Durch eine solche zeitliche Abstimmung kann beispielsweise bei einer Vakuumpumpe also sichergestellt werden, dass die Unterstützung der Öffnungsbewegung eines Einlassventils mit der Saugphase und die Öffnungsbewegung eines Auslassventils mit der Kompressionsphase synchronisiert wird.
- Bevorzugt ist sowohl die Öffnungsbewegung als auch die Schließbewegung des Membranventils durch die Beaufschlagung unterstützbar.
- Grundsätzlich sind jedoch auch solche Ausführungen der erfindungsgemäßen Vakuumeinrichtung denkbar, bei der ausschließlich die Öffnungsbewegung des Membranventils durch die Beaufschlagung unterstützbar ist.
- Gemäß einer bevorzugten praktischen Ausführungsform der erfindungsgemäßen Vakuumeinrichtung erfolgt die durch die Beaufschlagung unterstützte Öffnungsbewegung des Membranventils gegen eine Rückstellkraft, insbesondere gegen eine das Membranventil in dessen geschlossene Stellung vorspannende Schließkraft, die bevorzugt mechanisch und insbesondere durch die Membraneigenspannung oder mittels einer Federeinrichtung bereitgestellt ist. In einem solchen Fall erfolgt das Schließen der Membranventile durch die betreffende Rückstellkraft. Eine zusätzliche Unterstützung der Schließbewegung ist hier nicht erforderlich.
- Zur Beaufschlagung des Membranventils ist bevorzugt wenigstens ein elektrisch beaufschlagbarer Erreger, insbesondere eine Elektrode oder ein Elektromagnet vorgesehen. Ein solcher Erreger ist zweckmäßigerweise in einem Kopfabschnitt der Vakuumeinrichtung angeordnet.
- Bevorzugt umfasst das Membranventil eine magnetische und/oder magnetisierbare Ventilmembran.
- Gemäß einer bevorzugten praktischen Ausführungsform der erfindungsgemäßen Vakuumeinrichtung weist das Membranventil eine Ventilmembran auf, die ein Material umfasst oder aus einem Material besteht, das mit magnetischen und/oder magnetisierbaren Partikeln dotiert ist.
- Das Membranventil kann insbesondere auch eine Ventilmembran aufweisen, die ein Material umfasst oder aus einem Material besteht, das Fluorkautschuk ist oder enthält.
- Gemäß einer weiteren vorteilhaften Ausführungsform der erfindungsgemäßen Vakuumeinrichtung weist das Membranventil eine Ventilmembran auf, die ein Material umfasst oder aus einem Material besteht, das ein elektro- oder magnetorheologisches Elastomer oder ein dielektrisches Elastomer ist oder enthält.
- Die Vakuumeinrichtung kann beispielsweise als Vakuumpumpe ausgebildet sein, insbesondere als Membranvakuumpumpe oder als Kolbenvakuumpumpe, wobei die Vakuumpumpe einen insbesondere über eine Pumpenmembran oder einen Kolben beaufschlagbaren Schöpfraum und wenigstens ein Einlassmembranventil sowie wenigstens ein Auslassmembranventil aufweist, über die ein Medium in einer Saugphase in den Schöpfraum gesaugt und in einer Kompressionsphase aus dem Schöpfraum ausgestoßen wird, und wobei die Öffnungsbewegung und/oder die Schließbewegung des Einlassmembranventils und/oder des Auslassmembranventils durch dessen Beaufschlagung unterstützbar ist.
- Das erfindungsgemäße Verfahren zum Betreiben einer Vakuumeinrichtung, insbesondere einer Vakuumpumpe, die wenigstens ein Membranventil aufweist, über das ein Medium in einer Saugphase eingesaugt und/oder in einer Kompressionsphase ausgestoßen wird, zeichnet sich dadurch aus, dass das Membranventil zur Unterstützung seiner Öffnungs- und/oder Schließbewegung magnetisch, elektromagnetisch, elektrisch und/oder elektrostatisch beaufschlagt wird.
- Dabei erfolgt die Beaufschlagung des Einlassmembranventils und/oder des Auslassmembranventils bevorzugt zeitlich abgestimmt auf den Betrieb der Vakuumeinrichtung, insbesondere synchron mit der Beaufschlagung eines Schöpfraums der als Vakuumpumpe ausgebildeten Vakuumeinrichtung.
- Die Erfindung wird im Folgenden anhand von Ausführungsbeispielen unter Bezugnahme auf die Zeichnung näher beschrieben; in dieser zeigen:
-
1 eine schematische Darstellung einer Membranpumpe als Beispiel einer Vakuumeinrichtung, in der erfindungsgemäße Membranventile einsetzbar sind, -
2 eine schematische Darstellung der Einlass- und Auslassmembranventile einer beispielhaften Ausführungsform einer erfindungsgemäßen Vakuumeinrichtung in der Saug- bzw. Kompressionsphase, und -
3 eine schematische Darstellung der Einlass- und Auslassmembranventile einer weiteren beispielhaften Ausführungsform einer erfindungsgemäßen Vakuumeinrichtung in der Saug- bzw. Kompressionsphase. -
1 zeigt in schematischer Darstellung eine Membranpumpe10 als Beispiel einer Vakuumeinrichtung, in der erfindungsgemäße Membranventile einsetzbar sind. - Die Membranpumpe
10 umfasst einen über eine Pumpenmembran12 beaufschlagbaren Schöpfraum14 sowie ein Einlass- und ein Auslassventil, die durch ein erfindungsgemäßes Einlassmembranventil16 bzw. ein erfindungsgemäßes Auslassmembranventil18 gebildet sein können, wie sie weiter unten näher beschrieben werden und zur Unterstützung deren Öffnungs- und/oder Schließbewegung entsprechend magnetisch, elektromagnetisch, elektrisch oder elektrostatisch beaufschlagbar sind. - Über die Membranventile
16 ,18 wird ein Medium wie insbesondere Gas in einer Saugphase in den Schöpfraum14 gesaugt und in einer Kompressionsphase aus dem Schöpfraum14 ausgestoßen. - Die Membranpumpe
10 umfasst ein Gehäuse20 sowie einen Kopfabschnitt oder Kopfdeckel22 , zwischen denen die Pumpenmembran12 eingespannt ist. - Der Schöpfraum
14 wird vom Kopfabschnitt bzw. Kopfdeckel22 und der Pumpenmembran12 begrenzt, die beispielsweise über einen von einer Kurbelwelle angetriebenen Pleuel24 bewegt wird. -
2 zeigt in schematischer Darstellung das Einlassmembranventil16 und das Auslassmembranventil18 einer beispielhaften Ausführungsform einer erfindungsgemäßen Vakuumeinrichtung in der Saug- bzw. Kompressionsphase, bei der das Einlassmembranventil16 und das Auslassmembranventil18 jeweils sowohl zur Unterstützung deren Öffnungsbewegung als auch zur Unterstützung deren Schließbewegung magnetisch, elektromagnetisch, elektrisch oder elektrostatisch beaufschlagbar sind. Dabei ist den Membranventilen16 ,18 zur entsprechenden Beaufschlagung jeweils ein Erreger30 bzw.32 zugeordnet, bei denen es sich insbesondere jeweils um einen Elektromagneten oder eine Elektrode handeln kann. - In den Fällen, in denen die Vakuumeinrichtung beispielsweise eine Membranpumpe
10 (vgl.1 ) umfasst, können das Einlassmembranventil16 und das Auslassmembranventil18 insbesondere im Kopfabschnitt bzw. Kopfdeckel22 der betreffenden Membranpumpe10 angeordnet sein. - In der Saugphase wird die Pumpenmembran
12 in Saugrichtung26 von den Membranventilen16 ,18 weg bewegt. Dagegen wird die Pumpenmembran12 in der Kompressionsphase in Kompressionsrichtung28 zu den Membranventilen16 hin bewegt. - Die Membranventile
16 ,18 können zeitlich abgestimmt auf den Betrieb der Vakuumeinrichtung und insbesondere synchron mit der Beaufschlagung eines Schöpfraums14 einer als Vakuumpumpe10 (vgl.1 ) ausgebildeten Vakuumeinrichtung beaufschlagbar sein. Die Beaufschlagung kann somit synchron zur Beaufschlagung des Schöpfraums14 über die Pumpenmembran12 erfolgen und gegebenenfalls im Pumprhythmus der betreffenden Vakuumpumpe10 variieren. - Die Membranventile
16 ,18 können beispielsweise auch eine Ventilmembran16a bzw.18a aufweisen, die magnetisch und/oder magnetisierbar ist, die ein Material umfasst oder aus einem Material besteht, das mit magnetischen und/oder magnetisierbaren Partikeln dotiert ist, die ein Material umfasst oder aus einem Material besteht, das Fluorkautschuk ist oder enthält, oder die ein Material umfasst oder aus einem Material besteht, das ein elektro- oder magnetorheologisches Elastomer oder ein dielektrisches Elastomer ist oder enthält. - Grundsätzlich sind auch solche Ausführungen denkbar, bei denen ausschließlich die Öffnungsbewegung eines jeweiligen Membranventils
16 ,18 durch die Beaufschlagung unterstützbar ist. -
3 zeigt in schematischer Darstellung das Einlassmembranventil16 sowie das Auslassmembranventil18 einer weiteren beispielhaften Ausführungsform einer erfindungsgemäßen Vakuumeinrichtung in der Saug- bzw. Kompressionsphase. Im vorliegenden Fall sind die Einlass- und Auslassmembranventile16 ,18 über zugeordnete Erreger40 ,42 jeweils nur zur Unterstützung deren Öffnungsbewegung beaufschlagbar, wobei die durch die Beaufschlagung unterstützte Öffnungsbewegung gegen eine Rückstellkraft erfolgt. Dabei kann die durch die Beaufschlagung unterstützte Öffnungsbewegung der Membranventile16 ,18 insbesondere jeweils gegen eine das Membranventil16 ,18 in dessen geschlossene Stellung vorspannende Schließkraft erfolgen, die bevorzugt mechanisch und insbesondere durch die Membraneigenspannung oder mittels einer Federeinrichtung44 ,46 bereitgestellt ist. - Auch im vorliegenden Fall können die Membranventile
16 ,18 durch die Erreger40 ,42 wieder magnetisch, elektromagnetisch, elektrisch oder elektrostatisch beaufschlagbar sein. Bei den Erregern40 ,42 kann es sich entsprechend insbesondere wieder um Elektroden oder Elektromagnete handeln. Die Erreger können insbesondere wieder im Kopfabschnitt bzw. Kopfdeckel22 (vgl. zum Beispiel1 ) der betreffenden Vakuumeinrichtung10 angeordnet sein. - Zumindest eines der Membranventile
16 ,18 kann beispielsweise auch wieder eine magnetische und/oder magnetisierbare Ventilmembran16a ,18a oder eine Ventilmembran16a ,18a aufweisen, die ein Material umfasst oder aus einem Material besteht, das mit magnetischen und/oder magnetisierbaren Partikeln dotiert ist, die ein Material umfasst oder aus einem Material besteht, das Fluorkautschuk ist oder enthält, und/oder die ein Material umfasst oder aus einem Material besteht, das ein elektro- oder magnetorheologisches Elastomer oder ein dielektrisches Elastomer ist oder enthält. - Im Übrigen kann diese in der
3 dargestellte Vakuumeinrichtung zumindest im Wesentlichen wieder den gleichen Aufbau besitzen wie die in der2 dargestellte Ausführungsform, wobei einander entsprechenden Teilen gleiche Bezugszeichen zugeordnet sind. - Wie bereits erwähnt, kann die erfindungsgemäße Vakuumeinrichtung beispielsweise als Vakuumpumpe
10 , insbesondere Membranvakuumpumpe oder als Kolbenvakuumpumpe ausgebildet sein, die einen insbesondere über eine Pumpenmembran12 oder einen Kolben beaufschlagbaren Schöpfraum14 und wenigstens ein Einlassmembranventil16 sowie wenigstens ein Auslassmembranventil18 aufweist, über die ein Medium in einer Saugphase in den Schöpfraum14 gesaugt und in einer Kompressionsphase aus dem Schöpfraum14 ausgestoßen wird, wobei die Öffnungsbewegung und/oder die Schließbewegung des Einlassmembranventils16 und/oder des Auslassmembranventils18 durch dessen Beaufschlagung unterstützbar ist. - Bezugszeichenliste
-
- 10
- Vakuumeinrichtung, Membranpumpe
- 12
- Pumpenmembran
- 14
- Schöpfraum
- 16
- Einlassmembranventil
- 16a
- Ventilmembran
- 18
- Auslassmembranventil
- 18a
- Ventilmembran
- 20
- Gehäuse
- 22
- Kopfabschnitt, Kopfdeckel
- 24
- Pleuel
- 26
- Saugrichtung
- 28
- Kompressionsrichtung
- 30
- Erreger
- 32
- Erreger
- 40
- Erreger
- 42
- Erreger
- 44
- Feder
- 46
- Feder
Claims (15)
- Vakuumeinrichtung, insbesondere Vakuumpumpe (
10 ), mit wenigstens einem Membranventil (16 ,18 ), über das ein Medium in einer Saugphase eingesaugt und/oder in einer Kompressionsphase ausgestoßen wird, dadurch gekennzeichnet, dass das Membranventil (16 ,18 ) zur Unterstützung seiner Öffnungs- und/oder Schließbewegung magnetisch oder elektromagnetisch beaufschlagbar ist. - Vakuumeinrichtung, insbesondere Vakuumpumpe (
10 ), mit wenigstens einem Membranventil (16 ,18 ), über das ein Medium in einer Saugphase eingesaugt und/oder in einer Kompressionsphase ausgestoßen wird, dadurch gekennzeichnet, dass das Membranventil (16 ,18 ) zur Unterstützung seiner Öffnungs- und/oder Schließbewegung elektrisch oder elektrostatisch beaufschlagbar ist. - Vakuumeinrichtung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass das Membranventil (
16 ,18 ) zeitlich abgestimmt auf den Betrieb der Vakuumeinrichtung, insbesondere synchron mit der Beaufschlagung eines Schöpfraums (14 ) der als Vakuumpumpe (10 ) ausgebildeten Vakuumeinrichtung, beaufschlagbar ist. - Vakuumeinrichtung nach einem der vorstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass sowohl die Öffnungsbewegung als auch die Schließbewegung des Membranventils (
16 ,18 ) durch die Beaufschlagung unterstützbar ist. - Vakuumeinrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, dass ausschließlich die Öffnungsbewegung des Membranventils (
16 ,18 ) durch die Beaufschlagung unterstützbar ist. - Vakuumeinrichtung nach einem der vorstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die durch die Beaufschlagung unterstützte Öffnungsbewegung des Membranventils (
16 ,18 ) gegen eine Rückstellkraft erfolgt, insbesondere gegen eine das Membranventil (16 ,18 ) in dessen geschlossene Stellung vorspannende Schließkraft, die bevorzugt mechanisch und insbesondere durch die Membraneigenspannung oder mittels einer Federeinrichtung (44 ,46 ) bereitgestellt ist. - Vakuumeinrichtung nach einem der vorstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass zur Beaufschlagung des Membranventils (
16 ,18 ) wenigstens ein elektrisch beaufschlagbarer Erreger (30 ,32 ,40 ,42 ), insbesondere eine Elektrode oder ein Elektromagnet, vorgesehen ist. - Vakuumeinrichtung nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, dass der Erreger (
30 ,32 ) in einem Kopfabschnitt (22 ) der Vakuumeinrichtung (10 ) angeordnet ist. - Vakuumeinrichtung nach einem der vorstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass das Membranventil (
16 ,18 ) eine magnetische und/oder magnetisierbare Ventilmembran (16a ,18a ) aufweist. - Vakuumeinrichtung nach einem der vorstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass das Membranventil (
16 ,18 ) eine Ventilmembran (16a ,18a ) aufweist, die ein Material umfasst oder aus einem Material besteht, das mit magnetischen und/oder magnetisierbaren Partikeln dotiert ist. - Vakuumeinrichtung nach einem der vorstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass das Membranventil (
16 ,18 ) eine Ventilmembran (16a ,18a ) aufweist, die ein Material umfasst oder aus einem Material besteht, das Fluorkautschuk ist oder enthält. - Vakuumeinrichtung nach einem der vorstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass das Membranventil (
16 ,18 ) eine Ventilmembran (16a ,18a ) aufweist, die ein Material umfasst oder aus einem Material besteht, das ein elektro- oder magnetorheologisches Elastomer oder ein dielektrisches Elastomer ist oder enthält. - Vakuumeinrichtung nach einem der vorstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Vakuumeinrichtung als Vakuumpumpe (
10 ) ausgebildet ist, insbesondere als Membranvakuumpumpe oder als Kolbenvakuumpumpe, wobei die Vakuumpumpe (10 ) einen, insbesondere über eine Pumpenmembran (12 ) oder einen Kolben, beaufschlagbaren Schöpfraum (14 ) und wenigstens ein Einlassmembranventil (16 ) sowie wenigstens ein Auslassmembranventil (18 ) aufweist, über die ein Medium in einer Saugphase in den Schöpfraum (14 ) gesaugt und in einer Kompressionsphase aus dem Schöpfraum (14 ) ausgestoßen wird, und wobei die Öffnungsbewegung und/oder die Schließbewegung des Einlassmembranventils (16 ) und/oder des Auslassmembranventils (18 ) durch dessen Beaufschlagung unterstützbar ist. - Verfahren zum Betreiben einer Vakuumeinrichtung, insbesondere einer Vakuumpumpe (
10 ), die wenigstens ein Membranventil (16 ,18 ) aufweist, über das ein Medium in einer Saugphase eingesaugt und/oder in einer Kompressionsphase ausgestoßen wird, dadurch gekennzeichnet, dass das Membranventil (16 ,18 ) zur Unterstützung seiner Öffnungs- und/oder Schließbewegung magnetisch, elektromagnetisch, elektrisch oder elektrostatisch beaufschlagt wird. - Verfahren nach Anspruch 14, dadurch gekennzeichnet, dass die Beaufschlagung des Einlassmembranventils (
16 ) und/oder des Auslassmembranventils (18 ) zeitlich abgestimmt auf den Betrieb der Vakuumeinrichtung, insbesondere synchron mit der Beaufschlagung eines Schöpfraums (14 ) der als Vakuumpumpe (10 ) ausgebildeten Vakuumeinrichtung, erfolgt.
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE102014117793.2A DE102014117793A1 (de) | 2014-12-03 | 2014-12-03 | Vakuumeinrichtung |
EP15197560.4A EP3029324B1 (de) | 2014-12-03 | 2015-12-02 | Vakuumeinrichtung |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE102014117793.2A DE102014117793A1 (de) | 2014-12-03 | 2014-12-03 | Vakuumeinrichtung |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE102014117793A1 true DE102014117793A1 (de) | 2016-06-09 |
Family
ID=54771018
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE102014117793.2A Withdrawn DE102014117793A1 (de) | 2014-12-03 | 2014-12-03 | Vakuumeinrichtung |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
EP (1) | EP3029324B1 (de) |
DE (1) | DE102014117793A1 (de) |
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