DE102013209444A1 - Leistungshalbleitermodul, Verfahren zum Betrieb eines Leistungshalbleitermoduls und Verfahren zur Herstellung eines Leistungshalbleitermoduls - Google Patents
Leistungshalbleitermodul, Verfahren zum Betrieb eines Leistungshalbleitermoduls und Verfahren zur Herstellung eines Leistungshalbleitermoduls Download PDFInfo
- Publication number
- DE102013209444A1 DE102013209444A1 DE102013209444.2A DE102013209444A DE102013209444A1 DE 102013209444 A1 DE102013209444 A1 DE 102013209444A1 DE 102013209444 A DE102013209444 A DE 102013209444A DE 102013209444 A1 DE102013209444 A1 DE 102013209444A1
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- power semiconductor
- semiconductor module
- capacitor
- housing
- carrier
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Ceased
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title claims abstract description 99
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims abstract description 9
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 7
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 claims abstract description 78
- 238000001816 cooling Methods 0.000 claims description 11
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims description 8
- 230000017525 heat dissipation Effects 0.000 description 7
- 238000004026 adhesive bonding Methods 0.000 description 3
- 239000002826 coolant Substances 0.000 description 3
- 230000001419 dependent effect Effects 0.000 description 2
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 2
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 2
- BUHVIAUBTBOHAG-FOYDDCNASA-N (2r,3r,4s,5r)-2-[6-[[2-(3,5-dimethoxyphenyl)-2-(2-methylphenyl)ethyl]amino]purin-9-yl]-5-(hydroxymethyl)oxolane-3,4-diol Chemical compound COC1=CC(OC)=CC(C(CNC=2C=3N=CN(C=3N=CN=2)[C@H]2[C@@H]([C@H](O)[C@@H](CO)O2)O)C=2C(=CC=CC=2)C)=C1 BUHVIAUBTBOHAG-FOYDDCNASA-N 0.000 description 1
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical group [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 1
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000005266 casting Methods 0.000 description 1
- 239000003985 ceramic capacitor Substances 0.000 description 1
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 1
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 1
- 230000009977 dual effect Effects 0.000 description 1
- 238000004146 energy storage Methods 0.000 description 1
- 239000012212 insulator Substances 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 230000005855 radiation Effects 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01G—CAPACITORS; CAPACITORS, RECTIFIERS, DETECTORS, SWITCHING DEVICES, LIGHT-SENSITIVE OR TEMPERATURE-SENSITIVE DEVICES OF THE ELECTROLYTIC TYPE
- H01G2/00—Details of capacitors not covered by a single one of groups H01G4/00-H01G11/00
- H01G2/08—Cooling arrangements; Heating arrangements; Ventilating arrangements
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01G—CAPACITORS; CAPACITORS, RECTIFIERS, DETECTORS, SWITCHING DEVICES, LIGHT-SENSITIVE OR TEMPERATURE-SENSITIVE DEVICES OF THE ELECTROLYTIC TYPE
- H01G4/00—Fixed capacitors; Processes of their manufacture
- H01G4/40—Structural combinations of fixed capacitors with other electric elements, the structure mainly consisting of a capacitor, e.g. RC combinations
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L23/00—Details of semiconductor or other solid state devices
- H01L23/34—Arrangements for cooling, heating, ventilating or temperature compensation ; Temperature sensing arrangements
- H01L23/46—Arrangements for cooling, heating, ventilating or temperature compensation ; Temperature sensing arrangements involving the transfer of heat by flowing fluids
- H01L23/473—Arrangements for cooling, heating, ventilating or temperature compensation ; Temperature sensing arrangements involving the transfer of heat by flowing fluids by flowing liquids
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L24/00—Arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies; Methods or apparatus related thereto
- H01L24/71—Means for bonding not being attached to, or not being formed on, the surface to be connected
- H01L24/72—Detachable connecting means consisting of mechanical auxiliary parts connecting the device, e.g. pressure contacts using springs or clips
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L25/00—Assemblies consisting of a plurality of individual semiconductor or other solid state devices ; Multistep manufacturing processes thereof
- H01L25/16—Assemblies consisting of a plurality of individual semiconductor or other solid state devices ; Multistep manufacturing processes thereof the devices being of types provided for in two or more different main groups of groups H01L27/00 - H01L33/00, or in a single subclass of H10K, H10N, e.g. forming hybrid circuits
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K7/00—Constructional details common to different types of electric apparatus
- H05K7/20—Modifications to facilitate cooling, ventilating, or heating
- H05K7/2089—Modifications to facilitate cooling, ventilating, or heating for power electronics, e.g. for inverters for controlling motor
- H05K7/20909—Forced ventilation, e.g. on heat dissipaters coupled to components
- H05K7/20918—Forced ventilation, e.g. on heat dissipaters coupled to components the components being isolated from air flow, e.g. hollow heat sinks, wind tunnels or funnels
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K7/00—Constructional details common to different types of electric apparatus
- H05K7/20—Modifications to facilitate cooling, ventilating, or heating
- H05K7/2089—Modifications to facilitate cooling, ventilating, or heating for power electronics, e.g. for inverters for controlling motor
- H05K7/20927—Liquid coolant without phase change
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01G—CAPACITORS; CAPACITORS, RECTIFIERS, DETECTORS, SWITCHING DEVICES, LIGHT-SENSITIVE OR TEMPERATURE-SENSITIVE DEVICES OF THE ELECTROLYTIC TYPE
- H01G9/00—Electrolytic capacitors, rectifiers, detectors, switching devices, light-sensitive or temperature-sensitive devices; Processes of their manufacture
- H01G9/28—Structural combinations of electrolytic capacitors, rectifiers, detectors, switching devices with other electric components not covered by this subclass
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L25/00—Assemblies consisting of a plurality of individual semiconductor or other solid state devices ; Multistep manufacturing processes thereof
- H01L25/03—Assemblies consisting of a plurality of individual semiconductor or other solid state devices ; Multistep manufacturing processes thereof all the devices being of a type provided for in the same subgroup of groups H01L27/00 - H01L33/00, or in a single subclass of H10K, H10N, e.g. assemblies of rectifier diodes
- H01L25/04—Assemblies consisting of a plurality of individual semiconductor or other solid state devices ; Multistep manufacturing processes thereof all the devices being of a type provided for in the same subgroup of groups H01L27/00 - H01L33/00, or in a single subclass of H10K, H10N, e.g. assemblies of rectifier diodes the devices not having separate containers
- H01L25/07—Assemblies consisting of a plurality of individual semiconductor or other solid state devices ; Multistep manufacturing processes thereof all the devices being of a type provided for in the same subgroup of groups H01L27/00 - H01L33/00, or in a single subclass of H10K, H10N, e.g. assemblies of rectifier diodes the devices not having separate containers the devices being of a type provided for in group H01L29/00
- H01L25/072—Assemblies consisting of a plurality of individual semiconductor or other solid state devices ; Multistep manufacturing processes thereof all the devices being of a type provided for in the same subgroup of groups H01L27/00 - H01L33/00, or in a single subclass of H10K, H10N, e.g. assemblies of rectifier diodes the devices not having separate containers the devices being of a type provided for in group H01L29/00 the devices being arranged next to each other
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/10—Details of semiconductor or other solid state devices to be connected
- H01L2924/11—Device type
- H01L2924/13—Discrete devices, e.g. 3 terminal devices
- H01L2924/1304—Transistor
- H01L2924/1305—Bipolar Junction Transistor [BJT]
- H01L2924/13055—Insulated gate bipolar transistor [IGBT]
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Thermal Sciences (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Cooling Or The Like Of Semiconductors Or Solid State Devices (AREA)
Abstract
Die Erfindung ist ein Leistungshalbleitermodul (10) mit einer Halbleiterschaltung (12) mit einer Mehrzahl von in einem gemeinsamen Gehäuse (18,20) angeordneten Leistungshalbleitern, die sich durch zumindest einen im gleichen Gehäuse (18,20) angeordneten und in dem Leistungshalbleitermodul (10) als Zwischenkreiskondensator (16) fungierenden Kondensator auszeichnet, sowie ein Verfahren zu dessen Betrieb und Herstellung, wobei der oder jeder als Zwischenkreiskondensator (16) fungierende Kondensator großflächig auf einem wärmeleitfähigen Träger (14,34) aufgebracht ist.
Description
- Die Erfindung betrifft zuvorderst ein als Stromrichterhalbleitermodul fungierendes Leistungshalbleitermodul nach dem Oberbegriff des Hauptanspruchs, insbesondere ein sogenanntes IGBT-Modul, also eine Kombination mehrerer sogenannter IGBTs und der jeweils zugeordneten Freilaufdioden (IGBT = Insulated Gate Bipolar Transistor). Die Erfindung betrifft im Weiteren auch ein Verfahren zum Betrieb sowie ein Verfahren zur Herstellung (Fertigung) eines solchen Leistungshalbleitermoduls.
- Im Folgenden wird für eine sprachlich einfache Darstellung durchgängig der Begriff Leistungshalbleitermodul verwendet. Dieser Begriff schließt jedoch stets IGBT-Module als besondere Ausführungsform eines als Stromrichterhalbleitermodul fungierenden Leistungshalbleitermoduls ein.
- Ein Stromrichter ist bekanntlich ein elektrisches Gerät, das Gleichspannung in Wechselspannung und Gleichstrom in einen Wechselstrom oder Wechselspannung in Gleichspannung und einen Wechselstrom in Gleichstrom umrichtet. Ein Stromrichter, der Gleichspannung in Wechselspannung umrichtet, wird auch als Wechselrichter bezeichnet. Entsprechend wird ein Stromrichter, der Wechselspannung in Gleichspannung umrichtet, als Gleichrichter bezeichnet.
- Ein Umrichter, insbesondere Frequenzumrichter, und ein mit einem Umrichter gebildeter Antrieb umfasst in an sich bekannter Art und Weise einen als Eingangsstromrichter fungierenden Gleichrichter, der einen Gleichspannungs-Zwischenkreis speist, sowie einen aus dem Zwischenkreis gespeisten und als Ausgangsstromrichter fungierenden Wechselrichter. Bei einer Speisung aus einer Batterie reduziert sich der Umrichter auf einen direkt aus der Batterie oder einer sonstigen Spannungsquelle gespeisten Gleichspannungs-Zwischenkreis und einen aus dem Zwischenkreis gespeisten und als Ausgangsstromrichter fungierenden Wechselrichter. Diese Situation ergibt sich zum Beispiel bei einem mittels des Umrichters gespeisten Elektromotor als Antrieb für batterie-elektrische Straßenfahrzeuge. Der Zwischenkreis fungiert dabei jeweils als Energiespeicher. Eine an sich bekannte Möglichkeit zur Realisierung eines solchen Energiespeichers besteht in Form eines Kondensators oder eines Kondensatornetzwerks, im Folgenden zusammenfassend und entsprechend der üblichen Terminologie als Zwischenkreiskondensator bezeichnet.
- Es sind IGBT-Module bekannt, die beispielsweise quaderförmig ausgebildet sind und die in ihren Eckbereichen mit Bohrungen versehen sind. Ein derartiges IGBT-Modul wird zu Kühlzwecken mit der Bodenplatte auf einem Kühlkörper zur Anlage gebracht. Zur Befestigung wird das IGBT-Modul über die Bohrungen mit dem Kühlkörper verschraubt.
- Aus der
DE 10 2005 055 608 B3 ist ein Leistungshalbleitermodul bekannt, das eine Mehrzahl parallel geschalteter Kondensatoren umfasst. Die Kondensatoren befinden sich zusammen mit einer Schaltungsplatine oder einem Schaltungssubstrat auf einem Kühlkörper, der insoweit als Trägerelement fungiert. - Die
DE 10 2005 055 608 B3 wurde ausgehend von der im Folgenden beschriebenen Erfindung und in Kenntnis der Erfindung ermittelt. Ob dort eine Verwendung des Kühlkörpers zur Wärmeableitung von den dortigen Kondensatoren in Betracht gezogen wurde, ist fraglich. Erwähnt ist eine Wärmeableitung nicht. Aufgrund der zylindrischen Form der Kondensatoren ist bestenfalls ein linienförmiger, aber kein flächiger Kontakt zwischen den Mantelflächen der Kondensatoren und der Oberfläche des Kühlkörpers möglich. Die Möglichkeit eines solchen kleinflächigen Kontakts wird zudem noch durch die auf der Oberfläche des Kühlkörpers zur Fixierung der Kondensatoren aufgebrachten Positionierelemente verhindert, so dass nur noch ein mittelbarer Kontakt zwischen den Kondensatoren und der Oberfläche des Kühlkörpers über diese Positionierelemente gegeben ist. Eine Wärmeübertragung findet dann wohl im Wesentlichen nur noch in Form von Wärmestrahlung und ggf. Konvektion statt. Folglich ist davon auszugehen, dass bei derDE 10 2005 055 608 B3 der dortige Kühlkörper in an sich bekannter Art und Weise zur Wärmeableitung von den Leistungshalbleitern vorgesehen ist und ansonsten als Träger für die Kondensatoren fungiert. - Aus der
US 5,671,134 ist ein Stromrichterhalbleitermodul bekannt, bei dem sich in einer metallischen und damit auch als Leiter fungierenden Basisplatte Öffnungen zum Einleiten eines Kühlmediums befinden. Auf die Basisplatte sind die einzelnen Leistungshalbleiter aufgebracht, und zwar entweder direkt oder mittels eines thermisch gut leitenden Isolators elektrisch von der Oberfläche der Basisplatte getrennt. Das Kühlmedium strömt direkt im Bereich der Anbringungsflächen der Leistungshalbleiter und kann so für eine Entwärmung des Stromrichtermoduls sorgen. - Herkömmlich sind ein Stromrichtermodul und ein Zwischenkreis getrennte Baugruppen, wie dies zum Beispiel auch in der
WO 2011/095309 A2 DE 102 36 525 A1 , wobei dort die Leistungshalbleiterschaltung und eine Kondensatorschaltung auf einer gemeinsamen Grundplatte angebracht sind, wobei sich ein ebenfalls auf der Grundplatte angebrachter und die Leistungshalbleiterschaltung tragender Kühlkörper aber nur unter der Leistungshalbleiterschaltung befindet und sich nicht bis in den Bereich der Kondensatorschaltung erstreckt. - Eine Aufgabe der Erfindung besteht ausgehend von diesem Stand der Technik darin, ein Leistungshalbleitermodul der eingangs genannten Art anzugeben, das eine verbesserte Wärmeabführung vom Zwischenkreiskondensator ermöglicht. Eine weitere Aufgabe der Erfindung besteht darin, ein Verfahren zum Betrieb sowie ein Verfahren zur Fertigung eines solchen Leistungshalbleitermoduls anzugeben.
- Hinsichtlich des Leistungshalbleitermoduls wird diese Aufgabe erfindungsgemäß mit einem derartigen Modul mit den Merkmalen des Anspruchs 1 gelöst. Dazu ist bei einem Leistungshalbleitermodul, insbesondere einem IGBT-Modul, das eine Halbleiterschaltung mit einer Mehrzahl von in einem gemeinsamen Gehäuse angeordneten Leistungshalbleitern, insbesondere IGBTs, umfasst, Folgendes vorgesehen: Zum einen ist innerhalb des Gehäuses des Leistungshalbleitermoduls zumindest ein als Zwischenkreiskondensator fungierender Kondensator angeordnet. Zum anderen ist der oder jeder als Zwischenkreiskondensator fungierende Kondensator großflächig auf einem vom Leistungshalbleitermodul umfassten, wärmeleitfähigen Träger aufgebracht.
- Das hier vorgeschlagene Leistungshalbleitermodul umfasst in Form einer entsprechenden Halbleiterschaltung einen Eingangsstromrichter und/oder einen Ausgangsstromrichter mit entsprechenden Leistungshalbleitern, insbesondere sogenannten IGBTs. Das Leistungshalbleitermodul umfasst auch den Zwischenkreiskondensator. Der Eingangs- und/oder Ausgangsstromrichter sind bzw. ist zusammen mit dem Zwischenkreiskondensator in einer kompakten Bauform zusammengefasst, so dass sich insgesamt ein Leistungshalbleitermodul ergibt.
- Der Vorteil der Erfindung besteht darin, dass durch die großflächige Anbringung des oder jedes als Zwischenkreiskondensator fungierenden Kondensators auf einem vom Leistungshalbleitermodul umfassten, wärmeleitfähigen Träger dieser zur Ableitung von Wärme vom Zwischenkreiskondensator und damit insgesamt zur Entwärmung des Leistungshalbleitermoduls wirksam ist. Die großflächige Anbringung des oder jedes Kondensators auf dem Träger bewirkt eine gute Wärmeübertragung in Form von Wärmeleitung vom jeweiligen Kondensator auf den Träger. Die Anbringung erfolgt zum Beispiel durch Kleben oder dergleichen mit einem gut wärmeleitfähigen Klebstoff. Ansonsten besteht alternativ auch die Möglichkeit, den oder jeden Kondensator zum Beispiel mit einer Klammer oder dergleichen in großflächigem Kontakt mit dem Träger zu halten.
- Entsprechend wird die oben genannte Aufgabe auch mit einem Verfahren zur Herstellung (Fertigung) eines Leistungshalbleitermoduls der hier und im Folgenden beschriebenen Art gelöst. Dabei ist vorgesehen, dass nach einem Anbringen der Halbleiterschaltung der oder jeder als Zwischenkreiskondensator fungierende Kondensator auf den Träger aufgebracht wird, zum Beispiel durch Kleben, und dass Anschlusselemente des Zwischenkreiskondensators mittels des Gehäuses oder einer Abdeckung innerhalb des Gehäuses auf dafür vorgesehene Kontaktflächen der Halbleiterschaltung gepresst werden. Andere Möglichkeiten zum Aufbringen des oder jedes Kondensators auf dem Träger sind zum Beispiel ein Vergießen oder Pressen/Verpressen.
- Vorteilhafte Ausgestaltungen der Erfindung sind Gegenstand der Unteransprüche. Dabei verwendete Rückbeziehungen weisen auf die weitere Ausbildung des Gegenstandes des Hauptanspruchs durch die Merkmale des jeweiligen Unteranspruchs hin. Sie sind nicht als ein Verzicht auf die Erzielung eines selbständigen, gegenständlichen Schutzes für die Merkmalskombinationen der rückbezogenen Unteransprüche zu verstehen. Des Weiteren ist im Hinblick auf eine Auslegung der Ansprüche bei einer näheren Konkretisierung eines Merkmals in einem nachgeordneten Anspruch davon auszugehen, dass eine derartige Beschränkung in den jeweils vorangehenden Ansprüchen nicht vorhanden ist.
- Bei einer Ausführungsform des Leistungshalbleitermoduls ist vorgesehen, dass der Träger, auf den der oder jeder als Zwischenkreiskondensator fungierende Kondensator großflächig aufgebracht ist, ein zur Entwärmung der Halbleiterschaltung auch unter der Halbleiterschaltung befindlicher Kühlkörper ist. Ein solcher zur Entwärmung der Halbleiterschaltung vorgesehener Kühlkörper ist üblicherweise aus Metall, zum Beispiel aus Aluminium, gefertigt und besitzt damit neben einer guten Wärmeleitfähigkeit auch die notwendige Stabilität, um als Träger für einen Kondensator oder mehrere Kondensatoren zu fungieren. Der Vorteil dieser Ausführungsform besteht vor allem darin, dass nur ein Bauteil, nämlich der Kühlkörper, benötigt wird, und dass dieses eine Bauteil eine Doppelfunktion erfüllt, indem der Kühlkörper gleichzeitig als Träger und als Kühlköper fungiert.
- Bei einer weiteren Ausführungsform des Leistungshalbleitermoduls ist vorgesehen, dass der oder jeder als Zwischenkreiskondensator fungierende Kondensator als Stapelkondensator ausgeführt ist. Kondensatoren in Form eines Stapelkondensators sind grundsätzlich an sich bekannt. Eine in der Fachterminologie übliche Bezeichnung lautet „stack condensator“. Ansonsten sind solche Kondensatoren auch als „Multi-layer ceramic capacitors” (MLCC) bekannt. Des Weiteren sind auch Kondensatoren bekannt, die Filmschichten umfassen und mit einer Mehrzahl solcher Filmsichten ebenfalls Stapelkondensatoren darstellen. Solche Kondensatoren zeichnen sich durch eine quaderförmige Geometrie aus. Entsprechend lässt sich bei einer Verwendung solcher Kondensatoren der großflächige Kontakt des jeweiligen Kondensators mit der Oberfläche des jeweiligen Trägers besonders gut erreichen, indem der Stapelkondensator mit einer seiner Seitenflächen, insbesondere mit der größten Seitenfläche, auf dem Träger aufgebracht wird.
- Bei einer weiteren oder alternativen Ausführungsform des Leistungshalbleitermoduls ist der Träger mit Dichtungen gegen ein Teil des Gehäuses abgedichtet und in einen mittels des Trägers so abgeschlossenen Hohlraum ist ein flüssiges oder gasförmiges Medium einleitbar. Speziell wenn das Medium durch den Hohlraum geleitet wird, also in den Hohlraum auf einer Zuleitungsseite einströmt und den Hohlraum auf einer Auslassseite auch wieder verlässt, ist eine besonders gute Ableitung der von dem Leistungshalbleitermodul im Betrieb erzeugten Wärme möglich. Ein solcher Hohlraum kann mit dem sowohl die Halbleiterschaltung wie auch den Zwischenkreiskondensator tragenden Kühlkörper gebildet werden. Das durch den Hohlraum strömende Medium ist dann zur Ableitung von im Betrieb des Leistungshalbleitermoduls sowohl im Bereich der Halbleiterschaltung wie auch im Bereich des Zwischenkreiskondensators erzeugter Wärme wirksam. Ein solcher Hohlraum kann auch mit einem Träger gebildet sein, auf dem sich nur der Zwischenkreiskondensator befindet. Des Weiteren kann vorgesehen sein, dass ein solcher Hohlraum mit dem Träger des Zwischenkreiskondensators und ein weiterer Hohlraum mit dem die Halbleiterschaltung tragenden Kühlkörper gebildet ist. Es ergeben sich also ein oder mehrere Hohlräume, in die zur Entwärmung in Form von Konvektion ein flüssiges oder gasförmiges Medium einleitbar ist und im Betrieb eingeleitet wird, insbesondere durch den oder jeden Hohlraum geleitet wird.
- Speziell wenn zur Einleitung in den oder jeden Hohlraum ein flüssiges Medium vorgesehen ist, ist der Träger (oder der als Träger fungierende Kühlkörper) mit Dichtungen gegen das jeweilige Gehäuseteil abgedichtet. Bei dem Gehäuseteil handelt es sich zum Beispiel um ein Gehäuseunterteil. Das jeweilige Gehäuseteil weist eine entsprechende Ausnehmung auf, die beim Kombinieren, zum Beispiel durch Verschrauben, Verkleben und dergleichen, des jeweiligen Trägers mit dem Gehäuseteil den Hohlraum bildet.
- Nachfolgend wird ein Ausführungsbeispiel der Erfindung anhand der Zeichnung näher erläutert. Einander entsprechende Gegenstände oder Elemente sind in allen Figuren mit den gleichen Bezugszeichen versehen.
- Es zeigen
-
1 eine erste Ausführungsform eines erfindungsgemäßen Leistungshalbleitermoduls und -
2 eine alternative, zweite Ausführungsform eines erfindungsgemäßen Leistungshalbleitermoduls. -
1 zeigt einen Teil eines Leistungshalbleitermoduls10 in einer teilweise geschnittenen Seitenansicht. Das Leistungshalbleitermodul10 umfasst eine hier nicht mit näheren Details gezeigte Halbleiterschaltung12 , einen Kühlkörper14 und einen hier durch zwei Kondensatoren gebildeten Zwischenkreiskondensator16 . Die Halbleiterschaltung12 umfasst einen oder mehrere nicht gezeigte Halbleiterschalter, zum Beispiel sogenannte IGBTs. Die Halbleiterschaltung12 realisiert die Funktion eines Stromrichters, also zum Beispiel die Funktion eines Gleichrichters oder Wechselrichters. Die Halbleiterschaltung12 kann auch so ausgeführt sein, dass sie sowohl die Funktion eines Gleichrichters wie auch die eines Wechselrichters realisiert. Der Anschluss des Zwischenkreiskondensators16 an die Halbleiterschaltung12 erfolgt demgemäß auf einer Ausgangsseite einer als Gleichrichter fungierenden Halbleiterschaltung12 und/oder auf einer Eingangsseite einer als Wechselrichter fungierenden Halbleiterschaltung12 . - Bei der dargestellten Ausführungsform wird davon ausgegangen, dass die Halbleiterschaltung
12 auf einem in der Leistungselektronik an sich bekannten und in der Fachterminologie als DCB (Direct Copper Bonded) bezeichneten Substrat aufgebracht ist. Dieses schafft die elektrisch leitenden Verbindungen innerhalb der Halbleiterschaltung12 und sorgt für eine gute Wärmeableitung. Der Kühlkörper14 ist dementsprechend großflächig mit der Halbleiterschaltung12 verbunden. - Die Halbleiterschaltung
12 , der Kühlkörper14 und der Zwischenkreiskondensator16 sind zusammen in einem Gehäuse18 ,20 angeordnet, von dem in der Darstellung in1 nur ein Abschnitt eines Gehäuseunterteils18 und ein Abschnitt eines Gehäuseoberteils20 sichtbar ist. - Der Zwischenkreiskondensator
16 ist an die Halbleiterschaltung12 mit zumindest zwei Anschlusselementen22 , von denen in der dargestellten Seitenansicht nur eines erkennbar ist, angeschlossen. Zum Anschluss des Zwischenkreiskondensators16 an die Halbleiterschaltung12 kontaktieren die Anschlusselemente22 jeweils eine Kontaktfläche der Halbleiterschaltung12 . Dabei ist vorgesehen, dass ein elektrisch leitender Kontakt zwischen den Anschlusselementen22 und der Halbleiterschaltung12 mittels des Gehäuses18 ,20 oder einer innerhalb des Gehäuses18 ,20 gehäuseartig fungierenden Abdeckung24 bewirkbar ist. Dafür wird mittels des Gehäuses18 ,20 oder der Abdeckung24 eine Kraft auf die Anschlusselemente22 ausgeübt. Diese hält die Anschlusselemente22 in Kontakt mit den Kontaktflächen der Halbleiterschaltung12 . Durch diesen mechanischen Kontakt wird im Ergebnis auch ein elektrisch leitender Kontakt erreicht. Durch die in der dargestellten Ausführungsform mittels eines Federelements26 oder jeweils eines Federelements26 , insbesondere einer Schraubenfeder, auf die Anschlusselemente22 übertragene Anpresskraft wird eine sichere elektrisch leitende Kontaktierung erreicht, die auch bei Vibrationen und Erschütterungen des Leistungshalbleitermoduls10 einen verlässlichen Anschluss des Zwischenkreiskondensators16 an die Halbleiterschaltung12 gewährleistet. Die gleiche Art der Kontaktierung findet auch im Bereich zumindest zweier Eingangskontaktelemente28 statt, von denen in der dargestellten Seitenansicht ebenfalls nur eines erkennbar ist. Hier wird der die elektrisch leitende Kontaktierung gewährleistende Anpressdruck mittels des Gehäuseoberteils20 aufgebracht und ebenfalls mittels eines Federelements26 oder jeweils eines Federelements26 auf die Eingangskontaktelemente28 übertragen. - Bei der gezeigten Ausführungsform des Leistungshalbleitermoduls
10 weist dessen Gehäuseunterteil18 eine Ausnehmung auf, welche die Kühlrippen des Kühlkörpers14 aufnimmt und welche beim Anbringen des Kühlkörpers14 am Gehäuseunterteil18 einen Hohlraum30 bildet. In diesen Hohlraum30 ist ein gasförmiges oder flüssiges Medium (nicht gezeigt) einleitbar. Im Betrieb des Leistungshalbleitermoduls10 wird ein solches Medium durch den Hohlraum30 geleitet. Dadurch ergibt sich eine effiziente Wärmeabfuhr von der Rückseite des Kühlkörpers14 durch Konvektion und insgesamt eine effiziente Entwärmung des gesamten Leistungshalbleitermoduls10 , und zwar sowohl eine Entwärmung von dessen Halbleiterschaltung12 wie auch des Zwischenkreiskondensators16 . Speziell wenn in den Hohlraum30 ein flüssiges Medium eingeleitet wird, ist der durch die Kombination von Gehäuseunterteil18 und Kühlkörper14 gebildete Hohlraum30 in einem Bereich, in dem sich Gehäuseunterteil18 und Kühlkörper14 berühren, mittels einer Dichtung32 abgedichtet. - Die Darstellung in
2 zeigt eine weitere, alternative Ausführungsform eines Leistungshalbleitermoduls10 , dessen Entwärmung auf dem bereits anhand der Darstellung in1 erläuterten Prinzip beruht. Im Unterschied zu der Ausführungsform gemäß1 weist das hier gezeigte Leistungshalbleitermodul10 einen von dem Kühlkörper14 unabhängigen wärmeleitfähigen Träger34 auf, auf dem der oder jeder als Zwischenkreiskondensator16 fungierende Kondensator aufgebracht ist. Mit dem Kühlkörper14 und dem Gehäuseunterteil18 ist ein erster Hohlraum30 gebildet, der dem bereits anhand der Darstellung in1 erläuterten Hohlraum30 entspricht. Mit dem Träger34 und dem Gehäuseunterteil18 ist ein weiterer Hohlraum30 gebildet, der funktional ebenfalls dem bereits anhand der Darstellung in1 erläuterten Hohlraum30 entspricht. Jeder der in2 gezeigten Hohlräume30 ist grundsätzlich optional. Des Weiteren kommt in Betracht, dass beim Betrieb des Leistungshalbleitermoduls10 nur in einen der Hohlräume30 oder in beide Hohlräume30 zur Entwärmung ein flüssiges oder gasförmiges Medium eingeleitet wird. - Obwohl die Erfindung im Detail durch das Ausführungsbeispiel näher illustriert und beschrieben wurde, so ist die Erfindung nicht durch das oder die offenbarten Beispiele eingeschränkt und andere Variationen können vom Fachmann hieraus abgeleitet werden, ohne den Schutzumfang der Erfindung zu verlassen.
- Einzelne im Vordergrund stehende Aspekte der hier eingereichten Beschreibung lassen sich damit kurz wie folgt zusammenfassen:
Angegeben werden ein Leistungshalbleitermodul10 mit einer Halbleiterschaltung12 mit einer Mehrzahl von in einem gemeinsamen Gehäuse18 angeordneten Leistungshalbleitern, die sich durch zumindest einen im gleichen Gehäuse18 angeordneten und in dem Leistungshalbleitermodul10 als Zwischenkreiskondensator16 fungierenden Kondensator auszeichnet, sowie ein Verfahren zu dessen Betrieb und Herstellung, wobei der oder jeder als Zwischenkreiskondensator (16 ) fungierende Kondensator großflächig auf einem wärmeleitfähigen Träger (14 ,34 ) aufgebracht ist oder wird und wobei beim Betrieb einer besonderen Ausführungsform des Leistungshalbleitermoduls10 durch einen in dem Leistungshalbleitermodul10 gebildeten Hohlraum30 zur Kühlung ein entsprechendes Medium (Kühlmedium) geleitet wird. - ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG
- Diese Liste der vom Anmelder aufgeführten Dokumente wurde automatisiert erzeugt und ist ausschließlich zur besseren Information des Lesers aufgenommen. Die Liste ist nicht Bestandteil der deutschen Patent- bzw. Gebrauchsmusteranmeldung. Das DPMA übernimmt keinerlei Haftung für etwaige Fehler oder Auslassungen.
- Zitierte Patentliteratur
-
- DE 102005055608 B3 [0006, 0007, 0007]
- US 5671134 [0008]
- WO 2011/095309 A2 [0009]
- DE 10236525 A1 [0009]
Claims (6)
- Leistungshalbleitermodul (
10 ), insbesondere IGBT-Modul, mit einer Halbleiterschaltung (12 ) mit einer Mehrzahl von in einem gemeinsamen Gehäuse (18 ,20 ) angeordneten Leistungshalbleitern, gekennzeichnet durch zumindest einen im gleichen Gehäuse (18 ,20 ) angeordneten und in dem Leistungshalbleitermodul (10 ) als Zwischenkreiskondensator (16 ) fungierenden Kondensator, wobei der oder jeder als Zwischenkreiskondensator (16 ) fungierende Kondensator großflächig auf einem wärmeleitfähigen Träger (14 ,34 ) aufgebracht ist. - Leistungshalbleitermodul (
10 ) nach Anspruch 1, wobei der Träger (14 ), auf den der oder jeder als Zwischenkreiskondensator (16 ) fungierende Kondensator großflächig aufgebracht ist, ein zur Entwärmung der Halbleiterschaltung (12 ) auch unter der Halbleiterschaltung (12 ) befindlicher Kühlkörper (14 ) ist. - Leistungshalbleitermodul (
10 ) nach einem der vorangehenden Ansprüche, wobei der oder jeder als Zwischenkreiskondensator (16 ) fungierende Kondensator als Stapelkondensator ausgeführt ist. - Leistungshalbleitermodul (
10 ) nach einem der vorangehenden Ansprüche, wobei der Träger (14 ,34 ) mit Dichtungen (32 ) gegen ein Teil des Gehäuses (18 ,20 ), insbesondere ein als Gehäuseunterteil (18 ) fungierendes Gehäuseteil, abgedichtet ist und wobei in einen mittels des Trägers (14 ,34 ) so abgeschlossenen Hohlraum (30 ) im Gehäuse (18 ,20 ) ein flüssiges oder gasförmiges Medium einleitbar ist. - Verfahren zum Betrieb eines Leistungshalbleitermoduls (
10 ) nach Anspruch 4, wobei durch den mittels des Trägers (14 ,34 ) abgeschlossenen Hohlraum (30 ) im Gehäuse (18 ,20 ) ein flüssiges oder gasförmiges Medium geleitet wird. - Verfahren zur Herstellung eines Leistungshalbleitermoduls (
10 ) nach einem der vorangehenden Ansprüche, wobei nach dem Anbringen der Halbleiterschaltung (12 ) der oder jeder als Zwischenkreiskondensator (16 ) fungierende Kondensator auf den Träger (14 ,34 ) aufgebracht wird, insbesondere aufgeklebt wird, und wobei Anschlusselemente (22 ) des Zwischenkreiskondensators (16 ) mittels des Gehäuses (18 ,20 ) oder einer Abdeckung (24 ) innerhalb des Gehäuses (18 ,20 ) auf dafür vorgesehene Kontaktflächen der Halbleiterschaltung (12 ) gepresst werden.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE102013209444.2A DE102013209444A1 (de) | 2013-05-22 | 2013-05-22 | Leistungshalbleitermodul, Verfahren zum Betrieb eines Leistungshalbleitermoduls und Verfahren zur Herstellung eines Leistungshalbleitermoduls |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE102013209444.2A DE102013209444A1 (de) | 2013-05-22 | 2013-05-22 | Leistungshalbleitermodul, Verfahren zum Betrieb eines Leistungshalbleitermoduls und Verfahren zur Herstellung eines Leistungshalbleitermoduls |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE102013209444A1 true DE102013209444A1 (de) | 2014-11-27 |
Family
ID=51863117
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE102013209444.2A Ceased DE102013209444A1 (de) | 2013-05-22 | 2013-05-22 | Leistungshalbleitermodul, Verfahren zum Betrieb eines Leistungshalbleitermoduls und Verfahren zur Herstellung eines Leistungshalbleitermoduls |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
DE (1) | DE102013209444A1 (de) |
Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102015209352A1 (de) | 2015-05-21 | 2016-06-16 | Siemens Aktiengesellschaft | Leistungshalbleitermodul, Stromrichter und Fahrzeug |
DE102016105783A1 (de) * | 2016-03-30 | 2017-10-05 | Semikron Elektronik Gmbh & Co. Kg | Leistungshalbleitereinrichtung |
DE102017220278A1 (de) * | 2017-11-14 | 2019-05-16 | Robert Bosch Gmbh | Kühlelement für Elektronikmodul |
DE102021207316A1 (de) | 2021-07-12 | 2023-01-12 | Robert Bosch Gesellschaft mit beschränkter Haftung | Leistungselektronik |
WO2023046757A1 (de) * | 2021-09-23 | 2023-03-30 | Vitesco Technologies Germany Gmbh | Leistungshalbleitermodul und antriebsstrang für ein fahrzeug aufweisend ein derartiges leistungshalbleitermodul |
EP4231508A4 (de) * | 2021-02-12 | 2024-04-17 | Aisin Corporation | In einen umrichter integrierte elektrische drehmaschine |
DE102022212458A1 (de) | 2022-11-22 | 2024-05-23 | Magna powertrain gmbh & co kg | Stromrichter mit direkt gekühltem Leistungsmodul und Verfahren zur Herstellung eines Stromrichters |
FR3143941A1 (fr) * | 2022-12-20 | 2024-06-21 | Valeo Equipements Electriques Moteur | dispositif électronique de puissance |
Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5671134A (en) | 1994-09-13 | 1997-09-23 | Fuji Electric Co., Ltd. | Inverter unit and inverter apparatus |
JP2000092858A (ja) * | 1998-09-17 | 2000-03-31 | Hitachi Ltd | 電力変換装置 |
DE10236525A1 (de) | 2002-08-09 | 2004-02-19 | Alstom | Ventilbautelement-Satz in Zweigpaar-Konfiguration für einen elektrischen Wechselrichter |
DE10344633A1 (de) * | 2003-09-25 | 2005-06-09 | Robert Bosch Gmbh | Umrichter für eine elektrische Maschine, insbesondere für einen Starter oder einen Starter-Generator für ein Kraftfahrzeug |
DE102005055608B3 (de) | 2005-11-22 | 2007-05-10 | Semikron Elektronik Gmbh & Co. Kg | Leistungshalbleitermodul mit zueinander parallel geschalteten Kondensatoren |
EP1863156A1 (de) * | 2005-03-25 | 2007-12-05 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Stromumsetzer-kühlstruktur |
DE102007016222B3 (de) * | 2007-04-04 | 2008-11-06 | Semikron Elektronik Gmbh & Co. Kg | Leistungshalbleitermodul in Druckkontaktausführung sowie Verfahren zur Herstellung desselben |
WO2011095309A2 (de) | 2010-02-04 | 2011-08-11 | Compact Dynamics Gmbh | Elektronische baugruppe zum schalten elektrischer leistung |
-
2013
- 2013-05-22 DE DE102013209444.2A patent/DE102013209444A1/de not_active Ceased
Patent Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5671134A (en) | 1994-09-13 | 1997-09-23 | Fuji Electric Co., Ltd. | Inverter unit and inverter apparatus |
JP2000092858A (ja) * | 1998-09-17 | 2000-03-31 | Hitachi Ltd | 電力変換装置 |
DE10236525A1 (de) | 2002-08-09 | 2004-02-19 | Alstom | Ventilbautelement-Satz in Zweigpaar-Konfiguration für einen elektrischen Wechselrichter |
DE10344633A1 (de) * | 2003-09-25 | 2005-06-09 | Robert Bosch Gmbh | Umrichter für eine elektrische Maschine, insbesondere für einen Starter oder einen Starter-Generator für ein Kraftfahrzeug |
EP1863156A1 (de) * | 2005-03-25 | 2007-12-05 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Stromumsetzer-kühlstruktur |
DE102005055608B3 (de) | 2005-11-22 | 2007-05-10 | Semikron Elektronik Gmbh & Co. Kg | Leistungshalbleitermodul mit zueinander parallel geschalteten Kondensatoren |
DE102007016222B3 (de) * | 2007-04-04 | 2008-11-06 | Semikron Elektronik Gmbh & Co. Kg | Leistungshalbleitermodul in Druckkontaktausführung sowie Verfahren zur Herstellung desselben |
WO2011095309A2 (de) | 2010-02-04 | 2011-08-11 | Compact Dynamics Gmbh | Elektronische baugruppe zum schalten elektrischer leistung |
Cited By (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102015209352A1 (de) | 2015-05-21 | 2016-06-16 | Siemens Aktiengesellschaft | Leistungshalbleitermodul, Stromrichter und Fahrzeug |
DE102016105783A1 (de) * | 2016-03-30 | 2017-10-05 | Semikron Elektronik Gmbh & Co. Kg | Leistungshalbleitereinrichtung |
DE102016105783B4 (de) | 2016-03-30 | 2019-05-16 | Semikron Elektronik Gmbh & Co. Kg | Leistungshalbleitereinrichtung |
DE102017220278A1 (de) * | 2017-11-14 | 2019-05-16 | Robert Bosch Gmbh | Kühlelement für Elektronikmodul |
EP4231508A4 (de) * | 2021-02-12 | 2024-04-17 | Aisin Corporation | In einen umrichter integrierte elektrische drehmaschine |
DE102021207316A1 (de) | 2021-07-12 | 2023-01-12 | Robert Bosch Gesellschaft mit beschränkter Haftung | Leistungselektronik |
WO2023046757A1 (de) * | 2021-09-23 | 2023-03-30 | Vitesco Technologies Germany Gmbh | Leistungshalbleitermodul und antriebsstrang für ein fahrzeug aufweisend ein derartiges leistungshalbleitermodul |
DE102022212458A1 (de) | 2022-11-22 | 2024-05-23 | Magna powertrain gmbh & co kg | Stromrichter mit direkt gekühltem Leistungsmodul und Verfahren zur Herstellung eines Stromrichters |
FR3143941A1 (fr) * | 2022-12-20 | 2024-06-21 | Valeo Equipements Electriques Moteur | dispositif électronique de puissance |
EP4391756A1 (de) * | 2022-12-20 | 2024-06-26 | Valeo Equipements Electriques Moteur | Leistungselektronikvorrichtung |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
DE102013209444A1 (de) | Leistungshalbleitermodul, Verfahren zum Betrieb eines Leistungshalbleitermoduls und Verfahren zur Herstellung eines Leistungshalbleitermoduls | |
DE102011104928B4 (de) | Kühlungsaufbau eines Kondensators und Umrichter damit | |
DE102019128721B4 (de) | Leistungselektronikvorrichtung für eine fremderregte Synchronmaschine und Kraftfahrzeug | |
EP2982032B1 (de) | Stromrichteranordnung und verfahren zur herstellung einer stromrichteranordnung | |
WO2014206665A1 (de) | Elektrische schaltung und verfahren zum herstellen einer elektrischen schaltung zur ansteuerung einer last | |
DE102016223889A1 (de) | Stapelbares Elektronikmodul, Wechselrichter und Kraftfahrzeugantriebsstrang | |
DE102012220781A1 (de) | Wärmeleiter zum Einsatz in einem Elektrokraftfahrzeug (EV) oder einem Hybridelektrokraftfahrzeug (HEV) | |
DE102007003875A1 (de) | Stromrichter | |
DE102010030478A1 (de) | Verbindungseinrichtung anordenbar zu einem Photovoltaikmodul | |
DE112020006116T5 (de) | Körper einer elektrischen schaltung, leistungsumsetzungsvorrichtung und herstellungsverfahren für körper einer elektrischen schaltung | |
DE102014213545A1 (de) | Leistungshalbleitermodul | |
DE102013209431B4 (de) | Leistungshalbleitermodul | |
WO2017098028A1 (de) | Energiespeicher für kraftfahrzeuge | |
DE102014101024B3 (de) | Leistungshalbleitereinrichtung | |
DE102016224068B4 (de) | Leistungshalbleiteranordnung und Verfahren zum Herstellen derselben | |
DE102012204159A1 (de) | Leistungshalbleitermodul und Verfahren zur Herstellung desselben | |
DE102016104284B4 (de) | Gekapselte Leistungshalbleitereinrichtung mit einem Metallformkörper als erstem Anschlussleiter | |
DE102020205236A1 (de) | Leistungswandler | |
DE102014213784A1 (de) | Umrichter | |
DE112014007088B4 (de) | Leistungswandlungsvorrichtung mit einem Filterkondensator | |
DE102016105783A1 (de) | Leistungshalbleitereinrichtung | |
DE102012220088A1 (de) | Verbindungseinrichtung und Anordnung hiermit und mit einem Photovoltaikmodul | |
DE102019212727A1 (de) | Halbleitervorrichtung und elektrische Leistungsumwandlungseinrichtung | |
DE102015209352A1 (de) | Leistungshalbleitermodul, Stromrichter und Fahrzeug | |
DE102020127606A1 (de) | Leistungselektronische Schalteinrichtung mit einer Wärmeleiteinrichtung und Verfahren zu ihrer Herstellung |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
R012 | Request for examination validly filed | ||
R002 | Refusal decision in examination/registration proceedings | ||
R003 | Refusal decision now final | ||
R003 | Refusal decision now final |
Effective date: 20150114 |