DE102013106815A1 - Optoelectronic component and method for producing an optoelectronic component - Google Patents

Optoelectronic component and method for producing an optoelectronic component Download PDF

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Abstract

In verschiedenen Ausführungsbeispielen wird ein optoelektronisches Bauelement (140, 160, 250, 350) bereitgestellt, das optoelektronisches Bauelement (140, 160, 250, 350) aufweisend: einen elektrisch aktiven Bereich (136) aufweisend einen optisch aktiven Bereich (132) und einen optisch inaktiven Bereich (134); wobei der elektrisch aktive Bereich (136) wenigstens eine elektrische Sammelschiene (118) aufweist, die in dem optisch aktiven Bereich (132) ausgebildet ist; eine Verkapselungsstruktur auf oder über dem elektrisch aktiven Bereich (136); wobei die Verkapselungsstruktur eine Stützstruktur (122) auf oder über der elektrischen Sammelschiene (118) in dem optisch aktiven Bereich (132) aufweist.In various exemplary embodiments, an optoelectronic component (140, 160, 250, 350) is provided, the optoelectronic component (140, 160, 250, 350) comprising: an electrically active region (136) having an optically active region (132) and an optical inactive area (134); wherein the electrically active region (136) comprises at least one electrical bus bar (118) formed in the optically active region (132); an encapsulation structure on or above the electrically active region (136); wherein the encapsulation structure has a support structure (122) on or above the electrical bus bar (118) in the optically active region (132).

Description

In verschiedenen Ausführungsformen werden ein optoelektronisches Bauelement und ein Verfahren zum Herstellen eines optoelektronischen Bauelementes bereitgestellt.In various embodiments, an optoelectronic component and a method for producing an optoelectronic component are provided.

Ein organisches optoelektronisches Bauelement (dargestellt in 6), beispielsweise eine OLED, kann eine Anode 604 und eine Kathode 608 mit einem organischen funktionellen Schichtensystem 606 dazwischen aufweisen. Das organische funktionelle Schichtensystem 606 kann eine oder mehrere Emitterschicht/en aufweisen (nicht dargestellt), in der/denen elektromagnetische Strahlung erzeugt wird, eine oder mehrere Ladungsträgerpaar-Erzeugungs-Schichtenstruktur (nicht dargestellt) aus jeweils zwei oder mehr Ladungsträgerpaar-Erzeugungs-Schichten („charge generating layer”, CGL) zur Ladungsträgerpaarerzeugung, sowie einer oder mehrerer Elektronenblockadeschichten (nicht dargestellt), auch bezeichnet als Lochtransportschicht(en) („hole transport layer” – HTL), und einer oder mehrerer Lochblockadeschichten (nicht dargestellt), auch bezeichnet als Elektronentransportschicht(en) („electron transport layer” – ETL), um den Stromfluss zu richten. Optoelektronische Bauelemente auf organischer Basis, beispielsweise organische Leuchtdidode (organic light emitting diode – OLED), finden zunehmend verbreitete Anwendung in der Allgemeinbeleuchtung, beispielsweise als Flächenlichtquellen. Ein organisches optoelektronisches Bauelement weist herkömmlich auf: eine erste Elektrode 604, die auf oder über einem Träger 602 ausgebildet ist. Auf oder über der ersten Elektrode 604 ist eine organische funktionelle Schichtenstruktur 606 ausgebildet. Über oder auf der organischen funktionellen Schichtenstruktur 606 ist eine zweite Elektrode 608 ausgebildet. Die zweite Elektrode 608 ist mittels einer elektrischen Isolierung 610 von der ersten Elektrode 604 elektrisch isoliert. Die elektrische Isolierungen 610 ist derart eingerichtet, dass ein Stromfluss zwischen der ersten Elektrode 604 und der zweiten Elektrode 608 verhindert wird. Die zweite Elektrode 608 ist mit einem zweiten Kontaktpad 614 körperlich und elektrisch verbunden und die erste Elektrode 604 mit einem ersten Kontaktpad 612.An organic optoelectronic device (shown in FIG 6 ), for example an OLED, can be an anode 604 and a cathode 608 with an organic functional layer system 606 in between. The organic functional layer system 606 may comprise one or more emitter layers (not shown) in which electromagnetic radiation is generated, one or more charge carrier pair generation layer structures (not shown) each consisting of two or more charge generating pairs ("charge generating layer"). CGL) for charge carrier pair generation, and one or more electron block layers (not shown), also referred to as Hole Transport Layer (HTL), and one or more Lochblockadeschichten (not shown), also referred to as an electron transport layer (s) ("Electron transport layer" - ETL) to direct the flow of electricity. Organic-based optoelectronic components, for example organic light emitting diodes (OLEDs), are finding increasing widespread use in general lighting, for example as surface light sources. An organic optoelectronic device conventionally comprises: a first electrode 604 on or over a carrier 602 is trained. On or above the first electrode 604 is an organic functional layered structure 606 educated. Over or on the organic functional layer structure 606 is a second electrode 608 educated. The second electrode 608 is by means of an electrical insulation 610 from the first electrode 604 electrically isolated. The electrical insulations 610 is configured such that a current flow between the first electrode 604 and the second electrode 608 is prevented. The second electrode 608 is with a second contact pad 614 physically and electrically connected and the first electrode 604 with a first contact pad 612 ,

Die organischen Bestandteile organischer Bauelemente, beispielsweise organischer optoelektronische Bauelemente, beispielsweise einer organischen Leuchtdiode (organic light emitting diode OLED), sind häufig anfällig bezüglich schädlicher Umwelteinflüsse. Ein schädlicher Umwelteinfluss kann beispielsweise ein für organische Stoffe oder organische Stoffgemische schädlicher Stoff sein, beispielsweise Sauerstoff und/oder beispielsweise einem Lösungsmittel, beispielsweise Wasser. Die hermetische Abschirmung von organischen optoelektronischen Flächenlichtquellen ist von Bedeutung, um eine Lagerbeständigkeit, beispielsweise von 10 Jahre, oder eine Lebensdauer im Betrieb, beispielsweise von mehr als 10.000 Stunden für die optoelektronischen Flächenlichtquellen zu gewährleisten. Zum Schutz vor schädlichen Umwelteinflüssen kann ein Bauelement mit einer bezüglich des schädlichen Umwelteinflusses hermetisch dichten Verkapselung umgeben werden, beispielsweise einer Dünnfilmverkapselung, Barrierendünnschicht, Barriereschicht, Verkapselungsschicht, Barrierefolie, einem intrinsisch hermetisch dichtem Stoff oder Stoffgemisch oder ähnlichem. Für die Verkapselung werden Permeabilitätswerte für Wasser und/oder Sauerstoff von weniger als 10–6 g/cm/d gefordert. Organische optoelektronische Bauelement werden daher herkömmlich zum Schutz vor Wasser und/oder Sauerstoff verkapselt, d. h. hermetisch hinsichtlich Wasser und/oder Sauerstoff abgeschirmt. Dabei können die zu schützenden Bereiche eine sehr große Fläche aufspannen. Um diese Werte zu erreichen wird herkömmlich eine flächenhafte Lamination (7a) oder eine Kavitätsglas-Verkapselung (7b) verwendet.The organic constituents of organic components, for example organic optoelectronic components, for example an organic light emitting diode (OLED), are often susceptible to harmful environmental influences. A harmful environmental influence can be, for example, a substance harmful to organic substances or organic substance mixtures, for example oxygen and / or, for example, a solvent, for example water. The hermetic shielding of organic optoelectronic surface light sources is important to ensure a shelf life of, for example, 10 years, or a lifetime in operation, for example, of more than 10,000 hours for the optoelectronic surface light sources. To protect against harmful environmental influences, a component can be surrounded by a hermetically sealed encapsulation, for example a thin-film encapsulation, barrier thin layer, barrier layer, encapsulation layer, barrier film, an intrinsically hermetically sealed substance or mixture of substances or the like. The encapsulation requires permeability values for water and / or oxygen of less than 10 -6 g / cm / d. Organic optoelectronic components are therefore conventionally encapsulated for protection against water and / or oxygen, ie hermetically shielded with respect to water and / or oxygen. The areas to be protected can span a very large area. Conventionally, to achieve these values, a laminar lamination ( 7a ) or a cavity glass encapsulation ( 7b ) used.

7a, b zeigen schematische Darstellungen zu einer herkömmlichen Verkapselung eines organischen optoelektronischen Bauelementes. 7a , b show schematic representations of a conventional encapsulation of an organic optoelectronic component.

7a zeigt ein herkömmliches Verfahren zum Verkapseln eines optoelektronischen Bauelementes 600. Auf der zweiten Elektrode 608 eines optoelektronischen Bauelementes 600 (siehe 6) wird eine Barrierendünnschicht 700 ausgebildet derart, dass die zweite Elektrode 608, die elektrischen Isolierungen 610 und die organische funktionelle Schichtenstruktur 606 von der Barrierendünnschicht 616 umgeben ist. Weiterhin wird auf einer Abdeckung 704 eine Klebstoffschicht 706 aufgebracht. Die Abdeckung 704 ist beispielsweise ein Laminierglas 704 oder eine Folie 704 und der Klebstoff ein Epoxidklebstoff. Die Abdeckung 704 mit Klebstoffschicht 706 wird dann auf die Barrieredünnschicht 702 aufgebracht (dargestellt in 7a). Dadurch wird ein verkapseltes optoelektronisches Bauelement mit einer herkömmlichen Verkapselungsstruktur 706 mit Barrieredünnschicht 700 und auflaminierter Abdeckung 702 ausgebildet. 7a shows a conventional method for encapsulating an optoelectronic device 600 , On the second electrode 608 an optoelectronic component 600 (please refer 6 ) becomes a barrier thin film 700 formed such that the second electrode 608 , the electrical insulations 610 and the organic functional layer structure 606 from the barrier thin film 616 is surrounded. Continue on a cover 704 an adhesive layer 706 applied. The cover 704 is for example a laminating glass 704 or a slide 704 and the adhesive is an epoxy adhesive. The cover 704 with adhesive layer 706 is then on the barrier thin film 702 applied (shown in 7a ). This results in an encapsulated optoelectronic device having a conventional encapsulation structure 706 with barrier thin film 700 and laminated cover 702 educated.

7b zeigt ein weiteres herkömmliches Verfahren zum Verkapseln eines optoelektronischen Bauelementes 600. Auf einer Abdeckung 704 wird ein feuchtigkeitsbindender Getter 710 aufgebracht und im Randbereich der Abdeckung 702 eine laterale Klebstoffschicht 708 aufgebracht. Die Abdeckung 704 mit lateraler Klebstoffschicht 708 und Getter 710 wird dann auf das optoelektronische Bauelement 600 aufgebracht, beispielsweise auf die Kontaktpads 612, 614 (dargestellt in 7b). Dadurch wird eine herkömmliche Kavitätsglasverkapselung 712 ausgebildet. 7b shows another conventional method for encapsulating an optoelectronic device 600 , On a cover 704 becomes a moisture-binding getter 710 applied and in the edge region of the cover 702 a lateral adhesive layer 708 applied. The cover 704 with lateral adhesive layer 708 and getters 710 is then on the optoelectronic device 600 applied, for example on the contact pads 612 . 614 (shown in 7b ). This is a conventional Kavitätsglasverkapselung 712 educated.

Durch einen Epoxidklebstoff und/oder dessen Grenzflächen kann jedoch Feuchtigkeit und/oder Luft (Sauerstoff) durch die Verkapselungsstruktur zu dem optoelektronischen Bauelement 600 eindiffundieren. Weiterhin sind die zu schützenden Bereiche bei einer Flächenlichtquelle sehr groß, so dass dadurch eine erhöhte Partikelempfindlichkeit vorhanden ist (dargestellt in 8a, 8b). Ein optoelektronisches Bauelement 600 mit einer herkömmlichen Verkapselungsstruktur 706 mit Barrierendünnschicht 702 und Abdeckung 704; und ein optoelektronisches Bauelement 600 mit einer Kavitätsglasverkapselung 712 können fehleranfällig sein, beispielsweise hinsichtlich des Klebstoffes, Partikelkontaminationen und/oder visuellen Eigenschaften. Wenn ein Druck 804 oder eine Krümmung 806 auf die Abdeckung 704 wirkt, beispielsweise ein Schutzglas 704 oder ein Laminationsglas 704; kann eine Partikelkontamination 802 in die organischen funktionalen Schichten der OLED gedrückt werden. Dies kann zu einem Kurzschluss führen und/oder latente Wärmepunkte erzeugen. Wärmepunkte könnten als Spätfolge spontane Ausfälle zur Folge haben. Mechanisch flexible Bauelemente können aufgrund der Krümmungsmöglichkeit eine höhere Fehleranfälligkeit aufweisen. However, moisture and / or air (oxygen) can pass through the encapsulation structure to the optoelectronic component due to an epoxy adhesive and / or its boundary surfaces 600 diffuse. Furthermore, the areas to be protected in a surface light source are very large, so that thereby an increased particle sensitivity is present (shown in FIG 8a . 8b ). An optoelectronic component 600 with a conventional encapsulation structure 706 with barrier thin film 702 and cover 704 ; and an optoelectronic device 600 with a cavity glass encapsulation 712 may be susceptible to errors, for example, with regard to the adhesive, particle contamination and / or visual properties. When a pressure 804 or a curvature 806 on the cover 704 acts, for example, a protective glass 704 or a lamination glass 704 ; can be a particle contamination 802 pressed into the organic functional layers of the OLED. This can lead to a short circuit and / or create latent heat spots. Heat spots could result in spontaneous failure as a late consequence. Mechanically flexible components may have a higher susceptibility to error due to the possibility of curvature.

Herkömmlich wird versucht die Anzahl der Partikelkontaminationen in den optoelektronischen Bauelementen zu reduzieren, indem die optoelektronischen Bauelemente unter partikelarmen Bedingungen hergestellt werden oder in einem aufwändigen Verfahren partikelkontaminierte optoelektronische Bauelemente getestet und aussortiert werden. Dadurch wird jedoch das Kosten-Nutzen-Verhältnis beim Herstellen von großflächigen optoelektronischen Bauelementen verschlechtert.Conventionally, attempts are being made to reduce the number of particle contaminations in the optoelectronic components by producing the optoelectronic components under particle-poor conditions or by testing and sorting out particle-contaminated optoelectronic components in a complex process. This, however, the cost-benefit ratio is deteriorated in the manufacture of large-area optoelectronic devices.

Bei einer herkömmlichen Verkapselungsstruktur 706 mit Barrieredünnschicht und auflaminierter Abdeckung 702 weist die Klebstoffschicht 704 herkömmliche eine Dicke in einem Bereich von 10 μm bis 100 μm auf. Die Klebstoffschicht 704 hat herkömmlich jedoch keine homogene Dicke, sondern weist eine Nichtuniformität auf. Mittels dieser Nichtuniformität der Klebstoffschicht 704 können auf der Seite der Abdeckung der Klebstoffschicht 704 Interferenzstreifen entstehen. Diese Interferenzstreifen können bei transparent ausgebildeten optoelektronischen Bauelementen 600 störend sein hinsichtlich der visuellen Erscheinung.In a conventional encapsulation structure 706 with barrier film and laminated cover 702 has the adhesive layer 704 Conventional has a thickness in a range of 10 .mu.m to 100 .mu.m. The adhesive layer 704 However, conventionally, it does not have a homogeneous thickness, but has a nonuniformity. By means of this non-uniformity of the adhesive layer 704 can be on the side of the cover of the adhesive layer 704 Interference fringes arise. These interference fringes can be used with transparent optoelectronic components 600 be disturbing with regard to the visual appearance.

In verschiedenen Ausführungsformen werden ein optoelektronisches Bauelement und ein Verfahren zum Herstellen eines optoelektronischen Bauelementes bereitgestellt, mit denen es möglich ist die mechanische Stabilität verkapselter optoelektronischer Bauelemente zu erhöhen.In various embodiments, an optoelectronic component and a method for producing an optoelectronic component are provided with which it is possible to increase the mechanical stability of encapsulated optoelectronic components.

In verschiedenen Ausführungsformen wird ein optoelektronisches Bauelement bereitgestellt, das optoelektronische Bauelement aufweisend: einen elektrisch aktiven Bereich aufweisend einen optisch aktiven Bereich und einen optisch inaktiven Bereich; wobei der elektrisch aktive Bereich wenigstens eine elektrische Sammelschiene aufweist, die in dem optisch aktiven Bereich ausgebildet ist; eine Verkapselungsstruktur auf oder über dem elektrisch aktiven Bereich; wobei die Verkapselungsstruktur eine Stützstruktur auf oder über der elektrischen Sammelschiene in dem optisch aktiven Bereich aufweist.In various embodiments, an optoelectronic component is provided, the optoelectronic component having: an electrically active region having an optically active region and an optically inactive region; wherein the electrically active region comprises at least one electrical bus bar formed in the optically active region; an encapsulation structure on or above the electrically active region; wherein the encapsulation structure has a support structure on or above the electrical bus bar in the optically active region.

In einer Ausgestaltung kann das optoelektronisches Bauelement als eine organische Leuchtdiode ausgebildet sein.In one embodiment, the optoelectronic component can be designed as an organic light-emitting diode.

In einer Ausgestaltung kann das optoelektronisches Bauelement als eine organische Solarzelle ausgebildet sein.In one embodiment, the optoelectronic component may be formed as an organic solar cell.

In einer Ausgestaltung kann der elektrisch aktive Bereich eine elektrisch funktionale Struktur aufweisen, wobei die elektrisch funktionale Struktur eine organische funktionelle Schichtenstruktur zwischen einer ersten Elektrode und einer zweiten Elektrode aufweist.In one embodiment, the electrically active region may have an electrically functional structure, wherein the electrically functional structure has an organic functional layer structure between a first electrode and a second electrode.

In einer Ausgestaltung kann die organische funktionelle Schichtenstruktur zu einem Emittieren von elektromagnetischer Strahlung aus einer bereitgestellten elektrischen Energie und/oder zu einem Erzeugen einer elektrischen Energie aus einer absorbierten elektromagnetischen Strahlung ausgebildet sein.In one embodiment, the organic functional layer structure may be configured to emit electromagnetic radiation from a supplied electrical energy and / or to generate an electrical energy from an absorbed electromagnetic radiation.

In einer Ausgestaltung kann die organische funktionelle Schichtenstruktur wenigstens teilweise in dem optisch aktiven Bereich ausgebildet sein.In one embodiment, the organic functional layer structure may be at least partially formed in the optically active region.

In einer Ausgestaltung kann die elektrische Sammelschiene mit der ersten Elektrode oder mit der zweiten Elektrode elektrisch gekoppelt sein.In one embodiment, the electrical busbar may be electrically coupled to the first electrode or to the second electrode.

In einer Ausgestaltung kann das optoelektronische Bauelement ferner ein erstes Kontaktpad und ein zweites Kontaktpad aufweisen, wobei das erste Kontaktpad mit der ersten Elektrode und das zweite Kontaktpad mit der zweiten Elektrode elektrisch gekoppelt sein können.In one configuration, the optoelectronic component may further include a first contact pad and a second contact pad, wherein the first contact pad may be electrically coupled to the first electrode and the second contact pad may be electrically coupled to the second electrode.

In einer Ausgestaltung können/kann die erste Elektrode, die zweite Elektrode, die elektrische Sammelschiene, das erste Kontaktpad und/oder das zweite Kontaktpad wenigstens teilweise in dem optisch inaktiven Bereich ausgebildet sein.In one embodiment, the first electrode, the second electrode, the electrical busbar, the first contact pad and / or the second contact pad may be at least partially formed in the optically inactive region.

In einer Ausgestaltung kann die elektrische Sammelschiene derart in dem optisch aktiven Bereich ausgebildet sein, dass die elektrische Sammelschiene wenigstens teilweise auf oder über einem Teil der organischen funktionellen Schichtenstruktur ausgebildet ist und/oder wobei wenigstens ein Teil der organischen funktionellen Schichtenstruktur auf oder über der elektrischen Sammelschiene ausgebildet ist.In one embodiment, the electrical busbar may be formed in the optically active region such that the electrical Busbar is at least partially formed on or over a part of the organic functional layer structure and / or wherein at least a part of the organic functional layer structure is formed on or above the electrical busbar.

In einer Ausgestaltung kann das optoelektronische Bauelement eine erste elektrische Sammelschiene und wenigstens eine zweite elektrische Sammelschiene aufweisen, wobei die erste elektrische Sammelschiene mit der ersten Elektrode und die wenigstens eine zweite elektrische Sammelschiene mit der zweiten Elektrode elektrisch gekoppelt ist.In one embodiment, the optoelectronic component may have a first electrical busbar and at least one second electrical busbar, wherein the first electrical busbar is electrically coupled to the first electrode and the at least one second electrical busbar is electrically coupled to the second electrode.

In einer Ausgestaltung kann die Stützstruktur als zweite Sammelschiene ausgebildet sein.In one embodiment, the support structure may be formed as a second busbar.

In einer Ausgestaltung kann die Verkapselungsstruktur eine Abdeckung aufweisen.In one embodiment, the encapsulation structure may have a cover.

In einer Ausgestaltung kann die Abdeckung hermetisch dicht hinsichtlich Wasser und/oder Sauerstoff ausgebildet sein.In one embodiment, the cover may be hermetically sealed with respect to water and / or oxygen.

In einer Ausgestaltung kann die Abdeckung als eine Folie ausgebildet sein.In one embodiment, the cover may be formed as a film.

In einer Ausgestaltung kann die Abdeckung als eine Glasabdeckung, Metallabdeckung oder Kunststoffabdeckung eingerichtet sein.In one embodiment, the cover may be configured as a glass cover, metal cover or plastic cover.

In einer Ausgestaltung kann die Verkapselungsstruktur als eine Dünnschicht ausgebildet sein oder eine Dünnschicht aufweisen, die hermetisch dicht hinsichtlich Wasser und/oder Sauerstoff ausgebildet ist.In one embodiment, the encapsulation structure may be formed as a thin layer or have a thin layer that is hermetically sealed with respect to water and / or oxygen.

In einer Ausgestaltung kann die Verkapselungsstruktur wenigstens die flächige Abmessung des optisch aktiven. Bereiches aufweisen.In one embodiment, the encapsulation structure can be at least the areal dimension of the optically active. Have area.

In einer Ausgestaltung kann die Abdeckung schlüssig mit der elektrisch funktionalen. Struktur verbundenen sein, beispielsweise stoffschlüssig.In one embodiment, the cover can be conclusive with the electrically functional. Structure be connected, for example, cohesively.

In einer Ausgestaltung kann die Verbindung der Abdeckung mit der elektrisch funktionalen Struktur hermetisch dicht hinsichtlich Wasser und/oder Sauerstoff ausgebildet sein.In one embodiment, the connection of the cover to the electrically functional structure may be hermetically sealed with respect to water and / or oxygen.

In einer Ausgestaltung kann die Abdeckung mit der elektrisch funktionalen Struktur wenigstens teilweise in dem optisch inaktiven Bereich verbunden sein.In one embodiment, the cover may be connected to the electrically functional structure at least partially in the optically inactive region.

In einer Ausgestaltung kann wenigstens eine Stützstruktur einen Stoff oder ein Stoffgemisch aufweisen, der/das hermetisch dicht ist hinsichtlich Wasser und/oder Sauerstoff.In one embodiment, at least one support structure may comprise a substance or mixture of substances which is hermetically sealed with respect to water and / or oxygen.

In einer Ausgestaltung kann wenigstens eine Stützstruktur einen der folgenden Stoffe aufweisen oder daraus gebildet ist: ein Metall, ein Metalloxid, eine Keramik, einen Kunststoff.In one embodiment, at least one support structure may comprise or be formed from one of the following materials: a metal, a metal oxide, a ceramic, a plastic.

In einer Ausgestaltung kann wenigstens eine Stützstruktur einen eutektischen Stoff aufweisen oder daraus gebildet ist.In one embodiment, at least one support structure may comprise or be formed from a eutectic substance.

In einer Ausgestaltung kann wenigstens eine Stützstruktur eine Metalllegierung aufweisen oder daraus gebildet sein aus einem oder mehreren der folgenden Stoffe: Gallium, Indium, Zinn, Chrom, Molybdän, Gold, Silber und/oder Aluminium.In one embodiment, at least one support structure may comprise or be formed from one or more of the following materials: gallium, indium, tin, chromium, molybdenum, gold, silver and / or aluminum.

In einer Ausgestaltung kann wenigstens eine Stützstruktur einen Klebstoff, einen Kunststoff und/oder einen Lack aufweisen, beispielsweise ein Harz, ein Epoxid, ein Polyacrylat.In one embodiment, at least one support structure may comprise an adhesive, a plastic and / or a lacquer, for example a resin, an epoxide, a polyacrylate.

In einer Ausgestaltung kann das optoelektronische Bauelement eine erste Stützstruktur und wenigstens eine zweiten Stützstruktur aufweisen.In one embodiment, the optoelectronic component may have a first support structure and at least one second support structure.

In einer Ausgestaltung kann die Abdeckung mit der elektrisch funktionalen Struktur mittels einer zweiten Stützstruktur und/oder einer dritten Stützstruktur schlüssig verbunden sein.In one embodiment, the cover can be connected to the electrically functional structure by means of a second support structure and / or a third support structure.

In einer Ausgestaltung kann die Abdeckung mit der elektrisch funktionalen Struktur derart mittels einer weiteren Stützstruktur verbunden sein, dass mit der ersten Stützstruktur und der weiteren Stützstruktur wenigstens eine Kavität zwischen der Abdeckung und der elektrisch funktionalen Struktur ausgebildet ist.In one embodiment, the cover may be connected to the electrically functional structure by means of a further support structure such that at least one cavity is formed between the cover and the electrically functional structure with the first support structure and the further support structure.

In einer Ausgestaltung kann die erste Stützstruktur und die wenigstens eine zweite Stützstruktur derart ausgebildet sein, dass der Abstand der Abdeckung zu der elektrisch funktionalen Struktur größer ist als die Dicke der elektrisch funktionalen Struktur.In one embodiment, the first support structure and the at least one second support structure may be formed such that the distance of the cover to the electrically functional structure is greater than the thickness of the electrically functional structure.

In einer Ausgestaltung kann die Kavität wenigstens teilweise ein Gas oder Gasgemisch aufweisen oder damit gefüllt sein.In one embodiment, the cavity may at least partially comprise or be filled with a gas or gas mixture.

In einer Ausgestaltung kann die Stützstruktur auf der Abdeckung in der Kavität und/oder auf der elektrisch aktiven Struktur ausgebildet sein.In one embodiment, the support structure may be formed on the cover in the cavity and / or on the electrically active structure.

In einer Ausgestaltung kann die Stützstruktur kann die Stützstruktur die Abdeckung und die elektrisch funktionale Struktur mechanisch miteinander verbinden.In one embodiment, the support structure may mechanically connect the support structure to the cover and the electrically functional structure.

In einer Ausgestaltung kann die Stützstruktur als eine schlüssige Verbindung der elektrisch funktionalen Struktur mit der Abdeckung ausgebildet sein, beispielswiese als eine stoffschlüssige Verbindung.In one embodiment, the support structure may be formed as a conclusive connection of the electrically functional structure with the cover, for example, as a material connection.

In einer Ausgestaltung kann auf der Abdeckung in der Kavität wenigstens eine funktionale Schicht ausgebildet sein. In one embodiment, at least one functional layer may be formed on the cover in the cavity.

In einer Ausgestaltung kann die funktionale Schicht ein Getter aufweisen oder daraus ausgebildet sein.In one embodiment, the functional layer may include or be formed from a getter.

In einer Ausgestaltung kann der Getter ein Zeolith aufweisen oder daraus gebildet sein.In one embodiment, the getter may comprise or be formed from a zeolite.

In einer Ausgestaltung kann die funktionale Schicht Streuzentren aufweisen für elektromagnetische Strahlung, die von dem optoelektronischen Bauelement emittiert oder absorbiert wird.In one embodiment, the functional layer may comprise scattering centers for electromagnetic radiation which is emitted or absorbed by the optoelectronic component.

In einer Ausgestaltung können die Streuzentren als Mikrolinsen ausgebildet sein.In one embodiment, the scattering centers may be formed as microlenses.

In einer Ausgestaltung kann die funktionale Schicht als eine Barrierendünnschicht ausgebildet sein.In one embodiment, the functional layer may be formed as a barrier thin film.

In einer Ausgestaltung kann die funktionale Schicht als eine Antihaftschicht ausgebildet sein hinsichtlich Wasser.In one embodiment, the functional layer may be formed as an anti-adhesion layer with respect to water.

In einer Ausgestaltung kann die funktionale Schicht als eine Antihaftschicht ausgebildet sein hinsichtlich einem Stoff oder Stoffgemisch der wenigstens einen Stützstruktur.In one embodiment, the functional layer may be formed as an anti-adhesion layer with respect to a substance or substance mixture of the at least one support structure.

In einer Ausgestaltung kann die funktionale Schicht als eine Einkoppel-Schicht oder eine Auskoppel-Schicht ausgebildet sein hinsichtlich elektromagnetischer Strahlung, die von dem optoelektronischen Bauelement emittiert oder absorbiert wird.In one embodiment, the functional layer may be formed as a coupling-in layer or a coupling-out layer with respect to electromagnetic radiation which is emitted or absorbed by the optoelectronic component.

In einer Ausgestaltung kann die funktionale Schicht als eine UV-Schutzschicht ausgebildet sein.In one embodiment, the functional layer may be formed as a UV protective layer.

In einer Ausgestaltung kann der Stoff oder das Stoffgemisch der funktionalen Schicht elastisch oder viskoelastisch ausgebildet sein.In one embodiment, the substance or the substance mixture of the functional layer may be elastic or viscoelastic.

In einer Ausgestaltung kann die funktionale Schicht ein höheres Kompressionsmodul aufweisen als die organische funktionelle Schichtenstruktur.In one embodiment, the functional layer may have a higher compression modulus than the organic functional layer structure.

In einer Ausgestaltung kann die funktionale Schicht ein höheres Kompressionsmodul aufweisen als die elektrisch funktionale Struktur.In one embodiment, the functional layer may have a higher compression modulus than the electrically functional structure.

In einer Ausgestaltung kann die funktionale Schicht eine Schichtdicke aufweisen die kleiner ist als der Abstand der Abdeckung zu der elektrisch funktionalen Struktur.In one embodiment, the functional layer may have a layer thickness which is smaller than the distance of the cover from the electrically functional structure.

In einer Ausgestaltung kann die Verkapselungsstruktur als eine Barrierendünnschicht und/oder eine ALD-Schicht oder MLD-Schicht ausgebildet sein oder eine solche aufweisen.In one embodiment, the encapsulation structure may be formed as a barrier thin film and / or an ALD layer or MLD layer or have such.

In einer Ausgestaltung kann die Verkapselungsstruktur als eine Kavitäts-Verkapselung ausgebildet sein.In one embodiment, the encapsulation structure may be formed as a cavity encapsulation.

In einer Ausgestaltung kann die Stützstruktur eine Breite aufweisen die ähnlich der Breite der elektrischen Sammelschiene ist.In one embodiment, the support structure may have a width that is similar to the width of the electrical busbar.

In einer Ausgestaltung kann die Stützstruktur ungefähr kongruent auf oder über der elektrischen Sammelschiene ausgebildet sein.In one embodiment, the support structure may be approximately congruent on or over the electrical busbar.

In einer Ausgestaltung kann die Stützstruktur wenigstens teilweise von der organischen funktionellen Schichtenstruktur umgeben ausgebildet sein.In one embodiment, the support structure may be formed at least partially surrounded by the organic functional layer structure.

In einer Ausgestaltung kann wenigstens eine Stützstruktur wenigstens teilweise mit wenigstens einer elektrischen Sammelschiene elektrisch gekoppelt und/oder mechanisch verbunden sein.In one embodiment, at least one support structure may be at least partially electrically coupled to at least one electrical busbar and / or mechanically connected.

In einer Ausgestaltung kann wenigstens eine zweite Stützstruktur neben der ersten Stützstruktur ausgebildet sein.In one embodiment, at least one second support structure may be formed adjacent to the first support structure.

In einer Ausgestaltung kann wenigstens eine zweite Stützstruktur über der ersten Stützstruktur ausgebildet sein.In one embodiment, at least one second support structure may be formed over the first support structure.

In einer Ausgestaltung kann wenigstens eine zweite Stützstruktur mit der ersten Stützstruktur elektrisch und/oder mechanisch gekoppelt ausgebildet sein.In one embodiment, at least one second support structure may be electrically and / or mechanically coupled to the first support structure.

In einer Ausgestaltung kann wenigstens eine zweite Stützstruktur elektrisch isoliert von der ersten Stützstruktur ausgebildet sein.In one embodiment, at least one second support structure may be formed electrically insulated from the first support structure.

In verschiedenen Ausführungsformen wird ein Verfahren zum Herstellen eines optoelektronischen Bauelementes bereitgestellt, das Verfahren aufweisend: Ausbilden eines elektrisch aktiven Bereichs aufweisend einen optisch aktiven Bereich und einen optisch inaktiven Bereich; wobei der elektrisch aktive Bereich wenigstens eine elektrische Sammelschiene aufweisend ausgebildet wird, wobei die Sammelschiene in dem optisch aktiven Bereich ausgebildet wird; Ausbilden einer Verkapselungsstruktur auf oder über dem elektrisch aktiven Bereich; wobei die Verkapselungsstruktur mit einer Stützstruktur auf oder über der elektrischen Sammelschiene in dem optisch aktiven Bereich ausgebildet wird.In various embodiments, there is provided a method of fabricating an optoelectronic device, the method comprising: forming an electrically active region comprising an optically active region and an optically inactive region; wherein the electrically active region is formed to have at least one electrical busbar, the busbar being formed in the optically active region; Forming an encapsulation structure on or over the electrically active region; wherein the encapsulation structure is formed with a support structure on or above the electrical bus bar in the optically active region.

In einer Ausgestaltung des Verfahrens kann das optoelektronisches Bauelement als eine organische Leuchtdiode ausgebildet werden. In one embodiment of the method, the optoelectronic component can be formed as an organic light-emitting diode.

In einer Ausgestaltung des Verfahrens kann das optoelektronisches Bauelement als eine organische Solarzelle ausgebildet werden.In one embodiment of the method, the optoelectronic component can be formed as an organic solar cell.

In einer Ausgestaltung des Verfahrens kann das Ausbilden des elektrisch aktiven Bereichs ein Ausbilden einer elektrisch funktionalen Struktur aufweisen, wobei die elektrisch funktionale Struktur eine organische funktionelle Schichtenstruktur zwischen einer ersten Elektrode und einer zweiten Elektrode aufweist.In one configuration of the method, forming the electrically active region may include forming an electrically functional structure, wherein the electrically functional structure has an organic functional layer structure between a first electrode and a second electrode.

In einer Ausgestaltung des Verfahrens kann die organische funktionelle Schichtenstruktur zu einem Emittieren von elektromagnetischer Strahlung aus einer bereitgestellten elektrischen Energie und/oder zu einem Erzeugen einer elektrischen Energie aus einer absorbierten elektromagnetischen Strahlung ausgebildet werden.In one embodiment of the method, the organic functional layer structure may be formed for emitting electromagnetic radiation from a supplied electrical energy and / or for generating an electrical energy from an absorbed electromagnetic radiation.

In einer Ausgestaltung des Verfahrens kann die organische funktionelle Schichtenstruktur wenigstens teilweise in dem optisch aktiven Bereich ausgebildet werden.In one embodiment of the method, the organic functional layer structure can be formed at least partially in the optically active region.

In einer Ausgestaltung des Verfahrens kann die elektrische Sammelschiene mit der ersten Elektrode oder mit der zweiten Elektrode elektrisch gekoppelt ausgebildet werden.In one embodiment of the method, the electrical busbar can be formed electrically coupled to the first electrode or to the second electrode.

In einer Ausgestaltung des Verfahrens kann das Verfahren ferner ein Ausbilden eines ersten Kontaktpads und ein zweites Kontaktpads aufweisen, wobei das erste Kontaktpad mit der ersten Elektrode und das zweite Kontaktpad mit der zweiten Elektrode elektrisch gekoppelt ausgebildet werden.In one embodiment of the method, the method may further include forming a first contact pad and a second contact pad, wherein the first contact pad with the first electrode and the second contact pad with the second electrode are formed electrically coupled.

In einer Ausgestaltung des Verfahrens kann die erste Elektrode, die zweite Elektrode, die elektrische Sammelschiene, das erste Kontaktpad und/oder das zweite Kontaktpad wenigstens teilweise in dem optisch inaktiven Bereich ausgebildet werden.In one configuration of the method, the first electrode, the second electrode, the electrical busbar, the first contact pad and / or the second contact pad may be formed at least partially in the optically inactive region.

In einer Ausgestaltung des Verfahrens kann die elektrische Sammelschiene derart in dem optisch aktiven Bereich ausgebildet werden, dass die elektrische Sammelschiene wenigstens teilweise auf oder über einem Teil der organischen funktionellen Schichtenstruktur ausgebildet ist und/oder wobei wenigstens ein Teil der organischen funktionellen Schichtenstruktur auf oder über der elektrischen Sammelschiene ausgebildet ist.In one embodiment of the method, the electrical busbar can be formed in the optically active region such that the electrical busbar is at least partially formed on or over part of the organic functional layer structure and / or at least part of the organic functional layer structure on or above the electrical busbar is formed.

In einer Ausgestaltung des Verfahrens kann das Verfahren ferner ein Ausbilden einer ersten elektrischen Sammelschiene und wenigstens einer zweiten elektrischen Sammelschiene aufweisen.In one embodiment of the method, the method may further comprise forming a first electrical busbar and at least one second electrical busbar.

In einer Ausgestaltung des Verfahrens kann die erste elektrische Sammelschiene mit der ersten Elektrode und die wenigstens eine zweite elektrische Sammelschiene mit der zweiten Elektrode elektrisch gekoppelt ausgebildet werden.In one embodiment of the method, the first electrical busbar can be formed electrically coupled to the first electrode and the at least one second electrical busbar to the second electrode.

In einer Ausgestaltung des Verfahrens kann die Stützstruktur als zweite Sammelschiene ausgebildet werden.In one embodiment of the method, the support structure may be formed as a second busbar.

In einer Ausgestaltung des Verfahrens kann das Ausbilden der Verkapselungsstruktur ein Ausbilden oder ein Aufbringen einer Abdeckung aufweisen oder ein Aufbringen einer Abdeckung auf oder über der elektrischen funktionalen Struktur aufweisen.In one configuration of the method, the formation of the encapsulation structure may include forming or applying a cover or may include applying a cover on or above the electrical functional structure.

In einer Ausgestaltung des Verfahrens kann die Abdeckung hermetisch dicht hinsichtlich Wasser und/oder Sauerstoff ausgebildet werden.In one embodiment of the method, the cover can be formed hermetically sealed with respect to water and / or oxygen.

In einer Ausgestaltung des Verfahrens kann die Abdeckung als eine Folie ausgebildet werden oder eingerichtet sein.In one embodiment of the method, the cover can be formed as a film or be set up.

In einer Ausgestaltung des Verfahrens kann die Abdeckung als eine Glasabdeckung, Metallabdeckung oder Kunststoffabdeckung eingerichtet sein.In one embodiment of the method, the cover may be configured as a glass cover, metal cover or plastic cover.

In einer Ausgestaltung des Verfahrens kann die Verkapselungsstruktur als eine Dünnschicht ausgebildet wird oder ein Ausbilden einer Dünnschicht aufweist, wobei die Dünnschicht hermetisch dicht hinsichtlich Wasser und/oder Sauerstoff ausgebildet ist/wird.In one embodiment of the method, the encapsulation structure may be formed as a thin layer or may comprise a thin layer, wherein the thin layer is hermetically sealed with respect to water and / or oxygen.

In einer Ausgestaltung des Verfahrens kann die Verkapselungsstruktur wenigstens die flächige Abmessung des optisch aktiven Bereiches aufweisend ausgebildet werden.In one embodiment of the method, the encapsulation structure can be formed having at least the areal dimension of the optically active region.

In einer Ausgestaltung des Verfahrens kann die Abdeckung schlüssig mit der elektrisch funktionalen Struktur verbundenen werden, beispielsweise stoffschlüssig.In one embodiment of the method, the cover can be connected conclusively to the electrically functional structure, for example by material bonding.

In einer Ausgestaltung des Verfahrens kann die Verbindung der Abdeckung mit der elektrisch funktionalen Struktur hermetisch dicht hinsichtlich Wasser und/oder Sauerstoff ausgebildet werden.In one embodiment of the method, the connection of the cover to the electrically functional structure can be hermetically sealed with respect to water and / or oxygen.

In einer Ausgestaltung des Verfahrens kann die Abdeckung mit der elektrisch funktionalen Struktur wenigstens teilweise in dem optisch inaktiven Bereich schlüssig verbunden werden.In one embodiment of the method, the cover can be connected to the electrically functional structure at least partially in the optically inactive region conclusive.

In einer Ausgestaltung des Verfahrens kann wenigstens eine Stützstruktur einen Stoff oder ein Stoffgemisch aufweisen, der/das hermetisch dicht ist hinsichtlich Wasser und/oder Sauerstoff.In one embodiment of the method, at least one support structure may comprise a substance or a substance mixture which is hermetically sealed with respect to water and / or oxygen.

In einer Ausgestaltung des Verfahrens kann wenigstens eine Stützstruktur einen der folgenden Stoffe aufweisen oder daraus gebildet werden: ein Metall, ein Metalloxid, eine Keramik, einen Kunststoff.In one embodiment of the method, at least one support structure may be one of the following Comprise or be formed from substances: a metal, a metal oxide, a ceramic, a plastic.

In einer Ausgestaltung des Verfahrens kann wenigstens eine Stützstruktur einen eutektischen Stoff aufweisen oder daraus gebildet werden.In one embodiment of the method, at least one support structure may comprise or be formed from a eutectic substance.

In einer Ausgestaltung des Verfahrens kann wenigstens eine Stützstruktur eine Metalllegierung aufweisen oder daraus gebildet werden aus einem oder mehreren der folgenden Stoffe: aus Gallium, Indium, Zinn, Chrom, Molybdän, Gold, Silber und/oder Aluminium.In one embodiment of the method, at least one support structure may comprise or be formed from one or more of the following materials: gallium, indium, tin, chromium, molybdenum, gold, silver and / or aluminum.

In einer Ausgestaltung des Verfahrens kann wenigstens eine Stützstruktur einen Klebstoff, einen Kunststoff und/oder einen Lack aufweisen oder daraus gebildet werden, beispielsweise ein Harz, ein Epoxid, ein Polyacrylat.In one embodiment of the method, at least one support structure may comprise or be formed from an adhesive, a plastic and / or a lacquer, for example a resin, an epoxide, a polyacrylate.

In einer Ausgestaltung des Verfahrens kann die Abdeckung mit der elektrisch funktionalen Struktur mittels einer zweiten Stützstruktur und/oder einer dritten Stützstruktur schlüssig verbunden werden.In one embodiment of the method, the cover can be connected conclusively to the electrically functional structure by means of a second support structure and / or a third support structure.

In einer Ausgestaltung des Verfahrens kann die Abdeckung mit der elektrisch funktionalen Struktur derart mittels einer weiteren Stützstruktur verbunden werden, dass mit der ersten Stützstruktur und der weiteren Stützstruktur wenigstens eine Kavität zwischen der Abdeckung und der elektrisch funktionalen Struktur ausgebildet wird.In one embodiment of the method, the cover can be connected to the electrically functional structure by means of a further support structure such that at least one cavity is formed between the cover and the electrically functional structure with the first support structure and the further support structure.

In einer Ausgestaltung des Verfahrens kann die erste Stützstruktur und die wenigstens eine zweite Stützstruktur derart ausgebildet werden, dass der Abstand der Abdeckung zu der elektrisch funktionalen Struktur größer ist als die Dicke der elektrisch funktionalen Struktur.In one embodiment of the method, the first support structure and the at least one second support structure may be formed such that the distance of the cover from the electrically functional structure is greater than the thickness of the electrically functional structure.

In einer Ausgestaltung des Verfahrens kann die Kavität wenigstens teilweise mit einem Gas oder Gasgemisch gefüllt werden.In one embodiment of the method, the cavity can be at least partially filled with a gas or gas mixture.

In einer Ausgestaltung des Verfahrens kann die Stützstruktur auf der Abdeckung in der Kavität und/oder auf der elektrisch aktiven Struktur ausgebildet sein.In one embodiment of the method, the support structure may be formed on the cover in the cavity and / or on the electrically active structure.

In einer Ausgestaltung des Verfahrens kann die Stützstruktur kann die Stützstruktur die Abdeckung und die elektrisch funktionale Struktur mechanisch miteinander verbinden.In one embodiment of the method, the support structure may mechanically connect the support structure to the cover and the electrically functional structure.

In einer Ausgestaltung des Verfahrens kann die Stützstruktur als eine schlüssige Verbindung der elektrisch funktionalen Struktur mit der Abdeckung ausgebildet sein, beispielswiese als eine stoffschlüssige Verbindung.In one embodiment of the method, the support structure may be formed as a conclusive connection of the electrically functional structure with the cover, for example as a material connection.

In einer Ausgestaltung des Verfahrens kann auf der Abdeckung in der Kavität wenigstens eine funktionale Schicht ausgebildet werden.In one embodiment of the method, at least one functional layer can be formed on the cover in the cavity.

In einer Ausgestaltung des Verfahrens kann die funktionale Schicht ein Getter aufweisen oder daraus ausgebildet werden.In one embodiment of the method, the functional layer can have a getter or be formed therefrom.

In einer Ausgestaltung des Verfahrens kann der Getter ein Zeolith aufweisen oder daraus gebildet werden.In one embodiment of the method, the getter may comprise or be formed from a zeolite.

In einer Ausgestaltung des Verfahrens kann die funktionale Schicht derart ausgebildet werden, dass die funktionale Schicht Streuzentren für elektromagnetische Strahlung aufweist, wobei die elektromagnetische Strahlung von dem optoelektronischen Bauelement emittiert oder absorbiert wird.In one embodiment of the method, the functional layer can be formed such that the functional layer has scattering centers for electromagnetic radiation, wherein the electromagnetic radiation is emitted or absorbed by the optoelectronic component.

In einer Ausgestaltung des Verfahrens können die Streuzentren als Mikrolinsen ausgebildet werden.In one embodiment of the method, the scattering centers can be formed as microlenses.

In einer Ausgestaltung des Verfahrens kann die funktionale Schicht als eine Barrierendünnschicht ausgebildet werden.In one embodiment of the method, the functional layer may be formed as a barrier thin film.

In einer Ausgestaltung des Verfahrens kann die funktionale Schicht als eine Antihaftschicht ausgebildet werden hinsichtlich Wasser.In one embodiment of the method, the functional layer may be formed as an anti-adhesion layer with respect to water.

In einer Ausgestaltung des Verfahrens kann die funktionale Schicht als eine Antihaftschicht ausgebildet werden hinsichtlich einem Stoff oder Stoffgemisch der wenigstens einen Stützstruktur.In one embodiment of the method, the functional layer may be formed as an anti-adhesion layer with respect to a substance or mixture of substances of the at least one support structure.

In einer Ausgestaltung des Verfahrens kann die funktionale Schicht als eine Einkoppel-Schicht oder eine Auskoppel-Schicht ausgebildet werden hinsichtlich elektromagnetischer Strahlung, die von dem optoelektronischen Bauelement emittiert oder absorbiert wird.In one embodiment of the method, the functional layer can be formed as a coupling-in layer or a coupling-out layer with regard to electromagnetic radiation which is emitted or absorbed by the optoelectronic component.

In einer Ausgestaltung des Verfahrens kann die funktionale Schicht als eine UV-Schutzschicht ausgebildet werden.In one embodiment of the method, the functional layer can be formed as a UV protective layer.

In einer Ausgestaltung des Verfahrens kann der Stoff oder das Stoffgemisch der funktionalen Schicht elastisch oder viskoelastisch ausgebildet werden.In one embodiment of the method, the substance or the substance mixture of the functional layer can be formed elastically or viscoelastically.

In einer Ausgestaltung des Verfahrens kann die funktionale Schicht derart ausgebildet werden, dass die funktionale Schicht ein höheres Kompressionsmodul aufweist als die organische funktionelle Schichtenstruktur.In one embodiment of the method, the functional layer may be formed such that the functional layer has a higher compression modulus than the organic functional layer structure.

In einer Ausgestaltung des Verfahrens kann die funktionale Schicht derart ausgebildet werden, dass die funktionale Schicht eine Schichtdicke aufweist die kleiner ist als der Abstand der Abdeckung zu der elektrisch funktionalen Struktur.In one embodiment of the method, the functional layer can be formed in such a way that in that the functional layer has a layer thickness which is smaller than the distance of the cover from the electrically functional structure.

In einer Ausgestaltung des Verfahrens kann Verkapselungsstruktur als eine Barrierendünnschicht und/oder eine ALD-Schicht oder MLD-Schicht ausgebildet werden oder solch eine aufweisen.In one embodiment of the method, encapsulation structure can be formed as a barrier thin layer and / or an ALD layer or MLD layer or have such a.

In einer Ausgestaltung des Verfahrens kann die Verkapselungsstruktur als eine Kavitäts-Verkapselung ausgebildet werden.In one embodiment of the method, the encapsulation structure can be formed as a cavity encapsulation.

In einer Ausgestaltung des Verfahrens kann die Stützstruktur eine Breite aufweisen die ähnlich der Breite der elektrischen Sammelschiene ist.In one embodiment of the method, the support structure may have a width which is similar to the width of the electrical busbar.

In einer Ausgestaltung des Verfahrens kann die Stützstruktur ungefähr kongruent auf oder über der elektrischen Sammelschiene ausgebildet werden.In one embodiment of the method, the support structure may be approximately congruently formed on or above the electrical busbar.

In einer Ausgestaltung des Verfahrens kann die Stützstruktur derart ausgebildet werden, dass die Stutzstruktur wenigstens teilweise von der organischen funktionellen Schichtenstruktur umgeben wird.In one embodiment of the method, the support structure may be formed such that the support structure is at least partially surrounded by the organic functional layer structure.

In einer Ausgestaltung des Verfahrens kann wenigstens eine Stützstruktur wenigstens teilweise mit wenigstens einer elektrischen Sammelschiene elektrisch gekoppelt und/oder mechanisch verbunden ausgebildet werden.In one embodiment of the method, at least one support structure may be at least partially electrically coupled to at least one electrical busbar and / or mechanically connected.

In einer Ausgestaltung des Verfahrens kann das Verfahren ein Ausbilden einer ersten Stützstruktur und wenigstens einer zweiten Stützstruktur aufweisen.In one embodiment of the method, the method may include forming a first support structure and at least one second support structure.

In einer Ausgestaltung des Verfahrens kann wenigstens eine zweite Stützstruktur neben der ersten Stützstruktur ausgebildet werden.In one embodiment of the method, at least one second support structure may be formed adjacent to the first support structure.

In einer Ausgestaltung des Verfahrens kann wenigstens eine zweite Stützstruktur über der ersten Stützstruktur ausgebildet werden.In one embodiment of the method, at least one second support structure may be formed over the first support structure.

In einer Ausgestaltung des Verfahrens kann wenigstens eine zweite Stützstruktur mit der ersten Stützstruktur elektrisch und/oder mechanisch gekoppelt ausgebildet werden.In one embodiment of the method, at least one second support structure can be formed electrically and / or mechanically coupled to the first support structure.

In einer Ausgestaltung des Verfahrens kann wenigstens eine zweite Stützstruktur elektrisch isoliert von der ersten Stützstruktur ausgebildet werden.In one embodiment of the method, at least one second support structure may be formed electrically insulated from the first support structure.

Ausführungsbeispiele der Erfindung sind in den Figuren dargestellt und werden im Folgenden näher erläutert.Embodiments of the invention are illustrated in the figures and are explained in more detail below.

Es zeigenShow it

1a–d schematische Querschnittsansichten optoelektronischer Bauelemente gemäß verschiedenen Ausführungsbeispielen; 1a D schematic cross-sectional views of optoelectronic devices according to various embodiments;

2a–b schematische Querschnittsansichten optoelektronischer Bauelemente im Verfahren zum Herstellen eines optoelektronischen Bauelementes, gemäß verschiedenen Ausführungsbeispielen; 2a B schematic cross-sectional views of optoelectronic components in the method for producing an optoelectronic component, according to various embodiments;

3a–b schematische Querschnittsansichten optoelektronischer Bauelemente im Verfahren zum Herstellen eines optoelektronischen Bauelementes, gemäß verschiedenen Ausführungsbeispielen; 3a B schematic cross-sectional views of optoelectronic components in the method for producing an optoelectronic component, according to various embodiments;

4a–d schematische Querschnittsansichten optoelektronischer Bauelemente, gemäß verschiedenen Ausführungsbeispielen; 4a D schematic cross-sectional views of optoelectronic devices, according to various embodiments;

5a–c schematische Querschnittsansichten optoelektronischer Bauelemente, gemäß verschiedenen Ausführungsbeispielen; 5a C schematic cross-sectional views of optoelectronic devices, according to various embodiments;

6 schematische Querschnittsansichten eines herkömmlichen optoelektronischen Bauelementes; 6 schematic cross-sectional views of a conventional optoelectronic device;

7a–b schematische Querschnittsansichten eines herkömmlichen optoelektronischen Bauelementes; und 7a FIG. 2 b shows schematic cross-sectional views of a conventional optoelectronic component; FIG. and

8a–b schematische Querschnittsansichten eines herkömmlichen optoelektronischen Bauelementes. 8a -B are schematic cross-sectional views of a conventional optoelectronic device.

In der folgenden ausführlichen Beschreibung wird auf die beigefügten Zeichnungen Bezug genommen, die Teil dieser bilden und in denen zur Veranschaulichung spezifische Ausführungsformen gezeigt sind, in denen die Erfindung ausgeübt werden kann. In dieser Hinsicht wird Richtungsterminologie wie etwa „oben”, „unten”, „vorne”, „hinten”, „vorderes”, „hinteres”, usw. mit Bezug auf die Orientierung der beschriebenen Figur(en) verwendet. Da Komponenten von Ausführungsformen in einer Anzahl verschiedener Orientierungen positioniert werden können, dient die Richtungsterminologie zur Veranschaulichung und ist auf keinerlei Weise einschränkend. Es versteht sich, dass andere Ausführungsformen benutzt und strukturelle oder logische Änderungen vorgenommen werden können, ohne von dem Schutzumfang der vorliegenden Erfindung abzuweichen. Es versteht sich, dass die Merkmale der hierin beschriebenen verschiedenen beispielhaften Ausführungsformen miteinander kombiniert werden können, sofern nicht spezifisch anders angegeben. Die folgende ausführliche Beschreibung ist deshalb nicht in einschränkendem Sinne aufzufassen, und der Schutzumfang der vorliegenden Erfindung wird durch die angefügten Ansprüche definiert.In the following detailed description, reference is made to the accompanying drawings, which form a part hereof, and in which is shown by way of illustration specific embodiments in which the invention may be practiced. In this regard, directional terminology such as "top", "bottom", "front", "back", "front", "rear", etc. is used with reference to the orientation of the described figure (s). Because components of embodiments can be positioned in a number of different orientations, the directional terminology is illustrative and is in no way limiting. It should be understood that other embodiments may be utilized and structural or logical changes may be made without departing from the scope of the present invention. It should be understood that the features of the various exemplary embodiments described herein may be combined with each other unless specifically stated otherwise. The following detailed description is therefore not to be construed in a limiting sense, and the scope of the present invention is defined by the appended claims.

Im Rahmen dieser Beschreibung werden die Begriffe ”verbunden”, ”angeschlossen” sowie ”gekoppelt” verwendet zum Beschreiben sowohl einer direkten als auch einer indirekten Verbindung, eines direkten oder indirekten Anschlusses sowie einer direkten oder indirekten Kopplung. In den Figuren werden identische oder ähnliche Elemente mit identischen Bezugszeichen versehen, soweit dies zweckmäßig ist.As used herein, the terms "connected," "connected," and "coupled" are used to describe both direct and indirect connection, direct or indirect connection, and direct or indirect coupling. In the figures, identical or similar elements are provided with identical reference numerals, as appropriate.

Im Rahmen dieser Beschreibung kann unter einem optoelektronischen Bauelement eine Ausführung eines elektronischen Bauelementes verstanden werden, wobei das optoelektronische Bauelement einen optisch aktiven Bereich aufweist. Der optisch aktive Bereich kann elektromagnetische Strahlung absorbieren und daraus einen Fotostrom ausbilden oder mittels einer angelegten Spannung an den optisch aktiven Bereich elektromagnetische Strahlung emittieren.In the context of this description, an optoelectronic component can be understood to mean an embodiment of an electronic component, the optoelectronic component having an optically active region. The optically active region can absorb electromagnetic radiation and form a photocurrent therefrom or emit electromagnetic radiation by means of an applied voltage to the optically active region.

In verschiedenen Ausgestaltungen kann ein optoelektronisches Bauelement als eine organische Leuchtdiode (organic light emitting diode – OLED), eine organische Photovoltaikanlage, beispielsweise eine organische Solarzelle, ein organischer Sensor, ein organischer Feldeffekttransistor (organic field effect transistor OFET) und/oder eine organische Elektronik ausgebildet sein. Bei dem organischen Feldeffekttransistor kann es sich um einen all-OFET handeln, bei dem alle Schichten organisch sind. Ein organisches, elektronisches Bauelement kann ein organisches funktionelles Schichtensystem aufweisen, welches synonym auch als organische funktionelle Schichtenstruktur bezeichnet wird. Die organische funktionelle Schichtenstruktur kann einen organischen Stoff oder ein organisches Stoffgemisch aufweisen oder daraus gebildet sein, der/das beispielsweise zum Bereitstellen einer elektromagnetischer Strahlung aus einem bereitgestellten elektrischen Strom oder zum Bereitstellen eines elektrischen Stromes aus einer bereitgestellten elektromagnetischen Strahlung eingerichtet ist. Die Strahlung kann beispielsweise Licht im sichtbaren Bereich, UV-Licht und/oder Infrarot-Licht sein. In diesem Zusammenhang kann das elektromagnetische Strahlung emittierende Bauelement beispielsweise als Licht emittierende Diode (light emitting diode, LED) als organische Licht emittierende Diode (organic light emitting diode, OLED), als Licht emittierender Transistor oder als organischer Licht emittierender Transistor ausgebildet sein. Das Licht emittierende Bauelement kann in verschiedenen Ausführungsbeispielen Teil einer integrierten Schaltung sein. Weiterhin kann eine Mehrzahl von Licht emittierenden Bauelementen vorgesehen sein, beispielsweise untergebracht in einem gemeinsamen Gehäuse.In various embodiments, an optoelectronic component may be formed as an organic light emitting diode (OLED), an organic photovoltaic system, for example an organic solar cell, an organic sensor, an organic field effect transistor (OFET) and / or organic electronics be. The organic field effect transistor may be an all-OFET in which all layers are organic. An organic, electronic component may have an organic functional layer system, which is synonymously also referred to as an organic functional layer structure. The organic functional layer structure may include or may be formed from an organic substance or mixture of organic substances, for example, configured to provide electromagnetic radiation from a provided electrical current or to provide an electrical current from a provided electromagnetic radiation. The radiation may, for example, be light in the visible range, UV light and / or infrared light. In this context, the electromagnetic radiation emitting device may be formed, for example, as a light emitting diode (LED) as an organic light emitting diode (OLED), as a light emitting transistor or as an organic light emitting transistor. The light emitting device may be part of an integrated circuit in various embodiments. Furthermore, a plurality of light-emitting components may be provided, for example housed in a common housing.

Im Rahmen dieser Beschreibung kann unter einem organischen Stoff eine, ungeachtet des jeweiligen Aggregatzustandes, in chemisch einheitlicher Form vorliegende, durch charakteristische physikalische und chemische Eigenschaften gekennzeichnete Verbindung des Kohlenstoffs verstanden werden. Weiterhin kann im Rahmen dieser Beschreibung unter einem anorganischen Stoff eine, ungeachtet des jeweiligen Aggregatzustandes, in chemisch einheitlicher Form vorliegende, durch charakteristische physikalische und chemische Eigenschaften gekennzeichnete Verbindung ohne Kohlenstoff oder einfacher Kohlenstoffverbindung verstanden werden. Im Rahmen dieser Beschreibung kann unter einem organisch-anorganischen Stoff (hybrider Stoff) eine, ungeachtet des jeweiligen Aggregatzustandes, in chemisch einheitlicher Form vorliegende, durch charakteristische physikalische und chemische Eigenschaften gekennzeichnete Verbindung mit Verbindungsteilen die Kohlenstoff enthalten und frei von Kohlenstoff sind, verstanden werden. Im Rahmen dieser Beschreibung umfasst der Begriff „Stoff” alle oben genannten Stoffe, beispielsweise einen organischen Stoff, einen anorganischen Stoff, und/oder einen hybriden Stoff. Weiterhin kann im Rahmen dieser Beschreibung unter einem Stoffgemisch etwas verstanden werden, was Bestandteile aus zwei oder mehr verschiedenen Stoffen besteht, deren Bestandteile beispielsweise sehr fein verteilt sind. Als eine Stoffklasse ist ein Stoff oder ein Stoffgemisch aus einem oder mehreren organischen Stoff(en), einem oder mehreren anorganischen Stoff(en) oder einem oder mehreren hybrid Stoff(en) zu verstehen. Der Begriff „Material” kann synonym zum Begriff „Stoff” verwendet werden.In the context of this description, an organic substance can be understood as meaning a compound of the carbon characterized by characteristic physical and chemical properties, regardless of the particular state of matter, in chemically uniform form. Furthermore, in the context of this description, an inorganic substance can be understood as meaning a compound without carbon or a simple carbon compound, characterized by characteristic physical and chemical properties, regardless of the particular state of matter, in chemically uniform form. In the context of this description, an organic-inorganic substance (hybrid substance) can be understood as meaning a compound present in chemically uniform form, characterized by characteristic physical and chemical properties, regardless of the respective state of matter, with compounds which contain carbon and are free of carbon. In the context of this description, the term "substance" encompasses all substances mentioned above, for example an organic substance, an inorganic substance, and / or a hybrid substance. Furthermore, in the context of this description, a substance mixture can be understood to mean something which consists of constituents of two or more different substances whose constituents are, for example, distributed very finely. A substance class means a substance or mixture of one or more organic substances, one or more inorganic substances or one or more hybrid substances. The term "material" can be used synonymously with the term "substance".

In verschiedenen Ausgestaltungen kann ein Klebstoff einen der folgenden Stoffe aufweisen oder daraus gebildet sein: ein Kasein, ein Glutin, eine Stärke, eine Cellulose, ein Harz, ein Tannin, ein Lignin, einen organischen Stoff mit Sauerstoff, Stickstoff, Chlor und/oder Schwefel; ein Metalloxid, ein Silikat ein Phosphat, ein Borat.In various embodiments, an adhesive may include or be formed from one of the following: a casein, a glutin, a starch, a cellulose, a resin, a tannin, a lignin, an organic with oxygen, nitrogen, chlorine, and / or sulfur ; a metal oxide, a silicate, a phosphate, a borate.

In verschiedenen Ausgestaltungen kann ein Klebstoff als ein Schmelzklebstoff, beispielsweise ein Lösemittelhaltiger Nassklebstoff, ein Kontaktklebstoff, ein Dispersionsklebstoff, ein Wasserbasierter Klebstoff, ein Plastisol; ein Polymerisationsklebstoff, beispielsweise ein Cyanacrylat-Klebstoff, ein Methylmethacrylat-Klebstoff, ein anaerob härtender Klebstoff, ein ungesättigter Polyester, ein Strahlenhärtender Klebstoff; ein Polykondensationsklebstoff, beispielsweise ein Phenol-Formaldehydharz-Klebstoff, ein Silikon, ein Silanvernetzender Polymerklebstoff, ein Polyimidklebstoff, ein Polysulfidklebstoff; und/oder ein Polyadditionsklebstoffe, beispielsweise ein Epoxidharz-Klebstoff, ein Polyurethan-Klebstoff, ein Silikon, ein Haftklebstoff; aufweisen oder daraus gebildet sein.In various embodiments, an adhesive may be used as a hot melt adhesive, for example, a solvent-borne wet adhesive, a contact adhesive, a dispersion adhesive, a water-based adhesive, a plastisol; a polymerization adhesive, for example, a cyanoacrylate adhesive, a methyl methacrylate adhesive, an anaerobic curing adhesive, an unsaturated polyester, a radiation curing adhesive; a polycondensation adhesive, for example, a phenol-formaldehyde resin adhesive, a silicone, a silane-crosslinking polymer adhesive, a polyimide adhesive, a polysulfide adhesive; and / or a polyaddition adhesive, for example an epoxy adhesive, a polyurethane adhesive, a silicone, a pressure-sensitive adhesive; have or be formed from it.

1a–d zeigen schematische Querschnittsansichten optoelektronischer Bauelemente, gemäß verschiedenen Ausführungsbeispielen. 1a FIG. 2 d show schematic cross-sectional views of optoelectronic components according to various exemplary embodiments. FIG.

Dargestellt sind schematische Querschnittsansichten eines optoelektronischen Bauelementes gemäß einer der Beschreibungen der 1 bis 5.Shown are schematic cross-sectional views of an optoelectronic component according to one of the descriptions of 1 to 5 ,

Das optoelektronische Bauelement 140, 160 kann zu einem Aufnehmen und/oder Bereitstellen elektromagnetischer Strahlung eingerichtet sein, wobei das optoelektronische Bauelement 140, 160 eingerichtet ist eine elektrische Energie aus einer aufgenommenen elektromagentischen Strahlung zu erzeugen und/oder eine elektromagnetische Strahlung aus einer bereitgestellten elektrischen Energie zu erzeugen.The optoelectronic component 140 . 160 can be set up for receiving and / or providing electromagnetic radiation, wherein the optoelectronic component 140 . 160 is set up to generate an electrical energy from a recorded electromagnetic radiation and / or to generate electromagnetic radiation from a provided electrical energy.

In einem Ausführungsbeispiel kann das optoelektronische Bauelement als ein lichtemittierendes Bauelement 140, 160, beispielsweise in Form einer organischen Leuchtdiode 140, 160 ausgebildet sein.In one embodiment, the optoelectronic device may be used as a light emitting device 140 . 160 , For example, in the form of an organic light emitting diode 140 . 160 be educated.

In verschiedenen Ausführungsbeispielen kann die organische Leuchtdiode 140, 160 (oder auch die lichtemittierenden Bauelemente gemäß den oben oder noch im Folgenden beschriebenen Ausführungsbeispielen) als ein so genannter Top-Emitter und Bottom-Emitter eingerichtet sein, beispielsweise ein transparenter Top-Emitter oder ein transparenter Bottom-Emitter. Ein Top- und/oder Bottom-Emitter kann auch als optisch transparentes oder transluzentes Bauelement, beispielsweise eine transparente oder transluzente organische Leuchtdiode 140, 160, bezeichnet werden.In various embodiments, the organic light emitting diode 140 . 160 (or the light-emitting devices according to the embodiments described above or in the following) be configured as a so-called top emitter and bottom emitter, for example, a transparent top emitter or a transparent bottom emitter. A top and / or bottom emitter can also be used as an optically transparent or translucent component, for example a transparent or translucent organic light-emitting diode 140 . 160 be designated.

In verschiedenen Ausführungsbeispielen kann das optoelektronische Bauelement 140, 160 auf oder über einem Träger 102 ausgebildet sein.In various embodiments, the optoelectronic component 140 . 160 on or over a carrier 102 be educated.

Der Träger 102 kann beispielsweise als ein Trägerelement für elektronische Elemente oder Schichten, beispielsweise lichtemittierende Elemente, dienen. Beispielsweise kann der Träger 102 Glas, Quarz, und/oder ein Halbleitermaterial oder irgendein anderen geeigneten Stoff aufweisen oder daraus gebildet sein. Ferner kann der Träger 102 eine Kunststofffolie oder ein Laminat mit einer oder mit mehreren Kunststofffolien aufweisen oder daraus gebildet sein. Der Kunststoff kann ein oder mehrere Polyolefine (beispielsweise Polyethylen (PE) mit hoher oder niedriger Dichte oder Polypropylen (PP)) aufweisen oder daraus gebildet sein. Ferner kann der Kunststoff Polyvinylchlorid (PVC), Polystyrol (PS), Polyester und/oder Polycarbonat (PC), Polyethylenterephthalat (PET), Polyethersulfon (PES) und/oder Polyethylennaphthalat (PEN) aufweisen oder daraus gebildet sein. Der Träger 102 kann eines oder mehrere der oben genannten Stoffe aufweisen.The carrier 102 For example, it can serve as a support element for electronic elements or layers, for example light-emitting elements. For example, the carrier 102 Glass, quartz, and / or a semiconductor material or any other suitable substance or be formed therefrom. Furthermore, the carrier can 102 comprise or be formed from a plastic film or a laminate with one or more plastic films. The plastic may include or be formed from one or more polyolefins (eg, high or low density polyethylene or PE) or polypropylene (PP). Further, the plastic may include or be formed from polyvinyl chloride (PVC), polystyrene (PS), polyester and / or polycarbonate (PC), polyethylene terephthalate (PET), polyethersulfone (PES) and / or polyethylene naphthalate (PEN). The carrier 102 may comprise one or more of the above substances.

Der Träger 102 kann ein Metall aufweisen oder daraus gebildet sein, beispielsweise Kupfer, Silber, Gold, Platin, Eisen, beispielsweise eine Metallverbindung, beispielsweise Stahl.The carrier 102 may comprise or be formed from a metal, for example copper, silver, gold, platinum, iron, for example a metal compound, for example steel.

Ein Träger 102 aufweisend ein Metall oder eine Metallverbindung kann auch als eine Metallfolie oder eine metallbeschichtete Folie ausgebildet sein.A carrier 102 Having a metal or a metal compound may also be formed as a metal foil or a metal-coated foil.

Der Träger 102 kann transluzent oder sogar transparent ausgeführt sein. Bei einem Träger 102, der ein Metall aufweist, kann das Metall beispielsweise als eine dünne Schicht transparente oder transluzente Schicht ausgebildet sein und/oder das Metall ein Teil einer Spiegelstruktur sein.The carrier 102 can be translucent or even transparent. With a carrier 102 comprising a metal, the metal may be formed, for example, as a thin layer of transparent or translucent layer, and / or the metal may be part of a mirror structure.

Der Träger 102 kann einen mechanisch rigiden Bereich und/oder einen mechanisch flexiblen Bereich aufweisen oder derart ausgebildet sein. Ein Träger 102, der einen mechanisch rigiden Bereich und einen mechanisch flexiblen Bereich, kann beispielsweise strukturiert sein, beispielsweise indem der rigide Bereich und der flexible Bereich eine unterschiedliche Dicke aufweisen.The carrier 102 may have a mechanically rigid region and / or a mechanically flexible region or be formed. A carrier 102 For example, the mechanical rigid portion and a mechanically flexible portion may be structured, for example, by making the rigid portion and the flexible portion have different thicknesses.

Ein mechanisch flexibler Träger 102 oder der mechanisch flexible Bereich kann beispielsweise als eine Folie ausgebildet sein, beispielsweise eine Kunststofffolie, Metallfolie oder ein dünnes Glas.A mechanically flexible carrier 102 or the mechanically flexible region may, for example, be formed as a foil, for example a plastic foil, metal foil or a thin glass.

In einem Ausführungsbeispiel kann der Träger 102 als Wellenleiter für elektromagnetische Strahlung des optoelektronischen Bauelementes 140, 160 ausgebildet sein, beispielsweise transparent oder transluzent sein hinsichtlich der bereitgestellten elektromagnetischen Strahlung des optoelektronischen Bauelementes 140, 160.In one embodiment, the carrier may 102 as a waveguide for electromagnetic radiation of the optoelectronic component 140 . 160 be formed, for example, be transparent or translucent with respect to the provided electromagnetic radiation of the optoelectronic component 140 . 160 ,

Auf oder über dem Träger 102 kann in verschiedenen Ausführungsbeispielen optional eine Barriereschicht angeordnet sein (nicht dargestellt), beispielsweise auf der Seite der organischen funktionellen Schichtenstruktur 106 und/oder auf der Seite, die der organischen funktionellen Schichtenstruktur 106 abgewandt ist.On or above the vehicle 102 In various embodiments, a barrier layer may optionally be arranged (not shown), for example on the side of the organic functional layer structure 106 and / or on the side, the organic functional layer structure 106 turned away.

Die Barriereschicht kann eines oder mehrere der folgenden Stoffe aufweisen oder daraus bestehen: Aluminiumoxid, Zinkoxid, Zirkoniumoxid, Titanoxid, Hafniumoxid, Tantaloxid Lanthaniumoxid, Siliziumoxid, Siliziumnitrid, Siliziumoxinitrid, Indiumzinnoxid, Indiumzinkoxid, Aluminium-dotiertes Zinkoxid, Poly(p-phenylen terephthalamid), Nylon 66, sowie Mischungen und Legierungen derselben. In verschiedenen Ausgestaltungen kann die Barriereschicht mittels eines Atomlagenabscheideverfahrens (atomic layer deposition – ALD) und/oder einem Moleküllagenabscheideverfahrens (molecular layer deposition – MLD) ausgebildet werden. In verschiedenen Ausgestaltungen kann die Barriereschicht zwei oder mehr gleiche und/oder unterschiedliche Schichten, oder Lagen aufweisen, beispielsweise nebeneinander und/oder übereinander, beispielsweise als eine Barriereschichtstruktur oder ein Barrierestapel, beispielsweise strukturiert. Ferner kann die Barriereschicht in verschiedenen Ausführungsbeispielen eine Schichtdicke aufweisen in einem Bereich von ungefähr 0,1 nm (eine Atomlage) bis ungefähr 1000 nm, beispielsweise eine Schichtdicke in einem Bereich von ungefähr 10 nm bis ungefähr 200 nm, beispielsweise eine Schichtdicke von ungefähr 40 nm.The barrier layer may comprise or consist of one or more of the following: aluminum oxide, zinc oxide, zirconium oxide, titanium oxide, hafnium oxide, tantalum oxide lanthanum oxide, silicon oxide, silicon nitride, silicon oxynitride, indium tin oxide, indium zinc oxide, aluminum doped zinc oxide, poly (p-phenylene terephthalamide), Nylon 66, as well as mixtures and alloys thereof. In various embodiments, the barrier layer can be formed by means of an atomic layer deposition method (ALD) and / or a molecular layer deposition method (MLD). In various embodiments, the barrier layer may be two or more identical and / or different layers, or have layers, for example, side by side and / or one above the other, for example, as a barrier layer structure or a barrier stack, for example, structured. Further, in various embodiments, the barrier layer may have a layer thickness in a range of about 0.1 nm (one atomic layer) to about 1000 nm, for example, a layer thickness in a range of about 10 nm to about 200 nm, for example, a layer thickness of about 40 nm ,

In verschiedenen Ausführungsbeispielen kann auf oder über der Barriereschicht eine weitere Abdeckung (nicht dargestellt) vorgesehen sein und/oder die Barriereschicht als eine weitere Abdeckung ausgebildet sein, beispielsweise als eine Kavitätsglasverkapselung.In various embodiments, a further cover (not shown) may be provided on or above the barrier layer and / or the barrier layer may be formed as a further cover, for example as a cavity glass encapsulation.

In verschiedenen Ausführungsbeispielen kann auf oder über der Barriereschicht (oder, wenn die Barriereschicht nicht vorhanden ist (dargestellt), auf oder über dem Träger 102) die erste Elektrode 104 (beispielsweise in Form einer ersten Elektrodenschicht 104) aufgebracht sein.In various embodiments, on or above the barrier layer (or, if the barrier layer is not present (shown), on or above the support 102 ) the first electrode 104 (For example in the form of a first electrode layer 104 ) be applied.

Die erste Elektrode 104 (im Folgenden auch als untere Elektrode 104 bezeichnet) kann aus einem elektrisch leitfähigen Stoff gebildet werden oder sein, wie beispielsweise aus einem Metall oder einem leitfähigen transparenten Oxid (transparent conductive oxide, TCO) oder einem Schichtenstapel mehrerer Schichten desselben Metalls oder unterschiedlicher Metalle und/oder desselben TCO oder unterschiedlicher TCOs. Transparente leitfähige Oxide sind transparente, leitfähige Stoffe, beispielsweise Metalloxide, wie beispielsweise Zinkoxid, Zinnoxid, Cadmiumoxid, Titanoxid, Indiumoxid, oder Indium-Zinn-Oxid (ITO). Neben binären Metallsauerstoffverbindungen, wie beispielsweise ZnO, SnO2, oder In2O3 gehören auch ternäre Metallsauerstoffverbindungen, wie beispielsweise AlZnO, Zn2SnO4, CdSnO3, ZnSnO3, MgIn2O4, GaInO3, Zn2In2O5 oder In4Sn3O12 oder Mischungen unterschiedlicher transparenter leitfähiger Oxide zu der Gruppe der TCOs und können in verschiedenen Ausführungsbeispielen eingesetzt werden. Weiterhin entsprechen die TCOs nicht zwingend einer stöchiometrischen Zusammensetzung und können ferner p-dotiert oder n-dotiert sein.The first electrode 104 (hereinafter also referred to as lower electrode 104 may be formed of an electrically conductive substance or be, such as a metal or a conductive transparent oxide (TCO) or a stack of layers of the same metal or different metals and / or the same TCO or different TCOs. Transparent conductive oxides are transparent, conductive substances, for example metal oxides, such as, for example, zinc oxide, tin oxide, cadmium oxide, titanium oxide, indium oxide, or indium tin oxide (ITO). In addition to binary metal oxygen compounds such as ZnO, SnO 2 , or In 2 O 3 also include ternary metal oxygen compounds such as AlZnO, Zn 2 SnO 4 , CdSnO 3 , ZnSnO 3 , MgIn 2 O 4 , GaInO 3 , Zn 2 In 2 O 5 or In 4 Sn 3 O 12 or mixtures of different transparent conductive oxides to the group of TCOs and can be used in various embodiments. Furthermore, the TCOs do not necessarily correspond to a stoichiometric composition and may also be p-doped or n-doped.

In verschiedenen Ausführungsbeispielen kann die erste Elektrode 104 ein Metall aufweisen; beispielsweise Ag, Pt, Au, Mg, Al, Ba, In, Cr, Mo, Ca, Sm oder Li, sowie Verbindungen, Kombinationen oder Legierungen dieser Stoffe.In various embodiments, the first electrode 104 have a metal; For example, Ag, Pt, Au, Mg, Al, Ba, In, Cr, Mo, Ca, Sm or Li, as well as compounds, combinations or alloys of these substances.

In verschiedenen Ausführungsbeispielen kann die erste Elektrode 104 gebildet werden von einem Schichtenstapel einer Kombination einer Schicht eines Metalls auf einer Schicht eines TCOs, oder umgekehrt. Ein Beispiel ist eine Silberschicht, die auf einer Indium-Zinn-Oxid-Schicht (ITO) aufgebracht ist (Ag auf ITO) oder ITO-Ag-ITO Multischichten.In various embodiments, the first electrode 104 are formed by a stack of layers of a combination of a layer of a metal on a layer of a TCO, or vice versa. An example is a silver layer deposited on an indium tin oxide (ITO) layer (Ag on ITO) or ITO-Ag-ITO multilayers.

In verschiedenen Ausführungsbeispielen kann die erste Elektrode 104 eines oder mehrere der folgenden Stoffe alternativ oder zusätzlich zu den oben genannten Stoffen aufweisen: Netzwerke aus metallischen Nanodrähten und -teilchen, beispielsweise aus Ag; Netzwerke aus Kohlenstoff Nanoröhren; Graphen-Teilchen und -Schichten; Netzwerke aus halbleitenden Nanodrähten.In various embodiments, the first electrode 104 have one or more of the following substances as an alternative or in addition to the above-mentioned substances: networks of metallic nanowires and particles, for example of Ag; Networks of carbon nanotubes; Graphene particles and layers; Networks of semiconducting nanowires.

Ferner kann die erste Elektrode 104 elektrisch leitfähige Polymere oder Übergangsmetalloxide oder elektrisch leitfähige transparente Oxide aufweisen.Furthermore, the first electrode 104 having electrically conductive polymers or transition metal oxides or electrically conductive transparent oxides.

In verschiedenen Ausführungsbeispielen können die erste Elektrode 104 und der Träger 102 transluzent oder transparent ausgebildet sein. In dem Fall, dass die erste Elektrode 104 ein Metall aufweist oder daraus gebildet ist, kann die erste Elektrode 104 beispielsweise eine Schichtdicke aufweisen von kleiner oder gleich ungefähr 25 nm, beispielsweise eine Schichtdicke von kleiner oder gleich ungefähr 20 nm, beispielsweise eine Schichtdicke von kleiner oder gleich ungefähr 18 nm. Weiterhin kann die erste Elektrode 104 beispielsweise Schichtdicke aufweisen von größer oder gleich ungefähr 10 nm, beispielsweise eine Schichtdicke von größer oder gleich ungefähr 15 nm. In verschiedenen Ausführungsbeispielen kann die erste Elektrode 104 eine Schichtdicke aufweisen in einem Bereich von ungefähr 10 nm bis ungefähr 25 nm, beispielsweise eine Schichtdicke in einem Bereich von ungefähr 10 nm bis ungefähr 18 nm, beispielsweise eine Schichtdicke in einem Bereich von ungefähr 15 nm bis ungefähr 18 nm.In various embodiments, the first electrode 104 and the carrier 102 be formed translucent or transparent. In the case that the first electrode 104 comprises or is formed of a metal, the first electrode 104 For example, have a layer thickness of less than or equal to about 25 nm, for example, a layer thickness of less than or equal to about 20 nm, for example, a layer thickness of less than or equal to about 18 nm 104 For example, have a layer thickness of greater than or equal to about 10 nm, for example, a layer thickness of greater than or equal to about 15 nm. In various embodiments, the first electrode 104 a layer thickness in a range of about 10 nm to about 25 nm, for example, a layer thickness in a range of about 10 nm to about 18 nm, for example, a layer thickness in a range of about 15 nm to about 18 nm.

Weiterhin kann für den Fall, dass die erste Elektrode 104 ein leitfähiges transparentes Oxid (TCO) aufweist oder daraus gebildet ist, die erste Elektrode 104 beispielsweise eine Schichtdicke aufweisen in einem Bereich von ungefähr 10 nm bis ungefähr 100 nm, beispielsweise eine Schichtdicke in einem Bereich von ungefähr 75 nm bis ungefähr 250 nm, beispielsweise eine Schichtdicke in einem Bereich von ungefähr 100 nm bis ungefähr 150 nm.Furthermore, in the event that the first electrode 104 has a conductive transparent oxide (TCO) or is formed therefrom, the first electrode 104 For example, have a layer thickness in a range of about 10 nm to about 100 nm, for example a layer thickness in a range of about 75 nm to about 250 nm, for example, a layer thickness in a range of about 100 nm to about 150 nm.

Ferner kann für den Fall, dass die erste Elektrode 104 aus beispielsweise einem Netzwerk aus metallischen Nanodrähten, beispielsweise aus Ag, die mit leitfähigen Polymeren kombiniert sein können, einem Netzwerk aus Kohlenstoff-Nanoröhren, die mit leitfähigen Polymeren kombiniert sein können, oder aus Graphen-Schichten und Kompositen gebildet werden, die erste Elektrode 104 beispielsweise eine Schichtdicke aufweisen in einem Bereich von ungefähr 1 nm bis ungefähr 100 nm, beispielsweise eine Schichtdicke in einem Bereich von ungefähr 10 nm bis ungefähr 400 nm, beispielsweise eine Schichtdicke in einem Bereich von ungefähr 40 nm bis ungefähr 250 nm.Furthermore, in the event that the first electrode 104 For example, from a network of metallic nanowires, such as Ag, which may be combined with conductive polymers, a network of carbon nanotubes that may be combined with conductive polymers, or formed from graphene layers and composites, the first electrode 104 For example, a layer thickness in a range of about 1 nm to about 100 nm, for example, a layer thickness in a range of about 10 nm to about 400 nm, for example, a layer thickness in a range of about 40 nm to about 250 nm.

Die erste Elektrode 104 kann als Anode, also als löcherinjizierende Elektrode ausgebildet sein oder als Kathode, also als eine elektroneninjizierende Elektrode.The first electrode 104 may be formed as an anode, that is, as a hole-injecting electrode or as a cathode, that is, as an electron-injecting electrode.

Auf oder über der ersten Elektrode 104 ist eine organische funktionelle Schichtenstruktur 106 dargestellt.On or above the first electrode 104 is an organic functional layered structure 106 shown.

Die organische funktionelle Schichtenstruktur 106 kann eine oder mehrere Emitterschichten aufweisen (nicht dargestellt), beispielsweise mit fluoreszierenden und/oder phosphoreszierenden Emittern, sowie eine oder mehrere Lochleitungsschichten (auch bezeichnet als Lochtransportschicht(en)) (nicht dargestellt). In verschiedenen Ausführungsbeispielen können alternativ oder zusätzlich eine oder mehrere Elektronenleitungsschichten (auch bezeichnet als Elektronentransportschicht(en)) vorgesehen sein(nicht dargestellt).The organic functional layer structure 106 may comprise one or more emitter layers (not shown), for example with fluorescent and / or phosphorescent emitters, and one or more hole line layers (also referred to as hole transport layer (s)) (not shown). In various embodiments, alternatively or additionally, one or more electron conductive layers (also referred to as electron transport layer (s)) may be provided (not shown).

Beispiele für Emittermaterialien, die in dem optoelektronischen Bauelement 140, 160 gemäß verschiedenen Ausführungsbeispielen für die Emitterschicht(en) eingesetzt werden können, schließen organische oder organometallische Verbindungen, wie Derivate von Polyfluoren, Polythiophen und Polyphenylen (z. B. 2- oder 2,5-substituiertes Poly-p-phenylenvinylen) sowie Metallkomplexe, beispielsweise Iridium-Komplexe wie blau phosphoreszierendes FIrPic (Bis(3,5-difluoro-2-(2-pyridyl)phenyl-(2-carboxypyridyl)-iridium III), grün phosphoreszierendes Ir(ppy)3(Tris(2-phenylpyridin)iridium III), rot phosphoreszierendes Ru(dtb-bpy)3·2(PF6)(Tris[4,4'-di-tert-butyl-(2,2')-bipyridin]ruthenium(III)komplex) sowie blau fluoreszierendes DPAVBi (4,4-Bis[4-(di-p-tolylamino)styryl]biphenyl), grün fluoreszierendes TTPA (9,10-Bis[N,N-di-(p-tolyl)-amino]anthracen) und rot fluoreszierendes DCM2 (4-Dicyanomethylen)-2-methyl-6-julolidyl-9-enyl-4H-pyran) als nichtpolymere Emitter ein. Solche nichtpolymeren Emitter sind beispielsweise mittels eines thermischen Verdampfens, eines Atomlagenabscheideverfahren und/oder eines Moleküllagenabscheideverfahrens abscheidbar. Ferner können Polymeremitter eingesetzt werden, welche insbesondere mittels eines nasschemischen Verfahrens, wie beispielsweise einem Aufschleuderverfahren (auch bezeichnet als Spin Coating), abscheidbar sind.Examples of emitter materials used in the optoelectronic device 140 . 160 According to various embodiments, for the emitter layer (s) can be used include organic or organometallic compounds, such as derivatives of polyfluorene, polythiophene and polyphenylene (eg 2- or 2,5-substituted poly-p-phenylenevinylene) and metal complexes, for example Iridium complexes such as blue phosphorescent FIrPic (bis (3,5-difluoro-2- (2-pyridyl) phenyl- (2-carboxypyridyl) iridium III), green phosphorescing Ir (ppy) 3 (tris (2-phenylpyridine) iridium III), red phosphorescent Ru (dtb-bpy) 3 · 2 (PF 6 ) (tris [4,4'-di-tert-butyl- (2,2 ') -bipyridine] ruthenium (III) complex) and blue fluorescent DPAVBi (4,4-bis [4- (di-p-tolylamino) styryl] biphenyl), green fluorescent TTPA (9,10-bis [N, N-di (p-tolyl) amino] anthracene) and red fluorescent DCM2 (4-dicyanomethylene) -2-methyl-6-glololidyl-9-enyl-4H-pyran) as a non-polymeric emitter. Such non-polymeric emitters are, for example, depositable by means of thermal evaporation, an atomic layer deposition method and / or a molecule layer deposition method. Furthermore, it is possible to use polymer emitters which can be deposited in particular by means of a wet-chemical method, for example a spin-coating method (also referred to as spin coating).

Die Emittermaterialien können in geeigneter Weise in einem Matrixmaterial eingebettet sein.The emitter materials may be suitably embedded in a matrix material.

Es ist darauf hinzuweisen, dass andere geeignete Emittermaterialien in anderen Ausführungsbeispielen ebenfalls vorgesehen sind.It should be noted that other suitable emitter materials are also provided in other embodiments.

Die Emittermaterialien der Emitterschicht(en) des optoelektronischen Bauelements 140, 160 können beispielsweise so ausgewählt sein, dass das optoelektronische Bauelement 140, 160 Weißlicht emittiert. Die Emitterschicht(en) kann/können mehrere verschiedenfarbig (zum Beispiel blau und gelb oder blau, grün und rot) emittierende Emittermaterialien aufweisen, alternativ kann/können die Emitterschicht(en) auch aus mehreren Teilschichten aufgebaut sein, wie einer blau fluoreszierenden Emitterschicht oder blau phosphoreszierenden Emitterschicht, einer grün phosphoreszierenden Emitterschicht und einer rot phosphoreszierenden Emitterschicht. Durch die Mischung der verschiedenen Farben kann die Emission von Licht mit einem weißen Farbeindruck resultieren. Alternativ kann auch vorgesehen sein, im Strahlengang der durch diese Schichten erzeugten Primäremission ein Konvertermaterial anzuordnen, dass die Primärstrahlung zumindest teilweise absorbiert und eine Sekundärstrahlung anderer Wellenlänge emittiert, so dass sich aus einer (noch nicht weißen) Primärstrahlung durch die Kombination von primärer Strahlung und sekundärer Strahlung ein weißer Farbeindruck ergibt.The emitter materials of the emitter layer (s) of the optoelectronic component 140 . 160 For example, they may be selected such that the optoelectronic component 140 . 160 White light emitted. The emitter layer (s) may comprise a plurality of emitter materials emitting different colors (for example blue and yellow or blue, green and red), alternatively the emitter layer (s) may also be composed of several sublayers, such as a blue fluorescent emitter layer or blue phosphorescent emitter layer, a green phosphorescent emitter layer and a red phosphorescent emitter layer. By mixing the different colors, the emission of light can result in a white color impression. Alternatively, it can also be provided to arrange a converter material in the beam path of the primary emission generated by these layers, which at least partially absorbs the primary radiation and emits secondary radiation of a different wavelength, so that from a (not yet white) primary radiation by the combination of primary radiation and secondary Radiation produces a white color impression.

Die organische funktionelle Schichtenstruktur 106 kann allgemein eine oder mehrere elektrolumineszente Schichten aufweisen. Die eine oder mehreren elektrolumineszenten Schichten kann oder können organische Polymere, organische Oligomere, organische Monomere, organische kleine, nicht-polymere Moleküle („small molecules”) oder eine Kombination dieser Stoffe aufweisen. Beispielsweise kann die organische funktionelle Schichtenstruktur 106 eine oder mehrere elektrolumineszente Schichten aufweisen, die als Lochtransportschicht ausgeführt ist oder sind, so dass beispielsweise in dem Fall einer OLED eine effektive Löcherinjektion in eine elektrolumineszierende Schicht oder einen elektrolumineszierenden Bereich ermöglicht wird. Alternativ kann in verschiedenen Ausführungsbeispielen die organische funktionelle Schichtenstruktur 106 eine oder mehrere funktionelle Schichten aufweisen, die als Elektronentransportschicht ausgeführt ist oder sind, so dass beispielsweise in einer OLED eine effektive Elektroneninjektion in eine elektrolumineszierende Schicht oder einen elektrolumineszierenden Bereich ermöglicht wird. Als Stoff für die Lochtransportschicht können beispielsweise tertiäre Amine, Carbazoderivate, leitendes Polyanilin oder Polythylendioxythiophen verwendet werden. In verschiedenen Ausführungsbeispielen kann oder können die eine oder die mehreren elektrolumineszenten Schichten als elektrolumineszierende Schicht ausgeführt sein.The organic functional layer structure 106 may generally comprise one or more electroluminescent layers. The one or more electroluminescent layers may or may comprise organic polymers, organic oligomers, organic monomers, organic small non-polymeric molecules ("small molecules"), or a combination of these substances. For example, the organic functional layer structure 106 have one or more electroluminescent layers, which is or are designed as a hole transport layer, so that, for example, in the case of an OLED, an effective hole injection into an electroluminescent layer or an electroluminescent region is made possible. Alternatively, in various embodiments, the organic functional layer structure 106 have one or more functional layers, which is or are designed as an electron transport layer, so that, for example, in an OLED effective electron injection into an electroluminescent layer or an electroluminescent region is made possible. As a material for the hole transport layer, for example, tertiary amines, Carbazoderivate, conductive polyaniline or Polythylendioxythiophen can be used. In various embodiments, the one or more electroluminescent layers may be embodied as an electroluminescent layer.

In verschiedenen Ausführungsbeispielen kann die Lochtransportschicht auf oder über der ersten Elektrode 104 aufgebracht sein, beispielsweise abgeschieden, und die Emitterschicht kann auf oder über der Lochtransportschicht aufgebracht sein, beispielsweise abgeschieden sein. In verschiedenen Ausführungsbeispielen kann dir Elektronentransportschicht auf oder über der Emitterschicht aufgebracht, beispielsweise abgeschieden, sein. In various embodiments, the hole transport layer may be on or over the first electrode 104 be deposited, for example, deposited, and the emitter layer may be applied to or over the hole transport layer, for example, be deposited. In various embodiments, the electron transport layer may be deposited on or over the emitter layer, for example, deposited.

In verschiedenen Ausführungsbeispielen kann die organische funktionelle Schichtenstruktur 106 (also beispielsweise die Summe der Dicken von Lochtransportschicht(en) und Emitterschicht(en) und Elektronentransportschicht(en)) eine Schichtdicke aufweisen von maximal ungefähr 1,5 μm, beispielsweise eine Schichtdicke von maximal ungefähr 1,2 μm, beispielsweise eine Schichtdicke von maximal ungefähr 1 μm, beispielsweise eine Schichtdicke von maximal ungefähr 800 nm, beispielsweise eine Schichtdicke von maximal ungefähr 100 nm, beispielsweise eine Schichtdicke von maximal ungefähr 400 nm, beispielsweise eine Schichtdicke von maximal ungefähr 300 nm.In various embodiments, the organic functional layer structure 106 (Thus, for example, the sum of the thicknesses of hole transport layer (s) and emitter layer (s) and electron transport layer (s)) have a layer thickness of about 1.5 microns, for example, a maximum thickness of about 1.2 microns, for example, a maximum layer thickness approximately 1 μm, for example a layer thickness of at most approximately 800 nm, for example a layer thickness of at most approximately 100 nm, for example a layer thickness of approximately approximately 400 nm, for example a layer thickness of approximately approximately 300 nm.

In verschiedenen Ausführungsbeispielen kann die organische funktionelle Schichtenstruktur 106 beispielsweise einen Stapel von mehreren direkt übereinander angeordneten organischen Leuchtdioden-Einheiten (OLED-Einheit) aufweisen, wobei jede OLED-Einheit beispielsweise eine Schichtdicke aufweisen kann von maximal ungefähr 1,5 μm, beispielsweise eine Schichtdicke von maximal ungefähr 1,2 μm, beispielsweise eine Schichtdicke von maximal ungefähr 1 μm, beispielsweise eine Schichtdicke von maximal ungefähr 800 nm, beispielsweise eine Schichtdicke von maximal ungefähr 100 nm, beispielsweise eine Schichtdicke von maximal ungefähr 400 nm, beispielsweise eine Schichtdicke von maximal ungefähr 300 nm. In verschiedenen Ausführungsbeispielen kann die organische funktionelle Schichtenstruktur 106 beispielsweise einen Stapel von zwei, drei oder vier direkt übereinander angeordneten OLED-Einheiten aufweisen, in welchem Fall beispielsweise organische funktionelle Schichtenstruktur 106 eine Schichtdicke aufweisen kann von maximal ungefähr 3 μm.In various embodiments, the organic functional layer structure 106 For example, a stack of a plurality of directly superimposed organic light-emitting diode units (OLED unit), each OLED unit, for example, may have a layer thickness of about 1.5 microns, for example, a maximum thickness of about 1.2 microns, for example one Layer thickness of a maximum of about 1 micron, for example, a layer thickness of about 800 nm, for example, a layer thickness of about 100 nm, for example, a layer thickness of about 400 nm, for example, a layer thickness of about 300 nm. In various embodiments, the organic functional layer structure 106 For example, have a stack of two, three or four directly superimposed OLED units, in which case, for example, organic functional layer structure 106 may have a layer thickness of at most about 3 microns.

Das optoelektronische Bauelement 140, 160 kann optional allgemein organische funktionelle Schichtenstrukturen, beispielsweise angeordnet auf oder über der einen oder mehreren Emitterschichten oder auf oder über der oder den Elektronentransportschicht(en) aufweisen, die dazu dienen, die Funktionalität und damit die Effizienz des optoelektronischen Bauelements 140, 160 weiter zu verbessern. Die weiteren organischen funktionellen Schichtenstrukturen können beispielsweise mittels einer Ladungsträgerpaarerzeugungs-Schichtenstruktur (charge generating layer CGL) voneinander getrennt sein.The optoelectronic component 140 . 160 Optionally, it may optionally include organic functional layer structures, for example, disposed on or over the one or more emitter layers, or on or above the electron transport layer (s) serving to enhance the functionality and hence the efficiency of the optoelectronic device 140 . 160 continue to improve. The further organic functional layer structures may, for example, be separated from one another by means of a charge-generating pair (CGL) layer structure.

Auf oder über der organischen funktionellen Schichtenstruktur 106 oder gegebenenfalls auf oder über der einen oder den mehreren weiteren organischen funktionellen Schichtenstrukturen kann die zweite Elektrode 108 (beispielsweise in Form einer zweiten Elektrodenschicht 108) aufgebracht sein.On or above the organic functional layer structure 106 or optionally on or over the one or more further organic functional layer structures, the second electrode 108 (For example in the form of a second electrode layer 108 ) be applied.

Die zweite Elektrode 108 ist mittels einer elektrischen Isolierung 110 von der ersten Elektrode 104 elektrisch isoliert.The second electrode 108 is by means of an electrical insulation 110 from the first electrode 104 electrically isolated.

In verschiedenen Ausführungsbeispielen kann die zweite Elektrode 108 die gleichen Stoffe aufweisen oder daraus gebildet sein wie die erste Elektrode 104, wobei in verschiedenen Ausführungsbeispielen Metalle besonders geeignet sind.In various embodiments, the second electrode 108 have the same substances or be formed from it as the first electrode 104 , wherein in various embodiments, metals are particularly suitable.

In verschiedenen Ausführungsbeispielen kann die zweite Elektrode 108 (beispielsweise für den Fall einer metallischen zweiten Elektrode 108) beispielsweise eine Schichtdicke aufweisen von kleiner oder gleich ungefähr 200 nm, beispielsweise eine Schichtdicke von kleiner oder gleich ungefähr 150 nm, beispielsweise eine Schichtdicke von kleiner oder gleich ungefähr 100 nm, beispielsweise eine Schichtdicke von kleiner oder gleich ungefähr 10 nm, beispielsweise eine Schichtdicke von kleiner oder gleich ungefähr 45 nm, beispielsweise eine Schichtdicke von kleiner oder gleich ungefähr 40 nm, beispielsweise eine Schichtdicke von kleiner oder gleich ungefähr 35 nm, beispielsweise eine Schichtdicke von kleiner oder gleich ungefähr 30 nm, beispielsweise eine Schichtdicke von kleiner oder gleich ungefähr 25 nm, beispielsweise eine Schichtdicke von kleiner oder gleich ungefähr 20 nm, beispielsweise eine Schichtdicke von kleiner oder gleich ungefähr 15 nm, beispielsweise eine Schichtdicke von kleiner oder gleich ungefähr 10 nm.In various embodiments, the second electrode 108 (For example, in the case of a metallic second electrode 108 ), for example, a layer thickness of less than or equal to about 150 nm, for example, a layer thickness of less than or equal to about 100 nm, for example, a layer thickness of less than or equal to about 10 nm, for example, a layer thickness of less than or equal to about 45 nm, for example, a layer thickness of less than or equal to about 40 nm, for example, a layer thickness of less than or equal to about 35 nm, for example, a layer thickness of less than or equal to about 30 nm, for example, a layer thickness of less than or equal to about 25 nm For example, a layer thickness of less than or equal to about 20 nm, for example, a layer thickness of less than or equal to about 15 nm, for example, a layer thickness of less than or equal to about 10 nm.

Die zweite Elektrode 108 kann allgemein in ähnlicher Weise ausgebildet werden oder sein wie die erste Elektrode 104, oder unterschiedlich zu dieser. Die zweite Elektrode 108 kann in verschiedenen Ausführungsbeispielen aus einem oder mehreren der Stoffe und mit der jeweiligen Schichtdicke ausgebildet sein oder werden, wie oben im Zusammenhang mit der ersten Elektrode 104 beschrieben. In verschiedenen Ausführungsbeispielen sind die erste Elektrode 104 und die zweite Elektrode 108 beide transluzent oder transparent ausgebildet.The second electrode 108 may generally be formed or be similar to the first electrode 104 , or different from this. The second electrode 108 may be formed in various embodiments of one or more of the substances and with the respective layer thickness or be, as above in connection with the first electrode 104 described. In various embodiments, the first electrode 104 and the second electrode 108 both translucent or transparent.

Die zweite Elektrode 108 kann als Anode, also als löcherinjizierende Elektrode ausgebildet sein oder als Kathode, also als eine elektroneninjizierende Elektrode.The second electrode 108 may be formed as an anode, that is, as a hole-injecting electrode or as a cathode, that is, as an electron-injecting electrode.

Die zweite Elektrode 108 kann mit einem zweiten Kontaktpad 114 elektrisch verbunden sein, an das ein zweites elektrisches Potential (welches unterschiedlich ist zu dem ersten elektrischen Potential), bereitgestellt von der Energiequelle, anlegbar ist. Das zweite elektrische Potential kann beispielsweise einen Wert aufweisen derart, dass die Differenz zu dem ersten elektrischen Potential einen Wert in einem Bereich von ungefähr 1,5 V bis ungefähr 20 V aufweist, beispielsweise einen Wert in einem Bereich von ungefähr 2,5 V bis ungefähr 15 V. beispielsweise einen Wert in einem Bereich von ungefähr 3 V bis ungefähr 12 V. Ein Kontaktpad 112, 114 kann elektrisch und/oder körperlich verbunden sein mit einer Elektrode 104, 108. Ein Kontaktpad 112, 114 kann jedoch auch als ein Bereich einer Elektrode 104, 106 oder einer Verbindungsschicht eingerichtet sein.The second electrode 108 can with a second contact pad 114 be electrically connected, to which a second electrical potential (which is different from the first electrical Potential) provided by the power source can be applied. For example, the second electrical potential may have a value such that the difference from the first electrical potential has a value in a range of about 1.5V to about 20V, for example, a value in a range of about 2.5V to about For example, 15V has a value in a range of about 3V to about 12V. A contact pad 112 . 114 may be electrically and / or physically connected to an electrode 104 . 108 , A contact pad 112 . 114 However, it can also be considered as an area of an electrode 104 . 106 or a connection layer.

Die erste Elektrode 104 kann mit einem ersten elektrischen Kontaktpad 112 elektrisch verbunden sein, an das ein erstes elektrisches Potential anlegbar ist – bereitgestellt von einer Energiequelle (nicht dargestellt), beispielsweise einer Stromquelle oder einer Spannungsquelle. Das erste Kontaktpad 112 kann im geometrischen Randbereich des optisch aktiven Bereiches 132 der OLED 140, 160 auf oder über dem Träger 102 ausgebildet sein, beispielsweise seitlich neben der ersten Elektrode 104. Alternativ kann das erste elektrische Potential an den Träger 102 angelegt werden oder sein und darüber dann mittelbar an die erste Elektrode 104 angelegt werden oder sein. Das erste elektrische Potential kann beispielsweise das Massepotential oder ein anderes vorgegebenes Bezugspotential sein.The first electrode 104 can with a first electrical contact pad 112 be electrically connected, to which a first electrical potential can be applied - provided by a power source (not shown), for example, a power source or a voltage source. The first contact pad 112 may be in the geometric edge region of the optically active region 132 the OLED 140 . 160 on or above the vehicle 102 be formed, for example, laterally adjacent to the first electrode 104 , Alternatively, the first electrical potential to the carrier 102 be created or be and then then indirectly to the first electrode 104 be created or be. The first electrical potential may be, for example, the ground potential or another predetermined reference potential.

In verschiedenen Ausführungsbeispielen kann die zweite Elektrode 108 mit einem zweiten Kontaktpad 114 körperlich und elektrisch verbunden sein.In various embodiments, the second electrode 108 with a second contact pad 114 be physically and electrically connected.

Das erste Kontaktpad 112 ist mittels elektrischer Isolierungen 110 elektrisch von der zweiten Elektrode 108 isoliert. Mit anderen Worten: Die elektrische Isolierungen 110 können derart eingerichtet sein, dass ein Stromfluss zwischen zwei elektrisch leitfähigen Bereichen, beispielsweise zwischen der ersten Elektrode 104 und der zweiten Elektrode 108 verhindert wird. Der Stoff oder das Stoffgemisch der elektrischen Isolierung kann beispielsweise ein Überzug oder ein Beschichtungsmittel, beispielsweise ein Polymer und/oder ein Lack sein. Der Lack kann beispielsweise einen in flüssiger oder in pulverförmiger Form aufbringbaren Beschichtungsstoff aufweisen, beispielsweise ein Polyimid aufweisen oder daraus gebildet sein. Die elektrischen Isolierungen 110 können beispielsweise lithografisch oder mittels eines Druckverfahrens aufgebracht oder ausgebildet werden, beispielsweise strukturiert. Das Druckverfahren kann beispielsweise einen Tintenstrahl-Druck (Inkjet-Printing), einen Siebdruck und/oder ein Tampondruck (Pad-Printing) aufweisen.The first contact pad 112 is by means of electrical insulation 110 electrically from the second electrode 108 isolated. In other words: the electrical insulation 110 may be arranged such that a current flow between two electrically conductive regions, for example between the first electrode 104 and the second electrode 108 is prevented. The substance or the substance mixture of the electrical insulation can be, for example, a coating or a coating agent, for example a polymer and / or a lacquer. The lacquer may, for example, have a coating material which can be applied in liquid or in powder form, for example comprising or being formed from a polyimide. The electrical insulations 110 For example, they may be applied or formed lithographically or by means of a printing process, for example structured. The printing method may include, for example, inkjet printing (inkjet printing), screen printing and / or pad printing (pad printing).

In einem Ausführungsbeispiel kann eine elektrische Isolation 110 optional sein, beispielsweis beim Ausbilden des optoelektronischen Bauelementes 140, 160 mit einem geeigneten Maskenprozess.In one embodiment, electrical isolation 110 be optional, for example when forming the optoelectronic device 140 . 160 with a suitable mask process.

Die Kontaktpads 112, 114 können als Stoff oder Stoffgemisch einen Stoff oder ein Stoffgemisch ähnlich der ersten Elektrode 104 und/oder der zweiten Elektrode 108 aufweisen oder daraus gebildet sein, beispielsweise als eine Metallschichtenstruktur mit wenigstens einer Chrom-Schicht und wenigstens einer Aluminium-Schicht, beispielsweise Chrom-Aluminium-Chrom (Cr-Al-Cr); oder Molybdän-Aluminium-Molybdän (Mo-Al-Mo), Silber-Magnesium (Ag-Mg), Aluminium.The contact pads 112 . 114 may as a substance or mixture of substances, a substance or a mixture of substances similar to the first electrode 104 and / or the second electrode 108 or formed therefrom, for example as a metal layer structure having at least one chromium layer and at least one aluminum layer, for example chromium-aluminum-chromium (Cr-Al-Cr); or molybdenum-aluminum-molybdenum (Mo-Al-Mo), silver-magnesium (Ag-Mg), aluminum.

Die Kontaktpads 112, 114 können beispielsweise eine Kontaktfläche, ein Pin, eine flexible Leiterplatine, eine Klemme, eine Klammer oder ein anderes elektrisches Verbindungsmittel aufweisen oder derart ausgebildet sein.The contact pads 112 . 114 For example, they may include or may be formed such as a contact pad, a pin, a flexible printed circuit board, a clip, a clip, or other electrical connection means.

Die elektrische funktionale Struktur 130, 150 (dargestellt in 1a und 1c) kann ungefähr als der Bereich des optoelektronischen Bauelements 140, 160 verstanden werden, in dem ein elektrischer Strom zum Betrieb des optoelektronischen Bauelements 140, 160 fließt. In verschiedenen Ausführungsbeispielen kann die elektrisch funktionale Struktur die erste Elektrode 104, die zweite Elektrode 108 und die organische funktionelle Schichtenstruktur 106 aufweisen.The electrical functional structure 130 . 150 (shown in 1a and 1c ) may be approximately as the area of the optoelectronic device 140 . 160 be understood, in which an electric current for operation of the optoelectronic component 140 . 160 flows. In various embodiments, the electrically functional structure may be the first electrode 104 , the second electrode 108 and the organic functional layer structure 106 exhibit.

In verschiedenen Ausführungsbeispielen kann das optoelektronische Bauelement einen optisch aktiven Bereich 132 aufweisen. Ungefähr der Bereich des optoelektronischen Bauelementes 140, 160 mit organischer funktioneller Schichtenstruktur 106 auf oder über dem Träger 102 kann als optisch aktiver Bereich 132 bezeichnet werden.In various embodiments, the optoelectronic component may have an optically active region 132 exhibit. Approximately the range of the optoelectronic component 140 . 160 with organic functional layer structure 106 on or above the vehicle 102 can act as an optically active area 132 be designated.

Ungefähr der Bereich des optoelektronischen Bauelementes 140, 160 ohne organische funktionelle Schichtenstruktur 106 auf oder über dem Träger 102 kann als optisch inaktiver Bereich 134 bezeichnet werden. Der optisch inaktive Bereich 134 kann beispielsweise flächig neben dem optisch aktiven Bereich 112 angeordnet sein. Der optisch inaktive Bereich 134 kann beispielsweise Kontaktpads 112, 114 oder Isolatorschichten 110, 116 zum elektrischen Kontaktieren der organischen funktionellen Schichtenstruktur 106 aufweisen. Mit anderen Worten: Im geometrischen Randbereich kann das optoelektronische Bauelement 140, 160 derart ausgebildet sein, dass Kontaktpads 112, 114 zum elektrischen Kontaktieren des optoelektronischen Bauelementes 140, 160 ausgebildet sind, beispielsweise indem elektrisch leitfähige Schichten, beispielsweise Kontaktpads 112, 114, Elektroden 104, 108 oder ähnliches im optisch inaktiven Bereich 134 wenigstens teilweise freiliegen.Approximately the range of the optoelectronic component 140 . 160 without organic functional layer structure 106 on or above the vehicle 102 can be considered optically inactive area 134 be designated. The optically inactive area 134 For example, it can be flat next to the optically active area 112 be arranged. The optically inactive area 134 can, for example, contact pads 112 . 114 or insulator layers 110 . 116 for electrically contacting the organic functional layer structure 106 exhibit. In other words, in the geometric edge region, the optoelectronic component 140 . 160 be formed such that contact pads 112 . 114 for electrically contacting the optoelectronic component 140 . 160 are formed, for example by electrically conductive layers, such as contact pads 112 . 114 , Electrodes 104 . 108 or the like in the optically inactive region 134 at least partially exposed.

Der Bereich des optoelektronischen Bauelementes 140, 160 auf oder über dem Träger 102 mit dem optisch aktiven Bereich 132 und dem optisch inaktiven Bereich 134 kann als elektrisch aktiver Bereich 136 bezeichnet werden. The area of the optoelectronic component 140 . 160 on or above the vehicle 102 with the optically active region 132 and the optically inactive region 134 can be considered electrically active area 136 be designated.

Ein optoelektronisches Bauelement 140, 160, welches wenigstens teilweise transmittierend, beispielsweise transparent oder transluzent, ausgebildet ist, beispielsweise einen transmittierenden Träger 102, transmittierende Elektroden 110, 114, eine transmittierende, organische funktionelle Schichtenstruktur 106, und eine transmittierende Barrierendünnschicht 116 kann zwei flächige, optisch aktive Seiten aufweisen – in der schematischen Querschnittsansicht die Oberseite und die Unterseite des optoelektronischen Bauelementes 140, 160.An optoelectronic component 140 . 160 which is at least partially transmissive, for example transparent or translucent, formed, for example, a transmitting carrier 102 , transmitting electrodes 110 . 114 , a transmissive, organic functional layered structure 106 , and a transmitting barrier thin film 116 can have two planar, optically active sides - in the schematic cross-sectional view of the top and bottom of the optoelectronic component 140 . 160 ,

Der optisch aktive Bereich 132 eines optoelektronischen Bauelementes 140, 160 kann jedoch auch nur eine optisch aktive Seite und eine optisch inaktive Seite aufweisen, beispielsweise bei einem optoelektronischen Bauelement 140, 160, das als Top-Emitter oder Bottom-Emitter eingerichtet ist, beispielsweise indem die zweite Elektrode 108 oder die Barrierendünnschicht auf dem Träger 102 reflektierend für bereitgestellte elektromagnetische Strahlung ausgebildet wird.The optically active area 132 an optoelectronic component 140 . 160 However, it can also have only one optically active side and one optically inactive side, for example in the case of an optoelectronic component 140 . 160 which is set up as a top emitter or bottom emitter, for example by the second electrode 108 or the barrier thin film on the support 102 is formed reflective for provided electromagnetic radiation.

In verschiedenen Ausführungsbeispielen kann auf oder über der zweiten Elektrode 108 eine Barrierendünnschicht 116 angeordnet sein (dargestellt in 1a, b) derart, dass die zweite Elektrode 108, die elektrischen Isolierungen 110 und die organische funktionelle Schichtenstruktur 106 von der Barrierendünnschicht 116 umgeben sind, d. h. in Verbindung von Barrierendünnschicht 116 mit dem Träger 102 eingeschlossen sind.In various embodiments, on or above the second electrode 108 a barrier thin film 116 be arranged (shown in 1a , b) such that the second electrode 108 , the electrical insulations 110 and the organic functional layer structure 106 from the barrier thin film 116 surrounded, ie in conjunction of barrier thin film 116 with the carrier 102 are included.

Unter einer „Barrierendünnschicht” 116 bzw. einem „Barriere-Dünnfilm” 116 kann im Rahmen dieser Beschreibung beispielsweise eine Schicht oder eine Schichtenstruktur verstanden werden, die dazu geeignet ist, eine Barriere gegenüber chemischen Verunreinigungen bzw. atmosphärischen Stoffen, insbesondere gegenüber Wasser (Feuchtigkeit) und Sauerstoff, zu bilden. Mit anderen Worten ist die Barrierendünnschicht 116 derart ausgebildet, dass sie von OLED-schädigenden Stoffen wie Wasser, Sauerstoff oder Lösemittel nicht oder höchstens zu sehr geringen Anteilen durchdrungen werden kann.Under a "barrier thin film" 116 or a "barrier thin film" 116 In the context of this description, for example, a layer or a layer structure can be understood that is suitable for forming a barrier to chemical contaminants or atmospheric substances, in particular to water (moisture) and oxygen. In other words, the barrier thin film 116 designed such that it can not be penetrated by OLED-damaging substances such as water, oxygen or solvent or at most very small proportions.

Gemäß einer Ausgestaltung kann die Barrierendünnschicht 116 als eine einzelne Schicht (anders ausgedrückt, als Einzelschicht) ausgebildet sein. Gemäß einer alternativen Ausgestaltung kann die Barrierendünnschicht 116 eine Mehrzahl von aufeinander ausgebildeten Teilschichten aufweisen. Mit anderen Worten kann gemäß einer Ausgestaltung die Barrierendünnschicht 116 als Schichtstapel (Stack) ausgebildet sein. Die Barrierendünnschicht 116 oder eine oder mehrere Teilschichten der Barrierendünnschicht 116 können beispielsweise mittels eines geeigneten Abscheideverfahrens gebildet werden, z. B. mittels eines Moleküllagenabscheideverfahrens (MLD), Atomlagenabscheideverfahrens (ALD) gemäß einer Ausgestaltung, z. B. eines plasmaunterstützten Atomlagenabscheideverfahrens (Plasma Enhanced Atomic Layer Deposition (PEALD)) oder eines plasmalosen Atomlageabscheideverfahrens (Plasma-less Atomic Layer Deposition (PLALD)), oder mittels eines chemischen Gasphasenabscheideverfahrens (Chemical Vapor Deposition (CVD)) gemäß einer anderen Ausgestaltung, z. B. eines plasmaunterstützten Gasphasenabscheideverfahrens (Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition (PECVD)) oder eines plasmalosen Gasphasenabscheideverfahrens (Plasma-less Chemical Vapor Deposition (PLCVD)), oder alternativ mittels anderer geeigneter Abscheideverfahren.According to one embodiment, the barrier thin film 116 be formed as a single layer (in other words, as a single layer). According to an alternative embodiment, the barrier thin layer 116 have a plurality of sub-layers formed on each other. In other words, according to an embodiment, the barrier thin film 116 be formed as a layer stack (stack). The barrier thin film 116 or one or more sublayers of the barrier film 116 can be formed, for example, by means of a suitable deposition process, for. Example by means of a Molekugelagenabscheideverfahrens (MLD), Atomlagenabscheideverfahrens (ALD) according to an embodiment, for. Plasma Enhanced Atomic Layer Deposition (PEALD) or a plasma-less atomic layer deposition (PLALD) method, or by chemical vapor deposition (CVD) method according to another embodiment, e.g. , A plasma enhanced chemical vapor deposition (PECVD) or plasma-less chemical vapor deposition (PLCVD) process, or alternatively by other suitable deposition techniques.

Durch Verwendung eines Atomlagenabscheideverfahrens (ALD) und/oder eines Moleküllagenabscheideverfahrens (MLD) können sehr dünne Schichten abgeschieden werden. Insbesondere können Schichten abgeschieden werden, deren Schichtdicken im Atomlagenbereich liegen.By using an atomic layer deposition (ALD) and / or a molecular layer deposition (MLD) process, very thin layers can be deposited. In particular, layers can be deposited whose layer thicknesses are in the atomic layer region.

Gemäß einer Ausgestaltung können bei einer Barrierendünnschicht 116, die mehrere Teilschichten aufweist, alle Teilschichten mittels eines Atomlagenabscheideverfahrens und/oder eines Moleküllagenabscheideverfahrens (MLD) gebildet werden. Eine Schichtenfolge, die nur ALD-Schichten und/oder MLD-Schichten aufweist, kann auch als „Nanolaminat” bezeichnet werden.According to one embodiment, in the case of a barrier thin film 116 comprising a plurality of sublayers, all sublayers being formed by means of an atomic layer deposition process and / or a molecular layer deposition process (MLD). A layer sequence comprising only ALD layers and / or MLD layers can also be referred to as "nanolaminate".

Gemäß einer alternativen Ausgestaltung können bei einer Barrierendünnschicht 116, die mehrere Teilschichten aufweist, eine oder mehrere Teilschichten der Barrierendünnschicht 116 mittels eines anderen Abscheideverfahrens als einem Atomlagenabscheideverfahren abgeschieden werden, beispielsweise mittels eines Gasphasenabscheideverfahrens.According to an alternative embodiment, in the case of a barrier thin layer 116 comprising a plurality of sublayers, one or more sublayers of the barrier film 116 be deposited by a deposition method other than an atomic layer deposition method, for example, by a vapor deposition method.

Die Barrierendünnschicht 116 kann gemäß einer Ausgestaltung eine Schichtdicke von ungefähr 0,1 nm (eine Atomlage) bis ungefähr 1000 nm aufweisen, beispielsweise eine Schichtdicke von ungefähr 10 nm bis ungefähr 100 nm gemäß einer Ausgestaltung, beispielsweise ungefähr 40 nm gemäß einer Ausgestaltung.The barrier thin film 116 According to one embodiment, it may have a layer thickness of about 0.1 nm (one atomic layer) to about 1000 nm, for example a layer thickness of about 10 nm to about 100 nm according to an embodiment, for example about 40 nm according to an embodiment.

Gemäß einer Ausgestaltung, bei der die Barrierendünnschicht 116 mehrere Teilschichten aufweist, können alle Teilschichten dieselbe Schichtdicke aufweisen. Gemäß einer anderen Ausgestaltung können die einzelnen Teilschichten der Barrierendünnschicht 116 unterschiedliche Schichtdicken aufweisen. Mit anderen Worten: mindestens eine der Teilschichten kann eine andere Schichtdicke aufweisen als eine oder mehrere andere der Teilschichten.According to an embodiment, in which the barrier thin film 116 has multiple sub-layers, all sub-layers may have the same layer thickness. According to another embodiment, the individual partial layers of the barrier thin layer 116 have different layer thicknesses. In other words, at least one of Partial layers may have a different layer thickness than one or more other of the partial layers.

Die Barrierendünnschicht 116 oder die einzelnen Teilschichten der Barrierendünnschicht 116 können gemäß einer Ausgestaltung als transluzente oder transparente Schicht ausgebildet sein. Mit anderen Worten: die Barrierendünnschicht 116 (oder die einzelnen Teilschichten der Barrierendünnschicht 116) kann aus einem transluzenten oder transparenten Stoff (oder einem Stoffgemisch, die transluzent oder transparent ist) bestehen.The barrier thin film 116 or the individual partial layers of the barrier thin film 116 may be formed according to an embodiment as a translucent or transparent layer. In other words, the barrier thin film 116 (or the individual sublayers of the barrier thin film 116 ) may consist of a translucent or transparent substance (or a mixture of substances that is translucent or transparent).

Gemäß einer Ausgestaltung kann die Barrierendünnschicht 116 oder (im Falls eines Schichtenstapels mit einer Mehrzahl von Teilschichten) eine oder mehrere der Teilschichten der Barrierendünnschicht 116 einen der nachfolgenden Stoffe aufweisen oder daraus gebildet sein: Aluminiumoxid, Zinkoxid, Zirkoniumoxid, Titanoxid, Hafniumoxid, Tantaloxid Lanthaniumoxid, Siliziumoxid, Siliziumnitrid, Siliziumoxinitrid, Indiumzinnoxid, Indiumzinkoxid, Aluminium-dotiertes Zinkoxid, sowie Mischungen und Legierungen derselben. In verschiedenen Ausführungsbeispielen kann die Barrierendünnschicht 116 oder (im Falle eines Schichtenstapels mit einer Mehrzahl von Teilschichten) eine oder mehrere der Teilschichten der Barrierendünnschicht 116 ein oder mehrere hochbrechende Stoffe aufweisen, anders ausgedrückt ein oder mehrere Stoffe mit einem hohen Brechungsindex, beispielsweise mit einem Brechungsindex von mindestens 2.According to one embodiment, the barrier thin film 116 or (in the case of a layer stack having a plurality of sublayers) one or more of the sublayers of the barrier film 116 alumina, zinc oxide, zirconium oxide, titanium oxide, hafnium oxide, tantalum oxide lanthanum oxide, silicon oxide, silicon nitride, silicon oxynitride, indium tin oxide, indium zinc oxide, aluminum-doped zinc oxide, and mixtures and alloys thereof. In various embodiments, the barrier thin film 116 or (in the case of a layer stack having a plurality of sublayers) one or more of the sublayers of the barrier film 116 one or more high-index substances, in other words one or more substances with a high refractive index, for example with a refractive index of at least 2.

Ferner ist darauf hinzuweisen, dass in verschiedenen Ausführungsbeispielen auch ganz auf eine Barrierendünnschicht 116 verzichtet werden kann (dargestellt in 1c, d). In solch einer Ausgestaltung kann die optoelektronische Bauelementevorrichtung beispielsweise eine weitere Verkapselungsstruktur aufweisen, wodurch eine Barrierendünnschicht 116 optional werden kann, beispielsweise eine Abdeckung, beispielsweise eine Kavitätsglasverkapselung oder metallische Verkapselung.It should also be pointed out that in various embodiments also entirely on a barrier thin film 116 can be omitted (shown in 1c , d). In such an embodiment, the optoelectronic component device may for example have a further encapsulation structure, whereby a barrier thin film 116 can be optional, for example, a cover, for example, a Kavitätsglasverkapselung or metallic encapsulation.

Auf oder über der elektrisch funktionalen Struktur 130, 150, beispielsweise wenigstens teilweise auf oder über dem optisch aktiven Bereich 132 und/oder wenigstens teilweise auf oder über dem optisch inaktiven Bereich 134, kann eine Getter-Schicht angeordnet sein (nicht dargestellt) derart, dass die Getter-Schicht die elektrisch funktionale Struktur 130, 150 hermetisch bezüglich schädlicher Umwelteinflüsse abdichtet, beispielsweise die Diffusionsrate von Wasser und/oder Sauerstoff zu der Barrierendünnschicht 116 und/oder der elektrisch funktionalen Struktur 130, 150 hin reduziert.On or above the electrically functional structure 130 . 150 For example, at least partially on or over the optically active region 132 and / or at least partially on or over the optically inactive region 134 , a getter layer may be disposed (not shown) such that the getter layer is the electrically functional structure 130 . 150 hermetically seals with respect to harmful environmental influences, for example, the diffusion rate of water and / or oxygen to the barrier thin film 116 and / or the electrically functional structure 130 . 150 reduced.

In verschiedenen Ausführungsbeispielen kann die Getter-Schicht eine Matrix und darin verteilt einen Getter aufweisen.In various embodiments, the getter layer may have a matrix and distributed therein a getter.

In verschiedenen Ausführungsbeispielen kann die Getter-Schicht transluzent, transparent oder opak ausgebildet sein und eine Schichtdicke von größer als ungefähr 1 μm aufweisen, beispielsweise eine Schichtdicke von mehreren μm. In verschiedenen Ausführungsbeispielen kann die Matrix der Getter-Schicht einen Laminations-Klebstoff aufweisen.In various embodiments, the getter layer may be translucent, transparent or opaque and have a layer thickness of greater than about 1 micron, for example, a layer thickness of several microns. In various embodiments, the matrix of the getter layer may comprise a lamination adhesive.

In die Getter-Schicht können in verschiedenen Ausführungsbeispielen noch lichtstreuende Partikel eingebettet sein, die zu einer weiteren Verbesserung des Farbwinkelverzugs und der Auskoppeleffizienz führen können. In verschiedenen Ausführungsbeispielen können als lichtstreuende Partikel beispielsweise dielektrische Streupartikel vorgesehen sein wie beispielsweise Metalloxide wie z. B. Siliziumoxid (SiO2), Zinkoxid (ZnO), Zirkoniumoxid (ZrO2), Indium-Zinn-Oxid (ITO) oder Indium-Zink-Oxid (IZO), Galliumoxid (Ga2Ox) Aluminiumoxid, oder Titanoxid. Auch andere Partikel können geeignet sein, sofern sie einen Brechungsindex haben, der von dem effektiven Brechungsindex der Matrix der transluzenten Schichtenstruktur der Getter-Schicht verschieden ist, beispielsweise Luftblasen, Acrylat, oder Glashohlkugeln. Ferner können beispielsweise metallische Nanopartikel, Metalle wie Gold, Silber, Eisen-Nanopartikel, oder dergleichen als lichtstreuende Partikel vorgesehen sein.In various embodiments, light-scattering particles which can lead to a further improvement in the color angle distortion and the coupling-out efficiency can also be embedded in the getter layer. In various embodiments may be provided as light scattering particles, for example, dielectric scattering particles such as metal oxides such. For example, silicon oxide (SiO 2 ), zinc oxide (ZnO), zirconium oxide (ZrO 2 ), indium tin oxide (ITO) or indium zinc oxide (IZO), gallium oxide (Ga 2 O x ) alumina, or titanium oxide. Other particles may also be suitable as long as they have a refractive index which is different from the effective refractive index of the matrix of the translucent layer structure of the getter layer, for example air bubbles, acrylate or glass hollow spheres. Furthermore, for example, metallic nanoparticles, metals such as gold, silver, iron nanoparticles, or the like may be provided as light-scattering particles.

In verschiedenen Ausführungsbeispielen kann zwischen der zweiten Elektrode 108 und der Getter-Schicht noch eine elektrisch isolierende Schicht (nicht dargestellt) aufgebracht werden oder sein, beispielsweise SiN, SiOx oder SiNOx, beispielsweise mit einer Schichtdicke in einem Bereich von ungefähr 300 nm bis ungefähr 1,5 μm, beispielsweise mit einer Schichtdicke in einem Bereich von ungefähr 100 nm bis ungefähr 1 μm, um elektrisch instabile Stoffe zu schützen, beispielsweise während eines nasschemischen Prozesses.In various embodiments, between the second electrode 108 and the getter layer may be provided with an electrically insulating layer (not shown), for example SiN, SiOx or SiNOx, for example with a layer thickness in a range of approximately 300 nm to approximately 1.5 μm, for example with a layer thickness in one Range from about 100 nm to about 1 μm to protect electrically unstable materials, for example, during a wet chemical process.

In verschiedenen Ausführungsbeispielen kann der optisch aktive Bereich 132 wenigstens teilweise frei von Getter-Schicht sein, beispielsweise wenn die Getter-Schicht opak ausgebildet ist und der optisch aktive Bereich 132 transparent und/oder transluzent ausgebildet ist. Weiterhin kann der optisch aktive Bereich 132 wenigstens teilweise frei von Getter-Schicht sein um Getter-Schicht einzusparen.In various embodiments, the optically active region 132 be at least partially free of getter layer, for example, when the getter layer is opaque and the optically active region 132 is formed transparent and / or translucent. Furthermore, the optically active region 132 be at least partially free of getter layer to save getter layer.

Ferner können in verschiedenen Ausführungsbeispielen zusätzlich noch eine oder mehrere Ein-/Auskoppelschichten in dem organischen, optoelektronischen Bauelementes 140, 160 ausgebildet sein, beispielsweise eine externe Auskoppelfolie auf oder über dem Träger 102 (nicht dargestellt) oder eine interne Auskoppelschicht (nicht dargestellt) im Schichtenquerschnitt des optoelektronischen Bauelementes 140, 160. Die Ein-/Auskoppelschicht kann eine Matrix und darin verteilt Streuzentren aufweisen, wobei der mittlere Brechungsindex der Ein-/Auskoppelschicht größer ist als der mittlere Brechungsindex der Schicht, aus der die elektromagnetische Strahlung bereitgestellt wird.Furthermore, in various exemplary embodiments, additionally one or more input / output coupling layers in the organic, optoelectronic component can be provided 140 . 160 be formed, for example, an external Auskoppelfolie on or above the carrier 102 (not shown) or an internal coupling-out layer (not shown) in the layer cross-section of the optoelectronic component 140 . 160 , The coupling / decoupling layer may have a matrix and scattering centers distributed therein, wherein the average refractive index of the input / outcoupling layer is greater than the average refractive index of the layer from which the electromagnetic radiation is provided.

Für den Fall, dass beispielsweise ein lichtemittierendes monochromes oder im Emissionsspektrum begrenztes optoelektronisches Bauelement bereitgestellt werden soll, ist es ausreichend, dass die organische funktionelle Schichtenstruktur zumindest in einem Teilbereich des Wellenlängenbereichs des gewünschten monochromen Lichts oder für das begrenzte Emissionsspektrum transluzent ist.In the event, for example, that a light-emitting monochrome or emission-limited optoelectronic component is to be provided, it is sufficient for the organic functional layer structure to be translucent at least in a partial region of the wavelength range of the desired monochromatic light or for the limited emission spectrum.

In verschiedenen Ausführungsbeispielen kann das optoelektronische Bauelement 130, 140, 150, 160 eine elektrische Sammelschiene 118 auf oder über der ersten Elektrode 118 (dargestellt) oder organischen funktionellen Schichtenstruktur 106 (nicht dargestellt) aufweisen. In verschiedenen Ausführungsbeispielen kann die elektrische Sammelschiene 118 mittels einer elektrischen Isolierung 120 hinsichtlich weiterer Schichten des optoelektronischen Bauelementes 130, 140, 150, 160 elektrisch isoliert sein. In verschiedenen Ausführungsbeispielen kann die elektrische Sammelschiene 118 derart ausgebildet sein, dass die elektrische Sammelschiene 118 von organischer funktioneller Schichtenstruktur 106 wenigstens teilweise umgeben ist.In various embodiments, the optoelectronic component 130 . 140 . 150 . 160 an electric busbar 118 on or above the first electrode 118 (shown) or organic functional layer structure 106 (not shown). In various embodiments, the electrical busbar 118 by means of an electrical insulation 120 with regard to further layers of the optoelectronic component 130 . 140 . 150 . 160 be electrically isolated. In various embodiments, the electrical busbar 118 be formed such that the electrical busbar 118 of organic functional layer structure 106 is at least partially surrounded.

Die elektrische Sammelschiene 118 kann zur Erhöhung der lateralen Stromverteilung in dem optoelektronischen Bauelement eingerichtet sein, beispielsweise falls die erste Elektrode 104 und/oder die zweite Elektrode 108 einen elektrischen Flächenwiderstand aufweisen/aufweist, der ein großflächiges Ausbilden des optisch aktiven Bereiches 132 verhindern würde. Die elektrische Sammelschiene 118 kann beispielsweise mit einer der Elektroden 104, 108 elektrisch verbunden sein. In verschiedenen Ausführungsbeispielen können optoelektronisches Bauelement 130, 140, 150, 160 zwei oder mehr elektrische Sammelschien aufweisen, wobei die mehreren elektrischen Sammelschienen mit der gleichen oder, hinsichtlich des elektrischen Potenzials der Elektroden, unterschiedlichen Elektroden elektrisch gekoppelt sein kann.The electric busbar 118 may be arranged to increase the lateral current distribution in the optoelectronic component, for example if the first electrode 104 and / or the second electrode 108 have / has an electrical sheet resistance, which is a large-area forming of the optically active region 132 would prevent. The electric busbar 118 For example, with one of the electrodes 104 . 108 be electrically connected. In various embodiments, optoelectronic component 130 . 140 . 150 . 160 two or more electrical busbars, wherein the plurality of electrical busbars may be electrically coupled to the same or, with respect to the electrical potential of the electrodes, different electrodes.

In verschiedenen Ausführungsbeispielen kann auf oder über der elektrisch funktionalen Struktur 130, 150 an Verkapselungsstruktur ausgebildet sein, wobei die Verkapselungsstruktur eine erste Stützstruktur 122 auf oder über der elektrischen Sammelschiene 118 aufweist.In various embodiments, on or above the electrically functional structure 130 . 150 be formed on the encapsulation structure, wherein the encapsulation structure, a first support structure 122 on or above the electrical busbar 118 having.

In einem Ausführungsbeispielen dargestellt in 1b sind die erste Elektrode 104, die elektrische Sammelschiene 118, die organische funktionelle Schichtenstruktur 106 und die zweite Elektrode 108 wenigstens teilweise mittels einer Barrierendünnschicht 116 verkapselt. Auf oder über der Barrierendünnschicht 116 kann eine Verkapselungsstruktur 142 ausgebildet sein. Die Barrierendünnschicht 116 kann gemäß einer der Ausgestaltungen der Barrierendünnschicht auf dem Träger 102 ausgebildet sein.In one embodiment illustrated in FIG 1b are the first electrode 104 , the electric busbar 118 , the organic functional layer structure 106 and the second electrode 108 at least partially by means of a barrier thin film 116 encapsulated. On or above the barrier thin film 116 can be an encapsulation structure 142 be educated. The barrier thin film 116 may according to one of the embodiments of the barrier thin film on the support 102 be educated.

Die Verkapselungsstruktur 142 kann eine Abdeckung 124 aufweisen die über der elektrisch funktionalen Struktur 130 aufgebracht oder ausgebildet ist.The encapsulation structure 142 can a cover 124 have the above the electrically functional structure 130 applied or formed.

Eine Abdeckung 124 kann beispielsweise eine Glasabdeckung 124, eine Metallfolienabdeckung 124 oder eine abgedichtete Kunststofffolien-Abdeckung 124 sein.A cover 124 For example, a glass cover 124 , a metal foil cover 124 or a sealed plastic film cover 124 be.

Die Abdeckung 124 kann hermetisch dicht hinsichtlich Wasser und/oder Sauerstoff ausgebildet sein.The cover 124 can be hermetically sealed with respect to water and / or oxygen.

Die Abdeckung 124 kann mittels einer zweiten Stützstruktur 128 mit der Barrierendünnschicht 116 (dargestellt in 1b), mit Kontaktpads 112, 114 (dargestellt in 1d) oder den Elektroden 104, 108 (nicht dargestellt) schlüssig verbunden sein, beispielsweise stoffschlüssig.The cover 124 can by means of a second support structure 128 with the barrier thin film 116 (shown in 1b ), with contact pads 112 . 114 (shown in 1d ) or the electrodes 104 . 108 (not shown) be connected conclusively, for example, materially.

In dem Ausführungsbeispielen, in 116 dem die Abdeckung 124 mit der Barrierendünnschicht schlüssig verbunden ist, kann die zweite Stützstruktur 128 beispielsweise als eine Klebstoffschicht ausgebildet sein. Die zweite Stützstruktur kann die elektrisch funktionale Struktur 130 flächig und hermetisch bezüglich schädlicher Umwelteinflüsse abdichten, beispielsweise die Diffusionsrate von Wasser und/oder Sauerstoff zu der Barrierendünnschicht 116 hin reduziert. Die Abdeckung 124 kann beispielsweise auf die Barrierendünnschicht 116 mit einem Klebstoff 128 aufgeklebt sein, beispielsweise auflaminiert sein. Die Abdeckung 124 kann beispielsweise als eine Glasabdeckung, eine Metallabdeckung und/oder Kunststoffabdeckung ausgebildet sein. Die Abdeckung 124 kann beispielsweise strukturiert sein, beispielsweise als ein Kavitätsglas.In the embodiments, in 116 the cover 124 is connected to the barrier thin film conclusively, the second support structure 128 For example, be formed as an adhesive layer. The second support structure may be the electrically functional structure 130 surface and hermetically seal with respect to harmful environmental influences, for example, the diffusion rate of water and / or oxygen to the barrier thin film 116 reduced. The cover 124 for example, on the barrier thin film 116 with an adhesive 128 be glued, for example, be laminated. The cover 124 For example, it may be formed as a glass cover, a metal cover and / or a plastic cover. The cover 124 For example, it can be structured, for example as a cavity glass.

Die Barrierendünnschicht 116 und/oder die Abdeckung 124 können/kann derart ausgebildet sein, dass die eingeschlossenen Schichten hermetisch bezüglich schädlicher Umwelteinflüsse abgedichtet sind, beispielsweise hinsichtlich Wasser und/oder Sauerstoff.The barrier thin film 116 and / or the cover 124 can / can be designed such that the enclosed layers are hermetically sealed with respect to harmful environmental influences, for example with regard to water and / or oxygen.

In einer Ausgestaltung kann eine Abdeckung 124, beispielsweise aus Glas, kann die zweite Stützstruktur 128 als eine Fritten-Verbindung 128 (engl. glass frit bonding/glass soldering/seal glass bonding) mittels eines herkömmlichen Glaslotes in den geometrischen Randbereichen des elektrisch aktiven Bereiches 136 ausgebildet sein.In one embodiment, a cover 124 For example, made of glass, the second support structure 128 as a fry connection 128 (glass frit bonding / glass soldering / seal glass bonding) by means of a conventional glass solder in the geometric edge regions of the electrically active region 136 be educated.

In verschiedenen Ausführungsbeispielen kann die zweite Stützstruktur transluzent und/oder transparent ausgebildet sein und eine Schichtdicke von größer als ungefähr 1 μm aufweisen, beispielsweise eine Schichtdicke von mehreren μm. In verschiedenen Ausführungsbeispielen kann die zweite Stützstruktur einen Laminations-Klebstoff aufweisen oder ein solcher sein. In various embodiments, the second support structure may be translucent and / or transparent and have a layer thickness of greater than about 1 micron, for example, a layer thickness of several microns. In various embodiments, the second support structure may include or be a lamination adhesive.

In der ersten Stützstruktur 122 und/oder der zweiten Stützstruktur 128 können in verschiedenen Ausführungsbeispielen noch lichtstreuende Partikel eingebettet sein, die zu einer weiteren Verbesserung des Farbwinkelverzugs und der Auskoppeleffizienz führen können.In the first support structure 122 and / or the second support structure 128 In various embodiments, light-scattering particles may also be embedded, which may lead to a further improvement in the color angle distortion and the coupling-out efficiency.

In verschiedenen Ausführungsbeispielen können als lichtstreuende Partikel beispielsweise dielektrische Streupartikel vorgesehen sein wie beispielsweise Metalloxide wie z. B. Siliziumoxid (SiO2), Zinkoxid (ZnO), Zirkoniumoxid (ZrO2), Indium-Zinn-Oxid (ITO) oder Indium-Zink-Oxid (IZO), Galliumoxid (Ga2Ox) Aluminiumoxid, oder Titanoxid. Auch andere Partikel können geeignet sein, sofern sie einen Brechungsindex haben, der von dem effektiven Brechungsindex der Matrix der transluzenten Schichtenstruktur verschieden ist, beispielsweise Luftblasen, Acrylat, oder Glashohlkugeln. Ferner können beispielsweise metallische Nanopartikel, Metalle wie Gold, Silber, Eisen-Nanopartikel, oder dergleichen als lichtstreuende Partikel vorgesehen sein.In various embodiments may be provided as light scattering particles, for example, dielectric scattering particles such as metal oxides such. For example, silicon oxide (SiO 2 ), zinc oxide (ZnO), zirconium oxide (ZrO 2 ), indium tin oxide (ITO) or indium zinc oxide (IZO), gallium oxide (Ga 2 O x ) alumina, or titanium oxide. Other particles may also be suitable, provided that they have a refractive index which is different from the effective refractive index of the matrix of the translucent layer structure, for example air bubbles, acrylate or glass hollow spheres. Furthermore, for example, metallic nanoparticles, metals such as gold, silver, iron nanoparticles, or the like may be provided as light-scattering particles.

In verschiedenen Ausführungsbeispielen kann zwischen der zweiten Elektrode 108 und der zweite Stützstruktur 128 oder zwischen der zweiten Elektrode und der ersten Stützstruktur noch eine elektrisch isolierende Schicht (nicht dargestellt) aufgebracht werden oder sein, beispielsweise SiN, SiOx, SiNOx, beispielsweise mit einer Schichtdicke in einem Bereich von ungefähr 300 nm bis ungefähr 1,5 μm, beispielsweise mit einer Schichtdicke in einem Bereich von ungefähr 100 nm bis ungefähr 1 μm, um elektrisch instabile Stoffe zu schützen, beispielsweise während eines nasschemischen Prozesses.In various embodiments, between the second electrode 108 and the second support structure 128 or an electrically insulating layer (not shown) may be applied between the second electrode and the first support structure, for example SiN, SiO x , SiNO x , for example with a layer thickness in a range from approximately 300 nm to approximately 1.5 μm, for example, with a layer thickness in a range of about 100 nm to about 1 μm to protect electrically unstable materials, for example during a wet chemical process.

In verschiedenen Ausführungsbeispielen kann die erste Stützstruktur 122 und/oder die zweite Stützstruktur 128 derart eingerichtet sein, dass die zweite Stützstruktur 128 einen Brechungsindex aufweist, der kleiner ist als der Brechungsindex der Abdeckung 124. Eine solche erste Stützstruktur 122 und/oder solch eine zweite Stützstruktur 128 kann beispielsweise einen niedrigbrechenden Klebstoff aufweisen, beispielsweise ein Acrylat, der einen Brechungsindex von ungefähr 1,3 aufweist. Die erste Stützstruktur 122 und oder die zweite Stützstruktur 128 können jedoch auch beispielsweise einen hochbrechenden Klebstoff aufweisen, der beispielsweise hochbrechende, nichtstreuende Partikel aufweist und einen mittleren Brechungsindex aufweist, der ungefähr dem mittleren Brechungsindex der organisch funktionellen Schichtenstruktur entspricht, beispielsweise in einem Bereich von ungefähr 1,7 bis ungefähr 2,0 oder größer. Weiterhin können mehrere unterschiedliche Klebstoffe in der ersten Stützstruktur 122 und/oder der zweiten Stützstruktur 128 vorgesehen sein, die eine Kleberschichtenfolge bilden.In various embodiments, the first support structure 122 and / or the second support structure 128 be set up such that the second support structure 128 has a refractive index that is less than the refractive index of the cover 124 , Such a first support structure 122 and / or such a second support structure 128 For example, it may comprise a low refractive index adhesive, for example an acrylate having a refractive index of about 1.3. The first support structure 122 and or the second support structure 128 however, for example, they may also comprise a high refractive index adhesive having, for example, high refractive index non-diffusing particles and having an average refractive index approximately equal to the average refractive index of the organically functional layered structure, for example in a range from about 1.7 to about 2.0 or greater. Furthermore, several different adhesives in the first support structure 122 and / or the second support structure 128 be provided, which form an adhesive layer sequence.

In verschiedenen Ausführungsbeispielen können/kann die Abdeckung 124, die erste Stützstruktur 122 und/oder die zweite Stützstruktur 128 einen Brechungsindex (beispielsweise bei einer Wellenlänge von 633 nm) von 1,55 aufweisen.In various embodiments, the cover may / may 124 , the first supporting structure 122 and / or the second support structure 128 have a refractive index (for example at a wavelength of 633 nm) of 1.55.

In verschiedenen Ausführungsbeispielen kann zwischen der Abdeckung 124 und der elektrisch funktionalen Struktur 31, 150 eine Kavität 126 ausgebildet sein. Die Kavität 126 kann ein Gas, Gasgemisch und/oder eine funktionalen Schicht aufweisen (nicht dargestellt). Die Kavität 126 kann beispielsweise teilweise oder vollständig mittels des Gas, Gasgemisches und/oder der funktionalen Schicht gefüllt sein.In various embodiments, between the cover 124 and the electrically functional structure 31 . 150 a cavity 126 be educated. The cavity 126 may comprise a gas, gas mixture and / or a functional layer (not shown). The cavity 126 For example, it may be partially or completely filled by means of the gas, gas mixture and / or the functional layer.

Die Abdeckung 124, der Abstand der Abdeckung 124 zu der elektrisch funktionalen Struktur 130, 150; das Kompressionsmodul des Stoffs oder des Stoffgemisches in der Kavität 126 und/oder der laterale Abstand der ersten Stützstruktur 122 zu der zweiten Stützstruktur 128 sind derart ausgebildet, dass die Abdeckung 124 nicht oder lediglich mit dem erhöhten Kraftaufwand mechanisch bis auf die elektrisch funktionale Struktur 130, 150 gekrümmt bzw. gebogen werden kann. Das Ausbilden der ersten Stützstruktur 122 kann den notwendigen Kraftaufwand zum Durchbiegen der Abdeckung bis auf die elektrisch funktionale Struktur 130, 150 bereits erhöhen.The cover 124 , the distance of the cover 124 to the electrically functional structure 130 . 150 ; the compression modulus of the substance or of the mixture of substances in the cavity 126 and / or the lateral distance of the first support structure 122 to the second support structure 128 are formed such that the cover 124 not mechanically or only with the increased force mechanically up to the electrically functional structure 130 . 150 can be curved or bent. The formation of the first support structure 122 can provide the necessary force to bend the cover down to the electrically functional structure 130 . 150 already increase.

In einem Ausführungsbeispielen kann die funktionale Schicht einen Getter aufweisen, das heißt als eine Getter-Schicht eingerichtet sein. Auf oder über der Getter-Schicht ist wenigstens teilweise die Abdeckung 124 angeordnet.In one embodiment, the functional layer may include a getter, that is, configured as a getter layer. On or above the getter layer is at least partially the cover 124 arranged.

In verschiedenen Ausführungsbeispielen kann die Getter-Schicht wenigstens teilweise von wenigstens einer zweite Stützstruktur 128 umgeben sein, beispielsweise derart, dass die Getter-Schicht keine Oberfläche zu Luft aufweist, beispielsweise vollständig lateralen umgeben sein.In various embodiments, the getter layer may be at least partially covered by at least one second support structure 128 be surrounded, for example, such that the getter layer has no surface to air, for example, be completely surrounded.

Im Rahmen dieser Beschreibung kann eine Getter-Schicht einen Getter aufweisen oder daraus gebildet sein. Eine Getter-Schicht, die einen Getter aufweist, kann beispielsweise einen Getter in Form von Partikeln aufweisen, die in einer Matrix verteilt sin. In the context of this description, a getter layer may include or be formed from a getter. For example, a getter layer having a getter may have a getter in the form of particles distributed in a matrix.

Im Rahmen dieser Beschreibung kann ein „Getter” ein Stoff oder ein Stoffgemisch aufweisen, welches schädliche Stoffe und/oder schädliche Stoffgemische absorbiert, beispielsweise Sauerstoff oder das Wasser der Luftfeuchtigkeit. Ein Getter kann jedoch auch in einer Matrix verteilt sein, beispielsweise in Form von Partikeln oder gelöst, und mittels der Absorption schädlicher Stoffe oder schädlicher Stoffgemische dazu führen, dass der Stoff oder das Stoffgemisch der Matrix zusätzlich Sauerstoffabweisende und/oder Feuchtigkeitsabweisende Eigenschaften aufweist.In the context of this description, a "getter" may comprise a substance or a substance mixture which absorbs harmful substances and / or harmful substance mixtures, for example oxygen or the water of the atmospheric moisture. However, a getter may also be distributed in a matrix, for example in the form of particles or dissolved, and by means of the absorption of harmful substances or harmful substance mixtures cause the substance or the substance mixture of the matrix additionally having oxygen-repellent and / or moisture-repellent properties.

Ein Getter kann in verschiedenen Ausgestaltungen als Stoff beispielweise einen oxidierbaren Stoff aufweisen oder daraus gebildet sein. Ein oxidierbarer Stoff kann beispielsweise mit Sauerstoff und/oder Wasser reagieren und dadurch diese Stoffe binden. Getter können daher beispielsweise leicht oxidierende Stoffe aus der chemischen Gruppe der Alkali-Metall und/oder Erdalkali-Metalle aufweisen oder daraus gebildet sein, beispielsweise Magnesium, Calcium, Barium, Cäsium, Kobalt, Yttrium, Lanthan und/oder Metalle der seltenen Erden. Weiterhin können auch andere Metalle geeignet sein, beispielsweise Aluminium, Zirkonium, Tantal, Kupfer, Silber und/oder Titan oder oxidierbare nichtmetallische Stoffe. Darüber hinaus kann ein Getter auch CaO, BaO und MgO aufweisen oder daraus gebildet sein. Ein Getter kann jedoch auch ein Trockenmittel aufweisen oder daraus gebildet sein. Ein Trockenmittel kann beispielsweise Wasser irreversibel aufnehmen, ohne das Volumen zu ändern oder Wasser mittels Physisorption binden ohne dabei ihr Volumen wesentlich zu ändern.A getter may have in various embodiments as a substance, for example, an oxidizable substance or be formed therefrom. For example, an oxidizable substance can react with oxygen and / or water and thereby bind these substances. Thus, for example, getters may comprise or be formed from easily oxidizing substances from the chemical group of alkali metal and / or alkaline earth metals, for example magnesium, calcium, barium, cesium, cobalt, yttrium, lanthanum and / or rare earth metals. Furthermore, other metals may be suitable, for example aluminum, zirconium, tantalum, copper, silver and / or titanium or oxidizable non-metallic substances. In addition, a getter may include or be formed from CaO, BaO, and MgO. However, a getter may also include or be formed from a desiccant. For example, a desiccant may irreversibly absorb water without altering volume or binding water by physisorption without significantly altering its volume.

Mittels Zuführens von Wärme, beispielsweise mittels eines Erhöhens der Temperatur, können die adsorbierten Wassermoleküle wieder entfernt werden. Ein Getter kann in verschiedenen Ausgestaltungen beispielsweise getrocknete Silikagele oder Zeolithe aufweisen oder daraus gebildet sein. Ein Getter, der ein Zeolith aufweist oder daraus gebildet ist, kann in den Poren und Kanälen des Zeoliths Sauerstoff und/oder Wasser adsorbieren. Bei der Adsorption von Wasser und/oder Sauerstoff mittels getrockneter Silikagele und/oder Zeolithe können für die darunter liegenden Schichten keine schädlichen Stoffe oder Stoffgemische gebildet werden. Weiterhin können die Getter aus getrocknetem Silikagele und/oder Zeolith keine Änderung des Volumens mittels der Reaktion mit Wasser und/oder Sauerstoff aufweisen.By supplying heat, for example by means of raising the temperature, the adsorbed water molecules can be removed again. A getter may include, for example, dried silica gels or zeolites, or may be formed therefrom in various embodiments. A getter comprising or formed from a zeolite can adsorb oxygen and / or water in the pores and channels of the zeolite. In the adsorption of water and / or oxygen by means of dried silica gels and / or zeolites no harmful substances or mixtures can be formed for the underlying layers. Furthermore, the getters of dried silica gels and / or zeolite can not change the volume by means of the reaction with water and / or oxygen.

Die Getter-Partikel können in verschiedenen Ausgestaltungen einen mittleren Durchmesser kleiner ungefähr 50 μm aufweisen, beispielsweise kleiner ungefähr 1 μm. Der mittleren Durchmesser der Getter-Partikel sollte dabei nicht größer sein als die Dicke der Getter-Schicht, beispielsweise um die benachbarten Schichten und das Bauelement nicht zu schädigen.The getter particles may in various embodiments have a mean diameter less than about 50 microns, for example, less than about 1 micron. The average diameter of the getter particles should not be greater than the thickness of the getter layer, for example, not to damage the adjacent layers and the device.

Die Getter-Partikel können in verschiedenen Ausgestaltungen beispielsweise einen maximalen mittleren Durchmesser aufweisen, der ungefähr 20% der Dicke der Getter-Schicht entspricht.For example, in various embodiments, the getter particles may have a maximum mean diameter that is about 20% of the getter layer thickness.

Getter-Partikel mit einem mittlere Durchmesser kleiner ungefähr 1 μm, beispielsweise in einem Bereich von ungefähr 50 nm bis ungefähr 500 nm, können den Vorteil aufweisen, dass selbst bei einer dichten Packung der Getter-Partikel punktuelle Kräfte auf beispielsweise eine OLED vermindert werden.Getter particles having an average diameter of less than about 1 μm, for example in a range of about 50 nm to about 500 nm, can have the advantage that even with a dense packing of the getter particles punctual forces on, for example, an OLED are reduced.

In verschiedenen Ausführungsbeispielen kann die erste Stützstruktur 122 die Abdeckung 124 mit der elektrisch funktionalen Struktur 130, 150 schlüssig Verbinden, beispielsweise stoffschlüssigen.In various embodiments, the first support structure 122 the cover 124 with the electrically functional structure 130 . 150 conclusively connect, for example, cohesive.

In einem Ausführungsbeispielen kann die erste Stützstruktur 122/oder die zweite Stützstruktur 128 Hermetisch dicht hinsichtlich Wasser und/oder Sauerstoff ausgebildet sein.In one embodiment, the first support structure 122 / or the second support structure 128 Hermetically sealed with respect to water and / or oxygen.

In verschiedenen Ausführungsbeispielen kann die Getter-Schicht derart eingerichtet sein, dass die Getter-Schicht einen Brechungsindex aufweist, der kleiner ist als der Brechungsindex der Abdeckung 124. Eine solche Getter-Schicht kann beispielsweise einen niedrigbrechenden Klebstoff aufweisen, beispielsweise ein Acrylat, der einen Brechungsindex von ungefähr 1,3 aufweist. In einer Ausgestaltung kann die Getter-Schicht beispielsweise einen hochbrechenden Klebstoff aufweisen, der beispielsweise hochbrechende, nichtstreuende Partikel aufweist und einen mittleren Brechungsindex aufweist, der ungefähr dem mittleren Brechungsindex der organisch funktionellen Schichtenstruktur entspricht, beispielsweise in einem Bereich von ungefähr 1,7 bis ungefähr 2,0 oder größer. Weiterhin können mehrere unterschiedliche Klebstoffe in der Getter-Schicht vorgesehen sein, die eine Kleberschichtenfolge bilden.In various embodiments, the getter layer may be configured such that the getter layer has a refractive index that is less than the refractive index of the cover 124 , Such a getter layer may comprise, for example, a low refractive index adhesive, for example an acrylate having a refractive index of about 1.3. For example, in one embodiment, the getter layer may comprise a high refractive index adhesive having, for example, high refractive non-diffusing particles and an average refractive index approximately equal to the average refractive index of the organic functional layer structure, for example, in a range of about 1.7 to about 2 , 0 or greater. Furthermore, several different adhesives may be provided in the getter layer, which form an adhesive layer sequence.

Eine erste Stützstruktur 122 auf oder über der elektrischen Sammelschiene 118 kann bewirken, dass mögliche Partikelkontaminationen (siehe 8) zwischen der elektrisch aktiven Struktur 130 und der Abdeckung 124 in die elektrische Isolierung 120 gedrückt werden. Die elektrische Isolierung 120 kann somit als eine zusätzliche Schwelle gegen Kurzschlüsse wirken. Das Ausbilden der ersten Stützstruktur 122, beispielsweise aus einem flüssigen Metall, beispielsweise einer GaInSn-Legierung; der elektrischen Isolierung 120 und/oder der elektrischen Sammelschiene 118 kann mittels einem der Verfahren ausgebildet werden, das zum Ausbilden der Kontaktpads 112, 114 und/oder der zweiten Stützstrukturen 128 verwendet wird, beispielsweise ein Drucken. Dadurch können Strukturbreiten für die ersten Stützstruktur 122, die elektrischen Isolierung 120 und/oder die elektrischen Sammelschiene 118 in einem Bereich von ungefähr 1 μm bis ungefähr 100 μm realisiert werden. Die Strukturbreite für eine erste Stützstruktur aus einem Klebstoff kann prozessbedingt größer als 100 μm sein.A first support structure 122 on or above the electrical busbar 118 can cause possible particle contamination (see 8th ) between the electrically active structure 130 and the cover 124 in the electrical insulation 120 be pressed. The electrical insulation 120 can thus act as an additional threshold against short circuits. The formation of the first support structure 122 for example, a liquid metal such as a GaInSn alloy; the electrical insulation 120 and / or the electrical busbar 118 can be formed by one of the methods used to form the contact pads 112 . 114 and / or the second support structures 128 is used, for example, a To Print. This allows structure widths for the first support structure 122 , the electrical insulation 120 and / or the electrical busbar 118 be realized in a range of about 1 micron to about 100 microns. The structure width for a first support structure made of an adhesive can be greater than 100 μm for process reasons.

In verschiedenen Ausführungsbeispielen kann die erste Stützstruktur 122 und/oder die zweite Stützstruktur 128 eine der folgenden Formen aufweisen oder derart ausgebildet sein: punktförmig, linienartig, zylinderförmig, quaderförmig, pyramidenförmig und/oder kreisförmig.In various embodiments, the first support structure 122 and / or the second support structure 128 have one of the following shapes or be formed: punctiform, linear, cylindrical, cuboid, pyramidal and / or circular.

2a, b zeigt schematische Querschnittsansichten optoelektronischer Bauelemente im Verfahren zum Herstellen eines optoelektronischen Bauelementes, gemäß verschieden Ausführungsbeispielen. 2a , b shows schematic cross-sectional views of optoelectronic components in the method for producing an optoelectronic component, according to various embodiments.

2a zeigt verschiedene schematische Querschnittsansicht eines optoelektronischen Bauelementes gemäß verschiedenen Ausführungsbeispielen in einem Verfahren zum Herstellen eines optoelektronischen Bauelementes. 2a shows various schematic cross-sectional view of an optoelectronic component according to various embodiments in a method for producing an optoelectronic component.

In einem konkreten Ausführungsbeispiel 200 zum Herstellen eines optoelektronischen Bauelementes 250, wird eine elektrisch funktionale Struktur 130 in einer Substratlinie 200a und parallel dazu, eine Abdeckung 124 in einer Laminierlinie 200b, ausgebildet.In a concrete embodiment 200 for producing an optoelectronic component 250 , becomes an electrically functional structure 130 in a substrate line 200a and in parallel, a cover 124 in a laminating line 200b , educated.

Nach dem Ausbilden der elektrisch funktionalen Struktur 130 mit Barrierendünnschicht 116 auf oder über den Elektroden 104, 108 und der organischen funktionellen Schichtenstruktur 116 bedeckt die Barrierendünnschicht 116 des strukturierten Substrates großflächig, ohne lateral strukturiert zu sein.After forming the electrically functional structure 130 with barrier thin film 116 on or over the electrodes 104 . 108 and the organic functional layer structure 116 covers the barrier thin film 116 of the structured substrate over a large area, without being laterally structured.

In einem Ausführungsbeispiel kann über der elektrisch funktionalen Struktur 130 auf der Barrierendünnschicht 116 eine zweite Metallschicht 202 ausgebildet werden dargestellt mittels Bezugszeichen 210.In one embodiment, over the electrically functional structure 130 on the barrier thin film 116 a second metal layer 202 be formed shown by reference numerals 210 ,

In verschiedenen Ausführungsbeispielen kann die zweite Metallschicht 202 auch als zweite funktionale Stützstruktur-Schicht 202 verstanden werden, beispielsweise wenn die Stützstruktur 122, 128 aus einem nicht-metallischen Stoff gebildet wird, beispielsweise wenn die Stützstruktur 122, 128 mittels eines Glases oder Kunststoffes gebildet wird, beispielsweise einem Glaslot oder einem Klebstoff.In various embodiments, the second metal layer 202 also as a second functional support structure layer 202 be understood, for example, if the support structure 122 . 128 is formed of a non-metallic material, for example when the support structure 122 . 128 is formed by means of a glass or plastic, for example a glass solder or an adhesive.

In einem Ausführungsbeispiel kann das Ausbilden der zweiten Metallschicht 202 einer Metalllegierung oder Metallisierung auf die elektrisch funktionalen Struktur 130 aufweisen, beispielsweise ein Abscheiden Al, Zn, Cr, Sn, Mo, Au, Ag und/oder Ni zum Ausbilden von Stützstrukturen. Das Aufbringen der Metalllegierung 210 oder Metallisierung 210 kann strukturiert (dargestellt) oder unstrukturiert erfolgen, das heißt die zweite Metallschicht 202 kann strukturiert oder und unstrukturiert ausgebildet werden. Die abgeschiedene zweite Metallschicht 202 kann eine Dicke in einem Bereich von 20 nm bis 25 m aufweisen. In verschiedenen Ausführungsbeispielen kann das Ausbilden der zweiten Metallschicht 202 ein Ausbilden von mehreren Teilschichten in einer Schichtfolge aufweisen. Der geometrische Rand des elektrisch aktiven Bereiches 136 kann ausgebildet oder bearbeitet werden derart, dass dieser frei von Metallschicht ist. Dadurch kann ein weiteres Legieren nach dem Laminieren der Verkapselungsstruktur verhindert werden (siehe Beschreibung 5).In one embodiment, forming the second metal layer 202 a metal alloy or metallization on the electrically functional structure 130 For example, depositing Al, Zn, Cr, Sn, Mo, Au, Ag and / or Ni to form support structures. The application of the metal alloy 210 or metallization 210 can be structured (shown) or unstructured, that is, the second metal layer 202 can be structured or structured and unstructured. The deposited second metal layer 202 may have a thickness in a range of 20 nm to 25 m. In various embodiments, forming the second metal layer 202 forming a plurality of sub-layers in a layer sequence. The geometric edge of the electrically active area 136 can be formed or processed such that it is free of metal layer. This can prevent further alloying after lamination of the encapsulation structure (see description 5 ).

In einem weiteren Verfahrensschritt wird eine Abdeckung 124 bereitgestellt. Diese Abdeckung 124 kann beispielsweise ein gereinigtes Laminierglas oder eine mit Schutzschichten hermetisch abgedichtete Folie sein.In a further method step, a cover 124 provided. This cover 124 For example, it may be a cleaned laminating glass or a film hermetically sealed with protective layers.

Auf der Abdeckung 124 kann optional eine Haftschicht 204 oder Antihaftschicht 204 ausgebildet werden – dargestellt mittels Bezugszeichen 220, beispielsweise für ein strukturiertes oder und strukturiertes Aufbringen einer ersten Metallschicht 206 – dargestellt mittels Bezugszeichen 230. Die erste Metallschicht 206 kann beispielsweise ein Metall oder eine Metalllegierung aufweisen, die bei Raumtemperatur flüssig ist. Die zweite Metallschicht 206 kann beispielsweise mittels eines Druckens, Dispensens und/oder mittels einer Lösung ausgebildet werden.On the cover 124 can optionally have an adhesive layer 204 or non-stick coating 204 be formed - represented by reference numerals 220 For example, for a structured or structured application of a first metal layer 206 - represented by reference numerals 230 , The first metal layer 206 For example, it may comprise a metal or a metal alloy that is liquid at room temperature. The second metal layer 206 can be formed for example by means of printing, dispensing and / or by means of a solution.

In verschiedenen Ausführungsbeispielen kann die erste Metallschicht 206 auch als erste funktionale Stützstruktur-Schicht 206 verstanden werden, beispielsweise wenn die Stützstruktur 122, 128 aus einem nicht-metallischen Stoff gebildet wird, beispielsweise wenn die Stützstruktur 122, 128 mittels eines Glases oder Kunststoffes gebildet wird, beispielsweise einem Glaslot oder einem Klebstoff.In various embodiments, the first metal layer 206 also as the first functional support structure layer 206 be understood, for example, if the support structure 122 . 128 is formed of a non-metallic material, for example when the support structure 122 . 128 is formed by means of a glass or plastic, for example a glass solder or an adhesive.

In einem Ausführungsbeispiel kann mittels der Haftschicht 204 bzw. Antihaftschicht 204 eine erste Metallschicht 206 am Rand der Abdeckung 124 mit oder ohne flächige Auftragung ausgebildet werden, beispielsweise nur am Rand oder in der ganzen Fläche. In einem Ausführungsbeispiel kann die Antihaftschicht 204 oder Haftschicht 204 derart ausgebildet werden, dass eine erste Metallschicht 206 am Rand der Abdeckung 124, beispielsweise geometrisch weiter außen ausgebildet wird als der geometrische Rand des Gegenstücks 210 (der zweiten Metallschicht 202 Substrat); und/oder über der elektrischen Sammelschiene.In one embodiment, by means of the adhesive layer 204 or non-stick layer 204 a first metal layer 206 at the edge of the cover 124 be formed with or without areal application, for example, only on the edge or in the whole area. In one embodiment, the non-stick layer 204 or adhesive layer 204 be formed such that a first metal layer 206 at the edge of the cover 124 , For example, is formed geometrically further out than the geometric edge of the counterpart 210 (the second metal layer 202 Substrate); and / or over the electrical busbar.

Die zweite Metallschicht 206 kann in einem Ausführungsbeispielen flüssig auf die Abdeckung 124, beispielsweise auf ein Laminierglas, aufgebracht werden, wobei die zweite Metallschicht 206 die Abdeckung 124 je nach Unterlage (Haftschicht 204/Antihaftschicht 204) benetzt oder nicht. Mit anderen Worten: mittels der Haftschicht 204 bzw. Antihaftschicht 204 kann eine Strukturierung der ersten Metallschicht 206 realisiert werden. Als eine Haftschicht 204/eine Antihaftschicht 204 kann beispielsweise eine Schicht aufweisend einen oder mehrere der folgenden Stoffe: TiOx, GaOx, WOx, ZrOx, AlOx; optional auf der Abdeckung 124 ausgebildet werden. The second metal layer 206 may be liquid on the cover in one embodiment 124 , For example, be applied to a laminating glass, wherein the second metal layer 206 the cover 124 depending on the substrate (adhesive layer 204 / Non-stick coating 204 ) wetted or not. In other words: by means of the adhesive layer 204 or non-stick layer 204 can be a structuring of the first metal layer 206 will be realized. As an adhesive layer 204 / a non-stick coating 204 For example, a layer comprising one or more of the following substances: TiOx, GaOx, WOx, ZrOx, AlOx; optional on the cover 124 be formed.

In einem weiteren Verfahrensschritt 240 wird die erste Metallschicht 206 auf der Abdeckung 124 in einen körperlichen Kontakt mit der elektrisch funktionalen Struktur 130 mit der zweiten Metallschicht 202 gebracht. Mit anderen Worten die Abdeckung 124 mit erster Metallschicht 206 wird auf die elektrisch funktionale Struktur 130 mit zweiter Metallschicht 202 auflaminiert. In einem Ausführungsbeispiel sind die erste Metallschicht 206 und die zweite Metallschicht 202 derart stofflich eingerichtet, dass diese bei Ausbilden eines körperlichen Kontaktes miteinander anfangen zu legieren. Beispielsweise indem die zweite Metallschicht 202 Aluminium aufweist und die erste Metallschicht 206 eine eutektische GaInSn-Legierung aufweist. Die erste Metallschicht 206 und die zweite Metallschicht 202 legieren miteinander und verfestigen sich dabei solange, bis lokal kein Aluminium mehr im körperlichen Kontakt mit der GaInSn-Legierung vorliegt. Dadurch ist eine selektive Verfestigung der zweiten Metallschicht 206 möglich. Die erste Metallschicht 206 bleibt an den Stellen, an denen es nicht mit Aluminium reagiert hat, flüssig und kann dadurch eine erhöhtes Kompressionsmodul aufweisen, beispielsweise eine erhöhte Partikelresistenz aufweisen – dargestellt in 2b. Die legierten Stützstruktur 122, 128 können die Druckbelastung auf weichere Zwischengebiete, beispielsweise die organische funktionelle Schichtenstruktur 106, verringern. Im geometrischen Randbereich des elektrisch aktiven Bereiches können Reaktionsstopps, beispielsweise eine Vakuumstelle, ein weiteres Reagieren der ersten Metallschicht 206 mit der zweiten Metallschicht 202 vermeiden.In a further process step 240 becomes the first metal layer 206 on the cover 124 in physical contact with the electrically functional structure 130 with the second metal layer 202 brought. In other words the cover 124 with first metal layer 206 becomes on the electrically functional structure 130 with second metal layer 202 laminated. In one embodiment, the first metal layer 206 and the second metal layer 202 so materially furnished that they begin to form a physical contact with each other when forming. For example, by the second metal layer 202 Aluminum and the first metal layer 206 has a eutectic GaInSn alloy. The first metal layer 206 and the second metal layer 202 alloy with each other and solidify themselves until there is no more local aluminum in physical contact with the GaInSn alloy. This is a selective solidification of the second metal layer 206 possible. The first metal layer 206 remains liquid at the points where it has not reacted with aluminum and can thus have an increased compression modulus, for example, have increased particle resistance - shown in FIG 2 B , The alloyed support structure 122 . 128 can reduce the pressure on softer intermediate areas, such as the organic functional layer structure 106 , reduce. In the geometric edge region of the electrically active region, reaction stops, for example a vacuum point, can further react the first metal layer 206 with the second metal layer 202 avoid.

Durch den Einsatz einer ersten Metallschicht 206 aus einer niedrig schmelzenden ersten Metalllegierung in Zusammenwirken mit einer zweiten Metallschicht 202 aus weiteren zweiten Legierungselementen können metallische Stützstrukturen 122, 128 als neue Legierung zum Beispiel auf einer Dünnfilmverkapselung 116 ausgebildet werden. Die maximale Schmelztemperatur der ersten Metalllegierung sollte unterhalb der maximalen Spezifikationstemperatur der elektrisch funktionalen Struktur liegen, beispielsweise maximal ungefähr 80°C. Dadurch organische funktionelle Schichtenstruktur 106 beim Verkapseln nicht geschädigt. Eine metallische Stützstruktur 122, 128 sollte oberhalb der Spezifikationstemperatur formstabil sein, d. h. sich bei der Lagerung oder im Betrieb des optoelektronischen Bauelementes nicht verflüssigen. Eine metallische Stützstruktur mit solchen Material kann ausgebildet werden indem die erste Metallschicht 206 oder die zweite Metallschicht 202 aus einem eutektischen Stoff oder einem eutektischen Stoffgemisch gebildet ist. Beim Ausbilden der Metallschicht aus dem eutektischen Stoff oder eutektischem Stoffgemisch befindet sich der eutektische Stoff oder das eutektische Stoffgemisch am Phasengleichgewicht (Eutektikum). Die komplementäre Metallschicht ist in diesem Ausführungsbeispiel aus einem Stoff oder Stoff gebildet, das den eutektischen Stoff oder das eutektische Stoffgemisch mittels chemischer Reaktion aus dem Eutektikum verschiebt. In einem Ausführungsbeispiel kann sich der eutektische Stoff oder das eutektische Stoffgemisch in möglichen Zwischenbereichen 126 zwischen den Stützstrukturen 122, beispielsweise in Kavitäten 126, noch im Phasengleichgewicht befinden, beispielsweise elastisch oder viskoelastisch sein. Dadurch kann der eutektische Stoff oder das eutektische Stoffgemisch in den Kavitäten 126 als zusätzlicher Partikelschutz wirken (vgl. 8).By using a first metal layer 206 of a low melting first metal alloy in cooperation with a second metal layer 202 from further second alloying elements can metallic support structures 122 . 128 as a new alloy, for example on a thin-film encapsulation 116 be formed. The maximum melting temperature of the first metal alloy should be below the maximum specification temperature of the electrically functional structure, for example at most approximately 80 ° C. This gives organic functional layer structure 106 not damaged during encapsulation. A metallic support structure 122 . 128 should be dimensionally stable above the specification temperature, ie not liquefied during storage or during operation of the optoelectronic component. A metallic support structure with such material may be formed by the first metal layer 206 or the second metal layer 202 is formed from a eutectic substance or a eutectic substance mixture. When forming the metal layer from the eutectic substance or eutectic substance mixture, the eutectic substance or the eutectic substance mixture is at the phase equilibrium (eutectic). The complementary metal layer is formed in this embodiment of a substance or substance that shifts the eutectic substance or the eutectic mixture by means of chemical reaction from the eutectic. In one embodiment, the eutectic or eutectic composition may be in intermediate areas 126 between the support structures 122 , for example in cavities 126 , are still in phase equilibrium, for example, be elastic or viscoelastic. This allows the eutectic substance or the eutectic mixture in the cavities 126 act as an additional particle protection (see. 8th ).

In einem Ausführungsbeispiel kann der eutektische Stoff oder das eutektische Stoffgemisch eine GaInSn-Legierung und das komplementäre Metall Aluminium oder Zinn aufweisen oder ist daraus gebildet sein.In one embodiment, the eutectic or eutectic composition may include or be formed from a GaInSn alloy and the complementary metal may be aluminum or tin.

In einem Ausführungsbeispiel kann der eutektische Stoff oder das eutektische Stoffgemisch aufweisen: 68 Gew.-% Ga, 22 Gew.-% In und 10 Gew.-% Sn. Eine solche GaInSn-Legierung kann eine Schmelztemperatur von –19.5°C. aufweisen und benetzt Glas, d. h. ist somit bei Raumtemperatur verarbeitbar. Mittels des Sn-Gehalts der Legierung kann der Schmelzpunkt der GaInSn-Legierung eingestellt werden, beispielsweise weist eine GaInSn-Legierung mit 62 Gew.-% Ga, 22 Gew.-% In und 16 Gew.-% Sn eine Schmelztemperatur von 10,7°C auf. Mit anderen Worten: mittels des Sn-Gehalt kann der Schmelzpunkt einer GaInSn-Legierung auf einen prozessgeeigneten Wert eingestellt werden.In one embodiment, the eutectic or eutectic composition may comprise 68 wt% Ga, 22 wt% In, and 10 wt% Sn. Such a GaInSn alloy can have a melting temperature of -19.5 ° C. have and wet glass, d. H. is thus processable at room temperature. By means of the Sn content of the alloy, the melting point of the GaInSn alloy can be adjusted, for example, a GaInSn alloy having 62 wt.% Ga, 22 wt.% In and 16 wt.% Sn has a melting temperature of 10.7 ° C on. In other words, by means of the Sn content, the melting point of a GaInSn alloy can be set to a process-suitable value.

In einem Ausführungsbeispiel kann der eutektische Stoff oder das eutektische Stoffgemisch ein Fieldsches Metall oder eine Fieldsches Metalllegierung aufweisen, beispielsweise mit 51 Gew.-% In, 33 Gew.-% Bi und 16 Gew.-% Sn. Eine solche InBiSn-Legierung kann eine Schmelztemperatur von 62°C. aufweisen und benetzt Glas, d. h. ist somit auf einer Heizplatte verarbeitbar.In one embodiment, the eutectic or eutectic composition may comprise a Field metal or a Field metal alloy, for example, 51 wt% In, 33 wt% Bi, and 16 wt% Sn. Such an InBiSn alloy can have a melting temperature of 62 ° C. have and wet glass, d. H. is thus processable on a hot plate.

In einem Ausführungsbeispiel können/kann die erste funktionale Stützstrukturschicht 206 und/oder die zweite funktionale Stützstrukturschicht 202 einen einstellbaren Schmelzpunkt aufweisen, beispielsweise mittels einer Stoff-Konzentration des Stoffs oder Stoffgemischs der ersten funktionalen Stützstrukturschicht 206 und/oder der zweiten funktionalen Stützstrukturschicht 202.In one embodiment, the first functional support structure layer may be 206 and / or the second functional support structure layer 202 have an adjustable melting point, for example by means of a substance concentration of the substance or substance mixture of the first functional support structure layer 206 and / or the second functional support structure layer 202 ,

In einem Ausführungsbeispiel können/kann der Stoff oder das Stoffgemisch der erste funktionalen Stützstrukturschicht 206 und/oder der zweiten funktionalen Stützstrukturschicht 202 ein Glas-Substrat benetzen, d. h. einen Kontaktwinkel in einem Bereich von 0° bis ungefähr 120° aufweisen, beispielsweise in einem Bereich 0° bis ungefähr 90°, beispielsweise in einem Bereich von ungefähr 0° bis ungefähr 60°.In one embodiment, the substance or mixture of substances may / may be the first functional support structure layer 206 and / or the second functional support structure layer 202 wet a glass substrate, ie have a contact angle in a range of 0 ° to about 120 °, for example in a range 0 ° to about 90 °, for example in a range of about 0 ° to about 60 °.

3a, b zeigt schematische Querschnittsansichten optoelektronischer Bauelemente im Verfahren zum Herstellen eines optoelektronischen Bauelementes, gemäß verschieden Ausführungsbeispielen. 3a , b shows schematic cross-sectional views of optoelectronic components in the method for producing an optoelectronic component, according to various embodiments.

3a zeigt verschiedene schematische Querschnittsansicht eines optoelektronischen Bauelementes gemäß verschiedenen Ausführungsbeispielen in einem Verfahren zum Herstellen eines optoelektronischen Bauelementes. 3a shows various schematic cross-sectional view of an optoelectronic component according to various embodiments in a method for producing an optoelectronic component.

In einem konkreten Ausführungsbeispiel 300 zum Herstellen eines optoelektronischen Bauelementes 350, wird eine elektrisch funktionale Struktur 130 in einer Substratlinie 300a und parallel dazu, eine Abdeckung 124 in einer Laminierlinie 300b, ausgebildet.In a concrete embodiment 300 for producing an optoelectronic component 350 , becomes an electrically functional structure 130 in a substrate line 300a and in parallel, a cover 124 in a laminating line 300b , educated.

Nach dem Ausbilden der elektrisch funktionalen Struktur 130 mit Barrierendünnschicht 116 auf oder über den Elektroden 104, 108 und der organischen funktionellen Schichtenstruktur 116 bedeckt die Barrierendünnschicht 116 des strukturierten Substrates großflächig, ohne lateral strukturiert zu sein.After forming the electrically functional structure 130 with barrier thin film 116 on or over the electrodes 104 . 108 and the organic functional layer structure 116 covers the barrier thin film 116 of the structured substrate over a large area, without being laterally structured.

In einem Ausführungsbeispiel kann über der elektrisch funktionalen Struktur 130 auf der Barrierendünnschicht 116 eine Antihaftschicht 204/Haftschicht 204 ausgebildet werden dargestellt mittels Bezugszeichen 310.In one embodiment, over the electrically functional structure 130 on the barrier thin film 116 a non-stick layer 204 / Adhesive layer 204 be formed shown by reference numerals 310 ,

Die Antihaftschicht 204/Haftschicht 204 kann beispielsweise lateral strukturiert sein. Auf der Haftschicht 204 kann in einem Ausführungsbeispiel die erste Metallschicht 206 ausgebildet werden – dargestellt mittels des Bezugszeichens 340.The non-stick layer 204 / Adhesive layer 204 may be laterally structured, for example. On the adhesive layer 204 may in one embodiment, the first metal layer 206 be formed - represented by the reference numeral 340 ,

In einem Ausführungsbeispiel kann mittels der Haftschicht 204 bzw. Antihaftschicht 204 eine erste Metallschicht 206 am Rand der Abdeckung 124 mit oder ohne flächige Auftragung ausgebildet werden, beispielsweise nur am Rand oder in der ganzen Fläche. In einem Ausführungsbeispiel kann die Antihaftschicht 204 oder Haftschicht 204 derart ausgebildet werden, dass eine erste Metallschicht 206 am Rand der Abdeckung 124, beispielsweise geometrisch weiter außen ausgebildet wird als der geometrische Rand des Gegenstücks 210 (der zweiten Metallschicht 202 Substrat); und/oder über der elektrischen Sammelschiene.In one embodiment, by means of the adhesive layer 204 or non-stick layer 204 a first metal layer 206 at the edge of the cover 124 be formed with or without areal application, for example, only on the edge or in the whole area. In one embodiment, the non-stick layer 204 or adhesive layer 204 be formed such that a first metal layer 206 at the edge of the cover 124 , For example, is formed geometrically further out than the geometric edge of the counterpart 210 (the second metal layer 202 Substrate); and / or over the electrical busbar.

Die erste Metallschicht 206 kann beispielsweise ein Metall oder eine Metalllegierung aufweisen, die bei Raumtemperatur flüssig ist. Die zweite Metallschicht 206 kann beispielsweise mittels eines Druckens, Dispensens, Rakelns und/oder mittels einer Lösung ausgebildet werden.The first metal layer 206 For example, it may comprise a metal or a metal alloy that is liquid at room temperature. The second metal layer 206 For example, it can be formed by means of printing, dispensing, doctoring and / or by means of a solution.

In einem weiteren Verfahrensschritt wird eine Abdeckung 124 bereitgestellt. Diese Abdeckung 124 kann beispielsweise ein gereinigtes Laminierglas, eine mit Schutzschichten hermetisch abgedichtete Folie und/oder eine Metallfolie sein. Die Abdeckung kann beispielsweise lateral strukturiert sein, beispielsweise im Bereich der zu bildenden Stützstrukturen 122, 128 oder dazwischen, beispielsweise um eine Kavität auszubilden.In a further method step, a cover 124 provided. This cover 124 For example, it may be a cleaned laminating glass, a hermetically sealed film and / or a metal foil. The cover may for example be laterally structured, for example in the region of the support structures to be formed 122 . 128 or in between, for example, to form a cavity.

Auf der Abdeckung 124 kann eine zweite Metallschicht 202 aus einer Metalllegierung oder Metallisierung ausgebildet werden – dargestellt mittels des Bezugszeichens 320. Die Metalllegierung oder Metallisierung kann beispielsweise als ein Abscheiden von Al, Zn, Cr, Sn und/oder Ni eingerichtet sein, beispielsweise strukturiert (dargestellt) oder unstrukturiert (nicht dargestellt).On the cover 124 can be a second metal layer 202 be formed of a metal alloy or metallization - represented by the reference numeral 320 , The metal alloy or metallization may, for example, be configured as a deposition of Al, Zn, Cr, Sn and / or Ni, for example structured (shown) or unstructured (not shown).

Die abgeschiedene zweite Metallschicht 202 kann eine Dicke in einem Bereich von 20 nm bis 25 μPm aufweisen. In verschiedenen Ausführungsbeispielen kann das Ausbilden der zweiten Metallschicht 202 ein Ausbilden von mehreren Teilschichten in einer Schichtfolge aufweisen. Der geometrische Rand des elektrisch aktiven Bereiches 136 kann ausgebildet oder bearbeitet werden derart, dass dieser frei von Metallschicht ist. Dadurch kann ein weiteres Legieren nach dem Laminieren der Verkapselungsstruktur verhindert werden (siehe Beschreibung 5).The deposited second metal layer 202 may have a thickness in a range of 20 nm to 25 μPm. In various embodiments, forming the second metal layer 202 forming a plurality of sub-layers in a layer sequence. The geometric edge of the electrically active area 136 can be formed or processed such that it is free of metal layer. This can prevent further alloying after lamination of the encapsulation structure (see description 5 ).

Die zweite Metallschicht 206 kann in einem Ausführungsbeispielen flüssig auf die Abdeckung 124, beispielsweise auf ein Laminierglas, aufgebracht werden, wobei die zweite Metallschicht 206 die Abdeckung 124 je nach Unterlage (Haftschicht 204/Antihaftschicht 204) benetzt oder nicht. Mit anderen Worten: mittels der Haftschicht 204 bzw. Antihaftschicht 204 kann eine Strukturierung der ersten Metallschicht 206 realisiert werden. Als eine Haftschicht 204/eine Antihaftschicht 204 kann beispielsweise eine Schicht aufweisend einen oder mehrere der folgenden Stoffe: TiOx, GaOx, WOx, ZrOx, AlOx; optional auf der Abdeckung 124 ausgebildet werden.The second metal layer 206 may be liquid on the cover in one embodiment 124 , For example, be applied to a laminating glass, wherein the second metal layer 206 the cover 124 depending on the substrate (adhesive layer 204 / Non-stick coating 204 ) wetted or not. In other words: by means of the adhesive layer 204 or non-stick layer 204 can be a structuring of the first metal layer 206 will be realized. As an adhesive layer 204 / a non-stick coating 204 For example, a layer comprising one or more of the following substances: TiOx, GaOx, WOx, ZrOx, AlOx; optional on the cover 124 be formed.

In einem weiteren Verfahrensschritt 340 wird die zweite Metallschicht 202 auf der Abdeckung 124 in einen körperlichen Kontakt mit der elektrisch funktionalen Struktur 130 mit der ersten Metallschicht 206 gebracht. Mit anderen Worten die Abdeckung 124 mit zweiter Metallschicht 202 wird auf die elektrisch funktionale Struktur 130 mit erster Metallschicht 206 auflaminiert. In einem Ausführungsbeispiel sind die erste Metallschicht 206 und die zweite Metallschicht 202 derart stofflich eingerichtet, dass diese bei Ausbilden eines körperlichen Kontaktes miteinander anfangen zu legieren. Beispielsweise indem die zweite Metallschicht 202 Aluminium aufweist und die erste Metallschicht 206 eine eutektische GaInSn-Legierung aufweist. Die erste Metallschicht 206 und die zweite Metallschicht 202 legieren miteinander und verfestigen sich dabei solange, bis lokal kein Aluminium mehr im körperlichen Kontakt mit der GaInSn-Legierung vorliegt. Dadurch ist eine selektive Verfestigung der zweiten Metallschicht 206 möglich. Die erste Metallschicht 206 bleibt an den Stellen, an denen es nicht mit Aluminium reagiert hat, flüssig und kann dadurch eine erhöhtes Kompressionsmodul aufweisen, beispielsweise eine erhöhte Partikelresistenz aufweisen – dargestellt in 3b. Die legierten Stützstrukturen 122, 128 können die Druckbelastung auf weichere Zwischengebiete, beispielsweise die organische funktionelle Schichtenstruktur 106, verringern. Im geometrischen Randbereich des elektrisch aktiven Bereiches können Reaktionsstopps, beispielsweise eine Vakuumstelle, ein weiteres Reagieren der ersten Metallschicht 206 mit der zweiten Metallschicht 202 vermeiden. In a further process step 340 becomes the second metal layer 202 on the cover 124 in physical contact with the electrically functional structure 130 with the first metal layer 206 brought. In other words the cover 124 with second metal layer 202 becomes on the electrically functional structure 130 with first metal layer 206 laminated. In one embodiment, the first metal layer 206 and the second metal layer 202 so materially furnished that they begin to form a physical contact with each other when forming. For example, by the second metal layer 202 Aluminum and the first metal layer 206 has a eutectic GaInSn alloy. The first metal layer 206 and the second metal layer 202 alloy with each other and solidify themselves until there is no more local aluminum in physical contact with the GaInSn alloy. This is a selective solidification of the second metal layer 206 possible. The first metal layer 206 remains liquid at the points where it has not reacted with aluminum and can thus have an increased compression modulus, for example, have increased particle resistance - shown in FIG 3b , The alloyed support structures 122 . 128 can reduce the pressure on softer intermediate areas, such as the organic functional layer structure 106 , reduce. In the geometric edge region of the electrically active region, reaction stops, for example a vacuum point, can further react the first metal layer 206 with the second metal layer 202 avoid.

4a–d zeigen schematische Querschnittsansichten optoelektronischer Bauelemente, gemäß verschieden Ausführungsbeispielen. 4a Figure-d show schematic cross-sectional views of optoelectronic components according to various embodiments.

Eine erste Stützstruktur 122 über einer elektrischen Sammelschiene 118 und eine zweiten Stützstruktur 128 im Randbereich des elektrisch aktiven Bereiches 136 (dargestellt in 13) können vor und/oder nach dem Ausbilden der Stützstrukturen 122, 128 großflächige flüssige Metallschichten und/oder Klebstoffschichten aufweisen. Diese flüssigen Schichten können kontinuierlich weiter reagieren und/oder sich kontinuierlich verändern. Dadurch kann der Randbereich 402 einer Stützstruktur 122, 128 einer kontinuierlichen Veränderung ausgesetzt sein (dargestellt in 4a). Der Rand der Stützstrukturen 122, 128 kann in verschiedenen Ausführungsbeispielen mittels einer Schutzschicht, einer Haftschicht und/oder einer Antihaftschicht (dargestellt in 4b–d) vor solchen Veränderungen geschützt werden.A first support structure 122 over an electric busbar 118 and a second support structure 128 in the edge region of the electrically active region 136 (shown in 1 - 3 ) may be before and / or after forming the support structures 122 . 128 have large-area liquid metal layers and / or adhesive layers. These liquid layers can continue to react and / or continuously change. This allows the border area 402 a support structure 122 . 128 to be exposed to a continuous change (shown in 4a ). The edge of the support structures 122 . 128 can in various embodiments by means of a protective layer, an adhesive layer and / or a release layer (shown in FIG 4b -D) be protected against such changes.

4b zeigt zwei benachbarte Stützstrukturen 122, 128 bei denen neben den Stützstrukturen 122, 128 eine nicht reaktive Struktur 404 ausgebildet ist, beispielsweise aus einem chemisch nicht-reaktiven Material, beispielsweise Ni für GaInSn. 4b shows two adjacent support structures 122 . 128 where next to the support structures 122 . 128 a non-reactive structure 404 is formed, for example, a chemically non-reactive material, such as Ni for GaInSn.

4c zeigt zwei benachbarte Stützstrukturen 122, 128 bei denen neben den Stützstrukturen 122, 128 eine Antihaftschicht 406 ausgebildet ist, beispielsweise aus einem nicht-benetzenden Stoff oder Stoffgemisch hinsichtlich des Stoffs oder Stoffgemischs der Stützstrukturen 122, 128. Bei einer Stützstruktur 122, 128, die Ga, In und/oder Sn aufweist, kann beispielsweise direkt auf das Laminationsglas 124 eine Antihaftschicht 406 aufweisend GaOx, AlOx, TiOx, ZrOx und/oder ZnOx aufgebracht werden, während das Substrat der flüssigen Metalllegierung beispielsweise Glas aufweist, dass beispielsweise eine gute Benetzung für GaInSn aufweist. 4c shows two adjacent support structures 122 . 128 where next to the support structures 122 . 128 a non-stick layer 406 is formed, for example, from a non-wetting substance or mixture with respect to the substance or mixture of the support structures 122 . 128 , With a support structure 122 . 128 For example, Ga, In, and / or Sn can be applied directly to the lamination glass 124 a non-stick layer 406 comprising GaO x, AlO x, TiO x, ZrO x and / or ZnO, x applied while the substrate of the liquid metal alloy comprising for example glass, for example, that a good wetting of GaInSn has.

4d zeigt zwei benachbarte Stützstrukturen 122, 128 bei denen Kavität 126 teilweise oder vollständig mit einem Stoff oder Stoffgemisch gefüllt ist, dass ein höheres Kompressionsmodul aufweist als der Stoff oder das Stoffgemisch der Stützstrukturen 122, 128. Dazu kann zwischen den Stützstrukturen 122, 128 auf der Abdeckung 124 wenigstens teilweise eine funktionale Schicht 206 ausgebildet sein, wobei die funktionale Schicht 206 die Abdeckung in der Kavität wenigstens teilweise benetzt. Die funktionale Schicht 206 kann eine Dicke aufweisen, die kleiner oder gleich ist als/wie die Dicke der Stützstrukturen 122, 128. Mit anderen Worten: die Kavität 126 oder die Kavität 126 mit funktionaler Schicht 206 kann eine geringere Härte aufweisen als die Stützstruktur 122, 128. Dadurch kann zwischen Abdeckung 124 und elektrisch funktionaler Struktur 130, 150 ein Federweg ausgebildet werden, der mechanische Belastungen (siehe 8) reduzieren/abfedern kann. 4d shows two adjacent support structures 122 . 128 where cavity 126 is partially or completely filled with a substance or mixture of substances that has a higher compression modulus than the substance or the mixture of the support structures 122 . 128 , This can be done between the support structures 122 . 128 on the cover 124 at least partially a functional layer 206 be formed, wherein the functional layer 206 at least partially wets the cover in the cavity. The functional layer 206 may have a thickness that is less than or equal to the thickness of the support structures 122 . 128 , In other words: the cavity 126 or the cavity 126 with functional layer 206 may have a lower hardness than the support structure 122 . 128 , This can be between cover 124 and electrically functional structure 130 . 150 be formed a spring, the mechanical loads (see 8th ) can reduce / cushion.

5a–c zeigt schematische Querschnittsansichten optoelektronischer Bauelemente, gemäß verschieden Ausführungsbeispielen. In verschiedenen Ausführungsbeispielen kann eine Stützstruktur 122, 128 als eine stoffschlüssige Verbindung einer Abdeckung mit einer elektrisch funktionalen Struktur eingerichtet sein. 5a -C shows schematic cross-sectional views of optoelectronic components, according to various embodiments. In various embodiments, a support structure 122 . 128 be configured as a material connection of a cover with an electrically functional structure.

Beim Ausbilden der stoffschlüssigen Verbindung kann die Reaktionszeit der Stützstruktur 122, 128 mit der Abdeckung und/oder der elektrisch funktionalen Struktur zu langsam sein hinsichtlich einer angestrebten Anwendung.When forming the cohesive connection, the reaction time of the support structure 122 . 128 with the cover and / or the electrically functional structure too slow in terms of a desired application.

In verschiedenen Ausführungsbeispielen kann wenigstens eine funktionale Stützstrukturschicht 202, 206 zum Ausbilden einer Stützstruktur 122, 128 eine Strukturierung aufweisen, beispielsweise eine strukturierte Oberfläche oder eine strukturierte Form aufweisen oder derart ausgebildet sein (dargestellt in 5a–c). Dadurch kann das Verhältnis von Oberfläche zu Volumen der funktionale Stützstrukturschicht vergrößert werden und dadurch die Reaktionszeit der funktionalen Stützstrukturschicht 202, 206 mit der Abdeckung 124 der elektrisch funktionalen Struktur 130 und/oder einer zweiten funktionalen Stützstrukturschicht 202, 206 verkürzt werden.In various embodiments, at least one functional support structure layer 202 . 206 for forming a support structure 122 . 128 have a structuring, for example, have a structured surface or a structured shape or be formed in such a way (shown in FIG 5a c). As a result, the surface-to-volume ratio of the functional support structure layer can be increased and thereby the Reaction time of the functional support structure layer 202 . 206 with the cover 124 the electrically functional structure 130 and / or a second functional support structure layer 202 . 206 be shortened.

5a zeigt eine dünne funktionale Stützstrukturschicht 202, 206 zwischen der Abdeckung 124 und der elektrisch funktionalen Struktur 130. Eine dünne funktionale Stützstrukturschicht 202, 206 kann ein schnelles Reagieren mit der/der funktionale Stützstrukturschicht 202, 206 ermöglichen, beispielsweise wenn die dünne funktionale Stützstrukturschicht 202, 206 aus einem sehr reaktiven Stoff oder Stoffgemisch gebildet ist hinsichtlich des Stoffs oder des Stoffgemisches der Abdeckung 124, der Oberfläche der elektrisch aktiven Struktur 130, 150 und/oder einer komplementären zweiten funktionale Stützstrukturschicht 206. Ein reaktiver Stoff bzw. ein reaktives Stoffgemisch kann als reaktionsfreudig verstanden werden, d. h. chemisch aktiv. 5a shows a thin functional support structure layer 202 . 206 between the cover 124 and the electrically functional structure 130 , A thin functional support structure layer 202 . 206 can react quickly with the functional support structure layer 202 . 206 allow, for example, when the thin functional support structure layer 202 . 206 is formed from a very reactive substance or mixture of substances with regard to the substance or the substance mixture of the cover 124 , the surface of the electrically active structure 130 . 150 and / or a complementary second functional support structure layer 206 , A reactive substance or a reactive substance mixture can be understood as reactive, ie chemically active.

Eine dünne funktionale Stützstrukturschicht 202, 206 kann beispielsweise eine dünne Metallschicht, eine dünne Metalllegierung, eine dünne Glasschicht, eine dünne Keramik-Schicht, eine dünne Kunststoffschicht oder eine dünne Klebstoffschicht sein.A thin functional support structure layer 202 . 206 For example, it may be a thin metal layer, a thin metal alloy, a thin glass layer, a thin ceramic layer, a thin plastic layer or a thin adhesive layer.

Eine dünne funktionale Stützstrukturschicht 202, 206 kann beispielsweise eine Dicke in einem Bereich von ungefähr 30 nm bis ungefähr 100 μm aufweisen, beispielsweise in einem Bereich von ungefähr 50 nm bis ungefähr 50 μm, beispielsweise in einem Bereich von ungefähr 100 nm bis ungefähr 10 μm, beispielsweise in einem Bereich von ungefähr 250 nm bis ungefähr 5 μm, beispielsweise in einem Bereich von ungefähr 500 nm bis ungefähr 1 μm.A thin functional support structure layer 202 . 206 For example, it may have a thickness in a range of about 30 nm to about 100 μm, for example in a range of about 50 nm to about 50 μm, for example in a range of about 100 nm to about 10 μm, for example in a range of about 250 nm to about 5 μm, for example in a range of about 500 nm to about 1 μm.

In einem Ausführungsbeispiel ist die erste funktionale Stützstrukturschicht 206 als eine dünne Aluminium-Schicht ausgebildet, während die zweite funktionale Stützstrukturschicht 202 als eine GaInSn-Schicht ausgebildet ist.In one embodiment, the first functional support structure layer is 206 formed as a thin aluminum layer, while the second functional support structure layer 202 is formed as a GaInSn layer.

5b zeigt eine pulverförmige funktionale Stützstrukturschicht 202, 206 zwischen der Abdeckung 124 und der elektrisch funktionalen Struktur 130. Eine pulverförmige funktionale Stützstrukturschicht 202, 206 kann beispielsweise mittels Pulverbeschichtens eines oder mehrerer Stoffe der funktionale Stützstrukturschicht 202, 206 ausgebildet werden, wobei die Partikel einen mittleren Durchmesser in einem Bereich von ungefähr 30 nm bis ungefähr 100 μm aufweisen können. 5b shows a powdered functional support structure layer 202 . 206 between the cover 124 and the electrically functional structure 130 , A powdered functional support structure layer 202 . 206 For example, by powder coating one or more substances of the functional support structure layer 202 . 206 may be formed, wherein the particles may have a mean diameter in a range of about 30 nm to about 100 microns.

5c zeigt eine strukturierte funktionale Stützstrukturschicht 202, 206 zwischen der Abdeckung 124 und der elektrisch funktionalen Struktur 130. 5c shows a structured functional support structure layer 202 . 206 between the cover 124 and the electrically functional structure 130 ,

In einem Ausführungsbeispiel kann eine erste funktionale Stützstrukturschicht 206 geometrisch und/oder chemisch komplementär zu einer zweiten funktionalen Stützstrukturschicht 202 ausgebildet sein, wobei diese funktionalen Stützstrukturschicht 202, 206 eine Stützstruktur 122, 128 ausbilden.In one embodiment, a first functional support structure layer 206 geometrically and / or chemically complementary to a second functional support structure layer 202 be formed, this functional support structure layer 202 . 206 a support structure 122 . 128 form.

In einem Ausführungsbeispiel kann eine strukturierte funktionale Stützstrukturschicht 202, 206 eine lamellare Form aufweisen.In one embodiment, a structured functional support structure layer 202 . 206 have a lamellar shape.

6a, b zeigt schematische Querschnittsansichten eines herkömmlichen optoelektronischen Bauelementes. 6a , b shows schematic cross-sectional views of a conventional optoelectronic component.

Ein organisches optoelektronisches Bauelement (dargestellt in 6), beispielsweise eine OLED, kann eine Anode 604 und eine Kathode 608 mit einem organischen funktionellen Schichtensystem 606 dazwischen aufweisen. Das organische funktionelle Schichtensystem 606 kann eine oder mehrere Emitterschicht/en aufweisen (nicht dargestellt), in der/denen elektromagnetische Strahlung erzeugt wird, eine oder mehrere Ladungsträgerpaar-Erzeugungs-Schichtenstruktur (nicht dargestellt) aus jeweils zwei oder mehr Ladungsträgerpaar-Erzeugungs-Schichten („charge generating layer”, CGL) zur Ladungsträgerpaarerzeugung, sowie einer oder mehrerer Elektronenblockadeschichten (nicht dargestellt), auch bezeichnet als Lochtransportschicht(en) („hole transport layer” – HTL), und einer oder mehrerer Lochblockadeschichten (nicht dargestellt), auch bezeichnet als Elektronentransportschicht(en) („electron transport layer” – ETL), um den Stromfluss zu richten. Optoelektronische Bauelemente auf organischer Basis, beispielsweise organische Leuchtdidode (organic light emitting diode – OLED), finden zunehmend verbreitete Anwendung in der Allgemeinbeleuchtung, beispielsweise als Flächenlichtquellen. Ein organisches optoelektronisches Bauelement weist herkömmlich auf: eine erste Elektrode 604, die auf oder über einem Träger 602 ausgebildet ist. Auf oder über der ersten Elektrode 604 ist eine organische funktionelle Schichtenstruktur 606 ausgebildet. Über oder auf der organischen funktionellen Schichtenstruktur 606 ist eine zweite Elektrode 608 ausgebildet. Die zweite Elektrode 608 ist mittels einer elektrischen Isolierung 610 von der ersten Elektrode 604 elektrisch isoliert. Die elektrische Isolierungen 610 sind derart eingerichtet, dass ein Stromfluss zwischen der ersten Elektrode 604 und der zweiten Elektrode 608 verhindert wird. Die zweite Elektrode 608 ist mit einem zweiten Kontaktpad 614 körperlich und elektrisch verbunden und die erste Elektrode 604 mit einem ersten Kontaktpad 612 körperlich und elektrisch verbunden.An organic optoelectronic device (shown in FIG 6 ), for example an OLED, can be an anode 604 and a cathode 608 with an organic functional layer system 606 in between. The organic functional layer system 606 may comprise one or more emitter layers (not shown) in which electromagnetic radiation is generated, one or more charge carrier pair generation layer structures (not shown) each consisting of two or more charge generating pairs ("charge generating layer"). CGL) for charge carrier pair generation, and one or more electron block layers (not shown), also referred to as Hole Transport Layer (HTL), and one or more Lochblockadeschichten (not shown), also referred to as an electron transport layer (s) ("Electron transport layer" - ETL) to direct the flow of electricity. Organic-based optoelectronic components, for example organic light emitting diodes (OLEDs), are finding increasing widespread use in general lighting, for example as surface light sources. An organic optoelectronic device conventionally comprises: a first electrode 604 on or over a carrier 602 is trained. On or above the first electrode 604 is an organic functional layered structure 606 educated. Over or on the organic functional layer structure 606 is a second electrode 608 educated. The second electrode 608 is by means of an electrical insulation 610 from the first electrode 604 electrically isolated. The electrical insulations 610 are arranged such that a current flow between the first electrode 604 and the second electrode 608 is prevented. The second electrode 608 is with a second contact pad 614 physically and electrically connected and the first electrode 604 with a first contact pad 612 physically and electrically connected.

7a, b zeigt schematische Querschnittsansichten eines herkömmlichen optoelektronischen Bauelementes. 7a , b shows schematic cross-sectional views of a conventional optoelectronic component.

7a zeigt ein herkömmliches Verfahren zum Verkapseln eines optoelektronischen Bauelementes 600. Auf der zweiten Elektrode 608 eines optoelektronischen Bauelementes 600 (siehe 6) wird eine Barrierendünnschicht 700 ausgebildet derart, dass die zweite Elektrode 608, die elektrischen Isolierungen 610 und die organische funktionelle Schichtenstruktur 606 von der Barrierendünnschicht 616 umgeben ist. Weiterhin wird auf einer Abdeckung 704 eine Klebstoffschicht 706 aufgebracht. Die Abdeckung 704 ist beispielsweise ein Laminierglas 704 oder eine Folie 704 und der Klebstoff ein Epoxidklebstoff. Die Abdeckung 704 mit Klebstoffschicht 706 wird dann auf die Barrieredünnschicht 702 aufgebracht (dargestellt in 7a). Dadurch wird ein verkapseltes optoelektronisches Bauelement 600 mit einer herkömmlichen Verkapselungsstruktur 706 mit Barrieredünnschicht 700 und auflaminierter Abdeckung 702 ausgebildet. 7a shows a conventional method for encapsulating an optoelectronic device 600 , On the second electrode 608 an optoelectronic component 600 (please refer 6 ) becomes a barrier thin film 700 formed such that the second electrode 608 , the electrical insulations 610 and the organic functional layer structure 606 from the barrier thin film 616 is surrounded. Continue on a cover 704 an adhesive layer 706 applied. The cover 704 is for example a laminating glass 704 or a slide 704 and the adhesive is an epoxy adhesive. The cover 704 with adhesive layer 706 is then on the barrier thin film 702 applied (shown in 7a ). As a result, an encapsulated optoelectronic component 600 with a conventional encapsulation structure 706 with barrier thin film 700 and laminated cover 702 educated.

7b zeigt ein herkömmliches Verfahren zum Verkapseln eines optoelektronischen Bauelementes 600. Auf einer Abdeckung 704 wird ein feuchtigkeitsbindender Getter 710 aufgebracht und im Randbereich der Abdeckung 702 eine laterale Klebstoffschicht 708 aufgebracht. Die Abdeckung 704 mit lateraler Klebstoffschicht 708 und Getter 710 wird dann auf das optoelektronische Bauelement 600, beispielsweise auf die Kontaktpads 612, 614 aufgebracht (dargestellt in 7b). Dadurch wird herkömmlich eine Kavitätsglasverkapselung 712 ausgebildet. 7b shows a conventional method for encapsulating an optoelectronic device 600 , On a cover 704 becomes a moisture-binding getter 710 applied and in the edge region of the cover 702 a lateral adhesive layer 708 applied. The cover 704 with lateral adhesive layer 708 and getters 710 is then on the optoelectronic device 600 on the contact pads, for example 612 . 614 applied (shown in 7b ). As a result, conventionally a Kavitätsglasverkapselung 712 educated.

8a, b zeigt schematische Querschnittsansichten eines herkömmlichen optoelektronischen Bauelementes. 8a , b shows schematic cross-sectional views of a conventional optoelectronic component.

Wenn ein Druck 804 oder eine Krümmung 806 auf eine Abdeckung 704 einer herkömmlichen Verkapselung einwirkt, beispielsweise auf ein Schutzglas oder ein Laminationsglas; kann eine Partikelkontamination 802 in die organischen funktionalen Schichten der OLED gedrückt werden. Dies kann zu einem Kurzschluss führen und/oder latente Wärmepunkte erzeugen. Wärmepunkte könnten als Spätfolge spontane Ausfälle zur Folge haben. Mechanisch flexible Bauelemente können aufgrund der Krümmungsmöglichkeit eine höhere Fehleranfälligkeit aufweisen.When a pressure 804 or a curvature 806 on a cover 704 a conventional encapsulation acts, for example on a protective glass or a lamination glass; can be a particle contamination 802 pressed into the organic functional layers of the OLED. This can lead to a short circuit and / or create latent heat spots. Heat spots could result in spontaneous failure as a late consequence. Mechanically flexible components may have a higher susceptibility to error due to the possibility of curvature.

In verschiedenen Ausführungsformen werden ein optoelektronisches Bauelement und ein Verfahren zum Herstellen eines optoelektronischen Bauelementes bereitgestellt, mit denen es möglich ist die mechanische Stabilität verkapselter optoelektronischer Bauelemente zu erhöhen.In various embodiments, an optoelectronic component and a method for producing an optoelectronic component are provided with which it is possible to increase the mechanical stability of encapsulated optoelectronic components.

Die Verkapselungsschutzschichten werden nicht mehr oder weniger auf die organischen funktionellen Schichten gedrückt, wodurch eine erhöhte Partikelresistenz erreicht wird. Die Prozesstemperatur zum Herstellen der Verkapselung ist niedriger als die Degradationstemperatur der organischen Stoffe sein, beispielsweise maximal ungefähr 80°C, wodurch die organischen Stoffe geschont werden.The encapsulation protective layers are no longer or less pressed onto the organic functional layers, whereby an increased particle resistance is achieved. The process temperature for producing the encapsulation is lower than the degradation temperature of the organic substances, for example at most about 80 ° C, whereby the organic substances are spared.

Die Verkapselung gemäß verschiedenen Ausgestaltungen kann mit verschiedenen Verfahren aufgebracht werden, beispielsweise Vakuumverdampfen, Drucken, Sprühverfahren, Laserstrukturierung, Rakeln oder Ähnliches. Für die Stützstrukturen können die verschiedenen Schmelzpunkte bei Legierungen technisch vorteilhaft genutzt werden, beispielsweise ein reduzierter Schmelzpunkt, beispielsweise unter 80°C. Weiterhin sind keine weiteren Prozessschritte hinsichtlich der Verkapselung notwendig, beispielsweise eine Ablation der Dünnfilmverkapselung. Die Stützstrukturen in Verbindung mit der Dünnfilmverkapselung können die Kurzschlussgefahr des organischen funktionellen Schichtensystems reduzieren. Weiterhin können in den Legierungen sehr weiche Materialien verwendet werden, wodurch diese für Substrate verschiedener Glassorten mit unterschiedlichen Ausdehnungskoeffizienten verwendbar sind. Die erste Komponente der Stützstruktur, die glasbenetzend ist, kann einen Vorzug in der Prozessführung für ganzflächige Strukturierung mit einem sehr geringen Materialbedarf aufweisen. Die erste Komponente ist billiger als bisher verwendete Klebstoffe und recyclingfähig. Je nach Wahl der zweiten Komponente, beispielsweise ob die zweite Komponente flüssig oder fest ist, können beispielsweise großflächige Bereiche flüssig benetzt werden. Dadurch kann beispielsweise eine bessere Partikelresistenz ermöglicht werden. Das Material der Stützstrukturen ist ungiftig und wasserunlöslich, sodass keine Kontaminationsprobleme absehbar sind. Weiterhin können aufgrund der Materialwahl der Stützstrukturen, die Stützstrukturen unter Umgebungsluft, beispielsweise in einem Reinraum, ausgebildet werden. Bei einer Verkapselung die mittels Lamination im Vakuum ausgebildet wird, sind zusätzliche Maßnahmen zur Reduzierung der Partikelempfindlichkeit optional, beispielsweise ein Einbringen von Füllmaterial in Hohlräume. Weiterhin kann ein reduzieren von Partikelkontaminationen mittels eines Ausbildens der Stützstrukturen für transparente Bauteile mit verringertem Druck/Spannung auf Biegestellen angewendet werden. Weiterhin können Interferenzstreifen, die bei unterschiedlichen Klebstoffdicken über der optisch aktiven Fläche auftreten, bei geeigneter Verkapselung ohne Dünnfilmverkapselung ermöglicht werden. Dadurch können weiterhin Kosten eingespart werden.The encapsulation according to various embodiments can be applied by various methods, such as vacuum evaporation, printing, spraying, laser structuring, doctor blading or the like. For the support structures, the different melting points of alloys can be used technically advantageous, for example, a reduced melting point, for example below 80 ° C. Furthermore, no further process steps with regard to the encapsulation are necessary, for example an ablation of the thin-film encapsulation. The support structures in conjunction with the thin-film encapsulation can reduce the risk of short-circuiting of the organic functional layer system. Furthermore, very soft materials can be used in the alloys, whereby they can be used for substrates of different types of glass with different coefficients of expansion. The first component of the support structure, which is glass wetting, may have a preference in process control for full area patterning with a very low material requirement. The first component is cheaper than previously used adhesives and recyclable. Depending on the choice of the second component, for example, whether the second component is liquid or solid, for example, large areas can be wetted liquid. As a result, for example, a better particle resistance can be made possible. The material of the support structures is non-toxic and insoluble in water, so that no contamination problems are foreseeable. Furthermore, due to the choice of material of the support structures, the support structures under ambient air, for example in a clean room, are formed. In an encapsulation formed by means of lamination in a vacuum, additional measures to reduce the particle sensitivity are optional, for example, introduction of filler in cavities. Further, reducing particulate contamination by forming the support structures for reduced pressure / stress transparent components can be applied to bends. Furthermore, interference fringes which occur at different adhesive thicknesses over the optically active surface can be made possible with suitable encapsulation without thin-film encapsulation. This can continue to save costs.

Claims (11)

Optoelektronisches Bauelement (140, 160, 250, 350) aufweisend: • einen elektrisch aktiven Bereich (136) aufweisend einen optisch aktiven Bereich (132) und einen optisch inaktiven Bereich (134); • wobei der elektrisch aktive Bereich (136) wenigstens eine elektrische Sammelschiene (118) aufweist, die in dem optisch aktiven Bereich (132) ausgebildet ist; • eine Verkapselungsstruktur auf oder über dem elektrisch aktiven Bereich (136); • wobei die Verkapselungsstruktur eine Stützstruktur (122) auf oder über der elektrischen Sammelschiene (118) in dem optisch aktiven Bereich (132) aufweist.Optoelectronic component ( 140 . 160 . 250 . 350 ) comprising: An electrically active area ( 136 ) having an optically active region ( 132 ) and an optically inactive region ( 134 ); • where the electrically active region ( 136 ) at least one electrical busbar ( 118 ), which in the optically active region ( 132 ) is trained; An encapsulation structure on or above the electrically active region ( 136 ); Where the encapsulation structure is a support structure ( 122 ) on or above the electrical busbar ( 118 ) in the optically active region ( 132 ) having. Optoelektronisches Bauelement (140, 160, 250, 350) gemäß Anspruch 1, wobei das optoelektronisches Bauelement (140, 160, 250, 350) als eine organische Leuchtdiode (140, 160, 250, 350) ausgebildet ist.Optoelectronic component ( 140 . 160 . 250 . 350 ) according to claim 1, wherein the optoelectronic component ( 140 . 160 . 250 . 350 ) as an organic light emitting diode ( 140 . 160 . 250 . 350 ) is trained. Optoelektronisches Bauelement (140, 160, 250, 350) gemäß einem der Ansprüche 1 oder 2, wobei der elektrisch aktive Bereich (136) eine elektrisch funktionale Struktur (130, 150) aufweist, wobei die elektrisch funktionale Struktur eine organische funktionelle Schichtenstruktur (106) zwischen einer ersten Elektrode (104) und einer zweiten Elektrode (108) aufweist.Optoelectronic component ( 140 . 160 . 250 . 350 ) according to one of claims 1 or 2, wherein the electrically active region ( 136 ) an electrically functional structure ( 130 . 150 ), wherein the electrically functional structure has an organic functional layer structure ( 106 ) between a first electrode ( 104 ) and a second electrode ( 108 ) having. Optoelektronisches Bauelement (140, 160, 250, 350) gemäß einem der Ansprüche 1 bis 3, ferner aufweisend: eine erste elektrische Sammelschiene (118) und wenigstens eine zweite elektrische Sammelschiene.Optoelectronic component ( 140 . 160 . 250 . 350 ) according to one of claims 1 to 3, further comprising: a first electrical busbar ( 118 ) and at least one second electrical busbar. Optoelektronisches Bauelement (140, 160, 250, 350) gemäß einem der Ansprüche 1 bis 4, wobei wenigstens eine Stützstruktur (122) einen Stoff oder ein Stoffgemisch aufweist, der/das hermetisch dicht ist hinsichtlich Wasser und/oder Sauerstoff.Optoelectronic component ( 140 . 160 . 250 . 350 ) according to one of claims 1 to 4, wherein at least one support structure ( 122 ) has a substance or mixture of substances which is hermetically sealed with respect to water and / or oxygen. Optoelektronisches Bauelement (140, 160, 250, 350) gemäß einem der Ansprüche 1 bis 5, wobei die Stützstruktur (122) eine Breite aufweist die ähnlich der Breite der elektrischen Sammelschiene (118) ist.Optoelectronic component ( 140 . 160 . 250 . 350 ) according to one of claims 1 to 5, wherein the support structure ( 122 ) has a width which is similar to the width of the electrical busbar ( 118 ). Verfahren zum Herstellen eines optoelektronischen Bauelementes, das Verfahren aufweisend: • Ausbilden eines elektrisch aktiven Bereichs (136) aufweisend einen optisch aktiven Bereich (132) und einen optisch inaktiven Bereich (134); • wobei der elektrisch aktive Bereich (136) wenigstens eine elektrische Sammelschiene (118) aufweisend ausgebildet wird, wobei die Sammelschiene (118) in dem optisch aktiven Bereich (132) ausgebildet wird; • Ausbilden einer Verkapselungsstruktur auf oder über dem elektrisch aktiven Bereich (136); • wobei die Verkapselungsstruktur mit einer Stützstruktur (122) auf oder über der elektrischen Sammelschiene (118) in dem optisch aktiven Bereich (132) ausgebildet wird.A method of manufacturing an optoelectronic device, the method comprising: • forming an electrically active region ( 136 ) having an optically active region ( 132 ) and an optically inactive region ( 134 ); • where the electrically active region ( 136 ) at least one electrical busbar ( 118 ) is formed, wherein the busbar ( 118 ) in the optically active region ( 132 ) is formed; Forming an encapsulation structure on or above the electrically active region ( 136 ); Wherein the encapsulation structure is provided with a support structure ( 122 ) on or above the electrical busbar ( 118 ) in the optically active region ( 132 ) is formed. Verfahren gemäß Anspruch 7, wobei das optoelektronisches Bauelement (140, 160, 250, 350) als eine organische Leuchtdiode ausgebildet wird.Method according to claim 7, wherein the optoelectronic component ( 140 . 160 . 250 . 350 ) is formed as an organic light emitting diode. Verfahren gemäß einem der Ansprüche 7 oder 8, wobei das Ausbilden des elektrisch aktiven Bereichs (136) ein Ausbilden einer elektrisch funktionalen Struktur (130, 150) aufweist, wobei die elektrisch funktionale Struktur (130, 150) eine organische funktionelle Schichtenstruktur (106) zwischen einer ersten Elektrode (104) und einer zweiten Elektrode (108) aufweist.Method according to one of claims 7 or 8, wherein the formation of the electrically active region ( 136 ) forming an electrically functional structure ( 130 . 150 ), wherein the electrically functional structure ( 130 . 150 ) an organic functional layer structure ( 106 ) between a first electrode ( 104 ) and a second electrode ( 108 ) having. Verfahren gemäß Anspruch 9, wobei die elektrische Sammelschiene (118) mit der ersten Elektrode (104) oder mit der zweiten Elektrode (108) elektrisch gekoppelt ausgebildet wird.Method according to claim 9, wherein the electrical busbar ( 118 ) with the first electrode ( 104 ) or with the second electrode ( 108 ) is formed electrically coupled. Verfahren gemäß einem der Ansprüche 7 bis 10, wobei die Stützstruktur (122) als eine zweite Sammelschiene ausgebildet wird.Method according to one of claims 7 to 10, wherein the support structure ( 122 ) is formed as a second busbar.
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