DE102013006316A1

DE102013006316A1 - Optikbaugruppe und Lasermodul mit Optikbaugruppe

Info

Publication number: DE102013006316A1
Application number: DE102013006316.7A
Authority: DE
Inventors: Alexander Franke; Ulrich Röllig
Original assignee: Jenoptik Laser GmbH
Current assignee: Jenoptik Optical Systems GmbH
Priority date: 2013-04-12
Filing date: 2013-04-12
Publication date: 2014-10-16
Anticipated expiration: 2033-04-13
Also published as: WO2014166616A3; DE102013006316B4; WO2014166616A2

Abstract

Die Erfindung betrifft eine Optikbaugruppe, umfassend • ein lichtemittierendes Element (2) welches mehrere in einer Reihe angeordnete Lichtaustrittsaperturen (4) aufweist, die jeweils ein divergentes Strahlenbündel (5) emittieren, wobei die Zentralstrahlen (10) der Strahlenbündel (5) in einer gemeinsamen Bezugsebene (11) liegen und eine gemeinsame erste Ausbreitungsrichtung haben, • einen ersten Wärmeleitkörper (14) mit einer Grundfläche (15), und einer Befestigungsfläche für das lichtemittierende Element und einer Anschlagfläche (16) • ein erstes optisches Element (17), welches wenigstens die Divergenz (7) der Strahlenbündel bezüglich der senkrecht zur Bezugsebene (11) liegenden Richtung verringert, wobei das erste optische Element mit dem ersten Wärmeleitkörper (14) mechanisch verbunden ist, • ein zweites optisches Element (18), welches eine Drehung der Strahlenbündel der einzelnen Emitter jeweils um einen rechten Winkel um die Ausbreitungsrichtung bewirkt, wobei die gedrehten Strahlenbündel das zweite optische Element in einer zweiten Ausbreitungsrichtung (12) verlassen, wobei die Zentralstrahlen der Strahlenbündel nach dem zweiten optischen Element in einer zweiten Ebene (13) liegen, die parallel zur Bezugsebene (11) ist, • ein im Strahlengang nach dem zweiten optischen Element angeordnetes drittes optisches Element (19), welches die Divergenz (8) der vom zweiten optischen Element gedrehten Strahlenbündel der Emitter in einer Richtung senkrecht zur Bezugsebene verringert dadurch gekennzeichnet, dass ein Halter (20) zur Befestigung des dritten optischen Elements am ersten Wärmeleitkörper (14) vorgesehen ist, welcher eine erste Montagefläche (21) aufweist, die mit der Anschlagfläche (16) des ersten Wärmeleitkörpers (14) wenigstens teilweise flächig verbunden ist und eine zweite Montagefläche (22) aufweist, an der das dritte optische Element (19) befestigt ist, wobei die zweite Montagefläche senkrecht zur Bezugsebene (11) und parallel zur Einfallsrichtung (12) der Zentralstrahlen der auf das dritte optische Element fallenden Strahlenbündel ist.

Description

Die Erfindung bezieht sich auf eine Optikbaugruppe mit einem Laserbarren sowie Mitteln zur Kollimation und Symmetrisierung der Strahlung. Zur Herstellung von Hochleistungslaserdiodenanordnungen beispielsweise zum Pumpen von Faserlasern, Scheibenlasern und Festkörperlasern, zur Materialbearbeitung, für medizinische Anwendungen und für Beleuchtungszwecke werden Laserdiodenbarren verwendet welche mehrere in einer Reihe angeordnete Lichtaustrittsaperturen aufweisen. Diese Emitter emittieren jeweils ein divergentes Strahlenbündel, wobei die Zentralstrahlen der Strahlenbündel in einer gemeinsamen Bezugsebene liegen und eine gemeinsame erste Ausbreitungsrichtung haben. Die geometrische Breite der abstrahlenden Fläche eines Emitters in der Bezugsebene beträgt üblicherweise zwischen 50 μm und 250 μm, während deren Höhe senkrecht zur Bezugsebene in der Größenordnung von einem bis zu wenigen um liegt. Damit geht auch eine Asymmetrie der Winkelverteilung der Strahlenbündel, d. h. der Abstrahlcharakteristik im Fernfeld, einher. Wegen dieser Unsymmetrie ist eine Symmetrisierung der Strahlung mit optischen Mitteln erforderlich. Dazu sind verschiedene Verfahren bekannt. Eine Drehung der Strahlquerschnitte um einen rechten Winkel um die optische Achse ist dazu besonders effizient. Für den breiten Einsatz von Hochleistungsdiodenlasern in den genannten Einsatzbereichen sind modulare Konzepte mit kostengünstig herstellbaren Optikbaugruppen erforderlich.
Aus der DE 195 11 598 A1 ist eine Optikbaugruppe mit einem Diodenlaserbarren, einer Zylinderlinse und einem Treppenspiegelpaar, welches als strahldrehendes Element wirkt, bekannt. Der Diodenlaserbarren weist mehrere Emitter auf, die jeweils ein Laserstrahlenbündel abgeben. Die Zentralstrahlen der einzelnen Laserstrahlenbündel liegen in einer Ebene. Die Ebene, in welcher die Zentralstrahlen der aus dem Laserbarren austretenden Strahlenbündel liegen, wird im Folgenden als Bezugsebene bezeichnet. Der Laserbarren nebst dem strahldrehenden Element ist auf einer gemeinsamen Grundplatte angebracht, die die Funktion eines Wärmeleitkörpers hat. Das hat den Nachteil, dass der Wärmeleitkörper entsprechend groß ausgebildet sein muss. Außerdem sind solch große Wärmeleitkörper bei der Montage und der elektrooptischen Vermessung der Laserbarren hinderlich. Ein weiterer Nachteil besteht darin, dass sich die Grundplatte verbiegen kann, wenn sie auf einer Wärmeableitvorrichtung befestigt wird. Ein weiterer Nachteil besteht darin, dass sich die Grundplatte im Betrieb des Lasers durch Temperaturgradienten verformen kann. Ein weiterer Nachteil besteht darin, dass kein drittes optisches Element zur Kollimation der gedrehten Strahlenbündel senkrecht zur Bezugsebene (SAC-Kollimation) vorgesehen ist.
Weiterhin sind Lasermodule bekannt, welche einen Laserbarren, eine Zylinderlinse zur Kollimation der aus dem Laserbarren austretenden Strahlung senkrecht zur Bezugsebene (FAC) ein Treppenspiegelpaar als strahldrehendes Element sowie ein optisches Element zur Kollimation der gedrehten Strahlenbündel senkrecht zur Bezugsebene (SAC) umfassen. Die genannten Bauteile sind in einem Gehäuse integriert. Das hat den Nachteil, dass die Justierung mit aufwendiger Technologie zumindest teilweise im Gehäuse bewerkstelligt werden muss. Eine Vormontage der Optikbaugruppe ist nicht möglich. Ebenso ist im Servicefall kein einfacher Austausch einer Optikbaugruppe möglich.
Weiterhin sind Lasermodule bekannt, welche einen Laserbarren, eine Zylinderlinse zur Kollimation der aus dem Laserbarren austretenden Strahlung senkrecht zur Bezugsebene (FAC) ein Array schräggestellter Zylinderlinsen (Beamtwister) als strahldrehendes Element sowie ein optisches Element zur Kollimation der gedrehten Strahlenbündel senkrecht zur Bezugsebene (SAC) umfassen. Die genannten Bauteile sind in einem Gehäuse integriert. Das hat den Nachteil, dass die Justierung mit aufwendiger Technologie zumindest teilweise im Gehäuse bewerkstelligt werden muss. Eine Vormontage der Optikbaugruppe ist nicht möglich. Ebenso ist im Servicefall kein einfacher Austausch einer Optikbaugruppe möglich.
Aufgabe der Erfindung ist es, eine Optikbaugruppe mit einem lichtemittierenden Element, welches mehrere, in einer Reihe angeordnete Lichtaustrittsaperturen aufweist, optischen Elementen zur Kollimation der Strahlenbündel bezüglich beider Divergenzrichtungen und einem strahldrehenden Element zur Symmetrisierung der Strahlung bereitzustellen, die einfach und kostengünstig und in hoher Qualität montiert werden kann. Insbesondere ist die Optikbaugruppe mit einem Laserdiodenbarren von Interesse, die Erfindung kann aber auch im Zusammenhang mit anderen Lichtquellen, z. B. Lichtemitterdioden-Arrays verwendet werden.
Die Aufgabe wird gelöst durch eine Optikbaugruppe nach Anspruch 1. Die Optikbaugruppe, umfasst ein lichtemittierendes Element welches mehrere in einer Reihe angeordnete Lichtaustrittsaperturen aufweist, die jeweils ein divergentes Strahlenbündel emittieren, wobei die Zentralstrahlen der Strahlenbündel in einer gemeinsamen Bezugsebene liegen und eine gemeinsame erste Ausbreitungsrichtung haben. Die Optikbaugruppe umfasst weiterhin einen ersten Wärmeleitkörper mit einer Grundfläche, über die der erste Wärmeleitkörper Abwärme abgeben kann, und einer Befestigungsfläche, an der das lichtemittierende Element angebracht ist. Der Wärmeleitkörper weist außerdem eine Anschlagfläche auf, deren Zweck unten beschrieben ist.
Die Optikbaugruppe umfasst außerdem ein erstes optisches Element, welches wenigstens die Divergenz der Strahlenbündel bezüglich der senkrecht zur Bezugsebene liegenden Richtung verringert. Das erste optische Element ist dem ersten Wärmeleitkörper mechanisch verbunden.
Die Optikbaugruppe umfasst außerdem ein zweites optisches Element, welches eine Drehung der Strahlenbündel der einzelnen Emitter jeweils um einen rechten Winkel um die Ausbreitungsrichtung bewirkt, wobei die gedrehten Strahlenbündel das zweite optische Element in einer zweiten Ausbreitungsrichtung verlassen. Die Zentralstrahlen der Strahlenbündel nach dem zweiten optischen Element liegen in einer zweiten Ebene, die parallel zur Bezugsebene ist. Die Drehung wird untenstehend näher erläutert.
Die Optikbaugruppe umfasst außerdem ein im Strahlengang nach dem zweiten optischen Element angeordnetes drittes optisches Element, welches die Divergenz der vom zweiten optischen Element gedrehten Strahlenbündel der Emitter in einer Richtung senkrecht zur Bezugsebene verringert.
Die Optikbaugruppe umfasst außerdem einen Halter zur Befestigung des dritten optischen Elements am ersten Wärmeleitkörper vorgesehen ist. Der Halter weist eine erste Montagefläche auf, die mit der Anschlagfläche des ersten Wärmeleitkörpers wenigstens teilweise flächig verbunden ist.
Der Halter weist außerdem eine zweite Montagefläche auf, an der das dritte optische Element befestigt ist. Die zweite Montagefläche ist senkrecht zur Bezugsebene und parallel zur Einfallsrichtung der Zentralstrahlen der auf das dritte optische Element fallenden Strahlenbündel angeordnet.
Der Vorteil der erfindungsgemäßen Optikbaugruppe besteht darin, dass die Baugruppe mit optischen Elementen zur Kollimation beider Divergenzrichtungen und mit strahldrehendem Element komplett außerhalb eines Gehäuses auf einfache Weise gefertigt werden kann, bevor es in ein Gehäuse eingebaut wird.
Der frei zugängliche Bereich des Halters um das dritte optische Element gewährleistet eine einfache und schnelle Justierung. Der Halter hat im Vergleich zu bekannten Vorrichtungen im Betrieb geringere Temperaturgradienten, dadurch ist die Anordnung thermisch stabiler. Auf den Halter wirken beim Einbau der fertiggestellten Optikbaugruppe in ein Gehäuse oder auf eine Wärmeableitvorrichtung keine Kräfte, so dass die mechanische Stabilität der Justierung gewährleistet ist. Die Anordnung der zweiten Montagefläche für das dritte optische Element in vertikaler Richtung gewährleistet eine einfache Justierung dieses Elements. In den Freiheitsgraden parallel zur zweiten Montagefläche sind die erforderlichen weiten Justierbereiche vorhanden.
Durch den modularen Aufbau kann die gleiche Optikbaugruppe für verschiedene Diodenlasermodule verwendet werden. Im Servicefall können die Optikbaugruppen mit geringem Aufwand ausgetauscht werden.
Das lichtemittierende Element weist mehrere in einer Reihe in einer Versatzrichtung x angeordnete Lichtaustrittsaperturen auf, die jeweils ein divergentes Strahlenbündel emittieren. Der Versatz zwischen zwei benachbarten Austrittsaperturen kann jeweils gleich sein. Die Austrittsaperturen können die gleiche Geometrie aufweisen. Die Nahfeldverteilungen und/oder die Fernfeldverteilungen der Strahlenbündel können gleich sein. Die Wellenlängen der Strahlenbündel können gleich sein. Die Wellenlänge kann beispielsweise im naher IR Bereich zwischen 780 nm und 1100 nm liegen oder im sichtbaren Wellenlängenbereich oder im IR Bereich zwischen 1200 und 2000 nm. Jedem Strahlenbündel kann ein Zentralstrahl zugeordnet werden, der die mittlere Abstrahlungsrichtung z des Strahlenbündels angibt und vom Mittelpunkt der jeweiligen Lichtaustrittsapertur ausgeht. Die aus den Austritisaperturen austretenden Zentralstrahlen der Strahlenbündel haben die gleiche erste Ausbreitungsrichtung und liegen in einer gemeinsamen Ebene, die als Bezugsebene bezeichnet wird. Geringe Abweichungen, beispielsweise durch den bekannten „Smile”-Effekt, d. h. eine Durchbiegung eines Laserbarrens von einigen um, sollen vernachlässigt werden, so dass die Zentralstrahlen auch für diesen Fall im Sinne der Erfindung als in einer Ebene liegend zu betrachten sind. Ein solches lichtemittierendes Element kann ein kantenemittierender Laserbarren sein. Ein solcher Laserbarren kann beispielsweise 19 Emitter mit einem Versatz von jeweils 0.5 mm aufweisen. Die Breite der Austrittsaperturen in Versatzrichtung x kann beispielsweise zwischen 40 μm und 400 μm liegen, bevorzugt jedoch zwischen 90 μm und 200 μm. Die Höhe der Austrittsaperturen in einer Richtung y senkrecht zur Versatzrichtung der Emitter kann beispielsweise wenige μm betragen. Es können aber auch andere lichtemittierende Elemente, beispielsweise LED-Arrays verwendet werden. Die angegebenen Richtungen xyz bilden ein rechtwinkliges Koordinatensystem.
Das lichtemittierende Element ist flächig mit einem ersten Wärmeleitkörper über eine Befestigungsfläche verbunden, wobei der Wärmeleitkörper die im Betrieb am lichtemittierenden Element entstehende Abwärme wenigstens teilweise aufnimmt. Die Befestigungsfläche kann in einer xz-Ebene liegen. Unter xz-Ebene wird ein Element der Menge aller zu y senkrechten Ebenen verstanden. In Analogie ist diese Definition auch für die anderen Ebenenscharen anzuwenden. Die Verbindung kann eine Lötverbindung sein. Die Verbindung kann aber auch mittelbar über einen Submount realisiert werden sein, wobei die Verbindung beispielsweise zwei Lötverbindungen umfassen kann, eine zwischen Laserbarren und Submount und eine zwischen Submount und dem ersten Wärmeleitkörper. Submounts für Laserbarren sind kommerziell erhältlich und werden beispielsweise aus Wolfram-Kupfer gefertigt. Der erste Wärmeleitkörper hat eine Grundfläche, über die die Befestigung der gesamten Laserbaugruppe erfolgen kann. Außerdem kann die Grundfläche noch zur Wärmeableitung benutzt werden. Die Grundfläche kann, muss aber nicht, in einer xz-Ebene liegen.
Der erste Wärmeleitkörper weist außerdem eine Anschlagfläche auf, deren Zweck unten beschrieben ist. Die Anschlagfläche kann, muss aber nicht, senkrecht zur Bezugsebene xz liegen. Sie kann parallel zur Versatzrichtung x liegen.
Außerdem kann, muss aber nicht, ein zweiter Wärmeleitkörper vorhanden sein, der das lichtemittierende Element von der der Befestigungsfläche gegenüberliegenden Fläche kühlt. Das kann beispielsweise die n-Seite (Substratseite) eines Laserbarrens sein. Dabei kann der zweite Wärmeleitkörper mit dem ersten Wärmeleitkörper mit einer elektrisch isolierenden Zwischenschicht verbunden sein. Die elektrisch isolierende Zwischenschicht kann bevorzugt als wärmeleitende mechanisch stabile Schicht ausgebildet sein, beispielsweise als keramische Schicht oder als Wärmeleitkleberschicht.
Die Richtungsverteilung der abgestrahlten Strahlenbündel kann asymmetrisch sein. In der Bezugsebene xz kann die Divergenz geringer sein als in der Ebene yz senkrecht zur Bezugsebene. Die Divergenz in der Bezugsebene xz wird in der Fachliteratur als slow-axis-Divergenz bezeichnet, während die Divergenz in einer Ebene yz senkrecht zur Bezugsebene als fast-axis-Divergenz bezeichnet wird. Die Strahlenbündel können in Richtung der fast axis nahezu beugungsbegrenzt sein. Diese Eigenschaft ist für Laserbarren bekannt. Da die Höhe der Apertur gering sein kann, kann ein großer Divergenzwinkel in fast axis-Richtung auftreten. Deshalb wird in geringem Abstand zur Austrittsapertur ein erstes optisches Element mit geringer Brennweite angeordnet, das als fast-axis-Kollimator (FAC) bezeichnet werden kann. Das kann beispielsweise eine sphärische oder asphärische Zylinderlinse sein. Es kann eine durchgängige Zylinderlinse für alle Emitter des lichtemittierenden Elements verwendet werden. Die FAC-Linse kann beispielsweise eine Brennweite zwischen 0.1 mm und 1.5 mm haben. Das erste optische Element kann so dimensioniert sein, dass die Strahlenbündel in Richtung der fast axis kollimiert werden. Es kann aber auch so dimensioniert sein, dass die Strahlenbündel in dieser Richtung nicht vollständig kollimiert werden, sondern nur teilweise, so dass eine Restdivergenz der ausfallenden Strahlenbündel bleibt. Die erste Ausbreitungsrichtung z der Zentralstrahlen bleibt beim Passieren des ersten optischen Elements erhalten. Ungewollte Abweichungen können beispielsweise infolge von Justagetoleranzen auftreten, werden aber im Folgenden vernachlässigt, ohne den Umfang der Erfindung zu verlassen.
Danach werden die Strahlenbündel mit Hilfe eines zweiten optischen Elements jeweils einzeln um einen rechten Winkel um die Ausbreitungsrichtung gedreht. Solche strahldrehenden optischen Elemente sind beispielsweise aus US 5,513,201 bekannt. Das strahldrehende Element kann aus einer oder aus mehreren Komponenten bestehen. Es gibt solche Elemente, die die mittlere Ausbreitungsrichtung der Strahlenbündel beibehalten, also in Transmission arbeiten Die Zentralstrahlen passieren das strahldrehende Element in diesem Fall ohne Richtungsänderung. Beispielhaft angegeben sei eine Zylinderlinsenanordnung, bei der jedem Strahlenbündel eine Zylinderlinse zugeordnet ist, die im Winkel von 45° zur Bezugsebene xz steht und die Zylinderlinsen einen Versatz in Versatzrichtung x der Austrittsaperturen aufweisen und die Linsenachsen in einer Ebene xy liegen. In den Ausführungsbeispielen ist die Strahldrehung bildlich angegeben.
Weiterhin kann alternativ ein Treppenspiegelpaar als strahldrehendes Element verwendet werden. Dabei ist jedem Strahlenbündel ein Paar von Reflexionsflächen zugeordnet, wobei die Reflexionsflächenpaare der einzelnen Strahlenbündel einen Versatz in Versatzrichtung x der Austrittsaperturen aufweisen und zusätzlich jeweils auch einen Versatz in der Emissionsrichtung z der Strahlenbündel aufweisen. Das bedeutet, dass die ersten Reflexionsflächen jeweils einen unterschiedlichen Abstand z₁ ... z_n zur jeweiligen Austrittsapertur haben. Die Flächennormale der ersten Reflexionsfläche können in einer Ebene yz senkrecht zur Bezugsebene liegen, die außerdem den einfallenden Zentralstrahl des jeweiligen Strahlenbündels beinhaltet. Die ersten Flächennormalen können um 45° gegenüber der Bezugsebene xz geneigt sein, so dass die Strahlenbündel um einen rechten Winkel reflektiert werden und sich in eine Richtung y senkrecht zur Bezugsebene ausbreiten. Die Flächennormale der zweiten Reflexionsfläche können in einer Ebene xy senkrecht zur Bezugsebene liegen, die außerdem parallel zur Versatzrichtung x ist. Die ersten Flächennormalen können um 45° gegenüber der Bezugsebene geneigt sein, so dass die Strahlenbündel um einen rechten Winkel reflektiert werden und sich wiederum parallel zur Bezugsebene in eine Richtung y ausbreiten und die ausfallenden Zentralstrahlen in einer Ebene xz liegen, die parallel zur Bezugsebene xz ist, aber gegenüber dieser um einen Betrag Δy in y-Richtung versetzt ist.
Die wesentliche strahldrehende Eigenschaft des zweiten optischen Elements besteht darin, dass die fast axis-Richtungen der einzelnen Strahlenbündel nach dem Passieren des strahldrehenden Elements nicht mehr in einer Ebene yz senkrecht zur Bezugsebene xz liegen, sondern parallel zu dieser. Die Richtung der slow axis Divergenz, die vor dem zweiten optischen Element in der Bezugsebene xz liegt, liegt nach dem zweiten optischen Element in einer Richtung senkrecht zur Bezugsebene. Dabei können die Zentralstrahlen die Ausbreitungsrichtung beim Passieren des zweiten optischen Elements z beibehalten, oder die Ausbreitungsrichtung kann beispielsweise in eine Richtung +y oder –y umgelenkt werden. Allgemein wird deshalb an dieser Stelle eine zweite Ausbreitungsrichtung der Zentralstrahlen definiert, die die Richtung der Zentralstrahlen nach dem zweiten optischen Element angibt. Diese kann, muss aber nicht, gleich der ersten Ausbreitungsrichtung sein. Außerdem können, müssen aber nicht, die Strahlenbündel nach dem Passieren des zweiten optischen Elements um einen Betrag Δy in y-Richtung versetzt sein.
Die oben beschriebene Wirkung des zweiten optischen Elements wird im Folgenden als Drehung der Strahlenbündel um einen rechten Winkel bezeichnet. Darunter wird auch verstanden, dass die oben beschriebene Drehung nicht genau 90° betragen muss, sondern beispielsweise toleranzbedingte oder systematische Abweichungen aufweisen kann. Die Toleranz kann beispielsweise bei ±10° liegen. Man kann natürlich versuchen, die Toleranzen unter ±2° oder ±1° zu halten. Dadurch wird letztendlich der nutzbare Anteil der Strahlenbündel größer. Ganz vermeiden lässt sich eine geringe Abweichung in den meisten Fällen nicht Um die Winkelabweichung unterscheiden sich dann auch die Richtungen der fast axis Divergenz nach dem zweiten optischen Element gegenüber der Bezugsebene.
Das zweite optische Element kann aus einem Teil bestehen oder aus mehreren Teilen zusammengesetzt sein. Das zweite optische Element kann mit dem ersten optischen Element zu einer Baugruppe zusammengefasst sein.
Im Strahlengang nach dem zweiten optischen Element ist drittes optisches Element angeordnet, welches die Divergenz der vom zweiten optischen Element gedrehten Strahlenbündel in einer Richtung y senkrecht zur Bezugsebene verringert. Dies ist, wie oben erläutert, die slow-axis-Divergenz der Strahlenbündel. Dazu kann beispielsweise eine sphärische oder asphärische Zylinderlinse verwendet werden. Ein Scheitel der Linsenoberfläche kann parallel zur Bezugsebene liegen. Die Einfallsrichtung der Zentralstrahlen auf das dritte optische Element entspricht der oben definierten zweiten Ausbreitungsrichtung.
Erfindungsgemäß ist ein Halter zur Befestigung des dritten optischen Elements am ersten Wärmeleitkörper vorgesehen. Dieser weist eine erste Montagefläche auf, die mit der Anschlagfläche des ersten Wärmeleitkörpers verbunden ist. Die Verbindung ist wenigstens teilweise flächig ausgeführt. Die erste Montagefläche kann beispielsweise senkrecht zur Bezugsebene xz und parallel zur Versatzrichtung x der Lichtaustrittsaperturen liegen. Das heißt, dass die erste Montagefläche, sowie auch die Anschlagfläche in einer xy Ebene liegen. Die Montagefläche kann als zusammenhängende Fläche ausgebildet sein oder aus mehreren Teilflächen bestehen, die nicht zusammenhängend ausgebildet sind. Die Verbindung der ersten Montagefläche mit der Anschlagfläche kann beispielsweise als Klebverbindung oder als Lötverbindung oder Schweißverbindung hergestellt werden. Der Klebstoff kann beispielsweise lichthärtend oder thermisch oder chemisch härtend sein. Er kann auch dualhärtend sein. Der Halter kann auch an der Montagefläche angeschraubt werden, wenn entsprechende Bohrungen vorgesehen werden.
Der Halter weist außerdem eine zweite Montagefläche auf, an der das dritte optische Element befestigt ist. Die Verbindung kann beispielsweise als Klebverbindung oder als Lötverbindung hergestellt werden. Der Klebstoff kann beispielsweise lichthärtend sein. Die zweite Montagefläche ist senkrecht zur Bezugsebene xz und parallel zur Einfallsrichtung der Zentralstrahlen der auf das dritte optische Element fallenden Strahlenbündel angeordnet, d. h. parallel zur oben definierten zweiten Ausbreitungsrichtung. Die zweite Montagefläche kann sich also in einer yz Ebene befinden, nämlich beispielsweise dann, wenn am zweiten optischen Element keine Richtungsänderung der Zentralstrahlen auftritt. Die zweite Montagefläche kann alternativ beispielsweise in einer xy-Ebene liegen, nämlich beispielsweise dann, wenn am zweiten optischen Element eine Richtungsänderung der Zentralstrahlen um einen rechten Winkel auftritt, so dass die zweite Ausbreitungsrichtung der Strahlenbündel in Richtung +x oder –x verläuft.
Vorteilhafterweise kann der Scheitel einer Linsenfläche des dritten optischen Elements senkrecht zur zweiten Montagefläche verlaufen. Dann kann bei der Herstellung der Baugruppe durch eine Verschiebung des dritten optischen Elements in y-Richtung auf der zweiten Montagefläche die Richtung der Ausgangsstrahlbündel justiert werden, ohne dass die Dicke des Fügespaltes beeinflusst wird. Durch Verschiebung der Linse in der zweiten Ausbreitungsrichtung kann die Kollimation justiert werden, beispielsweise zum Zwecke der Minimierung der Restdivergenz. Für diese beiden benötigten Freiheitsgrade ist ein großer Justierbereich möglich, ohne dass dadurch die Klebspaltdicke beeinflusst wird. Ein Kippfehler kann in engen Grenzen ebenfalls ausjustiert werden, allerdings kann dadurch der Klebspalt etwas keilförmig werden.
Außerdem können Mittel zur Festlegung der Montageposition der ersten Montagefläche zur Anschlagfläche vorgesehen sein. Die Mittel zur Festlegung der Montageposition können wenigstens einen Passstift umfassen, der senkrecht zur Anschlagfläche angeordnet ist und die Anschlagfläche sowie die erste Montagefläche können jeweils eine passgenaue Ausnehmung zur Aufnahme des Passstiftes aufweisen. Bevorzugt werden zwei Passstifte verwendet. Eine der Ausnehmungen in der Montagefläche oder der Anschlagfläche kann als Langloch ausgebildet sein.
Der Halter kann einen Steg aufweisen, über den die zweite Montagefläche mit der ersten Montagefläche in Verbindung steht. Unter einem Steg wird ein materialgefüllter Bereich verstanden, der über eine bestimmte Länge einen Querschnitt aufweist, der kleiner ist als das kleinste umhüllende konvexe Vieleck um die erste Montagefläche. Die Vorteile bestehen in der Reduzierung der mechanischen und thermischen Masse, der thermischen Entkopplung und der besseren Zugänglichkeit bei der Justage gegenüber einer massiven Verbindung.
Der Halter kann in senkrechter Projektion auf die Bezugsebene, d. h. in der Draufsicht, im Bereich des dritten optischen Elements einen freigestellten Bereich aufweisen, der einseitig durch die zweite Montagefläche begrenzt wird. Dadurch ist der Bereich zum Zwecke der Justage des dritten optischen Elements gut zugänglich.
Der Halter kann an jeder Stelle einen Abstand größer als Null zu der Ebene haben, in der die Grundfläche des ersten Wärmeleitkörpers liegt. In der Seitenansicht kann der Halter also gegenüber der Grundflächenebene erhöht angeordnet sein. Das hat den Vorteil, dass beispielsweise kein mechanischer Kontakt des Halters zu einer ebenen Grundplatte auftritt, wenn die Baugruppe auf eine Grundplatte befestigt wird. Dadurch können keine Kräfte auftreten, die zu einer Deformation des Halters führen könnten. Außerdem kann ein thermischer Kontakt des Halters zur Grundplatte vermieden werden, so dass ein Verzug des Halters infolge von Temperaturgradienten durch Wärmefluss vermieden werden kann.
Die Verbindung des ersten optischen Elements mit dem ersten Wärmeleitkörper kann unabhängig vom Halter sein. Das hat den Vorteil, dass das erste optische Element am ersten Wärmeleitkörper ggf. justiert und befestigt werden kann, bevor der Halter an den ersten Wärmeleitkörper angebracht wird. Das erste optische Element kann dazu direkt am ersten Wärmeleitkörper befestigt werden, beispielsweise durch Kleben oder Löten. Alternativ kann das erste optische Element über einen Zwischenträger und/oder über einen zweiten Wärmeleitkörper, der mit dem ersten Wärmeleitkörper verbunden ist, am ersten Wärmeleitkörper befestigt werden. Dabei kann der zweite Wärmeleitkörper mit dem ersten Wärmeleitkörper mit einer elektrisch isolierenden Zwischenschicht verbunden sein. Schließlich kann das erste optische Element auch an beiden Wärmeleitkörpern befestigt sein.
Das zweite optische Element kann an einem Zwischenträger befestigt sein. Das zweite optische Element und das erste optische Element können am gleichen Zwischenträger befestigt sein. Die Verbindung kann beispielsweise mit als Klebverbindung oder als Lötverbindung hergestellt werden. Der Klebstoff kann lichthärtend sein.
Das zweite optische Element kann am Halter befestigt sein. Dazu kann der Halter eine dritte Montagefläche aufweisen, an der das zweite optische Element befestigt ist, Dabei kann die dritte Montagefläche parallel zur Bezugsebene angeordnet sein. Die Verbindung kann beispielsweise als Klebverbindung oder als Lötverbindung hergestellt werden. Der Klebstoff kann lichthärtend sein.
Das erste optische Element und das zweite optische Element können als ein Bauteil ausgeführt sein. Solche Hybridelemente sind kommerziell erhältlich.
Die Ausgangsstrahlung des Optikmoduls kann linear polarisiert sein. Ein Lasermodul kann hergestellt werden, welches wenigstens zwei erfindungsgemäße Optikbaugruppen aufweist, die auf einer gemeinsamen Grundplatte montiert sind. Die Strahlung der einzelnen Baugruppen kann zu einem Gesamtstrahlbündel zusammengeführt werden. Dazu kann eine geometrische Kopplung von beliebig vielen und/oder eine Polarisationskopplung von jeweils zwei Optikbaugruppen verwendet werden. Ebenso ist eine Überlagerung mit dichroitischen Spiegeln möglich, wenn Optikbaugruppen verschiedener Wellenlängen verwendet werden. Die Befestigung der Optikbaugruppen aus einer Grundplatte kann elektrisch isolierend erfolgen.
In den Figuren ist folgendes dargestellt:
1 erstes Ausführungsbeispiel
2 erstes Ausführungsbeispiel in Explosionsdarstellung
3 erstes Ausführungsbeispiel in Seitenansicht
4 erstes Ausführungsbeispiel in Draufsicht
5 zweites Ausführungsbeispiel
6 zweites Ausführungsbeispiel in Explosuionsdarstellung
7 vergrößerter Ausschnitt in Seitenansicht mit Strahlengang bis zum strahldrehenden Element für erstes und zweites Ausführungsbeispiel
8 vergrößerter Ausschnitt in Draufsicht mit Strahlengang bis zum strahldrehenden Element für erstes und zweites Ausführungsbeispiel
9 drittes Ausführungsbeispiel
10 drittes Ausführungsbeispiel in Explosionsdarstellung
11 drittes Ausführungsbeispiel in Seitenansicht
12 drittes Ausführungsbeispiel in Draufsicht
13 Zentralstrahlen in Draufsicht für drittes Ausführungsbeispiel
14 Lasermodul mit drei Laserbaugruppen in Explosionsdarstellung
15 Funktionsweise des strahldrehenden Elements nach Ausführungsbeispiel 1 und 2
Im ersten Ausführungsbeispiel nach 1 bis 4 ist eine erfindungsgemäße Optikbaugruppe 1 dargestellt. 1 zeigt eine isometrische Ansicht der fertigen Baugruppe. 2 stellt den Zusammenbau dar, so dass die Paßstifte erkennbar sind. 3 zeigt das erste Ausführungsbeispiel in Seitenansicht. Unter Seitenansicht wird die Projektion auf eine yz Ebene verstanden. 4 zeigt das erste Ausführungsbeispiel in Draufsicht. Unter Draufsicht wird die Projektion auf eine xz Ebene verstanden.
7 zeigt einen vergrößerten Ausschnitt A1 in Seitenansicht mit Strahlengang bis zum strahldrehenden Element. Die Lage des Ausschnitts A1 ist in 2 angegeben. Der Halter ist der Übersichtlichkeit halber nicht dargestellt. 8 zeigt einen vergrößerten Ausschnitt in Draufsicht mit Strahlengang bis zum strahldrehenden Element. Der Halter ist der Übersichtlichkeit halber nicht dargestellt.
Die Optikbaugruppe 1 des ersten Ausführungsbeispiels umfasst einen Laserbarren 2, welcher mehrere in einer Reihe angeordnete Lichtaustrittsaperturen (Emitter) 4 aufweist, die jeweils ein divergentes Strahlenbündel 5 emittieren, wobei die Zentralstrahlen 10 der Strahlenbündel 5 in einer gemeinsamen Bezugsebene 11 liegen und eine gemeinsame erste Ausbreitungsrichtung haben, nämlich die z-Richtung.
Der Laserbarren befindet sich auf einen ersten Wärmeleitkörper 14 mit einer Grundfläche 15, und einer Befestigungsfläche für das lichtemittierende Element und einer Anschlagfläche 16. Weiterhin ist ein zweiter Wärmeleitkörper 28 vorhanden, der mit dem ersten Wärmeleitkörper 14 verbunden ist. Dieser dient dazu, die Wärme von der Oberseite des Laserbarrens abzuführen und auf einen hinter dem Laserbarren befindlichen Abschnitt des ersten Wärmeleitkörpers abzuleiten. Dazu ist der zweite Wärmeleitkörper 28 mit dem ersten Wärmeleitkörper 14 mit einer elektrisch isolierenden Zwischenschicht 29 verbunden Diese Zwischenschicht ist eine dünne Schicht eines Wärmeleitklebers.
Die Strahlenbündel passieren ein erstes optisches Element (FAC) 17, welches wenigstens die Divergenz 7 der Strahlenbündel bezüglich der senkrecht zur Bezugsebene 11 liegenden Richtung verringert. Das erste optische Element 17 ist mit dem ersten Wärmeleitkörper 14 mechanisch verbunden. Die Verbindung wird über einen Zwischenträger 30 hergestellt, der beispielsweise aus Glas oder Metall bestehen kann. Die Verbindung ist mittels eines Acrylat- oder Epoxidharzklebers möglich. Bei der Herstellung erfolgt eine Justierung der FAC bezüglich Parallelität, Abstand und Höhe, noch bevor der Halter 20 angebaut wird.
Die Strahlenbündel passieren ein zweites optisches Element 18, welches eine Drehung der Strahlenbündel der einzelnen Emitter jeweils um einen rechten Winkel um die Ausbreitungsrichtung bewirkt. Die Funktion des zweiten optischen Elements ist in 15 dargestellt. Die Strahltransformation ist schraubenförmig mit einer Viertel Umdrehung. Die Ausbreitungsrichtung der Zentralstrahlen bleibt erhalten. Wie in 7 und 8 dargestellt verlassen die gedrehten Strahlenbündel das zweite optische Element in einer zweiten Ausbreitungsrichtung 12 verlassen, die der ersten Ausbreitungsrichtung 10 entspricht. Die senkrecht zur Bezugsebene liegende fast-axis Richtung der Divergenz 7, welche durch die FAC bereits kollimiert ist, wird durch das zweite optische Element 18 in die Bezugsebene gedreht 9. Die in der Bezugsebene liegende slow axis Divergenzrichtung 6 wird durch das zweite optische Element senkrecht zur Bezugsebene gedreht und breitet sich weiter divergent aus B. Die Zentralstrahlen der Strahlenbündel breiten sich nach dem zweiten optischen Element in einer zweiten Ebene 13 aus, die wiederum der Bezugsebene entspricht.
Ein drittes optisches Element 19 bewirkt nun eine Verringerung die Divergenz 8 der vom zweiten optischen Element gedrehten Strahlenbündel der Emitter in einer Richtung senkrecht zur Bezugsebene. Dieses dritte optische Element ist als plankonvexe Zylinderlinse 19 ausgebildet. Die Zylinderlinse 19 ist an der zweiten Montagefläche 22 eines Halters 20 befestigt. Dabei ist die zweite Montagefläche senkrecht zur Bezugsebene 11 und parallel zur Einfallsrichtung 12 der Zentralstrahlen der auf die Zylinderlinse 19 fallenden Strahlenbündel angeordnet. Der Scheitel der Zylinderlinse ist senkrecht zur zweiten Montagefläche. Dadurch kann die Zylinderlinse 19 bei der Justage nach oben bzw. unten verschoben werden, ohne die Klebspaltdicke zu verändern. Dieser Freiheitsgrad wird zur Einstellung der Strahlrichtung benötigt.
Der Halter wiederum ist mit einer ersten Montagefläche 21 an der Anschlagfläche 16 aufweist des ersten Wärmeleitkörper 14 verbunden. Die Verbindung kann beispielsweise mittels eines Acrylat- oder Epoxidharzklebers hergestellt werden. Die erste Montagefläche 21 besteht aus zwei nicht zusammenhängenden Teilflächen, die in einer Ebene liegen. Dazwischen befindet sich eine Ausnehmung, in der der Zwischenträger Platz findet. Die erste Montagefläche 21 ist nun mit der Anschlagfläche 16 des ersten Wärmeleitkörpers 14 teilweise flächig verbunden. Die Anschlagfläche 16 und die erste Montagefläche 21 liegen senkrecht zur Bezugsebene 11.
Zur Festlegung der Montageposition des Halters am ersten Wärmeleitkörper sind zwei Passstifte 26 vorhanden, die senkrecht zur Anschlagfläche angeordnet sind. Die Anschlagfläche sowie die erste Montagefläche enthalten jeweils zwei passgenaue Ausnehmungen 27 zur Aufnahme des Passstiftes 26. Eine der Ausnehmungen in der Anschlagfläche 16 ist als Langloch ausgebildet, um eine mechanische Überbestimmung zu vermeiden.
Der Halter weist einen Steg 24 auf, über den die zweite Montagefläche 22 mit der ersten Montagefläche 21 in Verbindung steht.
Der Halter weist in senkrechter Projektion auf die Bezugsebene im Bereich des dritten optischen Elements einen freigestellten Bereich 25 auf, der durch die zweite Montagefläche 22 begrenzt wird Dieser freigestellt Bereich ist in der Draufsicht in 3 dargestellt. Dieser Bereich ist also bei der Justage von oben und unten frei zugänglich, was die Montage erleichtert.
Der Halter an jeder Stelle einen Abstand größer als Null zu der Ebene hat, in der die Grundfläche 15 des ersten Wärmeleitkörpers liegt. In der Seitenansicht nach 4 liegt die Unterkante des Halters über der Grundfläche erhöht, so dass unter dem Halter ein Spalt verbleibt, wenn man die Optikbaugruppe auf eine ebene Fläche befestigt.
Die Befestigung von FAC 17 und strahldrehendem Element 18 am ersten Wärmeleitkörper 14 ist unabhängig vom Halter. Der Halter kann also nachträglich angebracht werden.
In einem zweiten Ausführungsbeispiel nach 5 und 6 ist das erste optische Element (FAC) 17 ist ebenfalls mit dem ersten Wärmeleitkörper 14 mechanisch verbunden. Die Verbindung wird über einen Zwischenträger 30 und den zweiten Wärmeleitkörper 28 hergestellt. Dadurch bleibt die Anschlagfläche 16 frei, so dass die erste Montagefläche 21 durchgängig als zusammenhängende Fläche ausgebildet sein kann.
Das dritte Ausführungsbeispiel nach 9 bis 13 benutzt ein Treppenspiegelpaar als strahldrehendes Element 18. Die Strahlenbündel erfahren eine Änderung der Ausbreitungsrichtung durch das zweite optische Element 18. Das ist am Verlauf der Zentralstrahlen in Draufsicht in 13 erkennbar Die einfallenden Zentralstrahlen 10 werden in Richtung 12 in der Draufsicht um 90° abgelenkt. Zudem tritt ein Versatz der Strahlenbündel auf. Wie in 11 erkennbar ist, werden die Zentralstrahlen aus der Bezugsebene 11 am zweiten optischen Element 18 in eine zweite parallele Ebene 13 versetzt.
Wegen der Änderung der Ausbreitungsrichtung ist auch die Anordnung des dritten optischen Elements im vergleich zu den Vorgenannten ersten und zweiten Ausführungsbeispielen geändert. Das ist insbesondere aus 9 in der Iso-Ansicht und aus der Draufsicht nach 12 ersichtlich. Der freigestellte Bereich 25 um das dritte optische Element ist hier kleiner ausgebildet.
Das zweite optische Element (Treppenspiegelpaar) 18 ist in diesem Beispiel am Halter 20 befestigt. Dazu weist der Halter 20 eine dritte Montagefläche 23 auf, an der das zweite optische Element 18 befestigt ist, wobei die dritte Montagefläche parallel zur Bezugsebene 11 angeordnet ist.
Die FAC ist im dritten Ausführungsbeispiel direkt am ersten Wärmeleitkörper angeklebt. Ein Zwischenträger ist nicht vorgesehen.
In einem weiteren Ausführungsbeispiel sind mehrere Module auf einer gemeinsamen Grundplatte angebracht. Deren Strahlungen nach den dritten optischen Elementen können paarweise durch Polarisationskopplung und/oder in beliebiger Anzahl als geometrische Kopplung zusammengeführt werden. In 14 sind drei Optikbaugruppen dargestellt.
Bezugszeichenliste

1: Optikbaugruppe
2: lichtemittierendes Element, Laserbarren
3: Wellenleiter, Epitaxieebene
4: Austrittsapertur
5: Strahlenbündel, erste Ausbreitungsrichtung,
6: slow axis Divergenz der Strahlenbündel, erste Ausbreitungsrichtung
7: fast axis Divergenz der Strahlenbündel, erste Ausbreitungsrichtung
8: slow axis Divergenz der Strahlenbündel, zweite Ausbreitungsrichtung
9: fast axis Divergenz der Strahlenbündel, zweite Ausbreitungsrichtung; Restdivergenz im FAC kollimierten Strahl
10: Zentralstrahl, erste Ausbreitungsrichtung
11: Bezugsebene
12: Zentralstrahl, zweite Ausbreitungsrichtung (Einfallsrichtung auf das dritte optische Element)
13: zweite Ebene
14: erster Wärmeleitkörper
15: Grundfläche
16: Anschlagfläche
17: erstes optisches Element (FAC)
18: zweites optisches Element (strahldrehendes Element)
19: drittes optisches Element (SAC)
20: Halter
21: erste Montagefläche
22: zweite Montagefläche
23: dritte Montagefläche
24: Steg
25: freigestellter Bereich
26: Passstift
27: Ausnehmung für Passstift
28: zweiter Wärmeleitkörper
29: elektrisch isolierende Zwischenschicht
30: Zwischenträger

ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG
Diese Liste der vom Anmelder aufgeführten Dokumente wurde automatisiert erzeugt und ist ausschließlich zur besseren Information des Lesers aufgenommen. Die Liste ist nicht Bestandteil der deutschen Patent- bzw. Gebrauchsmusteranmeldung. Das DPMA übernimmt keinerlei Haftung für etwaige Fehler oder Auslassungen.
Zitierte Patentliteratur

DE 19511598 A1 [0002]
US 5513201 [0020]

Claims

Optikbaugruppe, umfassend • ein lichtemittierendes Element (2) welches mehrere in einer Reihe angeordnete Lichtaustrittsaperturen (4) aufweist, die jeweils ein divergentes Strahlenbündel (5) emittieren, wobei die Zentralstrahlen (10) der Strahlenbündel (5) in einer gemeinsamen Bezugsebene (11) liegen und eine gemeinsame erste Ausbreitungsrichtung haben, • einen ersten Wärmeleitkörper (14) mit einer Grundfläche (15), und einer Befestigungsfläche für das lichtemittierende Element und einer Anschlagfläche (16) • ein erstes optisches Element (17), welches wenigstens die Divergenz (7) der Strahlenbündel bezüglich der senkrecht zur Bezugsebene (11) liegenden Richtung verringert, wobei das erste optische Element mit dem ersten Wärmeleitkörper (14) mechanisch verbunden ist, • ein zweites optisches Element (18), welches eine Drehung der Strahlenbündel der einzelnen Emitter jeweils um einen rechten Winkel um die Ausbreitungsrichtung bewirkt, wobei die gedrehten Strahlenbündel das zweite optische Element in einer zweiten Ausbreitungsrichtung (12) verlassen, wobei die Zentralstrahlen der Strahlenbündel nach dem zweiten optischen Element in einer zweiten Ebene (13) liegen, die parallel zur Bezugsebene (11) ist, • ein im Strahlengang nach dem zweiten optischen Element angeordnetes drittes optisches Element (19), welches die Divergenz (8) der vom zweiten optischen Element gedrehten Strahlenbündel der Emitter in einer Richtung senkrecht zur Bezugsebene verringert dadurch gekennzeichnet, dass ein Halter (20) zur Befestigung des dritten optischen Elements am ersten Wärmeleitkörper (14) vorgesehen ist, welcher eine erste Montagefläche (21) aufweist, die mit der Anschlagfläche (16) des ersten Wärmeleitkörpers (14) wenigstens teilweise flächig verbunden ist und eine zweite Montagefläche (22) aufweist, an der das dritte optische Element (19) befestigt ist, wobei die zweite Montagefläche senkrecht zur Bezugsebene (11) und parallel zur Einfallsrichtung (12) der Zentralstrahlen der auf das dritte optische Element fallenden Strahlenbündel ist.
Optikbaugruppe nach Anspruch 1, bei dem die Anschlagfläche (16) senkrecht zur Bezugsebene liegt.
Optikbaugruppe nach Anspruch 1 oder 2, bei dem Mittel zur Festlegung der Montageposition der ersten Montagefläche zur Anschlagfläche vorgesehen sind.
Optikbaugruppe nach Anspruch 3, bei dem die Mittel zur Festlegung der Montageposition wenigstens einen Passstift (26) umfassen, der senkrecht zur Anschlagfläche angeordnet ist und die Anschlagfläche sowie die erste Montagefläche jeweils eine passgenaue Ausnehmung (27) zur Aufnahme des Passstiftes (26) aufweisen.
Optikbaugruppe nach einem der vorgenannten Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der Halter einen Steg (24) umfasst, über den die zweite Montagefläche (22) mit der ersten Montagefläche (21) in Verbindung steht.
Optikbaugruppe nach einem der vorgenannten Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der Halter in senkrechter Projektion auf die Bezugsebene im Bereich des dritten optischen Elements einen freigestellten Bereich (25) aufweist, der durch die zweite Montagefläche (22) begrenzt wird.
Optikbaugruppe nach einem der vorgenannten Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der Halter an jeder Stelle einen Abstand größer als Null zu der Ebene hat, in der die Grundfläche (15) des ersten Wärmeleitkörpers liegt.
Optikbaugruppe nach einem der vorgenannten Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Verbindung des ersten optischen Elements (17) mit dem ersten Wärmeleitkörper (14) unabhängig vom Halter ist.
Optikbaugruppe nach einem der vorgenannten Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass das erste optische Element (17) über einen Zwischenträger (30) und/oder über einen zweiten Wärmeleitkörper (28) mit dem ersten Wärmeleitkörper (14) verbunden ist, wobei der zweite Wärmeleitkörper (28) mit dem ersten Wärmeleitkörper (14) mit einer elektrisch isolierenden Zwischenschicht (29) verbunden ist.
Optikbaugruppe nach einem der vorgenannten Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass das zweite optische Element (18) eine Änderung der Ausbreitungsrichtung der Strahlenbündel und/oder einen Versatz der Strahlenbündel bewirkt.
Optikbaugruppe nach einem der vorgenannten Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass das zweite optische Element (18) als Treppenspiegelpaar ausgebildet ist.
Optikbaugruppe nach einem der vorgenannten Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass das zweite optische Element (18) am Halter (20) befestigt ist.
Optikbaugruppe nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, dass der Halter (20) eine dritte Montagefläche (23) aufweist, an der das zweite optische Element (18) befestigt ist, wobei die dritte Montagefläche parallel zur Bezugsebene (11) angeordnet ist
Optikbaugruppe nach einem der vorgenannten Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass das erste optische Element (17) und das zweite optische Element (18) als ein Bauteil ausgeführt sind.
Lasermodul, welches wenigstens zwei Optikbaugruppen (1) nach einem der vorgenannten Ansprüche aufweist, die auf einer gemeinsamen Grundplatte montiert sind.