DE102013002667A1 - Mikrofluidiksystem mit nach außen verschlossenen Kavitäten - Google Patents

Mikrofluidiksystem mit nach außen verschlossenen Kavitäten Download PDF

Info

Publication number
DE102013002667A1
DE102013002667A1 DE201310002667 DE102013002667A DE102013002667A1 DE 102013002667 A1 DE102013002667 A1 DE 102013002667A1 DE 201310002667 DE201310002667 DE 201310002667 DE 102013002667 A DE102013002667 A DE 102013002667A DE 102013002667 A1 DE102013002667 A1 DE 102013002667A1
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
thin
component
microfluidic
channels
components
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
DE201310002667
Other languages
English (en)
Other versions
DE102013002667B4 (de
Inventor
Uwe Weinzierl
Stefanie Schmidt
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
MICROFLUIDIC CHIPSHOP GmbH
Original Assignee
MICROFLUIDIC CHIPSHOP GmbH
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by MICROFLUIDIC CHIPSHOP GmbH filed Critical MICROFLUIDIC CHIPSHOP GmbH
Priority to DE102013002667.9A priority Critical patent/DE102013002667B4/de
Publication of DE102013002667A1 publication Critical patent/DE102013002667A1/de
Application granted granted Critical
Publication of DE102013002667B4 publication Critical patent/DE102013002667B4/de
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Classifications

    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B32LAYERED PRODUCTS
    • B32BLAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
    • B32B37/00Methods or apparatus for laminating, e.g. by curing or by ultrasonic bonding
    • B32B37/30Partial laminating
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01LCHEMICAL OR PHYSICAL LABORATORY APPARATUS FOR GENERAL USE
    • B01L3/00Containers or dishes for laboratory use, e.g. laboratory glassware; Droppers
    • B01L3/50Containers for the purpose of retaining a material to be analysed, e.g. test tubes
    • B01L3/502Containers for the purpose of retaining a material to be analysed, e.g. test tubes with fluid transport, e.g. in multi-compartment structures
    • B01L3/5027Containers for the purpose of retaining a material to be analysed, e.g. test tubes with fluid transport, e.g. in multi-compartment structures by integrated microfluidic structures, i.e. dimensions of channels and chambers are such that surface tension forces are important, e.g. lab-on-a-chip
    • B01L3/502707Containers for the purpose of retaining a material to be analysed, e.g. test tubes with fluid transport, e.g. in multi-compartment structures by integrated microfluidic structures, i.e. dimensions of channels and chambers are such that surface tension forces are important, e.g. lab-on-a-chip characterised by the manufacture of the container or its components
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B32LAYERED PRODUCTS
    • B32BLAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
    • B32B27/00Layered products comprising a layer of synthetic resin
    • B32B27/06Layered products comprising a layer of synthetic resin as the main or only constituent of a layer, which is next to another layer of the same or of a different material
    • B32B27/08Layered products comprising a layer of synthetic resin as the main or only constituent of a layer, which is next to another layer of the same or of a different material of synthetic resin
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B32LAYERED PRODUCTS
    • B32BLAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
    • B32B7/00Layered products characterised by the relation between layers; Layered products characterised by the relative orientation of features between layers, or by the relative values of a measurable parameter between layers, i.e. products comprising layers having different physical, chemical or physicochemical properties; Layered products characterised by the interconnection of layers
    • B32B7/04Interconnection of layers
    • B32B7/12Interconnection of layers using interposed adhesives or interposed materials with bonding properties
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B81MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY
    • B81CPROCESSES OR APPARATUS SPECIALLY ADAPTED FOR THE MANUFACTURE OR TREATMENT OF MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS
    • B81C1/00Manufacture or treatment of devices or systems in or on a substrate
    • B81C1/00015Manufacture or treatment of devices or systems in or on a substrate for manufacturing microsystems
    • B81C1/00023Manufacture or treatment of devices or systems in or on a substrate for manufacturing microsystems without movable or flexible elements
    • B81C1/00119Arrangement of basic structures like cavities or channels, e.g. suitable for microfluidic systems
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01LCHEMICAL OR PHYSICAL LABORATORY APPARATUS FOR GENERAL USE
    • B01L2200/00Solutions for specific problems relating to chemical or physical laboratory apparatus
    • B01L2200/06Fluid handling related problems
    • B01L2200/0689Sealing
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01LCHEMICAL OR PHYSICAL LABORATORY APPARATUS FOR GENERAL USE
    • B01L2300/00Additional constructional details
    • B01L2300/04Closures and closing means
    • B01L2300/041Connecting closures to device or container
    • B01L2300/044Connecting closures to device or container pierceable, e.g. films, membranes
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01LCHEMICAL OR PHYSICAL LABORATORY APPARATUS FOR GENERAL USE
    • B01L2300/00Additional constructional details
    • B01L2300/08Geometry, shape and general structure
    • B01L2300/0809Geometry, shape and general structure rectangular shaped
    • B01L2300/0816Cards, e.g. flat sample carriers usually with flow in two horizontal directions
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01LCHEMICAL OR PHYSICAL LABORATORY APPARATUS FOR GENERAL USE
    • B01L2300/00Additional constructional details
    • B01L2300/08Geometry, shape and general structure
    • B01L2300/0887Laminated structure
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B32LAYERED PRODUCTS
    • B32BLAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
    • B32B37/00Methods or apparatus for laminating, e.g. by curing or by ultrasonic bonding
    • B32B37/12Methods or apparatus for laminating, e.g. by curing or by ultrasonic bonding characterised by using adhesives
    • B32B37/1207Heat-activated adhesive
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B81MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY
    • B81BMICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS, e.g. MICROMECHANICAL DEVICES
    • B81B2201/00Specific applications of microelectromechanical systems
    • B81B2201/05Microfluidics
    • B81B2201/058Microfluidics not provided for in B81B2201/051 - B81B2201/054

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Dispersion Chemistry (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • Hematology (AREA)
  • Clinical Laboratory Science (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Physical Or Chemical Processes And Apparatus (AREA)

Abstract

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung mikrofluidischer Systeme, welche durch die fluiddichte Verbindung von mikrofluidischen Bauteilen, die bevorzugt aus thermoplastischen Kunststoffen bestehen, und mikrostrukturierten Bauteilen aus anderen Werkstoffklassen, entstehen.

Description

  • Miniaturisierte Analysensysteme gewinnen zunehmende Bedeutung in Anwendungen der analytischen Chemie, der klinischen Diagnostik und der Bioanalytik. Sehr häufig wird dabei der Analyt als fluides Medium untersucht. In diesem Zusammenhang soll Fluid als Oberbegriff für Flüssigkeiten, Gase, Suspensionen, Emulsionen, Schäume und Aerosole dienen.
  • Wesentlich für diese Systeme sind fluidführende Strukturen (Kanäle). Dabei ist es vorteilhaft Totvolumen zu vermeiden und Verbindungsstrecken zwischen funktionellen Strukturen (Mischer, Sensoren, Reaktoren) klein zu gestalten und Undichtigkeiten auszuschließen.
  • Derartige Systeme sind inzwischen vielfältig unter Bezeichnungen wie „Micro Total Analysis Systems" (μTAS) oder „Lab on a Chip" (LOC) am Markt verfügbar. (Lab-on-a-Chip Catalogue 09/2011, microfluidic ChipShop GmbH, Jena, Germany)
  • Für ein reproduzierbares Fließen der Fluide in diesen Systemen ist eine hohe Dimensionsstabilität und Homogenität der Oberflächen der fluidführenden Strukturen notwendig.
  • Für die Herstellung derartiger Bauteile gibt es eine Vielzahl von Urformprozessen oder abtragenden Verfahren in Glas, Halbleitermaterialien, Metallen und Kunststoffen. Naturgemäß liegen bei derartig hergestellten Bauteilen die fluidführenden Strukturen an der Oberfläche. Um Fluidverluste zu vermeiden und Verunreinigung zu verhindern müssen diese Strukturen fluiddicht verschlossen (gedeckelt) werden. Den dazu eingesetzten Strategien und Verfahren kommt somit eine besondere Bedeutung zu.
  • Direkt verschlossene Strukturen können durch generative Verfahren hergestellt werden. Diese verursachen jedoch einen höheren Fertigungsaufwand.
  • Als besonders geeignet für eine kostengünstige Massenfertigung der Mikroanalysesysteme erweisen sich Urformverfahren wie Heißprägen, Spritzprägen und Spritzgießen von thermoplastischen Kunststoffen und nachfolgendes Verschließen der Kanäle mit der gleichen ebenfalls strukturierten Materialien oder einfach mit Folien oder Platten aus diesen Materialien.
  • Neben den mechanischen Verfahren des fluiddichten Fügens, welche auf den Prinzipien des Form- und/oder Kraftschlusses beruhen besteht die Möglichkeit des stoffschlüssigen Fügens.
  • Diese Methoden des Fügens sind dem Fachmann bekannt und z. B. von Tsao und DeVoe zusammengefasst. (Lab on a Chip Technology, Volume 1: Fabrication and Microfluidics, Caister Academic Press. UK, 2009, „Bonding Techniques for Thermoplastic Microfluidics" S. 45 ff) Prinzipiell kann bei den angewandten Fügeverfahren zwischen solchen, die neben den beiden zu fügenden Bauteilen keine weiteren Materialien resp. Bauteile einsetzen (direkte Verfahren) und solchen, die zwischen den zu fügenden Bauteilen ein zusätzliches Material, resp. Bauteil, im Allgemeinem eine Klebstoff oder ein Lot, benötigen (indirekte Verfahren) unterschieden werden. Hinsichtlich der Funktionsfähigkeit mikrofluidischer Strukturen gibt es prinzipielle Unterschiede zwischen dem direkten und indirekten stoffschlüssigen Fügen. Jedes zwischen den beiden Bauteilen eingebrachte Material verändert die ursprüngliche Dimension der fluidischen Strukturen und die Oberflächeneigenschaften. (Paul, D., Pallandre, A., Miserere, S., Weber, J. and Viovy, J.-L. (2007), Lamination-based rapid prototyping of microfluidic devices using flexible thermoplastic substrates. ELECTROPHORESIS, 28: 1115–1122; Huang, F.-C., Chen, Y.-F. and Lee, G.-B. (2007), CE chips fabricated by injection molding and polyethylene/thermoplastic elastomer film packaging methods. ELECTROPHORESIS, 28: 1130–1137)
  • Nur durch aufwendige Verfahrenstechniken (Tampondruck: F. Dang, S. Shinohara, O. Tabata, Y. Yamaoka, M. Kurokawa, Y. Shinohara, M. Ishikawa and Y. Baba; Lab Chip, 2005, 5, 472–478; Siebdruck: J. Han, S. H. Lee, A. Puntambekar, S. Murugesan, J.-W. Choi, G. Beaucage, and C. H. Ahn, "UV Adhesive Bonding Techniques at Room Temperature for Plastic Lab-on-a-Chip," in Proceedings of the 7th International Conference on Micro Total Analysis Systems (u-TAS 2003), Squaw Valley, CA, October 5–9, 2003, pp. 1113–1116; Kapillarwirkung: Lu, C., Lee, L. J. and Juang, Y.-J. (2008), Packaging of microfluidic chips via interstitial bonding technique. ELECTROPHORESIS, 29: 1407–1414), die es ermöglichen das zusätzliche Material nur auf den strukturfreien Fügeflächen aufzubringen, können diese Nachteile eingeschränkt werden.
  • Die Verfahren des direkten stoffschlüssigen Fügens basieren allesamt auf der Voraussetzung, dass die beiden Bauteile aus Materialien bestehen, die zumindest in einem überlappenden Temperaturbereich eine homogene Schmelze bilden können oder die im Zustand erhöhter Molekülbeweglichkeit an den Grenzflächen zwischen beiden Bauteilen eine gemeinsame Phase ausbilden können. Die Verfahren sind dem Fachmann gemeinhin als Schweißverfahren, insbesondere Ultraschallschweißen und Laserschweißen, als thermisches Bonden und Laminieren bekannt. (Oberbach K., Baur E., Brinkmann S., Schmachtenberg E. Saechtling Kunststoff Taschenbuch, 29. Auflage, Hanser Verlag, München 2004) Zusammenfassend bestehen für das stoffschlüssige Fügen von Mikrofluidikbauteilen die Nachteile, dass entweder beim indirekten Fügen durch ein drittes Material/Bauteil die Dimension und Oberfläche und damit die Fluidik beeinträchtigt werden oder die Fügeverfahren im Wesentlichen auf miteinander mischbare thermoplastische Kunststoffe beschränkt sind.
  • Beim Aufbau kompletter mikrofluidischer Analysensysteme (μTAS, LOC) wird in vielen Fällen die Kombination mikrofluidischer Strukturträger mit Komponenten notwendig, die nicht in den Werkstoffen herstellbar sind, die bevorzugt für die Mikrofluidikbauteile, d. h. thermoplastische Kunststoffe, einsetzbar sind. Derartige Komponenten sind hauptsächlich Sensoren und Elektroden, welche aus vorwiegend anorganischen Materialien bestehen und mittels Hochtemperaturprozessen und chemisch aggressiver Verfahren, welche nur begrenzt mit Thermoplasten kompatibel sind, auf die Substrate aufgebracht werden. Bevorzugte Werkstoffe hierfür sind demzufolge solche höher chemischer und thermischer Beständigkeit wie Glas, Keramik, Leiterplattenmaterial (glasfaserverstärkte Duromere) und Hochtemperaturkunststoffe wie PEEK und LCP.
  • Als stoffschlüssige Fügeverfahren zwischen thermoplastischen Mikrofluidikbauteilen und sensor- und/oder elektrodentragenden Bauteilen oben dargestellter Art werden naturgemäß indirekte Fügeverfahren eingesetzt. Hauptsächlich werden Klebstoffe oder Klebstoffträger (Klebeband – insbesondere beidseitig klebende Klebebänder) eingesetzt. Nachteilig ist, dass das zusätzlich eingebrachte Material die Eigenschaften des strukturierten Bauteils verändert. Sowohl die Oberfläche als auch die Dimensionen werden im Fügeprozess beeinträchtigt.
  • Alle Verfahren, die diesen Nachteil umgehen erfordern zusätzliche aufwendige Arbeitsschritte, um das verbindende Material von den Kanälen und anderen offenen Strukturen fern zu halten oder nach dem Fügeprozess wieder zu entfernen. In DE 199 27 533 wird eine Verfahren offenbart wobei der Klebstoff mittels Tampondruck auf die strukturierte Fläche aufgetragen wird, die Kanäle (Boden und Wände) bei präziser Prozessführung jedoch ausgespart bleiben. DE 100 56 908 beschreibt ein Verfahren bei welchem Klebstoff auf einer Trägerfolie vergehärtet und dann auf das strukturierte Bauteil übertragen wird und in einer bevorzugten Ausführungsform über dem Kanal liegende Teile der Klebstoffschicht mit Pressluft abgeblasen oder mittels einer weichen Bürste entfernt werden.
  • Die vorliegende Erfindung löste folgende Problemstellungen:
    • – Fluiddichtes Assembling mikrostrukturierter (resp. mikrofluidischer) Bauteile aus verschiedenen Werkstoffgruppen, die herkömmlich nicht durch Fügeverfahren, welche ohne eine dritte Komponente (resp. drittes Bauteil) auskommen, miteinander verbunden werden können.
    • – Die Realisierung dieses Assembling ohne Beeinflussung von Dimensionen und Oberflächen der fluidführenden Strukturen.
  • Die Erfindung beruht darauf, dass die mikrofluidischen Strukturen einerseits direkt stoffschlüssig durch ein mikrostrukturiertes Bauteil oder eine Folie verschlossen werden, die entsprechend den Funktionen (resp. des Designs) des Gesamtsystems, einzelne Bereiche freilassen. Das dabei eingesetzte mikrostrukturierte Bauteil oder die Folie bildet gleichzeitig die Grundlage für eine indirekt stoffschlüssige Verbindung mit dem funktionstragenden Mikrostrukturbauteil.
  • Durchführungsbeispiele
  • Ein mikrofluidischen Bauteil aus einem thermoplastischen Kunststoff, im hier beschriebenen Fall aus PC wird mit einer durch Elektroden strukturierte Leiterplatte verbunden. Dazu wird in einem vorbereitenden Schritt eine Folie aus PC mit einem beidseitig klebenden Klebeband laminiert. Dieser Verbund wird mit dem Mikrofluidikbauteil gefügt indem die PC-Folienseite des Verbundes mit dem Bauteil mittels Laserdurchstrahlschweißen verschweißt wird. Die Rückseite des Verbundes wird anschließend mit dem Leiterplattenmaterial verklebt. Der Kontakt zu den Elektrodenbereichen der Leiterplatte, welche für die Funktion des Bauteils essentiell sind wird durch das Ausschneiden einzelner Bereiche aus dem Verbund aus Klebband und Folie realisiert.
  • Eine gut laminierbare Folie aus thermoplastischem PMMA wird mit einem thermisch aktivierbaren Klebstoff beschichtet. Aus dieser Folie werden Bereiche, in denen Elektroden im fertig hergestellten Mikrofluidiksystem Kontakt zu Fluid haben sollen, ausgestanzt. Diese Bereiche sind klein im Vergleich zur den offenen mikrofluidischen Strukturen eines spritzgegossenen Bauteils aus PMMA. Die beschichtete Folie wird bei einer Temperatur, die im Bereich der Glasübergangstemperatur der der Folie und des Bauteils liegt auf diese Auflaminiert. Anschließend wird diese Kombination bei einer höheren Temperatur, die der Aktivierungstemperatur des Klebstoffes entspricht mit einer elektrodentragenden Leiterplatte verklebt.
  • Dieses Vorgehen kann durch geeignete Wahl von Laminierfolie und Klebstoff auch im inversen Temper- und Montageablauf durchgeführt werden.
  • ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG
  • Diese Liste der vom Anmelder aufgeführten Dokumente wurde automatisiert erzeugt und ist ausschließlich zur besseren Information des Lesers aufgenommen. Die Liste ist nicht Bestandteil der deutschen Patent- bzw. Gebrauchsmusteranmeldung. Das DPMA übernimmt keinerlei Haftung für etwaige Fehler oder Auslassungen.
  • Zitierte Patentliteratur
    • DE 19927533 [0014]
    • DE 10056908 [0014]
  • Zitierte Nicht-Patentliteratur
    • „Micro Total Analysis Systems” (μTAS) oder „Lab on a Chip” (LOC) am Markt verfügbar. (Lab-on-a-Chip Catalogue 09/2011, microfluidic ChipShop GmbH, Jena, Germany [0003]
    • Tsao und DeVoe zusammengefasst. (Lab on a Chip Technology, Volume 1: Fabrication and Microfluidics, Caister Academic Press. UK, 2009, „Bonding Techniques for Thermoplastic Microfluidics” S. 45 ff) [0009]
    • Paul, D., Pallandre, A., Miserere, S., Weber, J. and Viovy, J.-L. (2007), Lamination-based rapid prototyping of microfluidic devices using flexible thermoplastic substrates. ELECTROPHORESIS, 28: 1115–1122 [0009]
    • Huang, F.-C., Chen, Y.-F. and Lee, G.-B. (2007), CE chips fabricated by injection molding and polyethylene/thermoplastic elastomer film packaging methods. ELECTROPHORESIS, 28: 1130–1137 [0009]
    • Tampondruck: F. Dang, S. Shinohara, O. Tabata, Y. Yamaoka, M. Kurokawa, Y. Shinohara, M. Ishikawa and Y. Baba; Lab Chip, 2005, 5, 472–478 [0010]
    • Siebdruck: J. Han, S. H. Lee, A. Puntambekar, S. Murugesan, J.-W. Choi, G. Beaucage, and C. H. Ahn, ”UV Adhesive Bonding Techniques at Room Temperature for Plastic Lab-on-a-Chip,” in Proceedings of the 7th International Conference on Micro Total Analysis Systems (u-TAS 2003), Squaw Valley, CA, October 5–9, 2003, pp. 1113–1116 [0010]
    • Kapillarwirkung: Lu, C., Lee, L. J. and Juang, Y.-J. (2008), Packaging of microfluidic chips via interstitial bonding technique. ELECTROPHORESIS, 29: 1407–1414 [0010]
    • Oberbach K., Baur E., Brinkmann S., Schmachtenberg E. Saechtling Kunststoff Taschenbuch, 29. Auflage, Hanser Verlag, München 2004 [0011]

Claims (9)

  1. Mikrofluidiksystem und Verfahren zu dessen Herstellung mit nach außen verschlossenen Kavitäten, Kanälen, Löchern, Vertiefungen d. h. geometrischen Funktionselementen o. ä. welche nach an sich bekannten Verfahren hergestellt sind gekennzeichnet dadurch dass diese Mikrofluidiksysteme aus mindestens einem ersten Mikrofluidikbauteil besteht, welches mit einer zweiten Folie oder dünnen Platten oder dünnen Bauteilen, verschlossen ist wobei ausgewählte Bereiche der Kavitäten, Kanäle, Löcher u. ä. nicht in diese Verschlussfläche einbezogen werden und erst mit einer drüber liegenden dritten Folie, dünnen Platte oder dünnem Bauteil, das selbst wiederum ein Mikrosystem sein kann Verschlossen ist, wobei die zweiten Folie oder dünnen Platten oder das dünne Bauteile einerseits eine direkte stoffschlüssige Verbindung zum ersten Mikrofluidikbauteil realisiert und andererseits eine indirekte stoffschlüssige Verbindung zur dritten Folie, dünnen Platte oder dünnem Bauteil realisiert.
  2. Mikrofluidiksystem und Verfahren zu dessen Herstellung mit nach außen verschlossenen Kavitäten, Kanälen, Löchern, Vertiefungen d. h. geometrischen Funktionselementen o. ä. welche nach an sich bekannten Verfahren formgebend hergestellt sind nach Anspruch 1 gekennzeichnet dadurch dass die zweite Folie, dünnen Platten oder das dünne Bauteil bevorzugt zum ersten Mikrofluidikbauteil mit fluidführenden Strukturen herstellt, während die dritte Folie, dünnen Platte oder das dünne Bauteil Sensoren, Elektroden, Leiterbahnen etc. trägt und indirekt stoffschlüssig an das Zweite gefügt wird.
  3. Mikrofluidiksystem und Verfahren zu dessen Herstellung mit nach außen verschlossenen Kavitäten, Kanälen, Löchern, Vertiefungen d. h. geometrischen Funktionselementen o. ä. welche nach an sich bekannten Verfahren formgebend hergestellt sind nach Anspruch 1–2 gekennzeichnet dadurch dass das ersten Mikrofluidikbauteil und die dritte Folie, dünnen Platte oder das dünne Bauteil unterschiedlichen Werkstoffgruppen angehören und die zweiten Folie, dünnen Platte oder das dünne Bauteil mit mindestens einem der beiden Bauteile eine direkte stoffschlüssige Verbindung eingehen kann.
  4. Mikrofluidiksystem und Verfahren zu dessen Herstellung mit nach außen verschlossenen Kavitäten, Kanälen, Löchern, Vertiefungen d. h. geometrischen Funktionselementen o. ä. welche nach an sich bekannten Verfahren formgebend hergestellt sind nach Anspruch 1–3 gekennzeichnet dadurch dass die beiden Bauteile die direkt stoffschlüssig miteinander gefügt sind bevorzugt die fluidischen Strukturen umgeben.
  5. Mikrofluidiksystem und Verfahren zu dessen Herstellung mit nach außen verschlossenen Kavitäten, Kanälen, Löchern, Vertiefungen d. h. geometrischen Funktionselementen o. ä. welche nach an sich bekannten Verfahren formgebend hergestellt sind nach Anspruch 1–4 gekennzeichnet dadurch dass die beiden Bauteile die indirekt stoffschlüssig miteinander gefügt sind bevorzugt die Sensoren, Elektroden, Leiterbahnen u. ä. tragen.
  6. Mikrofluidiksystem und Verfahren zu dessen Herstellung mit nach außen verschlossenen Kavitäten, Kanälen, Löchern, Vertiefungen d. h. geometrischen Funktionselementen o. ä. welche nach an sich bekannten Verfahren formgebend hergestellt sind nach Anspruch 1–5 gekennzeichnet dadurch dass die in den Ansprüchen 1 bis 5 dargestellten Bauteilarten und Vorgehen dergestalt angewendet werden, dass ein Mikrosystembauteil aus mehr als drei Mikrofluidikbauteilen, Folien, dünnen Platte oder das dünnen Bauteilen besteht, indem wischen den einzelnen Bauteilen immer wieder zweiten Folie oder dünnen Platten oder dünnen Bauteilen eingesetzt sind, die einerseits direkt stoffschlüssig und andererseits indirekt stoffschlüssig Verbindungen zu den anderen Bauteilen herstellen.
  7. Mikrofluidiksystem und Verfahren zu dessen Herstellung mit nach außen verschlossenen Kavitäten, Kanälen, Löchern, Vertiefungen d. h. geometrischen Funktionselementen o. ä. welche nach an sich bekannten Verfahren formgebend hergestellt sind nach Anspruch 1 gekennzeichnet dadurch dass für die Verbindung des ersten Mikrofluidikbauteils und der dritten Folie, dünnen Platte oder des dünnen Bauteils eine Folie oder dünnen Platten oder ein dünnes Bauteil eingesetzt wird, das auf einer Fügeseite für direkte stoffschlüssige Verbindung ausgerüstet ist und auf der anderen Fügeseite für indirekte stoffschlüssige Verbindungen ausgerüstet ist.
  8. Mikrofluidiksystem und Verfahren zu dessen Herstellung mit nach außen verschlossenen Kavitäten, Kanälen, Löchern, Vertiefungen d. h. geometrischen Funktionselementen o. ä. welche nach an sich bekannten Verfahren formgebend hergestellt sind nach Anspruch 1 und 7 gekennzeichnet dadurch dass die Folie oder dünnen Platten oder das dünnes Bauteil welches die beiden anderen Bauteile stoffschlüssig verbindet aus einem thermoplastischen Kunststoff besteht und auf einer Seite eine Klebstoffschicht trägt.
  9. Mikrofluidiksystem und Verfahren zu dessen Herstellung mit nach außen verschlossenen Kavitäten, Kanälen, Löchern, Vertiefungen d. h. geometrischen Funktionselementen o. ä. welche nach an sich bekannten Verfahren formgebend hergestellt sind nach Anspruch 1 und 7 gekennzeichnet dadurch dass die Folie oder dünnen Platten oder das dünnes Bauteil welches die beiden anderen Bauteile stoffschlüssig verbindet aus einem thermoplastischen Kunststoff besteht und auf einer Seite eine heißsiegelfähige Kunststoffschicht trägt.
DE102013002667.9A 2013-02-15 2013-02-15 Mikrofluidiksystem mit nach außen verschlossenen Kavitäten Active DE102013002667B4 (de)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE102013002667.9A DE102013002667B4 (de) 2013-02-15 2013-02-15 Mikrofluidiksystem mit nach außen verschlossenen Kavitäten

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE102013002667.9A DE102013002667B4 (de) 2013-02-15 2013-02-15 Mikrofluidiksystem mit nach außen verschlossenen Kavitäten

Publications (2)

Publication Number Publication Date
DE102013002667A1 true DE102013002667A1 (de) 2014-08-21
DE102013002667B4 DE102013002667B4 (de) 2022-02-10

Family

ID=51263629

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE102013002667.9A Active DE102013002667B4 (de) 2013-02-15 2013-02-15 Mikrofluidiksystem mit nach außen verschlossenen Kavitäten

Country Status (1)

Country Link
DE (1) DE102013002667B4 (de)

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE19927533A1 (de) 1999-06-16 2001-01-18 Merck Patent Gmbh Miniaturisiertes Analysensystem
DE10056908A1 (de) 2000-11-16 2002-05-23 Merck Patent Gmbh Verfahren zum Verbinden von Kunststoffteilen

Family Cites Families (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6176962B1 (en) 1990-02-28 2001-01-23 Aclara Biosciences, Inc. Methods for fabricating enclosed microchannel structures
AU1517999A (en) 1997-10-15 1999-05-03 Aclara Biosciences, Inc. Laminate microstructure device and method for making same
US6444474B1 (en) 1998-04-22 2002-09-03 Eltron Research, Inc. Microfluidic system for measurement of total organic carbon
US6536477B1 (en) 2000-10-12 2003-03-25 Nanostream, Inc. Fluidic couplers and modular microfluidic systems
US6739576B2 (en) 2001-12-20 2004-05-25 Nanostream, Inc. Microfluidic flow control device with floating element
GB0327094D0 (en) 2003-11-21 2003-12-24 Inverness Medical Switzerland Laminated device
EP1926678B1 (de) 2005-09-09 2013-03-20 Koninklijke Philips Electronics N.V. Verfahren zur Herstellung eines Mikrosystems
WO2007112224A2 (en) 2006-03-24 2007-10-04 Waters Investments Limited Ceramic-based chromatography apparatus and methods for making same
FR2900400B1 (fr) 2006-04-28 2008-11-07 Tronic S Microsystems Sa Procede collectif de fabrication de membranes et de cavites de faible volume et de haute precision

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE19927533A1 (de) 1999-06-16 2001-01-18 Merck Patent Gmbh Miniaturisiertes Analysensystem
DE10056908A1 (de) 2000-11-16 2002-05-23 Merck Patent Gmbh Verfahren zum Verbinden von Kunststoffteilen

Non-Patent Citations (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
"Micro Total Analysis Systems" (muTAS) oder "Lab on a Chip" (LOC) am Markt verfügbar. (Lab-on-a-Chip Catalogue 09/2011, microfluidic ChipShop GmbH, Jena, Germany
Chia-Wen Tsao, Don L. DeVoe; "Bonding of thermoplastic polymer microfluidics"; Microfluid Nanofluid Vol. 6, 2009, S. 1–16
Huang, F.-C., Chen, Y.-F. and Lee, G.-B. (2007), CE chips fabricated by injection molding and polyethylene/thermoplastic elastomer film packaging methods. ELECTROPHORESIS, 28: 1130-1137
Kapillarwirkung: Lu, C., Lee, L. J. and Juang, Y.-J. (2008), Packaging of microfluidic chips via interstitial bonding technique. ELECTROPHORESIS, 29: 1407-1414
Oberbach K., Baur E., Brinkmann S., Schmachtenberg E. Saechtling Kunststoff Taschenbuch, 29. Auflage, Hanser Verlag, München 2004
Paul, D., Pallandre, A., Miserere, S., Weber, J. and Viovy, J.-L. (2007), Lamination-based rapid prototyping of microfluidic devices using flexible thermoplastic substrates. ELECTROPHORESIS, 28: 1115-1122
Siebdruck: J. Han, S. H. Lee, A. Puntambekar, S. Murugesan, J.-W. Choi, G. Beaucage, and C. H. Ahn, "UV Adhesive Bonding Techniques at Room Temperature for Plastic Lab-on-a-Chip," in Proceedings of the 7th International Conference on Micro Total Analysis Systems (u-TAS 2003), Squaw Valley, CA, October 5-9, 2003, pp. 1113-1116
Tampondruck: F. Dang, S. Shinohara, O. Tabata, Y. Yamaoka, M. Kurokawa, Y. Shinohara, M. Ishikawa and Y. Baba; Lab Chip, 2005, 5, 472-478
Tsao und DeVoe zusammengefasst. (Lab on a Chip Technology, Volume 1: Fabrication and Microfluidics, Caister Academic Press. UK, 2009, "Bonding Techniques for Thermoplastic Microfluidics" S. 45 ff)

Also Published As

Publication number Publication date
DE102013002667B4 (de) 2022-02-10

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP2576065B1 (de) Flusszelle mit hohlraum und diaphragma
EP2796200B1 (de) Mikrofluidische analysekartusche und verfahren zu ihrer herstellung
Liga et al. Safe and cost-effective rapid-prototyping of multilayer PMMA microfluidic devices
Mosadegh et al. Integrated elastomeric components for autonomous regulation of sequential and oscillatory flow switching in microfluidic devices
EP1654065B1 (de) Flusszelle aus schichten mit verbindungsmittel
US6827095B2 (en) Modular microfluidic systems
CN108745429B (zh) 一种多通道快速检测微流体检测芯片
Wasay et al. Gecko gaskets for self-sealing and high-strength reversible bonding of microfluidics
US20070012891A1 (en) Prototyping methods and devices for microfluidic components
Shiroma et al. Self-regenerating and hybrid irreversible/reversible PDMS microfluidic devices
WO2009149986A1 (de) Quetschventil und verfahren zu dessen herstellung
US20100175999A1 (en) Microfluidic device
US20060180223A1 (en) Electrically opended micro fluid-valve
WO2015001070A1 (de) Flusszelle mit integrierter trockensubstanz
Murray et al. Electro-adaptive microfluidics for active tuning of channel geometry using polymer actuators
JP2009518599A (ja) 細線接合および/またはシーリングシステムと方法
EP2647435A1 (de) Flusszelle mit einer Temperierkammer
Tanaka et al. An active valve incorporated into a microchip using a high strain electroactive polymer
US20150247580A1 (en) Assembly-Free Additively-Manufactured Fluidic Control Elements
JP2004530118A (ja) 毛細管柱状体をマイクロフルーイディックコンポーネントに接続するためのデバイス
Dharmaraja et al. Programming paper networks for point of care diagnostics
Attia et al. Integration of functionality into polymer-based microfluidic devices produced by high-volume micro-moulding techniques
Lee et al. Finger-triggered portable PDMS suction cup for equipment-free microfluidic pumping
Damodara et al. Materials and methods for microfabrication of microfluidic devices
WO2014103842A1 (ja) マイクロ流路の製造方法およびマイクロ流路

Legal Events

Date Code Title Description
R012 Request for examination validly filed
R016 Response to examination communication
R082 Change of representative

Representative=s name: TER MEER STEINMEISTER & PARTNER PATENTANWAELTE, DE

R082 Change of representative

Representative=s name: TER MEER STEINMEISTER & PARTNER PATENTANWAELTE, DE

R016 Response to examination communication
R016 Response to examination communication
R016 Response to examination communication
R018 Grant decision by examination section/examining division
R020 Patent grant now final