DE102012214316A1 - Holder for a variety of disc-shaped workpieces - Google Patents

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DE102012214316A1
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Walter Edmaier
Albert Kühnstetter
Carmen Ratz
Gregor Reeske
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Abstract

Gegenstand der Erfindung ist eine Halterung (10) für eine Vielzahl von scheibenförmigen Werkstücken (2), umfassend – zwei parallel angeordnete Verbindungselemente (5) mit jeweils wenigstens drei Aufnahmen für eine entsprechende Anzahl an Unterstützungsrollen (1) und – wenigstens drei parallel angeordnete zylindrische Unterstützungsrollen (1), die sich zwischen den Verbindungselementen (5) erstrecken, wobei die Enden der Unterstützungsrollen (1) in den Aufnahmen der Verbindungselemente (5) drehbar gelagert sind und wobei die Unterstützungsrollen (1) entlang ihres Umfangs Rillen (6) zur Aufnahme der Werkstücke (2) aufweisen. Die Erfindung bezieht sich auch auf eine Anordnung umfassend die beschriebene Halterung und ein Flüssigkeitsbecken.The invention relates to a holder (10) for a multiplicity of disk-shaped workpieces (2), comprising - two connecting elements (5) arranged in parallel, each with at least three receptacles for a corresponding number of support rollers (1), and - at least three cylindrical support rollers arranged in parallel (1) which extend between the connecting elements (5), the ends of the support rollers (1) being rotatably mounted in the receptacles of the connecting elements (5) and the support rollers (1) having grooves (6) along their circumference for receiving the Have workpieces (2). The invention also relates to an arrangement comprising the holder described and a liquid basin.

Description

Gegenstand der Erfindung ist eine Halterung für eine Vielzahl von scheibenförmigen Werkstücken, mit der die Werkstücke in einem Reinigungsbad während einer Reinigung gehalten werden können.The invention relates to a holder for a plurality of disc-shaped workpieces, with which the workpieces can be held in a cleaning bath during cleaning.

Halbleiterscheiben, die beispielsweise als Substrate für die Herstellung mikroelektronischer Bauelemente dienen, meist Siliciumscheiben, werden im Laufe ihrer Herstellung mehrfach einer Reinigung unterzogen, beispielsweise nach dem Polieren, epitaktischen Beschichten oder nach thermischen Behandlungsschritten. Ziel der Reinigung ist es unter anderem, an der Scheibenoberfläche haftende Partikel möglichst vollständig zu entfernen, bevor die Siliciumscheiben für die Herstellung mikroelektronischer Bauelemente verwendet werden. Wegen der zunehmenden Miniaturisierung der Bauelemente ist es zudem erforderlich, immer kleinere Partikel von den Scheibenoberflächen zu entfernen. Partikelgrößen, die in der Vergangenheit noch toleriert werden konnten, werden in Zukunft aufgrund der fortschreitenden Miniaturisierung der Bauelemente zunehmend zu Störungen in der Funktion der Bauelemente führen. Damit steigen insbesondere die Anforderungen an die Leistungsfähigkeit der Reinigungsverfahren.Semiconductor wafers, which are used, for example, as substrates for the production of microelectronic components, usually silicon wafers, are repeatedly subjected to cleaning in the course of their manufacture, for example after polishing, epitaxial coating or after thermal treatment steps. The aim of the cleaning is, among other things, as completely as possible to remove particles adhering to the wafer surface, before the silicon wafers are used for the production of microelectronic devices. Due to the increasing miniaturization of the components, it is also necessary to remove ever smaller particles from the disc surfaces. Particle sizes, which could still be tolerated in the past, will increasingly lead to disruptions in the function of the components in future due to the progressive miniaturization of the components. This increases in particular the requirements for the performance of the cleaning process.

Es ist bekannt, eine Vielzahl von Scheiben gleichzeitig in einem Bad mit einer Reinigungsflüssigkeit zu behandeln. Die Halbleiterscheiben werden dabei im Reinigungsbad durch mehrere Rollen oder Stangen unterstützt, die in der Regel Rillen aufweisen, die die Halbleiterscheiben seitlich stabilisieren. EP0856873A2 beschreibt ein solches Badreinigungsverfahren. Die Reinigung kann durch die Einwirkung von Ultra- oder Megaschall unterstützt werden. Da die Reinigungswirkung an den Stellen, an denen die Halbleiterscheiben auf den Rollen oder Stangen aufliegen, und an den Stellen, an denen die Intensität des Megaschalls durch Abschattungseffekte reduziert wird, nicht ausreichend ist, sieht EP0856873A2 eine Rotation der Halbleiterscheiben im Reinigungsbad vor. Auf diese Weise kann eine gleichmäßige Reinigung der Scheibenoberflächen erreicht werden. Um die Halbleiterscheiben im Reinigungsbad in Rotation zu versetzen, werden die Unterstützungsrollen von einem Motor angetrieben und in eine Rotation um ihre Längsachse versetzt. Das vom Motor erzeugte Drehmoment wird durch ein im Reinigungsbad befindliches Zahnradgetriebe auf die Unterstützungsrollen übertragen. Da durch die Reibung der Zahnräder Partikel generiert werden, sieht EP0856873A2 eine Zirkulation und Filtration der Reinigungsflüssigkeit vor. Außerdem werden die Strömungsverhältnisse im Bad optimiert, um möglichst wenige Partikel von den Zahnrädern zu den Halbleiterscheiben zu transportieren. Trotzdem wird die mit der in EP0856873A2 beschriebenen Vorrichtung erzielte Reinigungsleistung heutigen Anforderungen an die Partikelfreiheit von Halbleiterscheiben nicht mehr gerecht.It is known to treat a plurality of disks simultaneously in a bath with a cleaning liquid. The semiconductor wafers are supported in the cleaning bath by a plurality of rollers or rods, which generally have grooves which laterally stabilize the semiconductor wafers. EP0856873A2 describes such a bath cleaning process. Cleaning can be assisted by the action of ultra or megasonic. Since the cleaning effect at the locations where the semiconductor wafers rest on the rollers or rods, and at the points where the intensity of the megasonic is reduced by shading effects, is insufficient EP0856873A2 a rotation of the semiconductor wafers in the cleaning bath. In this way, a uniform cleaning of the disc surfaces can be achieved. To set the wafers in the cleaning bath in rotation, the support rollers are driven by a motor and set in rotation about its longitudinal axis. The torque generated by the engine is transmitted to the support rollers through a gear train located in the cleaning bath. Since particles are generated by the friction of the gears, sees EP0856873A2 a circulation and filtration of the cleaning liquid. In addition, the flow conditions in the bath are optimized to transport as few particles from the gears to the semiconductor wafers. Nevertheless, the with the in EP0856873A2 described cleaning performance achieved today's requirements for particle freedom of semiconductor wafers no longer fair.

Es stellte sich daher die Aufgabe, die Reinigungsleistung des oben beschriebenen Reinigungsverfahrens zu verbessern.It was therefore an object to improve the cleaning performance of the cleaning method described above.

Die Aufgabe wird gelöst durch eine Halterung für eine Vielzahl von scheibenförmigen Werkstücken, umfassend

  • – zwei parallel angeordnete Verbindungselemente mit jeweils wenigstens drei Aufnahmen für eine entsprechende Anzahl an Unterstützungsrollen und
  • – wenigstens drei parallel angeordnete zylindrische Unterstützungsrollen, die sich zwischen den Verbindungselementen erstrecken, wobei die Enden der Unterstützungsrollen in den Aufnahmen der Verbindungselemente drehbar gelagert sind und wobei die Unterstützungsrollen entlang ihres Umfangs Rillen zur Aufnahme der Werkstücke aufweisen.
The object is achieved by a holder for a plurality of disk-shaped workpieces, comprising
  • - Two parallel connecting elements, each with at least three receptacles for a corresponding number of support rollers and
  • - At least three parallel cylindrical support rollers extending between the connecting elements, wherein the ends of the support rollers are rotatably mounted in the receptacles of the connecting elements and wherein the support rollers along their circumference grooves for receiving the workpieces.

Die Erfindung bezieht sich außerdem auf eine Anordnung umfassend eine Halterung der oben beschriebenen Art und ein Flüssigkeitsbecken, wobei das Flüssigkeitsbecken komplementäre Unterstützungs- und Fixierungselemente aufweist, die die Halterung von unten unterstützen und seitlich fixieren, ohne eine feste Verbindung zwischen der Halterung und dem Flüssigkeitsbecken herzustellen, und wobei das Flüssigkeitsbecken Mittel zum Antrieb der Unterstützungsrollen aufweist.The invention also relates to an assembly comprising a holder of the type described above and a liquid basin, the liquid container having complementary support and fixing elements which support the holder from below and fix it laterally, without establishing a firm connection between the holder and the liquid basin , and wherein the liquid pool has means for driving the support rollers.

Im Gegensatz zum Stand der Technik sind die drehbar gelagerten Unterstützungsrollen nicht Teil des Flüssigkeitsbeckens, in dem die Reinigung durchgeführt wird, sondern Teil einer herausnehmbaren Halterung für die Werkstücke. Gemäß dem Stand der Technik müssen die Werkstücke, beispielsweise Halbleiterscheiben, beim Einsetzen in das Flüssigkeitsbecken mit den Unterstützungsrollen in Kontakt gebracht werden. Dies birgt die Gefahr, dass an den Kontaktstellen Partikel entstehen. In mehrstufigen Reinigungsverfahren mit mehreren Reinigungsbädern besteht diese Gefahr bei jedem Einsetzen in eines der Reinigungsbäder.In contrast to the prior art, the rotatably supported support rollers are not part of the fluid pool in which the cleaning is performed, but part of a removable holder for the workpieces. According to the state of the art, the workpieces, for example semiconductor wafers, must be brought into contact with the supporting rollers when they are inserted into the liquid basin. This entails the risk that particles are formed at the contact points. In multi-stage cleaning processes with several cleaning baths, this danger is present every time one of the cleaning baths is inserted.

Da die für eine Rotation der Werkstücke erforderlichen drehbaren Unterstützungsrollen erfindungsgemäß Teil der herausnehmbaren Halterung sind, müssen die Werkstücke nur einmal vor Beginn der Reinigung mit den Unterstützungsrollen in Kontakt gebracht werden. Beim Einsetzen in das Reinigungsbad oder in mehrere Reinigungsbäder nacheinander verbleiben die Werkstücke immer in der Halterung mit den drehbaren Unterstützungsrollen und müssen nicht in jedem Reinigungsbad neu auf Unterstützungsrollen aufgesetzt werden. Die Werkstücke können mit der Halterung von Reinigungsbad zu Reinigungsbad transportiert werden. Die Erfindung führt daher zu einer Verringerung der Gefahr der Partikelentstehung und verbessert daher die Reinigungsleistung der bekannten Reinigungsvorrichtungen.Since the required for a rotation of the workpieces rotatable support rollers according to the invention are part of the removable holder, the workpieces must be brought into contact with the support rollers only once before the start of cleaning. When inserting into the cleaning bath or in several cleaning baths in succession, the workpieces always remain in the holder with the rotatable support rollers and do not need to be re-placed on support rollers in each cleaning bath. The workpieces can be transported with the holder from cleaning bath to cleaning bath. The invention therefore leads to a reduction in the risk of particle formation and therefore improves the cleaning performance of the known cleaning devices.

Die Erfindung wird im Folgenden anhand von Figuren im Detail beschrieben.The invention will be described in detail below with reference to figures.

1 zeigt eine erfindungsgemäße Halterung für scheibenförmige Werkstücke. 1 shows a holder according to the invention for disc-shaped workpieces.

2 zeigt eine Seitenansicht einer erfindungsgemäßen Anordnung der Halterung in einem Flüssigkeitsbecken mit Blickrichtung entlang der Längsachse der Anordnung. 2 shows a side view of an inventive arrangement of the holder in a liquid pool with a view along the longitudinal axis of the arrangement.

3 zeigt eine Seitenansicht einer erfindungsgemäßen Anordnung der Halterung in einem Flüssigkeitsbecken mit Blickrichtung senkrecht zur Längsachse der Anordnung. 3 shows a side view of an inventive arrangement of the holder in a liquid pool with a view perpendicular to the longitudinal axis of the arrangement.

Die erfindungsgemäße Halterung 10 (1) für eine Vielzahl von scheibenförmigen Werkstücken 2 umfasst zwei parallel angeordnete Verbindungselemente 5 und zwei oder mehr sich zwischen den Verbindungselementen 5 erstreckende, drehbar gelagerte Unterstützungsrollen 1.The holder according to the invention 10 ( 1 ) for a variety of disc-shaped workpieces 2 comprises two parallel connection elements 5 and two or more between the connectors 5 extending, rotatably supported support rollers 1 ,

Die Verbindungselemente 5 sind vorzugsweise flächige Elemente, die ein oder mehrere Durchbrüche aufweisen können. Jedes der Verbindungselemente 5 weist eine der Anzahl der Unterstützungsrollen 1 entsprechende Anzahl an Aufnahmen auf, beispielsweise in der Form von Bohrungen.The connecting elements 5 are preferably flat elements that may have one or more openings. Each of the connecting elements 5 indicates one of the number of support roles 1 corresponding number of shots, for example in the form of holes.

Die Unterstützungsrollen 1 sind parallel zueinander und senkrecht zu den Verbindungselementen 5 angeordnet. Sie befinden sich zwischen den beiden Verbindungselementen 5 und verbinden diese miteinander. Die Enden der Unterstützungsrollen 1 sind in den Aufnahmen der beiden Verbindungselemente 5 drehbar gelagert. Vorzugsweise sind die Unterstützungsrollen 1 in den Aufnahmen mittels Wälzlagern aus einem abriebfesten und gegen die eingesetzten Reinigungsflüssigkeiten beständigen Material wie Siliciumcarbid oder Aluminiumoxid gelagert.The support roles 1 are parallel to each other and perpendicular to the connecting elements 5 arranged. They are located between the two connecting elements 5 and connect them together. The ends of the support rollers 1 are in the shots of the two fasteners 5 rotatably mounted. Preferably, the support rollers 1 stored in the recordings by means of bearings made of an abrasion resistant and resistant to the cleaning liquids used material such as silicon carbide or aluminum oxide.

Die Unterstützungsrollen 1 weisen eine im Wesentlichen zylindrische Form auf. Ihre Mantelfläche weist zudem umlaufende Rillen 6 auf, die die scheibenförmigen Werkstücke aufnehmen und seitlich stabilisieren können. Das Profil der umlaufenden Rillen ist vorzugsweise so gestaltet, dass nur der äußerste Kantenbereich der scheibenförmigen Werkstücke 2 an den Rillen 6 anliegt, um den Kontakt und damit die Kontaminationsgefahr so gering wie möglich zu halten. Um runde, scheibenförmige Werkstücke 2 sicher unterstützen zu können, sind mindestens drei Unterstützungsrollen 1 notwendig. Vorzugsweise weist die Halterung 10 genau drei Unterstützungsrollen 1 auf, da drei Unterstützungspunkte eine sichere Lagerung der Werkstücke ohne Verkippungsgefahr ermöglichen. Mehr als drei Unterstützungspunkte bringen bei nicht exakt komplanarer Anordnung die Gefahr erhöhter Reibungskräfte zwischen den Werkstücken und den Rillen der Unterstützungsrollen mit sich, wenn die Unterstützungsrollen in Rotation versetzt werden. Dies führt wiederum zu einer erhöhten Gefahr der Partikelentstehung.The support roles 1 have a substantially cylindrical shape. Its lateral surface also has circumferential grooves 6 on which record the disk-shaped workpieces and can stabilize laterally. The profile of the circumferential grooves is preferably designed so that only the outermost edge region of the disc-shaped workpieces 2 at the grooves 6 in order to keep the contact and thus the risk of contamination as low as possible. Round, disc-shaped workpieces 2 Being able to provide secure support is at least three support roles 1 necessary. Preferably, the holder 10 exactly three support roles 1 because three points of support allow safe storage of workpieces without risk of tipping. More than three support points, when not exactly coplanar, involve the risk of increased frictional forces between the workpieces and the grooves of the support rollers when the support rollers are rotated. This in turn leads to an increased risk of particle formation.

Die Teile der Halterung bestehen aus Materialien, die gegen die eingesetzten Reinigungslösungen chemisch beständig sind. Beispielsweise sind Materialien wie Polytetrafluorethylen (PTFE), Polyetheretherketon (PEEK), Polyvinylidenfluorid (PVDF) oder Quarzglas gegen die meisten gebräuchlichen Chemikalien beständig.The parts of the holder are made of materials that are chemically resistant to the cleaning solutions used. For example, materials such as polytetrafluoroethylene (PTFE), polyetheretherketone (PEEK), polyvinylidene fluoride (PVDF) or quartz glass are resistant to most common chemicals.

Die Halterung 10 lässt sich, wie in 2 und 3 gezeigt, in ein Flüssigkeitsbecken 21 einsetzen. Das Flüssigkeitsbecken 21 weist zur Form der Halterung 10 komplementäre Unterstützungs- und Fixierungselemente 22 auf, die die Halterung von unten unterstützen und seitlich fixieren, ohne eine feste Verbindung zwischen der Halterung 10 und dem Flüssigkeitsbecken 22 herzustellen.The holder 10 can be, as in 2 and 3 shown in a liquid tank 21 deploy. The liquid basin 21 indicates the shape of the holder 10 complementary support and fixation elements 22 on, support the bracket from below and fix the side without a firm connection between the bracket 10 and the liquid basin 22 manufacture.

Zudem weist das Flüssigkeitsbecken 21 Mittel zum Antrieb der Unterstützungsrollen 1 auf. Die Unterstützungsrollen 1, die einen Teil der Halterung 10 darstellen und die in das Flüssigkeitsbecken 21 integrierten Mittel zum Antrieb der Unterstützungsrollen 1 sind so gestaltet, dass sie zusammenwirken können, um die Rotation der Unterstützungsrollen 1 anzutreiben, ohne eine feste Verbindung zu benötigen.In addition, the liquid basin 21 Means for driving the support rollers 1 on. The support roles 1 that is part of the holder 10 represent and in the liquid basin 21 integrated means for driving the support rollers 1 are designed so that they can interact to the rotation of the support rollers 1 to drive without requiring a fixed connection.

Die erfindungsgemäße Halterung 10 einschließlich der Unterstützungsrollen 1 und der darauf ruhenden scheibenförmigen Werkstücke 2 kann daher einfach aus dem Flüssigkeitsbecken 21 entnommen und beispielsweise der nächsten Behandlung in einem weiteren Flüssigkeitsbecken zugeführt werden.The holder according to the invention 10 including the support roles 1 and the disk-shaped workpieces resting thereon 2 can therefore easily from the liquid pool 21 taken and supplied, for example, the next treatment in another pool of liquid.

Das Flüssigkeitsbecken 21 weist zudem vorzugsweise die aus dem Stand der Technik bekannten Merkmale auf wie Zu- und Ableitungen für Reinigungsflüssigkeit oder ein oder mehrere Megaschall-Systeme zur Unterstützung der Partikelentfernung. Das Flüssigkeitsbecken 21 kann mit beliebigen Reinigungsflüssigkeiten gemäß dem Stand der Technik befüllt werden. Es können auch Leitungen für eine Zirkulation der Reinigungsflüssigkeit, ggf. mit Filtration, vorgesehen sein.The liquid basin 21 moreover, preferably comprises the features known from the prior art, such as supply lines and discharge lines for cleaning fluid or one or more megasonic systems for assisting particle removal. The liquid basin 21 can be filled with any cleaning liquids according to the prior art. It can also lines for a circulation of the cleaning liquid, possibly with filtration, may be provided.

Besonders bevorzugt ist ein Antrieb der Unterstützungsrollen 1 mittels Flügelrädern 3 (siehe 1), die durch die Zuführung einer Flüssigkeit in Rotation versetzt werden. Die Halterung 10 weist in diesem Fall wenigstens ein Flügelrad 3 pro Unterstützungsrolle 1 auf, das koaxial mit der betreffenden Unterstützungsrolle 1 angeordnet und fest mit dieser verbunden ist. Ein Flügelrad 3 ist ausreichend, um die Unterstützungsrolle 1 anzutreiben. Daher ist es bevorzugt, genau ein Flügelrad 3 für jede Unterstützungsrolle 1 vorzusehen. Vorzugsweise ist das Flügelrad 3 an einem Ende der betreffenden Unterstützungsrolle 1 benachbart zu einem der Verbindungselemente 5 angeordnet. Vorzugsweise liegt das Verbindungselement 5 zwischen dem Flügelrad 3 und dem rillierten Teil der Unterstützungsrolle 1, der die Werkstücke unterstützt. Auf diese Weise wird für eine größtmögliche räumliche Trennung des Antriebs von den Werkstücken gesorgt. Dies ist vorteilhaft, da sich ggf. durch den Antrieb der Flügelräder entstehende Verwirbelungen in der Reinigungsflüssigkeit weniger stark auf die Strömungsverhältnisse an den Oberflächen der Werkstücke auswirken.Particularly preferred is a drive of the support rollers 1 by means of impellers 3 (please refer 1 ) caused by the supply of a liquid in Rotation are offset. The holder 10 in this case has at least one impeller 3 per support role 1 coaxial with the support roll in question 1 arranged and firmly connected to this. An impeller 3 is sufficient to support the role 1 drive. Therefore, it is preferred exactly one impeller 3 for every support role 1 provided. Preferably, the impeller 3 at one end of the relevant support role 1 adjacent to one of the connecting elements 5 arranged. Preferably, the connecting element is located 5 between the impeller 3 and the grooved part of the support role 1 that supports the workpieces. In this way, the greatest possible spatial separation of the drive is ensured by the workpieces. This is advantageous because possibly caused by the drive of the vanes turbulence in the cleaning liquid less affect the flow conditions on the surfaces of the workpieces.

Wenn die Halterung 10 mit Flügelrädern 3 ausgestattet ist, sind die in das Flüssigkeitsbecken 21 integrierten Mittel zum Antrieb der Unterstützungsrollen 1 als Flüssigkeitszuführungen 23 (siehe 2 und 3) ausgeführt, die es ermöglichen, die Flügelräder 3 durch Zuführung von Flüssigkeit in Rotation zu versetzen und damit die dem jeweiligen Flügelrad 3 zugeordnete Unterstützungsrolle 1 anzutreiben. Vorzugsweise ist für jedes Flügelrad 3 eine Flüssigkeitszuführung 23 vorgesehen. Die Flüssigkeit verlässt die Flüssigkeitszuführung 23 vorzugsweise durch eine Düse, die derart ausgerichtet ist, dass die Flüssigkeitsströmung auf einen Teil der Flügel des Flügelrades 3 trifft und auf diese Weise das Flügelrad antreibt. Die Rotationsgeschwindigkeit kann über den Druck der eingeleiteten Flüssigkeit eingestellt werden. Die Rotationsrichtung kann durch eine Verstellung der Düsenposition geändert werden.When the bracket 10 with vanes 3 are equipped, which are in the liquid basin 21 integrated means for driving the support rollers 1 as liquid feeds 23 (please refer 2 and 3 ), which allow the impellers 3 To put by supplying liquid in rotation and thus the respective impeller 3 associated support role 1 drive. Preferably, for each impeller 3 a liquid supply 23 intended. The liquid leaves the liquid supply 23 preferably by a nozzle which is oriented such that the liquid flow onto a part of the vanes of the impeller 3 meets and in this way drives the impeller. The rotational speed can be adjusted via the pressure of the liquid introduced. The direction of rotation can be changed by adjusting the nozzle position.

Der Vorteil dieses Antriebs ist, dass die Kraftübertragung im Wesentlichen ohne Reibung zwischen zwei festen Körpern stattfindet und auf diese Weise die Entstehung von Partikeln weitgehend vermieden wird. Im Fall des aus dem Stand der Technik bekannten Zahnradgetriebes reiben dagegen ständig die Zahnflanken der Zahnräder aneinander, was zur Entstehung von Abrieb führt, der die zu reinigenden Werkstücke mit Partikeln verschmutzen kann.The advantage of this drive is that the power transmission takes place substantially without friction between two solid bodies and in this way the formation of particles is largely avoided. In the case of the known from the prior art gear transmission, however, constantly rub the tooth flanks of the gears together, which leads to the development of abrasion, which can pollute the workpieces to be cleaned with particles.

Da sich die zum Antrieb der Flügelräder zugeführte Flüssigkeit – wenn keine weiteren konstruktiven Maßnahmen ergriffen werden, wie unten beschrieben – mit der im Flüssigkeitsbecken enthaltenen Reinigungsflüssigkeit vermischt, entspricht die Zusammensetzung der für den Antrieb zugeführten Flüssigkeit vorzugsweise der Zusammensetzung der Reinigungsflüssigkeit. Vorzugsweise wird die zum Antrieb zugeführte Flüssigkeit von der Zuführung der Reinigungsflüssigkeit abgezweigt.Since the liquid supplied for driving the impellers - if no further constructional measures are taken, as described below - mixed with the cleaning liquid contained in the liquid tank, the composition of the liquid supplied for the drive preferably corresponds to the composition of the cleaning liquid. Preferably, the liquid supplied to the drive is diverted from the supply of the cleaning liquid.

Um eine Vermischung der Reinigungsflüssigkeit mit der für den Antrieb der Flügelräder verwendeten Flüssigkeit zu vermeiden, können die Flügelräder mit Buchsen modifiziert werden (siehe 1): In diesem Fall ist jedes der Flügelräder 3 von einer koaxial angeordneten Buchse 4 in der Form eines Hohlzylinders umgeben, dessen Mantelfläche eine bezüglich des Hohlzylinders entlang einer Sekante angeordnete Einlassöffnung 7 sowie eine Auslassöffnung 8 aufweist. Die Buchsen weisen zudem eine in 1 nicht dargestellte Stirnfläche auf, sodass die Flügelräder 3 komplett von der Reinigungsflüssigkeit getrennt sind.In order to avoid a mixing of the cleaning liquid with the liquid used for the drive of the impellers, the impellers can be modified with bushes (see 1 ): In this case, each of the impellers 3 from a coaxially arranged socket 4 surrounded in the form of a hollow cylinder whose lateral surface is arranged with respect to the hollow cylinder along a secant inlet opening 7 and an outlet opening 8th having. The jacks also have a in 1 not shown end face, so that the impellers 3 completely separated from the cleaning fluid.

In diesem Fall sind die in das Flüssigkeitsbecken 21 integrierten Flüssigkeitszuführungen 23 (siehe 2 und 3) vorzugsweise komplementär zu den Einlassöffnungen 7 angeordnet, sodass sie beim Einsetzen der Halterung 10 in das Flüssigkeitsbecken 21 eine lösbare, formschlüssige Verbindung mit den Einlassöffnungen 7 bilden.In this case they are in the liquid basin 21 integrated liquid feeds 23 (please refer 2 and 3 ) preferably complementary to the inlet openings 7 arranged so that they are when inserting the bracket 10 in the liquid basin 21 a releasable, positive connection with the inlet openings 7 form.

Entsprechend sind die in das Flüssigkeitsbecken 21 integrierten Flüssigkeitsableitungen 24 vorzugsweise komplementär zu den Auslassöffnungen 8 angeordnet, sodass sie beim Einsetzen der Halterung 10 in das Flüssigkeitsbecken 21 eine lösbare, formschlüssige Verbindung mit den Auslassöffnungen 8 bilden.Accordingly, those are in the liquid basin 21 integrated liquid discharges 24 preferably complementary to the outlet openings 8th arranged so that they are when inserting the bracket 10 in the liquid basin 21 a detachable, positive connection with the outlet openings 8th form.

Auf diese Weise ist es möglich, den Strom der für den Antrieb der Flügelräder 3 verwendeten Flüssigkeit vollständig von der im Flüssigkeitsbecken 21 mit den zu reinigenden Werkstücken 2 in Berührung kommenden Reinigungsflüssigkeit zu trennen. Unerwünschte Verwirbelungen in der Reinigungsflüssigkeit, die durch die Strömung der zum Antrieb der Flügelräder zugeführten Flüssigkeit entstehen und zu einer unkontrollierten Veränderung der Strömungsverhältnisse an den Oberflächen der Werkstücke und damit zu einer Verringerung der Reinigungsleistung führen würden, können so vermieden werden. Trotzdem bleibt der Vorteil erhalten, dass die Halterung einfach in das Flüssigkeitsbecken eingesetzt und wieder entnommen werden kann.In this way it is possible to control the flow of the impellers 3 used liquid completely from that in the liquid tank 21 with the workpieces to be cleaned 2 to separate in coming cleaning liquid. Unwanted turbulence in the cleaning fluid, which would be caused by the flow of the liquid supplied to drive the impellers and would lead to an uncontrolled change in the flow conditions on the surfaces of the workpieces and thus to a reduction in cleaning performance, can be avoided. Nevertheless, the advantage remains that the holder can be easily inserted into the liquid tank and removed again.

Falls für den Antrieb die Reinigungsflüssigkeit verwendet wird, kann die durch die Auslassöffnungen 8 zurückströmende Flüssigkeit mit der aus dem Flüssigkeitsbecken 21 abgeführten Reinigungsflüssigkeit zusammengeführt und ggf. nach Filtration wieder dem Flüssigkeitsbecken 21 und dem Abzweig zu den Flüssigkeitszuführungen 23 zugeführt werden.If the cleaning fluid is used for the drive, it may be through the outlet openings 8th back-flowing liquid with the liquid from the pool 21 discharged cleaning liquid combined and, if necessary, after filtration again the liquid pool 21 and the branch to the liquid feeds 23 be supplied.

Die erfindungsgemäße Halterung sowie die Anordnung der Halterung in dem Flüssigkeitsbecken kann zur Reinigung beliebiger scheibenförmiger, vorzugsweise runder Werkstücke verwendet werden. Besonders bevorzugt ist die Anwendung für die Reinigung von Halbleiterscheiben, beispielsweise bestehend aus Silicium.The holder according to the invention and the arrangement of the holder in the liquid basin can be used for cleaning any disc-shaped, preferably round workpieces. Particularly preferred is the application for the Cleaning of semiconductor wafers, for example consisting of silicon.

ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG QUOTES INCLUDE IN THE DESCRIPTION

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Zitierte PatentliteraturCited patent literature

  • EP 0856873 A2 [0003, 0003, 0003, 0003] EP 0856873 A2 [0003, 0003, 0003, 0003]

Claims (8)

Halterung (10) für eine Vielzahl von scheibenförmigen Werkstücken (2), umfassend – zwei parallel angeordnete Verbindungselemente (5) mit jeweils wenigstens drei Aufnahmen für eine entsprechende Anzahl an Unterstützungsrollen (1) und – wenigstens drei parallel angeordnete zylindrische Unterstützungsrollen (1), die sich zwischen den Verbindungselementen (5) erstrecken, wobei die Enden der Unterstützungsrollen (1) in den Aufnahmen der Verbindungselemente (5) drehbar gelagert sind und wobei die Unterstützungsrollen (1) entlang ihres Umfangs Rillen (6) zur Aufnahme der Werkstücke (2) aufweisen.Bracket ( 10 ) for a plurality of disc-shaped workpieces ( 2 ), comprising - two parallel connection elements ( 5 ) each having at least three receptacles for a corresponding number of support roles ( 1 ) and - at least three parallel cylindrical support rollers ( 1 ) extending between the connecting elements ( 5 ), the ends of the support rollers ( 1 ) in the receptacles of the connecting elements ( 5 ) are rotatably mounted and wherein the support rollers ( 1 ) along its circumference grooves ( 6 ) for receiving the workpieces ( 2 ) exhibit. Halterung (10) gemäß Anspruch 1, gekennzeichnet durch jeweils wenigstens ein Flügelrad (3) pro Unterstützungsrolle (1), das koaxial mit der betreffenden Unterstützungsrolle (1) angeordnet und fest mit dieser verbunden ist.Bracket ( 10 ) according to claim 1, characterized by at least one impeller ( 3 ) per support role ( 1 ) coaxial with the relevant support role ( 1 ) is arranged and firmly connected to this. Halterung (10) gemäß Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, dass jeweils ein Flügelrad (3) an einem Ende jeder Unterstützungsrolle (1) benachbart zu einem der Verbindungselemente (5) angeordnet ist.Bracket ( 10 ) according to claim 2, characterized in that in each case an impeller ( 3 ) at one end of each support role ( 1 ) adjacent to one of the connecting elements ( 5 ) is arranged. Halterung (10) gemäß einem der Ansprüche 2 oder 3, dadurch gekennzeichnet, dass jedes der Flügelräder (3) von einer koaxial angeordneten Buchse (4) in der Form eines Hohlzylinders umgeben ist, dessen Mantelfläche eine bezüglich des Hohlzylinders entlang einer Sekante angeordnete Einlassöffnung (7) sowie eine Auslassöffnung (8) aufweist.Bracket ( 10 ) according to one of claims 2 or 3, characterized in that each of the impellers ( 3 ) from a coaxially arranged bushing ( 4 ) is surrounded in the form of a hollow cylinder whose lateral surface is arranged with respect to the hollow cylinder along a secant inlet port ( 7 ) as well as an outlet opening ( 8th ) having. Anordnung umfassend ein Flüssigkeitsbecken (21) sowie eine Halterung (10) gemäß Anspruch 1, wobei das Flüssigkeitsbecken (21) komplementäre Unterstützungs- und Fixierungselemente (22) aufweist, die die Halterung (10) von unten unterstützen und seitlich fixieren, ohne eine feste Verbindung zwischen der Halterung (10) und dem Flüssigkeitsbecken (21) herzustellen, und wobei das Flüssigkeitsbecken (21) Mittel zum Antrieb der Unterstützungsrollen (1) aufweist.Arrangement comprising a liquid basin ( 21 ) as well as a holder ( 10 ) according to claim 1, wherein the liquid basin ( 21 ) complementary support and fixation elements ( 22 ), which supports the holder ( 10 ) support from below and fix it laterally, without a firm connection between the holder ( 10 ) and the liquid pool ( 21 ) and wherein the liquid pool ( 21 ) Means for driving the support rollers ( 1 ) having. Anordnung gemäß Anspruch 5, wobei die Halterung (10) gemäß Anspruch 2 ausgeführt ist und wobei die Mittel zum Antrieb der Unterstützungsrollen (1) als eine Flüssigkeitszuführung (23) pro Flügelrad (3) ausgeführt sind, die es ermöglicht, das Flügelrad (3) durch Zuführung von Flüssigkeit in Rotation zu versetzen und damit die dem Flügelrad (3) zugeordnete Unterstützungsrolle (1) anzutreiben.Arrangement according to claim 5, wherein the holder ( 10 ) according to claim 2 and wherein the means for driving the support rollers ( 1 ) as a liquid feed ( 23 ) per impeller ( 3 ) are made, which makes it possible, the impeller ( 3 ) by supplying liquid in rotation and thus the impeller ( 3 ) assigned support role ( 1 ) to drive. Anordnung gemäß Anspruch 6, wobei die Halterung (10) gemäß Anspruch 4 ausgeführt ist und wobei die Flüssigkeitszuführungen (23) komplementär zu den Einlassöffnungen (7) angeordnet sind, sodass sie beim Einsetzen der Halterung (10) in das Flüssigkeitsbecken (21) eine lösbare, formschlüssige Verbindung mit den Einlassöffnungen (7) bilden.Arrangement according to claim 6, wherein the holder ( 10 ) according to claim 4 and wherein the liquid feeds ( 23 ) complementary to the inlet openings ( 7 ) are arranged so that when inserting the bracket ( 10 ) into the liquid basin ( 21 ) a releasable, positive connection with the inlet openings ( 7 ) form. Anordnung gemäß Anspruch 7, wobei das Flüssigkeitsbecken (21) zusätzlich eine Flüssigkeitsableitung (24) pro Flügelrad aufweist, wobei die Flüssigkeitsableitungen (24) komplementär zu den Auslassöffnungen (8) angeordnet sind, sodass sie beim Einsetzen der Halterung (10) in das Flüssigkeitsbecken (21) eine lösbare, formschlüssige Verbindung mit den Auslassöffnungen (8) bilden.Arrangement according to claim 7, wherein the liquid basin ( 21 ) additionally a liquid discharge ( 24 ) per impeller, wherein the liquid discharges ( 24 ) complementary to the outlet openings ( 8th ) are arranged so that when inserting the bracket ( 10 ) into the liquid basin ( 21 ) a releasable, positive connection with the outlet openings ( 8th ) form.
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