DE102011108223A1

DE102011108223A1 - Antrieb für ein Mikroventil mit Formgedächtnislegierung und Mikroventil

Info

Publication number: DE102011108223A1
Application number: DE102011108223A
Authority: DE
Inventors: Birgit Stadelbauer; Klaus-Günther Beck
Original assignee: Buerkert Werke GmbH and Co KG
Current assignee: Buerkert Werke GmbH and Co KG
Priority date: 2010-07-28
Filing date: 2011-07-21
Publication date: 2012-02-02
Anticipated expiration: 2031-07-22
Also published as: DE202010010747U1; CN102345763B; US20120025113A1; DE102011108223B4; US9267617B2; CN102345763A

Abstract

Die Erfindung betrifft einen Antrieb für ein Mikroventil mit einem Gehäuse, einer Feder und mindestens einem Formgedächtnislegierungselement, das auslenkbar am Gehäuse festliegt, durch die Feder in eine ausgelenkte Stellung belastet ist, und durch Temperaturerhöhung und dadurch wirksam werdenden Formgedächtniseffekt entgegen zunehmender Belastung durch die Feder in eine zumindest weniger weit ausgelenkte Stellung bewegbar ist. Die Erfindung betrifft auch ein Mikroventil, insbesondere ein stromlos geschlossenes Mikroventil, mit einem Fluidgehäuse, mindestens einem Ventilsitz, einem dem Ventilsitz gegenüberliegenden Dichtungselement und einem Antrieb der oben genannten Art, wobei das Formgedächtnislegierungselement mit dem Dichtungselement zusammenwirkt und eine Betätigungskraft auf das Dichtungselement zum Schließen und Öffnen des Ventilsitzes mit bzw. gegen eine Druckfederkraft ausübt.

Description

Die Erfindung betrifft einen Antrieb für ein Mikroventil mit einem Formgedächtnislegierungselement sowie ein Mikroventil.
Formgedächtnislegierungselemente zeichnen sich dadurch aus, dass sie als Aktoren mit hoher Energiedichte eingesetzt werden können.
Es sind Ventile bekannt, bei denen ein oder mehrere Stellelemente mit Formgedächtnislegierungselementen zusammenwirken, die als Draht ausgebildet sind, wie z. B. in der DE 102 33 601 beschrieben.
Auch Folien aus Formgedächtnislegierungen sind bekannt. Damit steht in Ventilen nur ein sehr kleiner Weg zur Steuerung eines Hubs zur Verfügung, und es können nur niedrige Drücke geschaltet werden.
Außerdem sind bekannte Ventile, die auf dem Formgedächtnislegierungsprinzip für den Aktor beruhen, häufig NO-Ausführungen (d. h. „normally open”), In der Regel werden aber in Industrieanwendungen NC-Ventile (d. h. „normally closed”) benötigt, die im Ruhezustand geschlossen sind und erst bei Beaufschlagung mit Strom öffnen.
Deshalb ist es Aufgabe der Erfindung, einen Antrieb für ein Mikroventil und ein Mikroventil mit einem Formgedächtnislegierungselement bereit zu stellen, bei dem ein größerer Hub zur Verfügung steht.
Ein erfindungsgemäßer Antrieb für ein Mikroventil ist in Anspruch 1 angegeben.
Ein Antrieb für ein Mikroventil umfasst ein Gehäuse, eine Feder und ein Formgedächtnislegierungselement. Das Formgedächtnislegierungselement liegt auslenkbar am Gehäuse fest und ist durch die Feder in eine ausgelenkte Stellung belastet. Bei Temperaturerhöhung wird der Formgedächtniseffekt wirksam: das Formgedächtnislegierungselement wird in eine weniger weit ausgelenkte Stellung bei zunehmender Federbelastung bewegt.
Die Auslenkung des Formgedächtnislegierungselements durch die Feder entsteht dadurch, dass das Formgedächtnislegierungselement beispielsweise mittels Federkraft auseinandergedrückt wird. Bei Temperaturerhöhung zieht sich dieses zu seiner Ausgangsform zusammen, und nimmt also eine weniger weit ausgelenkte Stellung entgegen zunehmender Federkraft ein. Es ist aber auch möglich, dass das Formgedächtnislegierungselement zunächst durch die Feder zusammengedrückt wird und sich bei Temperaturerhöhung ausdehnt und damit eine weniger ausgelenkte Position entgegen zunehmender Federkraft erreicht. Die Form, an die sich das Formgedächtnislegierungselement bei Temperaturerhöhung ”erinnert”, wird diesem unter Kraft- und Temperaturbeaufschlagung auf bekannte Weise eingeprägt.
In einer Ausführungsform weist das Formgedächtnislegierungselement wenigstens ein Paar von aufeinander gestapelten Folien auf, die zumindest abschnittsweise an ihrem Außenumfang miteinander verbunden, insbesondere verschweißt, sind und durch die Feder entweder auseinander oder zusammen gedrückt werden. Ein Paar aufeinander gestapelte Folien zu verwenden, hat insbesondere beim Einsatz des Antriebs in der Ventiltechnik den Vorteil, dass dadurch ein größerer Ventilhub zur Verfügung steht. Deshalb können selbstverständlich auch mehr als zwei Folien aufeinander gestapelt werden.
Die einzelnen Folien weisen einen zentralen Durchgang für die Feder oder ein mit der Feder zusammenwirkendes Übertragungselement auf. Je nach gewünschten Größen- und Kraftverhältnissen kann auch eine Feder mit einem größeren Durchmesser gewählt werden, und das Formgedächtnislegierungselement kann dann auch innerhalb der Feder platziert werden.
Die Feder ist vorzugsweise eine Druckfeder, die sich am Gehäuse abstützt und an der von der Abstützung am weitesten entfernten Folie angreift. Die Feder drückt das Formgedächtnislegierungselement einen, beispielsweise durch einen Anschlag, definierten Weg auseinander. Da das Formgedächtnislegierungselement an derselben Gehäuseseite festliegt, wird so die Höhe des Folienstapels vollständig ausgenutzt. Bei Temperaturbeaufschlagung nimmt das Formgedächtnislegierungselement gegen die Federkraft wieder seine ursprüngliche Höhe ein.
Die Feder kann allgemein ein Element mit elastischen Eigenschaften sein, das beispielsweise aus einem Federstahl oder einem Elastomerwerkstoff gefertigt ist.
In einer weiteren Ausführungsform stützen sich Druckfeder und Formgedächtnislegierungselement an sich gegenüberliegenden Gehäuseseiten ab. Dann greift die Druckfeder an der zu ihr benachbarten Folie an, und der Folienstapel wird unter Verringerung seiner ursprünglichen Höhe zusammengedrückt. Bei Temperaturbeaufschlagung dehnt sich der Folienstapel aus und kehrt in die Ausgangsposition mit größerer Höhe zurück, wobei die Druckfeder weiter belastet wird.
Eine bevorzugte Ausführungsform weist mindestens zwei Paare von aufeinander gestapelten Folien auf. Benachbarte Folien zweier Paare sind am Umfang des zentralen Durchgangs für die Feder oder das mit der Feder zusammenwirkende Übertragungselement miteinander verbunden. Dadurch erhält der Folienstapel eine federähnliche Geometrie – er kann zusammengedrückt oder auseinandergezogen werden.
Je nachdem ob sich das Formgedächtnislegierungselement und die Feder an derselben oder an sich gegenüberliegenden Gehäuseseiten abstützen, greifen beide auch am Übertragungselement auf derselben oder sich gegenüberliegenden Seiten an. Sind des Formgedächtnislegierungselement und das Übertragungselement fest miteinander verbunden, zum Beispiel verschweißt, dann bewegt sich das Übertragungselement entsprechend der Aktorbewegung durch das Formgedächtnislegierungselement mit. Das hat bei Verwendung dieses Antriebs in einem Ventil den Vorteil, dass das Ventil auch ohne Mediumsdruck selbstständig öffnet.
Auf die feste Verbindung zwischen Formgedächtnislegierungselement und Übertragungselement kann verzichtet werden, wenn das Formgedächtnislegierungselement und die Feder am Übertragungselement auf sich gegenüberliegenden Seiten angreifen. Dann liegt das Übertragungselement auf dem Formgedächtnislegierungselement auf und macht automatisch jede Bewegung des Formgedächtnislegierungselements mit.
Bei der geometrischen Formgebung der einzelnen Folien für den Folienstapel, der das Formgedächtnislegierungselement bildet, besteht ein großer Gestaltungsspielraum. Sie kann insbesondere elliptisch, kreisförmig oder dreieckig ausgebildet sein. Es sind aber auch andere Geometrien denkbar. Die Folien werden nach bekannten Verfahren, beispielsweise mittels Laserschneiden oder nasschemischem Ätzen, strukturiert.
Es können auch mehrere Formgedächtniselemente in einem Antrieb verwendet werden. Anstatt dass das Formgedächtnislegierungselement flächig an einer Seite des Antriebsgehäuses festliegt, können zwei oder mehrere Formgedächtnislegierungselemente jeweils um 90° gedreht so in das Antriebsgehäuse eingesetzt werden, dass die Folien sich an ihrem Außenumfang am Antriebsgehäuse abstützen. Der zentrale Durchgang wird dann zwischen den zwei oder mehreren zentrisch angeordneten Formgedächtnislegierungselementen ausgebildet.
Die Folien werden gemäß einer erfindungsgemäßen Ausführungsform unter elektrischem Stromfluss im Inneren ihrer Körper erhitzt. Typische Materialien für Formgedächtnislegierungen sind NiTi-, CuZn-, oder FeNiAl-Legierungen. Die Umwandlungstemperaturen liegen im Bereich zwischen 100 und 300°C. Es sind aber auch Formgedächtnislegierungen bekannt, bei denen die Umwandlungstemperatur schon bei 40 bis 70°C liegt. Die Temperaturbeaufschlagung kann auch ohne direkte elektrische Kontaktierung des Formgedächtnislegierungselements, beispielsweise durch ein Heizelement oder Übertragung durch Kontakt mit einem Medium erfolgen. Eine weitere Möglichkeit der Temperaturbeaufschlagung des Formgedächtnislegierungselements kann dadurch erfolgen, dass die Feder elektrisch kontaktiert wird und in elektrisch leitender Verbindung zum Formgedächtnislegierungselement steht. Dazu kann das Formgedächtnislegierungselement so ausgestaltet sein, dass eine außen liegende Folie keinen zentralen Durchgang aufweist und die Feder auf dieser Folie aufliegt.
Es werden vorzugsweise auch aktive oder passive Kühlelemente zur Kühlung des Formgedächtnislegierungselements eingesetzt. Dadurch lassen sich die Schaltzeiten bei Anwendung des Antriebs in Mikroventilen erheblich verkürzen. Peltier-Elemente sind auch in Mikroausführungen bekannt.
Der erfindungsgemäße Antrieb eignet sich besonders als Aktor in Mikroventilen, insbesondere in stromlos geschlossenen Mikroventilen. In einer Ausführungsform weist ein Mikroventil mit erfindungsgemäßem Antrieb ein Fluidgehäuse mit mindestens einem Ventilsitz und einem dem Ventilsitz gegenüberliegenden Dichtungselement auf. Das Dichtungselement wirkt mit dem Formgedächtniselement zusammen und es übt auf das Dichtungselement zum Öffnen des Ventils gegen die Druckfederkraft eine Betätigungskraft aus.
Das Dichtungselement kann als Membran ausgebildet sein, die zwischen Fluid- und Antriebsgehäuse eingespannt ist. Das Dichtungselement kann aber auch am Übertragungselement auf der dem Ventilsitz benachbarten Seite angeordnet sein.
Weitere Merkmale und Vorteile der Erfindung ergeben sich aus der nachfolgenden Beschreibung unter Bezugnahme auf die beigefügten Zeichnungen. In den Zeichnungen zeigen:
1a eine Schnittzeichnung durch ein Mikroventil in „geschlossen”-Stellung;
1b eine Schnittzeichnung entsprechend 1a in „offen”-Stellung;
2a eine Schnittzeichnung durch eine zweite Ausführungsform eines Mikroventils in „geschlossen”-Stellung;
2b eine Schnittzeichnung durch das Mikroventil entsprechend 2a in „offen”-Stellung;
3a eine Draufsicht auf ein erfindungsgemäßes Formgedächtnislegierungselement;
3b eine Draufsicht auf eine weitere Ausführungsform eines Formgedächtnislegierungselements;
4a–k Draufsichten auf Ausführungsformen von Folien zum Aufbau von Formgedächtnislegierungselementen, und
5 eine alternative Ausführungsform des Antriebs des Mikroventils.
In 1a ist ein Schnittbild eines Mikroventils 10 dargestellt, das ein Antriebsgehäuse 20 und ein Fluidgehäuse 30 mit Ventilsitz 40 aufweist. Das Antriebsgehäuse 20 kann zweiteilig aufgebaut sein. Zwischen dem Antriebsgehäuse 20 und dem Fluidgehäuse 30 ist eine Membran 50 angeordnet. Das Antriebsgehäuse 20 weist eine Kammer 60 auf, die zum Fluidgehäuse 30 hin offen ist, in der eine Feder 70, ein Formgedächtnislegierungselement 80 und ein Übertragungselement 90 angeordnet sind. Das Formgedächtnislegierungselement 80 liegt mit einer Seite an der Abstützung 110 des Gehäuses 20 fest und mit seiner dieser gegenüberliegenden Seite am Übertragungselement 90. Auf derselben Gehäuseseite liegt die Feder 70 mit ihrem einen Ende an der Abstützung 120 auf sowie mit ihrem zweiten Ende am Übertragungselement 90. Es liegen also auch Feder 70 und Formgedächtnislegierungselement 80 an der gleichen Seite des Übertragungselements 90 fest.
Das Formgedächtnislegierungselement 80 weist mindestens ein Paar von aufeinander gestapelten Folien 130 auf, die an ihrem Außenumfang mindestens abschnittsweise miteinander verbunden sind. Je nach Form der Folien 130 können beispielsweise zwei dreieckige Folien 130 an ihren drei Ecken punktuell, insbesondere durch Schweißen, miteinander verbunden werden. Kreisförmige Folien können an ihrem kompletten Außenumfang miteinander verbunden werden. Auf diese Weise ähnelt das Formgedächtnislegierungselement 80 äußerlich einem Stapel aus Tellerfedern. Dadurch dass mehrere Folien 130 aufeinander gestapelt werden, steht vorteilhaft ein größerer Weg zur Verfügung, als wenn nur eine einzige Folie verwendet werden würde. Dieser Weg kann bei Anwendung in Ventilen als Hub genutzt werden.
Im Formgedächtnislegierungselement 80 ist ein zentraler Durchgang 140 zur Aufnahme der Feder 70 angeordnet. Je nachdem welche Kraft und Weg durch das Formgedächtnislegierungselement 80 bereit gestellt werden sollen, können Feder 70 und Formgedächtnislegierungselement 80 auch so ausgelegt werden, dass die Feder 70 einen größeren Innendurchmesser aufweist als das Formgedächtnislegierungselement 80 und dann die Feder 70 das Formgedächtnislegierungselement 80 in ihrem Innenraum aufnehmen kann.
Die Feder 70 ist gespannt und drückt das Übertragungselement 90 auf die Membran 50 und den Ventilsitz 40, wodurch dieser geschlossen ist. Gleichzeitig drückt die Feder 70 das Formgedächtnislegierungselement 80 in eine ausgelenkte Position auseinander. Dabei ist die Feder 70 eine Druckfeder und greift im Formgedächtnislegierungselement 80 an der von der Abstützung 120 am weitesten entfernten Folie 130 an. So wird die komplette Höhe des Formgedächtnislegierungselements 80 ausgenutzt.
Wie in 1a gezeigt können auch mehrere Paare von Folien 130 im Formgedächtnislegierungselement 80 aufeinander gestapelt werden. Benachbarte Folien zweier Folienpaare werden jeweils am Umfang des zentralen Durchgangs 140 miteinander verbunden. So erhält das Formgedächtnislegierungselement 80 eine federähnliche Geometrie. Die Folien 130 können ziehharmonikaartig auseinandergezogen oder zusammengedrückt werden.
In einer bevorzugten Ausführungsform sind Formgedächtnislegierungselement 80 und Übertragungselement 90 fest miteinander verbunden. Dadurch macht das Übertragungselement 90 die Bewegungen des Aktors mit. Dieser Antrieb kann auch in Ventilen eingesetzt werden, bei denen nur ein geringer Mediumsdruck zur Verfügung steht. Das Ventil öffnet dann nach Aktivierung des Formgedächtnislegierungselements 80 selbstständig ahne Unterstützung durch das Medium. Stehen jedoch höhere Mediumsdrücke zur Verfügung, so kann auf eine Verbindung von Formgedächtnislegierungselement 80 und Übertragungselement 90 verzichtet werden.
Die Folien 130 die zum Formgedächtnislegierungselement 80 aufeinander gestapelt sind, weisen elektrische Kontakte auf. Bei Strombeaufschlagung werden die Folien 130 im Inneren ihrer Körper erhitzt, womit das ”Gedächtnis” des Formgedächtnislegierungselements 80 aktiviert wird: dieses nimmt seine ihm eingeprägte Form ein.
1b zeigt ein Schnittbild des Mikroventils 10 entsprechend der 1a in geöffnetem Zustand. Das Formgedächtnislegierungselement 80 ist hier in seiner weniger ausgelenkten Position dargestellt, die es bei Temperaturerhöhung/Strombeaufschlagung einnimmt. Das Formgedächtnislegierungselement 80 zieht sich zusammen, wobei die Feder 70 weiter belastet wird. In Folge geben das Übertragungselement 90 und die Membran 50 den Ventilsitz 40 frei.
Um die Schaltzeiten des Mikroventils 10 zu verkürzen, wird in einer günstigen Ausführungsform ein aktives oder passives Kühlelement, insbesondere ein Mikropeltierelement eingesetzt.
2a zeigt ein Schnittbild einer weiteren Ausführungsform des Mikroventils 10 in geschlossenem Zustand. Dieses Mikroventil enthält alle Bauteile wie das in 1a dargestellte Ventil, nur in einer anderen Anordnung der Teile zueinander. Das Formgedächtnislegierungselement 80 stützt sich an der Abstützung 110 auf einer Seite des Antriebsgehäuses 20 ab, die Feder 70 an der Abstützung 120, die auf der zu dieser gegenüberliegenden Seite des Antriebsgehäuses 20 angeordnet ist. Feder 70 und Formgedächtnislegierungselement 80 liegen mit ihrem anderen Ende auf sich gegenüberliegenden Seiten des Übertragungselements 90 auf. Die Feder 70 greift an der zur Abstützung 120 am nächsten gelegenen Folie 130 an und drückt das Formgedächtnislegierungselement 80 in eine ausgelenkte Form zusammen. Diese Anordnung hat den Vorteil, dass das Übertragungselement 90 auf dem Formgedächtnislegierungselement 80 aufliegt und deshalb diese beiden Bauelemente unabhängig von den Druckverhältnissen des Mediums nicht notwendigerweise fest miteinander verbunden sein müssen, da so das Übertragungselement 90 die Aktorbewegung mitmacht.
In 2b ist ein Schnittbild des Mikroventils 10 aus 2a in geöffnetem Zustand dargestellt. Das Formgedächtnislegierungselement 80 ist hier in seiner weniger ausgelenkten Position gezeigt, die es bei Strombeaufschlagung einnimmt. Das Formgedächtnislegierungselement 80 dehnt sich bei ”Erinnerung” unter erhöhter Temperatur an seine ihm eingeprägte Form aus, wobei die Feder 70 weiter belastet wird. In Folge geben das Übertragungselement 90 und die Membran 50 den Ventilsitz 40 frei.
3a zeigt ein Formgedächtnislegierungselement 80, das aus aufeinander gestapelten Folien 130 aufgebaut ist und den zentralen Durchgang 140 aufweist. An den außen liegenden Folien 130 sind auf sich gegenüberliegenden Seiten elektrische Kontaktierungen 150 angebracht. Die Position der elektrischen Kontaktierungen 150 ist aber wählbar und kann entsprechend der Einbausituation im Ventil 10 angepasst werden. Die Folien 130 weisen eine elliptische Form auf. In jedem Folienpaar sind die Folien 130 an ihrem Außenumfang zumindest abschnittsweise miteinander verbunden. Benachbarte aufeinander gestapelte Folienpaare sind am Umfang des zentralen Durchgangs 140 miteinander verbunden, insbesondere verschweißt. Der zentrale Durchgang 140 ist in der Ausführungsform nach 3a kreisförmig ausgebildet. Dieser kann aber auch eine andere Geometrie haben, wie beispielsweise in 3b gezeigt.
In 3b ist das Formgedächtnislegierungselement 80 aus kreisförmigen Folien 130 aufgebaut. Der zentrale Durchgang 140 ist ebenfalls kreisförmig ausgestaltet, weist aber zusätzlich radiale Aussparungen 160 auf, die sich vom Zentrum nach außen erstrecken. Dadurch bleiben im Wesentlichen dreieckige Folienabschnitte 170 stehen, die mit jeweils einer Ecke 180 zum zentralen Durchgang 140 weisen. Benachbarte Folienpaare sind an den Ecken 180 miteinander verbunden.
Die 4a bis 4k zeigen beispielhaft verschiedene Ausführungsformen der Folien 130 mit zentralem Durchgang 140. Die grollen gestalterischen Möglichkeiten sind hier erkennbar.
In 5 ist eine Ausgestaltung des Antriebs des Mikroventils gezeigt, wie er in seinem grundsätzlichen Aufbau von den 1a und 1b bekannt ist. Für die von der Ausführungsform der 1a und 1b bekannten Bauteile werden dieselben Bezugszeichen verwendet, und es wird auf die obigen Erläuterungen verwiesen.
Im Unterschied zur Ausführungsform der 1a und 1b ist bei der Ausgestaltung gemäß 5 das Formgedächtnislegierungselement 80 auf der Seite, die dem Übertragungselement 90 zugewandt ist, geschlossen ausgeführt. Die Feder 70 stützt sich also auf der Innenseite der untersten Folie 130 an, die sie wiederum am Übertragungselement 90 abstützt.
ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG
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Zitierte Patentliteratur

DE 10233601 [0003]

Claims

Antrieb für ein Mikroventil mit einem Gehäuse, einer Feder und mindestens einem Formgedächtnislegierungselement, das – auslenkbar am Gehäuse festliegt, – durch die Feder in eine ausgelenkte Stellung belastet ist, – durch Temperaturerhöhung und dadurch wirksam werdenden Formgedächtniseffekt entgegen zunehmender Belastung durch die Feder in eine zumindest weniger weit ausgelenkte Stellung bewegbar ist.
Antrieb nach Anspruch 1, bei dem das mindestens eine Formgedächtnislegierungselement wenigstens ein Paar von aufeinander gestapelten Folien aufweist, die zumindest abschnittsweise an ihrem Außenumfang miteinander verbunden sind und durch die Feder in die ausgelenkte Stellung auseinander oder zusammen gedrückt werden.
Antrieb nach Anspruch 2, bei dem die Folien einen zentralen Durchgang für die Feder oder ein mit der Feder zusammenwirkendes Übertragungselement aufweisen.
Antrieb nach Anspruch 3, bei dem die Feder eine Druckfeder ist, die auf einer Abstützung am Gehäuse anliegt und an der von der Abstützung am weitesten entfernten Folie angreift.
Antrieb nach Anspruch 3, bei dem die Feder eine Druckfeder ist, die auf einer Abstützung am Gehäuse anliegt und an der zur Abstützung am nächsten liegenden Folie angreift.
Antrieb nach Anspruch 3, 4 oder 5, bei dem mindestens zwei Paare von Folien aufeinander gestapelt sind und benachbarte Folien zweier Paare am Umfang des zentralen Durchgangs für die Feder oder das mit der Feder zusammenwirkende Übertragungselement miteinander verbunden sind.
Antrieb nach einem der vorstehenden Ansprüche, wobei das Formgedächtnislegierungselement und die Feder auf derselben Seite eines Übertragungselements angreifen.
Antrieb nach einem der vorstehenden Ansprüche, wobei das Formgedächtnislegierungselement und die Feder auf sich gegenüberliegenden Seiten eines Übertragungselements angreifen.
Antrieb nach Anspruch 7 oder 8, wobei das Formgedächtnislegierungselement mit dem Übertragungselement fest verbunden ist.
Antrieb nach einem der vorstehenden Ansprüche, wobei die Folien eine insbesondere elliptische, kreisförmige oder dreieckige Form aufweisen.
Antrieb nach einem der vorstehenden Ansprüche, wobei die Folien durch elektrischen Stromfluss im Inneren ihrer Körper erhitzbar sind.
Antrieb nach einem der vorstehenden Ansprüche, wobei die Folien mittels eines aktiven oder passiven Kühlelements kühlbar sind.
Mikroventil, insbesondere stromlos geschlossenes Mikroventil, mit einem Fluidgehäuse, mindestens einem Ventilsitz, einem dem Ventilsitz gegenüberliegenden Dichtungselement und einem Antrieb nach einem der vorstehenden Ansprüche, wobei das Formgedächtnislegierungselement mit dem Dichtungselement zusammenwirkt und eine Betätigungskraft auf das Dichtungselement zum Schließen und öffnen des Ventilsitzes mit bzw. gegen eine Druckfederkraft ausübt.
Mikroventil nach Anspruch 13, wobei zwischen dem Ventilsitz und dem Übertragungselement eine Membran angeordnet ist.
Mikroventil nach Anspruch 13 oder 14, wobei seine äußeren Abmessungen etwa 5 mm × 5 mm × 5 mm betragen.