DE102011083139A1 - Substrate processing system such as vacuum coating equipment, has substrate carriers that mesh with each other in substrate transfer position such that they are pivoted back and forth between two tilt positions, in inclined manner - Google Patents
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Abstract
Description
Die Erfindung betrifft eine Substratträgeranordnung, ein Substratbehandlungsverfahren sowie eine Substratbehandlungsanlage. The invention relates to a substrate carrier arrangement, a substrate treatment method and a substrate treatment system.
Wie bereits in der
In horizontalen Substratbehandlungsanlagen werden die Substrate auf einer Transporteinrichtung liegend durch die Anlagenkammer transportiert. Derartige Transporteinrichtungen umfassen häufig eine Anordnung von langgestreckten, beidseitig drehbar gelagerten Transportwalzen, von denen wenigstens ein Teil antreibbar ist. In horizontal substrate treatment plants, the substrates are transported on a transport device through the installation chamber. Such transport devices often comprise an arrangement of elongate, rotatably mounted on both sides transport rollers, of which at least a part is driven.
In vertikalen Substratbehandlungsanlagen werden die Substrate auf einer Transporteinrichtung stehend durch die Anlagenkammer transportiert. Hier kommen häufig Transporteinrichtungen zum Einsatz, die eine Anordnung von (meist nur einseitig) drehbar gelagerten Transportrollen umfassen, von denen wenigstens ein Teil antreibbar ist. Die Substrate stehen entweder direkt mit einer Kante auf dem Transportrollen (carrierloser Transport) oder sie sind in einem Substratträger (Carrier) gehalten, der seinerseits auf den Transportrollen steht. In beiden Fällen sind die Substrate entweder exakt vertikal ausgerichtet oder leicht aus der vertikalen Richtung gekippt, um eine stabile Gleichgewichtslage zu erreichen. In vertical substrate treatment plants, the substrates are transported on a transport device standing through the plant chamber. Here are often transport facilities are used, which comprise an arrangement of (usually only one side) rotatably mounted transport rollers, of which at least one part is driven. The substrates are either directly with an edge on the transport rollers (carrierless transport) or they are held in a substrate carrier (carrier), which in turn is on the transport rollers. In either case, the substrates are either aligned exactly vertically or slightly tilted from the vertical direction to achieve a stable equilibrium position.
Bei Substratträger-Transporteinrichtungen in diesen Anlagen ist neben der sicheren Halterung des Substrats auch zu beachten, dass diese zum einen den Beschichtungsvorgang selbst nicht beeinträchtigen, etwa durch eine Abschattung der Substratoberfläche, oder dass sie das Substrat während des Handlings, beispielsweise während des Be- und Entladens nicht beschädigen. In substrate carrier transport devices in these systems, in addition to the secure mounting of the substrate, it should also be noted that these do not affect the coating process itself, for example by shading the substrate surface, or that the substrate during handling, for example during loading and Do not damage the unloading.
Besondere Anforderungen werden an Substratträger-Transporteinrichtungen gestellt, wenn das Substrat einer beidseitigen Behandlung, beispielsweise einer Reinigung oder einer Beschichtung auf der Vorder- und auf der Rückseite unterzogen werden soll. Bei einer beidseitigen Beschichtung wird das Substrat in einem ersten Beschichtungsschritt mit einer ersten Seite, beispielsweise der Vorderseite, an einer ersten Beschichtungsquelle, beispielsweise einem Magnetron vorbeigeführt und in einem zweiten Beschichtungsschritt mit der zweiten Seite an der ersten oder einer zweiten Beschichtungsquelle vorbeigeführt, wobei zwischen beiden Beschichtungsschritten selbstverständlich mehrere Zwischenbehandlungsschritte liegen können. Dabei lehnt sich das Substrat mit seiner jeweils nicht zu beschichtenden Seite unter einer leichten Neigung von 3° bis 8° an den Substratträger an. Da der Substratträger den Beschichtungsvorgang beeinflussen würde, wenn er sich auf der zu beschichtenden Seite befände, muss der Substratträger zwischen der Beschichtung der ersten Seite und der Beschichtung der zweiten Seite gewechselt werden. Dies stellt sich unter Einhaltung der o.g. Bedingungen als problematisch dar. Die Herausforderung vergrößert sich bei Substraten im Glasgroßformat mit beispielsweise 3300 mm × 6000 mm. Particular requirements are placed on substrate carrier transport devices when the substrate is to be subjected to a two-sided treatment, for example a cleaning or a coating on the front and on the back. In the case of a coating on both sides, in a first coating step the substrate is guided past a first coating source, for example a magnetron, by a first side, for example the front side, and past the first or a second coating source in a second coating step with the second side, between both Coating steps can of course be several intermediate treatment steps. In this case, the substrate with its respective non-coated side leans against the substrate carrier at a slight inclination of 3 ° to 8 °. Since the substrate carrier would affect the coating process when it was on the side to be coated, the substrate carrier must be changed between the first side coating and the second side coating. This arises in compliance with the o.g. Conditions are problematic. The challenge increases with substrates in large glass format with, for example, 3300 mm × 6000 mm.
Es sollen daher Verfahren und Vorrichtungen vorgeschlagen werden, die eine automatisierte Vorder- und Rückseitenbehandlung, wie Beschichtung, Trockenätzen und dergleichen Dünnschichttechnologien, insbesondere an großflächigen scheibenförmigen Substraten automatisiert ermöglichen, ohne einen zusätzlichen Manipulator zu benötigen, ohne die Schichtqualität zu beeinträchtigen und ohne die Substrate zwischendurch ausschleusen zu müssen. Therefore, methods and devices are to be proposed which enable automated front and backside treatment, such as coating, dry etching, and similar thin film technologies, especially on large disk-shaped substrates, without requiring an additional manipulator, without affecting the film quality and without the substrates in between to have to evacuate.
Dazu wird zunächst eine Substratbehandlungsanlage vorgeschlagen, die eine Anlagenkammer, in der Anlagenkammer mindestens eine Substratbehandlungseinrichtung und eine Transporteinrichtung zum Transport scheibenförmiger Substrate an der Substratbehandlungseinrichtung vorbei umfasst, wobei
- – die Transporteinrichtung mindestens zwei beweglich gelagerte Substratträger umfasst, die jeweils einen Grundkörper aufweisen mit einer Substratauflagefläche und Substrathaltemitteln, die die Substratauflagefläche nach unten begrenzen,
- – beide Substratträger in eine Übergabeposition bringbar sind, in der die Substratträger mit einander zugewandten Substratauflageflächen und einander zugewandten Substrathaltemitteln parallel zueinander angeordnet sind,
- – die Substrathaltemittel beider Substratträger in vertikaler Richtung auf gleicher Höhe und in horizontaler Richtung relativ zueinander so angeordnet sind, dass die Substrathaltemittel beider Substratträger in der Übergabeposition ineinander greifen, und
- – beide Substratträger zumindest in der Übergabeposition zwischen einer ersten Neigungsposition und einer zweiten, bezüglich der Vertikalen entgegengesetzten Neigungsposition hin und her schwenkbar sind.
- The transport device comprises at least two movably mounted substrate carriers each having a base body with a substrate support surface and substrate holding means which bound the substrate support surface downwards,
- - Both substrate carrier can be brought into a transfer position, in which the substrate carrier with mutually facing substrate support surfaces and facing substrate holding means are arranged parallel to each other,
- - The substrate holding means of the substrate carrier in the vertical direction at the same height and in the horizontal direction are arranged relative to each other so that the substrate holding means of both substrate carrier engage in the transfer position, and
- - Both substrate carrier at least in the transfer position between a first tilt position and a second, with respect to the vertical tilt position back and forth are pivotally.
Zur Realisierung der vorgeschlagenen Substratbehandlungsanlage wird ein neuartiger Substratträger vorgeschlagen, bei dem ein scheibenförmiges Substrat auf eine Reihe horizontal nebeneinander beabstandeter Substrathaltemittel gestellt wird, die am Grundkörper angebracht sind, und wobei das Substrat sich mit seiner Rückseite an der Substratauflagefläche des Grundkörpers abstützt, wenn dieser in leicht aus der vertikalen Richtung geneigter Position gehalten wird. Die Substrathaltemittel können dabei beispielsweise einfache Quader sein, die jeweils mit horizontalem Abstand zu den benachbarten Substrathaltemitteln am Grundkörper des Substratträgers, der beispielsweise als Platte oder als Rahmen ausgeführt sein kann, angebracht sind. For the realization of the proposed substrate treatment system, a novel substrate carrier is proposed, in which a disk-shaped substrate is placed on a row of horizontally juxtaposed substrate holding means, which on the Base body are mounted, and wherein the substrate is supported with its back on the substrate support surface of the base body when it is held in slightly inclined from the vertical direction position. The substrate holding means may be, for example, simple cuboids, which are each mounted at a horizontal distance from the adjacent substrate holding means on the base body of the substrate carrier, which may be designed, for example, as a plate or as a frame.
Das Substrat braucht dabei nicht wie sonst üblich am Substratträger befestigt zu werden; es steht aufgrund seines Gewichts auf den Substrathaltemitteln und wird durch die Reibung zwischen der Substratkante und den Substrathaltemitteln sowie der Substratrückseite und der Substratauflagefläche mit dem Substratträger durch die Substratbehandlungsanlage bewegt. Selbstverständlich können dennoch zusätzliche seitliche Substrathaltemittel am Grundkörper angeordnet sein, um sicher zu verhindern, dass das Substrat auf der Substratauflagefläche in der Transportrichtung verrutscht. The substrate does not need to be attached to the substrate carrier as usual; it is due to its weight on the substrate holding means and is moved by the friction between the substrate edge and the substrate holding means and the substrate rear side and the substrate support surface with the substrate carrier through the substrate treatment system. Of course, additional lateral substrate holding means may nevertheless be arranged on the base body in order to reliably prevent the substrate from slipping on the substrate support surface in the transport direction.
Der Grundkörper kann, wie oben bereits ausgeführt, beispielsweise als durchgehende Platte oder auch als Rahmen ausgeführt sein, wobei bei einer durchgehenden Platte eine besonders homogene Temperaturverteilung im Substrat erzielt werden kann, während bei einem Rahmen ein relativ geringes Gewicht des Substratträgers erzielt werden kann. in beiden Fällen kann die Rückseite des Substratträgers als Stützfläche für Stützelemente dienen, die den Substratträger in einer aus der vertikalen Richtung geneigten Position abstützen. Solche Stützelemente können beispielsweise in der Anlagenkammer angeordnete drehbare Stützrollen sein, die auf der Stützfläche des Grundkörpers abrollen. Die Stützfläche kann beispielsweise entlang der oberen Kante des Grundkörpers, aber auch mittig angeordnet sein, wobei in diesem Fall bei einem rahmenförmigen Grundkörper ein ebenfalls mittig angeordneter Holm benötigt wird, der die Stützfläche für die Stützelemente bereitstellt. The base body can, as already stated above, be embodied for example as a continuous plate or as a frame, wherein a continuous plate, a particularly homogeneous temperature distribution can be achieved in the substrate, while in a frame, a relatively low weight of the substrate carrier can be achieved. In both cases, the back of the substrate support can serve as a support surface for support elements, which support the substrate carrier in a tilted position from the vertical direction. Such support elements may be, for example, arranged in the system chamber rotatable support rollers, which roll on the support surface of the body. The support surface may be arranged, for example, along the upper edge of the main body, but also in the middle, in which case a frame-shaped main body also requires a centrally arranged spar which provides the support surface for the support elements.
Für eine reibungslose Übergabe des Substrats vom ersten auf den zweiten Substratträger ist es nötig, dass die Substrathaltemittel, die die Substratauflagefläche nach unten begrenzen, einerseits in vertikaler Richtung auf gleicher Höhe angeordnet sind und andererseits in horizontaler Richtung so angeordnet sind, dass die Substrathaltemittel des ersten Substratträgers und die Substrathaltemittel des zweiten Substratträgers ineinandergreifen können, d.h. die Substrathaltemittel des ersten Substratträgers greifen jeweils in die Abstände zwischen den Substrathaltemitteln des zweiten Substratträgers und umgekehrt. For a smooth transfer of the substrate from the first to the second substrate carrier, it is necessary that the substrate holding means, which limit the substrate support surface down, are arranged on the one hand in the vertical direction at the same height and on the other hand arranged in a horizontal direction so that the substrate holding means of the first Substrate carrier and the substrate holding means of the second substrate carrier can engage, ie The substrate holding means of the first substrate carrier respectively engage in the spacings between the substrate holding means of the second substrate carrier and vice versa.
Die Funktionsweise der vorgeschlagenen Vorrichtung, insbesondere die Übergabe des oder der Substrate vom ersten auf den zweiten Substratträger, wird weiter unten im Zusammenhang mit dem vorgeschlagenen Verfahren näher erläutert. The mode of operation of the proposed device, in particular the transfer of the substrate (s) from the first to the second substrate carrier, will be explained in more detail below in connection with the proposed method.
Gemäß einer Ausgestaltung ist mindestens ein Substratträger auf einer Anordnung drehbar gelagerter Transportrollen, von denen wenigstens ein Teil antreibbar ist, beweglich gelagert, um den Substratträger auf den Transportrollen stehend durch die Anlagenkammer bewegen zu können. Selbstverständlich sind auch anders gestaltete Transporteinrichtungen verwendbar, beispielsweise Anordnungen von Transportrollen, an denen die Substratträger hängen, Schienensysteme, auf denen die Substratträger mittels am Grundkörper angebrachter Laufrollen fahren oder dergleichen. According to one embodiment, at least one substrate carrier is movably mounted on an arrangement of rotatably mounted transport rollers, of which at least one part is drivable, in order to be able to move the substrate carrier standing on the transport rollers through the installation chamber. Of course, differently designed transport devices can be used, for example, arrangements of transport rollers to which the substrate carriers hang, rail systems on which drive the substrate carrier mounted on the base body rollers or the like.
Weiter kann vorgesehen sein, dass die Substratträger mindestens zwei in vertikaler Richtung übereinander angeordnete Gruppen von Substrathaltemitteln aufweisen. Dadurch ist es möglich, zwei oder auch mehrere kleinere Substrate, die übereinander angeordnet sind, auf ein und demselben Substratträger durch die Anlagenkammer zu bewegen. Gleichermaßen ist es damit möglich, zwei oder mehrere Substrate, die übereinander angeordnet sind, gemäß dem weiter unten näher beschriebenen Verfahren von einem ersten Substratträger auf einen zweiten Substratträger zu übergeben. It can further be provided that the substrate carriers have at least two groups of substrate holding means arranged one above the other in the vertical direction. This makes it possible to move two or more smaller substrates, which are arranged one above the other, on one and the same substrate carrier through the installation chamber. Likewise, it is thus possible to transfer two or more substrates, which are arranged one above the other, according to the method described in more detail below from a first substrate carrier to a second substrate carrier.
Gemäß einer weiteren Ausgestaltung weisen die Substratträger auf jeder Seite mindestens eine Substratauflagefläche und Substrathaltemittel, die die Substratauflagefläche nach unten begrenzen, auf. Solche Substratträger haben den Vorteil, dass beide Seiten verwendet werden können, so dass ein erster Substratträger, nachdem das darauf angebrachte Substrat auf einen zweiten Substratträger übergeben wurde, selbst als zweiter Substratträger zur Aufnahme eines Substrats von einem ersten Substratträger zur Verfügung steht, ohne ihn wenden zu müssen. According to a further embodiment, the substrate carriers have on each side at least one substrate support surface and substrate holding means which limit the substrate support surface downwards. Such substrate carriers have the advantage that both sides can be used, so that a first substrate carrier, after the substrate attached thereto has been transferred to a second substrate carrier, is itself available as a second substrate carrier for receiving a substrate from a first substrate carrier, without turning it over to have to.
Dabei ist es vorteilhaft, den Substratträger so auszuführen, dass die Substrathaltemittel der beiden Seiten des Substratträgers in horizontaler Richtung versetzt zueinander angeordnet sind. Wenn alle verwendeten Substratträger gleichartig in dieser Weise ausgeführt sind, so können stets die Substrataufnahmemittel der Vorderseite eines beliebigen Substratträgers und die Substrataufnahmemittel der Rückseite eines beliebigen anderen Substratträgers kollisionsfrei ineinandergreifen. It is advantageous to design the substrate carrier such that the substrate holding means of the two sides of the substrate carrier are arranged offset from one another in the horizontal direction. If all the substrate carriers used are embodied identically in this way, then the substrate receiving means of the front side of any substrate carrier and the substrate receiving means of the rear side of any other substrate carrier can always intermesh without collision.
In der vorgeschlagenen Substratbehandlungsanlage ist das nachfolgend beschriebene Verfahren vorteilhaft ausführbar. In the proposed substrate treatment system, the method described below can be advantageously carried out.
Vorgeschlagen wird ein Substratbehandlungsverfahren, bei dem
- – ein scheibenförmiges Substrat auf einer Substratauflagefläche und Substrathaltemitteln eines ersten Substratträgers angeordnet und in einer Anlagenkammer einer Substratbehandlungsanlage an mindestens einer Substratbehandlungseinrichtung vorbeibewegt wird, wobei
- – zunächst eine erste Seite des Substrats und anschließend eine zweite Seite des Substrats behandelt wird, und wobei
- – zwischen der Behandlung der ersten Seite und der zweiten Seite des Substrats das Substrat von dem ersten Substratträger auf einen zweiten Substratträger übergeben wird, indem
- – der erste und der zweite Substratträger in eine Übergabeposition gebracht werden, in der die Substratträger mit einander zugewandten Substratauflageflächen und einander zugewandten Substrathaltemitteln parallel zueinander in einer ersten, von der Vertikalen abweichenden Neigungsposition angeordnet sind, und
- – beide Substratträger aus der ersten Neigungsposition in eine zweite, bezüglich der Vertikalen entgegengesetzte Neigungsposition geschwenkt werden, wodurch das Substrat auf die Substratauflagefläche und Substrathaltemittel des zweiten Substratträgers übergeben wird.
- A disc-shaped substrate is arranged on a substrate support surface and substrate holding means of a first substrate carrier and in a plant chamber of a substrate treatment system is moved past at least one substrate treatment device, wherein
- - First, a first side of the substrate and then a second side of the substrate is treated, and wherein
- Between the treatment of the first side and the second side of the substrate, the substrate is transferred from the first substrate carrier to a second substrate carrier by
- - The first and the second substrate carrier are brought into a transfer position in which the substrate carriers are arranged with mutually facing substrate support surfaces and facing substrate holding means parallel to each other in a first, deviating from the vertical tilt position, and
- - Both substrate carriers are pivoted from the first tilt position into a second, opposite to the vertical tilt position, whereby the substrate is transferred to the Substratauflagefläche and substrate holding means of the second substrate carrier.
Bei dem vorgeschlagenen Verfahren wird nach der Behandlung der Vorderseite des Substrats auf einem ersten Substratträger das Substrat vollautomatisch und ohne einen zusätzlichen Manipulator auf einen zweiten Substratträger übergeben, so dass das Substrat mit der beschichteten Vorderseite auf der Substratauflagefläche des zweiten Substratträgers liegt und die nun frei zugängliche Rückseite des Substrats behandelt werden kann. In the proposed method, after the treatment of the front side of the substrate on a first substrate carrier, the substrate is transferred fully automatically and without an additional manipulator to a second substrate carrier, so that the substrate with the coated front side lies on the substrate support surface of the second substrate carrier and is now freely accessible Back of the substrate can be treated.
Dazu wird der zweite Substratträger auf die Vorderseite des mit dem ersten Substratträger in einer ersten Neigungsposition stehenden Substrats aufgelegt. Die Substrataufnahmemittel des zweiten Substratträgers greifen zwischen die Substrataufnahmemittel des ersten Substratträgers, berühren jedoch die untere Kante des Substrats, die sich auf den Substrataufnahmemitteln des ersten Substratträgers abstützen, wegen der Neigung beider Substratträger und des Substrats gegenüber der vertikalen Richtung zunächst nicht. Nun wird der gesamte Verbund aus erstem Substratträger, Substrat und zweitem Substratträger über die Vertikale in eine zweite Neigungsposition bewegt. In dem Moment, wenn die Vertikale durchfahren wird, berühren die Substrataufnahmemittel des ersten Substratträgers und die Substrataufnahmemittel des zweiten Substratträgers die untere Kante des Substrats. Bei der Fortführung der Schwenkbewegung heben die Substrataufnahmemittel des zweiten Substratträgers die untere Kante des Substrats aus den Substrataufnahmemitteln des ersten Substratträgers aus, so dass diese schließlich die untere Kante des Substrats in der zweiten Neigungsposition nicht mehr berühren. Schließlich wird der erste Substratträger weg bewegt, so dass das Substrat nun mit einer Neigung auf der Substrataufnahmefläche und den Substrataufnahmemitteln des zweiten Substratträgers aufliegt und zur Behandlung der Rückseite des Substrats bereit ist. For this purpose, the second substrate carrier is placed on the front side of the substrate which is in a first inclination position with the first substrate carrier. The substrate receiving means of the second substrate carrier engage between the substrate receiving means of the first substrate carrier, but do not initially touch the lower edge of the substrate, which are supported on the substrate receiving means of the first substrate carrier due to the inclination of both substrate carrier and the substrate relative to the vertical direction. Now, the entire composite of first substrate carrier, substrate and second substrate carrier is moved over the vertical in a second tilt position. The moment the vertical is passed through, the substrate receiving means of the first substrate carrier and the substrate receiving means of the second substrate carrier touch the lower edge of the substrate. In the continuation of the pivoting movement, the substrate receiving means of the second substrate carrier lift the lower edge of the substrate from the substrate receiving means of the first substrate carrier, so that they finally no longer touch the lower edge of the substrate in the second tilt position. Finally, the first substrate carrier is moved away, so that the substrate now rests with an inclination on the substrate receiving surface and the substrate receiving means of the second substrate carrier and is ready for treatment of the back of the substrate.
In einer Ausgestaltung kann vorgesehen sein, dass mindestens ein Substratträger parallel zu seiner Substratauflagefläche in die Übergabeposition bewegt wird. Beispielsweise kann der erste Substratträger in die Anlagenkammer eingeschleust und von dort aus in gerader Richtung an einer Substratbehandlungseinrichtung vorbei zur Übergabeposition bewegt werden, d.h. ein seitlicher Versatz des Substratträgers relativ zum Transportpfad wird nicht benötigt. In one embodiment it can be provided that at least one substrate carrier is moved parallel to its substrate support surface in the transfer position. For example, the first substrate carrier can be introduced into the installation chamber and be moved from there in a straight direction past a substrate treatment device to the transfer position, i. a lateral offset of the substrate carrier relative to the transport path is not needed.
In einer weiteren Ausgestaltung kann vorgesehen sein, dass mindestens ein Substratträger senkrecht zu seiner Substratauflagefläche in die Übergabeposition bewegt wird. Beispielsweise kann der zweite Substratträger in der Anlagenkammer in der Nähe der Übergabeposition bereitgehalten werden und, wenn der erste Substratträger mit dem einseitig beschichteten Substrat an der Übergabeposition eintrifft, der bereitstehende zweite Substratträger quer zum Transportpfad auf den ersten Substratträger zu bewegt werden. In a further embodiment it can be provided that at least one substrate carrier is moved perpendicular to its substrate support surface in the transfer position. By way of example, the second substrate carrier can be kept ready in the plant chamber in the vicinity of the transfer position and, when the first substrate carrier with the single-sided coated substrate arrives at the transfer position, the waiting second substrate carrier can be moved transversely to the transport path onto the first substrate carrier.
Gemäß einer weiteren Ausgestaltung wird der erste Substratträger in die Anlagenkammer eingeschleust, auf einer ersten Anordnung von Transportrollen an einer Substratbehandlungseinrichtung vorbei zur Übergabeposition bewegt, das Substrat auf den zweiten Substratträger übergeben und der zweite Substratträger auf einer zweiten Anordnung von Transportrollen an einer Substratbehandlungseinrichtung vorbeibewegt bewegt und aus der Anlagenkammer ausgeschleust. Dabei kann die Übergabeposition beispielsweise in einem überlappenden Bereich der ersten Anordnung von Transportrollen und der zweiten Anordnung von Transportrollen in einem mittleren Bereich der Anlagenkammer angeordnet sein, so dass das Substrat linear von der Eingangsschleuse, die an einem ersten Ende der Anlagenkammer angeordnet ist, zur Ausgangsschleuse, die an einem zweiten Ende der Anlagenkammer angeordnet ist, auf beiden Anordnungen von Transportrollen in derselben Transportrichtung bewegt wird (lineare Anlagenkonfiguration). According to a further embodiment, the first substrate carrier is introduced into the installation chamber, moved on a first arrangement of transport rollers past a substrate treatment device to the transfer position, transfer the substrate to the second substrate carrier and the second substrate carrier moved on a second arrangement of transport rollers moved past a substrate treatment device and discharged from the plant chamber. In this case, the transfer position can be arranged for example in an overlapping region of the first arrangement of transport rollers and the second arrangement of transport rollers in a central region of the installation chamber, so that the substrate linear to the output lock from the entrance lock, which is arranged at a first end of the plant chamber , which is arranged at a second end of the plant chamber, is moved on both arrangements of transport rollers in the same transport direction (linear system configuration).
Alternativ kann der zweite Substratträger parallel zum ersten Substratträger mit entgegengesetzter Bewegungsrichtung bewegt werden. In diesem Fall befinden sich die Eingangsschleuse und die Ausgangsschleuse am selben Ende der Anlagenkammer und die Übergabeposition befindet sich am anderen Ende der Anlagenkammer, so dass nach der Übergabe des Substrats vom ersten Substratträger auf den zweiten Substratträger an der Übergabeposition eine Umkehr der Bewegungsrichtung erfolgt (U-förmige Anlagenkonfiguration). Alternatively, the second substrate carrier can be moved parallel to the first substrate carrier in the opposite direction of movement. In this case, the entry lock and the exit lock are at the same end of the installation chamber and the transfer position is at the other end End of the system chamber, so that after the transfer of the substrate from the first substrate carrier to the second substrate carrier at the transfer position, a reversal of the direction of movement takes place (U-shaped system configuration).
Bei einer U-förmigen Anlagenkonfiguration kann weiterhin vorgesehen sein, dass der erste Substratträger und der zweite Substratträger an derselben Substratbehandlungseinrichtung vorbeibewegt werden. Dazu wird die Substratbehandlungseinrichtung zwischen den beiden parallel zueinander verlaufenden Anordnungen von Transportrollen angeordnet, so dass mit nur einer Substratbehandlungseinrichtung zwei Substrate gleichzeitig behandelt werden können. Handelt es sich bei der Substratbehandlungseinrichtung um eine Beschichtungsquelle, beispielsweise ein Magnetron, so werden die Vorderseite und die Rückseite der Substrate in diesem Fall mit demselben Material beschichtet. In the case of a U-shaped system configuration, provision can furthermore be made for the first substrate carrier and the second substrate carrier to be moved past the same substrate treatment device. For this purpose, the substrate treatment device is arranged between the two mutually parallel arrangements of transport rollers, so that two substrates can be treated simultaneously with only one substrate treatment device. If the substrate treatment device is a coating source, for example a magnetron, then the front side and the rear side of the substrates are coated with the same material in this case.
Nachfolgend werden die beschriebenen Vorrichtungen und Verfahren anhand von Ausführungsbeispielen und zugehörigen Zeichnungen näher erläutert. Dabei zeigen The described devices and methods are explained in more detail below on the basis of exemplary embodiments and associated drawings. Show
In
Auf einer Seite des Substratträgers
Auf jeder der beiden Anordnungen von Substrataufnahmemitteln
Die Substrathaltemittel
Diese Phase ist auch in
Die Darstellung von
In der Darstellung von
Bei dieser Konfiguration befinden sich die Eingangsschleuse
Danach erreicht der erste Substratträger
Nach der Übergabe/Übernahme des Substrats
Der zweite Substratträger
Der zweite Substratträger
Bei dieser Konfiguration befinden sich die Eingangsschleuse
Danach erreicht der erste Substratträger
Nach der Übergabe/Übernahme des Substrats
Der zweite Substratträger
Der zweite Substratträger
BezugszeichenlisteLIST OF REFERENCE NUMBERS
- 1 1
- erster Substratträger first substrate carrier
- 11 11
- Grundkörper body
- 12 12
- Substratauflagefläche Substrate supporting surface
- 13 13
- Substrataufnahmemittel Substrate receiving means
- 2 2
- erster Substratträger first substrate carrier
- 21 21
- Grundkörper body
- 22 22
- Substratauflagefläche Substrate supporting surface
- 23 23
- Substrataufnahmemittel Substrate receiving means
- 3 3
- Substrat substratum
- 4 4
- Substratbehandlungseinrichtung Substrate treatment facility
- 5 5
- Stützelement, z.B. Transportrolle Support element, e.g. transport roller
- 6 6
- Anlagenkammer conditioning chamber
- 61 61
- Eingangsschleuse entry lock
- 62 62
- Ausgangsschleuse exit lock
- 63 63
- Übergabeposition Transfer position
- 64 64
- Bereitschaftsposition stand-by position
ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG QUOTES INCLUDE IN THE DESCRIPTION
Diese Liste der vom Anmelder aufgeführten Dokumente wurde automatisiert erzeugt und ist ausschließlich zur besseren Information des Lesers aufgenommen. Die Liste ist nicht Bestandteil der deutschen Patent- bzw. Gebrauchsmusteranmeldung. Das DPMA übernimmt keinerlei Haftung für etwaige Fehler oder Auslassungen.This list of the documents listed by the applicant has been generated automatically and is included solely for the better information of the reader. The list is not part of the German patent or utility model application. The DPMA assumes no liability for any errors or omissions.
Zitierte PatentliteraturCited patent literature
- DE 102007052524 A1 [0002] DE 102007052524 A1 [0002]
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-
2011
- 2011-09-21 DE DE201110083139 patent/DE102011083139B4/en not_active Expired - Fee Related
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
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R012 | Request for examination validly filed | ||
R016 | Response to examination communication | ||
R018 | Grant decision by examination section/examining division | ||
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Effective date: 20140325 |
|
R119 | Application deemed withdrawn, or ip right lapsed, due to non-payment of renewal fee | ||
R119 | Application deemed withdrawn, or ip right lapsed, due to non-payment of renewal fee |
Effective date: 20150401 |