DE102011010682B3 - Coil arrangement for non-contact distance measurement sensor, has core tube around with measuring and compensation coils are wound, such that layers of buckling coil are wound in opposition to layer of measuring coil - Google Patents

Coil arrangement for non-contact distance measurement sensor, has core tube around with measuring and compensation coils are wound, such that layers of buckling coil are wound in opposition to layer of measuring coil Download PDF

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DE102011010682B3 DE201110010682 DE102011010682A DE102011010682B3 DE 102011010682 B3 DE102011010682 B3 DE 102011010682B3 DE 201110010682 DE201110010682 DE 201110010682 DE 102011010682 A DE102011010682 A DE 102011010682A DE 102011010682 B3 DE102011010682 B3 DE 102011010682B3
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Abstract

The coil arrangement has a core tube (1), measuring coil and compensation coil. The measuring coil and the compensation coil are wound around the core tube. The layers (6-8) of buckling coil are wound along the direction opposing the winding direction of a layer (5) of the measuring coil, with respect to the core tube.

Description

Die Erfindung betrifft eine Spulenanordnung, insbesondere für berührungslose Wegaufnehmer bzw. Wegmesssensoren mit elektromagnetischem Wirkprinzip, mit einem Kern oder Kernrohr, einer Messspule und einer Kompensationsspule, wobei die Messspule und die Kompensationsspule auf den Kern bzw. auf das Kernrohr gewickelt sind.The invention relates to a coil arrangement, in particular for non-contact displacement sensors or displacement measuring sensors having an electromagnetic operating principle, with a core or core tube, a measuring coil and a compensation coil, wherein the measuring coil and the compensation coil are wound on the core or on the core tube.

An dieser Stelle sei angemerkt, dass der Begriff „Kern” im weitesten Sinne zu verstehen ist. Es kann sich dabei im Rahmen der planaren Spulentechnologie auch um eine Schicht handeln, um die planare Spulen, bspw. in übereinanderliegenden Lagen einer Multi-Layer-Leiterplatte, angeordnet sind.It should be noted at this point that the term "core" is to be understood in the broadest sense. Within the scope of the planar coil technology, this can also be a layer around which the planar coils, for example in superimposed layers of a multi-layer circuit board, are arranged.

Die Erfindung bezieht sich ganz allgemein auf ein vorzugsweise asymmetrisches Spulensystem für berührungslose Wegaufnehmer, die nach einem elektromagnetischen Wirkungsprinzip arbeiten. Grundsätzlich kommen hier zwei aus der Praxis bekannte Ausführungsformen induktiver Sensoren in Frage, nämlich sog. Wegaufnehmer, bei denen das Messobjekt ein verschiebbarer „Schirm” zur sog. Außenmessung ist oder wonach der Wegaufnehmer einen beweglichen Kern zur sog. Innenmessung umfasst. Das Messprinzip mit einem beweglichen Kern wird auch „Tauchankerprinzip” genannt.The invention relates generally to a preferably asymmetric coil system for non-contact position transducer, which operate on an electromagnetic principle of action. Basically, here two known from practice embodiments of inductive sensors in question, namely so-called. Transducers in which the measurement object is a movable "screen" for so-called. External measurement or after which the transducer comprises a movable core for so-called. Interior measurement. The measuring principle with a moving core is also called "plunger anchor principle".

Asymmetrische Spulensysteme haben üblicherweise ein äußerst günstiges Verhältnis von Baulänge des Sensors zum Messweg. Solche Spulensysteme werden daher bevorzugt für die Erfassung langer Messwege verwendet.Asymmetric coil systems usually have a very favorable ratio of length of the sensor to the measuring path. Such coil systems are therefore preferably used for the detection of long measurement paths.

Asymmetrische Spulensysteme eigenen sich jedoch nicht nur für längere Messwege, bspw. mit mehr als 100 mm, lassen sich vielmehr auch unter Nutzung des Tauchankerprinzips für Messbereiche ab ca. 20 mm einsetzen. Insoweit sind berührungslose Wegmesssensoren mit asymmetrischen Spulensystemen für unterschiedlichste Anwendungen interessant.However, asymmetrical coil systems are not only suitable for longer measuring paths, for example, with more than 100 mm, but can also be used with the use of the plunger anchor principle for measuring ranges from about 20 mm. In that regard, non-contact displacement sensors with asymmetric coil systems for a variety of applications are interesting.

Aus der DE 2 025 734 A ist ein Messumformer bekannt. Genauer gesagt ist aus dieser Druckschrift ein Wirbelstromgeber mit einer Messspule bekannt, die von einem feststehenden Leiter (Gehäuserohr Messspule) mit geringer elektrischer Leitfähigkeit umgeben ist. Ein zweiter, beweglicher Leiter (Messobjekt Sensor) verfügt über eine höhere elektrische Leitfähigkeit und hat eine mit der Spule in Abhängigkeit vom Messwert variable Kopplung. Der bekannte Wirbelstromgeber setzt voraus, dass die Spulenimpedanz einen praktisch rein ohmschen Anteil hat. Dem entsprechend ist die üblicherweise vorhandene induktive Komponente zu unterdrücken. Um dies zu realisieren ist es notwendig, zur Bewicklung der Messspule einen Widerstandsdraht mit möglichst geringem Temperaturkoeffizienten zu verwenden, bspw. einen Manganindraht.From the DE 2 025 734 A is a transmitter known. More specifically, from this document, an eddy current generator with a measuring coil is known, which is surrounded by a fixed conductor (housing tube measuring coil) with low electrical conductivity. A second, movable conductor (measuring object sensor) has a higher electrical conductivity and has a coupling that is variable with the coil depending on the measured value. The known eddy current generator requires that the coil impedance has a virtually pure resistive component. Accordingly, the usual inductive component is to be suppressed. To realize this, it is necessary to use a resistance wire with the lowest possible temperature coefficient for winding the measuring coil, for example a manganese wire.

Bei dem Wirbelstromgeber und dem dort realisierten Messprinzip ist die geringe Empfindlichkeit des Messsignals in Bezug auf das Einwirken des beweglichen Leiters nachteilig. Dieser Nachteil ist zurückzuführen auf den hohen Gleichstromwiderstand der Messspule, der eine wichtige Voraussetzung für die grundsätzliche Funktion dieser Anordnung darstellt. Dies hat wiederum Auswirkungen auf die erreichbare Temperaturstabilität des Systems, die nur geringen Anforderungen genügt. Außerdem ist zur praktischen Umsetzung des aus der DE 2 025 734 A bekannten Wirbelstromgebers eine aufwendige Fertigung erforderlich.In the case of the eddy current generator and the measuring principle realized there, the low sensitivity of the measuring signal with respect to the action of the movable conductor is disadvantageous. This disadvantage is due to the high DC resistance of the measuring coil, which is an important prerequisite for the basic function of this arrangement. This in turn affects the achievable temperature stability of the system, which only meets low requirements. In addition, the practical implementation of the from the DE 2 025 734 A known eddy current generator requires a complicated production.

Im Konkreten wird die Verwendung von mehreren temperaturabhängigen Kompensationswiderständen zur Bestimmung der Oberflächentemperatur an den unterschiedlichen Komponenten des Systems vorgeschlagen. Mit dieser Maßnahme soll eine hinreichend gute Temperaturkompensation des gesamten Systems möglich sein.Specifically, the use of multiple temperature dependent compensation resistors to determine the surface temperature at the different components of the system is proposed. With this measure, a sufficiently good temperature compensation of the entire system should be possible.

Des Weiteren ist die Verwendung von Widerstandsdraht, z. B. Manganin, zur Herstellung der Messspule problematisch, da sich ein solcher Widerstandsdraht schwieriger als üblicherweise verwendetes Kupfer wickeln lässt.Furthermore, the use of resistance wire, z. As manganin, for the preparation of the measuring coil problematic, since such a resistance wire can wind more difficult than commonly used copper.

Zur weiterreichenden Temperaturkompensation ist auch bereits eine zusätzliche Wicklung vorgeschlagen, die auf die Messspule aufgebracht ist. Dazu ist jedoch die Verwendung eines weiteren Werkstoffs erforderlich, der einen hohen spezifischen Widerstand und einen entsprechend hohen Temperaturkoeffizienten aufweisen muss. Dies ist abermals aufwändig.For further temperature compensation, an additional winding is already proposed, which is applied to the measuring coil. However, this requires the use of a further material which must have a high specific resistance and a correspondingly high temperature coefficient. This is again expensive.

Aus der DE 198 32 854 C2 ist ein Verfahren zum Messen linearer Verschiebungen mit einem Primärumformer und einem Messverstärker bekannt. Der Primärumformer weist neben der eigentlichen Messwicklung eine Zusatzwicklung auf. Dies soll einen Fehler mindern oder gar eliminieren, der durch den Einfluss äußerer Faktoren wie Temperatur, Feuchtigkeit, etc. auftritt. Dabei umfassen die Windungen der Messwicklung den zentralen Kern in Querrichtung, während die Windungen der Zusatzwicklung den Kern in Längsrichtung umfassen. Unter Zugrundelegung einer solchen Bewicklungstechnik wird sichergestellt, dass die elektrischen Parameter der Zusatzwicklung nicht von der Lage des Messobjekts abhängig sind.From the DE 198 32 854 C2 For example, a method of measuring linear displacements with a primary transformer and a sense amplifier is known. The primary transformer has an additional winding in addition to the actual measuring winding. This is intended to reduce or even eliminate an error that occurs due to the influence of external factors such as temperature, humidity, etc. In this case, the windings of the measuring winding comprise the central core in the transverse direction, while the turns of the additional winding comprise the core in the longitudinal direction. On the basis of such a winding technique, it is ensured that the electrical parameters of the additional winding do not depend on the position of the test object.

Bei dem aus der DE 198 32 854 C2 bekannten Konzept ist nachteilig, dass für den Kern zur Aufnahme von Mess- und Zusatzwicklung ein Material mit ferromagnetischen Eigenschaften erforderlich ist. Dieses Material muss eine zentrale Axialbohrung für die Durchführung der Windungen der Zusatzwicklung haben.In the from the DE 198 32 854 C2 known concept is disadvantageous that a material with ferromagnetic properties is required for the core for receiving measuring and additional winding. This material must have a central axial bore for the implementation of the turns of the auxiliary winding.

Neben den konstruktiven Anforderungen an den Kern sind weitere Merkmale maßgebend, nämlich Qualitätsmerkmale wie bspw. Streuungen der elektromagnetischen Eigenschaften des Kernmaterials. Halbzeuge, die die zuvor genannten Kriterien halbwegs zufriedenstellend erfüllen, sind schwer erhältlich, auf jeden Fall teuer.In addition to the design requirements for the core, further features are decisive, namely quality features such as, for example, scattering of the electromagnetic properties of the core material. Semifinished products, which fulfill the aforementioned criteria reasonably satisfactorily, are difficult to obtain, in any case expensive.

Des Weiteren ist die Erzeugung der Zusatzwicklung aufwändig, da eine Automatisierung mit vertretbarem Aufwand nicht möglich ist. Aus funktionellen bzw. fertigungstechnischen Gründen müssen Messwicklung und Zusatzwicklung üblicherweise mit zusätzlichen Wickeldrähten ausgeführt werden. Folglich beschränkt sich die Anwendung des bekannten Verfahrens auf kleinere bis mittlere Stückzahlen. Eine Realisierung in Großserie ist wirtschaftlich nicht darstellbar.Furthermore, the generation of the additional winding is complicated because automation with reasonable effort is not possible. For functional or manufacturing reasons, the measuring winding and additional winding usually have to be designed with additional winding wires. Consequently, the application of the known method is limited to small to medium quantities. A realization in mass production is not economically feasible.

Aus der EP 0 875 734 A1 ist ein induktiver Wegaufnehmer in Halb- oder Vollbrückenschaltung bekannt. Bei diesem Wegaufnehmer ist die aktive induktive Tauchspule in einer ¼-Brücke angeordnet. Die anderen ¼-Brückenzweige können als passive ohmsche Widerstände ausgeführt sein.From the EP 0 875 734 A1 is an inductive transducer in half or full bridge circuit known. In this transducer, the active inductive plunger coil is arranged in a ¼-bridge. The other ¼-bridge branches can be designed as passive ohmic resistors.

Zur Kompensation der Nichtlinearität der aus der EP 0 875 734 A1 bekannten Schaltungsanordnung ist eine inhomogene Bewicklung der Messspule vorgesehen, bei der die Windungszahl pro Längeneinheit der Tauchspule in Richtung der Eintauchtiefe stetig oder abschnittsweise in Stufen erhöht ist. Bei diesem Konzept ist die inhomogene Spulenbewicklung nachteilig. Eine Realisierung einer hier erforderlichen Wickeltechnik ist fertigungstechnisch aufwändig und lässt sich ausschließlich mit programmierbaren Wickelmaschinen durchführen. Weiterhin ist es bei dieser Wickeltechnik schwierig, eine gegenüber der konventionellen homogenen Wickeltechnik vergleichbare reproduzierbare Spulenqualität in Serienproduktion zu erreichen. Dies führt zu einer Erhöhung der Streuung und damit zu Qualitätseinbußen in der Sensorfertigung.To compensate for the nonlinearity of the EP 0 875 734 A1 Known circuit arrangement, an inhomogeneous winding of the measuring coil is provided, in which the number of turns per unit length of the plunger coil in the direction of the immersion depth is steadily or partially increased in stages. In this concept, the inhomogeneous Spulenbewicklung is disadvantageous. A realization of a winding technique required here is complex in terms of production and can be carried out exclusively with programmable winding machines. Furthermore, it is difficult in this winding technique to achieve a comparison with the conventional homogeneous winding technology comparable reproducible coil quality in series production. This leads to an increase in the scattering and thus to quality losses in the sensor production.

Außerdem lässt sich aus der EP 0 875 734 A1 folgern, dass für die Kompensationswicklung nicht der gleiche Wickeldraht bzw. die gleiche Herstelltechnologie Verwendung finden kann wie für die Messwicklung. Entsprechend hergestellte Spulensysteme können somit nicht mit üblichem, gleichbleibendem und durchgehendem Fertigungsprozess hergestellt werden. Dies vergrößert die Komplexität des Fertigungsprozesses und führt abermals zu einer Erhöhung der Herstellkosten.Moreover, can be from the EP 0 875 734 A1 conclude that for the compensation winding not the same winding wire or the same manufacturing technology can be used as for the measurement winding. Accordingly manufactured coil systems can thus not be produced with conventional, consistent and continuous manufacturing process. This increases the complexity of the manufacturing process and again leads to an increase in manufacturing costs.

Aus der DE 101 30 615 C2 , insbesondere 2 und 3, ist eine ähnliche Spulenanordnung bekannt, wobei dort elektrische Leiter in Anschlusselementen als Spulensysteme definiert sind. Jedes Spulensystem besteht aus zwei koaxial angeordneten und in Reihe geschalteten Spulen, die gegensinnige Wicklungen aufweisen.From the DE 101 30 615 C2 , especially 2 and 3 , a similar coil arrangement is known, wherein there electrical conductors are defined in connection elements as coil systems. Each coil system consists of two coaxially arranged and connected in series coils having opposing windings.

Die DE 100 00 272 C2 zeigt insbesondere mit 3 einen induktiven Abstandssensor, wobei dort als temperatuabhängige Widerstände mindestens zwei Spulen oder Wicklungen vorgesehen sind. Diese sind derart geschaltet, dass sich deren Induktivitäten aufheben, wobei alle Spulen technisch gleichartig sind.The DE 100 00 272 C2 shows in particular with 3 an inductive distance sensor, where there are provided as temperaturatuabhängige resistors at least two coils or windings. These are switched so that cancel their inductances, all coils are technically similar.

Aus der DE 1 013 878 A ist für sich gesehen eine Längenmessvorrichtung mit induktiver Übertragung der Messwerte bekannt. Ineinanderliegende Induktionsspulen sind dort vorgesehen, wobei diese wiederum mit linearer Steigung gewickelt sind.From the DE 1 013 878 A in itself a length measuring device with inductive transmission of the measured values is known. Nested induction coils are provided there, these in turn are wound with a linear slope.

Die DE 10 2006 061 711 A1 zeigt einen magnetischen Wegsensor mit linearer Kennlinie des Ausgangssignals. Auch dort ist eine Spule mit mindestens zwei übereinanderliegenden Wicklungslagen vorgesehen, wobei ein Permanentmagnet in Längsrichtung der Spulen verfahrbar ist.The DE 10 2006 061 711 A1 shows a magnetic displacement sensor with a linear characteristic of the output signal. Also there, a coil is provided with at least two superimposed winding layers, wherein a permanent magnet in the longitudinal direction of the coil is movable.

Die DE 36 10 479 A1 zeigt einen magnetischen Wegsensor, bei dem zwei Erregerspulen gleichsinnig magnetisiert werden. Zwischen den Erregerspulen ist eine Sekundärspule vorgesehen.The DE 36 10 479 A1 shows a magnetic displacement sensor in which two excitation coils are magnetized in the same direction. Between the excitation coils, a secondary coil is provided.

Die zuvor erörterten Spulenanordnungen haben die gleichen Nachteile wie die Spulenanordnungen aus der DE 20 25 734 A und EP 0 875 734 A1 . Dies gilt insbesondere in Bezug auf die Temperaturstabilität wie auch das elektrische Störverhalten.The previously discussed coil arrangements have the same disadvantages as the coil arrangements of DE 20 25 734 A and EP 0 875 734 A1 , This applies in particular with regard to the temperature stability as well as the electrical disturbance behavior.

Im Lichte der voranstehenden Ausführungen liegt der vorliegenden Erfindung die Aufgabe zugrunde, eine Spulenanordnung der gattungsbildenden Art und einen Sensor, insbesondere einen berührungslos arbeitenden Wegaufnehmer mit einer entsprechenden Spulenanordnung anzugeben, bei dem die im Stand der Technik auftretenden Nachteile eliminiert, zumindest aber ganz erheblich reduziert sind. Die Spulenanordnung soll die Herstellung eines Messwertgebers von hoher Qualität ermöglichen. Notwendige Temperaturstabilität soll gewährleistet sein. Das elektrische Störverhalten, wie es üblicherweise bei asymmetrischen Spulensystemen auftritt, gilt es zu verbessern. Schließlich soll eine automatische Fertigung bei gegenüber dem Stand der Technik reduzierten Fertigungskosten möglich sein.In the light of the foregoing, the present invention seeks to provide a coil assembly of the generic type and a sensor, in particular a non-contact transducer with a corresponding coil arrangement in which eliminates the disadvantages occurring in the prior art, but at least considerably reduced , The coil assembly is intended to enable the production of a transmitter of high quality. Necessary temperature stability should be ensured. The electrical interference, as it usually occurs in asymmetric coil systems, it is necessary to improve. Finally, an automatic production should be possible with respect to the prior art reduced manufacturing costs.

Die voranstehende Aufgabe ist in Bezug auf die erfindungsgemäße Spulenanordnung durch die Merkmale des Patentanspruchs 1 gelöst. Danach ist die gattungsbildende Spulenanordnung dadurch gekennzeichnet, dass die Messspule einlagig oder mehrlagig und die Kompensationsspule mindestens zweilagig mit gegensinniger Wicklung ausgeführt ist, wobei die Lagen zumindest teilweise übereinander angeordnet sind.The above object is achieved with respect to the coil arrangement according to the invention by the features of patent claim 1. After that the generic coil arrangement is characterized in that the measuring coil single-layer or multi-layer and the compensation coil is designed at least two layers with opposite directions winding, wherein the layers are at least partially arranged one above the other.

Der erfindungsgemäße Sensor löst die voranstehende Aufgabe durch die Merkmale des nebengeordneten Patentanspruchs 15, wonach eine erfindungsgemäße Spulenanordnung zum Einsatz kommt.The sensor according to the invention achieves the above object by the features of the independent patent claim 15, according to which a coil arrangement according to the invention is used.

Erfindungsgemäß lassen sich grundsätzlich zwei unterschiedliche Spulenkonzepte realisieren, nämlich zur Herstellung eines Sensors mit „beweglichem Schirm” und zur Herstellung eines Sensors mit beweglichem Kern, nämlich mit einem sog. Tauchanker.According to the invention, two different coil concepts can be realized in principle, namely for producing a sensor with "movable screen" and for producing a sensor with a movable core, namely with a so-called plunger armature.

Bei der bevorzugten Ausführungsform mit „beweglichem Schirm” sind die Messspule und die Kompensationsspule auf einen gegenüber den Spulen unbeweglichen Kern gewickelt. Zur Aufnahme der Wicklungen können eine ausgeprägte Hauptkammer und eine Nebenkammer mit einer deutlich geringeren axialen Ausdehnung vorgesehen sein. Die Hauptkammer befindet sich in weiter vorteilhafter Weise innerhalb des Aktionsbereichs des Messobjekts, während die Nebenkammer außerhalb des Aktionsbereichs liegt.In the preferred "moving screen" embodiment, the sensing coil and the compensating coil are wound on a core immovable with respect to the coils. To accommodate the windings, a pronounced main chamber and a secondary chamber can be provided with a significantly smaller axial extent. The main chamber is advantageously located within the range of action of the measurement object while the auxiliary chamber is outside of the action range.

Das Spulensystem kann bspw. eine Messspule und eine dreiteilige Kompensationsspule umfassen. In der Hauptkammer können sich drei identische Wicklungslagen befinden, wobei jede Wicklungslage gegensinnig zu der darunter liegenden Wicklungslage ausgeführt ist. Die unterste Wicklungslage in der Hauptkammer kann die Messspule darstellen, wobei die beiden darüber liegenden Wicklungslagen der Hauptkammer zwei Teile einer dreiteiligen Kompensationsspule sein können. Der dritte Teil der Kompensationsspule ist im Rahmen einer solchen Ausgestaltung in der Nebenkammer ausgebildet, wobei die Kompensationsspule in der Nebenkammer wiederum aus drei Wicklungslagen bestehen kann, die allesamt den gleichen Wicklungssinn wie die Messspule in der Hauptkammer haben.The coil system may, for example, comprise a measuring coil and a three-part compensation coil. In the main chamber there may be three identical winding layers, each winding layer being designed in the opposite direction to the underlying winding layer. The lowermost winding layer in the main chamber may represent the measuring coil, wherein the two overlying winding layers of the main chamber may be two parts of a three-part compensation coil. The third part of the compensation coil is formed in the secondary chamber in the context of such a configuration, wherein the compensation coil in the secondary chamber can again consist of three winding layers, all of which have the same winding sense as the measuring coil in the main chamber.

Im Rahmen der zuvor erörterten Ausführungsform erfolgt die Bewicklung von Mess- und Kompensationsspule in konventioneller Bewicklungstechnik, wobei die Windungen vorzugsweise abstandsfrei nebeneinander liegen.In the context of the previously discussed embodiment, the winding of measuring and compensation coil takes place in conventional winding technology, wherein the windings preferably lie next to one another with no spacing.

Außerdem hat das Spulensystem nach außen drei Anschlüsse. Neben dem Wicklungsanfang (Messspule) und dem Wicklungsende wird zwischen dem Ende der Messspule und dem Beginn der Kompensationsspule ein gemeiner Anschlussdraht ausgeführt.In addition, the coil system has three outlets to the outside. In addition to the beginning of the winding (measuring coil) and the winding end, a common connecting wire is made between the end of the measuring coil and the beginning of the compensation coil.

Für die Funktionsfähigkeit des Spulensystems ist das zuvor erörterte Prinzip der gleich- und gegensinnigen Teilwicklung von besonderer Bedeutung. Mit der erfindungsgemäßen Spulenanordnung werden die beiden grundsätzlichen Anforderungen eines asymmetrischen Spulenssystems erfüllt, wonach

  • – das Messobjekt keine Rückwirkung auf die Kompensationsspule haben darf und
  • – die Kompensationsspule keine Rückwirkung auf die Messspule haben darf.
For the functionality of the coil system, the previously discussed principle of the same and opposite direction partial winding is of particular importance. The coil arrangement according to the invention fulfills the two basic requirements of an asymmetric coil system, according to which
  • - the object under test must not have any effect on the compensation coil and
  • - The compensation coil must not have any effect on the measuring coil.

Die erste Bedingung ist erfüllt, wenn die beiden Wicklungslagen der Kompensationsspule in der Hauptkammer gegensinnig zueinander gewickelt sind. Dabei wird der induktive Anteil der beiden Teilspulen nach außen vollständig unterdrückt. Das Messobjekt hat somit keinen Einfluss auf die Kompensationsspule.The first condition is met when the two winding layers of the compensation coil in the main chamber are wound in opposite directions to each other. In this case, the inductive component of the two partial coils is completely suppressed to the outside. The measured object thus has no influence on the compensation coil.

Die zweite Bedingung ist dadurch erfüllt, wenn die Messspule gegensinnig zur darüber liegenden Wicklungslage der Kompensationsspule gewickelt ist. Damit wird der Einfluss einer kapazitiven Kopplung zwischen Mess- und Kompensationsspule vermieden. Beide Spulen arbeiten rückwirkungsfrei.The second condition is fulfilled when the measuring coil is wound in opposite directions to the overlying winding layer of the compensation coil. This avoids the influence of a capacitive coupling between the measuring and compensation coil. Both coils work without feedback.

Die in der Nebenkammer angeordnete Kompensationsspule ist gleichsinnig zur Messspule gewickelt, wodurch das elektrische Störverhalten des Spulensystems verbessert ist. Die Sensorspule wird konstruktiv derart ausgeführt, dass sich die Nebenkammer innerhalb des Sensorflansches befindet. Somit ist der in der Nebenkammer untergebrachte Teil der Kompensationsspule nach außen abgeschirmt. Außerdem wird kein zusätzlicher Bauraum benötigt. Eine kompakte Bauweise ist realisiert.The arranged in the secondary chamber compensation coil is wound in the same direction to the measuring coil, whereby the electrical noise behavior of the coil system is improved. The sensor coil is structurally designed such that the secondary chamber is located inside the sensor flange. Thus, the accommodated in the secondary chamber part of the compensation coil is shielded to the outside. In addition, no additional space is needed. A compact design is realized.

Abweichend von der zuvor erörterten Ausführungsform ist es auch möglich, die Wicklungszahl in der Nebenkammer an die besonderen Anforderungen des jeweiligen Systems anzupassen.Notwithstanding the previously discussed embodiment, it is also possible to adapt the number of turns in the secondary chamber to the particular requirements of the respective system.

Im Rahmen einer alternativen Ausführungsform kann die Messspule anstelle in der untersten Wicklungslage auch in der obersten Wicklungslage realisiert sein. Auch ein solches Spulensystem funktioniert im erfindungsgemäßen Sinne. Bei entsprechender Auslegung ist im Gegensatz zu dem zuvor erörterten Beispiel lediglich der Fertigungsablauf bei der Spulenwicklung geändert.In the context of an alternative embodiment, the measuring coil can also be realized in the uppermost winding layer instead of in the lowermost winding layer. Such a coil system also works in the sense of the invention. With appropriate design, in contrast to the previously discussed example, only the manufacturing process is changed in the coil winding.

Sofern es sich bei dem Kern um ein Kernrohr handelt, nämlich zur Realisierung eines sog. Tauchankersystems, lässt sich in erfindungsgemäßer Weise ein Messwertgeber mit beweglichem Kern realisieren. Dabei ist es von Vorteil, wenn die Messspule in mehrlagiger Ausführung bewickelt wird. Sämtliche Lagen der Messspule haben dabei den gleichen Wicklungssinn. Die erste Lage der Kompensationswicklung wird dann entsprechend gegensinnig zur Messspule gewickelt. Ebenso werden alle weiteren Lagen der Kompensationsspule gegensinnig zur jeweils darunter liegenden Wicklungslage gewickelt, so dass gegensinnig gewickelte Lagen entstehen.If the core is a core tube, namely for the realization of a so-called plunger anchor system, a transducer with a movable core can be realized in accordance with the invention. It is advantageous if the Measuring coil is wound in multilayer design. All layers of the measuring coil have the same winding sense. The first layer of the compensation winding is then wound in the opposite direction to the measuring coil. Likewise, all other layers of the compensation coil are wound in opposite directions to each underlying winding layer, so that oppositely wound layers arise.

Auch bei den sog. Tauchankersystemen kann das Wicklungsschema flexibel an die besonderen Anforderungen des jeweiligen Sensors angepasst werden, bspw. in Bezug auf den zur Verfügung stehenden Bauraum.Even with the so-called. Tauchankersystemen the winding scheme can be flexibly adapted to the particular requirements of each sensor, eg. With respect to the available space.

Die individuelle Anpassungsmöglichkeit betrifft auch die Anzahl der Wicklungslagen für die Messspule und die Kompensationsspule. Wesentlich ist, dass die Anzahl der Wicklungen der Kompensationsspule immer geradzahlig ist. Aus Gründen der Platzersparnis kann die bei der den „beweglichen Schirm” betreffenden Ausführungsform umfassend erörterte Nebenkammer entfallen, insbesondere aus Platzersparnis bei kürzeren Messbereichen.The individual adaptation possibility also relates to the number of winding layers for the measuring coil and the compensation coil. It is essential that the number of windings of the compensation coil is always even. For reasons of saving space, the sub-chamber discussed comprehensively in the "movable screen" embodiment may be dispensed with, in particular for saving space in the case of shorter measuring ranges.

Das erfindungsgemäße Spulenkonzept ermöglicht eine automatische Fertigung. Sowohl die Messspule als auch die Kompensationsspule lassen sich in einem Arbeitsgang mit konventioneller Wickeltechnik realisieren, wobei die Windungen abstandsfrei direkt auf einen zentralen Kern des Messelements aufgewickelt werden. Für beide Spulen – Messspule und Kompensationsspule – lassen sich gleiche Wickeldrähte verwenden, wodurch der Fertigungsaufwand ganz erheblich reduziert ist.The coil concept according to the invention enables automatic production. Both the measuring coil and the compensation coil can be realized in a single operation with conventional winding technology, wherein the turns are wound without spacing directly on a central core of the measuring element. For both coils - measuring coil and compensation coil - can be used the same winding wires, whereby the manufacturing cost is significantly reduced.

Außerdem ist es für die erfindungsgemäße Spulenanordnung wesentlich, dass die Mess- und Kompensationsspule völlig unabhängig voneinander arbeiten. Die Position des zu messenden, beweglichen Messobjekts hat keinerlei Einfluss auf die elektrischen Parameter der Kompensationsspule.Moreover, it is essential for the coil arrangement according to the invention that the measuring and compensation coil work completely independently of one another. The position of the movable object to be measured has no influence on the electrical parameters of the compensation coil.

Zur Bewicklung der Spule lässt sich herkömmlicher Kupferdraht verwenden. Aufgrund der hervorragenden elektrischen Leitfähigkeit des Kupferdrahts ist eine hohe Messempfindlichkeit des Messwertgebers gewährleistet. Wesentlich ist, dass die Qualität des Messwertgebers entscheidend auf den verwendeten Werkstoff des Kernmaterials zurückzuführen ist. Insoweit ist es von besonderer Bedeutung, für den zentralen Kern des Sensorselements ein Vollmaterial, bspw. ein Rundmaterial, zu verwenden.To wind the coil can be used conventional copper wire. Due to the excellent electrical conductivity of the copper wire, a high measuring sensitivity of the transmitter is guaranteed. It is essential that the quality of the transmitter is decisively due to the material used in the core material. In that regard, it is of particular importance to use a solid material, for example a round material, for the central core of the sensor element.

Insbesondere bei der den „beweglichen Schirm” betreffenden Ausführungsform kann als Messobjekt bspw. ein Messrohr verwendet werden, das berührungslos über den Sensorstab hinweg bewegbar ist. Das Messrohr kann dabei in etwa die Länge des Sensorstabs haben. Eine exakte konzentrische Führung des Messrohrs ist nicht erforderlich, zumal die eigentliche Messgröße die Überdeckung des Messrohrs auf dem Sensorstab ist.In particular, in the case of the "movable screen" embodiment can be used as a measuring object, for example, a measuring tube, which is movable without contact over the sensor rod. The measuring tube can have approximately the length of the sensor rod. An exact concentric guidance of the measuring tube is not necessary, especially since the actual measured variable is the covering of the measuring tube on the sensor rod.

Die zuvor erörterte Tauchankerausführung lässt sich ebenfalls unter Zugrundelegung des erfindungsgemäßen Prinzips realisieren, wobei dort die Position eines als Messobjekt dienenden Stößels innerhalb eines Kernrohrs gemessen wird. Der Stößel ist axial im Sensorinneren, d. h. innerhalb des Kernrohrs, bewegbar.The previously discussed Tauchankerausführung can also be realized on the basis of the principle of the invention, where there the position of serving as a measurement object plunger is measured within a core tube. The plunger is axially in the sensor interior, d. H. within the core tube, movable.

In erfindungsgemäßer Weise lässt sich eine äußerst kompakte Baulänge realisieren, jedenfalls im Vergleich zu herkömmlichen Sensoren. Die eigentliche Messgröße bei der Tauchankerausführung ist die Eintauchtiefe des Stößels im Sensorstab.In accordance with the invention, an extremely compact length can be realized, at least in comparison to conventional sensors. The actual measurand for the plunger armature design is the immersion depth of the plunger in the sensor rod.

Ein weiterer Vorteil ergibt sich dadurch, dass der Stößel selbst als Halbzeug, bspw. in Form eines Rundstabs, zu verstehen ist. Folglich entfällt eine sonst aufwändige mechanische Verbindung zwischen Kern (Messobjekt) und einer Kernverlängerung. Außerdem sei darauf hingewiesen, dass sich die erfindungsgemäße Spulenanordnung aufgrund der automatischen Fertigung sehr gut für den Einsatz in Großserien eignet. Eine wirtschaftlich sinnvolle und kostengünstige Fertigung entsprechender Wegmesssensoren ist möglich, wobei solche Sensoren hervorragende technische Daten aufweisen, bspw. eine geringe Nichtlinearität und eine hohe Temperaturstabilität.Another advantage results from the fact that the plunger itself is to be understood as a semi-finished product, for example in the form of a round rod. Consequently, an otherwise complex mechanical connection between the core (object to be measured) and a core extension is eliminated. It should also be noted that the coil assembly according to the invention is very well suited for use in large series due to the automatic production. An economically sensible and cost-effective production of corresponding distance measuring sensors is possible, such sensors having excellent technical data, for example a low non-linearity and a high temperature stability.

Erfindungsgemäße Spulenanordnungen lassen umfassend sich zur Herstellung von Weg-/Abstandssensoren verwenden. Wesentlich ist dabei das Prinzip der gegensinnigen Wicklungslagen.Coil arrangements according to the invention can be used extensively for the production of displacement / distance sensors. Essential is the principle of opposing winding layers.

Das hier zugrunde liegende Prinzip lässt sich in vorteilhafter Weise auch in der planaren Spulentechnologie anwenden. Es könnte insbesondere in der Leiterplatten-Technologie zur Anwendung kommen, wonach Messspule und Kompensationsspule als planare Spulen in übereinander liegenden Lagen einer Multi-Layer-Leiterplatte ausgeführt und gemäß dem erfindungsgemäßen Prinzip gegensinnig verschaltet sind.The underlying principle can also be applied advantageously in planar coil technology. It could be used in particular in printed circuit board technology, according to which measuring coil and compensation coil are designed as planar coils in superimposed layers of a multi-layer printed circuit board and connected in opposite directions according to the inventive principle.

Das Messobjekt kann dabei ein Aluminiumplättchen sein, das in einem konstanten Abstand die Planarspule überstreift und dessen axiale Ausdehnung in etwa der Länge der Planarspule entspricht.The measurement object can be an aluminum plate which covers the planar coil at a constant distance and whose axial extent corresponds approximately to the length of the planar coil.

Außerdem eignen sich zur Messung Messobjekte, die die Planarspule von zwei Seiten gabelförmig umschließt. In beiden Fällen ist die Überdeckung der Planarspule durch das Messobjekt die Messgröße.In addition, measurement objects that enclose the planar coil from two sides like a fork are suitable for the measurement. In both cases, the coverage of the planar coil by the measuring object is the measured variable.

In erfindungsgemäßer Weise lassen sich Messwertgeber mit Temperaturkompensation realisieren. In accordance with the invention, transducers with temperature compensation can be realized.

Es gibt nun verschiedene Möglichkeiten, die Lehre der vorliegenden Erfindung in vorteilhafter Weise auszugestalten und weiterzubilden. Dazu ist einerseits auf die dem Anspruch 1 nachgeordneten Patentansprüche und andererseits auf die nachfolgende Erläuterung zweier bevorzugter Ausführungsbeispiele der Erfindung anhand der Zeichnung zu verweisen. In Verbindung mit der Erläuterung der bevorzugten Ausführungsbeispiele der Erfindung anhand der Zeichnung werden auch im Allgemeinen bevorzugte Ausgestaltungen und Weiterbildungen der Lehre erläutert. In der Zeichnung zeigenThere are now various possibilities for designing and developing the teaching of the present invention in an advantageous manner. For this purpose, on the one hand to the claim 1 subordinate claims and on the other hand to refer to the following explanation of two preferred embodiments of the invention with reference to the drawings. In conjunction with the explanation of the preferred embodiments of the invention with reference to the drawings, also generally preferred embodiments and developments of the teaching are explained. In the drawing show

1 in einer schematischen Ansicht ein Ausführungsbeispiel einer erfindungsgemäßen Spulenanordnung für Wegaufnehmer mit beweglichem Schirm, wobei zwei Spulenkammern vorgesehen sind, und 1 in a schematic view of an embodiment of a coil assembly according to the invention for displacement transducer with movable screen, wherein two coil chambers are provided, and

2 in einer schematischen Ansicht ein weiteres Ausführungsbeispiel einer erfindungsgemäßen Spulenanordnung für Wegaufnehmer mit beweglichem Kern (Tauchanker), wobei die Messspule und die Kompensationsspule in einer einzigen Kammer in Lagen übereinander gewickelt sind. 2 in a schematic view of another embodiment of a coil assembly according to the invention for displacement transducer with moving core (plunger), wherein the measuring coil and the compensation coil are wound in a single chamber in layers one above the other.

1 zeigt ein Ausführungsbeispiel einer erfindungsgemäßen Spulenanordnung am Beispiel einer Sensorausführung mit sog. beweglichem Schirm, der als Messobjekt dient. Das Messobjekt ist in 1 der Einfachheit halber nicht gezeigt. 1 shows an embodiment of a coil arrangement according to the invention using the example of a sensor design with so-called. Movable screen, which serves as a measuring object. The measuring object is in 1 for the sake of simplicity not shown.

Die unterschiedlichen Wicklungslagen sind dort auf einem aus Vollmaterial bestehenden Kern 1 angeordnet, wobei der für die Wicklungen zur Verfügung stehende Raum durch Stegringe 2 in eine Hauptkammer 3 und eine Nebenkammer 4 unterteilt ist.The different winding layers are there on a core made of solid material 1 arranged, wherein the space available for the windings by web rings 2 in a main chamber 3 and a side chamber 4 is divided.

Bei dem in 1 gezeigten Ausführungsbeispiel bildet die unmittelbar auf den Kern 1 gewickelte Wicklungslage 5 die Messspule. Auf der die Messspule bildenden Wicklungslage 5 ist gegensinnig eine Wicklungslage 6 der Kompensationsspule gewickelt. Darauf ist eine weitere Wicklungslage 7 der Kompensationsspule gewickelt, abermals gegenläufig.At the in 1 shown embodiment, which forms directly on the core 1 wound winding layer 5 the measuring coil. On the winding coil forming the measuring coil 5 is in opposite directions a winding layer 6 the compensation coil wound. This is another winding situation 7 the compensation coil wound, again in opposite directions.

Bei der Realisierung des in 1 gezeigten Konzepts ist wesentlich, dass die beiden Lagen 6, 7 der Kompensationsspule gegensinnig gewickelt sind.In the realization of in 1 shown concept is essential that the two layers 6 . 7 the compensation coil are wound in opposite directions.

Alternativ ist es denkbar, dass die äußere Wicklungslage 7 die Messspule bildet, während die darunter gegensinnig gewickelten Lagen 5, 6 die Kompensationsspule bilden. Beide Varianten sind denkbar.Alternatively, it is conceivable that the outer winding layer 7 the measuring coil forms, while the underlying oppositely wound layers 5 . 6 form the compensation coil. Both variants are conceivable.

In der Nebenkammer 4 sind Wicklungslagen 8 der Kompensationsspule vorgesehen, wobei das Wicklungsschema derart ausgelegt ist, dass die Wicklungslagen 8 in der Nebenkammer 4 allesamt gleichsinnig ausgeführt sind, und zwar auch gleichsinnig zur Wicklungslage 5 der Messspule in der Hauptkammer 3. Auch dies ist in 1 angedeutet.In the side chamber 4 are winding layers 8th provided the compensation coil, wherein the winding scheme is designed such that the winding layers 8th in the side chamber 4 are all carried out in the same direction, and in the same direction to the winding position 5 the measuring coil in the main chamber 3 , This too is in 1 indicated.

Für das in 1 gezeigte Ausführungsbeispiel ist wesentlich, dass das Messobjekt keinen Einfluss auf die Kompensationsspule hat. Dies ist darauf zurückzuführen, dass die beiden Wicklungslagen 6, 7 der Kompensationsspule in der Hauptkammer 3 zueinander gegensinnig gewickelt sind. Damit wird der induktive Anteil der beiden Teilspulen nach außen vollständig unterdrückt und das Messobjekt hat somit keine Wirkung auf die Kompensationsspule.For the in 1 shown embodiment is essential that the measurement object has no influence on the compensation coil. This is due to the fact that the two winding layers 6 . 7 the compensation coil in the main chamber 3 are wound in opposite directions. Thus, the inductive component of the two partial coils is completely suppressed to the outside and the measurement object thus has no effect on the compensation coil.

Außerdem hat die Kompensationsspule keinen Einfluss auf die Funktion der Messspule. Dies ist dadurch erreicht, dass die Messspule gegensinnig zur darüber liegenden Wicklungslage der Kompensationsspule gewickelt ist. Damit wird der Einfluss einer kapazitiven Kopplung zwischen der Messspule und der Kompensationsspule eliminiert. Beide Spulen arbeiten somit ohne gegenseitigen Einfluss.In addition, the compensation coil has no influence on the function of the measuring coil. This is achieved in that the measuring coil is wound in opposite directions to the overlying winding layer of the compensation coil. This eliminates the influence of capacitive coupling between the measuring coil and the compensation coil. Both coils thus work without mutual influence.

An dieser Stelle sei noch einmal angemerkt, dass die Wicklungslagen 8 der Kompensationsspule in der Nebenkammer gleichsinnig zur Messspule sind. Damit lässt sich das elektrische Störverhalten des Spulensystems ganz erheblich verbessern.At this point, it should be noted once again that the winding layers 8th the compensation coil in the secondary chamber are in the same direction to the measuring coil. This makes it possible to considerably improve the electrical interference behavior of the coil system.

Bei dem in 2 gezeigten Ausführungsbeispiel ist ein Einkammersystem realisiert, sind nämlich sowohl die Wicklungslagen 9 der Messspule als auch die darüber angeordneten Wicklungslagen 10 der Kompensationsspule in einer Kammer angeordnet, die seitlich durch Stegringe 2 begrenzt ist.At the in 2 shown embodiment, a Einkammersystem is realized, namely both the winding layers 9 the measuring coil as well as the winding layers arranged above 10 the compensation coil arranged in a chamber, the side by web rings 2 is limited.

Bei dem in 2 gezeigten Ausführungsbeispiel handelt es sich um ein Wicklungsschema zur Realisierung des Tauchankersystems, wonach nämlich die Wicklungslagen 9 der Messspule auf einen Hohlkern 1 übereinander gleichsinnig gewickelt sind. Darüber angeordnet sind vier Wicklungslagen 10 der Kompensationsspule, wobei die erste bzw. unterste Wicklungslage 10 der Kompensationsspule gegen sinnig zur äußeren Wicklungslage 9 der Messspule ausgeführt ist. Darauf folgen weitere Wicklungslagen 10 der Kompensationsspule, jeweils gegensinnig zueinander ausgebildet.At the in 2 the embodiment shown is a winding diagram for the realization of the plunger anchor system, namely namely the winding layers 9 the measuring coil on a hollow core 1 wrapped one above the other in the same direction. Arranged above are four winding layers 10 the compensation coil, wherein the first or lowest winding layer 10 the compensation coil against sensible to the outer winding layer 9 the measuring coil is executed. This is followed by further winding layers 10 the compensation coil, each formed in opposite directions to each other.

Hinsichtlich weiterer vorteilhafter Ausgestaltungen der erfindungsgemäßen Spülenanordnung wird zur Vermeidung von Wiederholungen auf den allgemeinen Teil der Beschreibung sowie auf die beigefügten Patentansprüche verwiesen.With regard to further advantageous embodiments of the sink assembly according to the invention, reference is made to avoid repetition to the general part of the specification and to the appended claims.

Schließlich sei ausdrücklich darauf hingewiesen, dass die voranstehend beschriebenen Ausführungsbeispiele der erfindungsgemäßen Vorrichtung lediglich zur Erörterung der beanspruchten Lehre dienen, diese jedoch nicht auf die Ausführungsbeispiele einschränken.Finally, it should be expressly understood that the above-described embodiments of the device according to the invention are only for the purpose of discussion of the claimed teaching, but not limit these to the embodiments.

BezugszeichenlisteLIST OF REFERENCE NUMBERS

11
Kern, HohlkernCore, hollow core
22
Stegringbar ring
33
Hauptkammermain chamber
44
Nebenkammersecondary chamber
55
Wicklungslage (Messspule, 1), LageWinding layer (measuring coil, 1 ), Location
BB
Wicklungslage (Kompensationsspule, 1), LageWinding layer (compensation coil, 1 ), Location
77
Wicklungslage (Kompensationsspule, 1), LageWinding layer (compensation coil, 1 ), Location
88th
Wicklungslage (in Nebenkammer, Kompensationsspule, 1), LageWinding layer (in secondary chamber, compensation coil, 1 ), Location
99
Wicklungslage der Messspule (2), LageWinding position of the measuring coil ( 2 ), Location
1010
Wicklungslage der Kompensationsspule (2), LageWinding position of the compensation coil ( 2 ), Location

Claims (15)

Spulenanordnung, insbesondere für berührungslose Wegaufnehmer bzw. Wegmesssensoren mit elektromagnetischem Wirkprinzip, mit einem Kern oder Kernrohr (1), einer Messspule und einer Kompensationsspule, wobei die Messspule und die Kompensationsspule auf den Kern (1) bzw. auf das Kernrohr (1) gewickelt sind, dadurch gekennzeichnet, dass die Messspule einlagig oder mehrlagig und die Kompensationsspule mindestens zweilagig mit gegensinniger Wicklung ausgeführt sind, wobei die Lagen zumindest teilweise übereinander angeordnet sind.Coil arrangement, in particular for non-contact displacement sensors or displacement measuring sensors with an electromagnetic operating principle, with a core or core tube ( 1 ), a measuring coil and a compensation coil, wherein the measuring coil and the compensation coil on the core ( 1 ) or on the core tube ( 1 ) are wound, characterized in that the measuring coil single-layer or multi-layer and the compensation coil are designed at least two layers with opposite directions winding, wherein the layers are at least partially arranged one above the other. Spulenanordnung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Messspule mehrlagig mit gleichem Wicklungssinn und die Kompensationsspule mehrlagig mit jeweils gegenläufigem Wicklungssinn ausgeführt ist.Coil arrangement according to claim 1, characterized in that the measuring coil is designed in multiple layers with the same sense of winding and the compensation coil in multiple layers, each with opposite winding sense. Spulenanordnung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass die über der Messspule liegende erste Lage der Kompensationsspule gegensinnig zur Messspule gewickelt ist.Coil arrangement according to claim 1 or 2, characterized in that the first layer of the compensation coil lying above the measuring coil is wound in opposite directions to the measuring coil. Spulenanordnung nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, dass die Anzahl der Lagen der Kompensationsspule geradzahlig ist.Coil arrangement according to one of claims 1 to 4, characterized in that the number of layers of the compensation coil is even. Spulenanordnung nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, dass der sich über den Kern bzw. das Kernrohr (1) axial erstreckende Wicklungsbereich in eine Hauptkammer (3) und eine axial kleinere Nebenkammer (4) unterteilt ist, wobei die Lage(n) der Messspule in der Hauptkammer (3) und die Lage(n) der Kompensationsspule in der Hauptkammer (3) und in der Nebenkammer (4) angeordnet ist/sind.Coil arrangement according to one of claims 1 to 4, characterized in that the over the core or the core tube ( 1 ) axially extending winding region into a main chamber ( 3 ) and an axially smaller secondary chamber ( 4 ), wherein the position (s) of the measuring coil in the main chamber ( 3 ) and the position (s) of the compensation coil in the main chamber ( 3 ) and in the secondary chamber ( 4 ) is / are arranged. Spulenanordnung nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, dass die Hauptkammer (3) innerhalb und die Nebenkammer (4) außerhalb des Aktionsbereichs des jeweiligen Messobjekts liegt.Coil arrangement according to claim 5, characterized in that the main chamber ( 3 ) within and the secondary chamber ( 4 ) is outside the action range of the respective DUT. Spulenanordnung nach Anspruch 5 oder 6, dadurch gekennzeichnet, dass die Nebenkammer (4) innerhalb eines Sensorflanschs ausgebildet und dadurch nach außen geschirmt ist.Coil arrangement according to claim 5 or 6, characterized in that the secondary chamber ( 4 ) is formed within a sensor flange and thereby shielded to the outside. Spulenanordnung nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, dass die Messspule einteilig und die Kompensationsspule mindestens zweiteilig, vorzugsweise dreiteilig ausgeführt ist.Coil arrangement according to one of claims 1 to 7, characterized in that the measuring coil is made in one piece and the compensation coil at least two parts, preferably three parts. Spulenanordnung nach einem der Ansprüche 5 bis 8, dadurch gekennzeichnet, dass in der Hauptkammer (3) mindestens drei gegensinnige Lagen (5, 6, 7) übereinander ausgebildet sind.Coil arrangement according to one of claims 5 to 8, characterized in that in the main chamber ( 3 ) at least three opposing layers ( 5 . 6 . 7 ) are formed one above the other. Spulenanordnung nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, dass die unterste oder die oberste Lage (5 oder 7), die Messspule und die beiden weiteren Lagen (5, 6 oder 6, 7) ein Teil der Kompensationsspule sind, wobei ein dritter Teil (8) der Kompensationsspule in der Nebenkammer (4) ausgebildet ist.Coil arrangement according to claim 9, characterized in that the lowermost or the uppermost layer ( 5 or 7 ), the measuring coil and the two further layers ( 5 . 6 or 6 . 7 ) are part of the compensation coil, with a third part ( 8th ) of the compensation coil in the secondary chamber ( 4 ) is trained. Spulenanordnung nach einem der Ansprüche 5 bis 10, dadurch gekennzeichnet, dass in der Nebenkammer (3) mindestens zwei gleichsinnig gewickelte Lagen ausgebildet sind.Coil arrangement according to one of claims 5 to 10, characterized in that in the secondary chamber ( 3 ) At least two co-wound layers are formed. Spulenanordnung nach einem der Ansprüche 5 bis 11, dadurch gekennzeichnet, dass in der Nebenkammer (3) drei Lagen (8) der Kompensationsspule ausgebildet sind.Coil arrangement according to one of claims 5 to 11, characterized in that in the secondary chamber ( 3 ) three layers ( 8th ) of the compensation coil are formed. Spulenanordnung nach Anspruch 10 oder 11, dadurch gekennzeichnet, dass die in der Nebenkammer (3) ausgebildeten Lagen (8) der Kompensationsspulen den gleichen Wicklungssinn wie die Lage (5) der Messspule haben.Coil arrangement according to claim 10 or 11, characterized in that in the secondary chamber ( 3 ) formed layers ( 8th ) of the compensation coils have the same winding sense as the position ( 5 ) of the measuring coil. Spulenanordnung nach einem der Ansprüche 1 bis 13, dadurch gekennzeichnet, dass die Windungen einer jeden Lage abstandsfrei zueinander ausgebildet sind.Coil arrangement according to one of claims 1 to 13, characterized in that the turns of each layer are formed without spacing to each other. Sensor, insbesondere zur berührungslosen Weg-/Abstandsmessung mit elektromagnetischem Wirkprinzip, gekennzeichnet durch eine Spulenanordnung nach einem der Ansprüche 1 bis 14.Sensor, in particular for non-contact displacement / distance measurement with an electromagnetic operating principle, characterized by a coil arrangement according to one of claims 1 to 14.
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