DE102011006517A1 - Druckfest gekapselter Differenzdrucksensor - Google Patents

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DE102011006517A1
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Anh Tuan Tham
Frank Päßler
Rafael Teipen
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Endress and Hauser SE and Co KG
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Abstract

Ein Differenzdruckmessaufnehmer 1 umfasst eine Kapsel 2 mit einem keramischen Kapselkörper 20, und einer Wandleraufnahme im Inneren, in welcher ein Halbleiterdruckmesswandler 3 angeordnet ist, welcher einen Messmembrankörper 33 und mindestens einen Trägerkörper 31, 32 aufweist, wobei der Messmembrankörper 33 druckdicht mit dem mindestens einen Trägerkörper 31, 32 verbunden ist, der eine Druckeinlassöffnung 37, 38 aufweist, wobei sich Kanäle 27, 28 jeweils von einer äußeren Oberfläche der Kapsel 2 in die Wandleraufnahme erstrecken; wobei die Druckeinlassöffnung mit dem ersten Kanal kommuniziert, wobei eine Seite der Messmembran 33 durch die Druckeinlassöffnung 38 mit einem Druck beaufschlagbar ist, wobei der Trägerkörper 32 mit einer Fügestelle 42, welche die erste Druckeinlassöffnung und die Mündung des ersten Kanals 28 in die Wandleraufnahme umgibt, mit einer Wand der Wandleraufnahme druckdicht verbunden ist, und wobei eine zweite Seitsch isoliert ist und mit dem zweiten Kanal 37 kommuniziert.

Description

  • Die vorliegende Erfindung betrifft einen Differenzdrucksensor, insbesondere einen Differenzdrucksensor mit einem Wandlerkern, welcher ein Halbleitermaterial oder ein keramisches Material aufweist. Derartige Differenzdrucksensoren sind bekannt, wobei die Wandlerkerne insbesondere piezoresistive oder kapazitive Wandler umfassen, um eine differenzdruckabhängige Auslenkung einer Messmembran des Wandlerkerns in ein elektrisches Signal zu wandeln. Derartige Wandlerkerne werden gewöhnlich in ein Messwerk eingebaut, welches einen metallischen Werkstoff, insbesondere Stahl umfasst. Damit sind für die Aufbau- und Verbindungstechnik erhebliche Probleme vorgegeben, denn der Wärmeausdehnungskoeffizient von Silizium, einem gängigen Material für Halbleiterdruckmesswandler, beträgt ca. 3 × 10–6/K, während der Wärmeausdehnungskoeffizient für die hier relevanten VA-Stähle zwischen 10 und 16 × 10–6/K liegt. Um dem Rechnung zu tragen, wird der Wandlerkern häufig zunächst auf einem Entkopplungskörper montiert, welcher dann auf einer Oberfläche, die Stahl aufweist, beispielsweise durch Kleben oder Löten befestigt wird. Eine entsprechende Konstruktion mit einem Halbleitersockel ist beispielsweise in der deutschen Offenlegungsschrift 10 2007 053 859 A1 offenbart. Die Offenlegungsschrift DE 10 2006 057 828 A1 offenbart einen Differenzdruckmessaufnehmer, bei dem ein Wandlerkern, welcher ein piezoresistiver Siliziumchip auf einen sogenannten Messmembranträger umfasst, wobei der Messmembranträger auf der Oberfläche eines Glaskörpers befestigt ist. Die unmittelbare Befestigung eines Siliziumchips auf einem Glasträger erweist sich für Relativdrucksensoren als geeignet, ist aber für Differenzdrucksensoren insofern problematisch, als Gläser in der Regel ein geringes Kompressionsmodul als Silizium aufweisen. Dies führt zu Querempfindlichkeiten gegenüber dem statischen Druck, wie in der Offenlegungsschrift DE 10 2006 062 222 A1 beschrieben ist. Die Veröffentlichung DE 11 2004 000 818 T5 offenbart schließlich eine Drucksensorenkapsel, bei welcher ein Halbleiterabsolutdrucksensor isostatisch von einer Übertragungsflüssigkeit in einem Metallgehäuse umgeben ist, wobei der Halbleiterkörper des Drucksensors über ein sogenanntes Beanspruchungs-Isolationselement, welches einen keramischen Werkstoff aufweist, und welches im Verhältnis des Halbleiterdrucksensors eine kleine Querschnittsfläche aufweist, druckdicht an eine Durchführung in der metallischen Wand der Drucksensorenkapsel befestigt ist. Wenngleich dieser Lösungsansatz für einen Absolutdrucksensor funktionieren mag, ist er jedoch für einen Differenzdrucksensor gänzlich ungeeignet, weil ein Differenzdrucksensor grundsätzlich zwei Druckzuleitungen zu einem Wandlerkern erfordert, welche gegeneinander abgedichtet sind.
  • Die noch unveröffentlichte deutsche Patentanmeldung Nr. 10 2010 043043 offenbart einen Differenzmessaufnehmer, bei welchem ein Halbleiterwandlerkern in einem Gehäuse zwischen elastischen Abstützungen welch gelagert ist. Dieser Ansatz ist sicher sehr interessant, weist aber Grenzen hinsichtlich der Belastbarkeit mit statischen Drücken bzw. Differenzen zwischen statischen Drücken aus. Zudem erfordert die weiche Lagerung des Siliziumchips ein Mindestvolumen, damit sich die entkoppelnde Wirkung der elastischen Dichtungen bzw. Lager zwischen dem Siliziumchip und dem metallischen Gehäuse entfalten kann.
  • Es ist daher eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung, einen Differenzdruckmessaufnehmer bereitzustellen, welcher die Nachteile des Stands der Technik überwindet.
  • Die Aufgabe wird erfindungsgemäß gelöst durch den Differenzdruckmesser gemäß dem unabhängigen Patentanspruch 1.
  • Der erfindungsgemäße Differenzdruckmessaufnehmer, umfasst eine Kapsel, welche einen keramischen Kapselkörper aufweist, wobei die Kapsel in ihrem Inneren eine Wandleraufnahme aufweist, wobei in der Wandleraufnahme ein Halbleiterdruckmesswandler angeordnet ist, welcher einen Messmembrankörper und mindestens einen Trägerkörper aufweist, wobei der Messmembrankörper entlang eines umlaufenden Randes druckdicht mit dem mindestens einen Trägerkörper verbunden ist, wobei der Trägerkörper mindestens eine Druckeinlassöffnung aufweist, wobei sich ein erster Kanal und ein zweiter Kanal jeweils von einer äußeren Oberfläche der Kapsel in die Wandleraufnahme erstrecken; wobei die Druckeinlassöffnung mit dem ersten Kanal kommuniziert, wobei eine erste Seite der Messmembran, welche dem mindestens einen Trägerkörper zugewandt ist, durch die mindestens eine Druckeinlassöffnung mit einem durch den ersten Kanal eingeleiteten Druck beaufschlagbar ist, wobei der mindestens eine Trägerkörper mit einer drucktragenden Fügestelle, welche die erste Druckeinlassöffnung druckdicht umgibt, und welche die Mündung des ersten Kanals in die Wandleraufnahme umgibt, mit einer Wand der Wandleraufnahme druckdicht verbunden ist, und wobei eine zweite Seite der Messmembran, welche der ersten Seite der Messmembran abgewandt ist, von der ersten Seite der Messmembran hydraulisch isoliert ist und mit dem zweiten Kanal kommuniziert.
  • Gemäß einer Weiterbildung der Erfindung weist der Trägerkörper des Halbleiterdruckmesswandlers einen ersten effektiven Wärmeausdehnungskoeffizienten α1 auf, wobei der keramische Werkstoff des Kapselkörpers einen zweiten Wärmeausdehnungskoeffizienten α2 aufweist, wobei gilt... |(α1 – α2)/(α1 + α2)| < 0,25 insbesondere < 0,2, vorzugsweise < 0,15.
  • Gemäß einer Weiterbildung der Erfindung weist die mindestens eine erste Fügestelle zwischen dem Wandlerkern und einer Wand der Wandleraufnahme Glas auf.
  • Gemäß einer Weiterbildung der Erfindung weist die Fügestelle eine Stärke von nicht mehr als 100 μm, insbesondere nicht mehr als 75 μm und bevorzugt nicht mehr als 50 μm auf.
  • Gemäß einer Weiterbildung der Erfindung weist der Kapselkörper einen ersten Teilkörper und einen zweiten Teilkörper auf, wobei der erste Teilkörper und der zweite Teilkörper miteinander entlang einer zweiten Fügestelle druckdicht gefügt sind.
  • Gemäß einer Weiterbildung der Erfindung weist die zweite Fügestelle ein Glas auf.
  • Gemäß einer Weiterbildung der Erfindung sind der erste Teilkörper und der zweite Teilkörper im Wesentlichen zueinander symmetrisch.
  • In einer Weiterbildung der Erfindung weist der Wandlerkern einen zweiten Trägerkörper auf, wobei der Messmembrankörper zwischen dem ersten und dem zweiten Trägerkörper angeordnet und mit beiden Trägerkörpern druckdicht verbunden ist.
  • In einer Ausgestaltung dieser Weiterbildung der Erfindung ist der zweite Trägerkörper mit einer dritten Fügestelle mit einer Wand der Wandleraufnahme druckdicht verbunden.
  • In einer Weiterbildung der Erfindung ist der Wandlerkern im Wesentlichen symmetrisch aufgebaut und symmetrisch in der Wandlerkammer angeordnet.
  • In einer Weiterbildung der Erfindung weist die dritte Fügestelle eine Öffnung auf, welche mit dem zweiten Kanal fluchtet, wobei der zweite Trägerkörper eine Druckeinlassöffnung aufweist, welche mit einer zweiten Seite der Messmembran kommuniziert, wobei die Druckeinlassöffnung mit dem zweiten Kanal fluchtend angeordnet ist, um die zweite Seite der Messmembran mit einem durch den zweiten Kanal eingeleiteten Druck zu beaufschlagen.
  • In einer Weiterbildung der Erfindung weist die Wandleraufnahme elektrische Kontaktpunkte auf, über welche der Wandlerkern in der Flip-Chip-Technologie kontaktiert ist, wobei die Kontaktpunkte über elektrische Durchführungen zu elektrischen Anschlüssen an einer äußeren Oberfläche der Druckkapsel geführt sind.
  • In einer Weiterbildung der Erfindung weisen der erste Teilkörper und der zweite Teilkörper im Bereich der ersten bzw. dritten Fügestelle einen ersten keramischen Werkstoff, auf dessen Wärmeausdehnungskoeffizient dem effektiven Wärmeausdehnungskoeffizienten des Wandlerkerns angepasst ist, und wobei der erste und der zweite Teilkörper in einem von der ersten bzw. dritten Fügestelle abgewandten Bereich jeweils einen zweiten keramischen Werkstoff aufweisen, dessen Wärmeausdehnungskoeffizient dem Wärmeausdehnungskoeffizienten eines metallischen Werkstoffs angepasst sind, wobei der erste Kanal und der zweite Kanal jeweils in einem Bereich einer äußeren Oberfläche des ersten bzw. zweiten Teilkörpers münden, welcher den zweiten keramischen Werkstoff aufweist, wobei der erste und der zweite Kanal jeweils mit einer ersten bzw. zweiten Kapillarleitung kommunizieren, welche den metallischen Werkstoff aufweisen, und welche druckdicht mit der Kapsel verbunden sind, um einen ersten bzw. zweiten Druck in die Wandleraufnahme einzuleiten.
  • In einer Weiterbildung der Erfindung bildet die Wandleraufnahme eine druckdichte Wandlerkammer, in welcher der Wandler angeordnet ist.
  • In einer Weiterbildung der Erfindung kommuniziert der zweite Kanal mit dem Volumen in der Wandlerkammer außerhalb des Wandlers, um den Wandler auf seinen äußeren Oberflächen mit dem über den zweiten Kanal eingeleiteten Druck isostatisch zu beaufschlagen.
  • Die Erfindung wird nun anhand der in den Zeichnungen dargestellten Ausführungsbeispiele erläutert. Es zeigt:
  • 1: einen Längsschnitt durch ein erstes Ausführungsbeispiel eines erfindungsgemäßen Differenzdruckmessaufnehmers; und
  • 2: einen Längsschnitt durch ein zweites Ausführungsbeispiel eines erfindungsgemäßen Differenzdruckmessaufnehmers.
  • Der in 1 dargestellte Differenzdruckmessaufnehmer 1 umfasst eine Kapsel 2, in welcher ein Halbleiterdruckmesswandler 3 angeordnet ist. Die Kapsel 2 umfasst einen keramischen Kapselkörper 20, welcher aus zwei keramischen Teilkörpern 21, 22 gebildet ist, die entlang einer Fügestelle 23, welche insbesondere ein Glaslot aufweist, miteinander verbunden sind. Der Halbleiterdruckmesswandler 3 umfasst einen ersten Trägerkörper 31, einen zweiten Trägerkörper 32 und einen Messmembrankörper 33, welcher an beiden Trägerkörpern druckdicht befestigt ist. Die Trägerkörper 31, 32 weisen jeweils in ihrer der Messmembran zugewandten Stirnfläche eine Aussparung 35, 36 auf, wobei die Oberflächen der Trägerkörper 31 und 32, welche die Aussparungen 35 und 36 begrenzen, insbesondere als Membranbett dienen können, an welchem sich die Messmembran 33 im Falle einer Überlast anlegen kann. Der erste und zweite Trägerkörper 31, 32 weisen jeweils eine Bohrung 37, 38 auf, durch welche die Messmembran 33 jeweils mit einem Druck p1, p2 beaufschlagbar ist, wobei die Messmembran 33 eine Auslenkung erfährt, die von der Druckdifferenz p1–p2 abhängt. Im vorliegenden Ausführungsbeispiel ist der Halbleiterdruckmesswandler ein kapazitiver Druckmesswandler, wobei der erste Trägerkörper und der zweite Trägerkörper jeweils mindestens eine Gegenelektrode aufweisen, und wobei jeweils die Kapazität zwischen der Gegenelektrode und der Messmembran in die Bestimmung der Druckdifferenz p1–p2 eingeht.
  • Die Trägerkörper 31, 32 und die Messmembran 33 weisen insbesondere Silizium auf, wobei die Messmembran vorzugsweise hoch dotiertes Silizium aufweist, und wobei die Gegenelektroden ebenfalls durch Dotieren oder über metallische Beschichtungen präpariert sind. Zum Ableiten der elektrischen Signale des Halbleiterdruckmesswandlers 3 sind elektrische Durchführungen 39 durch den Kapselkörper 2 vorgesehen, wobei die elektrischen Durchführungen 39 den Halbleiterdruckmesswandler an Grundflächen der Trägerkörper 31, 32, insbesondere mittels der Flip-Chip-Technologie, kontaktieren. Der Halbleiterdruckmesswandler 3 ist in der durch die Aussparungen 25, 26 gebildeten Wandlerkammer im Inneren des Kapselkörpers 2 zu beiden Teilkörpern des Kapselkörpers hin mit einer drucktragenden Fügestelle 41, 42 abgestützt, wobei die Fügestelle insbesondere Glas aufweist. Durch den ersten und zweiten Teilkörper und durch die Fügestellen zwischen dem Halbleiterdruckmesswandler 3 und den Teilkörpern 21, 22 erstreckt sich jeweils ein Kanal 27, 28, welcher mit der jeweiligen Druckeinlassöffnung 37, 38 im Membranträgerkörper fluchtet, so dass der Halbleiterdruckmesswandler 3 durch die Kanäle 27, 28 mit dem ersten und zweiten Druck beaufschlagbar ist, um deren Differenz zu bestimmen. Die Materialien der Teilkörper, der Fügestelle zwischen den Teilkörpern und der Fügestellen zwischen den Halbleitern und dem Halbleiterdruckmesswandler sowie die Starke der Fügestellen, und die Tiefe der Aussparungen 25, 26 in den Stirnflächen der Teilkörper 21, 22 sind solchermaßen auf die Abmessungen des Halbleiterdruckmesswandlers 3 abgestimmt, dass mechanische Spannungen aufgrund von Temperaturschwankungen trotz der unterschiedlichen Wärmeausdehnungskoeffizienten der beteiligten Materialien nicht zu einer permanenten Schädigung des Halbleiterdruckmesswandlers oder zu einer Verfälschung des Messwerts führen. Als Material für den Kapselkörper sind insbesondere Cordierit, Mulit, Siliziumkarbid, Siliziumnitrid und Aluminiumnitrid geeignet. Für die Fügestellen kommt insbesondere ein Glaslot in Betracht. Die Aussparungen im Halbleiterdruckmesswandler 35, 36 können mit den üblichen Halbleiterprozessierungsverfahren, insbesondere anisotropen Ätzen, mit fotolithographischen Verfahren oder mittels Laserablation präpariert werden. Um den Halbleiterdruckmessaufnehmer 1 mit dem ersten Druck p1 und dem zweiten Druck p2 zu beaufschlagen, können beispielsweise metallische Kapillarleitungen 51, 52 mittels einer Hartlotfügung 53, 54 an die Kanäle 27, 28 anschließend am Kapselkörper 2 befestigt werden.
  • Der in 2 dargestellte Differenzdruckmessaufnehmer 101 umfasst eine Kapsel 102, in welcher ein Halbleiterdruckmesswandler 103 angeordnet ist. Die Kapsel 102 umfasst einen keramischen Kapselkörper 120, welcher aus zwei keramischen Teilkörpern 121, 122 gebildet ist, die entlang einer Fügestelle 123, welche insbesondere ein Glaslot aufweist, miteinander druckdicht verbunden sind.
  • Der Halbleiterdruckmesswandler 103 ist in einer durch eine Aussparung 126 in dem zweiten Teilkörper 122 gebildeten Wandlerkammer im Inneren des Kapselkörpers 120 angeordnet und an dem zweiten Teilkörper 122 des Kapselkörpers mit einer drucktragenden Fügestelle 142 befestigt, wobei die Fügestelle insbesondere ein Glaslot aufweist. Durch den ersten und zweiten Teilkörper 121, 122 erstreckt sich jeweils ein Kanal 127, 128 um die beiden Drücke, deren Differenz zu ermitteln ist, in die Wandlerkammer einzuleiten. Die Fügestelle 142 zwischen dem Halbleiterdruckmesswandler 103 und dem zweiten Teilkörper 122 umschließt einen Durchgang zum Halbleiterdruckmesswandler, wobei der Durchgang mit dem Kanal 128 durch den zweiten Teilkörper 122 fluchtet.
  • Der Halbleiterdruckmesswandler 103 umfasst einen Trägerkörper 132 und einen Messmembrankörper 133, welcher an dem Trägerkörper druckdicht befestigt ist, wobei die Fügestelle 142 zwischen dem Halbleiterdruckmesswandler und dem zweiten Teilkörper 122, zwischen dem Trägerkörper 132 und dem zweiten Teilkörper ausgebildet ist Der Trägerkörper 132 weist optional in seiner der Messmembran zugewandten Stirnfläche eine Aussparung 134 auf, welches zur Symmetrisierung der Volumina in der Kapsel auf beiden Seiten der Messmembran 133 beiträgt. Der Trägerkörper 132 weist eine Bohrung 135 auf, durch welche die Messmembran 133 mit einem Druck p2 beaufschlagbar ist. Die Bohrung 135 fluchtet mit dem Durchgang durch die Fügestelle 142 und mit dem Kanal 128 durch den zweiten Teilkörper.
  • Auf ihrer dem Trägerkörper 132 abgewandten Außenseite ist die Messmembran 133 mit einem Druck p1 beaufschlagbar, welcher durch den Kanal 127, der durch den ersten Teilkörper 121 verläuft, in die Messzelle einleitbar ist, wobei dieser Druck p1 nicht nur auf die Außenseite der Messmembran 133, sondern auch auf die Außenflächen des Trägerkörpers 132 außerhalb der Fügestelle 142 wirkt, so dass der Halbleiterdruckmesswandler 103 weitgehend isostatisch gelagert ist. Die mechanische Belastung des Halbleiterdruckmesswandlers ist dann, abgesehen von der Kompression der Werkstoffe aufgrund des statischen Drucks, gegeben durch die Differenz der beiden Drücke p1–p2. Sofern absehbar ist, welcher der betrachteten Drücke größer sein wird, ist es derzeit bevorzugt, wenn der größere Druck als p1 auf die Außenseite des Halbleiterdruckmesswandlers 103 geleitet wird.
  • Im vorliegenden Ausführungsbeispiel ist der Halbleiterdruckmesswandler 103 als piezoresistiver Druckmesswandler ausgestaltet, wobei die Messmembran 133 eindotierte Messwiderstände insbesondere in Form einer Vollbrückenschaltung aufweist Sowohl die Messmembran 133 als auch der Trägerkörper 132 weisen in einer derzeit bevorzugten Ausgestaltung der Erfindung Silizium auf.
  • Zum Ableiten der elektrischen Signale der Halbleiterdruckmesswandlers 103 sind elektrische Durchführungen 139 durch den Kapselkörper 102 vorgesehen, wobei die elektrischen Durchführungen 139 den Halbleiterdruckmesswandler 103 in dieser Ausgestaltung nicht direkt kontaktieren. Stattdessen führen Bond-Drähte 137 von Kontaktflächen am Rand der Messmembran 133 zu metallischen Leiterbahnen 138, die auf einer Stirnfläche des zweiten Teilkörpers 122 präpariert sind. Diese Leiterbahnen werden von den elektrischen Durchführungen 139 kontaktiert, die sich durch den ersten Teilkörper 121 erstrecken.
  • Als Material für die Teilkörper 121, 122 des Kapselkörpers 102 sind insbesondere Cordierit, Mulit, Siliziumkarbid, Siliziumnitrid und Aluminiumnitrid geeignet. Für die Fügestellen kommt insbesondere ein Glaslot in Betracht.
  • Um den Halbleiterdruckmessaufnehmer 101 mit dem ersten Druck p1 und dem zweiten Druck p2 zu beaufschlagen, können beispielsweise metallische Kapillarleitungen 151, 152 mittels einer Hartlotfügung 153, 154 an die Kanäle 127, 128 anschließend am Kapselkörper 102 befestigt werden.
  • ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG
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  • Zitierte Patentliteratur
    • DE 102007053859 A1 [0001]
    • DE 102006057828 A1 [0001]
    • DE 102006062222 A1 [0001]
    • DE 112004000818 T5 [0001]
    • DE 102010043043 [0002]

Claims (15)

  1. Differenzdruckmessaufnehmer (1), umfassend: eine Kapsel (2), welche einen keramischen Kapselkörper (20) aufweist, wobei die Kapsel (2) in ihrem Inneren eine Wandleraufnahme aufweist, wobei in der Wandleraufnahme ein Halbleiterdruckmesswandler (3) angeordnet ist, welcher einen Messmembrankörper (33) und mindestens einen Trägerkörper (31, 32) aufweist, wobei der Messmembrankörper (33) entlang eines umlaufenden Randes druckdicht mit dem mindestens einen Trägerkörper (31, 32) verbunden ist, wobei der Trägerkörper mindestens eine Druckeinlassöffnung (37, 38) aufweist, wobei sich ein erster Kanal und ein zweiter Kanal (27, 28) jeweils von einer äußeren Oberfläche der Kapsel (2) in die Wandleraufnahme erstrecken; wobei die Druckeinlassöffnung mit dem ersten Kanal kommuniziert, wobei eine erste Seite der Messmembran (33), welche dem mindestens einen Trägerkörper (32) zugewandt ist, durch die mindestens eine Druckeinlassöffnung (38) mit einem durch den ersten Kanal (28) eingeleiteten Druck beaufschlagbar ist, wobei der mindestens eine Trägerkörper (32) mit einer drucktragenden Fügestelle (42), welche die erste Druckeinlassöffnung druckdicht umgibt, und welche die Mündung des ersten Kanals (28) in die Wandleraufnahme umgibt, mit einer Wand der Wandleraufnahme druckdicht verbunden ist, und wobei eine zweite Seite der Messmembran, welche der ersten Seite der Messmembran abgewandt ist, von der ersten Seite der Messmembran hydraulisch isoliert ist und mit dem zweiten Kanal (37) kommuniziert.
  2. Differenzdruckmesser nach Anspruch 1, wobei der Trägerkörper des Halbleiterdruckmesswandlers einen ersten effektiven Wärmeausdehnungskoeffizienten α1 aufweist, und wobei der keramische Werkstoff des Kapselkörpers einen zweiten Wärmeausdehnungskoeffizienten α2 aufweist, wobei gilt... |(α1 – α2)/(α1 + α2)| < 0,25 insbesondere < 0,2, vorzugsweise < 0,15.
  3. Differenzdruckmessaufnehmer nach Anspruch 1 oder 2, wobei die mindestens eine erste Fügestelle zwischen dem Wandlerkern und einer Wand der Wandleraufnahme Glas aufweist.
  4. Differenzdruckmesswandler nach Anspruch 3, wobei die Fügestelle eine Starke von nicht mehr als 100 μm, insbesondere nicht mehr als 75 μm und bevorzugt nicht mehr als 50 μm aufweist.
  5. Drucksensor nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei der Kapselkörper einen ersten Teilkörper und einen zweiten Teilkörper aufweist, wobei der erste Teilkörper und der zweite Teilkörper miteinander entlang einer zweiten Fügestelle druckdicht gefügt sind.
  6. Differenzdruckmessaufnehmer nach Anspruch 5, wobei die zweite Fügestelle ein Glas umfasst.
  7. Differenzdruckmessaufnehmer nach Anspruch 6, wobei der erste Teilkörper und der zweite Teilkörper im Wesentlichen zueinander symmetrisch sind.
  8. Differenzdruckmessaufnehmer nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei der Wandlerkern einen zweiten Trägerkörper aufweist, wobei der Messmembrankörper zwischen dem ersten und dem zweiten Trägerkörper angeordnet und mit beiden Trägerkörpern druckdicht verbunden ist.
  9. Differenzdruckmessaufnehmer nach Anspruch 8, wobei der zweite Trägerkörper mit einer dritten Fügestelle mit einer Wand der Wandleraufnahme druckdicht verbunden ist.
  10. Differenzdruckmessaufnehmer nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei der Wandlerkern im Wesentlichen symmetrisch aufgebaut und symmetrisch in der Wandlerkammer angeordnet ist.
  11. Differenzdruckmessaufnehmer nach Anspruch 9, wobei die dritte Fügestelle eine Öffnung aufweist, welche mit dem zweiten Kanal fluchtet, wobei der zweite Trägerkörper eine Druckeinlassöffnung aufweist, welche mit einer zweiten Seite der Messmembran kommuniziert, wobei die Druckeinlassöffnung mit dem zweiten Kanal fluchtend angeordnet ist, um die zweite Seite der Messmembran mit einem durch den zweiten Kanal eingeleiteten Druck zu beaufschlagen.
  12. Differenzdruckmessaufnehmer nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei die Wandleraufnahme elektrische Kontaktpunkte aufweist, über welche der Wandlerkern in der Flip-Chip-Technologie kontaktiert ist, wobei die Kontaktpunkte über elektrische Durchführungen zu elektrischen Anschlüssen an einer äußeren Oberfläche der Druckkapsel geführt sind.
  13. Differenzdruckmessaufnehmer nach Anspruch 5 und nach Anspruch 11, wobei der erste Teilkörper und der zweite Teilkörper im Bereich der ersten bzw. dritten Fügestelle einen ersten keramischen Werkstoff aufweisen, dessen Wärmeausdehnungskoeffizient dem effektiven Wärmeausdehnungskoeffizienten des Wandlerkerns angepasst ist, und wobei der erste und der zweite Teilkörper in einem von der ersten bzw. dritten Fügestelle abgewandten Bereich jeweils einen zweiten keramischen Werkstoff aufweisen, dessen Wärmeausdehnungskoeffizient dem Wärmeausdehnungskoeffizienten eines metallischen Werkstoffs angepasst sind, wobei der erste Kanal und der zweite Kanal jeweils in einem Bereich einer äußeren Oberfläche des ersten bzw. zweiten Teilkörpers münden, welcher den zweiten keramischen Werkstoff aufweist, wobei der erste und der zweite Kanal jeweils mit einer ersten bzw. zweiten Kapillarleitung kommunizieren, welche den metallischen Werkstoff aufweisen, und welche druckdicht mit der Kapsel verbunden sind, um einen ersten bzw. zweiten Druck in die Wandleraufnahme einzuleiten.
  14. Differenzdruckmessaufnehmer nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei die Wandleraufnahme eine druckdichte Wandlerkammer bildet, in welcher der Halbleiterdruckmesswandler angeordnet ist.
  15. Differenzdruckmessaufnehmer nach Anspruch 14, wobei der zweite Kanal mit dem Volumen in der Wandlerkammer außerhalb des Halbleiterdruckmesswandlers kommuniziert, um den Halbleiterdruckmesswandler auf seinen äußeren Oberflächen mit dem über den zweiten Kanal eingeleiteten Druck isostatisch zu beaufschlagen.
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