DE102010052659A1

DE102010052659A1 - Turbo molecular pump

Info

Publication number: DE102010052659A1
Application number: DE102010052659A
Authority: DE
Inventors: Michael Schweighöfer; Herbert Stammler; Tobias Stoll
Original assignee: Pfeiffer Vacuum GmbH
Current assignee: Pfeiffer Vacuum GmbH
Priority date: 2010-11-26
Filing date: 2010-11-26
Publication date: 2012-05-31
Also published as: EP2458221A2; EP2458221B1; EP2458221A3

Abstract

Die Erfindung betrifft eine Turbomolekularpumpe (1) mit einem Rotor (10) und einer Blechstatorscheibe (24, 26, 28), welche einen Schaufelkranz, einen Tragring (60, 70), eine erste Teilscheibe (50) mit einem ersten Tragringabschnitt (56, 72) und eine zweite Teilscheibe (52) mit einem zweiten Tragring(54) festlegt. Um ein gegenseitiges Überlappen der Teilscheiben zu verhindern, wird vorgeschlagen, dass der erste Tragringabschnitt eine gegen die Scheibenebene verkippte Stoßfläche (64; 94; 96; 104) aufweist, gegen die der zweite Tragringabschnitt stößt.The invention relates to a turbomolecular pump (1) with a rotor (10) and a sheet metal stator disk (24, 26, 28), which has a blade ring, a support ring (60, 70), a first part disk (50) with a first support ring section (56, 72) and a second partial disk (52) with a second support ring (54). In order to prevent the partial disks from overlapping one another, it is proposed that the first support ring section have an abutment surface (64; 94; 96; 104) that is tilted against the disk plane and against which the second support ring section abuts.

Description

Die Erfindung betrifft eine Turbomolekularpumpe nach dem Oberbegriff des Anspruchs 1.The invention relates to a turbomolecular pump according to the preamble of claim 1.

Seit Jahrzehnten werden Turbomolekularpumpen in der Vakuumtechnik zur Erzeugung von Hochvakuum und Ultrahochvakuum eingesetzt. Die Vakuumerzeugung beruht in ihnen auf einem Rotor mit mehreren entlang der Rotorachse zueinander versetzten Schaufelkränzen, zwischen denen statorseitig stehende Schaufelkränze angeordnet sind.For decades, turbomolecular pumps have been used in vacuum technology to produce high vacuum and ultrahigh vacuum. The vacuum generation is based in them on a rotor with a plurality along the rotor axis staggered blade rings, between which stator side standing blade rings are arranged.

Verschiedene Gestaltungsformen der statorseitigen Schaufelkränze sind im Stand der Technik bekannt. Nachfolgend werden so genannte Blechstatorscheiben betrachtet. Diese werden typischerweise aus Feinblech hergestellt, indem zunächst durch Stanzen oder Schneiden die Schaufeln des Schaufelkranzes freigelegt und in einem nachfolgenden Umformschritt aus der Scheibenebene herausgedreht werden. Diese Blechstatorscheiben sind kostengünstig und sind insbesondere für den Bereich des Vorvakuums beliebt, in welchem die Schaufeln nur um wenige Grad aus der Scheibenebene herausgestellt sind.Various designs of the stator blade rings are known in the art. In the following, so-called sheet metal stator disks are considered. These are typically made of thin sheet metal by first exposing the blades of the blade ring by punching or cutting and then turning them out of the disk plane in a subsequent forming step. These Blechstatorscheiben are inexpensive and are particularly popular in the field of Vorvakuums in which the blades are exposed only by a few degrees from the disk plane.

Da jeder statorseitige Schaufelkranz um die Welle des Rotors herum und in der Regel zwischen zwei rotorseitigen Schaufelkränzen angeordnet ist, erfordert die Montierbarkeit, die Blechstatorscheibe einer Stufe aus mehreren, in der Regel zwei, Teilscheiben zu bilden. Dadurch wird die geringe Dicke des Bleches zu einem Nachteil: dort, wo die Teilscheiben aneinanderstoßen, können die dünnen Bleche übereinanderrutschen. Die Schaufeln des Schaufelkranzes sind dann falsch positioniert und weichen unter anderem in Richtung der Rotorachse von ihrer Solllage ab. In der Folge wird der Spalt zwischen rotorseitigem und statorseitigem Schaufelkranz aufgebraucht. In besonderen Betriebsbedingungen, beispielsweise bei hohen Gaslasten kann dies zu einem Kontakt zwischen rotorseitigen und statorseitigen Bauteilen führen. Im schlimmsten Fall ist das Versagen der Pumpe die Folge.Since each stator-side blade ring is arranged around the shaft of the rotor and usually between two rotor-side blade rings, the assemblability of forming the Blechstatorscheibe one stage of several, usually two, part discs to form. As a result, the small thickness of the sheet becomes a disadvantage: where the part discs abut each other, the thin sheets can slide over each other. The blades of the blade ring are then positioned incorrectly and deviate among others in the direction of the rotor axis from its desired position. As a result, the gap between the rotor-side and stator-side blade ring is used up. In special operating conditions, for example in the case of high gas loads, this can lead to contact between rotor-side and stator-side components. In the worst case, the failure of the pump is the result.

Es ist daher Aufgabe der Erfindung eine Turbomolekularpumpe vorzustellen, in welcher das Überlappen der Teilscheiben verhindert ist.It is therefore an object of the invention to present a turbomolecular pump, in which the overlapping of the part discs is prevented.

Diese Aufgabe wird gelöst durch eine Turbomolekularpumpe mit den Merkmalen des ersten Anspruchs. Die abhängigen Ansprüche 2 bis 8 geben vorteilhafte Weiterbildungen an, deren Merkmale untereinander kombinierbar sind.This object is achieved by a turbomolecular pump having the features of the first claim. The dependent claims 2 to 8 indicate advantageous developments, whose characteristics can be combined with each other.

Eine Statorscheibe weist wenigstens eine erste Teilscheibe mit einem ersten Tragringabschnitt und eine zweite Teilscheibe mit einem zweiten Tragringabschnitt auf. Eine Stoßfläche am ersten Tragringabschnitt, die gegen die Scheibenebene verkippt ist und gegen die der zweite Tragringabschnitt stößt, verhindert das gegenseitige Überlappen der Tragringabschnitte. Der Gedanke ist, den im Verhältnis zur axialen Statorscheibenausdehnung linienartigen Tragringabschnitt einer Blechstatorscheibe gegen eine Fläche stoßen zu lassen. Durch diese Fläche kann die zweite Teilscheibe einen axialen Versatz gegenüber der ersten Teilscheibe aufweisen, ohne dass der Tragringabschnitt an der Fläche vorbeirutschen kann.A stator disk has at least one first part disk with a first support ring portion and a second part disk with a second support ring portion. An abutment surface on the first support ring portion, which is tilted against the disk plane and abuts against the second support ring portion, prevents the mutual overlapping of the support ring sections. The idea is to allow the line-like support ring section of a sheet metal stator disk, which is linear in relation to the axial stator disk extension, to abut against a surface. As a result of this surface, the second dividing disk can have an axial offset relative to the first dividing disk, without the supporting ring section being able to slip past the surface.

Der Gedanke lässt sich vorteilhaft weiterbilden, indem die Stoßfläche Abschnitte ober- und unterhalb der Scheibenebene aufweist, so dass die Richtung eines axialen Versatzes der zweiten Teilscheibe kein Problem darstellt und eine Überlappung verhindert bleibt.The idea can advantageously be further developed in that the abutment surface has portions above and below the disk plane, so that the direction of an axial offset of the second part disk is not a problem and an overlap is prevented.

Eine andere Weiterbildung sieht vor,. den Tragring der zweiten Teilscheibe mit einer Sicke zu versehen, die wenigstens abschnittsweise gegen die Stoßfläche der ersten Teilscheibe stößt. Durch die Sicke wird die im Aneinanderstoßen der Tragringabschnitte wirksame axiale Dicke der Tragringabschnitte über die Stärke des Bleches hinaus erhöht, wodurch das Übereinanderrutschen der Tragringabschnitte unterbunden wird.Another training provides. to provide the support ring of the second part of the disc with a bead, which abuts at least partially against the abutting surface of the first part of the disc. The beading increases the effective axial thickness of the support ring sections in the abutting of the support ring sections beyond the thickness of the metal sheet, thereby preventing the supporting ring sections from slipping over one another.

Eine andere Weiterbildung, die den letzten Grundgedanken aufgreift, sieht vor, Stoßflächen an erstem und zweitem Tragringabschnitt vorzusehen, zwischen denen im montierten Zustand ein flächiger Kontakt entsteht. Der zusätzlich Vorteil besteht darin, dass beide Teilscheiben als Gleichteil gestalten werden können, so dass die Herstellung kostengünstiger wird.Another development, which takes up the last basic idea, provides to provide abutment surfaces on the first and second support ring portion, between which a flat contact is formed in the assembled state. The additional advantage is that both part discs can be designed as a common part, so that the production is cheaper.

Eine Weiterbildung sieht vor, einen Abschnitt der Stoßkante des zweiten Tragringabschnitts gegen die Scheibenebene zu verkippen, wodurch wiederum die im Aneinanderstoßen der Teilscheiben wirksame Dicke des Tragringabschnitts erhöht wird. Diese Struktur ist sehr leicht herstellbar.A further embodiment provides to tilt a portion of the abutting edge of the second support ring portion against the disk plane, which in turn increases the thickness of the support ring portion effective in abutting the part disks. This structure is very easy to produce.

Anordnen des Tragrings außerhalb des Schaufelkranzes, so dass er letzteren umgibt, bringt als Weiterbildung den zusätzlichen Vorteil, dass an dieser Stelle größere Gestaltungsfreiheiten genutzt werden können, während innerhalb des Schaufelkranzes vorgesehener Tragring zu Gunsten enger Axialspalte zwischen Statorscheibe und Rotorscheiben möglichst flach gestaltet bleiben kann, beispielsweise mit der Dicke des verwendeten Feinblechs.Arranging the support ring outside of the blade ring, so that it surrounds the latter, brings as training the additional advantage that greater freedom of design can be used at this point, while provided within the blade ring support ring in favor of narrow axial gaps between the stator and rotor disks can remain as flat as possible, for example, with the thickness of the thin sheet used.

Anbringen der Stoßfläche am äußeren Tragring eröffnet die Möglichkeit, eine die Stoßfläche tragende Lasche mit einem Statorbauteil zusammenwirken zu lassen, um die Teilscheibe in radialer Richtung festzulegen. Dies bedeutet den zusätzlichen Vorteil einer genauen Positionierung und Fixierung der Teilscheiben, was die Montage erleichtert und den Stator robuster gegen mechanische Einflüsse macht, beispielsweise mechanischen Belastungen von außen oder Druckstößen durch hohe Gaslasten.Attaching the abutment surface on the outer support ring opens up the possibility of allowing a lug carrying the abutting surface to interact with a stator component in order to fix the part disc in the radial direction. This means the added benefit Precise positioning and fixing of the part discs, which facilitates assembly and makes the stator more robust against mechanical influences, such as mechanical loads from outside or pressure surges due to high gas loads.

An Hand von Ausführungsbeispielen und deren Weiterbildungen soll die Erfindung näher erläutert und die Darstellung ihrer Vorteile vertieft werden.With reference to embodiments and their developments, the invention will be explained in more detail and the representation of its benefits to be deepened.

Es zeigen:Show it:

1: Schematischer Schnitt durch eine Turbomolekularpumpe; 1 : Schematic section through a turbomolecular pump;

2: Draufblick auf zwei Teilscheiben einer Statorscheibe gemäß erstem Ausführungsbeispiel; 2 : An overview of two partial disks of a stator disk according to the first exemplary embodiment;

3: Seitlicher Blick auf den Stoßbereich der Teilscheiben; 3 : Lateral view of the impact area of the part discs;

4: Teilschnitt durch Rotor und Stator der Turbomolekularpumpe gemäß zweitem Ausführungsbeispiel; 4 : Partial section through the rotor and stator of the turbomolecular pump according to the second embodiment;

5: Entlang der Linie I-I' teilgeschnittene und explodierte Ansicht von Teilscheiben und Distanzringen; 5 : Partially cut and exploded view of partial discs and spacers along line II ';

6: Blick auf den Berührungsbereich der Teilscheiben gemäß einem dritten Ausführungsbeispiel; 6 : View of the contact area of the part discs according to a third embodiment;

7: Schnitt durch die Anordnung nach 6 entlang der Linie II-II'; 7 : Cut through the arrangement after 6 along the line II-II ';

8: Blick auf den Berührungsbereich der Teilscheiben gemäß einem vierten Ausführungsbeispiel; 8th : View of the contact area of the part discs according to a fourth embodiment;

9: Schnitt durch die Anordnung nach 8 entlang der Linie III-III'. 9 : Cut through the arrangement after 8th along the line III-III '.

Es zeigt 1 einen Schnitt durch eine Turbomolekularpumpe 1. Sie besitzt einen Flansch 4, der lösbar an dem Flansch einer zu evakuierenden Kammer befestigt ist. Durch die Ansaugöffnung 6 wird Gas in die Pumpe eingesaugt und durch den Auslass 8 ausgestoßen. Im Gehäuse 2 sind Rotor 10 und Stator 20 angordnet, durch deren Zusammenwirken die Förderwirkung erreicht wird.It shows 1 a section through a turbomolecular pump 1 , It has a flange 4 which is releasably secured to the flange of a chamber to be evacuated. Through the intake opening 6 Gas is sucked into the pump and through the outlet 8th pushed out. In the case 2 are rotor 10 and stator 20 angordnet, by their interaction, the promotion effect is achieved.

Der Rotor umfasst eine Welle 12, auf der eine vorvakuumseitige Rotorscheibe 14, eine mittlere Rotorscheibe 16 und eine hochvakuumseitige Rotorscheibe 18 vorgesehen sind, wobei jede der Rotorscheiben einen aus einer Mehrzahl von Schaufeln bestehenden Schaufelkranz besitzt. Die Welle wird hochvakuumseitig durch ein Permanentmagnetlager 40 und vorvakuumseitig durch ein Wälzlager 42 drehbar unterstützt. Ein Antrieb 44 versetzt den Rotor in schnelle Drehung von einigen Zehntausend Umdrehungen in der Minute.The rotor comprises a shaft 12 , on which a vorvakuumseitige rotor disk 14 , a middle rotor disk 16 and a high vacuum side rotor disk 18 are provided, wherein each of the rotor disks has a blade ring consisting of a plurality of blades. The shaft is high vacuum side by a permanent magnet bearing 40 and on the vacuum side through a rolling bearing 42 rotatably supported. A drive 44 puts the rotor in rapid rotation of tens of thousands of revolutions per minute.

Der Stator umfasst eine vorvakuumseitige Statorscheibe 24, eine mittlere Statorscheibe 26 und eine hochvakuumseitige Statorscheibe 28. Diese sind durch Distanzringe 30, 32 und 34 in Bezug auf die Welle axial von einander beabstandet und mit den Rotorscheiben alternierend angeordnet. Die Statorscheiben besitzen ebenfalls Schaufelkränze.The stator includes a vorvakuumseitige stator 24 , a middle stator disc 26 and a high vacuum side stator disk 28 , These are through spacer rings 30 . 32 and 34 axially spaced from each other with respect to the shaft and arranged alternately with the rotor disks. The stator discs also have blade rings.

Die Anzahl von Rotor- und Statorscheiben hängt von den gewünschten vakuumtechnischen Parameter wie Saugvermögen und Druckverhältnis zwischen Ansaugöffnung und Auslass ab. Der Rotor kann anstelle von Scheiben auch in im Stand der Technik bekannter Glockenbauweise gebaut sein, zudem können beide Lager vorvakuumseitig angeordnet sein.The number of rotor and stator disks depends on the desired vacuum parameters, such as the suction capacity and the pressure ratio between intake opening and outlet. The rotor may be constructed instead of discs also known in the art bell design, also both bearings can be arranged on the vacuum side.

Die nachfolgend anhand der 2 bis 10 beschriebenen Ausführungsbeispiele können auf eine, mehrere oder jede der aus Feinblech hergestellten Statorscheiben der Turbomolekularpumpe angewendet werden.The following are based on the 2 to 10 described embodiments may be applied to one, several or each of the stator made of sheet steel turbomolecular pump.

In 2 sind in einem Draufblick eine erste Teilscheibe 50 und eine zweite Teilscheibe 52 der Statorscheibe 24 dargestellt. Der äußere Tragring 60, an welchem die Schaufeln 80 des Schaufelkranzes befestigt sind, besitzt einen äußeren, ersten Tragringabschnitt 56, welcher Teil der ersten Teilscheibe ist, und einen äußeren, zweiten Tragringabschnitt 58, welcher Teil der zweiten Teilscheibe ist. Außerdem weist die Statorscheibe einen inneren Tragring 70 auf, welcher einen inneren, ersten Tragringabschnitt 72 und einen inneren, zweiten Tragringabschnitt 74 umfasst. Jede Teilscheibe besitzt daher einen äußeren und einen inneren Tragringabschnitt, zwischen denen jeweils ein Teil des Schaufelkranzes angeordnet ist.In 2 are at a glance a first part of the disc 50 and a second dividing disk 52 the stator disc 24 shown. The outer support ring 60 on which the blades 80 of the blade ring are fastened, has an outer, first support ring portion 56 , which is part of the first part-disc, and an outer, second support ring portion 58 , which is part of the second part disc. In addition, the stator disc has an inner support ring 70 on which an inner, first support ring section 72 and an inner, second support ring portion 74 includes. Each part disc therefore has an outer and an inner support ring portion, between each of which a part of the blade ring is arranged.

In der Darstellung sind die Teilscheiben voneinander beabstandet gezeichnet. Im montierten Zustand stoßen die Tragringabschnitte der Teilscheiben aneinander. Dies geschieht durch Berührung der äußeren, der inneren oder äußerer und innerer Tragringabschnitte.In the illustration, the part discs are shown spaced from each other. In the mounted state, the support ring sections of the part discs abut each other. This is done by touching the outer, inner or outer and inner support ring sections.

Der äußere, erste Tragringabschnitt weist eine Lasche 62 auf, gegen die der äußere, zweite Tragringabschnitt 58 stößt. Zusätzlich kann am inneren, ersten Tragringabschnitt eine Lasche 82 vorgesehen sein, gegen die der zweite innere Tragringabschnitt stößt.The outer, first support ring portion has a tab 62 on, against which the outer, second support ring portion 58 encounters. In addition, at the inner, first support ring portion a tab 82 be provided, against which the second inner support ring section abuts.

Wenigstens eine der Teilscheibe besitzt eine hinreichende Anzahl Laschen an einem der Tragringabschnitte 56 und 72, so dass das Überlappen verhindert wird. Beispielsweise kann neben der Lasche 62 am anderen Ende des äußeren, ersten Tragringabschnittes ebenfalls eine Lasche vorgesehen sein. Im Beispiel sind die Teilscheiben jedoch vorteilhaft als Gleichteil gestaltet, das heißt, beide Teilscheiben sind gleichgestaltet und mit einem identischen Verfahren hergestellt. Daher weist die zweite Teilscheibe Laschen 62' und 82' auf, so dass die Teilscheiben nicht übereinander rutschen können.At least one of the indexing disk has a sufficient number of tabs on one of the support ring sections 56 and 72 so that the overlap is prevented. For example, next to the tab 62 at the other end of the outer, first support ring portion also be provided a tab. In the example, however, the part discs are advantageously designed as a common part, that is, both part discs are the same shape and made with an identical process. Therefore, the second dividing plate has tabs 62 ' and 82 ' so that the dividing discs can not slip over each other.

Der Stoßbereich von erstem und zweitem Tragringabschnitt 56 und 58 des äußeren Tragringes ist in 3 in einem seitlichen Blick dargestellt. Die Schaufeln 80 des Schaufelkranzes sind aus der Scheibenebene 54 herausgedreht, wobei der Winkel von den vakuumtechnischen Anforderungen abhängt. In der Regel nimmt der Winkel von Hochvakuumseite zu Vorvakuumseite ab.The joint area of the first and second support ring section 56 and 58 the outer support ring is in 3 shown in a side view. The shovels 80 of the blade ring are out of the disk plane 54 turned out, the angle depends on the vacuum technical requirements. As a rule, the angle decreases from the high-vacuum side to the fore-vacuum side.

Die am äußeren, ersten Tragringabschnitt 56 vorgesehene Lasche 62 weist eine hakenartige Biegeform auf. Dies führt dazu, dass die Stoßfläche 64, gegen die der äußere, zweite Tragringabschnitt 58 stößt, einen ersten Abschnitt 66 unterhalb und einen zweiten Abschnitt 68 oberhalb der Scheibenebene besitzt. Der zweite Tragringabschnitt 58 kann daher in beiden axialen Richtungen aus der Scheibenebene ausgelenkt werden, ohne dass er über den ersten Tragringabschnitt 56 rutschen und mit diesem Überlappen kann.The outer, first support ring section 56 provided tab 62 has a hook-like bending shape. This causes the abutment area 64 , against which the outer, second support ring portion 58 encounters a first section 66 below and a second section 68 has above the disc level. The second support ring section 58 Therefore, it can be deflected out of the disk plane in both axial directions without passing over the first supporting ring section 56 slip and overlap with this.

Eine Abwandlung dieses Ausführungsbeispiels ist in den 4 und 5 gezeigt.A modification of this embodiment is in the 4 and 5 shown.

In 4 ist ein Teilschnitt entlang der Wellenachse durch die Vakuumpumpe von 1 dargestellt. Die Welle 12 trägt Rotorscheiben 14 und 16. Zwischen den Rotorscheiben ist die Statorscheibe 26 angeordnet, deren äußerer Tragring zwischen Distanzringen 30 und 32 eingeklemmt ist. Die Distanzringe umgebend sichert das Gehäuse 2 die Positionierung der Bauteile und Gasdichtheit der Vakuumpumpe. Der Distanzring 32 weist einen Radialanschlag 90 auf, welcher den radialen Verschiebespielraum der Lasche 98 begrenzt, welche am äußeren Tragring der Statorscheibe 26 vorgesehen ist.In 4 is a partial section along the shaft axis through the vacuum pump of 1 shown. The wave 12 carries rotor disks 14 and 16 , Between the rotor disks is the stator disk 26 arranged, the outer support ring between spacers 30 and 32 is trapped. Surrounding the spacer rings secures the housing 2 the positioning of the components and gas tightness of the vacuum pump. The spacer ring 32 has a radial stop 90 on which the radial displacement clearance of the tab 98 limited, which on the outer support ring of the stator 26 is provided.

Der Ausschnitt I-I' aus 4 ist in 5 zum besseren Verständnis explodiert dargestellt. Erster Tragringabschnitt 56 der ersten Teilscheibe und zweiter Tragringabschnitt 58 der zweiten Teilscheibe besitzen Laschen 98 und 98', die aus der Scheibenebene herausgestellt sind. Der Winkel zwischen Lasche und Scheibenebene ist dabei frei wählbar. Vorteilhaft ist ein Winkel nahe oder gleich 90°. Stoßfläche 94 und Gegenstoßfläche 96 der Laschen berühren einander im montierten Zustand und befinden sich vorzugsweise mit geringem Spiel in der Ausnehmung 92 des Distanzringes 32. Hierdurch wird nicht nur ein Überlappen der Tragringabschnitte und damit der Teilscheiben verhindert. Zusätzlich wird erreicht, dass beide Teilscheiben in radialer Richtung durch den Radialanschlag 90 und die Ausnehmung 92 ausgerichtet und die Distanzringe 30 und 32 fixiert werden.The section II 'off 4 is in 5 exploded for clarity. First support ring section 56 the first part disc and second support ring portion 58 the second part disc have tabs 98 and 98 ' , which are exposed from the disk level. The angle between the tab and the disc plane is freely selectable. An angle near or equal to 90 ° is advantageous. abutting face 94 and counterflap 96 The tabs touch each other in the mounted state and are preferably with little play in the recess 92 of the spacer ring 32 , As a result, not only an overlap of the support ring sections and thus the part discs is prevented. In addition, it is achieved that both partial discs in the radial direction through the radial stop 90 and the recess 92 aligned and the spacer rings 30 and 32 be fixed.

Aus den 6 bis 9 gehen weitere Gestaltungsmöglichkeiten hervor.From the 6 to 9 go further design possibilities.

Mit einem seitlichen Anblick in 6 und einem Schnitt entlang II-II' in 7 wird eine Weiterbildung mit einer Sicke vorgestellt.With a side sight in 6 and a section along II-II 'in FIG 7 a training with a bead is presented.

Der erste Tragringabschnitt 56 besitzt eine Stoßfläche 104, gegen die der zweite Tragringabschnitt 58 stößt. Dieser weist eine bis zum Ende des Tragringabschnitts laufende Sicke 106 auf. Durch diese bildet das Ende des zweiten Tragringabschnitts eine zweidimensionale Struktur, die die Stoßfläche 104 berührt. Zum einen wird durch diese Gestaltung das Überlappen sehr effektiv verhindert, zum anderen verleiht die Sicke dem Tragringabschnitt Steifigkeit. Gerade für einen inneren Tragringabschnitt ist dies von Vorteil, wobei die axiale Ausdehnung von Sicke und der Stoßfläche kleiner sein sollte als die axiale Ausdehnung der aus der Scheibenebene herausgedrehten Schaufeln 80.The first support ring section 56 has an impact surface 104 , against which the second support ring portion 58 encounters. This has a running to the end of the support ring portion bead 106 on. Through this, the end of the second support ring portion forms a two-dimensional structure, the impact surface 104 touched. On the one hand, the overlapping is very effectively prevented by this design, on the other hand, the bead gives the support ring section stiffness. This is advantageous especially for an inner support ring section, wherein the axial extent of the bead and the abutment surface should be smaller than the axial extent of the blades turned out of the disk plane 80 ,

Eine leicht zu fertigende und ebenfalls Steifigkeit in den Tragringabschnitt bringenden Abwandlung ist im seitlichen Anblick in 8 und im Schnitt entlang III-III' in 9 gezeigt.An easy to manufacture and also rigidity in the support ring section bringing modification is in the side view in 8th and in section along III-III 'in 9 shown.

Der erste Tragringabschnitt weist eine aus der Scheibenebene herausgestellte Stoßfläche 104 auf, gegen die der zweite Tragringabschnitt 58 stößt. Dieser besitzt einen Abschnitt 108 der Stoßkante, der gegen die Scheibenebene verkippt ist. Hierdurch entsteht eine zweidimensionale Struktur, die die Stoßfläche 104 nicht durchdringen kann. Diese Struktur ist sehr leicht herstellbar und versteift den Tragringabschnitt.The first support ring portion has an impact surface exposed from the disk plane 104 on, against which the second support ring section 58 encounters. This one has a section 108 the abutting edge, which is tilted against the disc plane. This creates a two-dimensional structure, the impact surface 104 can not penetrate. This structure is very easy to manufacture and stiffens the support ring section.

An den unterschiedlichen Enden der Tragringabschnitte können verschiedene der gezeigten Maßnahmen eingesetzt werden, so dass an einer Teilscheibe eines oder mehrere der vorgestellten Beispiele kombiniert werden. Auch ist die Kombination einzelner Merkmale der Beispiele möglich, beispielsweise die Kombination einer hakenartig geformten Lasche an einem Tragringabschnitt mit einer Sicke auf dem berührenden zweiten Tragringabschnitt.At the different ends of the support ring sections, various of the measures shown can be used, so that one or more of the presented examples are combined on a part disc. Also, the combination of individual features of the examples is possible, for example, the combination of a hook-like shaped tab on a support ring portion with a bead on the contacting second support ring portion.

Claims

Turbomolecular pump ( 1 ) with a rotor ( 10 ) and a sheet metal stator disk ( 24 . 26 . 28 ), which has a blade ring, a support ring ( 60 . 70 ), a first part disk ( 50 ) with a first support ring section ( 56 . 72 ) and a second dividing disk ( 52 ) With a second support ring section ( 58 . 74 ) and a slice plane ( 54 ) determines, characterized in that the first support ring portion a tilted against the disc plane abutment surface ( 64 ; 94 ; 96 ; 104 ), against which the second support ring section abuts.

Turbomolecular pump according to claim 1, characterized in that the impact surface ( 64 ) has a first and a second section and the first section ( 66 ) lies on one side of the disk plane and the second section ( 68 ) on the side opposite the first side of the disk plane ( 54 ) lies.

Turbomolecular pump according to claim 1 or 2, characterized in that the second support ring section ( 58 ) a bead ( 106 ), which is formed up to an end of the second support ring portion and so against the impact surface ( 64 ) pushes.

Turbomolecular pump according to claim 1 or 2, characterized in that the second support ring section ( 58 ) an impact surface ( 96 ), which the impact surface ( 64 ) touched.

Turbomolecular pump according to claim 1 or 2, characterized in that the second support ring section ( 58 ) has an abutment edge, which has a portion tilted against the disc plane ( 108 ), which with the impact surface ( 104 ) cooperates.

Turbomolecular pump according to one of the preceding claims, characterized in that the supporting ring ( 56 . 58 ) surrounds the blade ring.

Turbomolecular pump according to claim 6, characterized in that the impact surface ( 94 ; 96 ) is arranged on a tab, which with a stator ( 32 ) cooperates to set the dividing disc in a radial direction.

Turbomolecular pump according to one of the preceding claims, characterized in that the impact surface ( 64 ; 94 . 96 ; 104 ) forms an almost right angle with the disk plane.