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Die Erfindung betrifft einen Sensor zur Bestimmung der in einem Abgas eines Verbrennungsmotors enthaltenen Kohlendioxyd- und/oder Wasserkonzentration.
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Bei modernen Verbrennungsmotoren wird die effiziente Verbrennung des zugeführten Treibstoffes immer wichtiger. Zum einen wird durch die effiziente Verbrennung des Treibstoffes die zur Verfügung stehende Treibstoffreserve geschont und zum anderen wird durch eine effiziente Verbrennung des Treibstoffes die Belastung der Umwelt durch die Abgase des Verbrennungsprozesses auf ein Minimum reduziert. Bei Verbrennungsmotoren für Kraftfahrzeuge hat sich zur Reduktion des Schadstoffausstoßes die Rückführung der Abgase in den Ansaugtrakt des Verbrennungsmotors als effiziente Methode zur Reduktion von Schadstoffen erwiesen. Da jedoch diese zurückgeführten Abgase schon einen Verbrennungsprozess durchlaufen haben, ist der im zurückgeführten Abgas enthaltenen Sauerstoffanteil gegenüber dem Anteil in der normalen Umgebungsluft reduziert. Für eine optimale Verbrennung ist es jedoch notwendig, genau zu wissen, wie das zur Verbrennung bereitgestellte Gas, insbesondere mit Hinblick auf den Sauerstoffanteil zusammengesetzt ist, damit dem Verbrennungsmotor genau die richtige Menge Sauerstoff zugeführt werden kann. Die Zusammensetzung der normalen Umgebungsluft ist bekannt. Sie besteht aus 78% Stickstoff, 21% Sauerstoff und etwa 0,03% Kohlendioxyd. Nachdem die frische Umgebungsluft im Verbrennungsmotor einem Verbrennungsprozess unterzogen wurde, ist der Sauerstoffanteil wesentlich reduziert und der Kohlendioxydanteil erheblich erhöht.
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Die
DE 602 02 362 T2 offenbart einen nicht-dispersiven Infrarotsensor für verdampfendes Wasserstoffperoxyd. Es wird ein Dekontaminationssystem offenbart, das aus einer die mikrobakteriell zu kontaminierenden Gegenstände aufnehmenden Kammer und aus einer Quelle des der Kammer zuzuführenden mehrere Komponenten enthaltenden Dampfgemisches besteht. Weiterhin besteht das Dekontaminationssystem aus einem Sensorsystem einschließlich eines lichtausstrahlenden Teils, das das Licht in das mehrere Komponenten enthaltende Dampfgemisch einstrahlt, und aus einem lichtempfangenden Teil, das das durch des mehrere Komponenten enthaltende Dampfgemisch geleitete Licht empfängt.
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Die
DE 695 30 636 T2 offenbart einen Infrarotfühler für Stickstoffoxyd mit Wasserdampfkompensation. Dieses System besteht aus einer Quelle für elektromagnetische Strahlung, einem ersten Sensormittel mit einem Ausgang zur Anzeige eines Grades der Absorption der Strahlung, einem zweiten Sensormittel mit einem Ausgang zur Anzeige des Grades der Absorption der Strahlung innerhalb eines Bandes von zwei Wellenlängen, und einem Mittel mit Eingängen, die mit den Ausgängen des ersten Sensormittels und des zweiten Sensormittels gekoppelt sind.
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Die Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es, einen kostengünstigen Sensor anzugeben, mit dem die im Abgas eines Verbrennungsmotors enthaltene Kohlendioxyd- und/oder Wasserkonzentration möglichst genau bestimmt werden kann.
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Die Aufgabe wird durch einen Sensorsystem zur Bestimmung der im Abgas eines Verbrennungsmotors enthaltenen Kohlendioxyd- und/oder Wasserkonzentration nach dem Patentanspruch 1 gelöst.
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Dadurch, dass das erste Filterelemente aus einem Metamaterial ausgebildet ist, wir nur eine ganz bestimmte Wellenlänge, zum Beispiel 4,28 μm, zum ersten Sensorelement durchgelassen. Das erste Sensorelement erfasst also genau den Anteil der charakteristischen elektromagnetischen Strahlung der nicht von den Kohlendioxyd- und/oder Wasserpartikeln absorbiert wurde. Damit wird eine hochpräzise Messung der Kohlendioxyd- und/oder Wasserkonzentration möglich.
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Bei einer Weiterbildung der Erfindung sind die Sensorelemente als Thermopiles ausgebildet. Thermopiles eignen sich besonders gut zur Messung der Intensität der elektromagnetischen Strahlung.
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Bei einer vorteilhaften Weiterbildung ist vor dem zweiten Sensorelement ein zweites Filterelement angeordnet, durch das ausschließlich die zweite elektromagnetische Strahlung bis zu dem zweiten Sensorelement gelangt. Wenn man sich auf eine erste und eine zweite Strahlung festlegt und deren Intensität miteinander vergleicht, ist der Intensitätsverlust der ersten Strahlung durch das Kohlendioxyd im Abgas besonders gut fetstellbar. Daher kann mit Hilfe des zweiten Filterelementes eine besonders genaue Kohlendioxyd-Konzentrationsbestimmung erfolgen. Wenn das zweite Filterelement zudem aus einem Metamaterial ausgebildet ist, wird auch hier die Selektion einer scharfen Wellenlänge, zum Beispiel 4,00 μm, als Referenzstrahlung aus dem Spektrum der charakteristischen elektromagnetischen Strahlung möglich. Die Intensität der zweiten elektromagnetischen Strahlung (Referenzstrahlung) ist damit sehr genau bestimmbar, was einen hochgenauen Verglich zwischen den Intensitäten der ersten elektromagnetischen Strahlung und der zweiten elektromagnetischen Strahlung ermöglich. Daraus resultiert wiederum eine hochpräzise Messung der Kohlendioxyd- und/oder Wasserkonzentration im Abgas.
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Im Folgenden wird die vorliegende Erfindung unter Bezugnahme auf die begleitende Zeichnung und anhand bevorzugter Ausführungsformen erläutert. Es zeigen:
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1 einen Verbrennungsmotor,
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2 die Funktionsweise des Sensorssystems,
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3 eine Draufsicht auf die Strahlungsquelle,
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4 den Strahlungsempfänger,
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5 den Sensor mit dem Strahlungsempfänger und Strahlungsquelle,
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6 die aus 2 bekannte Strahlungsquelle.
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1 zeigt einen Verbrennungsmotor 1 mit einem Abgaskrümmer 2 und dem sich an den Abgaskrümmer 2 anschließenden Abgasrohr 3. Im Abgasrohr 3 ist ein Schalldämpfer 4 ausgebildet. Vom Abgasrohr 3 zweigt ein Abgasrückführrohr 5 ab, das mit einem Abgasrückführventil 6 versehen ist. Wenn das Abgasrückführventil 6 geöffnet wird, können Abgase 13 aus dem Abgasrohr 3 über das Abgasrückführrohr 5 in das Ansaugrohr 9 geführt werden. Damit werden die Abgase 13 vom Verbrennungsmotor 1 der angesaugten Frischluft beigemischt. Die Frischluft für den Verbrennungsmotor 1 wird über einen Luftfilter 7, der eine Luftfiltermatte 8 enthält, in das Ansaugrohr 9 angesaugt. Die Frischluft wird bei geöffnetem Abgasrückführventil 6 mit den Abgasen 13 vermischt und dieses Gasgemisch wird dem Verbrennungsmotor 1 zur Verbrennung des Treibstoffes zugeführt. Zur Messung der Kohlendioxydkonzentration im Abgas 13 des Verbrennungsmotors 1 ist ein Sensorsystem zur Bestimmung der im Abgas 13 des Verbrennungsmotors 1 enthaltenen Kohlendioxydkonzentration aus einem Sensor 10 und einer elektrischen Energiequelle 11 aufgebaut. Die elektrische Energiequelle 11 kann eine elektrische Stromquelle sein. Weiterhin kann das Sensorsystem zur Bestimmung der in einem Abgas des Verbrennungsmotors enthaltenen Kohlendioxydkonzentration eine Auswerteelektronik 12 und eine elektronische Schaltung 31 zur Regelung des Stromes für das Strahlungsquellenheizelement 22 enthalten. Der Sensor 10 kann im Abgasrohr 3, im Abgasrückführrohr 5 oder im Ansaugrohr 9 im Bereich nach der Beimischung des Abgases 13 angeordnet sein.
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Die Funktionsweise des Sensors 10 zur Bestimmung der im Abgas 13 eines Verbrennungsmotors 1 enthaltenen Kohlendioxydkonzentration wird in 2 dargestellt.
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2 zeigt das Abgasrohr 3, in dem der Sensor 10 angeordnet ist. Wie schon in 1 dargestellt, kann der Sensor 10 auch im Abgasrückführrohr 5 oder im Ansaugrohr 9 angeordnet sein. Der Sensor 10 weist eine Strahlungsquelle 16 auf, die thermische Strahlung 17, 18 im infraroten Spektralbereich erzeugt. Die Strahlungsquelle 16 besteht aus einem Substrat 20, an dem oder auf dem mit mikromechanischen Methoden eine dünne Membran 21 ausgebildet ist. Auf der Membran 21 ist ein elektrisches Strahlungsquellenheizelement 22 angeordnet. Die Membran 21 und das darauf angeordnete elektrische Strahlungsquellenheizelement 22 können durch eine Passivierung 23 abgedeckt sein. Das elektrische Strahlungsquellenheizelement 22 ist über elektrische Anschlüsse 28 mit einer elektrischen Energiequelle 11 verbunden. Die elektrische Energiequelle 11 kann eine Stromquelle sein. Mithilfe dieser Energiequelle 11 wird das elektrische Strahlungsquellenheizelement 22 und damit die Strahlungsquelle 16 nach Möglichkeit auf eine konstante Temperatur erhitzt, so dass die Strahlungsquelle 16 eine für sie charakteristische elektromagnetische Strahlung abstrahlt. Die Membran 21 dient in erster Linie dazu, das beim Erhitzen des elektrischen Strahlungsquellenheizelementes 22 möglichst wenig Wärmeenergie auf die äußeren Bereiche des Substrats 20 übertragen wird. Der heiße Bereich der Strahlungsquelle 16 soll damit vor allem im Bereich der Membran 21 entstehen. Die Strahlungsquelle 16 ist dabei so zu erhitzen, dass sie eine charakteristische elektromagnetische Strahlung 17, 18 abstrahlt, die eine möglichst hohe Intensität im Bereich von Resonanzwellenlängen des im Abgas befindlichen Kohlendioxydes oder Wassers aufweist. Dazu muss die Strahlungsquelle 16 auf eine konstante Temperatur geheizt werden, die allerdings in Abhängigkeit von der Abgastemperatur stehen kann. Ein Temperatursensor 30 erfasst die Abgastemperatur und führt diesen Messwert der elektronischen Schaltung 31 zu, die die Stromquelle 11 ansteuert, welche die Strahlungsquelle 16 versorgt. Der Temperatursensor 30 kann auch auf dem Substrat 20 der Strahlungsquelle 16 angeordnet sein.
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In dem Abgas 13 von dem Verbrennungsmotor 1 sind Kohlendioxydpartikel 14 und Wasserpartikel zu erkennen. Weiterhin werden mit dem Abgas 13 vom Verbrennungsmotor Verschmutzungen 15 durch das Abgasrohr 3 transportiert. Diese Verschmutzungen 15 können zum Beispiel Rußpartikel sein, die vermehrt bei der Verbrennung von Dieselkraftstoff entstehen. Diese Rußpartikel neigen dazu, sich zum Beispiel auf der Passivierung 23 der Strahlungsquelle 16 und der strahlungsdurchlässigen Abdeckung 33 des Strahlungsempfängers 19 abzulagern. Durch die Verschmutzungen 15 auf der Strahlungsquelle 16 wird die charakteristische Strahlung der Strahlungsquelle 16 verändert, was die Messung des Kohlendioxydanteils im Abgas 13 wesentlich verfälschen kann. Durch die Verschmutzungen 15 auf dem Strahlungsempfänger wird das vom Sensorelement 26a, 26b erzeugte Signal abgeschwächt, was zur Verfälschung der Messergebnisse führt. Auch hier ist es zunächst denkbar die konstante Temperatur der Strahlungsquelle 16 dem Verschmutzungsgrad der Strahlungsquelle 16 und des Strahlungsempfängers 19 anzupassen. Wenn die Strahlungsquelle 16 und/oder der Strahlungsempfänger 19 jedoch soweit verschmutzt ist/sind, das eine Nachführung der konstanten Heiztemperatur wirkungslos wird, ist es notwendig die Strahlungsquelle 16 und/oder den Strahlungsempfänger 19 von der Verschmutzung 15 zu reinigen. Dazu kann die Strahlungsquelle 16 und/oder der Strahlungsempfänger 19 auf die Abbrandtemperatur der Verschmutzung 15 aufgeheizt werden. Der Strahlungsempfänger 19 weist dazu ein elektrisches Heizelement 32 auf, das mit elektrischer Energie versorgt werden kann. Die Abbrandtemperatur für die Verschmutzung 15 (z. B. Ruß) liegt bei über 500°C.
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Die Wirkungsweise des Sensors 10 nach 2 wird im Folgenden dargestellt:
Die Strahlungsquelle 16 sendet eine charakteristische elektromagnetische Strahlung aus, die eine erste Strahlung 17 mit einer Wellenlänge von z. B. 4,28 μm enthält. Die Strahlungsquelle 16 ist vorzugsweise mit mikromechanischen Techniken gefertigt und weist eine anisotrop geätzte Membran 21 auf, die von dem elektrischen Strahlungsquellenheizelement 22 zum Beispiel auf 400°C aufgeheizt wird. Bei 400°C erzeugt die Strahlungsquelle 16 die charakteristische elektromagnetische Strahlung, die alle benötigten Wellenlängen enthält. Bei dieser Anwendung liegt das Spektrum der Strahlung im Infraroten (IR) Bereich. Im Spektrum der Strahlungsquelle 16 ist zumindest eine zweite Strahlung 18 z. B. mit einer Wellenlänge von zum Beispiel 4,0 μm oder einer Wellenlänge von 5 μm enthalten. Wenn die erste Strahlung 17 mit einer Wellenlänge 4,28 μm auf ein Kohlendioxydpartikel 14 auftrifft, gerät diese erste Strahlung 17 mit dem Kohlendioxydpartikel 14 in Resonanz und wird vollständig vom Kohlendioxydpartikel 14 absorbiert. Hingegen geht die zweite Strahlung 18 ungehindert durch die Kohlendioxydpartikel 14 hindurch, da die Kohlendioxydpartikeln 14 für die Wellelänge der zweiten Strahlung 18 keine Resonanzen aufweisen. Im Strahlungsempfänger 19 sind ein erstes Fenster 24 und ein zweites Fenster 25 zu erkennen. Das erste Fenster 24 lässt ausschließlich die erste Strahlung 17 mit einer Wellenlänge von 4,28 μm passieren. Das zweite Fenster 25 lässt ausschließlich die zweite Strahlung 18 mit der anderen Wellenlänge (z. B. 4,0 μm) passieren. Diese Fenster sind also Frequenzfilter und die Fenster werden im Rahmen dieser Patentanmeldung auch als Filter bezeichnet. Die Filter 24, 25 sind aus einem Metamaterial aufgebaut. Ein Metamaterial ist eine künstlich hergestellte Struktur, deren Durchlässigkeit für elektrische und magnetische Felder (Permittivität εr und Permeabilität μr) Werte aufweisen, die in der Natur üblicherweise nicht vorkommen. Besonders interessant sind Metamaterialien mit negativen reellen Brechzahlen Diese Materialien absorbieren das Licht nicht und ermöglichen neue Anwendungen im Bereich der Optik und Elektrotechnik. Metamaterialien zeichnen sich dadurch aus, dass sie in ihrem Inneren speziell angefertigte mikroskopische Strukturen aus elektrischen oder magnetisch wirksamen Materialien aufweisen, welche für die besonderen Eigenschaften des Metamaterials verantwortlich sind. Die Infrarotstrahlung zum Beispiel kann die Leiterelemente im Metamaterial mit Energie versorgen und sie zu resonanten Schwingungen anregen. Dabei können die zugehörigen Materialkonstanten εr und μr negative Werte annehmen. Als Resultat sind das Feld der elektrischen Flussdichte (D-Feld) und das der elektrischen Feldstärke (E-Feld) sowie das Feld der magnetischen Flussdichte (B-Feld) und das Feld der magnetischen Feldstärke (H-Feld) einander entgegengesetzt gerichtet. Die unterschiedlichen Vorzeichen der E- und D-Felder kommen durch vorteilhafte Anordnungen zustande, die die Eigenschaften aufweisen, dass die Ladungs- bzw. Stromverteilung im Material ein D-Feld in einer bestimmten Richtung erzeugt und gleichzeitig die Änderungen des magnetischen Flusses ein E-Feld erzeugt, das in die entgegengesetzte Richtung des D-Feldes zeigt. Die unterschiedlichen Vorzeichen bei B- und H-Feldern kommen in analoger Weise zustande.
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Bei den zugrundeliegenden Prozessen in Metamaterialien handelt es sich in der Regel um Resonanzeffekte in periodischen Anordnungen von Leiterelementen. Vereinfacht betrachtet besteht das Material aus einer großen Anzahl nebeneinander angeordneter elektrischer Schwingkreise mit kleinen kapazitiven und induktiven Bauelementen. Die Kapazitäten kommen durch einander gegenüberstehende metallische Leiterelemente zustande, während die induktiven Elemente durch Leiterelemente selber dargestellt werden.
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Wie es bei Resonanzerscheinungen üblich ist, treten die gewünschten Effekte bei den Metamaterialien nur in einem sehr engen Frequenzbereich in Erscheinung. Daher eignen sich Metamaterialien besonders gut als optische Filter für bestimmte Wellenlängen. Metamaterialien werden künstlich durch periodische Anordnung von Zellen (Einzelelementen) hergestellt.
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Hinter dem ersten Filter 24 und dem zweiten Filter 25 sind sogenannte Thermopiles 26 angeordnet, die die Intensität der durch das erste Fenster 24 und das zweite Fenster 25 gelangten elektromagnetischen Strahlung detektieren. Hier sind das erste Sensorelement 26a und das zweite Senorelement 26b als Thermopiles ausgebildet. Die hier beschriebene Wirkungsweise kann ebenso auf eine Resonanzwellenlänge von Wasser angepasst werden, wodurch der erfindungsgemäße Sensor sowohl zur Bestimmung einer in einem Abgas eines Verbrennungsmotors enthaltenen Kohlendioxydkonzentration 14 als auch zur Bestimmung einer in einem Abgas 13 eines Verbrennungsmotors 1 enthaltenen Wasserkonzentration eingesetzt werden kann. Werden von der Strahlungsquelle eine erste und eine zweite Strahlung 17, 18, sowie eine dritte Strahlung erzeugt und ist die erste Strahlung 17 zum Beispiel auf die Resonanz mit dem Kohlendioxyd und die dritte Strahlung auf die Resonanz mit dem Wasser abgestimmt, wobei die zweite Strahlung 18 keinerlei Resonanz mit den Abgasbestandteilen zeigt, so kann, unter Verwendung von drei entsprechenden Fenstern zur Frequenzfilterung und drei dahinter angeordneten Thermopiles 26, die Kohlendioxyd- und die Wasserkonzentration im Abgas bestimmt werden.
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Basierend auf dem thermoelektrischen Effekt kann das Thermopile 26 als Temperaturmesselement eingesetzt werden, um die Intensität einer Wärmestrahlung zu messen. In einem Thermopile 26 sind mehrere Thermoelemente hintereinander geschaltet und erzeugen dadurch wesentlich höhere Messspannungen und eine höhere Empfindlichkeit. In jedem einzelnen Thermoelement wird eine zu der einstrahlenden Strahlungsintensität proportionale elektrische Spannung erzeugt. Die Ursache dafür ist der sogenannte Seebeck-Effekt. Hierbei fließen elektrische Ladungsträger in einem erwärmten Metall von dem warmen zum kalten Pol. Somit entsteht eine Differenzspannung zwischen den beiden verbundenen Metallen des Thermoelementes. Diese Differenzspannung wird abgegriffen und zum Beispiel mit einem Operationsverstärker verstärkt. Ein Thermopile 26 kann zum Beispiel aus 100 Thermoelementen, die aus Nickel-Chrom und Nickel bestehen, aufgebaut sein. Thermopiles 26 können sehr gut zur Messung der Intensität von IR-Strahlen (IR steht für Infra Rot) angewendet werden. Das Thermopile 26 kann mikromechanisch auf Siliziumbasis hergestellt werden. Besonders vorteilhaft kann das Thermopile 26 zur berührungslosen Temperaturmessung von Oberflächen eingesetzt werden.
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Wenn nun aufgrund einer hohen Kohlendioxydkonzentration 14 oder aufgrund eines hohen Wasseranteiles im Abgas 13 ein hoher Anteil der ersten Strahlung 17 (oder der dritten Strahlung) absorbiert wird, wird das erste Thermopile 26 hinter dem ersten Fenster 24 nur ein kleines elektrisches Signal liefern. Dieses Signal kann man mit dem Signal des zweiten Thermopiles 26 hinter dem zweiten Fenster 25 vergleichen. Da die zweite Strahlung 18 weder von Kohlendioxydpartikeln 14 noch von Wasserpartikeln im Abgas 13 absorbiert wird, wird das zweite Thermopile 26 hinter dem zweiten Fenster 25 immer die volle Leistung der Strahlungsquelle 16 empfangen und ein entsprechend großes elektrisches Signal liefern. Der Vergleich der von den zwei Thermopiles 26 gelieferten elektrischen Signale erfolgt in der Auswerteelektronik 12. Anhand dieses Vergleiches kann auf die Kohlendioxydkonzentration oder die Wasserkonzentration im Abgas 13 des Verbrennungsmotors 1 geschlossen werden. Da der Sauerstoffanteil in der Umgebungsluft bekannt ist, kann über die im Abgas 13 ermittelte Kohlendioxydkonzentration auch auf den Sauerstoffanteil im Abgas 13 geschlossen werden. Mit diesen Informationen kann dem Verbrennungsmotor 1 ein optimales Gemisch aus Frischluft und zurückgeführten Abgasen zugeführt werden.
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Auf den beiden Fenstern (Filtern) 26a, 26b ist eine durchgehende strahlungsdurchlässige Abdeckung 33 ausgebildet. Diese Abdeckung 33 ist möglichst transparent für die erste Strahlung 17 und die zweite Strahlung 18 und falls vorhanden auch für die dritte Strahlung. Auf oder in der Abdeckung 33 ist ein elektrisches Heizelement 33 ausgebildet. Mit Hilfe dieses Heizelements 33 kann der Teil des Strahlungsempfängers 19, der mit Verschmutzungen 15 aus dem Abgas 13 belegt ist erhitzt werden, wobei bei Temperaturen über 500°C zum Beispiel Rußpartikel abbrennen.
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3 zeigt eine Draufsicht auf den Strahlungsempfänger 19. Auf dem Strahlungsempfänger 19 ist das elektrische Heizelement 32 ausgebildet, das über die elektrischen Anschlüsse 28 mit der Stromquelle 11 verbunden werden kann. Das elektrische Heizelement 32 ist auf oder in der strahlungsdurchlässigen Abdeckung 33 ausgebildet.
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4 zeigt den Strahlungsempfänger 19 ohne die strahlungsdurchlässige Abdeckung 33 und das elektrische Heizelement 32. Das erste Fenster 24 und das zweites Fenster 25 sind zu erkennen. Das erste Fenster 24 und das zweites Fenster 25 werden als erster Filter und zweiter Filter benutzt, wobei der erste Filter nur die erste Strahlung passieren lässt und der zweite Filter nur die zweite Strahlung passieren lässt. Dazu sind der erste Filter 24 und der zweite Filter 25 aus Metamaterial ausgebildet. Hinter dem ersten Fenster 24 ist ein erstes Thermopile 26 ausgebildet und hinter dem zweiten Fenster 25 ist ein zweites Thermopile 26 ausgebildet.
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5 zeigt den Sensor 10 mit dem Strahlungsempfänger 19 und Strahlungsquelle 16. Der Strahlungsempfänger 19 ist hier mit einer Halterung 29 mit der Strahlungsquelle 16 verbunden. Innerhalb der Halterung 29 sind elektrische Leitungen zu erkennen, die das Heizelement 22 mit der Stromquelle 11 und/oder der Auswerteelektronik 12 verbinden. Die Strahlungsquelle 16 besteht aus einem Substrat 20, das eine Membran 21 aufweist. Auf der Membran 21 ist das elektrische Strahlungsquellenheizelement 22 ausgebildet, welches von einer Passivierung 23 abgedeckt wird. Der Strahlungsempfänger 19 weist ein erstes Fenster 24 und ein zweites Fenster 25 auf, hinter diesen Fenstern sind die Thermopiles 26 angeordnet. Das erste Fenster und das zweite Fenster sind als Filter aus Metamaterial aufgebaut. Babel lässt das erste Fenster (Filter) 24 nur die erste elektromagnetische Strahlung 17 passieren und das zweite Fenster (Filter) 25 lässt nur die zweite elektromagnetische Strahlung 18 passieren. Vor den Fenstern ist die strahlungsdurchlässige Abdeckung 33 ausgebildet auf der das elektrische Heizelement 32 angeordnet ist. Auf der strahlungsdurchlässigen Abdeckung 33 sind Verschmutzungen 15 in Form von Rußpartikeln zu erkennen, die mit Hilfe des Heizelementes 32 von dem Strahlungsempfänger 19 entfernt werden können.
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6 zeigt die aus 2 bekannte Strahlungsquelle 16. Zu erkennen ist wiederum das Substrat 20 mit der Membran 21. Auf der Membran 21 ist das elektrische Strahlungsquellenheizelement 22 angeordnet und mit einer Passivierung 23 überzogen. Auf der Passivierung 23 ist ein sogenanntes Siliziumgras 27 ausgebildet. Dieses Siliziumgras 27 verleiht der Strahlungsquelle 16 die Eigenschaften eines nahezu idealen Schwarzkörperstrahlers. Siliziumgras, auch schwarzes Silizium (engl. black silicon) genannt, ist eine Oberflächenmodifikation des kristallinen. Siliziums. Babel entstehen zum Beispiel durch Beschuss mit hochenergetischen Ionen oder ultrakurzen Laserpulsen nadelförmige Strukturen auf der Oberfläche, die die Reflexion des Substrates stark verringern. Damit ist Siliziumgras eine nadelförmige Oberflächenstruktur, wobei die Nadeln zum Beispiel eine Länge > 10 μm und eine Durchmesser < 1 μm auf einem einkristallinen Silizium aufweisen. Diese Strukturform wird auch als „silicon grass” oder „RIE grass” bezeichnet. Ein wesentliches Merkmal des Siliziumsgrases 27 ist eine erhöhte Absorption von einfallendem Licht. Als Lichtemitter verhält sich das Siliziumgras 27 ähnlich wie ein idealer Schwarzkörperstrahler. Die abgestrahlte thermische Strahlung folgt in ihrer spektralen Verteilung beim Siliziumgras 27 weitgehend dem Flanckschen Strahlungsgesetz.
