DE102010043414A1 - Airflow measuring device i.e. air flowmeter, for measuring amount of intake air of engine of vehicle, has ground terminal arranged between output- and supply terminals and another ground terminal arranged in end section of connector section - Google Patents

Airflow measuring device i.e. air flowmeter, for measuring amount of intake air of engine of vehicle, has ground terminal arranged between output- and supply terminals and another ground terminal arranged in end section of connector section Download PDF

Info

Publication number
DE102010043414A1
DE102010043414A1 DE102010043414A DE102010043414A DE102010043414A1 DE 102010043414 A1 DE102010043414 A1 DE 102010043414A1 DE 102010043414 A DE102010043414 A DE 102010043414A DE 102010043414 A DE102010043414 A DE 102010043414A DE 102010043414 A1 DE102010043414 A1 DE 102010043414A1
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
gnd
terminal
pin
section
connection
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
DE102010043414A
Other languages
German (de)
Other versions
DE102010043414B4 (en
Inventor
Tomoyuki Kariya-city Takiguchi
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Denso Corp
Original Assignee
Denso Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Denso Corp filed Critical Denso Corp
Publication of DE102010043414A1 publication Critical patent/DE102010043414A1/en
Application granted granted Critical
Publication of DE102010043414B4 publication Critical patent/DE102010043414B4/en
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01F—MEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
    • G01F1/00—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow
    • G01F1/68—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using thermal effects
    • G01F1/684—Structural arrangements; Mounting of elements, e.g. in relation to fluid flow
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01F—MEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
    • G01F1/00—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow
    • G01F1/68—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using thermal effects
    • G01F1/684—Structural arrangements; Mounting of elements, e.g. in relation to fluid flow
    • G01F1/6845—Micromachined devices
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01F—MEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
    • G01F1/00—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow
    • G01F1/68—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using thermal effects
    • G01F1/684—Structural arrangements; Mounting of elements, e.g. in relation to fluid flow
    • G01F1/688—Structural arrangements; Mounting of elements, e.g. in relation to fluid flow using a particular type of heating, cooling or sensing element
    • G01F1/69—Structural arrangements; Mounting of elements, e.g. in relation to fluid flow using a particular type of heating, cooling or sensing element of resistive type
    • G01F1/692—Thin-film arrangements

Abstract

The device (1) has a sensor arrangement (2) comprising a connector section (8) electrically connected with a circuit chip (7). A connector pin section is electrically connected with the connector section and an outer side. The connector section has an output terminal (11) extending from the circuit chip, and two ground terminals (13, 14) electrically connected with each other in the sensor arrangement. One of the ground terminals is arranged between the output terminal and a supply terminal, and the other ground terminal is arranged in a lateral end section of the connector section.

Description

Die vorliegende Erfindung betrifft eine Luftstrommessvorrichtung mit einer Sensoranordnung, in der ein Dünnfilmsensor für die Strömungsmenge und eine Erkennungsschaltung enthalten sind.The present invention relates to an air flow measuring apparatus having a sensor assembly in which a thin film flow rate sensor and a detection circuit are included.

Eine Luftstrommessvorrichtung misst beispielsweise die Menge einer Ansaugluftströmung in einem Fahrzeugmotor. Die Luftstrommessvorrichtung enthält einen Strömungsmengensensor, einen Schaltungschip, in welchem eine Schaltung, die Eingänge und Ausgänge des Strömungsmengensensors steuert, eingebettet ist, eine AFM-(air flow meter)Anordnung mit einem Anschlussabschnitt, der elektrisch mit dem Schaltungschip verbunden ist, und einen Anschlussstiftabschnitt, der elektrisch mit dem Anschlussabschnitt der AFM-Anordnung verbunden ist, sowie elektrisch mit der Außenseite (zum Beispiel einer Motorsteuervorrichtung) über einen Kabelbaum verbunden ist.For example, an air flow meter measures the amount of intake air flow in a vehicle engine. The airflow meter includes a flow rate sensor, a circuit chip in which a circuit controlling inputs and outputs of the flow rate sensor is embedded, an AFM (air flow meter) arrangement having a terminal portion electrically connected to the circuit chip, and a terminal pin portion. which is electrically connected to the terminal portion of the AFM assembly, and electrically connected to the outside (for example, a motor control device) via a wire harness.

Weiterhin ist eine Luftstrommessvorrichtung bekannt, bei der zusätzlich zu dem Strömungsmengensensor ein Thermistor eingebettet ist.Furthermore, an air flow measuring device is known in which a thermistor is embedded in addition to the flow rate sensor.

Eine herkömmliche Luftstrommessvorrichtung des Spulentyps mit einem Thermistor, wie sie z. B. in der JP-A-2007-155533 entsprechend der US-7,383,725 beschrieben ist, hat Anschlussstifte, welche entsprechend mit einem Zufuhranschluss, einem Ausgangsanschluss und einem GND-Anschluss (Masse) einer AFN-Anordnung sowie einem Ausgangsanschluss und einem GND-Anschluss eines Thermistors verbunden sind. Die Anzahl von Anschlussstiften beträgt somit fünf.A conventional air flow measuring device of the coil type with a thermistor, as z. B. in the JP-A-2007-155533 according to the US 7,383,725 has terminal pins which are respectively connected to a supply terminal, an output terminal and a GND terminal (ground) of an AFN device and an output terminal and a GND terminal of a thermistor. The number of pins is thus five.

Um den Aufwand und die Anzahl an Kabelbäumen zu verringern, ist es bevorzugt, wenn die Anzahl von Anschlussstiften minimiert wird. Es kann überlegt werden, zur Verringerung der Anzahl von Anschlussstiften von fünf auf vier den GND-Anschluss für die AFM-Anordnung und für den Thermistor zusammenzufassen. Jedoch ist bei einer Luftstrommessvorrichtung des Spulentyps der Energieverbrauch der AFM-Anordnung groß. Durch einen gemeinsamen GND-Anschluss für AFM-Anordnung und Thermistor kann somit das Problem auftreten, dass sich in der Erkennungsspannung des Thermistors ein Fehler ergibt. Das heißt, bei einer Luftstrommessvorrichtung vom Spulentyp ist es schwierig, die Anzahl von Anschlussstiften dadurch zu verringern, dass ein gemeinsamer GND vorgesehen wird.In order to reduce the overhead and the number of harnesses, it is preferable if the number of pins is minimized. It can be considered to summarize the GND connection for the AFM arrangement and for the thermistor to reduce the number of pins from five to four. However, in a coil type airflow measuring device, the power consumption of the AFM device is large. By a common GND connection for AFM arrangement and thermistor can thus encounter the problem that results in the detection voltage of the thermistor, an error. That is, in a coil-type airflow measuring apparatus, it is difficult to reduce the number of pins by providing a common GND.

Im Gegensatz hierzu ist bei einer Luftstrommessvorrichtung des Siliziumchiptyps mit einem Strömungsmengensensor vom Dünnfilmtyp der Energieverbrauch der AFM-Anordnung gering. Somit kann für die AFM-Anordnung und den Thermistor ein gemeinsamer GND verwendet werden.In contrast, in a silicon chip type airflow meter having a thin film type flow rate sensor, the power consumption of the AFM device is low. Thus, a common GND can be used for the AFM device and the thermistor.

Es kann somit gemäß den 5(a) und 5(b) die Anzahl von Anschlussstiften in einem Anschlussstiftabschnitt 101 auf vier verringert werden, das heißt, es liegen ein AFM-Versorgungs- oder -zufuhrstift 104, der mit einem Zufuhranschluss 103 einer AFM-Anordnung 102 verbunden ist, ein AFM-Ausgangsstift 107, der mit einem Ausgangsanschluss 106 der AFM-Anordnung 102 verbunden ist, ein GND-Stift 112, der mit einem GND-Anschluss 108 der AFM-Anordnung 102 und einem GND-Anschluss 111 eines Thermistors 110 verbunden ist, und ein Thermistorzufuhrstift 114 vor, der mit einem Zufuhr- oder Versorgungsanschluss 113 des Thermistors 110 verbunden ist.It can thus according to the 5 (a) and 5 (b) the number of pins in a pin section 101 reduced to four, that is, there is an AFM supply or supply pin 104 that with a feeder connection 103 an AFM arrangement 102 connected, an AFM output pin 107 that with an output port 106 the AFM arrangement 102 connected, a GND pin 112 that with a GND connector 108 the AFM arrangement 102 and a GND connector 111 a thermistor 110 and a thermistor feed pin 114 before that with a supply or supply connection 113 of the thermistor 110 connected is.

Jedoch muss bei einer Luftstrommessvorrichtung des herkömmlichen Siliziumchiptyps zur Rauschunterdrückung ein Kondensator zwischen den Zufuhranschluss 103 und den GND-Anschluss 108 geschaltet werden, und ein weiterer Kondensator muss zur Rauschunterdrückung zwischen dem GND-Anschluss 108 und dem Ausgangsanschluss 106 angeordnet werden. Somit sind gemäß 5(a) die Anschlüsse so angeordnet, dass der GND-Anschluss 108 zwischen dem Zufuhranschluss 103 und dem Ausgangsanschluss 106 liegt.However, in an air flow meter of the conventional silicon chip type for noise suppression, a capacitor needs to be connected between the supply port 103 and the GND connector 108 must be switched, and another capacitor must be for noise suppression between the GND connector 108 and the output terminal 106 to be ordered. Thus, according to 5 (a) the connectors are arranged so that the GND connector 108 between the supply port 103 and the output terminal 106 lies.

Um somit den GND-Anschluss 108 der AFM-Anordnung 102 und den GND-Anschluss 111 des Thermistors 110 gemeinsam mit dem GND-Stift 112 zu verbinden, um GND gemeinsam zu benutzen, wird, da der GND-Stift 112 über den Versorgungsanschluss 103 geführt werden muss, wenn der Versorgungsanschluss 103 am Endabschnitt der Anschlüsse der AFM-Anordnung 102 liegt, die Auslegung des Anschlussstiftabschnitts 101 kompliziert, wie in 5(b) gezeigt.In order thus the GND connection 108 the AFM arrangement 102 and the GND connector 111 of the thermistor 110 together with the GND pen 112 to connect to share GND will, as the GND pin 112 via the supply connection 103 must be performed when the supply connection 103 at the end portion of the terminals of the AFM arrangement 102 lies, the design of the terminal pin section 101 complicated, as in 5 (b) shown.

Mit Blick auf die obige Problematik ist es Aufgabe der vorliegenden Erfindung, eine Luftstrommessvorrichtung des Siliziumchiptyps zu schaffen, bei der die Anzahl von Anschlussstiften auf vier verringert ist, ohne dass das Layout oder die Auslegung des Anschlussstiftabschnitts kompliziert wird.In view of the above problem, it is an object of the present invention to provide a silicon chip type air flow measuring apparatus in which the number of pins is reduced to four without complicating the layout or layout of the pin portion.

Gemäß einem Aspekt der vorliegenden Erfindung weist eine erfindungsgemäße Luftstrommessvorrichtung einen Strömungsmengensensor vom Dünnfilmtyp mit einem Dünnfilmwiderstandselement auf einer Oberfläche eines Halbleitersubstrats, einen Schaltungschip, in welchem eine Schaltung oder ein Schaltkreis eingebettet ist, der Eingang und Ausgang des Dünnfilmströmungsmengensensors steuern kann, eine Sensoranordnung mit einem Anschlussabschnitt, der elektrisch mit dem Schaltungschip verbunden ist, und einen Anschlussstiftabschnitt auf, der elektrisch mit dem Anschlussabschnitt verbunden ist und elektrisch mit einer Außenseite verbunden ist. Der Anschlussabschnitt enthält einen Ausgangsanschluss, der sich vom Schaltungschip aus erstreckt, einen Zufuhr- oder Versorgungsanschluss für die Sensoranordnung, einen Einstell- oder Justieranschluss, der die Schaltung in dem Schaltungschip einzustellen vermag, einen ersten GND-Anschluss und einen zweiten GND-Anschluss. Der erste GND-Anschluss und der zweite GND-Anschluss sind in der Sensoranordnung elektrisch miteinander verbunden und mit einer GND-Verdrahtung des Schaltungschips verbunden. Der erste GND-Anschluss liegt zwischen dem Ausgangsanschluss und dem Zufuhranschluss, und der zweite GND-Anschluss ist an einem seitlichen Endabschnitt des Anschlussabschnitts angeordnet.According to one aspect of the present invention, an air flow measuring device according to the present invention comprises a thin film type flow rate sensor having a thin film resistance element on a surface of a semiconductor substrate, a circuit chip in which a circuit or circuit capable of controlling the input and output of the thin film flow rate sensor, a sensor array having a terminal portion which is electrically connected to the circuit chip, and a terminal pin portion which is electrically connected to the terminal portion and is electrically connected to an outer side. The terminal portion includes an output terminal extending from the circuit chip from, a supply terminal for the sensor array, a setting terminal capable of setting the circuit in the circuit chip, a first GND terminal, and a second GND terminal. The first GND terminal and the second GND terminal are electrically connected together in the sensor arrangement and connected to a GND wiring of the circuit chip. The first GND terminal is disposed between the output terminal and the supply terminal, and the second GND terminal is disposed at a side end portion of the terminal portion.

Zwei GND-Anschlüsse vom Schaltungschip (d. h. der erste GND-Anschluss und der zweite GND-Anschluss) werden verwendet, und einer der beiden GND-Anschlüsse (d. h. der zweite GND-Anschluss) befindet sich am Endabschnitt des Anschlussabschnitts. Somit kann ein Anschluss mit dem einen GND-Anschluss verbunden werden, ohne dass er (brückenartig) über die anderen Anschlüsse geführt werden muss.Two GND terminals from the circuit chip (i.e., the first GND terminal and the second GND terminal) are used, and one of the two GND terminals (i.e., the second GND terminal) is located at the end portion of the terminal portion. Thus, a port can be connected to one GND port without having to be routed (bridged) over the other ports.

Der erste GND-Anschluss und der zweite GND-Anschluss sind mit der GND-Verdrahtung des Schaltungschips verbunden. Wenn somit der Thermistor in der Luftstrommessvorrichtung eingebettet ist, kann, wenn GND des Thermistors mit dem zweiten GND-Anschluss verbunden ist, der sich am Endabschnitt des Anschlussabschnitts befindet, und der erste GND-Anschluss mit einem GND-Stift des Anschlussstifts verbunden ist, GND problemlos für den Thermistor und die Sensoranordnung gemeinsam verwendet werden.The first GND terminal and the second GND terminal are connected to the GND wiring of the circuit chip. Thus, when the thermistor is embedded in the airflow meter, when GND of the thermistor is connected to the second GND terminal located at the end portion of the terminal portion and the first GND terminal is connected to a GND pin of the terminal pin, GND easily be shared for the thermistor and the sensor assembly.

Die Anzahl von Anschlussstiften in dem Anschlussstiftabschnitt kann somit problemlos auf vier verringert werden, d. h. auf einen Sensoranordnungszufuhr- oder Versorgungsstift, der mit dem Zufuhranschluss der Sensoranordnung verbunden ist, einen Ausgangsstift, der mit einem Ausgangsanschluss der Sensoranordnung verbunden ist, einen GND-Stift, der mit den GND-Anschlüssen der Sensoranordnung und einem GND-Anschluss des Thermistors verbunden ist, und einen Thermistorzufuhrstift oder Thermistorversorgungsstift, der mit einem Zufuhranschluss des Thermistors verbunden ist, so dass die Anzahl von Kabelbäumen, welche mit dem Anschlussstiftabschnitt zu verbinden sind, ebenfalls verringert werden kann.The number of pins in the pin section can thus be easily reduced to four, i. H. to a sensor array supply or supply pin connected to the supply terminal of the sensor array, an output pin connected to an output terminal of the sensor array, a GND pin connected to the GND terminals of the sensor array and a GND terminal of the thermistor , and a thermistor supply pin or thermistor supply pin connected to a supply terminal of the thermistor, so that the number of wire harnesses to be connected to the pin portion can also be reduced.

Weiterhin liegt der erste GND-Anschluss zwischen dem Ausgangsanschluss und dem Zufuhranschluss. Durch Anordnen eines Kondensators zwischen dem Zufuhranschluss und dem ersten GND-Anschluss und eines weiteren Kondensators zwischen dem ersten GND-Anschluss und dem Ausgangsanschluss kann somit in üblicher Vorgehensweise Störrauschen unterdrückt werden.Furthermore, the first GND terminal is located between the output terminal and the supply terminal. By arranging a capacitor between the supply terminal and the first GND terminal and a further capacitor between the first GND terminal and the output terminal can thus be suppressed in the usual procedure noise.

Weiterhin enthält der Anschlussstiftabschnitt den Ausgangsstift, der mit dem Ausgangsanschluss verbunden ist, den Zufuhrstift, der mit dem Zufuhranschluss verbunden ist, und den GND-Stift, der mit dem ersten GND-Anschluss verbunden ist, wobei der zweite GND-Anschluss mit GND eines Sensors verbunden ist, der nicht der Dünnfilmströmungsmengensensor ist.Further, the pin portion includes the output pin connected to the output terminal, the supply pin connected to the supply terminal, and the GND pin connected to the first GND terminal, the second GND terminal connected to GND of a sensor which is not the thin-film flow rate sensor.

Als ein Sensor, der nicht der Dünnfilmströmungsmengensensor ist, kann der zweite GND-Anschluss mit dem GND-Anschluss des Thermistors verbunden werden.As a sensor other than the thin-film flow rate sensor, the second GND terminal may be connected to the GND terminal of the thermistor.

Folglich kann bei der Luftstrommessvorrichtung des Siliziumchiptyps mit eingebettetem Thermistor die Anzahl von Anschlussstiften auf vier verringert werden.Thus, in the embedded thermistor silicon chip type airflow meter, the number of pins can be reduced to four.

Weiterhin kann durch Verbinden des zweiten GND-Anschlusses mit einem GND-Anschluss eines Sensors anders als der Thermistor die Anzahl von Anschlussstiften und die Anzahl von Kabelbäumen bzw. der hierin verlaufenden Einzelkabel oder Litzen verringert werden.Further, by connecting the second GND terminal to a GND terminal of a sensor other than the thermistor, the number of pins and the number of wire harnesses or strands or strands extending therein can be reduced.

Weitere Einzelheiten, Aspekte und Vorteile der vorliegenden Erfindung ergeben sich besser aus der nachfolgenden Beschreibung unter Bezugnahme auf die Zeichnung.Further details, aspects and advantages of the present invention will become more apparent from the following description with reference to the drawings.

Es zeigt:It shows:

1 die Konfiguration einer AFM-Anordnung gemäß einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung; 1 the configuration of an AFM device according to an embodiment of the present invention;

2 eine perspektivische Ansicht auf einen wesentlichen Teil der AFM-Anordnung gemäß der Ausführungsform der vorliegenden Erfindung; 2 a perspective view of a substantial part of the AFM arrangement according to the embodiment of the present invention;

3 eine perspektivische Ansicht von AFM-Anordnung und Anschlussstiftabschnitt gemäß der Ausführungsform der vorliegenden Erfindung; 3 a perspective view of AFM assembly and pin portion according to the embodiment of the present invention;

4 eine perspektivische Ansicht eines wesentlichen Teils einer Luftstrommessvorrichtung gemäß der Ausführungsform der vorliegenden Erfindung; 4 a perspective view of an essential part of an air flow measuring device according to the embodiment of the present invention;

5(a) eine Draufsicht auf eine AFM-Anordnung nach dem Stand der Technik; und 5 (a) a plan view of an AFM arrangement according to the prior art; and

5(b) eine Ansicht auf einen Verbindungszustand zwischen AFM-Anordnung und Anschlussstiftabschnitt beim Stand der Technik. 5 (b) a view on a connection state between the AFM arrangement and pin portion in the prior art.

Unter Bezugnahme auf die 1 bis 4 wird nachfolgend eine Luftstrommessvorrichtung 1 gemäß einer möglichen und als exemplarisch zu verstehenden Ausführungsform der vorliegenden Erfindung beschrieben.With reference to the 1 to 4 below is an air flow measuring device 1 according to a possible and as an example too Understanding embodiment of the present invention described.

Die Luftstrommessvorrichtung 1 ist ein Luftflussmesser, der die Menge an Ansaugluft (Ansaugluftströmung) eines Fahrzeugmotors oder dergleichen misst (ein Beispiel einer möglichen Anwendung), und ist in diesem Fall an einer (nicht gezeigten) Leitung angeschlossen, die sich an der stromabwärtigen Seite eines Luftfilters befindet.The airflow meter 1 is an air flow meter that measures the amount of intake air (intake air flow) of a vehicle engine or the like (an example of a possible application), and in this case is connected to a pipe (not shown) located on the downstream side of an air cleaner.

Gemäß den 3 und 4 enthält die Luftstrommessvorrichtung 1 im Wesentlichen eine AFM-Anordnung 2 (d. h. eine Sensoranordnung) zur Messung der Luftströmungsmenge oder Luftstrommenge, einen Thermistor 3 zur Messung der Temperatur der Ansaugluft und einen Anschlussstiftabschnitt 4, der elektrisch mit der AFM-Anordnung 2 und dem Thermistor 3 verbunden ist und über einen Kabelbaum elektrisch mit der Außenseite verbindbar ist.According to the 3 and 4 contains the airflow meter 1 essentially an AFM arrangement 2 (ie, a sensor array) for measuring the amount of air flow or amount of air flow, a thermistor 3 for measuring the temperature of the intake air and a pin section 4 that is electric with the AFM arrangement 2 and the thermistor 3 is connected and electrically connectable via a cable harness with the outside.

Gemäß 1 enthält die AFM-Anordnung 2 einen Dünnfilmströmungsmengensensor 6 mit einem Dünnfilmwiderstandselement auf einer Oberfläche eines Halbleitersubstrats und einen Schaltkreis- oder Schaltungschip 7, in welchem ein Schaltkreis eingebettet ist, der Ein- und Ausgänge des Strömungsmengensensors 6 steuert.According to 1 contains the AFM arrangement 2 a thin film flow rate sensor 6 with a thin film resistor element on a surface of a semiconductor substrate and a circuit or circuit chip 7 in which a circuit is embedded, the inputs and outputs of the flow rate sensor 6 controls.

Der Dünnfilmströmungsmengensensor 6 enthält ein nicht gezeigtes Heizelement und ein nicht gezeigtes Temperaturerfassungselement, welche durch das Dünnfilmwiderstandselement auf der Oberfläche des Halbleitersubstrats gebildet werden.The thin film flow rate sensor 6 includes a heating element, not shown, and a temperature detecting element, not shown, formed by the thin film resistance element on the surface of the semiconductor substrate.

Der Schaltungschip 7 ist mit dem Dünnfilmströmungsmengensensor 6 so verbunden, dass dem Dünnfilmströmungsmengensensor 6 ein Signal eingegeben werden kann und ein Ausgangssignal abgegriffen werden kann. Beispielsweise enthält der Schaltungschip 7 eine Steuerschaltung, die einen Stromfluss durch das Heizelement des Dünnfilmströmungsmengensensors 6 steuert, eine Ausgangsschaltung, die ein Ausgangssignal von dem Dünnfilmströmungsmengensensor 6 berechnet und verstärkt und zur Ausgabe bringt, etc.The circuit chip 7 is with the thin film flow rate sensor 6 connected so that the thin-film flow rate sensor 6 a signal can be input and an output signal can be tapped. For example, the circuit chip contains 7 a control circuit that detects a current flow through the heating element of the thin-film flow rate sensor 6 controls, an output circuit which receives an output signal from the thin film flow rate sensor 6 calculated and amplified and brings to the output, etc.

Ein Anschlussabschnitt 8, der elektrisch mit dem Schaltungschip 7 verbunden ist, ist in der AFM-Anordnung 2 so angeordnet, dass der Anschlussabschnitt 8 von der AFM-Anordnung 2 vorsteht. Der Anschlussabschnitt 8 ist mit dem Anschlussstiftabschnitt 4 verbunden, wie nachfolgend noch beschrieben wird.A connection section 8th that is electrically connected to the circuit chip 7 is connected in the AFM arrangement 2 arranged so that the connection section 8th from the AFM arrangement 2 protrudes. The connection section 8th is with the pin section 4 connected, as will be described below.

Wie in 1 gezeigt, enthält der Anschlussabschnitt 8 fünf Auslässe, nämlich einen Zufuhr- oder Versorgungsanschluss 10 für die AFM-Anordnung 2, einen Ausgangsanschluss 11, einen Einstellanschluss 12, einen ersten GND-Anschluss 13 und einen zweiten GND-Anschluss 14.As in 1 shown, contains the connection section 8th five outlets, namely a supply or supply connection 10 for the AFM arrangement 2 , an output terminal 11 , a setting port 12 , a first GND port 13 and a second GND connector 14 ,

Der Einstellanschluss 12, der Ausgangsanschluss 12, der erste GND-Anschluss 13, der Versorgungsanschluss 10 und der zweite GND-Anschluss 14 sind in dieser Reihenfolge (in 1 von links nach rechts) angeordnet. Der erste GND-Anschluss 13 liegt (wiederum in der Darstellung von 1) zwischen dem Ausgangsanschluss 11 und dem Versorgungsanschluss 10, und der zweite GND-Anschluss 14 liegt an einem seitlichen Endabschnitt (seitlich rechter Endbereich in 1) des Anschlussabschnitts 8.The adjustment port 12 , the output terminal 12 , the first GND connector 13 , the supply connection 10 and the second GND connector 14 are in that order (in 1 from left to right). The first GND connection 13 lies (again in the representation of 1 ) between the output terminal 11 and the supply connection 10 , and the second GND connector 14 is located at a lateral end portion (laterally right end in 1 ) of the connection section 8th ,

Der Versorgungsanschluss 10 ist mit einer Zufuhr- oder Versorgungsverdrahtung 17 des Schaltungschips 7 verbunden. Der Ausgangsanschluss 11 ist mit einer Ausgangsverdrahtung 18 verbunden, über die ein Ausgangssignal vom Schaltungschip 7 ausgegeben wird. Der Einstellanschluss 12 ist mit einer Einstellverdrahtung 19 des Schaltungschips 7 verbunden, um eine Schaltung oder Schaltungselemente im Schaltungschip 7 einstellen zu können.The supply connection 10 is with a feed or supply wiring 17 of the circuit chip 7 connected. The output terminal 11 is with an output wiring 18 connected via which an output signal from the circuit chip 7 is issued. The adjustment port 12 is with a setting wiring 19 of the circuit chip 7 connected to a circuit or circuit elements in the circuit chip 7 to be able to adjust.

Sowohl der erste GND-Anschluss 13 als auch der zweite GND-Anschluss 14 sind mit einer GND-Verdrahtung 20 des Schaltungschips 7 verbunden.Both the first GND connector 13 as well as the second GND connection 14 are with a GND wiring 20 of the circuit chip 7 connected.

Beispielsweise und wie in 2 gezeigt, ist der Schaltungschip 7 auf einem Leiterrahmen (lead frame) 22 aufgebaut, und der erste GND-Anschluss 13 und der zweite GND-Anschluss 14 sind elektrisch mit dem Leiterrahmen 22 in der AFM-Anordnung 2 verbunden und über den Leiterrahmen 22 mit der GND-Verdrahtung 20 des Schaltungschips 7 verbunden.For example and as in 2 shown is the circuit chip 7 on a lead frame 22 constructed, and the first GND connection 13 and the second GND connector 14 are electric with the lead frame 22 in the AFM arrangement 2 connected and over the lead frame 22 with the GND wiring 20 of the circuit chip 7 connected.

Ein Kondensator (nicht gezeigt) liegt zwischen dem Versorgungsanschluss 10 und dem ersten GND-Anschluss 13, und ein weiterer Kondensator (nicht gezeigt) liegt zwischen dem ersten GND-Anschluss 13 und dem Ausgangsanschluss 11. Die Kondensatoren dienen der Rauschunterdrückung.A capacitor (not shown) is located between the supply terminal 10 and the first GND port 13 and another capacitor (not shown) is between the first GND terminal 13 and the output terminal 11 , The capacitors are used for noise reduction.

Der Thermistor 3 erkennt eine Ansauglufttemperatur und umfasst ein Widerstandselement 24 und Leiterabschnitte 25 und 26, die an beiden Seiten des Widerstandselements 24 liegen.The thermistor 3 detects an intake air temperature and includes a resistance element 24 and ladder sections 25 and 26 on both sides of the resistor element 24 lie.

Der Anschlussstiftabschnitt 4 enthält vier Stifte, das heißt, einen AFM-Ausgangsstift 30, einen GND-Stift 31, einen AFM-Versorgungsstift 32 für das AFM und einen Thermistorversorgungsstift 33 für den Thermistor. „Stift” sei in diesem Zusammenhang als konkretes Ausführungsbeispiel für „Anschluss” verstanden.The pin section 4 contains four pins, that is, an AFM output pin 30 , a GND pin 31 , an AFM supply pin 32 for the AFM and a thermistor supply pin 33 for the thermistor. "Pen" is understood in this context as a concrete embodiment of "connection".

Ein Ende des AFM-Ausgangsstifts 30 ist mit dem Ausgangsanschluss 11 verbunden, ein Ende des AFM-Versorgungsstifts 32 ist mit dem Versorgungsanschluss 10 verbunden, ein Ende des GND-Stifts 31 ist mit dem ersten GND-Anschluss 13 verbunden und ein Ende des Thermistorversorgungsstifts 33 ist mit dem Leiterabschnitt 25 des Thermistors 3 verbunden.One end of the AFM output pin 30 is with the output connector 11 connected, an end of the AFM supply pin 32 is with the supply connection 10 connected, one end of the GND pin 31 is with the first GND connector 13 connected and one end of the Thermistorversorgungsstifts 33 is with the ladder section 25 of the thermistor 3 connected.

Weiterhin ist ein Ende eines Anschlusses 34 mit dem zweiten GND-Anschluss 14 verbunden, und der zweite GND-Anschluss 14 ist mit dem Leiterabschnitt 26 (GND) des Thermistors 3 über den Anschluss 34 verbunden.Furthermore, one end of a connection 34 with the second GND connector 14 connected, and the second GND connector 14 is with the ladder section 26 (GND) of the thermistor 3 over the connection 34 connected.

Der Einstellanschluss 12 ist mit einem Einstellstift 36 verbunden, der benachbart dem Anschlussstiftabschnitt 4 liegt. Der Einstellstift 36 ist nicht bleibend mit der Außenseite in Verbindung und wird nur verwendet, wenn die Schaltung oder wenn Schaltungselemente eingestellt oder justiert werden sollen. Der Einstellstift 36 unterscheidet sich vom Anschlussstiftabschnitt 4, der elektrisch nach außen hin über den Kabelbaum verbunden ist.The adjustment port 12 is with a setting pin 36 connected adjacent to the pin section 4 lies. The adjustment pin 36 is not permanently connected to the outside and is only used when the circuit or when switching elements are to be adjusted or adjusted. The adjustment pin 36 is different from the pin section 4 which is electrically connected to the outside via the wiring harness.

Wie in 4 gezeigt, ist ein Verbinder 39 an einem Gehäuse 38 angeordnet oder ausgebildet, das einen Strömungsdurchlass zur Erkennung einer Strömungsmenge bildet. Der Anschlussstiftabschnitt 4 ist in dem Verbinder 39 so eingebettet, dass die anderen Enden der jeweiligen Stifte 30 bis 33 in den Verbinder 39 vorstehen und nach außen hin (beispielsweise mit einer Motorsteuervorrichtung) über einen Kabelbaum elektrisch verbunden werden können, der mit den jeweiligen Stiften 30 bis 33 verbunden wird.As in 4 shown is a connector 39 on a housing 38 arranged or formed, which forms a flow passage for detecting a flow amount. The pin section 4 is in the connector 39 so embedded that the other ends of the respective pins 30 to 33 in the connector 39 protrude and externally (for example, with a motor control device) can be electrically connected via a wire harness, with the respective pins 30 to 33 is connected.

Der Einstellstift 36 ist in einem Verbindergehäuse 40 aufgenommen, und das andere Ende des Einstellstifts 36 steht nicht in den Verbinder 39 vor.The adjustment pin 36 is in a connector housing 40 recorded, and the other end of the adjusting pin 36 does not stand in the connector 39 in front.

Wie in den 3 und 4 gezeigt, befindet sich der Thermistor 3 unterhalb des Verbinders 39 und außerhalb des Gehäuses 38. Der Thermistorversorgungsstift 33 und der Anschluss 34 erstrecken sich nach unten unter den Verbinder 39, und das andere Ende des Thermistorversorgungsstifts 33 und das andere Ende des Anschlusses 34 sind entsprechend mit den Leiterabschnitten 25 und 26 des Thermistors 3 verbunden.As in the 3 and 4 shown, is the thermistor 3 below the connector 39 and outside the case 38 , The thermistor supply pin 33 and the connection 34 extend down under the connector 39 , and the other end of the thermistor supply pin 33 and the other end of the connection 34 are corresponding to the conductor sections 25 and 26 of the thermistor 3 connected.

Bei der Luftstrommessvorrichtung 1 gemäß der vorliegenden Ausführungsform enthält der Anschlussabschnitt 8 der AFM-Anordnung 2 zwei GND-Anschlüsse, welche elektrisch in die AFM-Anordnung 2 geführt sind (d. h. den ersten GND-Anschluss 13 und den zweiten GND-Anschluss 14), wobei der erste GND-Anschluss 13 zwischen dem Ausgangsanschluss 11 und dem Versorgungsanschluss 10 liegt und der zweite GND-Anschluss 14 an dem Endabschnitt des Anschlussabschnitts 8 liegt.At the air flow meter 1 According to the present embodiment, the terminal portion includes 8th the AFM arrangement 2 two GND terminals, which are electrically in the AFM arrangement 2 (ie the first GND port 13 and the second GND connector 14 ), where the first GND port 13 between the output terminal 11 and the supply connection 10 and the second GND connector 14 at the end portion of the terminal portion 8th lies.

Durch Verbinden des Leiterabschnitts 26 des Thermistors 3 mit dem zweiten GND-Anschluss 14 am Endabschnitt des Anschlussabschnitts 8 kann für den Thermistor 3 und die AFM-Anordnung 2 gemeinsames GND verwendet werden. Das heißt, der Anschluss 34, der mit dem Leiterabschnitt 26 des Thermistors 3 verbunden ist, kann mit dem zweiten GND-Anschluss 14 ohne Führen über die anderen Anschlüsse verbunden werden, so dass GND problemlos für Thermistor 3 und AFM-Anordnung 2 gemeinsam verwendet (aufgeteilt) werden kann, ohne dass die Auslegung des Anschlussstiftabschnitts 4 kompliziert wird.By connecting the conductor section 26 of the thermistor 3 with the second GND connector 14 at the end portion of the terminal section 8th can for the thermistor 3 and the AFM arrangement 2 shared GND. That is, the connection 34 that with the ladder section 26 of the thermistor 3 connected to the second GND connector 14 be connected without routing over the other connectors, making GND easy for thermistor 3 and AFM arrangement 2 can be shared (split) without the design of the pin section 4 gets complicated.

Der Anschlussstiftabschnitt 4 kann somit problemlos mit vier Stiften (Anschlussmöglichkeiten) aufgebaut werden, das heißt, mit dem AFM-Ausgangsstift 30, dem AFM-Versorgungsstift 32 für das AFM, dem GND-Stift 31 und dem Thermistorversorgungsstift 33 für den Thermistor, und somit kann die Leitungszahl im Kabelbaum zur Verbindung mit dem Anschlussstiftabschnitt 4 ebenfalls verringert werden.The pin section 4 can thus be easily set up with four pins (connection options), that is, with the AFM output pin 30 , the AFM supply pin 32 for the AFM, the GND pin 31 and the thermistor supply pin 33 for the thermistor, and thus the number of lines in the harness for connection to the pin section 4 also be reduced.

Der erste GND-Anschluss 13 liegt zwischen dem Ausgangsanschluss 11 und dem Versorgungsanschluss 10. Durch Anordnen eines Kondensators zwischen dem Versorgungsanschluss 10 und dem ersten GND-Anschluss 13 und eines weiteren Kondensators zwischen dem ersten GND-Anschluss 13 und dem Ausgangsanschluss 11 kann auf übliche Weise eine Rauschunterdrückung erfolgen.The first GND connection 13 lies between the output terminal 11 and the supply connection 10 , By placing a capacitor between the supply terminal 10 and the first GND port 13 and another capacitor between the first GND terminal 13 and the output terminal 11 can be done in the usual way, noise reduction.

<Abwandlungen><Modifications>

Die Ausgestaltung der Luftstrommessvorrichtung 1 ist nicht auf die obige Ausführungsform beschränkt, sondern kann verschiedentlich abgewandelt werden. Beispielsweise ist in obiger Ausführungsform der zweite GND-Anschluss 14 mit GND des Thermistors 3 (d. h. dem Leiterabschnitt 26) verbunden. Jedoch ist ein Sensor, der mit dem zweiten GND-Anschluss 14 verbunden ist, nicht auf den Thermistor 3 beschränkt, und der zweite GND-Anschluss 14 kann mit GND eines Sensors verbunden werden, der nicht der Dünnfilmströmungsmengensensor 6 ist.The embodiment of the air flow measuring device 1 is not limited to the above embodiment, but may be variously modified. For example, in the above embodiment, the second GND terminal is 14 with GND of the thermistor 3 (ie the conductor section 26 ) connected. However, one sensor is connected to the second GND connector 14 connected, not on the thermistor 3 limited, and the second GND port 14 can be connected to GND of a sensor other than the thin film flow rate sensor 6 is.

Weiterhin sind in obiger Ausführungsform der erste GND-Anschluss 13 und der zweite GND-Anschluss 14 elektrisch auf den Leiterrahmen 22 geführt. Die Ausgestaltung ist jedoch nicht hierauf beschränkt, solange sowohl der erste GND-Anschluss 13 als auch der zweite GND-Anschluss 14 elektrisch mit der GND-Verdrahtung 20 des Schaltungschips 7 verbunden sind.Furthermore, in the above embodiment, the first GND terminal 13 and the second GND connector 14 electrically on the lead frame 22 guided. However, the configuration is not limited to this as long as both the first GND terminal 13 as well as the second GND connection 14 electrically with the GND wiring 20 of the circuit chip 7 are connected.

Insoweit zusammenfassend weist somit in einer Luftstrommessvorrichtung ein Anschlussabschnitt einer AFM-Anordnung einen Ausgangsanschluss, einen Versorgungsanschluss, einen Einstellanschluss, einen ersten GND-Anschluss und einen zweiten GND-Anschluss auf. Der erste GND-Anschluss und der zweite GND-Anschluss sind elektrisch miteinander in der AFM-Anordnung verbunden. Der erste GND-Anschluss liegt zwischen dem Ausgangsanschluss und dem Versorgungsanschluss, und der zweite GND-Anschluss liegt an einem Endabschnitt des Anschlussabschnitts. Folglich kann die Anzahl von Anschlussstiften die jeweils in Verbindung mit den Anschlüssen sind, auf vier verringert werden, ohne dass die Auslegung eines Anschlussstiftabschnitts kompliziert wird.To that extent, therefore, in an air flow measuring device, a terminal portion of an AFM device has an output terminal, a supply terminal, a setting terminal, a first GND terminal, and a second GND port on. The first GND terminal and the second GND terminal are electrically connected to each other in the AFM arrangement. The first GND terminal is located between the output terminal and the supply terminal, and the second GND terminal is located at an end portion of the terminal portion. Consequently, the number of pins each in connection with the terminals can be reduced to four without complicating the design of a pin portion.

Die Erfindung wurde unter Bezugnahme auf eine momentan bevorzugte Ausführungsform beschrieben; es versteht sich jedoch, dass die Erfindung nicht hierauf beschränkt ist, sondern dass im Rahmen der vorliegenden Erfindung, wie er durch die nachfolgenden Ansprüche und deren Äquivalente definiert ist, eine Vielzahl von Modifikationen und Abwandlungen möglich ist, welche ebenfalls unter den Rahmen und die technische Lehre der vorliegenden Erfindung fallen.The invention has been described with reference to a presently preferred embodiment; However, it is understood that the invention is not limited thereto, but that in the context of the present invention, as defined by the following claims and their equivalents, a variety of modifications and variations is possible, which is also under the framework and the technical Teaching of the present invention fall.

ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG QUOTES INCLUDE IN THE DESCRIPTION

Diese Liste der vom Anmelder aufgeführten Dokumente wurde automatisiert erzeugt und ist ausschließlich zur besseren Information des Lesers aufgenommen. Die Liste ist nicht Bestandteil der deutschen Patent- bzw. Gebrauchsmusteranmeldung. Das DPMA übernimmt keinerlei Haftung für etwaige Fehler oder Auslassungen.This list of the documents listed by the applicant has been generated automatically and is included solely for the better information of the reader. The list is not part of the German patent or utility model application. The DPMA assumes no liability for any errors or omissions.

Zitierte PatentliteraturCited patent literature

  • JP 2007-155533 A [0004] JP 2007-155533 A [0004]
  • US 7383725 [0004] US 7383725 [0004]

Claims (4)

Eine Luftstrommessvorrichtung, aufweisend: einen Dünnfilmströmungsmengensensor (6) mit einem Dünnfilmwiderstandselement, das auf einer Oberfläche eines Halbleitersubstrats angeordnet ist; einen Schaltungschip (7), in welchem wenigstens ein Schaltkreis zur Steuerung von Ein- und Ausgängen des Dünnfilmströmungsmengensensors (6) eingebettet ist; eine Sensoranordnung (2) mit einem Anschlussabschnitt (8), der elektrisch mit dem Schaltungschip (7) verbunden ist; und einen Anschlussstiftabschnitt (4), der elektrisch mit dem Anschlussabschnitt (8) verbunden ist und elektrisch mit einer Außenseite verbindbar ist, wobei – der Anschlussabschnitt (8) einen Ausgangsanschluss (11), der sich vom Schaltungschip (7) aus erstreckt, einen Versorgungsanschluss (10) für die Sensoranordnung (2), einen Einstellanschluss (12), mit dem der Schaltkreis in dem Schaltungschip (7) einstellbar ist, einen ersten GND-Anschluss (13) und einen zweiten GND-Anschluss (14) aufweist, – der erste GND-Anschluss (13) und der zweite GND-Anschluss (14) elektrisch miteinander in der Sensoranordnung (2) verbunden sind und mit einer GND-Verdrahtung (20) des Schaltungschips (7) verbunden sind, und – der erste GND-Anschluss (13) zwischen dem Ausgangsanschluss (11) und dem Versorgungsanschluss (10) angeordnet ist und der zweite GND-Anschluss (14) in einem seitlichen Endabschnitt des Anschlussabschnitts (8) angeordnet ist.An airflow meter, comprising: a thin-film flow rate sensor ( 6 with a thin film resistor disposed on a surface of a semiconductor substrate; a circuit chip ( 7 ) in which at least one circuit for controlling inputs and outputs of the thin film flow rate sensor ( 6 ) is embedded; a sensor arrangement ( 2 ) with a connection section ( 8th ) electrically connected to the circuit chip ( 7 ) connected is; and a terminal pin section ( 4 ) electrically connected to the terminal section ( 8th ) and is electrically connectable to an outer side, wherein - the connection section ( 8th ) an output terminal ( 11 ) extending from the circuit chip ( 7 ), a supply connection ( 10 ) for the sensor arrangement ( 2 ), a setting port ( 12 ), with which the circuit in the circuit chip ( 7 ), a first GND port ( 13 ) and a second GND connector ( 14 ), - the first GND connection ( 13 ) and the second GND connector ( 14 ) electrically in the sensor arrangement ( 2 ) and with a GND wiring ( 20 ) of the circuit chip ( 7 ), and - the first GND port ( 13 ) between the output terminal ( 11 ) and the supply connection ( 10 ) and the second GND port ( 14 ) in a side end portion of the terminal portion (FIG. 8th ) is arranged. Die Luftstrommessvorrichtung nach Anspruch 1, wobei der Anschlussstiftabschnitt (4) einen Ausgangsstift (30) in Verbindung mit dem Ausgangsanschluss (11), einen Versorgungsstift (32) in Verbindung mit dem Versorgungsanschluss (10) und einen GND-Stift (31) in Verbindung mit dem ersten GND-Anschluss (13) aufweist, und der zweite GND-Anschluss (14) mit GND eines Sensors anders als der Dünnfilmströmungsmengensensor (6) verbunden ist.The airflow meter according to claim 1, wherein the terminal pin portion (FIG. 4 ) an output pin ( 30 ) in conjunction with the output terminal ( 11 ), a supply pin ( 32 ) in connection with the supply connection ( 10 ) and a GND pin ( 31 ) in conjunction with the first GND port ( 13 ), and the second GND port ( 14 ) with GND of a sensor other than the thin-film flow rate sensor ( 6 ) connected is. Die Luftstrommessvorrichtung nach Anspruch 1 oder 2, wobei der Sensor ein Thermistor (3) ist und der zweite GND-Anschluss (14) mit einem Leiterabschnitt (26) des Thermistors (3) verbunden ist.The airflow meter of claim 1 or 2, wherein the sensor is a thermistor ( 3 ) and the second GND port ( 14 ) with a conductor section ( 26 ) of the thermistor ( 3 ) connected is. Die Luftstrommessvorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 3, wobei ein erster Kondensator zwischen dem Versorgungsanschluss (10) und dem ersten GND-Anschluss (13) angeordnet ist und ein zweiter Kondensator zwischen dem ersten GND-Anschluss (13) und dem Ausgangsanschluss (11) angeordnet ist.The airflow meter according to any one of claims 1 to 3, wherein a first capacitor between the supply terminal ( 10 ) and the first GND port ( 13 ) and a second capacitor between the first GND terminal ( 13 ) and the output terminal ( 11 ) is arranged.
DE102010043414.0A 2009-11-13 2010-11-04 Air flow measuring device Active DE102010043414B4 (en)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2009259999A JP5218378B2 (en) 2009-11-13 2009-11-13 Air flow measurement device
JP2009-259999 2009-11-13

Publications (2)

Publication Number Publication Date
DE102010043414A1 true DE102010043414A1 (en) 2011-05-19
DE102010043414B4 DE102010043414B4 (en) 2020-01-30

Family

ID=43877809

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE102010043414.0A Active DE102010043414B4 (en) 2009-11-13 2010-11-04 Air flow measuring device

Country Status (2)

Country Link
JP (1) JP5218378B2 (en)
DE (1) DE102010043414B4 (en)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US10345131B2 (en) 2011-12-07 2019-07-09 Hitachi Automotive Systems, Ltd. Thermal flow meter

Families Citing this family (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP5590007B2 (en) 2011-11-14 2014-09-17 株式会社デンソー Air flow measurement device
JP2014001976A (en) * 2012-06-15 2014-01-09 Hitachi Automotive Systems Ltd Thermal flowmeter
JP5884769B2 (en) 2013-05-09 2016-03-15 株式会社デンソー Air flow measurement device
CN107076591B (en) * 2014-09-30 2019-10-29 日立汽车系统株式会社 Thermal flowmeter
JP6302850B2 (en) * 2015-01-26 2018-03-28 日立オートモティブシステムズ株式会社 Air flow measurement device
JP6436925B2 (en) * 2016-02-22 2018-12-12 日立オートモティブシステムズ株式会社 Thermal flow meter
JP6760253B2 (en) * 2017-07-24 2020-09-23 株式会社デンソー Physical quantity measuring device and manufacturing method of physical quantity measuring device
JP6670818B2 (en) * 2017-12-21 2020-03-25 日立オートモティブシステムズ株式会社 Thermal flow meter
JP7024764B2 (en) * 2018-07-20 2022-02-24 株式会社デンソー Flowmeter and physical quantity measuring device

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007155533A (en) 2005-12-06 2007-06-21 Denso Corp Apparatus for measuring air flow rate

Family Cites Families (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3323745B2 (en) * 1996-07-25 2002-09-09 株式会社日立製作所 Characteristic adjustment means of physical quantity detection device and heating resistance type air flow device
JP2000320368A (en) * 1999-05-11 2000-11-21 Hitachi Ltd Heating resistor type flow rate measurement device
JP3787509B2 (en) * 2001-09-03 2006-06-21 株式会社日立製作所 Heat resistance type air flow measuring device
JP4894531B2 (en) * 2007-01-22 2012-03-14 株式会社デンソー Thermal flow sensor
JP4426606B2 (en) * 2007-06-29 2010-03-03 三菱電機株式会社 Flow measuring device

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007155533A (en) 2005-12-06 2007-06-21 Denso Corp Apparatus for measuring air flow rate
US7383725B2 (en) 2005-12-06 2008-06-10 Denso Corporation Flow detecting device having heating element

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US10345131B2 (en) 2011-12-07 2019-07-09 Hitachi Automotive Systems, Ltd. Thermal flow meter
EP2789993B1 (en) * 2011-12-07 2021-08-25 Hitachi Automotive Systems, Ltd. Thermal flow meter

Also Published As

Publication number Publication date
JP5218378B2 (en) 2013-06-26
JP2011106868A (en) 2011-06-02
DE102010043414B4 (en) 2020-01-30

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE102010043414B4 (en) Air flow measuring device
EP2546670B1 (en) Hall effect sensor
DE102008002682B4 (en) Device for detecting the pressure and the temperature in an intake manifold of an internal combustion engine
DE102010019303B4 (en) Flow rate measuring device
EP3198250B1 (en) Plug housing for a sensor device and plug module
DE102013209315A1 (en) Control device and with a control device integrated electric rotary machine
DE102014223285B4 (en) Common switch device for vehicle
DE102007020882B4 (en) Device for checking the attachment of a printed circuit board to a carrier
DE102011000943A1 (en) current sensor
DE102011076651B4 (en) Current regulation with thermally matched resistors
DE112018004830T5 (en) Current measuring device
EP1858574B1 (en) Heatable tube system
DE112017001046T5 (en) Head module
DE102016222881A1 (en) Deformation measuring element
DE202014101491U1 (en) Bus-compatible, connectable and / or functional module
DE102014106202A1 (en) Flexible electrical circuit arrangement for a motor vehicle
EP0955524A2 (en) Mass air flow sensor
DE112016002396T5 (en) Air flow rate measuring device
DE10324292B4 (en) Measuring element for a flow sensor, in particular an air mass sensor for internal combustion engines
EP2711726B1 (en) Device for voltage monitoring
DE112016004744T5 (en) A sensor component for detecting a physical quantity and a device for measuring a physical quantity
DE102013222051A1 (en) Pressure sensor with built-in temperature sensor, has flow control portion is provided in terminal of mouth portion, and to regulate flow of pressure medium in environment of temperature detecting portion
DE102019119196A1 (en) ELECTRONIC DEVICE
DE102011101604A1 (en) Magnetic field sensor, has vertical hall sensor whose supply voltage terminals are connected with terminals of another vertical hall sensor, where former and latter hall sensors comprise hall voltage taps
WO2015049261A1 (en) Functional component for a bus-capable connection and/or function module which can be strung together

Legal Events

Date Code Title Description
R012 Request for examination validly filed
R084 Declaration of willingness to licence
R016 Response to examination communication
R018 Grant decision by examination section/examining division
R020 Patent grant now final