DE102010043414B4

DE102010043414B4 - Air flow measuring device

Info

Publication number: DE102010043414B4
Application number: DE102010043414.0A
Authority: DE
Inventors: Tomoyuki Takiguchi
Original assignee: Denso Corp
Current assignee: Denso Corp
Priority date: 2009-11-13
Filing date: 2010-11-04
Publication date: 2020-01-30
Anticipated expiration: 2030-11-05
Also published as: JP5218378B2; JP2011106868A; DE102010043414A1

Abstract

Eine Luftstrommessvorrichtung, aufweisend:einen Dünnfilmströmungsmengensensor (6) mit einem Dünnfilmwiderstandselement, das auf einer Oberfläche eines Halbleitersubstrats angeordnet ist;einen Schaltungschip (7), in welchem wenigstens ein Schaltkreis zur Steuerung von Ein- und Ausgängen des Dünnfilmströmungsmengensensors (6) eingebettet ist;eine Sensoranordnung (2) mit einem Anschlussabschnitt (8), der elektrisch mit dem Schaltungschip (7) verbunden ist; undeinen Anschlussstiftabschnitt (4), der elektrisch mit dem Anschlussabschnitt (8) verbunden ist und elektrisch mit einer Außenseite verbindbar ist, wobei- der Anschlussabschnitt (8) einen Ausgangsanschluss (11), der sich vom Schaltungschip (7) aus erstreckt, einen Versorgungsanschluss (10) für die Sensoranordnung (2), einen Einstellanschluss (12), mit dem der Schaltkreis in dem Schaltungschip (7) einstellbar ist, einen ersten GND-Anschluss (13) und einen zweiten GND-Anschluss (14) aufweist,- der erste GND-Anschluss (13) und der zweite GND-Anschluss (14) elektrisch miteinander in der Sensoranordnung (2) verbunden sind und mit einer GND-Verdrahtung (20) des Schaltungschips (7) verbunden sind, und- der erste GND-Anschluss (13) zwischen dem Ausgangsanschluss (11) und dem Versorgungsanschluss (10) angeordnet ist und der zweite GND-Anschluss (14) in einem seitlichen Endabschnitt des Anschlussabschnitts (8) angeordnet ist.An air flow measuring device comprising: a thin film flow rate sensor (6) with a thin film resistance element arranged on a surface of a semiconductor substrate; a circuit chip (7) in which at least one circuit for controlling inputs and outputs of the thin film flow rate sensor (6) is embedded; Sensor arrangement (2) with a connection section (8) which is electrically connected to the circuit chip (7); and a connector pin section (4) which is electrically connected to the connector section (8) and is electrically connectable to an outside, the connector section (8) having an output connector (11) extending from the circuit chip (7), a supply connector ( 10) for the sensor arrangement (2), a setting connection (12) with which the circuit in the circuit chip (7) can be set, a first GND connection (13) and a second GND connection (14), - the first GND connection (13) and the second GND connection (14) are electrically connected to one another in the sensor arrangement (2) and are connected to a GND wiring (20) of the circuit chip (7), and - the first GND connection ( 13) is arranged between the output connection (11) and the supply connection (10) and the second GND connection (14) is arranged in a lateral end section of the connection section (8).

Description

Die vorliegende Erfindung betrifft eine Luftstrommessvorrichtung mit einer Sensoranordnung, in der ein Dünnfilmsensor für die Strömungsmenge und eine Erkennungsschaltung enthalten sind.The present invention relates to an air flow measuring device with a sensor arrangement in which a thin film sensor for the flow rate and a detection circuit are contained.

Eine Luftstrommessvorrichtung misst beispielsweise die Menge einer Ansaugluftströmung in einem Fahrzeugmotor. Die Luftstrommessvorrichtung enthält einen Strömungsmengensensor, einen Schaltungschip, in welchem eine Schaltung, die Eingänge und Ausgänge des Strömungsmengensensors steuert, eingebettet ist, eine AFM- (air flow meter) Anordnung mit einem Anschlussabschnitt, der elektrisch mit dem Schaltungschip verbunden ist, und einen Anschlussstiftabschnitt, der elektrisch mit dem Anschlussabschnitt der AFM-Anordnung verbunden ist, sowie elektrisch mit der Außenseite (zum Beispiel einer Motorsteuervorrichtung) über einen Kabelbaum verbunden ist.For example, an air flow measuring device measures the amount of intake air flow in a vehicle engine. The air flow measuring device includes a flow rate sensor, a circuit chip in which a circuit that controls inputs and outputs of the flow rate sensor is embedded, an AFM (air flow meter) arrangement with a connection section that is electrically connected to the circuit chip, and a connection pin section, which is electrically connected to the connection section of the AFM arrangement, and is electrically connected to the outside (for example an engine control device) via a cable harness.

Weiterhin ist eine Luftstrommessvorrichtung bekannt, bei der zusätzlich zu dem Strömungsmengensensor ein Thermistor eingebettet ist.Furthermore, an air flow measuring device is known in which a thermistor is embedded in addition to the flow quantity sensor.

Eine herkömmliche Luftstrommessvorrichtung des Spulentyps mit einem Thermistor, wie sie z.B. in der JP 2007-155533 A entsprechend der US 7 383 725 B2 beschrieben ist, hat Anschlussstifte, welche entsprechend mit einem Zufuhranschluss, einem Ausgangsanschluss und einem GND-Anschluss (Masse) einer AFN-Anordnung sowie einem Ausgangsanschluss und einem GND-Anschluss eines Thermistors verbunden sind. Die Anzahl von Anschlussstiften beträgt somit fünf.A conventional coil type air flow measuring device with a thermistor such as that shown in US Pat JP 2007-155533 A according to the US 7,383,725 B2 has connection pins, which are correspondingly connected to a supply connection, an output connection and a GND connection (ground) of an AFN arrangement and an output connection and a GND connection of a thermistor. The number of connection pins is therefore five.

Um den Aufwand und die Anzahl an Kabelbäumen zu verringern, ist es bevorzugt, wenn die Anzahl von Anschlussstiften minimiert wird. Es kann überlegt werden, zur Verringerung der Anzahl von Anschlussstiften von fünf auf vier den GND-Anschluss für die AFM-Anordnung und für den Thermistor zusammenzufassen. Jedoch ist bei einer Luftstrommessvorrichtung des Spulentyps der Energieverbrauch der AFM-Anordnung groß. Durch einen gemeinsamen GND-Anschluss für AFM-Anordnung und Thermistor kann somit das Problem auftreten, dass sich in der Erkennungsspannung des Thermistors ein Fehler ergibt. Das heißt, bei einer Luftstrommessvorrichtung vom Spulentyp ist es schwierig, die Anzahl von Anschlussstiften dadurch zu verringern, dass ein gemeinsamer GND vorgesehen wird.In order to reduce the effort and the number of wiring harnesses, it is preferred if the number of connection pins is minimized. To reduce the number of pins from five to four, the GND connection for the AFM arrangement and for the thermistor can be considered. However, in a coil type air flow measuring device, the energy consumption of the AFM device is large. A common GND connection for the AFM arrangement and the thermistor can therefore lead to the problem that an error occurs in the detection voltage of the thermistor. That is, in a coil type air flow measuring device, it is difficult to reduce the number of pins by providing a common GND.

Im Gegensatz hierzu ist bei einer Luftstrommessvorrichtung des Siliziumchiptyps mit einem Strömungsmengensensor vom Dünnfilmtyp der Energieverbrauch der AFM-Anordnung gering. Somit kann für die AFM-Anordnung und den Thermistor ein gemeinsamer GND verwendet werden.In contrast to this, in an air flow measuring device of the silicon chip type with a flow rate sensor of the thin film type, the energy consumption of the AFM arrangement is low. A common GND can thus be used for the AFM arrangement and the thermistor.

Es kann somit gemäß den 5(a) und 5(b) die Anzahl von Anschlussstiften in einem Anschlussstiftabschnitt 101 auf vier verringert werden, das heißt, es liegen ein AFM-Versorgungs- oder -zufuhrstift 104, der mit einem Zufuhranschluss 103 einer AFM-Anordnung 102 verbunden ist, ein AFM-Ausgangsstift 107, der mit einem Ausgangsanschluss 106 der AFM-Anordnung 102 verbunden ist, ein GND-Stift 112, der mit einem GND-Anschluss 108 der AFM-Anordnung 102 und einem GND-Anschluss 111 eines Thermistors 110 verbunden ist, und ein Thermistorzufuhrstift 114 vor, der mit einem Zufuhr- oder Versorgungsanschluss 113 des Thermistors 110 verbunden ist.It can therefore according to the 5 (a) and 5 (b) the number of pins in a pin section 101 can be reduced to four, that is, there is an AFM supply or feed pin 104 connected to a feed port 103 an AFM arrangement 102 is connected to an AFM output pin 107 that with an output connector 106 the AFM arrangement 102 connected, a GND pin 112 that with a GND connector 108 the AFM arrangement 102 and a GND connector 111 a thermistor 110 is connected, and a thermistor feed pin 114 before that with a supply or supply connection 113 of the thermistor 110 connected is.

Jedoch muss bei einer Luftstrommessvorrichtung des herkömmlichen Siliziumchiptyps zur Rauschunterdrückung ein Kondensator zwischen den Zufuhranschluss 103 und den GND-Anschluss 108 geschaltet werden, und ein weiterer Kondensator muss zur Rauschunterdrückung zwischen dem GND-Anschluss 108 und dem Ausgangsanschluss 106 angeordnet werden. Somit sind gemäß 5(a) die Anschlüsse so angeordnet, dass der GND-Anschluss 108 zwischen dem Zufuhranschluss 103 und dem Ausgangsanschluss 106 liegt.However, in an airflow measuring device of the conventional silicon chip type for noise suppression, a capacitor must be placed between the supply terminal 103 and the GND connector 108 must be switched, and another capacitor must be used to suppress noise between the GND connection 108 and the output connector 106 to be ordered. Thus, according to 5 (a) the connectors arranged so that the GND connector 108 between the feed port 103 and the output connector 106 lies.

Um somit den GND-Anschluss 108 der AFM-Anordnung 102 und den GND-Anschluss 111 des Thermistors 110 gemeinsam mit dem GND-Stift 112 zu verbinden, um GND gemeinsam zu benutzen, wird, da der GND-Stift 112 über den Versorgungsanschluss 103 geführt werden muss, wenn der Versorgungsanschluss 103 am Endabschnitt der Anschlüsse der AFM-Anordnung 102 liegt, die Auslegung des Anschlussstiftabschnitts 101 kompliziert, wie in 5(b) gezeigt.So the GND connection 108 the AFM arrangement 102 and the GND connector 111 of the thermistor 110 together with the GND pin 112 to connect to share GND is because the GND pin 112 via the supply connection 103 must be performed when the supply connection 103 at the end portion of the connectors of the AFM assembly 102 lies, the design of the pin section 101 complicated as in 5 (b) shown.

Es wird ferner auf die US 2003/0209067 A1 verwiesen, die eine Luftstrommessvorrichtung mit einem Schaltungschip, einem Anschlussabschnitt und einem Anschlussstiftabschnitt offenbart. Der Anschlussabschnitt hat einen Ausgangsanschluss, einen Versorgungsanschluss, einen Einstellanschluss und einen GND-Anschluss.It will also refer to the US 2003/0209067 A1 referred to, which discloses an airflow measuring device having a circuit chip, a connector portion and a connector pin portion. The connection section has an output connection, a supply connection, a setting connection and a GND connection.

Mit Blick auf die obige Problematik ist es Aufgabe der vorliegenden Erfindung, eine Luftstrommessvorrichtung des Siliziumchiptyps zu schaffen, bei der die Anzahl von Anschlussstiften auf vier verringert ist, ohne dass das Layout oder die Auslegung des Anschlussstiftabschnitts kompliziert wird.In view of the above problem, it is an object of the present invention to provide an air flow measuring device of the silicon chip type in which the number of pins is reduced to four without complicating the layout or the layout of the pin portion.

Gemäß einem Aspekt der vorliegenden Erfindung weist eine erfindungsgemäße Luftstrommessvorrichtung einen Strömungsmengensensor vom Dünnfilmtyp mit einem Dünnfilmwiderstandselement auf einer Oberfläche eines Halbleitersubstrats, einen Schaltungschip, in welchem eine Schaltung oder ein Schaltkreis eingebettet ist, der Eingang und Ausgang des Dünnfilmströmungsmengensensors steuern kann, eine Sensoranordnung mit einem Anschlussabschnitt, der elektrisch mit dem Schaltungschip verbunden ist, und einen Anschlussstiftabschnitt auf, der elektrisch mit dem Anschlussabschnitt verbunden ist und elektrisch mit einer Außenseite verbunden ist. Der Anschlussabschnitt enthält einen Ausgangsanschluss, der sich vom Schaltungschip aus erstreckt, einen Zufuhr- oder Versorgungsanschluss für die Sensoranordnung, einen Einstell- oder Justieranschluss, der die Schaltung in dem Schaltungschip einzustellen vermag, einen ersten GND-Anschluss und einen zweiten GND-Anschluss. Der erste GND-Anschluss und der zweite GND-Anschluss sind in der Sensoranordnung elektrisch miteinander verbunden und mit einer GND-Verdrahtung des Schaltungschips verbunden. Der erste GND-Anschluss liegt zwischen dem Ausgangsanschluss und dem Zufuhranschluss, und der zweite GND-Anschluss ist an einem seitlichen Endabschnitt des Anschlussabschnitts angeordnet.According to one aspect of the present invention, an air flow measuring device according to the present invention has a flow rate sensor of the thin film type with a thin film resistance element on a surface of a semiconductor substrate, a circuit chip in which a circuit or a circuit is embedded, the input and Can control output of the thin film flow rate sensor, a sensor arrangement with a connection section that is electrically connected to the circuit chip, and a connection pin section that is electrically connected to the connection section and is electrically connected to an outside. The connection section contains an output connection which extends from the circuit chip, a supply or supply connection for the sensor arrangement, an adjustment or adjustment connection which is able to set the circuit in the circuit chip, a first GND connection and a second GND connection. The first GND connection and the second GND connection are electrically connected to one another in the sensor arrangement and to a GND wiring of the circuit chip. The first GND terminal is between the output terminal and the supply terminal, and the second GND terminal is arranged on a side end portion of the terminal portion.

Zwei GND-Anschlüsse vom Schaltungschip (d. h. der erste GND-Anschluss und der zweite GND-Anschluss) werden verwendet, und einer der beiden GND-Anschlüsse (d. h. der zweite GND-Anschluss) befindet sich am Endabschnitt des Anschlussabschnitts. Somit kann ein Anschluss mit dem einen GND-Anschluss verbunden werden, ohne dass er (brückenartig) über die anderen Anschlüsse geführt werden muss.Two GND connectors from the circuit chip (i.e., the first GND connector and the second GND connector) are used, and one of the two GND connectors (i.e., the second GND connector) is at the end portion of the connector section. This means that a connection can be connected to the one GND connection without having to be (bridged) over the other connections.

Der erste GND-Anschluss und der zweite GND-Anschluss sind mit der GND-Verdrahtung des Schaltungschips verbunden. Wenn somit der Thermistor in der Luftstrommessvorrichtung eingebettet ist, kann, wenn GND des Thermistors mit dem zweiten GND-Anschluss verbunden ist, der sich am Endabschnitt des Anschlussabschnitts befindet, und der erste GND-Anschluss mit einem GND-Stift des Anschlussstifts verbunden ist, GND problemlos für den Thermistor und die Sensoranordnung gemeinsam verwendet werden.The first GND connector and the second GND connector are connected to the GND wiring of the circuit chip. Thus, when the thermistor is embedded in the airflow measuring device, when GND of the thermistor is connected to the second GND terminal located at the end portion of the terminal portion and the first GND terminal is connected to a GND pin of the terminal pin, GND can easily be used together for the thermistor and the sensor arrangement.

Die Anzahl von Anschlussstiften in dem Anschlussstiftabschnitt kann somit problemlos auf vier verringert werden, d. h. auf einen Sensoranordnungszufuhr- oder Versorgungsstift, der mit dem Zufuhranschluss der Sensoranordnung verbunden ist, einen Ausgangsstift, der mit einem Ausgangsanschluss der Sensoranordnung verbunden ist, einen GND-Stift, der mit den GND-Anschlüssen der Sensoranordnung und einem GND-Anschluss des Thermistors verbunden ist, und einen Thermistorzufuhrstift oder Thermistorversorgungsstift, der mit einem Zufuhranschluss des Thermistors verbunden ist, so dass die Anzahl von Kabelbäumen, welche mit dem Anschlussstiftabschnitt zu verbinden sind, ebenfalls verringert werden kann.The number of pins in the pin section can thus easily be reduced to four, i.e. H. a sensor assembly supply or supply pin connected to the supply port of the sensor assembly, an output pin connected to an output port of the sensor assembly, a GND pin connected to the GND ports of the sensor assembly and a GND port of the thermistor , and a thermistor supply pin or thermistor supply pin connected to a supply terminal of the thermistor, so that the number of wire harnesses to be connected to the pin section can also be reduced.

Weiterhin liegt der erste GND-Anschluss zwischen dem Ausgangsanschluss und dem Zufuhranschluss. Durch Anordnen eines Kondensators zwischen dem Zufuhranschluss und dem ersten GND-Anschluss und eines weiteren Kondensators zwischen dem ersten GND-Anschluss und dem Ausgangsanschluss kann somit in üblicher Vorgehensweise Störrauschen unterdrückt werden.Furthermore, the first GND connection is between the output connection and the supply connection. By arranging a capacitor between the supply connection and the first GND connection and a further capacitor between the first GND connection and the output connection, interference noise can thus be suppressed in a conventional manner.

Weiterhin enthält der Anschlussstiftabschnitt den Ausgangsstift, der mit dem Ausgangsanschluss verbunden ist, den Zufuhrstift, der mit dem Zufuhranschluss verbunden ist, und den GND-Stift, der mit dem ersten GND-Anschluss verbunden ist, wobei der zweite GND-Anschluss mit GND eines Sensors verbunden ist, der nicht der Dünnfilmströmungsmengensensor ist.The pin section further includes the output pin connected to the output port, the feed pin connected to the feed port, and the GND pin connected to the first GND port, the second GND port connected to GND of a sensor that is not the thin film flow rate sensor.

Als ein Sensor, der nicht der Dünnfilmströmungsmengensensor ist, kann der zweite GND-Anschluss mit dem GND-Anschluss des Thermistors verbunden werden.As a sensor that is not the thin film flow rate sensor, the second GND terminal can be connected to the GND terminal of the thermistor.

Folglich kann bei der Luftstrommessvorrichtung des Siliziumchiptyps mit eingebettetem Thermistor die Anzahl von Anschlussstiften auf vier verringert werden.As a result, in the silicon chip type airflow measuring device with embedded thermistor, the number of pins can be reduced to four.

Weiterhin kann durch Verbinden des zweiten GND-Anschlusses mit einem GND-Anschluss eines Sensors anders als der Thermistor die Anzahl von Anschlussstiften und die Anzahl von Kabelbäumen bzw. der hierin verlaufenden Einzelkabel oder Litzen verringert werden.Furthermore, by connecting the second GND connection to a GND connection of a sensor, different from the thermistor, the number of connection pins and the number of cable harnesses or the individual cables or strands running therein can be reduced.

Weitere Einzelheiten, Aspekte und Vorteile der vorliegenden Erfindung ergeben sich besser aus der nachfolgenden Beschreibung unter Bezugnahme auf die Zeichnung.Further details, aspects and advantages of the present invention will become more apparent from the following description with reference to the drawing.

Es zeigt:

1 die Konfiguration einer AFM-Anordnung gemäß einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung;
2 eine perspektivische Ansicht auf einen wesentlichen Teil der AFM-Anordnung gemäß der Ausführungsform der vorliegenden Erfindung;
3 eine perspektivische Ansicht von AFM-Anordnung und Anschlussstiftabschnitt gemäß der Ausführungsform der vorliegenden Erfindung;
4 eine perspektivische Ansicht eines wesentlichen Teils einer Luftstrommessvorrichtung gemäß der Ausführungsform der vorliegenden Erfindung;
5(a) eine Draufsicht auf eine AFM-Anordnung nach dem Stand der Technik; und
5(b) eine Ansicht auf einen Verbindungszustand zwischen AFM-Anordnung und Anschlussstiftabschnitt beim Stand der Technik.

It shows:

1 the configuration of an AFM device according to an embodiment of the present invention;
2 a perspective view of an essential part of the AFM assembly according to the embodiment of the present invention;
3 a perspective view of the AFM assembly and pin section according to the embodiment of the present invention;
4 a perspective view of an essential part of an air flow measuring device according to the embodiment of the present invention;
5 (a) a plan view of an AFM arrangement according to the prior art; and
5 (b) a view of a connection state between the AFM arrangement and pin section in the prior art.

Unter Bezugnahme auf die 1 bis 4 wird nachfolgend eine Luftstrommessvorrichtung 1 gemäß einer möglichen und als exemplarisch zu verstehenden Ausführungsform der vorliegenden Erfindung beschrieben.With reference to the 1 to 4 subsequently becomes an air flow measuring device 1 according to a possible and exemplary embodiment of the present invention.

Die Luftstrommessvorrichtung 1 ist ein Luftflussmesser, der die Menge an Ansaugluft (Ansaugluftströmung) eines Fahrzeugmotors oder dergleichen misst (ein Beispiel einer möglichen Anwendung), und ist in diesem Fall an einer (nicht gezeigten) Leitung angeschlossen, die sich an der stromabwärtigen Seite eines Luftfilters befindet.The airflow measuring device 1 is an air flow meter that measures the amount of intake air (intake air flow) of a vehicle engine or the like (an example of a possible application), and in this case is connected to a pipe (not shown) located on the downstream side of an air filter.

Gemäß den 3 und 4 enthält die Luftstrommessvorrichtung 1 im Wesentlichen eine AFM-Anordnung 2 (d. h. eine Sensoranordnung) zur Messung der Luftströmungsmenge oder Luftstrommenge, einen Thermistor 3 zur Messung der Temperatur der Ansaugluft und einen Anschlussstiftabschnitt 4, der elektrisch mit der AFM-Anordnung 2 und dem Thermistor 3 verbunden ist und über einen Kabelbaum elektrisch mit der Außenseite verbindbar ist.According to the 3 and 4 contains the airflow measuring device 1 essentially an AFM arrangement 2 (ie a sensor arrangement) for measuring the amount of air flow or amount of air flow, a thermistor 3 for measuring the temperature of the intake air and a connector pin section 4 that is electrical with the AFM arrangement 2 and the thermistor 3 is connected and can be electrically connected to the outside via a cable harness.

Gemäß 1 enthält die AFM-Anordnung 2 einen Dünnfilmströmungsmengensensor 6 mit einem Dünnfilmwiderstandselement auf einer Oberfläche eines Halbleitersubstrats und einen Schaltkreis- oder Schaltungschip 7, in welchem ein Schaltkreis eingebettet ist, der Ein- und Ausgänge des Strömungsmengensensors 6 steuert.According to 1 contains the AFM arrangement 2 a thin film flow rate sensor 6 with a thin film resistor element on a surface of a semiconductor substrate and a circuit or circuit chip 7 , in which a circuit is embedded, the inputs and outputs of the flow rate sensor 6 controls.

Der Dünnfilmströmungsmengensensor 6 enthält ein nicht gezeigtes Heizelement und ein nicht gezeigtes Temperaturerfassungselement, welche durch das Dünnfilmwiderstandselement auf der Oberfläche des Halbleitersubstrats gebildet werden.The thin film flow rate sensor 6 includes a heating element and a temperature detection element, not shown, which are formed by the thin-film resistance element on the surface of the semiconductor substrate.

Der Schaltungschip 7 ist mit dem Dünnfilmströmungsmengensensor 6 so verbunden, dass dem Dünnfilmströmungsmengensensor 6 ein Signal eingegeben werden kann und ein Ausgangssignal abgegriffen werden kann. Beispielsweise enthält der Schaltungschip 7 eine Steuerschaltung, die einen Stromfluss durch das Heizelement des Dünnfilmströmungsmengensensors 6 steuert, eine Ausgangsschaltung, die ein Ausgangssignal von dem Dünnfilmströmungsmengensensor 6 berechnet und verstärkt und zur Ausgabe bringt, etc.The circuit chip 7 is with the thin film flow rate sensor 6 connected so that the thin film flow rate sensor 6 a signal can be entered and an output signal can be tapped. For example, the circuit chip contains 7 a control circuit that allows current to flow through the heating element of the thin film flow rate sensor 6 controls an output circuit that outputs an output signal from the thin film flow rate sensor 6 calculated and amplified and brought to output, etc.

Ein Anschlussabschnitt 8, der elektrisch mit dem Schaltungschip 7 verbunden ist, ist in der AFM-Anordnung 2 so angeordnet, dass der Anschlussabschnitt 8 von der AFM-Anordnung 2 vorsteht. Der Anschlussabschnitt 8 ist mit dem Anschlussstiftabschnitt 4 verbunden, wie nachfolgend noch beschrieben wird.A connection section 8th that electrically with the circuit chip 7 is connected is in the AFM arrangement 2 arranged so that the connection section 8th from the AFM arrangement 2 protrudes. The connection section 8th is with the pin section 4 connected, as will be described below.

Wie in 1 gezeigt, enthält der Anschlussabschnitt 8 fünf Auslässe, nämlich einen Zufuhr- oder Versorgungsanschluss 10 für die AFM-Anordnung 2, einen Ausgangsanschluss 11, einen Einstellanschluss 12, einen ersten GND-Anschluss 13 und einen zweiten GND-Anschluss 14.As in 1 shown, contains the connection section 8th five outlets, namely a supply or supply connection 10 for the AFM arrangement 2 , an output connector 11 , a setting connection 12 , a first GND connection 13 and a second GND connector 14 ,

Der Einstellanschluss 12, der Ausgangsanschluss 12, der erste GND-Anschluss 13, der Versorgungsanschluss 10 und der zweite GND-Anschluss 14 sind in dieser Reihenfolge (in 1 von links nach rechts) angeordnet. Der erste GND-Anschluss 13 liegt (wiederum in der Darstellung von 1) zwischen dem Ausgangsanschluss 11 und dem Versorgungsanschluss 10, und der zweite GND-Anschluss 14 liegt an einem seitlichen Endabschnitt (seitlich rechter Endbereich in 1) des Anschlussabschnitts 8.The setting connection 12 , the output connector 12 , the first GND connector 13 , the supply connection 10 and the second GND connector 14 are in that order (in 1 from left to right). The first GND connector 13 (again in the representation of 1 ) between the output connector 11 and the supply connection 10 , and the second GND connector 14 lies on a side end section (right end area in 1 ) of the connection section 8th ,

Der Versorgungsanschluss 10 ist mit einer Zufuhr- oder Versorgungsverdrahtung 17 des Schaltungschips 7 verbunden. Der Ausgangsanschluss 11 ist mit einer Ausgangsverdrahtung 18 verbunden, über die ein Ausgangssignal vom Schaltungschip 7 ausgegeben wird. Der Einstellanschluss 12 ist mit einer Einstellverdrahtung 19 des Schaltungschips 7 verbunden, um eine Schaltung oder Schaltungselemente im Schaltungschip 7 einstellen zu können.The supply connection 10 is with a supply or supply wiring 17 of the circuit chip 7 connected. The output connector 11 is with an output wiring 18 connected via which an output signal from the circuit chip 7 is issued. The setting connection 12 is with adjustment wiring 19 of the circuit chip 7 connected to a circuit or circuit elements in the circuit chip 7 to be able to adjust.

Sowohl der erste GND-Anschluss 13 als auch der zweite GND-Anschluss 14 sind mit einer GND-Verdrahtung 20 des Schaltungschips 7 verbunden.Both the first GND connector 13 as well as the second GND connector 14 are with GND wiring 20 of the circuit chip 7 connected.

Beispielsweise und wie in 2 gezeigt, ist der Schaltungschip 7 auf einem Leiterrahmen (lead frame) 22 aufgebaut, und der erste GND-Anschluss 13 und der zweite GND-Anschluss 14 sind elektrisch mit dem Leiterrahmen 22 in der AFM-Anordnung 2 verbunden und über den Leiterrahmen 22 mit der GND-Verdrahtung 20 des Schaltungschips 7 verbunden.For example and as in 2 shown is the circuit chip 7 built on a lead frame 22, and the first GND connector 13 and the second GND connector 14 are electrical with the lead frame 22 in the AFM arrangement 2 connected and over the lead frame 22 with the GND wiring 20 of the circuit chip 7 connected.

Ein Kondensator (nicht gezeigt) liegt zwischen dem Versorgungsanschluss 10 und dem ersten GND-Anschluss 13, und ein weiterer Kondensator (nicht gezeigt) liegt zwischen dem ersten GND-Anschluss 13 und dem Ausgangsanschluss 11. Die Kondensatoren dienen der Rauschunterdrückung.A capacitor (not shown) lies between the supply connection 10 and the first GND connector 13 , and another capacitor (not shown) lies between the first GND connection 13 and the output connector 11 , The capacitors are used to suppress noise.

Der Thermistor 3 erkennt eine Ansauglufttemperatur und umfasst ein Widerstandselement 24 und Leiterabschnitte 25 und 26, die an beiden Seiten des Widerstandselements 24 liegen.The thermistor 3 detects an intake air temperature and includes a resistance element 24 and conductor sections 25 and 26 that are on both sides of the resistance element 24 lie.

Der Anschlussstiftabschnitt 4 enthält vier Stifte, das heißt, einen AFM-Ausgangsstift 30, einen GND-Stift 31, einen AFM-Versorgungsstift 32 für das AFM und einen Thermistorversorgungsstift 33 für den Thermistor. „Stift“ sei in diesem Zusammenhang als konkretes Ausführungsbeispiel für „Anschluss“ verstanden.The pin section 4 contains four pins, that is, an AFM output pin 30 , a GND pin 31 , an AFM supply pin 32 for the AFM and a thermistor supply pin 33 for the thermistor. In this context, “pin” should be understood as a concrete exemplary embodiment for “connection”.

Ein Ende des AFM-Ausgangsstifts 30 ist mit dem Ausgangsanschluss 11 verbunden, ein Ende des AFM-Versorgungsstifts 32 ist mit dem Versorgungsanschluss 10 verbunden, ein Ende des GND-Stifts 31 ist mit dem ersten GND-Anschluss 13 verbunden und ein Ende des Thermistorversorgungsstifts 33 ist mit dem Leiterabschnitt 25 des Thermistors 3 verbunden.One end of the AFM output pin 30 is with the output connector 11 connected, one end of the AFM supply pin 32 is with the supply connection 10 connected, one end of the GND pin 31 is with the first GND connector 13 connected and one end of the thermistor supply pin 33 is with the ladder section 25 of the thermistor 3 connected.

Weiterhin ist ein Ende eines Anschlusses 34 mit dem zweiten GND-Anschluss 14 verbunden, und der zweite GND-Anschluss 14 ist mit dem Leiterabschnitt 26 (GND) des Thermistors 3 über den Anschluss 34 verbunden.There is also an end of a connection 34 with the second GND connector 14 connected, and the second GND connector 14 is with the ladder section 26 (GND) of the thermistor 3 about the connection 34 connected.

Der Einstellanschluss 12 ist mit einem Einstellstift 36 verbunden, der benachbart dem Anschlussstiftabschnitt 4 liegt. Der Einstellstift 36 ist nicht bleibend mit der Außenseite in Verbindung und wird nur verwendet, wenn die Schaltung oder wenn Schaltungselemente eingestellt oder justiert werden sollen. Der Einstellstift 36 unterscheidet sich vom Anschlussstiftabschnitt 4, der elektrisch nach außen hin über den Kabelbaum verbunden ist.The setting connection 12 is with an adjustment pen 36 connected, which is adjacent to the pin section 4 lies. The adjustment pin 36 is not permanently connected to the outside and is only used when the circuit or when circuit elements are to be adjusted or adjusted. The adjustment pin 36 differs from the pin section 4 , which is electrically connected to the outside via the wiring harness.

Wie in 4 gezeigt, ist ein Verbinder 39 an einem Gehäuse 38 angeordnet oder ausgebildet, das einen Strömungsdurchlass zur Erkennung einer Strömungsmenge bildet. Der Anschlussstiftabschnitt 4 ist in dem Verbinder 39 so eingebettet, dass die anderen Enden der jeweiligen Stifte 30 bis 33 in den Verbinder 39 vorstehen und nach außen hin (beispielsweise mit einer Motorsteuervorrichtung) über einen Kabelbaum elektrisch verbunden werden können, der mit den jeweiligen Stiften 30 bis 33 verbunden wird.As in 4 shown is a connector 39 on a housing 38 arranged or formed, which forms a flow passage for detecting a flow rate. The pin section 4 is in the connector 39 embedded so that the other ends of the respective pins 30 to 33 in the connector 39 protrude and can be electrically connected to the outside (for example with a motor control device) via a cable harness that connects to the respective pins 30 to 33 is connected.

Der Einstellstift 36 ist in einem Verbindergehäuse 40 aufgenommen, und das andere Ende des Einstellstifts 36 steht nicht in den Verbinder 39 vor.The adjustment pin 36 is in a connector housing 40 added, and the other end of the adjustment pin 36 is not in the connector 39 in front.

Wie in den 3 und 4 gezeigt, befindet sich der Thermistor 3 unterhalb des Verbinders 39 und außerhalb des Gehäuses 38. Der Thermistorversorgungsstift 33 und der Anschluss 34 erstrecken sich nach unten unter den Verbinder 39, und das andere Ende des Thermistorversorgungsstifts 33 und das andere Ende des Anschlusses 34 sind entsprechend mit den Leiterabschnitten 25 und 26 des Thermistors 3 verbunden.As in the 3 and 4 shown, the thermistor is located 3 below the connector 39 and outside the case 38 , The thermistor supply pin 33 and the connection 34 extend down under the connector 39 , and the other end of the thermistor supply pin 33 and the other end of the connector 34 are corresponding with the conductor sections 25 and 26 of the thermistor 3 connected.

Bei der Luftstrommessvorrichtung 1 gemäß der vorliegenden Ausführungsform enthält der Anschlussabschnitt 8 der AFM-Anordnung 2 zwei GND-Anschlüsse, welche elektrisch in die AFM-Anordnung 2 geführt sind (d. h. den ersten GND-Anschluss 13 und den zweiten GND-Anschluss 14), wobei der erste GND-Anschluss 13 zwischen dem Ausgangsanschluss 11 und dem Versorgungsanschluss 10 liegt und der zweite GND-Anschluss 14 an dem Endabschnitt des Anschlussabschnitts 8 liegt.With the airflow measuring device 1 according to the present embodiment, the connection portion includes 8th the AFM arrangement 2 two GND connectors, which are electrical in the AFM arrangement 2 (ie the first GND connection 13 and the second GND connector 14 ), the first GND connector 13 between the output connector 11 and the supply connection 10 and the second GND connection 14 at the end portion of the connection portion 8th lies.

Durch Verbinden des Leiterabschnitts 26 des Thermistors 3 mit dem zweiten GND-Anschluss 14 am Endabschnitt des Anschlussabschnitts 8 kann für den Thermistor 3 und die AFM-Anordnung 2 gemeinsames GND verwendet werden. Das heißt, der Anschluss 34, der mit dem Leiterabschnitt 26 des Thermistors 3 verbunden ist, kann mit dem zweiten GND-Anschluss 14 ohne Führen über die anderen Anschlüsse verbunden werden, so dass GND problemlos für Thermistor 3 und AFM-Anordnung 2 gemeinsam verwendet (aufgeteilt) werden kann, ohne dass die Auslegung des Anschlussstiftabschnitts 4 kompliziert wird.By connecting the conductor section 26 of the thermistor 3 with the second GND connector 14 at the end section of the connection section 8th can for the thermistor 3 and the AFM arrangement 2 common GND can be used. That is, the connection 34 that with the conductor section 26 of the thermistor 3 connected to the second GND connector 14 can be connected via the other connections without routing, so that GND can easily be used for thermistors 3 and AFM arrangement 2 can be used together (divided) without the interpretation of the pin section 4 gets complicated.

Der Anschlussstiftabschnitt 4 kann somit problemlos mit vier Stiften (Anschlussmöglichkeiten) aufgebaut werden, das heißt, mit dem AFM-Ausgangsstift 30, dem AFM-Versorgungsstift 32 für das AFM, dem GND-Stift 31 und dem Thermistorversorgungsstift 33 für den Thermistor, und somit kann die Leitungszahl im Kabelbaum zur Verbindung mit dem Anschlussstiftabschnitt 4 ebenfalls verringert werden.The pin section 4 can therefore be easily set up with four pins (connection options), that is, with the AFM output pin 30 , the AFM supply pen 32 for the AFM, the GND pin 31 and the thermistor supply pin 33 for the thermistor, and thus the number of lines in the wiring harness for connection to the pin section 4 can also be reduced.

Der erste GND-Anschluss 13 liegt zwischen dem Ausgangsanschluss 11 und dem Versorgungsanschluss 10. Durch Anordnen eines Kondensators zwischen dem Versorgungsanschluss 10 und dem ersten GND-Anschluss 13 und eines weiteren Kondensators zwischen dem ersten GND-Anschluss 13 und dem Ausgangsanschluss 11 kann auf übliche Weise eine Rauschunterdrückung erfolgen.The first GND connector 13 lies between the output connection 11 and the supply connection 10 , By placing a capacitor between the supply connection 10 and the first GND connector 13 and another capacitor between the first GND terminal 13 and the output connector 11 can be suppressed in the usual way.

Die Ausgestaltung der Luftstrommessvorrichtung 1 ist nicht auf die obige Ausführungsform beschränkt, sondern kann verschiedentlich abgewandelt werden. Beispielsweise ist in obiger Ausführungsform der zweite GND-Anschluss 14 mit GND des Thermistors 3 (d. h. dem Leiterabschnitt 26) verbunden. Jedoch ist ein Sensor, der mit dem zweiten GND-Anschluss 14 verbunden ist, nicht auf den Thermistor 3 beschränkt, und der zweite GND-Anschluss 14 kann mit GND eines Sensors verbunden werden, der nicht der Dünnfilmströmungsmengensensor 6 ist.The design of the air flow measuring device 1 is not limited to the above embodiment, but can be modified in various ways. For example, the second GND connection is in the above embodiment 14 with GND of the thermistor 3 (ie the ladder section 26 ) connected. However, a sensor is connected to the second GND connector 14 connected, not to the thermistor 3 limited, and the second GND connector 14 can be connected to GND of a sensor that is not the thin film flow rate sensor 6 is.

Weiterhin sind in obiger Ausführungsform der erste GND-Anschluss 13 und der zweite GND-Anschluss 14 elektrisch auf den Leiterrahmen 22 geführt. Die Ausgestaltung ist jedoch nicht hierauf beschränkt, solange sowohl der erste GND-Anschluss 13 als auch der zweite GND-Anschluss 14 elektrisch mit der GND-Verdrahtung 20 des Schaltungschips 7 verbunden sind.Furthermore, in the above embodiment, the first GND connection 13 and the second GND connector 14 electrically on the lead frame 22 guided. However, the design is not limited to this as long as both the first GND connection 13 as well as the second GND connector 14 electrically with the GND wiring 20 of the circuit chip 7 are connected.

Insoweit zusammenfassend weist somit in einer Luftstrommessvorrichtung ein Anschlussabschnitt einer AFM-Anordnung einen Ausgangsanschluss, einen Versorgungsanschluss, einen Einstellanschluss, einen ersten GND-Anschluss und einen zweiten GND-Anschluss auf. Der erste GND-Anschluss und der zweite GND-Anschluss sind elektrisch miteinander in der AFM-Anordnung verbunden. Der erste GND-Anschluss liegt zwischen dem Ausgangsanschluss und dem Versorgungsanschluss, und der zweite GND-Anschluss liegt an einem Endabschnitt des Anschlussabschnitts. Folglich kann die Anzahl von Anschlussstiften die jeweils in Verbindung mit den Anschlüssen sind, auf vier verringert werden, ohne dass die Auslegung eines Anschlussstiftabschnitts kompliziert wird.In summary, in an air flow measuring device, a connection section of an AFM arrangement has an output connection, a supply connection, a setting connection, a first GND connection and a second GND connection. The first GND connection and the second GND connection are electrically connected to one another in the AFM arrangement. The first GND terminal is between the output terminal and the supply terminal, and the second GND terminal is located at an end portion of the terminal portion. As a result, the number of pins each connected to the terminals can be reduced to four without complicating the design of a pin portion.

Claims

An air flow measuring device, comprising: a thin film flow rate sensor (6) having a thin film resistance element disposed on a surface of a semiconductor substrate; a circuit chip (7) in which at least one circuit for controlling inputs and outputs of the thin-film flow rate sensor (6) is embedded; a sensor arrangement (2) with a connection section (8) which is electrically connected to the circuit chip (7); and a connecting pin section (4) which is electrically connected to the connecting section (8) and is electrically connectable to an outside, wherein - The connection section (8) has an output connection (11) which extends from the circuit chip (7), a supply connection (10) for the sensor arrangement (2), an adjustment connection (12) with which the circuit in the circuit chip (7) is adjustable, has a first GND connection (13) and a second GND connection (14), - The first GND connection (13) and the second GND connection (14) are electrically connected to one another in the sensor arrangement (2) and are connected to a GND wiring (20) of the circuit chip (7), and - The first GND connection (13) is arranged between the output connection (11) and the supply connection (10) and the second GND connection (14) is arranged in a lateral end section of the connection section (8).

The airflow measuring device after Claim 1 wherein the pin section (4) has an output pin (30) in connection with the output connector (11), a supply pin (32) in connection with the supply connector (10) and a GND pin (31) in connection with the first GND connector (13), and the second GND connector (14) is connected to GND of a sensor other than the thin film flow rate sensor (6).

The airflow measuring device after Claim 2 , wherein the other sensor is a thermistor (3) and the second GND connection (14) is connected to a conductor section (26) of the thermistor (3).

The air flow measuring device according to one of the Claims 1 to 3 , wherein a first capacitor is arranged between the supply connection (10) and the first GND connection (13) and a second capacitor is arranged between the first GND connection (13) and the output connection (11).