DE102010042351B4 - Microscope illumination system, microscope and oblique incident illumination method - Google Patents
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- 238000005286 illumination Methods 0.000 title claims abstract description 191
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 34
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims abstract description 83
- 238000001228 spectrum Methods 0.000 claims description 18
- 238000005457 optimization Methods 0.000 claims description 12
- 230000000007 visual effect Effects 0.000 claims description 10
- 210000001747 pupil Anatomy 0.000 claims description 5
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 claims description 3
- 238000010191 image analysis Methods 0.000 claims description 3
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 13
- 230000003595 spectral effect Effects 0.000 description 10
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 9
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 6
- 230000008859 change Effects 0.000 description 5
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 4
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 3
- 230000001276 controlling effect Effects 0.000 description 3
- 238000000386 microscopy Methods 0.000 description 3
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 3
- 230000007704 transition Effects 0.000 description 3
- 238000002211 ultraviolet spectrum Methods 0.000 description 3
- 238000010276 construction Methods 0.000 description 2
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 2
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 2
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 2
- 238000011835 investigation Methods 0.000 description 2
- 238000002386 leaching Methods 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 description 2
- 230000005855 radiation Effects 0.000 description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 2
- 238000012800 visualization Methods 0.000 description 2
- 230000001174 ascending effect Effects 0.000 description 1
- 230000002238 attenuated effect Effects 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 230000001419 dependent effect Effects 0.000 description 1
- 238000013461 design Methods 0.000 description 1
- 239000004615 ingredient Substances 0.000 description 1
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 1
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 1
- 238000002955 isolation Methods 0.000 description 1
- 238000004377 microelectronic Methods 0.000 description 1
- 230000008569 process Effects 0.000 description 1
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 1
- 238000003672 processing method Methods 0.000 description 1
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 description 1
- 230000003252 repetitive effect Effects 0.000 description 1
- 238000012876 topography Methods 0.000 description 1
- 238000012549 training Methods 0.000 description 1
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- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B21/00—Microscopes
- G02B21/06—Means for illuminating specimens
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- G02B21/00—Microscopes
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Abstract
Mikroskopbeleuchtungssystem (1) mit einer Lichtquelle (2, 3) und einer Blendeneinrichtung mit einer Blendenöffnung (9) zur Erzeugung eines zur optischen Achse (16) zentriert verlaufenden zentralen Beleuchtungsstrahlengangs (15'), wobei durch Verschieben der Blendenöffnung (9) ein in Bezug auf die optische Achse (16) dezentriert verlaufender Beleuchtungsstrahlengang (15) für eine schräge Auflichtbeleuchtung erzeugbar ist, dadurch gekennzeichnet, dass die Blendeneinrichtung eine um eine Drehachse (11) drehbare Blendenscheibe (8) aufweist, auf der in Umfangsrichtung mehrere Blendenöffnungen (9) unterschiedlicher Größe angeordnet sind, von denen jede durch Drehen der Blendenscheibe (8) zentriert auf der optischen Achse (16) oder innerhalb eines vorgegebenen Bereichs um die optische Achse (16) dezentriert zur optischen Achse (16) positionierbar ist.Microscope illumination system (1) with a light source (2, 3) and a diaphragm device with a diaphragm opening (9) for generating a central illumination beam path (15 ') centering on the optical axis (16), with a shifting of the diaphragm opening (9) in relation Illuminating beam path (15), which runs decentrally on the optical axis (16), can be generated for oblique incident light illumination, characterized in that the diaphragm device has a diaphragm disc (8) which can be rotated about an axis of rotation (11) and on which several diaphragm openings (9) of different diameters are circumferential Size are arranged, each of which can be positioned centered on the optical axis (16) or within a predetermined range around the optical axis (16) by rotating the diaphragm disk (8) to the optical axis (16).
Description
Die vorliegende Erfindung betrifft ein Mikroskopbeleuchtungssystem gemäß Oberbegriff des Anspruchs 1. Ein solches System weist eine Lichtquelle und eine Blendeneinrichtung mit einer Blendenöffnung zur Erzeugung eines zur optischen Achse zentriert verlaufenden zentralen Beleuchtungsstrahlengangs auf, wobei durch Verschieben der Blendenöffnung ein in Bezug auf die optische Achse dezentriert verlaufender Beleuchtungsstrahlengang (”dezentrierter Beleuchtungsstrahlengang”) erzeugbar ist. In einem Mikroskop mit Auflichtbeleuchtung kann ein solches Mikroskopbeleuchtungssystem zur Objektbeleuchtung mit schrägem Auflicht eingesetzt werden. Außerdem betrifft die Erfindung ein entsprechendes Verfahren.The present invention relates to a microscope illumination system according to the preamble of claim 1. Such a system comprises a light source and a diaphragm device with a diaphragm opening for generating a central illumination beam path centered on the optical axis, whereby a displacement of the diaphragm opening is decentered with respect to the optical axis Illumination beam path ("decentered illumination beam path") can be generated. In a microscope with reflected light illumination, such a microscope illumination system for object illumination with oblique reflected light can be used. Moreover, the invention relates to a corresponding method.
Eine Untersuchung von Objekten im schrägen Auflicht wird beispielsweise bei der Waferuntersuchung eingesetzt, um die an Strukturen der Präparatoberfläche auftretenden Beugungseffekte dazu zu nutzen, diese Strukturen kontrastreich und plastisch abzubilden. Ein zu diesem Zweck einsetzbarer Auflichtilluminator für ein Mikroskop zur Beleuchtung mit schrägem Auflicht mit in der Größe variierbarer Aperturblende ist aus der
Die in der genannten Schrift vorgeschlagene Konstruktion des Auflichtilluminators erweist sich allerdings als mechanisch aufwendig und erfordert in der Praxis Schulung und Erfahrung der Benutzer. Zudem kann die Schwenkbarkeit, wie in der Schrift geschildert, je nach Anordnung im Stativ eingeschränkt sein. Schließlich ist, wie ebenfalls in der Schrift geschildert, die Reproduzierbarkeit der Lichteinfallsrichtung (entsprechend der Schwenkbewegung der Aperturblendeneinrichtung) eingeschränkt. Die erforderliche Drehung der Stellmutter zur Variation des Auflichtwinkels macht eine kontinuierliche Änderung desselbigen während der mikroskopischen Untersuchung nahezu unmöglich.However, the proposed in the cited document construction of Auflichtilluminators proves to be mechanically complex and requires in practice training and experience of the user. In addition, the pivoting, as described in the Scriptures, depending on the arrangement in the tripod be limited. Finally, as also described in the document, the reproducibility of the direction of light incidence (corresponding to the pivotal movement of the aperture diaphragm device) is limited. The required rotation of the adjusting nut for varying the incident light angle makes a continuous change of the same during the microscopic examination almost impossible.
Aus der
Aus der
Die
Eine technisch einfache und damit kostengünstige Alternative zur Interferenzmikroskopie, die mit Vorteil bei Phasenobjekten zum Einsatz kommt, stellt die Auflichtmikroskopie mit schräger Beleuchtung dar, die sich insbesondere zur Beobachtung von Oberflächenreliefs eignet. Hierzu wird in der Regel mit einer Köhlerschen Auflichtbeleuchtung gearbeitet, wobei eine einseitig schräge Beleuchtung durch Dezentrierung der Aperturblende (vgl. die oben besprochene
Aufgabe vorliegender Erfindung ist es, ein Mikroskopbeleuchtungssystem anzugeben, mit dem es in technisch einfacher, einfach zu bedienender und reproduzierbarer Weise möglich sein soll, eine schräge Auflichtbeleuchtung bei variierbarer Blendengröße und zugleich variablem Auflichtwinkel zu realisieren. Außerdem soll ein entsprechendes Mikroskop und ein Verfahren zur Auflichtmikroskopie bei schräger Beleuchtung angegeben werden.Object of the present invention is to provide a microscope illumination system with which it should be possible in a technically simple, easy-to-use and reproducible way to realize an oblique incident illumination with variable aperture size and at the same time variable incident light angle. In addition, a corresponding microscope and a method for Auflichtmikroskopie be given at oblique illumination.
Diese Aufgabe wird durch ein Mikroskopbeleuchtungssystem mit den Merkmalen des Anspruchs 1 gelöst. Ein entsprechendes Mikroskop ist Gegenstand des Anspruchs 11, ein entsprechendes Verfahren zur Auflichtmikroskopie mit schräger Beleuchtung ist Gegenstand des Anspruchs 21. Vorteilhafte Ausgestaltungen ergeben sich aus den jeweiligen Unteransprüchen sowie der nachfolgenden Beschreibung.This object is achieved by a microscope illumination system with the features of claim 1. A corresponding microscope is Subject matter of
Erfindungsgemäß weist die Blendeneinrichtung eine um eine Drehachse drehbare Blendenscheibe auf, auf der in Umfangsrichtung mehrere Blendenöffnungen unterschiedlicher Größe angeordnet sind, von denen jede einzelne Blendenöffnung durch Drehen der Blendenscheibe zentriert auf der optischen Achse oder innerhalb eines vorgegebenen Bereichs um die optische Achse dezentriert zur selbigen positionierbar ist. Vorraussetzung hierfür ist selbstverständlich, dass die Drehachse der Blendenscheibe außerhalb der optischen Achse liegt. Soweit nicht anders angegeben, soll ohne Beschränkung der Allgemeinheit von einer Vertikalbeleuchtung ausgegangen werden, bei der der Beleuchtungsstrahlengang über einen Strahlteiler und das Mikroskopobjektiv auf das zu untersuchende Objekt geführt wird. Der zentrale Beleuchtungsstrahlengang führt hier zu einer axialen Auflicht-Hellfeld-Beleuchtung, während ein dezentrierter Beleuchtungsstrahlengang zu einer einseitig schrägen Auflichtbeleuchtung führt, die auch als ”Oblique-Beleuchtung” bezeichnet wird.According to the invention, the diaphragm device has an aperture disk rotatable about a rotation axis, on which a plurality of aperture openings of different sizes are arranged in the circumferential direction, each of which aperture can be positioned centered on the optical axis or within a predetermined range about the optical axis relative to the same by rotating the aperture disk is. The prerequisite for this is, of course, that the rotation axis of the diaphragm disc is outside the optical axis. Unless otherwise stated, it should be assumed without limiting the generality of a vertical illumination, in which the illumination beam path is guided over a beam splitter and the microscope objective on the object to be examined. The central illumination beam path leads here to an axial incident light bright field illumination, while a decentered illumination beam path leads to a one-sided oblique incident illumination, which is also referred to as "oblique illumination".
Zur Verdeutlichung der in dieser Anmeldung verwendeten Begriffe ”Lichteinfallsrichtung” und ”Auflichtwinkel” sei auf das bekannte Kugelkoordinatensystem mit seinen sphärischen Koordinaten verwiesen. Der Auflichtwinkel, also der Winkel zwischen dem Lot auf die Objektebene und der Einfallsrichtung des Auflichtbeleuchtungsstrahlengangs, entspricht dem Polarwinkel, während die Lichteinfallsrichtung dem Azimutwinkel des Kugelkoordinatensystems entspricht.To clarify the terms used in this application "light incidence direction" and "Auflichtwinkel" reference is made to the known spherical coordinate system with its spherical coordinates. The incident light angle, that is to say the angle between the perpendicular on the object plane and the direction of incidence of the reflected-light illumination beam path, corresponds to the polar angle, while the light incident direction corresponds to the azimuth angle of the spherical coordinate system.
In einer Ausgangsstellung befinde sich eine bestimmte Blendenöffnung zentriert zur optischen Achse des Mikroskopbeleuchtungssystems. Ausgehend hiervon kann durch Drehen der Blendenscheibe um ihre Drehachse in oder gegen den Uhrzeigersinn die Blendenöffnung in Bezug zur optischen Achse dezentriert angeordnet werden. Hierbei verändert sich zunächst der Auflichtwinkel und – aufgrund der Kreisbahn, die die Blendenöffnung beim Verstellen der Blendenscheibe beschreibt – auch die Lichteinfallsrichtung. Letztere allerdings nur in geringem Maße, da bei geringen Verschiebungen von der optischen Achse, insbesondere bei großen Abständen der optischen Achse von der Drehachse der Blendenscheibe, die Kreisbahn durch eine Gerade angenähert werden kann.In a starting position, a certain aperture is centered to the optical axis of the microscope illumination system. Proceeding from this, by rotating the aperture disc about its axis of rotation in clockwise or counterclockwise direction, the aperture opening can be decentered with respect to the optical axis. Here, the incident light angle changes and - due to the circular path, which describes the aperture when adjusting the diaphragm disc - also the light incident direction. The latter, however, only to a small extent, since with small displacements of the optical axis, in particular at large distances of the optical axis of the rotation axis of the diaphragm disc, the circular path can be approximated by a straight line.
Aufgrund der Tatsache, dass die Blendenscheibe mehrere Blendenöffnungen unterschiedlicher Größe, die in Umfangsrichtung auf der Scheibe angeordnet sind, aufweist, ist es auf einfache Weise möglich, durch Positionieren der Blendenscheibe zwischen den vorgegebenen Größen der Blendenöffnungen zu wechseln.Due to the fact that the aperture disc has a plurality of apertures of different sizes, which are arranged on the disk in the circumferential direction, it is easily possible to change by positioning the aperture disk between the predetermined sizes of the apertures.
Die Erfindung ermöglicht aufgrund der reproduzierbaren Einstellbarkeit einer definierten Position einer jeden Blendenöffnung in technisch einfacher und in einfach zu bedienender Weise eine leicht reproduzierbare Variation insbesondere des Auflichtwinkels zu beiden Seiten der optischen Achse bei gleichzeitig bestehender Möglichkeit der Verwendung unterschiedlicher Blendengrößen.Due to the reproducible adjustability of a defined position of each aperture in a technically simple and easy-to-use manner, the invention makes possible an easily reproducible variation in particular of the incident-light angle on both sides of the optical axis while at the same time allowing the use of different aperture sizes.
Der in Anspruch 1 genannte ”vorgegebene Bereich um die optische Achse”, innerhalb dessen eine bestimmte Blendenöffnung dezentriert zur optischen Achse positionierbar ist, ist prinzipiell durch die Abstände der Blendenöffnungen in Umfangsrichtung sowie andererseits durch die Lage der jeweiligen Blendenöffnung zum Rand der Blendenscheibe hin, in der Praxis aber in erster Linie durch den Durchmesser des von Lichtquelle und Beleuchtungsoptik erzeugten Beleuchtungsstrahlenbüschels vor der Blendenöffnung begrenzt. Durch Anordnung einer zur optischen Achse zentriert angeordneten Apertur-Festblende vor, insbesondere unmittelbar vor der Blendenscheibe lässt sich ein solcher Bereich um die optische Achse fest vorgeben. Hierbei bedeutet ”unmittelbar vor der Blendenscheibe angeordnet”, dass die Apertur-Festblende in Richtung zur Lichtquelle benachbart zur Blendenscheibe angeordnet ist, wobei zwischen Apertur-Festblende und Blendenscheibe keine weiteren optisch aktiven Elemente vorhanden sein sollen.The "predetermined area around the optical axis", within which a certain aperture can be positioned decentered to the optical axis, is principally characterized by the spacings of the apertures in the circumferential direction and on the other hand by the position of the respective aperture to the edge of the aperture disk, in FIG the practice but limited primarily by the diameter of the light source and illumination optics generated light beam bundle in front of the aperture. By arranging an aperture fixed diaphragm centered on the optical axis, in particular directly in front of the diaphragm disk, such an area can be firmly set around the optical axis. In this case, "arranged directly in front of the diaphragm disc" means that the aperture fixed diaphragm is arranged in the direction of the light source adjacent to the diaphragm disc, wherein no further optically active elements are to be present between the aperture diaphragm and the diaphragm disc.
Zur möglichst stufenlosen Drehung der Blendenscheibe ist es zweckmäßig, die Blendenscheibe mit einem Schrittmotor anzutreiben. Ein Antrieb mittels anderer Motoren, z. B. auch DC-Motoren oder magnetische Antriebe, ist ebenfalls möglich. Um den Motor mit der Blendenscheibe in Wirkstellung zu bringen, kommt der Einbau eines Getriebes, Riemenantriebs, Zahnkranzes o. ä. in Frage. Bei geeigneter Ansteuerung kann die Blendenscheibe alternativ direkt auf die Motorachse montiert werden. Schrittmotoren mit möglichst geringer Schrittweite erlauben eine nahezu kontinuierliche Drehung der Blendenscheibe. Insbesondere erlaubt die Verwendung eines Schrittmotors, dass eine bestimmte Einstellung der schrägen Auflichtbeleuchtung, insbesondere ein von einem bestimmten Objekt abhängiger Auflichtwinkel, zuverlässig reproduzierbar ist.For the smoothest possible rotation of the diaphragm disc, it is expedient to drive the diaphragm disc with a stepper motor. A drive by means of other motors, eg. As well as DC motors or magnetic drives, is also possible. To bring the engine with the diaphragm disc in operative position, the installation of a gear, belt drive, ring gear o. Ä. In question. With suitable control, the aperture plate can alternatively be mounted directly on the motor axis. Stepping motors with the smallest possible step size allow a nearly continuous rotation of the diaphragm disc. In particular, the use of a stepping motor makes it possible to reliably reproduce a specific setting of the oblique reflected-light illumination, in particular a reflected-light angle dependent on a specific object.
Vorteilhafterweise ist die Drehachse der Blendenscheibe parallel zur optischen Achse im Mikroskopbeleuchtungssystem derart angeordnet, dass die Verbindungslinie
Legt man ein kartesisches Koordinatensystem auf die Blendenscheibe mit Ursprung des Koordinatensystems in der Drehachse der Blendenscheibe, wobei die x-Achse die Horizontale und die y-Achse die Vertikale darstellt, erreicht man mit der angegebenen vorteilhaften Anordnung der Drehachse relativ zur optischen Achse, dass bei Drehung der Blendenscheibe die ausgewählte Blendenöffnung auf einem Kreisbogen innerhalb der Apertur-Festblende (oder allgemeiner des vorgegebenen Bereichs um die optische Achse) unter etwa 45 Grad zur x- und y-Achse bewegt wird. Besagter Kreisbogen kann bei den praktischen Abmessungen der Apertur-Festblende durch eine Gerade gut approximiert werden. Wird ein solcher Beleuchtungsstrahlengang als Auflichtbeleuchtungsstrahlengang über ein Mikroskopobjektiv nach den Prinzipien der Köhler'schen Beleuchtung auf die Objektebene geleitet, kann bezogen auf das korrespondierende x'-y'-Koordinatensystem in der Objektebene eine schräge Auflichtbeleuchtung realisiert werden, bei der die Lichteinfallsrichtung (Azimutwinkel) etwa 45 Grad beträgt und der Auflichtwinkel durch Bewegung der Blendenöffnung von der optischen Achse weg (durch Drehen der Blendenscheibe um die Drehachse) eingestellt werden kann.If one places a Cartesian coordinate system on the diaphragm disc originating the coordinate system in the axis of rotation of the diaphragm disc, wherein the x-axis represents the horizontal and the y-axis is the vertical, can be achieved with the specified advantageous arrangement of the axis of rotation relative to the optical axis that at Rotation of the aperture disc, the selected aperture is moved on a circular arc within the aperture fixed stop (or more generally the predetermined range around the optical axis) at about 45 degrees to the x and y axis. Said circular arc can be well approximated by a straight line in the practical dimensions of Apertur fixed aperture. If such an illumination beam path is guided onto the object plane as reflected-light illumination beam path via a microscope objective according to the principles of Köhler illumination, oblique incident illumination can be realized with respect to the corresponding x'-y 'coordinate system in the object plane in which direction of light incidence (azimuth angle) is about 45 degrees and the incident light angle can be adjusted by moving the aperture away from the optical axis (by rotating the aperture disc about the axis of rotation).
Auf diese Weise können Strukturen auf der Probe in Nord-Süd-Richtung (parallel zur x'-Achse) und gleichzeitig Strukturen in Ost-West-Richtung (y'-Achse) gut sichtbar gemacht werden. Dies können z. B. Strukturen auf Wafern, mikroelektronischen Bauteilen, Solar Panels, etc. sein, die an fertigen Bauteilen oder während des Herstellungsprozesses untersucht werden. Ist nämlich eine Blendenöffnung beispielsweise nur in vertikaler Richtung bezogen auf die optische Achse verschiebbar, also in Nord-Süd-Richtung bezogen auf besagtes kartesisches Koordinatensystem in der Blendenscheibe, so resultiert hieraus bei einer weiter unten erläuterten Mikroskop-Auflichtbeleuchtung nach Köhler eine Variation des Auflichtwinkels in horizontaler Richtung bezogen auf die Objektebene (also in Ost-West-Richtung im entsprechenden kartesischen Koordinatensystem der Objektebene). Mit einer solchen variierbaren schrägen Auflichtbeleuchtung lassen sich zwar Strukturen mit Nord-Süd-Ausrichtung auf dem Präparat gut darstellen, allerdings sind insbesondere Strukturen in Ost-West-Richtung, also parallel zur Verstellrichtung, bei Variation des Auflichtwinkels nicht besser sichtbar. Mit der vorgeschlagenen schrägen 45°-Auflichtbeleuchtung sind hingegen sowohl Strukturen mit Nord-Süd-Ausrichtung als auch Strukturen mit Ost-West-Ausrichtung gut sichtbar zu machen. Insbesondere ist es nicht notwendig, zur besseren Sichtbarmachung solcher Strukturen den Objekttisch, beispielsweise um 45 Grad, zu drehen. Solche Drehtische sind kostenintensiv und würden überdies nur eine schlechte Reproduzierbarkeit erlauben.In this way, structures on the sample in north-south direction (parallel to the x'-axis) and at the same time structures in the east-west direction (y'-axis) can be made well visible. This can z. As structures on wafers, microelectronic components, solar panels, etc., which are studied on finished components or during the manufacturing process. Namely, if an aperture, for example, only in the vertical direction relative to the optical axis displaceable, ie in north-south direction relative to said Cartesian coordinate system in the aperture disc, this results in a below-explained microscope incident illumination after Köhler a variation of the incident light angle in horizontal direction relative to the object plane (ie in east-west direction in the corresponding Cartesian coordinate system of the object plane). Although structures with a north-south orientation on the preparation can be displayed well with such variable oblique reflected-light illumination, in particular structures in the east-west direction, ie parallel to the adjustment direction, are not better visible when the incident-light angle is varied. On the other hand, with the proposed 45 ° oblique illumination, structures with north-south orientation as well as structures with east-west orientation are clearly visible. In particular, it is not necessary for better visualization of such structures to rotate the stage, for example by 45 degrees. Such turntables are costly and would also allow only poor reproducibility.
In einer weiteren Ausgestaltung der Erfindung kann es sinnvoll sein, die Drehachse der Blendenscheibe in zumindest einer Richtung senkrecht zur optischen Achse verschiebbar anzuordnen. Hierzu kann beispielsweise der oben genannte Schrittmotor, der die Blendenscheibe um die Drehachse drehen kann, in dem x-y-Koordinatensystem der Blendenscheibe verschoben werden, beispielsweise in x- und/oder y-Richtung. Auf diese Weise könnte zusätzlich zur schrägen 45°-Beleuchtung eine Verstellung in Nord-Süd- und/oder Ost-West-Richtung erfolgen.In a further embodiment of the invention, it may be useful to arrange the axis of rotation of the diaphragm disc in at least one direction displaceable perpendicular to the optical axis. For this purpose, for example, the above-mentioned stepping motor, which can rotate the diaphragm disc about the axis of rotation, be moved in the x-y coordinate system of the diaphragm disc, for example in the x and / or y direction. In this way, in addition to the oblique 45 ° illumination, an adjustment in north-south and / or east-west direction could take place.
Als besonders vorteilhaft hat sich zusätzlich eine Kontrasterhöhung und Auflösungssteigerung der schrägen Auflichtbeleuchtung bei Beleuchtung im ultravioletten Spektralbereich herausgestellt (”Oblique UV”). Eine Beleuchtung mit den kurzen Wellenlängen des UV-Spektrums führt nach den Gesetzen der Physik zu einer höheren Auflösung als eine Beleuchtung im sichtbaren Bereich. Als Lichtquelle eignet sich insbesondere eine LED, die Licht mit einer Wellenlänge von 365 nm (als ”i-line” im Englischen bezeichnet) abgibt. Der ultraviolette Spektralbereich reicht von 400 bis etwa 185 nm. Bereits bei axialer Auflicht-Hellfeld-Beleuchtung bringt die UV-Beleuchtung eine höhere Auflösung, zusätzlich ergibt sich beim Übergang zur schrägen Auflichtbeleuchtung eine plastische Darstellung der Objektstrukturen. Mit der Oblique-UV-Beleuchtung lassen sich Bauteile mit größerer Topografie bei gesteigerter Auflösung inspizieren. Feine Kratzer, beispielsweise auf blanken Wafern oder der Grad der Auswaschung von Photoresist an Halbleiterstrukturen können hiermit sichtbar gemacht werden.In addition, it has proved particularly advantageous to increase the contrast and increase the resolution of the oblique reflected light illumination when illuminated in the ultraviolet spectral range ("Oblique UV"). Illumination with the short wavelengths of the UV spectrum leads, according to the laws of physics, to a higher resolution than illumination in the visible range. As a light source is particularly suitable an LED, the light with a wavelength of 365 nm (referred to as "i-line" in English) emits. The ultraviolet spectral range extends from 400 to about 185 nm. Already in the case of axial incident-light bright-field illumination, the UV illumination brings a higher resolution, in addition to the transition to oblique reflected-light illumination, a plastic representation of the object structures. With the Oblique UV illumination, components with a larger topography can be inspected with increased resolution. Fine scratches, for example on bare wafers or the degree of leaching of photoresist on semiconductor structures can hereby be made visible.
Ein speziell für diese Oblique-UV-Beleuchtung abgestimmtes UV-Objektiv in Verbindung mit einem UV-Strahlenteiler sowie einer UV-empfindlichen Kamera erlauben es dem Benutzer, das von der Kamera gewonnene UV-Bild beispielsweise am Monitor eines PCs sichtbar zu machen und zu optimieren. Es gibt aber auch UV-Objektive (z. B. von der Anmelderin), die in der Lage sind, sowohl klassische Verfahren wie Hellfeldauflicht, Dunkelfeldauflicht und DIC-Auflicht abzubilden als auch die gleichen Verfahren in i-line Beleuchtung (also im UV-Spektralbereich bei 365 nm). Ferner gibt es Strahlenteiler, die zwar „UV-optimiert” sind, aber auch für die entsprechenden Verfahren im visuellen Licht geeignet sind.A UV lens specially designed for this Oblique UV illumination, in conjunction with a UV beam splitter and a UV-sensitive camera, allow the user to visualize and optimize the UV image captured by the camera, for example on the monitor of a PC , However, there are also UV lenses (eg from the applicant) which are able to image both classical methods such as bright field illumination, dark field incident light and DIC incident light and also the same methods in i-line illumination (ie in UV radiation). Spectral range at 365 nm). There are also beam splitters that are "UV-optimized" but are also suitable for the corresponding methods in visual light.
Ein weiterer wichtiger Aspekt der Erfindung betrifft ein Mikroskopbeleuchtungssystem mit einer Lichtquelle und einer Blendeneinrichtung zur Erzeugung zum einen eines zentrierten und zum anderen alternativ eines dezentrierten Beleuchtungsstrahlengangs, bei dem die Spektralbereiche der Beleuchtung in einfacher Weise veränderbar sind. Für diesen Aspekt wird gesonderter Schutz vorbehalten. Der Übersichtlichkeit halber soll allerdings im Folgenden dieser Aspekt als vorteilhafte Ausgestaltung des oben behandelten Mikroskopbeleuchtungssystems beschrieben werden. Als Lichtquellen bekannter Mikroskopbeleuchtungssysteme stehen üblicherweise verschiedene Lampenhäuser mit unterschiedlichen Lampentypen als Lichtquelle zur Verfügung. Zum Ausblenden bestimmter Spektralbereiche werden Filter eingesetzt. Beispielsweise ist das Umschalten vom visuellen Spektrum zum ultravioletten Spektrum bisher immer mit dem manuellen oder motorischen Ein-/Ausschwenken von Filtern verbunden. Ein solches Umschalten des Spektralbereichs kann in technisch einfach zu realisierender Weise dadurch erfolgen, dass das Mikroskopbeleuchtungssystem zwei Lichtquellen unterschiedlichen Spektrums oder unterschiedlicher Wellenlängenbereiche aufweist. Durch einfaches Umschalten zwischen den Lichtquellen kann dann das Beleuchtungsspektrum geändert werden, ohne Notwendigkeit der Bedienung von Filtern. Voraussetzung hierfür ist selbstverständlich, dass die Lichtquellen und die von diesen erzeugten Strahlengänge in geeigneter Weise in den Beleuchtungsstrahlengang des Mikroskopbeleuchtungssystems eingekoppelt werden. In einfacher Weise lässt sich dies mittels eines dichromatischen Strahlenteilers realisieren, über den die beiden Lichtquellen in den Beleuchtungsstrahlengang einkoppelbar sind. Selbstverständlich lässt sich dieser Aspekt auch auf mehr als zwei Lichtquellen erweitern.Another important aspect of the invention relates to a microscope illumination system with a light source and a diaphragm device for the production of a centered one and the other Alternatively, a decentered illumination beam path, in which the spectral regions of the illumination can be changed in a simple manner. Separate protection is reserved for this aspect. For the sake of clarity, however, this aspect will be described below as an advantageous embodiment of the above-discussed microscope illumination system. As light sources known microscope illumination systems are usually different lamp houses with different lamp types as a light source available. To hide certain spectral ranges filters are used. For example, switching from the visual spectrum to the ultraviolet spectrum has always been associated with the manual or motorized swinging of filters. Such a switching of the spectral range can be effected in a technically simple manner by the microscope illumination system having two light sources of different spectrum or different wavelength ranges. By simply switching between the light sources, the illumination spectrum can then be changed without the need to operate filters. The prerequisite for this is, of course, that the light sources and the beam paths generated by them be suitably coupled into the illumination beam path of the microscope illumination system. In a simple way, this can be realized by means of a dichromatic beam splitter, via which the two light sources can be coupled into the illumination beam path. Of course, this aspect can be extended to more than two light sources.
Die Lichtquellen können insbesondere als LEDs ausgeführt sein, die insbesondere in ihrer Leistung ansteuerbar sind. Hierdurch können die verschiedenen LEDs abwechselnd zugeschaltet werden, so dass ein leichtes Umschalten beispielsweise zwischen dem visuellen und dem ultravioletten (oder ein den ultravioletten Wellenlängenbereich zumindest teilweise einschließendes) Spektrum möglich ist. Die Leistungsansteuerung kann auch derart ausgestaltet sein, dass bestimmte Anteile verschiedener Spektren mit bestimmter Intensität gleichzeitig in den Beleuchtungsstrahlengang eingekoppelt werden können.The light sources can be designed in particular as LEDs, which are in particular controllable in their performance. As a result, the various LEDs can be switched on alternately, so that an easy switching, for example, between the visual and the ultraviolet (or the ultraviolet wavelength range at least partially enclosing) spectrum is possible. The power control can also be designed such that certain portions of different spectra with a certain intensity can be coupled simultaneously into the illumination beam path.
Zur Realisierung einer Auflichtbeleuchtung nach dem Köhlerschen Prinzip kann die Blendenscheibe in einer zur Lichtquelle des Mikroskopbeleuchtungssystems konjugierten Ebene angeordnet sein. Die Lichtquelle wird in diesem Fall in die Blendenscheibe bzw. die unmittelbar davor angeordnete Apertur-Festblende abgebildet. Gleichzeitig ist die Blendenscheibe des Mikroskopbeleuchtungssystems in einer zur Eintrittspupille des Mikroskopobjektivs konjugierten Ebene angeordnet. Auf diese Weise wird eine gleichmäßige Ausleuchtung der Objektebene erreicht.To realize incident illumination according to Köhler's principle, the diaphragm disc can be arranged in a plane conjugate to the light source of the microscope illumination system. In this case, the light source is imaged in the aperture disk or the aperture fixed aperture arranged directly in front of it. At the same time, the diaphragm of the microscope illumination system is arranged in a plane conjugate to the entrance pupil of the microscope objective. In this way a uniform illumination of the object plane is achieved.
Gegenstand der Erfindung ist außerdem ein Mikroskop mit einem zumindest eine Lichtquelle aufweisenden Mikroskopbeleuchtungssystem, wie es oben geschildert wurde, und mit mindestens einem Mikroskopobjektiv. In der Praxis ist meist ein Objektivwechsler mit mehreren Mikroskopobjektiven vorhanden, von denen eines ausgewählt werden kann. Im Übrigen weist das Mikroskop die üblichen Komponenten, wie Tubusoptik, Okular und/oder Kamera auf, die, soweit nicht anders angegeben, unter den Begriff Abbildungsoptik zusammengefasst werden sollen. Bei einem solchen Mikroskop kann eine Auflichtbeleuchtung dadurch realisiert werden, dass der Beleuchtungsstrahlengang des Mikroskopbeleuchtungssystems über einen Strahlteiler, der vorzugsweise zwischen dem Mikroskopobjektiv und der Abbildungsoptik angeordnet ist, in den Strahlengang des Mikroskops eingekoppelt wird, so dass das Objektiv das Lichtbüschel auf das Präparat fokussiert. Ausgehend vom Objekt wird dieses über den Abbildungsstrahlengang durch das Objektiv, den Strahlteiler und eine Tubusoptik auf eine Kamera abgebildet.The invention also provides a microscope with a microscope illumination system having at least one light source, as described above, and with at least one microscope objective. In practice, there is usually an objective changer with several microscope objectives, one of which can be selected. Incidentally, the microscope has the usual components, such as tube optics, eyepiece and / or camera, which, unless stated otherwise, should be combined under the term imaging optics. In such a microscope incident light illumination can be realized in that the illumination beam path of the microscope illumination system via a beam splitter, which is preferably arranged between the microscope objective and the imaging optics, is coupled into the beam path of the microscope, so that the lens focuses the light tufts on the specimen. Starting from the object, it is imaged onto the camera via the imaging beam path through the objective, the beam splitter and a tube optic.
Die Verwendung einer Blendenscheibe mit verschiedenen Blendenöffnungen hat den Vorteil, dass sehr viel kleinere Aperturblenden-Durchmesser realisiert werden können als bei Verwendung beispielsweise einer Irisblende. Während Irisblenden nur bis auf einen Durchmesser von etwa 1 mm zugezogen werden können, sind als Blendenöffnung in der Blendenscheibe auch kleinere Durchmesser möglich. Zum Beispiel hat ein Objektiv 150×/0.90 einen Pupillendurchmesser von 2,4 mm. Wenn die Aperturblende mit Faktor 2 in die Objektivpupille abgebildet wird, wird für die volle Beleuchtungsapertur dieses Objektivs ein Aperturblenden-Durchmesser von nur 2,4 mm/2 = 1,2 mm benötigt. Will man bei diesem Objektiv beleuchtungsseitig abblenden, muss der Blendendurchmesser deutlich kleiner als 1,2 mm sein, besser kleiner als 1 mm, was jedoch mit herkömmlichen Irisblenden nicht möglich ist. Soll zudem ein dezentrierter Beleuchtungsstrahlengang erfindungsgemäß erzeugt werden, dessen Durchmesser gänzlich außerhalb der optischen Achse liegt, so muss bei besagtem Objektiv der Blendendurchmesser kleiner gleich 0,6 mm sein. Auch dies wäre mit herkömmlichen Irisblenden nicht möglich.The use of a diaphragm disc with different diaphragm openings has the advantage that much smaller aperture diaphragm diameter can be realized than when using, for example, an iris diaphragm. While iris diaphragms can only be closed to a diameter of about 1 mm, smaller apertures are possible as an aperture in the aperture disc. For example, a 150 × / 0.90 lens has a pupil diameter of 2.4 mm. When the aperture diaphragm is mapped into the lens pupil by a factor of 2, the aperture aperture diameter of the objective only requires 2.4 mm / 2 = 1.2 mm for the full illumination aperture of this objective. If you want to dimming the illumination side of this lens, the aperture diameter must be significantly smaller than 1.2 mm, better less than 1 mm, which is not possible with conventional iris diaphragms. If, in addition, a decentered illumination beam path is to be produced according to the invention whose diameter lies entirely outside the optical axis, the diaphragm diameter must be less than or equal to 0.6 mm for said objective. Again, this would not be possible with conventional iris diaphragms.
Bei dem genannten Mikroskop ist es vorteilhaft, wenn bei mehreren Objektiven jeweils einem Mikroskopobjektiv eine Blendenöffnung auf der Blendenscheibe des Mikroskopbeleuchtungssystems zugeordnet ist oder zuordenbar ist. Je nach verwendetem Mikroskopobjektiv kann eine bestimmte Blendenöffnung mit entsprechendem Blendendurchmesser für die Auflichtbeleuchtung ausgewählt werden. Diese Zuordnung kann benutzerseitig vorgenommen werden oder auch werksseitig, beispielsweise durch entsprechende Ansteuerung der jeweiligen Komponenten, eingestellt sein. In einer anderen Ausgestaltung weist ein solches Mikroskop mehrere Mikroskopobjektive auf. Dabei ist diesen Mikroskopobjektiven eine Blendenöffnung einer bestimmten Größe auf der Blendenscheibe des Mikroskopbeleuchtungssystems zugeordnet oder zuordenbar. Alternativ sind mindestens einem der Mikroskopobjektive mehrere Blendenöffnungen zugeordnet oder zuordenbar. Die Zuordnung wird zweckmäßigerweise derart gestaltet, dass beim Wechsel eines Objektivs die zugehörige Blendenöffnung bzw. eine der zugehörigen Blendenöffnungen mittels entsprechender Drehung der Blendenscheibe in die Zielposition, d. h. auf die optische Achse gedreht wird.In the case of the abovementioned microscope, it is advantageous if in the case of several objectives, in each case one microscope aperture is assigned to a diaphragm aperture on the diaphragm of the microscope illumination system or can be assigned. Depending on the microscope objective used, a specific aperture with the appropriate aperture diameter can be selected for incident illumination. This assignment can be made by the user be or factory, for example by appropriate control of the respective components, be set. In another embodiment, such a microscope has a plurality of microscope objectives. In this case, a diaphragm aperture of a certain size on the diaphragm plate of the microscope illumination system is associated or assignable to these microscope objectives. Alternatively, at least one of the microscope objectives are assigned or assignable to a plurality of apertures. The assignment is expediently designed such that when changing a lens, the associated aperture or one of the associated apertures is rotated by means of appropriate rotation of the diaphragm disc in the target position, ie on the optical axis.
Die Möglichkeit, verschieden große Blendenöffnungen am Umfang der Blendenscheibe zu verteilen, zweckmäßigerweise in einer Abfolge mit steigenden Durchmessern, erzielt den gleichen Effekt wie das Öffnen oder Schließen einer Irisblende in der Aperturebene. Die Reproduzierbarkeit dieser Methode ist jedoch wesentlich höher als bei einer Irisblende. Je nach den Unterschieden in den Durchmessern benachbarter Blendenöffnungen ist es auch denkbar, zwei oder mehr Blendenöffnungen einem bestimmten Mikroskopobjektiv zuzuordnen. Die Größe der Blendenöffnung bestimmt die Größe der Beleuchtungsapertur, die bekanntlich mit geringer werdendem Wert zu geringerer optischer Auflösung aber höherem Kontrast führt. Große Öffnungen ergeben höhere Beleuchtungsaperturen mit höherer Auflösung und weniger Kontrast.The ability to disperse different sized apertures around the circumference of the aperture disc, conveniently in a sequence of increasing diameters, achieves the same effect as opening or closing an iris diaphragm in the aperture plane. However, the reproducibility of this method is much higher than with an iris diaphragm. Depending on the differences in the diameters of adjacent apertures, it is also conceivable to associate two or more apertures with a specific microscope objective. The size of the aperture determines the size of the illumination aperture, which is known to result in lower optical resolution but higher contrast as the value decreases. Large openings result in higher illumination apertures with higher resolution and less contrast.
Zur Optimierung des mikroskopisch gewonnenen Bildes hinsichtlich Auflösung und Kontrast ist es besonders sinnvoll, eine Steuereinheit vorzusehen, die mit einer Antriebseinheit zur Drehung der Blendenscheibe des Mikroskopbeleuchtungssystems und optional zusätzlich mit der zumindest einen Lichtquelle des Mikroskopbeleuchtungssystems in Wirkverbindung steht. Hierbei kann die Steuereinheit beispielsweise derart ausgebildet sein, dass abhängig von einer Beleuchtung im UV-Bereich oder im visuellen Bereich das entsprechende Mikroskopobjektiv und die diesem zugeordnete Blendenöffnung jeweils in ihre Ausgangsstellung bzw. Zielposition gefahren werden. Beispielsweise kann auch abhängig von dem gewählten Spektrum der Lichtquelle die zugeordnete Blendenöffnung für einen mehr oder wenig stark dezentrierten Beleuchtungsstrahlengang positioniert werden.To optimize the microscopically obtained image in terms of resolution and contrast, it is particularly useful to provide a control unit which is in operative connection with a drive unit for rotating the diaphragm of the microscope illumination system and optionally additionally with the at least one light source of the microscope illumination system. In this case, the control unit can be designed, for example, such that, depending on illumination in the UV range or in the visual range, the corresponding microscope objective and the diaphragm aperture assigned to it are respectively moved into their starting position or target position. For example, depending on the selected spectrum of the light source, the associated aperture can be positioned for a more or less decentered illumination beam path.
Es ist insbesondere vorteilhaft, wenn zur Auswertung eines Kamerabildes die Steuereinheit mit einer Kamera in Wirkverbindung steht, die die mikroskopische Objektabbildung in Form eines Kamerabildes darstellt. Das Kamerabild lässt sich mit weiter unten beschriebenen Methoden hinsichtlich Auflösung und/oder Kontrast auswerten. Durch Variation eines oder mehrerer der einstellbaren Parameter (Spektrum der Lichtquelle, Intensität der Beleuchtung, Durchmesser der Blendenöffnung, Auflichtwinkel und Lichteinfallsrichtung sowie Art des Mikroskopobjektivs) mittels der Steuereinheit kann das Kamerabild optimiert werden. Die entsprechend aufgefundenen Parameter können für spätere gleichartige Untersuchungen wieder entsprechend eingestellt werden, wodurch hohe Reproduzierbarkeit gegeben ist.It is particularly advantageous if, in order to evaluate a camera image, the control unit is in operative connection with a camera which displays the microscopic object image in the form of a camera image. The camera image can be evaluated for resolution and / or contrast using methods described below. By varying one or more of the adjustable parameters (spectrum of the light source, intensity of illumination, diameter of the aperture, reflected light angle and direction of light incidence and type of microscope objective) by means of the control unit, the camera image can be optimized. The corresponding found parameters can be adjusted accordingly for later similar investigations, whereby high reproducibility is given.
Durch Ansteuerung der zumindest einen Lichtquelle können beispielsweise das Spektrum oder der Wellenlängenbereich der Beleuchtung sowie die Intensität der Beleuchtung definiert eingestellt werden. Durch Ansteuerung der Antriebseinheit der Blendenscheibe können beispielsweise der Durchmesser der Blendenöffnung, der Auflichtwinkel (Abstand der Blendenöffnung zur optischen Achse) und die Lichteinfallsrichtung (Position der Blendenöffnung bezogen auf die optische Achse bei gleichem Abstand) definiert eingestellt werden.By controlling the at least one light source, for example, the spectrum or the wavelength range of the illumination as well as the intensity of the illumination can be set defined. By controlling the drive unit of the diaphragm disc, for example, the diameter of the diaphragm opening, the incident light angle (distance of the diaphragm opening to the optical axis) and the direction of light incidence (position of the diaphragm opening relative to the optical axis at the same distance) can be set defined.
Verschiedene Optimierungen des Kamerabildes sind möglich: Zum einen kann das jeweils angezeigte Kamerabild durch Variation eines oder mehrerer der genannten einstellbaren Parameter optimiert werden. Zum anderen kann eine Reihe von Kamerabildern bei verschiedenen Einstellungen (Variation besagter Parameter) aufgenommen werden, aus der ein optimales Kamerabild automatisch oder durch einen Benutzer ausgewählt wird. Die zu dem optimalen Kamerabild gehörenden Einstellungen können für weitere Kamerabilder an diesem oder an ähnlichen Objekten gewählt werden.Various optimizations of the camera image are possible: Firstly, the respectively displayed camera image can be optimized by varying one or more of the mentioned adjustable parameters. On the other hand, a series of camera images can be recorded at different settings (variation of said parameters), from which an optimal camera image is selected automatically or by a user. The settings corresponding to the optimum camera image can be selected for further camera images on this or similar objects.
Der Prozess der Optimierung des Kamerabildes mit der zugehörigen Einstellung der genannten Parameter erfolgt vorzugsweise automatisch mittels einer Bildanalyseeinrichtung, die Bestandteil der Steuereinheit ist. Diese Selbst-Optimierung des Kamerabildes erfolgt dann ähnlich wie bei einem Regelkreis, bei dem die Eingangsgrößen die genannten einstellbaren Parameter darstellen, während die resultierende Ausgangsgröße eines oder mehrere Auswertekriterien für das Kamerabild, also zumindest Auflösung und/oder Kontrast, sind.The process of optimizing the camera image with the associated setting of said parameters is preferably carried out automatically by means of an image analysis device which is part of the control unit. This self-optimization of the camera image is then similar to a control loop, in which the input variables represent the aforementioned adjustable parameters, while the resulting output variable one or more evaluation criteria for the camera image, so at least resolution and / or contrast, are.
Schließlich ist es hinsichtlich der bereits beschriebenen Beleuchtung im ultravioletten Spektralbereich (”Oblique UV”) vorteilhaft, wenn besagte Steuereinheit derart ausgestaltet ist, dass sie automatisch oder aufgrund einer Benutzereingabe eine Lichtquelle mit einem Spektrum im ultravioletten Wellenlängenbereich im Beleuchtungsstrahlengang aktiviert und mittels der Antriebseinheit der Blendenscheibe eine vom Benutzer vorgebbare Blendenöffnung (alternativ eine fest vorgegebene Blendenöffnung) an eine Position in Bezug auf die optische Achse reproduzierbar einstellt. Auch das nacheinander Einstellen mehrerer definierter Positionen kann sinnvoll sein, um die beste Position auswählen zu können.Finally, with respect to the already described illumination in the ultraviolet ("UV") spectral range, it is advantageous if said control unit is designed to activate, automatically or on the basis of user input, a light source having a spectrum in the ultraviolet wavelength range in the illumination beam path and by means of the drive unit of the diaphragm a reproducibly adjusts a user-definable aperture (alternatively a fixed aperture) to a position with respect to the optical axis. Even that one after the other Setting multiple defined positions may be useful to select the best position.
Gegenstand der Erfindung ist außerdem ein Verfahren zur schrägen Auflichtbeleuchtung von mikroskopisch zu untersuchenden Objekten. Zahlreiche Gesichtspunkte dieses Verfahrens wurden bereits oben in Zusammenhang mit dem erfindungsgemäßen Mikroskopbeleuchtungssystem bzw. Mikroskop erläutert. Insofern bezieht sich die dortige Offenbarung ausdrücklich auch auf das erfindungsgemäße Verfahren. Beim erfindungsgemäßen Verfahren zur schrägen Auflichtbeleuchtung von mikroskopisch zu untersuchenden Objekten wird prinzipiell eine um eine Drehachse drehbare Blendenscheibe, auf der in Umfangsrichtung mehrere Blendenöffnungen unterschiedlicher Größe angeordnet sind, derart in Bezug zur optischen Achse eines Mikroskopbeleuchtungssystems angeordnet, dass jede Blendenöffnung durch Drehen der Blendenscheibe in eine Ausgangsstellung zentriert auf der optischen Achse und durch weiteres Drehen innerhalb eines vorgegebenen Bereichs um die optische Achse dezentriert zur optischen Achse angeordnet werden kann. Bezüglich der Vorteile dieses Verfahrens sei ausdrücklich auf die obigen Erläuterungen im Zusammenhang mit dem erfindungsgemäßen Mikroskopbeleuchtungssystem bzw. Mikroskop hingewiesen.The invention also relates to a method for oblique incident illumination of objects to be examined microscopically. Numerous aspects of this method have already been explained above in connection with the microscope illumination system or microscope according to the invention. In this respect, the disclosure therein expressly refers to the inventive method. In the method according to the invention for oblique incident light illumination of objects to be examined microscopically, an aperture disk rotatable about a rotation axis, on which a plurality of aperture openings of different sizes are arranged in the circumferential direction, is arranged with respect to the optical axis of a microscope illumination system such that each aperture opening is rotated by rotating the aperture disk into one Starting position centered on the optical axis and can be arranged by further rotation within a predetermined range about the optical axis decentered to the optical axis. With regard to the advantages of this method, reference is explicitly made to the above explanations in connection with the microscope illumination system or microscope according to the invention.
Es ist vorteilhaft, wenn als Lichtquelle des Mikroskopbeleuchtungssystems eine Lichtquelle mit einem Spektrum im ultravioletten Bereich verwendet wird, wobei insbesondere vorteilhaft ist, wenn (zumindest) zwei Lichtquellen im ultravioletten bzw. im visuellen Bereich verwendet werden, die jeweils über einen dichromatischen Strahlenteiler in den Strahlengang des Mikroskopbeleuchtungssystems eingekoppelt werden. Diese Ausgestaltungen wurden bereits oben ausführlich erläutert. Eine erneute Behandlung dieser Ausführungsformen soll daher zur Vermeidung von Redundanzen unterbleiben. Gleiches gilt für die Ausgestaltung, wonach zur Drehung der Blendenscheibe ein Antriebsmotor verwendet wird, dessen Welle mit der Drehachse der Blendenscheibe zusammenfällt. Unter ”Zusammenfallen” soll eine Verbindung von Drehachse und Welle oder eine einstückige Ausführung umfasst sein.It is advantageous if a light source with a spectrum in the ultraviolet range is used as the light source of the microscope illumination system, wherein it is particularly advantageous if (at least) two light sources in the ultraviolet or in the visual range are used, which in each case via a dichromatic beam splitter in the beam path of the microscope illumination system are coupled. These embodiments have already been explained in detail above. A re-treatment of these embodiments should therefore be omitted to avoid redundancies. The same applies to the embodiment, according to which a drive motor is used to rotate the diaphragm disc whose shaft coincides with the axis of rotation of the diaphragm disc. By "coincidence" is meant a connection of the axis of rotation and the shaft or a one-piece design.
Bei einem erfindungsgemäßen Verfahren, bei dem der in Bezug zur optischen Achse zentriert oder dezentriert verlaufende Beleuchtungsstrahlengang über ein Mikroskopobjektiv auf das zu untersuchende Objekt geleitet wird, ist es vorteilhaft, wenn abhängig vom gewählten Mikroskopobjektiv eine zugehörige Blendenöffnung in besagte Ausgangsstellung zentriert zur optischen Achse gebracht wird. Hierbei kann die Zuordnung Blendenöffnung-Mikroskopobjektiv werksseitig vorprogrammiert sein und beispielsweise über eine Steuereinheit vorgenommen werden, oder aber die Zuordnung kann vom Benutzer definiert werden. Hierdurch hat der Benutzer eine weitere Möglichkeit, die Startposition der Blendenscheibe festzulegen, von der aus der geeignete Auflichtwinkel eingestellt werden kann.In a method according to the invention, in which the illumination beam path centered or decentered relative to the optical axis is directed to the object to be examined via a microscope objective, it is advantageous if, depending on the selected microscope objective, an associated aperture is centered in said starting position relative to the optical axis , In this case, the association aperture-microscope objective can be pre-programmed at the factory and, for example, be made via a control unit, or else the assignment can be defined by the user. As a result, the user has another way to set the starting position of the aperture plate from which the appropriate incident light angle can be set.
Das erfindungsgemäße Verfahren kann insbesondere zur Optimierung eines Kamerabildes eines mikroskopisch untersuchten Objektes dienen. Hierzu wird das Kamerabild zumindest hinsichtlich Auflösung und/oder Kontrast ausgewertet. Diese Auswertung kann entweder mittels bekannter Bildverarbeitungsmethoden erfolgen oder aber entsprechend hier vorgeschlagener Auswertemethoden, die weiter unten erläutert werden. Durch Drehen der Blendenscheibe innerhalb des vorgegebenen Bereichs um die optische Achse, mit anderen Worten durch Veränderung des Auflichtwinkels, kann die Plastizität der Darstellung optimiert werden.The method according to the invention can be used in particular for optimizing a camera image of a microscopically examined object. For this purpose, the camera image is evaluated at least in terms of resolution and / or contrast. This evaluation can be done either by means of known image processing methods or according to here proposed evaluation methods, which are explained below. By rotating the aperture disc within the predetermined range around the optical axis, in other words by changing the incident light angle, the plasticity of the representation can be optimized.
Eine zusätzliche oder alternative Möglichkeit zur Optimierung des Kamerabilds stellt die Wahl einer geeigneten Blendenöffnung und/oder eines geeigneten Mikroskopobjektivs dar. Beispielsweise kann bei gegebenem Mikroskopobjektiv ausgehend von der diesem Objektiv zugeordneten Blendenöffnung durch Wahl einer kleineren oder größeren Blendenöffnung ab- bzw. aufgeblendet werden. Die kleiner Beleuchtungsapertur führt dann im Vergleich zur größeren Beleuchtungsapertur zu einer geringeren Auflösung bei höherem Kontrast, während die größere Beleuchtungsapertur im Vergleich zur kleineren Beleuchtungsapertur zu einer erhöhten Auflösung bei geringerem Kontrast führt. Abhängig von der gewünschten Objektvergrößerung wird das passende Mikroskopobjektiv gewählt. Beim Übergang von einer Beleuchtung mit visuellem Licht zu UV-Licht kann zudem ein Objektivwechsel erforderlich sein.An additional or alternative possibility for optimizing the camera image is the choice of a suitable aperture and / or a suitable microscope objective. For example, for a given microscope objective starting from the aperture associated with this lens by selecting a smaller or larger aperture opening or fade. The small illumination aperture then results in lower resolution with higher contrast compared to the larger illumination aperture, while the larger illumination aperture results in increased resolution with lower contrast compared to the smaller illumination aperture. Depending on the desired object magnification, the appropriate microscope objective is selected. In addition, a change of lens may be necessary when transitioning from illumination with visual light to UV light.
Eine weitere Alternative oder zusätzliche Möglichkeit der Kamerabildoptimierung ist schließlich die Wahl der Lichtquelle des Mikroskopbeleuchtungssystems. Wie bereits oben ausgeführt, kann die Beobachtung im visuellen Bereich des Spektrums ausreichend und vorteilhaft sein; für höhere Auflösungen ist jedoch das Umschalten auf UV-Beleuchtung vorteilhaft.Another alternative or additional possibility of camera image optimization is finally the choice of the light source of the microscope illumination system. As already stated above, the observation in the visual region of the spectrum can be sufficient and advantageous; however, switching to UV illumination is advantageous for higher resolutions.
Mögliche Verfahren zur Optimierung des Kamerabildes wurden bereits oben in Zusammenhang mit dem erfindungsgemäßen Mikroskop mit Steuereinheit ausführlich erläutert. Zur Vermeidung von Wiederholungen sollen die dortigen Ausführungen auch das erfindungsgemäße Verfahren bezüglich möglicher Kamerabildoptimierungen stützen.Possible methods for optimizing the camera image have already been explained in detail above in connection with the microscope with control unit according to the invention. To avoid repetition, the statements there are also intended to support the method according to the invention with regard to possible camera image optimizations.
Die Optimierung des Kamerabildes erfolgt insbesondere dadurch, dass zu verschiedenen änderbaren Einstellungen am Mikroskop und/oder am Mikroskopbeleuchtungssystem, also insbesondere die eben besprochenen Möglichkeiten der Veränderung des Auflichtwinkels, der Blendenöffnung, des Mikroskopobjektivs und/oder der Lichtquelle, die zugehörigen Kamerabilder eines ausgewählten Objektbereichs aufgenommen und aus diesen Kamerabildern jeweils zu einem representativen Ausschnitt ein Intensitätsprofil erstellt wird. Ein solches Intensitätsprofil besteht insbesondere aus den Grauwerten einer Bildzeile aufgetragen über die entsprechende Bildzeile, beispielsweise als Anzahl der Pixel. Je nach Art des Objekts kann auch ein dreidimensionales Intensitätsprofil erstellt werden. In einem nächsten Schritt werden Auswertekriterien für die gewonnenen Intensitätsprofile aufgestellt. Besonders zweckmäßige Auswertekriterien stellen die Anzahl und die Steigung der Flanken eines Intensitätsprofils oder die Anzahl der Extremwerte in einem Intensitätsprofil dar. Während die Anzahl der Flanken eine Auskunft über den Kontrast des betrachteten Bildausschnitts gibt, gibt die Anzahl der Extremwerte (Maxima und Minima des Intensitätsprofils bzw. der Grauwerte) Auskunft über die Auflösung in dem betrachteten Bildabschnitt. Anstelle des Intensitätsprofils kann zur Auswertung auch die erste mathematische Ableitung des selbigen herangezogen werden, in der Flanken des Intensitätsprofils durch Extremwerte und Extremwerte des Intensitätsprofils durch Nullstellen erkennbar sind. Die Intensitätsprofile der einzelnen Kamerabilder können anschließend hinsichtlich der Beurteilungskriterien verglichen werden und daraus das optimale Intensitätsprofil mit dem dazugehörigen Kamerabild bestimmt werden. Diese Bestimmung erfolgt anhand der jeweiligen Aufgabenstellung. Diese kann beispielsweise darin bestehen, ein Bild höchstmöglicher Auflösung zu generieren oder aber ein Bild mit einem optimalen Kompromiss aus hoher Auflösung und hohem Kontrast zu erzeugen.The optimization of the camera image is effected in particular by the fact that different changeable settings on the microscope and / or on the microscope illumination system, ie in particular the just discussed possibilities of changing the incident light angle, the aperture, the microscope objective and / or the light source, the associated camera images of a selected object area recorded and from these camera images each to a representative section an intensity profile is created. Such an intensity profile consists in particular of the gray values of an image line plotted over the corresponding image line, for example as the number of pixels. Depending on the type of object, a three-dimensional intensity profile can also be created. In a next step, evaluation criteria for the obtained intensity profiles are drawn up. Particularly expedient evaluation criteria represent the number and slope of the flanks of an intensity profile or the number of extreme values in an intensity profile. While the number of flanks provides information about the contrast of the viewed image section, the number of extreme values (maxima and minima of the intensity profile or resp the gray values) information about the resolution in the considered image section. Instead of the intensity profile, the first mathematical derivative of the same can also be used for the evaluation, in which flanks of the intensity profile can be recognized by extreme values and extreme values of the intensity profile by zeroing. The intensity profiles of the individual camera images can then be compared with regard to the evaluation criteria and from this the optimum intensity profile with the associated camera image can be determined. This determination is made on the basis of the respective task. This can be, for example, to generate a picture of the highest possible resolution or to produce an image with an optimal compromise of high resolution and high contrast.
Eine andere Art der Optimierung des Kamerabildes besteht darin, mit abgespeicherten Parametern für veränderbare Einstellungen am Mikroskop und/oder an dem Mikroskopbeleuchtungssystem verschiedene Kamerabilder zu erzeugen und vom Benutzer das optimale Kamerabild auswählen zu lassen. In diesem Fall würde die Beurteilung der Kamerabilder visuell durch den Benutzer erfolgen. Zu den abgespeicherten Parametern gehören wieder Auflichtwinkel, d. h. Drehung der Blendenscheibe bei gegebener Blendenöffnung, Lichteinfallsrichtung, d. h. Drehrichtung der Blendenscheibe, Beleuchtungsapertur, d. h. in der Arbeitsstellung befindliche Blendenöffnung, Beleuchtungsspektrum, d. h. aktive Lichtquelle mit vorgegebenem Spektralbereich, Intensität der Lichtquelle und Art des Mikroskopobjektivs.Another way of optimizing the camera image is to generate different camera images with stored parameters for changeable settings on the microscope and / or on the microscope illumination system and to let the user select the optimal camera image. In this case, the judgment of the camera images would be done visually by the user. The stored parameters include reflected light angles, d. H. Rotation of the aperture disc at a given aperture, light incidence direction, d. H. Direction of rotation of the diaphragm, illumination aperture, d. H. in the working position aperture, illumination spectrum, d. H. active light source with predetermined spectral range, intensity of the light source and type of microscope objective.
Weitere Vorteile und Ausgestaltungen der Erfindung ergeben sich aus der Beschreibung und der beiliegenden Zeichnung.Further advantages and embodiments of the invention will become apparent from the description and the accompanying drawings.
Es versteht sich, dass die vorstehend genannten und die nachstehend noch zu erläuternden Merkmale nicht nur in der jeweils angegebenen Kombination, sondern auch in anderen Kombinationen oder in Alleinstellung verwendbar sind, ohne den Rahmen der vorliegenden Erfindung zu verlassen.It is understood that the features mentioned above and those yet to be explained below can be used not only in the particular combination given, but also in other combinations or in isolation, without departing from the scope of the present invention.
Die Erfindung ist anhand eines Ausführungsbeispieles in der Zeichnung schematisch dargestellt und wird im Folgenden unter Bezugnahme auf die Zeichnung ausführlich beschrieben.The invention is illustrated schematically with reference to an embodiment in the drawing and will be described in detail below with reference to the drawing.
Figurenbeschreibungfigure description
Ebenfalls auf der optischen Achse
In
Im Folgenden sei die Funktionsweise des Aufbaus gemäß
Aus
Eine Drehung der Blendenscheibe
In einer weiteren Ausgestaltung kann die Blendenscheibe
Durch Einsatz einer Lichtquelle
Zusätzlich zur Lichtquelle
In
Die Steuereinheit
Es sei angenommen, dass die Lichtquelle
Es kann nun ein Kamerabild der mikroskopisch abgebildeten zu untersuchenden Strukturen auf dem Objekt
Neben einer Variation des Auflichtwinkels und der Lichteinfallrichtung können selbstverständlich andere Parameter, wie Art des Objektivs
Eine automatische Optimierung des Kamerabildes kann in vorteilhafter Weise dadurch erfolgen, dass, wie in den
Die hier besprochene Auswertung der Intensitätsprofile
Die Apertur-Festblende ist mit
Die optische Achse des Mikroskopbeleuchtungssystems
BezugszeichenlisteLIST OF REFERENCE NUMBERS
- 11
- MikroskopbeleuchtungssystemMicroscope illumination system
- 22
- Lichtquellelight source
- 33
- Lichtquellelight source
- 44
- dichromatischer Teilerdichromatic divider
- 55
- Linselens
- 66
- Linselens
- 77
- Linselens
- 88th
- Blendenscheibeaperture disc
- 99
- Blendenöffnungaperture
- 1010
- Antriebseinheit, Antriebsmotor, SchrittmotorDrive unit, drive motor, stepper motor
- 1111
- Drehachseaxis of rotation
- 11'11 '
- Wellewave
- 1212
- Apertur-FestblendeAperture fixed aperture
- 1313
- Linselens
- 1414
- Linselens
- 15, 15'15, 15 '
- BeleuchtungsstrahlengangIllumination beam path
- 1616
- optische Achseoptical axis
- 1717
- Verbindungslinieconnecting line
- 2020
- Strahlenteilerbeamsplitter
- 3030
- Mikroskopmicroscope
- 3131
- Objektivlens
- 3232
- Tubusoptiktube optical system
- 3333
- Abbildungsoptikimaging optics
- 3434
- Kameracamera
- 3535
- Mikroskoptischmicroscope stage
- 3636
- Objektobject
- 3737
- optische Achseoptical axis
- 4040
- Steuereinheitcontrol unit
- 5050
- Kamerabildcamera image
- 5151
- Ausschnittneckline
- 5252
- Intensitätsprofilintensity profile
Claims (32)
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE102010042351.3A DE102010042351B4 (en) | 2010-10-12 | 2010-10-12 | Microscope illumination system, microscope and oblique incident illumination method |
JP2011221747A JP5764455B2 (en) | 2010-10-12 | 2011-10-06 | Microscope illumination system, microscope and oblique incidence illumination method |
US13/270,267 US9250432B2 (en) | 2010-10-12 | 2011-10-11 | Microscope illumination system, microscope and oblique incident illumination method |
CN201110306770.5A CN102445750B (en) | 2010-10-12 | 2011-10-11 | Microscope illumination system, microscope and oblique incidence means of illumination |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE102010042351.3A DE102010042351B4 (en) | 2010-10-12 | 2010-10-12 | Microscope illumination system, microscope and oblique incident illumination method |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE102010042351A1 DE102010042351A1 (en) | 2012-04-12 |
DE102010042351B4 true DE102010042351B4 (en) | 2014-02-13 |
Family
ID=45872283
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE102010042351.3A Active DE102010042351B4 (en) | 2010-10-12 | 2010-10-12 | Microscope illumination system, microscope and oblique incident illumination method |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US9250432B2 (en) |
JP (1) | JP5764455B2 (en) |
CN (1) | CN102445750B (en) |
DE (1) | DE102010042351B4 (en) |
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- 2010-10-12 DE DE102010042351.3A patent/DE102010042351B4/en active Active
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2011
- 2011-10-06 JP JP2011221747A patent/JP5764455B2/en active Active
- 2011-10-11 CN CN201110306770.5A patent/CN102445750B/en active Active
- 2011-10-11 US US13/270,267 patent/US9250432B2/en active Active
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Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN102445750B (en) | 2016-04-13 |
DE102010042351A1 (en) | 2012-04-12 |
CN102445750A (en) | 2012-05-09 |
US9250432B2 (en) | 2016-02-02 |
JP5764455B2 (en) | 2015-08-19 |
JP2012083755A (en) | 2012-04-26 |
US20120086795A1 (en) | 2012-04-12 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
R016 | Response to examination communication | ||
R018 | Grant decision by examination section/examining division | ||
R020 | Patent grant now final | ||
R020 | Patent grant now final |
Effective date: 20141114 |
|
R082 | Change of representative |
Representative=s name: DEHNS GERMANY PARTNERSCHAFT MBB, DE Representative=s name: DEHNSGERMANY PARTNERSCHAFT VON PATENTANWAELTEN, DE |