DE102010018450B3 - Detector for determining slip between conveyor belt and e.g. semiconductor wafer, has evaluation unit determining speeds of conveyor belt by using time-dependent detection signal and determining whether determined speeds are different - Google Patents

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    • G01P3/56—Devices characterised by the use of electric or magnetic means for comparing two speeds

Abstract

The detector has a light receiver receiving light reflected by a conveyor belt (10) or a semiconductor wafer (20) and producing a time-dependent detection signal. The time-dependent detection signal is supplied to an evaluation unit (50). The evaluation unit determines speeds of the conveyor belt by using the time-dependent detection signal. The evaluation unit determines whether determined speeds are different. A light transmitter transfers light (32) in a direction of the conveyor belt in a position (34) in a conveying direction at a displacement length (44). An independent claim is also included for a method for determining slip between a conveyor belt and a semiconductor wafer.

Description

Die Erfindung betrifft einen Detektor zur Bestimmung des Schlupfes zwischen einem Förderband und einem darauf beförderten Gegenstand und ein entsprechendes Verfahren.The invention relates to a detector for determining the slip between a conveyor belt and an article carried thereon and a corresponding method.

Bei heutigen Produktionslinien ist die Messung der Förderbandgeschwindigkeit ein wichtiger Bestandteil der Fertigungs- oder Prozessüberwachung. Eine Möglichkeit zur Erfassung der Förderbandgeschwindigkeit ist die taktile Messung mit Hilfe einer auf dem Förderband aufsetzenden Gummirolle und die Berechnung der Bandgeschwindigkeit aus deren Drehzahl. Ist das Förderband ein umlaufendes Endlosband, das von einer Antriebsrolle in Bewegung gesetzt wird, können Drehgeber (Inkrementalgeber) am Antrieb des Förderbandes zur Messung der Förderbandgeschwindigkeit eingesetzt werden. Die Messung der Bandgeschwindigkeit mit Hilfe von Drehgebern am Antrieb des Förderbandes birgt allerdings die Gefahr, dass es bei einem Schlupf des Bandes gegenüber dem Antrieb zu fehlerhafter Geschwindigkeitsbestimmung kommt.In today's production lines, measuring belt speed is an important part of manufacturing or process monitoring. One way to measure the conveyor belt speed is tactile measurement using a rubber roller placed on the conveyor and calculating the speed of the belt from its speed. If the conveyor belt is a circulating endless belt, which is set in motion by a drive roller, rotary encoders (incremental encoders) can be used on the drive of the conveyor belt to measure the conveyor belt speed. The measurement of the belt speed by means of encoders on the drive of the conveyor belt, however, entails the risk that, in the event of slippage of the belt relative to the drive, erroneous speed determination will occur.

Die Bestimmung der Geschwindigkeiten von Gegenständen auf einem Förderband kann z. B. mit Hilfe von zwei Lichtschranken erfolgen. Aus der Zeit, die von einem Objekt benötigt wird, von einer Lichtschranke zur nächsten Lichtschranke zu gelangen, und aus dem Abstand der Lichtschranken lässt sich die Geschwindigkeit bestimmen. Bei entsprechenden Objekten kann auch eine taktile Messung durch auf den Objekten aufsetzenden Gummirollen zur Berechnung der Objektgeschwindigkeit aus der Drehzahl der Gummirolle verwendet werden.The determination of the speeds of objects on a conveyor belt may, for. B. with the help of two photocells. From the time it takes for one object to move from one light barrier to the next light barrier, and from the distance between the light barriers, the speed can be determined. In the case of corresponding objects, a tactile measurement can also be used by rubber rollers placed on the objects to calculate the object speed from the speed of the rubber roller.

Taktile Messmethoden können durch die Berührung mit dem Förderband bzw. den Objekten Verschmutzungen und mechanische Belastungen verursachen. Solche Verschmutzungen und mechanische Belastungen können insbesondere bei der Prozessierung von Wafern zum Beispiel in der Solar- und Halbleiterindustrie problematisch sein, da eventuell eingebrachte Verschmutzungen in einem nachfolgenden Prozessschritt wieder entfernt werden müssen.Tactile measurement methods can cause soiling and mechanical stress by contact with the conveyor belt or objects. Such soiling and mechanical stress can be problematic, in particular in the processing of wafers, for example in the solar and semiconductor industries, since possibly introduced contaminants must be removed again in a subsequent process step.

Schließlich besteht die Gefahr, dass es zwischen dem beförderten Gegenstand und dem Förderband zu einem Schlupf kommt, der z. B. zu einer fehlerhaften Annahme über die Objektgeschwindigkeit führt, wenn nur die Förderbandgeschwindigkeit bestimmt wird.Finally, there is a risk that it comes between the transported object and the conveyor belt to slip, the z. B. leads to an erroneous assumption about the object speed, if only the conveyor belt speed is determined.

Bleibt ein Schlupf unbemerkt, kann ein Rutschen der beförderten Objekte auf dem Förderband nicht oder nur schlecht detektiert werden und es kann zu Kollisionen und gegebenenfalls kostspieligen Beschädigungen der beförderten Objekte führen. Dies ist insbesondere in der Solar- und Halbleiterindustrie gefährlich, bei denen z. B. empfindliche Wafer transportiert werden müssen.If slippage goes unnoticed, slippage of the conveyed objects on the conveyor belt can not or only badly be detected and it can lead to collisions and potentially costly damage to the conveyed objects. This is particularly dangerous in the solar and semiconductor industries, where z. B. sensitive wafers must be transported.

Aus DE 10 2006 030 810 A1 ist eine Anordnung zur Erfassung der Bewegung von flachen Sendungen bekannt, die in einer Sortieranlage mittels einer Transporteinrichtung transportiert werden. An der Transportstrecke ist mindestens eine Abtasteinrichtung angeordnet, die die Oberflächenstrukturen der vorbeilaufenden Sendungen an mindestens zwei in Transportrichtung versetzten Abtaststellen optisch erfasst und durch vergleichende Auswertung der an den Abtaststellen erhaltenen Abtastsignale die Bewegung der Sendungen in Transportrichtung ermittelt.Out DE 10 2006 030 810 A1 An arrangement for detecting the movement of flat shipments is known, which are transported in a sorting system by means of a transport device. At least one scanning device is arranged on the transport path, which optically detects the surface structures of the passing mail items at at least two scanning points offset in the transport direction and determines the movement of the mailpieces in the transport direction by comparative evaluation of the scanning signals obtained at the scanning points.

US 6,189,674 B1 beschreibt eine Vorrichtung und ein Verfahren zur Bewegung von Leiterplatten. Die Vorrichtung weist einen Positionierungsdetektor auf, der angibt, wenn eine Leiterplatte die gewünschte Position erreicht hat. Außerdem ist ein Ankunftsdetektor vorgesehen, der anzeigt, wenn die Leiterplatte eine vorbestimmte Position vor der gewünschten Position erreicht hat. Die Antriebsmotoren der Vorrichtung werden unter Berücksichtigung der Detektionssignale beider Detektoren derart gesteuert, dass die Geschwindigkeit sich verlangsamt, wenn die Leiterplatte an dem Ankunftsdetektor angelangt ist. Bei Auftreten eines Schlupfes zwischen der Leiterplatte und den Förderbändern der Vorrichtung werden die Antriebsmotoren langsam angetrieben. US 6,189,674 B1 describes an apparatus and method for moving printed circuit boards. The device has a positioning detector which indicates when a printed circuit board has reached the desired position. In addition, an arrival detector is provided which indicates when the circuit board has reached a predetermined position before the desired position. The drive motors of the device are controlled taking into account the detection signals of both detectors such that the speed slows down when the circuit board has arrived at the arrival detector. When a slip occurs between the circuit board and the conveyor belts of the device, the drive motors are driven slowly.

Es ist die Aufgabe der vorliegenden Erfindung, einen Detektor und ein Verfahren zur Bestimmung des Schlupfes zwischen einem Förderband und einem darauf beförderten Gegenstand anzugeben, das auf einfache und berührungslose Weise eine dennoch präzise Erkennung eines möglichen Schlupfes ermöglicht.It is the object of the present invention to provide a detector and a method for determining the slip between a conveyor belt and an article carried thereon, which allows a simple and non-contact manner nevertheless a precise detection of possible slippage.

Die Aufgabe wird mit einem Detektor mit den Merkmalen des Anspruchs 1 gelöst. Hinsichtlich des Verfahrens wird die Aufgabe durch ein Verfahren mit den Merkmalen des Anspruchs 7 gelöst. Unteransprüche sind jeweils auf bevorzugte Ausführungsformen und Ausgestaltungen gerichtet. Anspruch 12 ist auf eine Verwendung des erfindungsgemäßen Detektors bzw. des erfindungsgemäßen Verfahrens zur Bestimmung des Schlupfes zwischen einem Förderband und einem darauf beförderten Wafer gerichtet.The object is achieved with a detector having the features of claim 1. With regard to the method, the object is achieved by a method having the features of claim 7. Subclaims are each directed to preferred embodiments and embodiments. Claim 12 is directed to a use of the detector according to the invention or the method according to the invention for determining the slip between a conveyor belt and a wafer conveyed thereon.

Ein erfindungsgemäßer Detektor zur Bestimmung des Schlupfes zwischen einem Förderband und einem darauf beförderten Gegenstand weist einen ersten Lichttaster mit einem ersten Lichtsender auf, der Licht in Richtung des Förderbandes an eine erste Stelle des Förderbandes aussendet. Ein entsprechender erster Lichtempfänger empfängt Licht, das von dem Förderband oder dem darauf beförderten Gegenstand reflektiert wird. Aus dem Empfangssignal wird ein erstes zeitabhängiges Detektionssignal erzeugt.A detector according to the invention for determining the slip between a conveyor belt and an object conveyed thereon has a first light scanner with a first light transmitter which emits light in the direction of the conveyor belt to a first position of the conveyor belt. A corresponding first light receiver receives light from or on the conveyor belt transported object is reflected. From the received signal, a first time-dependent detection signal is generated.

Der erfindungsgemäße Detektor weist außerdem zumindest einen zweiten Lichttaster mit einem zweiten Lichtsender auf, der ebenfalls Licht in Richtung des Förderbandes sendet. Der Auftreffpunkt des Lichtes auf dem Förderband ist allerdings gegenüber der ersten Stelle, auf der das Licht des ersten Lichtsenders auftrifft, in Förderrichtung des Förderbandes um eine Versetzungslänge versetzt. Der zweite Lichttaster weist ebenfalls einen Lichtempfänger auf, der Licht empfängt, das vom Förderband oder einem darauf beförderten Gegenstand reflektiertes Licht empfängt. Aus diesem Empfangssignal wird ein zweites zeitabhängiges Detektionssignal erzeugt.The detector according to the invention also has at least a second light sensor with a second light transmitter, which also sends light in the direction of the conveyor belt. However, the point of impact of the light on the conveyor belt is offset from the first position on which the light of the first light emitter impinges in the conveying direction of the conveyor belt by an offset length. The second light scanner also has a light receiver which receives light which receives light reflected from the conveyor or an object carried thereon. From this received signal, a second time-dependent detection signal is generated.

Für die Zwecke des vorliegenden Textes umfasst der Begriff Licht nicht notwendigerweise nur sichtbares Licht. Es kann auch Licht z. B. im ultravioletten oder infraroten Spektralbereich eingesetzt werden.For the purposes of the present text, the term light does not necessarily include only visible light. It can also light z. B. be used in the ultraviolet or infrared spectral range.

Der erfindungsgemäße Detektor weist außerdem eine Auswerteeinheit auf, an die die Detektionssignale geliefert werden. Die Auswerteeinheit ist ausgestaltet, um unter Verwendung beider Detektionssignale die Geschwindigkeit des Förderbandes zu bestimmen und unter Verwendung beider Detektionssignale die Geschwindigkeit des Gegenstandes zu bestimmen. Aus den so bestimmten Geschwindigkeiten kann ermittelt werden, ob ein Schlupf besteht, d.h., ob die Gegenstandsgeschwindigkeiten und die Förderbandgeschwindigkeiten unterschiedlich sind.The detector according to the invention also has an evaluation unit to which the detection signals are delivered. The evaluation unit is configured to determine the speed of the conveyor belt using both detection signals and to determine the speed of the object using both detection signals. From the speeds thus determined, it can be determined whether there is slippage, that is, whether the object speeds and the conveyor speeds are different.

Erfindungsgemäß werden also zur Bestimmung sowohl der Geschwindigkeit eines auf dem Förderband geförderten Gegenstandes, als auch zur Bestimmung der Geschwindigkeit des Förderbandes jeweils zumindest zwei optische Signale eingesetzt. Da sowohl die Geschwindigkeit des Förderbandes als auch die Geschwindigkeit des Gegenstandes aus optischen Signalen bestimmt werden ist eine berührungslose Messung sichergestellt, so dass Verschmutzungen oder Beschädigungen der beförderten Gegenstände vermieden werden.According to the invention, in each case at least two optical signals are used for determining both the speed of an article conveyed on the conveyor belt and for determining the speed of the conveyor belt. Since both the speed of the conveyor belt and the speed of the object are determined by optical signals, non-contact measurement is ensured, so that soiling or damage to the conveyed objects is avoided.

Nachdem die beiden Detektionssignale jeweils zur Bestimmung sowohl der Förderbandgeschwindigkeit als auch der Gegenstandsgeschwindigkeit eingesetzt werden, sind dennoch keine gesonderten Lichttaster zur Bestimmung der einzelnen Geschwindigkeiten notwendig. Die Signale beider Lichttaster werden zur Bestimmung beider Geschwindigkeiten verwendet.After the two detection signals are used in each case for determining both the conveyor belt speed and the object speed, yet no separate light sensor for determining the individual speeds are necessary. The signals of both light sensors are used to determine both speeds.

Grundsätzlich können die Lichtempfänger der jeweiligen Lichttaster und die Lichtsender der jeweiligen Lichttaster unabhängige Baugruppen sein.In principle, the light receivers of the respective light scanners and the light transmitters of the respective light scanners can be independent assemblies.

Besonders vorteilhaft, kostengünstig und Platz sparend ist es jedoch, wenn der Lichtempfänger und der Lichtsender eines Lichttasters in einem Gehäuse zusammengefasst sind. Besonders bevorzugt sind Lichttaster, die nach dem Autokollimationsprinzip arbeiten.Particularly advantageous, inexpensive and space-saving, it is, however, when the light receiver and the light emitter of a light sensor are combined in a housing. Particularly preferred are light sensors that work according to the autocollimation principle.

Eine Weiterbildung sieht vor, dass die Komponenten aller verwendeten Lichttaster in einem Gehäuse zusammengefasst sind.A further development provides that the components of all light sensors used are combined in one housing.

Damit sich die ausgesendeten und empfangenen Signale der einzelnen Lichttaster nicht stören, können für die einzelnen Lichttaster Signale z. B. unterschiedlicher Modulation zum Einsatz kommen.Thus, the emitted and received signals of the individual light sensors do not interfere with the individual light sensor signals z. B. different modulation are used.

Die Auswerteeinheit kann die Geschwindigkeit sowohl des Förderbandes als auch des Gegenstandes jeweils aus den beiden Detektionssignalen auf unterschiedliche Weise bestimmen. Eine besonders bevorzugte Ausführungsform sieht eine Auswerteeinheit vor, die derart ausgestaltet ist, dass sie ein zeitliches Korrelationssignal durch Korrelation des ersten und des zweiten Detektionssignals bestimmt und aus diesem Korrelationssignal und der Versetzungslänge die Geschwindigkeit des Förderbandes bestimmt. Charakteristische Muster des Förderbandes ergeben in den Lichtempfängern beider Lichttaster zeitlich versetzt charakteristische Signalmuster. Werden die Signale zeitlich korreliert, ergibt sich eine Korrelationsfunktion in Abhängigkeit der Zeit, die ein Maximum aufweist, das bei dem zeitlichen Abstand liegt, der der Zeit entspricht, die verstreicht, bis ein charakteristisches Muster des Förderbandes vom Auftreffpunkt des Lichts des ersten Lichttasters zum Auftreffpunkt des Lichts des zweiten Lichttasters gelangt.The evaluation unit can determine the speed of both the conveyor belt and the object in each case from the two detection signals in different ways. A particularly preferred embodiment provides an evaluation unit, which is designed such that it determines a temporal correlation signal by correlation of the first and the second detection signal and determines the speed of the conveyor belt from this correlation signal and the displacement length. Characteristic patterns of the conveyor belt result in the light receivers of both light sensors offset in time characteristic signal pattern. If the signals are correlated in time, the result is a correlation function as a function of time, which has a maximum which is at the time interval corresponding to the time that elapses until a characteristic pattern of the conveyor belt from the point of impact of the light of the first light scanner to the point of impact the light of the second light button arrives.

In der Regel sind Förderbänder nicht vollständig glatt und homogen, so dass ausreichend charakteristische Muster vorliegen, die für diesen Zweck zum Einsatz kommen können. Ansonsten ist es durch einfache Maßnahmen möglich, dem Förderband eine Struktur zu geben oder ein Muster aufzubringen, das für diese Korrelationsauswertung geeignet ist.As a rule, conveyor belts are not completely smooth and homogeneous, so that there are sufficient characteristic patterns that can be used for this purpose. Otherwise, it is possible by simple measures to give the conveyor belt a structure or to apply a pattern that is suitable for this correlation evaluation.

Grundsätzlich ist es auch möglich, die Geschwindigkeit der Gegenstände auf dem Förderband auf diese Weise aus einem Korrelationssignal zu bestimmen.In principle, it is also possible to determine the speed of the objects on the conveyor belt in this way from a correlation signal.

Besonders einfach und vorteilhaft ist es jedoch, wenn aus dem zeitlichen Abstand eines charakteristischen Signalverlaufs, vorzugsweise zumindest aus einer charakteristischen Flanke, in den verwendeten Detektionssignalen und der Versetzungslänge die Geschwindigkeit eines auf dem Förderband befindlichen Gegenstandes zu bestimmen. Sobald das Licht eines Lichttasters auf einen beförderten Gegenstand fällt, ändert sich das Signal in deutlicher Weise. Der Zeitpunkt dieser Signaländerung an einem ersten Lichttaster und der Zeitpunkt der Signaländerung an einem zweiten Lichttaster, dessen Licht um eine Versetzungslänge versetzt auf das Förderband fällt, gibt ein Maß für die Zeit an, die ein Gegenstand zwischen den Auftreffpunkten der beiden Lichttaster unterwegs war. Mit Hilfe des bekannten Abstandes der beiden Auftreffpunkte lässt sich daraus die Geschwindigkeit bestimmen.However, it is particularly simple and advantageous if the speed of an object located on the conveyor belt is to be determined from the time interval of a characteristic signal course, preferably at least one characteristic flank, in the detection signals used and the dislocation length. As soon as the light of a light button falls on a conveyed object, the signal changes into clearly. The time of this signal change on a first light sensor and the time of the signal change to a second light sensor whose light offset by an offset length falls on the conveyor belt, indicates a measure of the time that an object between the points of impact of the two light sensors was traveling. With the help of the known distance of the two impact points can be determined from the speed.

Eine signifikante Änderung des empfangenen Signals bei Eintritt eines Gegenstandes in den einfallenden Lichtstrahl eines Lichttasters lässt sich insbesondere dann erreichen, wenn der jeweilige Lichtempfänger derart angeordnet ist, dass von dem entsprechenden Lichtsender ausgesendetes Licht, das spiegelnd reflektiert wird, nicht in den Empfänger fällt. Zum Beispiel bei der Verwendung in Fördersystemen, auf denen Halbleiterwafer oder Substrate für Solarzellen transportiert werden, ist eine solche Anordnung von Vorteil. Derartige Substrate und Wafer sind in der Regel spiegelnd. Sobald sie in den Lichtstrahl eines Lichttasters eintreten, der so angeordnet ist, dass spiegelnd reflektiertes Licht nicht auf seinen Empfänger fällt, geht das Empfangssignal im Vergleich zu einem Empfangssignal, das von einem im Vergleich zum Transportgut diffus reflektierenden Förderband stammt, deutlich nach unten.A significant change in the received signal when an object enters the incident light beam of a light sensor can be achieved, in particular, if the respective light receiver is arranged such that light emitted by the corresponding light transmitter, which is specularly reflected, does not fall into the receiver. For example, when used in conveyor systems on which semiconductor wafers or substrates for solar cells are transported, such an arrangement is advantageous. Such substrates and wafers are usually reflective. As soon as they enter the light beam of a light scanner, which is arranged such that specularly reflected light does not fall on its receiver, the received signal clearly goes down in comparison to a received signal which originates from a conveyor belt diffusely reflecting in comparison with the transport item.

Insbesondere für solche Ausführungsformen ist es dementsprechend vorteilhaft, wenn der erste und der zweite Lichtsender des ersten und des zweiten Lichttasters derart angeordnet sind, dass sie Licht unter einem Winkel auf das Förderband aussenden.In particular, for such embodiments, it is accordingly advantageous if the first and the second light emitter of the first and the second light scanner are arranged such that they emit light at an angle to the conveyor belt.

Der erfindungsgemäße Detektor des Anspruches 1 bzw. der beschriebenen bevorzugten Ausführungsformen verwendet zumindest zwei entsprechend ausgestaltete Lichttaster.The detector according to the invention of claim 1 or the preferred embodiments described uses at least two appropriately configured light scanners.

Die Erfindung ist jedoch nicht darauf beschränkt, dass der Detektor nur exakt zwei entsprechend ausgestaltete Lichttaster aufweist. Es können auch eine größere Anzahl von Lichttastern zum Einsatz kommen, deren Auftreffpunkte des Lichts auf dem Förderband gegeneinander versetzt sind. Die Auswerteeinheit ist dann ausgestaltet, die Detektionssignale nicht nur zweier Lichttaster sondern mehr Lichttaster auszuwerten. Insbesondere kann dann eine Korrelationsfunktion in analoger Weise zum Einsatz kommen, die mehr als zwei Signale miteinander korreliert.However, the invention is not limited to the fact that the detector has only exactly two correspondingly configured light scanners. It can also be a greater number of light sensors are used, the points of incidence of the light are offset on the conveyor belt against each other. The evaluation unit is then configured to evaluate the detection signals not just two light sensors but more light sensors. In particular, a correlation function can then be used in an analogous manner, which correlates more than two signals with one another.

Bei einem erfindungsgemäßen Verfahren zur Bestimmung des Schlupfs zwischen einem Förderband und einem darauf beförderten Gegenstand wird Licht in Richtung des Förderbandes an eine erste Stelle des Förderweges mit dem Lichtsender eines ersten Lichttasters gesendet. Von dem Förderband oder einem darauf beförderten Gegenstand reflektiertes Licht dieses ersten Lichtsenders wird mit dem Lichtempfänger des ersten Lichttasters empfangen und zur Erzeugung eines ersten zeitabhängigen Detektionssignals erzeugt. Auf die gleiche Weise wird Licht eines Lichtsenders eines zweiten Lichttasters an eine Stelle des Förderbandes gesendet, die in Förderrichtung um eine Versetzungslänge gegen die erste Stelle versetzt ist, auf die das Licht des ersten Lichtsenders fällt. Reflektiertes Licht des zweiten Lichtsenders wird mit einem zweiten Lichtempfänger des zweiten Lichttasters empfangen und zur Erzeugung eines zweiten zeitabhängigen Detektionssignals verwendet. Beide Detektionssignale werden sowohl zur Bestimmung der Geschwindigkeit des Förderbandes als auch zur Bestimmung eines auf dem Förderband beförderten Gegenstandes verwendet. Durch Vergleich der Geschwindigkeiten wird ermittelt, ob ein Schlupf zwischen dem Gegenstand und dem Förderband vorliegt.In a method according to the invention for determining the slip between a conveyor belt and an object conveyed thereon, light is sent in the direction of the conveyor belt to a first location of the conveyor path with the light emitter of a first light sensor. Light of this first light transmitter, which is reflected by the conveyor belt or an object conveyed thereon, is received by the light receiver of the first light scanner and generated to generate a first time-dependent detection signal. In the same way, light of a light emitter of a second light sensor is sent to a position of the conveyor belt which is offset in the conveying direction by an offset length from the first position, on which the light of the first light emitter falls. Reflected light of the second light transmitter is received by a second light receiver of the second light scanner and used to generate a second time-dependent detection signal. Both detection signals are used both for determining the speed of the conveyor belt and for determining an article conveyed on the conveyor belt. By comparing the speeds, it is determined whether there is slippage between the article and the conveyor belt.

Die Vorteile eines erfindungsgemäßen Verfahrens ergeben sich aus den oben geschilderten Vorteilen eines erfindungsgemäßen Detektors.The advantages of a method according to the invention result from the above-described advantages of a detector according to the invention.

Bevorzugte Ausgestaltungen des erfindungsgemäßen Verfahrens und deren Vorteile ergeben sich aus den oben geschilderten bevorzugten Ausführungsformen des erfindungsgemäßen Detektors und den beschriebenen Vorteilen.Preferred embodiments of the method according to the invention and the advantages thereof result from the above-described preferred embodiments of the detector according to the invention and the advantages described.

Das erfindungsgemäße Verfahren setzt ebenfalls zwei Lichttaster ein. Es ist jedoch nicht auf die Verwendung von genau zwei Lichttastern beschränkt. Wie oben für den erfindungsgemäßen Detektor beschrieben, können auch eine größere Anzahl von Lichttastern zum Einsatz kommen.The method according to the invention also employs two light scanners. However, it is not limited to the use of exactly two light buttons. As described above for the detector according to the invention, a larger number of light sensors can also be used.

Besonders vorteilhaft lassen sich der erfindungsgemäße Detektor und das erfindungsgemäße Verfahren zur Bestimmung des Schlupfes zwischen einem Förderband und darauf beförderten Halbleiterwafern oder Solarzellensubstraten verwenden. Gerade für diese Anwendungen ist die berührungslose Messung zur Vermeidung von Beschädigungen oder Verschmutzungen von großem Vorteil. Außerdem sind derartige Materialien in der Regel spiegelnd, so dass eine starke Signaländerung erwartet werden kann, wenn ein entsprechender Gegenstand in den Lichtstrahl eines der Lichttaster eintritt.The detector according to the invention and the method according to the invention for determining the slip between a conveyor belt and semiconductor wafers or solar cell substrates conveyed thereon can be used particularly advantageously. Especially for these applications, the non-contact measurement to avoid damage or contamination of great advantage. In addition, such materials are typically specular, so that a large signal change can be expected when a corresponding object enters the light beam of one of the light sensors.

Die Erfindung wird im Folgenden anhand eines Ausführungsbeispiels mit Bezug zu den anliegenden schematischen Figuren geschildert. Dabei zeigenThe invention is described below with reference to an embodiment with reference to the attached schematic figures. Show

1 die Anordnung eines erfindungsgemäßen Detektors, 1 the arrangement of a detector according to the invention,

2 die Ausgangssignale der zwei Lichttaster, und 2 the output signals of the two light sensors, and

3 ein zeitliches Korrelationssignal der beiden Lichttaster. 3 a temporal correlation signal of the two light sensors.

1 zeigt ein Förderband 10, das sich z. B. in der Figur nach rechts bewegt, um darauf befindliche Halbleiterwafer 20 zu fördern. Das Förderband 10 weist eine regelmäßige Struktur 12 auf, die z. B. durch die einzelnen Förderelemente gebildet sein kann. Der Abstand dieser Strukturelemente ist mit dem Bezugszeichen 14 bezeichnet. Oberhalb des Förderbandes sind ein erster Lichttaster 30 und ein zweiter Lichttaster 36 angeordnet. Die Lichttaster 30, 36 umfassen in an sich bekannter Weise jeweils einen Lichtsender, z. B. eine Laserdiode, und einen Lichtempfänger, der beispielsweise durch eine Fotodiode oder ein CCD-Element gebildet sein kann. Die Lichttaster 30 und 36 arbeiten nach dem Autokollimationsprinzip, bei dem insbesondere jeweils das Empfängerelement und der Lichtsender in einer Einheit zusammengefasst sind. Die Lichttaster 30, 36 sind derart schräg zum Förderband 10 ausgerichtet, dass spiegelnd reflektiertes Licht nicht zurück zu den Lichtempfängern der Lichttaster 30, 36 gelangt. 1 shows a conveyor belt 10 that z. B. moves in the figure to the right, thereon located semiconductor wafer 20 to promote. The conveyor belt 10 has a regular structure 12 on, the z. B. may be formed by the individual conveyor elements. The spacing of these structural elements is denoted by the reference numeral 14 designated. Above the conveyor belt are a first light sensor 30 and a second light switch 36 arranged. The light sensors 30 . 36 comprise in known manner each have a light transmitter, z. As a laser diode, and a light receiver, which may be formed for example by a photodiode or a CCD element. The light sensors 30 and 36 work according to the autocollimation principle, in which in particular in each case the receiver element and the light emitter are combined in one unit. The light sensors 30 . 36 are so inclined to the conveyor belt 10 aligned, that specularly reflected light does not return to the light receivers of the light scanner 30 . 36 arrives.

Licht 32, das der Lichttaster 30 in Richtung des Förderbandes 10 aussendet, wird von diesem oder einem darauf befindlichen Gegenstand 20 reflektiert. Licht, das dabei von dem Förderband 10 oder einem darauf befindlichen Gegenstand 20 nicht spiegelnd reflektiert wird, fällt zumindest zum Teil wieder zurück in den Lichttaster 30, 36 und kann dort detektiert werden.light 32 , the light sensor 30 in the direction of the conveyor belt 10 is sent by this or any item on it 20 reflected. Light coming from the conveyor belt 10 or an item on it 20 is not mirrored, at least partially falls back into the light sensor 30 . 36 and can be detected there.

Der Auftreffpunkt 40 des Lichts 38, das der zweite Lichttaster 36 aussendet, ist um eine Versetzungslänge 44 gegenüber dem Auftreffpunkt 34 des Lichts 32 versetzt, das von dem ersten Lichttaster 30 ausgesendet wird. Zum gezeigten Zeitpunkt trifft das Licht 38 des zweiten Lichttasters 36 auf einen Wafer 20, der nahezu spiegelnd ist. Insofern wird ein Großteil des Lichts 38 in Richtung 42 spiegelnd reflektiert.The impact point 40 of the light 38 , the second light sensor 36 is about a displacement length 44 opposite the point of impact 34 of the light 32 offset, that of the first light scanner 30 is sent out. At the time shown, the light hits 38 of the second light button 36 on a wafer 20 which is almost reflective. In that sense, much of the light 38 in the direction 42 reflecting reflected.

Die Ausgangssignale der Lichtempfänger der Lichttaster 30, 36 werden an eine gemeinsame Auswerteeinheit 50 geliefert, die z. B. durch einen entsprechend programmierten Mikroprozessor gebildet sein kann.The output signals of the light receivers of the light scanners 30 . 36 be sent to a common evaluation unit 50 delivered, the z. B. may be formed by a suitably programmed microprocessor.

Mit einer solchen erfindungsgemäßen Anordnung kann das erfindungsgemäße Verfahren wie folgt durchgeführt werden.With such an inventive arrangement, the inventive method can be carried out as follows.

Das Licht 32 des ersten Lichttasters 30 und das Licht 38 des zweiten Lichttasters 36 fallen auf unterschiedliche Stellen 34, 40 des Förderbandes 10 bzw. der darauf befindlichen Wafer 20. Der Lichtempfänger des Lichttasters 30 empfängt z. B. ein Signal, das in 2 mit S30 bezeichnet ist. In den Bereichen 64 empfängt der Lichttaster 30 hingegen nahezu kein Signal. Hier trifft das von ihm ausgesendete Licht auf einen Wafer 20 und wird nahezu vollständig spiegelnd reflektiert. Aufgrund der schrägen Anordnung gegenüber der Förderrichtung fällt dementsprechend kaum reflektiertes Licht zurück in den Lichttaster 30, so dass das Signal S30 entsprechend erniedrigt ist. Dieser Bereich hat eine Dauer, die in dem Diagramm mit 66 bezeichnet ist.The light 32 of the first light button 30 and the light 38 of the second light button 36 fall on different places 34 . 40 of the conveyor belt 10 or the wafer thereon 20 , The light receiver of the light scanner 30 receives z. B. a signal in 2 is designated S 30 . In the fields of 64 the light sensor receives 30 however, almost no signal. Here the light emitted by him hits a wafer 20 and is reflected almost completely specularly. As a result of the oblique arrangement with respect to the conveying direction, hardly any reflected light falls back into the light sensor 30 , so that the signal S 30 is lowered accordingly. This area has a duration in the diagram with 66 is designated.

In 2 ist das Signal des Lichtempfängers des zweiten Lichttasters 36 mit S36 bezeichnet. Auch hier sind Bereiche 84 mit einer Länge 86 erkennbar, in denen das Signal sehr stark erniedrigt ist, weil das Licht, das vom Lichtsender des Lichttasters 36 ausgesendet wird, nahezu vollständig an einem transportierten Wafer spiegelnd reflektiert wird und insofern nicht mehr in den Lichttaster 36 zurückfällt.In 2 is the signal of the light receiver of the second light button 36 designated S 36 . Again, there are areas 84 with a length 86 recognizable, in which the signal is greatly reduced, because the light emitted by the light transmitter of the light scanner 36 is sent out, almost completely reflected on a transported wafer is reflected and thus no longer in the light sensor 36 falling back.

Die starken Änderungen der Signale S30, S36 an den Flanken dieser Bereiche niedrigen Signales 64, 84 können zur Bestimmung der Geschwindigkeit der Wafer 20 auf dem Förderband verwendet werden. Der zeitliche Abstand t1 z. B. zwischen einer Flanke 68 des Signals S30 und einer Flanke 88 des Signals S36 entspricht dem Zeitraum, der vergeht, bis eine Kante des Wafers von dem Auftreffpunkt 34 des einen Lichttasters zum Auftreffpunkt des Lichtes 40 des anderen Lichttasters unterwegs ist. Bei bekannter Versetzungslänge 44 der beiden Auftreffpunkte lässt sich damit aus dem Quotienten des zurückgelegten Weges und der dazu benötigten Zeit die Geschwindigkeit des Wafers bestimmen.The strong changes of the signals S 30 , S 36 on the flanks of these areas low signal 64 . 84 can be used to determine the speed of the wafer 20 be used on the conveyor belt. The time interval t 1 z. B. between a flank 68 of the signal S 30 and a flank 88 of the signal S 36 corresponds to the time lapse until an edge of the wafer from the point of impact 34 of a light sensor to the point of impact of the light 40 the other light sensor is on the way. With known displacement length 44 Thus, the velocity of the wafer can be determined from the quotient of the distance covered and the time required for this from the two impact points.

Damit steht bereits ein Geschwindigkeitssignal zur Verfügung, das der Geschwindigkeit der Wafer 20 auf dem Förderband 10 entspricht. Eine kontinuierliche Überwachung der Ausgangssignale auf den Abstand derartiger Flanken 68, 88 der Signale S30, S36 ermöglicht die Überwachung der Geschwindigkeit jedes einzelnen Wafers.This is already a speed signal available, the speed of the wafer 20 on the conveyor belt 10 equivalent. A continuous monitoring of the output signals on the distance of such edges 68 . 88 The signals S 30 , S 36 allow the monitoring of the speed of each individual wafer.

Zur Bestimmung der Geschwindigkeit eines Wafers 20 werden also beide optischen Signale der beiden Lichttaster verwendet.To determine the speed of a wafer 20 So both optical signals of the two light sensors are used.

Die Ausgangssignale S30, S36 weisen zusätzliche Signalstrukturen, hier Signalspitzen, 60, 80 auf, die in den Bereichen 65, 85 auftreten, in denen der jeweilige Lichtstrahl des Lichttasters 30, 36 nicht auf einen Wafer 20, sondern auf das Förderband 10 direkt fällt.The output signals S 30 , S 36 have additional signal structures, here signal peaks, 60 . 80 on that in the fields 65 . 85 occur in which the respective light beam of the light scanner 30 . 36 not on a wafer 20 but on the conveyor belt 10 falls directly.

Auf dem Förderband 10 befinden sich die Strukturen 12, die zu den Signalspitzen 60, 80 führen. Diese Strukturen können beispielsweise die Kanten einzelner Förderelemente des Förderbandes 10 sein. Die Signalspitzen haben einen zeitlichen Abstand zueinander, der für das Signal S30 mit 62 und für das Signal 36 mit 82 bezeichnet ist. Die zeitlichen Abstände 62, 82 zweier Signalspitzen 60 bzw. 80 in den jeweiligen Signalverläufen S30 bzw. S36 sind bei konstanter Fördergeschwindigkeit gleich. Bei dem gezeigten Beispiel befinden sich offensichtlich in der Regel vier Strukturen 12 zwischen zwei Wafern 20, die jeweils zu den vier Signalspitzen 60 bzw. 80 in einem Bereich 65 bzw. 85 führen.On the conveyor belt 10 are the structures 12 leading to the signal peaks 60 . 80 to lead. These structures can, for example, the edges of individual conveyor elements of the conveyor belt 10 be. The signal peaks have a temporal distance from each other, which for the signal S 30 with 62 and for the signal 36 With 82 is designated. The time intervals 62 . 82 two signal peaks 60 respectively. 80 in the respective signal curves S 30 and S 36 are the same at a constant conveying speed. In the example shown, there are obviously four structures as a rule 12 between two wafers 20 , each to the four signal peaks 60 respectively. 80 in one area 65 respectively. 85 to lead.

Wenn die beiden Ausgangssignale S30 und S36 abschnittsweise (insbesondere in den sich entsprechenden Abschnitten 65 und 85 der Signalverläufe S30 und S36) miteinander korreliert werden, bildet sich ein Korrelationsmaximum heraus, das den zeitlichen Versatz der beiden Empfangssignale der Lichttaster 30 und 36 entspricht. Ein solches Korrelationssignal ist in 3 gezeigt. Bei einer Zeit t0 bildet sich ein ausgeprägtes Maximum mit einer Amplitude A0. Insbesondere, wenn Abschnitte 65 und 85 der Signalverläufe S30 und S36 miteinander korreliert werden, gibt die Lage dieses Maximums den zeitlichen Versatz an, mit dem die Strukturen 12 jeweils die Auftreffpunkte 34, 40 des Lichtes 32, 38 der beiden Lichttaster 30, 36 passieren. Im Idealfall des vollständig schlupffreien Betriebes sollte der oben beschriebene Flankenabstand t1 gleich t0 sein. Sollte Schlupf auftreten, können sich (insbesondere, wenn nicht nur Bereiche 65 und 85 miteinander korreliert werden) Nebenmaxima in der Korrelationsfunktion ausbilden, die aus der abweichenden Geschwindigkeit der Wafer 20 und damit einem abweichenden zeitlichen Versatz herrühren. Diese sind jedoch aufgrund des starken Signals der Strukturen 12 deutlich zu unterscheiden.If the two output signals S 30 and S 36 sections (especially in the corresponding sections 65 and 85 the waveforms S 30 and S 36 ) are correlated with each other, forms a correlation maximum out, the temporal offset of the two received signals of the light scanner 30 and 36 equivalent. Such a correlation signal is in 3 shown. At a time t 0 , a pronounced maximum with an amplitude A 0 is formed . Especially if sections 65 and 85 the signal curves S 30 and S 36 are correlated with each other, the position of this maximum indicates the time offset with which the structures 12 each the impact points 34 . 40 of the light 32 . 38 the two light sensors 30 . 36 happen. In the ideal case of completely slip-free operation, the above-described edge spacing t 1 should be equal to t 0 . Should slip occur, (especially if not just areas 65 and 85 correlate with each other) form secondary maxima in the correlation function resulting from the differing speed of the wafers 20 and thus a deviating temporal offset. However, these are due to the strong signal of the structures 12 clearly distinguishable.

Mit Hilfe der Versetzungslänge 44 zwischen den Auftreffpunkten 34 und 40 zwischen den Lichtstrahlen 32 und 38 des Lichttasters 30 und des Lichttasters 36 lässt sich durch Quotientenbildung aus der Lage t1 des Korrelationsmaximums die Geschwindigkeit des Förderbandes bestimmen.With the help of the offset length 44 between the points of impact 34 and 40 between the rays of light 32 and 38 of the light button 30 and the light switch 36 can be determined by quotient formation from the position t 1 of the correlation maximum, the speed of the conveyor belt.

Auch zur Bestimmung der Geschwindigkeit des Förderbandes 10 werden also die Signale beider Lichttaster 30, 36 eingesetzt.Also for determining the speed of the conveyor belt 10 So the signals of both light scanners become 30 . 36 used.

Um die Messung sicherer zu gestalten, können zusätzliche korrelationsoptimierte Strukturen auf dem Förderband 10 angeordnet, z. B. aufgedruckt, werden.To make the measurement safer, additional correlation-optimized structures on the conveyor belt can be used 10 arranged, z. B. be printed.

Durch Vergleich der so bestimmten Geschwindigkeiten des Förderbandes 10 und eines darauf befindlichen Wafers 20 lässt sich bestimmen, ob zwischen den geförderten Wafern 20 und dem Förderband 10 ein Schlupf besteht.By comparing the thus determined speeds of the conveyor belt 10 and a wafer thereon 20 can be determined, whether between the subsidized wafers 20 and the conveyor belt 10 there is a slip.

Obwohl sowohl die Geschwindigkeit des Förderbandes 10 als auch die Geschwindigkeit der darauf befindlichen Wafer 20 jeweils mit zwei optischen Signalen unabhängig voneinander bestimmt werden, sind dennoch nur zwei Lichttaster 30, 36 notwendig.Although both the speed of the conveyor belt 10 as well as the speed of the wafers on it 20 are each determined with two optical signals independently, are still only two light sensors 30 . 36 necessary.

Bei dem beschriebenen Ausführungsbeispiel werden sowohl zur Bestimmung der Geschwindigkeit des Förderbandes als auch zur Bestimmung der Geschwindigkeit der darauf beförderten Wafer jeweils die Signale zweier Lichttaster verwendet. Die Erfindung kann jedoch auch mit einer größeren Anzahl von Lichttastern realisiert werden. In einem solchen Fall können z. B. die Flanken einer größeren Anzahl von Lichtsignalen zur Bestimmung der Wafergeschwindigkeit miteinander verglichen werden.In the described embodiment, the signals of two light sensors are used both for determining the speed of the conveyor belt and for determining the speed of the wafers conveyed thereon. However, the invention can also be realized with a larger number of light sensors. In such a case, for. B. the flanks of a larger number of light signals for determining the wafer speed are compared.

Außerdem können zur Bestimmung der Geschwindigkeit des Förderbandes die Signale einer größeren Anzahl von Lichttastern miteinander korreliert werden, z. B. durch Bildung einer Kreuzkorrelationsfunktion.In addition, to determine the speed of the conveyor belt, the signals from a larger number of light sensors can be correlated, e.g. B. by forming a cross-correlation function.

BezugszeichenlisteLIST OF REFERENCE NUMBERS

1010
Förderbandconveyor belt
1212
FörderbandstrukturConveyor belt structure
1414
Abstand der FörderbandstrukturenDistance of the conveyor belt structures
2020
Waferwafer
3030
Lichttasterlight sensor
3232
ausgesendetes Lichtemitted light
3434
Auftreffpunkt des LichtsImpact point of the light
3636
Lichttasterlight sensor
3838
ausgesendetes Lichtemitted light
4040
Auftreffpunkt des LichtsImpact point of the light
4242
spiegelnd reflektiertes Lichtmirroring reflected light
4444
Versetzungslängedisplacement length
5050
Auswerteeinheitevaluation
6060
Signalspitzesignal peak
6262
Abstand der SignalstrukturenDistance of the signal structures
6464
Bereich verringerten SignalsRange of reduced signal
6565
Bereich höheren SignalsRange of higher signal
6666
Dauer des verringerten SignalsDuration of the reduced signal
6868
Flanke des SignalsEdge of the signal
8080
Signalspitzesignal peak
8282
Abstand der SignalstrukturenDistance of the signal structures
8484
Bereich verringerten SignalsRange of reduced signal
8585
Bereich höheren SignalsRange of higher signal
8686
Dauer des verringerten SignalsDuration of the reduced signal
8888
Flanke des SignalsEdge of the signal
9090
zeitliches Korrelationssignaltemporal correlation signal
S30 S 30
Ausgangssignal des ersten LichttastersOutput signal of the first light button
S36 S 36
Ausgangssignal des zweiten LichttastersOutput signal of the second light button
t0 t 0
Ort des Korrelationsmaximums im ZeitdiagrammLocation of the correlation maximum in the time diagram
A0 A 0
Amplitude des Korrelationsmaximums im ZeitdiagrammAmplitude of the correlation maximum in the time diagram
t1 t 1
zeitlicher Abstand der Signalflankentime interval of the signal edges

Claims (12)

Detektor zur Bestimmung des Schlupfes zwischen einem Förderband (10) und einem darauf beförderten Gegenstand (20), der folgendes aufweist: – einen ersten Lichttaster (30) mit einem ersten Lichtsender, der Licht (32) in Richtung des Förderbandes (10) an eine erste Stelle (34) des Förderweges aussendet, und einem ersten Lichtempfänger, der vom Förderband (10) oder einem darauf beförderten Gegenstand (20) reflektiertes Licht empfängt und ein erstes zeitabhängiges Detektionssignal (S30) erzeugt, – zumindest einen zweiten Lichttaster (36) mit einem zweiten Lichtsender, der Licht (38) in Richtung des Förderbandes (10) an eine gegenüber der ersten Stelle (34) in Förderrichtung um einen Versetzungslänge (44) versetzte, zweite Stelle (40) des Förderweges aussendet, und einem zweiten Lichtempfänger, der vom Förderband (10) oder einem darauf beförderten Gegenstand (20) reflektiertes Licht empfangt und ein zweites zeitabhängiges Detektionssignal (S36) erzeugt, – einer Auswerteeinheit (50), an die das erste und das zweite Detektionssignal (S30, S36) geliefert werden und die derart ausgestaltet ist, dass sie (i) unter Verwendung beider Detektionssignale (S30, S36) die Geschwindigkeit des Förderbandes (10) bestimmt, (ii) unter Verwendung beider Detektionssignale (S30, S36) die Geschwindigkeit des Gegenstandes (20) bestimmt, und (iii) ermittelt, ob die so bestimmten Geschwindigkeiten unterschiedlich sind.Detector for determining the slip between a conveyor belt ( 10 ) and an item carried thereon ( 20 ), comprising: - a first light sensor ( 30 ) with a first light emitter, the light ( 32 ) in the direction of Conveyor belt ( 10 ) to a first position ( 34 ) of the conveying path, and a first light receiver, which is separated from the conveyor belt ( 10 ) or an item carried thereon ( 20 ) receives reflected light and generates a first time-dependent detection signal (S 30 ), - at least one second light sensor ( 36 ) with a second light emitter, the light ( 38 ) in the direction of the conveyor belt ( 10 ) to one opposite the first ( 34 ) in the conveying direction by a displacement length ( 44 ), second place ( 40 ) of the conveying path, and a second light receiver, which is separated from the conveyor belt ( 10 ) or an item carried thereon ( 20 ) receives reflected light and generates a second time-dependent detection signal (S 36 ), - an evaluation unit ( 50 ) to which the first and the second detection signal (S 30 , S 36 ) are delivered and which is designed such that (i) using both detection signals (S 30 , S 36 ), the speed of the conveyor belt ( 10 ), (ii) using both detection signals (S 30 , S 36 ) the speed of the object ( 20 ), and (iii) determines whether the thus determined speeds are different. Detektor nach Anspruch 1, bei dem der erste und/oder der zweite Lichttaster (30, 36) nach dem Autokollimationsprinzip arbeiten.Detector according to Claim 1, in which the first and / or the second light sensor ( 30 . 36 ) work according to the autocollimation principle. Detektor nach einem der Ansprüche 1 oder 2, bei dem die Auswerteeinheit (50) derart ausgestaltet ist, dass sie ein zeitliches Korrelationssignal (90) durch Korrelation des ersten und des zweiten Detektionssignals (S30, S36) bestimmt und aus dem Korrelationssignal (90) und der Versetzungslänge (44) die Geschwindigkeit des Förderbandes (10) bestimmt.Detector according to one of Claims 1 or 2, in which the evaluation unit ( 50 ) is configured such that it outputs a temporal correlation signal ( 90 ) is determined by correlation of the first and the second detection signal (S 30 , S 36 ) and from the correlation signal ( 90 ) and the displacement length ( 44 ) the speed of the conveyor belt ( 10 ) certainly. Detektor nach einem der Ansprüche 1 bis 3, bei dem die Auswerteeinheit (50) derart ausgestaltet ist, aus dem zeitlichen Abstand (t1) eines charakteristischen Signalverlaufes, vorzugsweise aus zumindest einer charakteristischen Flanke (68, 88), in dem ersten und dem zweiten Detektionssignal (S30, S36) und der Versetzungslänge (44) die Geschwindigkeit eines auf dem Förderband (10) befindlichen Gegenstandes (20) zu bestimmen.Detector according to one of Claims 1 to 3, in which the evaluation unit ( 50 ) is configured in such a way, from the time interval (t 1 ) of a characteristic signal course, preferably from at least one characteristic edge ( 68 . 88 ), in the first and the second detection signal (S 30 , S 36 ) and the offset length ( 44 ) the speed of one on the conveyor belt ( 10 ) ( 20 ). Detektor nach einem der Ansprüche 1 bis 4, bei dem der erste und der zweite Lichtempfänger derart angeordnet sind, dass sie von dem ersten und dem zweiten Lichtsender ausgesendetes und von dem Gegenstand (20) auf dem Förderband (10) spiegelnd reflektiertes Licht (42) nicht empfangen und/oder der erste und der zweite Lichtsender derart angeordnet sind, dass sie Licht (32, 38) unter einem Winkel zum Förderband (10) aussenden.A detector according to any one of claims 1 to 4, wherein the first and second light receivers are arranged to be emitted by the first and second light emitters and by the object (s). 20 ) on the conveyor belt ( 10 ) specularly reflected light ( 42 ) and / or the first and second light emitters are arranged in such a way that they emit light ( 32 . 38 ) at an angle to the conveyor belt ( 10 ). Detektor nach einem der Ansprüche 1 bis 5, bei dem zusätzlich zu dem ersten und dem zweiten Lichttaster (30, 36) zumindest ein weiterer Lichttaster vorgesehen ist, der wie die ersten und zweiten Lichttaster (30, 36) ausgestaltet ist, wobei sich die Versetzungslänge, um die der Auftreffpunkt des Lichtes des weiteren Lichttasters auf dem Förderband (10) gegenüber dem Auftreffpunkt des Lichtes des ersten Lichttasters (30) versetzt ist, von der Versetzungslänge des zweiten Lichttasters (36) unterscheidet, und die Auswerteeinheit (50) derart ausgestaltet ist, dass sie zusätzlich zu dem ersten und dem zweiten Detektionssignal (S30, S36) zumindest ein Detektionssignal eines weiteren Lichttasters zur Bestimmung der Geschwindigkeit des Förderbandes (10) und/oder der Geschwindigkeit des Gegenstandes (20) verwendet.Detector according to one of Claims 1 to 5, in which, in addition to the first and the second light sensor ( 30 . 36 ) at least one further light sensor is provided which, like the first and second light sensors ( 30 . 36 ), wherein the offset length by which the point of impact of the light of the further light sensor on the conveyor belt ( 10 ) with respect to the point of impact of the light of the first light sensor ( 30 ) is offset from the offset length of the second light button ( 36 ), and the evaluation unit ( 50 ) is configured such that in addition to the first and the second detection signal (S 30 , S 36 ) at least one detection signal of another light sensor for determining the speed of the conveyor belt ( 10 ) and / or the speed of the object ( 20 ) used. Verfahren zur Bestimmung des Schlupfes zwischen einem Förderband (10) und einem darauf beförderten Gegenstand (20), das folgende Schritte aufweist: – Senden von Licht (32) in Richtung des Förderbandes (10) an eine erste Stelle (34) des Förderweges mit einem Lichtsender eines ersten Lichttasters (30), – Empfangen von Licht, das vom Förderband (10) oder einem darauf beförderten Gegenstand (20) reflektiert wird, mit dem Lichtempfänger des ersten Lichttasters (30) und Erzeugen eines ersten zeitabhängigen Detektionssignals (S30), – Senden von Licht (38) in Richtung des Förderbandes (10) an eine zweite Stelle (40) des Förderweges mit einem Lichtsender eines zweiten Lichttasters (36), wobei die zweite Stelle (40) in Förderrichtung um eine Versetzungslänge (44) gegen die erste Stelle (34) versetzt ist, – Empfangen von Licht, das vom Förderband (10) oder einem darauf beförderten Gegenstand (20) reflektiert wird, mit dem Lichtempfänger des zweiten Lichttasters (36) und Erzeugen eines zweiten zeitabhängigen Detektionssignals (S36), – Bestimmen der Geschwindigkeit des Förderbandes (10) unter Verwendung beider Detektionssignale (S30, S36), – Bestimmen der Geschwindigkeit des Gegenstandes (20) unter Verwendung beider Detektionssignale (S30, S36), und – Ermitteln, ob die so bestimmten Geschwindigkeiten unterschiedlich sind.Method for determining the slip between a conveyor belt ( 10 ) and an item carried thereon ( 20 ), comprising the following steps: - sending light ( 32 ) in the direction of the conveyor belt ( 10 ) to a first position ( 34 ) of the conveying path with a light transmitter of a first light scanner ( 30 ), - receiving light from the conveyor belt ( 10 ) or an item carried thereon ( 20 ) is reflected with the light receiver of the first light scanner ( 30 ) and generating a first time-dependent detection signal (S 30 ), - transmitting light ( 38 ) in the direction of the conveyor belt ( 10 ) to a second place ( 40 ) of the conveying path with a light transmitter of a second light scanner ( 36 ), the second digit ( 40 ) in the conveying direction by an offset length ( 44 ) against the first place ( 34 ), - receiving light coming from the conveyor belt ( 10 ) or an item carried thereon ( 20 ) is reflected with the light receiver of the second light scanner ( 36 ) and generating a second time-dependent detection signal (S 36 ), - determining the speed of the conveyor belt ( 10 ) using both detection signals (S 30 , S 36 ), - determining the speed of the object ( 20 ) using both detection signals (S 30 , S 36 ), and - determining whether the speeds thus determined are different. Verfahren nach Anspruch 7, bei dem – durch Korrelation des ersten und des zweiten Detektionssignals (S30, S36) ein zeitliches Korrelationssignal (90) bestimmt wird und – aus dem Korrelationssignal (90) und der Versetzungslänge (44) die Geschwindigkeit des Förderbandes (10) bestimmt wird.Method according to Claim 7, in which - by correlation of the first and second detection signals (S 30 , S 36 ), a temporal correlation signal ( 90 ) and - from the correlation signal ( 90 ) and the displacement length ( 44 ) the speed of the conveyor belt ( 10 ) is determined. Verfahren nach einem der Ansprüche 7 oder 8, bei dem aus dem zeitlichen Abstand (t1) eines charakteristischen Signalverlaufes, vorzugsweise aus zumindest einer charakteristischen Flanke (68, 88), in dem ersten und dem zweiten Detektionssignal (S30, S36) und der Versetzungslänge (44) die Geschwindigkeit eines auf dem Förderband (10) befindlichen Gegenstandes (20) bestimmt wird.Method according to one of claims 7 or 8, wherein from the time interval (t 1 ) of a characteristic signal waveform, preferably from at least one characteristic edge ( 68 . 88 ), in the first and the second detection signal (S 30 , S 36 ) and the offset length ( 44 ) the speed of one on the conveyor belt ( 10 ) ( 20 ) is determined. Verfahren nach einem der Ansprüche 7 bis 9, bei dem mit dem ersten und dem zweiten Lichtempfänger kein von dem ersten und dem zweiten Lichtsender ausgesendetes und von einem Gegenstand (20) auf dem Förderband (10) spiegelnd reflektiertes Licht (42) empfangen wird und/oder mit dem ersten und dem zweiten Lichtsender Licht (32, 38) unter einem Winkel zum Förderband (10) ausgesendet wird.Method according to one of claims 7 to 9, wherein with the first and the second light receiver no emitted from the first and the second light emitter and of an object ( 20 ) on the conveyor belt ( 10 ) specularly reflected light ( 42 ) and / or with the first and the second light emitter light ( 32 . 38 ) at an angle to the conveyor belt ( 10 ) is sent out. Verfahren nach einem der Ansprüche 7 bis 10, bei dem zusätzlich zu dem Licht des ersten und des zweiten Lichttasters (30, 36) das Licht wenigstens eines weiteren Lichttasters in Richtung des Förderbandes (10) an eine Stelle gesendet wird, die sich von den Stellen unterscheidet, an die das Licht des ersten und des zweiten Lichttasters (30, 36) gesendet wird, und bei dem das zumindest eine Detektionssignal eines weiteren Lichttasters zur Bestimmung der Geschwindigkeit des Förderbandes (10) und/oder des Gegenstandes (20) zusätzlich zu den Detektionssignalen (S30, S36) des ersten und des zweiten Lichttasters (30, 36) verwendet wird.Method according to one of claims 7 to 10, wherein in addition to the light of the first and the second light sensor ( 30 . 36 ) the light of at least one further light scanner in the direction of the conveyor belt ( 10 ) is sent to a location which differs from the locations to which the light of the first and the second light button ( 30 . 36 ), and in which the at least one detection signal of a further light sensor for determining the speed of the conveyor belt ( 10 ) and / or the object ( 20 ) in addition to the detection signals (S 30 , S 36 ) of the first and the second light scanner ( 30 . 36 ) is used. Verwendung eines Detektors gemäß einem der Ansprüche 1 bis 6 oder eines Verfahrens gemäß einem der Ansprüche 7 bis 11 zur Bestimmung des Schlupfes zwischen einem Förderband (10) und zumindest einem darauf beförderten Halbleiterwafer (20) oder Solarzellensubstrat.Use of a detector according to one of claims 1 to 6 or a method according to one of claims 7 to 11 for determining the slip between a conveyor belt ( 10 ) and at least one semiconductor wafer carried thereon ( 20 ) or solar cell substrate.
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