DE102010012976A1 - Transportation cassette in transport device, used for holding and transporting substrate e.g. round wafer, stacks substrates provided one above the other and parallel to each other in substrate-stacking direction - Google Patents
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Abstract
Description
Anwendungsgebiet und Stand der TechnikField of application and state of the art
Die Erfindung betrifft eine Transportkassette zum Horten und Transportieren von flachen, scheibenförmigen Substraten nach dem Oberbegriff des Anspruchs 1 und ein Transportmittel nach dem Oberbegriff des Anspruchs 12 zum Transport einer vorgenannten Transportkassette.The invention relates to a transport cassette for hoarding and transporting flat, disk-shaped substrates according to the preamble of claim 1 and a transport means according to the preamble of claim 12 for transporting an aforementioned transport cassette.
Aus dem Stand der Technik sind eine Vielzahl von Transportkassetten für flache, scheibenförmige Substrate, wie beispielsweise Wafer, bekannt. Die
Aufgabe und LösungTask and solution
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine eingangs genannte Transportkassette und ein eingangs genanntes Transportmittel zu schaffen, mit denen Probleme des Standes der Technik beseitigt werden können und die insbesondere flexibel in automatisierten Produktionssystemen einsetzbar sind.The invention has for its object to provide an aforementioned transport cassette and an aforementioned means of transport, with which problems of the prior art can be eliminated and in particular are used flexibly in automated production systems.
Gelöst wird diese Aufgabe durch eine Transportkassette mit den Merkmalen des Anspruchs 1 und durch ein Transportmittel mit den Merkmalen des Anspruchs 12. Vorteilhafte und bevorzugte Ausgestaltungen der Erfindung sind Gegenstand der weiteren Ansprüche und werden im Folgenden näher erläutert. Der Wortlaut der Ansprüche wird durch ausdrückliche Bezugnahme zum Inhalt der Beschreibung gemacht. Manche der nachfolgenden, jedoch nicht erschöpfend aufgezählten Merkmale und Eigenschaften treffen sowohl auf eine Transportkassette als auch auf ein Transportmittel zum Transport einer solchen Transportkassette zu. Sie werden teilweise nur einmal beschrieben, gelten jedoch unabhängig voneinander sowohl für die Transportkassette als auch für das Transportmittel.This object is achieved by a transport cassette with the features of claim 1 and by a means of transport with the features of claim 12. Advantageous and preferred embodiments of the invention are the subject of further claims and are explained in more detail below. The wording of the claims is incorporated herein by express reference. Some of the following, but not exhaustive, features and properties apply to both a transport cassette and a transport means for transporting such a transport cassette. They are sometimes described only once, but apply independently for both the transport cassette and for the means of transport.
Es ist eine Transportkassette zum Horten und Transportieren von flachen, scheibenförmigen Substraten, wie beispielsweise Wafern, vorgesehen. Dabei weist die Transportkassette einen Deckel mit einer Deckel-Außenseite sowie einen Boden mit einer Boden-Außenseite auf. Des Weiteren weist die Transportkassette eine Rückwand mit einer Rückwand-Innenseite und einer Rückwand-Außenseite sowie zwei Seitenwände mit jeweils einer Innen- und einer Außenseite auf. An der Innenseite jeder Seitenwand sind mehrere Stege übereinander angeordnet. Dabei sind die Stege so ausgebildet und angeordnet, dass mehrere Substrate in der Transportkassette übereinander und mit Abstand zueinander parallel in einer Substrat-Stapelrichtung gestapelt werden können. Üblicherweise werden die Substrate dabei senkrecht zur Substratebene gestapelt. Zum Ein- bzw. Ausbringen der Substrate weist die Transportkassette eine offene Vorderseite auf. Dabei ist es nicht zwingend erforderlich, dass die Vorderseite über ihre gesamte Ausdehnung offen ausgebildet ist. Es müssen nur über die Vorderseite die Substrate ein- bzw. ausgebracht werden können entsprechend einer vorgesehenen Substrat-Stapelhöhe in der Transportkassette.There is provided a transport cassette for hoarding and transporting flat, disc-shaped substrates, such as wafers. In this case, the transport cassette has a lid with a lid outside and a bottom with a bottom outside. Furthermore, the transport cassette has a rear wall with a rear wall inside and a rear wall outside and two side walls, each with an inside and an outside. On the inside of each side wall a plurality of webs are arranged one above the other. In this case, the webs are designed and arranged such that a plurality of substrates in the transport cassette can be stacked one above the other and at a distance from one another in parallel in a substrate stacking direction. Usually, the substrates are stacked perpendicular to the substrate plane. For loading and unloading of the substrates, the transport cassette has an open front side. It is not absolutely necessary that the front side is open over its entire extent. It must only on the front of the substrates on or can be applied according to a planned substrate stack height in the transport cassette.
Eine erfindungsgemäße Transportkassette weist im Deckel an der Deckel-Außenseite und/oder im Boden an der Boden-Außenseite eine Führungsnut auf. Die Führungsnut ist, vorteilhaft mittig, im Deckel bzw. im Boden angeordnet und besonders vorteilhaft als T-Nut ausgebildet, wobei der Mittelsteg des „T” zur Außenseite des Deckels oder des Bodens zeigt bzw. offen ist. Insbesondere verläuft sie von der Vorderseite zur Rückseite hin, also parallel zur Substratein- bzw. Substratausbringrichtung. Weist eine Transportkassette sowohl eine Führungsnut im Deckel als auch eine Führungsnut im Boden auf, so haben vorzugsweise beide Führungsnuten die gleichen geometrischen Abmessungen und sind an gleicher Stelle angeordnet. Bei Anordnung der Transportkassette mit der Deckel-Außenseite oder der Boden-Außenseite auf einem entsprechenden Transportmittel mit einer zur Führungsnut passend ausgebildeten Führungsschiene kann die Transportkassette durch das Zusammenwirken von Führungsschiene und Führungsnut entlang der Führungsschiene geführt und gleichzeitig stabilisiert werden. Gegenüber der herkömmlichen Transportmethode, die Transportkassette einfach auf einem Transportband anzuordnen, hat die erfindungsgemäße Transportkassette den Vorteil, dass die Transportkassette bei einem Transport mit einem Transportmittel mit einer passenden Führungsschiene nicht umkippen kann oder während des Transports um die Längsachse verdreht werden kann. Auf diese Weise kann die Transportsicherheit für die Substrate wesentlich verbessert werden und die Bruchgefahr reduziert werden. Dies ist insbesondere beim Transport von bruchempfindlichen Wafern wichtig.A transport cassette according to the invention has a guide groove in the lid on the outside of the lid and / or in the bottom on the bottom outside. The guide groove is advantageously centered, arranged in the lid or in the bottom and particularly advantageously designed as a T-slot, wherein the central web of the "T" to the outside of the lid or the floor shows or is open. In particular, it runs from the front to the back, ie parallel to the substrate insertion or substrate application direction. If a transport cassette has both a guide groove in the cover and a guide groove in the bottom, then preferably both guide grooves have the same geometric dimensions and are arranged at the same location. When arranging the transport cassette with the lid outside or the bottom outside on a corresponding transport with a guide groove designed to be suitable guide rail, the transport cassette can be guided by the interaction of guide rail and guide along the guide rail and stabilized at the same time. Compared to the conventional transport method to simply arrange the transport cassette on a conveyor belt, the transport cassette according to the invention has the advantage that the transport cassette can not tip over during transport with a transport with a matching guide rail or can be rotated during transport about the longitudinal axis. In this way, the transport safety for the substrates can be significantly improved and the risk of breakage can be reduced. This is particularly important in the transport of fragile wafers.
Die Transportkassette kann auch zusätzlich eine Öffnung in der Rückwand aufweisen, so dass eine Handhabungseinrichtung, auch mit einem Aufsatz, von der Rückwand her in das Innere der Transportkassette einfahren kann, beispielsweise zur Qualitätsprüfung. Es ist jedoch vorteilhaft, wenn sich diese Öffnung in der Rückwand nicht wie an der Vorderseite über die gesamte Breite der Transportkassette parallel zur Substratebene erstreckt, sondern vorwiegend über den Mittenbereich. Als vorteilhaft haben sich außerdem vollständig geschlossene Seitenwände herausgestellt, da diese das Verkanten der Substrate zwischen den Stegen minimieren und damit die Bruchgefahr verringern. The transport cassette may also additionally have an opening in the rear wall, so that a handling device, including with an attachment, can enter from the rear wall into the interior of the transport cassette, for example for quality inspection. However, it is advantageous if this opening in the rear wall does not extend parallel to the substrate plane over the entire width of the transport cassette as on the front side, but predominantly over the central area. Fully closed sidewalls have also proven to be advantageous since they minimize the tilting of the substrates between the webs and thus reduce the risk of breakage.
Des Weiteren ist es vorteilhaft, wenn die Transportkassette an ihrer Deckel-Außenseite und ihrer Boden-Außenseite mindestens eine, vorzugsweise zwei ausreichend große Kontaktflächen aufweist. Die Kontaktflächen sollten dabei seitlich von der Führungsnut angeordnet sein und mindestens so groß sein, dass für den Transport einer voll gestapelten Transportkassette auf einem Transportband eine ausreichende Kraftübertragung durch einen flächigen Kontakt erzielt wird und das Transportband nicht schlupft.Furthermore, it is advantageous if the transport cassette has at least one, preferably two, sufficiently large contact surfaces on its cover outer side and its bottom outside. The contact surfaces should be arranged laterally from the guide groove and be at least so large that for the transport of a fully stacked transport cassette on a conveyor belt sufficient force transmission is achieved by a flat contact and the conveyor belt does not slip.
Zum Ein- und Ausbringen der Substrate sollten der Deckel und der Boden jeweils eine trapezförmige Ausnehmung von der Vorderseite her ausgehend aufweisen, so dass mittels eines Gurtfördersystems in Verbindung mit der Anordnung der Transportkassette auf einer Hub-Senk-Vorrichtung die Substrate „schubladenweise” zwischen den Stegen eingebracht bzw. entnommen werden können.For insertion and removal of the substrates, the lid and the bottom should each have a trapezoidal recess starting from the front, so that by means of a Gurtfördersystems in connection with the arrangement of the transport cassette on a lifting-lowering device, the substrates "drawer" between the Webs can be inserted or removed.
In einer Weiterbildung der Erfindung weist die Transportkassette an ihrer Deckel-Außenseite und/oder ihrer Boden-Außenseite zusätzlich mindestens eine Verdrehsicherung auf. Die Verdrehsicherung ist dabei vorzugsweise eine Verdrehsicherungs-Nut, welche parallel zur Führungsnut ebenfalls im Deckel oder im Boden angeordnet ist. Die Verdrehsicherung soll in Verbindung mit einer geeignet ausgestalteten Produktionsanlage verhindern, dass eine Transportkassette einem nachfolgenden Prozessschritt falsch herum zugeführt wird, also beispielsweise mit dem Deckel nach unten statt nach oben. Dies ist insbesondere wichtig, wenn die Substrate einem Prozess zugeführt werden, bei dem nur eine der Substratoberflächen behandelt werden soll.In one development of the invention, the transport cassette additionally has at least one anti-twist device on its outer side of the cover and / or on its bottom outside. The rotation is preferably an anti-rotation groove, which is also arranged parallel to the guide groove in the lid or in the ground. The rotation is intended to prevent in conjunction with a suitably designed production plant that a transport cassette is fed to a subsequent process step the wrong way around, so for example with the lid down instead of up. This is particularly important when the substrates are fed to a process where only one of the substrate surfaces is to be treated.
In einer besonders bevorzugten Ausführung weist eine Transportkassette eine Verdrehsicherungs-Nut an der Deckel-Außenseite und eine Verdrehsicherungs-Nut der Boden-Außenseite auf. Damit kann die Transportkassette beidseitig genutzt werden, „sunny side up” oder „sunny side down”. Dabei kann die Verdrehsicherungs-Nut der Deckel-Außenseite einen anderen Nut-Mitten-Abstand zur Mitte der Führungsnut in der Deckel-Außenseite aufweisen als die Verdrehsicherungs-Nut der Boden-Außenseite zur Mitte der Führungsnut in der Boden-Außenseite. Es ist besonders vorteilhaft, wenn die Verdrehsicherungs-Nut im Deckel und die Verdrehsicherungs-Nut im Boden eine gleiche Nutbreite aufweisen, sie können aber auch unterschiedlich sein.In a particularly preferred embodiment, a transport cassette has an anti-rotation groove on the outside of the cover and an anti-rotation groove on the bottom outside. Thus, the transport cassette can be used on both sides, "sunny side up" or "sunny side down". Here, the anti-rotation groove of the lid outer side may have a different groove-center distance to the center of the guide groove in the lid outer side than the anti-rotation groove of the bottom outside to the center of the guide groove in the bottom outside. It is particularly advantageous if the anti-rotation groove in the lid and the anti-rotation groove in the bottom have a same groove width, but they can also be different.
In einer Weiterbildung der Erfindung ist die Transportkassette zur Aufnahme mindestens eines RFID-Chips ausgebildet. Dazu weist die Transportkassette mindestens eine entsprechende Ausnehmung zur Anordnung des RFID-Chips auf. Insbesondere ist die Transportkassette so ausgebildet, dass der RFID-Chip bei Bedarf in der Ausnehmung angeordnet und bei fehlendem Bedarf wieder entfernt werden kann, vorzugsweise beschädigungsfrei, insbesondere nur mittels eines Werkzeugs. Durch die Anordnung eines RFID-Chips in der Transportkassette kann sie im Produktionsprozess eindeutig identifiziert werden. Denkbar sind an dieser Stelle verschiedene „Intelligenzen” des RFID-Chips. Im einfachsten Fall dient der RFID-Chip lediglich zur Identifikation der zugehörigen Transportkassette. Denkbar ist aber auch, dass der RFID-Chip über jedes in die Transportkassette eingebrachte Substrat Informationen speichert, wie beispielsweise die bisher erfolgten Prozessschritte sowie die noch durchzuführenden Prozessschritte oder Ergebnisse aus durchgeführten Qualitätsprüfungen. Je nach Ausbildung des RFID-Chips und einer zugehörigen zentralen Anlagen- und Prozesssteuerung können auf diese Weise die unterschiedlichsten Konzepte für Prozessschritte realisiert werden.In a development of the invention, the transport cassette is designed to accommodate at least one RFID chip. For this purpose, the transport cassette has at least one corresponding recess for arranging the RFID chip. In particular, the transport cassette is designed so that the RFID chip can be arranged in the recess if necessary and can be removed again in the absence of need, preferably without damage, in particular only by means of a tool. By arranging an RFID chip in the transport cassette, it can be clearly identified in the production process. Conceivable at this point are various "intelligences" of the RFID chip. In the simplest case, the RFID chip only serves to identify the associated transport cassette. It is also conceivable, however, for the RFID chip to store information about each substrate introduced into the transport cassette, such as, for example, the process steps hitherto carried out, as well as the process steps yet to be carried out or the results of quality checks carried out. Depending on the design of the RFID chip and an associated central plant and process control, the most diverse concepts for process steps can be realized in this way.
In einer bevorzugten Ausführung kann die Transportkassette auch gestapelt werden. Vorzugsweise sind die Transportkassetten für eine Transportkassetten-Stapelrichtung ungefähr senkrecht zur Substrat-Stapelrichtung ausgebildet. Dabei ist es vorteilhaft, wenn die Transportkassette an ihrer Rückwand-Außenseite eine oder mehrere Stapelnoppen aufweist und an der Vorderseite entsprechende, passende Ausnehmungen oder umgekehrt, wobei diese so ausgebildet sind, dass die Stapelnoppen beim Stapeln in die Ausnehmungen eingreifen. So kann verhindert werden, dass eine obere Transportkassette von einer darunter liegenden Transportkassette herunterrutscht.In a preferred embodiment, the transport cassette can also be stacked. Preferably, the transport cassettes for a transport cassette stacking direction are approximately perpendicular to the substrate stacking direction. It is advantageous if the transport cassette has on its rear wall outer side one or more stacking knobs and on the front corresponding mating recesses or vice versa, which are designed so that the stacking knobs engage in the stacking in the recesses. This can prevent an upper transport cassette from slipping off an underlying transport cassette.
In einer Weiterbildung der Erfindung ist die Transportkassette verdrehgesichert stapelbar und weist vorzugsweise mindestens eine asymmetrisch ausgebildete Stapelnoppe und eine entsprechende Ausnehmung und/oder mindestens zwei asymmetrisch angeordnete Stapelnoppen und entsprechend angeordnete Ausnehmungen auf.In one development of the invention, the transport cassette is stackable against rotation and preferably has at least one asymmetrically designed stacking tray and a corresponding recess and / or at least two asymmetrically arranged stacking knobs and correspondingly arranged recesses.
Die Stege der Transportkassette weisen einen sich verbreiternden bzw. in etwa keilförmigen Querschnitt zur Aufnahme der Substrate auf. Dabei nimmt der Querschnitt der Stege zur Innenseite der Seitenwand hin zumindest teilweise zu. Vorzugsweise ist der Querschnitt über die Länge der Stege konstant. Die keilförmigen Stege haben sich als besonders vorteilhaft erwiesen zur Verringerung der Bruchgefahr der Substrate. Dabei ragen die Stege in einer vorteilhaften Ausgestaltung im Verhältnis zum Abstand zwischen den Seitenwänden nur wenig ins Innere der Transportkassette hinein und weisen im Inneren ihre kleinste Querschnittsbreite auf.The webs of the transport cassette have a widening or approximately wedge-shaped cross section for receiving the substrates. there the cross section of the webs at least partially increases toward the inside of the side wall. Preferably, the cross section is constant over the length of the webs. The wedge-shaped webs have proven to be particularly advantageous for reducing the risk of breakage of the substrates. In this case, the webs protrude in an advantageous embodiment in relation to the distance between the side walls only slightly into the interior of the transport cassette inside and have their smallest cross-sectional width.
In einer besonders vorteilhaften Ausgestaltung erstreckt sich mindestens ein Steg in einer Ebene in etwa senkrecht zur Substrat-Stapelrichtung über einen Eckbereich von der Innenseite der Seitenwand bis hin an die Rückwand-Innenseite und weist einen gewölbten Verlauf auf. Dabei erstreckt sich die Wölbung in etwa von einem hinteren Teil der Innenseite der Seitenwand bis zu Rückwand-Innenseite und ist von oben gesehen vorzugsweise S-förmig. Es ist vorteilhaft, wenn dieser Steg bereits im Bereich der vorderen Kante der Seitenwände beginnt.In a particularly advantageous embodiment, at least one web extends in a plane approximately perpendicular to the substrate stacking direction over a corner region from the inside of the side wall up to the rear wall inside and has a curved course. In this case, the curvature extends approximately from a rear part of the inside of the side wall to the rear wall inside and is preferably S-shaped seen from above. It is advantageous if this web already begins in the region of the front edge of the side walls.
Besonders vorteilhaft ist es, wenn außerdem die Seitenwände als vollständig geschlossene Wände ausgebildet sind. Die S-förmige Ausbildung oder auch bauchige Ausbildung der Stege im Übergang von der Innenseite der Seitenwand zur Rückwand-Innenseite hat sich als besonders vorteilhaft im Hinblick auf die Verringerung von Beschädigungen der Substrate erwiesen, vor allem beim Einbringen der Substrate.It is particularly advantageous if, in addition, the side walls are designed as completely closed walls. The S-shaped formation or bulging formation of the webs in the transition from the inside of the side wall to the rear wall inside has proven to be particularly advantageous in terms of reducing damage to the substrates, especially when introducing the substrates.
Die Transportkassette kann zur einfacheren Bestimmung der Anzahl der in ihr gestapelten Substrate auch an mindestens einer Seitenwand eine von außen sichtbare Skala aufweisen, die vorzugsweise geprägt ist. Vorteilhaft ist eine in 5er- oder 10-Schritte unterteilte Skala.The transport cassette may also have on at least one side wall an externally visible scale for easier determination of the number of substrates stacked in it, which is preferably embossed. Advantageous is a scale divided into 5 or 10 steps.
In einer bevorzugten Ausführung ist die Transportkassette so ausgebildet, dass sie mittels eines abnehmbaren Griffes gehandhabt werden kann. Dabei kann der Griff zur Handhabung der Transportkassette vorzugsweise je nach Bedarf angebracht und wieder abgenommen werden, insbesondere werkzeugfrei. Es ist vorteilhaft, wenn der Griff an der Rückwand, dem Deckel oder dem Boden angebracht werden kann. In einer vorteilhaften Ausgestaltung kann der Griff in die Führungsnut eingerastet bzw. eingeklinkt werden.In a preferred embodiment, the transport cassette is designed so that it can be handled by means of a removable handle. In this case, the handle for handling the transport cassette can be preferably attached as needed and removed again, in particular tool-free. It is advantageous if the handle can be attached to the rear wall, the lid or the floor. In an advantageous embodiment, the handle can be snapped or latched into the guide groove.
In einer bevorzugten Ausgestaltung kann die Transportkassette mittels eines Verschlussdeckels verschlossen werden, vorzugsweise mittels eines verrastbaren Verschlussdeckels. Insbesondere kann die Verrastung werkzeugfrei gelöst werden. Es ist vorteilhaft, die für die Verrastung erforderlichen Rastnasen am Verschlussdeckel vorzusehen. Sie können aber auch an der Transportkassette angeordnet werden.In a preferred embodiment, the transport cassette can be closed by means of a closure lid, preferably by means of a latchable closure lid. In particular, the locking can be solved without tools. It is advantageous to provide the latching lugs required on the closure lid. But they can also be arranged on the transport cassette.
In einer Weiterbildung der Erfindung ist die Transportkassette im wesentlichen spiegelsymmetrisch ausgebildet zu einer Mittelebene senkrecht zur Substrat-Stapelrichtung und/oder zu einer Mittelebene parallel zu den Seitenwänden. Dabei sind vorzugsweise die Verdrehsicherungs-Nuten, die Ausnehmung für den RFID-Chip bzw. die Anordnung des RFID-Chips und die Stapelnoppen mit den zugehörigen Ausnehmungen unsymmetrisch ausgebildet.In one embodiment of the invention, the transport cassette is formed substantially mirror-symmetrically to a median plane perpendicular to the substrate stacking direction and / or to a median plane parallel to the side walls. In this case, the anti-rotation grooves, the recess for the RFID chip or the arrangement of the RFID chip and the stacking knobs with the associated recesses are preferably formed asymmetrically.
In einer bevorzugten Ausgestaltung ist die Transportkassette einstückig hergestellt und ein Spritzgussteil. Als Material für die Transportkassette eignet sich ein verschleißarmer Kunststoff, wie beispielsweise Recyclat Polycarbonat mit Acryl-Butadien-Styrol. Die Transportkassette ist hauptsächlich nur zum Transport von Substraten vorgesehen, nicht für die Verwendung in nasschemischen Prozessen.In a preferred embodiment, the transport cassette is made in one piece and an injection molded part. As a material for the transport cassette is a low-wear plastic, such as recyclate polycarbonate with acrylic-butadiene-styrene. The transport cassette is mainly intended only for the transport of substrates, not for use in wet chemical processes.
Ein erfindungsgemäßes Transportmittel, das zur Anordnung und zum Transport mindestens einer vorgenannten Transportkassette vorgesehen ist, weist mindestens eine zur Führungsnut der Transportkassette passende Führungsschiene auf. Besonders vorteilhaft ist es, wenn die Transportkassette so ausgebildet ist, dass sie auf einem Transportmittel sowohl mit der Deckel-Außenseite nach unten als auch mit der Boden-Außenseite nach unten zum Transportmittel transportiert werden kann.An inventive means of transport, which is provided for the arrangement and transport of at least one aforementioned transport cassette, has at least one guide rail which is suitable for the guide groove of the transport cassette. It when the transport cassette is designed so that it can be transported on a means of transport both with the lid outside down and with the bottom outside down to the means of transport is particularly advantageous.
In einer Weiterbildung der Erfindung ist das Transportmittel ein Transportwagen und weist eine Transportplatte auf zur Anordnung der Transportkassetten darauf. Dabei ist die Transportplatte ausziehbar bzw. vom Transportwagen abziehbar nach Art einer Schublade ausgebildet. Mit einer solchen Transportplatte können mit einem einzigen Handling eine Reihe von Transportkassetten gleichzeitig in ein Regal eingebracht werden. Es ist dabei nicht erforderlich, die Transportkassetten einzeln einzubringen.In one embodiment of the invention, the means of transport is a trolley and has a transport plate on the arrangement of the transport cassettes on it. In this case, the transport plate is extendable or removable from the trolley formed in the manner of a drawer. With such a transport plate, a number of transport cassettes can be simultaneously placed in a rack with a single handling. It is not necessary to introduce the transport cassettes individually.
In einer bevorzugten Ausgestaltung weist die Transportplatte des Transportmittels mindestens eine Führungsschiene auf, die auf der Transportplatte in etwa horizontal angeordnet ist zur Aufnahme von Transportkassetten mit in etwa vertikaler Orientierung der Substrat-Stapelrichtung. Auf einem solchen Transportmittel können die Transportkassetten stehend angeordnet werden.In a preferred embodiment, the transport plate of the transport means has at least one guide rail, which is arranged approximately horizontally on the transport plate for receiving transport cassettes with an approximately vertical orientation of the substrate stacking direction. On such a means of transport, the transport cassettes can be arranged upright.
In einer alternativen Ausgestaltung weist die Transportplatte des Transportmittels mindestens eine Führungsschiene auf, die auf der Transportplatte in etwa vertikal angeordnet ist zur Aufnahme von Transportkassetten mit in etwa horizontaler Orientierung der Substrat-Stapelrichtung zur liegenden Anordnung der Transportkassetten.In an alternative embodiment, the transport plate of the transport means has at least one guide rail which is arranged approximately vertically on the transport plate for receiving transport cassettes with an approximately horizontal orientation of the substrate stacking direction to the horizontal arrangement of the transport cassettes.
Es ist vorteilhaft, die Transportplatte gedämpft bzw. federnd bzw. elastisch auf dem Transportmittel zu lagern zur Verringerung der Beschädigungen der Substrate. Insbesondere für bruchempfindliche Substrate, wie beispielsweise Wafer, ist eine solche Lagerung der Transportplatte besonders vorteilhaft. It is advantageous to store the transport plate damped or resiliently or elastically on the means of transport to reduce the damage of the substrates. In particular, for fragile substrates, such as wafers, such storage of the transport plate is particularly advantageous.
In einer alternativen Ausgestaltung ist das Transportmittel ein Schienenförderer. Dabei weist der Schienenförderer mindestens eine zu einer vorgenannten, erfindungsgemäßen Transportkassette passende Führungsschiene auf und kann entlang einer Transportschiene gefördert werden. Zum Transport wird die Transportkassette am Schienenförderer angeordnet, indem mindestens die Führungsschiene des Schienenförderers in die Führungsnut der Transportkassette eingreift. Denkbar sind weitere Transportsicherungsmittel, die beispielsweise verhindern, dass die Transportkassette von der Führungsschiene abrutschen kann. Es ist besonders vorteilhaft, wenn die Substrate direkt aus der am Schienenförderer angeordneten Transportkassette an den nächsten Prozessschritt übergeben werden können bzw. umgekehrt und dies vorzugsweise automatisch durchgeführt werden kann.In an alternative embodiment, the means of transport is a rail conveyor. In this case, the rail conveyor has at least one suitable for an aforementioned, inventive transport cassette guide rail and can be conveyed along a transport rail. For transport, the transport cassette is arranged on the rail conveyor by at least the guide rail of the rail conveyor engages in the guide groove of the transport cassette. Conceivable are further transport securing means, for example, prevent the transport cassette from slipping off the guide rail. It is particularly advantageous if the substrates can be transferred directly from the arranged on the rail conveyor transport cassette to the next process step or vice versa and this can preferably be carried out automatically.
Diese und weitere Merkmale gehen außer aus den Ansprüchen auch aus der Beschreibung und den Zeichnungen hervor, wobei die einzelnen Merkmale jeweils für sich alleine oder zu mehreren in Form von Unterkombinationen bei einer Ausführung der Erfindung und auf anderen Gebieten verwirklicht sein und vorteilhafte sowie für sich schutzfähige Ausführungen darstellen können, für die hier Schutz beansprucht wird. Die Unterteilung der Anmeldung in einzelne Abschnitte und Zwischenüberschriften beschränken die unter diesen gemachten Aussagen nicht in ihrer Allgemeingültigkeit.These and other features will become apparent from the claims but also from the description and drawings, wherein the individual features each alone or more in the form of sub-combinations in an embodiment of the invention and in other areas be realized and advantageous and protectable Represent embodiments for which protection is claimed here. The subdivision of the application into individual sections and subheadings does not limit the statements made thereunder in their generality.
Kurzbeschreibung der ZeichnungenBrief description of the drawings
Ausgestaltungen der Erfindung sind in den Zeichnungen schematisch dargestellt und werden im folgenden näher erläutert. Die in den einzelnen Figuren gezeigten Ausführungen weisen teilweise Merkmale auf, die nicht in allen gezeigten Ausführungen dargestellt sind, bzw. die nicht alle gezeigten Ausgestaltungen aufweisen. In den Zeichnungen zeigen:Embodiments of the invention are shown schematically in the drawings and are explained in more detail below. The embodiments shown in the individual figures have some features that are not shown in all the embodiments shown, or not all embodiments shown have. In the drawings show:
Detaillierte Beschreibung der AusführungsbeispieleDetailed description of the embodiments
In
Des Weiteren weist die Transportkassette
Die in
Die in
Die in
In
In
In
In
Der Verschlussdeckel
In
In
Das abgebildete Transportmittel
In den
Für bestimmte Anwendungen ist es besonders vorteilhaft, wenn die Transportkassetten
In
ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG QUOTES INCLUDE IN THE DESCRIPTION
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Zitierte PatentliteraturCited patent literature
- US 4228902 [0002] US 4228902 [0002]
Claims (16)
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE201010012976 DE102010012976A1 (en) | 2010-03-22 | 2010-03-22 | Transportation cassette in transport device, used for holding and transporting substrate e.g. round wafer, stacks substrates provided one above the other and parallel to each other in substrate-stacking direction |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE201010012976 DE102010012976A1 (en) | 2010-03-22 | 2010-03-22 | Transportation cassette in transport device, used for holding and transporting substrate e.g. round wafer, stacks substrates provided one above the other and parallel to each other in substrate-stacking direction |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE102010012976A1 true DE102010012976A1 (en) | 2011-09-22 |
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ID=44585437
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE201010012976 Ceased DE102010012976A1 (en) | 2010-03-22 | 2010-03-22 | Transportation cassette in transport device, used for holding and transporting substrate e.g. round wafer, stacks substrates provided one above the other and parallel to each other in substrate-stacking direction |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
DE (1) | DE102010012976A1 (en) |
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Date | Code | Title | Description |
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