DE102010012976A1

DE102010012976A1 - Transportation cassette in transport device, used for holding and transporting substrate e.g. round wafer, stacks substrates provided one above the other and parallel to each other in substrate-stacking direction

Info

Publication number: DE102010012976A1
Application number: DE201010012976
Authority: DE
Inventors: Benjamin Krause; Marijan Strugar; Martin Magrian; Sven Worm
Original assignee: Schmid Technology Systems GmbH
Current assignee: Schmid Technology Systems GmbH
Priority date: 2010-03-22
Filing date: 2010-03-22
Publication date: 2011-09-22

Abstract

The cassette (100) has guiding groove (101) that is provided with lid (102) with lid control portion (102a), and bottom unit (105) with bottom control portion (105a). The inside portion (103i) of side walls (103) is provided with several bars (110). Several substrates provided one above the other and parallel to each other in substrate-stacking direction are stacked. An independent claim is included for transport device.

Description

Anwendungsgebiet und Stand der TechnikField of application and state of the art

Die Erfindung betrifft eine Transportkassette zum Horten und Transportieren von flachen, scheibenförmigen Substraten nach dem Oberbegriff des Anspruchs 1 und ein Transportmittel nach dem Oberbegriff des Anspruchs 12 zum Transport einer vorgenannten Transportkassette.The invention relates to a transport cassette for hoarding and transporting flat, disk-shaped substrates according to the preamble of claim 1 and a transport means according to the preamble of claim 12 for transporting an aforementioned transport cassette.

Aus dem Stand der Technik sind eine Vielzahl von Transportkassetten für flache, scheibenförmige Substrate, wie beispielsweise Wafer, bekannt. Die US 4,228,902 beschreibt eine Transportkassette für runde Wafer, die zwei Seitenwände mit parallel übereinander angeordneten Stegen an beiden Innenseiten der Seitenwände aufweist sowie mehrere Streben, welche die beiden gegenüberliegenden Seitenwände miteinander verbinden. Diese Transportkassette eignet sich nicht für einen Transport, bei dem sie unmittelbar auf einem Förderband stehend befördert wird, sie kann nur seitlich liegend auf einem Transportband transportiert werden. Dies bedeutet, dass die Substrate für einen anschließenden horizontalen Durchlaufprozess nach ihrer Entnahme aus der Transportkassette entweder mittels eines Roboters in ihrer Lageorientierung verändert werden müssen, oder dass die Transportkassette vor der Entnahme der Substrate gedreht werden muss. In beiden Fällen ist damit ein zusätzliches Handling erforderlich, um die Substrate entsprechend zu orientieren. Die Einsatzmöglichkeiten für solche Transportkassetten in automatisierten Prozessen sind daher begrenzt.A variety of transport cassettes for flat disc-shaped substrates, such as wafers, are known in the prior art. The US 4,228,902 describes a transport cassette for round wafer, which has two side walls with parallel superposed webs on both inner sides of the side walls and a plurality of struts, which connect the two opposite side walls together. This transport cassette is not suitable for transport in which it is transported directly standing on a conveyor belt, it can only be transported laterally lying on a conveyor belt. This means that the substrates must be changed in their positional orientation for a subsequent horizontal pass process after their removal from the transport cassette either by means of a robot, or that the transport cassette must be rotated before the removal of the substrates. In both cases, an additional handling is required in order to orient the substrates accordingly. The application possibilities for such transport cassettes in automated processes are therefore limited.

Aufgabe und LösungTask and solution

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine eingangs genannte Transportkassette und ein eingangs genanntes Transportmittel zu schaffen, mit denen Probleme des Standes der Technik beseitigt werden können und die insbesondere flexibel in automatisierten Produktionssystemen einsetzbar sind.The invention has for its object to provide an aforementioned transport cassette and an aforementioned means of transport, with which problems of the prior art can be eliminated and in particular are used flexibly in automated production systems.

Gelöst wird diese Aufgabe durch eine Transportkassette mit den Merkmalen des Anspruchs 1 und durch ein Transportmittel mit den Merkmalen des Anspruchs 12. Vorteilhafte und bevorzugte Ausgestaltungen der Erfindung sind Gegenstand der weiteren Ansprüche und werden im Folgenden näher erläutert. Der Wortlaut der Ansprüche wird durch ausdrückliche Bezugnahme zum Inhalt der Beschreibung gemacht. Manche der nachfolgenden, jedoch nicht erschöpfend aufgezählten Merkmale und Eigenschaften treffen sowohl auf eine Transportkassette als auch auf ein Transportmittel zum Transport einer solchen Transportkassette zu. Sie werden teilweise nur einmal beschrieben, gelten jedoch unabhängig voneinander sowohl für die Transportkassette als auch für das Transportmittel.This object is achieved by a transport cassette with the features of claim 1 and by a means of transport with the features of claim 12. Advantageous and preferred embodiments of the invention are the subject of further claims and are explained in more detail below. The wording of the claims is incorporated herein by express reference. Some of the following, but not exhaustive, features and properties apply to both a transport cassette and a transport means for transporting such a transport cassette. They are sometimes described only once, but apply independently for both the transport cassette and for the means of transport.

Es ist eine Transportkassette zum Horten und Transportieren von flachen, scheibenförmigen Substraten, wie beispielsweise Wafern, vorgesehen. Dabei weist die Transportkassette einen Deckel mit einer Deckel-Außenseite sowie einen Boden mit einer Boden-Außenseite auf. Des Weiteren weist die Transportkassette eine Rückwand mit einer Rückwand-Innenseite und einer Rückwand-Außenseite sowie zwei Seitenwände mit jeweils einer Innen- und einer Außenseite auf. An der Innenseite jeder Seitenwand sind mehrere Stege übereinander angeordnet. Dabei sind die Stege so ausgebildet und angeordnet, dass mehrere Substrate in der Transportkassette übereinander und mit Abstand zueinander parallel in einer Substrat-Stapelrichtung gestapelt werden können. Üblicherweise werden die Substrate dabei senkrecht zur Substratebene gestapelt. Zum Ein- bzw. Ausbringen der Substrate weist die Transportkassette eine offene Vorderseite auf. Dabei ist es nicht zwingend erforderlich, dass die Vorderseite über ihre gesamte Ausdehnung offen ausgebildet ist. Es müssen nur über die Vorderseite die Substrate ein- bzw. ausgebracht werden können entsprechend einer vorgesehenen Substrat-Stapelhöhe in der Transportkassette.There is provided a transport cassette for hoarding and transporting flat, disc-shaped substrates, such as wafers. In this case, the transport cassette has a lid with a lid outside and a bottom with a bottom outside. Furthermore, the transport cassette has a rear wall with a rear wall inside and a rear wall outside and two side walls, each with an inside and an outside. On the inside of each side wall a plurality of webs are arranged one above the other. In this case, the webs are designed and arranged such that a plurality of substrates in the transport cassette can be stacked one above the other and at a distance from one another in parallel in a substrate stacking direction. Usually, the substrates are stacked perpendicular to the substrate plane. For loading and unloading of the substrates, the transport cassette has an open front side. It is not absolutely necessary that the front side is open over its entire extent. It must only on the front of the substrates on or can be applied according to a planned substrate stack height in the transport cassette.

Eine erfindungsgemäße Transportkassette weist im Deckel an der Deckel-Außenseite und/oder im Boden an der Boden-Außenseite eine Führungsnut auf. Die Führungsnut ist, vorteilhaft mittig, im Deckel bzw. im Boden angeordnet und besonders vorteilhaft als T-Nut ausgebildet, wobei der Mittelsteg des „T” zur Außenseite des Deckels oder des Bodens zeigt bzw. offen ist. Insbesondere verläuft sie von der Vorderseite zur Rückseite hin, also parallel zur Substratein- bzw. Substratausbringrichtung. Weist eine Transportkassette sowohl eine Führungsnut im Deckel als auch eine Führungsnut im Boden auf, so haben vorzugsweise beide Führungsnuten die gleichen geometrischen Abmessungen und sind an gleicher Stelle angeordnet. Bei Anordnung der Transportkassette mit der Deckel-Außenseite oder der Boden-Außenseite auf einem entsprechenden Transportmittel mit einer zur Führungsnut passend ausgebildeten Führungsschiene kann die Transportkassette durch das Zusammenwirken von Führungsschiene und Führungsnut entlang der Führungsschiene geführt und gleichzeitig stabilisiert werden. Gegenüber der herkömmlichen Transportmethode, die Transportkassette einfach auf einem Transportband anzuordnen, hat die erfindungsgemäße Transportkassette den Vorteil, dass die Transportkassette bei einem Transport mit einem Transportmittel mit einer passenden Führungsschiene nicht umkippen kann oder während des Transports um die Längsachse verdreht werden kann. Auf diese Weise kann die Transportsicherheit für die Substrate wesentlich verbessert werden und die Bruchgefahr reduziert werden. Dies ist insbesondere beim Transport von bruchempfindlichen Wafern wichtig.A transport cassette according to the invention has a guide groove in the lid on the outside of the lid and / or in the bottom on the bottom outside. The guide groove is advantageously centered, arranged in the lid or in the bottom and particularly advantageously designed as a T-slot, wherein the central web of the "T" to the outside of the lid or the floor shows or is open. In particular, it runs from the front to the back, ie parallel to the substrate insertion or substrate application direction. If a transport cassette has both a guide groove in the cover and a guide groove in the bottom, then preferably both guide grooves have the same geometric dimensions and are arranged at the same location. When arranging the transport cassette with the lid outside or the bottom outside on a corresponding transport with a guide groove designed to be suitable guide rail, the transport cassette can be guided by the interaction of guide rail and guide along the guide rail and stabilized at the same time. Compared to the conventional transport method to simply arrange the transport cassette on a conveyor belt, the transport cassette according to the invention has the advantage that the transport cassette can not tip over during transport with a transport with a matching guide rail or can be rotated during transport about the longitudinal axis. In this way, the transport safety for the substrates can be significantly improved and the risk of breakage can be reduced. This is particularly important in the transport of fragile wafers.

Die Transportkassette kann auch zusätzlich eine Öffnung in der Rückwand aufweisen, so dass eine Handhabungseinrichtung, auch mit einem Aufsatz, von der Rückwand her in das Innere der Transportkassette einfahren kann, beispielsweise zur Qualitätsprüfung. Es ist jedoch vorteilhaft, wenn sich diese Öffnung in der Rückwand nicht wie an der Vorderseite über die gesamte Breite der Transportkassette parallel zur Substratebene erstreckt, sondern vorwiegend über den Mittenbereich. Als vorteilhaft haben sich außerdem vollständig geschlossene Seitenwände herausgestellt, da diese das Verkanten der Substrate zwischen den Stegen minimieren und damit die Bruchgefahr verringern. The transport cassette may also additionally have an opening in the rear wall, so that a handling device, including with an attachment, can enter from the rear wall into the interior of the transport cassette, for example for quality inspection. However, it is advantageous if this opening in the rear wall does not extend parallel to the substrate plane over the entire width of the transport cassette as on the front side, but predominantly over the central area. Fully closed sidewalls have also proven to be advantageous since they minimize the tilting of the substrates between the webs and thus reduce the risk of breakage.

Des Weiteren ist es vorteilhaft, wenn die Transportkassette an ihrer Deckel-Außenseite und ihrer Boden-Außenseite mindestens eine, vorzugsweise zwei ausreichend große Kontaktflächen aufweist. Die Kontaktflächen sollten dabei seitlich von der Führungsnut angeordnet sein und mindestens so groß sein, dass für den Transport einer voll gestapelten Transportkassette auf einem Transportband eine ausreichende Kraftübertragung durch einen flächigen Kontakt erzielt wird und das Transportband nicht schlupft.Furthermore, it is advantageous if the transport cassette has at least one, preferably two, sufficiently large contact surfaces on its cover outer side and its bottom outside. The contact surfaces should be arranged laterally from the guide groove and be at least so large that for the transport of a fully stacked transport cassette on a conveyor belt sufficient force transmission is achieved by a flat contact and the conveyor belt does not slip.

Zum Ein- und Ausbringen der Substrate sollten der Deckel und der Boden jeweils eine trapezförmige Ausnehmung von der Vorderseite her ausgehend aufweisen, so dass mittels eines Gurtfördersystems in Verbindung mit der Anordnung der Transportkassette auf einer Hub-Senk-Vorrichtung die Substrate „schubladenweise” zwischen den Stegen eingebracht bzw. entnommen werden können.For insertion and removal of the substrates, the lid and the bottom should each have a trapezoidal recess starting from the front, so that by means of a Gurtfördersystems in connection with the arrangement of the transport cassette on a lifting-lowering device, the substrates "drawer" between the Webs can be inserted or removed.

In einer Weiterbildung der Erfindung weist die Transportkassette an ihrer Deckel-Außenseite und/oder ihrer Boden-Außenseite zusätzlich mindestens eine Verdrehsicherung auf. Die Verdrehsicherung ist dabei vorzugsweise eine Verdrehsicherungs-Nut, welche parallel zur Führungsnut ebenfalls im Deckel oder im Boden angeordnet ist. Die Verdrehsicherung soll in Verbindung mit einer geeignet ausgestalteten Produktionsanlage verhindern, dass eine Transportkassette einem nachfolgenden Prozessschritt falsch herum zugeführt wird, also beispielsweise mit dem Deckel nach unten statt nach oben. Dies ist insbesondere wichtig, wenn die Substrate einem Prozess zugeführt werden, bei dem nur eine der Substratoberflächen behandelt werden soll.In one development of the invention, the transport cassette additionally has at least one anti-twist device on its outer side of the cover and / or on its bottom outside. The rotation is preferably an anti-rotation groove, which is also arranged parallel to the guide groove in the lid or in the ground. The rotation is intended to prevent in conjunction with a suitably designed production plant that a transport cassette is fed to a subsequent process step the wrong way around, so for example with the lid down instead of up. This is particularly important when the substrates are fed to a process where only one of the substrate surfaces is to be treated.

In einer besonders bevorzugten Ausführung weist eine Transportkassette eine Verdrehsicherungs-Nut an der Deckel-Außenseite und eine Verdrehsicherungs-Nut der Boden-Außenseite auf. Damit kann die Transportkassette beidseitig genutzt werden, „sunny side up” oder „sunny side down”. Dabei kann die Verdrehsicherungs-Nut der Deckel-Außenseite einen anderen Nut-Mitten-Abstand zur Mitte der Führungsnut in der Deckel-Außenseite aufweisen als die Verdrehsicherungs-Nut der Boden-Außenseite zur Mitte der Führungsnut in der Boden-Außenseite. Es ist besonders vorteilhaft, wenn die Verdrehsicherungs-Nut im Deckel und die Verdrehsicherungs-Nut im Boden eine gleiche Nutbreite aufweisen, sie können aber auch unterschiedlich sein.In a particularly preferred embodiment, a transport cassette has an anti-rotation groove on the outside of the cover and an anti-rotation groove on the bottom outside. Thus, the transport cassette can be used on both sides, "sunny side up" or "sunny side down". Here, the anti-rotation groove of the lid outer side may have a different groove-center distance to the center of the guide groove in the lid outer side than the anti-rotation groove of the bottom outside to the center of the guide groove in the bottom outside. It is particularly advantageous if the anti-rotation groove in the lid and the anti-rotation groove in the bottom have a same groove width, but they can also be different.

In einer Weiterbildung der Erfindung ist die Transportkassette zur Aufnahme mindestens eines RFID-Chips ausgebildet. Dazu weist die Transportkassette mindestens eine entsprechende Ausnehmung zur Anordnung des RFID-Chips auf. Insbesondere ist die Transportkassette so ausgebildet, dass der RFID-Chip bei Bedarf in der Ausnehmung angeordnet und bei fehlendem Bedarf wieder entfernt werden kann, vorzugsweise beschädigungsfrei, insbesondere nur mittels eines Werkzeugs. Durch die Anordnung eines RFID-Chips in der Transportkassette kann sie im Produktionsprozess eindeutig identifiziert werden. Denkbar sind an dieser Stelle verschiedene „Intelligenzen” des RFID-Chips. Im einfachsten Fall dient der RFID-Chip lediglich zur Identifikation der zugehörigen Transportkassette. Denkbar ist aber auch, dass der RFID-Chip über jedes in die Transportkassette eingebrachte Substrat Informationen speichert, wie beispielsweise die bisher erfolgten Prozessschritte sowie die noch durchzuführenden Prozessschritte oder Ergebnisse aus durchgeführten Qualitätsprüfungen. Je nach Ausbildung des RFID-Chips und einer zugehörigen zentralen Anlagen- und Prozesssteuerung können auf diese Weise die unterschiedlichsten Konzepte für Prozessschritte realisiert werden.In a development of the invention, the transport cassette is designed to accommodate at least one RFID chip. For this purpose, the transport cassette has at least one corresponding recess for arranging the RFID chip. In particular, the transport cassette is designed so that the RFID chip can be arranged in the recess if necessary and can be removed again in the absence of need, preferably without damage, in particular only by means of a tool. By arranging an RFID chip in the transport cassette, it can be clearly identified in the production process. Conceivable at this point are various "intelligences" of the RFID chip. In the simplest case, the RFID chip only serves to identify the associated transport cassette. It is also conceivable, however, for the RFID chip to store information about each substrate introduced into the transport cassette, such as, for example, the process steps hitherto carried out, as well as the process steps yet to be carried out or the results of quality checks carried out. Depending on the design of the RFID chip and an associated central plant and process control, the most diverse concepts for process steps can be realized in this way.

In einer bevorzugten Ausführung kann die Transportkassette auch gestapelt werden. Vorzugsweise sind die Transportkassetten für eine Transportkassetten-Stapelrichtung ungefähr senkrecht zur Substrat-Stapelrichtung ausgebildet. Dabei ist es vorteilhaft, wenn die Transportkassette an ihrer Rückwand-Außenseite eine oder mehrere Stapelnoppen aufweist und an der Vorderseite entsprechende, passende Ausnehmungen oder umgekehrt, wobei diese so ausgebildet sind, dass die Stapelnoppen beim Stapeln in die Ausnehmungen eingreifen. So kann verhindert werden, dass eine obere Transportkassette von einer darunter liegenden Transportkassette herunterrutscht.In a preferred embodiment, the transport cassette can also be stacked. Preferably, the transport cassettes for a transport cassette stacking direction are approximately perpendicular to the substrate stacking direction. It is advantageous if the transport cassette has on its rear wall outer side one or more stacking knobs and on the front corresponding mating recesses or vice versa, which are designed so that the stacking knobs engage in the stacking in the recesses. This can prevent an upper transport cassette from slipping off an underlying transport cassette.

In einer Weiterbildung der Erfindung ist die Transportkassette verdrehgesichert stapelbar und weist vorzugsweise mindestens eine asymmetrisch ausgebildete Stapelnoppe und eine entsprechende Ausnehmung und/oder mindestens zwei asymmetrisch angeordnete Stapelnoppen und entsprechend angeordnete Ausnehmungen auf.In one development of the invention, the transport cassette is stackable against rotation and preferably has at least one asymmetrically designed stacking tray and a corresponding recess and / or at least two asymmetrically arranged stacking knobs and correspondingly arranged recesses.

Die Stege der Transportkassette weisen einen sich verbreiternden bzw. in etwa keilförmigen Querschnitt zur Aufnahme der Substrate auf. Dabei nimmt der Querschnitt der Stege zur Innenseite der Seitenwand hin zumindest teilweise zu. Vorzugsweise ist der Querschnitt über die Länge der Stege konstant. Die keilförmigen Stege haben sich als besonders vorteilhaft erwiesen zur Verringerung der Bruchgefahr der Substrate. Dabei ragen die Stege in einer vorteilhaften Ausgestaltung im Verhältnis zum Abstand zwischen den Seitenwänden nur wenig ins Innere der Transportkassette hinein und weisen im Inneren ihre kleinste Querschnittsbreite auf.The webs of the transport cassette have a widening or approximately wedge-shaped cross section for receiving the substrates. there the cross section of the webs at least partially increases toward the inside of the side wall. Preferably, the cross section is constant over the length of the webs. The wedge-shaped webs have proven to be particularly advantageous for reducing the risk of breakage of the substrates. In this case, the webs protrude in an advantageous embodiment in relation to the distance between the side walls only slightly into the interior of the transport cassette inside and have their smallest cross-sectional width.

In einer besonders vorteilhaften Ausgestaltung erstreckt sich mindestens ein Steg in einer Ebene in etwa senkrecht zur Substrat-Stapelrichtung über einen Eckbereich von der Innenseite der Seitenwand bis hin an die Rückwand-Innenseite und weist einen gewölbten Verlauf auf. Dabei erstreckt sich die Wölbung in etwa von einem hinteren Teil der Innenseite der Seitenwand bis zu Rückwand-Innenseite und ist von oben gesehen vorzugsweise S-förmig. Es ist vorteilhaft, wenn dieser Steg bereits im Bereich der vorderen Kante der Seitenwände beginnt.In a particularly advantageous embodiment, at least one web extends in a plane approximately perpendicular to the substrate stacking direction over a corner region from the inside of the side wall up to the rear wall inside and has a curved course. In this case, the curvature extends approximately from a rear part of the inside of the side wall to the rear wall inside and is preferably S-shaped seen from above. It is advantageous if this web already begins in the region of the front edge of the side walls.

Besonders vorteilhaft ist es, wenn außerdem die Seitenwände als vollständig geschlossene Wände ausgebildet sind. Die S-förmige Ausbildung oder auch bauchige Ausbildung der Stege im Übergang von der Innenseite der Seitenwand zur Rückwand-Innenseite hat sich als besonders vorteilhaft im Hinblick auf die Verringerung von Beschädigungen der Substrate erwiesen, vor allem beim Einbringen der Substrate.It is particularly advantageous if, in addition, the side walls are designed as completely closed walls. The S-shaped formation or bulging formation of the webs in the transition from the inside of the side wall to the rear wall inside has proven to be particularly advantageous in terms of reducing damage to the substrates, especially when introducing the substrates.

Die Transportkassette kann zur einfacheren Bestimmung der Anzahl der in ihr gestapelten Substrate auch an mindestens einer Seitenwand eine von außen sichtbare Skala aufweisen, die vorzugsweise geprägt ist. Vorteilhaft ist eine in 5er- oder 10-Schritte unterteilte Skala.The transport cassette may also have on at least one side wall an externally visible scale for easier determination of the number of substrates stacked in it, which is preferably embossed. Advantageous is a scale divided into 5 or 10 steps.

In einer bevorzugten Ausführung ist die Transportkassette so ausgebildet, dass sie mittels eines abnehmbaren Griffes gehandhabt werden kann. Dabei kann der Griff zur Handhabung der Transportkassette vorzugsweise je nach Bedarf angebracht und wieder abgenommen werden, insbesondere werkzeugfrei. Es ist vorteilhaft, wenn der Griff an der Rückwand, dem Deckel oder dem Boden angebracht werden kann. In einer vorteilhaften Ausgestaltung kann der Griff in die Führungsnut eingerastet bzw. eingeklinkt werden.In a preferred embodiment, the transport cassette is designed so that it can be handled by means of a removable handle. In this case, the handle for handling the transport cassette can be preferably attached as needed and removed again, in particular tool-free. It is advantageous if the handle can be attached to the rear wall, the lid or the floor. In an advantageous embodiment, the handle can be snapped or latched into the guide groove.

In einer bevorzugten Ausgestaltung kann die Transportkassette mittels eines Verschlussdeckels verschlossen werden, vorzugsweise mittels eines verrastbaren Verschlussdeckels. Insbesondere kann die Verrastung werkzeugfrei gelöst werden. Es ist vorteilhaft, die für die Verrastung erforderlichen Rastnasen am Verschlussdeckel vorzusehen. Sie können aber auch an der Transportkassette angeordnet werden.In a preferred embodiment, the transport cassette can be closed by means of a closure lid, preferably by means of a latchable closure lid. In particular, the locking can be solved without tools. It is advantageous to provide the latching lugs required on the closure lid. But they can also be arranged on the transport cassette.

In einer Weiterbildung der Erfindung ist die Transportkassette im wesentlichen spiegelsymmetrisch ausgebildet zu einer Mittelebene senkrecht zur Substrat-Stapelrichtung und/oder zu einer Mittelebene parallel zu den Seitenwänden. Dabei sind vorzugsweise die Verdrehsicherungs-Nuten, die Ausnehmung für den RFID-Chip bzw. die Anordnung des RFID-Chips und die Stapelnoppen mit den zugehörigen Ausnehmungen unsymmetrisch ausgebildet.In one embodiment of the invention, the transport cassette is formed substantially mirror-symmetrically to a median plane perpendicular to the substrate stacking direction and / or to a median plane parallel to the side walls. In this case, the anti-rotation grooves, the recess for the RFID chip or the arrangement of the RFID chip and the stacking knobs with the associated recesses are preferably formed asymmetrically.

In einer bevorzugten Ausgestaltung ist die Transportkassette einstückig hergestellt und ein Spritzgussteil. Als Material für die Transportkassette eignet sich ein verschleißarmer Kunststoff, wie beispielsweise Recyclat Polycarbonat mit Acryl-Butadien-Styrol. Die Transportkassette ist hauptsächlich nur zum Transport von Substraten vorgesehen, nicht für die Verwendung in nasschemischen Prozessen.In a preferred embodiment, the transport cassette is made in one piece and an injection molded part. As a material for the transport cassette is a low-wear plastic, such as recyclate polycarbonate with acrylic-butadiene-styrene. The transport cassette is mainly intended only for the transport of substrates, not for use in wet chemical processes.

Ein erfindungsgemäßes Transportmittel, das zur Anordnung und zum Transport mindestens einer vorgenannten Transportkassette vorgesehen ist, weist mindestens eine zur Führungsnut der Transportkassette passende Führungsschiene auf. Besonders vorteilhaft ist es, wenn die Transportkassette so ausgebildet ist, dass sie auf einem Transportmittel sowohl mit der Deckel-Außenseite nach unten als auch mit der Boden-Außenseite nach unten zum Transportmittel transportiert werden kann.An inventive means of transport, which is provided for the arrangement and transport of at least one aforementioned transport cassette, has at least one guide rail which is suitable for the guide groove of the transport cassette. It when the transport cassette is designed so that it can be transported on a means of transport both with the lid outside down and with the bottom outside down to the means of transport is particularly advantageous.

In einer Weiterbildung der Erfindung ist das Transportmittel ein Transportwagen und weist eine Transportplatte auf zur Anordnung der Transportkassetten darauf. Dabei ist die Transportplatte ausziehbar bzw. vom Transportwagen abziehbar nach Art einer Schublade ausgebildet. Mit einer solchen Transportplatte können mit einem einzigen Handling eine Reihe von Transportkassetten gleichzeitig in ein Regal eingebracht werden. Es ist dabei nicht erforderlich, die Transportkassetten einzeln einzubringen.In one embodiment of the invention, the means of transport is a trolley and has a transport plate on the arrangement of the transport cassettes on it. In this case, the transport plate is extendable or removable from the trolley formed in the manner of a drawer. With such a transport plate, a number of transport cassettes can be simultaneously placed in a rack with a single handling. It is not necessary to introduce the transport cassettes individually.

In einer bevorzugten Ausgestaltung weist die Transportplatte des Transportmittels mindestens eine Führungsschiene auf, die auf der Transportplatte in etwa horizontal angeordnet ist zur Aufnahme von Transportkassetten mit in etwa vertikaler Orientierung der Substrat-Stapelrichtung. Auf einem solchen Transportmittel können die Transportkassetten stehend angeordnet werden.In a preferred embodiment, the transport plate of the transport means has at least one guide rail, which is arranged approximately horizontally on the transport plate for receiving transport cassettes with an approximately vertical orientation of the substrate stacking direction. On such a means of transport, the transport cassettes can be arranged upright.

In einer alternativen Ausgestaltung weist die Transportplatte des Transportmittels mindestens eine Führungsschiene auf, die auf der Transportplatte in etwa vertikal angeordnet ist zur Aufnahme von Transportkassetten mit in etwa horizontaler Orientierung der Substrat-Stapelrichtung zur liegenden Anordnung der Transportkassetten.In an alternative embodiment, the transport plate of the transport means has at least one guide rail which is arranged approximately vertically on the transport plate for receiving transport cassettes with an approximately horizontal orientation of the substrate stacking direction to the horizontal arrangement of the transport cassettes.

Es ist vorteilhaft, die Transportplatte gedämpft bzw. federnd bzw. elastisch auf dem Transportmittel zu lagern zur Verringerung der Beschädigungen der Substrate. Insbesondere für bruchempfindliche Substrate, wie beispielsweise Wafer, ist eine solche Lagerung der Transportplatte besonders vorteilhaft. It is advantageous to store the transport plate damped or resiliently or elastically on the means of transport to reduce the damage of the substrates. In particular, for fragile substrates, such as wafers, such storage of the transport plate is particularly advantageous.

In einer alternativen Ausgestaltung ist das Transportmittel ein Schienenförderer. Dabei weist der Schienenförderer mindestens eine zu einer vorgenannten, erfindungsgemäßen Transportkassette passende Führungsschiene auf und kann entlang einer Transportschiene gefördert werden. Zum Transport wird die Transportkassette am Schienenförderer angeordnet, indem mindestens die Führungsschiene des Schienenförderers in die Führungsnut der Transportkassette eingreift. Denkbar sind weitere Transportsicherungsmittel, die beispielsweise verhindern, dass die Transportkassette von der Führungsschiene abrutschen kann. Es ist besonders vorteilhaft, wenn die Substrate direkt aus der am Schienenförderer angeordneten Transportkassette an den nächsten Prozessschritt übergeben werden können bzw. umgekehrt und dies vorzugsweise automatisch durchgeführt werden kann.In an alternative embodiment, the means of transport is a rail conveyor. In this case, the rail conveyor has at least one suitable for an aforementioned, inventive transport cassette guide rail and can be conveyed along a transport rail. For transport, the transport cassette is arranged on the rail conveyor by at least the guide rail of the rail conveyor engages in the guide groove of the transport cassette. Conceivable are further transport securing means, for example, prevent the transport cassette from slipping off the guide rail. It is particularly advantageous if the substrates can be transferred directly from the arranged on the rail conveyor transport cassette to the next process step or vice versa and this can preferably be carried out automatically.

Diese und weitere Merkmale gehen außer aus den Ansprüchen auch aus der Beschreibung und den Zeichnungen hervor, wobei die einzelnen Merkmale jeweils für sich alleine oder zu mehreren in Form von Unterkombinationen bei einer Ausführung der Erfindung und auf anderen Gebieten verwirklicht sein und vorteilhafte sowie für sich schutzfähige Ausführungen darstellen können, für die hier Schutz beansprucht wird. Die Unterteilung der Anmeldung in einzelne Abschnitte und Zwischenüberschriften beschränken die unter diesen gemachten Aussagen nicht in ihrer Allgemeingültigkeit.These and other features will become apparent from the claims but also from the description and drawings, wherein the individual features each alone or more in the form of sub-combinations in an embodiment of the invention and in other areas be realized and advantageous and protectable Represent embodiments for which protection is claimed here. The subdivision of the application into individual sections and subheadings does not limit the statements made thereunder in their generality.

Kurzbeschreibung der ZeichnungenBrief description of the drawings

Ausgestaltungen der Erfindung sind in den Zeichnungen schematisch dargestellt und werden im folgenden näher erläutert. Die in den einzelnen Figuren gezeigten Ausführungen weisen teilweise Merkmale auf, die nicht in allen gezeigten Ausführungen dargestellt sind, bzw. die nicht alle gezeigten Ausgestaltungen aufweisen. In den Zeichnungen zeigen:Embodiments of the invention are shown schematically in the drawings and are explained in more detail below. The embodiments shown in the individual figures have some features that are not shown in all the embodiments shown, or not all embodiments shown have. In the drawings show:

1 eine erfindungsgemäße Transportkassette, 1 a transport cassette according to the invention,

2 ein alternatives Ausführungsbeispiel einer Transportkassette mit vergrößerter Standfläche, 2 an alternative embodiment of a transport cassette with increased footprint,

3 einen vergrößerten Ausschnitt aus 1 in Rückansicht, 3 an enlarged section 1 in rear view,

4 einen vergrößerten Ausschnitt aus 1 in Rückansicht mit einer Ausnehmung für einen RFID-Chip und einem darin angeordneten RFID-Chip, 4 an enlarged section 1 in rear view with a recess for an RFID chip and an RFID chip arranged therein,

5 und 5a die Transportkassette aus 1 ohne Verschlussdeckel vorne und mit Verschlussdeckel vorne, 5 and 5a the transport cassette off 1 without cover at the front and with cover at the front,

6 einen Schnitt durch die Transportkassette aus 1 mit der horizontalen Mittelebene als Schnittebene 6 a section through the transport cassette 1 with the horizontal midplane as the cutting plane

7 einen Transportwagen als Transportmittel mit horizontal angeordneten Führungsschienen, 7 a transport vehicle as a means of transport with horizontally arranged guide rails,

8 und 8a einen Transportwagen als Transportmittel mit vertikal angeordneten Führungsschienen, 8th and 8a a transport vehicle as a means of transport with vertically arranged guide rails,

9 einen Transportwagen als Transportmittel zur Anordnung von Transportkassetten auf der Transportplatte, und 9 a trolley as a means of transport for the arrangement of transport cassettes on the transport plate, and

10 ein in eine Produktionsanlage integriertes Schienenfördersystem. 10 a rail conveyor integrated into a production facility.

Detaillierte Beschreibung der AusführungsbeispieleDetailed description of the embodiments

In 1 ist eine erfindungsgemäße Transportkassette 100 dargestellt. Die Transportkassette 100 weist einen Deckel 102, zwei Seitenwände 103, eine Rückwand 104 und einen Boden 105 auf. Im Deckel 102 an der Deckel-Außenseite 102a weist die Transportkassette 100 eine Führungsnut 101 sowie eine Verdrehsicherungs-Nut 109 auf. In diesem Ausführungsbeispiel ist die Führungsnut 101 als T-Nut ausgebildet und die Verdrehsicherungs-Nut 109 als einfache rechteckige Nut. Der Deckel 102 weist ferner an seiner Deckel-Außenseite 102a zwei Kontaktflächen 121 auf. Im Falle eines direkten Transports der Transportkassette 100 auf einem Transportband liegen die Kontaktflächen 121 flächig auf dem Transportband auf. Für den Transport einer voll beladenen Transportkassette 100 unmittelbar auf dem Transportband müssen die Kontaktflächen 121 für eine ausreichende, flächige Kraftübertragung entsprechend dimensioniert sein. Der Boden 105 weist diese Kontaktflächen ebenfalls auf, sie sind jedoch nicht dargestellt.In 1 is a transport cassette according to the invention 100 shown. The transport cassette 100 has a lid 102 , two side walls 103 , a back wall 104 and a floor 105 on. In the lid 102 on the lid outside 102 has the transport cassette 100 a guide groove 101 as well as an anti-rotation groove 109 on. In this embodiment, the guide groove 101 designed as a T-slot and the anti-rotation groove 109 as a simple rectangular groove. The lid 102 also has on its lid outside 102 two contact surfaces 121 on. In case of direct transport of the transport cassette 100 on a conveyor belt are the contact surfaces 121 flat on the conveyor belt. For transporting a fully loaded transport cassette 100 Immediately on the conveyor belt must be the contact surfaces 121 be dimensioned accordingly for a sufficient, flat power transmission. The floor 105 has these contact surfaces also, but they are not shown.

Des Weiteren weist die Transportkassette 100 an den Innenseiten 103i der Seitenwände 103 mehrere parallel übereinander angeordnete Stege 110 auf. Dabei verlaufen diese Stege 110 von einer offenen Vorderseite der Transportkassette 100 entlang der Innenseiten der Seitenwände 103i zur Rückwand-Innenseite 104i. Des weiteren sind die Stege 110 in einem Übergangsbereich von den Innenseiten 103i zu einer Rückwand-Innenseite 104i S-förmig ausgebildet bzw. verlaufen in einem Bogen. Die Stege 110 weisen ferner einen keilförmigen Querschnitt auf, der zur Innenseite 103i jeweils zunimmt.Furthermore, the transport cassette 100 on the insides 103i the side walls 103 several parallel superposed webs 110 on. These webs run 110 from an open front of the transport cassette 100 along the insides of the sidewalls 103i to the back wall inside 104i , Furthermore, the webs 110 in a transitional area of the insides 103i to a back wall inside 104i S-shaped or extend in an arc. The bridges 110 also have a wedge-shaped cross-section, the inside 103i each increases.

Die in 1 dargestellte Transportkassette 100 kann für einen platzsparenden Transport auf einer anderen Transportkassette gestapelt werden. Um die Stapeleigenschaften der Transportkassette 100 zu verbessern, weist die Transportkassette 100 an einer Rückwand-Außenseite 104a vier Stapelnoppen 106 auf. Die Anzahl der Stapelnoppen 106 und auch deren Ausgestaltung, wie beispielsweise Form und Dimension, kann je nach Bedarf variiert werden, vorzugsweise sind jedoch vier Stapelnoppen 106 vorgesehen, an jedem Eckbereich eine. Das Ausführungsbeispiel in 1 weist vier würfelförmige Stapelnoppen 106 auf. Entsprechend der Ausbildung der Stapelnoppen 106 an der Rückwand 104 weist die Transportkassette 100 an ihrer Vorderseite dazu passende Ausnehmungen 107 auf, in welche die Stapelnoppen 106 eingreifen können.In the 1 illustrated transport cassette 100 Can be stacked on another transport cassette for space-saving transportation. To the stacking properties of the transport cassette 100 to improve, has the transport cassette 100 on a back wall outside 104a four stacking knobs 106 on. The number of stacking knobs 106 and also their design, such as shape and dimension, can be varied as needed, but preferably there are four stack naps 106 provided, at each corner area one. The embodiment in 1 has four cube-shaped stacking knobs 106 on. According to the education of pile lugs 106 on the back wall 104 has the transport cassette 100 on its front matching recesses 107 into which the stacking knobs 106 can intervene.

Die in 1 beispielhaft gezeigte Transportkassette 100 ist zum Liegendstapeln ausgebildet, d. h. dass die Substrat-Stapelrichtung 108 beim Stapeln der Transportkassetten 100 horizontal orientiert ist, und nicht vertikal, wie in 1 dargestellt.In the 1 exemplified transport cassette 100 is designed for horizontal stacking, ie that the substrate stacking direction 108 when stacking the transport cassettes 100 oriented horizontally, and not vertically, as in 1 shown.

Die in 1 abgebildete Transportkassette 100 ist im wesentlichen spiegelsymmetrisch einerseits zu ihrer vertikalen Mittelebene 114a, die sich parallel zu den Seitenwänden 103 erstreckt und andererseits im wesentlichen spiegelsymmetrisch zu ihrer horizontalen Mittelebene 114b, die sich senkrecht zur Substrat-Stapelrichtung 108 erstreckt. Lediglich die Verdrehsicherungs-Nut 109 im Deckel und eine hier nicht dargestellte, entsprechende Verdrehsicherungs-Nut im Boden 105, die Stapelnoppen 106 und die zugehörigen Ausnehmungen 107 und die Ausnehmung 122 mit dem RFID-Chip 123 (siehe 4) sind von der Symmetrie ausgenommen. Die Verdrehsicherungs-Nuten 109 sind jeweils nur auf einer Seite neben der Führungsnut 101 angeordnet.In the 1 pictured transport cassette 100 is essentially mirror-symmetrical on the one hand to its vertical center plane 114a , which are parallel to the side walls 103 extends and on the other hand substantially mirror-symmetrical to its horizontal center plane 114b , which are perpendicular to the substrate stacking direction 108 extends. Only the anti-rotation groove 109 in the lid and a not shown, corresponding anti-rotation groove in the ground 105 , the stacking knickers 106 and the associated recesses 107 and the recess 122 with the RFID chip 123 (please refer 4 ) are excluded from symmetry. The anti-rotation grooves 109 are each only on one side next to the guide groove 101 arranged.

In 3 ist ein vergrößerter Ausschnitt der Transportkassette 100 aus 1 in Rückansicht dargestellt. Die Rückwand 104 weist dabei eine Öffnung 113 auf, beispielsweise zum Hineinfahren von Handhabungsgeräten in die Transportkassette 100 von der Rückwand 104 aus. In dieser Abbildung sind die Stapelnoppen 106 sowie die T-förmige Führungsnut 101 und die Verdrehsicherungs-Nut 109 mit ihrem rechteckigen Querschnitt gut zu erkennen. Für eine wirksame Verdrehsicherung ist es besonders vorteilhaft, wenn sich die Verdrehsicherungs-Nut 109 im Deckel 102 und die hier nicht dargestellte Verdrehsicherungs-Nut im Boden 105 in ihrem Nut-Mitten-Abstand 118 unterscheiden. Dabei ist der Abstand zwischen der Nutmitte 115 der Führungsnut 101 und der Nutmitte 116 der Verdrehsicherungs-Nut 109 an der Deckel-Außenseite 102a und der Boden-Außenseite 105a jeweils unterschiedlich ausgebildet. Die Nutbreiten 117 der Verdrehsicherungs-Nuten 109 sind im Deckel 102 und im Boden 105 vorzugsweise gleich.In 3 is an enlarged section of the transport cassette 100 out 1 shown in rear view. The back wall 104 has an opening 113 on, for example, for driving in of handling equipment in the transport cassette 100 from the back wall 104 out. In this picture are the stacking knobs 106 and the T-shaped guide groove 101 and the anti-rotation groove 109 with its rectangular cross section to recognize well. For an effective anti-rotation, it is particularly advantageous if the anti-rotation groove 109 in the lid 102 and the not shown here anti-rotation groove in the ground 105 in their groove-center distance 118 differ. Here is the distance between the groove center 115 the guide groove 101 and the groove center 116 the anti-rotation groove 109 on the lid outside 102 and the ground outside 105a each formed differently. The groove widths 117 the anti-rotation grooves 109 are in the lid 102 and in the ground 105 preferably the same.

In 4 ist ein vergrößerter Ausschnitt der Transportkassette 100 aus 1 in Rückansicht mit einer Ausnehmung 122 für einen darin angeordneten RFID-Chip 123 dargestellt. Zum besseren Verständnis ist die Ausnehmung 122 offen dargestellt, sie kann aber auch verschlossen sein. Durch die Anordnung des RFID-Chips 123 in der Transportkassette 100 kann sie im Produktionsprozess eindeutig identifiziert werden. Denkbar sind verschiedene „Intelligenzen” des RFID-Chips 123. Im einfachsten Fall dient der RFID-Chip 123 lediglich zur Identifikation der zugehörigen Transportkassette 100. Auch in dieser Darstellung sind die Stapelnoppen 106 sowie die Führungsnut 101 deutlich zu erkennen. Die Ausnehmung 122 kann auch an anderer Stelle in der Transportkassette 100 angeordnet werden, beispielsweise im Deckel 102.In 4 is an enlarged section of the transport cassette 100 out 1 in rear view with a recess 122 for an RFID chip arranged therein 123 shown. For a better understanding, the recess 122 open, but it can also be closed. By the arrangement of the RFID chip 123 in the transport cassette 100 it can be clearly identified in the production process. Conceivable are various "intelligences" of the RFID chip 123 , In the simplest case, the RFID chip is used 123 only for identification of the associated transport cassette 100 , Also in this illustration are the stacking knobs 106 as well as the guide groove 101 clearly visible. The recess 122 can also be elsewhere in the transport cassette 100 be arranged, for example in the lid 102 ,

In 5 ist die Transportkassette 100 aus 1 ohne einen Verschlussdeckel dargestellt. An der linken Seitenwand 103 sind die sich verbreiternden bzw. keilförmig ausgestalteten Stege 110 gut zu erkennen. Es hat sich als besonders vorteilhaft erwiesen, wenn die Seitenwände 103 vollständig geschlossene Wände sind. Dies führt zu einer verbesserten Bruchverminderung.In 5 is the transport cassette 100 out 1 shown without a cap. On the left side wall 103 are the widening or wedge-shaped webs 110 clearly visible. It has proven to be particularly advantageous if the side walls 103 are completely closed walls. This leads to an improved breakage reduction.

In 5a ist die Transportkassette 100 aus 1 mit einem an der Vorderseite angeordneten Verschlussdeckel 124 abgebildet. Durch diesen Verschlussdeckel 124 kann die Vorderseite der Transportkassette 100 vollständig geschlossen werden. Es ist vorteilhaft, wenn die Transportkassette 100 mit diesem Verschlussdeckel 124 auch nach oben und/oder nach unten geschlossen werden kann. Ein rückseitiger Verschlussdeckel ist auch denkbar, auch die gleichzeitige Anordnung eines vorderseitigen Deckels und eines rückseitigen Deckels.In 5a is the transport cassette 100 out 1 with a closure lid arranged at the front 124 displayed. Through this closure lid 124 can be the front of the transport cassette 100 be completely closed. It is advantageous if the transport cassette 100 with this cap 124 can also be closed upwards and / or downwards. A rear closure lid is also conceivable, including the simultaneous arrangement of a front lid and a rear lid.

Der Verschlussdeckel 124 kann durch Verrasten an der Transportkassette 100 befestigt werden, zum Beispiel mittels einer hier nicht erkennbar dargestellten Rastnase im Bereich der Führungsnut 101. Für die ebenfalls eine Öffnung 113 aufweisende Rückwand 104, siehe 5, ist es auch denkbar, einen hier nicht dargestellten Rückwand-Verschlussdeckel vorzusehen.The cap 124 can by latching to the transport cassette 100 be fastened, for example by means of a detent not shown here in the region of the guide groove 101 , For the likewise an opening 113 having back wall 104 , please refer 5 , It is also conceivable to provide a rear wall closure lid, not shown here.

In 6 ist ein Schnitt durch die Transportkassette 100 aus 1 mit der horizontalen Mittelebene 114b als Schnittebene dargestellt. In dieser Darstellung ist der S-förmige Verlauf der Stege 110 im Eckbereich zwischen den Seitenwänden 103 und der Rückwand 104 gut zu erkennen. Für ein beschädigungsfreies Einbringen der Substrate ist diese weich verlaufende Steggeometrie besonders vorteilhaft.In 6 is a section through the transport cassette 100 out 1 with the horizontal median plane 114b shown as a section plane. In this illustration, the S-shaped course of the webs 110 in the corner between the side walls 103 and the back wall 104 clearly visible. For a damage-free introduction of the substrates, this soft running web geometry is particularly advantageous.

2 zeigt ein alternatives Ausführungsbeispiel einer erfindungsgemäßen Transportkassette 150 mit einer zur Seite hin vergrößerten Standfläche bzw. Kontaktfläche 121. Dabei verfügt nicht die gesamte Transportkassette 150 über größere Abmessungen, sondern es ist lediglich im Bereich des Deckels 102 und des Bodens 105 eine Art Stabilisierungsbereich in Form eines Stabilisierungsfußes 151 bzw. eines verbreiterten Sockels vorgesehen. Dieser führt zum einen zu einer Vergrößerung der Kontaktfläche 121 und zum anderen zu einer verbesserten Standfestigkeit der Transportkassette 150, was die Stabilität beim direkten Transport auf einem Transportband verbessert und die Gefahr des Verkippens bzw. Umkippens reduziert. 2 shows an alternative embodiment of a transport cassette according to the invention 150 with a side surface enlarged contact surface or contact surface 121 , It does not have the entire transport cassette 150 over larger dimensions, but it is only in the area of the lid 102 and the soil 105 a kind of stabilization area in the form of a stabilizing foot 151 or a widened base provided. This leads to an increase in the contact area 121 and on the other to an improved stability of the transport cassette 150 which improves the stability during direct transport on a conveyor belt and reduces the risk of tilting or tipping over.

In 7 ist ein erfindungsgemäßes Transportmittel 200 zum Transport vorgenannter erfindungsgemäßer Transportkassetten 100 dargestellt.In 7 is an inventive means of transport 200 for transporting the aforementioned transport cassettes according to the invention 100 shown.

Das abgebildete Transportmittel 200 ist ein Transportwagen mit mehreren horizontalen parallel zueinander angeordneten Führungsschienen 202 für die Führungsnuten 101. Das abgebildete Transportmittel 200 weist ein Wagengestell 203 sowie eine Transportplatte 201 auf. Neben jeder Führungsschiene 202 ist an deren Endbereich jeweils eine Art Zapfen 205 montiert. Dieser Zapfen 205 hat die Funktion, je nachdem ob er links oder rechts von der Führungsschiene 202 montiert ist, sicherzustellen, dass durch Eingreifen des Zapfens 205 in Verdrehsicherungs-Nuten 109 die Transportkassetten 100 entsprechend richtig herum auf dem Transportmittel 200 angeordnet werden, also entsprechend des folgenden Prozessschrittes. Da die Verdrehsicherungs-Nuten 109 mit einem unterschiedlichen Nut-Mitten-Abstand 118 zur Nutmitte 115 der Führungsnut angeordnet sind, kann auf diese Weise sichergestellt werden, dass die in den Transportkassetten 100 gestapelten Substrate entsprechend einer für einen nächsten Prozessschritt erforderlichen Orientierung auf dem Transportmittel 200 angeordnet werden.The pictured transport 200 is a trolley with several horizontal parallel to each other arranged guide rails 202 for the guide grooves 101 , The pictured transport 200 has a cart frame 203 as well as a transport plate 201 on. Next to each guide rail 202 is at the end of each a kind of pin 205 assembled. This pin 205 Has the function, depending on whether he left or right of the guide rail 202 is mounted, ensure that by engaging the pin 205 in anti-rotation grooves 109 the transport cassettes 100 Correctly around on the means of transport 200 be arranged, ie according to the following process step. Because the anti-rotation grooves 109 with a different groove-center distance 118 to the groove center 115 the guide groove are arranged, can be ensured in this way that in the transport cassettes 100 stacked substrates according to a required for a next process step orientation on the transport 200 to be ordered.

In den 8 und 8a ist eine alternative Ausführung eines Transportmittels 300 als Transportwagen mit vertikal angeordneten Führungsschienen 302 dargestellt. Dies bedeutet, dass die Transportkassetten 100 nicht mit vertikal sondern mit horizontal orientierter Substrat-Stapelrichtung 108, also liegend, auf dem Transportwagen 300 angeordnet werden. In 8a ist deutlich zu erkennen, wie beim Stapeln die Stapelnoppen 106 in die entsprechenden Ausnehmungen 107 auf der Vorderseite der Transportkassette eingreifen.In the 8th and 8a is an alternative embodiment of a means of transport 300 as a transport cart with vertically arranged guide rails 302 shown. This means that the transport cassettes 100 not with vertical but with horizontally oriented substrate stacking direction 108 , lying on the trolley 300 to be ordered. In 8a can be clearly seen, as in stacking the Stapelelnoppen 106 in the corresponding recesses 107 on the front of the transport cassette.

Für bestimmte Anwendungen ist es besonders vorteilhaft, wenn die Transportkassetten 100 nicht mit einer genau horizontalen Orientierung der Substrat-Stapelrichtung 108 auf dem Transportwagen 200, 300 angeordnet werden, sondern mit einem Winkel 405 bis zu etwa 10° abweichend von der Horizontalen. Dies ist in 9 dargestellt. Das Transportmittel 400 ist auch wieder ein Transportwagen mit einem Wagengestell 403 und darauf angeordneten Transportkassetten 100. Es ist deutlich zu erkennen, dass die Transportkassetten 100 in einem Winkel 405 zur Transportplatte 401 bzw. der Horizontalen angeordnet sind, wobei sie in der Mitte höher liegen als außen. Sie können aber auch außen höher liegen als innen.For certain applications, it is particularly advantageous if the transport cassettes 100 not with an exactly horizontal orientation of the substrate stacking direction 108 on the dolly 200 . 300 be arranged but at an angle 405 up to about 10 ° different from the horizontal. This is in 9 shown. The means of transport 400 is again a trolley with a cart frame 403 and transport cassettes arranged thereon 100 , It can be clearly seen that the transport cassettes 100 at an angle 405 to the transport plate 401 and the horizontal are arranged, wherein they are higher in the middle than the outside. But they can also be higher on the outside than inside.

In 10 ist ein alternatives Ausführungsbeispiel eines Transportmittels zum Transport von vorgenannten Transportkassetten 100 dargestellt. Dabei handelt es sich um ein in eine Produktionsanlage integriertes Schienenfördersystem 500 mit mehreren Hub- und Senkeinrichtungen 504, mindestens einer Transportschiene 503 und Fördermitteln 505. Ein solches Schienenfördersystem 500 ist üblicherweise in einen vollständigen Produktionsprozess integriert und an eine Prozessanlage 502 unmittelbar angebunden. Die Transportkassetten 100 sind an einem Schienenfördererelement, im Folgenden nur Schienenförderer 501, befestigt und werden über diesen der Prozessanlage zugeführt. Im Prozess können dann die Substrate entsprechend behandelt werden und nach der Behandlung, die üblicherweise außerhalb der Transportkassette 100 erfolgt, wieder in die Transportkassette 100 eingebracht werden. Diese können dann im weiteren Verlauf des Prozesses mit einem Schienenförderer 501 über Transportschienen 503 der nächsten Prozessanlage 502 zugeführt werden. In einer besonders vorteilhaften Ausgestaltung weisen die Schienenförderer 501 Verbindungselemente zum Befestigen der Transportkassetten 100 in Form von hier nicht dargestellten Führungsschienen auf, die mit der Führungsnut 101 einer Transportkassette 100 zusammenwirken. Denkbar ist an dieser Stelle, mit einem Schienenförderer 501 mehrere Transportkassetten 100 gleichzeitig oder auch nur eine zu transportieren. Das in 10 abgebildete Schienenfördersystem 500 ist selbstverständlich ebenfalls zum Transport von Transportkassetten 150 mit Stabilisierungsfuß 151 und anderen Ausgestaltungen einer erfindungsgemäßen Transportkassette ausgebildet.In 10 is an alternative embodiment of a means of transport for transporting said transport cassettes 100 shown. It is a rail conveyor system integrated in a production plant 500 with several lifting and lowering devices 504 , at least one transport rail 503 and funding 505 , Such a rail conveyor system 500 is usually integrated into a complete production process and to a process plant 502 directly connected. The transport cassettes 100 are on a rail conveyor element, hereinafter only rail conveyor 501 , attached and are fed via this the process plant. In the process, the substrates can then be treated appropriately and after treatment, usually outside the transport cassette 100 takes place, back into the transport cassette 100 be introduced. These can then in the further course of the process with a rail conveyor 501 via transport rails 503 the next process plant 502 be supplied. In a particularly advantageous embodiment, the rail conveyor 501 Connecting elements for fastening the transport cassettes 100 in the form of guide rails, not shown here, with the guide groove 101 a transport cassette 100 interact. It is conceivable at this point, with a rail conveyor 501 several transport cassettes 100 at the same time or just to transport one. This in 10 pictured rail conveyor system 500 is of course also for the transport of transport cassettes 150 with stabilizing foot 151 and other embodiments of a transport cassette according to the invention.

ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG QUOTES INCLUDE IN THE DESCRIPTION

Diese Liste der vom Anmelder aufgeführten Dokumente wurde automatisiert erzeugt und ist ausschließlich zur besseren Information des Lesers aufgenommen. Die Liste ist nicht Bestandteil der deutschen Patent- bzw. Gebrauchsmusteranmeldung. Das DPMA übernimmt keinerlei Haftung für etwaige Fehler oder Auslassungen.This list of the documents listed by the applicant has been generated automatically and is included solely for the better information of the reader. The list is not part of the German patent or utility model application. The DPMA assumes no liability for any errors or omissions.

Zitierte PatentliteraturCited patent literature

US 4228902 [0002]

Claims

Transport cassette ( 100 . 150 ) for hoarding and transporting flat, disk-shaped substrates with - a lid ( 102 ) with a lid outside ( 102 ), - a floor ( 105 ) with a bottom outside ( 105a ), - a back wall ( 104 ) with a back wall inside ( 104i ) and a back wall outside ( 104a ), - two side walls ( 103 ) each having an inner and an outer ( 103i respectively. 103a ), whereby on the inside ( 103i ) of each side wall ( 103 ) several webs ( 110 ) are arranged one above the other and the webs ( 110 ) are formed and arranged so that a plurality of substrates in the transport cassette ( 100 . 150 ) one above the other and spaced apart parallel in a substrate stacking direction (US Pat. 108 ) are stackable, and - an open front for insertion and removal of the substrates, characterized in that the lid ( 102 ) on its lid outside ( 102 ) and / or the soil ( 105 ) on its bottom outside ( 105a ) a guide groove ( 101 ) having.

Transport cassette ( 100 . 150 ) according to claim 1, characterized in that the lid outer side ( 102 ) and / or the bottom outside ( 105a ) additionally has at least one anti-rotation, preferably as anti-rotation groove ( 109 ), this anti-rotation groove ( 109 ) parallel to the guide groove ( 101 ) of the lid ( 102 ) or soil ( 105 ) is arranged.

Transport cassette ( 100 . 150 ) according to claim 2, characterized by an anti-rotation groove ( 109 ) on the lid outside ( 102 ) and an anti-rotation groove ( 109 ) at the bottom outside ( 105a ), wherein the anti-rotation groove ( 109 ) the lid outside ( 102 ) another groove-center distance ( 118 ) to the middle of the guide groove ( 115 ) in the lid outside ( 102 ) than the anti-rotation groove ( 109 ) the bottom outside ( 105a ) to the middle of the guide groove ( 115 ) in the bottom outside ( 105a ).

Transport cassette ( 100 . 150 ) according to one of the preceding claims, characterized in that the transport cassette ( 100 . 150 ) for receiving at least one RFID chip ( 123 ), wherein the transport cassette ( 100 . 150 ) to at least one corresponding recess ( 122 ) for the arrangement of the RFID chip ( 123 ) and in particular the RFID chip ( 123 ) is removably disposed therein, preferably without damage removable, in particular only by means of a tool.

Transport cassette ( 100 . 150 ) according to one of the preceding claims, characterized in that the transport cassette ( 100 . 150 ) is stackable, preferably with a transport cassette stacking direction approximately perpendicular to the substrate stacking direction (FIG. 108 ).

Transport cassette ( 100 . 150 ) according to claim 5, characterized in that the transport cassette ( 100 . 150 ) is secure against rotation stackable and preferably at least one asymmetrically designed Stapelelnoppe ( 106 ) and at least one correspondingly formed recess ( 107 ) and / or at least two asymmetrically arranged Stapelelnoppen ( 106 ) and at least two correspondingly arranged recesses ( 107 ) having.

Transport cassette ( 100 . 150 ) according to one of the preceding claims, characterized in that at least one web ( 110 ) from the inside ( 103i ) of the side wall ( 103 ) to the back wall inside ( 104i ) in a plane approximately perpendicular to the substrate stacking direction ( 108 ) and has a curved contour, wherein the curvature is approximately from a rear part of the inside ( 103i ) of the side wall ( 103 ) to the back wall inside ( 104i ) and preferably S-shaped.

Transport cassette ( 100 . 150 ) according to one of the preceding claims, characterized in that the transport cassette ( 100 . 150 ) is handled by means of a removable handle, wherein preferably the transport cassette ( 100 . 150 ) is designed so that the handle for handling the transport cassette ( 100 . 150 ) is attachable and removable without tools, preferably on the rear wall ( 104 ) or the lid ( 102 ) or the ground ( 105 ).

Transport cassette ( 100 . 150 ) according to one of the preceding claims, characterized in that the transport cassette ( 100 . 150 ) is designed for a closeability by means of a closure cap ( 124 ), preferably by means of a latchable closure lid ( 124 ), wherein in particular the locking tool-free solvable.

Transport cassette ( 100 . 150 ) according to one of the preceding claims, characterized in that the transport cassette ( 100 . 150 ) is formed substantially mirror-symmetrically to a median plane ( 114a . 114b ), where the median plane ( 114a . 114b ) perpendicular to the substrate stacking direction ( 114b ) and / or parallel ( 114a ) to the side walls ( 103 ), and preferably wherein the only deviation from symmetry is the anti-rotation grooves ( 109 ) according to claim 2 or 3 and / or the recess ( 122 ) for the RFID chip ( 123 ) or the arrangement of the RFID chip ( 123 ) according to Claim 4 and / or the Stapelelnoppen with the associated recesses according to claim 6.

Transport cassette ( 100 . 150 ) according to one of the preceding claims, characterized in that the transport cassette ( 100 . 150 ) is made in one piece and is an injection molded part.

Mode of Transport ( 200 . 300 . 400 . 500 ) for transporting transport cassettes ( 100 . 150 ) according to one of claims 1 to 11, wherein the means of transport ( 200 . 300 . 400 . 500 ) for arranging and transporting at least one transport cassette ( 100 . 150 ), characterized in that the means of transport ( 200 . 300 . 400 . 500 ) at least one to the guide groove ( 101 ) of the transport cassette ( 100 . 150 ) matching guide rail ( 202 . 302 ) for guiding the transport cassette ( 100 . 150 ) having.

Mode of Transport ( 200 . 300 . 400 ) according to claim 12, characterized in that the means of transport ( 200 . 300 . 400 ) is a trolley and at least one transport plate ( 201 . 301 . 401 ), wherein preferably the transport plate ( 201 . 301 . 401 ) extendable or removable is like a drawer.

Mode of Transport ( 200 ) according to claim 13, characterized in that the transport plate ( 201 ) at least one guide rail ( 202 ), wherein the guide rail ( 202 ) on the transport plate ( 201 ) is arranged approximately horizontally for receiving transport cassettes ( 100 . 150 ) with approximately vertical orientation of the substrate stacking direction (FIG. 108 ).

Mode of Transport ( 300 ) according to claim 13, characterized in that the transport plate ( 301 ) at least one guide rail ( 302 ), wherein the guide rail ( 302 ) on the transport plate ( 301 ) is arranged approximately vertically for receiving transport cassettes ( 100 . 150 ) with an approximately horizontal orientation of the substrate stacking direction (FIG. 108 ).

Mode of Transport ( 500 ) according to claim 12, characterized in that the means of transport ( 500 ) a rail conveyor ( 501 ), wherein the rail conveyor ( 501 ) has at least one guide rail and along a transport rail ( 503 ), and wherein the transport cassette ( 100 . 150 ) on the rail conveyor ( 501 ) is fastened by at least the guide rail of the rail conveyor ( 501 ) in the guide groove ( 101 ) of the transport cassette ( 100 . 150 ) intervenes.