DE102009035192A1 - Optical element e.g. facet, positioning device for use in e.g. field facet mirror for extreme-ultraviolet micro lithography, has alignment rod and actuation mechanism that are actuated, such that orientation of optical element is changed - Google Patents

Optical element e.g. facet, positioning device for use in e.g. field facet mirror for extreme-ultraviolet micro lithography, has alignment rod and actuation mechanism that are actuated, such that orientation of optical element is changed Download PDF

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Abstract

The device (1) has a storage rack (4) including a storage area (6) for storing an optical element (2) in different orientation, where the storage area is formed in truncated conical shape, angular shape, wedge-shape, or truncated pyramid shape. An alignment rod (3) and an actuation mechanism (5) are actuated by actuation force, such that the orientation of the element is changed, where the alignment rod and the actuation mechanism are self-lockably implemented. The actuation mechanism includes two rotary cylinders (9, 10) arranged into each other. An independent claim is also included for a mirror element including a mirror with a spherical segment-shaped storage area.

Description

HINTERGRUND DER ERFINDUNGBACKGROUND OF THE INVENTION

GEBIET DER ERFINDUNGFIELD OF THE INVENTION

Die vorliegende Erfindung betrifft eine Vorrichtung zur Positionierung eines Elements mit Mitteln zum Lagern des Elements in unterschiedlicher Orientierung und mindestens einer Justagevorrichtung, durch deren Betätigung die Orientierung des Elements verändert werden kann, sowie ein Spiegelelement für eine optische Anordnung mit einem Spiegel und einer entsprechenden Vorrichtung zur Positionierung des Spiegels.The The present invention relates to a positioning device an element with means for supporting the element in different orientation and at least one adjusting device, by the actuation of the Orientation of the element changed can be, as well as a mirror element for an optical arrangement with a mirror and a corresponding device for positioning of the mirror.

STAND DER TECHNIKSTATE OF THE ART

In Projektionsbelichtungsanlagen für die Mikrolithographie, welche mit Lichtwellenlängen im Bereich des extrem ultravioletten Spektrums betrieben werden (EUV-Projektionsbelichtungsanlagen) werden Feld- bzw. Pupillenfacettenspiegel eingesetzt, bei denen eine Vielzahl von Spiegelelementen zu Facettenspiegeln zusammengesetzt sind. Die Spiegelelemente sind so gestaltet, dass die einzelnen Spiegel der Spiegelelemente individuell orientiert werden, also unterschiedliche Kippwinkel aufweisen können.In Projection exposure systems for microlithography, which uses light wavelengths in the extreme ultraviolet spectrum (EUV projection exposure equipment) Field or pupil facet mirror used in which a variety are composed of mirror elements to facet mirrors. The Mirror elements are designed so that the individual mirrors of the Mirror elements are individually oriented, so different Can have tilt angle.

Aufgrund der hohen Abbildungsgenauigkeit bei Projektionsbelichtungsanlagen für die Mikrolithographie müssen die einzelnen Spiegel des Facettenspiegels exakt ausgerichtet werden. Hierbei ist es wichtig, dass zum einen eine exakte Positionierung möglich ist und dass zum anderen bis zu einer endgültigen Fixierung der Spiegelposition keine ungewollte Veränderung der Spiegelposition mehr möglich ist.by virtue of high imaging accuracy in projection exposure systems for the Microlithography need the individual mirrors of the facet mirror are exactly aligned. It is important that exact positioning is possible on the one hand and that, secondly, until a final fixation of the mirror position no unwanted change the mirror position more possible is.

OFFENBARUNG DER ERFINDUNGDISCLOSURE OF THE INVENTION

AUFGABE DER ERFINDUNGOBJECT OF THE INVENTION

Es ist deshalb Aufgabe der vorliegenden Erfindung eine Vorrichtung zur Positionierung eines Elements, insbesondere eines optischen Elements wie eines Spiegels, Mikrospiegels, einer Facette eines Facettenspiegels oder von optischen Linsen in optischen Anordnungen insbesondere der Mikrolithographie, bereitzustellen, bei welchen sowohl eine exakte Positionierung, also Ausrichtung des entsprechenden Elements, als auch eine sichere Fixierung der eingestellten Position ohne ungewollte Änderungen möglich ist. Darüber hinaus soll eine entsprechende Vorrichtung einfach aufgebaut und einfach bedienbar, insbesondere auch automatisiert bedienbar sein.It is therefore an object of the present invention, a device for positioning an element, in particular an optical Elements like a mirror, micromirror, a facet of a Facet mirror or of optical lenses in optical arrangements in particular microlithography, in which both an exact positioning, so alignment of the corresponding Elements, as well as a secure fixation of the set position without unwanted changes possible is. About that In addition, a corresponding device should be simple and easy to use, in particular automated to be operated.

TECHNISCHE LÖSUNGTECHNICAL SOLUTION

Diese Aufgabe wird gelöst durch eine Vorrichtung mit den Merkmalen des Anspruchs 1 bzw. ein Spiegelelement mit dem Merkmal des Anspruchs 14. Vorteilhafte Ausgestaltungen sind Gegenstand der abhängigen Ansprüche.These Task is solved by a device having the features of claim 1 and a Mirror element with the feature of claim 14. Advantageous embodiments are the subject of the dependent Claims.

Die Erfindung geht aus von der Erkenntnis, dass zur Lösung der oben genannten Aufgabe eine Vorrichtung zur Positionierung eines Elements zunächst Mittel zur Lagerung des Elements in unterschiedlicher Orientierung sowie eine Justagevorrichtung aufweisen sollte, mittels der die Orientierung des Elements in definierter Weise verändert werden kann. Um jedoch nach entsprechender Ausrichtung bzw. Positionierung des Elements keine fehlerhaften Veränderungen der Ausrichtung bis zu einer endgültigen Fixierung des Elements in seiner Position zuzulassen, soll gemäß der Erfindung die Justagevorrichtung selbsthemmend ausgeführt sein, so dass durch die Selbsthemmung eine ungewollte Verstellung unmöglich wird. Die Justagevorrichtung an sich kann dabei in unterschiedlicher Weise ausgebildet sein, so lange eine entsprechende Selbsthemmung realisierbar ist. Durch die Selbsthemmung kann unter Umständen auch auf eine weitere Fixierung der Elementposition verzichtet werden. Andernfalls können Fixierelemente wie Konter- oder Madenschrauben Verwendung finden.The Invention is based on the knowledge that to solve the above object, a device for positioning a Elements first Means for storing the element in different orientation and should have an adjustment device by means of the Orientation of the element can be changed in a defined manner. However, after appropriate alignment or positioning of the Elements no flawed changes Alignment until a final fixation of the element to allow in its position, according to the invention, the adjustment device Self-locking executed be, so that by the self-locking an unwanted adjustment impossible becomes. The adjustment device itself can be different Be wise, as long as a corresponding self-locking is feasible. Due to the self-locking may also to be dispensed with a further fixation of the element position. Otherwise, you can Fixing elements such as counter or grub screws are used.

Beispielsweise kann die Vorrichtung so gestaltet sein, dass die Mittel zum Lagern des Elements so ausgebildet sind, dass eine Verkippung des Elements um mindestens eine, zwei oder drei unabhängige Raumachsen möglich ist, so dass unterschiedlichste Orientierungen des Elements möglich sind.For example For example, the device may be designed such that the means for storing of the element are formed so that a tilt of the element at least one, two or three independent spatial axes is possible, so that different orientations of the element are possible.

Dies kann beispielsweise erreicht werden, dass eine Lagerfläche oder Lagerpunkte bereitgestellt werden, die mit einer gebogenen Lagerfläche des zu lagernden Elements zusammenwirken. Die Lagerpunkte können beispielsweise als Dreipunktlagerung ausgeführt sein, während die Lagerfläche unterschiedlichste Formen umfassen kann, wie beispielsweise konische, trichterartige, kegelstumpfartige, pyramidenstumpfartige, keilförmige, ringförmige oder schalenförmige Flächen.This can be achieved, for example, that a storage area or Lagerpunkte be provided with a curved bearing surface of the to interact with stored element. The bearing points can, for example designed as a three-point bearing be while the storage area various forms, such as conical, funnel-shaped, frustoconical, truncated pyramidal, wedge-shaped, annular or cupped Surfaces.

Die Justagevorrichtung kann so ausgebildet sein, dass eine Untersetzung vorgesehen ist, so dass durch die Betätigung der Justagevorrichtung eine deutlich geringere Veränderung der Position des zu positionierenden Elements erfolgt als durch die Betätigungsbewegung der Justagevorrichtung. Dadurch lässt sich eine sehr genaue Positionierung des Elements erzielen, da aufgrund der Untersetzung große Betätigungen der Justagevorrichtung in kleine Positionsveränderungen des zu positionierenden Elements umgesetzt werden.The Adjustment device can be designed so that a reduction is provided so that by the operation of the adjustment device a much smaller change the position of the item to be positioned is done by the actuating movement the adjustment device. This allows a very accurate positioning achieve the element, since due to the reduction large operations the adjustment device in small changes in position of the position to be positioned Elements are implemented.

Die Selbsthemmung der Justagevorrichtung kann in einfacher Weise so verwirklicht werden, dass zur Betätigung der Justagevorrichtung große Kräfte erforderlich sind, die im Normalfall durch übliche Belastungen nicht aufgebracht werden können. Insbesondere kann die Betätigung der Justagevorrichtung derart große Kräfte erfordern, die die Lagerkraft bzw. die zu überwindende Reibkraft des zu positionierenden Elements übersteigen, so dass eine ungewollte Verstellung des zu positionierenden Elements auch durch Krafteinwirkung direkt auf das Element ausgeschlossen wird.The Self-locking the adjustment device can in a simple way so be realized that for operating the adjustment device size Forces required are, which normally by usual Loads can not be applied. In particular, the activity the adjustment device require such large forces, the bearing force or to be overcome Frictional force of the element to be positioned exceed, so that an unintentional adjustment of the element to be positioned also by the action of force directly is excluded on the item.

Üblicherweise kann die Justagevorrichtung einen Betätigungsmechanismus und eine Kopplung zwischen Betätigungsmechanismus und zu positionierenden Element umfassen, wobei die Kopplung zugleich zur Realisierung einer entsprechenden Untersetzung einen Hebelmechanismus und/oder eine Getriebevorrichtung umfassen kann.Usually the adjustment device can be an actuating mechanism and a Coupling between actuating mechanism and to be positioned element, wherein the coupling at the same time to realize a corresponding reduction a lever mechanism and / or a transmission device.

Im einfachsten Fall kann die Kopplung und/oder der Hebelmechanismus durch eine einfache Stange gebildet sein, mit deren Hilfe das zu positionierende Element in der Lagerung verkippt werden kann.in the the simplest case may be the coupling and / or the lever mechanism be formed by a simple rod, with the help of which to positioning element can be tilted in storage.

Die entsprechende Kopplung bzw. der Hebelmechanismus können mit einem Betätigungsmechanismus verbunden sein, der eine Getriebeanordnung umfasst.The appropriate coupling or the lever mechanism can with an actuating mechanism be connected, which includes a gear assembly.

Nach einer Ausführungsform kann die Getriebeanordnung einen ersten und einen zweiten drehbaren Zylinder umfassen, die ineinander angeordnet sind und ein Anschlusselement zur Aufnahme der Kopplung zwischen Betätigungsmechanismus und zu positionierendem Element aufweisen. Der zweite Zylinder kann hierbei exzentrisch zur Drehachse des ersten Zylinders drehbar im ersten Zylinder aufgenommen sein, während das Anschlusselement wiederum exzentrisch zur Drehachse des zweiten Zylinders im zweiten Zylinder aufgenommen ist. Dadurch kann bei Drehung beider Zylinder eine Überlagerung von zwei Bewegungskreisen stattfinden, die zur Abdeckung eines großen Bewegungsbereichs führt. Auf diese Weise kann, wenn in dem Anschlusselement zur Aufnahme der Kopplung beispielsweise eine entsprechende Hebelstange angeordnet ist, die mit dem zu positionierenden Element verbunden ist, durch die Drehung der Zylinder eine entsprechende Verkippung des zu positionierenden Elements bewirkt werden. Durch die entsprechende Ausbildung der Getriebeanordnung mit großen Reibflächen an den Mantelaußenflächen der Zylinder sind große Betätigungskräfte bzw. Drehmomente erforderlich, die bei einer Nichtbetätigung zu einer Selbsthemmung der Getriebeanordnung und somit der Justagevorrichtung führen. Dadurch kann sichergestellt werden, dass bei einer Nichtbetätigung der Getriebeanordnung keine Verstellung des zu positionierenden Elements mehr erfolgt, selbst wenn direkt auf das zu positionierende Element Kräfte einwirken sollten.To an embodiment For example, the gear assembly may have first and second rotatable ones Cylinders comprise, which are arranged inside each other and a connection element for receiving the coupling between the actuating mechanism and to be positioned Element. The second cylinder can be eccentric to the axis of rotation of the first cylinder rotatably received in the first cylinder be while the connecting element in turn eccentrically to the axis of rotation of the second Cylinder is included in the second cylinder. This can be done at Rotation of both cylinders an overlay of two movement circles taking place to cover a large range of motion leads. In this way, if in the connection element for receiving arranged the coupling, for example, a corresponding lever rod is, which is connected to the element to be positioned, through the rotation of the cylinder a corresponding tilting of the element to be positioned be effected. Due to the appropriate design of the gear assembly with big friction surfaces at the outer shell surfaces of Cylinders are big Actuating forces or Torques required, the non-actuation to a self-locking the gear assembly and thus the adjustment lead. Thereby can be ensured that in case of non - activation of the Gear arrangement no adjustment of the element to be positioned more takes place, even if directly on the item to be positioned personnel should act.

Die Kopplung zwischen zu positionierendem Element und Betätigungsmechanismus kann sowohl dem zu positionierenden Element als auch dem Betätigungsmechanismus zugeordnet sein oder als separates Teil ausgebildet sein, so dass es entsprechend als Teil der erfindungsgemäßen Vorrichtung zur Positionierung eines Elements als auch als Teil des zu positionierenden Elements angesehen werden kann.The Coupling between the element to be positioned and the actuating mechanism can both the element to be positioned and the actuating mechanism be assigned or be designed as a separate part, so that it accordingly as part of the device according to the invention for positioning an element as well as part of the element to be positioned can be viewed.

Eine derartige Vorrichtung bietet sich insbesondere zur Positionierung von optischen Elementen in optischen Anordnungen für die Mikrolithographie, also insbesondere in Projektionsbelichtungsanlagen an, wobei das zu positionierende Element ein Spiegel, insbesondere Mikrospiegel sowie eine Facette eines Facettenspiegels und eine optische Linse sein kann.A Such device is particularly suitable for positioning of optical elements in optical arrangements for microlithography, ie in particular in projection exposure systems, wherein the to be positioned Element is a mirror, in particular micromirror and a facet of a Facet mirror and an optical lens can be.

KURZE BESCHREIBUNG DER FIGURENBRIEF DESCRIPTION OF THE FIGURES

Weitere Vorteile, Kennzeichen und Merkmale der vorliegenden Erfindung werden bei der nachfolgenden detaillierten Beschreibung eines Ausführungsbeispiels anhand der beigefügten Zeichnungen deutlich. Die Zeichnungen zeigen hierbei in rein schematischer Weise inFurther Advantages, characteristics and features of the present invention in the following detailed description of an embodiment with the attached Drawings clearly. The drawings show here purely schematic Way in

1 eine Seitenansicht einer erfindungsgemäßen Vorrichtung zur Positionierung eines Spiegels; 1 a side view of a device according to the invention for positioning a mirror;

2 eine Draufsicht auf den Betätigungsmechanismus der Vorrichtung aus 1; und in 2 a plan view of the actuating mechanism of the device 1 ; and in

3 eine Draufsicht auf den Betätigungsmechanismus aus 1 gemäß 2 in einer anderen Stellung des Betätigungsmechanismus. 3 a plan view of the actuating mechanism 1 according to 2 in a different position of the actuating mechanism.

AUSFÜHRUNGSBEISPIELEmbodiment

Die 1 zeigt eine seitliche Schnittansicht einer erfindungsgemäßen Vorrichtung 1 zur Positionierung eines Spiegels 2, insbesondere eines Spiegels 2 für beispielsweise einen Feld- bzw. Pupillenfacettenspiegel in einer Projektionsbelichtungsanlage für die EUV-Mikrolithographie, also die Mikrolithographie im Lichtwellenlängenbereich des extrem ultravioletten Spektrums (extrem ultraviolett EUV). Darüber hinaus kann jedoch die beschriebene Vorrichtung auch für andere Elemente, insbesondere optische Elemente bei unterschiedlichen optischen Anordnungen, insbesondere bei der Mikrolithographie eingesetzt werden.The 1 shows a side sectional view of a device according to the invention 1 for positioning a mirror 2 , in particular a mirror 2 for example, a field or pupil facet mirror in a projection exposure apparatus for EUV microlithography, so the microlithography in the light wavelength range of the extreme ultraviolet spectrum (extreme ultraviolet EUV). In addition, however, the device described can also be used for other elements, in particular optical elements in different optical arrangements, in particular in microlithography.

Die Vorrichtung 1 umfasst ein Lagergestell 4, welches eine ringförmig umlaufende, kegelstumpfförmige Lagerfläche 6 für den Spiegel 2 bereitstellt. Die Lagerfläche 6 des Lagergestells 4 wirkt mit einer kugelsegmentförmigen Lagerfläche 8 des Spiegels 2 zusammen, die auf der Rückseite der Spiegelfläche 7 der Spiegels 2 ausge bildet ist. Aufgrund der kugelsegmentförmigen Ausbildung der Lagerfläche 8 des Spiegels 2 und der kegelstumpfförmigen Ausbildung der Lagerfläche 6 kommt es zu einer im Wesentlichen ringförmigen Auflagefläche zwischen dem Spiegel 2 und dem Lagergestell 4, welche eine in bestimmten Grenzen freie Ausrichtung der Spiegelfläche 7 ermöglicht. So kann der Spiegel 2 um drei unabhängige Raumachsen, beispielsweise gemäß eines fiktiven kartesischen Koordinatensystems, zumindest in einem bestimmten Winkelbereich frei gedreht bzw. gekippt werden. Dadurch ist eine entsprechende Positionierung bzw. Orientierung der Spiegelfläche 7 möglich.The device 1 includes a storage rack 4 . which an annular circumferential, frusto-conical bearing surface 6 for the mirror 2 provides. The storage area 6 of the storage rack 4 acts with a spherical segment-shaped bearing surface 8th of the mirror 2 Together, on the back of the mirror surface 7 the mirror 2 is trained. Due to the spherical segment-shaped design of the bearing surface 8th of the mirror 2 and the frustoconical configuration of the bearing surface 6 There is a substantially annular bearing surface between the mirror 2 and the storage rack 4 , which in certain limits free alignment of the mirror surface 7 allows. So can the mirror 2 by three independent spatial axes, for example, according to a fictitious Cartesian coordinate system, at least in a certain angular range freely rotated or tilted. As a result, a corresponding positioning or orientation of the mirror surface 7 possible.

Zur Einstellung bzw. Positionierung des Spiegels 2 ist eine Justagevorrichtung vorgesehen, die einen an dem Spiegel angeordneten Justagestab 3 sowie einen Betätigungsmechanismus 5 umfasst. Der Justagestab 3 kann einstückig oder lösbar an dem Spiegel 2 angeordnet sein und dient als Kopplung zwischen dem Spiegelhauptelement mit der Spiegelfläche 7 und der Lagerfläche 8 einerseits und dem Betätigungsmechanismus 5 der Positioniervorrichtung 1 andererseits. Darüber hinaus dient der Justagestab 3 als Hebemechanismus zur Betätigung des Spiegelhauptelements, welches durch die Spiegelfläche 7 und die Lagerfläche 8 gebildet ist. Durch eine Bewegung des Endes des Justagestabes 3, welches entfernt von dem Spiegel 2 vorgesehen ist, kann unter Ausnutzung der Hebelwirkung eine Verkippung des Spiegels 2 bewirkt werden.For setting or positioning the mirror 2 An adjusting device is provided which has an adjusting rod arranged on the mirror 3 and an actuating mechanism 5 includes. The adjustment staff 3 Can be made in one piece or detachable on the mirror 2 be arranged and serves as a coupling between the mirror main element with the mirror surface 7 and the storage area 8th on the one hand and the actuating mechanism 5 the positioning device 1 on the other hand. In addition, the adjustment staff serves 3 as a lifting mechanism for actuating the mirror main element, which passes through the mirror surface 7 and the storage area 8th is formed. By a movement of the end of the adjustment rod 3 which is removed from the mirror 2 is provided, taking advantage of the leverage tilting of the mirror 2 be effected.

Entsprechend ist das dem Spiegel 2 abgewandte Ende des Justagestabes 3 in einem Anschlusselement 13 des Betätigungsmechanismus 5 aufgenommen, so dass der Spiegel 2 durch Betätigung des Betätigungsmechanismus 5 verstellt bzw. positioniert werden kann.Accordingly, this is the mirror 2 opposite end of the adjustment rod 3 in a connection element 13 the actuating mechanism 5 taken, so that the mirror 2 by actuation of the actuating mechanism 5 can be adjusted or positioned.

Der Betätigungsmechanismus 5 umfasst zwei drehbare Zylinder 9 und 10, die ineinander angeordnet sind. Darüber hinaus sind die drehbaren Zylinder 9 und 10 im Lagergestell 4 aufgenommen. Der erste Zylinder 9 weist somit mit seiner Zylinderhauptfläche parallel zur Zylinderlängsachse eine Kontaktfläche mit dem Lagergestell 4 auf und dreht sich entsprechend um die Zylinderlängsachse, die in der Mitte des Zylinders vorgesehen ist.The operating mechanism 5 includes two rotatable cylinders 9 and 10 which are arranged inside each other. In addition, the rotatable cylinders 9 and 10 in the storage rack 4 added. The first cylinder 9 thus has with its main cylinder surface parallel to the cylinder longitudinal axis a contact surface with the storage rack 4 and rotates according to the cylinder longitudinal axis, which is provided in the middle of the cylinder.

Exzentrisch zur Zylinderlängsachse des ersten Zylinders 9 bzw. zu dessen Drehachse ist in dem ersten Zylinder 9 der zweite Zylinder 10 aufgenommen, so dass durch eine Drehung des ersten Zylinders 9 der zweite Zylinder 10 exzentrisch zur Drehachse des ersten Zylinders 9 (Längsmittelachse) mitbewegt wird. Der zweite Zylinder 10 ist wiederum drehbar im ersten Zylinder 9 gelagert, wobei ähnlich dem ersten Zylinder 9 gegenüber dem Lagergestell 4 die Zylinderhauptfläche entlang der Zylinderlängsachse des zweiten Zylinders 10 als Bewegungsfläche gegenüber der inneren Fläche des ersten Zylinders 9 vorgesehen ist. In dem zweiten Zylinder 10 ist ein Anschlusselement 13 zur Aufnahme des dem Spiegel gegenüberliegenden Endes des Justagestabs 3 vorgesehen. Entsprechend ist das Anschlusselement 13 gemäß der Außenform des Justagestabs 3 als zylinderförmige Ausnehmung ausgebildet.Eccentric to the cylinder longitudinal axis of the first cylinder 9 or to its axis of rotation is in the first cylinder 9 the second cylinder 10 recorded, so that by a rotation of the first cylinder 9 the second cylinder 10 eccentric to the axis of rotation of the first cylinder 9 (Longitudinal center axis) is moved. The second cylinder 10 is in turn rotatable in the first cylinder 9 stored, being similar to the first cylinder 9 opposite the storage rack 4 the cylinder main surface along the cylinder longitudinal axis of the second cylinder 10 as a movement surface with respect to the inner surface of the first cylinder 9 is provided. In the second cylinder 10 is a connection element 13 for receiving the mirror opposite end of the Justagestabs 3 intended. Accordingly, the connection element 13 according to the outer shape of the adjustment rod 3 designed as a cylindrical recess.

Das Anschlusselement 13 ist wiederum exzentrisch zur Drehachse des zweiten Zylinders 10 angeordnet, so dass bei Drehung des zweiten Zylinders 10 im ersten Zylinder 9 das Anschlusselement 13 eine Kreisbahn beschreibt. Da zugleich der zweite Zylinder 10 bei Drehung des ersten Zylinders 9 aufgrund der exzentrischen Anordnung ebenfalls eine Kreisbahn beschreibt, kann durch die Überlagerung der beiden Kreisbahnen, also eine entsprechende Drehung von erstem und zweitem Zylinder 9 und 10, das dem Spiegel 2 gegenüberliegende Ende des Justagestabs 3 in unterschiedlichste Positionen gebracht werden und der Spiegel entsprechend positioniert bzw. verkippt werden. Durch die hohen Reibkräfte des ersten Zylinders gegenüber dem Lagergestell 4 und des zweiten Zylinders 10 gegenüber dem ersten Zylinder 9 aufgrund der großen Kontaktflächen ist zur Betätigung des Betätigungsmechanismus 5 eine viel größere Kraft aufzuwenden als bei einer direkten Betätigung des Justagestabs 3. Entsprechend stellt der Betätigungsmechanismus 5 eine Hemmung bzw. Fixierung für die Positionierung des Spiegels 2 dar.The connection element 13 is again eccentric to the axis of rotation of the second cylinder 10 arranged so that upon rotation of the second cylinder 10 in the first cylinder 9 the connection element 13 describes a circular path. Since at the same time the second cylinder 10 upon rotation of the first cylinder 9 Due to the eccentric arrangement also describes a circular path, can by the superposition of the two circular paths, so a corresponding rotation of the first and second cylinder 9 and 10 that the mirror 2 opposite end of the adjustment rod 3 be brought into various positions and the mirror can be positioned or tilted accordingly. Due to the high frictional forces of the first cylinder relative to the storage rack 4 and the second cylinder 10 opposite the first cylinder 9 due to the large contact surfaces is for actuating the actuating mechanism 5 To spend a much greater force than a direct actuation of the adjustment rod 3 , Accordingly, the actuating mechanism 5 an inhibition or fixation for the positioning of the mirror 2 represents.

In den Zylindern 9 und 10 sind an der Seite gegenüberliegend dem Spiegel Eingriffsöffnungen 11, 12 vorgesehen, die zum Eingriff eines Betätigungswerkzeugs dienen. Beispielsweise können hier Stifte eines geeigneten Betätigungswerkzeugs eingreifen, um die Zylinder 9, 10 zu drehen.In the cylinders 9 and 10 are on the side opposite the mirror engaging openings 11 . 12 provided, which serve for engagement of an actuating tool. For example, pins of a suitable actuating tool can engage around the cylinders 9 . 10 to turn.

Durch die Hebelwirkung des Justagestabs 3 ist eine viel größere Bewegung des Endes des Justagestabs 3 nötig, um eine geringe Verkippung der Spiegelfläche 7 des Spiegels 2 zu bewirken, so dass eine sehr genaue Positionierung des Spiegels 2 möglich ist.By the leverage effect of the adjustment rod 3 is a much larger movement of the end of the adjustment rod 3 necessary, a slight tilting of the mirror surface 7 of the mirror 2 to effect, allowing a very accurate positioning of the mirror 2 is possible.

Die 2 und 3 zeigen eine Draufsicht auf den Betätigungsmechanismus, wobei das Anschlusselement 13 in verschiedenen Positionen dargestellt ist. Während es bei der Position, die in 2 gezeigt ist, in der Mitte angeordnet ist und somit die Spiegelfläche senkrecht zur Vertikalen der 1 angeordnet ist, ist das Anschlusselement bei der Darstellung der 3 durch eine entsprechende Drehung der Zylinder 9 und 10 in eine Position nach rechts oben verschoben, so dass die Spiegelfläche 7 gegenüber der Horizontalen (s. 1) verkippt.The 2 and 3 show a plan view of the actuating mechanism, wherein the connecting element 13 is shown in different positions. While it is at the position that in 2 is shown, is arranged in the middle and thus the mirror surface perpendicular to the vertical of the 1 is arranged, the connecting element in the Dar position of the 3 by a corresponding rotation of the cylinder 9 and 10 moved to a position to the top right, leaving the mirror surface 7 opposite to the horizontal (s. 1 ) tilted.

Obwohl die vorliegende Erfindung anhand des dargestellten Ausführungsbeispiels detailliert beschrieben worden ist, ist für den Fachmann selbstverständlich, dass die vorliegende Erfindung nicht auf dieses Ausführungsbeispiel beschränkt ist, sondern dass andere Gestaltungen im Rahmen der vorgestellten erfinderischen Lehre möglich sind, ohne den Schutzbereich der beigefügten Ansprüche zu verlassen. Insbesondere können auch andersartige Kombinationen von einzelnen Merkmalen oder unterschiedliche Realisierungen von einzelnen Merkmalen möglich sein.Even though the present invention with reference to the illustrated embodiment has been described in detail is obvious to the expert, that the present invention is not limited to this embodiment limited is, but that other designs are presented in the context of inventive teaching possible without departing from the scope of the appended claims. Especially can also different combinations of individual characteristics or different ones Realizations of individual characteristics may be possible.

Claims (15)

Vorrichtung zur Positionierung eines Elements mit Mitteln (6) zum Lagern des Elements (2) in unterschiedlicher Orientierung und mindestens einer Justagevorrichtung (3, 5), durch deren Betätigung die Orientierung des Elements verändert werden kann, dadurch gekennzeichnet, dass die Justagevorrichtung (3, 5) selbsthemmend ausgeführt ist.Device for positioning an element with means ( 6 ) for storing the element ( 2 ) in different orientation and at least one adjustment device ( 3 . 5 ), by the actuation of which the orientation of the element can be changed, characterized in that the adjusting device ( 3 . 5 ) is designed self-locking. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Mittel (6) zum Lagern des Elements unterschiedliche Orientierungen des Elements (2) durch Verkippen um mindestens eine oder zwei oder drei Raumachse ermöglichen.Device according to claim 1, characterized in that the means ( 6 ) for storing the element different orientations of the element ( 2 ) by tilting around at least one or two or three spatial axis. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Mittel (6) zum Lagern des Elements eine Lagerfläche oder Lagerpunkte umfassen, die mit einer gebogenen Lagerfläche (8) des zu lagernden Elements zusammenwirken.Device according to one of the preceding claims, characterized in that the means ( 6 ) for supporting the element comprise a bearing surface or bearing points which are provided with a curved bearing surface ( 8th ) of the element to be stored interact. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Mittel (6) zum Lagern des Elements eine Drei-Punkt-Lagerung oder eine Lagerfläche umfassen, die mindestens eine Form aus der Gruppe aufweist, die konische, trichterartige, schalenförmige, kegelstumpfartige, pyramidenstumpfartige, keilförmige, ringförmige Flächen umfasst.Device according to one of the preceding claims, characterized in that the means ( 6 ) for supporting the element comprise a three-point bearing or bearing surface having at least one of the group consisting of conical, funnel-like, cup-shaped, frusto-conical, truncated pyramidal, wedge-shaped, annular surfaces. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Justagevorrichtung (3, 5) eine Untersetzung aufweist, so dass durch die Betätigung der Justagevorrichtung eine entsprechend der Untersetzung verringerte Veränderung der Orientierung des Elements (2) erfolgt.Device according to one of the preceding claims, characterized in that the adjusting device ( 3 . 5 ) has a reduction, so that by the operation of the adjustment device a reduction of the orientation of the element corresponding to the reduction ( 2 ) he follows. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Mittel (6) zum Lagern des Elements und die Justagevorrichtung (3, 5) so aus gebildet sind, dass die Betätigung der Justagevorrichtung (3, 5) Kräfte erfordert, die die Lager- oder Reibkraft des zu positionierenden Elements (2) übersteigen.Device according to one of the preceding claims, characterized in that the means ( 6 ) for storing the element and the adjusting device ( 3 . 5 ) are formed so that the operation of the adjusting device ( 3 . 5 ) Requires forces that the bearing or frictional force of the element to be positioned ( 2 ) exceed. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Justagevorrichtung (3, 5) einen Betätigungsmechanismus (5) und eine Kopplung (3) zwischen Betätigungsmechanismus und zu positionierendem Element (2) umfasst.Device according to one of the preceding claims, characterized in that the adjusting device ( 3 . 5 ) an actuating mechanism ( 5 ) and a coupling ( 3 ) between actuating mechanism and element to be positioned ( 2 ). Vorrichtung nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, dass die Justagevorrichtung einen Hebelmechanismus (3) umfasst, mittels dem eine groß dimensionierte Verstellung des Betätigungsmechanismus in eine klein dimensionierte Verstellung des zu positionierenden Elements übertragen wird.Apparatus according to claim 7, characterized in that the adjusting device comprises a lever mechanism ( 3 ), by means of which a large-scale adjustment of the actuating mechanism is transmitted in a small-sized adjustment of the element to be positioned. Vorrichtung nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, dass die Kopplung und/oder der Hebelmechanismus eine einfache Stange (3) oder eine Getriebevorrichtung umfasst.Apparatus according to claim 8, characterized in that the coupling and / or the lever mechanism a simple rod ( 3 ) or a transmission device. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der Betätigungsmechanismus (5) eine Getriebeanordnung umfasst.Device according to one of the preceding claims, characterized in that the actuating mechanism ( 5 ) comprises a gear arrangement. Vorrichtung nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, dass die Getriebeanordnung mindestens einen ersten (9) und einen zweiten (10) drehbaren Zylinder mit Drehachsen entlang der Zylinderlängsachse umfasst, wobei der zweite Zylinder (10) exzentrisch zur Drehachse des ersten Zylinders (9) drehbar im ersten Zylinder (10) aufgenommen ist und der zweite Zylinder ein zu seiner Drehachse exzentrisch angeordnetes Anschlusselement (13) zur Aufnahme einer Kopplung (3) zwischen Betätigungsmechanismus und zu positionierendem Element (2) aufweist.Apparatus according to claim 10, characterized in that the gear arrangement at least a first ( 9 ) and a second ( 10 ) comprises rotatable cylinders with axes of rotation along the cylinder longitudinal axis, wherein the second cylinder ( 10 ) eccentric to the axis of rotation of the first cylinder ( 9 ) rotatable in the first cylinder ( 10 ) is received and the second cylinder a to its axis of rotation eccentrically arranged connection element ( 13 ) for receiving a coupling ( 3 ) between actuating mechanism and element to be positioned ( 2 ) having. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass mindestens ein Teil der Vorrichtung als Teil des zu positionierenden Elements ausgeführt ist.Device according to one of the preceding claims, characterized characterized in that at least a part of the device as part the item to be positioned is executed. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Vorrichtung zur Positionierung von optischen Elementen in optischen Anordnungen für die Mikrolithographie, die Spiegel, Mikrospiegel, Facetten eines Facettenspiegels und optische Linsen umfassen, hergerichtet ist.Device according to one of the preceding claims, characterized characterized in that the device for positioning of optical Elements in optical arrangements for microlithography, the Mirrors, micromirrors, facet mirrors and optical ones Lenses include, is prepared. Spiegelelement für eine optische Anordnung mit einem Spiegel und einer Vorrichtung zur Positionierung des Spiegels nach einem der vorhergehenden Ansprüche.Mirror element for an optical arrangement with a mirror and a device for positioning the mirror according to one of the preceding claims. Spiegelelement nach Anspruch 14, dadurch gekennzeichnet, dass der Spiegel eine kugelsegmentartige Lagerfläche und/oder eine Justagestange aufweist.Mirror element according to claim 14, characterized in that that the mirror has a spherical segment-like bearing surface and / or an adjustment rod.
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