DE102009031092A1

DE102009031092A1 - Method for transporting substrates in substrate treatment system, involves moving substrates in substrate treatment system by transport equipment, and clamping return strand of traction unit during operation of drive unit

Info

Publication number: DE102009031092A1
Application number: DE102009031092A
Authority: DE
Inventors: Michael Hentschel; Thomas Pünsch; Steffen Lessmann
Original assignee: Von Ardenne Anlagentechnik GmbH
Current assignee: Von Ardenne GmbH
Priority date: 2009-06-29
Filing date: 2009-06-29
Publication date: 2010-12-30

Abstract

The method involves moving substrates in a substrate treatment system (1) by transport equipment (2). The transport equipment is driven with a drive unit e.g. electric motor, and a traction unit (31) by a driving device (3). A return strand of the traction unit is clamped during operation of the drive unit. The return strand is clamped during reversal of motion of the transport equipment. The drive unit and/or a pneumatic actuation unit are arranged outside the treatment system. Vacuum-tight rotary feed-throughs are provided in a process chamber. An independent claim is also included for a driving device.

Description

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Transport von Substraten in Substratbehandlungsanlagen, eine uni- oder bidirektional betreibbare Antriebseinrichtung für eine Anlagenkomponente einer Substratbehandlungsanlage, und eine Substratbehandlungsanlage mit einer solchen Antriebseinrichtung.The The invention relates to a method for transporting substrates in Substrate treatment plants, unidirectionally or bidirectionally operable Drive device for a plant component of a substrate treatment plant, and a substrate treatment system having such a drive device.

Unter einer Substratbehandlungsanlage wird dabei eine Anlage zur Durchführung technischer Behandlungen an Substraten, wie beispielsweise Ätz-, Beschichtungs- oder Umwandlungsprozessen usw., verstanden. Derartige Anlagen weisen üblicherweise eine Prozesskammer sowie eine oder mehrere Behandlungseinrichtungen, wie Beschichtungsquellen oder Ätzeinrichtungen auf. Weitere Anlagenkomponenten, wie Transporteinrichtungen, Speichereinrichtungen, Heizeinrichtungen, Kühleinrichtungen, Gaszufuhreinrichtungen und Gasabsaugeinrichtungen usw. können ebenfalls vorgesehen sein, von denen einige eine Antriebseinrichtung aufweisen.Under a substrate treatment plant is doing a plant for implementation technical treatments on substrates, such as etching, coating, or conversion processes, etc., understood. Such systems usually have one Process chamber and one or more treatment facilities, such as coating sources or etching devices. Further Plant components, such as transport facilities, storage facilities, Heating devices, cooling devices, gas supply devices and gas suction devices, etc. may also be provided be some of which have a drive device.

Aus der Patentanmeldung WO 2008/003792 A2 ist beispielsweise eine Transporteinrichtung für rohrförmige Substrate innerhalb einer Substratbehandlungsanlage mit einer Antriebseinrichtung bekannt.From the patent application WO 2008/003792 A2 For example, a transport device for tubular substrates within a substrate treatment plant with a drive device is known.

Einige dieser zusätzlichen Anlagenkomponenten können auch ganz oder teilweise außerhalb der Prozesskammer, im Falle von Substratbehandlungsanlagen also atmosphärenseitig, beispielsweise am Eingang oder Ausgang der Prozesskammer, angeordnet sein.Some of these additional plant components also completely or partially outside the process chamber, in Case of substrate treatment plants so the atmosphere side, for example, at the entrance or exit of the process chamber arranged be.

Beim Transport von Substraten durch Substratbehandlungsanlagen sind Antriebseinrichtungen bekannt, bei denen Bewegungen durch Zugmittel wie Zahnriemen, Bogenzahnketten, Rollenketten oder Kardanwellen mit Kegelradverzahnung auf Substrate, Substrathalter (Carrier) oder Messinstrumente entweder direkt oder über weitere Transportmittel, wie Transportrahmen, Transportbehälter, Transportrollen oder Transportwalzen oder Kombinationen derartiger Transportmittel, welche wiederum durch das Zugmittel der Antriebseinrichtung angetrieben werden, übertragen werden. Durchgehend ist bei diesen Antriebseinrichtungen ein mehr oder weniger großer unerwünschter Polygoneffekt nachweisbar, wodurch die Geschwindigkeit des Zugmittels periodisch um eine mittlere Geschwindigkeit schwankt. Auch Stahlseile finden in derartigen Antriebseinrichtungen Verwendung als Zugmittel, haben aber mit ihrer endlosen Verbindung und innerer Reibung der Litzen technische Grenzen erreicht.At the Transport of substrates through substrate treatment plants, drive devices are known, in which movements by traction means such as toothed belts, curved tooth chains, Roller chains or cardan shafts with bevel gear teeth on substrates, Substrate holder (Carrier) or measuring instruments either directly or via other means of transport, such as transport frames, transport containers, Transport rollers or transport rollers or combinations of such Means of transport, which in turn by the traction means of the drive device be driven, transmitted. Throughout in these drive means a more or less large Unwanted polygon effect detectable, reducing the speed of the traction means varies periodically by a mean velocity. Also Steel cables are used in such drive devices as a means of traction but have with their endless connection and inner Friction of the strands reaches technical limits.

Die Antriebseinrichtungen von Anlagenkomponenten für Substratbehandlungsanlagen stellen eine sensible mechanische Komponente dar, weil vom gleichmäßigen Lauf beispielsweise einer Transporteinrichtung einer Vakuumbeschichtungsanlage die Qualität der Beschichtung abhängt. Ist die Transportgeschwindigkeit der Substrate nicht konstant, wie dies beispielsweise aufgrund des oben beschriebenen Polygoneffekts geschehen kann, so wird die Homogenität der sich ausbildenden Schicht negativ beeinflusst.The Drive devices of plant components for substrate treatment plants represent a sensitive mechanical component because of uniformity Run, for example, a transport device of a vacuum coating system the Quality of the coating depends. Is the transport speed the substrates are not constant, as for example due to the Polygon effect described above can be done, then the homogeneity the forming layer has a negative influence.

Es ist daher eine Aufgabe der Erfindung, ein Transportverfahren für Substrate sowie eine Antriebseinrichtung, insbesondere für eine Transporteinrichtung einer Substratbehandlungsanlage, zu entwickeln, wobei Polygoneffekte gegenüber bekannten Lösungen stark verringert oder ganz verhindert werden sollen. Ferner besteht eine Aufgabe darin, eine Antriebseinrichtung anzugeben, welche geeignet ist, eine Transporteinrichtung mit nur einem Motor oder anderen Antriebsmittel bidirektional anzutreiben, d. h. einen polygoneffektarmen oder -freien Reversierbetrieb zu ermöglichen, bei dem Substrate abwechselnd in beiden Richtungen durch die Substratbehandlungsanlage bewegt werden.It is therefore an object of the invention, a transport method for Substrates and a drive device, in particular for to develop a transport device of a substrate treatment plant, where polygon effects over known solutions greatly reduced or completely prevented. It also exists an object is to provide a drive device which is suitable is a transport device with only one motor or another Drive means to drive bidirectionally, d. H. a low polygon effect or -frei Reversierbetrieb to allow for the substrates alternately moved in both directions through the substrate treatment plant become.

Diese Aufgabe wird gelöst durch ein Verfahren zum Transport von Substraten in Substratbehandlungsanlagen mit den Merkmalen des unabhängigen Anspruchs 1, eine Antriebseinrichtung mit den Merkmalen des unabhängigen Anspruchs 3 sowie eine Substratbehandlungsanlage mit den Merkmalen des unabhängigen Anspruchs 11; vorteilhafte Ausgestaltungen und Weiterbildungen sind Gegenstand der abhängigen Ansprüche.These The object is achieved by a method for transporting Substrates in substrate treatment plants with the characteristics of the independent Claim 1, a drive device with the features of the independent Claim 3 and a substrate treatment plant with the features of independent claim 11; advantageous embodiments and further developments are the subject of the dependent claims.

Es wird daher ein Verfahren zum Transport von Substraten in Substratbehandlungsanlagen vorgeschlagen, bei dem ein Substrat mittels einer Transporteinrichtung in der Substratbehandlungsanlage bewegt wird, wobei die Transporteinrichtung durch eine Antriebseinrichtung mit einem Antriebsmittel und einem Zugmittel angetrieben wird, und wobei während des Betriebs des Antriebsmittels das Leertrum des Zugmittels gespannt wird.It is therefore a method for transporting substrates in substrate treatment plants proposed in which a substrate by means of a transport device is moved in the substrate treatment plant, wherein the transport device by a drive device with a drive means and a Traction means is driven, and wherein during operation the drive means, the slack side of the traction means is tensioned.

Eine derartige Transporteinrichtung kann beispielsweise mehrere in der Längserstreckung einer Substratbehandlungsanlage hintereinander und parallel zueinander angeordnete Transportwalzen umfassen, auf denen tafelförmige Substrate liegend durch die Substratbehandlungsanlage bewegt werden, so dass die obersten Mantellinien der Transportwalzen die Transportebene definieren. Derartige Transportwalzen weisen häufig an einem Ende ein angetriebenes Rad auf, und eines oder mehrere angetriebene Räder sind von einem endlosen Zugmittel umfasst, welches die angetriebenen Räder antreibt.A Such transport device can, for example, several in the Longitudinal extension of a substrate treatment plant behind each other and parallel to each other arranged transport rollers, on which lying tabular substrates through the substrate treatment plant be moved so that the uppermost generatrices of the transport rollers Define the transport level. Such transport rollers have often at one end a powered wheel, and one or more driven wheels are of an endless one Includes traction means which drives the driven wheels.

Dabei überträgt das Zugmittel auf das oder die angetriebenen Räder eine Bewegung, die durch ein Antriebsmittel, beispielsweise einen Elektromotor, erzeugt und durch ein antreibendes Rad auf das Zugmittel übertragen wird.In this case, the traction means transmits to the or the driven wheels, a movement through a drive means, for example an electric motor, generated and transmitted by a driving wheel to the traction means.

Das Zugmittel kann dabei ein Seil, eine Kette, ein Riemen, beispielsweise Zahn-, Keil-, Rund- oder Flachriemen sein; dementsprechend können das antreibende Rad und die angetriebenen Räder die zum gewählten Zugmittel passenden Maschinenelemente, also beispielsweise Zahnriemenräder, Kettenritzel oder Riemenscheiben verschiedener Ausführungen sein.The Traction means can be a rope, a chain, a belt, for example Tooth, wedge, round or flat belt be; accordingly, that can driving wheel and the driven wheels to the chosen Traction means suitable machine elements, so for example, toothed belt wheels, Chain sprockets or pulleys of various designs be.

Bei der oben beschriebenen Transporteinrichtung wird der obere Teil des Zugmittels als Obertrum, der untere Teil entsprechend als Untertrum bezeichnet. Das Antriebsmittel greift in das Obertrum oder das Untertrum ein, wobei das Zugmittel hierzu entsprechend oberhalb oder unterhalb der Transportwalzen und damit oberhalb oder unterhalb der angetriebenen Räder angeordnet ist und das Zugmittel an dieser Stelle auch um das antreibende Rad geführt ist. Nachfolgend wird der auf das antreibende Rad zu laufende Teil des Zugmittels, welcher auf Zug belastet ist, als Lasttrum bezeichnet, und der vom antreibenden Rad weg laufende Teil des Zugmittels, welcher lastfrei ist, als Leertrum bezeichnet. Wird nun die Bewegungsrichtung des Antriebsmittels umgekehrt, so wird das bisherige Leertrum zum Lasttrum und das bisherige Lasttrum wird zum Leertrum.at the transport device described above becomes the upper part of the traction device as the upper strand, the lower part accordingly as the lower strand designated. The drive means engages in the upper strand or the lower strand a, wherein the traction means for this purpose above or below the transport rollers and thus above or below the driven Wheels is arranged and the traction means at this point also led to the driving wheel. Below is the on the driving wheel to running part of the traction means, which loaded on train, referred to as Lasttrum, and that of the driving Wheel away running part of the traction device, which is load-free, as Leertrum called. Will now the direction of movement of the drive means conversely, the previous empty strand becomes the last and the former Lasttrum becomes a leertrum.

Es wurde nunmehr festgestellt, dass Polygoneffekte stark vermindert werden können, wenn zumindest das Leertrum während des Betriebs des Antriebsmittels gespannt wird. Dadurch wird die Transportgeschwindigkeit wesentlich gleichmäßiger, so dass beispielsweise bei Beschichtungsverfahren die Schichtqualität signifikant verbessert werden kann. Aber selbstverständlich ist das vorgeschlagene Verfahren auch bei Seil- oder Riemenantrieben etc. nutzbringend einsetzbar, weil hier die Spannung des Leertrums die Reibung des Zugmittels mit den angetriebenen Rädern erhöht und damit – insbesondere, wenn das Zugmittel sich aufgrund der Prozesstemperatur verlängert – verhindert wird, dass das Zugmittel rutscht.It has now been found that polygon effects greatly reduced can be, if at least the leertrum during the operation of the drive means is tensioned. This will increase the transport speed much more even, so for example in coating processes the coating quality significantly can be improved. But of course that is proposed method also useful in rope or belt drives etc. can be used, because here the tension of the empty strand the friction of the Pull means increased with the driven wheels and thus - especially when the traction means is due to the process temperature extended - prevented is that the traction means slips.

In einer Weiterbildung des Verfahrens ist vorgesehen, dass mindestens einmal eine Bewegungsumkehr der Transporteinrichtung erfolgt, bei welcher das Leertrum und das Lasttrum ihre Funktionen tauschen, und mit der Bewegungsumkehr das neue Leertrum gespannt wird.In a development of the method is provided that at least once a reversal of motion of the transport device takes place at which exchange the empty strand and the load-strand, and with the reversal of motion the new empty strand is stretched.

Dieser sogenannte Reversierbetrieb dient dazu, Substrate zwei- oder mehrmals durch die Substratbehandlungsanlage zu bewegen, beispielsweise um mehrschichtige Beschichtungen herzustellen oder/und um die Länge der SubstratbehandlungsanlageThis so-called reversing operation serves substrates two or more times to move through the substrate treatment plant, for example to produce multilayer coatings and / or by the length the substrate treatment plant

Weiterhin wird eine Antriebseinrichtung für eine Transporteinrichtung einer Substratbehandlungsanlage vorgeschlagen, die ein Antriebsmittel mit einem antreibenden Rad und ein Zugmittel umfasst, welches um das antreibende Rad und mindestens ein angetriebenes Rad der Transporteinrichtung geführt ist und diese im Betrieb der Substratbehandlungsanlage antreibt, wobei die Antriebseinrichtung weiterhin mindestens ein Spannmittel umfasst, das mit dem Zugmittel zumindest während des Betriebs der Antriebseinrichtung so in Wirkverbindung bringbar ist, dass auf das Leertrum des Zugmittels eine Spannkraft wirkt.Farther is a drive device for a transport device a substrate treatment plant proposed having a drive means with a driving wheel and a traction means, which surrounds the driving wheel and at least one driven wheel guided the transport device is and drives them in the operation of the substrate treatment plant, wherein the drive device further comprises at least one tensioning means comprising, with the traction means at least during operation of the Drive device can be brought into operative connection that on the slack side of the traction means acts a clamping force.

In einer Weiterbildung der Antriebseinrichtung ist vorgesehen, dass das Antriebsmittel bidirektional betreibbar ist und das Spannmittel mit dem Zugmittel zumindest während des Betriebs der Antriebseinrichtung so in Wirkverbindung bringbar ist, dass bei jeder Bewegungsumkehr des Antriebsmittels auf das jeweilige Leertrum des Zugmittels eine Spannkraft wirkt.In a development of the drive device is provided that the drive means is bidirectionally operable and the tensioning means with the traction means at least during operation of the drive device can be brought into operative connection, that at every movement reversal the drive means on the respective slack side of the traction means a clamping force acts.

Beispielsweise kann das Spannmittel einen Hebel mit einem Andruckrad umfassen, wobei der Hebel an einem Ende schwenkbar gelagert ist und das Andruckrad am anderen Ende des Hebels drehbar gelagert ist, und wobei das Andruckrad durch Schwenken des Hebels eine Spannkraft auf das Zugmittel ausübt.For example the clamping means may comprise a lever with a pressure wheel, wherein the lever is pivotally mounted at one end and the pressure wheel is rotatably mounted at the other end of the lever, and wherein the Andruckrad by pivoting the lever exerts a clamping force on the traction means.

Dazu kann an der Antriebseinrichtung mindestens eine Feder so angeordnet sein, dass sie eine Spannkraft erzeugt, die vom Spannmittel auf das Zugmittel wirkt.To can arranged on the drive means at least one spring so be that it generates a clamping force on the clamping device the traction means acts.

Alternativ oder zusätzlich kann mindestens ein pneumatisches Betätigungsmittel so angeordnet sein, dass es eine Spannkraft erzeugt, die vom Spannmittel auf das Zugmittel wirkt.alternative or additionally, at least one pneumatic actuator be arranged so that it generates a clamping force from the clamping device acts on the traction means.

Beispielsweise kann in einer Ausgestaltung das Spannmittel federbelastet sein, so dass das Leertrum der Vorwärtsbewegung (erste Bewegungsrichtung der Transporteinrichtung) gespannt ist. Wird die Bewegung umgekehrt (erste Bewegungsrichtung der Transporteinrichtung), so wird das Spannmittel durch die Wirkung einer pneumatischen Antriebseinrichtung gegen die Kraft der Feder gegen das nun als Leertrum wirkende vorherige Lasttrum gedrückt wird.For example In one embodiment, the tensioning means may be spring-loaded, so that the slack side of the forward movement (first direction of movement the transport device) is stretched. Will the movement be reversed? (First direction of movement of the transport device), so will the Clamping means by the action of a pneumatic drive device against the force of the spring against the now acting as an empty strand previous Lasttrum is pressed.

In einer anderen Ausgestaltung wird die Spannkraft in beiden Richtungen durch ein pneumatisches Betätigungsmittel erzeugt, wobei die Wirkungsrichtung der pneumatischen Antriebseinrichtung bei jeder Bewegungsumkehr des Antriebsmittels ebenfalls umgeschaltet wird. Ein solches pneumatisches Betätigungsmittel kann beispielsweise zwei entgegengesetzt wirkende Pneumatikzylinder umfassen.In another embodiment, the clamping force in both directions produced by a pneumatic actuator, wherein the direction of action of the pneumatic drive device at each Movement reversal of the drive means is also switched. Such a pneumatic actuating means may, for example, two comprise oppositely acting pneumatic cylinders.

Vorteilhaft kann weiter vorgesehen sein, dass das Antriebsmittel in einem Loslager, relativ zur Transporteinrichtung verschiebbar, gelagert ist. Hierdurch können durch die Wirkung der Spannkraft auftretende Auslenkungen des Zugmittels ausgeglichen werden, wobei das Gewicht des Antriebsmittels die Gegenkraft bildet, damit die vom Spann mittel erzeugte Spannkraft tatsächlich eine Zugbelastung im Zugmittel erzeugt.Advantageous can further be provided that the drive means in a movable bearing, displaceable relative to the transport device, is stored. hereby can by the action of the tension force occurring deflections the traction means are balanced, the weight of the drive means forms the counterforce, so that the clamping force generated by the clamping medium actually generates a tensile load in the traction means.

Es kann allerdings auch vorgesehen sein, dass das Antriebsmittel im Loslager elastisch gelagert ist. Dabei kann beispielsweise eine weitere Feder so angeordnet sein, dass sie eine Rückstellkraft auf das Antriebsmittel erzeugt, die der durch die Auslenkung des Zugmittels bedingten Verschiebung des Antriebsmittels entgegenwirkt.It However, it can also be provided that the drive means in Floating bearing is elastically mounted. In this case, for example, a another spring may be arranged so that it has a restoring force generates the drive means, which by the deflection of the traction means counteracts conditional displacement of the drive means.

Schließlich wird eine Substratbehandlungsanlage vorgeschlagen, die eine Transporteinrichtung sowie eine Antriebseinrichtung der oben beschriebenen Art umfasst. Mit dieser Substratbehandlungsanlage ist es möglich, Substrate mit gleichmäßiger Transportgeschwindigkeit zu behandeln und so qualitativ hochwertige Beschichtungs- oder sonstige Behandlungsergebnisse zu erzielen. Ist das Antriebsmittel für bidirektionalen Antrieb der Transporteinrichtung ausgelegt, so lassen sich die gleichen Vorteile auch im Reversierbetrieb erzielen.After all a substrate treatment plant is proposed which includes a transport device as well a drive device of the type described above comprises. With This substrate treatment system, it is possible substrates with uniform transport speed too treat and so high quality coating or other Achieve treatment outcomes. Is the drive means for bidirectional drive of the transport device designed so let the same advantages can be achieved in reversing operation.

In einer Ausgestaltung der Substratbehandlungsanlage sind das Antriebsmittel oder/und das pneumatische Betätigungsmittel außerhalb der Substratbehandlungsanlage angeordnet. Hierzu können an der Prozesskammer vakuumdichte Drehdurchführungen vorgesehen sein. Dadurch werden der umbaute Raum und damit das zu evakuierende Volumen deutlich reduziert. Außerdem sind das Antriebsmittel oder/und das pneumatische Betätigungsmittel zu Wartungszwecken wesentlich leichter zugänglich.In an embodiment of the substrate treatment system are the drive means or / and the pneumatic actuator outside the substrate treatment plant arranged. You can do this the process chamber vacuum-tight rotary joints provided be. As a result, the enclosed space and thus to be evacuated Volume significantly reduced. In addition, these are the driving means and / or the pneumatic actuator for maintenance purposes much easier to access.

Nachfolgend werden die beschriebenen Verbesserungen anhand eines Ausführungsbeispiels und zugehöriger Zeichnungen näher erläutert. Dabei zeigenfollowing The improvements described are based on an embodiment and associated drawings explained in more detail. Show

1 einen Längsschnitt durch eine Substratbehandlungseinrichtung mit einer Transporteinrichtung und einer Antriebseinrichtung, 1 a longitudinal section through a substrate treatment device with a transport device and a drive device,

2. eine perspektivische Darstellung der Antriebseinrichtung, und 2 , a perspective view of the drive device, and

3 Längsschnitte durch das Hilfsgehäuse der Antriebseinrichtung in verschiedenen Funktionszuständen A, B und C. 3 Longitudinal sections through the auxiliary housing of the drive device in different functional states A, B and C.

1 zeigt einen Längsschnitt durch eine Substratbehandlungsanlage 1. In der Prozesskammer 11 der Substratbehandlungsanlage 1 ist eine Transporteinrichtung 2 angeordnet, die zum liegenden Transport tafelförmiger Substrate an einer Beschichtungsquelle 12 vorbei eingerichtet ist, welche eine Anzahl von beidseitig in je einer Lagerbank 21 drehbar gelagerten Transportwalzen, die in der gewählten Darstellung durch die Lagerbank 21 verdeckt sind, umfasst. Die Transportwalzen weisen an einem Ende je ein angetriebenes Rad 22 auf. Die angetriebenen Räder 22 stehen mit einer Zahnkette 31 in Kontakt, welche die angetriebenen Räder 22 antreibt. 1 shows a longitudinal section through a substrate treatment plant 1 , In the process chamber 11 the substrate treatment plant 1 is a transport device 2 arranged for lying transport of tabular substrates to a coating source 12 is set up, which is a number of both sides in a respective storage bank 21 rotatably mounted transport rollers, in the selected representation by the bearing bank 21 are covered. The transport rollers each have a driven wheel at one end 22 on. The driven wheels 22 stand with a toothed chain 31 in contact with the powered wheels 22 drives.

Hierzu wird das Untertrum der Zahnkette 31 über Umlenkräder 23 und um das antreibende Rad 35 einer Antriebseinrichtung 3 geführt, so dass eine von einem hier nicht dargestellten Elektromotor 34 erzeugte Bewegung des antreibenden Rades 35 durch die Zahnkette 31 auf die angetriebenen Räder 22 der Transportwalzen übertragen werden. Im Ausführungsbeispiel koaxial mit dem antreibenden Rad 35 ist in der Antriebseinrichtung 3 ein Hebel 41 schwenkbar gelagert. Koaxialität ist hingegen nicht notwendig; ebenso umfasst sind andere Gestaltungen, bei denen der Hebel 41 eine eigene Schwenkachse aufweist, welche von der Drehachse des antreibenden Rades 35 abweicht, sowie Ausführungen, bei denen die Spannkraft auf anderem Wege, beispielsweise durch eine oder mehrere Federn, erzeugt wird. Am freien Ende des Hebels 41 ist ein Andruckrad 42 drehbar gelagert, das durch Schwenken des Hebels 41 in die eine oder andere Richtung mit dem Zahnriemen 31 in Berührung gebracht werden kann, so dass eine Spannkraft auf die Zahnkette 31 übertragen wird.For this purpose, the lower strand of the tooth chain 31 via deflection wheels 23 and the driving wheel 35 a drive device 3 guided, so that one of an electric motor, not shown here 34 generated movement of the driving wheel 35 through the tooth chain 31 on the driven wheels 22 be transferred to the transport rollers. In the embodiment coaxial with the driving wheel 35 is in the drive device 3 a lever 41 pivoted. Coaxiality, on the other hand, is not necessary; Also included are other designs where the lever 41 has its own pivot axis, which of the axis of rotation of the driving wheel 35 as well as embodiments in which the clamping force is generated in other ways, for example by one or more springs. At the free end of the lever 41 is a pinch wheel 42 rotatably mounted, by pivoting the lever 41 in one direction or the other with the timing belt 31 can be brought into contact, leaving a clamping force on the silent chain 31 is transmitted.

Das antreibende Rad 35 der Antriebseinrichtung 3 und das Spannmittel 4 sind in einem Hilfsgehäuse 13 untergebracht, welches an der Unterseite der Prozesskammer 11 befestigt ist.The driving wheel 35 the drive device 3 and the clamping device 4 are in an auxiliary housing 13 housed at the bottom of the process chamber 11 is attached.

Wie aus 2 ersichtlich, weist das Hilfsgehäuse 13 beidseitig vakuumdichte Drehdurchführungen 14 auf. In einer der beiden Drehdurchführungen 14 ist eine erste Achse drehbar gelagert, welche im Hilfsgehäuse 13 das antreibende Rad 35 trägt, um das die Zahnkette 31 geführt ist. Diese erste Achse führt außerhalb des Hilfsgehäuses 13 in ein Winkelgetriebe 36, an dessen Antriebsseite ein Elektromotor 34 angebracht ist, der das Antriebsmittel der Antriebseinrichtung 3 darstellt. Im Ausführungsbeispiel kann der Elektromotor 34 in beide Richtungen wirken, d. h. er kann die Transporteinrichtung 2 vorwärts oder wahlweise rückwärts betreiben.How out 2 can be seen, the auxiliary housing 13 Vacuum-tight rotary unions on both sides 14 on. In one of the two rotary unions 14 a first axis is rotatably mounted, which in the auxiliary housing 13 the driving wheel 35 carries around that the tooth chain 31 is guided. This first axis leads outside of the auxiliary housing 13 in a bevel gear 36 , on whose drive side an electric motor 34 is attached, which is the drive means of the drive means 3 represents. In the embodiment, the electric motor 34 act in both directions, ie he can the transport device 2 forwards or backwards.

In der anderen Drehdurchführung 14 ist auf einer zweiten drehbar gelagerten Achse innerhalb des Hilfsgehäuses 13 ein Spannmittel 4 schwenkbar gelagert, das einen Hebel 41 und ein an dem Hebel 41 drehbar angeordnetes Andruckrad 42 umfasst. Außerhalb des Hilfsgehäuses 13 ist an der zweiten Achse ein pneumatisches Betätigungsmittel 43 so angeordnet, dass es eine Spannkraft erzeugen kann, die vom Spannmittel 4 auf das Zugmittel 31 wirkt. Im Ausführungsbeispiel kann das pneumatische Betätigungsmittel 43 in beide Richtungen wirken, d. h. es kann den Hebel 41 aus der Ruhestellung nach links oder wahlweise nach rechts schwenken und so eine Spannkraft erzeugen.In the other rotary union 14 is on a second rotatably mounted axis within the auxiliary housing 13 a clamping device 4 pivotally mounted, which is a lever 41 and one on the lever 41 rotatably mounted Andruckrad 42 includes. Outside the auxiliary housing 13 At the second axis is a pneumatic actuator 43 so arranged that it can generate a clamping force from the clamping device 4 on the traction means 31 acts. In the embodiment, the pneumatic actuating means 43 act in both directions, ie it can be the lever 41 From the rest position, swing to the left or alternatively to the right to create a clamping force.

Die verschiedenen Funktionszustände der Antriebseinrichtung 3 sind in den Darstellungen A, B und C von 3 dargestellt.The various functional states of the drive device 3 are in the representations A, B and C of 3 shown.

Darstellung A zeigt das Spannmittel 4 der Antriebs einrichtung 3 in Ruhestellung. Dabei berührt das Andruckrad 42 die Zahnkette 31 nicht.Illustration A shows the clamping device 4 the drive device 3 at rest. The pressure wheel touches 42 the tooth chain 31 Not.

Dreht sich das antreibende Rad 35 der Antriebseinrichtung 3 linksherum, wie in Darstellung B gezeigt, so wird der linke Teil der Zahnkette 31 gezogen; er wirkt als Lasttrum 33. Um das Leertrum 32 zu spannen, muss daher der Hebel 41 nach rechts geschwenkt. werden, so dass das Andruckrad 42 eine Spannkraft auf die Zahnkette 31 ausübt.Turns the driving wheel 35 the drive device 3 on the left, as shown in illustration B, the left part of the tooth chain becomes 31 drawn; he acts as a load 33 , To the leertrum 32 Therefore, the lever must be tensioned 41 swung to the right. so that the pressure wheel 42 a tension on the tooth chain 31 exercises.

Dreht sich das antreibende Rad 35 der Antriebseinrichtung 3 hingegen rechtsherum, wie in Darstellung C gezeigt, so wird der rechte Teil der Zahnkette 31 gezogen; er wirkt als Lasttrum 33. Um das Leertrum 32 zu spannen, muss daher der Hebel 41 nach links geschwenkt werden, so dass das Andruckrad 42 eine Spannkraft auf die Zahnkette 31 ausübt.Turns the driving wheel 35 the drive device 3 on the right, as shown in illustration C, the right part of the tooth chain becomes 31 drawn; he acts as a load 33 , To the leertrum 32 Therefore, the lever must be tensioned 41 be pivoted to the left, so that the pressure wheel 42 a tension on the tooth chain 31 exercises.

Das dargestellte Ausführungsbeispiel ist jedoch lediglich eine von vielen Varianten der möglichen Gestaltung eines Spannmittels im Sinne der beschriebenen Erfindung; andere Ausführungsformen sind ohne Abweichung vom Erfindungsgedanken mit umfasst.The illustrated embodiment, however, is only one of many variants of the possible design of a clamping device in the sense of the described invention; Other embodiments are without departing from the spirit of the invention.

11: SubstratbehandlungsanlageSubstrate treatment plant
1111: Prozesskammerprocess chamber
1212: Behandlungseinrichtung, BeschichtungsquelleTreatment device coating source
1313: Hilfsgehäusesubcasing
1414: DrehdurchführungRotary union
22: Transporteinrichtungtransport means
2121: Lagerbankbearing bank
2222: angetriebenes Radpowered wheel
2323: Umlenkradguide wheel
33: Antriebseinrichtungdriving means
3131: Zugmittel, Zahnkettetraction means, toothed chain
3232: Leertrumloose side
3333: Lasttrumload strand
3434: Antriebsmittel, ElektromotorDrive means electric motor
3535: antreibendes Raddriving wheel
3636: Winkelgetriebeangle gear
44: Spannmittelclamping means
4141: Hebellever
4242: Andruckradpinch wheel
4343: pneumatisches Betätigungsmittelpneumatic actuating means

ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNGQUOTES INCLUDE IN THE DESCRIPTION

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Zitierte PatentliteraturCited patent literature

- WO 2008/003792 A2 [0003]

Claims

Process for transporting substrates in substrate treatment plants ( 1 ), in which a substrate by means of a transport device ( 2 ) in the substrate treatment plant ( 1 ) is moved, wherein the transport device ( 2 ) by a drive device ( 3 ) with a drive means ( 34 ) and a traction means ( 31 ), characterized in that during operation of the drive means ( 34 ) the empty strand ( 32 ) of the traction means ( 31 ) is stretched.

Method according to claim 1, characterized in that at least once a movement reversal of the transport device ( 2 ), in which the empty strand ( 32 ) and the load area ( 33 ) exchange their functions, and with the reversal of motion the new empty strand ( 32 ) is stretched.

Drive device ( 3 ) for a transport device ( 2 ) a substrate treatment plant ( 1 ) comprising a drive means ( 34 ) with a driving wheel ( 35 ) and a traction means ( 31 ), which is around the driving wheel ( 35 ) and at least one driven wheel ( 22 ) of the transport device ( 2 ) and this during operation of the substrate treatment plant ( 1 ), characterized in that the drive device ( 3 ) at least one tensioning means ( 4 ), which with the traction means ( 31 ) at least during operation of the drive device ( 2 ) can be brought into operative connection so that on the empty strand ( 32 ) of the traction means ( 31 ) a clamping force acts.

Drive device ( 2 ) according to claim 3, characterized in that the drive means ( 34 ) is bidirectionally operable and the clamping means ( 4 ) with the traction means ( 31 ) at least during operation of the drive device ( 3 ) is operatively connected in such a way that at each reversal of motion of the drive means ( 34 ) on the respective empty strand ( 32 ) of the traction means ( 31 ) a clamping force acts.

Drive device ( 3 ) according to claim 3 or 4, characterized in that the tensioning means ( 4 ) a lever ( 41 ) with a pressure wheel ( 42 ), the lever ( 41 ) is pivotally mounted at one end and the Andruckrad ( 42 ) at the other end of the lever ( 41 ) is rotatably mounted, and wherein the pressure wheel ( 42 ) by pivoting the lever ( 41 ) a tension on the traction means ( 31 ) exercises.

Drive device ( 3 ) according to claim 5, characterized in that at least one spring is arranged so that it generates a clamping force, which by the clamping means ( 4 ) on the traction means ( 31 ) acts.

Drive device ( 3 ) according to claim 5 or 6, characterized in that at least one pneumatic actuating means ( 43 ) is arranged so that it generates a clamping force by the clamping means ( 4 ) on the traction means ( 31 ) acts.

Drive device ( 3 ) according to one of claims 3 to 7, characterized in that the drive means ( 34 ) and / or the driving wheel ( 35 ) in a floating bearing, relative to the transport device ( 2 ) is displaceable, stored.

Drive device ( 3 ) according to claim 8, characterized in that the drive means ( 34 ) and / or the driving wheel ( 35 ) is elastically mounted in the floating bearing.

Substrate treatment plant ( 1 ), comprising a transport device ( 2 ) and a drive device ( 3 ) according to any one of claims 3 to 10.

Substrate treatment plant ( 1 ) according to claim 10, characterized in that the drive means ( 34 ) outside the substrate treatment plant ( 1 ) is arranged.

Substrate treatment plant ( 1 ) according to claim 10 or 11, characterized in that the pneumatic actuating means ( 43 ) outside the substrate treatment plant ( 1 ) is arranged.