DE102009025182A1 - Optischer Strahlaufweiter und Bearbeitungsverfahren mit einem solchen Strahlaufweiter - Google Patents
Optischer Strahlaufweiter und Bearbeitungsverfahren mit einem solchen Strahlaufweiter Download PDFInfo
- Publication number
- DE102009025182A1 DE102009025182A1 DE102009025182A DE102009025182A DE102009025182A1 DE 102009025182 A1 DE102009025182 A1 DE 102009025182A1 DE 102009025182 A DE102009025182 A DE 102009025182A DE 102009025182 A DE102009025182 A DE 102009025182A DE 102009025182 A1 DE102009025182 A1 DE 102009025182A1
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- sockets
- beam expander
- versions
- rotation
- adjusting ring
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
- B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
- B23K26/36—Removing material
- B23K26/38—Removing material by boring or cutting
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
- B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
- B23K26/02—Positioning or observing the workpiece, e.g. with respect to the point of impact; Aligning, aiming or focusing the laser beam
- B23K26/06—Shaping the laser beam, e.g. by masks or multi-focusing
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
- B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
- B23K26/02—Positioning or observing the workpiece, e.g. with respect to the point of impact; Aligning, aiming or focusing the laser beam
- B23K26/06—Shaping the laser beam, e.g. by masks or multi-focusing
- B23K26/064—Shaping the laser beam, e.g. by masks or multi-focusing by means of optical elements, e.g. lenses, mirrors or prisms
- B23K26/0648—Shaping the laser beam, e.g. by masks or multi-focusing by means of optical elements, e.g. lenses, mirrors or prisms comprising lenses
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
- B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
- B23K26/02—Positioning or observing the workpiece, e.g. with respect to the point of impact; Aligning, aiming or focusing the laser beam
- B23K26/06—Shaping the laser beam, e.g. by masks or multi-focusing
- B23K26/0665—Shaping the laser beam, e.g. by masks or multi-focusing by beam condensation on the workpiece, e.g. for focusing
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
- B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
- B23K26/352—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring for surface treatment
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
- B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
- B23K26/36—Removing material
- B23K26/361—Removing material for deburring or mechanical trimming
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B27/00—Optical systems or apparatus not provided for by any of the groups G02B1/00 - G02B26/00, G02B30/00
- G02B27/09—Beam shaping, e.g. changing the cross-sectional area, not otherwise provided for
- G02B27/0938—Using specific optical elements
- G02B27/095—Refractive optical elements
- G02B27/0955—Lenses
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B7/00—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements
- G02B7/02—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for lenses
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Laser Beam Processing (AREA)
- Lenses (AREA)
Abstract
Es wird bereitgestellt ein optischer Strahlaufweiter mit einer ersten, zweiten und dritten Fassung (2, 4, 5), die jeweils zumindest eine Linse (3, 5, 7) haltern und so miteinander verbunden sind, dass sowohl die erste und zweite Fassung (2, 4) als auch die zweite und dritte Fassung (4, 6) jeweils in Längsrichtung des Strahlaufweiters (1) relativ zueinander verschiebbar sind, um den Abstand der durch die entsprechenden Fassungen (2, 4, 6) gehalterten Linsen (3, 5, 7) zu verändern, und mit einem ersten elastischen Element (17; 25), das mit der ersten oder zweiten Fassung (2, 4) verbunden ist, um die zwischen der ersten und zweiten Fassung (2, 4) vorliegende Spielpassung zu verbessern.
Description
- Die vorliegende Erfindung betrifft einen optischen Strahlaufweiter, insbesondere für die Lasermaterialbearbeitung, sowie ein Verfahren zur Bearbeitung von Materialien mittels Laser und eines solchen optischen Strahlaufweiters.
- Für den Einsatz von Laserstrahlung in Prozessen, bei denen eine hohe Energiedichte benötigt wird, um einen bestimmten Effekt im Material zu bewirken, werden sehr kleine Spotdurchmesser benötigt. Hierbei kann es sich zum Beispiel um Schneiden, Gravieren, Beschriften, usw. handeln. Speziell für solche Anwendungen werden optische Strahlaufweiter (Beam Expander) häufig konzipiert.
- Es ist Aufgabe der Erfindung, einen variablen optischen Strahlaufweiter bereitzustellen, der kostengünstig hergestellt werden kann und mit dem die gewünschte Strahlaufweitung leicht und dauerhaft eingestellt werden kann. Ferner soll ein Lasermaterialbearbeitungsverfahren mit einem solchen optischen Strahlaufweiter zur Verfügung gestellt werden.
- Die Aufgabe wird dadurch gelöst durch einen optischen Strahlaufweiter gemäß Anspruch 1.
- Der erfindungsgemäße Strahlaufweiter mit verbesserter Spielpassung (insbesondere passspielfrei) der zwei relativ zueinender bewegbaren Fassungen (erste und zweite Fassung) ist insbesondere gekennzeichnet durch das Einbringen mindestens eines elastischen Elements (z. B. O-Ring). Hierdurch ist es möglich, die bei einer Passgruppe (Spielpassung) auftretende Grundluft zu reduzieren. Dabei ist die sich ergebende Zentriergenauigkeit immer besser oder gleich gut wie die durch die Toleranz der beiden Einzelteile bzw. Fassungen bedingte Grundluft der Teilepaarung. Da gemäß der erfindungsgemäßen Konstruktionslösung in der bzw. den Passungen zusätzlich ein oder mehrere elastische Elemente (z. B. O-Ringe) eingebracht sind, können die Bewegungen der Fassungen möglichst genau und ohne für mechanische Schwingungen anfälligen Bewegungsluft gestaltet werden. Dieses elastische Element bzw. diese elastischen Elemente ermöglichen durch eine definierte Kompression ein Minimieren der Grundluft der Passung. Durch geeignete Schmierung ist hier auch eine gleitende Bewegung der Teile auf diesen elastischen Elementen (z. B. O-Ringen) möglich.
- Vorteilhafte Ausgestaltungen des erfindungsgemäßen Strahlaufweiters sind in den abhängigen Ansprüchen 2 bis 15 angegeben.
- Der Zoombereich des erfindungsgemäßen Strahlaufweiters ist bevorzugt von 2x bis 10x, wobei der Strahlaufweiter insbesondere stufenlos einstellbar ist.
- Je größer der aufgeweitete Strahl ist, desto kleinere Spots können mit einem anschließenden F-Theta-Objektiv erzielt und desto kleinere Strukturen können z. B. in der Mikromaterialbearbeitung erzeugt werden.
- Der erfindungsgemäße Strahlaufweiter bietet insbesondere einen variablen 2 bis 10-fachen Aufweitungsfaktor, der stufenlos einstellbar ist. Die Linsen sind in geeigneter Weise beschichtet. Beispielsweise durch eine JENODUR-Beschichtung.
- Insbesondere kann erfindungsgemäß ein in besonderer Weise gestalteter Fokussierring (erster oder zweiter Einstellring für Fokus) die gezielte Veränderung der Divergenz der Laserstrahlen und somit einen Ausgleich der Brennweitentoleranzen im Gesamtsystem ermöglichen. Ebenso ist eine Veränderung der Position der Bildebene nach dem Scansystem möglich.
- Durch die erfindungsgemäße Ausführung ist vorteilhafterweise kein Wechsel der Linsenelemente notwendig, wenn der Zoom oder Focus gewechselt werden sollen.
- Die Feineinstellung des Zoom- und Fokusmaßstabes beim erfindungsgemäßen Strahlaufweiter erfolgt bevorzugt über die Kombination aus mm-Skalen und Noniusbändern. Die Einstellungen können anhand des direkt auf dem Strahlaufweiter bzw. Beam Expander eingravierten Zoom- und Fokusmaßstabes erfolgen.
- Der erfindungsgemäße Strahlaufweiter ist sehr robust und kompakt, so daß es bei einer Setup-Veränderung zu keiner Rotation der Linsen bzw. Linsenelemente kommt. So wird eine verbesserte Strahlstabilität erreicht.
- Der Strahlaufweiter weist insbesondere ein beugungsbegrenztes Design auf und ist beispielsweise für die jeweilige Anwendungswellenlänge 355 nm, 532 nm oder 1064 nm vergütet.
- Der erfindungsgemäße Beam Expander kann insbesondere optimal mit F-Theta-Objektiven in verschiedensten Strahlführungssystemen eingesetzt werden.
- Der erfindungsgemäße Strahlaufweiter kann beispielsweise an die Wellenlängen 355 nm, 532 nm und 1064 nm und somit optimal an die Präzisionsanforderungen in der Lasermaterialbearbeitung angepaßt werden. Durch den erweiterten Zoombereich bis zu einer 10-fachen Strahlaufweitung sind neue Anwendungsbereiche möglich.
- Bei dem erfindungsgemäßen Strahlaufweiter kann die Verschiebung der Linsen durch einen Fokussierring erfolgen, der in der Mittelfassung angeordnet ist.
- Es wird ferner ein Verfahren zur Bearbeitung von Materialien mittels eines Lasers bereitgestellt, bei dem ein erzeugter Laserstrahl (bzw. Laserstrahlenbündel) durch einen erfindungsgemäßen Strahlaufweiter geführt wird, der den Laserstrahl dabei aufweitet und bei dem der aufgeweitete Laserstrahl zu einer dem Strahlaufweiter nachgeordneten Scannereinrichtung geführt wird, der ein geeignetes F-Theta-Objektiv nachgeordnet ist, welches den Laserstrahl auf die zu bearbeitende Materialoberfläche leitet.
- Bei dem erfindungsgemäßen Verfahren kann die Aufweitung des/der Laserstrahles/n derartig erfolgen, daß aufgrund der Zuordnung der Linsen im Strahlaufweiter zueinander und deren Verbindung und Steuerung mittels eines Fokussierringes eine gezielte Veränderung der Divergenz der Laserstrahlen erfolgt, die einen Ausgleich der Brennweitentoleranzen im Gesamtsystem bewirkt. Somit kann ein Strahl erzeugt werden, der in verschiedensten Strahlführungssystemen einsetzbar ist.
- Bei dem erfindungsgemäßen Verfahren ist vorteilhafterweise kein Wechsel der Linsenelemente notwendig, wenn der Zoom oder Fokus gewechselt werden sollte, so daß kontinuierliche und stufenlose Bearbeitungsschritte möglich sind.
- Das erfindungsgemäße Verfahren kann insbesondere so weitergebildet werden, daß die bevorzugten Ausgestaltungen des erfindungsgemäßen Strahlaufweiters eingesetzt bzw. bei der Materialbearbeitung genutzt werden.
- Es versteht sich, daß die vorstehend genannten und die nachstehend noch zu erläuternden Merkmale nicht nur in den angegebenen Kombinationen, sondern auch in anderen Kombinationen oder in Alleinstellung einsetzbar sind, ohne den Rahmen der vorliegenden Erfindung zu verlassen.
- Nachfolgend wird die Erfindung beispielsweise anhand der beigefügten Zeichnungen, die auch erfindungswesentliche Merkmale offenbaren, noch näher erläutert. Es zeigen:
-
1 eine schematische Schnittdarstellung einer Ausführungsform des erfindungsgemäßen optischen Strahlaufweiters mit einer ersten Stellung der Fassungen zueinander; -
2 den Strahlaufweiter der Ausführungsform von1 in Schnittdarstellung mit einer zweiten Stellung der Fassungen zueinander, und -
3 eine schematische Darstellung der Verwendung des erfindungsgemäßen Strahlaufweiters gemäß1 und2 bei einer Laserstrahlbearbeitungsvorrichtung. - Bei der in
1 gezeigten Ausführungsform umfaßt der erfindungsgemäße optische Strahlaufweiter1 eine Hinterfassung2 (erste oder dritte Fassung), die eine erste Linse3 mit positiver Brechkraft haltert, eine Mittelfassung4 (zweite Fassung), die eine zweite Linse5 mit negativer Brechkraft haltert, sowie eine Vorderfassung6 (dritte oder erste Fassung), die ein Linsenpaar7 mit positiver Brechkraft haltert. - Die Hinterfassung
2 und die Mittelfassung4 sind in Längsrichtung des Strahlaufweiters1 zueinander verschiebbar. Gleiches gilt für die Mittelfassung4 und die Vorderfassung6 . Durch die beschriebene Verschiebbarkeit der Fassungen2 ,4 und6 zueinander, kann der Abstand zwischen der ersten und zweiten Linse3 ,5 sowie der Abstand zwischen der zweiten Linse5 und dem Linsenpaar7 voneinander unabhängig eingestellt werden, so daß der Strahlaufweiter1 , der in Art eines Galilei-Fernrohrs aufgebaut ist, die gewünschte Strahlaufweitung um den Faktor 2–10 erzeugt. Unter der Strahlaufweitung wird hier insbesondere verstanden, daß der Durchmesser eines in1 von links auf die erste Linse3 fallendes paralleles Laserstrahlbündel (in1 nicht eingezeichnet) nach Durchlaufen des Strahlaufweiters1 wiederum als im wesentlich paralleles Laserstrahlbündel (in1 nicht eingezeichnet) austritt, das jedoch einen um den Faktor 2–10 größeren Durchmesser aufweist. Mit dem erfindungsgemäßen Strahlaufweiter1 wird somit bevorzugt eine Abbildung von Unendlich nach Unendlich durchgeführt. - Wie am besten aus
1 und2 ersichtlich ist, in den unterschiedliche Verschiebestellungen der Fassungen zueinander dargestellt sind, können die Hinterfassung2 und die Mittelfassung4 einerseits sowie die Mittelfassung4 und die Vorderfassung6 andererseits teleskopartig relativ zueinander in Längsrichtung des Strahlaufweiters1 verschoben werden. Dazu sind ein erster und ein zweiter Einstellring8 ,9 vorgesehen. - Der erste Einstellring
8 weist einen ersten Innengewindeabschnitt10 , der als Linksgewinde ausgebildet ist, sowie einen zweiten Innengewindeabschnitt11 , der als Rechtsgewinde ausgebildet ist, auf. Die beiden Innengewindeabschnitte10 ,11 stehen in Eingriff mit entsprechend ausgebildeten Außengewindeabschnitten12 ,13 auf der Hinterfassung2 sowie der Mittelfassung4 , so daß ein Drehen des ersten Einstellringes8 in eine erste Drehrichtung dazu führt, daß sich die Hinterfassung2 und die Mittelfassung4 voneinander weg bewegen (der Abstand zwischen der ersten und zweiten Linse3 ,5 wird größer). Bei Drehen des ersten Einstellringes8 in der anderen Richtung bewegen sich die beiden Fassungen2 ,4 bzw. die beiden Linsen3 ,5 aufeinander zu. - Um eine Rotation der beiden Fassungen
2 ,4 relativ zueinander bei dieser Bewegung zu verhindern, weist die Mittelfassung4 eine sich in Längsrichtung der Strahlaufweiters1 erstreckende Längsnut14 auf, in der ein in der Hinterfassung2 befestigter Stift15 einsteht. Der Stift15 kann insbesondere als Schraube derart verwirklicht sein, daß zumindest der Abschnitt der Schraube, der in der Wandung der Hinterfassung2 liegt, ein Gewinde aufweist. - Durch diesen in der Längsnut
14 geführten Stift15 wird eine Drehung von Hinterfassung2 und Mittelfassung4 relativ zueinander verhindert, so daß durch ein Drehen des ersten Einstellringes8 nur eine translatorische Bewegung der beiden Fassungen2 ,4 relativ zueinander in Richtung der Längsrichtung des Strahlaufweiters1 auftritt. Das führt zu dem Vorteil, daß bei dieser Bewegung keine Rotation der beiden Linsen3 ,5 zueinander auftritt, wodurch selbst bei Vorliegen eines Zentrierfehlers zwischen den beiden Linsen3 und5 es zu keinem Wandern des fokussierten Laserstrahlbündels auf dem Werkstück kommt, wenn der Abstand der beiden Linsen3 und5 verändert wird. Bei bisher bekannten Strahlaufweitern wird die Abstandsänderung immer gleichzeitig mit einer Rotation der Linsen zueinander bewirkt, so daß ein Zentrierfehler der Linsen bei Fokussierung des aus dem Strahlaufweiter austretenden Laserstrahlenbündels auf ein Werkstück stets nachteilig zu einem Wandern des Fokus auf dem Werkstück führt. - Die beiden Fassungen
2 und4 sind so ausgebildet, daß zwischen ihnen eine Spielpassung vorliegt (z. B. G7/h7). Um nun eine Verbesserung dieser Passung zu erreichen bzw. die Grundluft zu verringern, weist die Mittelfassung4 eine Ringnut16 auf, in der ein elastischer O-Ring17 sitzt. Der O-Ring17 führt zu einer besseren Passung, einer besseren Zentriergenauigkeit sowie wirkt auch noch stabilisierend für die zwei zueinander verschiebbaren Fassungen2 ,5 . Nachdem mittels des O-Ringes17 die resultierende Passung nicht schlechter sein kann als die vorliegende mechanische Passung, wird durch Vorsehen des O-Ringes17 auf kostengünstige Art und Weise eine Verbesserung der Passung erreicht. - Der zweite Einstellring
9 weist in gleicher Weise wie der erste Einstellring8 einen ersten Innengewindeabschnitt18 , der als Rechtsgewinde ausgebildet ist, sowie einen zweiten Innengewindeabschnitt19 , der als Linksgewinde ausgebildet ist, auf. Die beiden Innengewindeabschnitte18 ,19 stehen in Eingriff mit an der Mittelfassung4 und der Vorderfassung6 ausgebildeten Außengewindeabschnitten20 ,21 , so daß in gleicher Weise wie beim ersten Einstellring8 durch Drehen des zweiten Einstellringes9 die Mittelfassung4 und die Vorderfassung6 entweder voneinander weg oder aufeinander zu bewegt werden. Um nur eine translatorische Bewegung zu bewirken, weist die Vorderfassung6 eine Längsnut22 auf, in der ein in der Mittelfassung4 befestigter Stift23 einsteht. Ferner weist die Vorderfassung6 eine Ringnut24 auf, in der ein zweiter elastischer O-Ring25 sitzt, der in gleicher Weise wie der O-Ring17 zur Verbesserung der Passung zwischen Mittelfassung4 und Vorderfassung6 dient. - Ferner ist in der Mittelfassung
4 eine Verbindungsbohrung26 vorgesehen, die einen Verbindungskanal zwischen dem Inneren der Mittelfassung4 und dem Inneren der Hinterfassung2 bildet, so daß ein Druckausgleich zwischen den beiden Innenräumen der Mittel- und Hinterfassung4 ,2 vorliegt. In gleicher Weise ist eine zweite Verbindungsbohrung27 in der Hinterfassung2 vorgesehen, durch die ein Druckausgleich zwischen der Umgebung und dem Innenraum der Hinterfassung vorliegt. Dadurch wird die teleskopartige Verschiebung zwischen Vorderfassung6 und Mittelfassung4 einerseits und Mittelfassung4 und Hinterfassung2 andererseits erleichtert. - In
3 ist schematisch eine Materialbearbeitungsvorrichtung30 gezeigt, in der der erfindungsgemäße Strahlaufweiter1 eingesetzt ist. Die Materialbearbeitungsvorrichtung30 umfaßt einen Laser31 , der ein im wesentlichen paralleles Laserstrahlbündel (bzw. Laserstrahl)32 abgibt, das den Strahlaufweiter1 durchläuft und von dem Strahlaufweiter1 als im wesentlichen paralleles Laserstrahlbündel33 mit größerem Durchmesser abgegeben wird. Das Laserstrahlbündel33 trifft auf eine Scannereinrichtung34 , die die gewünschte Ablenkung des Laserstrahlbündels33 erzeugt und das abgelenkte Laserstrahlbündel35 auf ein F-Theta-Objektiv36 lenkt, das das Laserstrahlbündel35 auf das zu bearbeitende Werkstück37 fokussiert. - Die Materialbearbeitungsvorrichtung
30 kann natürlich Zusatzelemente, wie z. B. ein Kameraadapter oder andere periphere Elemente aufweisen. Insbesondere kann die Materialbearbeitungsvorrichtung30 noch solche Elemente bzw. Teile aufweisen, die zum Betrieb notwendig sind, wie z. B. eine nicht gezeigte Steuereinrichtung. - Mit der Materialbearbeitungsvorrichtung
30 kann dann die gewünschte Laserbearbeitung von Materialien bzw. des Werkstückes37 durchgeführt werden, wie z. B. ein Schneiden, Gravieren und/oder Beschriften des Werkstücks. - Aufgrund des eingesetzten Strahlaufweiters
1 kann mit der Materialbearbeitungsvorrichtung30 eine Lasermaterialbearbeitung mit höherer Präzision durchgeführt werden.
Claims (16)
- Optischer Strahlaufweiter mit einer ersten, zweiten und dritten Fassung (
2 ,4 ,5 ), die jeweils zumindest eine Linse (3 ,5 ,7 ) haltern und so miteinander verbunden sind, daß sowohl die erste und zweite Fassung (2 ,4 ) als auch die zweite und dritte Fassung (4 ,6 ) jeweils in Längsrichtung des Strahlaufweiters (1 ) relativ zueinander verschiebbar sind, um den Abstand der durch die entsprechenden Fassungen (2 ,4 ,6 ) gehalterten Linsen (3 ,5 ,7 ) zu verändern, und mit einem ersten elastischen Element (17 ;25 ), das mit der ersten oder zweiten Fassung (2 ,4 ) verbunden ist, um die zwischen der ersten und zweiten Fassung (2 ,4 ) vorliegende Spielpassung zu verbessern. - Strahlaufweiter nach Anspruch 1, mit einem zweiten elastischen Element (
25 ;17 ) das mit der zweiten oder dritten Fassung (4 ,2 ;4 ,6 ) verbunden ist, um die zwischen der zweiten und dritten Fassung (4 ,6 ;4 ,2 ) vorliegende Spielpassung zu verbessern. - Strahlaufweiter nach Anspruch 1 oder 2, bei dem das erste und/oder zweite elastische Element (
17 ,24 ) als O-Ring ausgebildet ist. - Strahlaufweiter nach Anspruch 3, bei dem der O-Ring in einer Ringnut (
16 ,23 ) der entsprechenden Fassung (2 ,6 ) sitzt. - Strahlaufweiter nach einem der obigen Ansprüche, bei dem die Fassungen (
2 ,4 ,6 ) so miteinander verbunden sind, daß bei Verschieben von zwei Fassungen (2 ,4 ;4 ,6 ) zueinander keine Rotation der einen zur anderen Fassung (2 ,4 ;4 ,6 ) erfolgt. - Strahlaufweiter nach einem der obigen Ansprüche, mit einem ersten Einstellring (
8 ), der einen ersten Innengewindeabschnitt (10 ), der als Linksgewinde ausgebildet ist, und einen zweiten Innengewindeabschnitt (11 ), der als Rechtsgewinde ausgebildet ist, aufweist, die mit entsprechenden Außengewindeabschnitten (12 ,13 ) der ersten und zweiten Fassung (2 ,4 ) so zusammenwirken, daß bei Drehung des ersten Einstellringes (8 ) in einer ersten Drehrichtung die beiden Fassungen (2 ,4 ) auseinander bewegt werden und daß bei Drehung des ersten Einstellringes (8 ) in einer zweiten Drehrichtung die beiden Fassungen (2 ,4 ) zueinander bewegt werden. - Strahlaufweiter nach Anspruch 6, bei dem eine von der ersten und zweiten Fassung (
2 ,4 ) eine sich in Längsrichtung des Strahlaufweiters (1 ) erstreckende Führungsnut (14 ) aufweist, in die ein mit der anderen der ersten und zweiten Fassung (2 ,4 ) verbundener Führungsstift (22 ) einsteht, um eine Rotation der ersten und zweiten Fassung (2 ,4 ) zueinander zu verhindern. - Strahlaufweiter nach einem der obigen Ansprüche, mit einem zweiten Einstellring (
9 ), der einen ersten Innengewindeabschnitt (20 ), der als Rechtsgewinde ausgebildet ist, und einen zweiten Innengewindeabschnitt (21 ), der als Linksgewinde ausgebildet ist, aufweist, die mit entsprechenden Außengewindeabschnitten (20 ,21 ) der zweiten und dritten Fassung (4 ,6 ) so zusammenwirken, daß bei Drehung des zweiten Einstellrings (9 ) in einer ersten Drehrichtung die beiden Fassungen (4 ,6 ) auseinander bewegt werden und daß bei Drehung des zweiten Einstellrings (9 ) in einer zweiten Drehrichtung die Fassungen (4 ,6 ) zueinander bewegt werden. - Strahlaufweiter nach einem Anspruch 8, bei dem eine von der zweiten und dritten Fassung eine sich in Längsrichtung des Strahlaufweiters (
1 ) erstreckende Führungsnut (22 ) aufweist, in die ein mit der anderen der zweiten und dritten Fassung (4 ,6 ) verbundener Führungsstift (23 ) einsteht, um eine Rotation der zweiten und dritten Fassung (4 ,6 ) zueinander zu verhindern. - Strahlaufweiter nach einem der obigen Ansprüche, bei dem durch eine Abstandsänderung der Linsen (
3 ,5 ,7 ) eine steuerbare Veränderung der Divergenz der durch die Linsen (3 ,5 ,7 ) laufenden optischen Strahlen erfolgt. - Strahlaufweiter nach einem der obigen Ansprüche, wobei der Strahlaufweiter (
1 ) für die Wellenlänge 355 nm, 532 nm oder 1064 nm ausgelegt ist. - Strahlaufweiter nach einem der obigen Ansprüche, bei dem eine stufenlose Verschiebung der Fassungen (
2 ,4 ,6 ) zueinander möglich ist. - Strahlaufweiter nach einem der obigen Ansprüche, bei dem die Linsen (
3 ,5 ,7 ) beschichtet sind. - Strahlaufweiter nach einem der obigen Ansprüche, bei dem zwischen der ersten und zweiten Fassung (
2 ,4 ) ein erster Verbindungskanal (26 ) zum Druckausgleich zwischen den Innenräumen der beiden Fassungen (2 ,4 ) vorgesehen ist. - Strahlaufweiter nach einem der obigen Ansprüche, bei dem zwischen der Umgebung einerseits und der ersten oder dritten Fassung (
2 ,6 ) andererseits ein zweiter Verbindungskanal (27 ) zum Druckausgleich zwischen dem Innenraum der ersten bzw. dritten Fassung (2 ,6 ) und der Umgebung vorgesehen ist. - Verfahren zur Bearbeitung von Materialien mittels eines Lasers, bei dem ein erzeugter Laserstrahl durch einen Strahlaufweiter nach einem der Ansprüche 1 bis 15 geführt wird, der den Laserstrahl aufweitet, und bei dem der aufgeweitete Laserstrahl zu einer dem Strahlaufweiter nachgeordneten Scannereinrichtung geführt wird, dem ein geeignetes F-Theta-Objektiv nachgeordnet ist, welches den Laserstrahl auf die zu bearbeitende Materialoberfläche leitet.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE102009025182.0A DE102009025182B4 (de) | 2008-06-12 | 2009-06-12 | Optischer Strahlaufweiter und Bearbeitungsverfahren mit einem solchen Strahlaufweiter |
Applications Claiming Priority (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE102008028982 | 2008-06-12 | ||
DE102008028983 | 2008-06-12 | ||
DE102008028982.5 | 2008-06-12 | ||
DE102008028983.3 | 2008-06-12 | ||
DE102009025182.0A DE102009025182B4 (de) | 2008-06-12 | 2009-06-12 | Optischer Strahlaufweiter und Bearbeitungsverfahren mit einem solchen Strahlaufweiter |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE102009025182A1 true DE102009025182A1 (de) | 2009-12-24 |
DE102009025182B4 DE102009025182B4 (de) | 2015-01-22 |
Family
ID=41335184
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE102009025182.0A Active DE102009025182B4 (de) | 2008-06-12 | 2009-06-12 | Optischer Strahlaufweiter und Bearbeitungsverfahren mit einem solchen Strahlaufweiter |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
DE (1) | DE102009025182B4 (de) |
Cited By (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN102328154A (zh) * | 2011-07-08 | 2012-01-25 | 无锡荣兴科技有限公司 | 一种同步带传动的扩束镜自动精密调焦机构 |
CN101738730B (zh) * | 2009-12-31 | 2012-04-11 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | 一种透镜间距可调整的激光扩束器 |
DE102011117607A1 (de) | 2011-10-28 | 2013-05-02 | Highyag Lasertechnologie Gmbh | Optik für Laserstrahlung mit variablem Abbildungsmaßstab |
CN105044916A (zh) * | 2015-09-07 | 2015-11-11 | 江苏大学 | 具备自动温度补偿的高功率激光器扩束镜系统 |
CN105033451A (zh) * | 2015-09-07 | 2015-11-11 | 江苏大学 | 双间距协同调节激光扩束装置 |
CN107357022A (zh) * | 2017-09-13 | 2017-11-17 | 安徽海溢鑫科技有限公司 | 一种用于激光扩束的可调节扩束镜筒 |
CN107533234A (zh) * | 2015-06-22 | 2018-01-02 | 业纳光学系统有限公司 | 光束展宽装置、光学系统以及用于设置光束展宽装置的两个透镜的间距的方法 |
DE112013003558B4 (de) | 2012-07-18 | 2019-01-03 | Han's Cnc Science And Technology Co., Ltd. | Zoombares Strahlaufweitungssystem für einen Ultraviolettlaser und Laserbearbeitungsvorrichtung |
DE112013003585B4 (de) | 2012-07-18 | 2019-01-03 | Han's Cnc Science And Technology Co., Ltd. | Zoombares Strahlaufweitungssystem für einen grünen Laser und Laserbearbeitungsvorrichtung |
DE112013003095B4 (de) | 2012-07-18 | 2019-01-03 | Han's Cnc Science And Technology Co., Ltd. | Infrarot-Laser-Zoomstrahlaufweitungssystem und Laserbearbeitungsanlage |
WO2020224980A1 (de) * | 2019-05-06 | 2020-11-12 | Jenoptik Optical Systems Gmbh | Optikeinheit und verfahren zum betreiben einer optikeinheit |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN110753871A (zh) * | 2017-08-25 | 2020-02-04 | 深圳市柔宇科技有限公司 | 一种眼罩、头戴设备及用于制作眼罩的柱体 |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4353617A (en) * | 1980-11-18 | 1982-10-12 | Canon Kabushiki Kaisha | Optical system capable of continuously varying the diameter of a beam spot |
JPS6184616A (ja) * | 1984-10-02 | 1986-04-30 | Fuji Photo Film Co Ltd | ビ−ムエキスパンダレンズ鏡筒 |
JPH0782148B2 (ja) * | 1990-04-26 | 1995-09-06 | インターナショナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレイション | ズーム・ビーム・エキスパンダ |
DE10144243A1 (de) * | 2001-09-05 | 2003-03-20 | Zeiss Carl | Zoom-System für eine Beleuchtungseinrichtung |
DE102005055400B4 (de) * | 2005-11-17 | 2007-08-09 | Hermann Leguin | Vorrichtung zum Bewegen von einer Linse |
-
2009
- 2009-06-12 DE DE102009025182.0A patent/DE102009025182B4/de active Active
Cited By (15)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN101738730B (zh) * | 2009-12-31 | 2012-04-11 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | 一种透镜间距可调整的激光扩束器 |
CN102328154A (zh) * | 2011-07-08 | 2012-01-25 | 无锡荣兴科技有限公司 | 一种同步带传动的扩束镜自动精密调焦机构 |
CN102328154B (zh) * | 2011-07-08 | 2014-07-02 | 江苏迈健生物科技发展有限公司 | 一种同步带传动的扩束镜自动精密调焦机构 |
DE102011117607A1 (de) | 2011-10-28 | 2013-05-02 | Highyag Lasertechnologie Gmbh | Optik für Laserstrahlung mit variablem Abbildungsmaßstab |
DE102011117607B4 (de) | 2011-10-28 | 2017-03-30 | Highyag Lasertechnologie Gmbh | Optisches System und Verwendung des optischen Systems |
DE112013003095B4 (de) | 2012-07-18 | 2019-01-03 | Han's Cnc Science And Technology Co., Ltd. | Infrarot-Laser-Zoomstrahlaufweitungssystem und Laserbearbeitungsanlage |
DE112013003585B4 (de) | 2012-07-18 | 2019-01-03 | Han's Cnc Science And Technology Co., Ltd. | Zoombares Strahlaufweitungssystem für einen grünen Laser und Laserbearbeitungsvorrichtung |
DE112013003558B4 (de) | 2012-07-18 | 2019-01-03 | Han's Cnc Science And Technology Co., Ltd. | Zoombares Strahlaufweitungssystem für einen Ultraviolettlaser und Laserbearbeitungsvorrichtung |
CN107533234A (zh) * | 2015-06-22 | 2018-01-02 | 业纳光学系统有限公司 | 光束展宽装置、光学系统以及用于设置光束展宽装置的两个透镜的间距的方法 |
CN107533234B (zh) * | 2015-06-22 | 2020-11-27 | 业纳光学系统有限公司 | 光束展宽装置、光学系统以及用于设置光束展宽装置的两个透镜的间距的方法 |
CN105033451B (zh) * | 2015-09-07 | 2016-08-24 | 江苏大学 | 双间距协同调节激光扩束装置 |
CN105033451A (zh) * | 2015-09-07 | 2015-11-11 | 江苏大学 | 双间距协同调节激光扩束装置 |
CN105044916A (zh) * | 2015-09-07 | 2015-11-11 | 江苏大学 | 具备自动温度补偿的高功率激光器扩束镜系统 |
CN107357022A (zh) * | 2017-09-13 | 2017-11-17 | 安徽海溢鑫科技有限公司 | 一种用于激光扩束的可调节扩束镜筒 |
WO2020224980A1 (de) * | 2019-05-06 | 2020-11-12 | Jenoptik Optical Systems Gmbh | Optikeinheit und verfahren zum betreiben einer optikeinheit |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
DE102009025182B4 (de) | 2015-01-22 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
DE102009025182B4 (de) | Optischer Strahlaufweiter und Bearbeitungsverfahren mit einem solchen Strahlaufweiter | |
DE102011117607B4 (de) | Optisches System und Verwendung des optischen Systems | |
DE102013225310B3 (de) | Optikanordnung zur Strahlformung eines Laserstrahls für eine Laserbearbeitungsmaschine | |
DE102007044298B3 (de) | Verfahren und Anordnung zum Erzeugen eines Laserstrahls mit einem linienhaften Strahlquerschnitt | |
EP3452246A1 (de) | Abbildungsoptik für die materialbearbeitung mittels laserstrahlung und laserbearbeitungskopf mit einer solchen | |
DE2331964A1 (de) | Scharfeinstellungskorrekturvorrichtung einer anordnung zur axialen justierung der bauteile eines optischen systems | |
DE112007001944B4 (de) | Verfahren und Vorrichtung zur Lasermaterialbearbeitung | |
DE102012214703B4 (de) | Operationsmikroskop-Objektiv mit einstellbarer Schnittweite, Wechsel-objektiv sowie Operationsmikroskop | |
DE102006003375A1 (de) | Gruppenweise korrigiertes Objektiv | |
DE2903892A1 (de) | Halterung fuer optische linsenanordnungen | |
DE102008048502A1 (de) | Optische Vorrichtung zur Fokussierung eines Laserstrahls in einen Arbeitsfokus, insbesondere zur Fokussierung eines Laserstrahls in einem Laserbearbeitungskopf zur Materialbearbeitung | |
DE102018208752A1 (de) | Vorrichtung zur Laserbearbeitung schwer zugänglicher Werkstücke | |
DE102015009124B3 (de) | Vorrichtung zur optischen Strahlaufweitung, optisches System, Verfahren zum Einstellen eines Abstands zweier Linsen einer Vorrichtung zur optischen Strahlaufweitung und Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung zur optischen Strahlaufweitung | |
DE4344366C2 (de) | Optisches System mit variablem Abbildungsmaßstab | |
DE102007039851A1 (de) | Optisches System | |
DE3128642A1 (de) | Zoomobjektivaufbau | |
DE19825092A1 (de) | Lasersystem zur Erzeugung eines fokussierten Laserstrahls mit variablem Fokusdurchmesser | |
DE10233491B4 (de) | Kompakte Einrichtung zur Bebilderung einer Druckform | |
DE2346398B2 (de) | Verstellbare einrichtung fuer linsensysteme | |
DE202014009275U1 (de) | Strahlaufweiter und additive Fertigungsvorrichtung mit einem Strahlaufweiter | |
DE2522717C3 (de) | Langbrennweitiges Spiegelobjektiv | |
EP3293554B1 (de) | Vorrichtung und verfahren zur ausrichtung eines lichtstrahls | |
EP3418794B1 (de) | Modulares optisches baukastensystem für fokusnahe strahldichteverteilungen mit alternierendem strahldichteprofil | |
DE102016117202B4 (de) | Vorrichtung und Verfahren zur Ausrichtung eines Lichtstrahls | |
EP3500886B1 (de) | Wechselsystem für ein mikroskop |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
OP8 | Request for examination as to paragraph 44 patent law | ||
R016 | Response to examination communication | ||
R016 | Response to examination communication | ||
R016 | Response to examination communication | ||
R081 | Change of applicant/patentee |
Owner name: JENOPTIK OPTICAL SYSTEMS GMBH, DE Free format text: FORMER OWNER: JENOPTIK LASER, OPTIK, SYSTEME GMBH, 07745 JENA, DE Effective date: 20140612 |
|
R082 | Change of representative |
Representative=s name: GEYER, FEHNERS & PARTNER (G.B.R.), DE Effective date: 20140612 Representative=s name: PATENTANWAELTE GEYER, FEHNERS & PARTNER MBB, DE Effective date: 20140612 |
|
R018 | Grant decision by examination section/examining division | ||
R020 | Patent grant now final |