DE102009000463A1

DE102009000463A1 - Method for manufacturing fitting module of gas sensor, involves injection molding and sintering ceramic body that is formed to fit in housing, where injection molding of ceramic body is made directly onto sensor element of gas sensor

Info

Publication number: DE102009000463A1
Application number: DE200910000463
Authority: DE
Inventors: Thomas Loibl; Imke Heeren
Original assignee: Robert Bosch GmbH
Current assignee: Robert Bosch GmbH
Priority date: 2009-01-29
Filing date: 2009-01-29
Publication date: 2010-08-05

Abstract

The method involves injection molding and sintering a ceramic body (17), where the ceramic body is formed to fit in a housing. A sensor element (10) for detection of physical characteristics of measuring gas is surrounded by the ceramic body. The injection molding of the ceramic body is made directly onto the sensor element of a gas sensor. The sensor element is inserted as an unsintered green body in an injection molding tool. The ceramic body is formed from a ceramic material using injection molding.

Description

Stand der TechnikState of the art

Die Erfindung geht aus von einem Verfahren zur Herstellung eines Verbauungsmoduls eines Gassensors nach dem Oberbegriff des Anspruchs 1.The The invention is based on a method for producing a building module a gas sensor according to the preamble of claim 1.

Bei einem bekannten Verfahren zur Herstellung eines aus einem Sensorelement und einem Keramikkörper bestehenden Verbauungsmoduls ( DE 10 2007 025 626 A1 ) wird der Keramikkörper als Spritzgussteil im Spritzgussverfahren hergestellt und auf das Sensorelement aufgesintert, wobei eine feste, spalt- und lückenfreie, gasdichte Verbindung zwischen dem Sensorelement und dem Keramikkörper besteht. Hierzu wird der Keramikkörper in einem Zweikomponenten-Spritzgussverfahren aus zwei Keramikkomponenten hergestellt. Eine innere Keramikkomponente, die unmittelbar das Sensorelement umschließt, ist weich und leichtfließend. Eine die innere Keramikkomponente umschließende äußere Keramikkomponente besitzt eine hohe Festigkeit und Thermoschockbeständigkeit. Der in diesem Zweikomponenten-Spritzgussverfahren als Grünling hergestellte Keramikkörper wird mit einem zentralen, axial durchgängigen Längskanal versehen, wobei der in Anpassung an das stabförmige oder planare Sensorelement rechteckige Kanalquerschnitt des Längskanals um einen beim Sintern einsetzenden Materialschwund größer bemessen wird als der Querschnitt des Sensorelements, so dass nach Einführen des Sensorelements in den Längskanal ein umlaufender Spalt zwischen dem Sensorelement und dem als Grünling vorhandenen Keramikkörper verbleibt. Durch den Sinterprozess, dem das Sensorelement und der auf das Sensorelement aufgeschobene Grünling gemeinsam ausgesetzt werden, schrumpft die innere Keramikkomponente auf das Sensorelement auf und schmiegt sich spalt- und lückenlos an das Sensorelement an, so dass der Verbauungs- oder Montagemodul gasdicht ist.In a known method for producing a building module consisting of a sensor element and a ceramic body ( DE 10 2007 025 626 A1 ), the ceramic body is produced as an injection molded part by injection molding and sintered onto the sensor element, wherein a solid, gap and gap-free, gas-tight connection between the sensor element and the ceramic body. For this purpose, the ceramic body is produced in a two-component injection molding of two ceramic components. An inner ceramic component immediately surrounding the sensor element is soft and easy flowing. An outer ceramic component enclosing the inner ceramic component has high strength and thermal shock resistance. The ceramic body produced in this two-component injection molding process as a green body is provided with a central, axially continuous longitudinal channel, wherein the adaptable to the rod-shaped or planar sensor element channel cross-section of the longitudinal channel is dimensioned to be larger by a shrinkage during sintering material shrinkage than the cross section of the sensor element, so that after insertion of the sensor element into the longitudinal channel, a circumferential gap remains between the sensor element and the ceramic body present as a green body. By the sintering process, which are exposed to the sensor element and the pushed onto the sensor element green compact, the inner ceramic component shrinks on the sensor element and nestles gapless and gapless to the sensor element, so that the Verbauungs- or mounting module is gas-tight.

Offenbarung der ErfindungDisclosure of the invention

Das erfindungsgemäße Verfahren mit den Merkmalen des Anspruchs 1 hat den Vorteil, dass durch das Spritzgießen des Keramikkörpers unmittelbar auf den dafür bestimmten Sensorabschnitt das Verfahren zur Herstellung des gasdichten Verbauungsmoduls wesentlich vereinfacht und verkürzt wird. Das bei dem bekannten Herstellungsverfahren getrennte und schrittweise durchgeführte Herstellen des Keramikkörpers durch Spritzgießen mit Vorsehen eines Durchsteckkanals für das Sensorelement unter Anpassen des Kanalquerschnitts an den Querschnitt des Sensorelements und einen beim Sintern einsetzenden Materialschwund und das positionsgenaue Einschieben des Sensorelements in den Keramikkörper sowie die Fixierung des Sensorelements im Durchgangskanal entfallen ebenso wie die Notwendigkeit, zur Gewährleistung der Gasdichtheit zwischen Sensorelement und Keramikkörper eine weiche, leichtfließende, innere Materialkomponente des Keramikkörpers vorzusehen, der im aufwendigen Zweikomponenten-Spritzgussverfahren hergestellt werden muss.The inventive method with the features of Claim 1 has the advantage that by injection molding of the ceramic body directly on the intended Sensor section, the method for producing the gastight Verbauungsmoduls considerably simplified and shortened. The in the known The production process is separate and gradual Producing the ceramic body by injection molding with provision of a penetration channel for the sensor element below Adjusting the channel cross section to the cross section of the sensor element and an onset of sintering material shrinkage and positionally accurate Insertion of the sensor element in the ceramic body as well the fixation of the sensor element in the passage omitted as well like the need to ensure gas tightness between sensor element and ceramic body a soft, easily flowing, to provide inner material component of the ceramic body, which are produced in a complex two-component injection molding process got to.

Auch auf das üblicherweise bei planaren Sensorelementen nach Sinterung durchgeführte, aufwendige Schleifen der Kanten zur Vermeidung von unzulässig hohen mechanischen Spannungen im Betrieb kann verzichtet werden, da diese Problematik durch das Direktumspritzen des vorzugsweise ungesinterten Sensorelements vermieden werden kann, wenn in dem nicht vom Keramikkörper umhüllten Bereich des Sensorelements dessen Seitenkanten mit einer vom Keramikkörper ausgehenden ”Keramikzunge” belegt werden. Die Funktionsschichten des Sensorelements werden dabei durch geeignete Formgebung des Spritzgusswerkzeugs abgedeckt und vor überströmender Spritzgussmasse geschützt. Mit dem erfindungsgemäßen Verfahren können sehr dünne Sensorelemente, die leicht zerbrechen, ebenso zuverlässig zum Verbauungskörper gefügt und im Gehäuse verbaut werden, wie dickere Sensorelemente in Stabform oder beliebiger anderer geometrischer Form.Also usually on the planar sensor elements Sintering carried out, consuming grinding of the edges to avoid unacceptably high mechanical stresses in the Operation can be dispensed with, since this problem is due to the direct encapsulation the preferably non-sintered sensor element can be avoided, if not wrapped in the ceramic body Area of the sensor element whose side edges with one of the ceramic body outgoing "ceramic tongue" are occupied. The Functional layers of the sensor element are thereby formed by suitable shaping covered by the injection mold and before overflowing Injection molding protected. With the invention Procedures can be very thin sensor elements that easy to break, just as reliable to the obstruction body be joined and installed in the housing, like thicker ones Sensor elements in rod form or any other geometric Shape.

Durch die in den weiteren Ansprüchen aufgeführten Maßnahmen sind vorteilhafte Weiterbildungen und Verbesserungen des im Anspruch 1 angegebenen Verfahrens möglich.By the measures listed in the further claims are advantageous developments and improvements of the claim 1 specified method possible.

Gemäß einer vorteilhaften Ausführungsform der Erfindung wird zum Spritzgießen des Keramikkörpers ein die gewünschte Form des Keramikkörpers vorgebendes Spritzgusswerkzeug verwendet, in das das Sensorelement vorzugsweise als ungesinterter Grünling eingelegt wird. Beim anschließenden Sinterprozess werden Sensorelement und darauf aufgespritzter Keramikkörper gemeinsam gesintert. Die gemeinsame Sinterung verhindert ein unzulässig starkes Verkrümmen des insbesondere dünnen Sensorelements.According to one advantageous embodiment of the invention is for injection molding of the ceramic body a the desired shape of Ceramic body using prescribing injection molding tool, in which the sensor element preferably as unsintered green compact is inserted. During the subsequent sintering process Sensor element and sprayed ceramic body together sintered. The common sintering prevents an unacceptably strong Warp the particular thin sensor element.

Gemäß einer vorteilhaften Ausführungsform der Erfindung weist das Sensorelement einen Keramikträger auf und bestehen Keramikträger und Keramikkörper aus demselben Keramikmaterial, vorzugsweise einem keramischen Spritzguss-Compound. Dadurch weisen Sensorelement und Keramikkörper die gleiche Sinterkinetik auf, so dass beim gemeinsamen Sintern des ungesinterten Sensorelements und des direkt aufgespritzten Keramikkörpers ein monolithischer Verbauungskörper entsteht. Eine gleiche Sinterkinetik lässt sich auch bei Verwendung von unterschiedlichen Keramikmaterialien erreichen, wenn diese bezüglich ihrer Sinterkinetik entsprechend angepasst werden.According to one advantageous embodiment of the invention, the sensor element a ceramic carrier and consist ceramic carrier and ceramic body of the same ceramic material, preferably a ceramic injection molding compound. As a result, have sensor element and ceramic bodies have the same sintering kinetics, so that in the common sintering of the unsintered sensor element and the directly sprayed ceramic body a monolithic Building body arises. An equal sintering rate lets even when using different ceramic materials reach, if this according to their sintering kinetics accordingly be adjusted.

Kurze Beschreibung der ZeichnungenBrief description of the drawings

Die Erfindung ist anhand eines in der Zeichnung dargestellten Ausführungsbeispiels in der nachfolgenden Beschreibung näher erläutert. Es zeigen in schematischer Darstellung:The Invention is based on an embodiment shown in the drawing explained in more detail in the following description. In a schematic representation:

1 eine perspektivische Draufsicht eines Sensorelements zur Erfassung einer physikalischen Größe eines Messgases, 1 a perspective top view of a sensor element for detecting a physical size of a measuring gas,

2 eine perspektivische Draufsicht eines aus dem Sensorelement gemäß 1 und einem Keramikkörper bestehenden Verbauungsmoduls, 2 a perspective top view of one of the sensor element according to 1 and a ceramic body existing Verbudungsmoduls,

3 einen Längsschnitt eines Gassensors mit dem in einem metallischen Gehäuse verbauten Verbauungsmodul gemäß 2, 3 a longitudinal section of a gas sensor with the installed in a metallic housing Verbauungsmodul according to 2 .

4 einen Längsschnitt eines Spritzgusswerkzeugs mit einliegendem Sensorelement, 4 a longitudinal section of an injection molding tool with inlaid sensor element,

5 einen Schnitt längs der Linie V-V in 4. 5 a section along the line VV in 4 ,

Das in 1 in perspektivischer Ansicht skizzierte, planare Sensorelement 10 dient beispielsweise zur Messung der Sauerstoffkonzentration im Abgas einer Brennkraftmaschine und misst als physikalische Größe die vom Sauerstoffpartialdruck abhängige Nernstspannung, aus der ein die Sauerstoffkonzentration angebender Lambdawert abgeleitet wird. Ein Gassensor, in dem dieses Sensorelement 10 verbaut ist, ist beispielsweise eine Sprung- oder λ = 1-Sonde. Das Sensorelement 10 weist in bekannter Weise eine auf einem Keramiksubstrat oder Keramikträger 11 angeordnete Nernstzelle auf, die eine dem Abgas ausgesetzte Messelektrode 12 und eine einem Referenzgas, z. B. Umgebungsluft, ausgesetzte Referenzelektrode sowie einen zwischen den beiden Elektroden angeordneten Festelektrolyten aufweist. In 1 ist von der Nernstzelle die Messelektrode 12 und zwei Anschlusskontakte 13, 14 zu sehen, von denen der eine Anschlusskontakt 13 über eine Leiterbahn 15 mit der Messelektrode 12 und der andere Anschlusskontakt 14 über eine hier nicht zu sehende Durchkontaktierung mit der Referenzelektrode verbunden ist. Im Ausführungsbeispiel hat das Sensorelement 10 eine Stabform es kann jedoch in jeder beliebigen anderen Form ausgeführt werden.This in 1 sketched in perspective view, planar sensor element 10 is used, for example, to measure the oxygen concentration in the exhaust gas of an internal combustion engine and measures the physical quantity as the Nernst voltage, which is dependent on the oxygen partial pressure and from which a lambda value indicating the oxygen concentration is derived. A gas sensor in which this sensor element 10 is, for example, a jump or λ = 1 probe. The sensor element 10 has a known manner on a ceramic substrate or ceramic substrate 11 arranged Nernstzelle, which is a measuring electrode exposed to the exhaust gas 12 and a reference gas, e.g. B. ambient air, exposed reference electrode and arranged between the two electrodes has solid electrolyte. In 1 is the measuring electrode of the Nernst cell 12 and two connection contacts 13 . 14 to see, of which the one connection contact 13 via a conductor track 15 with the measuring electrode 12 and the other terminal contact 14 is connected via a not visible here through-connection with the reference electrode. In the exemplary embodiment, the sensor element has 10 a rod shape, however, it can be made in any other form.

Zur Verbauung in einem metallischen Gehäuse 16 (3) wird das Sensorelement 10 mit einem Keramikkörper 17 zu einem Verbauungsmodul 18 (2) gefügt, das axial in das Gehäuse 16 eingesetzt und darin gasdicht festgelegt wird. Der Keramikkörper 17 hat im dargestellten Ausführungsbeispiel eine zylindrische Form, kann jedoch eine beliebig andere, dem metallischen Gehäuse 16 angepasste Form aufweisen. Der Keramikkörper 17 umschließt einen mittleren Sensorelementabschnitt 101 gasdicht und ist zur Verbauung mit dem metallischen Gehäuse 16 entsprechend ausgebildet. Zur Dichtung des Keramikkörpers 17 gegenüber dem Gehäuse 16 sind am Keramikkörper 17 stirnseitig zwei Flanken 19, 20 ausgebildet, die am Keramikkörper 17 umlaufen und eine ebene, eine konkave oder eine konvexe Kontur aufweisen können. Der Keramikkörper 17 liegt mit seiner unteren Flanke 20 an einer im Gehäuse 16 ausgeformten, ringförmigen Schulter 21 formschlüssig an, während das Gehäuse 16 an seinem oberen Ende auf die obere Flanke 19 aufgebördelt ist. Hierzu kann z. B. das Gehäuseende durch induktive Erwärmung lokal erhitzt und der erhitzte Bereich gestaucht werden. Damit ragt das in seinem mittleren Elementabschnitt 101 vom Keramikkör per 17 umschlossene Sensorelement 10 mit einem oberen Endabschnitt 102, in dem die Anschlusskontakte 13, 14 angeordnet sind und mit einem unteren Endabschnitt 103, in dem die Messelektrode 12 und die Referenzelektrode angeordnet sind, aus dem Gehäuse 16 hervor. Über den unteren Endabschnitt 103 ist ein kappenförmiges Schutzrohr 22 mit Gasdurchtrittslöchern 23 gestülpt, das am Gehäuse 16, z. B. durch eine Schweißnaht 24, befestigt ist. Zum Einbau des Gassensors in ein hier nicht dargestelltes, das Abgas führende Abgasrohr einer Brennkraftmaschine oder eines Verbrennungsmotors ist das Gehäuse 16 mit einem Montagegewinde 25 und mit einem Montagesechskant 26 versehen.For installation in a metal housing 16 ( 3 ) becomes the sensor element 10 with a ceramic body 17 to a building module 18 ( 2 ), which fits axially into the housing 16 used and is set gas-tight therein. The ceramic body 17 has a cylindrical shape in the illustrated embodiment, but may be any other, the metallic housing 16 have adapted shape. The ceramic body 17 encloses a middle sensor element section 101 gas-tight and is for installation with the metallic housing 16 trained accordingly. To seal the ceramic body 17 opposite the housing 16 are at the ceramic body 17 two flanks at the front 19 . 20 formed on the ceramic body 17 circulate and may have a flat, a concave or a convex contour. The ceramic body 17 lies with his lower flank 20 at one in the housing 16 shaped, annular shoulder 21 positively, while the housing 16 at its upper end on the upper flank 19 is flared. For this purpose, z. B. the housing end locally heated by inductive heating and the heated area to be compressed. This protrudes in its middle element section 101 vom Keramikkör by 17 enclosed sensor element 10 with an upper end portion 102 in which the connection contacts 13 . 14 are arranged and with a lower end portion 103 in which the measuring electrode 12 and the reference electrode are disposed out of the housing 16 out. Over the lower end section 103 is a cap-shaped protective tube 22 with gas passage holes 23 slipped on the housing 16 , z. B. by a weld 24 , is attached. For installation of the gas sensor in a not shown here, the exhaust gas leading exhaust pipe of an internal combustion engine or an internal combustion engine, the housing 16 with a mounting thread 25 and with a mounting chip 26 Mistake.

Zur Herstellung des Verbauungsmoduls 18 mit der gasdichten Verbindung zwischen Sensorelement 10 und Keramikkörper 17 wird der Keramikkörper 17 unmittelbar auf das als ungesinterter Grünling hergestellte Sensorelement 10 aufgespritzt. Hierzu wird das Sensorelement 10 in ein Spritzgusswerkzeug 27 eingelegt, das die Form des Keramikkörpers 17 vorgibt, und die Spritzgussmasse für den Keramikkörper 17 in das Spritzgusswerkzeug 27 eingespritzt. Das Spritzgusswerkzeug 27 mit integriertem Sensorelement 10 ist in 4 im Längsschnitt und in 5 im Querschnitt schematisiert dargestellt. Es besteht aus zwei Werkzeugformteilen 271 und 272, die im zusammengefahrenen Zustand einen die Form des Keramikkörpers 17 (hier Zylinderform) vorgebenden Hohlraum 28 (hier Zylinder) umschließen. In die Werkzeugformteile 271, 272 sind Einfüllöffnungen 29 für die Spritzgussmasse eingebracht (5), die in der Trennebene der beiden Werkzeugformteile 271, 272 im Hohlraum 28 münden. Bei eingelegtem Sensorelement 10 umschließt das Spritzgusswerkzeug 27 den mittleren Sensorelementabschnitt 101 und dichtet diesen gegen Austreten von Spritzgussmasse ab, so dass die Funktionsschicht des Sensorelements 10, also die Messelektrode 12 und die Anschlusskontakte 13, 14 vor überströmender Spritzgussmasse geschützt ist. Die über die Einfüllöffnungen 29 in den Hohlraum 28 eingeführte Spritzgussmasse umschließt den mittleren Sensorelementabschnitt 101 und nimmt die vom Spritzgusswerkzeug 27 vorgegebene Form des Keramikkörpers 17 an. Nach Entnahme des so entstandenen Verbauungsmoduls 18 aus dem Spritzgusswerkzeug 27 wird der Verbauungsmodul 18 einem Entbinder- und Sinterprozess unterzogen, in dem das Sensorelement 10 und der Keramikkörper 17 gemeinsam versintert werden. Durch die gemeinsame Sinterung wird ein unzulässig starkes Verkrümmen des Sensorelements 10, insbesondere dann, wenn es ein sehr dünnes, planares Sensorelement ist, verhindert. Nach der Sinterung bilden Sensorelement 10 und Keramikkörper 17 ein monolithisches Verbauungsmodul 18. Um dies zu erreichen, ist es von Vorteil, für den Keramikträger 11 des Sensorelements 10 und für den Keramikkörper 17 Keramikmaterialien zu verwenden, deren Sinterkinetik übereinstimmen. Dies wird am besten dadurch erreicht, dass für Sensorelement 10 und Keramikkörper 17 identische oder angepasste Keramiken verwendet werden.For the production of the building module 18 with the gas-tight connection between the sensor element 10 and ceramic body 17 becomes the ceramic body 17 directly on the sensor element produced as a green compact 10 sprayed. For this purpose, the sensor element 10 in an injection mold 27 inserted, which is the shape of the ceramic body 17 pretends, and the injection molding material for the ceramic body 17 in the injection mold 27 injected. The injection mold 27 with integrated sensor element 10 is in 4 in longitudinal section and in 5 shown schematically in cross section. It consists of two mold parts 271 and 272 in the contracted state, the shape of the ceramic body 17 (here cylindrical shape) predetermining cavity 28 enclose (here cylinder). In the mold parts 271 . 272 are filling openings 29 introduced for the injection molding compound ( 5 ), in the parting plane of the two mold parts 271 . 272 in the cavity 28 lead. With inserted sensor element 10 encloses the injection mold 27 the middle sensor element section 101 and seals it against leakage of injection molding compound, so that the functional layer of the sensor element 10 So the measuring electrode 12 and the connection contacts 13 . 14 is protected from overflowing injection molding compound. The over the filling openings 29 in the cavity 28 introduced injection molding compound encloses the middle sensor element cut 101 and takes that from the injection mold 27 given shape of the ceramic body 17 at. After removal of the resulting building module 18 from the injection mold 27 becomes the building module 18 subjected to a debinding and sintering process in which the sensor element 10 and the ceramic body 17 be sintered together. Due to the common sintering is an inadmissibly strong distortion of the sensor element 10 Especially when it is a very thin, planar sensor element prevents. After sintering form sensor element 10 and ceramic body 17 a monolithic building module 18 , To achieve this, it is beneficial for the ceramic carrier 11 of the sensor element 10 and for the ceramic body 17 To use ceramic materials whose sintering kinetics match. This is best achieved by using sensor element 10 and ceramic body 17 identical or adapted ceramics are used.

Das beschriebene Verfahren zur Herstellung des Verbauungsmoduls 18 kann dahingehend abgewandelt werden, dass das Sensorelement 10 nicht als Grünling, sondern als teilentbinderter Bräunling oder als angesinterter Weißling in das Spritzgusswerkzeug 27 eingelegt wird. Auch hier wird durch das direkte Umspritzen des Keramikkörpers 17 an das an- oder durchgesinterte Sensorelement 10 die Gasdichtheit des Verbauungsmoduls 18 erzielt. Das Spritzgießen des Keramikkörpers 17 unmittelbar auf das Sensorelement 10 erfolgt vorzugsweise in einem Einkomponenten-Spritzgussverfahren.The method described for the production of the obstruction module 18 can be modified to the effect that the sensor element 10 not as a green compact, but as teilentbinderter Bräunling or as a sintered white in the injection mold 27 is inserted. Again, by the direct encapsulation of the ceramic body 17 to the on or through sintered sensor element 10 the gas-tightness of the building module 18 achieved. The injection molding of the ceramic body 17 directly on the sensor element 10 is preferably carried out in a one-component injection molding process.

ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNGQUOTES INCLUDE IN THE DESCRIPTION

Diese Liste der vom Anmelder aufgeführten Dokumente wurde automatisiert erzeugt und ist ausschließlich zur besseren Information des Lesers aufgenommen. Die Liste ist nicht Bestandteil der deutschen Patent- bzw. Gebrauchsmusteranmeldung. Das DPMA übernimmt keinerlei Haftung für etwaige Fehler oder Auslassungen.This list The documents listed by the applicant have been automated generated and is solely for better information recorded by the reader. The list is not part of the German Patent or utility model application. The DPMA takes over no liability for any errors or omissions.

Zitierte PatentliteraturCited patent literature

- DE 102007025626 A1 [0002]

Claims

Method for producing a building module ( 18 ) of a gas sensor, which consists of a sensor element ( 10 ) for detecting a physical quantity of a measuring gas and a sensor element ( 10 ) in a sensor element section ( 101 ) enclosing gas-tight, for installation in a housing ( 16 ) formed ceramic body ( 17 ), in which the ceramic body ( 17 ) is injection molded and sintered, characterized in that the injection molding of the ceramic body ( 17 ) directly on the sensor element ( 10 ) is made.

A method according to claim 1, characterized in that for injection molding of the ceramic body ( 17 ) a the shape of the ceramic body ( 17 ) given injection molding tool ( 27 ) is used, in which the sensor element ( 10 ) is positioned accurately.

Method according to claim 2, characterized in that the sensor element ( 10 ) as unsintered green compact in the injection mold ( 27 ) is inserted.

Method according to claim 2, characterized in that the sensor element ( 11 ) as teilentbinderter Bräunling or as a sintered white in the injection mold ( 27 ) is inserted.

Method according to one of claims 1 to 4, characterized in that the sensor element ( 10 ) a ceramic carrier ( 11 ) and the ceramic materials of ceramic carrier ( 11 ) and ceramic body ( 17 ) have the same sintering kinetics, preferably identical.

Method according to one of claims 1 to 5, characterized in that the ceramic material for the ceramic body ( 17 ) is processed in a one-component injection molding process.