DE102008039213A1

DE102008039213A1 - Filter mechanism for vacuum pump utilized in vacuum coating plant for evacuation of vacuum chamber, has gas-permeable slot shaped opening provided at other end of filter housing and at lateral surface of filter housing

Info

Publication number: DE102008039213A1
Application number: DE200810039213
Authority: DE
Inventors: Michael Hentschel; Hubertus Von Der Waydbrink; Andrej Wolf; Marco Kenne; Claus Liebsch; James G. Perrysburg Koedam; Jeff Pemberville Coan
Original assignee: Von Ardenne Anlagentechnik GmbH
Current assignee: Von Ardenne GmbH
Priority date: 2008-03-06
Filing date: 2008-08-22
Publication date: 2009-09-17
Anticipated expiration: 2028-08-23
Also published as: DE102008039213B4

Abstract

The mechanism has a changeable filter insert with a filter housing, in which a filter element (1) e.g. spiral-shaped strand, is arranged. An end of the housing is closed by a blind flange (3). The flange is formed at a side turned towards the housing for vacuum-tight connection with a standardized pipeline flange in an installation housing. A gas-permeable slot shaped opening (21) is provided at other end of the filter housing and at a lateral surface of the filter housing. The installation housing has a T-fitting and an equalizer i.e. tubing section, that equalizes changes in insert length.

Description

Nachfolgend wird eine Filtereinrichtung für Vakuumpumpen mit wechselbarem Filtereinsatz beschrieben.following is a filter device for vacuum pumps with changeable Filter insert described.

Filtereinrichtungen für Vakuumpumpen, wie sie beispielsweise bei Vakuumbeschichtungsanlagen zur Evakuierung einer Vakuumkammer zum Einsatz kommen, sind bekannt. Diese Filtereinrichtungen weisen eine Reihe von Nachteilen auf. So sind bisher gebräuchliche Filter mit einem Anschlussflansch versehen, der nicht zu den üblicherweise an Vakuumpumpen und den verwendeten Rohrleitungen vorhandenen Klammerflanschen (ISO-K-Flanschen nach ISO-Norm DIN 28404 ) kompatibel sind. Klammerflanschbauteile werden in Vakuumleitungen als Rohrleitungs- und Verbindungselemente verwendet. Die Verbindung erfolgt mit Klammerschrauben, die in die Nuten der Kammerflansche greifen. Mit Überwurfflansch ist die Verbindung zum Festflansch möglich. Bei der Verwendung bekannter Filtereinrichtungen ist hingegen aufgrund der genannten Inkompatibilität die Verwendung eines Adapters nötig, um die Filtereinrichtung mit der Vakuumpumpe zu verbinden. Weiterhin haben bekannte Filtereinrichtungen im allgemeinen eine vorgeschriebene Durchflussrichtung, die oftmals eine horizontale Einbaulage erzwingt, die jedoch den für Wartung und Austausch erforderlichen Bauraumbedarf erheblich erhöht.Filter devices for vacuum pumps, as used for example in vacuum coating systems for evacuating a vacuum chamber are known. These filter devices have a number of disadvantages. So far common filters are provided with a flange, which does not exist to the usually existing on vacuum pumps and the pipes used clamp flanges (ISO-K flanges ISO standard DIN 28404 ) are compatible. Clip flange components are used in vacuum lines as piping and connecting elements. The connection is made with clamp screws, which engage in the grooves of the chamber flanges. With coupling flange the connection to the fixed flange is possible. When using known filter devices, however, due to the incompatibility mentioned, the use of an adapter is necessary to connect the filter device with the vacuum pump. Furthermore, known filter devices generally have a prescribed flow direction, which often enforces a horizontal mounting position, but significantly increases the space required for maintenance and replacement space requirements.

Insbesondere bei Beschichtungsprozessen, bei denen große Mengen Feinstaub anfallen, etwa bei der Herstellung photo-voltaisch wirksamer Schichten, sind herkömmliche Filtereinrichtungen wegen ihres inneren Aufbaus nicht zur wirksamen Filterung der abgepumpten Gase geeignet, wodurch Schäden an den Vakuumpumpen auftreten können. Darüber hinaus weisen die bekannten Filtereinrichtungen ein so großes Volumen auf, dass die Abpumpzeiten und damit die in der Vakuumbeschichtungsanlage erzielbaren Taktzeiten für die durchzuführenden Prozesse inakzeptabel lang sind.Especially in coating processes where large amounts of particulate matter incurred, for example in the production of photovoltaic active layers, are conventional filtering devices because of their internal Construction not suitable for effective filtration of the pumped gases, causing damage to the vacuum pumps may occur. About that In addition, the known filter devices have such a large Volume on that the pumping times and thus the in the vacuum coating system achievable cycle times for the to be performed Processes are unacceptably long.

Die vorgeschlagene Filtereinrichtung vermeidet diese Nachteile, indem sie in einer einfachen Ausgestaltung einen Filtereinsatz umfasst, der kein eigenes Einbaugehäuse aufweist, sondern direkt in die Rohrleitung einsetzbar ist. In einer Weiterbildung wird vorgeschlagen, die Filtereinrichtung mit einem eigenen Einbaugehäuse zu versehen, das im Wesentlichen die Form eines T-Stücks mit ISO-K-Flanschen hat und dadurch in die Rohrleitung integrierbar ist. Beispielsweise kann vorgesehen sein, dass der Filtereinsatz an einem der beiden gegenüberliegend angeordneten Flansche in das Einbaugehäuse (T-Stück) eingeschoben wird und einen Deckel aufweist, der ebenfalls als ISO-K-Flansch ausgebildet ist, so dass der Deckel des Filtereinsatzes mit Hilfe von Klammerschrauben vakuumdicht mit diesem Flansch des Einbaugehäuses verbindbar ist. Die beiden anderen Flansche des Einbaugehäuses können dann ebenfalls mit Klammerschrauben mit je einem Abschnitt der Rohrleitung verbunden werden, so dass die durch die Rohrleitung strömenden Gase auch den Filtereinsatz durchströmen müssen.The proposed filter device avoids these disadvantages by it comprises a filter insert in a simple embodiment, which has no own built-in housing, but directly can be used in the pipeline. In a further development it is proposed the filter device with its own built-in housing which essentially has the shape of a tee ISO-K flanges and thus can be integrated into the pipeline. For example, it can be provided that the filter insert on a the two oppositely arranged flanges in the Installation housing (T-piece) is inserted and having a lid which is also designed as an ISO-K flange, so that the lid of the filter cartridge by means of clamp screws vacuum-tight connectable with this flange of the mounting housing is. The two other flanges of the installation housing can then also with clamp screws, each with a section of the pipeline be connected so that the flowing through the pipe Gases must also flow through the filter cartridge.

Es wird eine Filtereinrichtung für Vakuumpumpen vorgeschlagen, welche einen wechselbaren Filtereinsatz mit einem im wesentlichen rohrförmigen Filtergehäuse umfasst, in welchem ein Filtriermittel angeordnet ist, wobei ein Ende des Filtergehäuses mit einem Blindflansch verschlossen ist, der einen größeren Durchmesser aufweist als das Filtergehäuse und an seiner dem Filtergehäuse zugewandten Seite zur vaku umdichten Verbindung mit einem genormten Rohrleitungsflansch ausgebildet ist, und wobei am anderen Ende des Filtergehäuses und an der Mantelfläche des Filtergehäuses mindestens je eine gasdurchlässige Öffnung vorgesehen ist, durch die kein Filtriermittel aus dem rohrförmigen Gehäuse gelangen kann. Daraus ergibt sich, dass die konkrete Gestaltung der gasdurchlässigen Öffnung von dem jeweils verwendeten Filtriermittel abhängig ist. So kann die gasdurchlässige Öffnung bei Verwendung eines im Innern des Filtergehäuses fest angeordneten Filtriermittels relativ groß gestaltet sein, während sie bei Verwendung beispielsweise eines granulierten Filtriermittels kleiner sein muss als die kleinsten Granulatbestandteile.It a filter device for vacuum pumps is proposed, which is a removable filter cartridge with a substantially tubular filter housing comprises, in which a filtering means is arranged, wherein one end of the filter housing with a blind flange is closed, the larger one Diameter than the filter housing and at its the filter housing side facing the vaku umdichten connection is formed with a standard pipe flange, and wherein at the other end of the filter housing and on the lateral surface the filter housing at least one gas-permeable opening is provided, through which no filtering agent from the tubular Housing can get. It follows that the concrete design the gas-permeable opening of the respectively used Filtering agent is dependent. So can the gas-permeable opening when using one inside the filter housing arranged filter means are designed to be relatively large, while using, for example, a granulated one Filtering agent must be smaller than the smallest granules components.

Anstelle eines zylindrischen Filtergehäuses kann auch ein Filtergehäuse mit schräg angeschnittener Stirnfläche oder ein kegelstumpfförmiges oder kegelförmiges Filtergehäuse benutzt werden. Das Filtermaterial (insbesondere Volumenmaterialien wie Stahlwolle, Granulat, etc. kann je nach Ausführung den Leitwert, insbesondere bei niedrigen Drücken, ganz erheblich reduzieren. Hier müssen Materialien gewählt werden, die den Leitwert des Filters nur unwesentlich reduzieren. Hierfür kommen Materialien wie spezielle Filterpapiersorten, Filtervlies und ähnliche Materialien in Frage. An Vakuumbeschichtungsanlagen werden Vakuumleitungen mit Längen von bis zu mehreren Metern benutzt. Eine praktische Ausführung der Filtereinrichtung kann darin bestehen, diese Vakuumleitungen über einen großen Teil ihrer Länge so zu benutzen, dass die Filtereinrichtung ein wesentlicher Bestandteil der Vakuumleitung ist. Je nach zur Verfügung stehender gestreckter Länge der Vakuumleitung kann die Länge des Filtereinsatzes mehrere Meter betragen. Zur weiteren Vergrößerung der Oberfläche kann das Filtermaterial gefaltet ausgeführt werden. Eine kostengünstige Ausführung kann darin bestehen, dass das Filtergehäuse einen kegelförmigen Drahtträgerkorb umfasst, auf den ein geeignetes Filtriermaterial, wie z. B. Filtervlies, gewickelt ist.Instead of a cylindrical filter housing can also be a filter housing with obliquely cut end face or one frusto-conical or conical filter housing to be used. The filter material (especially bulk materials such as steel wool, granules, etc., depending on the design of the Conductance, especially at low pressures, quite considerably to reduce. Here you have to choose materials which reduce the conductance of the filter only insignificantly. Therefor come materials such as special filter paper types, filter fleece and similar materials in question. On vacuum coating systems become vacuum pipes with lengths of up to several meters used. A practical embodiment of the filter device may consist of these vacuum lines over a large Part of their length so use that the filter device an integral part of the vacuum line. Depending on the Available stretched length of the vacuum line The length of the filter insert can be several meters. For further enlargement of the surface the filter material can be folded. A cost-effective design can be that the filter housing a cone-shaped wire carrier basket comprises a suitable filtering material, such as. B. filter fleece, is wound.

Weiterhin kann ein Einbaugehäuse vorgesehen sein, welches im wesentlichen die Form eines T-Stücks aufweist, das an jeder seiner drei Mündungen einen genormten Rohrleitungsflansch aufweist und in das der Filtereinsatz so einführbar ist, dass der Blindflansch des Filtereinsatzes mit einem Flansch des Einbaugehäuses vakuumdicht verbindbar ist. Zum Ausgleich von Längenänderungen kann vorgesehen sein, dass das Einbaugehäuse eine Ausgleichseinrichtung umfasst. Eine derartige Ausgleichseinrichtung kann ein Rohrabschnitt sein, dessen Mantel in der Art eines Balgs gewellt ist oder umlaufende Sicken oder Falten aufweist. Dadurch wird erreicht, dass dieser Rohrabschnitt in der Längsrichtung eine größere Verformbarkeit aufweist, so dass Längenänderungen aufgrund thermischer Belastungen ausgeglichen werden können, ohne dass das Einbaugehäuse oder die Rohrleitung beschädigt oder undicht wird.Furthermore, a built-in housing vorgese hen, which has substantially the shape of a tee having a standard pipe flange at each of its three orifices and in which the filter cartridge is inserted so that the blind flange of the filter cartridge with a flange of the mounting housing is vacuum-tight connectable. To compensate for changes in length can be provided that the installation housing comprises a compensation device. Such a balancing device may be a pipe section whose jacket is corrugated in the manner of a bellows or has circumferential beads or folds. This ensures that this pipe section in the longitudinal direction has a greater deformability, so that changes in length due to thermal stresses can be compensated without the installation housing or the pipe is damaged or leaking.

In einer Ausgestaltung ist vorgesehen, dass der Filtereinsatz so gestaltet ist, dass das Filtriermittel austauschbar ist. Dies kann beispielsweise dadurch erreicht werden, dass der an einem Ende des Filtergehäuses des Filtereinsatzes vorgesehene Blindflansch oder/und der am anderen Ende des Gehäuses vorgesehene, die gasdurchlässige Öffnung aufweisende Deckel entfernbar ist.In an embodiment is provided that the filter cartridge designed is that the filter medium is exchangeable. This can be, for example be achieved by that at one end of the filter housing provided the filter insert blind flange and / or the other End of the housing provided, the gas-permeable opening having Lid is removable.

Das im Innern des Filtergehäuses des Filtereinsatzes angeordnete Filtriermittel muss die Eigenschaft haben, den in den vorbeiströmenden Gasen enthaltenen Feinstaub durch Anhaften zu binden. Ein solches Filtriermittel kann beispielsweise Stahlwolle sein. Diese ist preiswert und leicht austauschbar. Wenn die Aufnahmekapazität der Stahlwolle erreicht ist, wird diese gegen neue ausgetauscht und die verbrauchte Stahlwolle verschrottet. Ein anderes geeignetes Filtriermittel ist eine Gasführungseinrichtung, die beispielsweise eine kaskadenartige Anordnung von Prallblechen umfassen kann, an welchen sich der Feinstaub niederschlägt. Weiterhin kann vorgesehen sein, dass das Filtriermittel kühlbar ist. Bei einer Anordnung von Prallblechen kann beispielsweise vorgesehen sein, dass diese von Kühlmittelleitungen durchzogen sind, die von einem Kühlmittel durchströmt werden.The arranged in the interior of the filter housing of the filter cartridge Filtering agent must have the property that flows past To bind gases containing fine dust by sticking. Such Filtering agent may be steel wool, for example. This is cheap and easily replaceable. When the recording capacity of the Steel wool is reached, this is exchanged for new and scrapped the used steel wool. Another suitable filtering agent is a gas guide device, for example, a Cascade-like arrangement of baffles may include, to which the fine dust precipitates. Furthermore, it can be provided be that the filter medium is coolable. In an arrangement baffles can be provided, for example, that these are traversed by coolant lines, of a Coolants are flowed through.

Nachfolgend wird die beschriebene Filtereinrichtung anhand von Ausführungsbeispielen und zugehörigen Zeichnungen näher erläutert. Dabei zeigenfollowing the described filter device based on embodiments and associated drawings explained in more detail. Show

1A und 1B zwei Ansichten eines Filtereinsatzes, 1A and 1B two views of a filter cartridge,

2 eine Schnittdarstellung eines Einbaugehäuses mit dem darin angeordneten Filtereinsatz, 2 a sectional view of an installation housing with the filter insert disposed therein,

3 das Ausführungsbeispiel in einer typischen Einbausituation. 3 the embodiment in a typical installation situation.

Im Ausführungsbeispiel in 1A und 1B umfasst der Filtereinsatz ein rohrförmiges Filtergehäuse sowie ein darin angeordnetes Filtriermittel 1. Das Filtriermittel 1 ist ein spiralförmig in das Filtergehäuse eingelegter Strang aus Stahlwolle, der preiswert und leicht austauschbar ist. An einem Ende des Filtergehäuses ist der rohrförmige Grundkörper 2 mit einem Blindflansch 3 verschlossen, dessen Durchmesser größer als der Durchmesser des Grundkörpers 2 ist und der zwei Griffe 33 zur leichteren Handhabung aufweist. Der Rand der dem Filtergehäuse zugewandten Seite des Blindflansches 3 ist mit einem Dichtring 31 versehen und die gegenüberliegende Seite des Blindflansches 3 weist eine umlaufende Nut 32 auf, in die die üblicherweise verwendeten Klammerschrauben 54 eingreifen können, so dass der Blindflansch 3 zur vakuumdichten Verbindung mit einem genormten Rohrleitungsflansch ausgebildet ist. Unterhalb des Blindflansches 3 ist in der Mantelfläche des Grundkörpers 2 des Filtergehäuses eine um laufende Anordnung gasdurchlässiger schlitzförmiger Öffnungen 21 vorgesehen, die so gestaltet sind, dass im bestimmungsgemäßen Einsatz der Filtereinrichtung kein Filtriermittel 1 durch sie hindurch treten kann. Am anderen Ende des Filtergehäuses ist der rohrförmige Grundkörper 2 mit einem Deckel 4 verschlossen, der ebenfalls eine Anordnung gasdurchlässiger Öffnungen 41 aufweist, die so gestaltet sind, dass im bestimmungsgemäßen Einsatz der Filtereinrichtung kein Filtriermittel 1 durch sie hindurch treten kann. Dieser Deckel 4 ist abnehmbar gestaltet, um das Filtriermittel 1 leicht austauschen zu können. Hierzu ist an der dem Inneren des Grundkörpers 2 zugewandten Seite des Blindflansches 3 ein Rundstab 34 befestigt, der so lang ist, dass sein Ende an der gegenüberliegenden Seite des Filtergehäuses aus dem rohrförmigen Grundkörper 2 herausragt. Dieses Ende des Rundstabs 34 ist mit einem Gewinde versehen. Auf dieses Gewinde wird eine Mutter 42 geschraubt, um den Deckel 4 mit dem Grundkörper 2 zu verbinden und wahlweise abzunehmen, um das Filtriermittel 1 zu erneuern.In the embodiment in 1A and 1B The filter cartridge comprises a tubular filter housing and a filter means arranged therein 1 , The filter medium 1 is a strand of steel wool inserted spirally into the filter housing, which is inexpensive and easily replaceable. At one end of the filter housing is the tubular body 2 with a blind flange 3 closed, whose diameter is greater than the diameter of the body 2 is and the two handles 33 for easier handling. The edge of the filter housing facing side of the blind flange 3 is with a sealing ring 31 provided and the opposite side of the blind flange 3 has a circumferential groove 32 into which the commonly used staple screws 54 can engage, so that the blind flange 3 designed for vacuum-tight connection with a standard pipe flange. Below the blind flange 3 is in the lateral surface of the main body 2 the filter housing to a current arrangement gas-permeable slot-shaped openings 21 provided, which are designed so that in the proper use of the filter device no filtering agent 1 can pass through them. At the other end of the filter housing is the tubular body 2 with a lid 4 closed, which is also an arrangement of gas-permeable openings 41 having, which are designed so that in the proper use of the filter device no filtering agent 1 can pass through them. This lid 4 is detachable designed to filter the filter 1 easy to exchange. This is on the inside of the body 2 facing side of the blind flange 3 a round rod 34 attached, which is so long that its end on the opposite side of the filter housing from the tubular body 2 protrudes. This end of the round rod 34 is threaded. On this thread is a mother 42 screwed to the lid 4 with the main body 2 to connect and optionally remove to the filter medium 1 to renew.

2 zeigt einen Längsschnitt durch ein Einbaugehäuse 5 für den oben beschriebenen Filtereinsatz, 3 eine typische Einbausituation in einer Rohrleitung 6. Der Filtereinsatz ist ebenfalls dargestellt, in 2 allerdings aus Gründen der besseren Übersichtlichkeit ohne das Filtriermittel 1. Das Einbaugehäuse 5 ist zusammengesetzt aus einem T-Stück 51 mit genormten Klammerflanschen 53 und einer damit verbundenen Ausgleichseinrichtung 52 in Form eines Rohrabschnitts, dessen Mantel in der Art eines Balgs gewellt ist und dessen beide Enden jeweils einen genormten Klammerflansch 53 aufweisen. Einer dieser beiden Klammerflansche 53 ist mittels Klammerschrauben 54 mit dem ersten der beiden parallel zueinander angeordneten Klammerflansche 53 des T-Stücks 51 vakuumdicht verbunden. Dadurch bilden das T-Stück 51 und die Ausgleichseinrichtung 52 gemeinsam ein Einbaugehäuse 5 für den Filtereinsatz, das in eine Rohrleitung 6 ohne zusätzlichen Adapter integrierbar ist, wenig Bauraum benötigt und einfach und kostengünstig herstellbar ist. Das Einbaugehäuse 5 weist eine langgestreckte Aufnahme für den Filtereinsatz auf, in die der Filtereinsatz eingeführt wird. Anschließend wird der Blindflansch 3, wie in 3 dargestellt, mittels Klammerschrauben 54 mit dem zweiten der beiden parallel zueinander angeordneten Klammerflansche 53 des T-Stücks 51 vakuumdicht verbunden. In der Nähe des durch den Blindflansch 3 des Filterelements verschlossenen zweiten Klammerflanschs 53 des T-Stücks 51 zweigt die Rohrleitung 6 ab, die mit dem dritten Klammerflansch 53 des T-Stücks 51 endet, der später an die Vakuumpumpe oder eine zur Vakuumpumpe führende Rohrleitung 6 angeschlossen wird, wie ebenfalls in 3 dargestellt ist. 2 shows a longitudinal section through a mounting housing 5 for the filter insert described above, 3 a typical installation situation in a pipeline 6 , The filter cartridge is also shown in 2 however, for the sake of clarity, without the filtering agent 1 , The installation housing 5 is composed of a tee 51 with standardized clamp flanges 53 and an associated balancing device 52 in the form of a pipe section whose jacket is corrugated in the manner of a bellows and whose two ends each have a standard clamp flange 53 exhibit. One of these two clamp flanges 53 is by means of clamp screws 54 with the first of the two mutually parallel clamp flanges 53 of the tee 51 connected vacuum-tight. This will form the tee 51 and the compensation Facility 52 together a built-in housing 5 for the filter cartridge, which is in a pipeline 6 can be integrated without additional adapter, requires little space and is easy and inexpensive to produce. The installation housing 5 has an elongate receptacle for the filter cartridge into which the filter cartridge is inserted. Subsequently, the blind flange 3 , as in 3 represented by means of clamping screws 54 with the second of the two mutually parallel clamp flanges 53 of the tee 51 connected vacuum-tight. Near by the blind flange 3 the filter element closed second Klammernflanschs 53 of the tee 51 branches the pipeline 6 starting with the third clamp flange 53 of the tee 51 ends, the later to the vacuum pump or a pipe leading to the vacuum pump 6 is connected, as also in 3 is shown.

11: Filtriermittelfilter means
22: Grundkörperbody
2121: gasdurchlässige Öffnunggas-permeable opening
33: Blindflanschblind flange
3131: Dichtringseal
3232: Nutgroove
3333: GriffHandle
3434: Rundstabround bar
44: Deckelcover
4141: gasdurchlässige Öffnunggas-permeable opening
4242: Muttermother
55: Einbaugehäuseinstallation housing
5151: T-StückTee
5252: Ausgleichseinrichtungbalancer
5353: Klammerflanschclamping flange
5454: Klammerschraubeclamp screw
66: Rohrleitungpipeline

ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNGQUOTES INCLUDE IN THE DESCRIPTION

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Zitierte Nicht-PatentliteraturCited non-patent literature

- ISO standard DIN 28404 [0002]

Claims

Filter device for vacuum pumps, comprising a replaceable filter cartridge with a tubular filter housing, in which a filtering agent ( 1 ) is arranged, wherein one end of the filter housing with a blind flange ( 3 ) is closed, which has a larger diameter than the filter housing and is formed on its side facing the filter housing for vacuum-tight connection with a standard pipe flange, and wherein at least one gas-permeable opening at least at the other end of the filter housing and on the lateral surface of the filter housing ( 21 . 41 ) is provided.

Filter device according to claim 1, characterized in that furthermore a built-in housing ( 5 ), which takes the form of a tee ( 51 ), which has a standardized pipe flange at each of its three orifices and into which the filter insert is insertable so that the blind flange ( 3 ) of the filter insert with a flange of the installation housing ( 5 ) is vacuum-tight connectable.

Filter device according to claim 1 or 2, characterized in that the installation housing ( 5 ) a balancing device ( 52 ) to compensate for changes in length.

Filter device according to one of claims 1 to 3, characterized in that the filter cartridge is designed so that the filtering agent ( 1 ) is interchangeable.

Filter device according to one of claims 1 to 4, characterized in that the filtering agent ( 1 ) Steel wool is.

Filter device according to one of claims 1 to 4, characterized in that the filtering agent ( 1 ) is a gas guiding device.

Filter device according to one of the preceding claims, characterized in that the filtering agent ( 1 ) is coolable.